專利名稱：掃描反射鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種掃描反射鏡。
背景技術(shù)：
一般激光投影裝置，是利用激光源驅(qū)動器控制激光的快速開關(guān)，以及利用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)掃描反射鏡控制器提供一定的驅(qū)動信號來控制激光作快速掃描?，F(xiàn)有的MEMS掃描反射鏡一般包括兩個可轉(zhuǎn)動的反射鏡，每個反射鏡均圍繞一轉(zhuǎn)動板進行轉(zhuǎn)動，所述兩個反射鏡的轉(zhuǎn)動板相互垂直設(shè)置。所述MEMS掃描反射鏡在工作過程中，所述兩個反射鏡同時進行高速轉(zhuǎn)動，使得所述激光的入射角連續(xù)的改變，因而反射角也連續(xù)的改變，從而形成二維畫面。然而，此種結(jié)構(gòu)的MEMS掃描反射鏡需設(shè)置兩個反射鏡，不僅結(jié)構(gòu)復(fù)雜，而且生產(chǎn)成本高。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于以上內(nèi)容，有必要提供一種結(jié)構(gòu)簡單且制作成本低的掃描反射鏡。一種掃描反射鏡，其包括一第一轉(zhuǎn)動件、一第二轉(zhuǎn)動件、一反射鏡及一固定框。所述第一轉(zhuǎn)動件與第二轉(zhuǎn)動件相互垂直且均設(shè)置在所述固定框內(nèi)。所述第一轉(zhuǎn)動件可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在所述固定框的兩相對的內(nèi)側(cè)壁上。所述第二轉(zhuǎn)動件包括一連接板及一轉(zhuǎn)動板。所述連接板固設(shè)在所述第一轉(zhuǎn)動件上。所述連接板上開設(shè)有一形狀與所述轉(zhuǎn)動板相匹配的開口。所述轉(zhuǎn)動板設(shè)置在所述開口內(nèi)且可相對所述開口轉(zhuǎn)動。所述反射鏡設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動板內(nèi)且隨著所述第一轉(zhuǎn)動件與所述轉(zhuǎn)動板的轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的掃描反射鏡只需設(shè)置一個反射鏡，所述反射鏡能隨所述第一轉(zhuǎn)動件與第二轉(zhuǎn)動件的轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動，從而能使反射鏡反射光束，因此，無需設(shè)置兩個反射鏡，不僅結(jié)構(gòu)簡單，且生產(chǎn)成本低。


圖I是本發(fā)明掃描反射鏡的立體組裝示意圖；圖2是圖I中的掃描反射鏡的立體分解示意圖；圖3是圖I中的掃描反射鏡的使用狀態(tài)示意圖。主要元件符號說明掃描反射鏡100第一轉(zhuǎn)動件10第二轉(zhuǎn)動件20反射鏡30固定框40底板41第一開口410
第二開口420第一固定電極 50第一轉(zhuǎn)動電極 60第二固定電極 70第二轉(zhuǎn)動電極 80第一軸孔4100第一側(cè)邊4101第二側(cè)邊4102第三側(cè)邊4103第四側(cè)邊4104第一轉(zhuǎn)軸11連接板21
轉(zhuǎn)動板22第一弧形開口222第二弧形開口110第三開口210第二軸孔2100第一側(cè)壁2101第二側(cè)壁2102第三側(cè)壁2103第四側(cè)壁2104限制塊75第一圓形開口300第二圓形開口230磁力F1、F2如下具體實施方式
將結(jié)合上述附圖進一步說明本發(fā)明。
具體實施例方式請一并參閱圖I與圖2,為本發(fā)明實施方式提供的掃描反射鏡100,其包括一第一轉(zhuǎn)動件10、一第二轉(zhuǎn)動件20、一反射鏡30及一固定框40。所述第一轉(zhuǎn)動件10與第二轉(zhuǎn)動件20相互垂直。所述第一轉(zhuǎn)動件10轉(zhuǎn)動地連接在所述固定框10的兩相對的內(nèi)側(cè)壁上。所述第二轉(zhuǎn)動件20包括一連接板21及一轉(zhuǎn)動板22。所述連接板21固設(shè)在所述第一轉(zhuǎn)動件10上。所述連接板21上開設(shè)有一形狀與所述轉(zhuǎn)動板22相匹配的開口 210。所述轉(zhuǎn)動板22設(shè)置在所述開口 210內(nèi)且可相對所述開口 210轉(zhuǎn)動。所述反射鏡30設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動板22內(nèi)且隨著所述第一轉(zhuǎn)動件10與所述轉(zhuǎn)動板22的轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動。所述固定框40為一凹槽結(jié)構(gòu)，其包括一底板41。所述底板41上開設(shè)有一形狀與所述第一轉(zhuǎn)動件10相匹配的第一開口 410及一與所述第二轉(zhuǎn)動件20相匹配的第二開口420。所述第一開口 410與所述第二開口 420相貫通且相垂直。所述第一開口 410與所述第二開口 420的交匯處形成有一與所述反射鏡30的形狀相匹配的第一圓形開口 300。所述第一開口 410包括兩個相對且互相平行的一第一側(cè)邊4101、一第二側(cè)邊4102，及分別垂直連接所述第一側(cè)邊4101與第二側(cè)邊4102的第三側(cè)邊4103及第四側(cè)邊4104。所述第三側(cè)邊4103與所述第四側(cè)邊4104相對設(shè)置且相互平行。所述第一側(cè)邊4101及第二側(cè)邊4102的內(nèi)側(cè)分別設(shè)置有多個相互間隔的第一固定電極50。所述第一轉(zhuǎn)動件10設(shè)置在所述底板41的第一開口 410內(nèi)且該第一轉(zhuǎn)動件10的一第一轉(zhuǎn)軸11的兩端設(shè)置在所述第三側(cè)邊4103與所述第四側(cè)邊4104的第一軸孔4100內(nèi)。所述第一轉(zhuǎn)動件10兩相對的側(cè)邊對應(yīng)所述第一側(cè)邊4101及第二側(cè)邊4102的內(nèi)側(cè)的第一固定電極50設(shè)置有多個相互間隔的第一轉(zhuǎn)動電極60。所述多個第一轉(zhuǎn)動電極60分別收容在相鄰的兩個第一固定電極50之間，同樣地，所述多個第一固定電極50分別收容在相鄰的兩個第一轉(zhuǎn)動電極60之間。所述第二轉(zhuǎn)動件20收容在所述底板41的第二開口 420內(nèi)。所述第二轉(zhuǎn)動件20包括一連接板21及一設(shè)置在所述連接板21內(nèi)的轉(zhuǎn)動板22。所述連接板21設(shè)置在所述固定框40內(nèi)，且與所述第一轉(zhuǎn)動件10 —體成型。所述連接板21上開設(shè)有一形狀與所述轉(zhuǎn)動 板22相匹配的第三開口 210。所述第三開口 210包括兩個相對且平行的一第一側(cè)壁2101、一第二側(cè)壁2102、及分別垂直連接所述第一側(cè)壁2101與第二側(cè)壁2102的第三側(cè)壁2103及第四側(cè)壁2104。所述第三側(cè)壁2103與所述第四側(cè)壁2104相對設(shè)置且相互平行。所述第一側(cè)壁2101及第二側(cè)壁2102的內(nèi)側(cè)分別設(shè)置有多個相互間隔的第二固定電極70。所述轉(zhuǎn)動板22設(shè)置在所述第三開口 210內(nèi)且該轉(zhuǎn)動板22的第二轉(zhuǎn)軸220的兩端設(shè)置在所述第三側(cè)壁2103與所述第四側(cè)壁2104的第二軸孔2100內(nèi)。所述轉(zhuǎn)動板22兩相對的側(cè)邊對應(yīng)所述第一側(cè)壁2101及第二側(cè)壁2102的內(nèi)側(cè)的第二固定電極70設(shè)置有多個相互間隔的第二轉(zhuǎn)動電極80。所述多個第二轉(zhuǎn)動電極80分別收容在相鄰的兩個第二固定電極70之間，同樣地，所述多個第二固定電極70分別收容在相鄰的兩個第二轉(zhuǎn)動電極80之間。本實施方式中，所述第一側(cè)壁2101上的每個第二固定電極70遠離所述底板41的一側(cè)及靠近所述底板41的一側(cè)分別設(shè)置有一限制塊75，用于限制所述第二轉(zhuǎn)動件20的轉(zhuǎn)動板22的活動范圍。優(yōu)選地，所述限制塊75的位置可以根據(jù)投影屏幕(圖未示)的大小而作調(diào)節(jié)。所述限制塊75由Si (硅)或Sio2 (二氧化硅)材料制成。本實施方式中，所述轉(zhuǎn)動板22開設(shè)有一與所述反射鏡30的形狀相對應(yīng)的第一弧形開口 222。所述反射鏡30固定在所述轉(zhuǎn)動板22的第一弧形開口 222內(nèi)。所述第一轉(zhuǎn)動件10的第三開口 210的中心形成一第二弧形開口 110。所述第二弧形開口 110與所述第一弧形開口 222共同形成一與所述第一圓形開口 300形狀相同的第二圓形開口 230。所述反射鏡30可在所述第二圓形開口 230內(nèi)轉(zhuǎn)動。請一并參閱圖I與圖3，使用時，給所述第一固定電極50及第一轉(zhuǎn)動電極60 —相反或相同極性的電流，使第一固定電極50及第一轉(zhuǎn)動電極60之間產(chǎn)生相互吸引或相互排斥的磁力F1，以使所述第二轉(zhuǎn)動件20環(huán)繞所述第一轉(zhuǎn)動件10的第一轉(zhuǎn)軸11轉(zhuǎn)動，以帶動反射鏡30環(huán)繞所述第一轉(zhuǎn)軸11轉(zhuǎn)動；或給所述第二固定電極70及第二轉(zhuǎn)動電極80 —相反或相同極性的電流，使第二固定電極70及第二轉(zhuǎn)動電極80之間產(chǎn)生相互吸引或相互排斥的磁力F2，以使所述第二轉(zhuǎn)動件20上的轉(zhuǎn)動板22環(huán)繞所述第二轉(zhuǎn)軸220旋轉(zhuǎn)，以帶動所述反射鏡30環(huán)繞所述第二轉(zhuǎn)軸220旋轉(zhuǎn)。根據(jù)同樣的原理，也可使所述反射鏡30同時環(huán)繞所述第一轉(zhuǎn)動件10的第一轉(zhuǎn)軸11軸線及所述連接板21的第二轉(zhuǎn)軸220旋轉(zhuǎn)。
本發(fā)明實施方式的掃描反射鏡只需設(shè)置一個反射鏡，所述反射鏡能隨所述第一轉(zhuǎn)動件與第二固定板的轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動，從而能使反射鏡反射光束，因此，無需設(shè)置兩個反射鏡，不僅結(jié)構(gòu)簡單，且生產(chǎn)成本低。
可以理解的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思做出其它各種相應(yīng)的改變與變形，而所有這些改變與變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護范圍。
權(quán)利要求
1.一種掃描反射鏡，其包括一第一轉(zhuǎn)動件、一第二轉(zhuǎn)動件、一反射鏡及ー固定框，其特征在于所述第一轉(zhuǎn)動件與第二轉(zhuǎn)動件相互垂直且均設(shè)置在所述固定框內(nèi)，所述第一轉(zhuǎn)動件可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在所述固定框的兩相対的內(nèi)側(cè)壁上，所述第二轉(zhuǎn)動件包括一連接板及ー轉(zhuǎn)動板，所述連接板固設(shè)在所述第一轉(zhuǎn)動件上，所述連接板上開設(shè)有一形狀與所述轉(zhuǎn)動板相匹配的開ロ，所述轉(zhuǎn)動板設(shè)置在所述開ロ內(nèi)且可相對所述開ロ轉(zhuǎn)動，所述反射鏡設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動板內(nèi)且隨著所述第一轉(zhuǎn)動件與所述轉(zhuǎn)動板的轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動。
2.如權(quán)利要求I所述的掃描反射鏡，其特征在于，所述固定框為ー凹槽結(jié)構(gòu)，其包括一底板，所述底板上開設(shè)有一形狀與所述第一轉(zhuǎn)動件相匹配的第一開ロ及一與所述第二轉(zhuǎn)動件相匹配的第二開ロ，所述第一開ロ與所述第二開ロ相貫通且相垂直，所述第一轉(zhuǎn)動件設(shè)置在所述第ー開ロ內(nèi)，且可在所述第ー開口內(nèi)轉(zhuǎn)動。
3.如權(quán)利要求2所述的掃描反射鏡，其特征在于，所述第一開ロ包括兩個相對且平行的一第一側(cè)邊、一第二側(cè)邊，及分別垂直連接所述第一側(cè)邊與第二側(cè)邊的第三側(cè)邊及第四側(cè)邊，所述第三側(cè)邊與所述第四側(cè)邊相對設(shè)置且相互平行，所述第一側(cè)邊及第ニ側(cè)邊的內(nèi)側(cè)分別設(shè)置有多個相互間隔的第一固定電極，所述第一轉(zhuǎn)動件的一第一轉(zhuǎn)軸的兩端設(shè)置在所述第三側(cè)邊與所述第四側(cè)邊第一軸孔內(nèi)，所述固定板兩相對的側(cè)邊對應(yīng)所述第一側(cè)邊及第二側(cè)邊的內(nèi)側(cè)的第一固定電極設(shè)置有多個相互間隔的第一轉(zhuǎn)動電扱。
4.如權(quán)利要求3所述的掃描反射鏡,其特征在于,多個所述第一轉(zhuǎn)動電極分別收容在相鄰的兩個第一固定電極之間。
5.如權(quán)利要求2所述的掃描反射鏡，其特征在干，所述第一開ロ與所述第二開ロ的交匯處形成有一與所述反射鏡的形狀相匹配的第一圓形開ロ，所述轉(zhuǎn)動板開設(shè)有一與所述反射鏡的形狀相對應(yīng)的第一弧形開ロ，所述反射鏡固定在所述的轉(zhuǎn)動板的第一弧形開ロ內(nèi)，所述第一轉(zhuǎn)動件的第三開ロ的中心形成一第二弧形開ロ，所述第二弧形開ロ與所述第一弧形開ロ共同形成一所述反射鏡及第一圓形開ロ相匹配的第二圓形開ロ，所述反射鏡可在所述第一圓形開ロ及第ニ圓形開口內(nèi)轉(zhuǎn)動。
6.如權(quán)利要求I所述的掃描反射鏡，其特征在于，所述開ロ包括兩個相對且平行的一第一側(cè)壁、一第二側(cè)壁、及分別垂直連接所述第一側(cè)壁與第二側(cè)壁的第三側(cè)壁及第四側(cè)壁，所述第三側(cè)壁與所述第四側(cè)壁相對設(shè)置且相互平行，且分別開設(shè)有一第二軸孔，所述第一側(cè)壁及第ニ側(cè)壁的內(nèi)側(cè)分別設(shè)置有多個相互間隔的第二固定電極，所述固定板設(shè)置在所述開口內(nèi)且該固定板的一第二轉(zhuǎn)軸的兩端設(shè)置在所述第三側(cè)壁與所述第四側(cè)壁的第二軸孔內(nèi)，所述固定板兩相對的側(cè)邊對應(yīng)所述第一側(cè)壁及第ニ側(cè)壁的內(nèi)側(cè)的第二固定電極設(shè)置有多個相互間隔的第二轉(zhuǎn)動電極。
7.如權(quán)利要求6所述的掃描反射鏡，其特征在干，所述多個第二轉(zhuǎn)動電極分別收容在相鄰的兩個第二固定電極之間。
8.如權(quán)利要求6所述的掃描反射鏡，其特征在于，每個所述第二固定電極遠離所述底板的一側(cè)及靠近所述底板的ー側(cè)上分別設(shè)置有一限制塊，用于限制所述第二固定板的活動范圍。
9.如權(quán)利要求8所述的掃描反射鏡，其特征在于，所述限制塊由Si或Sio2材料制成。
10.如權(quán)利要求I所述的掃描反射鏡，其特征在于，所述連接板與所述第一轉(zhuǎn)動件一體成型。
全文摘要
一種掃描反射鏡，其包括一第一轉(zhuǎn)動件、一第二轉(zhuǎn)動件、一反射鏡及一固定框。所述第一轉(zhuǎn)動件與第二轉(zhuǎn)動件相互垂直且均設(shè)置在所述固定框內(nèi)。所述第一轉(zhuǎn)動件可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在所述固定框的兩相對的內(nèi)側(cè)壁上。所述第二轉(zhuǎn)動件包括一連接板及一轉(zhuǎn)動板。所述連接板固設(shè)在所述第一轉(zhuǎn)動件上。所述連接板上開設(shè)有一形狀與所述轉(zhuǎn)動板相匹配的開口。所述轉(zhuǎn)動板設(shè)置在所述開口內(nèi)且可相對所述開口轉(zhuǎn)動。所述反射鏡設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動板內(nèi)且隨著所述第一轉(zhuǎn)動件與所述轉(zhuǎn)動板的轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動。本發(fā)明的掃描反射鏡只需設(shè)置一個反射鏡，不僅結(jié)構(gòu)簡單，且生產(chǎn)成本低。
文檔編號G02B26/10GK102681166SQ20111005635
公開日2012年9月19日 申請日期2011年3月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月9日
發(fā)明者賴志成 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司