專利名稱：一種可變矩形窗調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種照明光學(xué)系統(tǒng)或成像光學(xué)系統(tǒng)中可變矩形光闌、也是一種掃描光 刻設(shè)備中可變狹縫結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
目前在步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)中，通常會(huì)有可變光闌，用來調(diào)節(jié)照明區(qū)域大小或者 光通量，這些可變光闌由多個(gè)擋片重疊構(gòu)成，因此不在一個(gè)平面內(nèi)，導(dǎo)致一些雜光通過，在 一些要求嚴(yán)格的場(chǎng)合并不適用。

發(fā)明內(nèi)容
為解決背景技術(shù)中所述的技術(shù)問題，本發(fā)明目的是提出一種可變矩形窗調(diào)節(jié)機(jī) 構(gòu)。為了實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的，本發(fā)明可變矩形窗調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)解決技術(shù)問題所采用的技術(shù) 方案是該機(jī)構(gòu)包括第一位置探測(cè)器、第二位置探測(cè)器、第三位置探測(cè)器和第四位置探測(cè) 器，第一驅(qū)動(dòng)器、第二驅(qū)動(dòng)器、第三驅(qū)動(dòng)器和第四驅(qū)動(dòng)器，第一軸、第二軸、第三軸和第四軸， 第一基座、第二基座、第三基座和第四基座，第一連接塊、第二連接塊、第三連接塊和第四連 接塊及第一擋板、第二擋板、第三擋板和第四擋板，其中第一位置探測(cè)器、第二位置探測(cè)器、第三位置探測(cè)器和第四位置探測(cè)器分別安置 在第一軸、第二軸、第三軸和第四軸的一端上；第一軸、第二軸、第三軸和第四軸的另一端分別置于第一連接塊、第二連接塊、第 三連接塊和第四連接塊中；第一驅(qū)動(dòng)器、第二驅(qū)動(dòng)器、第三驅(qū)動(dòng)器和第四驅(qū)動(dòng)器及第一基座、第二基座、第三 基座和第四基座分別安置在第一軸、第二軸、第三軸和第四軸的中間部位上；第一擋板、第二擋板、第三擋板和第四擋板分別連接第一連接塊、第二連接塊、第 三連接塊和第四連接塊，第一擋板相對(duì)于第一連接塊只能做y向運(yùn)動(dòng)，第二擋板相對(duì)于第 二連接塊只能做χ向運(yùn)動(dòng)，第三擋板相對(duì)于第三連接塊只能做y向運(yùn)動(dòng)，第四擋板相對(duì)于第 四連接塊只能做χ向運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明的創(chuàng)新點(diǎn)在于本發(fā)明根據(jù)光的直線傳輸特性，利用四塊可以相對(duì)移動(dòng)又 不分離的擋板實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)光的透過量，從而實(shí)時(shí)控制曝光劑量，達(dá)到提高光刻質(zhì)量的目的。本 發(fā)明動(dòng)態(tài)實(shí)現(xiàn)任意大小的矩形窗，包括閉合狀態(tài)，同時(shí)避免由于擋板不在一個(gè)平面內(nèi)引起 的雜光問題，本發(fā)明結(jié)構(gòu)巧妙，實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單方便，定位精確。


圖1為本發(fā)明的系統(tǒng)原理圖；圖2為本發(fā)明的動(dòng)器調(diào)節(jié)矩形窗口形狀的狀態(tài)；圖3擋板的三視具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照 附圖，對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說明。本發(fā)明的一種可變矩形窗調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，提出一種閉合環(huán)形互聯(lián)結(jié)構(gòu)，即4塊擋板兩 兩互相連接，任意兩擋板間可以相對(duì)移動(dòng)，但不能脫離。各擋板位移由對(duì)應(yīng)的位置探測(cè)器、 驅(qū)動(dòng)器、軸和連接塊決定，軸和擋板之間做直線運(yùn)動(dòng)。這種可變矩形窗調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)可以調(diào)節(jié)窗 口的任意大小，包括閉合狀態(tài)，并且4塊擋板保持在同一平面內(nèi)。如圖1所示為本發(fā)明可變矩形窗調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，包括第一位置探測(cè)器Cl、第二位置探 測(cè)器C2、第三位置探測(cè)器C3和第四位置探測(cè)器C4，第一驅(qū)動(dòng)器Ml、第二驅(qū)動(dòng)器M2、第三驅(qū) 動(dòng)器M3和第四驅(qū)動(dòng)器M4，第一軸P1、第二軸P2、第三軸P3和第四軸P4，第一基座Bi、第二 基座B2、第三基座B3和第四基座B4，第一連接塊Si、第二連接塊S2、第三連接塊S3和第四 連接塊S4及第一擋板D1、第二擋板D2、第三擋板D3和第四擋板D4，其中第一位置探測(cè)器 Cl、第二位置探測(cè)器C2、第三位置探測(cè)器C3和第四位置探測(cè)器C4分別安置在第一軸P1、第 二軸P2、第三軸P3和第四軸P4的一端上；上述的第一軸P1、第二軸P2、第三軸P3和第四軸 P4的另一端分別置于第一連接塊Si、第二連接塊S2、第三連接塊S3和第四連接塊S4中； 第一驅(qū)動(dòng)器Ml、第二驅(qū)動(dòng)器M2、第三驅(qū)動(dòng)器M3和第四驅(qū)動(dòng)器M4及第一基座Bi、第二基座 B2、第三基座B3和第四基座B4分別安置在第一軸P1、第二軸P2、第三軸P3和第四軸P4的 中間部位上；第一擋板相對(duì)于第四擋板只能做y向運(yùn)動(dòng)，第二擋板相對(duì)于第一擋板只能做χ 向運(yùn)動(dòng)，第三擋板相對(duì)于第二擋板只能做y向運(yùn)動(dòng)，第四擋板相對(duì)于第三擋板只能做χ向運(yùn) 動(dòng)。上述的第一軸Pl、第二軸P2、第三軸P3和第四軸P4和對(duì)應(yīng)第一基座Bi、第二基座 B2、第三基座B3和第四基座B4通過第一連接塊Si、第二連接塊S2、第三連接塊S3和第四 連接塊S4實(shí)現(xiàn)支撐和相對(duì)位移，第一軸Pl相對(duì)于第一基座Bl做χ向運(yùn)動(dòng)，第二軸P2相對(duì) 于第二基座B2做y向運(yùn)動(dòng)，第三軸P3相對(duì)于第三基座B3做χ向運(yùn)動(dòng)，第四軸Ρ4相對(duì)于第 四基座Β4做y向運(yùn)動(dòng)。上述的第一擋板D1、第二擋板D2、第三擋板D3和第四擋板D4分別連接第一連接 塊Si、第二連接塊S2、第三連接塊S3和第四連接塊S4，第一擋板Dl相對(duì)于第一連接塊Sl 只能做y向運(yùn)動(dòng)，第二擋板D2相對(duì)于第二連接塊S2只能做χ向運(yùn)動(dòng)，第三擋板D3相對(duì)于 第三連接塊S3只能做y向運(yùn)動(dòng)，第四擋板D4相對(duì)于第四連接塊S4只能做χ向運(yùn)動(dòng)。上述的各個(gè)擋板之間對(duì)接，各擋板之間可以相對(duì)平移，但不能分離。各個(gè)擋板由對(duì) 應(yīng)的驅(qū)動(dòng)器和位置探測(cè)器建立伺服控制系統(tǒng)，由伺服控制系統(tǒng)確定各擋板位置，從而實(shí)現(xiàn) 任意大小矩形窗。上述的第一擋板Dl、第二擋板D2、第三擋板D3和第四擋板D4各自的上表面和下
表面在同一平面內(nèi)。上述的第一軸P1、第二軸P2、第三軸P3和第四軸P4分別由相對(duì)應(yīng)的第一驅(qū)動(dòng)器 Ml、第二驅(qū)動(dòng)器M2、第三驅(qū)動(dòng)器M3和第四驅(qū)動(dòng)器M4驅(qū)動(dòng)。上述的第一軸P1、第二軸P2、第三軸P3和第四軸P4的位置分別由第一位置探測(cè) 器Cl、第二位置探測(cè)器C2、第三位置探測(cè)器C3和第四位置探測(cè)器C4檢測(cè)。
如圖2所示，本發(fā)明形成一個(gè)(AL1+AL3)X(AL2+AL4)的矩形窗的原理如下 第一驅(qū)動(dòng)器Ml驅(qū)動(dòng)第一軸Pl向-χ方向移動(dòng)，位移量為AL1，第一軸Pl將帶動(dòng)第一連接塊 Sl做同方面運(yùn)動(dòng)，由于第一連接塊Sl和第一擋板Dl對(duì)接，所以，第一連接塊Sl將帶動(dòng)第一 擋板Dl同樣向-χ方向運(yùn)動(dòng)ALl的距離。同時(shí)第一擋板Dl和第四擋板D4不能分離，第四 擋板D4將隨第一擋板Dl向-χ方向運(yùn)動(dòng)ALl的距離。因?yàn)榈谝粨醢錎l可以相對(duì)于第二擋 板D2和第一連接塊Sl做χ直線運(yùn)動(dòng)，第四擋板D4可以相對(duì)于第三擋板D3和第四連接塊S4 做χ直線運(yùn)動(dòng)，所以第一擋板Dl和第四擋板D4的運(yùn)動(dòng)不會(huì)產(chǎn)生機(jī)械干涉。同第一擋板Dl 移動(dòng)ALl的原理一樣，如果第二擋板D2向-y方向運(yùn)動(dòng)距離為Δ L2，第三擋板D3向χ方向 運(yùn)動(dòng)距離為AL3，第四擋板D4向y方向運(yùn)動(dòng)距離為AL4。貝丨」(Δ Ll+Δ L3) X ( Δ L2+Δ L4) 的矩形窗形成。各個(gè)位移量由各擋板對(duì)應(yīng)伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)提供動(dòng)力和位置檢測(cè)，因此，可以實(shí) 時(shí)調(diào)整和檢測(cè)矩形框的大小，進(jìn)行動(dòng)態(tài)調(diào)整。如圖3為第一擋板D1、第二擋板D2、第三擋板D3和第四擋板D4的三視圖，如圖所 示擋板的設(shè)計(jì)保證第一擋板Dl、第二擋板D2、第三擋板D3和第四擋板D4之間緊密連接，相 對(duì)運(yùn)動(dòng)的同時(shí)不分離。以上所述，僅為本發(fā)明中的具體實(shí)施方式
，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任 何熟悉該技術(shù)的人在本發(fā)明所揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可理解想到的變換或替換，都應(yīng)涵蓋在 本發(fā)明的包含范圍之內(nèi)，因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種可變矩形窗調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于該機(jī)構(gòu)包括第一位置探測(cè)器(Cl)、第二位 置探測(cè)器(C2)、第三位置探測(cè)器(O)和第四位置探測(cè)器(C4)，第一驅(qū)動(dòng)器(Ml)、第二驅(qū)動(dòng) 器(Μ》、第三驅(qū)動(dòng)器(ΙΟ)和第四驅(qū)動(dòng)器(M4)，第一軸(P1)、第二軸(P2)、第三軸(P3)和 第四軸(P4)，第一基座(Bi)、第二基座(B2)、第三基座(Β； )和第四基座(B4)，第一連接塊 (Si)、第二連接塊(S2)、第三連接塊(S； )和第四連接塊(S4)及第一擋板(Dl)、第二擋板 (D2)、第三擋板(D3)和第四擋板(D4)；其中第一位置探測(cè)器(Cl)、第二位置探測(cè)器(以)、第三位置探測(cè)器(O)和第四位置探測(cè)器 (C4)分別安置在第一軸(Pl)、第二軸(P2)、第三軸(P3)和第四軸(P4)的一端上；第一軸(Pl)、第二軸(P2)、第三軸(P； )和第四軸(P4)的另一端分別置于第一連接塊 (Si)、第二連接塊(S2)、第三連接塊(S3)和第四連接塊(S4)中；第一驅(qū)動(dòng)器(Ml)、第二驅(qū)動(dòng)器(IC)、第三驅(qū)動(dòng)器(ΙΟ)和第四驅(qū)動(dòng)器(M4)及第一基 座(Bi)、第二基座(B2)、第三基座(Β； )和第四基座(B4)分別安置在第一軸(Pl)、第二軸 (P2)、第三軸(P3)和第四軸(P4)的中間部位上；第一擋板(Dl)、第二擋板(D2)、第三擋板(D!3)和第四擋板(D4)分別連接第一連接塊 (Si)、第二連接塊(S2)、第三連接塊(S； )和第四連接塊(S4)，第一擋板(Dl)相對(duì)于第一連 接塊(Si)只能做y向運(yùn)動(dòng)，第二擋板(擬)相對(duì)于第二連接塊(S》只能做χ向運(yùn)動(dòng)，第三 擋板(D!3)相對(duì)于第三連接塊(S； )只能做y向運(yùn)動(dòng)，第四擋板(D4)相對(duì)于第四連接塊(S4) 只能做χ向運(yùn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可變矩形窗調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述第一軸(Pl)、第二軸 (P2)、第三軸(P； )和第四軸(P4)和對(duì)應(yīng)第一基座(Bi)、第二基座(B》、第三基座(B!3)和第 四基座(B4)通過第一連接塊(Si)、第二連接塊(S2)、第三連接塊(S； )和第四連接塊(S4) 實(shí)現(xiàn)支撐和相對(duì)位移，第一軸(Pl)相對(duì)于第一基座(Bi)做χ向運(yùn)動(dòng)，第二軸(P》相對(duì)于 第二基座(B》做y向運(yùn)動(dòng)，第三軸(P； )相對(duì)于第三基座(Β； )做χ向運(yùn)動(dòng)，第四軸(P4)相 對(duì)于第四基座(B4)做y向運(yùn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可變矩形窗調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的第一擋板(Dl)、第 二擋板(擬)、第三擋板(D!3)和第四擋板(D4)分別連接第一連接塊(Si)、第二連接塊(S2)、 第三連接塊(S； )和第四連接塊(S4)，第一擋板(Dl)相對(duì)于第一連接塊(Si)只能做y向運(yùn) 動(dòng)，第二擋板(擬)相對(duì)于第二連接塊(S》只能做χ向運(yùn)動(dòng)，第三擋板(D!3)相對(duì)于第三連 接塊(S3)只能做y向運(yùn)動(dòng)，第四擋板(D4)相對(duì)于第四連接塊(S4)只能做χ向運(yùn)動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可變矩形窗調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述各個(gè)擋板之間對(duì)接， 任一擋板之間可以相對(duì)平移，但不能分離；所述各個(gè)擋板由對(duì)應(yīng)的所述各驅(qū)動(dòng)器和各位置 探測(cè)器建立伺服控制系統(tǒng)，由伺服控制系統(tǒng)確定各擋板位置，從而實(shí)現(xiàn)任意大小矩形窗。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可變矩形窗調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述第一擋板(Dl)、第二 擋板(D2)、第三擋板(D!3)和第四擋板(D4)各自的上表面和下表面在同一平面內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可變矩形窗調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于第一軸(Pl)、第二軸 (P2)、第三軸(P； )和第四軸(P4)分別由相對(duì)應(yīng)的第一驅(qū)動(dòng)器(Ml)、第二驅(qū)動(dòng)器(IC)、第三 驅(qū)動(dòng)器(Μ； )和第四驅(qū)動(dòng)器(M4)驅(qū)動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可變矩形窗調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于第一軸(Pl)、第二軸 (P2)、第三軸(P； )和第四軸(P4)的位置分別由第一位置探測(cè)器(Cl)、第二位置探測(cè)器(C2)、第三位置探測(cè)器(O)和第四位置探測(cè)器(C4)檢測(cè)。
全文摘要
本發(fā)明是一種可變矩形窗調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，是采用四組位置探測(cè)器和驅(qū)動(dòng)器構(gòu)成伺服控制系統(tǒng)，分別驅(qū)動(dòng)四塊擋板，由四塊擋板不同位置，形成大小任意變化的矩形窗。本發(fā)明提出一種閉合環(huán)形互聯(lián)結(jié)構(gòu)，即四塊擋板兩兩互相連接，任意兩擋板間可以相對(duì)移動(dòng)，但不能脫離。各擋板位移由對(duì)應(yīng)的位置探測(cè)器、驅(qū)動(dòng)器、軸和連接塊決定，軸和擋板之間滑動(dòng)實(shí)現(xiàn)相對(duì)直線運(yùn)動(dòng)。這種可變矩形窗調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)可以動(dòng)態(tài)實(shí)現(xiàn)任意大小的矩形窗，包括閉合狀態(tài)，并且四塊擋板保持在同一平面內(nèi)。
文檔編號(hào)G03F7/20GK102096333SQ20101060559
公開日2011年6月15日 申請(qǐng)日期2010年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月27日
發(fā)明者嚴(yán)偉, 李艷麗, 楊勇, 王建, 胡松, 陳銘勇 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所