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一種曝光機對位系統(tǒng)xyy機構(gòu)的制作方法

文檔序號:2799728閱讀:208來源:國知局
專利名稱:一種曝光機對位系統(tǒng)xyy機構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及曝光機技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種曝光機對位系統(tǒng)XYY機構(gòu)。
背景技術(shù)
曝光機系提供印刷電路板,進(jìn)行線路圖形布置,曝光機通常系在基座中形成一曝光區(qū)域,該曝光區(qū)系透過一可升降平臺,將待曝光之電路板放至合適曝光區(qū)中,并藉以進(jìn)行電路板之曝光作業(yè)?,F(xiàn)有技術(shù)的對位系統(tǒng)各軸各自獨立,穩(wěn)定性不夠,久之會有運動不暢現(xiàn)象,有不良產(chǎn)品出現(xiàn),因此現(xiàn)有技術(shù)曝光機對位系統(tǒng)結(jié)構(gòu)亟待改良。

實用新型內(nèi)容本實用新型的特征和優(yōu)點在下文的描述中部分地陳述,或者可從該描述顯而易見,或者可通過實踐本實用新型而學(xué)習(xí)。針對現(xiàn)有技術(shù)的問題,本實用新型提供一種曝光機對位系統(tǒng)XYY機構(gòu),該XYY機構(gòu)由一個X方向的軸向運動裝置,搭配兩個Y方向軸向運動裝置,使對位系統(tǒng)的運動更為流暢,機構(gòu)更為穩(wěn)定。本實用新型為解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為本實用新型提供一種曝光機對位系統(tǒng)XYY機構(gòu),包括對位模組固定板、運動板、X方向移動裝置、第一 Y方向移動裝置和第二 Y方向移動裝置,X方向移動裝置、第一 Y方向移動裝置和第二 Y方向移動裝置分別與該對位模組固定板、該運動板活動連接,還包括設(shè)置在該對位模組固定板上的X方向動力裝置、第一 Y方向動力裝置和第二 Y方向動力裝置,X方向動力裝置帶動X方向移動裝置沿X方向往復(fù)運動,X方向移動裝置帶動該運動板沿X方向往復(fù)移位,第一 Y方向動力裝置帶動第一 Y方向移動裝置沿Y方向往復(fù)運動,第一 Y方向移動裝置帶動該運動板沿Y方向往復(fù)移位,第二 Y方向動力裝置帶動第二 Y方向移動裝置沿Y方向往復(fù)運動,第二 Y方向移動裝置帶動該運動板沿Y方向往復(fù)移位。根據(jù)本實用新型的實施例,X方向移動裝置包括X方向移動板,X方向移動板與該運動板通過軸承活動連接,X方向移動板的下端面上設(shè)置有滑軌和滑槽,該滑軌沿該對位模組固定板上的第一固定板滑槽往復(fù)移動,該軸承的上方設(shè)置有滑塊,該滑塊沿該滑槽往復(fù)移動。根據(jù)本實用新型的實施例,第一 Y方向移動裝置包括第一 Y方向移動板,第一 Y方向移動板與該運動板通過軸承活動連接,第一 Y方向移動板的下端面上設(shè)置有滑軌和滑槽,該滑軌沿該對位模組固定板上的第二固定板滑槽往復(fù)移動,該軸承的上方設(shè)置有滑塊,該滑塊沿該滑槽往復(fù)移動。根據(jù)本實用新型的實施例,第二 Y方向移動裝置包括第二 Y方向移動板,第二 Y方向移動板與該運動板通過軸承活動連接,第二 Y方向移動板的下端面上設(shè)置有滑軌和滑槽,該滑軌沿該對位模組固定板上的第三固定板滑槽往復(fù)移動,該軸承的上方設(shè)置有滑塊,該滑塊沿該滑槽往復(fù)移動。[0010]根據(jù)本實用新型的實施例,X方向動力裝置包括電機和與該電機固定連接的偏心輪,該偏心輪與X方向移動板之間通過彈簧連接,該彈簧消除該偏心輪與X方向移動板之間的間隙。根據(jù)本實用新型的實施例,第一 Y方向動力裝置包括電機和與該電機固定連接的偏心輪,該偏心輪與第一 Y方向移動板之間通過彈簧連接,該彈簧消除該偏心輪與第一 Y方向移動板之間的間隙。根據(jù)本實用新型的實施例,第二 Y方向動力裝置包括電機和與該電機固定連接的偏心輪,該偏心輪與第二 Y方向移動板之間通過彈簧連接,該彈簧消除該偏心輪與第二 Y方向移動板之間的間隙。本實用新型的有益效果本實用新型曝光機對位系統(tǒng)XYY機構(gòu)由一個X方向的軸向運動裝置,搭配兩個Y方向軸向運動裝置,使對位系統(tǒng)的運動更為流暢,機構(gòu)更為穩(wěn)定,本實用新型推進(jìn)了曝光機對位系統(tǒng)的技術(shù)進(jìn)步。

下面通過參考附圖并結(jié)合實例具體地描述本實用新型,本實用新型的優(yōu)點和實現(xiàn)方式將會更加明顯,其中附圖所示內(nèi)容僅用于對本實用新型的解釋說明,而不構(gòu)成對本實用新型的任何意義上的限制,在附圖中圖1為本實用新型曝光機對位系統(tǒng)XYY機構(gòu)示意圖;圖2為本實用新型曝光機對位系統(tǒng)XYY機構(gòu)分拆零件示意圖;圖3為本實用新型曝光機對位系統(tǒng)XYY機構(gòu)移動裝置示意圖;圖4為本實用新型曝光機對位系統(tǒng)XYY機構(gòu)動力裝置示意圖;圖5為本實用新型曝光機對位系統(tǒng)XYY機構(gòu)運動板示意圖。
具體實施方式
如圖1、圖2、圖3、圖4和圖5所示,本實用新型曝光機對位系統(tǒng)XYY機構(gòu)包括對位模組固定板11、運動板12、X方向移動裝置13、第一 Y方向移動裝置14和第二 Y方向移動裝置15,X方向移動裝置13、第一 Y方向移動裝置14和第二 Y方向移動裝置15分別與對位模組固定板11、運動板12活動連接,還包括設(shè)置在對位模組固定板11上的X方向動力裝置16、第一 Y方向動力裝置17和第二 Y方向動力裝置18,X方向動力裝置16帶動X方向移動裝置13沿X方向往復(fù)運動,X方向移動裝置13帶動運動板12沿X方向往復(fù)移位,第一 Y方向動力裝置17帶動第一 Y方向移動裝置14沿Y方向往復(fù)運動,第一 Y方向移動裝置14帶動運動板12沿Y方向往復(fù)移位,第二 Y方向動力裝置18帶動第二 Y方向移動裝置15沿Y方向往復(fù)運動,第二 Y方向移動裝置15帶動運動板12沿Y方向往復(fù)移位。根據(jù)本實用新型的實施例,X方向移動裝置13包括X方向移動板131,X方向移動板131與運動板12通過軸承132活動連接,X方向移動板131的下端面上設(shè)置有滑軌133和滑槽134,滑軌133沿對位模組固定板11上的第一固定板滑槽111往復(fù)移動,軸承132的上方設(shè)置有滑塊135,滑塊135沿滑槽134往復(fù)移動。第一 Y方向移動裝置包括第一 Y方向移動板,第一Y方向移動板與運動板12通過軸承活動連接,第一 Y方向移動板的下端面上設(shè)置有滑軌和滑槽,滑軌沿對位模組固定板11上的第二固定板滑槽112往復(fù)移動,軸承的上方設(shè)置有滑塊,滑塊沿滑槽往復(fù)移動。第二Y方向移動裝置包括第二Y方向移動板,第二Y方向移動板與運動板12通過軸承活動連接,第二 Y方向移動板的下端面上設(shè)置有滑軌和滑槽,滑軌沿對位模組固定板11上的第三固定板滑槽113往復(fù)移動,軸承的上方設(shè)置有滑塊,滑塊沿滑槽往復(fù)移動。X方向動力裝置16包括電機161和與電機161固定連接的偏心輪162,偏心輪162與X方向移動板之間通過彈簧連接,彈簧消除偏心輪162與X方向移動板131之間的間隙。第一 Y方向動力裝置17包括電機和與電機固定連接的偏心輪,偏心輪與第一 Y方向移動板之間通過彈簧連接,彈簧消除偏心輪與第一 Y方向移動板之間的間隙。第二 Y方向動力裝置18包括電機和與電機固定連接的偏心輪,偏心輪與第二 Y方向移動板之間通過彈簧連接,彈簧消除所述偏心輪與第二 Y方向移動板之間的間隙。以上參照附圖說明了本實用新型的優(yōu)選實施例,本領(lǐng)域技術(shù)人員不脫離本實用新型的范圍和實質(zhì),可以有多種變型方案實現(xiàn)本實用新型。舉例而言,作為一個實施例的部分示出或描述的特征可用于另一實施例以得到又一實施例。以上僅為本實用新型較佳可行的實施例而已,并非因此局限本實用新型的權(quán)利范圍,凡運用本實用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效變化,均包含于本實用新型的權(quán)利范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種曝光機對位系統(tǒng)XYY機構(gòu),其特征在于包括對位模組固定板、運動板、X方向移動裝置、第一 Y方向移動裝置和第二 Y方向移動裝置,X方向移動裝置、第一 Y方向移動裝置和第二 Y方向移動裝置分別與所述對位模組固定板、所述運動板活動連接,還包括設(shè)置在所述對位模組固定板上的X方向動力裝置、第一 Y方向動力裝置和第二 Y方向動力裝置,X方向動力裝置帶動X方向移動裝置沿X方向往復(fù)運動,X方向移動裝置帶動所述運動板沿X方向往復(fù)移位,第一 Y方向動力裝置帶動第一 Y方向移動裝置沿Y方向往復(fù)運動,第一 Y方向移動裝置帶動所述運動板沿Y方向往復(fù)移位,第二 Y方向動力裝置帶動第二 Y方向移動裝置沿Y方向往復(fù)運動,第二 Y方向移動裝置帶動所述運動板沿Y方向往復(fù)移位。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光機對位系統(tǒng)XYY機構(gòu),其特征在于x方向移動裝置包括X方向移動板,X方向移動板與所述運動板通過軸承活動連接,X方向移動板的下端面上設(shè)置有滑軌和滑槽,所述滑軌沿所述對位模組固定板上的第一固定板滑槽往復(fù)移動,所述軸 承的上方設(shè)置有滑塊,所述滑塊沿所述滑槽往復(fù)移動。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光機對位系統(tǒng)XYY機構(gòu),其特征在于第一Y方向移動裝置包括第一 Y方向移動板,第一 Y方向移動板與所述運動板通過軸承活動連接,第一 Y方向移動板的下端面上設(shè)置有滑軌和滑槽,所述滑軌沿所述對位模組固定板上的第二固定板滑槽往復(fù)移動,所述軸承的上方設(shè)置有滑塊,所述滑塊沿所述滑槽往復(fù)移動。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光機對位系統(tǒng)XYY機構(gòu),其特征在于第二Y方向移動裝置包括第二Y方向移動板,第二Y方向移動板與所述運動板通過軸承活動連接,第二Y方向移動板的下端面上設(shè)置有滑軌和滑槽,所述滑軌沿所述對位模組固定板上的第三固定板滑槽往復(fù)移動,所述軸承的上方設(shè)置有滑塊,所述滑塊沿所述滑槽往復(fù)移動。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的曝光機對位系統(tǒng)XYY機構(gòu),其特征在于X方向動力裝置包括電機和與所述電機固定連接的偏心輪,所述偏心輪與X方向移動板之間通過彈簧連接,所述彈簧消除所述偏心輪與X方向移動板之間的間隙。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的曝光機對位系統(tǒng)XYY機構(gòu),其特征在于第一Y方向動力裝置包括電機和與所述電機固定連接的偏心輪,所述偏心輪與第一 Y方向移動板之間通過彈簧連接,所述彈簧消除所述偏心輪與第一 Y方向移動板之間的間隙。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的曝光機對位系統(tǒng)XYY機構(gòu),其特征在于第二Y方向動力裝置包括電機和與所述電機固定連接的偏心輪,所述偏心輪與第二 Y方向移動板之間通過彈簧連接,所述彈簧消除所述偏心輪與第二 Y方向移動板之間的間隙。
專利摘要本實用新型公開了一種曝光機對位系統(tǒng)XYY機構(gòu),包括對位模組固定板、運動板、X方向移動裝置、第一Y方向移動裝置和第二Y方向移動裝置,X方向移動裝置、第一Y方向移動裝置和第二Y方向移動裝置分別與對位模組固定板、運動板活動連接,還包括X方向動力裝置、第一Y方向動力裝置和第二Y方向動力裝置,X方向動力裝置帶動X方向移動裝置沿X方向往復(fù)運動,X方向移動裝置帶動運動板沿X方向往復(fù)移位,第一Y方向動力裝置帶動第一Y方向移動裝置沿Y方向往復(fù)運動,第一Y方向移動裝置帶動運動板沿Y方向往復(fù)移位,第二Y方向動力裝置帶動第二Y方向移動裝置沿Y方向往復(fù)運動,第二Y方向移動裝置帶動運動板沿Y方向往復(fù)移位。
文檔編號G03F9/00GK202886839SQ201220465798
公開日2013年4月17日 申請日期2012年9月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月13日
發(fā)明者袁強, 劉長征 申請人:東莞市海圣光電科技有限公司
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