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空間光調(diào)制裝置以及空間光調(diào)制方法與流程

文檔序號(hào):12200759閱讀:399來源:國知局
空間光調(diào)制裝置以及空間光調(diào)制方法與流程
本發(fā)明涉及在相位調(diào)制型的空間光調(diào)制裝置以及空間光調(diào)制方法中,修正伴隨著液晶層的溫度變化的相位調(diào)制量的變動(dòng)部分的技術(shù)。

背景技術(shù):
在專利文獻(xiàn)1中,記載有涉及彩色液晶顯示元件的溫度補(bǔ)償裝置的技術(shù)。該技術(shù)的目的在于,在多個(gè)彩色液晶顯示元件的每個(gè)中對應(yīng)于其偏差或隨時(shí)間變化能夠適當(dāng)修正溫度對最佳輸出電壓數(shù)據(jù)。圖18是表示該裝置的構(gòu)成的方塊圖。如圖18所示,該裝置具備溫度檢測電路211、存儲(chǔ)有數(shù)字的溫度對最佳輸出電壓數(shù)據(jù)并讀出對應(yīng)于來自溫度檢測電路211的溫度數(shù)據(jù)的最佳輸出電壓數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)表212、修正從數(shù)據(jù)表212讀出的最佳輸出電壓數(shù)據(jù)的電壓修正單元217、對該最佳輸出電壓數(shù)據(jù)進(jìn)行D/A轉(zhuǎn)換并送出至液晶顯示元件的驅(qū)動(dòng)電路的D/A轉(zhuǎn)換電路213、將修正數(shù)據(jù)提供給電壓修正單元217的操作部216、根據(jù)來自操作部216的修正數(shù)據(jù)以及來自溫度檢測電路211的溫度數(shù)據(jù)來修正數(shù)據(jù)表212內(nèi)的溫度對最佳輸出電壓數(shù)據(jù)的控制單元214。另外,在專利文獻(xiàn)2中,記載有涉及由超速轉(zhuǎn)動(dòng)(overdrive)高速驅(qū)動(dòng)液晶面板的液晶面板的驅(qū)動(dòng)裝置的技術(shù)。圖19是表示該液晶面板驅(qū)動(dòng)裝置的構(gòu)成的方塊圖。該液晶面板驅(qū)動(dòng)裝置是使用幀存儲(chǔ)器231和查詢表232來進(jìn)行超速轉(zhuǎn)動(dòng)的裝置,具備對應(yīng)于不同的溫度范圍的多個(gè)種類的查詢表232。該裝置根據(jù)從溫度傳感器235獲得的LCD模塊234的溫度信息,使選擇電路233動(dòng)作并切換使用查詢表232。另外,在專利文獻(xiàn)3中,記載有涉及半透過型的液晶顯示裝置的技術(shù)。圖20是表示該液晶顯示裝置的構(gòu)成的方塊圖。該液晶顯示裝置具備修正電路241。修正電路241具有查詢表選擇部242、多個(gè)透過模式用查詢表243、多個(gè)反射模式用查詢表253、幀存儲(chǔ)器244、模式判定部245、開關(guān)246、以及開關(guān)控制部256。透過模式用查詢表243以及反射模式用查詢表253存儲(chǔ)對應(yīng)于現(xiàn)層次與目標(biāo)層次的組合并強(qiáng)調(diào)信號(hào)的時(shí)間變化的修正值(修正層次)。還有,圖21是表示該反射模式用查詢表253的構(gòu)成的一個(gè)例子的圖表。開關(guān)控制部256存儲(chǔ)有關(guān)周圍溫度的閾值Y,在從模式判定部245輸出的模式選擇信號(hào)MD是低電平,或從溫度傳感器248經(jīng)由A/D轉(zhuǎn)換器247而輸出的周圍溫度T0為閾值Y以下的時(shí)候,輸出低電平的開關(guān)控制信號(hào)SC,在除此之外的時(shí)候,輸出高電平的開關(guān)控制信號(hào)SC。將從由查詢表選擇部242選擇的透過模式用查詢表243或者反射模式用查詢表253輸出的修正層次、輸入影像信號(hào)V1、開關(guān)控制信號(hào)SC輸入到開關(guān)246。開關(guān)246在開關(guān)控制信號(hào)SC為低電平的時(shí)候?qū)⑿拚龑哟巫鳛樾拚跋裥盘?hào)V2來進(jìn)行輸出,在開關(guān)控制信號(hào)SC為高電平的時(shí)候?qū)⑤斎胗跋裥盘?hào)V1作為修正影像信號(hào)V2來進(jìn)行輸出?,F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本專利第3859317號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本專利申請公開2004-133159號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3:日本專利申請公開2007-233061號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
發(fā)明所要解決的技術(shù)問題一直以來,由空間光調(diào)制元件(SpatialLightmodulator;SLM)調(diào)制光的相位的技術(shù)是為人所知的。一般來說,空間光調(diào)制元件具備液晶層、沿著液晶層而設(shè)置于多個(gè)像素的每個(gè)的電極。如果電壓被施加于電極的話,則液晶分子對應(yīng)于該電壓的大小而發(fā)生旋轉(zhuǎn),并且液晶的雙折射率發(fā)生變化。如果光入射到該液晶層的話,則光的相位在液晶層的內(nèi)部發(fā)生變化,相對于該入射光具有相位差的光出射至外部。在此,表示施加電壓的大小與電壓施加的前后的出射光的相位差(即相位調(diào)制量)的關(guān)系的特性為空間光調(diào)制元件的相位調(diào)制特性。在該相位調(diào)制特性中,相位調(diào)制量與施加電壓的關(guān)系為非線性。還有,為了容易地轉(zhuǎn)換這樣的非線性的關(guān)系,一般來說,使用表示相位調(diào)制量與施加電壓的對應(yīng)的多個(gè)數(shù)值的查詢表(LookUpTable:LUT)。但是,如果液晶層的溫度發(fā)生變化的話,則會(huì)有相位調(diào)制量與施加電壓的關(guān)系發(fā)生變動(dòng)的問題。即,即使在施加了某一定的電壓的情況下,也會(huì)由于此時(shí)的液晶層的溫度而使相位調(diào)制量不同。這樣的現(xiàn)象根據(jù)使用空間光調(diào)制元件的用途而會(huì)產(chǎn)生深刻的問題。例如,在激光加工中,在經(jīng)由空間光調(diào)制元件將從激光光源輸出的激光照射到被加工物的情況下,相位調(diào)制量的誤差會(huì)對加工精度產(chǎn)生大的影響。另外,在將空間光調(diào)制元件使用于顯微鏡或檢眼鏡(ophthalmoscope)等的情況下,根據(jù)其使用溫度,會(huì)有得不到有用的觀察圖像的擔(dān)憂。還有,上述的專利文獻(xiàn)1所記載的溫度補(bǔ)償裝置,其目的在于,修正伴隨著液晶顯示元件的溫度變化的顏色變化。該溫度補(bǔ)償裝置預(yù)先保持表示液晶顯示元件的溫度與施加電壓值的關(guān)系的LUT,從LUT選擇對應(yīng)于檢測出的溫度的施加電壓值。另外,專利文獻(xiàn)2、3所記載的裝置具備多個(gè)表示溫度與施加電壓值的關(guān)系的LUT,對應(yīng)于溫度變化的大小選擇最佳的LUT。這樣,專利文獻(xiàn)1~3所記載的裝置均具備表示溫度與施加電壓值的關(guān)系的LUT。但是,如以上所述,相位調(diào)制量與施加電壓的關(guān)系為非線性,如果這些關(guān)系也用LUT來表示的話,則如專利文獻(xiàn)2、3那樣,不得不保持對應(yīng)于多個(gè)溫度的多個(gè)LUT,從而需要大的存儲(chǔ)容量。另外,對于這樣的LUT的制作來說,需要很大的功夫,而且也抑制了對應(yīng)于所期望的相位調(diào)制量的施加電壓值的精度。本發(fā)明是有鑒于這樣的問題而悉心研究的結(jié)果,其目的在于,提供一種能夠減小必要的存儲(chǔ)容量、制作容易而且能夠提高相對于所期望的相位調(diào)制量的施加電壓值的精度的空間光調(diào)制裝置以及空間光調(diào)制方法。解決問題的技術(shù)手段為了解決上述的技術(shù)問題,本發(fā)明的空間光調(diào)制裝置是在一維或者二維排列的多個(gè)像素中的每個(gè)像素調(diào)制入射光的相位的空間光調(diào)制裝置,具備:(1)液晶層,對應(yīng)于施加電場的大小而調(diào)制入射光的相位;(2)溫度傳感器,生成作為對應(yīng)于液晶層的溫度的信號(hào)的溫度信號(hào);(3)多個(gè)像素電極,設(shè)置于多個(gè)像素中的每個(gè)像素,將產(chǎn)生施加電場的電壓施加于液晶層;(4)電壓生成部,將電壓提供給多個(gè)像素電極。電壓生成部具有存儲(chǔ)單元。在該存儲(chǔ)單元中預(yù)先存儲(chǔ)包含于表示相對于液晶層的基準(zhǔn)溫度的溫度變化量與液晶層中的相位調(diào)制量的變動(dòng)量的相關(guān)的第1函數(shù)中的一個(gè)或者多個(gè)第1系數(shù)、以及包含于作為表示施加電壓與相位調(diào)制量的相關(guān)的非線性函數(shù)的第2函數(shù)中的多個(gè)第2系數(shù)。電壓生成部使用從溫度傳感器提供的溫度信號(hào)所表示的溫度和一個(gè)或者多個(gè)第1系數(shù),進(jìn)行用于修正作為相位調(diào)制量的目標(biāo)值的相位調(diào)制量指示值的運(yùn)算,之后,使用多個(gè)第2系數(shù),將相位調(diào)制量指示值換算成施加電壓相當(dāng)值,并將對應(yīng)于該施加電壓相當(dāng)值的電壓提供給多個(gè)像素電極。在該空間光調(diào)制裝置中,電壓生成部的存儲(chǔ)單元存儲(chǔ)包含于表示液晶層的溫度變化量與液晶層中的相位調(diào)制量的變動(dòng)量的相關(guān)的第1函數(shù)中的一個(gè)或者多個(gè)第1系數(shù)。如后面所述的實(shí)施方式所表示的那樣,發(fā)明人發(fā)現(xiàn)了通過預(yù)先求得這樣的第1函數(shù)并存儲(chǔ)其系數(shù)(第1系數(shù)),從而不使用大量的LUT就能夠恰當(dāng)?shù)匦拚捎跍囟茸兓鸬南辔徽{(diào)制量的變動(dòng)。即,在該空間光調(diào)制裝置中,電壓生成部使用從溫度傳感器提供的溫度信號(hào)所表示的溫度和上述一個(gè)或者多個(gè)第1系數(shù)來進(jìn)行用于修正相位調(diào)制量指示值的運(yùn)算。由此,能夠減小必要的存儲(chǔ)容量并且能夠提供制作容易的空間光調(diào)制裝置。再有,與使用作為離散的數(shù)據(jù)的集合的LUT的情況不同,因?yàn)槟軌驅(qū)?yīng)于液晶層的溫度變化而連續(xù)地獲得對應(yīng)于所期望的相位調(diào)制量的施加電壓值,所以能夠提高相對于所期望的相位調(diào)制量的施加電壓值的精度。另外,在該空間光調(diào)制裝置中,電壓生成部的存儲(chǔ)單元存儲(chǔ)包含于作為表示施加電壓與相位調(diào)制量的相關(guān)的非線性函數(shù)的第2函數(shù)中的多個(gè)第2系數(shù)。施加電壓與相位調(diào)制量的關(guān)系因?yàn)槭欠蔷€性,所以一直以來為了將相位調(diào)制量指示值換算成施加電壓而多使用LUT。但是,在LUT中,例如在相對于液晶層為高溫的時(shí)候的相位調(diào)制量0~2π(rad)使輸入值0,1,……,255之類的整數(shù)值對應(yīng)的情況下,在液晶層為低溫的時(shí)候相對于相位調(diào)制量0~2π(rad)進(jìn)行對應(yīng)的輸入值變少(例如0,1,……,200)。這樣,在使用了LUT的情況下,會(huì)產(chǎn)生分配到輸入值的最小單位的相位調(diào)制量由于溫度而不同的問題。相對于此,如后面所述的實(shí)施方式所示,因?yàn)轭A(yù)先求得處于非線性的關(guān)系的施加電壓與相位調(diào)制量的第2函數(shù),并與上述的第1系數(shù)一起使用其系數(shù)(第2系數(shù)),從而可以不管液晶層的溫度而均可以一直將輸入值與相位調(diào)制量的關(guān)系保持為一定。另外,空間光調(diào)制裝置也可以是第1函數(shù)為一次函數(shù),第1系數(shù)的個(gè)數(shù)為一個(gè)的構(gòu)成。在此情況下,電壓的范圍優(yōu)選被限定于能夠?qū)⒌?函數(shù)作為一次函數(shù)來近似的規(guī)定范圍內(nèi)。另外,在此情況下,電壓生成部也可以基于以下的數(shù)式,修正相位調(diào)制量指示值,[數(shù)1]其中,T為從溫度傳感器提供的溫度信號(hào)所表示的溫度,T0為基準(zhǔn)溫度,φT為修正前的相位調(diào)制量指示值,φ0為修正后的相位調(diào)制量指示值,α為第1系數(shù)。另外,空間光調(diào)制裝置也可以是第1函數(shù)為n次函數(shù)(n為2以上的整數(shù)),第1系數(shù)的個(gè)數(shù)為n個(gè)的構(gòu)成。在此情況下,電壓生成部也可以基于以下的數(shù)式,修正相位調(diào)制量指示值,[數(shù)2]其中,T為從溫度傳感器提供的溫度信號(hào)所表示的溫度,T0為基準(zhǔn)溫度,φT為修正前的相位調(diào)制量指示值,φ0為修正后的相位調(diào)制量指示值,β1……βn為n個(gè)第1系數(shù)。另外,本發(fā)明的空間光調(diào)制方法是使用對應(yīng)于施加電場的大小而調(diào)制入射光的相位的液晶層、以及設(shè)置于一維或者二維排列的多個(gè)像素中的每個(gè)像素并將產(chǎn)生施加電場的電壓施加于液晶層的多個(gè)像素電極的空間光調(diào)制方法,包含:(1)溫度取得步驟,從溫度傳感器取得作為對應(yīng)于液晶層的溫度的信號(hào)的溫度信號(hào);(2)修正運(yùn)算步驟,從預(yù)先存儲(chǔ)包含于表示相對于液晶層的基準(zhǔn)溫度的溫度變化量與液晶層中的相位調(diào)制量的變動(dòng)量的相關(guān)的第1函數(shù)中的一個(gè)或者多個(gè)第1系數(shù)、以及包含于作為表示施加電壓與相位調(diào)制量的相關(guān)的非線性函數(shù)的第2函數(shù)中的多個(gè)第2系數(shù)的存儲(chǔ)單元,讀出該一個(gè)或者多個(gè)第1系數(shù),使用溫度信號(hào)所表示的溫度和一個(gè)或者多個(gè)第1系數(shù)來進(jìn)行用于修正作為相位調(diào)制量的目標(biāo)值的相位調(diào)制量指示值的運(yùn)算;(3)電壓換算步驟,從存儲(chǔ)單元讀出多個(gè)第2系數(shù),使用多個(gè)第2系數(shù),將相位調(diào)制量指示值換算成施加電壓相當(dāng)值;(4)電壓施加步驟,將對應(yīng)于施加電壓相當(dāng)值的電壓提供給多個(gè)像素電極。在該空間光調(diào)制方法中,存儲(chǔ)單元存儲(chǔ)包含于表示液晶層的溫度變化量與液晶層中的相位調(diào)制量的變動(dòng)量的相關(guān)的第1函數(shù)中的一個(gè)或者多個(gè)第1系數(shù)。如后面所述的實(shí)施方式所示,發(fā)明人發(fā)現(xiàn)了通過預(yù)先求得這樣的第1函數(shù)并存儲(chǔ)其系數(shù)(第1系數(shù)),從而不使用大量的LUT就能夠恰當(dāng)?shù)匦拚捎跍囟茸兓鸬南辔徽{(diào)制量的變動(dòng)。即,在該空間光調(diào)制方法中,在修正運(yùn)算步驟中,使用從溫度傳感器提供的溫度信號(hào)所表示的溫度和上述一個(gè)或者多個(gè)第1系數(shù)來進(jìn)行用于修正相位調(diào)制量指示值的運(yùn)算。由此,能夠減小必要的存儲(chǔ)容量,并且能夠提供使用于該方法的裝置的制作容易的空間光調(diào)制方法。再有,與使用作為離散的數(shù)據(jù)的集合的LUT的情況不同,因?yàn)槟軌驅(qū)?yīng)于液晶層的溫度變化而連續(xù)地獲得對應(yīng)于所期望的相位調(diào)制量的施加電壓值,所以能夠提高相對于所期望的相位調(diào)制量的施加電壓值的精度。另外,在該空間光調(diào)制方法中,存儲(chǔ)單元存儲(chǔ)包含于作為表示施加電壓與相位調(diào)制量的相關(guān)的非線性函數(shù)的第2函數(shù)中的多個(gè)第2系數(shù)。施加電壓與相位調(diào)制量的關(guān)系因?yàn)槭欠蔷€性,所以一直以來為了將相位調(diào)制量指示值換算成施加電壓而多使用LUT。但是,在LUT中,例如在相對于液晶層為高溫的時(shí)候的相位調(diào)制量0~2π(rad)使輸入值0,1,……,255之類的整數(shù)值對應(yīng)的情況下,在液晶層為低溫的時(shí)候相對于相位調(diào)制量0~2π(rad)進(jìn)行對應(yīng)的輸入值變少(例如0,1,……,200)。這樣,在使用了LUT的情況下,會(huì)產(chǎn)生分配到輸入值的最小單位的相位調(diào)制量由于溫度而不同的問題。相對于此,如后面所述的實(shí)施方式所示,因?yàn)轭A(yù)先求得處于非線性的關(guān)系的施加電壓與相位調(diào)制量的第2函數(shù),并與上述的第1系數(shù)一起使用其系數(shù)(第2系數(shù)),從而不管液晶層的溫度而均可以一直將輸入值與相位調(diào)制量的關(guān)系保持為一定。另外,空間光調(diào)制方法也可以是第1函數(shù)為一次函數(shù),第1系數(shù)的個(gè)數(shù)為一個(gè)的構(gòu)成。在此情況下,電壓的范圍優(yōu)選被限定于能夠?qū)⒌?函數(shù)作為一次函數(shù)來近似的規(guī)定范圍內(nèi)。另外,在此情況下,在修正運(yùn)算步驟中,可以基于以下的數(shù)式,修正相位調(diào)制量指示值,[數(shù)3]其中,T為從溫度傳感器提供的溫度信號(hào)所表示的溫度,T0為基準(zhǔn)溫度,φT為修正前的相位調(diào)制量指示值,φ0為修正后的相位調(diào)制量指示值,α為第1系數(shù)。空間光調(diào)制方法也可以是第1函數(shù)為n次函數(shù)(n為2以上的整數(shù)),第1系數(shù)的個(gè)數(shù)為n個(gè)的構(gòu)成。在此情況,在修正運(yùn)算步驟中,可以基于以下的數(shù)式,修正相位調(diào)制量指示值,[數(shù)4]其中,T為從溫度傳感器提供的溫度信號(hào)所表示的溫度,T0為基準(zhǔn)溫度,φT為修正前的相位調(diào)制量指示值,φ0為修正后的相位調(diào)制量指示值,β1……βn為n個(gè)第1系數(shù)。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明,能夠提供一種能夠減小必要的存儲(chǔ)容量、制作容易而且能夠提高相對于所期望的相位調(diào)制量的施加電壓值的精度的空間光調(diào)制裝置以及空間光調(diào)制方法。附圖說明圖1是概略性地表示一個(gè)實(shí)施方式所涉及的空間光調(diào)制裝置的構(gòu)成的方塊圖。圖2(a)是表示相位調(diào)制部的構(gòu)成的一部分的示意圖,(b)是表示各個(gè)像素電極上的液晶分子旋轉(zhuǎn)的情況的圖。圖3是表示電壓生成部的驅(qū)動(dòng)裝置以及控制裝置的構(gòu)成的方塊圖。圖4是表示溫度變化系數(shù)數(shù)據(jù)的算出方法的流程圖。圖5是表示向像素電極的施加電壓與相位調(diào)制量的關(guān)系的一個(gè)例子的圖表。圖6是概念性地表示基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫的構(gòu)成的示意圖。圖7是作為在制作基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫的時(shí)候所使用的光學(xué)系統(tǒng)的一個(gè)例子而表示偏振光干涉儀的圖。圖8是表示施加電壓與相位調(diào)制量的關(guān)系的具體例子的圖表。圖9是表示液晶層的溫度變化量δ(℃)與相位調(diào)制量的變動(dòng)量γ(%)的關(guān)系的一個(gè)例子的圖表。圖10是從施加電壓與相位調(diào)制量的關(guān)系導(dǎo)出DA輸入值與控制相位值的關(guān)系的圖表。圖11是以橫軸為相位調(diào)制量、以縱軸為DA輸入值來表示圖10所表示的相位調(diào)制量與DA輸入值的關(guān)系的圖表。圖12是表示一個(gè)實(shí)施方式所涉及的空間光調(diào)制方法的流程圖。圖13是表示第1變形例的空間光調(diào)制裝置的構(gòu)成的方塊圖。圖14是表示第1變形例所涉及的空間光調(diào)制方法的流程圖。圖15是表示第2變形例的空間光調(diào)制裝置的構(gòu)成的方塊圖。圖16是表示第3變形例的空間光調(diào)制裝置的構(gòu)成的方塊圖。圖17是表示第3變形例所涉及的空間光調(diào)制方法的流程圖。圖18是表示專利文獻(xiàn)1所記載的裝置的構(gòu)成的方塊圖。圖19是表示專利文獻(xiàn)2所記載的液晶面板驅(qū)動(dòng)裝置的構(gòu)成的方塊圖。圖20是表示專利文獻(xiàn)3所記載的液晶顯示裝置的構(gòu)成的方塊圖。圖21是表示專利文獻(xiàn)3所表示的液晶顯示裝置的反射模式用查詢表的構(gòu)成的一個(gè)例子的圖表。具體實(shí)施方式以下,一邊參照附圖一邊對本發(fā)明的空間光調(diào)制裝置以及空間光調(diào)制方法的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)的說明。還有,在附圖的說明中將相同的符號(hào)標(biāo)注于相同的要素,省略重復(fù)的說明。圖1是概略性地表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的空間光調(diào)制裝置1A的構(gòu)成的方塊圖。如圖1所示,本實(shí)施方式的空間光調(diào)制裝置1A具備相位調(diào)制部10。相位調(diào)制部10是具有液晶被形成于硅基板之上的構(gòu)成的、反射型的液晶顯示面板(所謂LCS-SLM)。該相位調(diào)制部10調(diào)制入射光的相位。另外,空間光調(diào)制裝置1A具備電壓生成部50A。電壓生成部50A由驅(qū)動(dòng)裝置20A以及控制裝置30A所構(gòu)成。相位調(diào)制部10、驅(qū)動(dòng)裝置20A以及控制裝置30A分別被容納于互相獨(dú)立的框體。圖2(a)是表示相位調(diào)制部10的構(gòu)成的一部分的側(cè)截面圖。相位調(diào)制部10具有硅基板11、被設(shè)置于硅基板11上的液晶層12。另外,相位調(diào)制部10進(jìn)一步具有被配置于硅基板11與液晶層12之間的第1電極13、以及在將液晶層12夾持于與該第1電極13之間的位置上設(shè)置的第2電極14。第1電極13具有用于將電壓施加于液晶層12的多個(gè)像素電極13a。多個(gè)像素電極13a遍及多行以及多列而被配置成二維狀,由這些像素電極13a規(guī)定相位調(diào)制部10的多個(gè)像素。第2電極14由被蒸鍍于玻璃基板15的一個(gè)面上的金屬膜所構(gòu)成。玻璃基板15以上述一個(gè)面與硅基板11相對的方式經(jīng)由隔離物16而被支撐于硅基板11上。液晶層12通過液晶被填充于硅基板11與玻璃基板15之間而成。在具備這樣的構(gòu)成的相位調(diào)制部10中,從驅(qū)動(dòng)裝置20A輸出的模擬信號(hào)電壓被施加于各個(gè)像素電極13a與第2電極14之間。由此,在液晶層12產(chǎn)生電場。然后,如圖2(b)所示,各個(gè)像素電極13a上的液晶分子12a對應(yīng)于該施加電場的大小而旋轉(zhuǎn)。液晶分子12a因?yàn)榫哂须p折射性,所以如果光透過玻璃基板15而入射的話,則在該光中只有與液晶分子12a的取向方向相平行的光成分,被賦予對應(yīng)于液晶分子12a的旋轉(zhuǎn)的相位差。這樣,在每個(gè)像素電極13a中光的相位被調(diào)制。另外,如后面所述,液晶分子12a所具有的雙折射率與向像素電極13a的施加電壓的關(guān)系由于液晶層12的溫度變化而發(fā)生變動(dòng)。本實(shí)施方式的相位調(diào)制部10為了修正由這樣的溫度變化引起的變動(dòng)部分而進(jìn)一步具有溫度傳感器17。溫度傳感器17是為了檢測相位調(diào)制部10的溫度、特別是為了檢測液晶層12的溫度而被設(shè)置的,并且生成作為對應(yīng)于液晶層12的溫度的信號(hào)的溫度信號(hào)Stemp。溫度傳感器17例如被配置于硅基板11上或玻璃基板15上。電壓生成部50A將模擬電壓提供給多個(gè)像素電極13a。圖3是表示電壓生成部50A的驅(qū)動(dòng)裝置20A以及控制裝置30A的構(gòu)成的方塊圖。如圖3所示,控制裝置30A由具有例如中央運(yùn)算處理部(CPU)31、存儲(chǔ)器32以及硬盤33的電子計(jì)算機(jī)等而被適當(dāng)?shù)貙?shí)現(xiàn)。硬盤33存儲(chǔ)所期望的相位圖案33a。相位圖案33a是用于以所期望的相位調(diào)制量對相位調(diào)制部10的每個(gè)像素進(jìn)行相位調(diào)制的數(shù)據(jù)。中央運(yùn)算處理部31以及存儲(chǔ)器32將相位圖案33a轉(zhuǎn)換成用于控制施加于相位調(diào)制部10的液晶層12的電壓值的控制輸入值(層次值)S1。還有,在相位調(diào)制部10中,相位調(diào)制量φ相對于施加電壓值V而具有非線性性。因此,在本實(shí)施方式中,能夠容易地定義將與相位調(diào)制量φ的關(guān)系作為線性來進(jìn)行處理的控制輸入值S1。例如,可以將控制輸入值S1作為從0到255的整數(shù)并使這些整數(shù)對應(yīng)于相位調(diào)制量φ(例如0~2π(rad))。控制裝置30A進(jìn)一步具有在與驅(qū)動(dòng)裝置20A之間進(jìn)行信號(hào)的授受的通信部34,控制輸入值S1經(jīng)由通信部34而被送到驅(qū)動(dòng)裝置20A的通信部21。還有,通信部34與通信部21的通信單元可以使用串行通信或并行通信等、各種的單元。另外,該通信單元可以是有線以及無線中的任一種。如圖3所示,驅(qū)動(dòng)裝置20A具有通信部21、輸入處理部22、非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件(RoadOnlyMemory:ROM)23、加法部24、相位換算部25、溫度修正部26、DA輸入值生成部27、數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換部28、以及溫度傳感器處理部29。通信部21在與控制裝置30A的通信部34之間進(jìn)行控制輸入值S1等的信號(hào)的授受。輸入處理部22根據(jù)從通信部21接收的信號(hào),產(chǎn)生用于生成垂直同步信號(hào)以及水平同步信號(hào)的觸發(fā)信號(hào)Str。非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件23是存儲(chǔ)面畸變修正圖案數(shù)據(jù)23a、溫度變化系數(shù)數(shù)據(jù)23b、多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)23c以及其系數(shù)數(shù)據(jù)23d的存儲(chǔ)單元。面畸變修正圖案數(shù)據(jù)23a是用于根據(jù)由液晶層12所賦予的相位差來修正在將像素電極13a周邊的電路元件做入到硅基板11的時(shí)候在第1電極13的表面所產(chǎn)生的面畸變的數(shù)據(jù)。溫度變化系數(shù)數(shù)據(jù)23b是與用于修正由液晶層12的溫度變化引起的、向像素電極13a的施加電壓與相位調(diào)制量的關(guān)系的變動(dòng)的系數(shù)相關(guān)的數(shù)據(jù)。多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)23c以及其系數(shù)數(shù)據(jù)23d是用于修正液晶層12的非線性性、即賦予各個(gè)像素電極13a的電壓的大小與相位調(diào)制量之間的非線性性的數(shù)據(jù)。還有,多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)23c以及其系數(shù)數(shù)據(jù)23d是液晶層12的溫度為基準(zhǔn)溫度的時(shí)候的數(shù)據(jù)。加法部24通過從非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件23讀出面畸變修正圖案數(shù)據(jù)23a并將面畸變修正圖案數(shù)據(jù)23a加到從控制裝置30A提供的控制輸入值S1,從而生成面畸變修正后的控制輸入值S2。加法部24將所生成的控制輸入值S2輸出到相位換算部25。相位換算部25將控制輸入值S2轉(zhuǎn)換成作為相位調(diào)制量的目標(biāo)值(相位調(diào)制量指示值)的控制相位值φT。具體來說,使用以下的數(shù)式(1)來計(jì)算控制相位值φT。還有,該控制相位值φT為對應(yīng)于目前的液晶層12的溫度T的值。[數(shù)5]φT=S2×2π/255S2=0,…,255…(1)相位換算部25將這樣生成的控制相位值φT輸出到溫度修正部26。溫度修正部26對于控制相位值φT修正由于液晶層12的溫度變化引起的調(diào)制特性的變動(dòng)部分。溫度修正部26從非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件23讀出溫度變化系數(shù)數(shù)據(jù)23b。然后,溫度修正部26通過基于該溫度變化系數(shù)數(shù)據(jù)23b和從溫度傳感器處理部29獲得的溫度值Ts而對控制相位值φT實(shí)施規(guī)定的運(yùn)算處理,從而生成在液晶層12的溫度為基準(zhǔn)溫度T0的情況下?lián)Q算的相位調(diào)制量指示值、即控制相位值φo。溫度修正部26將所生成的控制相位值φ0輸出到DA輸入值生成部27。DA輸入值生成部27從非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件23讀出多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)23c以及其系數(shù)數(shù)據(jù)23d。然后,DA輸入值生成部27使用多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)23c以及其系數(shù)數(shù)據(jù)23d,并通過對從溫度修正部26輸出的控制相位值φo實(shí)施規(guī)定的運(yùn)算處理,從而生成DA輸入值y0(施加電壓相當(dāng)值)。該DA輸入值y0是為了獲得在液晶層12的目前溫度T下將控制相位值φo作為目標(biāo)的相位值而優(yōu)選的值,并且轉(zhuǎn)換成對于向數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換部28的輸入來說優(yōu)選的值。DA輸入值生成部27將所生成的DA輸入值y0輸出到數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換部28。數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換部28根據(jù)DA輸入值y0產(chǎn)生施加于相位調(diào)制部10的各個(gè)像素的每個(gè)像素的模擬電壓V。這些模擬電壓V通過驅(qū)動(dòng)單元28a而被輸出到相位調(diào)制部10,并被施加于各個(gè)像素電極13a(參照圖2)。在相位調(diào)制部10中,液晶分子12a(參照圖2)的傾斜對應(yīng)于施加電壓V的大小而發(fā)生變化,并產(chǎn)生折射率的變化。其結(jié)果,空間性地顯現(xiàn)對應(yīng)于所期望的相位圖案33a的相位分布,從而入射光的相位被調(diào)制。溫度傳感器處理部29從相位調(diào)制部10的溫度傳感器17接收與液晶層12的目前的溫度相關(guān)的溫度信號(hào)Stemp。溫度傳感器處理部29將從該溫度信號(hào)Stemp讀取的液晶層12的溫度值Ts提供給溫度修正部26。還有,存儲(chǔ)在驅(qū)動(dòng)裝置20A的非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件23中的面畸變修正圖案數(shù)據(jù)23a、溫度變化系數(shù)數(shù)據(jù)23b、多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)23c以及其系數(shù)數(shù)據(jù)23d的全部或者一部分也可以被存儲(chǔ)在控制裝置30A的硬盤33中。在此情況下,加法部24、相位換算部25、溫度修正部26以及DA輸入值生成部27的全部或者一部分的功能可以由中央運(yùn)算處理部31以及存儲(chǔ)器32實(shí)現(xiàn)。在此,對溫度變化系數(shù)23b的計(jì)算方法進(jìn)行說明。圖4是表示其計(jì)算方法的流程圖。另外,圖5是表示向像素電極13a的施加電壓V與相位調(diào)制量φ的關(guān)系的一個(gè)例子的圖表。在圖5中,表示有液晶層12的溫度為基準(zhǔn)溫度T0的時(shí)候的曲線G11、為在空間光調(diào)制裝置1A的使用環(huán)境中設(shè)想的最高溫度Tmax的時(shí)候的曲線G12、以及為在空間光調(diào)制裝置1A的使用環(huán)境中設(shè)想的最低溫度Tmin的時(shí)候的曲線G13。還有,溫度變化系數(shù)數(shù)據(jù)23b的計(jì)算例如可以在空間光調(diào)制裝置1A的檢查時(shí)等進(jìn)行。首先,基于在液晶層12中設(shè)想的最高溫度Tmax、以及在最高溫度Tmax的時(shí)候相位調(diào)制部10所要求的最大相位調(diào)制量φmax,設(shè)定向像素電極13a的施加電壓的范圍(步驟S11)。還有,在以下的說明中,為了容易理解,將最大相位調(diào)制量φmax設(shè)定為2π(rad)。另外,將在本步驟S11中設(shè)定的施加電壓范圍A的最大值設(shè)為Vb,將最小值(即對應(yīng)于最大相位調(diào)制量φmax的電壓值)設(shè)為Va(參照圖5)。接著,基于預(yù)先準(zhǔn)備的數(shù)據(jù)庫(以下,稱為基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫),算出在上述步驟S11中設(shè)定的施加電壓范圍A(Va~Vb)中的、伴隨著液晶層12的溫度變化的相位調(diào)制特性的變動(dòng)量(步驟S12)。在此,圖6是概念性地表示基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫的構(gòu)成的圖。基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫41在液晶層12的溫度范圍Tmin~Tmax中包括對包含于該溫度范圍的離散的溫度值組的每個(gè)溫度準(zhǔn)備的多個(gè)數(shù)據(jù)(表示施加電壓V與相位調(diào)制量φ的關(guān)系的數(shù)據(jù))。還有,在這些多個(gè)數(shù)據(jù)中,如圖6所示,包括表示基準(zhǔn)溫度T0的時(shí)候的施加電壓V與相位調(diào)制量φ的關(guān)系的基準(zhǔn)時(shí)數(shù)據(jù)41a、表示液晶層12的溫度為最大溫度Tmax的時(shí)候的施加電壓V與相位調(diào)制量φ的關(guān)系的高溫時(shí)數(shù)據(jù)41b、表示液晶層12的溫度為最低溫度Tmin的時(shí)候的施加電壓V與相位調(diào)制量φ的關(guān)系的低溫時(shí)數(shù)據(jù)41c。在包含這些數(shù)據(jù)41a~41c并且包含于基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫41中的多個(gè)數(shù)據(jù)中,施加電壓V與相位調(diào)制量φ的關(guān)系全部是非線性。在本步驟S12中,使用這樣的基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫41,遍及施加電壓范圍A(Va~Vb)的全部范圍地計(jì)算出伴隨著液晶層12的溫度變化的相位調(diào)制特性的變動(dòng)量。在此,圖7是作為在制作基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫的時(shí)候所使用的光學(xué)系統(tǒng)的一個(gè)例子而表示偏振干涉儀100的圖。該偏振干涉儀100具備溫度控制裝置101、半透半反鏡102、透鏡103、檢偏鏡104、偏振光鏡105、光源106、以及受光元件107。溫度控制裝置101是用于將相位調(diào)制部10的液晶層12的溫度控制為任意的溫度的裝置。光源106產(chǎn)生規(guī)定波長的光。該規(guī)定波長的光經(jīng)由偏振光鏡105以及半透半反鏡102而入射到相位調(diào)制部10。受光元件107檢測來自相位調(diào)制部10的出射光的光強(qiáng)度。來自相位調(diào)制部10的出射光在半透半反鏡102上反射,之后,經(jīng)由透鏡103以及光檢子104而到達(dá)受光元件107。光檢子104相對于偏振光鏡105處于越過尼科爾(crossedNichol)或者打開尼科爾(opendNichol)的關(guān)系。在制作基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫的時(shí)候,首先,將相位調(diào)制部10容納于溫度控制裝置101,并將相位調(diào)制部10的液晶層12控制為任意的溫度。然后,在液晶層12的溫度在規(guī)定的溫度下穩(wěn)定之后,在能夠施加于液晶層12的全部電壓范圍內(nèi)一邊使施加電壓變化一邊將該電壓施加于像素電極13a,并測量由其電場所產(chǎn)生的入射光與出射光的相位差。具體來說,由偏振光鏡105生成相對于液晶層12的取向方向平行的直線偏振光的光,并使該光入射到相位調(diào)制部10。此時(shí),對應(yīng)于向像素電極13a的施加電壓的大小,在來自相位調(diào)制部10的出射光中產(chǎn)生相位調(diào)制(相位延遲)。然后,在該出射光通過檢偏鏡104的時(shí)候,因?yàn)樵摍z偏鏡104相對于偏振光鏡105處于越過尼科爾(或者打開尼科爾)的關(guān)系,所以其光強(qiáng)度對應(yīng)于出射光的相位調(diào)制而發(fā)生變化。因此,根據(jù)在受光元件107檢測的光強(qiáng)度和此時(shí)的施加電壓值,恰當(dāng)?shù)孬@得施加電壓與相位調(diào)制量的關(guān)系、即液晶層12的溫度為規(guī)定溫度時(shí)的基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫。還有,圖8是表示如上所述獲得的施加電壓與相位調(diào)制量的關(guān)系的具體例子的圖表,曲線G21表示液晶層12的溫度為20度(最低溫度Tmin)的情況,曲線G22表示液晶層12的溫度為27度(基準(zhǔn)溫度T0)的情況,G23表示液晶層12的溫度為42度(最高溫度Tmax)的情況。另外,在該圖表中,施加電壓范圍A中的最小電壓Va(即,相位調(diào)制量成為2π(rad)的施加電壓)為1.56(V)。如果參照圖8的話,則能夠了解到在液晶層12的溫度為基準(zhǔn)溫度T0的情況下,作為相對于最大電壓Vb的相位調(diào)制量φ而獲得2.56π(rad),在最低溫度Tmin的情況下,作為相對于最大電壓Vb的相位調(diào)制量φ而獲得2.79π(rad)。如以上所述,在本步驟S12中,在液晶層12的每個(gè)溫度,遍及能夠施加于液晶層12的全部電壓范圍而測量相位調(diào)制量φ,將其結(jié)果匯總于每個(gè)溫度的表格中。還有,在相位調(diào)制部10中,因?yàn)樵O(shè)定電壓范圍A(Va~Vb)由于入射光的波長而不同,所以相位調(diào)制量φ也由于入射光的波長而不同。然而,在本實(shí)施方式中,通過使用基準(zhǔn)波長的入射光來僅進(jìn)行一次上述步驟S12,并相對于其結(jié)果所獲得的基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫應(yīng)用以下的轉(zhuǎn)換式,從而能夠獲得別的波長下的基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫。即,在將基準(zhǔn)波長設(shè)為λstandard,將顯示層次值tv的時(shí)候的相位調(diào)制量設(shè)為φstandard(tv)的時(shí)候,或者波長λ的時(shí)候的相位調(diào)制量φ(tv)由以下的數(shù)式(2)來求得。[數(shù)6]還有,在上式(2)中,也可以進(jìn)一步考慮液晶層12的波長分散特性。然后,將根據(jù)上述方法求得的與每個(gè)溫度的相位調(diào)制量φ相關(guān)的表轉(zhuǎn)換成與相位調(diào)制量的變化量γ相關(guān)的表。即,如果將在相位調(diào)制部10為溫度T的時(shí)候所獲得的相位調(diào)制量設(shè)為φT,將在相位調(diào)制部10為基準(zhǔn)溫度T0的時(shí)候所獲得的相位調(diào)制量設(shè)為φ0的話,則能夠由以下的數(shù)式(3)來算出相位調(diào)制量的變動(dòng)量γ。[數(shù)7]如圖4所示,在上述步驟S12中算出伴隨著液晶層12的溫度變化的相位調(diào)制量的變動(dòng)量γ之后,使用該算出的變動(dòng)量γ,算出包含于溫度變化系數(shù)數(shù)據(jù)23b的溫度變化系數(shù)α(步驟S13)。在此,圖9是表示基于由步驟S12獲得的數(shù)據(jù)的、液晶層12的溫度變化量δ(℃)與相位調(diào)制量的變動(dòng)量γ的關(guān)系的一個(gè)例子的圖表。還有,溫度變化量δ為基準(zhǔn)溫度T0與溫度T的差(T-T0)。如果參照圖9的話,則可以了解到液晶層12的溫度變化量δ與相位調(diào)制量的變動(dòng)量γ基本上為比例關(guān)系,并且能夠以一次函數(shù)G24近似。這樣的近似在將施加電壓范圍限定于圖8所示的施加電壓范圍A、即能夠作為一次函數(shù)近似的規(guī)定范圍內(nèi)的情況下成為可能。在本步驟S13中,求得該比例關(guān)系下的以下的近似式(4)的常數(shù)α。[數(shù)8]γ=αβ+c…(4)該常數(shù)α為作為溫度變化系數(shù)數(shù)據(jù)23b的溫度變化系數(shù)α。換言之,所謂溫度變化系數(shù)α,是由某一個(gè)系數(shù)表示伴隨著液晶層12的溫度變化的相位調(diào)制特性變化的系數(shù)。溫度修正部26例如由以下那樣的運(yùn)算來生成在液晶層12的溫度為基準(zhǔn)溫度T0的情況下進(jìn)行換算的相位調(diào)制量指示值、即控制相位值φ0。接著,在相位調(diào)制部10的溫度為某溫度T的情況下,通過將電壓V施加于像素電極13a從而可以獲得某相位調(diào)制量φT。在相位調(diào)制部10的溫度為基準(zhǔn)溫度T0的情況下,將相同電平的電壓V施加于像素電極13a的時(shí)候所獲得的相位調(diào)制量(控制相位值)φ0由包含上述的溫度變化系數(shù)α的以下的數(shù)式(5)進(jìn)行求得。[數(shù)9]接著,對多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)23c以及其系數(shù)數(shù)據(jù)23d的導(dǎo)出方法進(jìn)行說明。還有,多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)23c以及其系數(shù)數(shù)據(jù)23d的導(dǎo)出方法例如可以在空間光調(diào)制裝置1A的檢查時(shí)等進(jìn)行。圖10是從例如圖8所示的施加電壓V與相位調(diào)制量φ0的關(guān)系導(dǎo)出DA輸入值y0與控制相位值φ0的關(guān)系的圖表。該圖表能夠通過由以下所示的數(shù)式(6)將施加電壓V轉(zhuǎn)換成DA輸入值y0而適當(dāng)?shù)貙?dǎo)出。其中,在數(shù)式(6)中,M為全層次值,i為從0到M-1的整數(shù)。[數(shù)10]還有,這樣算出的DA輸入值y0是全層次值M(即層次值0~M-1)的數(shù)字信號(hào)。在一個(gè)例子中,M=4096。接著,如圖11所示,以相位調(diào)制量φ0為橫軸并以DA輸入值y0為縱軸而表示圖10所示的相位調(diào)制量φ0與DA輸入值y0的關(guān)系。該圖表中的相位調(diào)制量φ0與DA輸入值y0的關(guān)系能夠使用以下的多項(xiàng)近似式(7)來進(jìn)行表現(xiàn)。還有,在數(shù)式(7)中,x0~xm為多項(xiàng)近似式的系數(shù),m為多項(xiàng)式的次數(shù)。[數(shù)11]y0=xmφ0m+xm-1φ0m-1+…+x1φ0+x0…(7)以該數(shù)式(7)作為多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)23,另外,系數(shù)x0~xm作為多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)的系數(shù)數(shù)據(jù)23d的方式,分別被存儲(chǔ)于非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件23。DA輸入值生成部27基于這樣獲得的多項(xiàng)近似式(7)以及其系數(shù)x0~xm,根據(jù)從溫度修正部26輸出的控制相位值φ0算出DA輸入值y0。即,該DA輸入值y0是為了獲得在液晶層12的目前溫度T下作為目標(biāo)的相位調(diào)制量φT而優(yōu)選的值,并且是對于向數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換部28的輸入而言優(yōu)選的值。接著,一邊參照圖12一邊說明使用溫度變化系數(shù)α、多項(xiàng)近似式(7)以及其系數(shù)x0~xm的本實(shí)施方式的空間光調(diào)制方法。圖12是表示本實(shí)施方式的空間光調(diào)制方法的流程圖。首先,存儲(chǔ)在硬盤33中的相位圖案33a在控制裝置30A中被轉(zhuǎn)換成控制輸入值S1,該控制輸入值S1從控制裝置30A被傳送到驅(qū)動(dòng)裝置20A(步驟S21)。接著,該控制輸入值S1和存儲(chǔ)在驅(qū)動(dòng)裝置20A的非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件23中的面畸變修正圖案數(shù)據(jù)23a在加法部24中被相加,生成控制輸入值S2(步驟S22)。然后,基于控制輸入值S2,在相位換算部25中生成作為相位調(diào)制部10中的相位調(diào)制量的目標(biāo)值的控制相位值φT(步驟S23)。另外,由溫度傳感器17檢測的相位調(diào)制部10的目前的溫度被溫度傳感器處理部29讀出(步驟S24,溫度取得步驟)。還有,該步驟S24也可以與上述步驟S21~S23并行地進(jìn)行。接著,將存儲(chǔ)在非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件23中的溫度變化系數(shù)數(shù)據(jù)23b、由溫度傳感器處理部29讀出的目前的溫度值Ts、以及控制相位值φT提供給溫度修正部26。在溫度修正部26中,使用上述的數(shù)式(5),運(yùn)算由液晶層12的溫度變化引起的影響被修正了(基準(zhǔn)溫度T0的時(shí)候的)的控制相位值φ0(步驟S25,修正運(yùn)算步驟)。接著,將存儲(chǔ)在非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件23中的多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)23c以及其系數(shù)數(shù)據(jù)23d提供給DA輸入值生成部27。DA輸入值生成部27中,使用多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)23c所表示的數(shù)式(上述的數(shù)式(7)),運(yùn)算為了獲得控制相位值φT而優(yōu)選的DA輸入值y0(步驟S26,DA輸入運(yùn)算步驟)。然后,施加于相位調(diào)制部10的各個(gè)像素的每個(gè)像素的模擬電壓V在數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換部28中根據(jù)DA輸入值y0而被生成(步驟S27)。這些模擬電壓V被送往驅(qū)動(dòng)單元28a。然后,這些模擬電壓V從驅(qū)動(dòng)單元28a被輸出至相位調(diào)制部10,并被施加于各個(gè)像素電極13a(步驟S28,電壓施加步驟)。在相位調(diào)制部10中,液晶分子12a的傾斜對應(yīng)于施加電壓V的大小而發(fā)生變化,并產(chǎn)生折射率的變化。其結(jié)果,空間性地顯現(xiàn)對應(yīng)于所期望的相位圖案33a的相位分布,從而調(diào)制入射光的相位(步驟S29)。接著,對由以上所說明的本實(shí)施方式的空間光調(diào)裝置1A以及空間光調(diào)制方法所獲得的效果進(jìn)行說明。在該空間光調(diào)裝置1A以及空間光調(diào)制方法中,驅(qū)動(dòng)裝置20A的非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件23存儲(chǔ)包含于表示液晶層12的溫度變化量與液晶層12中的相位調(diào)制量的變動(dòng)量的相關(guān)的函數(shù)(第1函數(shù))中的一個(gè)系數(shù)α。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)了通過預(yù)先求得表示液晶層12的溫度變化量與相位調(diào)制量的變動(dòng)量的關(guān)系的函數(shù)(參照上述數(shù)式(4))并存儲(chǔ)其系數(shù)α,從而無需使用大量的LUT就能夠恰當(dāng)?shù)匦拚捎跍囟茸兓鸬南辔徽{(diào)制量的變動(dòng)。即,在該空間光調(diào)制裝置1A以及空間光調(diào)制方法中,驅(qū)動(dòng)裝置20A使用從溫度傳感器17提供的溫度信號(hào)Stemp所表示的溫度和上述一個(gè)系數(shù)α,進(jìn)行用于修正施加電壓V的大小的運(yùn)算。由此,能夠減小必要的存儲(chǔ)容量,并且能夠提供制作容易的空間光調(diào)裝置以及空間光調(diào)制方法。再有,與使用作為離散的數(shù)據(jù)的集合的LUT的情況不同,對應(yīng)于液晶層12的溫度變化能夠連續(xù)地獲得對應(yīng)于所期望的相位調(diào)制量的施加電壓值。因此,例如可以以1℃或0.1℃之類的小的溫度間隔來修正相位調(diào)制特性,并且能夠提高相對于所期望的相位調(diào)制量的施加電壓值的精度。另外,在該空間光調(diào)制裝置中,驅(qū)動(dòng)裝置20A的非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件23存儲(chǔ)包含于表示施加電壓與相位調(diào)制量的相關(guān)的非線性函數(shù)(參照上述數(shù)式(6))中的多個(gè)系數(shù)x0~xm。因?yàn)槭┘与妷号c相位調(diào)制量的關(guān)系是非線性,所以,一直以來,為了將相位調(diào)制量指示值換算成施加電壓而多使用LUT。但是,在LUT中,例如在相對于液晶層12為高溫的時(shí)候的相位調(diào)制量0~2π(rad)使輸入值0,1,……255之類的整數(shù)值對應(yīng)的情況下,在液晶層12為低溫的時(shí)候,相對于相位調(diào)制量0~2π(rad)對應(yīng)的輸入值變少(例如0,1,……200)。這樣,在使用了LUT的情況下,會(huì)產(chǎn)生分配到輸入值的最小單位的相位調(diào)制量由于溫度而不同的問題。相對于此,根據(jù)本實(shí)施方式的空間光調(diào)制裝置1A以及空間光調(diào)制方法,通過預(yù)先求得處于非線性的關(guān)系的施加電壓與相位調(diào)制量的函數(shù),并與上述的系數(shù)α一起使用其系數(shù)x0~xm,從而不管液晶層12的溫度如何,均能夠一直將控制輸入值與相位調(diào)制量的關(guān)系保持為一定。另外,在本實(shí)施方式的空間光調(diào)制裝置1A以及空間光調(diào)制方法中,溫度修正部26使用作為液晶層12的溫度變化量δ與相位調(diào)制量的變動(dòng)量γ的比例系數(shù)的溫度變化系數(shù)α,修正控制相位值。發(fā)明人們發(fā)現(xiàn)了,如圖9所示,溫度變化量δ與相位調(diào)制量的變動(dòng)量γ在某施加電壓范圍A內(nèi)具有顯著的比例關(guān)系(成為一次函數(shù))。通過使用該傾斜(溫度變化系數(shù))α,從而無需存儲(chǔ)大量的數(shù)據(jù)就能夠極其容易地修正控制相位值。即,根據(jù)該空間光調(diào)裝置1A以及空間光調(diào)制方法,能夠容易地修正由于液晶層12的溫度變化引起的相位調(diào)制量的變動(dòng)。在本實(shí)施方式中,面畸變修正圖案數(shù)據(jù)23a被存儲(chǔ)在驅(qū)動(dòng)裝置20A的非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件23中。但是,面畸變修正圖案數(shù)據(jù)也可以被存儲(chǔ)在控制裝置30A的硬盤33中。在此情況下,加法部24的功能可以由控制裝置30B的中央運(yùn)算處理部31以及存儲(chǔ)器32來實(shí)現(xiàn)。另外,在本實(shí)施方式中,所期望的相位圖案33a被存儲(chǔ)在控制裝置30A的硬盤33中。但是,所期望的相位圖案也可以被存儲(chǔ)在驅(qū)動(dòng)裝置20A的非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件23中。即使是在該情況下,控制裝置30A也具有將為了生成為了驅(qū)動(dòng)相位調(diào)制部10所必要的垂直同步信號(hào)以及水平同步信號(hào)而使用的觸發(fā)信號(hào)Str提供給驅(qū)動(dòng)裝置20A的作用。另外,在本實(shí)施方式中,分別具有相位調(diào)制部10、驅(qū)動(dòng)裝置20A以及控制裝置30A互相獨(dú)立的框體。但是,相位調(diào)制部10以及驅(qū)動(dòng)裝置20A也可以被容納于共同的框體內(nèi)?;蛘撸辔徽{(diào)制部10、驅(qū)動(dòng)裝置20A以及控制裝置30A也可以全部被容納于共同的框體內(nèi)。另外,在本實(shí)施方式中,相位調(diào)制部10也可以進(jìn)一步具有能夠控制液晶層12的溫度的單元(例如風(fēng)扇或半導(dǎo)體致冷元件(Peltierelement)等)。由此,因?yàn)槟軌驕p小液晶層12的溫度變化的范圍,所以例如可以由溫度修正部26修正相對于基準(zhǔn)溫度T0為數(shù)℃的變動(dòng),并且能夠更加高精度地修正由于液晶層12的溫度變化引起的相位調(diào)制量的變動(dòng)。另外,在本實(shí)施方式中,溫度修正部26基于數(shù)式(5)來修正控制輸入值。但是,由于施加于像素電極13a的電壓的范圍的幅度,會(huì)有溫度變化量δ與相位調(diào)制量的變動(dòng)量γ的關(guān)系成為非線性的情況。在此情況下,可以取代上述的步驟S13的數(shù)式(4)的系數(shù)α,求得該非線性的關(guān)系中的以下的近似式(8)的系數(shù)β1~βn。[數(shù)12]γ=βnδn+···+β1δ+c…(8)然后,也可以將這些多個(gè)系數(shù)β1~βn作為溫度變化系數(shù)數(shù)據(jù)23b的溫度變化系數(shù)。另外,溫度修正部26可以取代上述的溫度修正式(5)而使用以下的溫度修正式(9)來運(yùn)算由液晶層12的溫度變化引起的影響被修正了的控制相位值φ0。還有,在數(shù)式(9)中,T為相位調(diào)制部10的目前溫度,T0為相位調(diào)制部10的基準(zhǔn)溫度(一個(gè)例子中,檢查時(shí)的溫度),φT為在目前溫度T下用于獲得所期望的相位調(diào)制量的控制相位值。[數(shù)13]通過使用這樣的非線性系數(shù)來進(jìn)行溫度修正,從而不管液晶層12的溫度變化,可以以更高的精度(例如以相位1°單位、0.1°單位、或者0.01°單位)進(jìn)行相位調(diào)制。(第1變形例)圖13是表示上述實(shí)施方式的第1變形例的空間光調(diào)制裝置1B的構(gòu)成的方塊圖。如圖13所示,本變形例所涉及的空間光調(diào)制裝置1B除了相位調(diào)制部10之外還具備作為電壓生成部的驅(qū)動(dòng)裝置20B以及控制裝置30B。還有,對于相位調(diào)制部10的構(gòu)成,因?yàn)榕c上述實(shí)施方式的相位調(diào)制部10的構(gòu)成相同,所以省略詳細(xì)的說明??刂蒲b置30B與上述實(shí)施方式的控制裝置30A相同,例如由具有中央運(yùn)算處理部31、存儲(chǔ)器32以及硬盤33的電子計(jì)算機(jī)等而被適當(dāng)?shù)貙?shí)現(xiàn)。但是,在本變形例中,硬盤33除了所期望的相位圖案33a之外還存儲(chǔ)面畸變修正圖案33b、溫度變化系數(shù)數(shù)據(jù)33c、多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)33d以及其系數(shù)數(shù)據(jù)33e。面畸變修正圖案33b為相當(dāng)于上述實(shí)施方式的面畸變修正圖案數(shù)據(jù)23a的數(shù)據(jù),并且是用于根據(jù)由液晶層12賦予的相位差修正在將像素電極13a周邊的電路元件做入到硅基板11的時(shí)候在第1電極13的表面所產(chǎn)生的面畸變的數(shù)據(jù)。另外,溫度變化系數(shù)數(shù)據(jù)33c為相當(dāng)于上述實(shí)施方式的溫度變化系數(shù)數(shù)據(jù)23b的數(shù)據(jù),并且是與用于修正由于液晶層12的溫度變化引起的、向像素電極13a的施加電壓與相位調(diào)制量的關(guān)系的變動(dòng)的系數(shù)相關(guān)的數(shù)據(jù)。多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)33d以及其系數(shù)數(shù)據(jù)33e為相當(dāng)于上述施方式的多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)23c以及其系數(shù)數(shù)據(jù)23d的數(shù)據(jù),并且是用于修正液晶層12的非線性性、即賦予各個(gè)像素電極13a的電壓的大小與相位調(diào)制量之間的非線性性的數(shù)據(jù)。中央運(yùn)算處理部31,如圖13所示,通過將存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器32中的規(guī)定的程序讀入到加法部32a、相位換算部32b、溫度修正部32c、DA輸入值生成部32d、溫度讀出命令部32e而實(shí)現(xiàn)。加法部32a通過從硬盤33讀出相位圖案33a以及面畸變修正圖案數(shù)據(jù)33b,并將它們互相相加,從而生成控制輸入值S3。相位換算部32b使用上述的數(shù)式(1),將控制輸入值S3轉(zhuǎn)換成作為相位調(diào)制部10中的相位調(diào)制量的目標(biāo)值的控制相位值φT。溫度讀出命令部32e生成用于在驅(qū)動(dòng)裝置20B要求與液晶層12的溫度相關(guān)的數(shù)據(jù)的信號(hào)Sr。該信號(hào)Sr經(jīng)由通信部34而被送到驅(qū)動(dòng)裝置20B的溫度傳感器處理部29。溫度修正部32c從硬盤33讀出溫度變化系數(shù)數(shù)據(jù)33c并且從驅(qū)動(dòng)裝置20B接收相位調(diào)制部10的目前的溫度值Ts,并以這些數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)來修正控制相位值φT從而算出控制相位值φ0。還有,該修正運(yùn)算與在上述實(shí)施方式中溫度修正部26所進(jìn)行的運(yùn)算相同。DA輸入值生成部32d從硬盤33讀出多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)33d以及其系數(shù)數(shù)據(jù)33e,并從控制相位值φ0算出DA輸入值y0。DA輸入值生成部32d經(jīng)由通信部34將DA輸入值y0提供給驅(qū)動(dòng)裝置20B。驅(qū)動(dòng)裝置20B具有通信部21、輸入處理部22、數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換部28、以及溫度傳感器處理部29。這些構(gòu)成以及動(dòng)作與上述實(shí)施方式相同。還有,本變形例的驅(qū)動(dòng)裝置20B不具有上述實(shí)施方式的非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件23、加法部24、溫度修正部26、以及DA輸入值生成部27。這些要素包含于已經(jīng)敘述的控制裝置30B。圖14是表示本變形例所涉及的空間光調(diào)制方法的流程圖。以下,參照圖14,對本變形例所涉及的空間光調(diào)制方法以及空間光調(diào)制裝置1B的動(dòng)作進(jìn)行說明。首先,存儲(chǔ)在硬盤33中的相位圖案33a以及面畸變修正圖案數(shù)據(jù)33b被讀出至中央運(yùn)算處理部31,并且它們被彼此相加,從而生成控制輸入值S3(步驟S31)。然后,基于控制輸入值S3,在相位換算部32b中生成作為相位調(diào)制部10中的相位調(diào)制量的目標(biāo)值的控制相位值φT(步驟S32)。另外,與由溫度傳感器17檢測出的液晶層12的目前的溫度相關(guān)的溫度信號(hào)Stemp被送到溫度傳感器處理部29,溫度信號(hào)Stemp所表示的溫度值Ts經(jīng)由通信部34而被送到中央運(yùn)算處理部31(步驟S33,溫度取得步驟)。還有,該步驟S33也可以與上述步驟S31以及S32并行地進(jìn)行。接著,存儲(chǔ)在硬盤33中的溫度變化系數(shù)數(shù)據(jù)33c和目前的溫度值Ts被讀出至中央運(yùn)算處理部31,通過相對于控制輸入值S3進(jìn)行上述的數(shù)式(5)所表示的運(yùn)算,從而算出由液晶層12的溫度變化引起的影響被修正了的(基準(zhǔn)溫度T0的時(shí)候的)控制相位值φ0(步驟S34,修正運(yùn)算步驟)。接著,存儲(chǔ)在硬盤33中的多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)33d以及其系數(shù)數(shù)據(jù)33e被提供給DA輸入值生成部32d。DA輸入值生成部32d中,使用多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)33d所表示的數(shù)式(上述的數(shù)式(7)),算出為了獲得控制相位值φT而優(yōu)選的DA輸入值y0(步驟S35,DA輸入運(yùn)算步驟)。該DA輸入值y0從控制裝置30B被傳送到驅(qū)動(dòng)裝置20B(步驟S36)。然后,施加到相位調(diào)制部10的各個(gè)像素的每個(gè)像素的模擬電壓V在數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換部28中基于DA輸入值y0而被生成(步驟S37)。這些模擬電壓V被送到驅(qū)動(dòng)單元28a。然后,這些模擬電壓V從驅(qū)動(dòng)單元28a被輸出到相位調(diào)制部10,并被施加于各個(gè)像素電極部13a(步驟S38,電壓施加步驟)。在相位調(diào)制部10中,液晶分子12a的傾斜對應(yīng)于施加電壓V的大小而發(fā)生變化,并產(chǎn)生折射率的變化。其結(jié)果,空間性地顯現(xiàn)對應(yīng)于所期望的相位圖案33a的相位分布,從而入射光的相位被調(diào)制(步驟S39)。根據(jù)以上所說明的本變形例所涉及的空間光調(diào)制裝置1B以及空間光調(diào)制方法,因?yàn)榕c上述實(shí)施方式相同,溫度修正部32c使用溫度變化系數(shù)來修正控制相位值,所以能夠容易地修正由于液晶層12的溫度變化引起的相位調(diào)制量的變動(dòng)。再有,能夠減小必要的存儲(chǔ)容量,制作變得容易并且能夠提高相對于所期望的相位調(diào)制量的施加電壓值的精度。另外,因?yàn)轭A(yù)先存儲(chǔ)處于非線性的關(guān)系的施加電壓與相位調(diào)制量的函數(shù),并與上述的溫度變化系數(shù)一起使用其系數(shù),所以不管液晶層12的溫度,均能夠一直將控制輸入值與相位調(diào)制量的關(guān)系保持為一定。(第2變形例)圖15是表示上述實(shí)施方式的第2變形例的空間光調(diào)制裝置1C的構(gòu)成的方塊圖。如圖15所示,本變形例所涉及的空間光調(diào)制裝置1C具備相位調(diào)制部10、作為電壓生成部的驅(qū)動(dòng)裝置20C。其中,關(guān)于相位調(diào)制部10的構(gòu)成,與上述實(shí)施方式的相位調(diào)制部10的構(gòu)成相同。驅(qū)動(dòng)裝置20C具有控制部42??刂撇?2例如由具有中央運(yùn)算處理部(CPU)、存儲(chǔ)器以及硬盤的電子計(jì)算機(jī)等而被適當(dāng)?shù)貙?shí)現(xiàn)。另外,驅(qū)動(dòng)裝置20C具有輸入處理部22、非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件23、加法部24、相位換算部25、溫度修正部26、DA輸入值生成部27、數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換部28、以及溫度傳感器處理部29。輸入處理部22基于從控制部42接收的信號(hào),產(chǎn)生用于生成垂直同步信號(hào)以及水平同步信號(hào)的觸發(fā)信號(hào)Str。非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件23除了面畸變修正圖案數(shù)據(jù)23a、溫度變化系數(shù)數(shù)據(jù)23b、多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)23c以及其系數(shù)數(shù)據(jù)23d之外,還存儲(chǔ)所期望的相位圖案23e。相位圖案23e相當(dāng)于上述實(shí)施方式中的相位圖案33a。加法部24通過從非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件23讀出面畸變修正圖案數(shù)據(jù)23a以及相位圖案23e并將它們彼此相加,從而生成面畸變修正后的控制輸入值S4。相位換算部25使用上述的數(shù)式(1),將控制輸入值S4轉(zhuǎn)換成作為相位調(diào)制部10中的相位調(diào)制量的目標(biāo)值的控制相位值φT。溫度修正部26通過根據(jù)溫度變化系數(shù)數(shù)據(jù)23b和從溫度傳感器處理部29獲得的溫度值Ts,對控制相位值φT實(shí)施規(guī)定的運(yùn)算處理,從而生成溫度修正后的控制相位值φo。DA輸入值生成部27使用多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)23c以及其系數(shù)數(shù)據(jù)23d,從控制相位值φo算出DA輸入值y0。數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換部28根據(jù)DA輸入值y0產(chǎn)生施加于相位調(diào)制部10的各個(gè)像素的每個(gè)像素的模擬電壓V。這些模擬電壓V通過驅(qū)動(dòng)單元28a而被輸出到相位調(diào)制部10,并被施加于各個(gè)像素電極13a(參照圖2)。根據(jù)以上所說明的本變形例所涉及的空間光調(diào)制裝置1C,因?yàn)榕c上述實(shí)施方式相同,溫度修正部26使用溫度變化系數(shù)來修正控制相位值,所以能夠容易地修正由于液晶層12的溫度變化引起的相位調(diào)制量的變動(dòng)。再有,能夠減小必要的存儲(chǔ)容量,制作變得容易而且能夠提高相對于所期望的相位調(diào)制量的施加電壓值的精度。另外,因?yàn)轭A(yù)先存儲(chǔ)處于非線性的關(guān)系的施加電壓與相位調(diào)制量的函數(shù)并與上述的溫度變化系數(shù)一起使用其系數(shù),所以不管液晶層12的溫度,均能夠一直將控制輸入值與相位調(diào)制量的關(guān)系保持為一定。(第3變形例)圖16是表示上述實(shí)施方式的第3變形例的空間光調(diào)制裝置1D的構(gòu)成的方塊圖。如圖16所示,本變形例所涉及的空間光調(diào)制裝置1D具備相位調(diào)制部10、作為電壓生成部的驅(qū)動(dòng)裝置20D以及控制裝置30A。其中,關(guān)于相位調(diào)制部10以及控制裝置30A的構(gòu)成,與上述實(shí)施方式的相位調(diào)制部10的構(gòu)成相同。另外,本變形例的驅(qū)動(dòng)裝置20D除了上述實(shí)施方式的驅(qū)動(dòng)裝置20A的構(gòu)成之外,還進(jìn)一步具有非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件43。非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件43存儲(chǔ)由溫度修正部26算出的控制相位值φo、根據(jù)該控制相位值φo而由DA輸入值生成部27算出的DA輸入值y0。本變形例的溫度修正部26在算出控制相位值φo之后,將該控制相位值φo輸出至DA輸入值生成部27并且將控制相位值φo存儲(chǔ)在非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件43。DA輸入值生成部27在進(jìn)行用于DA輸入值y0的運(yùn)算之前參照非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件43,在存在符合的DA輸入值y0的情況下,不進(jìn)行運(yùn)算而讀出該DA輸入值y0并輸出到數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換部28。另外,在符合的DA輸入值y0不存在于非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件43的情況下,DA輸入值生成部27將算出的DA輸入值y0存儲(chǔ)在非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件43中。圖17是表示本變形例所涉及的空間光調(diào)制方法的流程圖。以下,參照圖17,對本變形例所涉及的空間光調(diào)制方法以及空間光調(diào)制裝置1D的動(dòng)作進(jìn)行說明。還有,到上述實(shí)施方式中的修正運(yùn)算步驟S25(參照圖12)為止的各個(gè)步驟、以及數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換部28中生成模擬電壓的步驟27之后的各個(gè)步驟與上述實(shí)施方式相同,所以在圖17中省略圖示。首先,在溫度修正部26中,使用上述的數(shù)式(5),計(jì)算出由于液晶層12的溫度變化引起的影響被修正了的控制相位值φo(步驟S25,修正運(yùn)算步驟)。接著,DA輸入值生成部27參照非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件43來確認(rèn)控制相位值φo是否被記錄(步驟S41)。在控制相位值φo沒有被記錄的情況下(在步驟S41中為否),DA輸入值生成部27中,使用多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)23c所表示的數(shù)式(上述的數(shù)式(7)),并基于控制相位值φo來計(jì)算出DA輸入值y0(步驟S42)。然后,算出的DA輸入值y0與所對應(yīng)的控制相位值φo一起被存儲(chǔ)在非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件43中(步驟S43)。另外,在控制相位值φo被記錄的情況下(在步驟S41中為是),DA輸入值生成部27中,不計(jì)算DA輸入值y0。之后,施加于相位調(diào)制部10的各個(gè)像素的每個(gè)像素的模擬電壓V在數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換部28中基于DA輸入值y0而被生成(步驟S27)。根據(jù)本變形例所涉及的空間光調(diào)制裝置1D以及空間光調(diào)制方法,除了能夠取得與上述實(shí)施方式相同的效果之外,還能夠取得以下的效果。即,在本變形例中,在DA輸入值生成部27中被一次算出的DA輸入值y0與所對應(yīng)的控制相位值φo一起被記錄在非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件43中。因此,在相同的控制相位值φo再次產(chǎn)生的時(shí)候,能夠省略DA輸入值生成部27中的再次的運(yùn)算,并且能夠縮短處理時(shí)間。本發(fā)明的空間光調(diào)制裝置以及空間光調(diào)制方法并不限于上述的實(shí)施方式,可以進(jìn)行其他各種各樣的變形。例如,在上述實(shí)施方式中,例示了相位調(diào)制部的像素電極遍及多行以及多列地配置成二維狀的情況,但是,本發(fā)明中的空間光調(diào)制裝置并不限于此,例如也可以具有多個(gè)像素電極被配置成一維狀的構(gòu)成。在上述實(shí)施方式的空間光調(diào)制裝置中,是在一維或者二維排列的多個(gè)像素中的每個(gè)像素調(diào)制入射光的相位的空間光調(diào)制裝置,具備:(1)液晶層,對應(yīng)于施加電場的大小而調(diào)制入射光的相位;(2)溫度傳感器,生成作為對應(yīng)于液晶層的溫度的信號(hào)的溫度信號(hào);(3)多個(gè)像素電極,被設(shè)置于多個(gè)像素中的每個(gè)像素,并將產(chǎn)生施加電場的電壓施加于液晶層;(4)電壓生成部,將電壓提供給多個(gè)像素電極。電壓生成部具有存儲(chǔ)單元。在該存儲(chǔ)單元中預(yù)先存儲(chǔ)包含于表示相對于液晶層的基準(zhǔn)溫度的溫度變化量與液晶層中的相位調(diào)制量的變動(dòng)量的相關(guān)的第1函數(shù)中的一個(gè)或者多個(gè)第1系數(shù)、以及包含于作為表示施加電壓與相位調(diào)制量的相關(guān)的非線性函數(shù)的第2函數(shù)中的多個(gè)第2系數(shù)。電壓生成部使用從溫度傳感器提供的溫度信號(hào)所表示的溫度和一個(gè)或者多個(gè)第1系數(shù),進(jìn)行用于修正作為相位調(diào)制量的目標(biāo)值的相位調(diào)制量指示值的運(yùn)算,之后,使用多個(gè)第2系數(shù),將相位調(diào)制量指示值換算成施加電壓相當(dāng)值,并將對應(yīng)于該施加電壓相當(dāng)值的電壓提供給多個(gè)像素電極。另外,空間光調(diào)制裝置也可以是第1函數(shù)為一次函數(shù),第1系數(shù)的個(gè)數(shù)為一個(gè)的構(gòu)成。在此情況下,電壓的范圍優(yōu)選被限定于能夠?qū)⒌?函數(shù)作為一次函數(shù)近似的規(guī)定范圍內(nèi)。另外,空間光調(diào)制裝置也可以是第1函數(shù)為n次函數(shù)(n為2以上的整數(shù)),第1系數(shù)的個(gè)數(shù)為n個(gè)的構(gòu)成。另外,在上述施方式的空間光調(diào)制方法中,是使用對應(yīng)于施加電場的大小而調(diào)制入射光的相位的液晶層、以及設(shè)置于一維或者二維排列的多個(gè)像素中的每個(gè)像素并將產(chǎn)生施加電場的電壓施加于液晶層的多個(gè)像素電極的空間光調(diào)制方法,包含:(1)溫度取得步驟,從溫度傳感器取得作為對應(yīng)于液晶層的溫度的信號(hào)的溫度信號(hào);(2)修正運(yùn)算步驟,從預(yù)先存儲(chǔ)包含于表示相對于液晶層的基準(zhǔn)溫度的溫度變化量與液晶層中的相位調(diào)制量的變動(dòng)量的相關(guān)的第1函數(shù)中的一個(gè)或者多個(gè)第1系數(shù)、以及包含于作為表示施加電壓與相位調(diào)制量的相關(guān)的非線性函數(shù)的第2函數(shù)中的多個(gè)第2系數(shù)的存儲(chǔ)單元,讀出該一個(gè)或者多個(gè)第1系數(shù),使用溫度信號(hào)所表示的溫度和一個(gè)或者多個(gè)第1系數(shù),進(jìn)行用于修正作為相位調(diào)制量的目標(biāo)值的相位調(diào)制量指示值的運(yùn)算;(3)電壓換算步驟,從存儲(chǔ)單元讀出多個(gè)第2系數(shù),使用多個(gè)第2系數(shù),將相位調(diào)制量指示值換算成施加電壓相當(dāng)值;(4)電壓施加步驟,將對應(yīng)于施加電壓相當(dāng)值的電壓提供給多個(gè)像素電極。空間光調(diào)制方法也可以是第1函數(shù)為一次函數(shù),第1系數(shù)的個(gè)數(shù)為一個(gè)的構(gòu)成。在此情況下,電壓的范圍優(yōu)選被限定于能夠?qū)⒌?函數(shù)作為一次函數(shù)近似的規(guī)定范圍內(nèi)。另外,空間光調(diào)制方法也可以是第1函數(shù)為n次函數(shù)(n為2以上的整數(shù)),第1系數(shù)的個(gè)數(shù)為n個(gè)的構(gòu)成。產(chǎn)業(yè)上的利用可能性本發(fā)明作為一種能夠減小必要的存儲(chǔ)容量、制作容易而且能夠提高相對于所期望的相位調(diào)制量的施加電壓值的精度的空間光調(diào)制裝置以及空間光調(diào)制方法而能夠進(jìn)行利用。符號(hào)的說明1A~1D…空間光調(diào)制裝置、10…相位調(diào)制部、11…硅基板、12…液晶層、12a…液晶分子、13、14…電極、13a…像素電極、15…玻璃基板、16…隔離物、17…溫度傳感器、20A~20D…驅(qū)動(dòng)裝置、21…通信部、22…輸入處理部、23…非揮發(fā)性存儲(chǔ)元件、23a、33b…面畸變修正圖案數(shù)據(jù)、23b、33c…溫度變化系數(shù)數(shù)據(jù)、23c、33d…多項(xiàng)近似式數(shù)據(jù)、23d、33e…多項(xiàng)近似式的系數(shù)數(shù)據(jù)、23e、33a…相位圖案、24…加法部、25…相位換算部、26…溫度修正部、27…DA輸入值生成部、28…數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換部、28a…驅(qū)動(dòng)單元、29…溫度傳感器處理部、30A、30B…控制裝置、31…中央運(yùn)算處理部、32…存儲(chǔ)器、32a…加法部、32b…相位換算部、32c…溫度修正部、32d…DA輸入值生成部、32e…溫度讀出命令部、33…硬盤、34…通信部、41…基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫、50A…電壓生成部、100…偏振干涉儀、101…溫度控制裝置、102…半透半反鏡、103…透鏡、104…檢偏鏡、105…偏振光鏡、106…光源、107…受光元件、A…施加電壓范圍、S1~S4…控制輸入值、Stemp…溫度信號(hào)、φT、φ0…控制相位值(相位調(diào)制量指示值)。
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