專利名稱：大型護(hù)罩的收納方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及大型護(hù)罩^ )的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體，所述收納方法可以將護(hù)罩膜的面積在IOOOcm2以上的大型護(hù)罩以穩(wěn)定的狀態(tài)收納在由托盤和蓋子構(gòu)成的箱體中，所述大型護(hù)罩用于防止在制造構(gòu)成LSI、液晶顯示器(LCD)的薄膜晶體管(TFT)和濾色器(CF)等時(shí)的光刻工序中所使用的光掩?；驑?biāo)線片上附著異物。
背景技術(shù)：
在以往制造半導(dǎo)體電路圖案等過程中，正如在后述專利文獻(xiàn)I中記載的那樣，通 常采用稱為護(hù)罩的防塵措施來防止異物附著在光掩模或標(biāo)線片上。護(hù)罩的結(jié)構(gòu)如下在具有與光掩模或標(biāo)線片的形狀相匹配的形狀的數(shù)微米厚的框架的上緣面上鋪展并粘合有厚度為10 μ m以下的硝化纖維素或纖維素衍生物或者含氟聚合物等透明高分子膜(以下稱為護(hù)罩膜)，并且，在該框架的下緣面涂有粘結(jié)材料，并在該粘結(jié)材料上以規(guī)定的粘合力粘附有保護(hù)膜。上述粘結(jié)材料用于將護(hù)罩固著在光掩?；驑?biāo)線片上，而且，為了使該粘結(jié)材料的粘合力能夠保持到該粘結(jié)材料用于這一用途，使用保護(hù)膜來保護(hù)該粘結(jié)材料的粘合面。在將該護(hù)罩從制造者運(yùn)送至使用者的過程中，為了防止異物附著在護(hù)罩膜等上或者防止護(hù)罩損傷，通常將該護(hù)罩收納在由托盤和蓋子構(gòu)成的箱體中，進(jìn)而將該箱體裝在防塵袋等中進(jìn)行運(yùn)送。將作為本發(fā)明的對象的面積在IOOOcm2以上的大型護(hù)罩收納起來的由托盤和蓋子構(gòu)成的箱體通常采用真空成型法成型，并且，過去通過在將大型護(hù)罩放置在托盤上后蓋上蓋子來將大型護(hù)罩收納在箱體中。在制造上述箱體時(shí)，要有計(jì)劃地設(shè)計(jì)制造，以使收納在箱體內(nèi)的大型護(hù)罩的框架與蓋子之間的間隔在Omm以上且小于1mm，在該間隔部分，蓋子壓住大型護(hù)罩，從而防止了運(yùn)輸中等的振動(dòng)導(dǎo)致大型護(hù)罩在箱體內(nèi)移動(dòng)而產(chǎn)生摩擦或灰塵。可是，對于收納面積在IOOOcm2以上的護(hù)罩的大型箱體，存在如下問題。S卩，在大型箱體中，由于存在護(hù)罩和箱體的間隙問題，或者存在箱體難以滿足平整性的要求等問題，導(dǎo)致大型護(hù)罩的四周與箱體的蓋子之間的間隔不能準(zhǔn)確地控制在Omm以上且小于Imm的范圍，因此，在維持滿足現(xiàn)有設(shè)計(jì)思想的成型精度的條件下，難以制造出大型箱體。因此，在將大型護(hù)罩收納在以現(xiàn)有設(shè)計(jì)思想制造的大型箱體中時(shí)，在大型護(hù)罩與蓋子間的間隔為Omm以致蓋子與大型護(hù)罩接觸時(shí)，蓋子壓住大型護(hù)罩的框架，因而在運(yùn)送大型護(hù)罩時(shí)等，在蓋子和大型護(hù)罩的框架之間產(chǎn)生摩擦而出現(xiàn)灰塵，從而產(chǎn)生異物附著在大型護(hù)罩上的問題。另外，在大型護(hù)罩與蓋子間的間隔為Imm以上時(shí)，不能用蓋子壓住大型護(hù)罩使之保持穩(wěn)定，因而在運(yùn)送大型護(hù)罩時(shí)，大型護(hù)罩在箱體內(nèi)出現(xiàn)移動(dòng)或振動(dòng)，導(dǎo)致在箱體和大型護(hù)罩之間產(chǎn)生摩擦而出現(xiàn)灰塵，從而產(chǎn)生異物附著在大型護(hù)罩上的問題。為了解決上述諸多問題，本申請的申請人已經(jīng)完成了如后述的專利文獻(xiàn)2、專利文獻(xiàn)3或?qū)＠墨I(xiàn)4所述的發(fā)明，提出了專利申請。后述專利文獻(xiàn)2中記載的技術(shù)是在收納 護(hù)罩的箱體的托盤表面上突出設(shè)置立起的突出部，并且，在該突出部的側(cè)面設(shè)有底切部，通過將護(hù)罩的保護(hù)膜插入該底切部之中來保持固定置于托盤上的護(hù)罩。另外，專利文獻(xiàn)3中記載的技術(shù)是先將具有規(guī)定粘合力的粘結(jié)材料涂在護(hù)罩的保護(hù)膜下表面，在將護(hù)罩放置在托盤上時(shí)，通過將保護(hù)膜粘合在托盤上來將護(hù)罩保持固定在托盤上。此外，專利文獻(xiàn)4中記載的技術(shù)是由箱體蓋子的頂面懸掛棒狀的擠壓體，在將這種蓋子蓋在托盤上時(shí)，用該擠壓體從上方壓住放置在托盤上的護(hù)罩的保護(hù)膜，由此將護(hù)罩保持固定在托盤上。專利文獻(xiàn)I :特公昭54-28718號公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :特開平11-38597號公報(bào)專利文獻(xiàn)3 :特開平11-24238號公報(bào)專利文獻(xiàn)4 :特開平11-52553號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
記載于上述專利文獻(xiàn)2 專利文獻(xiàn)4的發(fā)明對收納過去常用的5英寸或6英寸這種用于半導(dǎo)體的護(hù)罩的箱體是極為有效的，但是，在對收納作為本發(fā)明對象的護(hù)罩的面積在IOOOcm2以上的大型護(hù)罩的箱體應(yīng)用這些發(fā)明時(shí)，存在后述的若干問題。在專利文獻(xiàn)2的技術(shù)中，采用成本低廉且易于制造的真空成型法，在托盤表面上突出設(shè)置立起的突出部，并在該突出部的側(cè)面設(shè)置較深的底切部，這種方法存在難以獲得足夠的成型精度的問題。另外，在采用注射成型法成型托盤時(shí)，雖然由于成型精度高可以進(jìn)行上述成型，但在采用注射成型法來成型作為本發(fā)明對象的IOOOcm2以上的大型護(hù)罩時(shí)，需要極其大型的成型機(jī)，因此，成本提高且不實(shí)用，同時(shí)由于托盤尺寸非常大而出現(xiàn)成型變形，并且難以在突出部的側(cè)面以高精度設(shè)置又窄又深的底切部。在專利文獻(xiàn)3的技術(shù)中，將粘結(jié)材料涂在護(hù)罩的保護(hù)膜的下面以將保護(hù)膜粘貼在托盤的表面上，這一方法對于像半導(dǎo)體用護(hù)罩的箱體這種小尺寸箱體是有效的，但是，在像本發(fā)明這樣收納大型護(hù)罩的大型箱體中，由于成型精度可能不夠，有時(shí)在托盤的放置護(hù)罩的位置出現(xiàn)翹曲。于是，托盤翹曲產(chǎn)生的變形影響到保護(hù)膜，使保護(hù)膜的一部分從粘結(jié)材料上剝離或者使粘結(jié)材料的粘合力降低，由此導(dǎo)致了難以將護(hù)罩均勻地貼在光掩模上的問題。在專利文獻(xiàn)4的技術(shù)中，采用的方法是用懸掛于箱體蓋子的頂面的擠壓體對放置在托盤上的護(hù)罩的保護(hù)膜進(jìn)行擠壓以保持固定護(hù)罩。像收納半導(dǎo)體護(hù)罩的箱體那樣，5英寸 6英寸之類的小型箱體的情況下可以維持成型精度，但是，如上所述，在收納作為本發(fā)明對象的大型護(hù)罩的大型箱體中，不僅成型精度不夠且成型的箱體出現(xiàn)翹曲，因此，采用上述技術(shù)時(shí)，在將蓋子蓋在箱體上時(shí)，出現(xiàn)的問題是，設(shè)置于蓋子一側(cè)的擠壓體難以正確且確實(shí)地壓住護(hù)罩的保護(hù)膜以使該護(hù)罩保持固定。本發(fā)明涉及的大型護(hù)罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體是鑒于上述諸多問題而開發(fā)出的全新的技術(shù)，該收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體的特征在于，大型護(hù)罩的保護(hù)膜的外周緣的一部分或全部向外側(cè)突出并形成余邊，在將護(hù)罩放置在托盤上時(shí)，用膠帶將該余邊粘合在托盤表面來確實(shí)地將護(hù)罩保持固定在托盤上。本發(fā)明涉及的大型護(hù)罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體是從根本上解決上述問題的技術(shù)。本發(fā)明的第一方案在于大型護(hù)罩的收納方法，該方法包括將面積在IOOOcm2以上的大型護(hù)罩收納在由托盤和蓋子構(gòu)成的箱體中的過程，所述大型護(hù)罩包括框架、粘合在該框架的上緣面上的護(hù)罩膜、涂在該框架的下緣面上的粘結(jié)材料以及用于保護(hù)該粘結(jié)材料而粘合在框架下面的保護(hù)膜，所述收納方法的特征在于，所述大型護(hù)罩的保護(hù)膜的外周緣的一部分或全部向外側(cè)突出并形成余邊，并且，利用膠帶將該余邊固定在所述托盤上，從而將大型護(hù)罩收納在箱體內(nèi)。此處的護(hù)罩面積是框架的外徑面積。在上述第一方案中，由于護(hù)罩的保護(hù)膜的外周緣的一部分或全部向外側(cè)突出并形成余邊，因而在將護(hù)罩放置在托盤上時(shí)，可以將突出于護(hù)罩外框的外側(cè)的所述余邊貼在托盤的表面上。并且，在本發(fā)明中，利用膠帶使所述余邊粘貼在托盤上，因此，通過極其簡單的 操作就可以將護(hù)罩以穩(wěn)定的狀態(tài)確實(shí)地保持固定在托盤上。此外，在本發(fā)明中，由于采用富于柔軟性的膠帶將大型護(hù)罩的保護(hù)膜粘貼在托盤上，因此，即使在托盤的成型精度不充分的情況下，或者在托盤出現(xiàn)翹曲的情況下，也能夠不受任何影響地將大型護(hù)罩正確且確實(shí)地保持固定在托盤上。本發(fā)明的第二方案是本發(fā)明的第一方案的大型護(hù)罩的收納方法，其中，形成的所述保護(hù)膜的余邊的寬度為6mm以上、長度為20mm以上。在上述第二方案中，更優(yōu)選的實(shí)施方式是所述保護(hù)膜的余邊的長度為50mm以上，進(jìn)一步優(yōu)選的實(shí)施方式是所述長度為300mm以上。另外，在本發(fā)明中，大型護(hù)罩的面積在4000cm2以上時(shí)，將上述保護(hù)膜的余邊的長度制成300mm以上是特別有效的。在上述第二發(fā)明中，由于在大型護(hù)罩的保護(hù)膜上設(shè)有的余邊的尺寸是寬度在6mm以上、長度在20mm以上，因此，在將大型護(hù)罩放置于托盤上時(shí)，可以將該余邊以較寬的寬度重合在托盤的表面上，并且，可以利用膠帶將余邊穩(wěn)定地且確實(shí)地保持固定在托盤的表面上。本發(fā)明的第三方案是本發(fā)明的第一或第二方案的大型護(hù)罩的收納方法，考慮到成型精度，在放在上述箱體的托盤上的大型護(hù)罩的框架與蓋在該托盤上的蓋子之間的全部空間設(shè)置至少1_以上的間隔來進(jìn)行收納。在上述第三方案中，由于通過在放置于箱體托盤上的大型護(hù)罩的框架和蓋在該托盤上的蓋子之間設(shè)置至少Imm以上的間隔來對大型護(hù)罩進(jìn)行收納，因此，在運(yùn)送大型護(hù)罩時(shí)，也無需擔(dān)心大型護(hù)罩由于振動(dòng)等原因而與蓋子發(fā)生接觸并產(chǎn)生摩擦。另外，如上所述，由于可以利用膠帶以穩(wěn)定的狀態(tài)將大型護(hù)罩保持固定在托盤上，因而無需用蓋子壓住大型護(hù)罩，所以，可以容易地設(shè)計(jì)箱體，并且，還可以將箱體的成型精度和變形的問題全部解決。本發(fā)明的第四方案在于大型護(hù)罩收納結(jié)構(gòu)體，該結(jié)構(gòu)體是將面積在IOOOcm2以上的大型護(hù)罩收納在由托盤和蓋子構(gòu)成的箱體中的結(jié)構(gòu)體，所述大型護(hù)罩包括框架、粘合在該框架的上緣面上的護(hù)罩膜、涂在該框架的下緣面上的粘結(jié)材料以及用于保護(hù)該粘結(jié)材料而粘附在框架下面的保護(hù)膜，其中，在該結(jié)構(gòu)體中，所述大型護(hù)罩的保護(hù)膜的外周緣的一部分或全部具有向外側(cè)突出的余邊，并且，利用膠帶將該余邊固定在所述托盤上。
本發(fā)明的第五方案是本發(fā)明的第四方案的大型護(hù)罩收納結(jié)構(gòu)體，其中，上述保護(hù)膜的余邊的寬度為6mm以上、長度為20mm以上。本發(fā)明的第六方案是本發(fā)明的第四或第五方案的大型護(hù)罩收納結(jié)構(gòu)體，其中，放置在上述箱體的托盤上的大型護(hù)罩的框架和蓋在該托盤上的蓋子之間具有至少Imm以上的間隔。為了防止在對構(gòu)成液晶顯示器(IXD)的 薄膜晶體管(TFT)和濾色器(CF)等進(jìn)行制造時(shí)的光刻工序中所使用的光掩?；驑?biāo)線片上附著異物，使用護(hù)罩面積在IOOOcm2以上的大型護(hù)罩，本發(fā)明作為這種大型護(hù)罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體可發(fā)揮有用的效果。在本發(fā)明涉及的大型護(hù)罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體中，由于護(hù)罩的保護(hù)膜的外周緣的一部分或全部向外側(cè)突出并形成余邊，因此，將護(hù)罩放置在托盤上時(shí)，具有突出于護(hù)罩外框外側(cè)的所述余邊可以貼在托盤表面上的效果。并且，在本發(fā)明中，由于利用膠帶使所述余邊粘貼在托盤上，所以還具有通過極其簡單的操作就可以將護(hù)罩以穩(wěn)定的狀態(tài)確實(shí)地保持固定在托盤上的效果。此外，由于利用富于柔軟性的膠帶將護(hù)罩保護(hù)膜的具有柔軟性的余邊粘貼在托盤上，所以具有如下效果即使在托盤的成型精度不充分的情況下，或者在托盤出現(xiàn)翹曲的情況下，也能夠不受任何影響地將護(hù)罩正確且確實(shí)地保持固定在托盤上。另外，在本發(fā)明中，將設(shè)置在護(hù)罩的保護(hù)膜上的余邊的尺寸設(shè)為寬度在6mm以上、長度在20mm以上的情況中，還具有如下效果將護(hù)罩放置于托盤上時(shí)，可以將該余邊以較寬的寬度貼在托盤的表面上，并且，可以利用膠帶將余邊穩(wěn)定且確實(shí)地保持固定在托盤的表面上。另外，在本發(fā)明中，在放置于箱體的托盤上的大型護(hù)罩的框架和蓋在該托盤上的蓋子之間設(shè)置至少1_以上的間隔來進(jìn)行收納的情況中，在運(yùn)送大型護(hù)罩時(shí)，也無需擔(dān)心大型護(hù)罩由于振動(dòng)等原因而與蓋子接觸并發(fā)生摩擦。另外，如上所述，在利用膠帶將大型護(hù)罩以穩(wěn)定的狀態(tài)保持固定在托盤上的情況中，無需用蓋子壓住大型護(hù)罩，所以具有如下效果可以容易地設(shè)計(jì)箱體，并且，還可以將箱體的成型精度和變形的問題全部解決。


圖I是本發(fā)明的大型護(hù)罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體的縱剖面說明圖。圖2是圖I的大型護(hù)罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體的主要部位的放大說明圖。圖3是在圖I的大型護(hù)罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體中使用的大型護(hù)罩用保護(hù)膜的平面圖。圖4是在圖I的大型護(hù)罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體中使用的大型護(hù)罩用保護(hù)膜的平面圖。圖5是表示保護(hù)膜的形狀的例子的圖。
具體實(shí)施例方式根據(jù)附圖對本發(fā)明涉及的大型護(hù)罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體的一實(shí)施方式進(jìn)行具體說明。圖I是本發(fā)明涉及的大型護(hù)罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體的縱剖面說明圖，圖2是圖I的大型護(hù)罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體的主要部位的放大說明圖，圖3是在圖I的大型護(hù)罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體中使用的大型護(hù)罩用保護(hù)膜的平面圖，圖4與圖3同樣地是在圖I的大型護(hù)罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體中使用的大型護(hù)罩用保護(hù)膜的平面圖。在圖I、圖2(a)和圖2(b)中，A是大型護(hù)罩，正如已做的詳細(xì)說明，A是護(hù)罩面積在IOOOcm2以上的大型護(hù)罩，其構(gòu)成如下框架I、利用粘合劑2粘附在所述框架I的上緣面上的護(hù)罩膜3、涂在所述框架的下緣面上的粘結(jié)材料4、以及用于保護(hù)該粘結(jié)材料4而粘附在粘結(jié)材料4上的保護(hù)膜5。在上述實(shí)施方式中，將粘結(jié)材料4涂在了框架I的下緣面上，但是，使用預(yù)先將粘結(jié)材料4和保護(hù)膜5形成為層狀所得到的層狀粘結(jié)材料的情況中，只要將該層狀粘結(jié)材料層積在框架I的下緣面上進(jìn)行粘附即可。但是，在本說明書中，也包含上述情況而僅總稱為“涂”。接著，將如上構(gòu)成的大型護(hù)罩A收納在由托盤6和蓋子7構(gòu)成的箱體B中?？梢杂媚z帶將蓋子和托盤的對接面的四周進(jìn)行密封，或者在托盤6和蓋子7的角部安裝夾子8。

在上述大型護(hù)罩A的保護(hù)膜5的外周緣的外側(cè)突出設(shè)置有余邊5a，該余邊5a通過后述的膠帶粘附固定于托盤6的表面上。本發(fā)明人反復(fù)進(jìn)行各種實(shí)驗(yàn)，結(jié)果表明，優(yōu)選該余邊5a的寬度W為6mm以上、長度L為20mm以上。從而可以利用膠帶9容易地將具有這種尺寸的余邊5a以穩(wěn)定的狀態(tài)粘附固定在托盤6的表面上。另外，在本發(fā)明中，更優(yōu)選所述長度L為50mm以上，進(jìn)一步優(yōu)選所述長度L為300mm以上。另外，優(yōu)選在護(hù)罩框架的至少2邊，以各邊長度的5%以上作為余邊的長度；優(yōu)選至少在相對的2邊，以各邊長度的5%以上作為余邊的長度。另外，關(guān)于上述余邊5a的寬度W和長度L，將余邊碰到托盤端部的情況作為余邊的上限。在實(shí)施本發(fā)明的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體時(shí)，如上述圖I和圖2所示，將大型護(hù)罩A放置在箱體B的托盤6的中央部，并且，使用規(guī)定寬度和長度的膠帶9，將突出在大型護(hù)罩A的框架I的外側(cè)的保護(hù)膜5的余邊5a粘附在托盤6的表面上，由此可以將大型護(hù)罩A以極其穩(wěn)定的狀態(tài)簡單且確實(shí)地保持固定在托盤6的中央部。在本發(fā)明的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體中，如上所述，利用富于柔軟性的膠帶9將突出在大型護(hù)罩A的框架I的外側(cè)的保護(hù)膜5的具有柔軟性的余邊5a粘附固定在箱體B的托盤6的表面上，因此，即使箱體B的托盤6的成型精度不充分或者托盤6出現(xiàn)翹曲，也可以簡單地將大型護(hù)罩A以穩(wěn)定的狀態(tài)固定在托盤6上而不受這些問題的影響。另外，優(yōu)選粘附膠帶9以覆蓋余邊5a的整個(gè)面的方式進(jìn)行粘貼，但如果可以獲得粘附固定的效果，也可以以部分覆蓋的方式進(jìn)行粘貼。此外，在本發(fā)明的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體中，由于可以將大型護(hù)罩A以穩(wěn)定的狀態(tài)確實(shí)地保持固定在箱體B的托盤6上，所以無需用箱體B的蓋子7壓住大型護(hù)罩A，因此，可以使蓋子7和大型護(hù)罩A的框架I之間的間隔D為Imm以上。因此，由于大型護(hù)罩A和蓋子7具有足夠的間隔，所以不會出現(xiàn)因運(yùn)送時(shí)等的振動(dòng)導(dǎo)致大型護(hù)罩A和蓋子發(fā)生摩擦的情況，從而無需擔(dān)心出現(xiàn)灰塵的問題。另外，從大型護(hù)罩的保管性、清洗性的方面考慮，上述間隔D優(yōu)選在300mm以下。在上述大型護(hù)罩A的保護(hù)膜5上設(shè)置余邊5a時(shí)，如圖3 (a) 圖3(d)或者圖4(a) 圖4(d)所示，可以在保護(hù)膜5的外緣的外側(cè)突出設(shè)置寬度W為6mm以上、長度L為20mm以上的余邊5a。S卩，圖3(a)是在不對大型護(hù)罩A的中央進(jìn)行粘附的保護(hù)膜5的長邊的外側(cè)中央設(shè)置余邊5a的結(jié)構(gòu)，圖3(b)是在不對大型護(hù)罩A的中央進(jìn)行粘附的保護(hù)膜5的短邊的外側(cè)中央設(shè)置余邊5a的結(jié)構(gòu)。圖3(c)是在不對大型護(hù)罩A的中央進(jìn)行粘附的保護(hù)膜5的長邊和短邊的各邊外側(cè)中央設(shè)置余邊5a的結(jié)構(gòu)，并且圖3(d)是在對大型護(hù)罩A的中央進(jìn)行粘附的保護(hù)膜5的長邊和短邊的各邊外側(cè)中央設(shè)置余邊5a的結(jié)構(gòu)。圖4 (a)是在不對大型護(hù)罩A的中央進(jìn)行粘附的保護(hù)膜5的長邊的外側(cè)中央和短邊的幾乎全部長度的外側(cè)設(shè)置余邊5a的結(jié)構(gòu)，圖4(b)是在不對大型護(hù)罩A的中央進(jìn)行粘附的保護(hù)膜5的長邊的幾乎全部長度的外側(cè)和短邊的中 央分別設(shè)置余邊5a的結(jié)構(gòu)。此外，圖4(c)的情況中，在不對大型護(hù)罩A的中央進(jìn)行粘附的保護(hù)膜5的長邊和短邊的幾乎全部長度連續(xù)設(shè)置余邊5a。圖4(d)的情況中，是在對大型護(hù)罩A的中央進(jìn)行粘附的保護(hù)膜5的長邊和短邊的幾乎全部長度連續(xù)設(shè)置余邊5a的結(jié)構(gòu)。另外，圖5給出了保護(hù)膜的形狀的例子。作為在本發(fā)明中使用的保護(hù)膜的材質(zhì)，優(yōu)選使用聚對苯二甲酸乙二醇酯樹脂、聚乙烯樹脂等。另外，對于保護(hù)膜的厚度，優(yōu)選使用厚度為30μπι 500μπι的保護(hù)膜。對于本發(fā)明中使用的箱體的材質(zhì)，可以使用聚對苯二甲酸乙二醇酯樹脂、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯樹脂、丙烯酸樹脂、聚碳酸酯樹脂、或聚氯乙烯樹脂等樹脂。另外，也可以使用防靜電型樹脂。特別優(yōu)選使用出氣量少的樹脂。另外，作為本發(fā)明中使用的膠帶的基材，可以使用例如聚乙烯、聚丙烯、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚氯乙烯或非織布等。另外，作為膠帶的粘合劑，可以使用例如丙烯酸類的粘合劑或聚乙烯醇等。此外，作為膠帶，優(yōu)選出氣量少的膠帶。另外，也可以是實(shí)施了防靜電處理的膠帶。本發(fā)明人使用具有如上所述的結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的大型護(hù)罩的收納方法及其收納結(jié)構(gòu)體進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)，結(jié)果得到了如下實(shí)施例所示的良好結(jié)果。實(shí)施例I將外形尺寸為427mmX294mm、在保護(hù)膜5的長邊和短邊的中央部位分別設(shè)有尺寸為W IOmmXL IOOmm的余邊5a的大型護(hù)罩A放置在通過以ABS樹脂材料進(jìn)行真空成型得到的箱體B的托盤6上,利用膠帶9 (膠帶尺寸15mmX 120mm)將上述余邊5a粘附固定在托盤6上，然后，將蓋子7蓋在所述托盤6上，在所述托盤6和蓋子7的角部安裝夾子8來將兩者固定。此時(shí)，考慮到成型精度，將大型護(hù)罩A的框架I和蓋子7之間的間隔D保持在3. 6mm以上。以這種狀態(tài)進(jìn)行長距離運(yùn)送大型護(hù)罩的測試，結(jié)果未發(fā)現(xiàn)在大型護(hù)罩A和箱體B之間出現(xiàn)摩擦，并且，在大型護(hù)罩A的護(hù)罩膜3上和框架I的周圍的任意一處也未發(fā)現(xiàn)有灰塵附著。而且，大型護(hù)罩A以最初被放置的狀態(tài)被保持固定。長距離運(yùn)送測試的最大沖擊值是IOcm/S2。實(shí)施例2將外形尺寸為905mmX750mm、在保護(hù)膜5的長邊和短邊的中央部位分別設(shè)有尺寸為W IOmmXL IOOmm的余邊5a的大型護(hù)罩A放置在通過以ABS樹脂材料進(jìn)行真空成型得到的箱體B的托盤6上,利用膠帶9(膠帶尺寸15mmX 120mm)將上述余邊5a粘附固定在托盤6上，然后，將蓋子7蓋在所述托盤6上，在所述托盤6和蓋子7的角部安裝夾子8來將兩者固定。此時(shí)，考慮到成型精度，將大型護(hù)罩A的框架I和蓋子7之間的間隔D保持在3. 6mm以上。在與上述實(shí)施例I完全相同的條件下進(jìn)行運(yùn)送測試，結(jié)果未發(fā)現(xiàn)在大型護(hù)罩A和箱體B之間出現(xiàn)摩擦，并且，在大型護(hù)罩A的護(hù)罩膜3上和框架I的周圍的任意一處也未發(fā)現(xiàn)有灰塵附著。而且，大型護(hù)罩A以與最初放置時(shí)同樣的狀態(tài)被穩(wěn)定地保持固定在托盤6上。實(shí)施例3 6將具有如下表I所示的護(hù)罩的外形尺寸以及設(shè)置于保護(hù)膜的長邊和短邊的中央部的余邊的尺寸(WXL)的大型護(hù)罩A放置在通過以ABS樹脂材料進(jìn)行真空成型得到的箱體B的托盤6上，利用膠帶9將上述余邊5a粘附固定在托盤6上，然后，將蓋子7蓋在所述托盤6上，用帶子將所述托盤6和蓋子7的對接部位的四周進(jìn)行密封。固定帶尺寸以及大型護(hù)罩A的框架I和蓋子7之間的間隔D如下述表I所示。在與上述實(shí)施例I完全相同的條件下對這些護(hù)罩箱體進(jìn)行運(yùn)送測試，結(jié)果未發(fā)現(xiàn)在大型護(hù)罩A和箱體B之間出現(xiàn)摩擦，并且，大型護(hù)罩A以與最初放置時(shí)同樣的狀態(tài)被穩(wěn)定地保持固定在托盤6上。[表 I]
權(quán)利要求
1.一種大型護(hù)罩的收納方法，該方法包括將面積在IOOOcm2以上的大型護(hù)罩收納在由托盤和蓋子構(gòu)成的箱體中的過程，所述大型護(hù)罩包括框架、粘合在該框架的上緣面上的護(hù)罩膜、涂在該框架的下緣面上的粘結(jié)材料以及用于保護(hù)該粘結(jié)材料而粘附在該框架的下面的保護(hù)膜，所述收納方法的特征在于，放置在所述箱體的托盤上的大型護(hù)罩的框架與蓋在所述托盤上的蓋子之間設(shè)置至少Imm以上的間隔來收納所述大型護(hù)罩，所述大型護(hù)罩的保護(hù)膜的外周緣的一部分或全部向外側(cè)突出并形成余邊，并且，利用具有柔軟性的膠帶從上方將該余邊固定在所述托盤上，由此將大型護(hù)罩收納在所述箱體內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的大型護(hù)罩的收納方法，其中，所述保護(hù)膜的余邊在沿著對向的護(hù)罩框架的邊的方向上具有20mm以上的長度，在與沿著對向的護(hù)罩框架的邊的方向垂直的方向上具有6mm以上的寬度。
3.一種大型護(hù)罩收納結(jié)構(gòu)體，該結(jié)構(gòu)體是在由托盤和蓋子構(gòu)成的箱體中收納有面積在IOOOcm2以上的大型護(hù)罩的結(jié)構(gòu)體，所述大型護(hù)罩包括框架、粘合在該框架的上緣面上的護(hù)罩膜、涂在該框架的下緣面上的粘結(jié)材料以及用于保護(hù)該粘結(jié)材料而粘附在該框架的下面的保護(hù)膜，在所述大型護(hù)罩收納結(jié)構(gòu)體中，所述大型護(hù)罩的保護(hù)膜的外周緣的一部分或全部具有向外側(cè)突出的余邊，并且，利用膠帶從上方將該余邊固定在所述托盤上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的大型護(hù)罩收納結(jié)構(gòu)體，其中，所述保護(hù)膜的余邊在沿著對向的護(hù)罩框架的邊的方向上具有20mm以上的長度，在與沿著對向的護(hù)罩框架的邊的方向垂直的方向上具有6mm以上的寬度。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的大型護(hù)罩收納結(jié)構(gòu)體，其中，放置在所述箱體的托盤上的大型護(hù)罩的框架和蓋在所述托盤上的蓋子之間具有至少Imm以上的間隔。
全文摘要
本發(fā)明提供一種大型護(hù)罩的收納方法，該方法包括將面積在1000cm2以上的大型護(hù)罩收納在由托盤和蓋子構(gòu)成的箱體中的過程，所述大型護(hù)罩包括框架、粘合在該框架的上緣面上的護(hù)罩膜、涂在該框架的下緣面的粘結(jié)材料、以及用于保護(hù)該粘結(jié)材料而粘附于該框架的下面的保護(hù)膜，所述收納方法的特征在于，所述大型護(hù)罩的保護(hù)膜的外周緣的一部分或全部向外側(cè)突出并形成余邊，并且，利用膠帶將該余邊固定在所述托盤上，由此將大型護(hù)罩收納在箱體內(nèi)。
文檔編號G03F7/20GK102819184SQ201210274128
公開日2012年12月12日 申請日期2004年12月2日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月2日
發(fā)明者栗山芳真, 脇元一郎 申請人:旭化成電子材料株式會社