專利名稱：圖像形成裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及圖像形成裝置。
背景技術(shù)：
例如，作為在激光打印機等中通過光掃描進行描繪的光掃描儀，公知有使用由扭轉(zhuǎn)振子構(gòu)成的致動器的光掃描儀(例如參照專利文獻(xiàn)1)。在專利文獻(xiàn)1中公開了具有絕緣基板和掃描儀主體的致動器，在所述絕緣基板設(shè)置有一對永磁鐵，所述掃描儀主體由絕緣基板支承為位于一對永磁鐵之間。并且，掃描儀主體具有框狀的支承部、設(shè)置在支承部的內(nèi)側(cè)的框狀的外側(cè)可動板、以及設(shè)置在外側(cè)可動板的內(nèi)側(cè)的內(nèi)側(cè)可動板(反射鏡)。并且，外側(cè)可動板經(jīng)由在X軸方向延伸的一對第一扭轉(zhuǎn)桿與支承部連結(jié)，內(nèi)側(cè)可動板經(jīng)由在與X軸方向正交的Y軸方向延伸的第二扭轉(zhuǎn)桿與外側(cè)可動板連結(jié)。并且，在外側(cè)可動板和內(nèi)側(cè)可動板分別設(shè)置有線圈。在這種結(jié)構(gòu)的致動器中，通過使借助通電從各線圈產(chǎn)生的磁場與在一對永磁鐵之間產(chǎn)生的磁場發(fā)揮作用，外側(cè)可動板與內(nèi)側(cè)可動板一起以第一扭轉(zhuǎn)桿作為中心軸繞X軸轉(zhuǎn)動，內(nèi)側(cè)可動板以第二扭轉(zhuǎn)桿作為中心軸繞Y軸轉(zhuǎn)動。這樣，在專利文獻(xiàn)1的致動器中，通過使內(nèi)側(cè)可動板二維地轉(zhuǎn)動，能夠二維地掃描由內(nèi)側(cè)可動板反射的光。這種結(jié)構(gòu)在利用1 個光掃描儀二維地掃描光的方面是有效的。然而，在專利文獻(xiàn)1的致動器中，由于內(nèi)側(cè)可動板的轉(zhuǎn)動角存在界限，因此難以增大能夠掃描光的區(qū)域。為了使用專利文獻(xiàn)1的致動器而將光掃描區(qū)域設(shè)定得大，例如考慮延長光掃描區(qū)域與致動器之間的間隔距離，但是，由此，人等障礙物容易進入光掃描區(qū)域與致動器之間，光被上述侵入物遮擋的可能性高，并且會產(chǎn)生設(shè)置條件受限的問題。專利文獻(xiàn)1 日本特開2005-181395號公報

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種即便設(shè)置在光掃描區(qū)域的附近也能夠確保大的光掃描區(qū)域的圖像形成裝置。這種目的通過下述的本發(fā)明達(dá)成。本發(fā)明的圖像形成裝置的特征在于，上述圖像形成裝置具有光射出部，該光射出部射出光；光掃描儀，該光掃描儀具有用于反射從上述光射出部射出的光的光反射部，使該光反射部分別繞相互正交的第一軸和第二軸轉(zhuǎn)動，從而分別繞上述第一軸和上述第二軸掃描由上述光反射部反射的上述光；以及驅(qū)動構(gòu)件，使上述第一軸和上述第二軸的交點與上述光射出部之間的相對位置關(guān)系保持恒定，并使上述光掃描儀繞預(yù)定的軸線轉(zhuǎn)動，上述光掃描儀具有
可動板，該可動板具備光反射部；支承部，該支承部支承上述可動板；以及4個連結(jié)部，這4個連結(jié)部連結(jié)上述可動板和上述支承部，在上述可動板的俯視圖中，上述4個連結(jié)部在上述可動板的外周沿著周方向以90 度間隔設(shè)置，各上述連結(jié)部具有驅(qū)動部，該驅(qū)動部與上述可動板離開配置，且能夠相對于上述支承部轉(zhuǎn)動；以及軸部，該軸部連結(jié)上述可動板和上述驅(qū)動部，各上述連結(jié)部的上述軸部構(gòu)成為通過上述驅(qū)動部的轉(zhuǎn)動，各上述連接部的上述軸部在與上述可動板離開的方向的中途在上述可動板的厚度方向彎折變形，通過使各上述軸部獨立地進行上述彎折變形，上述可動板繞上述第一軸和上述第二軸中的各軸轉(zhuǎn)動。由此，能夠提供一種即便設(shè)置在光掃描區(qū)域的附近也能夠確保大的光掃描區(qū)域的圖像形成裝置。在本發(fā)明的圖像形成裝置中，優(yōu)選上述光掃描儀通過依次形成線段的矢量掃描來對上述光進行掃描，上述線段是連結(jié)由上述光反射部反射的光所照射的顯示面上的不同的 2點之間的線段。根據(jù)這種掃描方法(矢量掃描)，能夠僅對想要照射光的區(qū)域掃描光，因此能夠高效地顯示圖像。在本發(fā)明的圖像形成裝置中，優(yōu)選上述圖像形成裝置具有支承部，上述支承部在維持上述光射出部和上述光掃描儀相互的相對位置關(guān)系的狀態(tài)下支承上述光射出部和上述光掃描儀，上述驅(qū)動構(gòu)件構(gòu)成為能夠使上述光射出部和上述光掃描儀與上述支承部一起轉(zhuǎn)動。由此，無需進行光射出部和光掃描儀的對準(zhǔn)調(diào)整就能夠變更光的掃描區(qū)域(顯示圖像的區(qū)域)。在本發(fā)明的圖像形成裝置中，優(yōu)選上述驅(qū)動構(gòu)件具備電動機。
由此，能夠比較簡單且廉價地形成圖像形成裝置。在本發(fā)明的實施方式中，優(yōu)選當(dāng)將在上述可動板的俯視圖中正交的2軸設(shè)為X軸和Y軸時，上述4個連結(jié)部具有隔著上述可動板在X軸方向?qū)χ玫牡谝贿B結(jié)部和第二連結(jié)部；以及隔著上述可動板在Y軸方向?qū)χ玫牡谌B結(jié)部和第四連結(jié)部，上述第一連結(jié)部和上述第二連結(jié)部分別具有上述驅(qū)動部，該驅(qū)動部與上述可動板在X軸方向離開配置；作為上述軸部的第一軸部，該第一軸部連結(jié)上述可動板和上述驅(qū)動部、且沿X軸方向延伸；以及第二軸部，該第二軸部連結(jié)上述驅(qū)動部和上述掃描儀支承部、且沿Y軸方向延伸，上述第三連結(jié)部和上述第四連結(jié)部分別具有上述驅(qū)動部，該驅(qū)動部與上述可動板在Y軸方向離開配置；作為上述軸部的第一軸部，該第一軸部連結(jié)上述可動板和上述驅(qū)動部、且沿Y軸方向延伸；以及第二軸部，該第二軸部連結(jié)上述驅(qū)動部和上述掃描儀支承部、且沿X軸方向延伸。由此，能夠以穩(wěn)定的狀態(tài)支承可動板。并且，能夠使可動板獨立地進行繞相互正交的2個軸的各軸的轉(zhuǎn)動。因此，形成為適用于矢量掃描的光掃描儀。在本發(fā)明的圖像形成裝置中，優(yōu)選當(dāng)將與上述X軸和上述Y軸正交的軸設(shè)為Z軸時，上述4個連結(jié)部中的上述第一軸部分別能夠形成為以下兩種變形以形成朝Z軸方向的一方側(cè)凸出的V字狀的方式彎折的第一變形；以及以形成朝 Z軸方向的另一方側(cè)凸出的V字狀的方式彎折的第二變形。通過以這種方式使各第一軸部彎折，能夠高效地使可動板變位。 在本發(fā)明的圖像形成裝置中，優(yōu)選通過交替地反復(fù)形成以下兩種狀態(tài)，使上述可動板繞上述Y軸轉(zhuǎn)動，上述兩種狀態(tài)為使上述第一連結(jié)部的上述第一軸部進行上述第一變形，同時使上述第二連結(jié)部的上述第一軸部進行第二變形的狀態(tài)；以及使上述第一連結(jié)部的上述第一軸部進行上述第二變形，同時使上述第二連結(jié)部的上述第一軸部進行上述第一變形的狀態(tài)，通過交替地反復(fù)形成以下兩種狀態(tài)，使上述可動板繞上述X軸轉(zhuǎn)動，上述兩種狀態(tài)為使上述第三連結(jié)部的上述第一軸部進行上述第一變形，同時使上述第四連結(jié)部的上述第一軸部進行上述第二變形的狀態(tài)；以及使上述第三連結(jié)部的上述第一軸部進行上述第二變形，同時使上述第四連結(jié)部的上述第一軸部進行上述第一變形的狀態(tài)。由此，能夠使可動板順暢地轉(zhuǎn)動。在本發(fā)明的圖像形成裝置中，優(yōu)選上述4個連結(jié)部的上述第一軸部分別具有應(yīng)力緩和部，該應(yīng)力緩和部設(shè)置在上述可動板與上述驅(qū)動部之間；可動板側(cè)軸部，該可動板側(cè)軸部連結(jié)上述應(yīng)力緩和部與上述可動板；以及驅(qū)動部側(cè)軸部，該驅(qū)動部側(cè)軸部連結(jié)上述應(yīng)力緩和部與上述驅(qū)動部，上述4個連結(jié)部的第一軸部在上述應(yīng)力緩和部彎折。由此，能夠利用應(yīng)力緩和部緩和可動板側(cè)軸部受到的應(yīng)力，能夠防止或者抑制應(yīng)力朝驅(qū)動部側(cè)軸部傳遞。在本發(fā)明的圖像形成裝置中，優(yōu)選上述4個連結(jié)部的上述可動板側(cè)軸部分別繞該可動板側(cè)軸部的中心軸扭轉(zhuǎn)變形。由此，通過另一對連結(jié)部的可動板側(cè)軸部扭轉(zhuǎn)變形，能夠允許可動板以4個連結(jié)部中的對置的一對連結(jié)部為軸轉(zhuǎn)動。因此，能夠使可動板繞相互正交的2個軸的各軸順暢地轉(zhuǎn)動。在本發(fā)明的圖像形成裝置中，優(yōu)選上述4個連結(jié)部的上述驅(qū)動部側(cè)軸部分別并不變形。由此，能夠高效地將通過驅(qū)動部的轉(zhuǎn)動產(chǎn)生的應(yīng)力用于可動板的轉(zhuǎn)動。因此，能夠使可動板以大的轉(zhuǎn)動角度、且節(jié)省電力地變位。在本發(fā)明的圖像形成裝置中，優(yōu)選上述4個連結(jié)部的上述應(yīng)力緩和部分別具有變形部，在上述可動板的俯視圖中，該變形部沿著與可動板側(cè)軸部和驅(qū)動部側(cè)軸部的延伸方向正交的方向延伸，且繞中心軸扭轉(zhuǎn)變形。由此，通過變形部扭轉(zhuǎn)變形，能夠有效地緩和施加于第一軸部的應(yīng)力。在本發(fā)明的圖像形成裝置中，優(yōu)選上述4個連結(jié)部的上述應(yīng)力緩和部分別具有一對上述變形部，上述一對變形部中的一方的上述變形部與上述可動板側(cè)軸部連結(jié)，另一方的上述變形部與上述驅(qū)動部側(cè)軸部連結(jié)。由此，通過變形部扭轉(zhuǎn)變形，能夠有效地緩和施加于第一軸部的應(yīng)力。在本發(fā)明的圖像形成裝置中，優(yōu)選上述4個連結(jié)部的上述應(yīng)力緩和部分別具有非變形部，該非變形部設(shè)置在上述一對變形部之間，沿與上述變形部的延伸方向平行的方向延伸，且并不繞中心軸扭轉(zhuǎn)變形。由此，在各連結(jié)部中，能夠使第一軸部以非變形部為軸彎折。因此，能夠簡單且可靠地使各連結(jié)部的第一軸部彎折，能夠使可動板穩(wěn)定地變位。在本發(fā)明的圖像形成裝置中，優(yōu)選上述4個連結(jié)部中的上述應(yīng)力緩和部分別具有沿著上述X軸方向和上述Y軸方向交替地延伸而曲折的部位。由此，能夠利用應(yīng)力緩和部緩和可動板側(cè)軸部受到的應(yīng)力，能夠防止或者抑制應(yīng)力朝驅(qū)動部側(cè)軸部傳遞。在本發(fā)明的圖像形成裝置中，優(yōu)選上述4個連結(jié)部的上述應(yīng)力緩和部分別具有沿著上述X軸方向延伸的多個延伸部和沿著Y軸方向延伸的多個延伸部，上述多個延伸部分別能夠繞中心軸扭轉(zhuǎn)變形且能夠彎曲變形。由此，通過各延伸部進行扭轉(zhuǎn)變形和彎曲變形中的至少一方的變形，能夠有效地緩和施加于第一軸部的應(yīng)力。在本發(fā)明的圖像形成裝置中，優(yōu)選上述4個連結(jié)部分別由SOI基板形成，上述SOI 基板通過按照順序?qū)盈B第一 Si層、SiO2層以及第二 Si層而成的SOI基板而形成。由此，能夠簡單地形成各連結(jié)部。在本發(fā)明的圖像形成裝置中，優(yōu)選上述4個連結(jié)部的上述非變形部、驅(qū)動部側(cè)軸部以及驅(qū)動部分別由上述第一 Si層、上述SiO2層以及上述第二 Si層構(gòu)成，上述可動板側(cè)軸部、上述變形部以及上述第二軸部分別由上述第二 Si層構(gòu)成。由此，能夠簡單地形成各連結(jié)部。在本發(fā)明的圖像形成裝置中，優(yōu)選上述圖像形成裝置具有使上述可動板相對于上述支承部變位的變位構(gòu)件，上述變位構(gòu)件與上述4個連結(jié)部對應(yīng)地設(shè)置有4個。由此，能夠獨立地控制各連結(jié)部的動作。在本發(fā)明的圖像形成裝置中，優(yōu)選上述4個變位構(gòu)件分別具有永磁鐵，該永磁鐵設(shè)置于對應(yīng)的上述驅(qū)動部；以及線圈，該線圈用于產(chǎn)生作用于上述永磁鐵的磁場。由此，變位構(gòu)件的結(jié)構(gòu)變得簡單。并且，由于是電磁驅(qū)動，因此能夠產(chǎn)生大的力。在本發(fā)明的圖像形成裝置中，優(yōu)選在上述4個變位構(gòu)件中，上述永磁鐵以兩極在上述可動板的厚度方向?qū)χ玫姆绞皆O(shè)置，上述線圈以產(chǎn)生與上述可動板的厚度方向正交的方向的磁場的方式設(shè)置。由此，能夠使可動板穩(wěn)定地變位。在本發(fā)明的圖像形成裝置中，優(yōu)選上述4個變位構(gòu)件的上述永磁鐵分別貫通上述驅(qū)動部而設(shè)置。由此，能夠使可動板穩(wěn)定地變位。


圖1是示出本發(fā)明的圖像形成裝置的第一實施方式的圖。圖2是示出圖1所示的圖像形成裝置的概要結(jié)構(gòu)的圖。圖3是圖1所示的圖像形成裝置所具有的光掃描儀的平面圖。圖4是圖3所示的光掃描儀的剖視圖(沿著圖3中A-A線的剖視圖)。圖5是圖3所示的光掃描儀所具有的連結(jié)部的立體圖。圖6是用于說明圖3所示的光掃描儀所具有的振動系統(tǒng)的制造方法的剖視圖。圖7是用于說明圖3所示的光掃描儀所具有的振動系統(tǒng)的制造方法的剖視圖。圖8是用于說明圖3所示的光掃描儀所具有的變位構(gòu)件的圖。圖9是用于說明圖3所示的光掃描儀的驅(qū)動的圖。圖10是用于說明圖3所示的光掃描儀的驅(qū)動的圖。圖11是用于說明圖3所示的光掃描儀的驅(qū)動的圖。圖12是用于說明圖3所示的光掃描儀的驅(qū)動的圖。圖13是示出圖1所示的圖像形成裝置所具有的驅(qū)動構(gòu)件的剖視圖。圖14是用于說明圖13所示的驅(qū)動構(gòu)件的驅(qū)動的俯視圖。圖15是示出圖1所示的圖像形成裝置的動作的圖。圖16是本發(fā)明所涉及的第二實施方式的圖像形成裝置所具有的光掃描儀的平面圖。圖17是本發(fā)明所涉及的第三實施方式的圖像形成裝置所具有的光掃描儀的平面圖。圖18是本發(fā)明所涉及的第四實施方式的圖像形成裝置所具有的光掃描儀的立體圖。圖19是本發(fā)明所涉及的第五實施方式的圖像形成裝置所具有的光掃描儀的剖視圖。圖20是示出本發(fā)明的第六實施方式所涉及的圖像形成裝置所具有的光掃描儀的平面圖。圖21是圖20所示的光掃描儀所具有的連結(jié)部的放大立體圖。圖22是示出本發(fā)明所涉及的第六實施方式的圖像形成裝置所具有的光掃描儀的立體圖。標(biāo)號說明1…光掃描儀；11…振動系統(tǒng)；12…基座；121…基部；122…框部；2、2D…可動板； 21…面；22…光反射部；23D…基部；24D…柱部；25D…光反射板；3…支承部；4、4C、5、6、 7…連結(jié)部；41、51、61、71 …驅(qū)動板；42、42C、52、62、72…第一軸部；421、421C、421E、521、 521E、621、621E、721、721E…應(yīng)力緩和部；4211、4212、5211、5212、6211、6212、7211、7212… 變形部；4213、4213C、5213、6213、7213…非變形部；4214、4215、5214、5215、6214、6215、 7214、7215…連接部；4211E…第一延伸部；4212E…第二延伸部；4213E…第三延伸部; 4214E…第四延伸部；4215E…第五延伸部；4216E…第六延伸部；4217E…第七延伸部；422、 522、622、722…可動板側(cè)軸部；423、523、623、723…驅(qū)動板側(cè)軸部；43、53、63、73…第二軸部；8…變位構(gòu)件；81、81B…第一變位構(gòu)件；82…第二變位構(gòu)件；83…第三變位構(gòu)件；84···第四變位構(gòu)件；811、811B、821、831、841 …永磁鐵；812、812B、822、832、842…線圈；813、813B、 823、833、843…電源；85、85A…線圈固定部；851…突出部；852A…主體部；100…圖像形成裝置；200…光源單元；210r…紅色光源裝置；210g…綠色光源裝置；210b…藍(lán)色光源裝置； 220r、220g、220b…準(zhǔn)直透鏡；230r、230g、230b…分色鏡(dichroic mirror) ；300…驅(qū)動構(gòu)件；310…第一齒輪；320…第二齒輪；330…電動機；331…軸部；400…支承部；410…軸部； 411…貫通孔；420…軸承；430…安裝部；500-SOI基板；510…第一 Si層；520…SiO2層； 530…第二 Si層；Ml、M2—SiO2膜；Xl X3、Yl Y3…轉(zhuǎn)動中心軸；X4、X5、Y4、Y5…中心軸；Jl、J2…預(yù)定的軸線；S…投影屏；Si、S2…光掃描區(qū)域。
具體實施例方式以下，參照附圖對本發(fā)明的圖像形成裝置的優(yōu)選的實施方式進行說明。<第一實施方式>首先，對本發(fā)明的圖像形成裝置的第一實施方式進行說明。圖1是示出本發(fā)明的圖像形成裝置的第一實施方式的圖，圖2是示出圖1所示的圖像形成裝置的概要結(jié)構(gòu)的圖，圖3是圖1所示的圖像形成裝置所具有的光掃描儀的平面圖，圖4是圖3所示的光掃描儀的剖視圖(沿著圖3中的A-A線的剖視圖)，圖5是圖3所示的光掃描儀所具有的連結(jié)部的立體圖，圖6和圖7分別是用于說明圖3所示的光掃描儀所具有的振動系統(tǒng)的制造方法的圖，圖8是用于說明圖3所示的光掃描儀所具有的變位構(gòu)件的圖，圖9是用于說明圖3所示的光掃描儀的驅(qū)動的圖，圖10、圖11、以及圖12分別是用于說明圖3所示的光掃描儀的驅(qū)動的圖，圖13是示出圖1所示的圖像形成裝置所具有的驅(qū)動構(gòu)件的剖視圖，圖14是用于說明圖13所示的驅(qū)動構(gòu)件的驅(qū)動的俯視圖，是示出圖1所示的圖像形成裝置的動作的圖。另外，以下，為了說明的方便，將圖3中的左側(cè)稱為“左”、將右側(cè)稱為“右”，將圖 4 圖12中的上側(cè)稱為“上”、將下側(cè)稱為“下”。并且，如圖3所示，將相互正交的3軸設(shè)為 X軸(第一軸)、Y軸(第二軸)以及Z軸，非驅(qū)動狀態(tài)的可動板的面與由X軸和Y軸形成的面一致(平行)，可動板的厚度方向與Z軸一致。并且，以下，將與X軸平行的方向稱為“X 軸方向”、將與Y軸平行的方向稱為“Y軸方向”、將與Z軸平行的方向稱為“Ζ軸方向”。圖1所示的圖像形成裝置100例如是用于在設(shè)置于大樓等建筑物內(nèi)或者室外的投影屏(顯示對象物)S顯示靜態(tài)圖像或動態(tài)圖像等預(yù)定的圖像的裝置。如圖2所示，這種圖像形成裝置100具有光射出部200，該光射出部200用于射出激光(光)；光掃描儀1，該光掃描儀1用于反射從光射出部200射出的光；以及驅(qū)動構(gòu)件300，該驅(qū)動構(gòu)件300用于使光掃描儀1繞預(yù)定的軸線轉(zhuǎn)動。作為投影屏S的構(gòu)成材料，并無特殊限定，例如能夠舉出聚乙烯、聚丙烯、聚氯乙烯、聚苯乙烯、聚酰胺、丙烯類樹脂、ABS樹脂、氟樹脂、環(huán)氧樹脂、有機硅樹脂、或者以上述材料為主的共聚物、混合物、聚合物合金等，能夠使用上述材料中的1種或者組合2種以上進行使用。由此，能夠提高圖像的目視確認(rèn)性。另外，投影屏S也可以省略，例如直接在建筑物的墻面或者地面顯示圖像。以下，依次對圖像形成裝置的各結(jié)構(gòu)進行詳細(xì)說明。
(光射出部200)如圖2所示，光射出部(光源單元)200具備各種顏色的激光光源210r、210g、 210b ；以及與各種顏色的激光光源210r、210g、210b對應(yīng)地設(shè)置的準(zhǔn)直透鏡2220r、220g、 220b 和分色鏡 230r、230g、230b。各種顏色的激光光源210r、210g、210b分別射出紅色、綠色以及藍(lán)色的激光RR、 GG、BB。激光RR、GG、BB分別以與從未圖示的控制部發(fā)送的驅(qū)動信號對應(yīng)地被調(diào)制的狀態(tài)射出，并由作為準(zhǔn)直光學(xué)元件的準(zhǔn)直透鏡220r、220g、220b平行化而形成細(xì)光束。分色鏡230r、230g、230b分別具有反射紅色激光RR、綠色激光GG、藍(lán)色激光BB的特性，結(jié)合各種顏色的激光RR、GG、BB而射出1條激光LL。另外，能夠代替準(zhǔn)直透鏡220r、220g、220b使用準(zhǔn)直反射鏡，在該情況下，也能夠形成平行光束的細(xì)光束。并且，在從各種顏色的激光光源210r、210g、210b射出平行光束的情況下，能夠省略準(zhǔn)直透鏡220r、220g、220b。進一步，對于激光光源210r、210g、210b，能夠更換成產(chǎn)生同樣的光束的發(fā)光二極管等光源。并且，圖2的各種顏色的激光光源210r、 210g、210b、準(zhǔn)直透鏡220r、220g、220b以及分色鏡230r、230g、230b的次序只不過是一例， 能夠在保持各種顏色的組合(紅色為激光光源210r、準(zhǔn)直透鏡220r、分色鏡230r，綠色為激光光源210g、準(zhǔn)直透鏡220g、分色鏡230g，藍(lán)色為激光光源210b、準(zhǔn)直透鏡220b、分色鏡 230b)的狀態(tài)下自由地設(shè)定順序。例如，能夠按照依次接近光掃描儀1的順序形成藍(lán)色、紅色、綠色的組合。(光掃描儀)其次，對光掃描儀1進行說明。光掃描儀1是使用光柵掃描(raster scan)、矢量掃描(vector scan)等掃描方法對投影屏S的表面(顯示面)掃描從光源單元200射出的激光LL的裝置。此處，所謂光柵掃描是指當(dāng)在水平方向掃描激光LL的同時在垂直方向掃描激光LL的方法，與應(yīng)當(dāng)在投影屏S顯示的圖像無關(guān)，一律在顯示面的整個區(qū)域規(guī)則地掃描激光LL。所謂另一方面的矢量掃描是指以依次形成連結(jié)投影屏S的表面上的不同的2點的線段的方式進行掃描的方法， 根據(jù)應(yīng)當(dāng)在顯示面顯示的圖像僅在顯示面的必要的部位不規(guī)則地掃描激光LL。另外，在本實施方式中使用的光掃描儀1能夠利用光柵掃描和矢量掃描中的任一種方法掃描激光LL， 但是，在結(jié)構(gòu)上優(yōu)選利用矢量掃描來掃描激光LL。如圖3和圖4所示，光掃描儀1具有振動系統(tǒng)11，該振動系統(tǒng)11由可動板2、支承部3、以及4個連結(jié)部4、5、6、7構(gòu)成，所述支承部3用于支承可動板2，所述4個連結(jié)部4、 5、6、7用于連結(jié)可動板2和支承部3 ；基座12，該基座12用于支承振動系統(tǒng)11 ；以及變位構(gòu)件8，該變位構(gòu)件8用于使可動板2變位。以下，依次對光掃描儀1的各結(jié)構(gòu)進行詳細(xì)說明。另外，將相互正交的3軸設(shè)為X軸、Y軸以及Z軸，非驅(qū)動狀態(tài)的可動板的面與由X軸和 Y軸形成的面一致(平行)，可動板的厚度方向與Z軸一致。并且，以下，將與X軸平行的方向稱為“X軸方向”，將與Y軸平行的方向稱為“Y軸方向”，將與Z軸平行的方向稱為“Z軸方向”。[振動系統(tǒng)11]在本實施方式中，振動系統(tǒng)11通過利用干蝕刻(dry etching)和濕蝕刻(wet etching)等各種蝕刻方法將SOI基板的不需要的部位除去而一體地形成。另外，對于振動系統(tǒng)11的制造方法在后面詳細(xì)敘述。支承部3具有支承可動板2的功能。這種支承部3形成為框狀，并以包圍可動板2 的周圍的方式設(shè)置。另外，作為支承部3的形狀，只要能夠支承可動板2即可，并無特殊限定，例如，也可以以隔著可動板2在X軸方向或者Y軸方向?qū)χ玫姆绞皆O(shè)置有一對?？蓜影?設(shè)置在支承部3的內(nèi)側(cè)?？蓜影?形成為平板狀，且在一方的面(與基座12相反側(cè)的面)21形成有具有光反射性的光反射部22。光反射部22例如通過在面21 上借助蒸鍍等形成金、銀、鋁等的金屬膜等而得到。另外，在本實施方式中，可動板2的俯視形狀為圓形，但是，可動板2的俯視形狀并無特殊限定，例如也可以是長方形、正方向等多邊形，或者是橢圓形等。這種可動板2借助4個連結(jié)部4、5、6、7與支承部3連結(jié)。4個連結(jié)部4、5、6、7在可動板2的俯視圖中沿著可動板2的周方向等間隔地、即以90度間隔配置。進而，4個連結(jié)部4、5、6、7中的連結(jié)部4、6隔著可動板2在X軸方向?qū)χ?、且相對于可動?對稱地形成，連結(jié)部5、7隔著可動板2在Y軸方向?qū)χ?、且相對于可動?對稱地形成。通過利用這種連結(jié)部4、5、6、7支承可動板2，能夠以穩(wěn)定的狀態(tài)支承可動板2。并且，如后所述，能夠分別獨立地進行可動板2的繞轉(zhuǎn)動中心軸Xl的轉(zhuǎn)動和繞轉(zhuǎn)動中心軸Yl 的轉(zhuǎn)動。4個連結(jié)部4、5、6、7相互形成為同樣的結(jié)構(gòu)。具體地說，連結(jié)部(第一連結(jié)部)4具有驅(qū)動板(驅(qū)動部)41 ；第一軸部42，該第一軸部42連結(jié)驅(qū)動板41和可動板2 ；以及一對第二軸部43，這一對第二軸部43連結(jié)驅(qū)動板41和支承部3。并且，連結(jié)部(第三連結(jié)部)5具有驅(qū)動板51;第一軸部52，該第一軸部52連結(jié)驅(qū)動板51和可動板2 ；以及一對第二軸部53，這一對第二軸部53連結(jié)驅(qū)動板51 和支承部3。并且，連結(jié)部(第二連結(jié)部)6具有驅(qū)動板61 ；第一軸部62，該第一軸部62 連結(jié)驅(qū)動板61和可動板2 ；以及一對第二軸部63，這一對第二軸部63連結(jié)驅(qū)動板61和支承部3。并且，連結(jié)部(第四連結(jié)部)7具有驅(qū)動板71 ；第一軸部72，該第一軸部72連結(jié)驅(qū)動板71和可動板2 ；以及一對第二軸部73，這一對第二軸部73連結(jié)驅(qū)動板71和支承部 3。另外，上述“同樣的結(jié)構(gòu)”是指構(gòu)成連結(jié)部的要素相同。因此，外形形狀不需要一致。通過將各連結(jié)部4、5、6、7形成為這種結(jié)構(gòu)，連結(jié)部的結(jié)構(gòu)變得簡單，并且，如后所述，能夠使可動板2順暢地進行繞轉(zhuǎn)動中心軸XI、Yl的轉(zhuǎn)動等。以下，對連結(jié)部4、5、6、7進行具體說明，但是，由于連結(jié)部4、5、6、7的結(jié)構(gòu)相互同樣，因此以連結(jié)部4作為代表進行說明，省略對其他的連結(jié)部5、6、7的說明。另外，連結(jié)部 5、7在可動板2的俯視圖中配置成相對于連結(jié)部4旋轉(zhuǎn)90度后的狀態(tài)。因此，對于連結(jié)部 5、7，能夠通過將下述的連結(jié)部4的說明中的“Y軸方向”改成“X軸方向”、將“X軸方向”改成“Y軸方向”進行說明。如圖5所示，一對第二軸部43隔著驅(qū)動板41在Y軸方向?qū)χ门渲?，對?qū)動板41 進行雙支承。并且，一對第二軸部43分別形成為在Y軸方向延伸的棒狀。并且，一對第二軸部43能夠繞中心軸扭轉(zhuǎn)變形。這種一對第二軸部43同軸地設(shè)置，在一對第二軸部43以該軸(以下也稱為“轉(zhuǎn)動中心軸Y2”)為中心扭轉(zhuǎn)變形的同時，驅(qū)動板41轉(zhuǎn)動。驅(qū)動板41在X軸方向相對于可動板2離開設(shè)置。并且，如前面所述，驅(qū)動板41由一對第二軸部43雙支承。在這種驅(qū)動板41形成有貫通孔411，永磁鐵811插通并固定在該貫通孔中。永磁鐵811例如通過嵌合(壓入)或者借助粘接劑固定于驅(qū)動板41。永磁鐵 811是變位構(gòu)件8的結(jié)構(gòu)的一部分，因此在后面進行說明。并且，在本實施方式中，驅(qū)動板41的俯視形狀形成為以Y軸方向作為長邊的長方形。通過將驅(qū)動板41形成為這種形狀，能夠確保固定永磁鐵811的空間，并且能夠抑制驅(qū)動板41的寬度(X軸方向的長度)。通過抑制驅(qū)動板41的寬度，能夠抑制當(dāng)驅(qū)動板41繞轉(zhuǎn)動中心軸Y2轉(zhuǎn)動時產(chǎn)生的慣性矩，驅(qū)動板41的響應(yīng)性提高，能夠更高速地轉(zhuǎn)動。并且，當(dāng)驅(qū)動板41的響應(yīng)性提高時，能夠抑制由于驅(qū)動板41的轉(zhuǎn)動(特別是轉(zhuǎn)動方向轉(zhuǎn)換的反轉(zhuǎn)時)而產(chǎn)生非本意的振動。因此，能夠穩(wěn)定地驅(qū)動光掃描儀1。另外，作為驅(qū)動板41的俯視形狀，并無特殊限定，例如可以是正方形或五邊形以上的多邊形，也可以是圓形。這種驅(qū)動板41借助第一軸部42與可動板2連結(jié)。第一軸部42以整體在X軸方向延伸的方式設(shè)置。這種第一軸部42具有應(yīng)力緩和部421，該應(yīng)力緩和部421設(shè)置在驅(qū)動板41與可動板2之間；可動板側(cè)軸部422，該可動板側(cè)軸部422用于連結(jié)應(yīng)力緩和部421 和可動板2 ；以及驅(qū)動板側(cè)軸部(驅(qū)動部側(cè)軸部)423，該驅(qū)動板側(cè)軸部423用于連結(jié)應(yīng)力緩和部421和驅(qū)動板41。可動板側(cè)軸部422和驅(qū)動板側(cè)軸部423分別呈在X軸方向延伸的棒狀。并且，可動板側(cè)軸部422和驅(qū)動板側(cè)軸部423同軸地設(shè)置。這兩個軸部中的驅(qū)動板側(cè)軸部423優(yōu)選設(shè)定成當(dāng)光掃描儀1的驅(qū)動時不會產(chǎn)生大的變形的硬度，更加優(yōu)選設(shè)定成實質(zhì)上不會變形的硬度。與此相對，可動板側(cè)軸部422能夠繞其中心軸扭轉(zhuǎn)變形。這樣，第一軸部42具有實質(zhì)上不變形的硬部分以及位于該硬部分的前端側(cè)的可扭轉(zhuǎn)變形的部位，由此，如后所述，能夠使可動板2繞X軸和Y軸的各軸穩(wěn)定地轉(zhuǎn)動。另外，上述“不變形”是指實質(zhì)上不會產(chǎn)生朝向Z軸方向的彎折或者彎曲以及繞中心軸的扭轉(zhuǎn)變形。這種可動板側(cè)軸部422和驅(qū)動板側(cè)軸部423經(jīng)由應(yīng)力緩和部421連結(jié)。應(yīng)力緩和部421具有以下功能作為第一軸部42彎折變形時的節(jié)部的功能；以及緩和(吸收)通過可動板側(cè)軸部422的扭轉(zhuǎn)變形產(chǎn)生的扭矩，防止或者抑制上述扭矩傳遞到驅(qū)動板側(cè)軸部 423。如圖5所示，應(yīng)力緩和部421具有一對變形部4211、4212 ；非變形部4213，該非變形部4213設(shè)置在一對變形部4211、4212之間；用于將變形部4211連接于非變形部4213 的一對連接部4214 ；以及用于將變形部4212連接于非變形部4213的一對連接部4215。非變形部4213呈在Y軸方向延伸的棒狀。這種非變形部4213設(shè)定成當(dāng)光掃描儀 1的驅(qū)動時實質(zhì)上不會變形的硬度。由此，如后所述，能夠使第一軸部42以非變形部4213 的中心軸W為中心彎折，能夠使應(yīng)力緩和部421可靠地發(fā)揮作為節(jié)部的功能，能夠穩(wěn)定地驅(qū)動光掃描儀1。一對變形部4211、4212相對于這種非變形部4213對稱地配置。變形部4211、4212 分別呈在Y軸方向延伸的棒狀。并且，變形部4211、4212相互在X軸方向離開而并列設(shè)置。 這種變形部4211、4212分別能夠繞其中心軸扭轉(zhuǎn)變形。位于可動板2側(cè)的變形部4211在其長度方向的大致中央與可動板側(cè)軸部422的一端連結(jié)，并且，在其兩端部借助一對連接部4214與非變形部4213連結(jié)。同樣，位于驅(qū)動板41側(cè)的變形部4212在其長度方向的大致中央與驅(qū)動板側(cè)軸部423的一端連結(jié)，并且，在其兩端部借助一對連接部4215與非變形部4213連結(jié)。一對連接部4214中的一個連接部將變形部4211和非變形部4213的一端部彼此連結(jié)在一起，另一個連接部將變形部4211和非變形部4213的另一端部彼此連結(jié)在一起。并且，一對連接部4215中的一個連接部將變形部4212和非變形部4213的一端部彼此連結(jié)在一起，另一個連接部將變形部4212和非變形部4213的另一端彼此連結(jié)在一起。這種各連接部4214、4215呈在X軸方向延伸的棒狀。并且，各連接部4214、4215 能夠在Z軸方向彎曲、且能夠繞其中心軸扭轉(zhuǎn)變形。以上對振動系統(tǒng)11的結(jié)構(gòu)進行了具體說明。如前面所述，這種結(jié)構(gòu)的振動系統(tǒng)11由SOI基板一體地形成。由此，振動系統(tǒng)11 的形成變得容易。具體地說，如前面所述，在振動系統(tǒng)11共存有積極地變形的部位和不變形(難以變形)的部位。另一方面，SOI基板是通過按照順序?qū)盈B第一 Si層、SiO2層、以及第二 Si層而成的基板。此處，通過利用上述3個層的所有層構(gòu)成不變形的部位、且僅利用第二 Si層構(gòu)成積極地變形的部位，即、使SOI基板的厚度不同，由此，能夠簡單地形成共存有變形部位和不變形部位的振動系統(tǒng)11。另外，積極地變形的部位也可以由第二 Si層和 SiO2層這2層構(gòu)成。在上述“變形的部位”中包括第二軸部43、53、63、73、可動板側(cè)軸部422、522、622、 722、變形部 4211、4212、5211、5212、6211、6212、7211、7212、以及連接部 4214、4215、5214、 5215、6214、6215、7214、7215。在上述“不變形的部位”中包括可動板2、支承部3、驅(qū)動板41、51、61、71、驅(qū)動板側(cè)軸部 423、523、623、723、以及非變形部 4213、5213、6213、7213。以下，根據(jù)圖6和圖7對振動系統(tǒng)11的制造方法的一例進行簡單說明。另外，圖 6和圖7分別是與沿著圖3中的A-A線的剖視圖對應(yīng)的剖視圖。并且，振動系統(tǒng)11的制造方法并不限定于此。首先，如圖6(a)所示，準(zhǔn)備按照第一 Si層510、Si02層520、第二 Si層530的順序從上側(cè)層疊而成的SOI基板(硅基板)500。接著，如圖6(b)所示，在SOI基板500的兩面形成SiO2膜組2。接著，如圖6(c) 所示，通過對SW2膜M2進行蝕刻而形成可動板2、支承部3、以及連結(jié)部4、5、6、7的俯視形狀的圖案，同時，通過對SiO2膜Ml進行蝕刻而形成與可動板2、支承部3、驅(qū)動板41、51、61、 71、驅(qū)動板側(cè)軸部423、523、623、723、以及非變形部4213、5213、6213、7213對應(yīng)的形狀的圖案。接著，如圖7 (a)所示，經(jīng)由SiO2膜Ml對SOI基板500進行蝕刻。此時，作為SOI 基板500的中間層的SiA層520作為上述蝕刻的停止層發(fā)揮功能。在該蝕刻結(jié)束之后，此次經(jīng)由SW2膜M2對SOI基板500進行蝕刻。此時，作為SOI基板500的中間層的SW2層 520作為上述蝕刻的停止層發(fā)揮功能。另外，作為蝕刻方法，并無特殊限定，例如能夠使用等離子蝕刻、反應(yīng)離子蝕刻、電子束蝕刻、光輔助蝕刻等物理蝕刻方法、濕蝕刻等化學(xué)蝕刻方法中的1種方法，或者組合使用2種以上的方法。另外，在以下的各工序中的蝕刻中也能夠使用同樣的方法。接著，如圖7(b)所示，通過利用ΒΠΙ(Buffered Hydrogen Fluoride 緩沖氫氟酸)等將SW2膜M1、M2以及SW2層520的露出的部分蝕刻除去而加工出可動板2、支承部3、以及連結(jié)部4、5、6、7的外形形狀。進一步，如圖7(c)所示，在可動板2的上表面21形成金屬膜，從而形成光反射部 22。作為金屬膜(光反射部22)的形成方法，能夠舉出真空蒸鍍、濺射(低溫濺射)、離子鍍等干鍍法、電解電鍍、非電解電鍍等濕鍍法、噴鍍法、金屬箔的接合等。能夠以這種方式得到振動系統(tǒng)11。[基座12]如圖4所示，基座12具有平板狀的基部121和沿基部121的邊緣部設(shè)置的框部 122，且形成為箱狀(斗狀)。這種基座12利用框部122與振動系統(tǒng)11的支承部3的下表面接合。由此，利用基座12支承振動系統(tǒng)11。這種基座12例如以玻璃或硅作為主材料構(gòu)成。另外，作為基座12與支承部3的接合方法，并無特殊限定，例如可以使用粘接劑進行接合，也可以使用陽極接合等各種接合方法。[變位構(gòu)件8]如圖3所示，變位構(gòu)件8具有第一變位構(gòu)件81，該第一變位構(gòu)件81具有永磁鐵 811、線圈812、以及電源813 ；第二變位構(gòu)件82，該第二變位構(gòu)件82具有永磁鐵821、線圈 822、以及電源823 ；第三變位構(gòu)件83，該第三變位構(gòu)件83具有永磁鐵831、線圈832、以及電源833 ；以及第四變位構(gòu)件84，該第四變位構(gòu)件84具有永磁鐵841、線圈842、以及電源843。進而，第一變位構(gòu)件81與連結(jié)部4對應(yīng)地設(shè)置，第二變位構(gòu)件82與連結(jié)部5對應(yīng)地設(shè)置，第三變位構(gòu)件83與連結(jié)部6對應(yīng)的設(shè)置，第四變位構(gòu)件84與連結(jié)部7對應(yīng)地設(shè)置。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，變位構(gòu)件8的結(jié)構(gòu)變得簡單。并且，通過將變位構(gòu)件8形成為電磁驅(qū)動，能夠產(chǎn)生比較大的力，能夠使可動板2更可靠地轉(zhuǎn)動。并且，由于在各連結(jié)部4、5、6、 7均設(shè)置有1個變位構(gòu)件，因此能夠使各連結(jié)部4、5、6、7獨立地變形。因此，如后所述，能夠使可動板2以各種各樣的形式變位。以下，對第一變位構(gòu)件81、第二變位構(gòu)件82、第三變位構(gòu)件83、以及第四變位構(gòu)件 84進行說明，但是，由于上述變位構(gòu)件分別為同樣的結(jié)構(gòu)，因此，以下，以第一變位構(gòu)件81 作為代表進行說明，省略對第二變位構(gòu)件82、第三變位構(gòu)件83、以及第四變位構(gòu)件84的說明。另外，第二變位構(gòu)件82和第四變位構(gòu)件84在可動板2的俯視圖中配置成相對于第一變位構(gòu)件81旋轉(zhuǎn)90度的狀態(tài)。因此，對于第二變位構(gòu)件82和第四變位構(gòu)件84，能夠?qū)⑾率龅牡谝蛔兾粯?gòu)件81的說明中的“Y軸方向，，改成“X軸方向”、將“X軸方向，，改成“Y軸方向”進行說明。如圖8所示，永磁鐵811形成為棒狀，且沿長度方向被磁化。S卩，永磁鐵811的長度方向的一端側(cè)為S極、另一端側(cè)為N極。這種永磁鐵811插通在形成于驅(qū)動板41的貫通孔411，且在長度方向的大致中央被固定于驅(qū)動板41。進而，永磁鐵811在驅(qū)動板41的上方和下方突出相同的長度，且S極和N極隔著驅(qū)動板41 (轉(zhuǎn)動中心軸對置。由此，如后所述，能夠使可動板2穩(wěn)定地變位。并且，永磁鐵811以長度方向與驅(qū)動板41的面方向正交的方式設(shè)置。并且，永磁鐵811以中心軸與轉(zhuǎn)動中心軸Y2交叉的方式設(shè)置。作為這種永磁鐵811，并無特殊限定，例如能夠適當(dāng)?shù)厥褂免S磁鐵、鐵氧體磁鐵、釤鈷磁鐵、鋁鐵鎳鈷磁鐵、粘結(jié)磁鐵(bond magnet)等對硬磁體進行磁化而成的磁鐵。
另外，在本實施方式中，永磁鐵811形成為棒狀，但是，作為永磁鐵的形狀，并無特殊限定，例如也可以形成為板狀。在該情況下，只要使永磁鐵811在面方向磁化，并以面方向與X軸方向正交的方式固定于驅(qū)動板41即可。由此，能夠縮短永磁鐵811的X軸方向長度，因此能夠抑制伴隨著驅(qū)動板41的轉(zhuǎn)動產(chǎn)生的慣性矩。線圈812產(chǎn)生作用于永磁鐵811的磁場。這種線圈812在振動系統(tǒng)11的外側(cè)附近以在X軸方向與永磁鐵811對置的方式配置。并且，線圈812以能夠產(chǎn)生X軸方向的磁場的方式設(shè)置，即以能夠產(chǎn)生線圈812的永磁鐵811側(cè)為N極且相反側(cè)為S極的狀態(tài)和線圈812的永磁鐵811側(cè)為S極且相反側(cè)為N極的狀態(tài)的方式設(shè)置。本實施方式的光掃描儀1在振動系統(tǒng)11的外側(cè)具有與基座12固定設(shè)置的線圈固定部85。線圈812卷繞于該線圈固定部85所具有的沿X軸方向延伸的突出部851。通過形成為這種結(jié)構(gòu)，能夠使線圈812相對于振動系統(tǒng)11固定，并且，能夠簡單地產(chǎn)生如前面所述的磁場。并且，通過利用鐵等軟磁體構(gòu)成突出部851，能夠?qū)⑼怀霾?51用作線圈812的磁芯，能夠更高效地產(chǎn)生如前面所述的磁場。電源813與線圈812電連接。進而，通過從電源813對線圈812施加期望的電壓， 能夠從線圈812產(chǎn)生如前面所述的磁場。在本實施方式中，電源813能夠選擇施加交變電壓和直流電壓。并且，當(dāng)施加交變電壓時，能夠變更交變電壓的強度、頻率，進一步，能夠重疊偏置電壓(直流電壓)。以上對光掃描儀1的結(jié)構(gòu)進行了說明。接著，對光掃描儀1的動作進行說明。在如上所述的結(jié)構(gòu)的光掃描儀1中，至少能夠選擇使可動板2轉(zhuǎn)動的圖案、使可動板2振動的圖案、以及使可動板2在預(yù)定位置靜止的圖案。這樣，如后所述，光掃描儀1能夠利用各種圖案進行驅(qū)動是通過使各連結(jié)部4、5、6、7的第一軸部42、52、62、72彎折變形而得到的效果。以下，依次對上述3個圖案進行說明。另外，以下，為了說明的方便，以永磁鐵811、 821、831、841都以N極位于上側(cè)的方式配置的結(jié)構(gòu)作為代表進行說明。[轉(zhuǎn)動]〈繞Y軸的轉(zhuǎn)動〉根據(jù)圖9對可動板2的繞Y軸的轉(zhuǎn)動進行說明。另外，圖9是與沿著圖3中的A-A 線的剖視圖對應(yīng)的剖視圖。首先，以第一狀態(tài)和第二狀態(tài)交替地周期性地轉(zhuǎn)換的方式從電源813、833對線圈 812、832施加交變電壓，在第一狀態(tài)下，線圈812的永磁鐵811側(cè)為N極、線圈832的永磁鐵 831側(cè)為S極，在第二狀態(tài)下，線圈812的永磁鐵811側(cè)為S極、線圈832的永磁鐵8311側(cè)為N極。優(yōu)選從電源813、833對線圈812、832施加的交變電壓相互為相同的波形(強度和頻率相同)。在圖9(a)所示的第一狀態(tài)下，永磁鐵811的S極被向線圈812吸引、同時N極遠(yuǎn)離線圈812，因此，一對第二軸部43扭轉(zhuǎn)變形，并且，驅(qū)動板41以上表面朝向可動板2側(cè)的方式繞轉(zhuǎn)動中心軸Y2傾斜。與此同時，永磁鐵831的N極被向線圈832吸引、同時S極遠(yuǎn)離線圈832，因此，一對第二軸部63扭轉(zhuǎn)變形，并且，驅(qū)動板61以下表面朝向可動板2側(cè)的方式繞轉(zhuǎn)動中心軸Y3傾斜。即、驅(qū)動板41、61都朝圖9(a)中的順時針方向傾斜。在該驅(qū)動板41、61傾斜的同時，驅(qū)動板側(cè)軸部423以位于可動板2側(cè)的端部朝向下側(cè)的方式傾斜，驅(qū)動板側(cè)軸部623以位于可動板2側(cè)的端部朝向上側(cè)的方式傾斜。由此， 成為驅(qū)動板側(cè)軸部423、623的位于可動板2側(cè)的端部彼此在Z軸方向偏移的狀態(tài)。進而，通過驅(qū)動板側(cè)軸部423、623的位于可動板2側(cè)的端部彼此在Z軸方向偏移， 一邊使扭轉(zhuǎn)變形部4211、4212、6211、6212繞其中心軸扭轉(zhuǎn)變形并使各連接部4214、4215、 6214,6215彎曲變形，一邊使可動板側(cè)軸部422、622以及可動板2 —體地朝圖9(a)中的逆時針方向傾斜。這樣，在第一狀態(tài)下，連結(jié)部4的第一軸部42在位于其中途的應(yīng)力緩和部421以呈朝下側(cè)凸出的V字狀的方式彎折變形(第一變形)，同時，連結(jié)部6的第一軸部62在位于其中途的節(jié)部621以呈朝上側(cè)凸出的V字狀的方式彎折變形(第二變形)，由此，可動板2 以轉(zhuǎn)動中心軸Yl為中心朝圖9(a)中的逆時針方向傾斜。另一方面，在圖9(b)所示的第二狀態(tài)下，會產(chǎn)生與前面所述的第一狀態(tài)相反的變形。即，在第二狀態(tài)下，連結(jié)部4的第一軸部42在應(yīng)力緩和部421以呈朝上側(cè)凸出的V字狀的方式彎折變形(第二變形)，同時，連結(jié)部6的第一軸部62在應(yīng)力緩和部621以呈朝下側(cè)凸出的V字狀的方式彎折變形(第一變形)，由此，可動板2以轉(zhuǎn)動中心軸Yl為中心朝圖 9(b)中的逆時針方向傾斜。通過交替地周期性地切換上述的第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，能夠使可動板2繞轉(zhuǎn)動中心軸Yl轉(zhuǎn)動。另外，通過連結(jié)部5、7所具有的可動板側(cè)軸部522、722的繞其中心軸的扭轉(zhuǎn)變形，允許可動板2的繞轉(zhuǎn)動中心軸Yl的轉(zhuǎn)動。另外，作為對線圈812、832施加的交變電壓的頻率，并無特殊限定，可以與由可動板2和連結(jié)部4、5、6、7構(gòu)成的振動系統(tǒng)的共振頻率相等也可以不同，優(yōu)選與上述共振頻率不同。即，優(yōu)選以非共振方式驅(qū)動光掃描儀1。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)光掃描儀1的更穩(wěn)定的驅(qū)動?！蠢@X軸的轉(zhuǎn)動〉接著，根據(jù)圖10對可動板2的繞X軸的轉(zhuǎn)動進行說明。另外，圖10是與沿著圖3 中的B-B線的剖視圖對應(yīng)的剖視圖。首先，以第一狀態(tài)和第二狀態(tài)交替地周期性地轉(zhuǎn)換的方式從電源823、843對線圈 822,842施加交變電壓，在第一狀態(tài)下，線圈822的永磁鐵821側(cè)為N極、線圈842的永磁鐵 841側(cè)為S極，在第二狀態(tài)下，線圈822的永磁鐵821側(cè)為S極、線圈842的永磁鐵841側(cè)為 N極。優(yōu)選從電源823、843對線圈822、842施加的交變電壓相互為相同的波形(強度和頻率相同)。與上述的可動板2的繞轉(zhuǎn)動中心軸Yl的轉(zhuǎn)動同樣，在圖10(a)所示的狀態(tài)下，連結(jié)部5的第一軸部52在位于其中途的應(yīng)力緩和部521以呈朝下側(cè)凸出的V字狀的方式彎折變形(第一變形)，同時，連結(jié)部7的第一軸部72在位于其中途的應(yīng)力緩和部721以呈朝上側(cè)凸出的V字狀的方式彎折變形(第二變形)，由此，可動板2以轉(zhuǎn)動中心軸Xl為中心朝圖10(a)中的逆時針方向傾斜。另一方面，圖10(b)所示的第二狀態(tài)下，產(chǎn)生與上述的第一狀態(tài)相反的變形。艮口， 在第二狀態(tài)下，連結(jié)部5的第一軸部51在應(yīng)力緩和部521以呈朝上側(cè)凸出的V字狀的方式彎折變形(第二變形)，同時，連結(jié)部7的第一軸部72在應(yīng)力緩和部721以呈朝下側(cè)凸出的 V字狀的方式彎折變形(第一變形)，由此，可動板2以轉(zhuǎn)動中心軸Xl為中心朝圖10(b)中的逆時針方向傾斜。
通過交替地周期性地切換上述的第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，能夠使可動板2繞轉(zhuǎn)動中心軸Xl轉(zhuǎn)動。另外，通過連結(jié)部4、6所具有的可動板側(cè)軸部422、622的繞其中心軸的扭轉(zhuǎn)變形，允許可動板2的繞轉(zhuǎn)動中心軸Xl的轉(zhuǎn)動。另外，作為對線圈822、842施加的交變電壓的頻率，并無特殊限定，可以與由可動板2和連結(jié)部4、5、6、7構(gòu)成的振動系統(tǒng)的共振頻率相等也可以不同，優(yōu)選與上述共振頻率不同。即，優(yōu)選以非共振方式驅(qū)動光掃描儀1。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)光掃描儀1的更穩(wěn)定的驅(qū)動。<繞X軸和Y軸的各軸的轉(zhuǎn)動>通過同時且獨立地進行如前面所述的繞X軸的轉(zhuǎn)動和繞Y軸的轉(zhuǎn)動，能夠使可動板2繞轉(zhuǎn)動中心軸Yl和轉(zhuǎn)動中心軸Xl的各軸二維地轉(zhuǎn)動。如前面所述，通過可動板側(cè)軸部522、722繞其中心軸扭轉(zhuǎn)變形，允許可動板2的繞轉(zhuǎn)動中心軸Yl的轉(zhuǎn)動，通過可動板側(cè)軸部422、622繞其中心軸扭轉(zhuǎn)變形，允許可動板2的繞轉(zhuǎn)動中心軸Xl的轉(zhuǎn)動。在繞X軸和Y軸的各軸的轉(zhuǎn)動中，作為對線圈812、822、832、842施加的交變電壓的頻率，并無特殊限定，可以與由可動板2和連結(jié)部4、5、6、7構(gòu)成的振動系統(tǒng)的共振頻率相等也可以不同，優(yōu)選與上述共振頻率不同。即，優(yōu)選以非共振方式驅(qū)動光掃描儀1。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)光掃描儀1的更穩(wěn)定的驅(qū)動。并且，為了使可動板2繞轉(zhuǎn)動中心軸Yl轉(zhuǎn)動而對線圈812、832施加的交變電壓的頻率與為了使可動板2繞轉(zhuǎn)動中心軸Xl轉(zhuǎn)動而對線圈822、842施加的交變電壓的頻率可以相等也可以不同。例如，在想要使可動板2繞轉(zhuǎn)動中心軸Xl比繞轉(zhuǎn)動中心軸Yl更快地轉(zhuǎn)動的情況下，可以將對線圈812、832施加的交變電壓的頻率設(shè)定的比對線圈822、842施加的交變電壓的頻率高。并且，對線圈812、832施加的交變電壓的強度和對線圈822、842施加的交變電壓的強度可以相等也可以不同。例如，在想要使可動板2繞轉(zhuǎn)動中心軸Xl比繞轉(zhuǎn)動中心軸 Yl更大幅度地轉(zhuǎn)動的情況下，可以使對線圈812、832施加的交變電壓的強度比對線圈822、 842施加的交變電壓的強度強。上面說明了對線圈812、822、832、842施加交變電壓的驅(qū)動方法，但是，也可以利用下面的驅(qū)動方法使可動板2轉(zhuǎn)動。S卩，可以對從電源813、823、833、843對線圈812、822、 832、842施加的交變電壓重疊(+)或者(-)的偏置電壓(直流電壓)。換言之，可以使永磁鐵811、821、831、841的N極被向線圈812、822、832、842吸引的強度(以下僅稱為“N極吸引強度”)和永磁鐵811、821、831、841的S極被向線圈812、822、832、842吸引的強度(以下僅稱為“S極吸引強度”)不同。以下進行具體說明，將前面所述的N極吸引強度和S極吸引強度相等的狀態(tài)稱為 “通常狀態(tài)”。在線圈812、822、832、842的S極吸引強度比N極吸引強度大的情況下，與通常狀態(tài)相比較，驅(qū)動板41、51、61、71的轉(zhuǎn)動的上死點和下死點(轉(zhuǎn)動方向轉(zhuǎn)換的點)分別朝上側(cè)移動。結(jié)果，如圖11所示，可動板2的轉(zhuǎn)動中心軸Yl比通常狀態(tài)朝上側(cè)移動。相反，在線圈812、822、832、842的S極吸引強度比N極吸引強度弱的情況下，與通常狀態(tài)相比較，驅(qū)動板41、51、61、71的轉(zhuǎn)動的上死點和下死點分別朝下側(cè)移動。結(jié)果，可動板2的轉(zhuǎn)動中心軸Yl比通常狀態(tài)朝下側(cè)移動。這樣，通過對從電源813、823、833、843對線圈812、822、832、842施加的交變電壓重疊偏置電壓，能夠使可動板2的轉(zhuǎn)動中心軸X1、Y1在Z軸方向偏移。由此，例如在圖像形成裝置100中，即便在裝配該圖像形成裝置100之后也能夠調(diào)整從光源單元200射出的激光LL距離可動板2的光路長度。即，當(dāng)裝配圖像形成裝置100時，雖然精密地進行了光源單元200與可動板2的定位，但是，即便是在假設(shè)光源單元200和可動板2的位置相對于設(shè)定值偏移的情況下，也能夠在裝配后對光源單元200和可動板2的位置進行補正。[振動]首先，以第一狀態(tài)和第二狀態(tài)交替地周期性地轉(zhuǎn)換的方式從電源813、823、833、 843對線圈812、822、832、842施加交變電壓，在第一狀態(tài)下，線圈812、822、832、842的永磁鐵811、821、831、841側(cè)分別為N極，在第二狀態(tài)下，線圈812、822、832、842的永磁鐵811、
821、831、841側(cè)分別為S極。優(yōu)選從電源813、823、833、843對線圈812、822、832、842施加的交變電壓相互為相同的波形。在圖12(a)所示的第一狀態(tài)下，與前面所述的轉(zhuǎn)動的情況同樣，驅(qū)動板41、51、61、 71分別以上表面朝向可動板2側(cè)的方式繞轉(zhuǎn)動中心軸Υ2、Χ2、Υ3、Χ3傾斜。伴隨著驅(qū)動板 41、51、61、71的這種傾斜，驅(qū)動板側(cè)軸部423、523、623、723分別以可動板2側(cè)的端部朝向下側(cè)的位置的方式傾斜。由此，第一軸部42、52、62、72在應(yīng)力緩和部421、521、621、721彎折， 可動板側(cè)軸部422、522、622、722和可動板2 —體地且在將可動板2的姿態(tài)(即面方向)保持為一定的姿態(tài)的狀態(tài)下朝下側(cè)移動。另一方面，在圖12(b)所示的第二狀態(tài)下，驅(qū)動板41、51、61、71分別以下表面朝向可動板2側(cè)的方式繞轉(zhuǎn)動中心軸Y2、X2 J3、X3傾斜。伴隨著驅(qū)動板41、51、61、71的這種傾斜，驅(qū)動板側(cè)軸部423、523、623、723分別以可動板2側(cè)的端部朝向上側(cè)的方式傾斜。由此， 第一軸部42、52、62、72在應(yīng)力緩和部421、521、621、721彎折，可動板側(cè)軸部422、522、622、 722和可動板2 —體地且在將可動板2的姿態(tài)保持為一定的姿態(tài)的狀態(tài)下朝上側(cè)移動。通過交替地轉(zhuǎn)換這種第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，能夠使可動板2在保持其姿態(tài)的同時、即保持光反射部22的表面與X-Y平面平行的同時在Z軸方向振動。另外，作為對線圈812、822、832、842施加的交變電壓的頻率并無特殊限定，可以與由可動板2和連結(jié)部4、5、6、7構(gòu)成的振動系統(tǒng)的共振頻率相等也可以不同，優(yōu)選與上述共振頻率相等。即，優(yōu)選以共振方式驅(qū)動光掃描儀1。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)光掃描儀1的更穩(wěn)定的驅(qū)動。即便是這種振動圖案，與前面所述的轉(zhuǎn)動圖案同樣，也能夠通過對施加于線圈 812、822、832、842的交變電壓重疊偏置電壓而使其從自然狀態(tài)在Z軸方向移動而使可動板 2振動。[靜止]例如，以形成線圈812、822、832、842的永磁鐵811、821、831、841側(cè)分別為N極的狀態(tài)的方式從電源813、823、833、843對線圈812、822、832、842施加直流電壓。優(yōu)選從813、 823、833、843對線圈812、822、832、842施加的直流電壓相互為相同的強度。當(dāng)對線圈812、
822、832、842施加這種電壓時，可動板2在如圖12(a)所示的狀態(tài)靜止。相反，當(dāng)以形成線圈812、822、832、842的永磁鐵811、821、831、841側(cè)分別為S極的狀態(tài)的方式從電源813、823、833、843對線圈812、822、832、842施加直流電壓時，可動板 2在如圖12(b)所示的狀態(tài)靜止。
這樣，能夠?qū)⒖蓜影?維持在與自然狀態(tài)不同的位置。根據(jù)這種驅(qū)動，例如能夠使由光反射部22反射的激光LL的光路相對于自然狀態(tài)時偏移，因此例如當(dāng)將光掃描儀1作為光開關(guān)利用時特別有效。并且，例如在圖像形成裝置100中，在由于從光源單元200射出異常的激光LL等的原因而不得不停止朝裝置外部射出激光LL的情況下，通過使可動板2退避至與自然狀態(tài)不同的位置(不與激光LL的光路交叉的位置)，能夠防止由光反射部22引起的激光LL的反射。由此，能夠防止朝裝置外部射出激光LL。并且，也可以通過使可動板2變位來變更由光反射部22反射的激光LL的光路，由此來防止朝裝置外部射出激光LL。由此，可以不另外組裝用于解決這種問題的安全機構(gòu)，圖像形成裝置100的制造工序簡單化，并且能夠削減制造成本。通過應(yīng)用這種可動板2的靜止驅(qū)動，并使對線圈812、822、832、842施加的直流電壓的強度相互不同，能夠以相對于自然狀態(tài)傾斜的狀態(tài)維持可動板2。并且，通過使對線圈 812、822、832、842施加的直流電壓的強度分別獨立且隨時間推移而變化，能夠使可動板2 連續(xù)地或者階段性地不規(guī)則地變位。這種驅(qū)動方法在前面所述的通過矢量掃描來掃描激光 LL時是有效的。以上對光掃描儀1的驅(qū)動進行了詳細(xì)說明。在這種光掃描儀1中，能夠以相同的機構(gòu)進行可動板2的繞轉(zhuǎn)動中心軸Yl的轉(zhuǎn)動和繞轉(zhuǎn)動中心軸Xl的轉(zhuǎn)動。并且，在光掃描儀1中，能夠獨立地進行可動板2的繞轉(zhuǎn)動中心軸Yl的轉(zhuǎn)動和繞轉(zhuǎn)動中心軸Xl的轉(zhuǎn)動。即、在光掃描儀1中，繞轉(zhuǎn)動中心軸Yl的轉(zhuǎn)動不會受繞轉(zhuǎn)動中心軸Xi的轉(zhuǎn)動的影響，相反，繞轉(zhuǎn)動中心軸Xi的轉(zhuǎn)動也不會受繞轉(zhuǎn)動中心軸Yl的轉(zhuǎn)動的影響。因此，根據(jù)光掃描儀1，能夠使可動板2繞轉(zhuǎn)動中心軸Yl和轉(zhuǎn)動中心軸Xi的各軸穩(wěn)定地轉(zhuǎn)動。并且，如前面所述，在光掃描儀1中，通過可動板側(cè)軸部522、722繞其中心軸扭轉(zhuǎn)變形，允許可動板2的繞轉(zhuǎn)動中心軸Yl的轉(zhuǎn)動，通過可動板側(cè)軸部422、622繞其中心軸扭轉(zhuǎn)變形，允許可動板2的繞轉(zhuǎn)動中心軸Xl的轉(zhuǎn)動。這樣，由于各連結(jié)部4、5、6、7具有能夠繞中心軸扭轉(zhuǎn)變形的可動板側(cè)軸部422、522、622、722，因此能夠使可動板2繞轉(zhuǎn)動中心軸 YUXl的各軸順暢地轉(zhuǎn)動。進一步，在光掃描儀1中，由于可動板側(cè)軸部422、522、622、722直接與可動板2連結(jié)，因此能夠更順暢地使可動板2繞轉(zhuǎn)動中心軸Y1、X1的各軸轉(zhuǎn)動、或者朝Z軸方向振動。并且，在光掃描儀1中，在連結(jié)部4中，如前面所述，在扭轉(zhuǎn)變形的可動板側(cè)軸部 422和不想使其變形的驅(qū)動板側(cè)軸部423之間設(shè)置有應(yīng)力緩和部421。因此，由上述的扭轉(zhuǎn)變形而產(chǎn)生的應(yīng)力通過應(yīng)力緩和部421的變形部4211、4212或連接部4214、4215變形而被吸收/緩和，不會傳遞到驅(qū)動板側(cè)軸部423。即，通過設(shè)置應(yīng)力緩和部421，能夠可靠地防止在可動板2的轉(zhuǎn)動中驅(qū)動板側(cè)軸部423繞其中心軸扭轉(zhuǎn)變形。該情況對于連結(jié)部4以外的其他的連接部5、6、7也同樣。因此，能夠使可動板2繞轉(zhuǎn)動中心軸Yl、Xl的各軸順暢地轉(zhuǎn)動。進一步，能夠有效地防止各驅(qū)動板側(cè)軸部423、523、623、723的破壞。即，從技術(shù)上可以清楚，在棒狀的部件中，從產(chǎn)生繞中心軸的扭轉(zhuǎn)變形的狀態(tài)施加Z軸方向的應(yīng)力時的破壞強度比從自然狀態(tài)施加Z軸方向的應(yīng)力時的破壞強度低。因此，如上所述，通過設(shè)置應(yīng)力緩和部421、521、621、721而使驅(qū)動板側(cè)軸部423、523、623、723不產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)變形，能夠有效地防止驅(qū)動板側(cè)軸部423、523、623、723的破壞。并且，在連結(jié)部4中，由于驅(qū)動板側(cè)軸部423實質(zhì)上并不變形，因此能夠高效地將通過驅(qū)動板41的轉(zhuǎn)動產(chǎn)生的應(yīng)力用于可動板2的轉(zhuǎn)動。該情況對于連結(jié)部5、6、7也同樣。 因此，能夠使可動板2以大的轉(zhuǎn)動角度且節(jié)省電力地轉(zhuǎn)動、或者使可動板2以大的振幅在Z 軸方向振動。并且，在連結(jié)部4中，由于應(yīng)力緩和部421具有非變形部4213，因此，能夠使第一軸部42以該非變形部4213為軸彎折。該情況對于連結(jié)部5、6、7也同樣。因此，能夠使各連結(jié)部4、5、6、7的第一軸部42、52、62、72簡單且可靠地彎折，能夠使可動板2穩(wěn)定地轉(zhuǎn)動、振動。并且，在連結(jié)部4中，應(yīng)力緩和部421具有與可動板側(cè)軸部422連結(jié)的變形部4211 和與驅(qū)動板側(cè)軸部423連結(jié)的變形部4212，當(dāng)?shù)谝惠S部42彎折時，變形部4211、4212繞其中心軸扭轉(zhuǎn)變形，由此，能夠有效地緩和由于彎折而產(chǎn)生的應(yīng)力。該情況對于連結(jié)部5、6、7 也同樣。因此，能夠可靠地使各連結(jié)部4、5、6、7的第一軸部42、52、62、72彎折，并且，能夠防止第一軸部42、52、62、72的破壞。即，能夠穩(wěn)定地驅(qū)動光掃描儀1。并且，在連結(jié)部4中，由于應(yīng)力緩和部421具有一對變形部4211、4212，因此能夠發(fā)揮如下的效果。即，例如，通過變形部4211、4212變形，能夠允許由通過通電從線圈812產(chǎn)生的熱或照射在光反射部22的激光LL產(chǎn)生的熱等引起的可動板側(cè)軸部422和驅(qū)動板側(cè)軸部423的熱膨脹。該情況對于連結(jié)部5、6、7也同樣。因此，光掃描儀1能夠防止或者抑制應(yīng)力殘留于振動系統(tǒng)11，能夠不受溫度影響地發(fā)揮期望的振動特性。此處，返回對光掃描儀1的結(jié)構(gòu)的說明，對于連結(jié)部4、6，當(dāng)將轉(zhuǎn)動中心軸Yl與非變形部4213的中心軸W之間的間隔距離以及轉(zhuǎn)動中心軸Yl與非變形部6213的中心軸TO 之間的間隔距離分別設(shè)為Li、將中心軸W與轉(zhuǎn)動中心軸Y2之間的間隔距離以及中心軸TO 與轉(zhuǎn)動中心軸TO之間的間隔距離設(shè)為L2時，Ll與L2的大小關(guān)系并無特殊限定，可以滿足 Ll > L2的關(guān)系，也可以滿足Ll = L2的關(guān)系，也可以滿足Ll < L2的關(guān)系。在Ll = L2的情況下，當(dāng)使可動板2繞轉(zhuǎn)動中心軸Yl轉(zhuǎn)動時、即第一軸部42彎折時的可動板側(cè)軸部422相對于X軸的傾斜和驅(qū)動板側(cè)軸部423相對于X軸的傾斜相等。因此，在該情況下，在應(yīng)力緩和部421的一對變形部4211、4212施加有大致相等的扭矩。并且， 驅(qū)動板41的轉(zhuǎn)動角和可動板2的轉(zhuǎn)動角大致相等。該情況對于連結(jié)部6的第一軸部62也同樣。因此，能夠更高效地使第一軸部42、62彎折。并且，由于容易進行可動板2的轉(zhuǎn)動角的控制，因此能夠使可動板2繞轉(zhuǎn)動中心軸Yl穩(wěn)定地轉(zhuǎn)動等。并且，如前面所述，在Ll = L2的情況下，在變形部4211、4212施加有大致相等的扭矩，因此，優(yōu)選構(gòu)成為變形部4211、4212相互顯示相同的形狀、且顯示相同的物理特性 (扭轉(zhuǎn)變形的容易度)。由此，能夠防止在變形部4211、4212中的某一方產(chǎn)生過度的扭轉(zhuǎn)、 或者與此相反某一方的扭轉(zhuǎn)不足，能夠使第一軸部42順暢地彎折。該情況對于連結(jié)部6也同樣。在Ll > L2的情況下，與Ll = L2的情況相比較，可動板2的轉(zhuǎn)動角變小，但是能夠更高精度地對可動板2的姿態(tài)進行控制。即，在該情況下，第一軸部42彎折時的可動板側(cè)軸部422相對于X軸的傾斜比驅(qū)動板側(cè)軸部423相對于X軸的傾斜小。該情況對于連結(jié)部6也同樣。因此，可動板2的轉(zhuǎn)動角比驅(qū)動板41、61的轉(zhuǎn)動角小。由此，能夠高精度地對可動板2的轉(zhuǎn)動角或靜止時的傾斜進行控制。并且，如前面所述，在Ll > L2的情況下，第一軸部42彎折時的驅(qū)動板側(cè)軸部423 相對于X軸的傾斜比可動板側(cè)軸部422相對于X軸的傾斜大，因此施加于變形部4212的扭矩比施加于變形部4211的扭矩大。因此，在該情況下，優(yōu)選構(gòu)成為變形部4212比變形部 4211容易扭轉(zhuǎn)變形。具體地說，例如優(yōu)選使變形部4212的寬度比扭轉(zhuǎn)變形部4211的寬度細(xì)。這是因為，如前面所述，連結(jié)部4通過在SOI基板500的厚度方向?qū)OI基板500進行蝕刻而形成，因此能夠簡單且無需增加工序地對與SOI基板500的面方向一致的寬度的控制。該情況對于連結(jié)部6也同樣。在Ll < L2的情況下，與Ll = L2的情況相比較，能夠增大可動板2的轉(zhuǎn)動角。即、 在該情況下，第一軸部42彎折時的可動板側(cè)軸部422相對于X軸的傾斜比驅(qū)動板側(cè)軸部 423相對于X軸的傾斜大。該情況對于連結(jié)部6也同樣。因此，能夠使可動板2的轉(zhuǎn)動角比驅(qū)動板41、61的轉(zhuǎn)動角大。由此，能夠增大可動板2的轉(zhuǎn)動角或靜止時的傾斜。并且，在Ll < L2的情況下，與Ll > L2的情況相反，優(yōu)選構(gòu)成為變形部4211比變形部4212容易扭轉(zhuǎn)變形。該情況對于連結(jié)部6也同樣。以上對連結(jié)部4、6進行了說明，但是，對于連結(jié)部5、7也可以說是同樣的情況。即， 當(dāng)設(shè)轉(zhuǎn)動中心軸Xl與非變形部5213的中心軸Xl之間的間隔距離以及轉(zhuǎn)動中心軸Xl與非變形部7213的中心軸)(5之間的間隔距離分別為L3、設(shè)中心軸X4與轉(zhuǎn)動中心軸X2之間的間隔距離和中心軸X5與轉(zhuǎn)動中心軸X3之間的間隔距離分別為L4時，L3和L4的大小關(guān)系并無特殊限定，可以滿足L3 > L4的關(guān)系，也可以滿足L3 = L4的關(guān)系，也可以滿足L3 < L4 的關(guān)系。另外，L3 > L4、L3 = L4、以及L3 < L4的情況下的效果分別與上述的Ll > L2、L1 =L2、以及Ll < L2的情況下的效果同樣，因此省略說明。L1、L2的關(guān)系和L3、L4的關(guān)系可以一致，也可以不一致。S卩，可以是Ll = L2且L3 =L4、L1 > L2 且 L3 > L4、L1 < L2 且 L3 < L4,也可以是 Ll = L2 且 L3 > L4、L1 > L2 且 L3 = L4、L1 > L2且L3 < L4等。并且，Ll和L3以及L2和L4也可以分別相等或者不同。這樣，在光掃描儀1中，通過使L1、L2、L3、L4的長度或關(guān)系變化，能夠發(fā)揮不同的效果。因此，光掃描儀1具有優(yōu)異的便利性。另外，L1、L2、L3、L4的長度或關(guān)系可以根據(jù)光掃描儀1的使用用途(所謀求的特性)適當(dāng)設(shè)定。(驅(qū)動構(gòu)件300)其次，對驅(qū)動構(gòu)件300進行說明。 如圖13所示，在圖像形成裝置100中，光源單元200和光掃描儀1由支承部400支承。該支承部400具有軸部410，該軸部410經(jīng)由軸承420安裝于安裝部430。安裝部430 例如固定設(shè)置于圖像形成裝置100的框體(未圖示)。進而，驅(qū)動構(gòu)件300使光源單元200 和光掃描儀1與支承部400 —起繞預(yù)定的軸線J轉(zhuǎn)動。通過以這種方式使光源單元200和光掃描儀1 一體地轉(zhuǎn)動，能夠在確保光源單元200和可動板2 (轉(zhuǎn)動中心軸X1、Y1的交點) 的相對位置關(guān)系的狀態(tài)下、即無需進行光源單元200和光掃描儀1的對準(zhǔn)調(diào)整的狀態(tài)下變更激光LL的掃描區(qū)域(顯示圖像的區(qū)域)。 另外，預(yù)定的軸線J例如能夠以與光掃描儀1的轉(zhuǎn)動中心軸XI、Yl的任一方正交的方式設(shè)置，也能夠以不與任一方正交且也不與任一方平行的方式設(shè)置。
驅(qū)動構(gòu)件310由第一齒輪310、第二齒輪320、以及電動機330構(gòu)成，第一齒輪310 設(shè)置于前面所述的支承部400，第二齒輪320與該第一齒輪310嚙合，電動機330使第二齒輪320旋轉(zhuǎn)。第一齒輪310具有沿著軸部410的周方向形成的多個齒。另一方面，第二齒輪320安裝于電動機330的軸部331，且具有沿著軸部331的周方向形成的多個齒，該齒與第一齒輪310嚙合。電動機330安裝于安裝部430，使第二齒輪320旋轉(zhuǎn)。更具體地說明，如圖14(a) 所示，電動機330通過使第二齒輪320朝逆時針方向旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度而使支承部400繞軸部 410朝順時針方向旋轉(zhuǎn)，從而成為第一狀態(tài)。另一方面，如圖14(b)所示，電動機330通過使第二齒輪320朝順時針方向旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度而使支承部400繞軸部410朝逆時針方向旋轉(zhuǎn)， 從而成為第二狀態(tài)。具備這種電動機330的驅(qū)動構(gòu)件300能夠使圖像形成裝置比較簡單且廉價。以上對圖像形成裝置100的結(jié)構(gòu)進行了說明。在這種圖像形成裝置100中，由于設(shè)置有驅(qū)動構(gòu)件300，因此，如以下詳細(xì)敘述的那樣，能夠?qū)⒐鈷呙鑳x1設(shè)置在投影屏S的附近，并且能夠增大可掃描(照射)激光LL的區(qū)域(光掃描區(qū)域)。S卩，如圖15所示，例如在以不對驅(qū)動構(gòu)件300進行驅(qū)動的方式固定支承部400的狀態(tài)下能夠利用光掃描儀1掃描激光LL的區(qū)域為Si，與此相對，能夠一邊對驅(qū)動構(gòu)件300 進行驅(qū)動而使支承部400轉(zhuǎn)動一邊利用光掃描儀1掃描激光LL的區(qū)域為S2。這樣，根據(jù)圖像形成裝置100，與以往的圖像形成裝置(未設(shè)置驅(qū)動構(gòu)件300的圖像形成裝置)相比較， 能夠增大光掃描區(qū)域。并且，圖像形成裝置100能夠通過適當(dāng)?shù)卦O(shè)定是否對驅(qū)動構(gòu)件300 進行驅(qū)動、在進行驅(qū)動的情況下使支承部400的轉(zhuǎn)動角為多少度而使光掃描區(qū)域的大小在 Sl到S2之間適當(dāng)變更，在這方面便利性優(yōu)異。這種圖像形成裝置100例如以下述方式在投影屏S顯示圖像。如圖15所示，當(dāng)想要在投影屏S上顯示“SEIKO EPSON”的文字列的情況下，圖像形成裝置100對驅(qū)動構(gòu)件 300進行驅(qū)動而使支承部400轉(zhuǎn)動，同時，與該支承部400的轉(zhuǎn)動同步地從光源單元200射出期望的顏色的激光LL并利用光掃描儀1進行矢量掃描，由此在投影屏S上顯示“SEIKO EPSON”的文字列。此時，光掃描儀1使可動板2繞轉(zhuǎn)動中心軸X1、Y1的各軸不規(guī)則地轉(zhuǎn)動， 以描繪“SEIKO EPSON”的各文字的方式、或者以描繪各文字的輪廓的方式掃描激光LL。根據(jù)這種掃描方法(矢量掃描)，能夠僅對想要照射激光LL的區(qū)域掃描激光，因此能夠高效地在投影屏S上顯示圖像。<第二實施方式>其次，對本發(fā)明的圖像形成裝置的第二實施方式進行說明。圖16是本發(fā)明所涉及的第二實施方式的圖像形成裝置所具有的光掃描儀的俯視圖。以下，對于第二實施方式的圖像形成裝置，以與前面所述的實施方式的圖像形成裝置的不同點為中心進行說明，省略對同樣的事項的說明。第二實施方式的圖像形成裝置除了光掃描儀所具有的線圈固定部的結(jié)構(gòu)不同以外都與第一實施方式的圖像形成裝置大致同樣。另外，對與前面所述的第一實施方式同樣的結(jié)構(gòu)賦予同一標(biāo)號。在本實施方式的光掃描儀1中，線圈固定部85A具有以包圍線圈812和永磁鐵811的方式(使與第一軸部42相應(yīng)的部分缺損)形成的主體部852A。這種主體部852A使從線圈812產(chǎn)生的磁力作用于永磁鐵811，并防止或者抑制從線圈812產(chǎn)生的磁力漏出至線圈固定部85A的外側(cè)。即，主體部852A具有防磁性。由此，例如能夠防止從線圈812產(chǎn)生的磁場作用于相反側(cè)的永磁鐵821、831、841，能夠穩(wěn)定地驅(qū)動光掃描儀1。主體部852A的結(jié)構(gòu)只要能夠發(fā)揮前面所述的效果即可，并無特殊限定，例如，可以由防磁性的材料構(gòu)成，也可以在表面涂敷防磁性的涂料。另外，用于固定線圈822、832、842的未圖示的線圈固定部也是與線圈固定部85A 同樣的結(jié)構(gòu)。根據(jù)這種第二實施方式，能夠發(fā)揮與第一實施方式同樣的效果。<第三實施方式>其次，對本發(fā)明的圖像形成裝置的第三實施方式進行說明。圖17是本發(fā)明所涉及的第三實施方式的圖像形成裝置所具有的光掃描儀的平面圖。以下，對于第三實施方式的圖像形成裝置，以與前面所述的圖像形成裝置的不同點為中心進行說明，省略對同樣的事項的說明。第三實施方式的圖像形成裝置除了光掃描儀所具有的變位構(gòu)件的結(jié)構(gòu)不同以外都與前面所述的圖像形成裝置大致同樣。另外，在本實施方式中，變位構(gòu)件所具有的第一變位構(gòu)件、第二變位構(gòu)件、第三變位構(gòu)件、以及第四變位構(gòu)件的結(jié)構(gòu)相互為同樣的結(jié)構(gòu)，因此以第一變位構(gòu)件為代表進行說明，省略對第二變位構(gòu)件、第三變位構(gòu)件、以及第四變位構(gòu)件的說明。并且，對與前面所述的第一實施方式同樣的結(jié)構(gòu)賦予同一標(biāo)號。如圖17所示，第一變位構(gòu)件81B具有永磁鐵811B、線圈812B、以及電源8i;3B。永磁鐵811B呈平板狀，且固定于驅(qū)動板41的下表面(位于基座12側(cè)的面)。并且，永磁鐵 811B在固定于驅(qū)動板41的狀態(tài)下以S極和N極相對于轉(zhuǎn)動中心軸Y2對置的方式設(shè)置。線圈812B設(shè)置在永磁鐵811B的下側(cè)。該線圈812B能夠通過從電源81 施加電壓而產(chǎn)生X軸方向的磁場。進而，利用從線圈812B產(chǎn)生的磁場的作用吸引永磁鐵811B的 S極和N極中的一方，并使另一方遠(yuǎn)離線圈812B，由此能夠使驅(qū)動板41繞轉(zhuǎn)動中心軸Y2傾斜。根據(jù)這種第三實施方式，能夠發(fā)揮與第一實施方式同樣的效果。〈第四實施方式〉其次，對本發(fā)明的圖像形成裝置的第四實施方式進行說明。圖18是本發(fā)明所涉及的第四實施方式的圖像形成裝置所具有的光掃描儀的立體圖。以下，對于第四實施方式的圖像形成裝置，以與前面所述的實施方式的圖像形成裝置的不同點為中心進行說明，省略對同樣的事項的說明。第四實施方式的圖像形成裝置除了光掃描儀所具有的各連結(jié)部的應(yīng)力緩和部的非變形部的結(jié)構(gòu)不同以外都與前面所述的圖像形成裝置同樣。另外，在本實施方式中，由于各連結(jié)部4、5、6、7中的非變形部的結(jié)構(gòu)相互為同樣的結(jié)構(gòu)，因此以連結(jié)部4為代表進行說明，省略對連結(jié)部5、6、7的說明。并且，對與前面所述的第一實施方式同樣的結(jié)構(gòu)賦予同一標(biāo)號。
如圖18所示，在連結(jié)部4C的應(yīng)力緩和部421C設(shè)置有一對非變形部4213C。一對非變形部4213C相互在Y軸方向離開，且位于與Y軸平行的1條軸線上。在這種結(jié)構(gòu)的連結(jié)部4C中，也能夠使第一軸部42C以連結(jié)一對非變形部4213C的線段為軸局部地彎折。根據(jù)這種第四實施方式，也能夠發(fā)揮與第一實施方式同樣的效果。<第五實施方式>其次，對本發(fā)明的圖像形成裝置的第五實施方式進行說明。圖19是本發(fā)明所涉及的第五實施方式的圖像形成裝置所具有的光掃描儀的剖視圖。以下，對于第五實施方式的圖像形成裝置，以與前面所述的實施方式的圖像形成裝置的不同點為中心進行說明，省略對同樣的事項的說明。第五實施方式的圖像形成裝置除了光掃描儀所具有的振動系統(tǒng)的朝向和可動板的結(jié)構(gòu)不同以外都與前面所述的圖像形成裝置大致同樣。另外，對與前面所述的第一實施方式同樣的結(jié)構(gòu)賦予同一標(biāo)號。如圖19所示，在本實施方式中，振動系統(tǒng)11的朝向與前面所述的實施方式相反。 即，以在前面所述的實施方式中位于基座12側(cè)的面在本實施方式中位于基座12的相反側(cè)、 在前面的實施方式中位于基座12的相反側(cè)的面在本實施方式中位于基座12側(cè)的方式設(shè)置。并且，在本實施方式中，可動板2D具有與各連結(jié)部4、5、6、7連結(jié)的基部23D和經(jīng)由柱部MD固定于基部23D的光反射板25D。在這種可動板2D中，光反射部22設(shè)置在光反射板25D的上表面。通過將可動板2形成為這種結(jié)構(gòu)，能夠防止光掃描儀1的大型化，并且能夠增大光反射部22的面積。由此，能夠利用光反射部22反射光束更粗的激光LL。并且，能夠使通過光反射部22處的光反射產(chǎn)生的熱難以傳遞到各連結(jié)部M、5、6、7，能夠抑制連結(jié)部4、5、6、7的熱膨脹。從防止朝向各連結(jié)部4、5、6、7的熱傳遞的觀點出發(fā)，可以利用具有優(yōu)異的絕熱性的材料構(gòu)成柱部MD。另外，作為光反射板25D的形狀和大小，只要不阻礙光掃描儀1的驅(qū)動即可，可以是任意的形狀和大小，例如，優(yōu)選為在X軸方向收納在一對非變形部4213、6213之間、在Y 軸方向收納在一對非變形部5213、7213之間的形狀和大小。由此，當(dāng)各連結(jié)部4、5、6、7的第一軸部42、52、62、72彎折時，能夠可靠地防止驅(qū)動板側(cè)軸部423、523、623、723中的某一個與光反射板25D接觸。具體地說，作為光反射板25D的俯視形狀，例如優(yōu)選為直徑比一對變形部4213、 6213之間的間隔距離小的圓形。并且，優(yōu)選為X軸方向的長度比一對非變形部4213、6213 之間的間隔距離短、且Y軸方向的長度比一對非變形部5213、7213之間的間隔距離短的矩形。根據(jù)這種第五實施方式，能夠發(fā)揮與第一實施方式同樣的效果。<第六實施方式>其次，對本發(fā)明的圖像形成裝置的第六實施方式進行說明。圖20是示出本發(fā)明的第六實施方式所涉及的圖像形成裝置所具有的光掃描儀的平面圖，圖21是圖20所示的光掃描儀所具有的連結(jié)部的放大立體圖。以下，對于第六實施方式的圖像形成裝置，以與前面所述的實施方式的圖像形成裝置的不同點為中心進行說明，省略對同樣的事項的說明。第六實施方式的圖像形成裝置除了光掃描儀所具有的應(yīng)力緩和部的結(jié)構(gòu)不同以外都與前面所述的光掃描儀大致同樣。另外，對與前面所述的第一實施方式同樣的結(jié)構(gòu)賦予同一標(biāo)號。如圖20所示，各連結(jié)部4、5、6、7所具有的應(yīng)力緩和部421E、521E、621E、721E分別呈以在X軸方向和Y軸方向交替延伸的方式曲折的蜿蜒(meander)構(gòu)造。這些應(yīng)力緩和部 421E、521E、621E、721E相互為同樣的結(jié)構(gòu)，因此，以下以應(yīng)力緩和部421E為代表進行說明， 省略對其他的應(yīng)力緩和部521E、621E、721E的說明。如圖21所示，應(yīng)力緩和部421E具有第一延伸部4211E，該第一延伸部4211E與可動板側(cè)軸部422連接，且在X軸方向延伸；第二延伸部4212E，該第二延伸部4212E從第一延伸部421IE的端部朝Y軸方向延伸；第三延伸部4213E，該第三延伸部4213E從第二延伸部4212E的端部朝X軸方向延伸；第四延伸部4214E，該第四延伸部4214E從第三延伸部 4213E的端部朝Y軸方向延伸；第五延伸部4215E，該第五延伸部4215E從第四延伸部4214E 的端部朝X軸方向延伸；第六延伸部4216E，該第六延伸部4216E從第五延伸部4215E的端部朝Y軸方向延伸；以及第七延伸部4217E，該第七延伸部4217E從第六延伸部4216E的端部朝X軸方向延伸，并與驅(qū)動板側(cè)軸部423連接。在X軸方向延伸的4個延伸部4211E、4213E、4215E、以及4217E中的第一延伸部 4211E和第七延伸部4217E分別在XY俯視圖中設(shè)置在轉(zhuǎn)動中心軸Xl上，第三延伸部4213E 和第五延伸部4215E在XY俯視圖(圖15的俯視圖)中相對于轉(zhuǎn)動中心軸Xl相互設(shè)置在相反側(cè)。另外，優(yōu)選第三延伸部4213E和第五延伸部4215E距離轉(zhuǎn)動中心軸Xl的間隔距離相互相等。另一方面，在Y軸方向延伸的3個延伸部4212E、4214E、4216E中的第四延伸部 4214E在XY俯視圖中跨越轉(zhuǎn)動中心軸Xl設(shè)置，第二延伸部4212E和第六延伸部4216E在XY 俯視圖中相對于轉(zhuǎn)動中心軸Xl相互設(shè)置在相反側(cè)。另外，優(yōu)選這3個延伸部4212E、4214E、 4216E在X軸方向以相等的間距排列。即，優(yōu)選第二延伸部4212E與第四延伸部4214E之間的間隔距離和第四延伸部4214E與第六延伸部4216E之間的間隔距離相等。以上說明了的7個延伸部4211E 4217E分別能夠繞其中心軸扭轉(zhuǎn)變形，并且能夠彎曲變形。例如，這7個延伸部4211E 4217E分別由前面所述的第一實施方式的圖6 和圖7中示出的第二 SW2基板530構(gòu)成。在這種應(yīng)力緩和部421E中，通過使各延伸部421IE 4217E進行扭轉(zhuǎn)變形和彎曲變形中的至少一方的變形，能夠使第一軸部42以第四延伸部4214E為軸彎折，并且，能夠緩和由可動板側(cè)軸部422的扭轉(zhuǎn)變形產(chǎn)生的應(yīng)力。以上對應(yīng)力緩和部421E進行了說明。在本實施方式中，應(yīng)力緩和部721E、521E、621E分別形成為使應(yīng)力緩和部421E朝圖20中順時針方向旋轉(zhuǎn)90°、180°、270°的結(jié)構(gòu)。即，隔著可動板2對置的應(yīng)力緩和部 421E、621E相對于可動板2旋轉(zhuǎn)對稱，隔著可動板2對置的應(yīng)力緩和部521E、721E相對于可動板2旋轉(zhuǎn)對稱。另外，應(yīng)力緩和部421E形成為7條延伸部在X軸方向和Y軸方向交替延伸的結(jié)構(gòu)， 但是，延伸部的條數(shù)并不限定于此，例如也可以是11條或者15條。但是，優(yōu)選在X軸方向延伸的多條延伸部中的相對于轉(zhuǎn)動中心軸Xl位于一方側(cè)的延伸部的數(shù)量與位于另一方側(cè)的延伸部的數(shù)量相等。根據(jù)這種第六實施方式，也能夠發(fā)揮與第一實施方式同樣的效果。<第七實施方式>其次，對本發(fā)明的圖像形成裝置的第六實施方式進行說明。圖22是示出本發(fā)明所涉及的第六實施方式的圖像形成裝置所具有的光掃描儀的立體圖。以下，對于第六實施方式的圖像形成裝置，以與前面所述的實施方式的不同點為中心進行說明，省略對同樣的事項的說明。第六實施方式的圖像形成裝置除了使光掃描儀轉(zhuǎn)動的機構(gòu)以外都與第一實施方式大致同樣。另外，在圖22中，對與前面所述的實施方式同樣的結(jié)構(gòu)賦予同一標(biāo)號。如圖22所示，在本實施方式中，僅光掃描儀1由支承部400支承。即，與前面所述的第一實施方式不同，光源單元200不由支承部400支承。該支承部400安裝于電動機330 的軸部331，使光掃描儀1與支承部400 —起繞預(yù)定的軸線J2轉(zhuǎn)動。并且，在本實施方式中，設(shè)計成在將光掃描儀1的可動板2的轉(zhuǎn)動中心軸Xl和轉(zhuǎn)動中心軸Y2的交點與光源單元200之間的相對位置關(guān)系(即激光LL的光路長度)保持恒定的同時進行光掃描儀1繞軸線J2的轉(zhuǎn)動。由此，無需進行光源單元200和光掃描儀1的對準(zhǔn)調(diào)整就能夠變更激光LL 的掃描區(qū)域。根據(jù)這種第七實施方式，也能夠發(fā)揮與第一實施方式同樣的效果。以上，根據(jù)圖示的實施方式對本發(fā)明的圖像形成裝置進行了說明，但是，本發(fā)明并不限定于此。例如，在本發(fā)明的圖像形成裝置中，各部分的結(jié)構(gòu)能夠置換成發(fā)揮同樣的功能的任意的結(jié)構(gòu)，并且，能夠附加任意的結(jié)構(gòu)。并且，在本發(fā)明的圖像形成裝置中，也可以適當(dāng)?shù)亟M合前面所述的實施方式。并前，在前面所述的實施方式中，作為光掃描儀所具有的變位構(gòu)件的結(jié)構(gòu)，對采用使用永磁鐵和電磁線圈的電磁驅(qū)動的結(jié)構(gòu)進行了說明，但是，只要能夠使可動板以前面所述的方式變位即可，并不限定于此，例如，作為變位構(gòu)件也可以采用靜電驅(qū)動、壓電驅(qū)動。并且，在前面所述的實施方式中，對光掃描儀所具有的各連結(jié)部的第一軸部具有應(yīng)力緩和部的結(jié)構(gòu)進行了說明，但是，并不限定于此，也可以省略應(yīng)力緩和部。即，各連結(jié)部的第一軸部也可以直接連接可動板側(cè)軸部和驅(qū)動板側(cè)軸部。并且，在前面所述的實施方式中，對光掃描儀的驅(qū)動時各連結(jié)部的驅(qū)動板側(cè)軸部不變形的結(jié)構(gòu)進行了說明，但是，并不限定于此，也可以構(gòu)成為在Z軸方向彎折變形(彎曲變形)。并且，在前面所述的實施方式中，通過使SOI基板的厚度不同而分別制作各連結(jié)部的變形的部位(第二軸部、可動板側(cè)軸部、變形部、以及連接部)和不變形的部位(驅(qū)動板、驅(qū)動板側(cè)軸部、以及非變形部)，但是，并不限定于此，例如，也可以通過使寬度不同來分別制作變形的部位和不變形的部位。
權(quán)利要求
1.一種圖像形成裝置，其特征在于， 所述圖像形成裝置具有光射出部，該光射出部射出光；光掃描儀，該光掃描儀具有用于反射從所述光射出部射出的光的光反射部，使該光反射部分別繞相互正交的第一軸和第二軸轉(zhuǎn)動，從而分別繞所述第一軸和所述第二軸掃描由所述光反射部反射的所述光；以及掃描儀轉(zhuǎn)動部，該掃描儀轉(zhuǎn)動部使所述第一軸和所述第二軸的交點與所述光射出部之間的相對位置關(guān)系保持恒定，并使所述光掃描儀繞預(yù)定的軸線轉(zhuǎn)動， 所述光掃描儀具有可動板，該可動板具備光反射部，且能夠變位； 4個連結(jié)部，這4個連結(jié)部連結(jié)于所述可動板；以及掃描儀支承部，該掃描儀支承部用于支承所述4個連結(jié)部，在所述可動板的俯視圖中，所述4個連結(jié)部在所述可動板的外周沿著周方向以90度間隔設(shè)置，各所述連結(jié)部具有 能夠轉(zhuǎn)動的驅(qū)動部；以及軸部，該軸部連結(jié)所述可動板和所述驅(qū)動部，且通過所述驅(qū)動部的轉(zhuǎn)動而在所述可動板的厚度方向彎折變形，通過使各所述軸部獨立地進行所述彎折變形，所述可動板繞所述第一軸和所述第二軸的各軸轉(zhuǎn)動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像形成裝置，其特征在于，所述光掃描儀通過依次形成線段的矢量掃描來對所述光進行掃描，所述線段是連結(jié)由所述光反射部反射的光所照射的顯示面上的不同的2點之間的線段。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像形成裝置，其特征在于，所述圖像形成裝置具有支承部，所述支承部在維持所述光射出部和所述光掃描儀相互的相對位置關(guān)系的狀態(tài)下支承所述光射出部和所述光掃描儀，所述掃描儀轉(zhuǎn)動部構(gòu)成為能夠使所述光射出部和所述光掃描儀與所述支承部一起轉(zhuǎn)動。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像形成裝置，其特征在于， 所述掃描儀轉(zhuǎn)動部具備電動機。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像形成裝置，其特征在于，當(dāng)將在所述可動板的俯視圖中正交的2軸設(shè)為X軸和Y軸時， 所述4個連結(jié)部具有隔著所述可動板在X軸方向?qū)χ玫牡谝贿B結(jié)部和第二連結(jié)部； 以及隔著所述可動板在Y軸方向?qū)χ玫牡谌B結(jié)部和第四連結(jié)部，所述第一連結(jié)部和所述第二連結(jié)部分別具有所述驅(qū)動部，該驅(qū)動部與所述可動板在 X軸方向離開配置；作為所述軸部的第一軸部，該第一軸部連結(jié)所述可動板和所述驅(qū)動部、 且沿X軸方向延伸；以及第二軸部，該第二軸部連結(jié)所述驅(qū)動部和所述掃描儀支承部、且沿 Y軸方向延伸，所述第三連結(jié)部和所述第四連結(jié)部分別具有所述驅(qū)動部，該驅(qū)動部與所述可動板在Y軸方向離開配置；作為所述軸部的第一軸部，該第一軸部連結(jié)所述可動板和所述驅(qū)動部、 且沿Y軸方向延伸；以及第二軸部，該第二軸部連結(jié)所述驅(qū)動部和所述掃描儀支承部、且沿 X軸方向延伸。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的圖像形成裝置，其特征在于， 當(dāng)將與所述X軸和所述Y軸正交的軸設(shè)為Z軸時，所述4個連結(jié)部中的所述第一軸部分別能夠形成為以下兩種變形 以形成朝Z軸方向的一方側(cè)凸出的V字狀的方式彎折的第一變形；以及以形成朝Z軸方向的另一方側(cè)凸出的V字狀的方式彎折的第二變形。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的圖像形成裝置，其特征在于，通過交替地反復(fù)形成以下兩種狀態(tài)，使所述可動板繞所述Y軸轉(zhuǎn)動， 所述兩種狀態(tài)為使所述第一連結(jié)部的所述第一軸部進行所述第一變形，同時使所述第二連結(jié)部的所述第一軸部進行第二變形的狀態(tài)；以及使所述第一連結(jié)部的所述第一軸部進行所述第二變形，同時使所述第二連結(jié)部的所述第一軸部進行所述第一變形的狀態(tài)，通過交替地反復(fù)形成以下兩種狀態(tài)，使所述可動板繞所述X軸轉(zhuǎn)動， 所述兩種狀態(tài)為使所述第三連結(jié)部的所述第一軸部進行所述第一變形，同時使所述第四連結(jié)部的所述第一軸部進行所述第二變形的狀態(tài)；以及使所述第三連結(jié)部的所述第一軸部進行所述第二變形，同時使所述第四連結(jié)部的所述第一軸部進行所述第一變形的狀態(tài)。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的圖像形成裝置，其特征在于，所述4個連結(jié)部的所述第一軸部分別具有應(yīng)力緩和部，該應(yīng)力緩和部設(shè)置在所述可動板與所述驅(qū)動部之間；可動板側(cè)軸部，該可動板側(cè)軸部連結(jié)所述應(yīng)力緩和部與所述可動板；以及驅(qū)動部側(cè)軸部，該驅(qū)動部側(cè)軸部連結(jié)所述應(yīng)力緩和部與所述驅(qū)動部， 所述4個連結(jié)部的第一軸部在所述應(yīng)力緩和部彎折。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的圖像形成裝置，其特征在于，所述4個連結(jié)部的所述可動板側(cè)軸部分別繞該可動板側(cè)軸部的中心軸扭轉(zhuǎn)變形。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的圖像形成裝置，其特征在于， 所述4個連結(jié)部的所述驅(qū)動部側(cè)軸部分別并不變形。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的圖像形成裝置，其特征在于，所述4個連結(jié)部的所述應(yīng)力緩和部分別具有變形部，在所述可動板的俯視圖中，該變形部沿著與可動板側(cè)軸部和驅(qū)動部側(cè)軸部的延伸方向正交的方向延伸，且繞中心軸扭轉(zhuǎn)變形。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的圖像形成裝置，其特征在于， 所述4個連結(jié)部的所述應(yīng)力緩和部分別具有一對所述變形部，所述一對變形部中的一方的所述變形部與所述可動板側(cè)軸部連結(jié)，另一方的所述變形部與所述驅(qū)動部側(cè)軸部連結(jié)。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的圖像形成裝置，其特征在于，所述4個連結(jié)部的所述應(yīng)力緩和部分別具有非變形部，該非變形部設(shè)置在所述一對變形部之間，沿著與所述變形部的延伸方向平行的方向延伸，且并不繞中心軸扭轉(zhuǎn)變形。
14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的圖像形成裝置，其特征在于，所述4個連結(jié)部的所述應(yīng)力緩和部分別具有沿著所述X軸方向和所述Y軸方向交替地延伸而曲折的部位。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的圖像形成裝置，其特征在于，所述4個連結(jié)部的所述應(yīng)力緩和部分別具有沿著所述X軸方向延伸的多個延伸部和沿著Y軸方向延伸的多個延伸部，所述多個延伸部分別能夠繞中心軸扭轉(zhuǎn)變形且能夠彎曲變形。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的圖像形成裝置，其特征在于，所述4個連結(jié)部分別由SOI基板形成，所述SOI基板通過按照順序?qū)盈B第一 Si層、SW2 層以及第二 Si層而形成。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的圖像形成裝置，其特征在于，所述4個連結(jié)部的所述非變形部、驅(qū)動部側(cè)軸部以及驅(qū)動部分別由所述第一 Si層、所述SiO2層以及所述第二 Si層構(gòu)成，所述可動板側(cè)軸部、所述變形部以及所述第二軸部分別由所述第二 Si層構(gòu)成。
18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像形成裝置，其特征在于，所述圖像形成裝置具有用于使所述驅(qū)動部轉(zhuǎn)動的變位賦予部，所述變位賦予部與所述4個連結(jié)部對應(yīng)地設(shè)置有4個。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的圖像形成裝置，其特征在于，所述4個變位賦予部分別具有永磁鐵，該永磁鐵設(shè)置于對應(yīng)的所述驅(qū)動部；以及線圈，該線圈產(chǎn)生作用于所述永磁鐵的磁場。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的圖像形成裝置，其特征在于，在所述4個變位賦予部中，所述永磁鐵以兩極在所述可動板的厚度方向?qū)χ玫姆绞皆O(shè)置，所述線圈以產(chǎn)生與所述可動板的厚度方向正交的方向的磁場的方式設(shè)置。
21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的圖像形成裝置，其特征在于，所述4個變位賦予部的所述永磁鐵分別貫通所述驅(qū)動部而設(shè)置。
全文摘要
本發(fā)明提供圖像形成裝置，該圖像形成裝置具有光射出部；光掃描儀，該光掃描儀具有反射從上述光射出部射出的光的光反射部，使上述光反射部繞相互正交的2個軸轉(zhuǎn)動，從而掃描由上述光反射部反射的光；以及掃描儀轉(zhuǎn)動部，使上述2個軸的交點與上述光射出部之間的相對位置關(guān)系保持恒定，并使上述光掃描儀繞預(yù)定的軸線轉(zhuǎn)動，上述光掃描儀具有具備上述光反射部的可動板；以及在上述可動板的外周沿著周方向以90度間隔設(shè)置的4個連結(jié)部，各上述連結(jié)部具有連結(jié)上述可動板和上述驅(qū)動部的軸部，通過使各上述軸部獨立地進行彎折變形，上述可動板繞上述2個軸轉(zhuǎn)動。
文檔編號G02B26/10GK102162918SQ201110043790
公開日2011年8月24日 申請日期2011年2月22日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月23日
發(fā)明者溝口安志 申請人:精工愛普生株式會社