專利名稱:光模塊制造方法及光模塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及光通信領(lǐng)域,特別涉及一種光模塊制造方法及光模塊。
背景技術(shù):
隨著光進(jìn)銅退的網(wǎng)絡(luò)演進(jìn),光接入通信設(shè)備端口高密化成為未來技術(shù)的發(fā)展趨勢 之一。為滿足高密化技術(shù)需求,光模塊在小型化和高密化方面存在較大挑戰(zhàn),即需要在既定 尺寸空間下,增加光接口數(shù)量。傳統(tǒng)的光組件TO封裝技術(shù),因結(jié)構(gòu)件和加工精度以及連接器的尺寸限制,現(xiàn)有組 件封裝的設(shè)計(jì)基本已經(jīng)達(dá)到極限。業(yè)界目前新興的PLC(PlarmerLightwave Circuit,光波 導(dǎo))技術(shù)實(shí)現(xiàn)的光模塊,常見光通道設(shè)計(jì)方法為單纖雙向?,F(xiàn)有PLC設(shè)計(jì)的光路通道為單纖雙向的并行設(shè)計(jì),同一平面要同時(shí)制作接收光 通道和發(fā)射光通道,為了組裝LD (激光器)和光纖,接收光通道和發(fā)射光通道之間需要保 持一定的距離。因此,采用該技術(shù)制作的光模塊,仍舊占有較大的平面空間,光模塊的I/ Oanput/Output,輸入/輸出)密度不高。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實(shí)施例提供一種光模塊制造方法及光模塊,以減少光模塊占有的平面空 間,提高光模塊I/O密度。本發(fā)明實(shí)施例提供一種光模塊制造方法,包括在第一襯底和第二襯底上分別形成第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層,或者,在所述第一 襯底的第一面和第二面上分別形成第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層;所述第一波導(dǎo)層和所述第二 波導(dǎo)層分別包括至少一個(gè)光通道,所述第一波導(dǎo)層位于所述第二波導(dǎo)層的上方,所述第一 波導(dǎo)層平行于所述第二波導(dǎo)層;將所述第一襯底組設(shè)于所述第二襯底上,使所述第一襯底平行于所述第二襯底, 所述第一波導(dǎo)層平行于所述第二襯底;在所述第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層的一端設(shè)置濾波片,使所述濾波片與所述第二波 導(dǎo)層對準(zhǔn);在所述濾波片上設(shè)置棱鏡,使所述棱鏡的第一反射面對準(zhǔn)所述第一波導(dǎo)層,使所 述第二反射面對準(zhǔn)所述第二波導(dǎo)層;所述濾波片、棱鏡、第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層之間的位置使得輸入到所述第二波 導(dǎo)層的光通道中的光信號經(jīng)過所述棱鏡的透射后進(jìn)入所述濾波片;輸入到所述第一波導(dǎo)層 的光通道中的光信號,通過所述棱鏡的反射后,進(jìn)入所述第二波導(dǎo)層的光通道,并通過所述 第二波導(dǎo)層的光通道輸出。本發(fā)明實(shí)施例提供一種光模塊,包括第一襯底和第二襯底,第一波導(dǎo)層和第二波 導(dǎo)層;所述第一波導(dǎo)層和所述第二波導(dǎo)層分別位于所述第一襯底和所述第二襯底上,或者分別位于所述第一襯底的第一面和第二面上;所述第一襯底平行于所述第二襯底,所述 第一波導(dǎo)層和所述第二波導(dǎo)層分別包括至少一個(gè)光通道,所述第一波導(dǎo)層位于所述第二波 導(dǎo)層的上方;所述第一波導(dǎo)層平行于所述第二波導(dǎo)層,所述第一波導(dǎo)層平行于所述第二襯 底表面;所述第一襯底組設(shè)于所述第二襯底上;所述第一波導(dǎo)層和所述第二波導(dǎo)層的一端設(shè)置有濾波片,所述濾波片對準(zhǔn)于所述 第二波導(dǎo)層;所述濾波片上設(shè)置有棱鏡;所述棱鏡的第一反射面和第二反射面分別對準(zhǔn)于 所述第一波導(dǎo)層和所述第二波導(dǎo)層;所述濾波片、棱鏡、第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層之間的位置使得輸入到所述第二波 導(dǎo)層的光通道中的光信號經(jīng)過所述棱鏡的透射后進(jìn)入所述濾波片;輸入到所述第一波導(dǎo)層 的光通道中的光信號,通過所述棱鏡的反射后,進(jìn)入所述第二波導(dǎo)層的光通道,并通過所述 第二波導(dǎo)層的光通道輸出。本發(fā)明實(shí)施例通過以上技術(shù)方案,使光模塊在豎直方向(Z方向)制作有兩層波導(dǎo) 層,這兩層波導(dǎo)層和棱鏡、濾波片形成光通路,這兩層波導(dǎo)層和棱鏡、濾波片之間的位置關(guān) 系使得輸入到所述第二波導(dǎo)層的光通道中的光信號經(jīng)過所述棱鏡的透射后進(jìn)入所述濾波 片;輸入到所述第一波導(dǎo)層的光通道中的光信號,通過所述棱鏡的反射后,進(jìn)入所述第二波 導(dǎo)層的光通道,并通過所述第二波導(dǎo)層的光通道輸出,從而充分利用了 Z向空間從而降低 光通道寬度,減少了光模塊占有的平面空間,提高光模塊I/O密度,進(jìn)而提高了光模塊所在 系統(tǒng)的整體系統(tǒng)密度。
為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實(shí)施例或現(xiàn) 有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本 發(fā)明的一些實(shí)施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下,還可 以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1本發(fā)明實(shí)施例提供的一種光模塊制造方法的流程圖;圖2本發(fā)明實(shí)施例提供的一種光模塊制造方法的流程圖;圖3本發(fā)明實(shí)施例提供的一種光模塊結(jié)構(gòu)圖;圖3a本發(fā)明實(shí)施例提供的一種光模塊結(jié)構(gòu)圖;圖北本發(fā)明實(shí)施例提供的一種光模塊結(jié)構(gòu)圖;圖4本發(fā)明實(shí)施例提供的一種光模塊結(jié)構(gòu)圖;圖如本發(fā)明實(shí)施例提供的一種光模塊結(jié)構(gòu)圖;圖4b本發(fā)明實(shí)施例提供的一種光模塊結(jié)構(gòu)圖;圖5本發(fā)明實(shí)施例提供的一種光模塊結(jié)構(gòu)圖;圖fe本發(fā)明實(shí)施例提供的一種光模塊結(jié)構(gòu)圖;圖恥本發(fā)明實(shí)施例提供的一種光模塊結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完 整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他 實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。如圖1所示,本發(fā)明實(shí)施例提供一種光模塊制造方法,包括S101,在第一襯底上形成第一波導(dǎo)層,在第二襯底上形成第二波導(dǎo)層,上述第一 波導(dǎo)層包括至少一個(gè)光通道,上述第二波導(dǎo)層包括至少一個(gè)光通道,上述第一波導(dǎo)層位于 第二波導(dǎo)層的上方,第一波導(dǎo)層平行于第二波導(dǎo)層;在一個(gè)實(shí)施例中,可以在預(yù)置的材料(如玻璃)上形成第一襯底和第二襯底。在一個(gè)實(shí)施例中,第一波導(dǎo)層的光通道和第二波導(dǎo)層的光通道由預(yù)置的折射率高 于襯底(第一襯底和第二襯底)材料折射率的光波導(dǎo)材料制成。在一個(gè)實(shí)施例中,可以通過適當(dāng)?shù)墓に嚪椒?如沉積法、離子交換法或鍍膜工藝) 分別在第一襯底和第二襯底的表面形成第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層;在一個(gè)實(shí)施例中,也可以通過適當(dāng)?shù)墓に嚪椒?如沉積法、離子交換法或鍍膜工 藝)分別在第一襯底和第二襯底里面形成第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層。S102,將第一襯底組設(shè)于第二襯底上,使所述第一襯底平行于所述第二襯底,所述 第一波導(dǎo)層平行于所述第二襯底;在一個(gè)實(shí)施例中可以通過膠將第一襯底粘結(jié)于第二襯底上;在一個(gè)實(shí)施例中也可 以通過螺絲或者螺母等固定裝置將第一襯底固定于第二襯底上,在另一個(gè)實(shí)施例中,亦可 以通過錫焊或超聲焊接的方式將第一襯底粘結(jié)與第二襯底上。S103,在上述第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層的一端設(shè)置濾波片,使濾波片與第二波導(dǎo) 層對準(zhǔn);在一個(gè)實(shí)施例中,可以在上述第二襯底表面上裝設(shè)濾波片,使濾波片位于上述第 一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層的一端,并與第二波導(dǎo)層對準(zhǔn);在一個(gè)實(shí)施例中,可以通過膠將濾波 片粘結(jié)在第二襯底表面,在另一個(gè)實(shí)施例中,亦可以通過錫焊或超聲焊接的方式將濾波片 粘結(jié)在第二襯底表面,在一個(gè)實(shí)施例中,該濾波片的至少一個(gè)表面鍍有過濾膜。S104,在上述濾波片上設(shè)置棱鏡,使棱鏡的第一反射面和第二反射面分別與第一 波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層對準(zhǔn);上述濾波片、棱鏡、第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層之間的位置使得 輸入到上述第二波導(dǎo)層的光通道中的光信號經(jīng)過上述棱鏡的透射后進(jìn)入上述濾波片;輸入 到上述第一波導(dǎo)層的光通道中的光信號,通過上述棱鏡的反射后,進(jìn)入上述第二波導(dǎo)層的 光通道,并通過上述第二波導(dǎo)層的光通道輸出。在一個(gè)實(shí)施例中,可以通過膠將棱鏡粘結(jié)在濾波片表面。在一個(gè)實(shí)施例中,與第一波導(dǎo)層對準(zhǔn)的棱鏡的第一反射面鍍有全反射膜;與第二 波導(dǎo)層對準(zhǔn)的棱鏡的第二反射面鍍有增透膜。本發(fā)明實(shí)施例通過以上技術(shù)方案,使光模塊在豎直方向(Z方向)制作有兩層波導(dǎo) 層,這兩層波導(dǎo)層和棱鏡、濾波片形成光通路,這兩層波導(dǎo)層和棱鏡、濾波片之間的位置關(guān) 系使得輸入到所述第二波導(dǎo)層的光通道中的光信號經(jīng)過所述棱鏡的透射后進(jìn)入所述濾波 片;輸入到所述第一波導(dǎo)層的光通道中的光信號,通過所述棱鏡的反射后,進(jìn)入所述第二波 導(dǎo)層的光通道,并通過所述第二波導(dǎo)層的光通道輸出,從而充分利用了 Z向空間從而降低 光通道寬度,減少了光模塊占有的平面空間,提高光模塊I/O密度,進(jìn)而提高了光模塊所在 系統(tǒng)的整體系統(tǒng)密度。
在另一個(gè)實(shí)施例中,如圖1中的虛線狂所示,該方法還可以包括S105,在第一襯底和第二襯底上分別裝設(shè)第一光發(fā)射器LD和第一光接收器PD,上 述濾波片、棱鏡、第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層之間的位置使得輸入到第二波導(dǎo)層的光通道中 的光信號經(jīng)過棱鏡的透射后進(jìn)入濾波片,并通過濾波片進(jìn)入第一 PD ;第一 LD發(fā)射的光信號 進(jìn)入第一波導(dǎo)層的光通道,通過棱鏡的反射后,進(jìn)入第二波導(dǎo)層的光通道,并通過第二波導(dǎo) 層的光通道輸出;或者,在第一襯底和第二襯底上分別裝設(shè)第二光接收器PD和第二光發(fā)射器LD,上 述濾波片、棱鏡、第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層之間的位置使得第二 LD發(fā)射的光信號進(jìn)入濾 波器后,通過棱鏡的透射進(jìn)入第二波導(dǎo)層的光通道,并通過第二波導(dǎo)層的光通道輸出;輸入 到第二波導(dǎo)層的光通道中光信號,通過棱鏡的反射后,進(jìn)入第一波導(dǎo)層的光通道,通過第一 波導(dǎo)層的光通道后進(jìn)入第二 PD ;在一個(gè)實(shí)施例中,可以通過膠、錫焊或超聲焊接的方式將第一 LD和第一 PD分別粘 結(jié)在第一襯底表面和第二襯底表面;在一個(gè)實(shí)施例中,可以通過膠、錫焊或超聲焊接的方式 將第二 PD和第二 LD分別粘結(jié)在第一襯底表面和第二襯底表面。需要說明的是,以上用于粘結(jié)用的膠,在一個(gè)實(shí)施例中可以是CTE (coefficient of thermal expansion,熱膨脹系數(shù))與第一襯底或者第二襯底的CTE相接近的膠。也就 是說,以上用于粘結(jié)用的膠的CTE和第一襯底或者第二襯底的CTE的差的絕對值在預(yù)設(shè)的 范圍之內(nèi)。在一個(gè)實(shí)施例中,還可以使第一 LD和第一 PD形成電連接,第一 LD和第一 PD的電 連接可以采用焊接或者引線綁定完成;在一個(gè)實(shí)施例中,還可以使第二 LD和第二 PD形成電 連接,第二 LD和第二 PD的電連接可以采用焊接或者引線綁定完成。本發(fā)明實(shí)施例通過以上技術(shù)方案制作出的光模塊,在豎直方向(Z方向)制作有兩 層波導(dǎo)層,這兩層波導(dǎo)層和棱鏡、濾波片、LD和PD形成光電通路,充分利用了 Z向空間從而 降低光通道寬度,減少了光模塊占有的平面空間,提高光模塊I/O密度,進(jìn)而提高了光模塊 所在系統(tǒng)的整體系統(tǒng)密度。如圖2所示,本發(fā)明實(shí)施例提供一種光模塊制造方法,該方法包括S201,在第一襯底的第一面和第二面上分別形成第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層,上述 第一波導(dǎo)層包括至少一個(gè)光通道,上述第二波導(dǎo)層包括至少一個(gè)光通道;第一波導(dǎo)層位于 第二波導(dǎo)層的上發(fā),第一波導(dǎo)層平行于所述第二波導(dǎo)層;在一個(gè)實(shí)施例中,可以在預(yù)置的材料(如玻璃)上形成第一襯底。在一個(gè)實(shí)施例中,第一波導(dǎo)層的光通道和第二波導(dǎo)層的光通道由預(yù)置的折射率高 于第一襯底材料折射率的光波導(dǎo)材料制成。在一個(gè)實(shí)施例中,可以通過適當(dāng)?shù)墓に嚪椒?如沉積法、離子交換法或鍍膜工藝) 分別在第一襯底的上下表面形成第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層;即,這里的第一襯底的第一面 和第二面分別為第一襯底的上下表面。在一個(gè)實(shí)施例中,也可以通過適當(dāng)?shù)墓に嚪椒?如沉積法、離子交換法或鍍膜工 藝)在第一襯底里面分別形成第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層。即,這里的第一襯底的第一面和 第二面位于第一襯底的內(nèi)部。S202,將第一襯底組設(shè)于第二襯底上,使第一襯底平行于第二襯底,第一波導(dǎo)層平行于第二襯底;S203,在上述第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層的一端設(shè)置濾波片,使濾波片與第二波導(dǎo) 層對準(zhǔn);在一個(gè)實(shí)施例中,可以在第二襯底表面上裝設(shè)濾波片,使濾波片位于上述第一波 導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層的一端,并使濾波片與第二波導(dǎo)層對準(zhǔn),第二襯底平行于第一襯底;在一 個(gè)實(shí)施例中,可以通過膠將濾波片粘結(jié)在第二襯底表面,在另一個(gè)實(shí)施例中,亦可以通過錫 焊或超聲焊接的方式將濾波片粘結(jié)在第二襯底表面;在一個(gè)實(shí)施例中,該濾波片的至少一 個(gè)表面鍍有過濾膜。在一個(gè)實(shí)施例中,還可以在第一襯底一側(cè)的端面制作濾波片,使所述濾波片和所 述第一襯底一體化,并對準(zhǔn)所述第二波導(dǎo)層,該濾波片表面上鍍有過濾膜。S204,將棱鏡設(shè)置于濾波片上,使棱鏡的第一反射面和第二反射面分別與第一波 導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層對準(zhǔn);在一個(gè)實(shí)施例中,可以通過膠、錫焊或超聲焊接的方式將棱鏡粘結(jié)在濾波片表面。 在一個(gè)實(shí)施例中,與第一波導(dǎo)層對準(zhǔn)的棱鏡的第一反射面鍍有全反射膜;與第二波導(dǎo)層對 準(zhǔn)的棱鏡的第二反射面鍍有增透膜。需要說明的是,在一個(gè)實(shí)施例中,在制作步驟S203 S204中,當(dāng)在第一襯底一側(cè) 的端面制作濾波片時(shí),還可以將該濾波片作為棱鏡的第二反射面,而且在上述第一襯底一 側(cè)的端面制作棱鏡的第一反射面,使第一反射面對準(zhǔn)于第一波導(dǎo)層。也就是說,可以在第 一襯底一側(cè)的端面制作棱鏡的第一反射面和第二反射面,使該棱鏡的第一反射面和第二反 射面分別對準(zhǔn)第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層。在第一反射面鍍?nèi)瓷淠?,在第二反射面鍍過濾 膜,使第二反射面具有濾波片的濾波功能,這樣通過上述方法,可以使第一波導(dǎo)層、第二波 導(dǎo)層,棱鏡和濾波片一體化。在一個(gè)實(shí)施例中,可以使第一反射面和第二反射面分別與第一波導(dǎo)層成45度夾 角。在這里需要說明的是,由于在本實(shí)施例中,第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層分別位于第一襯底 的上下表面,而第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層互相平行,所以當(dāng)?shù)谝环瓷涿婧偷诙瓷涿娣謩e 與第一波導(dǎo)層成45度夾角時(shí),第一反射面和第二反射面也分別與的二波導(dǎo)層成45度夾角。本發(fā)明實(shí)施例通過以上技術(shù)方案,使光模塊在豎直方向(Z方向)制作有兩層波導(dǎo) 層,這兩層波導(dǎo)層和棱鏡、濾波片形成光通路,這兩層波導(dǎo)層和棱鏡、濾波片之間的位置關(guān) 系使得輸入到所述第二波導(dǎo)層的光通道中的光信號經(jīng)過所述棱鏡的透射后進(jìn)入所述濾波 片;輸入到所述第一波導(dǎo)層的光通道中的光信號,通過所述棱鏡的反射后,進(jìn)入所述第二 波導(dǎo)層的光通道,并通過所述第二波導(dǎo)層的光通道輸出,從而充分利用了 Z向空間從而降 低光通道寬度,減少了光模塊占有的平面空間,提高光模塊I/O密度,進(jìn)而提高了光模塊所 在系統(tǒng)的整體系統(tǒng)密度。如圖2中的虛線框所示,在另一個(gè)實(shí)施例中,該方法還可以包括S205,在第一襯底和第二襯底上分別裝設(shè)第一光發(fā)射器LD和第一光接收器PD,上 述濾波片、棱鏡、第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層之間的位置使得輸入到第二波導(dǎo)層的光通道中 的光信號經(jīng)過棱鏡的透射后進(jìn)入濾波片,并通過濾波片進(jìn)入第一 PD ;第一 LD發(fā)射的光信號 進(jìn)入第一波導(dǎo)層的光通道,通過棱鏡的反射后,進(jìn)入第二波導(dǎo)層的光通道,并通過第二波導(dǎo) 層的光通道輸出;
或者,在第一襯底和第二襯底上分別裝設(shè)第二光接收器PD和第二光發(fā)射器LD,上 述濾波片、棱鏡、第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層之間的位置使得第二 LD發(fā)射的光信號進(jìn)入濾 波器后,通過棱鏡的透射進(jìn)入第二波導(dǎo)層的光通道,并通過第二波導(dǎo)層的光通道輸出;輸入 到第二波導(dǎo)層的光通道中光信號,通過棱鏡的反射后,進(jìn)入第一波導(dǎo)層的光通道,通過第一 波導(dǎo)層的光通道后進(jìn)入第二 PD 在一個(gè)實(shí)施例中,可以通過膠、錫焊或超聲焊接的方式將第一 LD和第一 PD分別粘 結(jié)在第一襯底表面和第二襯底表面;在一個(gè)實(shí)施例中,可以通過膠、錫焊或超聲焊接的方式 將第二 PD和第二 LD分別粘結(jié)在第一襯底表面和第二襯底表面。需要說明的是,以上用于粘結(jié)用的膠,在一個(gè)實(shí)施例中可以是CTE (coefficient of thermal expansion,熱膨脹系數(shù))與第一襯底或者第二襯底的CTE相接近的膠。也就 是說,以上用于粘結(jié)用的膠的CTE和第一襯底或者第二襯底的CTE的差的絕對值在預(yù)設(shè)的 范圍之內(nèi)。 在一個(gè)實(shí)施例中,還可以使第一 LD和第一 PD形成電連接,第一 LD和第一 PD的電 連接可以采用焊接或者引線綁定完成;在一個(gè)實(shí)施例中,還可以使第二 LD和第二 PD形成電 連接,第二 LD和第二 PD的電連接可以采用焊接或者引線綁定完成。本發(fā)明實(shí)施例通過以上技術(shù)方案制作出的光模塊,在豎直方向(Z方向)制作有 兩層波導(dǎo)層,這兩層波導(dǎo)層和棱鏡、濾波片、LD和PD形成光電通路,這兩層波導(dǎo)層和棱鏡、 濾波片之間的位置關(guān)系使得輸入到所述第二波導(dǎo)層的光通道中的光信號經(jīng)過所述棱鏡的 透射后進(jìn)入所述濾波片;輸入到所述第一波導(dǎo)層的光通道中的光信號,通過所述棱鏡的反 射后,進(jìn)入所述第二波導(dǎo)層的光通道,并通過所述第二波導(dǎo)層的光通道輸出,從而充分利用 了 Z向空間從而降低光通道寬度,減少了光模塊占有的平面空間,提高光模塊I/O密度,進(jìn) 而提高了光模塊所在系統(tǒng)的整體系統(tǒng)密度。如圖3所示,本發(fā)明實(shí)施例提供一種光模塊,包括第一襯底11和第二襯底12,第 一波導(dǎo)層21和第二波導(dǎo)層22、濾波片31和棱鏡32,其中第一波導(dǎo)層21和第二波導(dǎo)層22分別位于第一襯底11和第二襯底12上,第一襯 底11和第二襯底12平行,第一波導(dǎo)層21包括至少一個(gè)光通道,第二波導(dǎo)層21包括至少一 個(gè)光通道;第一波導(dǎo)層21位于第二波導(dǎo)層22的上方,第一波導(dǎo)層21平行于第二波導(dǎo)層22, 第一波導(dǎo)層21平行于第二襯底12,第一襯底11組設(shè)于第二襯底12上;濾波片31設(shè)置在第一波導(dǎo)層21和第二波導(dǎo)層22的一端,濾波片31對準(zhǔn)于第二 波導(dǎo)層22 ;棱鏡32設(shè)置在濾波片31上;棱鏡32的第一反射面321和第二反射面分322別 對準(zhǔn)于第一波導(dǎo)層21和第二波導(dǎo)層22 ;上述濾波片31、棱鏡32、第一波導(dǎo)層21和第二波導(dǎo)層22之間的位置使得輸入到 第二波導(dǎo)層22的光通道中的光信號經(jīng)過棱鏡32的透射后進(jìn)入濾波片31 (如圖4中第二波 導(dǎo)層22中沿左箭頭方向的光);輸入到第一波導(dǎo)層21的光通道中的光信號(如圖4中第 一波導(dǎo)層21中沿左箭頭方向的光),通過棱鏡32的反射后,進(jìn)入第二波導(dǎo)層22的光通道 (如圖4中第二波導(dǎo)層22中沿右箭頭方向的光),并通過第二波導(dǎo)層22的光通道輸出。需要說明的是,在一個(gè)實(shí)施例中,濾波片31可以裝設(shè)在在第二襯底12上,濾波片 31位于第一波導(dǎo)層21和第二波導(dǎo)層22的一端,并且對準(zhǔn)于第二波導(dǎo)層22。需要說明的是,在一個(gè)實(shí)施例中,第一波導(dǎo)層21和第二波導(dǎo)層22的橫截面的寬度相等,或者第一波導(dǎo)層21和第二波導(dǎo)層22的橫截面的寬度在允許誤差范圍內(nèi)相等。本發(fā)明實(shí)施例通過以上技術(shù)方案,使光模塊在豎直方向(Z方向)制作有兩層波導(dǎo) 層,這兩層波導(dǎo)層和棱鏡、濾波片形成光通路,這兩層波導(dǎo)層和棱鏡、濾波片之間的位置關(guān) 系使得輸入到所述第二波導(dǎo)層的光通道中的光信號經(jīng)過所述棱鏡的透射后進(jìn)入所述濾波 片;輸入到所述第一波導(dǎo)層的光通道中的光信號,通過所述棱鏡的反射后,進(jìn)入所述第二波 導(dǎo)層的光通道,并通過所述第二波導(dǎo)層的光通道輸出,從而充分利用了 Z向空間從而降低 光通道寬度,減少了光模塊占有的平面空間,提高光模塊I/O密度,進(jìn)而提高了光模塊所在 系統(tǒng)的整體系統(tǒng)密度。如圖3a所示,在一個(gè)實(shí)施例中,該光模塊還可以包括分別裝設(shè)在第一襯底11和第二襯底12上的第一 LD 41和第一 PD 42 ;上述濾波 片31、棱鏡32、第一波導(dǎo)層21和第二波導(dǎo)層22之間的位置使得輸入到第二波導(dǎo)層22的 光通道中的光信號經(jīng)過棱鏡32的透射后進(jìn)入濾波片31,并通過濾波片31進(jìn)入第一 PD 42 ; 第一 LD 41發(fā)射的光信號進(jìn)入第一波導(dǎo)層22的光通道,通過棱鏡32的反射后,進(jìn)入第二波 導(dǎo)層22的光通道,并通過第二波導(dǎo)層22的光通道輸出;或者,如圖北所示,在一個(gè)實(shí)施例中,該光模塊還可以包括分別裝設(shè)在第一襯底11和第二襯底12上的第二 PD 52和第二 LD 51 ;上述濾波 片31、棱鏡32、第一波導(dǎo)層21和第二波導(dǎo)層22之間的位置使得第二 LD 51發(fā)射的光信號 進(jìn)入濾波片31后,通過棱鏡32的透射進(jìn)入第二波導(dǎo)層22的光通道,并通過第二波導(dǎo)層22 的光通道輸出;輸入到第二波導(dǎo)層22的光通道中光信號,通過棱鏡32的反射后,進(jìn)入第一 波導(dǎo)層21的光通道,通過第一波導(dǎo)層21的光通道后進(jìn)入第二 PD 52。也就是說,圖北所示的實(shí)施例,相對于圖3a所示的實(shí)施例,LD和PD的位置進(jìn)行 了互換。在一個(gè)實(shí)施例中,第一襯底11和第二襯底12由預(yù)置的材料(如玻璃)制成。在一個(gè)實(shí)施例中,第一波導(dǎo)層21的光通道和第二波導(dǎo)層22的光通道由預(yù)置的折 射率高于襯底材料折射率的光波導(dǎo)材料制成在一個(gè)實(shí)施例中,濾波片31通過膠、錫焊或超聲焊接粘結(jié)于第二襯底12表面;在 一個(gè)實(shí)施例中,棱鏡32通過膠、錫焊或超聲焊接粘結(jié)于濾波片31表面。在一個(gè)實(shí)施例中,第一 LD 41和第一 PD 42分別通過膠、錫焊或超聲焊接粘結(jié)在第 一襯底11表面和第二襯底12表面;或者在一個(gè)實(shí)施例中,第二 PD 52和第二 LD 51分別通 過膠、錫焊或超聲焊接粘結(jié)在第一襯底11表面和第二襯底12表面。需要說明的是,以上用于粘結(jié)用的膠,在一個(gè)實(shí)施例中可以是CTE與第一襯底11 或者第二襯底12的CTE相接近的膠。也就是說,以上用于粘結(jié)用的膠的CTE和第一襯底11 或者第二襯底12的CTE的差的絕對值在預(yù)設(shè)的范圍之內(nèi)。在一個(gè)實(shí)施例中,濾波片31的至少一個(gè)表面鍍有過濾膜;在一個(gè)實(shí)施例中,于第 一波導(dǎo)層21對準(zhǔn)的棱鏡32的第一反射面321鍍有全反射膜,與第二波導(dǎo)層22對準(zhǔn)的棱鏡 32的第二反射面322鍍有增透膜。在一個(gè)實(shí)施例中,第一 LD 41和第一 PD 42電連接,第一 LD 41和第一 PD 42的電 連接可以采用焊接或者引線綁定完成;在一個(gè)實(shí)施例中,第二 LD 51和第二 PD 52電連接, 第二 LD 51和第二 PD 52的電連接可以采用焊接或者引線綁定完成。
本發(fā)明實(shí)施例提供的光模塊,在豎直方向(Z方向)制作有兩層波導(dǎo)層,這兩層波 導(dǎo)層和棱鏡、濾波片、LD和PD形成光電通路,這兩層波導(dǎo)層和棱鏡、濾波片之間的位置關(guān) 系使得輸入到所述第二波導(dǎo)層的光通道中的光信號經(jīng)過所述棱鏡的透射后進(jìn)入所述濾波 片;輸入到所述第一波導(dǎo)層的光通道中的光信號,通過所述棱鏡的反射后,進(jìn)入所述第二波 導(dǎo)層的光通道,并通過所述第二波導(dǎo)層的光通道輸出,從而充分利用了 Z向空間從而降低 光通道寬度,減少了光模塊占有的平面空間,提高光模塊I/O密度,進(jìn)而提高了光模塊所在 系統(tǒng)的整體系統(tǒng)密度。如圖4所示,本發(fā)明實(shí)施例提供一種光模塊,本發(fā)明實(shí)施例提供一種光模塊,包 括第一襯底11和第二襯底12,第一波導(dǎo)層21和第二波導(dǎo)層22、濾波片31和棱鏡32,其 中第一波導(dǎo)層21和第二波導(dǎo)層22分別位于第一襯底11的第一面和第二面上,第 一襯底11和第二襯底12平行,第一波導(dǎo)層21包括至少一個(gè)光通道,第二波導(dǎo)層21包括至 少一個(gè)光通道;第一波導(dǎo)層21平行于第二波導(dǎo)層22,第一波導(dǎo)層21平行于第二襯底12,第 一襯底11組設(shè)于第二襯底12上;濾波片31設(shè)置在第一波導(dǎo)層21和第二波導(dǎo)層22的一端,并且對準(zhǔn)于第二波導(dǎo)層 22 ;棱鏡32設(shè)置在濾波片31上,棱鏡32的兩個(gè)反射面分別對準(zhǔn)于第一波導(dǎo)層21和第二波 導(dǎo)層22 ;上述濾波片31、棱鏡32、第一波導(dǎo)層21和第二波導(dǎo)層22之間的位置使得輸入到 第二波導(dǎo)層22的光通道中的光信號經(jīng)過棱鏡32的透射后進(jìn)入濾波片31 ;輸入到第一波導(dǎo) 層21的光通道中的光信號,通過棱鏡32的反射后,進(jìn)入第二波導(dǎo)層22的光通道,并通過第 二波導(dǎo)層22的光通道輸出。在一個(gè)實(shí)施例中,如圖4所示,濾波片31可以裝設(shè)在第二襯底上;進(jìn)一步,在一個(gè) 實(shí)施例中,可以用膠、錫焊或超聲焊接將濾波片31粘結(jié)于第二襯底12表面上,使濾波片31 位于第一波導(dǎo)層21和第二波導(dǎo)層22的一端,并且對準(zhǔn)于第二波導(dǎo)層22。在一個(gè)實(shí)施例中,第一波導(dǎo)層21和第二波導(dǎo)層22可以分別位于第一襯底11的上 下表面;即,這里的第一襯底的第一面和第二面分別為第一襯底的上下表面。在一個(gè)實(shí)施例中,第一波導(dǎo)層21和第二波導(dǎo)層22也可以分別位于第一襯底11里 面(即,內(nèi)部);即,這里的第一襯底的第一面和第二面位于第一襯底的內(nèi)部。需要說明的是,以上用于粘結(jié)用的膠,在一個(gè)實(shí)施例中可以是CTE與第二襯底的 CTE相接近的膠。也就是說,以上用于粘結(jié)用的膠的CTE和第二襯底的CTE的差的絕對值在 預(yù)設(shè)的范圍之內(nèi)。需要說明的是,在一個(gè)實(shí)施例中,第一波導(dǎo)層21和第二波導(dǎo)層22的橫截面的寬度 相等,或者第一波導(dǎo)層21和第二波導(dǎo)層22的橫截面的寬度在允許誤差范圍內(nèi)相等。本發(fā)明實(shí)施例通過以上技術(shù)方案,使光模塊在豎直方向(Z方向)制作有兩層波導(dǎo) 層,這兩層波導(dǎo)層和棱鏡、濾波片形成光通路,這兩層波導(dǎo)層和棱鏡、濾波片之間的位置關(guān) 系使得輸入到所述第二波導(dǎo)層的光通道中的光信號經(jīng)過所述棱鏡的透射后進(jìn)入所述濾 波片;輸入到所述第一波導(dǎo)層的光通道中的光信號,通過所述棱鏡的反射后,進(jìn)入所述第二 波導(dǎo)層的光通道,并通過所述第二波導(dǎo)層的光通道輸出,從而充分利用了 Z向空間從而降 低光通道寬度,減少了光模塊占有的平面空間,提高光模塊I/O密度,進(jìn)而提高了光模塊所在系統(tǒng)的整體系統(tǒng)密度。如圖如所示,在一個(gè)實(shí)施例中,該光模塊還可以包括分別裝設(shè)在第一襯底11和第二襯底12上的第一 LD 41和第一 PD 42 ;上述濾波 片31、棱鏡32、第一波導(dǎo)層21和第二波導(dǎo)層22之間的位置使得輸入到第二波導(dǎo)層22的 光通道中的光信號經(jīng)過棱鏡32的透射后進(jìn)入濾波片31,并通過濾波片31進(jìn)入第一 PD 42 ; 第一 LD 41發(fā)射的光信號進(jìn)入第一波導(dǎo)層22的光通道,通過棱鏡32的反射后,進(jìn)入第二波 導(dǎo)層22的光通道,并通過第二波導(dǎo)層22的光通道輸出;或者,如圖4b所示,在一個(gè)實(shí)施例中,該光模塊還可以包括分別裝設(shè)在第一襯底11和第二襯底12上的第二 PD 52和第二 LD 51 ;上述濾波 片31、棱鏡32、第一波導(dǎo)層21和第二波導(dǎo)層22之間的位置使得第二 LD 51發(fā)射的光信號 進(jìn)入濾波片31后,通過棱鏡32的透射進(jìn)入第二波導(dǎo)層22的光通道,并通過第二波導(dǎo)層22 的光通道輸出;輸入到第二波導(dǎo)層22的光通道中光信號,通過棱鏡32的反射后,進(jìn)入第一 波導(dǎo)層21的光通道,通過第一波導(dǎo)層21的光通道后進(jìn)入第二 PD 52。也就是說,圖4b所示的實(shí)施例,相對于圖如所示的實(shí)施例,LD和PD的位置進(jìn)行 了互換。在一個(gè)實(shí)施例中,第一襯底11和第二襯底12由預(yù)置的材料(如玻璃)制成。在一個(gè)實(shí)施例中,第一波導(dǎo)層21的光通道和第二波導(dǎo)層22的光通道由預(yù)置的折 射率與襯底(第一襯底和第二襯底)材料的光波導(dǎo)材料制成在一個(gè)實(shí)施例中,濾波片31通過膠、錫焊或超聲焊接的方式粘結(jié)于第二襯底12表 面;在一個(gè)實(shí)施例中,棱鏡32通過膠、錫焊或超聲焊接的方式粘結(jié)于濾波片31表面。在一個(gè)實(shí)施例中,第一 LD 41和第一 PD 42分別通過膠、錫焊或超聲焊接的方式 粘結(jié)在第一襯底11表面和第二襯底12表面;或者在一個(gè)實(shí)施例中,第二 PD 52和第二 LD 51分別通過膠、錫焊或超聲焊接的方式粘結(jié)在第一襯底11表面和第二襯底12表面。需要說明的是,以上用于粘結(jié)用的膠,在一個(gè)實(shí)施例中可以是CTE與第一襯底11 或者第二襯底12的CTE相接近的膠。也就是說,以上用于粘結(jié)用的膠的CTE和第一襯底11 或者第二襯底12的CTE的差的絕對值在預(yù)設(shè)的范圍之內(nèi)。在一個(gè)實(shí)施例中,濾波片31的至少一個(gè)表面鍍有過濾膜;在一個(gè)實(shí)施例中,于第 一波導(dǎo)層21對準(zhǔn)的棱鏡32的第一反射面321鍍有全反射膜,與第二波導(dǎo)層22對準(zhǔn)的棱鏡 32的第二反射面322鍍有增透膜。在一個(gè)實(shí)施例中,第一 LD 41和第一 PD 42電連接,第一 LD 41和第一 PD 42的電 連接可以采用焊接或者引線綁定完成;在一個(gè)實(shí)施例中,第二 LD 51和第二 PD 52電連接, 第二 LD 51和第二 PD 52的電連接可以采用焊接或者引線綁定完成。本發(fā)明實(shí)施例提供的光模塊,在豎直方向(Z方向)制作有兩層波導(dǎo)層,這兩層波 導(dǎo)層和棱鏡、濾波片、LD和PD形成光電通路,這兩層波導(dǎo)層和棱鏡、濾波片之間的位置關(guān) 系使得輸入到所述第二波導(dǎo)層的光通道中的光信號經(jīng)過所述棱鏡的透射后進(jìn)入所述濾波 片;輸入到所述第一波導(dǎo)層的光通道中的光信號,通過所述棱鏡的反射后,進(jìn)入所述第二波 導(dǎo)層的光通道,并通過所述第二波導(dǎo)層的光通道輸出,從而充分利用了 Z向空間從而降低 光通道寬度,減少了光模塊占有的平面空間,提高光模塊I/O密度,進(jìn)而提高了光模塊所在 系統(tǒng)的整體系統(tǒng)密度。
如圖5所示,本發(fā)明實(shí)施例提供一種光模塊,在本實(shí)施例中,棱鏡和濾波片通過適 當(dāng)?shù)墓に嚪椒?如,沉積法、離子交換法或者鍍膜工藝等)一體化于第一襯底上。即,在第 一襯底一側(cè)的端面制作棱鏡和濾波片,制作出的濾波片、棱鏡和第一襯底一體化。該光模塊 包括第一襯底501和第二襯底502,第一波導(dǎo)層570和第二波導(dǎo)層580,棱鏡510和濾 波片520,其中第一波導(dǎo)層570和第二波導(dǎo)層580分別位于第一襯底501的第一面和第二面上 (在一個(gè)實(shí)施例中,第一面和第二面可以分別為第一襯底的上下表面;在另一個(gè)實(shí)施例中 第一面和第二面也可以分別為第一襯底內(nèi)部的兩個(gè)面),第一波導(dǎo)層570位于第二波導(dǎo)層 580的上方;第一襯底501表面和第二襯底502表面平行,第一波導(dǎo)層570包括至少一個(gè)光 通道,第二波導(dǎo)層580包括至少一個(gè)光通道;第一波導(dǎo)層570平行于第二波導(dǎo)層580,第一 波導(dǎo)層570平行于第二襯底502,第一襯底501組設(shè)于第二襯底502上;棱鏡510的第一反射面511和第二反射面520均位于第一襯底501 —側(cè)的端面 (在本實(shí)施例中,如圖5所示,位于第一襯底501左側(cè)的端面),第一反射面511和第二反射 面520分別對準(zhǔn)于第一波導(dǎo)層570和第二波導(dǎo)層580 ;棱鏡510的第一反射面511鍍有全 反射膜,第二反射面520通過鍍有過濾膜形成濾波片,具有濾波作用,即在本實(shí)施例中,濾 波片520和棱鏡510 —體化。如圖fe所示,在一個(gè)實(shí)施例中,該光模塊還包括分別裝設(shè)在第一襯底501和第二襯底502上的第一 LD 541和第一 PD M2 ;上述 濾波片520、棱鏡510、第一波導(dǎo)層570和第二波導(dǎo)層580之間的位置使得輸入到第二波導(dǎo) 層580的光通道中的光信號通過棱鏡510的第二反射面520(也就是濾波片520)進(jìn)入第一 PD 542 ;第一 LD 541發(fā)射的光信號進(jìn)入第一波導(dǎo)層570的光通道,通過棱鏡580的第一反 射面581和第二反射面(濾波片520)的反射后,進(jìn)入第二波導(dǎo)層580的光通道,并通過第 二波導(dǎo)層580的光通道輸出;或者,如圖恥所示,在一個(gè)實(shí)施例中,該光模塊還包括分別裝設(shè)在第一襯底501和第二襯底502上的第二 PD 552和第二 LD 551 ;上述 濾波片520、棱鏡510、第一波導(dǎo)層570和第二波導(dǎo)層580之間的位置使得第二 LD 551發(fā) 射的光信號進(jìn)入濾波片520后,進(jìn)入第二波導(dǎo)層580的光通道,并通過第二波導(dǎo)層580的光 通道輸出;輸入到第二波導(dǎo)層580光通道中光信號,通過棱鏡510的第二反射面520(也就 是濾波片520)和第一反射面511的反射后,進(jìn)入第一波導(dǎo)層570的光通道,通過第一波導(dǎo) 層570的光通道后進(jìn)入第二 PD 552。需要說明的是,在一個(gè)實(shí)施例中,第一反射面和第二反射面分別與第一波導(dǎo)層成 45度夾角。需要說明的是,在一個(gè)實(shí)施例中,第一波導(dǎo)層570和第二波導(dǎo)層580的橫截面的寬 度相等,或者第一波導(dǎo)層570和第二波導(dǎo)層580的橫截面的寬度在允許誤差范圍內(nèi)相等。本發(fā)明實(shí)施例提供的光模塊,在豎直方向(Z方向)制作有兩層波導(dǎo)層,這兩層波 導(dǎo)層和棱鏡、濾波片、LD和PD形成光電通路,這兩層波導(dǎo)層和棱鏡、濾波片之間的位置關(guān) 系使得輸入到所述第二波導(dǎo)層的光通道中的光信號經(jīng)過所述棱鏡的透射后進(jìn)入所述濾波 片;輸入到所述第一波導(dǎo)層的光通道中的光信號,通過所述棱鏡的反射后,進(jìn)入所述第二波導(dǎo)層的光通道,并通過所述第二波導(dǎo)層的光通道輸出,從而充分利用了 Z向空間從而降低 光通道寬度,減少了光模塊占有的平面空間,提高光模塊I/O密度,進(jìn)而提高了光模塊所在 系統(tǒng)的整體系統(tǒng)密度。 以上所述僅為本發(fā)明的幾個(gè)實(shí)施例,本領(lǐng)域的技術(shù)人員依據(jù)申請文件公開的可以 對本發(fā)明進(jìn)行各種改動或變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。
權(quán)利要求
1.一種光模塊制造方法,其特征在于,包括在第一襯底和第二襯底上分別形成第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層,或者,在所述第一襯底 的第一面和第二面上分別形成第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層;所述第一波導(dǎo)層和所述第二波導(dǎo) 層分別包括至少一個(gè)光通道,所述第一波導(dǎo)層位于所述第二波導(dǎo)層的上方,所述第一波導(dǎo) 層平行于所述第二波導(dǎo)層;將所述第一襯底組設(shè)于所述第二襯底上,使所述第一襯底平行于所述第二襯底,所述 第一波導(dǎo)層平行于所述第二襯底;在所述第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層的一端設(shè)置濾波片,使所述濾波片與所述第二波導(dǎo)層 對準(zhǔn);在所述濾波片上設(shè)置棱鏡,使所述棱鏡的第一反射面對準(zhǔn)所述第一波導(dǎo)層,使所述第 二反射面對準(zhǔn)所述第二波導(dǎo)層;所述濾波片、棱鏡、第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層之間的位置關(guān)系使得輸入到所述第二波 導(dǎo)層的光通道中的光信號經(jīng)過所述棱鏡的透射后進(jìn)入所述濾波片;輸入到所述第一波導(dǎo)層 的光通道中的光信號,通過所述棱鏡的反射后,進(jìn)入所述第二波導(dǎo)層的光通道,并通過所述 第二波導(dǎo)層的光通道輸出。
2.如權(quán)利要求1所述的光模塊制造方法,其特征在于,還包括在所述第一襯底和所述第二襯底上分別裝設(shè)第一光發(fā)射器LD和第一光接收器PD,所 述第一 LD和所述第一 PD電連接,所述濾波片、棱鏡、第一波導(dǎo)層、第二波導(dǎo)層、第一 LD和第 一 PD之間的位置使得輸入到所述第二波導(dǎo)層的光通道中的光信號經(jīng)過所述棱鏡的透射 后進(jìn)入所述濾波片,并通過所述濾波片進(jìn)入所述第一 PD ;所述第一 LD發(fā)射的光信號進(jìn)入所 述第一波導(dǎo)層的光通道,通過所述棱鏡的反射后,進(jìn)入所述第二波導(dǎo)層的光通道,并通過所 述第二波導(dǎo)層的光通道輸出。
3.如權(quán)利要求1所述的光模塊制造方法,其特征在于,還包括在所述第一襯底和所述第二襯底上分別裝設(shè)第二光接收器PD和第二光發(fā)射器LD,所 述第一 LD和所述第一 PD電連接,所述濾波片、棱鏡、第一波導(dǎo)層、第二波導(dǎo)層、第二 PD和第 二LD之間的位置使得所述第二LD發(fā)射的光信號進(jìn)入所述濾波片后,通過所述棱鏡的透射 進(jìn)入所述第二波導(dǎo)層的光通道,并通過所述第二波導(dǎo)層的光通道輸出;輸入到所述第二波 導(dǎo)層的光通道中光信號,通過所述棱鏡的反射后,進(jìn)入所述第一波導(dǎo)層的光通道,通過所述 第一波導(dǎo)層的光通道后進(jìn)入所述第二 PD。
4.如權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的光模塊制造方法,其特征在于,所述在所述第一波導(dǎo) 層和第二波導(dǎo)層的一端設(shè)置濾波片,使所述濾波片與所述第二波導(dǎo)層對準(zhǔn),包括在所述第二襯底上裝設(shè)濾波片,使所述濾波片位于所述第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層的一 端,并與第二波導(dǎo)層對準(zhǔn)。
5.如權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的光模塊制造方法,其特征在于,所述在所述第一波導(dǎo) 層和第二波導(dǎo)層的一端設(shè)置濾波片,使所述濾波片與所述第二波導(dǎo)層對準(zhǔn),包括當(dāng)在所述第一襯底的第一面和第二面上分別形成第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層時(shí),在所述 第一襯底一側(cè)的端面制作濾波片,使所述濾波片和所述第一襯底一體化,并使所述濾波片 對準(zhǔn)所述第二波導(dǎo)層。
6.如權(quán)利要求5所述的光模塊制造方法,其特征在于,所述在所述濾波片上設(shè)置棱鏡,使所述棱鏡的第一反射面對準(zhǔn)所述第一波導(dǎo)層,包括將所述濾波片作為所述棱鏡的第二反射面,并在所述第一襯底一側(cè)的端面制作棱鏡的 第一反射面,使所述棱鏡的第一反射面對準(zhǔn)于所述第一波導(dǎo)層。
7.如權(quán)利要求1所述的光模塊的制造方法,其特征在于,還包括在所述棱鏡的第一反射面鍍?nèi)瓷淠?,在所述棱鏡的第二反射面鍍增透膜。
8.如權(quán)利要求1所述的光模塊,其特征在于,在所述濾波片的至少一個(gè)表面鍍過濾膜。
9.如權(quán)利要求6所述的光模塊制造方法,其特征在于,還包括在所述棱鏡的第一反射面鍍?nèi)瓷淠ぃ谒隼忡R的第二反射面鍍過濾膜。
10.如權(quán)利要求5所述的光模塊制造方法,其特征在于,所述在所述第二襯底上裝設(shè)濾 波片,包括通過膠將所述濾波片粘結(jié)于所述第二襯底表面,所述膠的熱膨脹系數(shù)CTE和所 述第二襯底的CTE的差的絕對值在預(yù)設(shè)的范圍之內(nèi)。
11.如權(quán)利要求1所述的光模塊制造方法,其特征在于,所述在所述濾波片上設(shè)置棱 鏡,包括通過膠將所述棱鏡粘結(jié)于所述濾波片表面,所述膠的熱膨脹系數(shù)CTE和所述第二襯底 的CTE的差的絕對值在預(yù)設(shè)的范圍之內(nèi);或者,通過錫焊或超聲焊接將所述棱鏡粘結(jié)于所述濾波片表面。
12.—種光模塊,其特征在于,包括第一襯底和第二襯底,第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層, 濾波片,及棱鏡;其中所述第一波導(dǎo)層和所述第二波導(dǎo)層分別位于所述第一襯底和所述第二襯底上,或者分 別位于所述第一襯底的第一面和第二面上;所述第一襯底平行于所述第二襯底,所述第一 波導(dǎo)層和所述第二波導(dǎo)層分別包括至少一個(gè)光通道,所述第一波導(dǎo)層位于所述第二波導(dǎo)層 的上方;所述第一波導(dǎo)層平行于所述第二波導(dǎo)層,所述第一波導(dǎo)層平行于所述第二襯底; 所述第一襯底組設(shè)于所述第二襯底上;所述濾波片設(shè)置在所述第一波導(dǎo)層和所述第二波導(dǎo)層的一端,所述濾波片對準(zhǔn)于所述 第二波導(dǎo)層;所述棱鏡設(shè)置在所述濾波片上;所述棱鏡的第一反射面和第二反射面分別對準(zhǔn)于所述 第一波導(dǎo)層和所述第二波導(dǎo)層;所述濾波片、棱鏡、第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層之間的位置關(guān)系使得輸入到所述第二波 導(dǎo)層的光通道中的光信號經(jīng)過所述棱鏡的透射后進(jìn)入所述濾波片;輸入到所述第一波導(dǎo)層 的光通道中的光信號,通過所述棱鏡的反射后,進(jìn)入所述第二波導(dǎo)層的光通道,并通過所述 第二波導(dǎo)層的光通道輸出。
13.如權(quán)利要求12所述的光模塊,其特征在于,還包括分別裝設(shè)在所述第一襯底和所述第二襯底上的第一 LD和第一 PD,所述第一 LD和所述 第一 PD電連接;所述濾波片、棱鏡、第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層之間的位置使得輸入到所述 第二波導(dǎo)層的光通道中的光信號經(jīng)過所述棱鏡的透射后進(jìn)入所述濾波片,并通過所述濾波 片進(jìn)入所述第一 PD ;所述第一 LD發(fā)射的光信號進(jìn)入所述第一波導(dǎo)層的光通道,通過所述棱 鏡的反射后,進(jìn)入所述第二波導(dǎo)層的光通道,并通過所述第二波導(dǎo)層的光通道輸出。
14.如權(quán)利要求12所述的光模塊,其特征在于,還包括分別裝設(shè)在所述第一襯底和所述第二襯底上的第二 PD和第二 LD,所述第二 PD和所述第二LD電連接;所述濾波片、棱鏡、第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層之間的位置使得所述第二LD 發(fā)射的光信號進(jìn)入所述濾波片后,通過所述棱鏡的透射進(jìn)入所述第二波導(dǎo)層的光通道,并 通過所述第二波導(dǎo)層的光通道輸出;輸入到所述第二波導(dǎo)層的光通道中光信號,通過所述 棱鏡的反射后,進(jìn)入所述第一波導(dǎo)層的光通道,通過所述第一波導(dǎo)層的光通道后進(jìn)入所述第二 PD。
15.如權(quán)利要求1所述的光模塊,其特征在于,所述棱鏡的第一反射面鍍有全反射膜, 所述棱鏡的第二反射面鍍有增透膜。
16.如權(quán)利要求1所述的光模塊,其特征在于,所述濾波片的至少一個(gè)表面鍍有過濾膜。
17.如權(quán)利要求12所述的光模塊,其特征在于,所述第一波導(dǎo)層和所述第二波導(dǎo)層的 橫截面的寬度相等,或者所述第一波導(dǎo)層和所述第二波導(dǎo)層的橫截面的寬度在允許誤差范 圍內(nèi)相等。
18.如權(quán)利要求12所述的光模塊,其特征在于,所述第一波導(dǎo)層和所述第二波導(dǎo)層分 別位于所述第一襯底的第一面和第二面上時(shí),所述濾波片、所述棱鏡和所述第一襯底一體 化。
19.如權(quán)利要求18所述的光模塊,其特征在于,所述棱鏡的第一反射面和所述濾波片 位于所述第一襯底一側(cè)的端面,所述濾波片為所述棱鏡的第二反射面。
20.如權(quán)利要求18所述的光模塊,其特征在于,所述棱鏡的第一反射面鍍有全反射膜, 所述棱鏡的第二反射面鍍有過濾膜。
21.如權(quán)利要求12所述的光模塊,其特征在于,所述濾波片裝設(shè)在所述第二襯底上。
全文摘要
本發(fā)明實(shí)施例公開了一種光模塊制造方法,包括在第一襯底和第二襯底上分別形成第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層,或者,在所述第一襯底的第一面和第二面上分別形成第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層;將所述第一襯底組設(shè)于所述第二襯底上;在所述第一波導(dǎo)層和第二波導(dǎo)層的一端設(shè)置濾波片,使所述濾波片與所述第二波導(dǎo)層對準(zhǔn);在所述濾波片上設(shè)置棱鏡,使所述棱鏡的第一反射面對準(zhǔn)所述第一波導(dǎo)層,使所述第二反射面對準(zhǔn)所述第二波導(dǎo)層。本發(fā)明實(shí)施例還公開了一種光模塊,通過上述技術(shù)方案,充分利用了Z向空間從而降低光通道寬度,減少了光模塊占有的平面空間。
文檔編號G02B6/42GK102135649SQ20101024488
公開日2011年7月27日 申請日期2010年8月4日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月4日
發(fā)明者于飛, 徐賓, 曾同新, 趙俊英 申請人:華為技術(shù)有限公司