專利名稱：一種制版光刻設(shè)備動態(tài)穩(wěn)定性測量方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于制版光刻技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于制版光刻設(shè)備的動態(tài)穩(wěn)定性測
量方法。
背景技術(shù)：
光刻技術(shù)用于在襯底表面上印刷具有特征的構(gòu)圖，所述襯底包括用于制造半導(dǎo)體器件、多種集成電路、平面顯示器(例如液晶顯示器)、電路板、生物芯片、微機(jī)械電子芯片、光電子線路芯片等的基片。經(jīng)常使用的基片為半導(dǎo)體晶圓或掩模板。在光刻制版過程中，將掩模板放置在可精密移動的載物平臺上，通過光刻設(shè)備中的曝光裝置，將特征圖形投射到掩模板表面的指定位置。為保證特征圖形能夠精確地投射到指定位置，需要滿足以下兩個條件首先需要掩模板所在的載物平臺滿足一定的定位精度；再者需要整個光刻系統(tǒng)穩(wěn)定可靠。衡量光刻系統(tǒng)的穩(wěn)定性，通常分為動態(tài)和靜態(tài)兩個方面。動態(tài)穩(wěn)定性是衡量在正常工作狀態(tài)下，根據(jù)光刻工藝的需要，掩模板所在的載物平臺等運(yùn)動部件要發(fā)生運(yùn)動，此時系統(tǒng)受外力、運(yùn)動部件慣性力、定位系統(tǒng)重復(fù)性等動態(tài)因素的影響而產(chǎn)生的位置偏移。靜態(tài)穩(wěn)定性是衡量在特定環(huán)境條件下，無運(yùn)動部件慣性力和外力影響時，系統(tǒng)受環(huán)境溫度、濕度、振動以及系統(tǒng)自身剛度等因素的影響而引起的位置漂移。為了保證曝光過程中整個光刻系統(tǒng)的穩(wěn)定性，需要精確測量光刻系統(tǒng)的靜態(tài)和動態(tài)偏移量，從而實(shí)現(xiàn)曝光特征圖形投射位置的標(biāo)定或補(bǔ)償。所述光刻系統(tǒng)也即整個制版光刻設(shè)備的總和。傳統(tǒng)的光刻系統(tǒng)的穩(wěn)定性測量是采用高精密激光干涉儀，但這種測量方式不但成本高，而且測量裝置的安裝和調(diào)整難度大，測量精度受環(huán)境影響大，同時由于激光干涉儀自身也是發(fā)熱元件，因此當(dāng)激光干涉儀進(jìn)行測量時會對光刻系統(tǒng)的穩(wěn)定性產(chǎn)生額外的影響。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種制版光刻設(shè)備動態(tài)穩(wěn)定性測量方法，本方法充分利用制版光刻設(shè)備中的CCD相機(jī)，能夠?qū)崿F(xiàn)光刻系統(tǒng)動態(tài)穩(wěn)定性的精確測量，測量精度高且測量過程簡便。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了以下技術(shù)方案一種制版光刻設(shè)備動態(tài)穩(wěn)定性測量方法，其特征在于包含如下步驟1)、將掩模板固定在載物平臺上，并在掩模板上制作P (P > 1)個定位標(biāo)記；2)、將所述P個定位標(biāo)記依次成像于制版光刻設(shè)備中的CXD相機(jī)視場內(nèi)，并通過圖像處理技術(shù)對定位標(biāo)記進(jìn)行處理和計算，以得出每一個定位標(biāo)記的中心與CCD相機(jī)視場中心的偏移量，然后移動載物平臺，使每一個定位標(biāo)記的中心均移動至與CCD相機(jī)視場中心相重合，并依次記錄與每一個定位標(biāo)記中心相對應(yīng)的當(dāng)此定位標(biāo)記中心與CCD相機(jī)視場中心重合時的載物平臺的空間物理坐標(biāo)；
3)、逐次地，以載物平臺的每一個空間物理坐標(biāo)為中心，使載物平臺在CXD相機(jī)的視場內(nèi)重復(fù)做移出和回位運(yùn)動，也即先使載物平臺自其空間物理坐標(biāo)處向外移動一段距離，待載物平臺停穩(wěn)后，再使載物平臺重新移動至其空間物理坐標(biāo)處；每一次移出和回位運(yùn)動結(jié)束，且當(dāng)載物平臺重新移動至其空間物理坐標(biāo)處后，通過CCD相機(jī)采集定位標(biāo)記的圖像，并計算出與此空間物理坐標(biāo)相對應(yīng)的定位標(biāo)記中心與CCD相機(jī)視場中心之間的中心偏移量，則對每一個定位標(biāo)記中心均對應(yīng)得到多個中心偏移量；4)、對每一個定位標(biāo)記中心所對應(yīng)的多個中心偏移量通過數(shù)理統(tǒng)計算法而計算出與該定位標(biāo)記中心相對應(yīng)的重復(fù)定位精度值，得到與P個定位標(biāo)記的中心分別對應(yīng)的重復(fù)定位精度值；5)、最后對P個重復(fù)定位精度值通過數(shù)理統(tǒng)計算法而計算得出此光刻系統(tǒng)的動態(tài)重復(fù)定位精度值。本制版光刻設(shè)備動態(tài)穩(wěn)定性測量方法還可以通過以下方式得以進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)重復(fù)幻、4)步驟m次，最終對每一個定位標(biāo)記均得到m個重復(fù)定位精度值，最后對PXm個重復(fù)定位精度值通過數(shù)理統(tǒng)計算法而計算得出此光刻系統(tǒng)的動態(tài)穩(wěn)定性值。優(yōu)選的，所述定位標(biāo)記均勻地分布在掩模板上，則可以測量出與各個定位標(biāo)記相對應(yīng)的重復(fù)定位精度在整個工作平面內(nèi)的分布狀況。具體的，將掩模板的工作平面分別沿二維方向也即X方向和Y方向η等分，得到ηΧη個小方形區(qū)域，在每個小方形區(qū)域的頂角處加工出定位標(biāo)記，最終得到均勻分布的η+1 行、η+1 列定位標(biāo)記，且 P = (η+1) X (η+1)。進(jìn)一步的，所述定位標(biāo)記呈十字狀，這種結(jié)構(gòu)不但使得定位標(biāo)記較為簡單，易于實(shí)施，而且便于精確地計算出定位標(biāo)記的幾何中心位置。所述制版光刻設(shè)備包括曝光光源、光學(xué)集光系統(tǒng)、投影光學(xué)系統(tǒng)、鏡頭轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)、光學(xué)定位檢測系統(tǒng)以及對焦系統(tǒng)；所述對焦系統(tǒng)中的對焦光源所發(fā)出的光依次通過光學(xué)定位檢測系統(tǒng)和投影光學(xué)系統(tǒng)中的光學(xué)器件后照射在掩模板上，光經(jīng)過掩模板反射后再依次通過投影光學(xué)系統(tǒng)中的光學(xué)器件、光學(xué)定位檢測系統(tǒng)的光學(xué)器件而出射至光學(xué)定位檢測系統(tǒng)中的CCD相機(jī)視場內(nèi)；在步驟幻中，移動載物平臺而使選中的定位標(biāo)記進(jìn)入CCD相機(jī)視場內(nèi)，再利用對焦技術(shù)，計算出CCD相機(jī)的焦平面位置，并驅(qū)動載物平臺實(shí)現(xiàn)定位標(biāo)記的對焦，也即實(shí)現(xiàn)所述定位標(biāo)記成像于CXD相機(jī)視場內(nèi)。進(jìn)一步的，所述光學(xué)集光系統(tǒng)包括光學(xué)集光器和圖形發(fā)生器，所述曝光光源與光學(xué)集光器對應(yīng)；所述投影光學(xué)系統(tǒng)包括第一透鏡或透鏡組、第一分光棱鏡、第二分光棱鏡和至少兩個投影鏡頭，所述第一透鏡或透鏡組和第一分光棱鏡自上而下依次設(shè)置在圖形發(fā)生器的下側(cè)，第二分光棱鏡設(shè)置在第一分光棱鏡的旁側(cè)，所述投影鏡頭設(shè)置在第二分光棱鏡的下側(cè)，且所述投影鏡頭設(shè)置在輪盤狀的鏡頭轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)上；所述光學(xué)定位檢測系統(tǒng)包括自上而下設(shè)置的CCD相機(jī)、第二透鏡或透鏡組和第三分光棱鏡，第二透鏡或透鏡組自上而下依次通過第三分光棱鏡和第二分光棱鏡與所述投影鏡頭對應(yīng)；所述對焦系統(tǒng)設(shè)置在投影光學(xué)系統(tǒng)的旁側(cè)。優(yōu)選的，在步驟3)中，載物平臺在以載物平臺的空間物理坐標(biāo)為圓心，以a為半徑的限位圓內(nèi)做移出和回位運(yùn)動，且a小于或等于CCD相機(jī)的視場半徑。進(jìn)一步的，所述載物平臺在限位圓內(nèi)分別沿八個方向移出距離a，相鄰兩個方向之間的夾角角度為45°。本發(fā)明具有以下有益效果1)、本發(fā)明直接利用了制版光刻設(shè)備中的各種光學(xué)元器件以及掩模板所在的可精密移動的載物平臺，不但實(shí)現(xiàn)了光刻系統(tǒng)動態(tài)穩(wěn)定性的測量，而且測量精度高、易于裝調(diào)， 同時也大大地降低了測量成本。2)、本發(fā)明不但可以實(shí)時測量出光刻系統(tǒng)的動態(tài)穩(wěn)定性，還可以測量出載物平臺的整個工作平面內(nèi)的重復(fù)定位精度的分布狀況，從而能為制版光刻設(shè)備的結(jié)構(gòu)設(shè)計、系統(tǒng)分析以及標(biāo)定提供一種有效地測試和驗(yàn)證手段。


圖1是制版光刻設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是定位標(biāo)記在掩模板工作平面上的分布狀態(tài)示意圖。圖3是限位圓的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中標(biāo)記的含義如下1-曝光光源 2-光學(xué)集光器 3-圖形發(fā)生器4-第一透鏡或透鏡組 5-第一分光棱鏡 6-第二分光棱鏡7-投影鏡頭 8-C⑶相機(jī) 9-第二透鏡或透鏡組10-第三分光棱鏡 11-鏡頭轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu) 12-掩模板13-載物平臺 14-對焦反射鏡 15-對焦透鏡或透鏡組16-對焦光源 17-定位標(biāo)記 18-限位圓
具體實(shí)施例方式如圖1所示，所述制版光刻設(shè)備包括曝光光源1、光學(xué)集光系統(tǒng)、投影光學(xué)系統(tǒng)、鏡頭轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)、光學(xué)定位檢測系統(tǒng)以及對焦系統(tǒng)。所述光學(xué)集光系統(tǒng)包括光學(xué)集光器2和圖形發(fā)生器3，所述曝光光源1與光學(xué)集光器2對應(yīng)；所述投影光學(xué)系統(tǒng)包括第一透鏡或透鏡組4、第一分光棱鏡5、第二分光棱鏡6 和至少兩個投影鏡頭7，所述第一透鏡或透鏡組4和第一分光棱鏡5自上而下依次設(shè)置在圖形發(fā)生器3的下側(cè)，第二分光棱鏡6設(shè)置在第一分光棱鏡5的旁側(cè)，所述投影鏡頭7設(shè)置在第二分光棱鏡6的下側(cè)，且所述投影鏡頭7設(shè)置在輪盤狀的鏡頭轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)11上；所述光學(xué)定位檢測系統(tǒng)包括自上而下設(shè)置的CXD相機(jī)8、第二透鏡或透鏡組9和第三分光棱鏡10，第二透鏡或透鏡組9通過自上而下依次通過第三分光棱鏡10、第二分光棱鏡6與所述投影鏡頭7對應(yīng)；所述對焦系統(tǒng)設(shè)置在投影光學(xué)系統(tǒng)的旁側(cè)。對焦系統(tǒng)包括自上而下設(shè)置的對焦光源16、對焦透鏡或透鏡組15和對焦反射鏡 14。對焦系統(tǒng)中的光路與光學(xué)定位檢測系統(tǒng)中的光路彼此平行。所述對焦系統(tǒng)中的對焦光源16所發(fā)出的光依次通過對焦透鏡或透鏡組15、對焦反射鏡14后出射至光學(xué)定位檢測系統(tǒng)中的第三分光棱鏡10處，再被第三分光棱鏡10反射后依次經(jīng)過投影光學(xué)系統(tǒng)中的第二分光棱鏡6和投影鏡頭7出射至掩模板12處；光經(jīng)過掩模板12反射后，再依次通過投影光學(xué)系統(tǒng)中的投影鏡頭7和第二分光棱鏡6以及光學(xué)定位檢測系統(tǒng)中的第三分光棱鏡10和第二透鏡或透鏡組9而出射至C⑶相機(jī)8的視場內(nèi)。下面結(jié)合附圖1 3對本發(fā)明的工作過程做進(jìn)一步說明。1)、通過真空吸附技術(shù)將掩模板12固定在可精密移動的載物平臺13上，并將掩模板12的工作平面分別沿X、Y方向η等分，得到nXn個小方形區(qū)域，在每個小方形區(qū)域的四個頂角處加工出特定的定位標(biāo)記，得到(η+1)行、(η+1)列定位標(biāo)記，如圖1、2所示；其中所述特定的定位標(biāo)記呈十字狀；2)、通過水平移動載物平臺13，將第1行第1列的定位標(biāo)記移動至C⑶相機(jī)視場內(nèi)；3)、利用對焦技術(shù)，計算出CCD相機(jī)的焦平面位置，并通過上下升降載物平臺以實(shí)現(xiàn)第1行第1列定位標(biāo)記的對焦；4)、利用圖像處理技術(shù)，計算出第1行第1列定位標(biāo)記中心與C⑶相機(jī)視場中心之間的中心偏移量，并通過水平移動載物平臺，將第1行第1列定位標(biāo)記的中心移動至與CCD 相機(jī)視場的中心相重合，同時記錄此時載物平臺的空間物理坐標(biāo)(XlliY11)；5)、依步驟4)的方法，逐行逐列將每個定位標(biāo)記移動至CXD相機(jī)視場內(nèi)，并通過圖像處理技術(shù)計算出與每一個定位標(biāo)記中心相對應(yīng)的中心偏移量，并通過水平移動載物平臺將每一個定位標(biāo)記中心移動至與CXD相機(jī)視場中心相重合，并記錄每一個定位標(biāo)記中心與 CXD相機(jī)視場中心相重合時的載物平臺空間物理坐標(biāo)(X12，Y12),…，(Xnn, Ynn), (X(n+1)(n+1), Y(n+lHn+1))；至此，完成了與每一個定位標(biāo)記中心相對應(yīng)的載物平臺物理坐標(biāo)的標(biāo)定；6)、從第1行第1列定位標(biāo)記開始，逐行逐列將載物平臺13對應(yīng)移動至空間物理坐標(biāo)(x12, Y12)，…，(Xnn, Yj，(χ(η+1)(η+1), γ(η+1)(η+1))處；每至一個空間物理坐標(biāo)(Xij, Yij) α 為與此點(diǎn)空間物理坐標(biāo)相對應(yīng)的定位標(biāo)記所在的行號，j為與此點(diǎn)空間物理坐標(biāo)相對應(yīng)的定位標(biāo)記所在的列號)時，以此空間物理坐標(biāo)( ，Yu)處為圓心，在限位圓18中水平移動載物平臺，并使載物平臺分別沿0°、45°、90°、135°、180°、225°、270°、315°八個方向移出距離a，如圖3所示，所述距離a即為限位圓18的半徑，且a小于或等于CXD相機(jī)的視場半徑；每次移出待載物平臺13停穩(wěn)后，再移動載物平臺13使其回位至空間物理坐標(biāo) (XirYij)處，當(dāng)載物平臺13回位后，再通過CXD相機(jī)采集與此空間物理坐標(biāo)(XiPYij)相對應(yīng)的定位標(biāo)記的圖像，并計算出此定位標(biāo)記中心與CCD相機(jī)視場中心之間的中心偏移量， 共得到八次測量的中心偏移量E⑶，Eij,,…，EU8，配合數(shù)理統(tǒng)計算法，計算出與此定位標(biāo)記中心相對應(yīng)的重復(fù)定位精度值Eij ；累計可測得與(η+1)行、(η+1)列定位標(biāo)記中心分別對應(yīng)的(η+1) X (η+1)個重復(fù)定位精度值；7)、利用步驟6)采集的(η+1) X (η+1)個點(diǎn)的重復(fù)定位精度值，配合數(shù)理統(tǒng)計算法，可統(tǒng)計出該光刻系統(tǒng)的動態(tài)重復(fù)定位精度值，從而實(shí)現(xiàn)對系統(tǒng)動態(tài)穩(wěn)定性的精確測量。進(jìn)一步的，還可以對光刻系統(tǒng)的動態(tài)穩(wěn)定性做更為精準(zhǔn)的測量，也即還可以進(jìn)行下述兩步操作8)、重復(fù)步驟6) m次，得到m組(η+1) X (η+1)個重復(fù)定位精度值；9)、利用步驟8)采集的m組(η+1) X (η+1)個點(diǎn)的重復(fù)定位精度值，配合數(shù)理統(tǒng)計算法，可統(tǒng)計出此光刻系統(tǒng)的動態(tài)穩(wěn)定性值。
本發(fā)明充分利用制版光刻設(shè)備自身的對準(zhǔn)成像系統(tǒng)，采用圖像處理技術(shù)，精確測量光刻系統(tǒng)的動態(tài)穩(wěn)定性，方法獨(dú)特新穎，且簡便可行。通過本方法，不僅可以簡便快捷地測量出制版光刻設(shè)備中光刻物鏡與掩模板的動態(tài)漂移量，以實(shí)時測量出光刻系統(tǒng)的動態(tài)穩(wěn)定性，還可以測量出載物平臺的重復(fù)定位精度在整個工作平面內(nèi)的分布，從而為制版光刻設(shè)備的結(jié)構(gòu)設(shè)計、系統(tǒng)分析與標(biāo)定提供一種有效的測試和驗(yàn)證手段。
權(quán)利要求
1.一種制版光刻設(shè)備動態(tài)穩(wěn)定性測量方法，其特征在于包含如下步驟1)、將掩模板固定在載物平臺上，并在掩模板上制作P(P> 1)個定位標(biāo)記；2)、將所述P個定位標(biāo)記依次成像于制版光刻設(shè)備中的CXD相機(jī)視場內(nèi)，并通過圖像處理技術(shù)對定位標(biāo)記進(jìn)行處理和計算，以得出每一個定位標(biāo)記的中心與CCD相機(jī)視場中心的偏移量，然后移動載物平臺，使每一個定位標(biāo)記的中心均移動至與CCD相機(jī)視場中心相重合，并依次記錄與每一個定位標(biāo)記中心相對應(yīng)的當(dāng)此定位標(biāo)記中心與CCD相機(jī)視場中心重合時的載物平臺的空間物理坐標(biāo)；3)、逐次地，以載物平臺的每一個空間物理坐標(biāo)為中心，使載物平臺在C⑶相機(jī)的視場內(nèi)重復(fù)做移出和回位運(yùn)動，也即先使載物平臺自其空間物理坐標(biāo)處向外移動一段距離，待載物平臺停穩(wěn)后，再使載物平臺重新移動至其空間物理坐標(biāo)處；每一次移出和回位運(yùn)動結(jié)束，且當(dāng)載物平臺重新移動至其空間物理坐標(biāo)處后，通過CCD相機(jī)采集定位標(biāo)記的圖像，并計算出與此空間物理坐標(biāo)相對應(yīng)的定位標(biāo)記中心與CCD相機(jī)視場中心之間的中心偏移量，則對每一個定位標(biāo)記中心均對應(yīng)得到多個中心偏移量；4)、對每一個定位標(biāo)記中心所對應(yīng)的多個中心偏移量通過數(shù)理統(tǒng)計算法而計算出與該定位標(biāo)記中心相對應(yīng)的重復(fù)定位精度值，得到與P個定位標(biāo)記的中心分別對應(yīng)的重復(fù)定位精度值；5)、最后對P個重復(fù)定位精度值通過數(shù)理統(tǒng)計算法而計算得出此光刻系統(tǒng)的動態(tài)重復(fù)定位精度值。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制版光刻設(shè)備動態(tài)穩(wěn)定性測量方法，其特征在于重復(fù)3)、4)步驟m次，最終對每一個定位標(biāo)記均得到m個重復(fù)定位精度值，最后對PXm個重復(fù)定位精度值通過數(shù)理統(tǒng)計算法而計算得出此光刻系統(tǒng)的動態(tài)穩(wěn)定性值。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制版光刻設(shè)備動態(tài)穩(wěn)定性測量方法，其特征在于所述定位標(biāo)記均勻地分布在掩模板上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制版光刻設(shè)備動態(tài)穩(wěn)定性測量方法，其特征在于所述制版光刻設(shè)備包括曝光光源、光學(xué)集光系統(tǒng)、投影光學(xué)系統(tǒng)、鏡頭轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)、光學(xué)定位檢測系統(tǒng)以及對焦系統(tǒng)；所述對焦系統(tǒng)中的對焦光源所發(fā)出的光依次通過光學(xué)定位檢測系統(tǒng)和投影光學(xué)系統(tǒng)中的光學(xué)器件后照射在掩模板上，光經(jīng)過掩模板反射后再依次通過投影光學(xué)系統(tǒng)中的光學(xué)器件、光學(xué)定位檢測系統(tǒng)的光學(xué)器件而出射至光學(xué)定位檢測系統(tǒng)中的CCD相機(jī)視場內(nèi)；在步驟2)中，移動載物平臺而使選中的定位標(biāo)記進(jìn)入CCD相機(jī)視場內(nèi)，再利用對焦技術(shù)，計算出CCD相機(jī)的焦平面位置，并驅(qū)動載物平臺實(shí)現(xiàn)定位標(biāo)記的對焦，也即實(shí)現(xiàn)所述定位標(biāo)記成像于CXD相機(jī)視場內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制版光刻設(shè)備動態(tài)穩(wěn)定性測量方法，其特征在于將掩模板的工作平面分別沿二維方向也即X方向和Y方向η等分，得到ηΧη個小方形區(qū)域，在每個小方形區(qū)域的頂角處加工出定位標(biāo)記，最終得到均勻分布的η+1行、η+1列定位標(biāo)記，且P =(η+1) X (η+1)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制版光刻設(shè)備動態(tài)穩(wěn)定性測量方法，其特征在于所述光學(xué)集光系統(tǒng)包括光學(xué)集光器和圖形發(fā)生器，所述曝光光源與光學(xué)集光器對應(yīng)；所述投影光學(xué)系統(tǒng)包括第一透鏡或透鏡組、第一分光棱鏡、第二分光棱鏡和至少兩個投影鏡頭，所述第一透鏡或透鏡組和第一分光棱鏡自上而下依次設(shè)置在圖形發(fā)生器的下側(cè)，第二分光棱鏡設(shè)置在第一分光棱鏡的旁側(cè)，所述投影鏡頭設(shè)置在第二分光棱鏡的下側(cè)，且所述投影鏡頭設(shè)置在輪盤狀的鏡頭轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)上；所述光學(xué)定位檢測系統(tǒng)包括自上而下設(shè)置的CCD相機(jī)、第二透鏡或透鏡組和第三分光棱鏡，第二透鏡或透鏡組自上而下依次通過第三分光棱鏡和第二分光棱鏡與所述投影鏡頭對應(yīng)；所述對焦系統(tǒng)設(shè)置在投影光學(xué)系統(tǒng)的旁側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或5所述的制版光刻設(shè)備動態(tài)穩(wěn)定性測量方法，其特征在于所述定位標(biāo)記呈十字狀。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或5所述的制版光刻設(shè)備動態(tài)穩(wěn)定性測量方法，其特征在于在步驟3)中，載物平臺在以載物平臺的空間物理坐標(biāo)為圓心，以a為半徑的限位圓內(nèi)做移出和回位運(yùn)動，且a小于或等于CCD相機(jī)的視場半徑。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制版光刻設(shè)備動態(tài)穩(wěn)定性測量方法，其特征在于所述載物平臺在限位圓內(nèi)分別沿八個方向移出距離a，相鄰兩個方向之間的夾角角度為45°。
全文摘要
本發(fā)明屬于制版光刻技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于制版光刻設(shè)備的動態(tài)穩(wěn)定性測量方法。本方法將掩模板固定在平臺上，并在掩模板上制作多個定位標(biāo)記；然后依次記錄每一個定位標(biāo)記的中心與CCD相機(jī)視場中心重合時的平臺坐標(biāo)；再逐次以每一個坐標(biāo)為中心，使平臺做移出和回位運(yùn)動，當(dāng)載物平臺回位后，計算出此定位標(biāo)記中心與CCD相機(jī)視場中心之間的中心偏移量；重復(fù)多次則得到多個中心偏移量，對多個中心偏移量通過算法計算出與該定位標(biāo)記中心相對應(yīng)的重復(fù)定位精度值；則得到與多個定位標(biāo)記中心分別對應(yīng)的重復(fù)定位精度值；再對多個重復(fù)定位精度值計算出系統(tǒng)動態(tài)重復(fù)定位精度值。本發(fā)明測量精度高、易于裝調(diào)，同時測量成本較低。
文檔編號G03F1/44GK102566311SQ201210009238
公開日2012年7月11日 申請日期2012年1月12日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月12日
發(fā)明者方林 申請人:合肥芯碩半導(dǎo)體有限公司