專利名稱：軟性液晶顯示器的制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及軟性液晶顯示器的制造裝置，尤其涉及可在卷及片(Roll&Sheet)方式的真空粘合工藝中大幅減少工藝時(shí)間和不合格率的軟性液晶顯示器的制造裝置。
背景技術(shù)：
軟性顯示器(Flexible Display)是形成于塑料等可彎曲的基板上的平板顯示器， 其因在確保優(yōu)秀的顯示特性的同時(shí)，可折疊、彎曲或卷曲，因此，作為當(dāng)前平板顯示器市場的下一代技術(shù)廣受關(guān)注。軟性顯示器是利用在不給現(xiàn)有技術(shù)的顯示器的特性帶來損失的同時(shí)，像紙一樣可在數(shù)厘米范圍之內(nèi)彎曲、折疊或卷曲的薄而柔軟的基板上制造的顯示器，與現(xiàn)有技術(shù)的使用玻璃基板的堅(jiān)硬的顯示器不同，軟性顯示器輕薄，耐沖擊性強(qiáng)，且可自由彎曲的顯示器。 軟性顯示器根據(jù)其用途及功能，可分為不易碎的(Rugged)顯示器、可彎曲的(Bending)顯示器及可卷曲(!tollable)的顯示器。輕薄、堅(jiān)固且可卷曲的顯示器，可用于數(shù)字多媒體廣播(DMB)、WiBro、掌上電腦(PDA)等便攜式高品位移動(dòng)設(shè)備，而且，今后將發(fā)展成卷曲型顯不器。圖1為現(xiàn)有技術(shù)的液晶顯示器的制造工藝流程圖。如圖1所示，為了用玻璃基板制造液晶顯示器，通常分為薄膜場效應(yīng)晶體管(TFT， Thin Film Transistor)基板和濾色片(Color Filter)基板進(jìn)行面板制造工藝。即，在TFT 基板上進(jìn)行TFT陣列(Array)工藝(S20)以形成作為液晶顯示器的切換及驅(qū)動(dòng)元件的TFT， 并在TFT基板上涂布及研磨配向膜(S21)，且經(jīng)過清潔(S2》及液晶分配工藝(S2!3)。另外， 在另一個(gè)玻璃基板上形成濾色片(SlO)，并經(jīng)過配向膜涂布及研磨(Sll)、清潔(S12)、密封 (S13)、分配(S14)及間隔物散布工藝(S15)。之后，粘合(S30)兩個(gè)基板(上板和下板)之后，經(jīng)通過密封劑(kalant)的硬化工藝(S31)分離為多個(gè)液晶單元的單元形成工藝(S32) 并通過最終驗(yàn)收之后，經(jīng)過偏光板附著工藝(S33)。使用上述玻璃基板的液晶顯示器是通過片對片(sheet to sheet)方式制造液晶顯示器，現(xiàn)在，將現(xiàn)有技術(shù)的用軟性基板替代玻璃基板的研究，主要集中在sheet to sheet 方式。即，在一個(gè)軟性板上形成TFT陣列，另一個(gè)板上形成濾色片并粘合上述兩個(gè)板，但這將大大降低生產(chǎn)效益，且不能發(fā)揮軟性材料的優(yōu)點(diǎn)。因此，為了解決上述問題，本發(fā)明人在韓國專利申請第2009-90279號中，提出可大幅提高軟性液晶顯示器生產(chǎn)效益的卷對卷(roll to roll)或Roll&Sheet方式的軟性液晶顯示器的制造系統(tǒng)及軟性顯示器的制造方法。在上述技術(shù)中，roll to roll方式是在上板和下板上都應(yīng)用roll方式，雖然可以獲得高的生產(chǎn)效益，但因?yàn)閞oll生產(chǎn)的特點(diǎn)而不能防止不合格基板的生產(chǎn)，因此，若在上板或下板中的任何一個(gè)發(fā)生不合格，則將導(dǎo)致整個(gè)產(chǎn)品的不合格，從而增加不合格發(fā)生率。另外，在真空裝配系統(tǒng)(VAS，VacuumAssembly System)中，夾持(Chucking)網(wǎng)狀(Web)基板的方法復(fù)雜，而且，產(chǎn)生不合格面板時(shí)，也難以去除。
另外，在韓國專利申請第2009-90279號中，除roll to roll方式之外，還提出 Roll&Sheet方式。圖2為用以說明本發(fā)明的申請人在韓國專利申請第2009-90279號中提出的Roll&Sheet方式的軟性顯示器粘合方法的概念圖。如圖2所示，在第一軟性基板100 的一面(下部面)依次排列具備濾色片、配向膜等的上板，但為了便于說明只表示一個(gè)上板 150。如上所述，上板150是指包括上板工藝區(qū)域1002在內(nèi)的與下板粘合的板。將依次排列包括上述上板150在內(nèi)的多個(gè)上板的第一軟性基板100和依次排列多個(gè)下板的第二軟性基板200搬入粘合裝置300，而第一軟性基板100通過切割裝置350切割。在完成上述切割之前或之后，在包括上板工藝區(qū)域1002在內(nèi)的第一軟性基板100的一面，通過機(jī)械式夾頭 (Mechanical Chuck)或真空夾頭(Vacuum Chuck) 360支撐直至固定上板150，而且，為了在真空狀態(tài)下維持上板的吸附，由靜電夾頭(Electrostatic Chuck) 370支撐上板150并移動(dòng)以與下板粘合。即，靜電夾頭370在不包括上板工藝區(qū)域1002的面，利用靜電引力附著上板150之后，并移動(dòng)以使上板工藝區(qū)域1002面向下板250的上部面之后，對齊并粘合。下板250可通過機(jī)械式夾頭或真空夾頭380支撐直至固定。切割裝置350可位于粘合裝置300內(nèi)部，也可位于粘合裝置300的外部(左側(cè))， 在第一軟性基板100搬入粘合裝置300之前還可以進(jìn)行切割。在Roll&Sheet方式中，因在粘合前切割包括上板(或下板)的第一軟軟性基板(或第二軟性基板)，即使相鄰的上板的對準(zhǔn)標(biāo)記之間間隔和相鄰的下板250和252的對準(zhǔn)標(biāo)記之間間隔相同也沒有問題，因此，上述間隔可相同或不同。靜電夾頭370附著上板150并移動(dòng)至下板250的上部面之上，對齊上板150和下板250附著之后，從下板250解吸附。在第二軟性基板200的下部面，具備機(jī)械式夾頭、真空夾頭或靜電夾頭380以支撐固定第二軟性基板200至下板250。如上所述的 Roll&Sheet方式的軟性顯示器的粘合方法，雖然比申請?jiān)搶＠暗募夹g(shù)進(jìn)步很多，但有必要對如下問題進(jìn)行改進(jìn)第一、因粘合裝置300的VAS包括占設(shè)備的相當(dāng)部分的驅(qū)動(dòng)部， 因此，真空室的大小很大，而調(diào)整如此大的真空室的真空條件消耗很長的時(shí)間，從而成為此項(xiàng)工藝的瓶頸；第二、需將VAS制作成多級真空室以防止門(Gate)部的泄露(Leak)，因此， 裝置的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，容易發(fā)生包含于多級真空室的門的分配(Dispensing)部的污染。另外，韓國專利申請第2009-90279號提出的Roll&Sheet方式的軟性顯示器的粘合方式，不能在VAS中了解不合格面板的產(chǎn)生，因此，需在工藝的前一個(gè)步驟或后一個(gè)步驟通過檢查來確定。另外，沒有提出在無劃損(kratch)等不合格的情況下夾持(Chucking) 上板的方法。

發(fā)明內(nèi)容
待解決的問題本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)而提供一種軟性液晶顯示器的制造裝置，其減少完成基板粘合的真空室的體積并簡化其結(jié)構(gòu)，從而不僅快速完成工藝，而且，防止不必要的裝置部件的運(yùn)行所導(dǎo)致的對其他部件的污染，例如，通過門(Gate)部的運(yùn)行的對分配 (Dispensing)部的污染。技術(shù)方案本發(fā)明的軟性液晶顯示器的制造裝置，包括上部夾頭，用于固定利用第一軟性基板加工而成的具備第一寬度的板狀上板；下部夾頭，用于固定由具備比上述第一寬度更寬的第二寬度的網(wǎng)狀第二軟性基板形成的下板；真空室蓋，與上述上部夾頭相結(jié)合以便與上述上部夾頭一起移動(dòng)，并以上述下板作為真空室底部，從而與上述下板一同構(gòu)成真空區(qū)域； 上板移動(dòng)裝置，移動(dòng)上述真空室蓋及結(jié)合于其上的上部夾頭，從而將固定于上述上部夾頭的上板粘合于上述下板。此時(shí)，較佳地，還包括上部夾頭移動(dòng)裝置，以使上述上部夾頭相對于上述真空室蓋獨(dú)立移動(dòng)。另外，較佳地，上述上部夾頭及下部夾頭分別為從真空夾頭(Vacuum Chuck)、靜電夾頭(ESC，Electro Static Chuck)、物理粘合夾頭(PSC，Physical Sticky Chuck)、多孔陶瓷夾頭(Porous Ceramic Chuck)及渦流夾頭(Vortex Chuck)中選擇的至少一種作為單元夾頭而形成。尤其是，還包括用于移動(dòng)上述下板的下部夾頭移動(dòng)裝置。還包括UVW平臺(tái)或XY θ平臺(tái)，以使上述上部夾頭及下部夾頭中的至少一個(gè)能移動(dòng)。另外，還包括紫外線(UV)硬化裝置，用于上述上板和下板的粘合工藝之后的部分硬化。另外，較佳地，還包括攝像頭，用于在上述上板和下板的粘合工藝中，以視覺方式檢查對齊狀態(tài)等。另外，為準(zhǔn)備具備比上述第二寬度窄的第一寬度的板狀的第一軟性基板，使用本來就具備第一寬度的網(wǎng)狀物，或按第一寬度切割具備比第一寬度寬的寬度的網(wǎng)狀物的兩側(cè)，或用彎曲裝置彎曲具備比第一寬度寬的寬度網(wǎng)狀物的兩側(cè)之后用靜電夾頭ESC夾具固定。另外，還包括空氣浮起裝置，以使上述下板不與上述下部夾頭接觸，從而在上述下部夾頭的上部，無損傷地移動(dòng)由上述網(wǎng)狀的第二軟性基板構(gòu)成的下板。在此，較佳地，上述上部夾頭及下部夾頭分別由以網(wǎng)格形狀排列的多個(gè)單元夾頭構(gòu)成，且具備依次調(diào)節(jié)上述單元夾頭的運(yùn)行的單元夾頭控制裝置。另外，較佳地，還包括網(wǎng)狀切割裝置，將上述第一軟性基板相對于其長度方向垂直切割，從而將上述軟性基板加工成板狀的上板。此時(shí)，較佳地，上述網(wǎng)狀物切割裝置，由刀片型、輪(wheel)型或激光型構(gòu)成。另外，此時(shí)，還包括由空氣吸入/排出部構(gòu)成的微粒去除裝置，以去除使用上述網(wǎng)狀物切割裝置時(shí)產(chǎn)生的微粒。另外，還可用電離器(Ionizer)噴嘴(Nozzle)，通過靜電有效去除切割所產(chǎn)生的微粒。另外，還包括搬運(yùn)器，在使用上述網(wǎng)狀物切割裝置時(shí)，為網(wǎng)狀物的移動(dòng)而夾緊網(wǎng)狀物側(cè)部。另外，上述真空室蓋的下部周圍可由波紋管形式的柔軟性材料制作而成，或上述真空室蓋由剛性體構(gòu)成，而在上述真空室的下端部安裝0型環(huán)。另外，將上述上部夾頭及真空室蓋在上述網(wǎng)狀的第二軟性基板上并排具備至少兩列，以同時(shí)進(jìn)行兩處以上真空粘合。有益效果根據(jù)本發(fā)明，可在制造軟性顯示器時(shí)，大幅提高質(zhì)量及生產(chǎn)效益。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)的液晶顯示器的制造工藝流程圖；圖2為用以說明本發(fā)明的申請人在韓國專利申請2009-90279號中提出的 Roll&Sheet方式的軟性顯示器粘合方法的概念圖；圖3為用以說明使用本發(fā)明的裝置的Roll&Sheet方式的軟性顯示器粘合方法的概念圖；圖4為在使用本發(fā)明的裝置中形成真空室的過程的示意圖；圖5為說明上板的供應(yīng)以垂直于由網(wǎng)狀的第二軟性基板構(gòu)成的下板的長度方向切割上板、下板、真空室蓋及上部夾頭的示意圖；圖6為說明在本發(fā)明的裝置中移送下板的過程的剖面圖；圖7a至圖7e為說明下板夾持于下部夾頭的過程的剖面圖；圖8為上板夾持于上部夾頭的過程的剖面圖；圖9a至圖9e為說明將網(wǎng)狀的第一軟性基板加工成板狀上板的網(wǎng)狀物切割器的示意圖。附圖標(biāo)記說明150上板151網(wǎng)狀的第一軟性基板200下板375上部夾頭376上部夾頭移動(dòng)裝置 385下部夾頭401真空室蓋407視覺檢查專用攝像頭901搬運(yùn)器902網(wǎng)狀物切割裝置
具體實(shí)施例方式下面，結(jié)合附圖對本發(fā)明的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。下面的實(shí)施例旨在幫助理解本發(fā)明，而本領(lǐng)域技術(shù)人員可在本發(fā)明的技術(shù)思想范圍之內(nèi)進(jìn)行各種變形。因此，本發(fā)明的權(quán)利范圍不受這些實(shí)施例的限制。圖3為用以說明使用本發(fā)明的裝置的Roll&Sheet方式的軟性顯示器粘合方法的概念圖，而圖4為在使用本發(fā)明的裝置中形成真空室的過程的示意圖。如圖3所示，雖然與圖2所示類似，但最重要的差異是粘合裝置不同，圖3中不占用驅(qū)動(dòng)部的相當(dāng)大的部分，而只在很小的空間形成真空空間301。這通過使軟性液晶顯示器的制造裝置具備如下結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)。在固定由第一軟性基板100加工而成的具備第一寬度a的板狀的上板150的上部夾頭375上結(jié)合真空室蓋401，而真空室蓋401與上部夾頭375 —起移動(dòng)。真空室蓋401可相對于上部夾頭375固定，但也可通過上部夾頭移動(dòng)裝置376使上部夾頭375相對于真空室蓋401獨(dú)立移動(dòng)。下板200由具備比第一寬度a更寬的第二寬度b的網(wǎng)狀的第二軟性基板構(gòu)成，并被下部夾頭385支撐。另外，真空室蓋401結(jié)合于上部夾頭375以與上部夾頭375 —起移動(dòng)，而且，以下板200為真空室底部，從而與下板200 —同構(gòu)成真空空間301。真空室蓋401 及與其結(jié)合的上部夾頭375通過上板移動(dòng)裝置405 —起移動(dòng)，而在圖如中，上板150從上部擱置于上部夾頭375固定之后，上部夾頭375通過上板移動(dòng)裝置405翻轉(zhuǎn)180度以使上板150與下板200相對滯后，通過上板移動(dòng)裝置405向上部夾頭375和真空室蓋401下方移動(dòng)，從而形成真空區(qū)域并粘合上板150和下板200。在圖4b中，因上板150在上部夾頭 375從下部固定，因此，與圖如不同，無需180度的翻轉(zhuǎn)動(dòng)作，在通過真空室蓋401形成真空區(qū)域之后，上部夾頭375通過上部夾頭移動(dòng)裝置376相對于真空室蓋401獨(dú)立移動(dòng)。上部夾頭移動(dòng)裝置及下部夾頭移動(dòng)裝置可使用UVW平臺(tái)或XY θ平臺(tái)。上部夾頭375及下部夾頭分別由真空夾頭(Vacuum Chuck)、靜電夾頭(ESC， Electro Static Chuck)、物理粘合夾頭(PSC，Physical Sticky Chuck)、多孔陶瓷夾頭 (Porous Ceramic Chuck)及渦流夾頭(Vortex Chuck)為單元夾頭，并組合上述夾頭排列成網(wǎng)格型等，其原因是，在夾持薄的軟性基板時(shí)，可通過依次控制復(fù)合構(gòu)成的單元夾頭的運(yùn)行順序防止基板的扭曲。在真空夾頭(Vacuum Chuck)的情況下，可真空吸入固定上板或下板，但也可兼用吹風(fēng)機(jī)(Air Blower)，以使上板或下板相對于上部夾頭或下部夾頭空氣懸浮(Air Floating)。在本發(fā)明的裝置中，上板150的第一寬度a需比下板200的第二寬度 b窄，其原因是，若第二寬度b比第一寬度a窄或相同，則在利用真空室蓋401形成真空時(shí)， 因不能完全密封Healing)而發(fā)生泄漏(Leakage)。只要能夠確實(shí)形成真空區(qū)域，真空室蓋401的結(jié)構(gòu)和材料可以采用任何形式，而在如圖如的情況下，真空室蓋401的下部周圍由波紋管403形狀的柔軟性材料制作而成。 在圖4b的情況下，真空室蓋401由剛性體構(gòu)成，而在真空室的下端部安裝0型環(huán)404。另夕卜，在下部夾頭385的下面，設(shè)置有攝像頭407以便在上板150和下板200的粘合工藝中， 視覺(Vision)檢查對齊(Align)狀態(tài)等，從而在粘合之后預(yù)先挑選出不合格面板。在利用上述裝置在真空區(qū)域401完成上板150和下板200的粘合工藝之后，在UV硬化裝置302中進(jìn)行部分硬化工藝。[上板的供應(yīng)]圖5為說明上板的供應(yīng)以垂直于由網(wǎng)狀的第二軟性基板構(gòu)成的下板200的長度方向切割上板150、下板200、真空室蓋401及上部夾頭375的示意圖。如上所述，上板150的第一寬度a比下板200的第二寬度b窄，才能確保密封的完整性，防止泄露。因此，上板150 可以如圖5所示的方式供應(yīng)。第一、若上板150的第一寬度a比下板200的第二寬度b窄，則如圖5的左側(cè)所示， 直接將其供應(yīng)至roll即可。第二、若上板150原來的寬度c與下板200的第二寬度b相同或比其大，則如圖5 的中間所示，利用設(shè)置于兩側(cè)的切刀(Slitter) 501切割(Cutting)使上板150的寬度d縮至第一寬度a，之后進(jìn)行面板(Cell)制造工藝并清潔(Cleaning)。第三、若上板150的原來寬度c與下板200的第二寬度b相同或比其大，則如圖5 的右側(cè)所示，利用網(wǎng)狀物下部的彎曲裝置(未圖示)和ESC夾具(未圖示)，使上板的第一寬度a變得比下板的第二寬度b窄。[下板的移送]由網(wǎng)狀的第二軟性基板構(gòu)成的下板在固定于下部夾頭的狀態(tài)下與上板粘合。但是，在下板固定于下部夾頭之前，需在下部夾頭的上部向下部夾頭的長度方向移送，但若在移送時(shí)下板的底面與下部夾頭接觸，則因發(fā)送劃損(kratch)而產(chǎn)生工藝不合格。另外，因下板的上部面涂布有液晶、密封劑等，因此，不能接觸，而下壓式的壓送輥(Nip Roll)只能使邊緣(Edge)部接觸，且導(dǎo)致網(wǎng)狀物(Web)的扭曲。因此，如圖6所示，下板200在下部夾頭385的上部，與下部夾頭385并排相隔的狀態(tài)下與下部夾頭385并排移送。圖6為說明在本發(fā)明的裝置中通過輥(Roll)408移送下板200的過程的剖面圖。下部夾頭385可在多個(gè)位置，例如在網(wǎng)格形狀位置以從真空夾頭(Vacuum Chuck)、靜電夾頭(ESC，Electro Static Chuck)、物理粘合夾頭(PSC，Physical Sticky Chuck)、多孔陶瓷夾頭(Porous Ceramic Chuck)及渦流夾頭(vortex chuck)中選擇的至少一種作為單元夾頭。此時(shí)，真空夾頭可利用真空吸入固定下板200，但也可兼作空氣懸浮的吹風(fēng)機(jī)(Air Blower)，以使下板200相對于下部夾頭385空氣懸浮(Air Floating)。這樣的空氣懸浮概念，也可同樣適用于上板和上部夾頭。較佳地，下板200通過空氣懸浮從下部夾頭385相隔的距離f為100 500 μ m。[下板的夾持(chucking)]圖7a至圖7e為說明下板夾持于下部夾頭的過程的剖面圖。如圖7a所示，以空氣懸浮的狀態(tài)移送的下板200下降，以通過多孔陶瓷夾頭701和靜電夾頭702以網(wǎng)格形狀排列的下部夾頭385夾持。此時(shí)，若下板200急劇接觸下部夾頭385，則存在下板200扭曲或劃損的危險(xiǎn)，因此，單元夾頭控制裝置703首先通過多孔陶瓷夾頭701噴射空氣，以使下板 200空氣懸浮。接著，如圖7b所示，通過控制單元夾頭控制裝置703，通過位于下部夾頭385中心部的多孔陶瓷夾頭701首先形成真空吸入。在本實(shí)施例中，通過位于下部夾頭385的中心部的多孔陶瓷夾頭701首先形成真空吸入，但根據(jù)不同的情況，也可在其他一側(cè)形成真空吸入。但是，需使真空吸入依次進(jìn)行。接著，如圖7c所示，通過控制單元夾頭控制裝置703，擴(kuò)展通過多孔陶瓷夾頭701 形成真空吸入的區(qū)域。最后，通過控制單元夾頭控制裝置703，通過整個(gè)多孔陶瓷夾頭701形成真空吸入，以成為如圖7d所示的狀態(tài)，則將成為下板200接觸于整個(gè)下部夾頭385的如圖7e所示的狀態(tài)。下板200與下部夾頭385接觸之后，運(yùn)行靜電夾頭702。之所以這樣從中央部或某一側(cè)部位開始依次形成真空吸入，是為了防止由網(wǎng)狀的第二軟性基板構(gòu)成的下板200的扭曲。在本實(shí)施例中，只說明了多孔陶瓷夾頭701和靜電夾頭702，但也可使用真空夾頭、物理粘合夾頭及渦流夾頭。[上板的夾持(chucking)]圖8為上板夾持于上部夾頭的過程的剖面圖。上板150也因?yàn)楹穸缺?，若上部夾頭375加工成具有大氣孔的形式，則因真空吸入壓力導(dǎo)致上板150變形而無法使用。因此， 與上述實(shí)施例的下部夾頭385 —樣，上部夾頭375也可由多孔陶瓷夾頭701和靜電夾頭702 構(gòu)成。此時(shí)，為將上板150夾持于上部夾頭375，經(jīng)過如下過程若通過下部夾頭385的多孔陶瓷夾頭701噴射空氣，則形成空氣懸浮，而且，在上部夾頭375從其中央部或某一側(cè)開始依次擴(kuò)大正孔吸附區(qū)域。[網(wǎng)狀物切割器的結(jié)構(gòu)]圖9a至圖9e為說明將網(wǎng)狀的第一軟性基板加工成板狀上板的網(wǎng)狀物切割器的示意圖，而各圖為對網(wǎng)狀第一軟性基板151的長度方向的剖面圖。如圖9a所示，由搬運(yùn)器901夾緊網(wǎng)狀的第一軟性基板151的側(cè)部并通過LM導(dǎo)引器903向右側(cè)移動(dòng)，從而完成網(wǎng)狀物供應(yīng)(Web Feeding) 0下部夾頭385通過作為自身單元夾頭的多孔陶瓷夾頭(未圖示)向其上部一側(cè)噴射空氣，從而通過空氣懸浮方式供應(yīng)第一軟性基板151。在下部夾頭385的兩側(cè)，設(shè)置相對于其長度方向垂直切割第一軟性基板151的網(wǎng)狀物切割裝置902。上述網(wǎng)狀物切割裝置902由刀片型、輪(wheel)型或激光型構(gòu)成。網(wǎng)狀物切割裝置902具備空氣吸入排出部904以向箭頭方向去除切割網(wǎng)狀物時(shí)產(chǎn)生的微粒。 為了利用靜電除塵，還可具備電離器(Ionizer)?？捎秒婋x器噴嘴(Nozzle)，通過靜電有效去除切割所產(chǎn)生的微粒。接著，如圖％所示，使上部夾頭375與真空室蓋401 —同下降，以從上部夾持第一軟性基板151。接著，如圖9c所示，搬運(yùn)器901復(fù)原至原始位置，從而不會(huì)使搬運(yùn)器901妨礙網(wǎng)狀物切割作業(yè)。接著，如圖9d所示，網(wǎng)狀物切割裝置902從下面上升， 以與上部夾頭375的兩端部一起形成微粒去除用腔室并切割第一軟性基板151。切割時(shí)所產(chǎn)生的微粒的防止方法為，在上部夾頭375的兩端部吹入空氣并從網(wǎng)狀物切割裝置902的空氣吸入排出部904抽出。如圖9e所示，完成切割之后，網(wǎng)狀物切割裝置902向下移動(dòng)，而上部夾頭375固定被切割的板狀的上板150并移動(dòng)，從而準(zhǔn)備與下板粘合。
如上所述的本發(fā)明的軟性液晶顯示器的制造裝置，在Roll&Sheet方式的真空粘合工藝中，可大幅減少工藝時(shí)間和不合格率。另外，將上述上部夾頭375及真空室蓋401在上述網(wǎng)狀的第二軟性基板151上并排具備至少兩列，以同時(shí)進(jìn)行兩處以上真空粘合，從而大幅縮短工藝時(shí)間。
權(quán)利要求
1.一種軟性液晶顯示器的制造裝置，其特征在于，包括上部夾頭，用于固定利用第一軟性基板加工而成的具備第一寬度的板狀上板；下部夾頭，用于固定由具備比上述第一寬度更寬的第二寬度的網(wǎng)狀第二軟性基板形成的下板；真空室蓋，與上述上部夾頭相結(jié)合以便與上述上部夾頭一起移動(dòng)，并以上述下板作為真空室底部，從而與上述下板一同構(gòu)成真空區(qū)域；上板移動(dòng)裝置，移動(dòng)上述真空室蓋及結(jié)合于其上的上部夾頭，從而將固定于上述上部夾頭的上板粘合于上述下板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的軟性液晶顯示器的制造裝置，其特征在于，還包括上部夾頭移動(dòng)裝置，以使上述上部夾頭相對于上述真空室蓋獨(dú)立移動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的軟性液晶顯示器的制造裝置，其特征在于，上述上部夾頭及下部夾頭分別為從真空夾頭、靜電夾頭、物理粘合夾頭、多孔陶瓷夾頭及渦流夾頭中選擇的至少一種作為單元夾頭。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的軟性液晶顯示器的制造裝置，其特征在于，還包括用于移動(dòng)上述下板的下部夾頭移動(dòng)裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的軟性液晶顯示器的制造裝置，其特征在于，還包括UVW平臺(tái)或 XY θ平臺(tái)，以使上述上部夾頭及下部夾頭中的至少一個(gè)能移動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的軟性液晶顯示器的制造裝置，其特征在于，還包括紫外線硬化裝置，用于上述上板和下板的粘合工藝之后的部分硬化。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的軟性液晶顯示器的制造裝置，其特征在于，還包括攝像頭，用于在上述上板和下板的粘合工藝中，以視覺方式檢查對齊狀態(tài)等。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的軟性液晶顯示器的制造裝置，其特征在于，為準(zhǔn)備具備比上述第二寬度窄的第一寬度的板狀的第一軟性基板，使用本來就具備第一寬度的網(wǎng)狀物，或按第一寬度切割具備比第一寬度寬的寬度的網(wǎng)狀物的兩側(cè)，或用彎曲裝置彎曲具備比第一寬度寬的寬度網(wǎng)狀物的兩側(cè)之后用靜電夾頭夾具固定。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的軟性液晶顯示器的制造裝置，其特征在于，還包括空氣浮起裝置，以使上述下板不與上述下部夾頭接觸，從而在上述下部夾頭的上部，無損傷地移動(dòng)由上述網(wǎng)狀的第二軟性基板構(gòu)成的下板。
10.根據(jù)權(quán)利要求1、3及9中任意一項(xiàng)所述的軟性液晶顯示器的制造裝置，其特征在于，還包括上述上部夾頭及下部夾頭分別由以網(wǎng)格形狀排列的多個(gè)單元夾頭構(gòu)成，且具備依次調(diào)節(jié)上述單元夾頭的運(yùn)行的單元夾頭控制裝置。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的軟性液晶顯示器的制造裝置，其特征在于，還包括網(wǎng)狀切割裝置，將上述第一軟性基板相對于其長度方向垂直切割，從而將上述軟性基板加工成板狀的上板。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的軟性液晶顯示器的制造裝置，其特征在于，上述網(wǎng)狀物切割裝置，由刀片型、輪型或激光型構(gòu)成。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的軟性液晶顯示器的制造裝置，其特征在于，還包括由空氣吸入/排出部構(gòu)成的微粒去除裝置和電離器，微粒去除裝置用于去除使用上述網(wǎng)狀物切割裝置時(shí)產(chǎn)生的微粒，電離器用于通過靜電有效去除微粒。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的軟性液晶顯示器的制造裝置，其特征在于，還包括搬運(yùn)器， 在使用上述網(wǎng)狀物切割裝置時(shí)，為網(wǎng)狀物的移動(dòng)而夾緊網(wǎng)狀物側(cè)部。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的軟性液晶顯示器的制造裝置，其特征在于，上述真空室蓋的下部周圍可由波紋管形式的柔軟性材料制作而成。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的軟性液晶顯示器的制造裝置，其特征在于，上述真空室蓋由剛性體構(gòu)成，而在上述真空室的下端部安裝0型環(huán)。
17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的軟性液晶顯示器的制造裝置，其特征在于，將上述上部夾頭及真空室蓋在上述網(wǎng)狀的第二軟性基板上并排具備至少兩列，以同時(shí)進(jìn)行兩處以上真空粘I=I O
全文摘要
本發(fā)明涉及在卷及片(Roll&Sheet)方式的真空粘合工藝中大幅減少工藝時(shí)間和不合格率的軟性液晶顯示器的制造裝置。本發(fā)明的軟性液晶顯示器的制造裝置，包括上部夾頭，用于固定利用第一軟性基板加工而成的具備第一寬度的板狀上板；下部夾頭，用于固定由具備比上述第一寬度更寬的第二寬度的網(wǎng)狀第二軟性基板形成的下板；真空室蓋，與上述上部夾頭相結(jié)合以便與上述上部夾頭一起移動(dòng)，并以上述下板作為真空室底部，從而與上述下板一同構(gòu)成真空區(qū)域；上板移動(dòng)裝置，移動(dòng)上述真空室蓋及結(jié)合于其上的上部夾頭，從而將固定于上述上部夾頭的上板粘合于上述下板。根據(jù)本發(fā)明，可在制造軟性顯示器時(shí)，大幅提高質(zhì)量及生產(chǎn)效益。
文檔編號G02F1/1333GK102455540SQ201110316319
公開日2012年5月16日 申請日期2011年10月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月18日
發(fā)明者李鎮(zhèn)煥 申請人:Ap系統(tǒng)股份有限公司