專利名稱：一種全自動(dòng)步進(jìn)數(shù)字化光刻裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種步進(jìn)數(shù)字化光刻裝置，尤其涉及一種全自動(dòng)步進(jìn)數(shù)字化光刻裝置。
背景技術(shù)：
在微光學(xué)技術(shù)迅速發(fā)展的今天，越來(lái)越多的科學(xué)研究和應(yīng)用實(shí)踐依賴于數(shù)字化的方法來(lái)實(shí)現(xiàn)，這已成為當(dāng)前緊迫的技術(shù)難題，成為科研生產(chǎn)的一個(gè)亟待解決的瓶頸問(wèn)題。 隨著計(jì)算機(jī)控制技術(shù)的快速發(fā)展，基于數(shù)字化光刻系統(tǒng)及控制方法，已被證實(shí)具有很高的器件制作精度和效率，且減少了人為不利因素的影響?？梢岳萌詣?dòng)步進(jìn)數(shù)字化光刻系統(tǒng)來(lái)進(jìn)行光刻的實(shí)驗(yàn)制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供了一種全自動(dòng)步進(jìn)數(shù)字化光刻裝置，該裝置是通過(guò)計(jì)算機(jī)編程控制光刻系統(tǒng)的各個(gè)部件，提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性、可靠性，及微光學(xué)器件制作的精度和性能。當(dāng)進(jìn)行光刻實(shí)驗(yàn)時(shí)，我們將要進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的數(shù)字掩模圖形由工控機(jī)經(jīng)SLM(空間光調(diào)制器)驅(qū)動(dòng)器輸出到SLM上，采用程控紫外光源來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)曝光時(shí)間的設(shè)定，使得曝光時(shí)間的精度更高。使用高分辨率CCD (電荷耦合器件)使得觀察要曝光對(duì)準(zhǔn)的數(shù)字掩模圖形的清晰度更高，從而曝光光刻圖形效果更好。利用程控三維精密工件臺(tái)控制器控制程控三維精密工件臺(tái)的精密定位，有效提高了器件制作的精度和效率。本發(fā)明是這樣來(lái)實(shí)現(xiàn)的，它包括工控機(jī)、數(shù)字控制卡、程控開(kāi)關(guān)控制器、SLM驅(qū)動(dòng)器、程控紫外光源、程控三維精密工件臺(tái)控制器、數(shù)字圖像采集卡、SLM、分束鏡、精縮透鏡、 程控三維精密工件臺(tái)、CCD，其特征是工控機(jī)分別連接SLM驅(qū)動(dòng)器、數(shù)字圖像采集卡和數(shù)字控制卡，數(shù)字控制卡連接程控開(kāi)關(guān)控制器，程控開(kāi)關(guān)控制器分別連接程控紫外光源和程控三維精密工件臺(tái)控制器，程控紫外光源連接SLM，SLM分別連接SLM驅(qū)動(dòng)器和分束鏡，分束鏡分別連接CXD和精縮透鏡，精縮透鏡連接程控三維精密工件臺(tái)，CXD連接數(shù)字圖像采集卡。本發(fā)明的技術(shù)效果是該裝置把人為因素的影響降到了最低，并且設(shè)計(jì)的精度高、 穩(wěn)定性好。主要體現(xiàn)在以下幾點(diǎn)1、使用高精度程控紫外光源，明顯消除了曝光光源不穩(wěn)定對(duì)光刻系統(tǒng)的影響。2、采用積木式模塊化設(shè)計(jì)，系統(tǒng)硬件的各個(gè)組成部分均采用高精度的部件，最大限度降低了部件對(duì)系統(tǒng)性能的影響。3、使用高性能工控機(jī)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)系統(tǒng)各部件更有效控制。4、采用高靈敏CCD作為監(jiān)視成像器件可以獲得高分辨率的像，從而使調(diào)焦成像更精確。5采用高精密的程控三維精密工件臺(tái)，使得光刻系統(tǒng)的平穩(wěn)性精度更高，從而使器件制的定位更精確、精度更高。


圖1為本發(fā)明的原理圖。在圖中，1、工控機(jī)2、數(shù)字控制卡3、程控開(kāi)關(guān)控制器4、SLM驅(qū)動(dòng)器5、程控紫外光源6、程控三維精密工件臺(tái)控制器7、數(shù)字圖像采集卡8、SLM 9、分束鏡10、精縮透鏡 11、程控三維精密工件臺(tái)12、CXD。
具體實(shí)施例方式
如圖1所示，本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種全自動(dòng)步進(jìn)數(shù)字化光刻裝置，工控機(jī)(1) 分別連接SLM驅(qū)動(dòng)器G)、數(shù)字圖像采集卡(7)和數(shù)字控制卡(2)，數(shù)字控制卡(2)連接程控開(kāi)關(guān)控制器(3)，程控開(kāi)關(guān)控制器C3)分別連接程控紫外光源( 和程控三維精密工件臺(tái)控制器(6)，程控紫外光源(5)連接SLM (8)，SLM (8)分別連接SLM驅(qū)動(dòng)器(4)和分束鏡(9)，分束鏡(9)分別連接CXD (12)和精縮透鏡(10)，精縮透鏡(10)連接程控三維精密工件臺(tái)(11)，CXD (12)連接數(shù)字圖像采集卡(7)。該控制方法是工控機(jī)(1)發(fā)出控制指令給數(shù)字控制卡(2)，啟動(dòng)程控開(kāi)關(guān)控制器(3)，開(kāi)啟程控紫外光源(5)和程控三維精密工件臺(tái)控制器(6)。由工控機(jī)(1)預(yù)設(shè)的數(shù)字掩模圖經(jīng)SLM驅(qū)動(dòng)器(4)輸出到SLM (8)，SLM (8)在程控紫外光源(5)照射下，經(jīng)分束鏡(9)、精縮透鏡(10)，將數(shù)字掩模圖形轉(zhuǎn)印到程控三維精密工件臺(tái)(11)上涂有光刻膠的基片上。工控機(jī)(1)控制程控三維精密工件臺(tái)控制器(6)，在CXD (12)監(jiān)視下來(lái)調(diào)整程控三維精密工件臺(tái)(11)精密定位，使基片上投影圖形更清晰，然后由程控紫外光源(5)按照程序設(shè)定的時(shí)間完成曝光實(shí)驗(yàn)，從而實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)步進(jìn)數(shù)字化投影曝光光刻實(shí)驗(yàn)制作的目的。
權(quán)利要求
1. 一種全自動(dòng)步進(jìn)數(shù)字化光刻裝置，它包括工控機(jī)(1)、數(shù)字控制卡(2)、程控開(kāi)關(guān)控制器C3)、SLM驅(qū)動(dòng)器G)、程控紫外光源(5)、程控三維精密工件臺(tái)控制器(6)、數(shù)字圖像采集卡(7)、SLM (8)、分束鏡(9)、精縮透鏡(10)、程控三維精密工件臺(tái)(11)、CCD (12)，其特征是工控機(jī)(1)分別連接SLM驅(qū)動(dòng)器G)、數(shù)字圖像采集卡(7)和數(shù)字控制卡(2)，數(shù)字控制卡(2)連接程控開(kāi)關(guān)控制器(3)，程控開(kāi)關(guān)控制器C3)分別連接程控紫外光源(5)和程控三維精密工件臺(tái)控制器(6)，程控紫外光源(5)連接SLM (8)，SLM (8)分別連接SLM驅(qū)動(dòng)器 (4)和分束鏡(9)，分束鏡(9)分別連接CCD (12)和精縮透鏡(10)，精縮透鏡(10)連接程控三維精密工件臺(tái)(11)，CXD (12)連接數(shù)字圖像采集卡(7)。
全文摘要
一種全自動(dòng)步進(jìn)數(shù)字化光刻裝置，工控機(jī)分別連接SLM驅(qū)動(dòng)器、數(shù)字圖像采集卡和數(shù)字控制卡，數(shù)字控制卡連接程控開(kāi)關(guān)控制器，程控開(kāi)關(guān)控制器分別連接程控紫外光源和程控三維精密工件臺(tái)控制器，程控紫外光源連接SLM，SLM分別連接SLM驅(qū)動(dòng)器和分束鏡，分束鏡分別連接CCD和精縮透鏡，精縮透鏡連接程控三維精密工件臺(tái)，CCD連接數(shù)字圖像采集卡。本發(fā)明的技術(shù)效果是該裝置把人為因素的影響降到了最低，并且設(shè)計(jì)的精度高、穩(wěn)定性好。
文檔編號(hào)G03F7/20GK102163006SQ20111009813
公開(kāi)日2011年8月24日 申請(qǐng)日期2011年4月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月19日
發(fā)明者付裕芳, 王平奇, 羅寧寧, 肖孟超, 鄒文棟, 雷剛, 高益慶, 龔勇清 申請(qǐng)人:南昌航空大學(xué)