專利名稱：光波導(dǎo)線路及光波導(dǎo)線路的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光波導(dǎo)線路(circuit)，特別的，涉及一種可控制光路徑長度波動的光波導(dǎo)線路。
背景技術(shù)：
近年來，在超過100(ibit/S的超高速通信中，采用DP-QPSK (雙偏振差分正交相移鍵控)的通信技術(shù)在波長利用效率上的突出表現(xiàn)、接收特性和色散補償能力已經(jīng)引起了注意。采用DP-QPSK方法的接收器必須具有將光信號分離成TE (橫向電場)和TM (橫向磁場) 偏振成分的功能，和用于從這些偏振光信號中恢復(fù)相位信息的90度光混合功能。這些相位信息包含I-Q平面上的四個數(shù)值，包括相差為η的Ip和化，和分別對Ip和化具有η/2 相位延遲的Qp和Qn。因為使用光波導(dǎo)技術(shù)的平面光波線路是占優(yōu)勢的器件，其實現(xiàn)了這樣的DP-QPSK 方法的接收器的功能，因此近年來它的發(fā)展已經(jīng)比較先進。光波導(dǎo)技術(shù)是一種采用與半導(dǎo)體集成線路制造工藝同樣的微制造技術(shù)在基片上形成不同形狀的光波導(dǎo)的技術(shù)，并且其適合集成和大規(guī)模生產(chǎn)。例如，在相關(guān)技術(shù)文檔(Toshikazu Hashimoto 等，"Dual polarization optical hybrid module using planar lightwave circuit“ ， Proceedings of the2009 IEICE Electronics Society Conference 1，2009 年 9 月 15 日，第 194 頁)中，披露了圖 6 中描述的光波線路結(jié)構(gòu)。這種光波線路具有普通的光波線路結(jié)構(gòu)，在所述線路結(jié)構(gòu)中，上面提及的偏振分離功能和90度光學(xué)混合功能均集成在平面光線路上。作為示意圖，圖7簡要說明了對于90度光混合中的TE光信號的平面光線路的結(jié)構(gòu)。在圖7中，簡要說明了光分支器件16和17、光波導(dǎo)臂18-21和具有兩個輸入和兩個輸出的光耦合器22和23。臂18-21組成了一個干涉儀。臂18-20的長度是一樣的。臂 21的長度比其它臂的長度長沿光波導(dǎo)傳輸?shù)墓獾牟ㄩL的四分之一，從而沿臂21傳輸?shù)墓獾南辔槐谎舆t了。使用這種配置，I-Q平面上的相位信息的四個數(shù)值從光耦合器22和23輸出，并且因此實現(xiàn)了上述提及的90度光混合功能。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的示例性目的是提供光波導(dǎo)線路和光波導(dǎo)線路的制造方法，所述光波導(dǎo)線路能夠使每一個光波導(dǎo)臂組成一個干涉儀，并能抑制光路徑長度上的波動。根據(jù)本發(fā)明的一個示例性方面的光波導(dǎo)器件，包括第一光分支器件，用于分離第一輸入光并且將分離的第一輸入光輸出到第一和第二光波導(dǎo)；第二光分支器件，所述第二光分支器件布置在所述第一和所述第二光波導(dǎo)之間，用于分離第二輸入光并且將分離的第二輸入光輸出到第三和第四光波導(dǎo)；第一光耦合器，所述第一光耦合器耦合沿所述第一和所述第三光波導(dǎo)傳輸?shù)墓猓缓蠓蛛x所述光并且輸出所述光；和第二光耦合器，所述第二光耦合器耦合沿所述第二和所述第四光波導(dǎo)傳輸?shù)墓?，然后分離所述光并且輸出所述光，其中所述第一和所述第二光波導(dǎo)對或所述第三和所述第四光波導(dǎo)對的光路徑長度設(shè)置為相等的。根據(jù)本發(fā)明的另一個示例性方面的光波導(dǎo)器件制造方法，包括在基片上形成第一包層；在所述第一包層上層疊芯層；對所述芯層構(gòu)圖以形成芯；和用具有與所述第一包層相同的折射率的第二包層覆蓋所述芯，其中在所述芯層的構(gòu)圖中使用的掩模圖案用于配置第一光分支器件，用于分離第一輸入光并且將分離的第一輸入光輸出到第一和第二光波導(dǎo)；第二光分支器件，所述第二光分支器件布置在所述第一和所述第二光波導(dǎo)之間，用于分離第二輸入光并且將分離的第二輸入光輸出到第三和第四光波導(dǎo)；第一光耦合器，所述第一光耦合器耦合沿所述第一和所述第三光波導(dǎo)傳輸?shù)墓?，然后分離所述光并且輸出所述光；和第二光耦合器，所述第二光耦合器耦合沿所述第二和所述第四光波導(dǎo)傳輸?shù)墓猓缓蠓蛛x所述光并且輸出所述光，其中所述第一和所述第二光波導(dǎo)對或所述第三和所述第四光波導(dǎo)對的光路徑長度設(shè)置為相等的。


結(jié)合附圖，從下面的詳細描述中，本發(fā)明的示例性特征和優(yōu)勢將是顯而易見的，其中圖1是描述本發(fā)明的第一實施例的光波導(dǎo)線路結(jié)構(gòu)的模式圖；圖2是描述本發(fā)明的第二實施例的90度光混合干涉儀結(jié)構(gòu)的模式圖；圖3A是描述作為本發(fā)明中使用的光耦合器的定向耦合器的結(jié)構(gòu)的模式圖；圖:3B是描述作為本發(fā)明中使用的光耦合器的Mach-Zehnder干涉儀的結(jié)構(gòu)的模式圖；圖3C是描述作為本發(fā)明中使用的光耦合器的多模干涉儀的結(jié)構(gòu)的模式圖；圖4是描述本發(fā)明的第三實施例的光波導(dǎo)線路的結(jié)構(gòu)的模式圖；圖5是描述本發(fā)明的第四實施例的光波導(dǎo)線路的結(jié)構(gòu)的模式圖；圖6是描述采用通用DP-QPSK方法的接收機的示例結(jié)構(gòu)的模式圖；和圖7是描述圖6中所示的采用DP-QPSK方法的接收機中的90度光混合干涉儀的一部分的結(jié)構(gòu)的模式圖。
具體實施例方式下面，將參考附圖描述本發(fā)明的示例性實施例。(第一實施例)圖1是簡述本發(fā)明的實施例的光波導(dǎo)線路的模式圖。在圖1中，光分支器件1分離第一輸入光并且輸出分離的光到光波導(dǎo)2和3。光分支器件4布置在光波導(dǎo)2和3之間， 并且分離第二輸入光和輸出分離的光到光波導(dǎo)5和6。光耦合器7耦合沿光波導(dǎo)2和5傳輸?shù)墓猓缓蠓蛛x這些光，并將它們輸出。光耦合器8耦合沿光波導(dǎo)3和6傳輸?shù)墓?，然后分離這些光，并將它們輸出。
光波導(dǎo)對2和3或光波導(dǎo)對5和6的光路徑長度設(shè)置為相等。在圖1中，光波導(dǎo) 2和3具有相等的光路徑長度，另一方面，光波導(dǎo)5和6具有不同的光路徑長度。當(dāng)干涉儀由上述提及的光波導(dǎo)線路配置時，因為光波導(dǎo)5和6是在光耦合器7和 8之前分支的，它們各自的長度與圖7中所示的結(jié)構(gòu)的干涉儀相比可以制造得很短。另外， 因為光波導(dǎo)5和6變得更短，整個光波導(dǎo)線路的尺寸可以制造得很小。如上述提及的，因為在此實施例中光波導(dǎo)的長度可以制造得充分短，導(dǎo)致光路徑長度波動的因素如構(gòu)圖精度、折射率波動、薄膜之間或薄膜與基片之間形成的應(yīng)力和光波導(dǎo)芯的變形等的影響可以有效降低。因此，能夠生產(chǎn)抑制光路徑長度中的波動的構(gòu)成干涉儀的每個光波導(dǎo)。(第二實施例)圖2是描述本發(fā)明的第二實施例的90度光混合干涉儀的模式圖。在圖2中，和圖 1中一樣的元件以同樣的符號表示。在圖2中，光信號輸入到輸入光波導(dǎo)9，并且本地振蕩光輸入到輸入光波導(dǎo)10。然后，沿輸入光波導(dǎo)9傳輸?shù)墓庑盘柋还夥种骷?分離到光波導(dǎo)2和3。另一方面，輸入光波導(dǎo)10與光波導(dǎo)3交叉，并且沿輸入光波導(dǎo)10傳輸?shù)谋镜卣袷幑獗徊贾迷诠獠▽?dǎo)2和3 之間的光分支器件4分離到光波導(dǎo)5和6。分別沿光波導(dǎo)2和5傳輸?shù)墓庑盘柡捅镜卣袷幑庠诰哂袃蓚€輸入和兩個輸出的光耦合器7中被組合，分別沿光波導(dǎo)3和6傳輸?shù)墓庑盘柡捅镜卣袷幑庠诰哂袃蓚€輸入和兩個輸出的光耦合器8中被組合。從光耦合器7和8的每一個輸出的一對輸出光沿光波導(dǎo)11-14傳輸并被輸出到外面。在這里，光波導(dǎo)2和3具有相等的光路徑長度。另一方面，光波導(dǎo)6的光路徑比光波導(dǎo)5的長λ/( )，其中λ是光信號的波長，并且η是光波導(dǎo)的等價折射率。作為光耦合器7和8，可以使用定向耦合器，其是具有兩個輸入和兩個輸出的普通光耦合器，如圖3Α所示。同樣，如圖:3Β所示的Mach-Zehnder干涉儀或如圖3C所示的多模干涉儀可以用作光耦合器的任何一個。Mach-Zehnder干涉儀和多模干涉儀具有如下優(yōu)點， 即使因為處理精度或類似的問題，它們的光耦合系數(shù)偏離了設(shè)計值，相比定向耦合器，其特性波動的影響可以得到抑制。如此配置的90度光混合干涉儀的尺寸可以按下述方法確定。首先，輸出光波導(dǎo) 11-14必須按不引起彼此之間的光耦合的間隔距離布置。假設(shè)光波導(dǎo)的芯和包層之間的相對折射率差異是1.5%，例如，輸出光波導(dǎo)11-14的平行部分以不低于10 μ m的間隔布置。 一旦輸出光波導(dǎo)11-14的間隔確定，光耦合器7和8之間的間隔也確定了。同樣，光波導(dǎo)5 和6可以被如此布局，其中波導(dǎo)的每一個彎曲部分和直線部分的長度被調(diào)節(jié)為使波導(dǎo)具有預(yù)定的光路徑長度差異。在光被分為兩部分之前，光分支器件4的波導(dǎo)部分需要逐漸加寬， 并且因此需要一定的長度。當(dāng)光波導(dǎo)芯的寬度是4μπι時，例如，光分支器件的長度設(shè)置為 540 μ m。光波導(dǎo)2和3的平行部分的間隔由光耦合器7和8的間隔和光波導(dǎo)5和6的布局確定。光波導(dǎo)2和3的長度由它們之間的間隔和光波導(dǎo)5、6以及光分支器件4在它們之間占據(jù)的寬度確定。使用上述90度光混合干涉儀結(jié)構(gòu)，光波導(dǎo)5和6的長度最多可以降低到幾十μ m。 通常，在如圖7所示結(jié)構(gòu)的90度光混合干涉儀的情況下，每一個光波導(dǎo)臂的長度可以延伸到幾個mm。根據(jù)此實施例，有可能配置如下的90度光混合干涉儀，其中每一個光波導(dǎo)臂的長度充分減小，并且作為結(jié)果，抑制光路徑長度的波動變得容易。另外，本實施例有助于整個90度光混合干涉儀的小型化。同時，上述提及的結(jié)構(gòu)的光波導(dǎo)可以通過使用在通用半導(dǎo)體制造過程中使用的精細工藝技術(shù)來生產(chǎn)。例如，在使用化學(xué)汽相沉積方法形成低折射率的二氧化硅薄膜之后 (所述二氧化硅薄膜成為在硅基片上形成的10 μ m厚的下包層)，層疊成為芯層的高折射率的4μπι厚的二氧化硅薄膜。在此之后，通過使用具有上述提及的預(yù)定的波導(dǎo)形狀的圖案的光掩膜的光刻方法，將此芯層構(gòu)圖為4 μ m寬的光波導(dǎo)芯。進一步，通過層疊10 μ m厚成為上包層的低折射率的二氧化硅薄膜，以覆蓋上述提及的光波導(dǎo)芯，我們可以配置預(yù)定光波導(dǎo)。 二氧化硅薄膜的折射率可以通過摻雜一定量的磷和硼來任意調(diào)整。(第三實施例)圖4是描述本發(fā)明的第三實施例的模式圖。如圖2中所示，在本發(fā)明的第二實施例中，輸入光波導(dǎo)10具有與光波導(dǎo)3交叉的一部分。在此交叉部分中，為了防止過度損耗以及串?dāng)_(光耦合到另一個不應(yīng)被耦合的波導(dǎo)的現(xiàn)象)，交叉角必須盡可能設(shè)計成接近正交。這里，如圖2所示，當(dāng)輸入光波導(dǎo)10在光波導(dǎo)3的直線部分交叉時，如果整個光波導(dǎo)線路不大，無法獲得足夠的交叉角。因此，在本發(fā)明的第三實施例中，如圖4所示，輸入光波導(dǎo) 10在光波導(dǎo)3的彎曲部分交叉。通過使輸入光波導(dǎo)10和光波導(dǎo)3按上述方式交叉，可以很容易的獲得足夠的交叉角。如上述論述，根據(jù)第三實施例，使輸入光波導(dǎo)10和光波導(dǎo)3以足夠大的角度交叉是可能的，其無須加大整個光波導(dǎo)線路的尺寸，不會引起串?dāng)_和過度損耗。(第四實施例)圖5是描述本發(fā)明的第四實施例的模式圖。這里，在光波導(dǎo)2中，提供了偽(dummy) 波導(dǎo)15，其具有與光波導(dǎo)3和輸入波導(dǎo)10的交叉部分對稱的形狀。根據(jù)第四實施例，即使光波導(dǎo)的光路徑長度由于交叉部分而發(fā)生變化，因為在兩個光波導(dǎo)中存在相似的變化，兩個光波導(dǎo)臂之間的光路徑長度差異沒有根本性的改變。同樣，當(dāng)設(shè)計參數(shù)需要修正時，因為兩個光波導(dǎo)的交叉部分具有對稱的形狀，只需要相似的修正，并且因此可以充分節(jié)約用于分析和設(shè)計的時間。上述披露的典型實施例的全部或部分，可以描述為但不限于下述補充注釋。(補充1)一種光波導(dǎo)線路，包括第一光分支器件，用于分離第一輸入光并且將分離的第一輸入光輸出到第一和第二光波導(dǎo)；第二光分支器件，所述第二光分支器件布置在所述第一和所述第二光波導(dǎo)之間， 用于分離第二輸入光并且將分離的第二輸入光輸出到第三和第四光波導(dǎo)；第一光耦合器，所述第一光耦合器耦合沿所述第一和所述第三光波導(dǎo)傳輸?shù)墓猓?然后分離所述光并且輸出所述光；和第二光耦合器，所述第二光耦合器耦合沿所述第二和所述第四光波導(dǎo)傳輸?shù)墓猓?然后分離所述光并且輸出所述光，其中所述第一和所述第二光波導(dǎo)對或所述第三和所述第四光波導(dǎo)對的光路徑長度設(shè)置為相等的。
(補充2)根據(jù)補充1的光波導(dǎo)線路，其中傳輸所述第二輸入光的光波導(dǎo)和所述第一或所述第二光波導(dǎo)交叉。(補充3)根據(jù)補充1的光波導(dǎo)線路，其中傳輸所述第二輸入光的所述光波導(dǎo)在所述第一或所述第二光波導(dǎo)的彎曲部分交叉。(補充 4)根據(jù)補充1到補充3的任意一個的光波導(dǎo)線路，其中Mach-Zehnder干涉儀用作所述第一和所述第二光耦合器中的至少一個。(補充 5)根據(jù)補充1到補充3的任意一個的光波導(dǎo)線路，其中多模干涉儀用作所述第一和所述第二光耦合器的至少一個。(補充6)根據(jù)補充2到補充5的任意一個的光波導(dǎo)線路，其中偽波導(dǎo)與所述第一和所述第二光波導(dǎo)中與傳輸所述第二輸入光的光波導(dǎo)不交叉的一個交叉。(補充7)一種光波導(dǎo)線路的制造方法，包括在基片上形成第一包層；
在所述第一包層上層疊芯層；對所述芯層構(gòu)圖以形成芯；和用具有與所述第一包層相同的折射率的第二包層覆蓋所述芯，其中在所述芯層的構(gòu)圖中使用的掩模圖案用于配置第一光分支器件，用于分離第一輸入光并且將分離的第一輸入光輸出到第一和第二光波導(dǎo)；第二光分支器件，所述第二光分支器件布置在所述第一和所述第二光波導(dǎo)之間， 用于分離第二輸入光并且將分離的第二輸入光輸出到第三和第四光波導(dǎo)；第一光耦合器，所述第一光耦合器耦合沿所述第一和所述第三光波導(dǎo)傳輸?shù)墓猓?然后分離所述光并且輸出所述光；和第二光耦合器，所述第二光耦合器耦合沿所述第二和所述第四光波導(dǎo)傳輸?shù)墓猓?然后分離所述光并且輸出所述光，其中所述第一和所述第二光波導(dǎo)對或所述第三和所述第四光波導(dǎo)對的光路徑長度被設(shè)置為彼此相等。(補充8)根據(jù)補充7的光波導(dǎo)線路的制造方法，其中在所述芯層的構(gòu)圖中使用的掩模圖案用于配置使得傳輸所述第二輸入光的光波導(dǎo)與所述第一或所述第二光波導(dǎo)交叉。(補充9)根據(jù)補充8的光波導(dǎo)線路的制造方法，其中在所述芯層的構(gòu)圖中使用的掩模圖案用于配置使得傳輸所述第二輸入光的光波導(dǎo)在所述第一或所述第二光波導(dǎo)的彎曲部分交叉。
(補充10)根據(jù)補充7到補充9的任意一個的光波導(dǎo)線路的制造方法，其中在所述芯層的構(gòu)圖中使用的掩模圖案用于配置至少用作所述第一和所述第二光耦合器之一的 Mach-Zehnder 干涉儀。(補充11)根據(jù)補充7到補充9的任意一個的光波導(dǎo)線路的制造方法，其中在所述芯層的構(gòu)圖中使用的掩模圖案用于配置至少用作所述第一和所述第二光耦合器之一的多模干涉儀。(補充12)提供根據(jù)補充7到補充9的任意一個的光波導(dǎo)線路的制造方法，其中在所述芯層的構(gòu)圖中使用的掩模圖案用于配置使得偽波導(dǎo)與所述第一和所述第二光波導(dǎo)中與傳輸所述第二輸入光的光波導(dǎo)不交叉的一個交叉。在上述提及的90度光混合干涉儀，為了抑制特性的波動，形成一對的光波導(dǎo)臂之間的光路徑長度差異需要嚴格控制。然而，因為在90度光混合干涉儀中，實現(xiàn)其功能的光波導(dǎo)線路的形狀和布局是復(fù)雜的，存在一個問題，即當(dāng)制造時很難控制波導(dǎo)臂各自的光路徑長度。也就是說，即使每一個光波導(dǎo)臂的長度在光掩膜上正確的調(diào)整，由于加工過程中不同的因素如構(gòu)圖精度、折射率波動、薄膜之間或薄膜與基片之間產(chǎn)生的應(yīng)力和光波導(dǎo)芯的變形，光路徑長度差異會波動。作為結(jié)果，因為如90度光混合干涉儀的特性可能偏離允許范圍，無法獲得足夠的生產(chǎn)產(chǎn)量。相反，本發(fā)明的效果的示例是提供光波導(dǎo)線路和光波導(dǎo)線路的制造方法，所述光波導(dǎo)線路能夠使每一個光波導(dǎo)臂構(gòu)成一個可以抑制光路徑長度波動的干涉儀。雖然參考本發(fā)明的示例性實施例具體示出和描述了本發(fā)明，但本發(fā)明并不限于這些實施例。本領(lǐng)域普通的技術(shù)人員應(yīng)理解的是，在不違背如權(quán)利要求中定義的本發(fā)明的精神和范疇下，可以對形式和細節(jié)進行各種改變。
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權(quán)利要求
1.一種光波導(dǎo)線路，包括第一光分支器件，用于分離第一輸入光并且將分離的第一輸入光輸出到第一和第二光波導(dǎo)；第二光分支器件，所述第二光分支器件布置在所述第一光波導(dǎo)和所述第二光波導(dǎo)之間，用于分離第二輸入光并且將分離的第二輸入光輸出到第三和第四光波導(dǎo)；第一光耦合器，所述第一光耦合器耦合沿所述第一光波導(dǎo)和所述第三光波導(dǎo)傳輸?shù)墓?，然后分離所述光并且輸出所述光；和第二光耦合器，所述第二光耦合器耦合沿所述第二光波導(dǎo)和所述第四光波導(dǎo)傳輸?shù)墓?，然后分離所述光并且輸出所述光，其中所述第一光波導(dǎo)和所述第二光波導(dǎo)對或所述第三光波導(dǎo)和所述第四光波導(dǎo)對的光路徑長度被設(shè)置為彼此相等。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)線路，其中傳輸所述第二輸入光的光波導(dǎo)和所述第一光波導(dǎo)或所述第二光波導(dǎo)交叉。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)線路，其中傳輸所述第二輸入光的所述光波導(dǎo)在所述第一光波導(dǎo)或所述第二光波導(dǎo)的彎曲部分處交叉。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)線路，其中Mach-Zehnder干涉儀用作所述第一光耦合器和所述第二光耦合器中的至少一個。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)線路，其中多模干涉儀用作所述第一光耦合器和所述第二光耦合器中的至少一個。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光波導(dǎo)線路，其中偽波導(dǎo)與所述第一光波導(dǎo)和所述第二光波導(dǎo)中與傳輸所述第二輸入光的光波導(dǎo)不交叉的一個交叉。
7.一種光波導(dǎo)線路的制造方法，包括 在基片上形成第一包層；在所述第一包層上層疊芯層； 對所述芯層構(gòu)圖以形成芯；和用具有與所述第一包層相同的折射率的第二包層覆蓋所述芯，其中 在所述芯層的構(gòu)圖中使用的掩模圖案用于配置第一光分支器件，用于分離第一輸入光并且將分離的第一輸入光輸出到第一和第二光波導(dǎo)；第二光分支器件，所述第二光分支器件布置在所述第一光波導(dǎo)和所述第二光波導(dǎo)之間，用于分離第二輸入光并且將分離的第二輸入光輸出到第三和第四光波導(dǎo)；第一光耦合器，所述第一光耦合器耦合沿所述第一光波導(dǎo)和所述第三光波導(dǎo)傳輸?shù)墓?，然后分離所述光并且輸出所述光；和第二光耦合器，所述第二光耦合器耦合沿所述第二光波導(dǎo)和所述第四光波導(dǎo)傳輸?shù)墓猓缓蠓蛛x所述光并且輸出所述光，其中所述第一光波導(dǎo)和所述第二光波導(dǎo)對或所述第三光波導(dǎo)和所述第四光波導(dǎo)對的光路徑長度被設(shè)置為彼此相等。
全文摘要
光波導(dǎo)器件包括第一光分支器件，用于分離第一輸入光并且將分離的第一輸入光輸出到第一和第二光波導(dǎo)；第二光分支器件，所述第二光分支器件布置在所述第一和所述第二光波導(dǎo)之間，用于分離第二輸入光并且將分離的第二輸入光輸出到第三和第四光波導(dǎo)；第一光耦合器，所述第一光耦合器耦合沿所述第一和所述第三光波導(dǎo)傳輸?shù)墓?，然后分離并輸出所耦合的光；和第二光耦合器，所述第二光耦合器耦合沿所述第二和所述第四光波導(dǎo)傳輸?shù)墓?，然后分分離并輸出所耦合的光，其中所述第一和所述第二光波導(dǎo)對或所述第三和所述第四光波導(dǎo)對的光路徑長度設(shè)置為相等的。
文檔編號G02B6/24GK102213794SQ20111009479
公開日2011年10月12日 申請日期2011年4月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月9日
發(fā)明者渡邊真也 申請人:日本電氣株式會社