專利名稱:有機光導(dǎo)鼓表面的類金剛石鍍膜改性處理的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種靜電成像設(shè)備中有機光導(dǎo)鼓的表面類金剛石鍍膜改性處理方法。
背景技術(shù):
有機光導(dǎo)鼓是激光打印機、復(fù)印機圖像部件的心臟,圖像質(zhì)量的好壞和光導(dǎo)性能 直接相關(guān)。由于有機光導(dǎo)鼓長期與刮刀、充電輥等部件接觸,會產(chǎn)生光電疲勞、機械磨損和 表面裂紋等,造成打印質(zhì)量下降。因此,若能對有機光導(dǎo)鼓表面進行改性處理,從而延長其 打印壽命,對打印行業(yè)將會有著相當(dāng)重要的進步意義。另外,由于有機光導(dǎo)鼓表面的感光材 料含有重金屬等有毒物質(zhì),報廢的有機光導(dǎo)鼓對環(huán)境造成了很大的潛在威脅。若能在其表 面進行改性處理,最大限度的降低感光材料被破壞的可能,則會給環(huán)境保護和社會進步帶 來更大的利益。針對這些現(xiàn)象,目前已采取了一些措施,如盡量減少有機光導(dǎo)鼓暴露在強光下,專 利CN1455301A就公開了一種增加有機光導(dǎo)鼓耐光疲勞的方法,即在電荷產(chǎn)生層和電荷傳 輸層之間用光穩(wěn)定劑涂布一層隔離層并在電荷傳輸層中添加適量的光屏蔽劑以減少光電 疲勞。但該方法只是在一定程度上通過減小有機光導(dǎo)鼓的光電性能下降來延長使用壽命, 并沒有很好的增加有機光導(dǎo)鼓的耐磨性。類金剛石薄膜(DLC)具有高絕緣性、高導(dǎo)熱性、高耐磨性、高耐腐蝕性等性能,是 理想的保護性功能薄膜。至今還未見有在有機光導(dǎo)鼓表面沉積類金剛石薄膜的報道。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為提高有機光導(dǎo)鼓表面耐磨性,提供一種工藝簡單、成本低廉的 激光打印機、復(fù)印機等靜電成像設(shè)備用有機光導(dǎo)鼓表面類金剛石鍍膜改性處理方法。本發(fā)明的另外一個目的是提出一種方法,使得有機光導(dǎo)鼓經(jīng)表面改性處理后能延 長使用壽命。該方法不僅適用于新的有機光導(dǎo)鼓,而且適用于表皮沒有破損的舊有機光導(dǎo) 鼓。本發(fā)明的技術(shù)方案包括以下步驟(1)基體表面預(yù)處理取部分有機光導(dǎo)鼓,用無油的壓縮空氣吹干凈表面的碳粉 及臟污,然后用脫脂棉或無紡布沿有機光導(dǎo)鼓表面同一個方向輕輕擦拭干凈。將有機光導(dǎo) 鼓放入去離子水中超聲清洗5min。(2)基體表面離子束濺射為提高沉積膜與基體的結(jié)合強度,將預(yù)處理后的有機 光導(dǎo)鼓基體放入真空鍍膜設(shè)備反應(yīng)室后,對基體表面進行離子束濺射以清除表面污染。用 機械泵將真空室氣壓抽至10Pa,然后依次通入Ar2和H2,使真空室氣壓穩(wěn)定在20Pa。(3)基體表面沉積鍍膜通入C2H2氣體,開啟電源產(chǎn)生等離子體Ar+,Ar+轟擊C2H2 分子使其分解和離解,在有機光導(dǎo)鼓表面沉積生成類金剛石薄膜。沉積過程持續(xù)40min結(jié) 束ο本發(fā)明的優(yōu)點在于
(1)在有機光導(dǎo)鼓表面鍍覆一層類金剛石薄膜,能夠極大的增加耐磨性、延長打印 壽命;(2)用射頻等離子體增強化學(xué)氣相沉積技術(shù)在有機光導(dǎo)鼓表面沉積一層類金剛石 薄膜,成膜速度快、工藝簡單、成本低廉。
圖1.所示為本發(fā)明技術(shù)方案的實施步驟流程圖。
具體實施例方式實施例取部分有機光導(dǎo)鼓,對其進行表面預(yù)處理用無油的壓縮空氣吹干凈表面的碳粉、 臟污,然后用脫脂棉或無紡布順向輕輕擦試表面,放入去離子水中超聲清洗5min后吹干。 采用射頻等離子體增強化學(xué)氣相沉積技術(shù)在舊有機光導(dǎo)鼓表面沉積一層類金剛石薄膜。具 體沉積過程如下1、將清洗后的有機光導(dǎo)鼓取出后在空氣中自然晾干,置于等離子體化學(xué)氣相沉積 裝置反應(yīng)室中,用機械泵將真空室氣壓抽至10Pa,然后依次通入Ar2和H2,使得真空室氣壓 維持在20Pa ;2、開啟電源產(chǎn)生等離子體轟擊襯底,通入C2H2氣體,沉積類金剛石薄膜,所述的類 金剛石薄膜為納米級。沉積過程持續(xù)40min,結(jié)束過程;3、打開真空室取出有機光導(dǎo)鼓進行摩擦磨損實驗、打印測試等一系列性能檢測。 測試結(jié)果表明DLC薄膜的摩擦系數(shù)較低,在0. 03-0. 1之間,能有效起到保護和減磨作用, 且鍍膜后的有機光導(dǎo)鼓能延長打印壽命至少一個周期。
權(quán)利要求
有機光導(dǎo)鼓表面的類金剛石鍍膜改性處理,其特征在于具體步驟為(1)基體表面預(yù)處理用無油的壓縮空氣吹干凈表面的碳粉、臟污,然后用脫脂棉或無紡布順向輕輕擦試表面,用去離子水超聲清洗后吹干,(2)基體表面離子束濺射為提高沉積膜與基體的結(jié)合強度,將基體放入真空室后,對基體表面進行離子束濺射以清除表面污染,(3)基體表面沉積鍍膜采用射頻等離子體增強化學(xué)氣相沉積技術(shù)在舊有機光導(dǎo)鼓表面沉積一層類金剛石(DLC)薄膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的有機光導(dǎo)鼓表面的類金剛石鍍膜改性處理,其特征在于 該表面改性處理技術(shù)適用于新的有機光導(dǎo)鼓及表皮沒有破損的舊有機光導(dǎo)鼓。
3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的有機光導(dǎo)鼓表面的類金剛石鍍膜改性處理,其特征在于 所述的類金剛石薄膜為納米級,且所制備的DLC薄膜的摩擦系數(shù)較低,范圍在0. 03-0. 1之 間。
全文摘要
本發(fā)明公開了有機光導(dǎo)鼓表面的類金剛石(DLC)鍍膜改性處理方法。表面改性采用射頻等離子體增強化學(xué)氣相沉積技術(shù),以C2H2、H2、Ar2混合氣體作為反應(yīng)源氣體,在有機光導(dǎo)鼓表面鍍上一層類金剛石薄膜,與基體表面結(jié)合牢固。經(jīng)過該方法處理后的有機光導(dǎo)鼓耐磨性增強、光電性能穩(wěn)定、打印壽命延長。
文檔編號G03G5/147GK101887221SQ201010205430
公開日2010年11月17日 申請日期2010年6月22日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月22日
發(fā)明者袁鵬 申請人:富美科技有限公司