專利名稱：光學(xué)組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光學(xué)組件(optical component),具體涉及包括波導(dǎo)型光學(xué)器件的光學(xué)組件。
背景技術(shù)：
隨著光通信系統(tǒng)的技術(shù)進步，對高性能光學(xué)組件(光學(xué)組件)的需求不斷增加。波導(dǎo)型光學(xué)器件(waveguide type optical device)可通過在基板上形成光波導(dǎo)來實現(xiàn)各種光波回路，因此被用作光學(xué)組件的構(gòu)成部件。為了進一步提高光學(xué)組件的性能，實現(xiàn)了將具有不同功能的波導(dǎo)型光學(xué)器件集成化或者將透鏡、空間相位調(diào)制器等空間光學(xué)類部件和波導(dǎo)型光學(xué)器件集成化的混合光學(xué)組件。具體光學(xué)組件的實例例如有(1)在不同的平面光波回路(PLC)基板上形成陣列波導(dǎo)光柵(AWG)和可變光衰減器(VOA)后將其光耦合的V-AWG組件，(2)將由如石英類玻璃和鈮酸鋰(LN)等不同材料構(gòu)成的波導(dǎo)型光學(xué)器件光耦合的 RZ-DQP SKCReturn to Zero Differential Quadrature Phase Shift Keying,稱為歸零差分正交相移鍵控)組件，(3)將作為空間相位調(diào)制器的LCOS (Liquid Crystal On Silicon,稱為娃基液晶)和 PLC 光稱合的 TODC (Tunable Optical Dispersion Compensator,稱為可調(diào)光色散補償器)組件等。在混合光學(xué)組件中，為了降低由機械振動、沖擊等外力帶來的影響，將PLC等波導(dǎo)型光學(xué)器件固定在支架上來制造所述混合光學(xué)組件，但是，存在因波導(dǎo)型光學(xué)器件與支架之間的熱膨脹系數(shù)之差而產(chǎn)生熱應(yīng)力的為題。在專利文獻I中公開了將連接有多個PLC芯片的元件固定在支架上的光學(xué)組件中減輕針對PLC芯片連接部的熱應(yīng)力的技術(shù)。下面參考圖IA-圖IC (與專利文獻I的圖I對應(yīng))進行說明。在專利文獻I的混合光學(xué)組件中，PLC芯片2和PLC芯片3對接(butt joint)，PLC芯片2直接固定在支架I的凸出部。PLC芯片3懸浮在支架I上，由此抑制因PLC芯片3和支架I之間的熱膨脹之差引發(fā)的熱應(yīng)力，從而降低PLC芯片連接部中的耦合損失。在PLC芯片3和支架I之間填充有填充材料14，在支架I上設(shè)置有用于保持的凸出部10，凸出部10的側(cè)面涂布有彈性粘合劑9a、9b，通過彈性粘合劑9a、9b對PLC芯片3提供進一步保持。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，即使對給PLC芯片連接部的耦合損失產(chǎn)生最大影響的方向(垂直于基板的方向)施加機械振動或沖擊，PLC芯片3也不會在上下方向上變動?，F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻I :日本國專利申請公開公報“特開2009-175364”

發(fā)明內(nèi)容
但是，為防止光學(xué)組件的光學(xué)特性在PLC芯片3被施加機械振動等情況下發(fā)生惡化而設(shè)置的彈性粘合劑9a、9b和填充材料14卻很難實現(xiàn)最佳化，，因而需要對其進一步改
盡
口 ο
本發(fā)明是鑒于如上所述的問題點而提出的，其目的在于提供一種能夠抑制由熱應(yīng)力和機械外力引發(fā)的光學(xué)特性劣化的光學(xué)組件，其中，在該光學(xué)組件中，波導(dǎo)型光學(xué)器件的一部分固定在支架的凸出部上。為了達到如上所述的目的，本發(fā)明第一方式為波導(dǎo)型光學(xué)器件的一部分被固定在支架的凸出部上的光學(xué)組件，其特征在于，包括光學(xué)器件支承臺，固定在所述波導(dǎo)型光學(xué)器件的未固定在所述凸出部上的部分的側(cè)壁上；按壓部件，配置在所述光學(xué)器件支承臺上并與所述支架相對；以及按壓支承臺，設(shè)置在所述支架上，并固定所述按壓部件；所述光學(xué)器件支承臺被所述支架和所述按壓部件夾持，并且能夠在與所述支架及所述按壓部件的表面平行的方向上滑動。此外，本發(fā)明的第二方式的特征在于，在第一方式中，所述按壓支承臺包括固定所述按壓部件的兩端的第一按壓支承臺和第二按壓支承臺，所述第一按壓支承臺和所述第二按壓支承臺互相相對配置；所述光學(xué)器件支承臺被所述支架和所述按壓部件夾持并在與所述支架和所述按壓部件之間分別設(shè)置有間隙，并且，所述光學(xué)器件支承臺能夠在與所述支架及所述按壓部件的表面平行的方向上滑動。
此外，本發(fā)明的第三方式的特征在于，在第一方式或第二方式中，所述按壓支承臺和所述支架形成為一體，構(gòu)成將所述波導(dǎo)型光學(xué)器件收納的殼體。此外，本發(fā)明的第四方式的特征在于，在第一方式至第三方式之一中，所述光學(xué)器件支承臺固定在所述波導(dǎo)型光學(xué)器件的未固定在所述凸出部上的部分因所述光學(xué)組件的振動而產(chǎn)生的振動模式的振幅的波腹附近支承。此外，本發(fā)明的第五方式的特征在于，在第一方式至第四方式之一中，所述光學(xué)器件支承臺與所述波導(dǎo)型光學(xué)器件之間、所述按壓部件與所述第一按壓支承臺及第二按壓支承臺之間、或者所述按壓支承臺與所述支架之間通過紫外線固化型粘合劑、熱固化型粘合劑或者釬焊焊接來固定。此外，本發(fā)明的第六方式的特征在于，在第一方式至第五方式之一中，所述光學(xué)器件支承臺與所述支架和所述按壓部件之間的間隔分別為I μ m至10 μ m。此外，本發(fā)明的第七方式的特征在于，在第一方式至第六方式之一中，所述光學(xué)器件支承臺與所述支架之間的所述間隙、和/或、所述光學(xué)器件支承臺與所述按壓部件之間的所述間隙中填充有潤滑油支承。此外，本發(fā)明的第八方式的特征在于，對在第一方式至第七方式之一中的所述光學(xué)器件支承臺實施去棱角處理，使得與所述支架和所述按壓部件之間的接觸面積減小。此外，本發(fā)明的第九方式的特征在于，在第一方式至第八方式之一中，所述光學(xué)器件支承臺的材料的熱膨脹系數(shù)與所述波導(dǎo)型光學(xué)器件的固定有所述光學(xué)器件支承臺而未固定在所述凸出部上的所述部分的熱膨脹系數(shù)大致相同。此外，本發(fā)明的第十方式的特征在于，在第一方式至第九方式之一中的所述光學(xué)器件支承臺由高分子材料構(gòu)成。此外，本發(fā)明的第十一方式為波導(dǎo)型光學(xué)器件的一部分被固定在支架的凸出部上的光學(xué)組件的制造方法，其特征在于，包括將所述波導(dǎo)型光學(xué)器件固定在所述凸出部上的步驟；將光學(xué)器件支承臺固定在所述波導(dǎo)型光學(xué)器件的未固定在所述支架的部分上的步驟；在所述光學(xué)器件支承臺上配置按壓部件，使得與所述支架相對的步驟；以及以所述支架上的按壓支承臺固定所述按壓部件的步驟；其中，所述光學(xué)器件支承臺被所述支架和所述按壓部件夾持，并且能夠在與所述支架及所述按壓部件的表面平行的方向上滑動。根據(jù)本發(fā)明，通過將構(gòu)成光學(xué)器件的波導(dǎo)型光學(xué)器件的一部分固定在支架的凸出部上，并保持剩余部分使其能夠滑動，從而能夠抑制因熱應(yīng)力和機械外力引發(fā)的光學(xué)特性惡化的現(xiàn)象。


圖IA是表示現(xiàn)有的混合光學(xué)組件的圖。圖IB是表示現(xiàn)有的混合光學(xué)組件的圖。圖IC是表示現(xiàn)有的混合光學(xué)組件的圖。圖2A是表示實施方式I的光學(xué)組件的圖。 圖2B是表示實施方式I的光學(xué)組件的圖。圖3是沿著圖2B的III-III線的剖視圖。圖4A是表示實施方式2的光學(xué)組件的圖。圖4B是表示實施方式2的光學(xué)組件的圖。圖5沿著圖4B的V-V線的剖視圖。圖6是表不實施方式3的光學(xué)組件的圖。圖7A是表示光學(xué)器件支承臺的剖面形狀的圖。圖7B是表示光學(xué)器件支承臺的剖面形狀的圖。圖8A是用于說明實施方式I的光學(xué)組件的制造方法的圖。圖SB是用于說明實施方式I的光學(xué)組件的制造方法的圖。圖SC是用于說明實施方式I的光學(xué)組件的制造方法的圖。
具體實施例方式下面，參考附圖，對本發(fā)明的實施方式進行詳細說明。(實施方式I)圖2A和圖2B表示實施方式I的光學(xué)組件。光學(xué)組件200包括第一波導(dǎo)型光學(xué)器件201，例如，PLC等；與第一波導(dǎo)型光學(xué)器件201對接的第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202 ;以及具有凸出部211的支架210，第一波導(dǎo)型光學(xué)器件201直接固定在所述凸出部211上。在支架210上，形成有光纖保持部件212，光纖230通過使用光纖保持部件212和連接在第一波導(dǎo)型光學(xué)器件201的光纖排列部件220與第一波導(dǎo)型光學(xué)器件201連接。第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202懸浮在支架上，由此抑制由第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202和支架210之間的熱膨脹之差引發(fā)的、針對波導(dǎo)型光學(xué)器件的連接部或第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202自身的熱應(yīng)力。在本實施方式的光學(xué)組件中，保持第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202時不使用彈性粘合劑或填充材料。參考圖3 (沿著圖2B的III-III線的剖視圖)，對第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202的保持結(jié)構(gòu)進行說明。互相相對的第一光學(xué)器件支承臺301和第二光學(xué)器件支承臺302通過粘合、釬焊等方式固定在第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202的兩側(cè)側(cè)壁上。在支架210上設(shè)置有第一按壓支承臺311和第二按壓支承臺312，上述部件也互相相對。在第一光學(xué)器件支承臺301和第二光學(xué)器件支承臺302上配置有按壓部件313，按壓部件313的兩端被固定于第一按壓支承臺311和第二按壓支承臺312。第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202、第一光學(xué)器件支承臺301以及第二光學(xué)器件支承臺302并未固定在周圍的部件(S卩，支架210、第一按壓支承臺311和第二按壓支承臺312、按壓部件313)上，而是能夠在與支架210的表面平行的方向(圖3的垂直于紙面的方向)上滑動。第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202不僅懸浮在支架210上，而且還沒有被填充材料或彈性粘合劑固定在支架210上，因此，即使第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202和支架210之間存在熱膨脹之差，也能夠顯著抑制針對波導(dǎo)型光學(xué)器件的連接部或第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202自身的熱應(yīng)力。此外，第一光學(xué)器件支 承臺301和第二光學(xué)器件支承臺302未固定在支架210和按壓支承臺313上，在能夠抑制第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202因熱應(yīng)力、外力等作用而發(fā)生移動的范圍內(nèi)靠近支架210和按壓支承臺支承并被該二者所夾持支承，因此，即使向垂直于支架210的表面的方向施加機械振動或沖擊，第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202也不會在上下方向上變動，也不會使應(yīng)力作用于波導(dǎo)型光學(xué)器件的連接部。如上所述，本實施方式的光學(xué)組件通過將波導(dǎo)型光學(xué)器件的一部分固定在支架的凸出部上并將剩余部分保持為可滑動狀態(tài)，從而能夠抑制由熱應(yīng)力和機械外力弓I發(fā)的光學(xué)特性惡化的現(xiàn)象。在本實施方式中，由于第一光學(xué)器件支承臺301和第二光學(xué)器件支承臺302被固定在第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202的側(cè)壁上，因此不需要擴大第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202的波導(dǎo)布局或形狀，就能夠在第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202上固定第一光學(xué)器件支承臺301和第二光學(xué)器件支承臺302。當(dāng)對第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202的波導(dǎo)布局或形狀沒有限制時，還可以將第一光學(xué)器件支承臺301和第二光學(xué)器件支承臺302固定在第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202的正面和背面。另外，波導(dǎo)型光學(xué)器件202與第一光學(xué)器件支承臺301、第二光學(xué)器件支承臺302之間、第一按壓支承臺311、第二按壓支承臺312與按壓部件313之間、或者按壓支承臺313與支架210之間，可通過紫外線固化型粘合劑、熱固化型粘合劑、釬焊焊接來予以固定。此外，還可以在第一光學(xué)器件支承臺301、第二光學(xué)器件支承臺302與支架210或按壓部件313之間的間隙中填充潤滑油。根據(jù)上述實施方式，例如，以PLC型VOA制造第一波導(dǎo)型光學(xué)器件201，以PLC型AffG制造第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202，則能夠?qū)崿F(xiàn)V-AWG組件，其中，所述V-AWG組件能夠改變在每個波長信道的光輸出。此外,在第一光學(xué)器件支承臺301和第二光學(xué)器件支承臺302未固定的狀態(tài)下,若在第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202產(chǎn)生的振動模式的振幅的波腹附近固定第一光學(xué)器件支承臺301和第二光學(xué)器件支承臺302，則可有效地抑制第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202產(chǎn)生的振幅。其效果相當(dāng)于將振動模式的共振頻率向高頻側(cè)移動。此外，第一光學(xué)器件支承臺301和第二光學(xué)器件支承臺302可以由熱膨脹系數(shù)與第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202的熱膨脹系數(shù)大致相同的材料制造，其中，所述第一光學(xué)器件支承臺301和所述第二光學(xué)器件支承臺302固定于所述第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202。當(dāng)?shù)诙▽?dǎo)型光學(xué)器件202為PLC時，作為熱膨脹系數(shù)與PLC—致的材料，例如可以使用硅、石英玻璃、硼硅酸玻璃(“^ 4 y ^ (注冊商標)玻璃)等。通過使熱膨脹系數(shù)一致，能夠抑制第一光學(xué)器件支承臺301、第二光學(xué)器件支承臺302和第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202剝離。
此外，按壓部件313可以使用熱膨脹系數(shù)與支架210的熱膨脹系數(shù)一致的材料。通過使熱膨脹系數(shù)一致，能夠抑制因按壓部件313與支架210的熱膨脹系數(shù)之差產(chǎn)生的變形。當(dāng)產(chǎn)生變形時，兩者的距離發(fā)生變化，從而導(dǎo)致第一光學(xué)器件支承臺301和第二光學(xué)器件支承臺302的動作范圍過大，或者，不能滑動，等等，因此可能會無法得到期望的效果。此外，第一光學(xué)器件支承臺301和第二光學(xué)器件支承臺302可以由注重滑動性的材料制造，如高分子材料(“ ^ 7 口 (注冊商標)等)。最后，對本實施方式的光學(xué)組件的制造方法進行說明(參考圖8A-圖SC)。首先，將第一波導(dǎo)型光學(xué)器件201和第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202對接，使得光耦合(未圖示)。接下來，將第一波導(dǎo)型光學(xué)器件201固定在支架210的凸出部211上(圖8A)。接下來，在懸浮在支架210上的第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202的側(cè)壁固定第一光學(xué)器件支承臺301和第二光學(xué)器件支承臺302 (圖8B)。此時，在第一光學(xué)器件支承臺301和第二光學(xué)器件支承臺302與支架210之間設(shè)置間隙并予以固定。例如固定在距離支架2101-10 μ m的位置上。其中，距離1-10 μ m的原因是因為通過實驗確認當(dāng)施加熱應(yīng)力或機械外力時第一波導(dǎo)型光學(xué)器件201和第二波導(dǎo)型光學(xué)器件202的連接部的光學(xué)特性不發(fā)生惡化。接下來，將按壓部件313配 置在第一光學(xué)器件支承臺301和第二光學(xué)器件支承臺302上，并使按壓部件313與支架210相對。最后，將按壓部件313固定在互相相對的第一按壓支承臺311和第二按壓支承臺312上，并且在按壓部件313與第一光學(xué)器件支承臺301和第二光學(xué)器件支承臺302之間設(shè)置例如1-10 μ m左右的間隙(圖SC)。其中，第一光學(xué)器件支承臺301和第二光學(xué)器件支承臺302與支架210或按壓部件313之間的間隙是考慮光學(xué)組件200的機械強度和光學(xué)特性后決定的值，可通過使用微動臺或隔墊物進行控制。另外，即使第一光學(xué)器件支承臺301和第二光學(xué)器件支承臺302與支架210或按壓部件313進行局部接觸，只要第一光學(xué)器件支承臺301和第二光學(xué)器件支承臺302被夾持在支架210和按壓部件313之間，并且能夠在與支架210和按壓部件313的表面平行的方向上滑動，就能得到期望的效果。(實施方式2)圖4A和圖4B示出了實施方式2的光學(xué)組件。與實施方式I的光學(xué)組件200的較大區(qū)別在于，在光學(xué)組件400中，按壓支承臺與支架形成為一體而構(gòu)成殼體。此外，在光學(xué)組件400中，三個波導(dǎo)型光學(xué)器件連接在一起。光學(xué)組件400包括第一波導(dǎo)型光學(xué)器件401 ;與第一波導(dǎo)型光學(xué)器件401的一端對接的第二波導(dǎo)型光學(xué)器件402 ;與第一波導(dǎo)型光學(xué)器件401的另一端對接的第三波導(dǎo)型光學(xué)器件403 ;以及具有凸出部411的支架410，第一波導(dǎo)型光學(xué)器件401直接固定在凸出部411上。支架410包括光纖保持部件412，光纖430通過使用光纖保持部件412和與第二波導(dǎo)型光學(xué)器件402連接的光纖排列部件420，與第二波導(dǎo)型光學(xué)器件402連接。第二波導(dǎo)型光學(xué)器件402懸浮在支架上，由此抑制由第二波導(dǎo)型光學(xué)器件402和支架410之間的熱膨脹之差引起的、針對波導(dǎo)型光學(xué)器件的連接部或第二波導(dǎo)型光學(xué)器件402自身的熱應(yīng)力。在圖5 (沿著圖4B的V-V線的剖視圖)中示出了第二波導(dǎo)型光學(xué)器件402的保持結(jié)構(gòu)，其中除了按壓支承臺與支架形成為一體之外，與圖3的結(jié)構(gòu)相同。支架410的一部分起到了第一按壓支承臺410A和第二按壓支承臺410B的作用，按壓部件313固定在第一按壓支承臺410A和第二按壓支承臺410B上。
通過將第一按壓支承臺410A、第二按壓支承臺410B和支架410形成為一體而構(gòu)成殼體，可以減少部件數(shù)，因此，能夠減少組裝所需的工時，而且可以做到小型化。并且，由于第一按壓支承臺410A、第二按壓支承臺410B和支架410由相同的材料形成且不經(jīng)由粘合劑等進行粘合，因此，能夠減小垂直于支架410的方向的熱膨脹之差，從而能夠使按壓部件313與支架410之間大致保持一定的間隙。另外，例如還可以在間隙中填充潤滑油等內(nèi)容與實施方式 I相同。此外，在圖4A和圖4B的第三波導(dǎo)型光學(xué)器件403中，第三波導(dǎo)型光學(xué)器件403的光線方向的端面為自由端，成為振動模式的波腹，因此設(shè)置單個光學(xué)器件支承臺404來予 以保持。在光學(xué)器件支承臺404上配置有按壓部件405，按壓部件405的三個邊被固定在與支架410形成為一體的三個按壓支承臺上。即，在本實施方式中，支架410的三個邊即為按壓支承臺。本實施方式中，在第三波導(dǎo)型光學(xué)器件403固定一個光學(xué)器件支承臺404，但是根據(jù)波導(dǎo)型光學(xué)器件403的結(jié)構(gòu)，振動模式的共振頻率尚在使用環(huán)境的振動頻率范圍內(nèi)，從而有時會惡化光學(xué)特性。在這種情況下，只要增加光學(xué)器件支承臺即可，使得共振頻率向更高的高頻側(cè)移動。S卩，可以根據(jù)各個波導(dǎo)型光學(xué)器件的振動模式，改變固定在所述波導(dǎo)型光學(xué)器件上的光學(xué)器件支承臺的數(shù)量。根據(jù)上述實施方式，例如，通過以LN基板制造第一波導(dǎo)型光學(xué)器件401，以石英類PLC制造第二波導(dǎo)型光學(xué)器件402和第三波導(dǎo)型光學(xué)器件403，能夠?qū)崿F(xiàn)RZ-DQPSK組件。(實施方式3)圖6示出了實施方式3的光學(xué)組件。光學(xué)組件600并不是如實施方式I和2所示的將多個波導(dǎo)型光學(xué)器件連接的裝置，而是將作為空間光學(xué)系統(tǒng)部件的空間相位調(diào)制器和波導(dǎo)型光學(xué)器件光耦合的裝置。光學(xué)組件600包括波導(dǎo)型光學(xué)器件601 ;具有凸出部611的支架610，波導(dǎo)型光學(xué)器件601的一部分直接固定在凸出部611上。在支架610上，形成有光纖保持部件612，光纖630通過使用光纖保持部件612和與波導(dǎo)型光學(xué)器件601連接的光纖排列部件620，與波導(dǎo)型光學(xué)器件601連接。波導(dǎo)型光學(xué)器件601的未被固定的部分懸浮在支架610上，由此抑制由波導(dǎo)型光學(xué)器件601與支架610之間的熱膨脹之差引起的、針對波導(dǎo)型光學(xué)器件601的熱應(yīng)力。波導(dǎo)型光學(xué)器件601的保持結(jié)構(gòu)與參考圖3進行說明的內(nèi)容相同，因此，在此省略說明。光纖排列部件620連接在波導(dǎo)型光學(xué)器件601的一個端面上，第一透鏡641被固定光纖排列部件620的與所述一個端面相反的另一個端面上。在第一透鏡641被固定的端面的附近固定波導(dǎo)型光學(xué)器件601。通過第一透鏡641的光通過固定在支架610上的第二透鏡642，從而入射至支架610上的LCOS等空間相位調(diào)制器650。固定第二透鏡641、空間相位調(diào)制器650等空間光學(xué)系統(tǒng)部件的支架610通常由熱膨脹系數(shù)低的材料(不脹鋼等)制造。光學(xué)器件支承臺可以使用剖面形狀為四角形、被實施去棱角處理的四角形等(參考圖7A和圖7B)。被實施去棱角處理的情況下，光學(xué)器件支承臺與支架及按壓部件之間的接觸面積減小。這在實施方式I和2中也是相同的。另外，在說明書中描述為“波導(dǎo)型光學(xué)器件的一部分”，其包括下述的意義如實施方式I和2所述，指連接的多個波導(dǎo)型光學(xué)器 件中的一個或幾個；如實施方式3所述，指單個波導(dǎo)型光學(xué)器件中的一部分。根據(jù)本實施方式，例如，通過以PLC型AWG制造波導(dǎo)型光學(xué)器件，能夠?qū)崿F(xiàn)TODC組件。
權(quán)利要求
1.一種光學(xué)組件，波導(dǎo)型光學(xué)器件的一部分被固定在支架的凸出部上，其特征在于，所述光學(xué)組件包括 光學(xué)器件支承臺，固定在所述波導(dǎo)型光學(xué)器件的未固定在所述凸出部上的部分的側(cè)壁上； 按壓部件，配置在所述光學(xué)器件支承臺上并與所述支架相對；以及 按壓支承臺，設(shè)置在所述支架上，并固定所述按壓部件； 所述光學(xué)器件支承臺被所述支架和所述按壓部件夾持，并且能夠在與所述支架及所述按壓部件的表面平行的方向上滑動。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光學(xué)組件，其特征在于， 所述按壓支承臺包括固定所述按壓部件的兩端的第一按壓支承臺和第二按壓支承臺，所述第一按壓支承臺和所述第二按壓支承臺互相相對配置， 所述光學(xué)器件支承臺被所述支架和所述按壓部件夾持并在與所述支架和所述按壓部件之間分別設(shè)置有間隙，并且，所述光學(xué)器件支承臺能夠在與所述支架及所述按壓部件的表面平行的方向上滑動。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的光學(xué)組件，其特征在于， 所述按壓支承臺和所述支架形成為一體，構(gòu)成收納所述波導(dǎo)型光學(xué)器件的殼體。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至3之一所述的光學(xué)組件，其特征在于， 所述光學(xué)器件支承臺固定在所述波導(dǎo)型光學(xué)器件的未固定在所述凸出部上的部分、因所述光學(xué)組件的振動而產(chǎn)生的振動模式的振幅的波腹附近。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4之一所述的光學(xué)組件，其特征在于， 所述光學(xué)器件支承臺與所述波導(dǎo)型光學(xué)器件之間、所述按壓部件與所述第一按壓支承臺和第二按壓支承臺之間、或者所述按壓支承臺與所述支架之間通過紫外線固化型粘合齊U、熱固化型粘合劑或者釬焊焊接來固定。
6.根據(jù)權(quán)利要求I至5之一所述的光學(xué)組件，其特征在于， 所述光學(xué)器件支承臺與所述支架和所述按壓部件之間的間隔分別為I μ m至10 μ m。
7.根據(jù)權(quán)利要求I至6之一所述的光學(xué)組件，其特征在于， 所述光學(xué)器件支承臺與所述支架之間的所述間隙和/或所述光學(xué)器件支承臺與所述按壓部件之間的所述間隙中填充有潤滑油。
8.根據(jù)權(quán)利要求I至7之一所述的光學(xué)組件，其特征在于， 對所述光學(xué)器件支承臺實施去棱角處理，使得與所述支架和所述按壓部件之間的接觸面積減小。
9.根據(jù)權(quán)利要求I至8之一所述的光學(xué)組件，其特征在于， 所述光學(xué)器件支承臺的材料的熱膨脹系數(shù)與所述波導(dǎo)型光學(xué)器件的固定有所述光學(xué)器件支承臺而未固定在所述凸出部上的所述部分的熱膨脹系數(shù)大致相同。
10.根據(jù)權(quán)利要求I至8之一所述的光學(xué)組件，其特征在于， 所述光學(xué)器件支承臺由高分子材料構(gòu)成。
11.一種光學(xué)組件的制造方法，在所述光學(xué)組件中，波導(dǎo)型光學(xué)器件的一部分被固定在支架的凸出部上，其特征在于，包括 將所述波導(dǎo)型光學(xué)器件固定在所述凸出部上的步驟；將光學(xué)器件支承臺固定在所述波導(dǎo)型光學(xué)器件的未固定在所述支架的部分上的步驟； 在所述光學(xué)器件支承臺上配置按壓部件并使得與所述支架相對的步驟；以及 以所述支架上的按壓支承臺固定所述按壓部件的步驟； 其中，所述光學(xué)器件支承臺被所述支架和所述按壓部件夾持，并且能夠在與所述支架及所述按壓部件的表面平行的方向上滑動。
全文摘要
提供一種可抑制因熱應(yīng)力和機械外力引起的光學(xué)特性惡化的光學(xué)組件，在所述光學(xué)組件中，波導(dǎo)型光學(xué)器件的一部分被固定在支架的凸出部上。互相相對的第一、第二光學(xué)器件支承臺(301，302)被固定在第二波導(dǎo)型光學(xué)器件(202)上，并在與支架(210)之間設(shè)置有間隙。在支架(210)上設(shè)置有第一、第二按壓支承臺(311，312)，上述部件也互相相對。在第一、第二光學(xué)器件支承臺(301，302)上配置有按壓部件(313)，按壓部件(313)被第一、第二按壓支承臺(311，312)固定，并在與第一、第二光學(xué)器件支承臺(301，302)之間設(shè)置有間隙。第二波導(dǎo)型光學(xué)器件(202)以及第一、第二光學(xué)器件支承臺(301，302)并未固定在周圍的部件上，而是能夠在與支架(210)的表面平行的方向上滑動。
文檔編號G02B6/26GK102792199SQ20118001297
公開日2012年11月21日 申請日期2011年3月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月9日
發(fā)明者土居芳行, 大庭直樹, 妹尾和則, 村澤敦志, 柴崎智世, 海老澤文博, 照井博, 石井元速, 福滿高雄, 菊地祐一, 都筑健 申請人:Ntt電子股份有限公司, 日本電信電話株式會社