專利名稱：曝光機自動找平升降裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種自動找平升降裝置，尤其涉及一種曝光機自動找平升降裝置。
背景技術：
曝光機即電子束曝光機是集電子光學、電氣、機械、真空、計算機技術等于一體的復雜的半導體加工設備。在計算機的控制下，利用聚焦電子束對有機聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學性質發(fā)生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從而在抗蝕劑上形成精細圖形。自動找平升降裝置裝置是LED曝光機的一個主要部件，現有的LCD曝光機的升降平臺是通過中心的球頭連接，用絲桿的帶動平臺的上下動作，在曝光時當平臺升起通過與上鉻板的硬性接觸，從而實現相對于上鉻板的平行度(自動找平)?，F有技術的主要缺陷如下1)當需要設定不同的曝光間隙時很難進行設定；2)曝光間隙設定不準確；3)如果上鉻板傾斜，必然導致平臺跟隨傾斜。因此，有必要對現有的曝光機自動找平升降裝置進行改進。

實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種曝光機自動找平升降裝置，能夠靈活設定曝光間隙，保證曝光臺各點與上鉻板間隙一致。本實用新型為解決上述技術問題而采用的技術方案是提供一種曝光機自動找平升降裝置，包括曝光臺和上鉻板，其中，所述曝光臺的四角處分別設有接觸式檢測探頭和升降調整裝置，所述接觸式檢測探頭和位置檢測器相連，所述升降調整裝置通過直線導軌和馬達相連，所述馬達通過絲桿、絲杠螺母和曝光臺相連。上述的曝光機自動找平升降裝置，其中，所述位置檢測器為直線位移傳感器。上述的曝光機自動找平升降裝置，其中，所述直線位移傳感器為電感式位移傳感器，電容式位移傳感器，光電式位移傳感器，超聲波式位移傳感器或霍爾式位移傳感器。本實用新型對比現有技術有如下的有益效果本實用新型提供的曝光機自動找平升降裝置，通過在曝光臺的四角處分別設置四個接觸式檢測探頭，四個升降調整裝置通過接觸式檢測探頭的檢測來實現馬達控制曝光臺的Z軸升降，從而靈活設定曝光間隙，保證曝光臺各點與上鉻板間隙一致。

圖1為本實用新型曝光機自動找平升降裝置結構示意圖。圖中1曝光臺 2上鉻板3接觸式檢測探頭4絲桿 5位置檢測器 6絲杠螺母
3[0013]7 馬達具體實施方式
以下結合附圖和實施例對本實用新型作進ー步的描述。圖I為本實用新型曝光機自動找平升降裝置結構示意圖。請參見圖1，本實用新型提供的曝光機自動找平升降裝置包括曝光臺I和上鉻板 2，其中，所述曝光臺I的四角處分別設有四個接觸式檢測探頭3和升降裝置，所述升降裝置通過直線導軌和馬達7相連，所述馬達7通過絲桿4、絲杠螺母6和曝光臺I相連實現Z軸升降，從而調節(jié)四角間隙。本實用新型提供的曝光機自動找平升降裝置，其中，位置檢測器5可分為兩種，直線位移傳感器和角位移傳感器。其中直線位移傳感器常用的有直線位移定位器等，具有エ 作原理簡單、測量精度高、可靠性強的特點。直線位移傳感器又稱為線性傳感器，可選用電感式位移傳感器，電容式位移傳感器，光電式位移傳感器，超聲波式位移傳感器或霍爾式位移傳感器，在此不再一一詳述。綜上所述，本實用新型提供的曝光機自動找平升降裝置，通過在曝光臺I的四角處分別設置四個接觸式檢測探頭3，每個升降裝置通過接觸式檢測探頭的檢測來實現馬達 7控制曝光臺的Z軸升降，從而靈活設定曝光間隙，保證曝光臺各點與上鉻板2間隙一致。雖然本實用新型已以較佳實施例掲示如上，然其并非用以限定本實用新型，任何本領域技術人員，在不脫離本實用新型的精神和范圍內，當可作些許的修改和完善，因此本實用新型的保護范圍當以權利要求書所界定的為準。
權利要求1.一種曝光機自動找平升降裝置，包括曝光臺(I)和上鉻板(2)，其特征在于，所述曝光臺(I)的四角處分別設有接觸式檢測探頭(3)和升降調整裝置，所述接觸式檢測探頭(3) 和位置檢測器(5)相連，所述升降調整裝置通過直線導軌和馬達(7)相連，所述馬達(7)通過絲桿(4)、絲杠螺母(6)和曝光臺(I)相連。
2.如權利要求I所述的曝光機自動找平升降裝置，其特征在于，所述位置檢測器(5)為直線位移傳感器。
3.如權利要求2所述的曝光機自動找平升降裝置，其特征在于，所述直線位移傳感器為電感式位移傳感器，電容式位移傳感器，光電式位移傳感器，超聲波式位移傳感器或霍爾式位移傳感器。
專利摘要本實用新型公開了一種曝光機自動找平升降裝置，包括曝光臺和上鉻板，其中，所述曝光臺的四角處分別設有接觸式檢測探頭和升降調整裝置，所述接觸式檢測探頭和位置檢測器相連，所述升降調整裝置通過直線導軌和馬達相連，所述馬達通過絲桿、絲杠螺母和曝光臺相連。本實用新型提供的曝光機自動找平升降裝置，通過在曝光臺的四角處分別設置接觸式檢測探頭，四個升降調整裝置通過直線導軌和馬達相連控制曝光臺的Z軸升降，從而靈活設定曝光間隙，保證曝光臺各點與上鉻板間隙一致。
文檔編號G03F7/20GK202339476SQ201120475870
公開日2012年7月18日 申請日期2011年11月25日 優(yōu)先權日2011年11月25日
發(fā)明者牛實利 申請人:無錫旭電科技有限公司