專利名稱:可實(shí)現(xiàn)微小粒子旋轉(zhuǎn)的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖微光手及制法的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明屬于光纖技術(shù)研究領(lǐng)域。涉及一種多芯光纖微光手,特別是一種可實(shí)現(xiàn)微 小粒子旋轉(zhuǎn)的多芯光纖微光手。
背景技術(shù):
光鑷是利用光強(qiáng)度分布的梯度力和散射力俘獲和操縱微小粒子的工具。1986 年 Askin 在"Observation of a single-beam gradient force optical trap for dielectric particles” 一文中提出一種基于單束激光的三維光學(xué)勢(shì)阱,用于實(shí)現(xiàn)對(duì)粒子 的三維空間控制,因?yàn)榇斯馐梢詫?shí)現(xiàn)空間對(duì)微小粒子的夾持,因此得名“光鑷”,這篇文章 發(fā)表在Opt. Lett. 11,288-290。此后,光鑷技術(shù)發(fā)展迅速,成為重要的研究技術(shù)手段,并促進(jìn) 了若干交叉領(lǐng)域的快速發(fā)展。例如在微小粒子的捕獲和搬運(yùn)、皮牛級(jí)力的測(cè)量、微機(jī)械與 微器件的組裝等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。特別在生命科學(xué)領(lǐng)域,光鑷技術(shù)以其非接觸式、無(wú)損 探測(cè)的本質(zhì)特性顯示了其無(wú)與倫比的優(yōu)勢(shì),對(duì)于推動(dòng)生命科學(xué)的發(fā)展和微生命體的操縱發(fā) 揮了巨大的作用。光鑷俘獲的粒子尺度可以從幾納米到幾十微米,可以為剛性顆粒,也可以 是軟物質(zhì)顆粒;可以為無(wú)生命的顆粒,也可以是活體細(xì)胞或病毒。由傳統(tǒng)光鑷發(fā)展至光纖光鑷技術(shù)以來(lái),產(chǎn)生多種光纖光鑷系統(tǒng),例如E. R. Lyons 等人將兩根單模光纖的端面研磨成錐體,在錐體尖端形成一個(gè)半球面,使得出射光束具有 弱聚焦特性,將這兩根光纖成一定光軸夾角放置,交疊光場(chǎng)形成的光阱可以實(shí)現(xiàn)微粒的捕 獲和懸浮,這篇文章于1995年發(fā)表在Appl. Phys. Lett. 66,1584-1586 ;為了進(jìn)一步對(duì)所 捕獲的微小粒子的姿態(tài)進(jìn)行控制,名為“用來(lái)俘獲微小粒子的雙芯單光纖光鑷及其制作方 法”,公開(kāi)號(hào)為CN101149449的中國(guó)發(fā)明專利文件中又給出了一種雙芯光纖光鑷。此后,又 陸續(xù)出現(xiàn)苑立波等人提出的基于環(huán)形多芯光纖的光鑷,公開(kāi)號(hào)為CN101236275 ;和集成于 單根光纖的多光鑷,公開(kāi)號(hào)為CN101251620等新型光鑷,這些新型光鑷多能實(shí)現(xiàn)對(duì)微粒進(jìn) 行捕獲、空間定位、使其空間旋轉(zhuǎn)等功能,但從未見(jiàn)可以發(fā)射捕獲粒子的光鑷報(bào)道。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種本發(fā)明的目的在于提供一種在節(jié)約物理空間的同時(shí), 可大幅降低系統(tǒng)輸入光功率,減小對(duì)待捕獲粒子的傷害;對(duì)微粒的捕獲更加靈活、準(zhǔn)確,具 備可調(diào)節(jié)性;可以在光纖端自然形成渦旋狀光學(xué)勢(shì)阱,使微粒實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)的可實(shí)現(xiàn)微小粒子 旋轉(zhuǎn)的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖微光手。本發(fā)明的目的還在于提供一種可實(shí)現(xiàn)微小粒子旋轉(zhuǎn)的 衛(wèi)星式螺旋多芯光纖微光手的制法。本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的包括衛(wèi)星式螺旋多芯光纖、標(biāo)準(zhǔn)單模光纖、激光光源、光程改變裝置,激光光源與 標(biāo)準(zhǔn)單模光纖的一端連接,標(biāo)準(zhǔn)單模光纖的另一端與衛(wèi)星式螺旋多芯光纖之間熱熔融拉椎 耦合連接構(gòu)成第一熱熔融拉椎位置,衛(wèi)星式螺旋多芯光纖附著在光程改變裝置上,經(jīng)過(guò)光 程改變裝置的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖再次經(jīng)過(guò)熱熔融拉椎操作構(gòu)成第二熱熔融拉椎位置,衛(wèi)星式螺旋多芯光纖的另一端經(jīng)精細(xì)研磨的加工方式制成椎體形狀。所述的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖是三芯、四芯、五芯或六芯微結(jié)構(gòu)光纖。所述的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖中的多個(gè)纖芯分為兩類,一類是位于軸心的中心纖 芯,另一類是位于偏心位置的繞軸心纖芯螺旋分布的衛(wèi)星式纖芯。所述的椎體形狀的錐體角度α滿足Ji/2-arcsin (Iiliquid ncore) < α < π/2的條 件。本發(fā)明的可實(shí)現(xiàn)微小粒子旋轉(zhuǎn)的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖微光手的制法為步驟1,耦合連接將一段標(biāo)準(zhǔn)單模光纖一端與激光光源常規(guī)連接,另一端與衛(wèi)星 式螺旋多芯光纖焊接,然后在焊接位置處進(jìn)行熱熔融拉椎形成第一熱熔融拉椎位置,熱熔 融拉椎過(guò)程中進(jìn)行光功率監(jiān)測(cè),直到耦合到多芯光纖的光功率達(dá)到最大且各纖芯光功率分 布均勻時(shí)為止;所述多芯光纖是三芯、四芯、五芯或六芯衛(wèi)星式螺旋光纖;步驟2,附著光纖將導(dǎo)入光源的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖固定在光程改變裝置上,通 過(guò)調(diào)節(jié)頂絲位置改變多個(gè)纖芯方向位移以進(jìn)行傳輸光束的相位控制;步驟3,干涉儀制備將經(jīng)過(guò)光程改變裝置的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖在處進(jìn)行熔融 拉錐第二熱熔融拉椎位置,熱熔融拉椎過(guò)程中進(jìn)行光功率監(jiān)測(cè),直到耦合到線性陣列芯光 纖的光功率達(dá)到最大時(shí)為止;在第一熱熔融拉椎位置與第一熱熔融拉椎位置之間構(gòu)成馬赫 澤德干涉儀結(jié)構(gòu),通過(guò)調(diào)節(jié)光程改變裝置實(shí)現(xiàn)光纖光鑷光阱力的控制;步驟4,錐體制備將前序操作后的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖的另一端進(jìn)行精細(xì)研磨 成圓錐體形狀,半錐角α控制在Ji/2-arCSin(nli(luid/n。。J < α < π/2的范圍內(nèi)。本發(fā)明的可實(shí)現(xiàn)微小粒子旋轉(zhuǎn)的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖微光手,將多個(gè)光波導(dǎo)纖芯 集成于一根光纖中,在節(jié)約了物理空間的同時(shí),可大幅降低系統(tǒng)輸入光功率,以減小對(duì)待捕 獲粒子的傷害;同時(shí),多芯光纖微光手對(duì)微粒的捕獲更加靈活、準(zhǔn)確,具備可調(diào)節(jié)性,大大提 高了光纖光鑷技術(shù)的實(shí)用性;更為重要的是該衛(wèi)星式螺旋多芯光纖微光手可以在光纖端自 然形成渦旋狀光學(xué)勢(shì)阱,使微粒實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn),實(shí)現(xiàn)該操縱粒子的馬達(dá)功能。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特 占是·1.本發(fā)明將衛(wèi)星式螺旋芯光纖引入光纖微光手控制系統(tǒng),利用集成在一根光纖中 的衛(wèi)星式螺旋分布結(jié)構(gòu)多個(gè)光波導(dǎo)纖芯在光纖尖端構(gòu)成渦旋光場(chǎng),在節(jié)約物理空間的基礎(chǔ) 上還極大的減小了系統(tǒng)的輸入光功率,降低對(duì)微粒的傷害;2.本發(fā)明提出的在一根光纖中的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖出射光場(chǎng)形成的渦旋式光 學(xué)勢(shì)阱,可用于對(duì)微小粒子的旋轉(zhuǎn)操作;3.本發(fā)明將無(wú)需另外驅(qū)動(dòng),利用光纖自身的結(jié)構(gòu)特征,即可獲得渦旋光阱力光場(chǎng), 可以簡(jiǎn)單、有效的實(shí)現(xiàn)微小粒子或微小馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)。可在生物和微加工領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。
圖1衛(wèi)星式螺旋多芯光纖微光手系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。圖2衛(wèi)星式螺旋多芯光纖與標(biāo)準(zhǔn)單模光纖熱熔融拉椎耦合連接示意圖。圖3衛(wèi)星式螺旋多芯光纖結(jié)構(gòu)示意圖。圖4-1和圖4-2光程改變裝置結(jié)構(gòu)示意圖。圖5衛(wèi)星式螺旋多芯光纖熱熔融拉椎示意圖。
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圖6衛(wèi)星式螺旋芯光纖端加工椎體形狀示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖舉例對(duì)本發(fā)明做更詳細(xì)地描述圖1中,1為衛(wèi)星式螺旋多芯光纖,1-1為該光纖軸心位置纖芯,1-2為該光 纖衛(wèi)星纖芯,1-3為該衛(wèi)星式螺旋多芯光纖端加工制備的椎體結(jié)構(gòu),半錐角α控制在 Ji/2-arcsin(nliquid/ncore) < α < π/2的范圍內(nèi),2為標(biāo)準(zhǔn)單模光纖,3為激光光源,4為光 程改變裝置,5為標(biāo)準(zhǔn)單模光纖和衛(wèi)星式螺旋多芯光纖直接耦合連接位置,6衛(wèi)星式螺旋多 芯光纖熱熔融拉椎位置,這樣在5和6之間便構(gòu)成馬赫澤德干涉儀,通過(guò)調(diào)節(jié)光程改變裝置 4改變不同纖芯之間的光程差,實(shí)現(xiàn)該衛(wèi)星式螺旋多芯光纖光鑷出射光場(chǎng)光阱力的動(dòng)力學(xué) 控制。結(jié)合圖2,為了將激光光源中的激光束引入到多個(gè)纖芯中,需要將單芯光纖與衛(wèi)星 式螺旋多芯光纖采用熱熔融拉椎的方式耦合連接,圖2中1為衛(wèi)星式螺旋多芯光纖,1-1為 該光纖軸心位置纖芯,1-2為該光纖衛(wèi)星纖芯,2為標(biāo)準(zhǔn)單模光纖,5為單模光纖與衛(wèi)星式螺 旋多芯光纖連接處。圖3中,1為衛(wèi)星式螺旋多芯光纖,1-1為該光纖軸心位置纖芯,1-2為該光纖衛(wèi)星 纖芯。結(jié)合圖4-1和圖4-2,將衛(wèi)星式螺旋芯光纖1附著在光程改變裝置上,通過(guò)移動(dòng)頂 絲4-1的位置,使螺旋芯光纖附著的微彎板發(fā)生彎曲,因此,此衛(wèi)星式螺旋芯光纖中多個(gè)纖 芯之間的光程差會(huì)發(fā)生改變,以此實(shí)現(xiàn)對(duì)該光鑷光阱力的動(dòng)力學(xué)控制。圖中,1為衛(wèi)星式螺 旋芯光纖,4為光程改變裝置,4-1為旋進(jìn)頂絲,用以改變微彎板彎曲程度,4-2為光纖1附著 在光程改變裝置上的附著點(diǎn)。結(jié)合圖5,為了構(gòu)建馬赫澤德干涉儀,需要在進(jìn)過(guò)光程改變裝置的衛(wèi)星式螺旋多芯 光纖再次進(jìn)行熔融拉椎,圖中1為衛(wèi)星式螺旋多芯光纖,1-1為該光纖軸心位置纖芯,1-2為 該光纖衛(wèi)星纖芯,2為標(biāo)準(zhǔn)單模光纖,6為衛(wèi)星式螺旋多芯光纖熱熔融拉椎中心錐點(diǎn)位置。圖6中1為衛(wèi)星式螺旋多芯光纖,1-1為該光纖軸心位置纖芯,1-2為該光纖衛(wèi)星 纖芯,為了能夠產(chǎn)生對(duì)微小粒子的捕獲力,研磨半錐角α控制在π/2-arcsinOiliquidAicJ < α < ji/2的范圍內(nèi)。本發(fā)明的基于衛(wèi)星式螺旋多芯光纖的微光手,包括衛(wèi)星式螺旋多芯光纖1,標(biāo)準(zhǔn)單 模光纖2,激光光源3,光程改變裝置4。激光光源3與標(biāo)準(zhǔn)單模光纖的一端2常規(guī)連接,標(biāo) 準(zhǔn)單模光纖2的另一端與衛(wèi)星式螺旋多芯光纖1之間熱熔融拉椎耦合連接,之后將該衛(wèi)星 式螺旋多芯光纖1附著在光程改變裝置4上,此后,將經(jīng)過(guò)光程改變裝置4的衛(wèi)星式螺旋多 芯光纖1再次經(jīng)過(guò)熱熔融拉椎操作,最后,此衛(wèi)星式螺旋多芯光纖1的另一端經(jīng)精細(xì)研磨 的加工方式制備成椎體形狀;衛(wèi)星式螺旋多芯光纖1可以是三芯、四芯、五芯甚至六芯微結(jié) 構(gòu)光纖;衛(wèi)星式螺旋多芯光纖1的多個(gè)纖芯分兩類,一類是位于光纖軸心的中心纖芯1-1, 另一類是位于偏心位置的繞軸心纖芯1-1螺旋分布的衛(wèi)星式纖芯1-2 ;衛(wèi)星式螺旋多芯光 纖1與普通光纖2通過(guò)熔融拉錐的方式耦合連接,拉椎過(guò)程中監(jiān)測(cè)多芯光纖中各個(gè)纖芯的 光功率分配,直到各個(gè)纖芯中耦入的光功率最大且均勻時(shí)停止拉椎;衛(wèi)星式螺旋多芯光纖 1與普通光纖2連接后,附著固定在光程改變裝置4上;經(jīng)由光程改變裝置4的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖1再次進(jìn)行熱熔融拉椎操作;經(jīng)過(guò)前序操作的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖1的尾端經(jīng)精 細(xì)研磨操作,制備出椎體形狀,為實(shí)現(xiàn)捕獲粒子,此錐體角度α需滿足π/2-arcsin (Iiliquid/ ncore) < α < π /2 的條件。所述的用于構(gòu)建螺旋多芯光纖的微光手的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖1,經(jīng)過(guò)熱熔融拉 椎后,此衛(wèi)星式螺旋多芯光纖1的尾端經(jīng)精細(xì)研磨操作,制備出椎體形狀,為實(shí)現(xiàn)捕獲粒 子,此錐體角度α需滿足Ji/2-arCSin(nli(luid/ncOTe) < α < π/2的條件。本實(shí)施方式的光纖微光手的制作過(guò)程為步驟1,耦合連接結(jié)合圖2將一段標(biāo)準(zhǔn)單模光纖2 —端與激光光源3常規(guī)連接, 另一端與衛(wèi)星式螺旋多芯光纖1焊接,然后在位置5處進(jìn)行熱熔融拉椎,過(guò)程中進(jìn)行光功率 監(jiān)測(cè),直到耦合到多芯光纖1的光功率達(dá)到最大且各纖芯光功率分布均勻時(shí)為止。此光纖 可以是三芯、四芯、五芯甚至六芯衛(wèi)星式螺旋光纖,該螺旋結(jié)構(gòu)如圖3所示。步驟2,附著光纖結(jié)合圖4,為了構(gòu)建馬赫澤德干涉儀對(duì)線性陣列形纖芯心中傳 輸?shù)墓馐M(jìn)行相位調(diào)制,將導(dǎo)入光源的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖1固定在光程改變裝置4上,通 過(guò)調(diào)節(jié)頂絲位置改變多個(gè)纖芯方向位移以進(jìn)行傳輸光束的相位控制,來(lái)實(shí)現(xiàn)此軸向陣列光 鑷中多光束的功率分配與調(diào)整,最終達(dá)到控制三芯光纖光學(xué)微手的光阱力分配的目的;步驟3,干涉儀制備結(jié)合圖5,為了實(shí)現(xiàn)馬赫澤德干涉儀結(jié)構(gòu),須將經(jīng)過(guò)光程改變 裝置4的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖1在位置6處進(jìn)行熔融拉錐,過(guò)程中進(jìn)行光功率監(jiān)測(cè),直到耦 合到線性陣列芯光纖的光功率達(dá)到最大時(shí)為止;這樣在位置5和6之間可構(gòu)成馬赫澤德干 涉儀結(jié)構(gòu),通過(guò)調(diào)節(jié)光程改變裝置4實(shí)現(xiàn)該光纖光鑷光阱力的控制;步驟4,錐體制備結(jié)合圖6,將前序操作后的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖1的另一端進(jìn)行 精細(xì)研磨成圓錐體形狀1-4,為了保證出射光經(jīng)過(guò)圓錐面折射后能夠形成相互交叉的組合 光束,半錐角α控制在Ji/2-arCSin(nii(luid/n。。J < α < π/2的范圍內(nèi)。對(duì)于纖芯折射率 ncore = 1. 4868,包層折射率n。ladding = 1. 4571,和光纖微手所處的液體折射率nwatCT = 1. 333 的情況下,該半錐角的范圍應(yīng)控制在26. 3° -90°之間。步驟5,錐體拋光將上述研磨好的光纖錐體進(jìn)行拋光,在顯微鏡下經(jīng)過(guò)檢測(cè)合格 后,放在超聲清洗槽中清洗、烘干備用;步驟6,旋轉(zhuǎn)控制按照上述過(guò)程連接完畢后,通過(guò)改變光程改變裝置4的頂絲位 置,調(diào)節(jié)光纖中各光束的相位差實(shí)現(xiàn)出射渦旋光阱力光場(chǎng),同時(shí),當(dāng)中心芯1-1光束產(chǎn)生光 阱力占優(yōu)勢(shì)時(shí),可將捕獲住的微小粒子噴射釋放。
權(quán)利要求
一種可實(shí)現(xiàn)微小粒子旋轉(zhuǎn)的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖微光手,包括衛(wèi)星式螺旋多芯光纖、標(biāo)準(zhǔn)單模光纖、激光光源、光程改變裝置,其特征是激光光源與標(biāo)準(zhǔn)單模光纖的一端連接,標(biāo)準(zhǔn)單模光纖的另一端與衛(wèi)星式螺旋多芯光纖之間熱熔融拉椎耦合連接構(gòu)成第一熱熔融拉椎位置,衛(wèi)星式螺旋多芯光纖附著在光程改變裝置上,經(jīng)過(guò)光程改變裝置的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖再次經(jīng)過(guò)熱熔融拉椎操作構(gòu)成第二熱熔融拉椎位置,衛(wèi)星式螺旋多芯光纖的另一端經(jīng)精細(xì)研磨的加工方式制成椎體形狀。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可實(shí)現(xiàn)微小粒子旋轉(zhuǎn)的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖微光手,其特征 是所述的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖是三芯、四芯、五芯或六芯微結(jié)構(gòu)光纖。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可實(shí)現(xiàn)微小粒子旋轉(zhuǎn)的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖微光手,其特征 是所述的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖中的多個(gè)纖芯分為兩類,一類是位于軸心的中心纖芯,另一 類是位于偏心位置的繞軸心纖芯螺旋分布的衛(wèi)星式纖芯。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的可實(shí)現(xiàn)微小粒子旋轉(zhuǎn)的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖微光手,其特征 是所述的椎體形狀的錐體角度α滿足Ji/2-arCSin(nii(luid/n。。J < α < π/2的條件。
5.一種可實(shí)現(xiàn)微小粒子旋轉(zhuǎn)的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖微光手的制法,其特征是步驟1,耦合連接將一段標(biāo)準(zhǔn)單模光纖一端與激光光源常規(guī)連接,另一端與衛(wèi)星式螺 旋多芯光纖焊接,然后在焊接位置處進(jìn)行熱熔融拉椎形成第一熱熔融拉椎位置,熱熔融拉 椎過(guò)程中進(jìn)行光功率監(jiān)測(cè),直到耦合到多芯光纖的光功率達(dá)到最大且各纖芯光功率分布均 勻時(shí)為止;所述多芯光纖是三芯、四芯、五芯或六芯衛(wèi)星式螺旋光纖;步驟2,附著光纖將導(dǎo)入光源的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖固定在光程改變裝置上,通過(guò)調(diào) 節(jié)頂絲位置改變多個(gè)纖芯方向位移以進(jìn)行傳輸光束的相位控制;步驟3,干涉儀制備將經(jīng)過(guò)光程改變裝置的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖在處進(jìn)行熔融拉錐 第二熱熔融拉椎位置,熱熔融拉椎過(guò)程中進(jìn)行光功率監(jiān)測(cè),直到耦合到線性陣列芯光纖的 光功率達(dá)到最大時(shí)為止;在第一熱熔融拉椎位置與第一熱熔融拉椎位置之間構(gòu)成馬赫澤德 干涉儀結(jié)構(gòu),通過(guò)調(diào)節(jié)光程改變裝置實(shí)現(xiàn)光纖光鑷光阱力的控制;步驟4,錐體制備將前序操作后的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖的另一端進(jìn)行精細(xì)研磨成圓 錐體形狀,半錐角α控制在Ji/2-arCSin(nii(luid/n。。J < α < π/2的范圍內(nèi)。
全文摘要
本發(fā)明提供的是一種可實(shí)現(xiàn)微小粒子旋轉(zhuǎn)的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖微光手及制法。激光光源與標(biāo)準(zhǔn)單模光纖的一端連接,標(biāo)準(zhǔn)單模光纖的另一端與衛(wèi)星式螺旋多芯光纖之間熱熔融拉椎耦合連接構(gòu)成第一熱熔融拉椎位置,衛(wèi)星式螺旋多芯光纖附著在光程改變裝置上,經(jīng)過(guò)光程改變裝置的衛(wèi)星式螺旋多芯光纖再次經(jīng)過(guò)熱熔融拉椎操作構(gòu)成第二熱熔融拉椎位置,衛(wèi)星式螺旋多芯光纖的另一端經(jīng)精細(xì)研磨的加工方式制成椎體形狀。本發(fā)明在節(jié)約了物理空間的同時(shí),可大幅降低系統(tǒng)輸入光功率,以減小對(duì)待捕獲粒子的傷害;對(duì)微粒的捕獲更加靈活、準(zhǔn)確,具備可調(diào)節(jié)性;可以在光纖端自然形成渦旋狀光學(xué)勢(shì)阱,使微粒實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn),實(shí)現(xiàn)該操縱粒子的馬達(dá)功能。
文檔編號(hào)G02B6/255GK101881858SQ20101019734
公開(kāi)日2010年11月10日 申請(qǐng)日期2010年6月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月11日
發(fā)明者張羽, 楊軍, 苑立波 申請(qǐng)人:哈爾濱工程大學(xué)