專利名稱：粗波分復(fù)用無(wú)源光網(wǎng)絡(luò)型濾光片的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種濾光片，具體是指一種粗波分復(fù)用無(wú)源光網(wǎng)絡(luò)型濾光片。
背景技術(shù)：
薄膜濾光片，又分為薄膜吸收濾光片和薄膜干涉濾光片兩種。前者是在特定材料基材上，用化學(xué)浸蝕或真空蒸鍍方法形成單層薄膜，使本征吸收線正好位于需要的波長(zhǎng)處。 后者是在一定片基上，用真空鍍膜法交替形成具有一定厚度的高折射率或低折射率的金屬-介質(zhì)-金屬膜，或全介質(zhì)膜，構(gòu)成一種低級(jí)次的、多級(jí)串聯(lián)實(shí)心法布里-珀羅干涉儀。 目前，市場(chǎng)上的濾光片普遍存在著峰值透射率不高或者是次峰跟旁帶問(wèn)題嚴(yán)重的問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于避免現(xiàn)有技術(shù)中的不足而提供一種峰值透射率高、次峰跟旁帶問(wèn)題輕微，可實(shí)現(xiàn)4(T60nm間隔光信號(hào)的分光，滿足一根光纖雙向傳輸?shù)拇植ǚ謴?fù)用無(wú)源光網(wǎng)絡(luò)型濾光片。本實(shí)用新型的目的通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)粗波分復(fù)用無(wú)源光網(wǎng)絡(luò)型濾光片，包括玻璃基板，玻璃基板的一面設(shè)有高反膜，另一面設(shè)有增透膜，所述的高反膜和增透膜分別由高反射介質(zhì)ta2o5和低反射介質(zhì)sio2交替堆積而成，高反膜的膜層結(jié)構(gòu)如下
權(quán)利要求1. 一種粗波分復(fù)用無(wú)源光網(wǎng)絡(luò)型濾光片，包括玻璃基板(1)，玻璃基板(1)的一面設(shè)有高反膜(2)，另一面設(shè)有增透膜(3)，其特征在于所述的高反膜(2)和增透膜(3)分別由高反射介質(zhì)ta2o5和低反射介質(zhì)sio2交替堆積而成，高反膜(2)的膜層結(jié)構(gòu)如下層材料厚度(nm)層材料厚度(nm)層材料厚度(nm)1ta2o5203. 7635ta2o5285. 5369ta2o5226.492sio2378. 8136sio2438. 470sio2435.133ta2o5319. 637ta2o5232.6771ta2o5284. 084sio2406. 2438sio2329. 7972sio2378. 145ta2o5215. 2439ta2o5200. 5773ta2o5212.156sio2321. 8340sio2315. 8274sio2317. 217ta2o5202. 5241ta2o5202.1375ta2o5198. 378sio2331.1742sio2337. 7976sio2314. 859ta2o5238. 9643ta2o5241. 2577ta2o5212.3110sio2491. 444sio2457. 6278sio2382. 711ta2o5253. 8945ta2o5265. 3779ta2o5290. 212sio2336. 7846sio2359. 3280sio2427. 8113ta2o5201. 9847ta2o5209. 3681ta2o5224.6214sio2315. 4148sio2316. 5982sio2324. 8315ta2o5201. 5149ta2o5197. 3583ta2o5195. 516sio2334. 4850sio2316. 0484sio2309. 9117ta2o5236. 8951ta2o5217. 5185ta2o5207. 7418sio2471. 9252sio2396. 0686sio2355. 9719ta2o526753ta2o5293. 6387ta2o5287. 0420sio2345. 8554sio2404. 0388sio2460. 9821ta2o5203. 7855ta2o5222.4489ta2o5231. 2322sio2316. 5456sio2327. 1690sio2327. 2623ta2o5200. 1957ta2o5197. 3291ta2o5192. 524sio2326.6358sio2311. 7392sio2287.0925ta2o5224.0759ta2o5204. 1593ta2o5206. 0226sio2416. 5260sio2349. 5794sio250027ta2o5294. 5261ta2o5263. 9495ta2o5334. 3828sio2379. 662sio2455. 0896sio2294. 4629ta2o521363ta2o5249. 8297ta2o5193. 8830sio2319. 5364sio2344. 8498sio2318. 7631ta2o5199. 1865ta2o5203. 4799ta2o5389. 5532sio2317. 1566sio2311. 61100sio210033ta2o5208. 6167ta2o5199. 5734sio2362.8968sio2330. 29所述的增透膜(3)的膜層結(jié)構(gòu)如下層材料厚度(nm)1ta2o556. 472sio274. 043ta2o5201.864sio2256.0專利摘要本實(shí)用新型公開了一種粗波分復(fù)用無(wú)源光網(wǎng)絡(luò)型濾光片。粗波分復(fù)用無(wú)源光網(wǎng)絡(luò)型濾光片，包括玻璃基板(1)，玻璃基板(1)的一面設(shè)有高反膜(2)，另一面設(shè)有增透膜(3)，所述的高反膜(2)和增透膜(3)分別由高反射介質(zhì)Ta2O5和低反射介質(zhì)SiO2交替堆積而成。本實(shí)用新型所述的濾光片通過(guò)膜層的材料、厚度和串聯(lián)方式的選擇，較好的解決了峰值透射率不高或者是次峰跟旁帶問(wèn)題嚴(yán)重的問(wèn)題，可實(shí)現(xiàn)40~60nm間隔光信號(hào)的分光，滿足一根光纖雙向傳輸?shù)哪康摹?br> 文檔編號(hào)G02B5/28GK202217081SQ201120299228
公開日2012年5月9日 申請(qǐng)日期2011年8月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月17日
發(fā)明者何偉亮, 范衛(wèi)星, 趙戰(zhàn)剛, 陳海峰, 黃軍 申請(qǐng)人:奧普鍍膜技術(shù)(廣州)有限公司