專(zhuān)利名稱(chēng)：表膜構(gòu)件框體、表膜構(gòu)件和表膜構(gòu)件框體的使用方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及作為表膜構(gòu)件(pellicle)的構(gòu)成構(gòu)件的框體、特別是作為長(zhǎng)邊長(zhǎng)度大于1400_的超大型表膜構(gòu)件的構(gòu)成構(gòu)件的表膜構(gòu)件框體及使用了表膜構(gòu)件框體的表膜構(gòu)件和表膜構(gòu)件框體的使用方法，上述表膜構(gòu)件用于防止在制造構(gòu)成LSI、液晶顯示器(IXD)的薄膜晶體管(TFT)、濾色片(CF)等時(shí)的光刻工序所用的光掩模、中間掩模(reticIe)上附著異物。
背景技術(shù)：
本發(fā)明是涉及作為表膜構(gòu)件的構(gòu)成構(gòu)件的框體和表膜構(gòu)件的技術(shù)，首先說(shuō)明表膜構(gòu)件。以往，在制造半導(dǎo)體電路圖案等時(shí)，使用通常被稱(chēng)作表膜構(gòu)件的防塵部件來(lái)防止異物附著于光掩模、中間掩模上。表膜構(gòu)件是這樣形成的在形狀與例如光掩?；蛑虚g掩模的形狀相匹配的、厚度為幾毫米左右的框體的上表面上鋪展并粘接厚度為10 μ m以下的硝酸纖維素或纖維素衍生物(cellulose derivative)或氟系聚合物等透明的高分子膜(以下稱(chēng)作“表膜”)，且在該框體的下表面上涂覆粘合材料，并且以規(guī)定的粘接力在該粘合材料上粘接保護(hù)膜，從而形成表膜構(gòu)件。上述粘合材料用于將表膜構(gòu)件粘著于光掩?；蛑虚g掩模上，另外，保護(hù)膜用于保護(hù)該粘合材料的粘接面，以在該粘合材料被用于上述用途之前維持該粘合材料的粘接力。通常,該種表膜構(gòu)件由制造表膜構(gòu)件的生產(chǎn)商供應(yīng)給制造光掩?；蛑虚g掩模的生產(chǎn)商，光掩模或中間掩模的生產(chǎn)商將表膜構(gòu)件粘貼在光掩?；蛑虚g掩模上之后再供應(yīng)給半導(dǎo)體生產(chǎn)商、面板生產(chǎn)商等進(jìn)行光刻處理的生產(chǎn)商。近年來(lái)，隨著各種多媒體的推廣，需要高畫(huà)質(zhì)、能夠高精度地顯示的大型的彩色TFTIXD (薄膜晶體管液晶顯示器)。相應(yīng)地，人們希望開(kāi)發(fā)出一種能夠應(yīng)用于在光刻工序中使用的大型的光掩模、中間掩模的大型的表膜構(gòu)件。作為能夠應(yīng)用于在大型的TFTIXD (薄膜晶體管液晶顯示器)等的光刻工序中使用的大型的光掩模、中間掩模中的表膜構(gòu)件的框體，通常是具有長(zhǎng)邊和短邊的矩形的框體。在將表膜粘貼在該框體上時(shí)，框體的邊因該表膜的張力而向內(nèi)側(cè)變形，該變形有時(shí)使光掩模、中間掩模的有效曝光區(qū)域減小，隨著表膜的鋪展面積的增大(表膜變大)，上述的有效曝光區(qū)域減小的現(xiàn)象越加明顯。針對(duì)該現(xiàn)象，在極力維持住表膜構(gòu)件框體的內(nèi)側(cè)面積(以下稱(chēng)作有效面積)的狀態(tài)下提高表膜構(gòu)件框體的剛性，能夠防止上述現(xiàn)象發(fā)生(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)I)。專(zhuān)利文獻(xiàn)I :日本國(guó)特開(kāi)2001-109135號(hào)公報(bào)但是，隨著近年來(lái)的進(jìn)一步大型化而產(chǎn)生了新的問(wèn)題。
該問(wèn)題是近年來(lái)的進(jìn)一步大型化要求光掩模、中間掩模(以下簡(jiǎn)稱(chēng)作掩模)本身也大型化，由此出現(xiàn)了在以往的掩模大型化中未構(gòu)成問(wèn)題的、因掩模本身進(jìn)一步大型化而導(dǎo)致掩模因自身的重量增加而發(fā)生撓曲的問(wèn)題。S卩，由于表膜構(gòu)件在與掩模緊密接觸的狀態(tài)下使用，因此，在表膜構(gòu)件不能追隨掩模的撓曲的情況下，掩模與表膜構(gòu)件的粘貼面剝離，在掩模與表膜構(gòu)件之間產(chǎn)生氣體通路，存在不能獲得想要利用表膜構(gòu)件獲得的效果。特別是，在操作工序方面，針對(duì)被粘接在掩模等上之后的表膜構(gòu)件，多數(shù)情況下是把持掩模的短邊側(cè)部分而對(duì)表膜構(gòu)件進(jìn)行處理，因此要求表膜構(gòu)件的框體追隨長(zhǎng)邊側(cè)的掩模等的撓曲。如上所述，在以往的表膜構(gòu)件的大型化中，針對(duì)防止表膜構(gòu)件自身?yè)锨倪@一問(wèn)題，將提高表膜構(gòu)件的剛性作為解決方案，但是表膜構(gòu)件的進(jìn)一步大型化(超大型化)不僅需要提高表膜構(gòu)件的剛性，還需要使表膜構(gòu)件追隨粘貼有該表膜構(gòu)件的掩模因本身的大型化而導(dǎo)致的自身的撓曲、特別是在操作工序上追隨長(zhǎng)邊側(cè)的撓曲。換言之，可以說(shuō)要求超大 型化的表膜構(gòu)件兼具剛性和柔軟性這兩者。這樣，掩模的超大型化使應(yīng)用于該種掩模的超大型表膜構(gòu)件產(chǎn)生了新的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于解決由表膜構(gòu)件的超大型化產(chǎn)生的新的問(wèn)題，第一技術(shù)方案的目的在于提供這樣的表膜構(gòu)件框體在將表膜鋪展并粘接于表膜構(gòu)件框體上時(shí)該框體不會(huì)變形，此外，在將表膜構(gòu)件粘貼在掩模上后，表膜構(gòu)件框體自身也能追隨掩模因自身的重量而產(chǎn)生的撓曲。此外，在超大型表膜構(gòu)件中同時(shí)也謀求下述特性在進(jìn)行從將表膜鋪展并粘接在表膜構(gòu)件框體上后到將表膜構(gòu)件粘貼于掩模上的期間內(nèi)的處理時(shí)，框體也不會(huì)變形。第二技術(shù)方案的目的在于提供這樣的表膜構(gòu)件框體在將表膜鋪展并粘接在表膜構(gòu)件框體上時(shí)，框體不會(huì)變形，而且在進(jìn)行從將表膜鋪展并粘接在表膜構(gòu)件框體上后到將該表膜構(gòu)件粘貼于掩模上的期間內(nèi)的處理時(shí)，框體也不會(huì)變形，此外在將表膜構(gòu)件粘貼在掩模上之后，表膜構(gòu)件框體自身也能追隨掩模因自身的重量而產(chǎn)生的撓曲。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明人進(jìn)行了潛心研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)通過(guò)限定超大型表膜構(gòu)件框體的應(yīng)變度α、追隨度β，能夠達(dá)到上述目的，由此提出了本發(fā)明中的第一技術(shù)方案。另外，本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)通過(guò)相對(duì)于表膜構(gòu)件框體的長(zhǎng)邊Ia的寬度Wa以指定的比例增大短邊Ib的寬度Wb，能夠達(dá)到上述目的，由此提出了本發(fā)明中的第二技術(shù)方案。S卩，本發(fā)明如下所述。(I)一種表膜構(gòu)件框體，其為矩形，該表膜構(gòu)件框體的應(yīng)變度α為O. 06%以下，下述通用式(I)所示的該表膜構(gòu)件框體的各邊的追隨度β為3mm以上，該表膜構(gòu)件框體的長(zhǎng)邊的追隨度β為32mm以下，且框體的長(zhǎng)邊長(zhǎng)度為1400mm 2100mm，并且該表膜構(gòu)件框體的內(nèi)側(cè)面積為15000cm2以上。β= (I/表膜構(gòu)件的撓曲量)X厚度X寬度 (I)(2)根據(jù)第(I)技術(shù)方案所述的表膜構(gòu)件框體，該表膜構(gòu)件框體的短邊寬度是長(zhǎng)邊寬度的I. 05倍 I. 50倍。(3) 一種表膜構(gòu)件框體,其為矩形，該表膜構(gòu)件框體的長(zhǎng)邊寬度Wa為13. Omm 30. 0mm，短邊寬度Wb與長(zhǎng)邊寬度Wa之比Wb/Wa為1.05 I. 50，長(zhǎng)邊長(zhǎng)度為1400mm 2100mm,框體的內(nèi)側(cè)面積為16000cm2以上。(4)根據(jù)第(I) (3)技術(shù)方案中任意一項(xiàng)所述的表膜構(gòu)件框體,構(gòu)成該表膜構(gòu)件框體的材料是鋁或鋁合金。(5)根據(jù)第(I) (4)技術(shù)方案中任意一項(xiàng)所述的表膜構(gòu)件框體,對(duì)表膜構(gòu)件框體的表面實(shí)施鋁鈍化處理、黑色化處理以及封孔處理，該封孔處理是對(duì)因進(jìn)行了鋁鈍化處理而形成的微小的孔的開(kāi)口部實(shí)施的處理，從而實(shí)際上在該表面上不存在微裂紋(micro-crack)。(6)—種表膜構(gòu)件,其是通過(guò)將表膜鋪展在第(I) (5)技術(shù)方案中任意一項(xiàng)所述的表膜構(gòu)件框體上而獲得的該表膜構(gòu)件。(7) 一種表膜構(gòu)件框體的使用方法,分別把持第(6)技術(shù)方案所述的表膜構(gòu)件的、表膜構(gòu)件框體的相對(duì)的一組短邊中的各短邊的至少一處，將表膜構(gòu)件粘貼在掩模上，之后 將粘貼有該表膜構(gòu)件的掩模使用于曝光處理。本發(fā)明的表膜構(gòu)件框體具有適度的剛性和柔軟性，因此，在將表膜鋪展并粘接在表膜構(gòu)件框體上時(shí)，框體不會(huì)變形，而且也不會(huì)減小表膜構(gòu)件的以內(nèi)側(cè)面積計(jì)的有效曝光區(qū)域。此外，由于在將表膜構(gòu)件粘貼在掩模上之后表膜構(gòu)件也能追隨掩模的撓曲，因此也不會(huì)在掩模與表膜構(gòu)件的粘接面上產(chǎn)生氣體通路。此外，采用第二技術(shù)方案，在進(jìn)行從將表膜鋪展并粘接在表膜構(gòu)件框體上之后到將表膜構(gòu)件粘貼于掩模上的期間內(nèi)的處理時(shí)，框體也不會(huì)變形。另外，本發(fā)明的表膜構(gòu)件框體在超大型表膜構(gòu)件的情況下效果顯著，詳細(xì)而言，在有效面積為15000cm2以上的超大型表膜構(gòu)件的情況下，本發(fā)明的表膜構(gòu)件框體能夠起到顯著的效果。


圖I是表示本發(fā)明的表膜構(gòu)件框體和使用了該框體的表膜構(gòu)件的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖2是圖I的表膜構(gòu)件框體的與長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度方向垂直的面的剖視圖。圖3是圖I的表膜構(gòu)件框體的與短邊的長(zhǎng)度方向垂直的面的剖視圖。圖4A是表示表膜構(gòu)件框體的測(cè)量邊的初始長(zhǎng)度的說(shuō)明圖。圖4B是表示表膜構(gòu)件框體被支承而發(fā)生了撓曲的狀態(tài)的說(shuō)明圖。圖4C是表示表膜構(gòu)件框體的測(cè)量邊的被支承后的長(zhǎng)度的說(shuō)明圖。圖5是表示將表膜構(gòu)件框體支承在臺(tái)上的狀態(tài)的說(shuō)明圖。
具體實(shí)施例方式下面，說(shuō)明用于實(shí)施本發(fā)明的實(shí)施方式。下述實(shí)施方式是用于說(shuō)明本發(fā)明的例示，并非意指本發(fā)明限定于下述內(nèi)容。本發(fā)明的表膜構(gòu)件框體的形狀是與掩模的形狀相似的矩形。表膜構(gòu)件框體的長(zhǎng)邊是指框體的最長(zhǎng)邊，表膜構(gòu)件框體的短邊是指框體的最短邊。更詳細(xì)而言，在表膜構(gòu)件框體為長(zhǎng)方形的情況下，正交的兩個(gè)邊中的相對(duì)較長(zhǎng)的邊是長(zhǎng)邊，相對(duì)較短的邊是短邊，在表膜構(gòu)件框體為正方形的情況下，4個(gè)邊均為相同長(zhǎng)度。在表膜構(gòu)件框體為正方形的情況下，可以將任意的邊定義為長(zhǎng)邊，將任意的邊定義為短邊。 應(yīng)變度α以下述通用式(2)表示。該應(yīng)變度α以下述方法測(cè)量。下面，使用圖4Α、圖4Β、圖4C、圖5說(shuō)明應(yīng)變度α的測(cè)量方法。首先，對(duì)將要測(cè)量應(yīng)變度α的表膜構(gòu)件框體I的一邊的長(zhǎng)度(初始狀態(tài)的長(zhǎng)度)LI(如圖4Α所示)進(jìn)行測(cè)量。然后，如圖5所示，利用臺(tái)20支承表膜構(gòu)件框體I的不測(cè)量應(yīng)變度α的相對(duì)的兩個(gè)邊的下表面(不接觸上表面)。此時(shí)，從下方支承不測(cè)量應(yīng)變度α的邊的整個(gè)長(zhǎng)度，且支承表膜構(gòu)件框體I的距端部15mm的部位。例如，在測(cè)量表膜構(gòu)件框體I的短邊時(shí)，為了避免長(zhǎng)邊撓曲，利用臺(tái)20從下方支承長(zhǎng)邊的整個(gè)長(zhǎng)度。在測(cè)量表膜構(gòu)件框體I的長(zhǎng)邊時(shí)，利用臺(tái)20從下方支承短邊的整個(gè)長(zhǎng)度。在該狀態(tài)下保持10分鐘(如圖4B所示)，之后停止支承，將表膜構(gòu)件框體筆直地靜置在平坦的臺(tái)上，10分鐘后再次測(cè)量要測(cè)量的一邊的長(zhǎng)度(被支承后(施加有由自重產(chǎn)生的力之后)的長(zhǎng)度)L2 (如圖4C所示)，根據(jù)下述式子算出被支承后的長(zhǎng)度L2相對(duì)于初始狀態(tài)的長(zhǎng)度L I的伸長(zhǎng)率，以該伸長(zhǎng)率作為應(yīng)變度α。測(cè)量時(shí)的溫度為23. 8°C，相對(duì)濕度為74% RH。[(被支承后的長(zhǎng)度L2/初始狀態(tài)的長(zhǎng)度LI)-I]X 100 (%) (2)另外，由于矩形的表膜構(gòu)件框體有4個(gè)邊，因此采用相同的方法測(cè)量各個(gè)邊，以應(yīng)變度α最大的數(shù)值作為表膜構(gòu)件框體的應(yīng)變度α。另外，當(dāng)邊的寬度在上表面和底面不同的情況下，將邊的寬度相對(duì)較寬的面置于下方而測(cè)量應(yīng)變度α。表膜構(gòu)件框體的應(yīng)變度α的下限只要為0%以上即可，上限為O. 06%以下，優(yōu)選為O. 02%以下，最優(yōu)選為O. 01 %以下。另外，表示表膜構(gòu)件框體對(duì)掩模的追隨的追隨度β以下述通用式(I)表示，表膜構(gòu)件框體的各邊的β的下限為3mm以上，更優(yōu)選為4mm以上，該表膜構(gòu)件框體的長(zhǎng)邊的追隨度的上限為32mm以下，優(yōu)選為25mm以下。表膜構(gòu)件框體的短邊的追隨度優(yōu)選為IOOmm以下，更優(yōu)選為80mm以下，特別優(yōu)選為50mm以下。β= (I/表膜構(gòu)件的撓曲量)X厚度X寬度 (I)追隨度β的測(cè)量方法如下所述。首先，如圖5所示，利用臺(tái)20支承表膜構(gòu)件框體I的不測(cè)量追隨度β的相對(duì)的兩個(gè)邊的下表面。此時(shí)，從下方支承不測(cè)量追隨度β的邊的整個(gè)長(zhǎng)度，且支承表膜構(gòu)件框體I的距端部15mm的部位。例如，在測(cè)量表膜構(gòu)件框體I的短邊時(shí)，為了避免長(zhǎng)邊撓曲，利用臺(tái)20從下方支承長(zhǎng)邊的整個(gè)長(zhǎng)度。在測(cè)量表膜構(gòu)件框體I的長(zhǎng)邊時(shí)，利用臺(tái)20從下方支承短邊的整個(gè)長(zhǎng)度。在該狀態(tài)下保持10分鐘，之后如圖4B所示，對(duì)要測(cè)量的邊的最大撓曲部分相對(duì)于初始狀態(tài)的位置的變化量進(jìn)行測(cè)量，將該變化量記作表膜構(gòu)件的撓曲量Λ Τ。然后，用該撓曲量Λ T的倒數(shù)乘以要測(cè)量的邊的厚度和寬度，得出追隨度β。測(cè)量表膜構(gòu)件框體I的所有邊的追隨度β。另外，當(dāng)邊的寬度在上表面和底面不同的情況下，將邊的寬度相對(duì)較寬的面置于下方而測(cè)量追隨度β。在測(cè)量上述應(yīng)變度α的同時(shí)測(cè)量追隨度β。該追隨度β是表示體現(xiàn)表膜構(gòu)件框體能夠以何種程度追隨掩模的撓曲的柔軟性的指標(biāo)。因而，可以說(shuō)數(shù)值越小，追隨度越高，但在追隨度過(guò)高時(shí)，在鋪展表膜時(shí)、處理時(shí)會(huì)產(chǎn)生褶皺，因此必須將追隨度β控制在上述范圍內(nèi)。另外，表膜構(gòu)件框體的厚度的下限優(yōu)選為4. Omm以上，更優(yōu)選下限為5. Omm以上，特別優(yōu)選為6. Omm以上。另一方面，該厚度的上限優(yōu)選為IOmm以下，更優(yōu)選為8mm以下，進(jìn)一步優(yōu)選為7mm以下，特別優(yōu)選為6. 5mm以下。表膜構(gòu)件框體的寬度優(yōu)選為13mm以上,更優(yōu)選為14mm以上,進(jìn)一步優(yōu)選為16mm以上。另一方面，該寬度的上限優(yōu)選為30mm以下，更優(yōu)選為25mm以下，進(jìn)一步優(yōu)選為19mm以下。另外，長(zhǎng)邊和短邊可以是相同的寬度，也可以是分別不同的寬度。另外，例如如圖2、圖3所示，表膜構(gòu)件框體的邊的寬度是指寬度Wa、Wb那樣的各邊的最大寬度。作為表膜構(gòu)件框體的各邊的截面形狀，沒(méi)有特別限定，可以是矩形、H字形、T字形等，但最優(yōu)選矩形。截面也可以是中空構(gòu)造。本發(fā)明的表膜構(gòu)件框體越是超大型，效果越明顯，詳細(xì)而言，在表膜構(gòu)件框體的長(zhǎng)邊長(zhǎng)度為1400mm以上、特別是為1700mm 2100mm、表膜構(gòu)件的有效面積為16000cm2以上、24000cm2以上、特別是為25000cm2以上的情況下，能夠起到顯著效果。另外，雖然本發(fā)明的表膜構(gòu)件框體是表膜構(gòu)件越大型越能起到顯著的效果，但是從用于制造TFTIXD的掩模等所要求的尺寸來(lái)看，框體的有效面積的上限為35000cm2就已足夠。另外，在長(zhǎng)邊長(zhǎng)度為1400mm以上的大型表膜構(gòu)件中，為了提高處理工序中的自由度，優(yōu)選只把持短邊側(cè)的兩個(gè)邊或長(zhǎng)邊側(cè)的兩個(gè)邊的任意一方的邊而進(jìn)行處理，特別是考慮到作業(yè)效率，優(yōu)選把持短邊側(cè)的兩個(gè)邊的把持方法。在表膜構(gòu)件框體的短邊寬度Wb與長(zhǎng)邊寬度Wa之比Wb/Wa為1.05以上時(shí)，當(dāng)以把持短邊側(cè)的兩個(gè)邊的把持方法進(jìn)行處理時(shí)，能夠始終從剛性高的邊側(cè)把持，從而能夠抑制在處理時(shí)產(chǎn)生褶皺。能夠從表膜構(gòu)件的寬幅的短邊方向進(jìn)行該表膜構(gòu)件的處理，把持時(shí)的把手部分較寬，也能提高方便性。從提高處理性的觀點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選在表膜構(gòu)件框體的短邊側(cè)形成把持用的凸部、凹部。另外，當(dāng)Wb/Wa為I. 50以下時(shí)，即使在立起表膜構(gòu)件框體的情況下(使長(zhǎng)邊側(cè)與地面垂直、使短邊側(cè)與地面平行的情況)，由于能夠抑制長(zhǎng)邊側(cè)變形，因此也能夠抑制產(chǎn)生褶皺。在表膜構(gòu)件的有效面積為16000cm2以上那樣的超大型表膜構(gòu)件中，為了提高作業(yè)效率，優(yōu)選使表膜構(gòu)件旋轉(zhuǎn)來(lái)對(duì)表膜表面進(jìn)行異物檢查。屆時(shí)，雖然經(jīng)由立起表膜構(gòu)件框體的工序，但當(dāng)Wb/Wa為I. 50以下時(shí)能夠抑制長(zhǎng)邊側(cè)變形，因此能夠抑制在異物檢查工序等中表膜產(chǎn)生褶皺。表膜構(gòu)件框體I的短邊Ib的寬度Wb、詳細(xì)而言短邊Ib的寬度Wb相對(duì)于長(zhǎng)邊Ia的寬度Wa的比例(Wb/Wa)優(yōu)選為I. 05以上，更優(yōu)選為I. I以上，優(yōu)選該比例的上限為I. 50以下，更優(yōu)選為1.25以下，特別優(yōu)選為1.2以下。作為構(gòu)成本發(fā)明的表膜構(gòu)件框體的材料，例如可以舉出機(jī)械構(gòu)造用碳鋼(SC系列等)、工具鋼(碳工具鋼SK系列、高速工具鋼SKH系列、合金工具鋼SKS系列、SKD系列、SKT系列等)、馬氏體系不銹鋼系列(SUS403、SUS410、SUS410S、SUS420J1、SUS420J2、SUS429J1、SUS440A、SUS304 等)、鋁、鋁合金(5000 系、6000 系、7000 系等)等金屬、陶瓷(SiC、AlN、Al203等)、陶瓷和金屬的復(fù)合材料(Al-SiC、A1-A1N、Al-Al2O3等)，優(yōu)選使用鋁、鋁合金，更詳細(xì)而言可以使用鋁和鎂的合金、鋁和鎂及硅的合金、鋁和鋅及鎂的合金。另外，由于上述各鋼材是磁性材料，因此，能利用磁鐵固定該各鋼材，特別是在大型表膜構(gòu)件框體的情況下，能夠良好地進(jìn)行加工作業(yè)，因此優(yōu)選。也可以對(duì)表膜構(gòu)件框體的表面實(shí)施黑色鍍鉻、黑色鈍化鋁、黑色涂裝等黑色化處理。其中，進(jìn)一步說(shuō)明上述處理中的黑色鈍化鋁。
作為表膜構(gòu)件用的支承框，通常大多使用5000系的鋁合金，因此以鋁合金為例進(jìn)行說(shuō)明。通常的黑色鈍化鋁處理這樣實(shí)施在利用鋁合金成形出表膜構(gòu)件支承框后，進(jìn)行鋁鈍化處理，利用黑化劑對(duì)由該處理產(chǎn)生的微細(xì)孔進(jìn)行封入處理，然后實(shí)施將該微細(xì)孔封閉起來(lái)的封孔處理。但是，當(dāng)利用電子顯微鏡觀察上述那樣采用通常方法制成的支承框的表面時(shí)，發(fā)現(xiàn)有微細(xì)的裂紋(微裂紋)。在該微裂紋的圖案不斷微細(xì)化、布線寬度更窄時(shí)，進(jìn)入到該裂紋中的極小的異物的落下也構(gòu)成問(wèn)題。作為防止該種微裂紋產(chǎn)生的方法，優(yōu)選采用下述方法。首先，對(duì)表膜構(gòu)件框體的表面進(jìn)行鋁鈍化處理。以硫酸濃度為10 20%、電流密度為I 2A/dm2、電解液溫度為15 30°C、通電時(shí)間在10 30分鐘的范圍內(nèi)的條件來(lái)進(jìn)行
該鋁鈍化處理。屆時(shí)，在合金的表面有規(guī)則地形成有許多微小的孔(直徑力GO ~ 200A,間距為500 ~ 1500A>°之后，利用該孔進(jìn)行黑色化處理。由于黑色化處理的目的是防止光自框反射，因此并不限定于黑色，也包括接近于黑色的茶色、藏藍(lán)色等深色。黑色化處 理可以舉出染色、電解著色等。染色是通過(guò)將框體浸潰在溶解有黑色染料的液體中而使該孔吸附染料由此獲得色調(diào)的方法，另外，電解著色是通過(guò)通電來(lái)使該孔析出金屬元素而獲得色調(diào)的方法。染色例如在染料濃度為3 10g/L、染色液溫度為50 65°C的條件下進(jìn)行。接下來(lái)，進(jìn)行將該孔封閉起來(lái)的封孔處理。在該處理中，使用的是添加有6 12g/L的例如被稱(chēng)作低溫封孔劑的日華化學(xué)工業(yè)(株)制的Hardwall3 (,、一 K 才一;卩)(商品名)封孔助劑的煮沸水。利用此時(shí)的封孔處理來(lái)填埋鈍化鋁膜表面的微細(xì)孔，從而使鈍化鋁膜變得越來(lái)越致密，但是若能以比100°c稍低的溫度、例如70 95°C、更優(yōu)選80 90°C的溫度來(lái)進(jìn)行封孔處理，則能夠形成具有極均勻的表面性、實(shí)際上不存在微裂紋的表膜構(gòu)件框體。另外，采用下述方法來(lái)判斷是否存在微裂紋在利用電子顯微鏡將支承框表面放大1000倍后得到的照片上畫(huà)出IOcm (實(shí)際尺寸為O. Imm)的直線，計(jì)算與該直線交叉的裂紋的數(shù)量。裂紋的數(shù)量是對(duì)裂紋的寬度為能在該電子顯微鏡照片上看到、即裂紋寬度為
O.I μπι以上的裂紋進(jìn)行統(tǒng)計(jì)而得出的。該數(shù)值越大，判斷出裂紋越是高密度地存在的。也可以依據(jù)需要在表膜構(gòu)件框體的內(nèi)壁面或整個(gè)表面上涂覆用于捕捉異物的粘合材料(丙稀Ife系、醋Ife乙稀系、娃系、橡I父系等)、潤(rùn)滑脂(娃系、氣系等)。另外，當(dāng)依據(jù)需要而開(kāi)設(shè)貫穿表膜構(gòu)件框體的內(nèi)部和外部的微細(xì)孔、從而消除由表膜構(gòu)件和光掩模形成的空間中的內(nèi)外氣壓差時(shí)，能夠防止膜鼓出、凹陷。另外，此時(shí)若在微細(xì)孔的外側(cè)安裝去除異物過(guò)濾器，除了能夠調(diào)整氣壓，還能防止異物進(jìn)入到由表膜構(gòu)件和光掩模形成的空間中，因此優(yōu)選在微細(xì)孔的外側(cè)安裝去除異物過(guò)濾器。在由表膜構(gòu)件和光掩模形成的空間的容積較大的情況下，當(dāng)設(shè)置多個(gè)上述孔、過(guò)濾器時(shí)，能夠縮短由氣壓變動(dòng)而導(dǎo)致的膜的鼓出、凹陷的恢復(fù)時(shí)間，因此優(yōu)選設(shè)置多個(gè)上述孔、過(guò)濾器。本發(fā)明的表膜構(gòu)件框體通過(guò)滿足上述要件而能夠兼具適度的剛性和柔軟性，因此不會(huì)因鋪展表膜而使框體變形，當(dāng)然，在單獨(dú)對(duì)該表膜構(gòu)件進(jìn)行處理時(shí)該表膜構(gòu)件也不會(huì)撓曲，而且在之后的將該表膜構(gòu)件粘貼在掩模上后的處理中該表膜構(gòu)件還能追隨掩模自身的撓曲。結(jié)果，表膜構(gòu)件不會(huì)出現(xiàn)褶皺，且還能追隨掩模的撓曲，因此還能起到不會(huì)產(chǎn)生氣體通路這一優(yōu)異效果。以上說(shuō)明了本發(fā)明的表膜構(gòu)件框體，但是通過(guò)將本發(fā)明的表膜構(gòu)件框體形成為下述構(gòu)造，能夠進(jìn)一步提高作為表膜構(gòu)件框體的可靠性。例如，在將圖I、圖2和圖3所示的表膜構(gòu)件框體I的長(zhǎng)邊Ia和短邊Ib形成為相同的寬度Wa、Wb的情況下，能夠獲得表膜2的粘接面IalUbl的寬度Wc、Wd之間滿足ffa=ffb>ffc=ffd的關(guān)系的構(gòu)造。這樣，在采用表膜構(gòu)件框體I的寬度Wa、Wb比粘接面的寬度Wc、Wd寬的構(gòu)造時(shí),能夠利用粘接劑涂覆裝置、例如X-Y分配機(jī)器人(dispenser robot)等定量地涂覆表膜2與表膜構(gòu)件框體I的粘接劑，因此能夠?qū)⒄辰觿┚鶆虻赝扛灿谡麄€(gè)粘接面。另外，通過(guò)將粘接寬度設(shè)定得比框體I的寬度窄，能夠抑制粘接劑的涂覆不均、涂覆殘留，結(jié)果能夠防止異物堆積在與涂覆不均、涂覆殘留部分相對(duì)應(yīng)的空間內(nèi)。另外，當(dāng)Wc=Wd時(shí)，不用在長(zhǎng)邊和短邊改變涂覆量就能夠涂覆所有邊，因此優(yōu)選Wc=WcL作為制造上述那樣的滿足Wa=Wb>Wc=Wd的關(guān)系的構(gòu)造的方法，只要在表膜構(gòu)件框 體I的表膜的粘接面?zhèn)刃纬蓛A斜面，就能夠不形成臺(tái)階地形成傾斜面。另外，該傾斜面也可以是曲面狀。通過(guò)上述那樣在表膜構(gòu)件框體I的寬度與表膜的粘接面的寬度之間設(shè)計(jì)可達(dá)到ffa=ffb>ffc=ffd的寬度差，也能獲得防止粘接劑溢出框體I的膜粘接面Ibl而下垂到框體I的內(nèi)周部的效果。另外，以上說(shuō)明的是Wa=Wb的情況，但即使表膜構(gòu)件框體I的長(zhǎng)邊Ia和短邊Ib不是相同的寬度Wa、Wb，只要滿足Wa>Wc、ffb>ffd的關(guān)系，則能夠獲得上述效果，另外，在Wc=Wd時(shí)，不用在長(zhǎng)邊和短邊改變涂覆量就能夠涂覆所有邊，因此優(yōu)選Wc=WcL第一技術(shù)方案的表膜構(gòu)件框體能夠較佳地追隨該種光掩模光掩模的長(zhǎng)邊長(zhǎng)度為表膜構(gòu)件框體的長(zhǎng)邊長(zhǎng)度以上且在表膜構(gòu)件框體的長(zhǎng)邊長(zhǎng)度+150mm以下、且光掩模的短邊長(zhǎng)度為表膜構(gòu)件框體的短邊長(zhǎng)度以上且在表膜構(gòu)件框體的短邊長(zhǎng)度+200mm以下。光掩模的厚度只要是在粘貼了表膜構(gòu)件框體之后能夠承受表膜構(gòu)件框體的重量(不損壞光掩模那樣的程度)的程度即可。作為光掩模的材質(zhì)，可以使用堿石灰玻璃、無(wú)堿玻璃、低堿玻璃、石英玻璃等，無(wú)論光掩模是何種材質(zhì)，第一技術(shù)方案的表膜構(gòu)件框體都能良好地追隨該光掩模。以上說(shuō)明了第一技術(shù)方案的表膜構(gòu)件框體的結(jié)構(gòu)。接下來(lái)，說(shuō)明本發(fā)明的第二技術(shù)方案。首先說(shuō)明第二技術(shù)方案的表膜構(gòu)件框體I的寬度。圖2所示的表膜構(gòu)件框體I的長(zhǎng)邊Ia的寬度Wa的下限為13. Omm以上,優(yōu)選下限為14. Omm以上,最優(yōu)選為16. Omm以上。另一方面，該寬度的上限為30. Omm以下，優(yōu)選上限為25. Omm以下，更優(yōu)選上限為19. Omm以下。另外，例如如圖2、圖3所示，表膜構(gòu)件框體的邊的寬度是指寬度Wa、Wb那樣的各邊的最大寬度。圖3所示的表膜構(gòu)件框體I的短邊Ib的寬度Wb必須至少比長(zhǎng)邊Ia的寬度Wa寬，詳細(xì)而言，短邊Ib的寬度Wb與長(zhǎng)邊Ia的寬度Wa的比例(Wb/Wa)的下限為1.05以上，優(yōu)選為I. I以上，該比例的上限為I. 50以下，優(yōu)選為I. 25以下，最優(yōu)選為I. 2以下。因而，表膜構(gòu)件框體的短邊寬度Wb為13. 65mm 45. Omm的范圍內(nèi)的值。
在長(zhǎng)邊長(zhǎng)度為1400mm以上的大型表膜構(gòu)件中，為了提高處理工序中的自由度，優(yōu)選只把持短邊側(cè)的兩個(gè)邊或長(zhǎng)邊側(cè)的兩個(gè)邊的任意一方的邊而進(jìn)行處理，特別是考慮到作業(yè)效率，優(yōu)選把持短邊側(cè)的兩個(gè)邊的把持方法。在表膜構(gòu)件框體的短邊寬度Wb與長(zhǎng)邊寬度Wa之比Wb/Wa為I. 05以上時(shí)，當(dāng)以把持短邊側(cè)的兩個(gè)邊的把持方法進(jìn)行處理時(shí)，能夠始終從剛性高的邊側(cè)把持，從而能夠抑制在處理時(shí)產(chǎn)生褶皺。當(dāng)能夠從表膜構(gòu)件的寬幅的短邊方向進(jìn)行該表膜構(gòu)件的處理時(shí)，把持時(shí)的把手部分較寬，也能提高方便性。從提高可處理性的觀點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選在表膜構(gòu)件框體的短邊側(cè)形成把持用的凸部、凹部。另外，當(dāng)Wb/Wa為I. 50以下時(shí)，即使在立起表膜構(gòu)件框體的情況下(使長(zhǎng)邊側(cè)與地面垂直、使短邊側(cè)與地面平行的情況)，由于能夠抑制長(zhǎng)邊側(cè)變形，因此能夠抑制產(chǎn)生褶皺。在表膜構(gòu)件的有效面積為16000cm2以上那樣的超大型表膜構(gòu)件中，為了提高作業(yè)效率，優(yōu)選使表膜構(gòu)件旋轉(zhuǎn)而對(duì)表膜表面進(jìn)行異物檢查。屆時(shí)，雖然經(jīng)由立起表膜構(gòu)件框體的工序，但由于當(dāng)Wb/Wa為
I.50以下時(shí)能夠抑制長(zhǎng)邊側(cè)變形，因此在異物檢查工序等中也能夠抑制表膜產(chǎn)生褶皺。另外，優(yōu)選框體I的厚度為4. Omm以上,更優(yōu)選為5. Omm以上,進(jìn)一步優(yōu)選為6. Omm·以上。另外，優(yōu)選該厚度的上限為IOmm以下，更優(yōu)選為8mm以下，進(jìn)一步優(yōu)選為7mm以下，最優(yōu)選為6. 5mm以下。作為表膜構(gòu)件框體的各邊的截面形狀，沒(méi)有特別限定，可以是矩形、H字形、T字形等，但最優(yōu)選矩形。截面也可以是中空構(gòu)造。本發(fā)明的表膜構(gòu)件框體I越是大型，效果越明顯，詳細(xì)而言，在表膜構(gòu)件框體I的長(zhǎng)邊Ia的長(zhǎng)度La為1400mm以上、特別是為1700mm 2100mm、且屆時(shí)的表膜構(gòu)件的有效面積為16000cm2以上、24000cm2以上、特別是為25000cm2以上的情況下，能夠起到顯著效果。另外，雖然本發(fā)明的表膜構(gòu)件框體I是越大型越能起到顯著的效果，但是從用于制造TFTIXD的掩模等所要求的尺寸來(lái)看，框體的有效面積的上限為35000cm2就已足夠。另外,在長(zhǎng)邊長(zhǎng)度為1400mm以上的大型表膜構(gòu)件中,對(duì)于將表膜構(gòu)件粘貼在掩模上之后的處理，在作業(yè)工序上，多數(shù)情況不是只把持掩模的短邊、而是一起把持掩模和表膜構(gòu)件框體I的相對(duì)的一組短邊Ib中的、各短邊Ib的至少一處，當(dāng)這樣操作時(shí)能夠提高作業(yè)效率，在該情況下由掩模的自重而產(chǎn)生的撓曲在長(zhǎng)邊和短邊上是不同的。詳細(xì)而言，未把持的相對(duì)的長(zhǎng)邊Ia方向上的掩模的撓曲變大。因此，要求表膜構(gòu)件框體的撓曲追隨長(zhǎng)邊方向的撓曲。第二技術(shù)方案的表膜構(gòu)件框體也能充分地追隨具有該種特異性的掩模的撓曲。本發(fā)明的表膜構(gòu)件框體通過(guò)滿足上述要件而能夠兼具適度的剛性和柔軟性，因此不會(huì)因鋪展表膜而使框體變形，當(dāng)然，在單獨(dú)對(duì)該表膜構(gòu)件進(jìn)行處理時(shí)該表膜構(gòu)件也不會(huì)撓曲，而且在之后的將該表膜構(gòu)件粘貼在掩模上后的處理中該表膜構(gòu)件還能追隨掩模自身的撓曲。結(jié)果，不會(huì)因在將表膜鋪展在表膜構(gòu)件框體上時(shí)產(chǎn)生的表膜構(gòu)件框體的變形而使表膜構(gòu)件的有效面積減小，該表膜構(gòu)件還能追隨掩模的撓曲，因此還能起到不會(huì)產(chǎn)生氣體通路的這一優(yōu)異效果。此外，通過(guò)使短邊的寬度大于長(zhǎng)邊的寬度，在處理表膜構(gòu)件時(shí)能夠易于把持表膜構(gòu)件框體的短邊側(cè)。結(jié)果，能夠易于從與處理掩模時(shí)的把持部分相同的一側(cè)處理表膜構(gòu)件，從而能夠提聞作業(yè)效率。在本發(fā)明的表膜構(gòu)件框體I中，也優(yōu)選上述框體I的長(zhǎng)邊Ia和短邊Ib的表膜2的粘接面lal、lbl的寬度Wc、Wd大致相等。這里所述的長(zhǎng)邊Ia和短邊Ib的膜粘接面IalUbl的寬度Wc、Wd大致相等是指，使長(zhǎng)邊Ia和短邊Ib的膜粘接面IalUbl的寬度Wc、Wd的差小于長(zhǎng)邊Ia和短邊Ib的寬度Wa、Wb的差。S卩，如圖2和圖3的剖視圖所示，指Wb-Wa>Wd_Wc。通常，利用粘接劑涂覆裝置、例如X-Y分配機(jī)器人等涂覆表膜2與表膜構(gòu)件框體I的粘接劑。在該情況下，由于長(zhǎng)邊Ia和短邊Ib的每單位長(zhǎng)度的粘接劑涂覆量相同，因此，若Wc〈Wd，在將表膜2粘貼在表膜構(gòu)件框體I上時(shí)，長(zhǎng)邊Ia上的粘接劑量較多，粘接劑有時(shí)溢出框體I的膜粘接面Ial而下垂到框體I的內(nèi)周部。另外，短邊Ib上的粘接劑量不夠充分，粘接劑不能在膜粘接面Ibl的整個(gè)表面上均勻擴(kuò)展開(kāi)，在內(nèi)側(cè)、在表膜2與表膜構(gòu)件框體I之間產(chǎn)生狹窄的間隙，異物有時(shí)被夾在該間隙中。從該觀點(diǎn)出發(fā)，通過(guò)如上所述那樣使長(zhǎng)邊Ia和短邊Ib的膜粘接面IalUbl的寬度Wc、Wd大致相等，即使采用以往那樣的簡(jiǎn)單的粘接劑涂覆裝置，也能獲得更加優(yōu)選的表 月吳構(gòu)件。作為使長(zhǎng)邊Ia和短邊Ib的膜粘接面IalUbl的寬度Wc、Wd大致相等的方法，只要在表膜構(gòu)件框體的至少框體I的長(zhǎng)邊Ia的表膜2的粘接面?zhèn)刃纬蓛A斜面，就能夠不形成臺(tái)階地形成傾斜面，從而能夠防止異物堆積在表膜構(gòu)件框體中。另外，該傾斜面也可以是曲面狀。另外，通過(guò)設(shè)置該傾斜面，能夠防止粘接劑下垂到框體的內(nèi)周部。優(yōu)選傾斜面是不會(huì)影響表膜構(gòu)件框體的剛性、柔軟性那樣程度的大小。接下來(lái)，說(shuō)明如下所述那樣做成在上述本發(fā)明的第一技術(shù)方案和第二技術(shù)方案的表膜構(gòu)件框體的內(nèi)側(cè)面積為16000cm2以上的超大型表膜構(gòu)件框體上鋪展并粘接表膜而獲得的超大型表膜構(gòu)件。作為表膜，可以使用纖維素衍生物(硝基纖維素、醋酸纖維素、醋酸丙酸纖維素、醋酸丁酸纖維素等，或這些中的2種以上的混合物)、氟系聚合物(四氟乙烯-偏氟乙烯-六氟丙烯三元共聚物、主鏈中具有環(huán)狀結(jié)構(gòu)的聚合物即DUPONT公司制的Teflon AF(商品名)、旭硝子公司制的CYTOP (商品名)、r >> '7' * >卜公司制的Algoflon (商品名)等)等聚合物等。表膜例如使用由聚合物溶液成膜形成的薄膜。該薄膜具有張力。另一方面，為了防止表膜撓曲或產(chǎn)生褶皺，該張力是必需的。若表膜撓曲或產(chǎn)生褶皺，在想要通過(guò)鼓風(fēng)而將附著在表膜上的異物去除時(shí)，該表膜會(huì)大幅度地振動(dòng)，很難去除上述異物。另外，由于表膜的高度在不同的位置是不同的，因此表膜的異物檢查機(jī)不能正常地發(fā)揮作用。另外，存在以光學(xué)方法測(cè)量表膜的高度時(shí)產(chǎn)生誤差等問(wèn)題。對(duì)于現(xiàn)在所用的一次曝光液晶曝光機(jī)的光源即超高壓水銀燈，從提高耐光性、節(jié)省成本的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使用醋酸丙酸纖維素、醋酸丁酸纖維素。表膜的膜厚優(yōu)選為O. 5 μ m 10 μ m左右,在本發(fā)明的大型表膜構(gòu)件中，從表膜的強(qiáng)度、均勻的膜的制作難易度方面出發(fā)，優(yōu)選表膜的膜厚為2 μ m 8 μ m。利用上述聚合物所分別適用的溶劑(酮系、脂系、乙醇類(lèi)、氟系等)將該聚合物形成為聚合物溶液。相對(duì)于上述醋酸丙酸纖維素、醋酸丁酸纖維素，優(yōu)選使用乳酸乙酯等酯系。依據(jù)需要利用深度過(guò)濾器(depth filter)、膜式過(guò)濾器(membrane filter)等過(guò)濾聚合物溶液。聚合物溶液的成膜法有旋涂法、滾涂法、刮刀涂覆法、鑄涂法等，從均勻性、管理異物的方面出發(fā)，優(yōu)選旋涂法。當(dāng)利用旋涂法在成膜基板上成膜了之后，依據(jù)需要利用加熱板(hot plate)、潔凈烘箱(clean oven)、(遠(yuǎn))紅外線加熱等烘干溶劑,從而形成均勻的膜。作為此時(shí)的成膜基板，利用合成石英、熔融石英、無(wú)堿玻璃、低堿玻璃、鈉鈣硅酸鹽玻璃等。由于本發(fā)明的大型表膜構(gòu)件的成膜用基板的尺寸較大，因此有時(shí)因?yàn)楹娓蓵r(shí)的溫度不均而使成膜基板斷裂。為了防止該情況發(fā)生，優(yōu)選成膜用基板的熱膨脹系數(shù)越小越好。特別是，優(yōu)選0°c 300°C的線膨脹系數(shù)為50X10_7m/°C以下。另外，利用硅系、氟系等的材料對(duì)成膜用基板的表面預(yù)先實(shí)施分型處理較好。另夕卜，優(yōu)選在上述表膜的單側(cè)或兩側(cè)形成折射率比該表膜低的層(即防反射層)，從而能夠提高相對(duì)于曝光光線的透過(guò)率。作為防反射層的材料，可使用氟系聚合物(四氟乙烯-偏氟乙烯-六氟丙烯三元共 聚物、主鏈中具有環(huán)狀結(jié)構(gòu)的聚合物即DUPONT公司制的Teflon AF(商品名)、旭硝子公司制的CYT0P(商品名)、7 ^ ^ 'y卜公司制的Algoflon(商品名)、聚氟代丙烯酸酯等)、氟化鈣、氟化鎂、氟化鋇等低折射率的材料。在防反射層為聚合物的情況下，可以同樣采用上述的旋涂法來(lái)形成該防反射層，在防反射層為無(wú)機(jī)物的情況下，可以采用真空蒸鍍、濺射等薄膜形成法來(lái)形成該防反射層?？紤]到異物，優(yōu)選采用聚合物溶液的旋涂法。優(yōu)選使用杜邦公司· #>社)生產(chǎn)的特氟隆AF ( f 7 口 > AF)(商品名)、奧斯蒙公司(r >>夕 >卜''社)生產(chǎn)的Algoflon ( 了 A
7 口 >)(商品名)，這是因?yàn)檫@些材料的折射率小，所以防反射效果好?？梢岳迷阡X合金、不銹鋼、樹(shù)脂等上粘貼粘合材料而形成的模板將利用上述方法形成在成膜基板上的表膜從成膜基板上剝下，改貼在期望的表膜構(gòu)件框體上。另外，也可以在將期望的表膜構(gòu)件框體粘接于成膜基板上之后從成膜基板上剝下該表膜構(gòu)件框體。這樣獲得的大型表膜對(duì)表膜構(gòu)件框體施加張力而在粘接劑的作用下粘接于框體上。當(dāng)膜的張力在適度的范圍內(nèi)時(shí),能夠抑制大型表膜因自重、大型表膜的內(nèi)外氣壓差而沿大型表膜的膜表面的鉛垂方向膨脹、凹陷，從而能夠防止曝光不良。另外，能夠解決在通過(guò)鼓風(fēng)去除附著在表膜上的異物時(shí)、該表膜大幅度地振動(dòng)而很難去除異物這樣的問(wèn)題，還能解決由于表膜的高度因位置的不同而不同所導(dǎo)致的該表膜的異物檢查機(jī)不能正常發(fā)揮作用這樣的問(wèn)題，還能解決當(dāng)以光學(xué)方法測(cè)量表膜的高度時(shí)產(chǎn)生誤差這樣的問(wèn)題。另外，能夠確保相對(duì)于大型表膜構(gòu)件的內(nèi)外的氣壓變動(dòng)的追隨性能。用于粘接表膜和表膜構(gòu)件框體的膜粘接劑根據(jù)表膜的材質(zhì)和表膜構(gòu)件框體的材質(zhì)而適當(dāng)選擇。例如，可以使用環(huán)氧系、丙烯系、硅系、氟系等粘接劑。另外，粘接劑的硬化方法可以采用各種粘接劑所適用的硬化方法(熱硬化、光硬化、厭氧硬化等)。從發(fā)塵性、成本、可操作性的方面出發(fā)，優(yōu)選使用丙烯系的紫外線硬化型粘接劑。作為用于將表膜構(gòu)件框體粘貼在光掩模上的掩模粘合材料，可以應(yīng)用本身具有粘接力的熱熔系(橡膠系、丙烯系)材料、在基材的兩面涂覆粘合材料而形成的帶類(lèi)材料(作為基材，可以應(yīng)用丙烯系、PVC系等片材或橡膠系、聚烯烴系、聚氨酯系等泡沫等，作為粘合材料，可以應(yīng)用橡膠系、丙烯系、硅系等粘合材料)等。在本發(fā)明的大型表膜構(gòu)件中，作為掩模的粘合材料，為了能夠以低負(fù)荷將表膜構(gòu)件均勻地粘貼在掩模上，優(yōu)選使用比較柔軟的熱熔材料、泡沫。在使用泡沫的情況下，利用丙烯系、醋酸乙烯系的粘合性材料或非粘合性材料來(lái)覆蓋該泡沫的截面，從而能夠防止自泡沫發(fā)塵。掩模的粘合材料的厚度通常為O. 2mm以上，但為了能夠?qū)⒈砟?gòu)件均勻地粘貼在光掩模上，優(yōu)選該厚度為Imm以上。為了在將表膜構(gòu)件粘貼于光掩模之前的期間內(nèi)保護(hù)上述掩模的粘合材料的粘接面，使用以硅系、氟系材料分型處理后的聚酯薄膜作為掩模的粘合材料。用于輸送表膜構(gòu)件的殼體通過(guò)對(duì)丙烯系、ABS系、PVC系、PET系等的材料進(jìn)行注塑成形、真空成形而做成。為了防止上述材料帶電，可以在上述材料中混煉入防帶電劑，也·可以使用具有防帶電構(gòu)造的聚合物(々 > 〃公司生產(chǎn)的BAYON (商標(biāo))、旭化成公司生產(chǎn)的ADION (商標(biāo)))。為了防止殼體在輸送過(guò)程中變形而損壞殼體內(nèi)的表膜構(gòu)件，本發(fā)明的超大型表膜構(gòu)件用的殼體優(yōu)選在殼體的蓋、盤(pán)或殼體的兩側(cè)設(shè)置加強(qiáng)筋構(gòu)造，以提高對(duì)外力的抵抗性。另外，需要一種能夠?qū)崿F(xiàn)下述目的的方法除了能夠可靠地把持表膜構(gòu)件框體，還能在之后的從收納容器取出表膜構(gòu)件時(shí)不使框體撓曲、扭轉(zhuǎn)地取出框體的方法。并且，特別是對(duì)于表膜構(gòu)件本身較大、處理也較為困難的大型表膜構(gòu)件來(lái)說(shuō)，需要一種能夠?qū)崿F(xiàn)下述目的的方法能夠在收納、搬運(yùn)、保管該表膜構(gòu)件時(shí)可靠地把持該表膜構(gòu)件，而且在從收納容器取出該表膜構(gòu)件時(shí)，能夠不使表膜構(gòu)件從保護(hù)膜與粘合材料的界面發(fā)生變形、撓曲地取出該表膜構(gòu)件，從而能夠在取出后將該表膜構(gòu)件直接粘貼于掩模等上。于是，為了不受光掩模的制約，通過(guò)在表膜構(gòu)件框體的所有邊部上分別形成把持用的凸部或凹部，能夠把持最長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度為I. 4m 2. Om的大型表膜構(gòu)件。特別是，在第二技術(shù)方案中，由于短邊側(cè)的寬度大于長(zhǎng)邊側(cè)的寬度，因此易于在短邊側(cè)形成把持用的凸部、凹部。第二技術(shù)方案的表膜構(gòu)件框體能夠較佳地追隨下這樣的光掩模，該光掩模的長(zhǎng)邊長(zhǎng)度為表膜構(gòu)件框體的長(zhǎng)邊長(zhǎng)度以上且在表膜構(gòu)件框體的長(zhǎng)邊長(zhǎng)度+150mm以下,該光掩模的短邊長(zhǎng)度為表膜構(gòu)件框體的短邊長(zhǎng)度以上且在表膜構(gòu)件框體的短邊長(zhǎng)度+200mm以下的光掩模。光掩模的厚度只要是在粘貼了表膜構(gòu)件框體之后能夠承受表膜構(gòu)件框體的重量(不損壞光掩模那樣的程度)的程度的厚度即可。作為光掩模的材質(zhì)，可以使用堿石灰硅酸鹽玻璃、無(wú)堿玻璃、低堿玻璃、石英玻璃等，但無(wú)論光掩模是何種材質(zhì)，第二技術(shù)方案的表膜構(gòu)件框體都能良好地追隨該光掩模的撓曲。接下來(lái)，利用實(shí)施例更加詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明。實(shí)施例第一技術(shù)方案的實(shí)施例實(shí)施例I 99、比較例I 71超大型表膜構(gòu)件用框體I的長(zhǎng)邊Ia的長(zhǎng)度(La)、短邊Ib的長(zhǎng)度(Lb)、框體的內(nèi)側(cè)面積(有效面積)及框體的厚度如表I 表9所示。另外，表膜構(gòu)件框體的長(zhǎng)邊Ia的寬度(Wa)、短邊Ib的寬度(Wb)如表I 表9所示。
另外，表膜構(gòu)件框體的材質(zhì)均使用鋁合金，框體的截面形狀為長(zhǎng)方形。并且，所用的表膜構(gòu)件框體是實(shí)施了黑色鋁鈍化處理的沒(méi)有微裂紋的框體。使用上述那樣的框體評(píng)價(jià)了實(shí)際的表膜構(gòu)件的性能。詳細(xì)內(nèi)容如下所述。作為表膜，將纖維素酯的聚合物溶液涂覆在低堿玻璃上，利用旋涂法形成主膜。然后，同樣地使用在該主膜上利用旋涂法涂覆氟系聚合物溶液而形成有防反射層的、厚度為4 μ m的表膜。將獲得的表膜鋪展并粘接在上述表膜構(gòu)件框體上。在這里，評(píng)價(jià)了在將表膜鋪展并粘接在表膜構(gòu)件框體上時(shí)是否產(chǎn)生褶皺(鋪展膜時(shí)的褶皺產(chǎn)生結(jié)果)。評(píng)價(jià)結(jié)果如表I 表9所示。在評(píng)價(jià)結(jié)果的標(biāo)記中，“〇”表示完全沒(méi) 有褶皺的狀態(tài)，“Λ”表示在仔細(xì)觀察膜時(shí)發(fā)現(xiàn)有少量波紋的狀態(tài)，“ X ”表示有少量褶皺的狀態(tài)。然后，將鋪展并粘接有表膜的表膜構(gòu)件框體粘貼在石英玻璃上。此時(shí)的掩模粘合材料均使用厚度為I. 2mm的苯乙烯乙烯丁烯苯乙烯共聚物的橡膠系熱熔粘合材料，在表膜構(gòu)件框體的掩模粘接面上涂覆該熱熔粘合材料，然后將表膜構(gòu)件框體粘貼在石英玻璃的規(guī)定位置上。另外，各構(gòu)件在使用前進(jìn)行了超聲波清洗。另外，石英玻璃的尺寸是石英玻璃的長(zhǎng)邊為所粘接的表膜構(gòu)件的長(zhǎng)邊長(zhǎng)度+50mm，石英玻璃的短邊為所粘接的表膜構(gòu)件的短邊長(zhǎng)度+100_。所用的石英玻璃的尺寸和厚度如表17所示。此外，關(guān)于表膜構(gòu)件框體的柔軟性，通過(guò)測(cè)量表膜構(gòu)件對(duì)掩模的追隨度而進(jìn)行了評(píng)價(jià)。在使掩模的粘貼有表膜構(gòu)件的面朝下地把持掩模的兩個(gè)短邊的狀態(tài)下使粘貼在掩模上的表膜構(gòu)件懸浮在空中而放置，評(píng)價(jià)表膜構(gòu)件追隨掩模因自重而產(chǎn)生的撓曲的追隨度。評(píng)價(jià)結(jié)果如表I 表9所示。追隨度的評(píng)價(jià)基準(zhǔn)是，將在粘貼于掩模后的一年內(nèi)沒(méi)有變化的情況評(píng)價(jià)為“〇”，將粘接部分稍微翹起的情況評(píng)價(jià)為“Λ”，將產(chǎn)生了氣體通路的情況評(píng)價(jià)為“ X ”。另外，使用與上述框體相同規(guī)格的表膜構(gòu)件框體以與上述條件相同的條件另外制作將表膜鋪展并粘接在該框體上而成的樣品，使用該樣品，把持長(zhǎng)邊地用上述測(cè)量條件測(cè)量了相同邊的應(yīng)變度α和追隨度β，結(jié)果綜合參照表I 表9。綜合評(píng)價(jià)中，將“追隨度的評(píng)價(jià)結(jié)果”、“鋪展膜時(shí)的褶皺產(chǎn)生結(jié)果”均為“〇”的情況評(píng)價(jià)為“◎”、將上述兩項(xiàng)中即使有一項(xiàng)為“Λ”的情況評(píng)價(jià)為“〇”，將上述兩項(xiàng)中即使有一項(xiàng)為“ X ”的情況評(píng)價(jià)為“ X ”。第二技術(shù)方案的實(shí)施例首先，說(shuō)明本發(fā)明的表膜構(gòu)件框體的評(píng)價(jià)方法。本發(fā)明的表膜構(gòu)件框體兼具適度的剛性和柔軟性，關(guān)于剛性，通過(guò)以目測(cè)的方式判斷在將表膜鋪展在表膜構(gòu)件框體上時(shí)是否產(chǎn)生了褶皺以及在之后處理表膜構(gòu)件時(shí)是否產(chǎn)生了褶皺來(lái)進(jìn)行評(píng)價(jià)，關(guān)于柔軟性，在使掩模的粘貼有表膜構(gòu)件的面朝下地把持掩模的兩個(gè)短邊的狀態(tài)下使粘貼在掩模上的表膜構(gòu)件懸浮在空中而放置，評(píng)價(jià)表膜構(gòu)件追隨掩模因自重而產(chǎn)生的撓曲的追隨度。實(shí)施例100 197、比較例72 141實(shí)施例和比較例所用的超大型表膜構(gòu)件用框體I的長(zhǎng)邊Ia的長(zhǎng)度(La)、短邊Ib的長(zhǎng)度(Lb)、框體的內(nèi)側(cè)面積(有效面積)如表10 表16所不。另外,表膜構(gòu)件框體的長(zhǎng)邊Ia的寬度(Wa)、短邊Ib的寬度(Wb)和表膜構(gòu)件框體的厚度也如表10 表16所示。另外，表膜構(gòu)件框體的材質(zhì)均使用鋁合金，框體的截面形狀為長(zhǎng)方形。并且，所用的表膜構(gòu)件框體是實(shí)施了黑色鈍化鋁的沒(méi)有微裂紋的框體。使用上述那樣規(guī)格的表膜構(gòu)件用框體來(lái)實(shí)際評(píng)價(jià)了性能。作為表膜，將纖維素酯的聚合物溶液涂覆在低堿玻璃上，利用旋涂法形成主膜。然后，同樣地使用在該主膜上利用旋涂法涂覆氟系聚合物溶液而形成有防反射層的、厚度為4μπι的表膜。將獲得的表膜鋪展并粘接在上述表膜構(gòu)件框體上。另外，表膜構(gòu)件框體的處理均是通過(guò)把持一組短邊中的各個(gè)邊的一部分而實(shí)施的。在這里，評(píng)價(jià)了在將表膜鋪展并粘接在表膜構(gòu)件框體上時(shí)是否產(chǎn)生了褶皺(鋪展膜時(shí)的褶皺產(chǎn)生結(jié)果)。評(píng)價(jià)結(jié)果如表10 表16所示。在評(píng)價(jià)結(jié)果的標(biāo)記中，“〇”表示完全沒(méi)有褶皺的狀態(tài)，“Λ”表示在仔細(xì)觀察膜時(shí)發(fā)現(xiàn)有少量波紋的狀態(tài)，“ X ”表示在膜上有少量褶皺的狀態(tài)。然后，將鋪展并粘接有表膜的表膜構(gòu)件框體粘貼在石英玻璃上。此時(shí)的掩模粘合材料均使用厚度為I. 2mm的苯乙烯乙烯丁烯苯乙烯共聚物的橡膠系熱熔粘合材料，在表膜構(gòu)件框體的掩模粘接面上涂覆該熱熔粘合材料，然后將表膜構(gòu)件框體粘貼在石英玻璃的規(guī)定位置上。另外，各構(gòu)件在使用前進(jìn)行了超聲波清洗。另外，石英玻璃的尺寸是石英玻璃的長(zhǎng)邊為所粘接的表膜構(gòu)件的長(zhǎng)邊長(zhǎng)度+50mm，石英玻璃的短邊為所粘接的表膜構(gòu)件的短邊長(zhǎng)度+100_。所用的石英玻璃的尺寸和厚度如表17所示。觀察上述那樣獲得的被粘貼在光掩模上的表膜構(gòu)件的表膜的表面，也評(píng)價(jià)了在從將表膜鋪展并粘接在表膜構(gòu)件框體上后到將該表膜構(gòu)件粘貼在光掩模上的期間內(nèi)的一連串的處理工序中是否產(chǎn)生了褶皺(因處理而產(chǎn)生的褶皺的產(chǎn)生結(jié)果)。這里，一連串的處理工序是指由組裝(表膜的鋪展、粘接)工序后的輸送工序一檢查工序一包裝工序一出廠工序一取出工序一將表膜構(gòu)件粘貼在光掩模上的工序構(gòu)成的處理工序。在組裝工序后的輸送工序中，使用工序內(nèi)搬運(yùn)用保持體以不會(huì)使表膜構(gòu)件掉落那樣程度的把持力把持表膜構(gòu)件框體的短邊側(cè)的4個(gè)角附近的部分，將表膜構(gòu)件搬運(yùn)至檢查工序。此時(shí)，以表膜構(gòu)件的長(zhǎng)邊與地面平行、短邊與地面垂直的狀態(tài)將該表膜構(gòu)件搬運(yùn)至檢查工序。在檢查工序中，經(jīng)過(guò)一次繞表膜構(gòu)件的水平軸線的上下旋轉(zhuǎn)、一次繞鉛垂軸線的左右旋轉(zhuǎn)、一次在以表膜的中心為軸線的表膜的平面上的90度旋轉(zhuǎn)地進(jìn)行檢查。以表膜構(gòu)件的長(zhǎng)邊與地面平行、短邊與地面垂直的狀態(tài)將表膜構(gòu)件搬運(yùn)到包裝工序。在包裝工序中，以附帶著工序內(nèi)搬運(yùn)用保持體的狀態(tài)將表膜構(gòu)件收納在表膜構(gòu)件的收納容器中。然后，在收納容器的內(nèi)部卸下工序內(nèi)搬運(yùn)用保持體，從而僅將表膜構(gòu)件收納在收納容器中。在出廠工序中，以預(yù)計(jì)采用卡車(chē)輸送的通常輸送方式進(jìn)行輸送。此時(shí)，將收納容器維持在水平狀態(tài)。在取出工序中，以表膜構(gòu)件框體與地面水平的狀態(tài)自收納容器中取出表膜構(gòu)件。在取出表膜構(gòu)件時(shí)，以不會(huì)使表膜構(gòu)件掉落那樣程度的把持力把持表膜構(gòu)件框體的短邊側(cè)的4個(gè)角附近的部分。在將該表膜構(gòu)件粘貼在光掩模上的工序中，在表膜構(gòu)件框體與地面水平的狀態(tài)下以不會(huì)使表膜構(gòu)件掉落那樣程度的把持力把持表膜構(gòu)件框體的短邊側(cè)的4個(gè)角附近的部分，保持該狀態(tài)不變地借助表膜構(gòu)件的掩模粘接劑將表膜構(gòu)件粘貼在掩模上。在將表膜構(gòu)件粘貼在掩模上之后，仍然以不會(huì)使表膜構(gòu)件的外形改變的那樣的粘貼力牢靠地進(jìn)行粘貼。評(píng)價(jià)結(jié)果如表10 表16所示。另外，評(píng)價(jià)基準(zhǔn)與將表膜鋪展并粘接在表膜構(gòu)件框體上時(shí)的評(píng)價(jià)基準(zhǔn)相同。此外，以上述的對(duì)表膜構(gòu)件對(duì)掩模的追隨度的評(píng)價(jià)條件評(píng)價(jià)了柔軟性。評(píng)價(jià)結(jié)果如表10 表16所示(追隨度的評(píng)價(jià)結(jié)果)。追隨度的評(píng)價(jià)基準(zhǔn)是在將表膜構(gòu)件粘貼在掩模上后，在使掩模的粘貼有表膜構(gòu)件的面朝下地把持掩模的兩個(gè)短邊的狀態(tài)下使粘貼在掩模上的表膜構(gòu)件懸浮在空中而放置，將在一年內(nèi)沒(méi)有變化的情況評(píng)價(jià)為“〇”，將粘接部分稍微翹起的情況評(píng)價(jià)為“Λ”，將產(chǎn)生了氣體通路的情況評(píng)價(jià)為“ X ”。綜合評(píng)價(jià)中，將“追隨度的評(píng)價(jià)結(jié)果”、“鋪展膜時(shí)的褶皺產(chǎn)生結(jié)果”、“因處理而產(chǎn)生的褶皺的產(chǎn)生結(jié)果”均為“〇”的情況評(píng)價(jià)為“◎”，將上述三項(xiàng)中即使有一項(xiàng)為“Λ”的情況評(píng)價(jià)為“〇”，將上述三項(xiàng)中即使有一項(xiàng)為“ X ”的情況評(píng)價(jià)為“ X ”。
權(quán)利要求
1.一種表膜構(gòu)件框體，其為矩形，該表膜構(gòu)件框體的應(yīng)變度α為0.06%以下，下述通用式(I)所示的該表膜構(gòu)件框體的各邊的追隨度β為3mm以上，該表膜構(gòu)件框體的長(zhǎng)邊的追隨度β為32mm以下，且框體的長(zhǎng)邊長(zhǎng)度為1400mm 2100mm，并且該表膜構(gòu)件框體的內(nèi)側(cè)面積為15000cm2以上， β= (I/表膜構(gòu)件的撓曲量)X厚度X寬度(I)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的表膜構(gòu)件框體，其中， 構(gòu)成該表膜構(gòu)件框體的材料是鋁或鋁合金。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的表膜構(gòu)件框體，其特征在于， 對(duì)上述表膜構(gòu)件框體的表面實(shí)施鋁鈍化處理、黑色化處理以及封孔處理，從而實(shí)際上在該表面上不存在微裂紋，該封孔處理是對(duì)因進(jìn)行了鋁鈍化處理而形成的微小的孔的開(kāi)口部實(shí)施的處理。
4.一種表膜構(gòu)件,通過(guò)將表膜鋪展在權(quán)利要求I 3中任意一項(xiàng)所述的表膜構(gòu)件框體上而獲得該表膜構(gòu)件。
5.—種表膜構(gòu)件框體的使用方法,分別把持權(quán)利要求4所述的表膜構(gòu)件的表膜構(gòu)件框體的相對(duì)的一組短邊中的各短邊的至少一處，將表膜構(gòu)件粘貼在掩模上，之后將粘貼有該表膜構(gòu)件的掩模使用于曝光處理。
全文摘要
本發(fā)明提供表膜構(gòu)件框體、表膜構(gòu)件和表膜構(gòu)件框體的使用方法。在將表膜鋪展并粘接在表膜構(gòu)件框體上時(shí)框體不會(huì)變形，此外在將表膜構(gòu)件粘貼在掩模上后，表膜構(gòu)件框體自身也能追隨掩模因自重而產(chǎn)生的撓曲。表膜構(gòu)件框體為矩形，該表膜構(gòu)件框體的應(yīng)變度α為0.06％以下，下述通用式(1)所示的該表膜構(gòu)件框體的各邊的追隨度β為3mm以上，該表膜構(gòu)件框體的長(zhǎng)邊的追隨度β為32mm以下，且框體的長(zhǎng)邊長(zhǎng)度為1400mm～2100mm，并且該表膜構(gòu)件框體的內(nèi)側(cè)面積為15000cm2以上。β=(1/表膜構(gòu)件的撓曲量)×厚度×寬度(1)。
文檔編號(hào)G03F1/64GK102944973SQ20121041005
公開(kāi)日2013年2月27日 申請(qǐng)日期2009年9月11日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月12日
發(fā)明者北島慎太郎, 栗山芳真 申請(qǐng)人:旭化成電子材料株式會(huì)社