專利名稱：光刻設(shè)備對(duì)準(zhǔn)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光刻設(shè)備對(duì)準(zhǔn)方法，特別涉及應(yīng)用隊(duì)列處理機(jī)制處理對(duì)準(zhǔn)信號(hào)的光刻設(shè)備對(duì)準(zhǔn)方法。
背景技術(shù)：
專利CN200710045495X、CN2007100454964 和 CN200910200223. I 都公開了結(jié)合
多個(gè)對(duì)準(zhǔn)信號(hào)獲得對(duì)準(zhǔn)位置的方法。工程實(shí)際中，為了提高對(duì)準(zhǔn)效率，在同步談判機(jī)制下，采用過渡軌跡平滑、高速無縫地銜接各個(gè)子光柵的掃描過程，以減少對(duì)準(zhǔn)用時(shí)，如附圖I中掃描子光柵MGlx、MG2x沿01、02、03、04的掃描軌跡，以及附圖2中掃描子光柵MGlx、MGly沿01、02、03、04的掃描軌跡。那么同時(shí)要求對(duì)準(zhǔn)信號(hào)處理過程能夠在時(shí)序上匹配，即在下ー個(gè)子光柵掃描數(shù)據(jù)到來之前，完成上ー個(gè)子光柵的數(shù)據(jù)處理過程。雖然在專利CN201010164981. 5采用reduce過程(每次采樣同時(shí)進(jìn)行處理的手段)，以及采用更高速度的DSP芯片，但是，依然無法確保在兩個(gè)子光柵掃描間隙能夠徹底完成數(shù)據(jù)的處理。具體而言，即上一次擬合命令沒有處理完，下一子光柵掃描的位置數(shù)據(jù)和光強(qiáng)數(shù)據(jù)已經(jīng)到來，可能導(dǎo)致位置數(shù)據(jù)和光強(qiáng)數(shù)據(jù)的丟失。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的技術(shù)問題是光刻設(shè)備對(duì)準(zhǔn)過程中，對(duì)準(zhǔn)信號(hào)中的位置信號(hào)和光強(qiáng)信號(hào)由于處理速度導(dǎo)致的丟失問題。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種光刻設(shè)備對(duì)準(zhǔn)方法，包括光源與照明模塊提供照明光束照射到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記上形成衍射光，所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記位于娃片上，所述娃片位于運(yùn)動(dòng)臺(tái)上；位置采集與運(yùn)動(dòng)控制模塊采集運(yùn)動(dòng)臺(tái)的位置信息，與對(duì)準(zhǔn)操作與管理模塊同步談判，控制運(yùn)動(dòng)臺(tái)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)；所述衍射光通過成像模塊形成對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的像，所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的像掃描參考光柵的多個(gè)子光柵形成光強(qiáng)信號(hào)；所述對(duì)準(zhǔn)操作與管理模塊采集運(yùn)動(dòng)臺(tái)運(yùn)動(dòng)過程中的若干位置信號(hào)和對(duì)應(yīng)位置的光強(qiáng)信號(hào)，由隊(duì)列處理模塊獲得所述若干位置信號(hào)和對(duì)應(yīng)位置的光強(qiáng)信號(hào)的擬合結(jié)果，所述隊(duì)列處理模塊包括擬合命令隊(duì)列、位置光強(qiáng)隊(duì)列和擬合結(jié)果隊(duì)列，所述擬合命令隊(duì)列、所述位置光強(qiáng)隊(duì)列和所述擬合結(jié)果隊(duì)列為環(huán)形隊(duì)列或者鏈隊(duì)列；根據(jù)所述擬合結(jié)果計(jì)算所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)位置。進(jìn)ー步，在所有步驟前，進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)操作與管理模塊初始化。進(jìn)ー步，所述由隊(duì)列處理模塊獲得所述若干位置信號(hào)和對(duì)應(yīng)位置的光強(qiáng)信號(hào)的擬合結(jié)果，包括 下發(fā)擬合命令到所述擬合命令隊(duì)列；讀入所述位置信號(hào)和對(duì)應(yīng)位置的光強(qiáng)信號(hào)，存儲(chǔ)到所述位置光強(qiáng)隊(duì)列；
讀取所述擬合命令隊(duì)列的擬合命令；從所述位置光強(qiáng)隊(duì)列中讀取所述擬合命令對(duì)應(yīng)的位置信號(hào)和對(duì)應(yīng)位置的光強(qiáng)信號(hào);進(jìn)行擬合，將擬合結(jié)果存儲(chǔ)到所述擬合結(jié)果隊(duì)列；判斷所述擬合結(jié)果隊(duì)列是否為空，當(dāng)所述擬合結(jié)果隊(duì)列不為空時(shí)返回所述擬合結(jié)
果O優(yōu)選的，對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)開診斷時(shí)把原始 數(shù)據(jù)和擬合過程中產(chǎn)生的中間數(shù)據(jù)分別存入所述擬合命令隊(duì)列的診斷數(shù)據(jù)和過程數(shù)據(jù)中，對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)通過所述診斷數(shù)據(jù)和所述過程數(shù)據(jù)追蹤系統(tǒng)的問題和錯(cuò)誤。優(yōu)選的，當(dāng)所述擬合命令隊(duì)列及所述擬合結(jié)果隊(duì)列的大小為I時(shí)，所述隊(duì)列處理模塊在每次擬合完成返回所述擬合結(jié)果后再下發(fā)新的擬合命令。優(yōu)選的，在所述下發(fā)擬合命令到所述擬合命令隊(duì)列之前，判斷擬合命令隊(duì)列是否為滿，如果為滿，不再下發(fā)擬合命令，等待所述隊(duì)列處理模塊處理擬合命令。優(yōu)選的，在所述讀取所述擬合命令隊(duì)列的擬合命令之前，判斷擬合命令隊(duì)列是否為空，如果為空，不再讀取擬合命令，等待下發(fā)擬合命令。優(yōu)選的，在所述讀入所述位置信號(hào)和對(duì)應(yīng)位置的光強(qiáng)信號(hào)，存儲(chǔ)到所述位置光強(qiáng)隊(duì)列之前，判斷所述位置光強(qiáng)隊(duì)列是否為滿，如果為滿，不再讀入位置信號(hào)和對(duì)應(yīng)位置的光強(qiáng)信號(hào)，等待隊(duì)列處理模塊讀取位置信號(hào)和對(duì)應(yīng)位置的光強(qiáng)信號(hào)進(jìn)行擬合。與現(xiàn)有技術(shù)相比，上述光刻設(shè)備對(duì)準(zhǔn)方法采用隊(duì)列處理機(jī)制，在對(duì)準(zhǔn)連續(xù)掃描的情況下，可以保證位置數(shù)據(jù)和光強(qiáng)數(shù)據(jù)的不丟失，提高了對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的穩(wěn)定性，減小對(duì)準(zhǔn)時(shí)間。


關(guān)于本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)與精神可以通過以下的發(fā)明詳述及所附圖式得到進(jìn)ー步的了解。圖I為現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考光柵的ー種掃描軌跡示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)參考光柵的另ー種掃描軌跡示意圖；圖3為現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)不意圖；圖4為本發(fā)明應(yīng)用圖3中對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的對(duì)準(zhǔn)方法框圖；圖5為圖4中隊(duì)列處理模塊的隊(duì)列處理流程圖；圖6為圖5中隊(duì)列處理流程的程序運(yùn)行流程示意圖；圖7為圖6中位置光強(qiáng)隊(duì)列采用鏈隊(duì)列的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為圖6中擬合命令隊(duì)列采用鏈隊(duì)列的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為圖6中擬合結(jié)果隊(duì)列采用鏈隊(duì)列的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。為了便于描述和突出顯示本發(fā)明，附圖中省略了現(xiàn)有技術(shù)中已有的相關(guān)步驟，并將省略對(duì)這些公知步驟的描述，比如reduce過程等。
應(yīng)用本發(fā)明的現(xiàn)有對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框圖參見圖3所示，該對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)包括光源與照明模塊I、成像模塊2、參考光柵3、信號(hào)采集與處理模塊4、對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記5、運(yùn)動(dòng)臺(tái)7、位置采集與運(yùn)動(dòng)控制模塊8、對(duì)準(zhǔn)操作與管理模塊9。其中，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記設(shè)置于硅片6上，光源與照明模塊I提供照明光束照射到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記5上，形成攜帯標(biāo)記信息的衍射光，衍射光通過成像模塊形成對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的像，并成像到參考光柵3的表面上。位置采集與運(yùn)動(dòng)控制模塊8采集承載硅片6的運(yùn)動(dòng)臺(tái)7的位置信息，并采用同步控制的方法，與對(duì)準(zhǔn)操作與管理模塊9進(jìn)行同步談判，規(guī)劃運(yùn)動(dòng)軌跡，控制運(yùn)動(dòng)臺(tái)7的運(yùn)動(dòng)；同時(shí)，位置采集與運(yùn)動(dòng)控制模塊8采集運(yùn)動(dòng)臺(tái)位置信息，并對(duì)這些位置信息進(jìn)行處理后，傳輸?shù)綄?duì)準(zhǔn)操作與管理模塊9。運(yùn)動(dòng)臺(tái)7的運(yùn)動(dòng) 使得對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記5所成的像掃描參考光柵3并產(chǎn)生光強(qiáng)信號(hào)。信號(hào)采集與處理模塊4采集光強(qiáng)信號(hào)，并對(duì)這些光強(qiáng)信息進(jìn)行處理后，傳輸?shù)綄?duì)準(zhǔn)操作與管理模塊9。對(duì)準(zhǔn)操作與管理模塊9采集來自多個(gè)參考光柵的子光柵的光強(qiáng)信號(hào)和用以對(duì)準(zhǔn)的位置信息，計(jì)算求取硅片6上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)位置。參見圖4所示，對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的對(duì)準(zhǔn)方法包括步驟101對(duì)準(zhǔn)操作與管理模塊初始化，系統(tǒng)完成所有的準(zhǔn)備工作；步驟102系統(tǒng)中位置采集與運(yùn)動(dòng)控制模塊與對(duì)準(zhǔn)操作與管理模塊進(jìn)行同步談判，運(yùn)動(dòng)臺(tái)開始按照預(yù)定軌跡進(jìn)行運(yùn)動(dòng)；步驟103位置采集與運(yùn)動(dòng)控制模塊分別采集運(yùn)動(dòng)臺(tái)位置信號(hào)和對(duì)應(yīng)位置的光強(qiáng)信號(hào)經(jīng)處理后傳輸?shù)綄?duì)準(zhǔn)操作與管理模塊，其中位置和光強(qiáng)數(shù)據(jù)是一一對(duì)應(yīng)關(guān)系；步驟104對(duì)準(zhǔn)操作與管理模塊應(yīng)用隊(duì)列處理模塊獲得位置與光強(qiáng)的擬合結(jié)果，其過程包括下述的幾個(gè)分步驟，分步驟要進(jìn)行ー些判斷，確保處理機(jī)制運(yùn)行流暢，無錯(cuò)誤，然后調(diào)用公知的算法進(jìn)行求解，把求解的結(jié)果存儲(chǔ)到擬合結(jié)果隊(duì)列。步驟105當(dāng)位置與光強(qiáng)的擬合結(jié)果隊(duì)列有結(jié)果時(shí)返回?cái)M合結(jié)果，系統(tǒng)會(huì)根據(jù)返回的擬合結(jié)果計(jì)算出最佳的對(duì)準(zhǔn)位置。在上述的操作步驟104中，隊(duì)列處理模塊的隊(duì)列處理方法和流程如圖5所示，具體地包括如下操作步驟步驟104. I判斷擬合命令隊(duì)列是否已滿，如果隊(duì)列已滿不再下發(fā)擬合命令，等待返回的擬合結(jié)果；步驟104. 2如果擬合命令隊(duì)列不滿，可以下發(fā)擬合命令到擬合命令隊(duì)列；步驟104. 3在取擬合命令進(jìn)行擬合前先判斷擬合命令隊(duì)列是否為空，如果為空等待隊(duì)列中有擬合命令，再取擬合命令進(jìn)行處理；步驟104. 4判斷位置光強(qiáng)隊(duì)列是否已滿，如果已滿，不再進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)操作產(chǎn)生位置光強(qiáng)數(shù)據(jù)，所以要結(jié)合系統(tǒng)的要求設(shè)計(jì)系統(tǒng)存儲(chǔ)空間的大小，做到隊(duì)列的長度足夠大滿足系統(tǒng)的需求；步驟104. 5讀入位置和對(duì)應(yīng)位置的光強(qiáng)數(shù)據(jù)，存儲(chǔ)到位置光強(qiáng)隊(duì)列中；步驟104. 6讀取擬合命令，然后讀取擬合命令對(duì)應(yīng)的位置和光強(qiáng)數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合；步驟104. 7擬合完成，進(jìn)行求解把求解的結(jié)果存儲(chǔ)到擬合結(jié)果隊(duì)列；步驟104. 8判斷擬合結(jié)果隊(duì)列是否為空，如果為空等待擬合結(jié)果；步驟104. 9當(dāng)擬合結(jié)果不為空時(shí)返回?cái)M合結(jié)果；更具體的實(shí)施例如6所示，該實(shí)例采用環(huán)形隊(duì)列，對(duì)準(zhǔn)操作與管理模塊完成初始化后，當(dāng)要進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)時(shí)，系統(tǒng)首先完成同步談判，然后運(yùn)動(dòng)臺(tái)開始按照預(yù)定軌跡完成一系列的運(yùn)動(dòng)，同時(shí)下發(fā)擬合命令到擬合命令隊(duì)列中，擬合命令隊(duì)列的front加一。由外部中斷通知系統(tǒng)，系統(tǒng)的存儲(chǔ)訪問控制器EDMA會(huì)搬運(yùn)位置和光強(qiáng)信號(hào)到位置光強(qiáng)隊(duì)列中，光強(qiáng)隊(duì)列的front加一；讀取擬合命令開始擬合，位置光強(qiáng)隊(duì)列的rear加一，位置光強(qiáng)隊(duì)列的queue_num減一,姆次擬合開始時(shí)檢測(cè)隊(duì)列中第一個(gè)和對(duì)應(yīng)擬合命令的fit_ID相同、連續(xù)的位置和光強(qiáng)數(shù)據(jù)作為位置光強(qiáng)隊(duì)列的sCan_fit_ID_rear ;系統(tǒng)開始ruduce過程，每讀ー次擬合命令隊(duì)列的rear加一，到最后ー包和對(duì)應(yīng)擬合命令的fit_ID相同、連續(xù)的位置和光強(qiáng)數(shù)據(jù)為位置光強(qiáng)隊(duì)列的scan_fit_ID_fr0nt，完成ruduce過程；然后按照上述專利算法進(jìn)行求解過程，把擬合結(jié)果存儲(chǔ)到擬合結(jié)果隊(duì)列，擬合結(jié)果隊(duì)列的front、queue_num加一；當(dāng)檢測(cè)到擬合結(jié)果隊(duì)列的queue_num大于零說明有擬合好的結(jié)果，可以返回，返回?cái)M合結(jié)果，擬合結(jié)果隊(duì)列的rear加一，同時(shí)擬合結(jié)果隊(duì)列的queue_num減一。當(dāng)擬合命令隊(duì)列的front、rear和擬合結(jié)果隊(duì)列的front、rear加到η時(shí)，系統(tǒng)會(huì)把它們轉(zhuǎn)化為零，當(dāng)位置光強(qiáng)隊(duì)列中的front、rear加到m時(shí),系統(tǒng)也會(huì)把它們轉(zhuǎn)化為零。 當(dāng)擬合命令隊(duì)列的queue_num等于η時(shí)，說明擬合命令隊(duì)列已滿，不能再下發(fā)擬合命令。系統(tǒng)開診斷時(shí)把原始數(shù)據(jù)和擬合過程中產(chǎn)生的中間數(shù)據(jù)分別存入擬合命令隊(duì)列的診斷數(shù)據(jù)和過程記錄數(shù)據(jù)中，系統(tǒng)可以通過這些診斷數(shù)據(jù)(包括原始數(shù)據(jù)和中間過程記錄數(shù)據(jù))追蹤系統(tǒng)的問題和錯(cuò)誤。在模塊中加入如此隊(duì)列的處理機(jī)制，就可以有效解決上一次擬合命令沒有處理完，新的位置數(shù)據(jù)和光強(qiáng)數(shù)據(jù)已經(jīng)到來和丟失位置和光強(qiáng)數(shù)據(jù)問題。在實(shí)施例中當(dāng)擬合命令隊(duì)列及擬合結(jié)果隊(duì)列的大小為I時(shí)，系統(tǒng)會(huì)在每次擬合完成后，讀取到擬合結(jié)果后再下新的擬合命令，這也是解決上述問題的ー種方法。在實(shí)施例中擬合命令隊(duì)列、擬合結(jié)果隊(duì)列、位置光強(qiáng)隊(duì)列采用環(huán)形隊(duì)列，同樣也可以采用鏈隊(duì)列，如附圖7-9所示，該實(shí)施例采用鏈?zhǔn)疥?duì)列處理的流程和環(huán)形隊(duì)列基本相同，區(qū)別在于每當(dāng)?shù)疥?duì)列最大值時(shí)，系統(tǒng)要重新賦值從頭開始。三個(gè)隊(duì)列采用環(huán)形隊(duì)列和鏈?zhǔn)疥?duì)列組合的方式都能解決上述問題。本說明書中所述的只是本發(fā)明的較佳具體實(shí)施例，以上實(shí)施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案而非對(duì)本發(fā)明的限制。凡本領(lǐng)域技術(shù)人員依本發(fā)明的構(gòu)思通過邏輯分析、推理或者有限的實(shí)驗(yàn)可以得到的技術(shù)方案，皆應(yīng)在本發(fā)明的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種光刻設(shè)備對(duì)準(zhǔn)方法，其特征在于，包括以下步驟 光源與照明模塊提供照明光束照射到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記上形成衍射光，所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記位于硅片上，所述娃片位于運(yùn)動(dòng)臺(tái)上； 位置采集與運(yùn)動(dòng)控制模塊采集運(yùn)動(dòng)臺(tái)的位置信息，與對(duì)準(zhǔn)操作與管理模塊同步談判，控制運(yùn)動(dòng)臺(tái)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)； 所述衍射光通過成像模塊形成對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的像，所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的像掃描參考光柵的多個(gè)子光柵形成光強(qiáng)信號(hào)； 所述對(duì)準(zhǔn)操作與管理模塊采集運(yùn)動(dòng)臺(tái)運(yùn)動(dòng)過程中的若干位置信號(hào)和對(duì)應(yīng)位置的光強(qiáng)信號(hào)，由隊(duì)列處理模塊獲得所述若干位置信號(hào)和對(duì)應(yīng)位置的光強(qiáng)信號(hào)的擬合結(jié)果，所述隊(duì)列處理模塊包括擬合命令隊(duì)列、位置光強(qiáng)隊(duì)列和擬合結(jié)果隊(duì)列，所述擬合命令隊(duì)列、所述位置光強(qiáng)隊(duì)列和所述擬合結(jié)果隊(duì)列為環(huán)形隊(duì)列或者鏈隊(duì)列； 根據(jù)所述擬合結(jié)果計(jì)算所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光刻設(shè)備對(duì)準(zhǔn)方法，其特征在于，在所有步驟前，進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)操作與管理模塊初始化。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光刻設(shè)備對(duì)準(zhǔn)方法，其特征在于，所述由隊(duì)列處理模塊獲得所述若干位置信號(hào)和對(duì)應(yīng)位置的光強(qiáng)信號(hào)的擬合結(jié)果，包括 下發(fā)擬合命令到所述擬合命令隊(duì)列； 讀入所述位置信號(hào)和對(duì)應(yīng)位置的光強(qiáng)信號(hào)，存儲(chǔ)到所述位置光強(qiáng)隊(duì)列； 讀取所述擬合命令隊(duì)列的擬合命令； 從所述位置光強(qiáng)隊(duì)列中讀取所述擬合命令對(duì)應(yīng)的位置信號(hào)和對(duì)應(yīng)位置的光強(qiáng)信號(hào)； 進(jìn)行擬合，將擬合結(jié)果存儲(chǔ)到所述擬合結(jié)果隊(duì)列； 判斷所述擬合結(jié)果隊(duì)列是否為空，當(dāng)所述擬合結(jié)果隊(duì)列不為空時(shí)返回所述擬合結(jié)果。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光刻設(shè)備對(duì)準(zhǔn)方法，其特征在于，對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)開診斷時(shí)把原始數(shù)據(jù)和擬合過程中產(chǎn)生的中間數(shù)據(jù)分別存入所述擬合命令隊(duì)列的診斷數(shù)據(jù)和過程數(shù)據(jù)中，對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)通過所述診斷數(shù)據(jù)和所述過程數(shù)據(jù)追蹤系統(tǒng)的問題和錯(cuò)誤。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光刻設(shè)備對(duì)準(zhǔn)方法，其特征在干，當(dāng)所述擬合命令隊(duì)列及所述擬合結(jié)果隊(duì)列的大小為I時(shí)，所述隊(duì)列處理模塊在每次擬合完成返回所述擬合結(jié)果后再下發(fā)新的擬合命令。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光刻設(shè)備對(duì)準(zhǔn)方法，其特征在于，在所述下發(fā)擬合命令到所述擬合命令隊(duì)列之前，判斷擬合命令隊(duì)列是否為滿，如果為滿，不再下發(fā)擬合命令，等待所述隊(duì)列處理模塊處理擬合命令。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光刻設(shè)備對(duì)準(zhǔn)方法，其特征在干，在所述讀取所述擬合命令隊(duì)列的擬合命令之前，判斷擬合命令隊(duì)列是否為空，如果為空，不再讀取擬合命令，等待下發(fā)擬合命令。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光刻設(shè)備對(duì)準(zhǔn)方法，其特征在于，在所述讀入所述位置信號(hào)和對(duì)應(yīng)位置的光強(qiáng)信號(hào)，存儲(chǔ)到所述位置光強(qiáng)隊(duì)列之前，判斷所述位置光強(qiáng)隊(duì)列是否為滿，如果為滿，不再讀入位置信號(hào)和對(duì)應(yīng)位置的光強(qiáng)信號(hào)，等待隊(duì)列處理模塊讀取位置信號(hào)和對(duì)應(yīng)位置的光強(qiáng)信號(hào)進(jìn)行擬合。
全文摘要
一種光刻設(shè)備對(duì)準(zhǔn)方法，包括光源與照明模塊提供照明光束照射位于硅片上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記上形成衍射光，硅片位于運(yùn)動(dòng)臺(tái)上；位置采集與運(yùn)動(dòng)控制模塊采集運(yùn)動(dòng)臺(tái)位置信息，與對(duì)準(zhǔn)操作與管理模塊同步談判，控制運(yùn)動(dòng)臺(tái)運(yùn)動(dòng)；衍射光通過成像模塊掃描參考光柵的多個(gè)子光柵形成光強(qiáng)信號(hào)；對(duì)準(zhǔn)操作與管理模塊采集運(yùn)動(dòng)臺(tái)的若干位置信號(hào)和對(duì)應(yīng)位置的光強(qiáng)信號(hào)，由隊(duì)列處理模塊獲得若干位置信號(hào)和對(duì)應(yīng)位置的光強(qiáng)信號(hào)的擬合結(jié)果，隊(duì)列處理模塊包括擬合命令隊(duì)列、位置光強(qiáng)隊(duì)列和擬合結(jié)果隊(duì)列，擬合命令隊(duì)列、位置光強(qiáng)隊(duì)列和擬合結(jié)果隊(duì)列為環(huán)形隊(duì)列或者鏈隊(duì)列；根據(jù)擬合結(jié)果計(jì)算對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)位置。所述對(duì)準(zhǔn)方法可以提高對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的穩(wěn)定性，減少對(duì)準(zhǔn)時(shí)間。
文檔編號(hào)G03F9/00GK102692828SQ20111007440
公開日2012年9月26日 申請(qǐng)日期2011年3月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月25日
發(fā)明者宋海軍, 李運(yùn)鋒, 趙新, 趙正棟, 陳小娟 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司