專利名稱：一種光刻機(jī)投影物鏡鏡頭的裝調(diào)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及深紫外光刻機(jī)投影物鏡鏡頭制造與裝調(diào)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于光刻投影物鏡鏡頭裝配、檢測(cè)和調(diào)整的裝調(diào)平臺(tái)。
背景技術(shù)：
對(duì)現(xiàn)有光刻物鏡的要求是一、具有衍射極限的成像質(zhì)量，二、高分辨率，三、大視場(chǎng)且畸變極小；因此，光刻投影物鏡的加工、制造和裝配是一個(gè)非常精密、復(fù)雜的過程。近幾十年來隨著半導(dǎo)體芯片的細(xì)微化、集成化要求的提高，人們對(duì)光刻鏡頭的要求也越來越高。 為了實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的成像性能、獲得更高的分辨率，高NA投影光刻物鏡要求光學(xué)元件具有亞微米級(jí)的空間位置精度以及極高的穩(wěn)定性和可靠性。對(duì)于大數(shù)值孔徑光刻投影物鏡來說，除了完善的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案外，關(guān)鍵在于光學(xué)加工、裝校、調(diào)整以及相關(guān)的測(cè)試。投影光刻物鏡鏡頭裝配的最終目標(biāo)是嚴(yán)格按照理論設(shè)計(jì)的要求保證鏡頭中每個(gè)鏡片的相對(duì)空間位置精度，其中最主要的是沿光軸方向的空氣間隔和相鄰鏡片之間的偏心誤差。對(duì)光學(xué)元件的空氣間隔和偏心誤差的檢測(cè)精度往往在 1/5到1/10微米之間。在投影光刻物鏡鏡頭裝配的過程中，子鏡筒裝配、鏡筒級(jí)聯(lián)裝配、鏡片偏心和空氣間隔的檢測(cè)以及單個(gè)鏡片的位置調(diào)整等步驟是一個(gè)反復(fù)迭代進(jìn)行的過程。并且鏡片的空間位置檢測(cè)以及單個(gè)鏡片的位置調(diào)整具有相當(dāng)高的實(shí)時(shí)性要求，因而需要采用先進(jìn)的自動(dòng)化超精密裝調(diào)技術(shù)，設(shè)計(jì)一種集自動(dòng)裝配、檢測(cè)和調(diào)整功能于一身的光機(jī)電一體化的裝調(diào)平臺(tái)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為解決現(xiàn)有光刻投影物鏡鏡頭難以實(shí)現(xiàn)高精度裝配、實(shí)時(shí)檢測(cè)以及自動(dòng)裝調(diào)的問題，提供一種光刻機(jī)投影物鏡鏡頭的裝調(diào)裝置。一種光刻機(jī)投影物鏡鏡頭的裝調(diào)裝置，該裝置包括Z軸立柱、上檢測(cè)立柱、上檢測(cè)頭、可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)、氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)、水平大理石平臺(tái)、調(diào)整機(jī)構(gòu)、隔振支撐腿和調(diào)整平臺(tái)連接支架；所述Z軸立柱、上檢測(cè)立柱和氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)分別垂直固定在水平大理石平臺(tái)上；所述上檢測(cè)頭通過上檢測(cè)頭架固定在上檢測(cè)立柱上，調(diào)整機(jī)構(gòu)固定在可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)的上表面，所述可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)通過調(diào)整平臺(tái)連接支架固定在Z軸立柱上，水平大理石平臺(tái)通過四個(gè)隔振支撐腿支撐在隔振地基上；所述Z軸立柱包括直線電機(jī)、Z軸豎直導(dǎo)軌、Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)和Z軸底座；所述直線電機(jī)和Z軸豎直導(dǎo)軌分別固定在Z軸立柱的垂直面上；所述Z軸豎直導(dǎo)軌對(duì)Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向；直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)沿Z軸豎直導(dǎo)軌進(jìn)行垂直方向的上下運(yùn)動(dòng)；所述Z軸底座固定在水平大理石平臺(tái)的上表面。本發(fā)明的工作原理本發(fā)明所述的光刻機(jī)投影物鏡鏡頭的裝調(diào)裝置以完全自動(dòng)化的方式完成對(duì)光學(xué)元件位置的超高精度檢測(cè)、鏡框位置的高精度調(diào)整、以及子鏡筒的高精密定位，本裝置中所述Z軸立柱上配有直線電機(jī)和Z軸豎直導(dǎo)軌，用來對(duì)Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)和導(dǎo)向，可以實(shí)現(xiàn)微米量級(jí)的定位精度。所述可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)通過連接支架固定在Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)上，可隨著Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)上下運(yùn)動(dòng)?？蓜?dòng)調(diào)整平臺(tái)的中間加工有通孔，通孔的直徑大于光刻投影物鏡的外徑尺寸，使得可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)上下移動(dòng)的過程中可以定位在投影光刻物鏡的任意高度。在整個(gè)運(yùn)動(dòng)的過程中，可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)上表面與氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的上表面始終保持平行， 并且通孔的中心線與氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)中心線始終保持對(duì)齊。所述調(diào)整機(jī)構(gòu)可以為多個(gè)且均勻固定在可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)的上表面，在鏡框位置的調(diào)整過程中，多個(gè)調(diào)整機(jī)構(gòu)同時(shí)進(jìn)給頂在所需調(diào)整位置的鏡框上，根據(jù)各調(diào)整桿運(yùn)動(dòng)量的不同，通過多個(gè)接觸點(diǎn)的位置改變從而在垂直與鏡片光軸的平面內(nèi)精確的調(diào)整鏡框即鏡片到任意目標(biāo)位置。所述上檢測(cè)立柱和下檢測(cè)立柱上均配有豎直導(dǎo)軌和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，分別帶動(dòng)上檢測(cè)頭支架、下檢測(cè)頭支架和上檢測(cè)頭、下檢測(cè)頭沿豎直導(dǎo)軌上下運(yùn)動(dòng)。所述上檢測(cè)頭、下檢測(cè)頭可在鏡頭裝配過程中，對(duì)單個(gè)鏡框單元中鏡片的中心偏誤差進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量，通過上檢測(cè)頭和下檢測(cè)頭的配合測(cè)量出單個(gè)鏡片的光軸與基準(zhǔn)軸的偏心誤差。對(duì)每一個(gè)子鏡筒內(nèi)多個(gè)鏡片進(jìn)行偏心檢測(cè)時(shí)，需要移動(dòng)上檢測(cè)頭到合適的工作距離分別檢測(cè)每一個(gè)光學(xué)表面的位置；如果某個(gè)鏡片的測(cè)量結(jié)果顯示有偏心誤差，則移動(dòng)可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)到需要調(diào)整的鏡框位置，將光學(xué)鏡片調(diào)整到誤差允許的范圍內(nèi)。采用同樣的方式可對(duì)級(jí)聯(lián)裝調(diào)的每一級(jí)子鏡筒進(jìn)行偏心誤差測(cè)量。隨后需要對(duì)鏡片的空氣間隔進(jìn)行測(cè)量時(shí)，將上檢測(cè)頭的前置物鏡更換為間隔測(cè)量頭，便可在偏心已經(jīng)調(diào)整好的情況下對(duì)鏡片間隔進(jìn)行測(cè)量。鏡片空氣間隔的測(cè)量在鏡片偏心調(diào)整好的情況下進(jìn)行，這種測(cè)量方法可以避免鏡片偏心誤差對(duì)間隔測(cè)量精度造成的影響。在上檢測(cè)頭隨著豎直導(dǎo)軌上下運(yùn)動(dòng)的過程中，為了獲得亞微米級(jí)的偏心測(cè)量精度，上檢測(cè)頭的測(cè)量中心線與氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)中心線應(yīng)始終保持重合。所述氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)配合下檢測(cè)頭和上檢測(cè)頭對(duì)單個(gè)或多組鏡片的偏心誤差進(jìn)行測(cè)量， 為了獲得亞微米級(jí)的測(cè)量精度，氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)應(yīng)具有較高的旋轉(zhuǎn)精度和定位精度以及較高的支撐剛度。除了鏡片的橫向位置可調(diào)之外，配合可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)上的調(diào)整機(jī)構(gòu)和氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)還可實(shí)現(xiàn)各子鏡筒之間的相對(duì)旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明的有益效果本發(fā)明所述的鏡頭裝調(diào)裝置作為一個(gè)集檢測(cè)、調(diào)整、控制的有機(jī)的整體，不僅可以實(shí)現(xiàn)單個(gè)鏡片的偏心誤差的高精度測(cè)量，還可對(duì)單個(gè)或多個(gè)子鏡筒內(nèi)所有鏡片的偏心誤差和空氣間隔進(jìn)行測(cè)量；測(cè)量結(jié)果實(shí)時(shí)的反饋給調(diào)整元件，對(duì)各鏡片進(jìn)行偏心調(diào)整和旋轉(zhuǎn)調(diào)整，整個(gè)測(cè)量和調(diào)整是一個(gè)閉環(huán)系統(tǒng)，具有良好的實(shí)時(shí)性，極大的提高了光刻投影物鏡的裝調(diào)效率。本發(fā)明用于子鏡筒裝調(diào)、鏡筒級(jí)聯(lián)裝調(diào)以及鏡片偏心和空氣間隔的檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)光刻投影物鏡鏡頭的高精度裝配公差要求。


圖1為本發(fā)明所述的一種光刻機(jī)投影物鏡鏡頭的裝調(diào)裝置的軸測(cè)圖；圖2為本發(fā)明所述的一種光刻機(jī)投影物鏡鏡頭的裝調(diào)裝置中調(diào)整機(jī)構(gòu)的軸測(cè)圖。圖中1、Z軸立柱，1-1、直線電機(jī)，1_2、Z軸豎直導(dǎo)軌，1_3、Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)，1_4、Z軸底座，2、上檢測(cè)立柱，2-1、豎直導(dǎo)軌，2-2、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，3、上檢測(cè)頭，3-1、上檢測(cè)頭支架，3-2、前置物鏡，4、下檢測(cè)立柱，5、下檢測(cè)頭，6、可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)直線電機(jī)，7、氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)，8、水平大理石平臺(tái)，9、調(diào)整機(jī)構(gòu)，9-1、調(diào)整基座，9-2、調(diào)整導(dǎo)軌，9-3、調(diào)整移動(dòng)臺(tái)，9-4、調(diào)整桿固定底座，9-5、固定螺釘，9-6、調(diào)整桿固定接頭，9-7、調(diào)整桿，9-8、調(diào)整頭，10、隔振支撐腿，11、調(diào)整平臺(tái)連接支架。
具體實(shí)施例方式具體實(shí)施方式
一、結(jié)合圖1和圖2說明本實(shí)施方式，一種光刻機(jī)投影物鏡鏡頭的裝調(diào)裝置，該裝置包括ζ軸立柱1、上檢測(cè)立柱2、上檢測(cè)頭3、可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)6、氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)7、水平大理石平臺(tái)8、調(diào)整機(jī)構(gòu)9、隔振支撐腿10和調(diào)整平臺(tái)連接支架11 ；所述Z軸立柱1、上檢測(cè)立柱2和氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)7分別垂直固定在水平大理石平臺(tái)8上；所述上檢測(cè)頭3通過上檢測(cè)頭架3-1固定在上檢測(cè)立柱2上，調(diào)整機(jī)構(gòu)9固定在可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)6的上表面，所述可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)6通過調(diào)整平臺(tái)連接支架11固定在Z軸立柱1上，水平大理石平臺(tái)8通過四個(gè)隔振支撐腿10支撐在隔振地基上；所述Z軸立柱1包括直線電機(jī)1-1、Z軸豎直導(dǎo)軌1-2、Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)1_3和Z軸底座1-4 ；所述直線電機(jī)1-1和Z軸豎直導(dǎo)軌1-2分別固定在Z軸立柱1的垂直面上；Z軸豎直導(dǎo)軌1-2的數(shù)目為兩個(gè)，所述Z軸豎直導(dǎo)軌1-2對(duì)Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)1-3進(jìn)行運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向；直線電機(jī)1-1驅(qū)動(dòng)Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)1-3沿Z軸豎直導(dǎo)軌1-2進(jìn)行垂直方向的上下運(yùn)動(dòng)；運(yùn)動(dòng)精度在微米量級(jí)。所述Z軸底座1-4固定在水平大理石平臺(tái)8的上表面。本實(shí)施方式所述的Z軸立柱1的高度可根據(jù)光刻投影物鏡鏡頭長(zhǎng)度的大小設(shè)計(jì)不同的值，Z軸立柱1的高度大于光刻投影物鏡鏡頭的總體長(zhǎng)度。本實(shí)施方式中所述的上檢測(cè)立柱2上安裝有豎直導(dǎo)軌2-1和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)2-2，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)2-2帶動(dòng)上檢測(cè)頭支架3-1沿豎直導(dǎo)軌2-1上下運(yùn)動(dòng)。所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)2-2可以是電機(jī)帶動(dòng)滾珠絲杠的方式也可以是直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)方式。本實(shí)施方式中還包括下檢測(cè)立柱4和下檢測(cè)頭5，所述下檢測(cè)立柱4垂直固定在水平大理石平臺(tái)8的下表面，所述下檢測(cè)頭5通過下檢測(cè)頭支架固定在下檢測(cè)立柱4上。所述下檢測(cè)立柱4結(jié)構(gòu)同上檢測(cè)立柱2相似，兩者的不同之處在于上檢測(cè)立柱2的長(zhǎng)度大于下檢測(cè)立柱4的長(zhǎng)度。上檢測(cè)立柱2的長(zhǎng)度在1. 5m到an之間，其行程能夠涵蓋對(duì)每一片鏡片的檢測(cè)，所述下檢測(cè)立柱4的長(zhǎng)度在500mm到600mm之間，能夠完成對(duì)投影光刻物鏡底部鏡片的檢測(cè)。本實(shí)施方式所述的可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)6中心加工有一個(gè)通孔6-1，可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)6通過調(diào)整平臺(tái)連接支架11固定在Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)1-3上，可隨著Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)1-3在豎直方向上運(yùn)動(dòng)?？蓜?dòng)調(diào)整平臺(tái)6的上表面與氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)7的上表面平行，并且在可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)6上下運(yùn)動(dòng)的過程中通孔6-1的中心線與氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)7的中心線始終保持重合。本實(shí)施方式中所述的調(diào)整機(jī)構(gòu)9包括調(diào)整基座9-1、調(diào)整導(dǎo)軌9-2、調(diào)整移動(dòng)臺(tái) 9-3、調(diào)整桿固定底座9-4、固定螺釘9-5、調(diào)整桿固定接頭9-6、調(diào)整桿9_7和調(diào)整頭9_8 ；調(diào)整機(jī)構(gòu)9通過螺釘固定在可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)6的上表面，三個(gè)調(diào)整機(jī)構(gòu)9以120°的間隔均布在可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)6的上表面。結(jié)合圖2，調(diào)整頭9-8固定在調(diào)整桿9-7的末端，調(diào)整桿9-7與固定接頭9-6連接在一起；調(diào)整桿固定接頭9-6和調(diào)整桿固定底座9-4通過固定螺釘9-5 固定在調(diào)整移動(dòng)臺(tái)9-3的上表面。調(diào)整導(dǎo)軌9-2通過內(nèi)部滑塊對(duì)調(diào)整移動(dòng)臺(tái)9-3實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向，調(diào)整移動(dòng)臺(tái)9-3可沿調(diào)整桿9-7的軸向進(jìn)給和后退。調(diào)整基座9-1內(nèi)部配有電機(jī)和滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)副或者壓電陶瓷促動(dòng)器，用來驅(qū)動(dòng)調(diào)整移動(dòng)臺(tái)9-3運(yùn)動(dòng)。所述三個(gè)調(diào)整機(jī)構(gòu)9同時(shí)作用頂在所需調(diào)整位置的鏡框上，根據(jù)各調(diào)整移動(dòng)臺(tái)9-3運(yùn)動(dòng)量的不同，便可實(shí)現(xiàn)對(duì)鏡框在垂直與鏡片光軸的平面內(nèi)任意位置的調(diào)整。本實(shí)施方式所述的調(diào)整頭9-8末端為半圓球狀，以保證調(diào)整頭與鏡框外圓面的始終是點(diǎn)接觸。本實(shí)施方式中所述調(diào)整機(jī)構(gòu)9的個(gè)數(shù)不局限于三個(gè)，根據(jù)不同應(yīng)用場(chǎng)合，調(diào)整機(jī)構(gòu)9可以是四個(gè)。所述調(diào)整機(jī)構(gòu)9的運(yùn)動(dòng)范圍可根據(jù)鏡頭尺寸的大小設(shè)計(jì)不同的值，其最終功能是可以實(shí)現(xiàn)對(duì)光刻投影物鏡鏡頭中每一片透鏡的位置調(diào)整。本實(shí)施方式中所述的上檢測(cè)頭3可在鏡頭裝配過程中對(duì)鏡片的中心偏誤差或者鏡片空氣間隔進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量，在上檢測(cè)頭3隨著豎直導(dǎo)軌2-1上下運(yùn)動(dòng)的過程中，上檢測(cè)頭 3的測(cè)量中心線與氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)7的旋轉(zhuǎn)中心線始終保持重合。在光刻投影物鏡鏡頭的裝配過程中，首先對(duì)每一個(gè)裝夾在氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)7上的子鏡筒進(jìn)行偏心檢測(cè)移動(dòng)上檢測(cè)頭3到合適的位置分別檢測(cè)每一個(gè)光學(xué)表面的位置，根據(jù)測(cè)量的結(jié)果移動(dòng)可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)6到需要調(diào)整的鏡框的高度，驅(qū)動(dòng)三個(gè)調(diào)整機(jī)構(gòu)9至所需位置，將光學(xué)鏡片調(diào)整到誤差允許的范圍內(nèi)。隨后需要對(duì)鏡片的空氣間隔進(jìn)行測(cè)量時(shí)，將上檢測(cè)頭3的前置物鏡3-2更換為間隔測(cè)量頭，便可在偏心已經(jīng)調(diào)整好的情況下對(duì)鏡片間隔進(jìn)行測(cè)量。這種測(cè)量方法可以避免偏心調(diào)整之前各鏡片之間的偏心誤差對(duì)間隔測(cè)量精度造成的影響。所述下檢測(cè)頭5的測(cè)量原理和結(jié)構(gòu)和上檢測(cè)頭3相同。本實(shí)施方式中所述的氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)7的上表面與水平大理石平臺(tái)8的上表面平行。所述氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)7具有較高的旋轉(zhuǎn)精度和定位精度，以配合下檢測(cè)頭5和上檢測(cè)頭3實(shí)現(xiàn)對(duì)多組鏡片的偏心誤差測(cè)量。所述氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)7還具有較高的支撐剛度，能夠支撐整個(gè)光刻投影物鏡而不發(fā)生傾斜或沿光軸方向的變形。氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)7還可配合可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)6和調(diào)整機(jī)構(gòu) 9實(shí)現(xiàn)各子鏡筒之間的相對(duì)旋轉(zhuǎn)首先將可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)6移動(dòng)到所需旋轉(zhuǎn)的子鏡筒的相應(yīng)位置，同時(shí)驅(qū)動(dòng)三個(gè)調(diào)整機(jī)構(gòu)9夾緊子鏡筒，旋轉(zhuǎn)氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)7至一定的角度，此時(shí)被夾緊子鏡筒和下級(jí)子鏡筒之間便產(chǎn)生了相對(duì)的角度位移量。本實(shí)施方式中所述的水平大理石平臺(tái)8由四個(gè)隔振支撐腿10支撐在隔振地基上， 所述隔振支撐腿10可采用被動(dòng)或主動(dòng)隔振方式隔離外界環(huán)境振動(dòng)對(duì)裝調(diào)平臺(tái)的影響。為了獲得更好的隔振效果，隔振支撐腿10也可采用主動(dòng)隔振的方式。所述水平大理石平臺(tái)8 不僅對(duì)Z軸立柱1、上檢測(cè)立柱2、下檢測(cè)立柱4和氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)7起到支撐固定的作用，還可隔離各組件之間由運(yùn)動(dòng)部件的振動(dòng)產(chǎn)生相互影響。
權(quán)利要求
1.一種光刻機(jī)投影物鏡鏡頭的裝調(diào)裝置，該裝置包括ζ軸立柱(1)、上檢測(cè)立柱(2)、上檢測(cè)頭C3)、可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)(6)、氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)(7)、水平大理石平臺(tái)(8)、調(diào)整機(jī)構(gòu)(9)、隔振支撐腿(10)和調(diào)整平臺(tái)連接支架(11)；其特征是，所述Z軸立柱(1)、上檢測(cè)立柱(2)和氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)(7)分別垂直固定在水平大理石平臺(tái)(8)上；所述上檢測(cè)頭C3)通過上檢測(cè)頭架(3-1) 固定在上檢測(cè)立柱( 上，調(diào)整機(jī)構(gòu)(9)固定在可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)(6)的上表面，所述可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)(6)通過調(diào)整平臺(tái)連接支架(11)固定在Z軸立柱(1)上，水平大理石平臺(tái)(8)通過四個(gè)隔振支撐腿(10)支撐在隔振地基上；所述Z軸立柱(1)包括直線電機(jī)(1-1)、Z軸豎直導(dǎo)軌(1-2)、Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)(1-3)和Z軸底座(1-4)；所述直線電機(jī)(1-1)和Z軸豎直導(dǎo)軌(1-2)分別固定在Z軸立柱(1)的垂直面上；所述Z軸豎直導(dǎo)軌(1-2)對(duì)Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)(1-3)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向；直線電機(jī)(1-1)驅(qū)動(dòng)Z 軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)(1-3)沿Z軸豎直導(dǎo)軌(1-2)進(jìn)行垂直方向的上下運(yùn)動(dòng)；所述Z軸底座(1-4)固定在水平大理石平臺(tái)(8)的上表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)投影物鏡鏡頭的裝調(diào)裝置，其特征在于，所述上檢測(cè)立柱( 上安裝有豎直導(dǎo)軌(2-1)和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)0-2)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(2- 帶動(dòng)上檢測(cè)頭支架(3-1)沿豎直導(dǎo)軌上下運(yùn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種光刻機(jī)投影物鏡鏡頭的裝調(diào)裝置，其特征在于，它還包括下檢測(cè)立柱(4)和下檢測(cè)頭(5)，所述下檢測(cè)立柱(4)垂直固定在水平大理石平臺(tái)(8) 的下表面，所述下檢測(cè)頭( 固定在下檢測(cè)立柱(4)上，所述上檢測(cè)立柱( 的長(zhǎng)度在1. 5m 到an之間；所述下檢測(cè)立柱的長(zhǎng)度在500mm到600mm之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種光刻機(jī)投影物鏡鏡頭的裝調(diào)裝置，其特征在于，所述上檢測(cè)頭C3)和下檢測(cè)頭(5)的測(cè)量中心線與氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)(7)的旋轉(zhuǎn)中心線重合。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)投影物鏡鏡頭的裝調(diào)裝置，其特征在于，所述氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)(7)的上表面與水平大理石平臺(tái)(8)的上表面平行。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)投影物鏡鏡頭的裝調(diào)裝置，其特征在于，所述可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)(6)中心加工有一個(gè)通孔(6-1)，所述通孔(6-1)的中心線與氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)(7)的旋轉(zhuǎn)中心線重合；可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)(6)的上表面與氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)(7)的上表面平行。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)投影物鏡鏡頭的裝調(diào)裝置，其特征在于，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)(9)的個(gè)數(shù)為三個(gè)或四個(gè)，并且均勻分布在可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)(6)的上表面。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)投影物鏡鏡頭的裝調(diào)裝置，其特征在于，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)(9)包括調(diào)整基座(9-1)、調(diào)整導(dǎo)軌(9-2)、調(diào)整移動(dòng)臺(tái)(9-3)、調(diào)整桿底座(9-4)、固定螺釘(9-5)、調(diào)整桿固定接頭(9-6)、調(diào)整桿(9-7)和調(diào)整頭(9-8)；所述調(diào)整頭(9_8)固定在調(diào)整桿(9-7)的末端，調(diào)整桿(9-7)與調(diào)整桿固定接頭(9-6)連接；調(diào)整桿固定接頭 (9-6)和調(diào)整桿底座(9-4)通過固定螺釘(9-5)固定在調(diào)整移動(dòng)臺(tái)(9-3)的上表面。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種光刻機(jī)投影物鏡鏡頭的裝調(diào)裝置，其特征在于，所述調(diào)整頭(9-8)末端為半圓球狀。
全文摘要
一種光刻機(jī)投影物鏡鏡頭的裝調(diào)裝置，涉及深紫外光刻機(jī)投影物鏡鏡頭制造與裝調(diào)技術(shù)領(lǐng)域。解決了光刻投影物鏡鏡頭的高精度自動(dòng)裝配、檢測(cè)、調(diào)整問題。本發(fā)明裝置包括Z軸立柱、上檢測(cè)立柱、上檢測(cè)頭、可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)、氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)、水平大理石平臺(tái)、調(diào)整機(jī)構(gòu)、隔振支撐腿和調(diào)整平臺(tái)連接支架；所述Z軸立柱、上檢測(cè)立柱和氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)分別垂直固定在水平大理石平臺(tái)上；所述上檢測(cè)頭通過上檢測(cè)頭架固定在上檢測(cè)立柱上，調(diào)整機(jī)構(gòu)固定在可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)的上表面，所述可動(dòng)調(diào)整平臺(tái)通過調(diào)整平臺(tái)連接支架固定在Z軸立柱上，水平大理石平臺(tái)通過四個(gè)隔振支撐腿支撐在隔振地基上本發(fā)明裝置具有良好的實(shí)時(shí)性，極大的提高了光刻投影物鏡的裝調(diào)效率。
文檔編號(hào)G03F7/20GK102279532SQ20111021228
公開日2011年12月14日 申請(qǐng)日期2011年7月27日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月27日
發(fā)明者倪明陽, 鞏巖, 張巍, 王學(xué)亮, 袁文全, 趙磊 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所