專利名稱：載具及其操作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種載具及其操作方法，特別是一種應(yīng)用于顯微構(gòu)件組的載具及其操作方法。
背景技術(shù)：
請參照圖1，其為傳統(tǒng)掃描式電子顯微鏡(banning Electron Microscope, SEM) 或聚焦式離子束顯微系統(tǒng)(Focused Ion Beam, FIB)的載臺的示意圖。該載具10除了 χ、 y、z三軸向的移動外，載臺12可沿著ζ軸旋轉(zhuǎn)以及繞著χ軸傾轉(zhuǎn)。然而，一般的載臺12繞著χ軸轉(zhuǎn)動的范圍大致僅能介于60°至120°之間，由于載臺12受到此角度限制，故位于其上的待測對象14僅能以范圍有限的角度關(guān)系接受粒子束16的照射，這對SEM斷層掃描或FIB對象加工造成作業(yè)上的限制。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種載具及其操作方法，載具可帶動對象作全角度的轉(zhuǎn)動，可有效提升顯微系統(tǒng)的三維取像分析或?qū)ο蠹庸さ男?。為了?shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種顯微構(gòu)件組的載具。載具包括一基座、一第一齒輪組件、一第二齒輪組件、一對象承載件及一固定件。第一齒輪組件可轉(zhuǎn)動地設(shè)于基座，第二齒輪組件可轉(zhuǎn)動地設(shè)于基座且嚙合于第一齒輪組件。對象承載件設(shè)于第二齒輪組件上，用以接受一對象的放置。固定件連接基座與顯微構(gòu)件組的一載臺上不做垂直軸向旋轉(zhuǎn)的位置。其中，第一齒輪組件可直接或經(jīng)由轉(zhuǎn)接結(jié)構(gòu)安裝至載臺；且第一齒輪組件的轉(zhuǎn)動軸向與第二齒輪組件的轉(zhuǎn)動軸向之間夾一角度。為了更好地實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供了一種載具的操作方法。載具是用以裝設(shè)于-顯微構(gòu)件組上。載具包括一基座、一第一齒輪組件、一第二齒輪組件、一對象承載件及一固定件。第一齒輪組件可轉(zhuǎn)動地設(shè)于基座，第二齒輪組件可轉(zhuǎn)動地設(shè)于基座且嚙合于第一齒輪組件。對象承載件設(shè)于第二齒輪組件上，用以承載一對象。固定件連接基座與顯微構(gòu)件組的一載臺上不做垂直軸向旋轉(zhuǎn)的位置。其中，第一齒輪組件可直接或經(jīng)由轉(zhuǎn)接結(jié)構(gòu)安裝至載臺；且第一齒輪組件的轉(zhuǎn)動軸向與第二齒輪組件的轉(zhuǎn)動軸向之間夾一角度。操作方法包括以下步驟。驅(qū)動第一齒輪組件轉(zhuǎn)動；以及，第一齒輪組件帶動第二齒輪組件轉(zhuǎn)動， 其中對象承載件隨第二齒輪組件轉(zhuǎn)動而帶動對象轉(zhuǎn)動，使對象受到顯微構(gòu)件組的一粒子束的照射。本發(fā)明的技術(shù)效果在于本發(fā)明的載具及其操作方法，載具可帶動待分析或加工的對象繞轉(zhuǎn)動軸向進(jìn)行360度的轉(zhuǎn)動，以接受顯微構(gòu)件組中的入射粒子束(如電子束或離子束)照射，進(jìn)而達(dá)成全角度的斷層掃描取像或加工，可有效提升顯微系統(tǒng)的三維取像分析或?qū)ο蠹庸さ男?。此外，載具具有可攜帶性及可拆裝性，且其自顯微構(gòu)件組的載臺組裝與拆卸相當(dāng)方便且快速。以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述，但不作為對本發(fā)明的限定。



下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的結(jié)構(gòu)原理和工作原理作具體的描述請參照圖2，其為依照本發(fā)明一實(shí)施例的顯微構(gòu)件組的示意圖。載具102安裝在顯微構(gòu)件組的載臺104上，載臺104包含可旋轉(zhuǎn)部分10 及不可旋轉(zhuǎn)部分104b，可旋轉(zhuǎn)部分10 可垂直方向旋轉(zhuǎn)，不可旋轉(zhuǎn)部分104b不作垂直轉(zhuǎn)動。本實(shí)施例的載具102并非局限于圖2所示的結(jié)構(gòu)，于其它實(shí)施例中，載具102的外型及結(jié)構(gòu)可與圖2不同。顯微構(gòu)件組可以是掃描式電子顯微鏡、聚焦式離子束顯微構(gòu)件組或其它種類的顯微構(gòu)件組。載具102包括基座110、第一齒輪組件106、第二齒輪組件108、對象承載件152以及固定件118。第一齒輪組件106可轉(zhuǎn)動地設(shè)于基座110，并連接至載臺104上的可旋轉(zhuǎn)部分104a，可旋轉(zhuǎn)部分10 可驅(qū)動第一齒輪組件106。第二齒輪組件108可轉(zhuǎn)動地設(shè)于基座 110且嚙合于第一齒輪組件106，本實(shí)施例中，第二齒輪組件108直接嚙合于第一齒輪組件 106。其中，第一齒輪組件106的轉(zhuǎn)動軸向Sl與第二齒輪組件108的轉(zhuǎn)動軸向S2間夾一角度Al。對象承載件152安裝于第二齒輪組件108。對象承載件152上可放置待檢測或加工的對象154(對象巧4見圖6)。當(dāng)?shù)谝积X輪組件106受到載臺104上的可旋轉(zhuǎn)部分10 的驅(qū)動而轉(zhuǎn)動時，第二齒輪組件108受到第一齒輪組件106的帶動而轉(zhuǎn)動，位于第二齒輪組件108上的對象承載件152以及對象承載件152上的對象154也隨著第二齒輪組件108的轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動。因此，對象1 可繞轉(zhuǎn)動軸向S2作360度轉(zhuǎn)動，以受到顯微構(gòu)件組中的入射粒子束(如電子束或離子束)照射，進(jìn)而達(dá)成全角度的斷層掃描取像或加工。固定件118及第一齒輪組件106可直接或通過可拆卸結(jié)構(gòu)固定于載臺104上，使本實(shí)施例的載具102可輕易地安裝于任何種類的顯微構(gòu)件組的載臺上，使載具102具有組裝及拆卸方便的優(yōu)點(diǎn)。上述可拆卸結(jié)構(gòu)例如是鎖固件或卡合件，例如，一鎖固組件(圖未示)以螺接或一卡接件(圖未示)以卡接方式將固定件118固設(shè)于載臺104上的不可旋轉(zhuǎn)部分104b，相似地，一鎖固組件以螺接或一卡接件以卡接方式將第一齒輪組件106固設(shè)于載臺104上的不可旋轉(zhuǎn)部分104b。此外，通過固定件118連接載臺104上的不可旋轉(zhuǎn)部分104b與基座110，使得當(dāng)?shù)谝积X輪組件106帶動第二齒輪組件108轉(zhuǎn)動時，基座110不隨之轉(zhuǎn)動。例如，通過固定件 118與第一轉(zhuǎn)接件120的卡合，使基座110不隨之轉(zhuǎn)動。請參照圖3，其為圖2的第一轉(zhuǎn)接件與固定件的卡設(shè)示意圖?；删哂幸婚_孔，使固定件可卡設(shè)于開孔，例如，基座110包括基座本體158(見圖2、及第一轉(zhuǎn)接件120，第一轉(zhuǎn)接件120固設(shè)于基座110的基座本體158 上且具有一開孔120a。固定件118固設(shè)于載臺104且卡設(shè)于第一轉(zhuǎn)接件120的開孔120a。 開孔120a例如是長條孔或圓孔，本實(shí)施例的開孔120a以長條孔為例。開孔120a的延伸方向(長軸方向)大致上平行第二齒輪組件108的轉(zhuǎn)動軸向S2。開孔120a沿一方向的內(nèi)徑 dl大致上等于固定件118與開孔120a接合處的外徑d2。此處的方向?yàn)榈谝积X輪組件106 轉(zhuǎn)動時，第一轉(zhuǎn)接件120中對應(yīng)于開孔120a部位的受力方向。進(jìn)一步地說，由于第一齒輪組件106繞轉(zhuǎn)動軸向Sl轉(zhuǎn)動時，開孔120a也有繞轉(zhuǎn)動軸向Sl轉(zhuǎn)動的趨勢(例如是沿切線方向Y轉(zhuǎn)動的趨勢)，開孔120a因此受到固定件118 沿Y軸方向的阻擋而受力。然而，通過開孔120a沿Y軸方向的內(nèi)徑dl大致上等于固定件 118與開孔120a接合處的的外徑d2，故可限制第一轉(zhuǎn)接件120的開孔120a沿Y軸方向運(yùn)動。當(dāng)?shù)谝积X輪組件106轉(zhuǎn)動時，由于第一轉(zhuǎn)接件120受到固定件118的限制，故基座110也受到限制而相對不動，如此使第一齒輪組件106可繞著轉(zhuǎn)動軸向Sl轉(zhuǎn)動及使第二齒輪組件108可繞著轉(zhuǎn)動軸向S2轉(zhuǎn)動。本實(shí)施例的坐標(biāo)X-Y-Z用以方便說明圖標(biāo)的視角方向及齒輪的轉(zhuǎn)動方向，并非限定為載臺104或顯微構(gòu)件組的坐標(biāo)系。例如，于本實(shí)施例中，X軸為第二齒輪組件108的轉(zhuǎn)動軸向S2，而Z軸為第一齒輪組件106的轉(zhuǎn)動軸向Si，于其它實(shí)施例中，X-Y-Z軸又可具有不同的定義。雖然本實(shí)施例的第一轉(zhuǎn)接件120以具有開孔120a為例說明，然此非用以限制本發(fā)明。在其它實(shí)施例中，第一轉(zhuǎn)接件可省略開孔，而固定件可具有開孔，使基座可卡設(shè)于開孔。 進(jìn)一步地說，請參照圖4及圖5，圖4為依照本發(fā)明一實(shí)施的第一轉(zhuǎn)接件與固定件卡設(shè)示意圖，圖5為圖4中沿+X軸方向的側(cè)視圖。固定件218具有開孔218a，開孔218a例如是長條孔，其延伸方向(即長軸方向)實(shí)質(zhì)上平行第一齒輪組件106的轉(zhuǎn)動軸向Si。開孔218a沿 Y軸方向的內(nèi)徑d3實(shí)質(zhì)上等于第一轉(zhuǎn)接件220與開孔218a接合處的外徑d4，本實(shí)施例中， 第一轉(zhuǎn)接件220具有一插入部142，其插入開孔218a內(nèi)。開孔218a的內(nèi)徑d3大致上等于插入部142與開孔218a接合處的外徑d4。本實(shí)施例中，固定件118為細(xì)長桿件，然此非用以限制本發(fā)明，于其它實(shí)施例中， 固定件118的結(jié)構(gòu)也可為其它外形。進(jìn)一步地說，只要能固定基座110的第一轉(zhuǎn)接件120 的，均不脫離本發(fā)明實(shí)施例的固定件118的范圍。以下進(jìn)一步介紹基座110、第一齒輪組件106及第二齒輪組件108的結(jié)構(gòu)。請參照圖6，其為圖2的前視圖?；倔w158包括第一子基座112及第二子基座114。第一子基座112固接于第二子基座114且第一子基座112與第二子基座114之間夾一角度A2。一實(shí)施例中，角度A2 例如約90度，即，第一子基座112與第二子基座114構(gòu)成一 L型基座。第一齒輪組件106例如是一組件或一體成形的組件。第一齒輪組件106包括第一齒輪1 及第二轉(zhuǎn)動桿1 及第三轉(zhuǎn)動桿128。第二轉(zhuǎn)動桿1 的外徑小于第三轉(zhuǎn)動桿1 的外徑，使第二轉(zhuǎn)動桿126與第三轉(zhuǎn)動桿1 構(gòu)成一階梯桿。第二轉(zhuǎn)動桿1 可直接固接于顯微構(gòu)件組100的載臺104，然此非用以限制本發(fā)明。于其它實(shí)施例中，第二轉(zhuǎn)動桿可通過各種類型的轉(zhuǎn)接結(jié)構(gòu)固接于顯微構(gòu)件組的載臺。例如，請參照圖7，其為本發(fā)明其它實(shí)施例的載具的第二轉(zhuǎn)接件的剖視圖。第二轉(zhuǎn)接件164具有開孔16 及螺孔164b，第二轉(zhuǎn)接件 164用以連接第二轉(zhuǎn)動桿1 與載臺104。例如，第二轉(zhuǎn)動桿1 可穿過開孔16 設(shè)置，鎖固組件166可穿過螺孔164b而將第二轉(zhuǎn)動桿126固定在第二轉(zhuǎn)接件164上。此外，第二轉(zhuǎn)接件164與顯微構(gòu)件組的載臺結(jié)合的方式可以載臺結(jié)構(gòu)而有不同設(shè)計，使載具102的第一齒輪組件106可通過第二轉(zhuǎn)接件164裝設(shè)于各類顯微構(gòu)件組的載臺上。在本例當(dāng)中，第二轉(zhuǎn)接件164底部為一可鉗合顯微構(gòu)件組載臺的凹槽。請回到圖6，第三轉(zhuǎn)動桿1 設(shè)于基座110上并連接第一齒輪IM與第二轉(zhuǎn)動桿 126。通過第三轉(zhuǎn)動桿1 設(shè)于基座110上可將第一齒輪IM墊高，避免第一齒輪124的背面12 與基座110直接接觸，然此非用以限制本發(fā)明。于其它實(shí)施例中，第一齒輪組件106 也可省略第三轉(zhuǎn)動桿128，而第二轉(zhuǎn)動桿1 連接第一齒輪124與顯微構(gòu)件組的載臺104， 在此情況下，雖然第一齒輪1 的背面12 與基座110直接接觸，然仍不影響第一齒輪IM 的轉(zhuǎn)動。
7
第二齒輪組件108例如是一組件或一體成形的組件。第二齒輪組件108包括第二齒輪132及第一轉(zhuǎn)動桿134及連接部136。第二齒輪組件108以第一轉(zhuǎn)動桿134可動地連接于第一轉(zhuǎn)接件120。第二齒輪132例如是斜齒輪，連接部136連接第二齒輪132與第一轉(zhuǎn)動桿Π4上。第一齒輪組件106的轉(zhuǎn)動軸向Sl與第二齒輪組件108的轉(zhuǎn)動軸向S2間的角度Al約90度。在其它實(shí)施例中，第一齒輪組件106及第二齒輪組件108也可為其它類型的齒輪，在此情況下，第一齒輪組件106的轉(zhuǎn)動軸向Sl與第二齒輪組件108的轉(zhuǎn)動軸向S2 間的夾角不限于90度。請同時參照圖6及圖8，圖8為圖6的基座、第一轉(zhuǎn)接件、第一齒輪組件及第二齒輪組件的爆炸圖。第一轉(zhuǎn)接件120包括第一固定桿138及抵靠件140且具有貫孔150。插入部142為第一固定桿138的一端，其卡設(shè)于固定件118，上述開孔120a貫穿于該端142。抵靠件140固接于第一固定桿138。如圖6所示，抵靠件140位于基座貫孔130內(nèi)，第二齒輪組件108的連接部136抵靠于抵靠件140，以受到抵靠件140的止擋。如圖8所示，第二齒輪132的最大外徑d5小于基座貫孔130的內(nèi)徑d6，使第二齒輪組件108可往圖8中基座本體158的方向穿過基座貫孔130，第二齒輪組件的第一轉(zhuǎn)動桿 134裝設(shè)至第一轉(zhuǎn)接件120的貫孔150，然后第一轉(zhuǎn)接件120的抵靠件140固設(shè)于基座110 的基座本體158上，其中抵靠件140可通過鎖固組件(圖未示)穿過貫孔144而鎖固于基座 110的基座本體158的螺孔162上。此外，基座本體158具有貫孔146，可先將第一齒輪組件106的第二轉(zhuǎn)動桿1 插入貫孔146并使第三轉(zhuǎn)動桿1 承靠于基座110上，然后，令第二齒輪組件108往圖8中基座110的方向穿過基座貫孔130直到嚙合于第一齒輪組件106 為止。如上所述，由于第一轉(zhuǎn)接件120以螺接或其它可拆卸方式固設(shè)于基座本體158上，使第二齒輪組件108在組裝及拆卸上具有快速、方便的特性。此外，第二齒輪組件108的第一轉(zhuǎn)動桿134的外徑小于貫孔150的內(nèi)徑，使第一轉(zhuǎn)動桿134于第一固定桿138的貫孔150內(nèi)可自由轉(zhuǎn)動。較佳但非限定地，第一轉(zhuǎn)動桿134 的外徑與貫孔150的內(nèi)徑精密地配合，即第一轉(zhuǎn)動桿134的外徑實(shí)質(zhì)上等于或略小于貫孔 150的內(nèi)徑。第一轉(zhuǎn)接件I20為一體成型的結(jié)構(gòu)，即，第一固定桿138及抵靠件140于同一工藝中完成。例如，應(yīng)用機(jī)械切削方式切削單塊原料成為第一轉(zhuǎn)接件120 ；或者，應(yīng)用例如是鑄造方式制作出第一轉(zhuǎn)接件120。然，于其它實(shí)施例中，第一轉(zhuǎn)接件也可由多個分件組成， 例如，請參照圖9，其為本發(fā)明其它實(shí)施例的第一轉(zhuǎn)接件的剖視圖。第一轉(zhuǎn)接件320包括第一子件346及第二子件348。第一子件346包括第一固定桿3 及抵靠件340，抵靠件340 固接于第一固定桿328，第一固定桿328以例如是螺接、咬合或焊接的方式固接于第二子件 348的一端348a。第二子件348的一端34 具有開孔320a。其中，抵靠件340及開孔320a 分別相似于上述抵靠件140及開孔120a，在此不再贅述。此外，如圖6及圖10所示，圖10為圖6中物件承載件的示意圖。對象承載件152 設(shè)于第二齒輪組件158上，例如是固設(shè)于第二齒輪組件158的第二齒輪132上。對象承載件152具有放置槽156，對象承載件152以放置槽156經(jīng)過第二齒輪132的轉(zhuǎn)動軸向S2的方式固設(shè)于第二齒輪132上，如此一來，當(dāng)?shù)诙X輪132轉(zhuǎn)動時，位于放置槽156上的待分析或加工對象巧4不會偏心轉(zhuǎn)動。舉例來說，對象承載件152的中心軸S3(見圖10)經(jīng)過放置槽156，第二齒輪132具有螺孔或貫孔160(見圖8)。當(dāng)物件承載件152設(shè)于第二齒輪132的螺孔或貫孔160時，螺孔或貫孔160的中心、第二齒輪132的轉(zhuǎn)動軸向S2及對象承載件152的中心軸S3重合，如此，當(dāng)?shù)诙X輪132轉(zhuǎn)動時，位于放置槽156上的對象巧4不會
偏心轉(zhuǎn)動。以下以圖11的流程圖說明顯微構(gòu)件組的操作方法。請參照圖11，其為依照本發(fā)明一實(shí)施例的顯微構(gòu)件組的操作方法流程圖。步驟S102至S104為載具102的操作方法。于步驟S102中，可旋轉(zhuǎn)部分10 驅(qū)動第一齒輪組件106轉(zhuǎn)動。然后，于步驟S104中，第一齒輪組件106帶動第二齒輪組件108轉(zhuǎn)動，固設(shè)于第二齒輪132上的物件承載件152隨之轉(zhuǎn)動，以帶動物件巧4繞轉(zhuǎn)動軸向S2轉(zhuǎn)動。然后，于步驟S106中，顯微構(gòu)件組100照射粒子束(例如是電子束或離子束)至對象154上。由于對象154可繞轉(zhuǎn)動軸向S2作360度的轉(zhuǎn)動，故顯微構(gòu)件組100可以在轉(zhuǎn)動軸向S2上全角度的檢測對象154，或?qū)φ麄€對象巧4進(jìn)行加工。本實(shí)施例的載具102安裝至一般顯微構(gòu)件組載臺后，可通過齒輪機(jī)構(gòu)帶動對象 154繞轉(zhuǎn)動軸向S2達(dá)到360度的轉(zhuǎn)動范圍，使顯微構(gòu)件組100可不受限地對對象154進(jìn)行三維斷層掃描影像擷取或?qū)ο笄?進(jìn)行完整角度的側(cè)向加工。本發(fā)明上述實(shí)施例的載具及其操作方法，待分析或加工的對象可以繞轉(zhuǎn)動軸向S2 進(jìn)行360度的轉(zhuǎn)動，以接受顯微構(gòu)件組中的入射粒子束(如電子束或離子束)照射，進(jìn)而達(dá)成全角度的斷層掃描取像或加工。此外，載具具有可攜帶性及可拆裝性，且其組裝于及拆卸自顯微構(gòu)件組的載臺相當(dāng)方便且快速。當(dāng)然，本發(fā)明還可有其它多種實(shí)施例，在不背離本發(fā)明精神及其實(shí)質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員當(dāng)可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種顯微構(gòu)件組的載具，其特征在于，該載具包括一基座；一第一齒輪組件，可轉(zhuǎn)動地設(shè)于該基座；一第二齒輪組件，可轉(zhuǎn)動地設(shè)于該基座且嚙合于該第一齒輪組件； 一對象承載件，設(shè)于該第二齒輪組件上，該對象承載件用以接受一對象的放置，以及一固定件，連接該基座與該顯微構(gòu)件組的一載臺；其中，該第一齒輪組件的轉(zhuǎn)動軸向與該第二齒輪組件的轉(zhuǎn)動軸向之間夾一角度。
2.如權(quán)利要求1所述的載具，其特征在于，該第一齒輪組件及該第二齒輪組件為斜齒輪。
3.如權(quán)利要求1所述的載具，其特征在于，該角度等于90度。
4.如權(quán)利要求1所述的載具，其特征在于，該載臺包括一可旋轉(zhuǎn)部分，該可旋轉(zhuǎn)部分用以驅(qū)動該第一齒輪組件。
5.如權(quán)利要求1所述的載具，其特征在于，該基座與該固定件之一具有一開孔，該基座與該固定件的另一卡設(shè)于該開孔。
6.如權(quán)利要求5所述的載具，其特征在于，該開孔位于該基座，該開孔沿一方向的內(nèi)徑等于或略小于該固定件與該開孔接合處的外徑，其中該方向?yàn)樵摰谝积X輪組件轉(zhuǎn)動時，該開孔的受力方向。
7.如權(quán)利要求5所述的載具，其特征在于，該基座具有一第一固定桿，該開孔位于該固定件，該開孔沿一方向的內(nèi)徑等于該基座的該第一固定桿與該開孔接合處的外徑，其中該方向?yàn)樵摰谝积X輪組件轉(zhuǎn)動時，該開孔的受力方向。
8.如權(quán)利要求1所述的載具，其特征在于，該基座包括 一基座本體，具有一基座貫孔；以及一第一轉(zhuǎn)接件，固設(shè)于該基座本體上；其中，該第一轉(zhuǎn)接件與該第二齒輪組件中之一穿設(shè)該基座貫孔，且該第二齒輪組件可動地連接于該第一轉(zhuǎn)接件。
9.如權(quán)利要求8所述的載具，其特征在于，該第一轉(zhuǎn)接件包括 一第一固定桿，卡設(shè)于該固定件；以及一抵靠件，固接于該第一固定桿且位于該基座貫孔內(nèi)； 該第二齒輪組件包括一第二齒輪，該第二齒輪的外徑小于該基座貫孔的內(nèi)徑； 一第一轉(zhuǎn)動桿，可動地連接于該第一轉(zhuǎn)接件；以及一連接部，連接該第二齒輪與該第一轉(zhuǎn)動桿且抵靠于該第一轉(zhuǎn)接件的該抵靠件上。
10.如權(quán)利要求1所述的載具，其特征在于，該載臺包括一可旋轉(zhuǎn)部分及一不旋轉(zhuǎn)部分，該載具還包括一第二轉(zhuǎn)接件，連接該第一齒輪組件與該載臺的該可旋轉(zhuǎn)部分； 其中，該固定件連接該基座與該載臺的不旋轉(zhuǎn)部分。
11.一種載具的操作方法，該載具適用于裝設(shè)在一顯微構(gòu)件組上，其特征在于，該載具包括一基座、一第一齒輪組件、一第二齒輪組件、一對象承載件及一固定件，該第一齒輪組件可轉(zhuǎn)動地設(shè)于該基座，該第二齒輪組件可轉(zhuǎn)動地設(shè)于該基座且嚙合于該第一齒輪組件，該對象承載件設(shè)于該第二齒輪組件上，用以承載一對象，該固定件連接該基座與該顯微構(gòu)件組的載臺，其中該第一齒輪組件的轉(zhuǎn)動軸向與該第二齒輪組件的轉(zhuǎn)動軸向之間夾一角度，該操作方法包括驅(qū)動該第一齒輪組件轉(zhuǎn)動；以及該第一齒輪組件帶動該第二齒輪組件轉(zhuǎn)動，其中該對象承載件隨該第二齒輪組件轉(zhuǎn)動而帶動該對象轉(zhuǎn)動，使該對象受到該顯微構(gòu)件組的粒子束的照射。
全文摘要
一種載具及其操作方法。載具包括基座、第一齒輪組件、第二齒輪組件、對象承載件及固定件。第一齒輪組件可轉(zhuǎn)動地設(shè)于基座，第二齒輪組件可轉(zhuǎn)動地設(shè)于基座且嚙合于第一齒輪組件。對象承載件用以接受一對象的放置。固定件連接基座與顯微構(gòu)件組的載臺。其中，第一齒輪組件的轉(zhuǎn)動軸向與第二齒輪組件的轉(zhuǎn)動軸向之間夾一角度。本發(fā)明的載具可帶動對象作全角度的轉(zhuǎn)動，可有效提升顯微系統(tǒng)的三維取像分析或?qū)ο蠹庸さ男堋?br> 文檔編號G02B21/24GK102566028SQ201010623838
公開日2012年7月11日 申請日期2010年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月31日
發(fā)明者吳美倫, 林麗娟, 羅圣全, 賴明偉 申請人:財團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院