專利名稱：磁性致動器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種具有一繞至少一個旋轉方向可旋轉地被支承的板的磁性致動器。
背景技術：
存在各種附件用于磁性地驅動微鏡。磁性驅動裝置相對于靜電式驅動裝置的重要優(yōu)點在于，通過磁性的洛倫茲力在技術上可達到的轉矩高于借助靜電力可實現(xiàn)的轉矩。在專利文獻EP 778657B1中建議一種萬向節(jié)式懸掛的鏡，該鏡繞兩個旋轉軸線、 即一個內部和一個外部的旋轉軸線可旋轉地被支承。這些旋轉軸線相互垂直。在兩個萬向節(jié)式懸掛的振動體上為內軸線和外軸線各設有一個線圈。磁場在整個芯片上近似均勻并且具有相對兩個旋轉軸線的、分別為45°的角度。為了生成磁場，建議兩種結構。在第一變型中微鏡以45°角度布設在兩個硬磁體(永磁體)之間。在第二變型中使用四個具有相反極
性的磁體?？晒└鱾€軸線使用的有效磁場通過45°角度以因子V^減小。產(chǎn)生磁場的這兩
個變型意味著體積非常大的構造。在文獻WO 2005/078509A2中同樣建議一種萬向節(jié)式懸掛的鏡，該鏡繞兩個軸線可旋轉地被支承。然而在該裝置中為繞兩個軸線的驅動設有僅一個線圈。在該線圈上不僅給出低頻的準靜態(tài)的信號而且給出高頻的諧振信號。諧振信號通過所謂的“搖擺模式 (rocking mode)”激勵出內軸線的旋轉。不同極性的永磁體和用于在45°方向上產(chǎn)生磁場的磁通傳導層的相對復雜的構造在文獻WO 2010/065340A2中公開。垂直于各個軸線的有效磁場同樣以因子V^減小。在文獻DE 102008042;346A1中和在EP 1858141 A2中建議一些結構，以便產(chǎn)生垂直于準靜態(tài)軸線的磁場分量或者說力矩，使得在施加高頻交變場時激發(fā)出圍繞垂直于準靜態(tài)軸線的軸線4b的諧振運動。在一個通過洛倫茲力驅動的微鏡的該實施方式中實現(xiàn)單向的磁場，這些磁場在芯片表面的平面中延伸。從優(yōu)選方向的偏離是不完美的實施方案。技術上的努力集中在減小這些不完美的實施方式。為了實現(xiàn)具有盡可能高的單向性的高磁場，所使用的磁體-磁通導體結構體積比較大。在出片反文獻"Silicon scanning mirror of two DOF with compensation current routing"；Si-Hong Ahn and Yong-Kweon Kim ； J. Micromech. Microeng. 14(2004) 1455-1461 中建議一種徑向對稱的磁場，以便實現(xiàn)雙軸的微掃描器。該徑向對稱的場通過一個磁體實現(xiàn)，該磁體的磁化方向垂直于芯片平面。該構造由此比較簡單，這在制造成本方面是個優(yōu)點。磁力線的噴泉形的走向含有在芯片平面中延伸的徑向分量。僅僅這些分量在技術上是可利用的，而其它分量一部分不可利用，一部分甚至導致不希望的橫向力。在該出版文獻中證明可利用的磁場強度為0.1T。在出版文獻 “Electromagnetic Two-Dimensional Scanner Using Radial Magnetic Field ；Chang-Hyeon Ji,Member，IEEE，Moongoo Choi，Sang-Cheon KimiKi-ChangSong,Jong-Uk Bu,Member,IEEE,and Hyo-Jin Nam JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS,VOL. 16，NO. 4，AUGUST 2007”中通過兩個磁體的結構提高了磁場。中間的圓柱形的磁體在此被一個極性相反的環(huán)形磁體包圍，該圓柱形的磁體的磁化方向垂直于芯片表面。 兩個磁體固定在盤形的鐵板上，由此磁通量的一部分被引回。通過該結構將可利用的磁場提高直到0. 5T。但是該構造與在基于單向磁場工作的掃描器中相似地是費勁的。在求取微鏡的制造價格時要考慮封裝。在組裝期間磁體的裝配在此被當成是非常耗費成本的。尤其是不同極性的磁體的裝配由于相互排斥而導致在裝配期間的較高的耗費。如果使用具有一個磁化方向的硬磁體，例如在磁軛的情況下，磁化可以在裝配之后進行，這將顯著地減小耗費和由此降低成本。

發(fā)明內容
所建議的結構的目的是，使懸掛在至少一個彈簧上的板繞至少一個旋轉軸線從一個平面中旋轉出來。在該板上可以例如設置微鏡。力的產(chǎn)生通過洛倫茲力實現(xiàn)。一方面，為了實現(xiàn)用于這些結構的驅動的足夠力，可利用的磁場應當盡可能高?？衫玫拇艌鰬斣诖吮M可能地貼近在整個印制導體上方。為了產(chǎn)生相同的力，較小的磁場必須通過較高的電流、更多的印制導體或者印制導體至旋轉軸線的更大距離來補償，這本身隱含了不同缺點。過高的電流會導致過度的加熱，至旋轉軸線的過大距離與較大的結構形式是相同的，過大數(shù)量的匝提高了內電阻。另一方面，首先裝配成本應當?shù)停驗檠b配成本占整個價值創(chuàng)造的份額高。因為在插裝過程期間磁體的操縱是非常費勁且易受干擾的，所以一定需要的是，僅使用一個磁體， 該磁體能夠在制造工藝結束時被磁化。問題的重點是準靜態(tài)地工作的系統(tǒng)的開發(fā)。因為在準靜態(tài)的偏轉時所需的力視系統(tǒng)的品質而定在諧振偏轉的數(shù)量級之上多個數(shù)量級，所以該實現(xiàn)方式根據(jù)經(jīng)驗明顯更困難。原則上也應當能夠通過所建議的磁體驅動裝置諧振地激勵該結構。包括磁體在內的整個結構應當具有盡可能小的結構大小。包括磁通導體在內的磁體單元的高度應當位于幾個毫米的數(shù)量級中。該結構的結構大小和簡單度應當能夠實現(xiàn)成批的、尤其是在晶片復合體中的制造。根據(jù)本發(fā)明為此建議一種具有繞至少一個旋轉軸線可旋轉地被支承的板的磁性致動器和一種設置在板下方的磁體結構。該磁體結構在此包括一由磁通傳導材料制成的U 形軌和一硬磁體，該硬磁體位于該軌中并且該硬磁體的磁化方向垂直于軌開口。磁體結構的主延伸方向位于軌的縱向上。該磁體結構在這里被稱為磁體弓形件。該板具有主延伸平面。該旋轉軸線平行于主延伸平面。板平行于主延伸平面具有至少一個導體回線。磁體結構以軌開口向著板定向，兩個主延伸方向相互重合。板通過導體回線的通電而可繞至少一個旋轉軸線偏轉。有利地，在根據(jù)本發(fā)明的結構中，在同時簡單且由此成本有利的構造中通過高的磁場強度實現(xiàn)高的驅動轉矩。除了使用僅一個具有磁化方向的磁體之外，在這里磁通傳導材料的U形軌的制造可容易地且成本有利地大批量實現(xiàn)。本發(fā)明優(yōu)選地涉及實現(xiàn)單軸的鏡。
微鏡應當用在移動電話中，在移動電話中存在對磁場敏感的元件例如磁通量閘門羅盤。因此要盡可能在很大程度上減小漏磁場。與已知的設計方案相比，通過帶有磁通導體的硬磁體的U形的屏蔽至少在三側上將磁場降低到非臨界的程度。在端側上僅排出小的磁場，因為磁化方向平行于開口延伸。因此基本上僅保留垂直地從弓形件開口排出的磁場方向。因為漏磁場僅在一個方向上排出，所以可以將漏磁場定位在一個非臨界的方向上，在該非臨界的方向上不存在敏感的構件。變換地或附加地，可以通過簡單的屏蔽將漏磁場降低到可接受的程度。為了實現(xiàn)最大的轉矩，有利的是，首先導體回線具有至旋轉軸線的最大距離，其次磁場在該位置上最大。與通過圓形或環(huán)形的磁體實現(xiàn)的徑向對稱的場相比，所建議的結構形式具有可利用的磁場，該磁場在整個長度上在至旋轉軸線的距離相同時具有均勻的大的值。尤其由此附加地得到設計自由度。通過該結構的簡單延長能夠增大轉矩。本發(fā)明的其它有利的設計方案寫在從屬權利要求中。


圖Ia示意地示出現(xiàn)有技術中的、具有可旋轉的板的磁軛。圖Ib示意地示出現(xiàn)有技術中的具有用于電驅動的導體回線的可旋轉的板。圖加和2b示意地示出根據(jù)本發(fā)明的磁性致動器的第一實施例，該磁性致動器具有一磁體弓形件和一在一軸線上可旋轉的板。圖3示意地示出帶有兩個導體回線的、在一軸線上可旋轉的板。圖4示出在一軸線上可旋轉的板在電流流過的導體回線上的力作用的情況下的傾斜。圖5在圖表中示出在至旋轉軸線的不同距離中在磁體上方的磁通量。圖6示出在敞開側具有磁通傳導塊的磁體弓形件。圖7示出根據(jù)本發(fā)明的磁性致動器，該磁性致動器具有一磁體弓形件并且具有設有中心彈簧懸掛裝置的可旋轉的板。圖8示出具有根據(jù)本發(fā)明的磁性致動器和磁通導體屏蔽裝置的雙鏡系統(tǒng)的構造。
具體實施例方式圖Ia示意地示出一在現(xiàn)有技術中的具有可旋轉的板的磁軛。一種在現(xiàn)有技術中已知的結構形成磁軛，能實現(xiàn)用于基于洛倫茲力工作的微鏡的磁場30。圖Ia示出由軟磁性磁通導體制成的、具有單一間隙的常規(guī)磁軛20。在該間隙中存在一可旋轉的板3，鏡和一個導體回線位于該板上。如果導體回線被通電，即被電流流過，則在由磁軛產(chǎn)生的單向磁場中一轉矩作用在該板上。因為電流方向在軸線的兩側具有不同的方向，所以人們獲得一個繞該軸線的相同指向的力矩。圖Ib為此示意性地示出現(xiàn)有技術中的具有用于電驅動的導體回線10的可旋轉的板3。在該板的簡單實施方案中，磁軛允許鏡繞一軸線4傾斜。該軸線在現(xiàn)有技術中已知的實施方案中準靜態(tài)地工作。人們從軛-結構形式出發(fā)，由不同的邊界條件得到該結構的垂直于旋轉軸線的最小寬度。為了使該軛能夠承載磁通量，側臂20的最小壁厚是必須的。為了使磁場在希望的方向上轉向，極靴21的一定程度的最小寬度是必須的。為了固定該可旋轉的板，需要一個框架。該框架具有一最小寬度，以便保證所需的堅固性。如果必須保護該鏡免受腐蝕，或者為了使該鏡在諧振運行模式中由于所希望的高品質而在負壓中運行，需要一個更寬的框架。為了達到所需的轉矩，印制導體至旋轉軸線的最小距離是必須的。圖2示意地示出根據(jù)本發(fā)明的磁性致動器的第一實施例，該磁性致動器具有一磁體弓形件和一在一軸線上可旋轉的板。一在芯片平面中、即在板的主平面中軸對稱的磁場能夠以顯著更緊湊的結構形式、例如在磁體弓形件中實現(xiàn)，該板優(yōu)選由半導體材料、特別優(yōu)選由硅制成。磁體2位于芯片下方，其磁化方向垂直于芯片表面。該磁體位于由磁通傳導材料制成的U形軌1內。磁力線30以兩個離散輥的形式延伸遠離磁體表面。在xy平面中、即在可旋轉的板的主平面中延伸的力線的分量對于ζ方向上的力是可用的。通過U形軌1的精確形狀能夠操縱磁力線。為了實現(xiàn)最大的轉矩，在xy平面中延伸的力線份額在芯片邊緣上最大化，因為印制導體10定位在該區(qū)域中，以便實現(xiàn)最大的可能的轉矩。圖2b補充地、示意性地以俯視圖示出磁體弓形件和一通過磁體弓形件產(chǎn)生的軸對稱的離散磁場。為了產(chǎn)生使板3從該平面中旋轉出來的轉矩，兩個印制導體回線實施在該板的關于旋轉軸線相對置的半邊上并且在顛倒的、即相反的旋轉方向上被通電。圖3示意性地示出具有兩個導體回線的、在一軸線4上可旋轉的板。通過兩個導體回線10a、10b分別產(chǎn)生一個向上的力和一個關于旋轉軸線4相對置地向下的力?；鼐€IOa和IOb的端側20在此不在該板上作用垂直力，因為在這里磁場和電流方向平行地延伸。引回至該板中心的印制導體引起一個力，該力與所希望的垂直地作用在該板上的力起反作用。但是由于至旋轉軸線的距離小并且在xy平面中的磁場明顯更小，量值是可忽略的。在所建議的由一個軸對稱的B場(B-Feld)和板上的兩個導體回線組成的結構中總體上與在一個導體回線和一個單向B場時一樣得到一個繞軸線4的、在第一級近似中相同大小的轉矩。如果兩個導體回線在相同的旋轉方向上被通電，則端側20引起一個總轉矩，該總轉矩繞第二旋轉軸線30作用在板上。所建議的結構的另一個重要優(yōu)點是與敞開的磁體相比更小的漏磁場。除弓形件的開口的方向之外，磁體通過磁通導體屏蔽，這顯著地減小了漏磁場。因為漏磁場僅在一個方向上出現(xiàn)，存在通過精心設計的定向或者通過有針對性的屏蔽使漏磁場的不利作用最小化的可能性。與敞開的磁體相比，弓形件開口的方向上的漏磁場也減小，因為場的大部分已經(jīng)被引入到磁通導體中。圖4示出在電流流過的導體回線上的力作用下在一軸線上可旋轉的板的傾斜。在橫截面中示意性地示出在磁場中傾斜的板和力線的走向。可看到的是，力線密度隨著至磁體表面的距離的減小而增大，即洛倫茲力隨著印制導體至磁體表面的距離減小而上升。如果取一個具有4mm寬度且繞旋轉軸線振動7°的板，則印制導體向上移動約 200 μ m并且在相對置的側向下移動約200 μ m。在計算最大偏轉點的力時必須從零位出發(fā)考慮上方和下方200 μ m處的場強。所建議的結構的優(yōu)點在于，在板的靠近磁體的部分上的力的增加比在板的其它部分上的力的減小更強烈。由此，有效的轉矩在總體上隨著偏轉的增加而增加。圖5以圖表示出在至旋轉軸線的不同距離時磁體上方的磁通。示出了沿著感興趣的X方向直接在磁體上方和在磁體上方300 μ m、600 μ m和900 μ m的距離上的磁通密度。正負號的變化意味著磁體方向改變。
圖6示出一個在敞開側上具有磁通傳導塊的磁體弓形件。磁體的上表面上的磁體 傳導塊23増加從極核排出的場強。在力線離開極核的表面上能夠實現(xiàn)2特斯拉，因為軟磁 性材料能夠被磁化直至該磁通密度。與之相反，由硬磁性材料制成的永磁體最多能以最大 1.4T飽和。通過增加的磁化強度在從材料排出時能夠増加印制導體位置上的場強。同時該 磁場導致在χ方向上的更高的份額，這導致在可旋轉的板的平面中的磁場分量増加。以下計算包含對根據(jù)本發(fā)明的具有磁體弓形件和可運動的板的磁性致動器的內 電阻和最大功率的估計。Iffindung= 2 * (4e-3m+2e-3m)12e_3mw * t= 50e-6 * 4e_62e_10m2R= 2nrl/wt = 2 * 5 * 1，7e_8Wm * 12e-3m/2e_10m2IOffF= nIBI= 5 * 5e_2A * 5e_lT * 4e_3m+0，5mNFgegen = nIBI= 5 * 5e_2A * 0，5e_lT * 4e_3m-0，05mNM= +0，5mN * 3. 5e_3m1. 75 μ NmMgegen-0，05mN * 0. 5e_3m-0，025 μ NmWmax7fflittel= 5e-2A2 * IOff25/8mff在以上段落中描述了內電阻和最大功率(在最大角偏差吋)的概略計算。這由 0. 5T的平均磁場出發(fā)。還假設具有5匝的銅(Cu)線圈，其中，印制導體的高度假設為4μπι 并且寬度假設為50 μ m。對于這些假設，人們對于兩個線圈得到10 Ω的輸入電阻和25mW的 最大功率。平均功率為約8mW。具有磁體弓形件和可運動的板的磁性致動器的所述實施方案可以作為驅動器用 于準靜態(tài)的鏡以及用于諧振鏡。對于通常在較高頻率中工作的諧振鏡的設計，必須使用更 加剛性的彈簧并且質量或者說慣性矩必須相適配。產(chǎn)生抵抗板從平面中旋轉的反カ的彈簧可以構造為不同類型。最簡單的形式是扭 轉彈簧。但是此外也可以使用其它彈簧，例如曲折形彈簧、彎曲彈簧或者漸進式彈簧，只要 它們允許板繞軸線4旋轉即可。本發(fā)明的ー個方面是漏磁場的減小。具有3mm棱邊尺寸的敞開磁體在Imm的距離 上在其磁化方向上具有約0. 5T的漏磁場。通過磁通導體引導磁場，即磁通導體外部的漏磁 場被減小。磁體弓形件就此而言是用于減小漏磁場的適當結構，因為其屏蔽了除弓形件的 敞開側之外的所有側。在単一的磁體弓形件時求得的漏磁場在Imm的距離上在被屏蔽的底 部區(qū)域中為ImT并且在弓形件的敞開區(qū)域上方為20mT。如在圖6中所示，通過磁體2的敞開側上的一個磁通導體層23能夠減小磁力線的 排出。磁通導體層23可以整面地或者結構化地涂覆在極核2上。換言之，從磁體的端側排 出的力線被磁通導體塊聚集并且在磁體弓形件1的方向上引導。通過所建議的結構能夠在數(shù)量級上減小漏磁場。圖7示出根據(jù)本發(fā)明的具有磁體弓形件且具有可旋轉的、帶有中心彈簧懸掛裝置 的板的磁性致動器?？尚D的板3的支承結構的可能形式例如是中心的彈簧懸掛裝置40， 例如在該實施例中所示那樣。這樣的中心的彈簧懸掛裝置可以設計成使得板3在ー個方向 上或者在多個方向上的傾斜是可能的。板3例如也通過ー個自己的殼體50包圍。殼體材 料選擇成使得其可以被致動器的磁場穿過并且由此可驅動設置在殼體50中的板3繼續(xù)作傾斜運動或旋轉運動。本發(fā)明的一個附加的方面是創(chuàng)造一個具有作為驅動器的致動器的、至少在一軸線上可運動的、可驅動的微鏡。為此，在根據(jù)本發(fā)明的磁性致動器的上述實施例中描述的板3 構造為具有鏡反射表面的板或者至少在板3的背對磁體弓形件開口的側上設有鏡元件或者布設有鏡反射材料。在圖7的實施例中在此附加地將殼體50的材料選擇為對于要反射的光束是可透過的。本發(fā)明的一個附加的方面是創(chuàng)造一種用于驅動微鏡的磁性致動器。圖8示出具有根據(jù)本發(fā)明的磁性致動器和磁通導體屏蔽裝置的雙鏡系統(tǒng)。示出了一個激光器100形式的光源，該光源發(fā)出光束110。光束110被第一鏡200反射。鏡200根據(jù)本發(fā)明被磁性地驅動并且為此具有一磁體弓形件、一磁性驅動的鏡元件220和一磁通導體屏蔽裝置230。光束 110隨后被一受驅動的第二鏡300反射。這些可運動的鏡反射光束110，使得能夠在投影面上繪出一個二維的光圖案120。由此可以例如實現(xiàn)一個光學的成像系統(tǒng)或者一個所謂的光學的2D掃描器。從雙鏡結構出發(fā)，如其在圖8中所示，可以減小第一鏡的向著磁體弓形件的敞開側的漏磁場，其方式是一個屏蔽板形式的磁通導體塊230固定在相對置的印制電路板400 上，在那里有第二鏡，該第二鏡具有一個垂直于第一鏡的旋轉軸線的旋轉軸線。磁通導體塊 230阻止例如力線排出到例如對于漏磁場敏感的電子構件500所在的區(qū)域中。距離保持裝置27阻止磁力導致磁體弓形件和屏蔽裝置230的相互吸引。
權利要求
1.磁性致動器，具有一板C3)和一磁體弓形件，所述板繞至少一個第一旋轉軸線(4)可旋轉地被支承，所述磁體弓形件設置在所述板C3)下方，其中，所述板C3)具有一主延伸平面，其中，所述旋轉軸線(4)平行于所述主延伸平面，其中，所述板(3)平行于所述主延伸平面具有至少一個導體回線(10，10a，10b)，其中，所述磁體弓形件具有一U形的、傳導磁通的軌(1)和一硬磁體O)，該硬磁體的磁化垂直于U形開口，其中，所述磁體弓形件和所述板C3)相互對齊，使得所述磁體弓形件的開口指向所述板(3)的主延伸平面，其中，所述U形的、傳導磁通的軌(1)具有一平行于所述第一旋轉軸線(4)的主延伸方向，其中，所述板⑶通過對所述至少一個導體回線(10，10a，IOb)的通電能繞所述至少一個旋轉軸線(4)偏轉。
2.根據(jù)權利要求1所述的磁性致動器，其特征在于，所述板(3)平行于所述主延伸平面具有兩個導體回線(10a，10b)，其中，所述板C3)通過所述旋轉軸線(4)分開地具有兩個在所述主延伸平面中的面區(qū)域，一個導體回線(IOa)設置在其中一個面區(qū)域中并且另一個導體回線(IOb)設置在另一個面區(qū)域中。
3.根據(jù)權利要求2所述的磁性致動器，其特征在于，通過使兩個導體回線在相反的方向上通電，在所述可旋轉地被支承的板C3)上能產(chǎn)生一繞所述第一旋轉軸線的轉矩。
4.根據(jù)權利要求1至3中任一項所述的磁性致動器，其特征在于，所述磁體弓形件具有一硬磁體O)，其中，在所述硬磁體O)的敞開側上涂覆有一整面的或一結構化的磁通傳導層(23)。
5.根據(jù)以上權利要求中任一項所述的磁性致動器，其特征在于，一屏蔽裝置(230)通過一距離保持裝置07)固定地設置成與所述磁體弓形件的開口相對，使得向著所述磁體弓形件的敞開側的漏磁場由此減小。
6.根據(jù)以上權利要求中任一項所述的磁性致動器，其特征在于，所述板(3)借助扭轉彈簧、曲折形彈簧、彎曲彈簧或漸進式彈簧繞所述至少一個旋轉軸線(4)可旋轉地被支承。
7.根據(jù)以上權利要求中任一項所述的磁性致動器，其特征在于，所述板C3)通過一中心的彈簧懸掛裝置GO)固定，該中心的彈簧懸掛裝置允許所述板C3)在至少一個方向上傾斜。
8.具有根據(jù)權利要求1至7中任一項所述的致動器的微鏡，其中，可旋轉地被支承的所述板( 在所述主延伸平面中配設有一鏡反射表面或至少在所述板( 的背對所述磁體弓形件的開口的側上設有一鏡元件或布設有鏡反射材料。
9.具有至少一個根據(jù)權利要求8的第一微鏡和一第二鏡的雙鏡系統(tǒng)，其中，該結構是一 2D掃描器，其中，所述第二鏡具有一垂直于所述第一微鏡的第一旋轉軸線的旋轉軸線，其中，所述第二鏡設置成與所述第一微鏡相對，使得照射所述鏡的激光束能在兩個方向上偏轉。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種具有板(3)和磁體弓形件的磁性致動器，板繞至少一個第一旋轉軸線(4)可旋轉地被支承，磁體弓形件設置在板(3)下方，其中，板(3)具有主延伸平面，旋轉軸線(4)平行于主延伸平面，板(3)平行于主延伸平面具有至少一個導體回線(10，10a，10b)，磁體弓形件具有U形的、傳導磁通的軌(1)和硬磁體(2)，硬磁體的磁化垂直于U形開口，磁體弓形件和板(3)相互對齊，使得磁體弓形件的開口指向板(3)的主延伸平面，U形的、傳導磁通的軌(1)具有平行于第一旋轉軸線(4)的主延伸方向，板(3)通過對至少一個導體回線(10，10a，10b)的通電能繞至少一個旋轉軸線(4)偏轉。本發(fā)明此外涉及一種具有這樣的磁性致動器的微鏡以及一種具有至少一個這樣的微鏡的雙鏡系統(tǒng)。
文檔編號G02B26/08GK102570766SQ20111040404
公開日2012年7月11日 申請日期2011年12月7日 優(yōu)先權日2010年12月8日
發(fā)明者F·沙茨, J·穆霍, S·平特 申請人:羅伯特·博世有限公司