專利名稱：感光性樹脂組合物、固化膜、固化膜的形成方法、有機(jī)el顯示裝置以及液晶顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物、固化膜、固化膜的形成方法、有機(jī)EL顯示裝置以 及液晶顯示裝置。
背景技術(shù)：
在有機(jī)EL顯示裝置或液晶顯示裝置等中設(shè)置有經(jīng)圖案形成得到的層間絕緣膜。 為了形成該層間絕緣膜，從用于獲得所需的圖案形狀的工序數(shù)少并且能夠獲得充分的平坦 性的角度出發(fā)，廣泛地使用感光性樹脂組合物。使用上述感光性樹脂組合物進(jìn)行圖案形成得到的層間絕緣膜或平坦化膜要求是 不僅透明性而且耐溶劑性也優(yōu)異的、可靠性高的固化膜。作為這樣的感光性樹脂組合物，例如，專利文獻(xiàn)1中提出了一種感光性樹脂組合 物，其具有(A)可溶于堿性水溶液的樹脂和(B)感放射線性產(chǎn)酸化合物，所述樹脂是(a) 不飽和羧酸或不飽和羧酸酐、(b)具有環(huán)氧基的自由基聚合性化合物和(C)其他的自由基 聚合性化合物的共聚物。作為能夠確保感光性樹脂組合物所需的保存穩(wěn)定性、感度、所形成的固化膜的高 的可靠性的感光性樹脂組合物，例如已知下述感放射線性樹脂組合物，其含有樹脂和通過 放射線的照射能夠產(chǎn)生PKa為4. 0以下的酸的化合物，所述樹脂是具有縮醛結(jié)構(gòu)或縮酮結(jié) 構(gòu)的(甲基)丙烯酸酯化合物、具有環(huán)氧基的自由基聚合性化合物和其他的自由基聚合性 化合物的共聚物(例如參照專利文獻(xiàn)2)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本特開平5-165214號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本專利第4207604號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)1中記載的感光性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性差，并且感度也不足，在有 機(jī)EL顯示裝置或液晶顯示裝置的產(chǎn)品的生產(chǎn)率方面存在問題。另外，已清楚專利文獻(xiàn)1和2中記載的感光性樹脂組合物在從已涂布的感光性樹 脂組合物中除去溶劑的溶劑除去工序中，一旦發(fā)生溶劑除去溫度、時(shí)間的混亂(寸 > )，則 經(jīng)曝光工序、顯影工序進(jìn)行圖案形成得到的層間絕緣膜或平坦化膜的線寬變動(dòng)就會(huì)變大、 溶劑除去工序的寬容度不足。已清楚該問題在產(chǎn)品的合格率方面是個(gè)大問題。因此，目前還沒有獲得在確保保存穩(wěn)定性、感度、所形成的固化膜的高的可靠性 (透明性、耐溶劑性等)的同時(shí)，溶劑除去工序的寬容度也寬的感光性樹脂組合物。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的課題在于提供一種保存穩(wěn)定性、感度和溶劑除去工序的寬容度 優(yōu)異的感光性樹脂組合物，利用該組合物能夠獲得透明性和耐溶劑性優(yōu)異的固化膜。本發(fā) 明的另一課題在于提供可靠性和生產(chǎn)率高的有機(jī)EL顯示裝置以及液晶顯示裝置，它們具備以利用該感光性樹脂組合物形成的固化膜作為層間絕緣膜。其中，溶劑除去工序的寬容度是指在從已涂布的感光性樹脂組合物中除去溶劑的 溶劑除去工序中，即使發(fā)生下述(1)或0)，也具有能夠沒有線寬變動(dòng)地形成良好的圖案這 樣的溶劑除去工序的寬容度。(1)溶劑除去時(shí)間比最適時(shí)間短或長。(2)溶劑除去溫度比最適溫度低或高。本發(fā)明的上述課題通過下述的<1>、<12> <14>、<16>、<17>中記載的手段得以 解決。這些手段與優(yōu)選的實(shí)施方式即<2> <11>、<15> 一起記述如下。<1> 一種感光性樹脂組合物，其特征在于，含有㈧共聚物、⑶光產(chǎn)酸劑以及(C) 溶劑，所述(A)共聚物含有具有羧基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)而成的殘基的單體單元(1)，具 有酚性羥基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)而成的殘基的單體單元( ，和具有3元環(huán)和/或4元環(huán)的 環(huán)狀醚殘基的單體單元(3)。<2>根據(jù)<1>中所述的感光性樹脂組合物，其為化學(xué)放大正型感光性樹脂組合物。<3>根據(jù)<1>或<2>中所述的感光性樹脂組合物，其中，所述單體單元⑴是具有 選自羧基被叔烷基保護(hù)而成的殘基、羧基被縮醛保護(hù)而成的殘基、和羧基被縮酮保護(hù)而成 的殘基中的至少1種殘基的單體單元；所述單體單元( 是具有選自酚性羥基被叔烷基保 護(hù)而成的殘基、酚性羥基被縮醛保護(hù)而成的殘基、和酚性羥基被縮酮保護(hù)而成的殘基中的 至少1種殘基的單體單元。<4>根據(jù)<1> <3>任一項(xiàng)中所述的感光性樹脂組合物，其中，所述單體單元(1) 具有羧基被下述式(a)表示的叔烷基保護(hù)而成的殘基、和/或羧基被下述式(b)表示的縮 醛或縮酮保護(hù)而成的殘基；所述單體單元( 具有酚性羥基被下述式(a)表示的叔烷基保 護(hù)而成的殘基、和/或酚性羥基被下述式(b)表示的縮醛或縮酮保護(hù)而成的殘基，
權(quán)利要求
1.一種感光性樹脂組合物，其特征在于，含有(A)共聚物、(B)光產(chǎn)酸劑以及(C)溶劑， 所述(A)共聚物含有具有羧基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)而成的殘基的單體單元(1)，具有酚性 羥基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)而成的殘基的單體單元( ，和具有3元環(huán)和/或4元環(huán)的環(huán)狀醚 殘基的單體單元(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，其為化學(xué)放大正型感光性樹脂組合物。
3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，其中，所述單體單元(1)是具有選自 羧基被叔烷基保護(hù)而成的殘基、羧基被縮醛保護(hù)而成的殘基、和羧基被縮酮保護(hù)而成的殘 基中的至少1種殘基的單體單元；所述單體單元( 是具有選自酚性羥基被叔烷基保護(hù)而 成的殘基、酚性羥基被縮醛保護(hù)而成的殘基、和酚性羥基被縮酮保護(hù)而成的殘基中的至少1 種殘基的單體單元。
4.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，其中，所述單體單元(1)具有羧基被 下述式(a)表示的叔烷基保護(hù)而成的殘基、和/或羧基被下述式(b)表示的縮醛或縮酮保 護(hù)而成的殘基；所述單體單元( 具有酚性羥基被下述式(a)表示的叔烷基保護(hù)而成的殘基、和/或酚性羥基被下述式(b)表示的縮醛或縮酮保護(hù)而成的殘基；
5.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，其中，所述單體單元C3)具有選自下述 式(3a)和式(3b)的殘基；
6.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，其中，(B)光產(chǎn)酸劑為通過照射波長為 300nm 450nm的活性光線能夠生成酸的化合物。
7.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，其中，(B)光產(chǎn)酸劑為具有下述式(4) 表示的肟磺酸酯殘基的化合物；⑷
8.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，其中，(B)光產(chǎn)酸劑為式(0S-3)、式 (0S-4)或式(OS-幻表示的化合物；
9.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，其中，(B)光產(chǎn)酸劑為下述式( 表示 的化合物；
10.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，其中，進(jìn)一步含有(D)抗氧化劑。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物，其中，進(jìn)一步含有(E)交聯(lián)劑。
12.一種固化膜，其是通過對(duì)權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物施予光形成的 和/或熱而形成的。
13.一種固化膜的形成方法，其特征在于，包含下述工序(1)將權(quán)利要求1中所述的感光性樹脂組合物涂布到基板上的涂布工序、(2)從已涂布的感光性樹脂組合物中除去溶劑的溶劑除去工序、(3)用活性光線進(jìn)行曝光的曝光工序、(4)用水性顯影液進(jìn)行顯影的顯影工序、和(5)進(jìn)行熱固化的后烘烤工序。
14.一種固化膜，其特征在于，其是通過權(quán)利要求13中所述的方法而形成的。
15.根據(jù)權(quán)利要求12中所述的固化膜，其為層間絕緣膜。
16.一種有機(jī)EL顯示裝置，其特征在于，其具備權(quán)利要求12、14或15中所述的固化膜
17.一種液晶顯示裝置，其特征在于，其具備權(quán)利要求12、14或15中所述的固化膜。
全文摘要
本發(fā)明提供一種保存穩(wěn)定性、感度和溶劑除去工序的寬容度優(yōu)異的感光性樹脂組合物，利用該組合物能夠獲得透明性和耐溶劑性優(yōu)異的固化膜。另外，本發(fā)明還提供可靠性和生產(chǎn)率高的有機(jī)EL顯示裝置以及液晶顯示裝置，它們具備利用上述感光性樹脂組合物形成的固化膜作為層間絕緣膜。所述感光性樹脂組合物的特征在于，其含有(A)共聚物、(B)光產(chǎn)酸劑以及(C)溶劑，所述(A)共聚物含有具有羧基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)而成的殘基的單體單元(1)，具有酚性羥基被酸分解性基團(tuán)保護(hù)而成的殘基的單體單元(2)，和具有3元環(huán)和/或4元環(huán)的環(huán)狀醚殘基的單體單元(3)。
文檔編號(hào)G02F1/1333GK102043334SQ201010511720
公開日2011年5月4日 申請(qǐng)日期2010年10月15日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月16日
發(fā)明者山田悟, 河邊保雅, 疋田政憲 申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社