專利名稱：：正型感光性樹脂組合物、樹脂膜的制造方法、半導(dǎo)體裝置和顯示元件及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及正型感光性樹脂組合物、采用該組合物的圖案狀樹脂膜的制造方法、采用該組合物的半導(dǎo)體裝置及顯示元件、以及該半導(dǎo)體裝置及顯示元件的制造方法。
背景技術(shù)：
：此前，在半導(dǎo)體元件的表面保護(hù)膜、層間絕緣膜中采用具有優(yōu)良的耐熱性、卓越的電學(xué)特性、機(jī)械特性等的聚酰亞胺樹脂，但是，近幾年來隨著半導(dǎo)體元件的高集成化、大型化、半導(dǎo)體裝置的薄型化、小型化、采用熔焊的表面安裝等的發(fā)展，對耐熱循環(huán)性、耐熱沖擊性等特性有明顯高的要求，所以，必須有更高性能的樹脂。另一方面，具有賦予聚酰亞胺樹脂本身感光性的技術(shù)，例如，可以舉出以下式(2)表示的感光性聚酰亞胺樹脂<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>當(dāng)采用它時(shí)，可以簡略一部分圖案制作工序，具有工序縮短、成品合格率提高的效果，但在顯影時(shí)，由于必須要把N-甲基-2-吡咯烷酮等溶劑噴霧狀地進(jìn)行噴射，所以安全性及操作性有問題。于是，最近開發(fā)出用堿性水溶液能夠顯影的正型感光性樹脂組合物。例如，特公平1-46862號公報(bào)公開的由作為基體樹脂的聚苯并噁唑前體和作為感光材料的重氮醌化合物構(gòu)成的正型感光性樹脂組合物。它具有高耐熱性、優(yōu)良的電特性、精加工性，不僅可用作晶片涂層，而且也可用作層間絕緣。該正型感光性樹脂組合物的顯影機(jī)理是未曝光部的重氮醌化合物在堿水溶液中不溶，但通過曝光，重氮醌化合物起化學(xué)變化，變成在堿性水溶液中可溶。利用該曝光部和未曝光部的溶解性之差，通過溶解除去曝光部，可制成僅有未曝光部的涂膜圖案。在使用這些感光性樹脂組合物時(shí)，特別重要的是感光性樹脂組合物的感光度。當(dāng)感光度低時(shí)，曝光時(shí)間加長，吞吐量下降。作為提高感光性樹脂組合物的感光度的方法，例如，當(dāng)感光劑等增多時(shí)，達(dá)到高感光度，但在顯影后圖案的下部，往往產(chǎn)生稱作浮渣的顯影殘留等。另外，這些感光性樹脂在進(jìn)行圖案加工后，加熱使其固化，但固化后的著色有各種問題。當(dāng)著色濃時(shí)，目視性下降，產(chǎn)生半導(dǎo)體無法組裝的問題。另外，固化這些感光性樹脂組合物后的膜的吸水率也是重要的。在半導(dǎo)體的可靠性評價(jià)中，有在高溫高濕下的試驗(yàn)，在作為半導(dǎo)體的表面保護(hù)膜及層間絕緣膜使用時(shí)，作為這些膜，要求其具有低吸水性。另外，這些感光性樹脂，在硅晶片(siliconwafer)上形成圖案，但近幾年來，晶片向大口徑化方向發(fā)展，膜厚均勻性也變得重要了。不言而喻，涂布后的膜厚均勻性是重要的，但特別重要的是顯影后的膜厚均勻性。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明鑒于上述問題，其第1目的是提供一種高感光度、無浮色圖案的正型感光性樹脂組合物、采用該組合物的圖案狀樹脂膜制造方法、采用該組合物的半導(dǎo)體裝置及顯示元件，及該半導(dǎo)體裝置及顯示元件的制造方法。另外，本發(fā)明的第2目的是提供一種高感光度、無浮色地形成圖案、固化后的膜著色低、而且吸水性低的正型感光性樹脂組合物、采用該組合物的圖案狀樹脂膜制造方法、采用該組合物的半導(dǎo)體裝置及顯示元件，及該半導(dǎo)體裝置及顯示元件的制造方法。另外，本發(fā)明的第3目的是提供一種高感光度、無浮色地形成圖案、膜厚均勻性優(yōu)良的正型感光性樹脂組合物、采用該組合物的圖案狀樹脂膜制造方法、采用該組合物的半導(dǎo)體裝置及顯示元件，及該半導(dǎo)體裝置及顯示元件的制造方法。本發(fā)明的第1方面(側(cè)面)是提供一種由堿性可溶性樹脂(a)、重氮醌化合物(b)、不含苯酚性羥基含-ch2oh基的化合物(c)構(gòu)成的正型感光性樹脂組合物、采用該組合物的圖案狀樹脂膜制造方法、采用該組合物的半導(dǎo)體裝置及顯示元件及該半導(dǎo)體裝置及顯示元件的制造方法。本發(fā)明的第1方面可以達(dá)到本發(fā)明的第1及第2目的。第1方面中的圖案狀樹脂膜的制造方法，其特征在于，具有把上述第1方面的正型感光性樹脂組合物涂布在基板上、來形成組合物層的工序；對該組合物層照射活性能量線，使其與顯影液接觸，來形成圖案的工序；加熱該組合物的工序。第1方面中的半導(dǎo)體裝置及顯示元件，其特征在于，采用上述第1方面的正型感光CN101833244A說明書3/39頁性樹脂組合物制成。第1方面中的半導(dǎo)體裝置及顯示元件的制造方法，其特征在于，把上述第1方面的正型感光性樹脂組合物涂布在半導(dǎo)體元件或者顯示元件用構(gòu)件上使加熱后的膜厚達(dá)到0.150i!m，通過預(yù)烘烤、曝光、顯影、加熱后得到。另外，本發(fā)明的第2方面是提供一種正型感光性樹脂組合物、采用該組合物的圖案狀樹脂膜的制造方法、采用該組合物的半導(dǎo)體裝置及顯示元件及該半導(dǎo)體裝置，及顯示元件的制造方法，其特征在于，該正型感光性樹脂組合物含堿性可溶性樹脂(A)、重氮醌化合物(B)、2種或2種以上的混合溶劑⑶構(gòu)成，混合溶劑⑶含有Y-丁內(nèi)酯及丙二醇單烷基醚，Y_丁內(nèi)酯及丙二醇單烷基醚的共計(jì)量占溶劑總量的70重量％或70重量％以上。本發(fā)明的第2方面，可以達(dá)到本發(fā)明的第1及第3目的。本發(fā)明第2方面中的圖案狀樹脂膜制造方法，其特征在于，具有把上述第2方面的正型感光性樹脂組合物涂布在基板上、來形成組合物層的工序；對該組合物層照射活性能量線，使其與顯影液接觸，形成圖案的工序；加熱該組合物的工序。第2方面中的半導(dǎo)體裝置及顯示元件，其特征在于，采用上述第2方面的正型感光性樹脂組合物制成。第2方面中的半導(dǎo)體裝置及顯示元件制造方法，其特征在于，把上述第2方面的正型感光性樹脂組合物涂布在半導(dǎo)體元件或者顯示元件用構(gòu)件上使加熱后的膜厚達(dá)到0.150ym，通過預(yù)烘烤、曝光、顯影、加熱后得到。圖1是具有本發(fā)明凸塊的半導(dǎo)體裝置的墊(pad)部分的擴(kuò)大斷面圖,圖2是8英寸硅晶片的膜厚的測定處的圖。其中，附圖標(biāo)記說明如下1硅晶片2A1墊4緩沖涂膜5金屬(Cr、Ti等)膜7絕緣膜8屏蔽金屬118英寸硅晶片12測定位置(9處)3鈍化膜6配線(Al、Cu等)9焊錫凸塊13凹口具體實(shí)施例方式本發(fā)明中所用的堿性可溶性樹脂(A)是主鏈或側(cè)鏈上具有羥基、羧基或磺酸基的樹脂。作為堿性可溶性樹脂(A)是聚苯并噁唑結(jié)構(gòu)、聚苯并噁唑前體結(jié)構(gòu)、聚酰亞胺結(jié)構(gòu)、聚酰亞胺前體結(jié)構(gòu)或聚酰胺酸酯結(jié)構(gòu)，可以舉出主鏈或側(cè)鏈上具有羥基、羧基或磺酸基的樹脂；甲酚型漆用酚醛樹脂；聚羥基苯乙烯等。其中，含有選自聚苯并噁唑結(jié)構(gòu)、聚苯并噁唑前體結(jié)構(gòu)、聚酰亞胺結(jié)構(gòu)、聚酰亞胺前體結(jié)構(gòu)或聚酰胺酸酯結(jié)構(gòu)的1種或1種以上結(jié)構(gòu)的樹脂是優(yōu)選的，特別是從最終加熱后的耐熱性觀點(diǎn)考慮，含有以通式(1)表示的結(jié)構(gòu)的聚酰胺樹脂是優(yōu)選的。6<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>X:24價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，y:26價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，羥基、-0-R3、m為02的整數(shù)，既可以相異也可以相同，R2羥基、羧基、-0_R3、-C00-R3、n為04的整數(shù)，既可以相異也可以相同，r3碳原子數(shù)115的有機(jī)基團(tuán)(但是，當(dāng)禮不是羥基時(shí)，r2至少1個(gè)必須是羧基?；?，當(dāng)r2不是羧基時(shí)，禮至少1個(gè)必須是羥基)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>(式中R4、R5為2價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，R6、R7為1價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，且既可以相異也可以相同)，a、b表示摩爾分?jǐn)?shù)，a+b=100摩爾％，a=60100摩爾％，b=040摩爾％。含有以通式(1)表示的結(jié)構(gòu)的聚酰胺樹脂中，X表示24價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，而隊(duì)表示羥基、-0-R3，m為02的整數(shù)。各個(gè)隊(duì)既可以相異也可以相同。通式(1)中的Y表示26價(jià)有機(jī)基團(tuán)，R2為羥基、羧基、-0-R3或-C00-R3，n為04的整數(shù)。各個(gè)R2既可以相異也可以相同。這里的R3表示碳原子數(shù)115的有機(jī)基團(tuán)。但是，當(dāng)禮不是羥基時(shí)，R2至少1個(gè)必須是羧基?；蛘撸?dāng)&不是羧基時(shí)，禮至少1個(gè)必須是羥基。Y表示26價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，R2表示羥基、羧基、-0-R3、-C00-R3、n為04的整數(shù)，這些既可以相異也可以相同。這里的R3表示碳原子數(shù)115的有機(jī)基團(tuán)。但是，當(dāng)禮不是羥基時(shí)，R2至少1個(gè)必須是羧基?；蛘?，當(dāng)R2不是羧基時(shí)，R至少1個(gè)必須是羥基。含有以通式(1)表示的結(jié)構(gòu)的聚酰胺樹脂，例如，從具有x結(jié)構(gòu)的二胺或雙(氨基苯酚)、2，4_二氨基苯酚等中選擇的化合物以及根據(jù)需要配合的具有Z結(jié)構(gòu)的硅氧烷二胺，和具有Y結(jié)構(gòu)的四羧酸酐、苯偏三酸酐、二羧酸或二羧酸二氯化物、二羧酸衍生物、羥基二羧酸、羥基二羧酸衍生物等中選擇的化合物反應(yīng)所得到的樹脂。還有，在用二羧酸時(shí)，為了提高反應(yīng)收率，最好采用1-羥基-1，2，3-苯并三唑等預(yù)先反應(yīng)得到的活性酯型的二羧酸衍生物。在含有以通式⑴表示的結(jié)構(gòu)的聚酰胺樹脂中，作為x取代基的-0_r3、作為y取代基的-o-r3、-coo-r3，為了調(diào)節(jié)羥基、羧基對堿水溶液的溶解性，可根據(jù)需要，是把羥基、羧基7用碳原子數(shù)115的有機(jī)基民加以保護(hù)的基團(tuán)。作為R3的例子，可以舉出甲?；?、甲基、乙基、丙基、異丙基、叔丁基、叔丁氧基羰基、苯基、芐基、四氫呋喃基、四氫吡喃基等。當(dāng)該聚酰胺樹脂于約250400°C加熱時(shí)發(fā)生脫水關(guān)環(huán)，以聚酰亞胺、或聚苯并嚼唑、或兩者共聚的形態(tài)得到耐熱性樹脂。本發(fā)明的含有以通式(1)表示的結(jié)構(gòu)的聚酰胺樹脂的X，例如，可以舉出如下一些，但又不限于這些<formula>formulaseeoriginaldocumentpage8</formula>式中A表示-CH2_、-C(CH3)2-、-0-、_S_、_S02_、-CO-、-NHCO-、_C(CF3)2_、或單鍵。R8表示烷基、烷基酯基、選自鹵原子的1種，各個(gè)可以相同也可以相異。R是02的整數(shù)。另外，R9表示氫原子、烷基、烷基酯基、選自鹵原子中的1種。其中，特別優(yōu)選的是選自下列的基團(tuán)，另外，也可以使用2種或2種以上。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>(R1C1表示烷基、烷基酯基、選自鹵原子中的1種，各個(gè)可以相同也可以相異。R=02的整數(shù))?；蛘撸幸酝ㄊ?1)表示的結(jié)構(gòu)的聚酰胺樹脂的Y，例如，可以舉出如下一些基團(tuán)，但又不限于這些。(式中，A表示-CH2-、-C(CH3)2-、-0-、-S-、_S02_、-CO-、-NHCO-、_C(CF3)2_、或單鍵。Rn表示烷基、選自鹵原子中的1種，各個(gè)可以相同也可以相異。r=02的整數(shù))。其中，特別優(yōu)選的基團(tuán)選自下列基團(tuán)，另夕卜，也可以使用2種或2種以上。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage11</formula>(R12表示烷基、從鹵原子中選擇的1種，各個(gè)可以相同也可以相異。r=02的整數(shù))。還有，在本發(fā)明中，從保存性考慮，最好末端加以封端。為了封端，把至少具有1個(gè)鏈烯基或炔基的脂肪族基或環(huán)狀化合物基團(tuán)的衍生物，作為酸衍生物或胺衍生物導(dǎo)入通式(1)所示的聚酰胺的末端。具體的，例如將從具有X結(jié)構(gòu)的二胺或雙(氨基苯酚)、2，4_二氨基苯酚等中選擇的化合物，以及根據(jù)需要配合的具有Z結(jié)構(gòu)的硅氧烷二胺，和具有Y的結(jié)構(gòu)的四羧酸酐、苯偏三酸酐、二羧酸或二羧酸二氯化物、二羧酸衍生物、羥基二羧酸、羥基二羧酸衍生物等中選擇的化合物反應(yīng)所得到的含有以通式(1)表示的結(jié)構(gòu)的聚酰胺樹脂合成后，把在該聚酰胺樹脂中所含的末端氨基，用含至少具有1個(gè)鏈烯基或炔基的脂肪族基或環(huán)狀化合物基團(tuán)的酸酐或酸衍生物，作為酰胺蓋上是優(yōu)選的。作為起因于與氨基反應(yīng)后的、含有至少具有1個(gè)鏈烯基或炔基的脂肪族基團(tuán)或環(huán)狀化合物基團(tuán)的酸酐或酸衍生物的基團(tuán)，例如，可舉出下列一些，但又不限于這些。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>其中，特別優(yōu)選的是從下列基團(tuán)中選擇的基團(tuán)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage14</formula>另外，作為封閉末端的化合物，也可以使用2種或2種以上。另外，并不局限于上述方法，也可以將該聚酰胺樹脂中所含的末端的酸，采用含有至少具有1個(gè)鏈烯基或炔基的脂肪族基團(tuán)或環(huán)狀化合物基團(tuán)的胺衍生物，作為酰胺加以蓋上。另外，根據(jù)需要采用的，含有以通式(1)表示的結(jié)構(gòu)的聚酰胺樹脂的Z，例如可舉出下列一些，但又不限于這些。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage14</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage15</formula>其中，特別優(yōu)選的是從下列基團(tuán)中選擇的基團(tuán)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage15</formula>作為Z，也可以使用2種或2種以上。含有以通式(1)表示的結(jié)構(gòu)的聚酰胺樹脂的Z，例如，對硅晶片等基板，在需要特別優(yōu)良的粘合性時(shí)使用，但其使用比例b最大達(dá)到40摩爾％是優(yōu)選的。當(dāng)使用比例b超過40摩爾％時(shí)，樹脂的溶解性極低，產(chǎn)生顯影殘留(浮色)，往往圖案加工難。本發(fā)明中所用的重氮醌化合物(B)是具有1，2_苯并醌二酰胺或1，2_萘醌二酰胺結(jié)構(gòu)的化合物，是美國專利說明書第2772975號、第2797213號、第3669658號中公知的物質(zhì)。例如，可舉出下列物質(zhì)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>(式中Q選自氫原子或<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>丨在各化合物中至少1個(gè)是<formula>formulaseeoriginaldocumentpage17</formula>在這些化合物內(nèi)，特別優(yōu)選的是酚化合物和1，2-萘醌-2-二迭氮基-5-磺酸或1，2_萘醌-2-二迭氮基-4-磺酸的酯。關(guān)于它們，例如可舉出下列一些，但又不限于這些。這些也可使用2種或2種以上。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage17</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage18</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula>(式中Q選自氫原子或<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula>或丨<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula>在各化合物中，至少1個(gè)基團(tuán)是，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage21</formula>或<formula>formulaseeoriginaldocumentpage21</formula>本發(fā)明中所用的重氮醌化合物⑶的配合量，相對堿性可溶性樹脂(A)100重量份達(dá)到150重量份是優(yōu)選的。當(dāng)?shù)陀?重量份時(shí)，得不到良好的圖案，當(dāng)高于50重量份時(shí)，感光度往往大幅下降。本發(fā)明的第1方面所用的含-CH2OH基的化合物(C)，其特征在于不含酚性羥基。當(dāng)采用不含酚性羥基而含-CH2OH基的化合物(C)時(shí)，可以得到高感光度、無浮色的圖案，固化后的膜著色低，而且吸水低的感光性樹脂組合物。上述化合物(C)，具有芳香環(huán)，在該芳香環(huán)上直接結(jié)合-CH2OH基的化合物是優(yōu)選的。作為芳香環(huán)，例如可以舉出苯、萘、蒽等芳香烴，吡咯、吡啶等芳香雜環(huán)等。上述化合物(C)既可以具有聯(lián)苯基、三聯(lián)苯基等芳香環(huán)彼此結(jié)合的骨架，也可以具有在二苯基甲烷等2價(jià)以上有機(jī)基團(tuán)上結(jié)合芳香環(huán)的骨架。上述化合物(C)，特別優(yōu)選具有2個(gè)或2個(gè)以上-CH2OH基。作為本發(fā)明的上述化合物(C)，例如，可以舉出下列物質(zhì)，但又不限于這些。還有，在下式中，R13表示氫原子、烷基、烷氧基、羧基、酯基中的任意種基團(tuán)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage21</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage22</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage23</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage24</formula>在本發(fā)明中，不含酚性羥基而含-CH2OH基的化合物(C)的配合量，相對堿性可溶性樹脂(A)100重量份達(dá)到1100重量份是優(yōu)選的，達(dá)到550重量份的范圍是更優(yōu)選的。在本發(fā)明的第1方面，采用不含酚性羥基而含-CH2OH基的化合物(C)的正型感光性樹脂組合物，在氧濃度IOppm以下、320°C、固化60分鐘的5μm厚的膜，在波長500nm的透過率達(dá)到40%或40%以上是優(yōu)選的。當(dāng)該透過率低于40%時(shí)，透明性不好，并不優(yōu)選。在本發(fā)明中，配合成分溶解在溶劑中作為漆狀使用。作為在本發(fā)明的第1方面中使用的溶劑，可以舉出N-甲基-2吡咯烷酮、Y-丁內(nèi)酯、N,N-二甲基乙酰胺、二甲基亞砜、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇二丁醚、丙二醇單甲醚、二丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、甲基-1，3-丁二醇乙酸酯、1，3-丁二醇-3-單甲醚、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、甲基-3-甲氧基丙酸酯等，它們既可單獨(dú)使用也可混合使用。另一方面，本發(fā)明的第2方面中使用的溶劑，是2種或2種以上的混合溶劑(D)，該混合溶劑(D)是含有Y-丁內(nèi)酯及丙二醇單烷基醚的物質(zhì)，Y-丁內(nèi)酯及丙二醇單烷基醚的合計(jì)量為溶劑總量的70重量％或70重量％以上。Y-丁內(nèi)酯是堿性可溶性樹脂，是對感光性重氮醌的良溶劑，在本發(fā)明的第2方面中是必須成分。本發(fā)明的第2方面中使用的丙二醇單烷基醚具有提高涂布均勻性和降低浮色的作用。作為丙二醇單烷基醚，使用丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丙醚、丙二醇單丁醚是合適的。其中，更優(yōu)選的是丙二醇單甲醚。丙二醇單烷基醚為所用總?cè)軇┑?0重量％或80重量％以下是優(yōu)選的。當(dāng)超過80重量％時(shí)，涂布后的膜厚均勻性反而下降，往往發(fā)生從組合物析出感光性重氮醌等現(xiàn)象。在混合溶劑(D)中，Y-丁內(nèi)酯和丙二醇單烷基醚的配合比例，重量比1991是優(yōu)選的，更優(yōu)選2882。在本發(fā)明的第2方面，從達(dá)到高感光度考慮，混合溶劑(D)中除Y-丁內(nèi)酯和丙二醇單烷基醚以外，還含有Y-丁內(nèi)酯和丙二醇單烷基醚以外的偶極矩在3.5德拜或3.5德拜以上的溶劑是更優(yōu)選的。作為上述偶極矩在3.5德拜或3.5德拜以上的溶劑，例如，可以使用N-甲基_2_批咯烷酮、二甲基亞砜、環(huán)丁砜、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、ε-己內(nèi)酯、乙腈、丙烯腈、苯甲腈、丁腈、巴豆醛、碳酸乙烯酯、甲酰胺、異丁腈、甲基丙烯腈、N-甲基乙酰胺、4-甲基丁腈、N-甲基甲酰胺、戊腈、戊烷乙腈(pentaneacetonitrile)、丙腈、丙酮腈(propionenitrile)、2_吡咯烷酮、1，3-二甲基-2-咪唑，但又不限于使用這些。其中，優(yōu)選的是N-甲基-2-吡咯烷酮、二甲基亞砜、環(huán)丁砜。上述偶極矩在3.5德拜或3.5德拜以上的溶劑的用量為總?cè)軇┑?0重量％或30重量％以下。當(dāng)超過30重量％時(shí)，往往容易產(chǎn)生浮色。偶極矩在3.5德拜或3.5德拜以上的溶劑既可使用1種也可使用2種或2種以上。在本發(fā)明中，上述混合溶劑(D)，只要是能使感光性樹脂組合物成漆狀使用即可而對配合量未作特別限定。通常，上述混合溶劑(D)的配合量，相對堿性可溶性樹脂(A)IOO重量份為1002000重量份的范圍。另外，在本發(fā)明的第2方面，為了得到更高的感光度，可進(jìn)一步并用上述不含酚性羥基而含-CH2OH基的化合物(C)或具有酚性羥基的化合物。其中，從可以得到高感光度、無浮色形成圖案，固化后的膜著色低、而且吸水性低的感光性樹脂組合物考慮，在本發(fā)明的第2方面，并用上述不含酚性羥基而含-CH2OH基的化合物(C)也是優(yōu)選的。另一方面，作為具有酚性羥基的化合物，可以舉出下列一些，但又不限于這些。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage26</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage27</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage28</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage29</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage30</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage31</formula>其中，優(yōu)選選擇下列物質(zhì)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage31</formula>具有酚性羥基的化合物的配合量，相對堿性可溶性樹脂(A)100重量份達(dá)到130重量份是優(yōu)選的。在本發(fā)明的正型感光性樹脂組合物中，可根據(jù)需要添加流平劑、硅烷偶聯(lián)劑等添加劑。本發(fā)明中，正型感光性樹脂組合物的特征在于，其包含堿性可溶性樹脂(A)、重氮醌化合物(B)、不含酚性羥基而含-CH2OH基的化合物(C)、2種或2種以上的混合溶劑(D)而構(gòu)成，混合溶劑(D)是含有Y-丁內(nèi)酯和丙二醇單烷基醚的物質(zhì)，γ-丁內(nèi)酯和丙二醇單烷基醚的合計(jì)量為溶劑總重的約70重量％或70重量％以上，可以得到高感光度、無浮色形成圖案，固化后的膜著色低、并且吸水性低且膜厚均勻性優(yōu)良的正型感光性樹脂組合物。本發(fā)明的正型感光性樹脂組合物的使用方法，首先，把該組合物涂布在適當(dāng)?shù)妮d體上，例如硅晶片、陶瓷基板、鋁基板等。涂布量是，當(dāng)為半導(dǎo)體裝置時(shí)，加熱后的最終膜厚為0.150μm，更優(yōu)選的是加熱后的最終膜厚為0.130μm。當(dāng)膜厚低于0.1μm時(shí)，作為半導(dǎo)體元件的保護(hù)表面膜的功能難以充分發(fā)揮，當(dāng)高于50μm時(shí)，不僅難以得到精細(xì)的加工圖案，而且，加工時(shí)間長，生產(chǎn)效率下降。作為涂布方法，可以舉出采用旋轉(zhuǎn)機(jī)的旋轉(zhuǎn)涂布、采用噴涂機(jī)的噴霧涂布、浸漬、印刷、滾筒式涂布等。其次，于60130°C進(jìn)行預(yù)烘烤，干燥涂膜，形成組合物層后，對所希望的圖案形狀照射活性能量線。活性能量線是電磁波、放射線或具有其中間性質(zhì)的能量線的總稱，例如，可以使用X線、電子線、紫外光線、可見光線等，但200500nm波長的線是優(yōu)選的。其次，進(jìn)行后烘烤處理也可。進(jìn)行后烘烤處理的溫度為60150°C，而處理時(shí)間為10秒30分鐘。加熱既可用熱板，也可以用簡易的烘箱、擴(kuò)散爐等。未照射部通過與顯影液接觸并溶解來去除，借此形成起伏圖案。作為顯影液，優(yōu)選使用氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、硅酸鈉、偏硅酸鈉、氨水等無機(jī)堿類，乙胺、正丙胺等1級胺類，二乙胺、二正丙胺等2級胺類，三乙胺、甲基二乙胺等3級胺類，二甲基乙醇胺、三乙醇胺等醇胺類，四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨等季銨鹽等堿類水溶液，以及往其中適當(dāng)添加甲醇、乙醇等醇類等水溶性有機(jī)溶劑或表面活性劑的水溶液。作為顯影方法，可采用噴霧、葉輪(paddling)、浸漬、超聲波等方法。然后，漂洗通過顯影形成的起伏圖案。作為漂洗液，可使用離子交換水或蒸餾水。然后，進(jìn)行加熱時(shí)，當(dāng)堿性可溶性樹脂(A)為包含選自聚苯并噁唑結(jié)構(gòu)、聚苯并噁唑前體結(jié)構(gòu)、聚酰亞胺結(jié)構(gòu)、聚酰亞胺前體結(jié)構(gòu)或聚酰胺酸酯結(jié)構(gòu)的1種或1種以上結(jié)構(gòu)的樹脂時(shí)，形成噁唑環(huán)及/或酰亞胺環(huán)，得到耐熱性優(yōu)良的最終圖案。在本發(fā)明中，通過采用上述本發(fā)明的感光性樹脂組合物，具有在基板上形成圖案的高性能樹脂膜的特征。作為最大限度地活用該特征的用途的例子，可以舉出半導(dǎo)體裝置及顯示元件。在半導(dǎo)體裝置中，作為采用上述感光性樹脂組合物的樹脂膜的具體用途例子，可以舉出在半導(dǎo)體元件上形成鈍化膜、緩沖涂膜，在半導(dǎo)體元件上形成的回路上形成的層間絕緣膜等。另外，在顯示元件中采用上述感光性樹脂組合物的樹脂膜的具體用途例子，可以舉出TFT(薄膜晶體管)元件用層間絕緣膜、TFT元件用平坦化膜、濾色器用平坦化膜、MVA(區(qū)域垂直排)型液晶顯示裝置用突起、液晶顯示裝置用液晶定向膜、有機(jī)EL元件用陰極間隔、有機(jī)EL元件用絕緣膜。其使用方法，根據(jù)半導(dǎo)體用途，在顯示元件用構(gòu)件上形成上述樹脂膜等的規(guī)定位置上，采用上述方法形成由圖案化的感光性樹脂組合物的固化物構(gòu)成的層。顯示體裝置的用途，特別是層間絕緣膜或平坦化膜，要求其具有高透明性，但在形成由該感光性樹脂組合物的固化物構(gòu)成的層時(shí)，通過導(dǎo)入實(shí)施例中所述的后曝光工序，可得到透明性優(yōu)良的樹脂膜，從實(shí)用上考慮是非常優(yōu)選的。本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置及顯示元件，除采用上述感光性組合物制造，具有由上述組合物的固化物構(gòu)成的層以外，未作特別限定，可形成各種結(jié)構(gòu)，也可用公知的制造方法進(jìn)行制造。其中，作為在半導(dǎo)體裝置上采用本發(fā)明的感光性樹脂組合物的應(yīng)用例之一，通過附圖對在具有凸塊的半導(dǎo)體裝置上的應(yīng)用加以說明。圖1是本發(fā)明的具有凸起的半導(dǎo)體裝置的凸塊部分的放大剖面圖。如圖1所示，在硅晶片1上，在輸入輸出信號用的Al墊2上形成鈍化膜3，在該鈍化膜3上形成細(xì)孔(viahole)。另外，在其上形成由本發(fā)明的感光性樹脂組合物的固化物構(gòu)成的絕緣保護(hù)膜(緩沖涂膜)4，另外，將金屬(Cr、Ti等)膜5與Al墊2連接地形成，該金屬膜5蝕刻從細(xì)孔到焊錫凸塊9的周圍，由此使各墊之間絕緣。在絕緣的墊上采用電鍍等方法制成金屬配線6，在其上形成由本發(fā)明的感光性樹脂組合物的固化物構(gòu)成的絕緣膜7，在通過該光加工形成的細(xì)孔上形成屏蔽金屬8和焊錫凸塊9。用本發(fā)明的感光性樹脂組合物形成的膜，由于能夠無浮色地形成圖案、著色低且吸水性低，或膜厚均勻性優(yōu)良，所以，可以提供可靠性高的半導(dǎo)體裝置。本發(fā)明的感光性樹脂組合物，不僅可用于半導(dǎo)體及顯示元件用途，而且，作為多層電路的層間絕緣及撓性貼銅覆蓋涂層、焊料保護(hù)膜及液晶定向膜等也是有用的。如上所述，按照本發(fā)明的第1方面，可以提供高感光度、無浮色圖案，固化后的膜著色低，而且吸水性低的正型感光性樹脂組合物、采用該組合物的圖案狀樹脂膜制造方法、采用該組合物的半導(dǎo)體裝置及顯示元件，及該半導(dǎo)體裝置及顯示元件的制造方法。另外，按照本發(fā)明的第2方面，是提供一種高感光度、無浮色圖案的、膜厚均勻性優(yōu)良的正型感光性樹脂組合物、采用該組合物的圖案狀樹脂膜制造方法、采用該組合物的半導(dǎo)體裝置及顯示元件，及該半導(dǎo)體裝置及顯示元件的制造方法。實(shí)施例系列I本發(fā)明第1方面實(shí)施例《實(shí)施例1-1》[聚酰胺樹脂的合成]使對苯二甲酸0.9摩爾和間苯二甲酸0.1摩爾和1-羥基-1，2，3-苯并三唑2摩爾反應(yīng)，把反應(yīng)得到的二羧酸衍生物360.4g(0.9摩爾)和六氟-2，2-雙(3-氨基-4-羥基苯基)丙烷366.3g(l摩爾)放入帶有溫度計(jì)、攪拌機(jī)、原料添加口、干燥氮?dú)鈱?dǎo)入管的4口分離式燒瓶中，添加N-甲基-2-吡咯烷酮3000g使其溶解。然后，用油浴于75°C使之反應(yīng)12小時(shí)。其次，添加在N-甲基-2-吡咯烷酮500g中溶解的5-降冰片烯_2，3_二羧酸酐32.Sg(0.2摩爾)，再攪拌12小時(shí)，使反應(yīng)終止。過濾反應(yīng)混合物后，把反應(yīng)混合物投入水/甲醇=3/1(體積比)溶液，得到沉淀物。過濾，用水充分洗滌后真空下進(jìn)行干燥，得到以通式⑴表示的X為下式X-I、Y為下式Y(jié)-I及Y-2的混合物、a=100、b=0的聚酰胺樹脂(PA-I)。[正型感光性樹脂組合物的制備]把合成的聚酰胺樹脂(PA-I)100g、下列結(jié)構(gòu)的重氮萘醌化合物(S-I)20g、下列結(jié)構(gòu)的不含酚性羥基含-CH2OH基的化合物(M-I)10g，溶解在Y-丁內(nèi)酯中后，用0.2μπι的氟樹脂制過濾器過濾，得到感光性樹脂組合物。[特性評價(jià)]在硅晶片上把該正型感光性樹脂組合物用噴霧涂布器涂布后，用熱板于120°C干燥3分鐘，得到膜厚約5μπι的涂膜。在該涂膜上，通過凸版印刷(株)制造的掩膜(測試圖No.1描繪寬0.8850μm的殘留圖案及去掉圖案)，采用(株)NICON制i線St印perNSR4425i，曝光量從lOOmJ/cm2以20mJ/cm2逐漸增加來進(jìn)行曝光。然后，在2.38%的四甲基氫氧化銨水溶液中浸漬30秒，溶解去除露光部后，用純水洗滌30秒。結(jié)果可以確認(rèn)，在露光量260mJ/cm2形成有圖案，解析度為5μm。另外，用清潔烘箱在氮?dú)夥障乱?50°C/30分、350°C/60分加熱，進(jìn)行固化。然后，把得到的固化膜浸漬在3%氟化氫水溶液中，把膜從硅晶片上剝離。把得到的膜用純水充分洗澡后，于60°C/5小時(shí)用烘箱干燥。用分光光度計(jì)測定所得到的膜在波長500nm的透過率，結(jié)果是換算成膜厚5μm,達(dá)到62%的高透明性。另外，把所得到的膜于50°C干燥24小時(shí)后，采用把干燥后的膜浸漬在保持在23°C的純水中的方法(按照J(rèn)IS-K7209)測定吸水率的結(jié)果，吸水率低至0.28%。《實(shí)施例1-2》除了采用15gM_2代替實(shí)施例I-I中的不含酚性羥基含-CH2OH基的化合物M_1以夕卜，與實(shí)施例I-I同樣操作，得到正型感光性樹脂組合物，與實(shí)施例I-I同樣進(jìn)行評價(jià)。《實(shí)施例1-3》除了采用25gS_2代替實(shí)施例I-I中的重氮萘醌化合物(S_l)以外，與實(shí)施例1_1同樣操作，得到正型感光性樹脂組合物，與實(shí)施例I-I同樣進(jìn)行評價(jià)?！秾?shí)施例1-4》在實(shí)施例I-I中合成聚酰胺樹脂時(shí)，用二苯基醚_4，4’-二羧酸1摩爾代替對苯二甲酸0.9摩爾和間苯二甲酸0.1摩爾，合成以通式(1)表示的、由X為下式Χ_1、Υ為下式Y(jié)-3、a=100、b=0構(gòu)成的聚酰胺樹脂(PA-2)。其他與實(shí)施例1_1同樣操作，得到正型感光性樹脂組合物，與實(shí)施例I-I同樣進(jìn)行評價(jià)?！秾?shí)施例1-5》把4，4，-氧化二酞酸酐17.Ig(0.055摩爾)和2-甲基_2_丙醇13.0g(0.110摩爾)和吡啶10.9g(0.138摩爾)放入帶有溫度計(jì)、攪拌機(jī)、原料添加口、干燥氮?dú)鈱?dǎo)入管的4口分離式燒瓶中，添加N-甲基-2-吡咯烷酮150g并使其溶解。往該反應(yīng)液中把1-羥基-1，2，3-苯并三唑14.9g(0.110摩爾)與N-甲基_2_吡咯烷酮30g—起滴加后，把二環(huán)己基碳化二酰亞胺(dicyclohexyl-carbodiimide)22.7g(0.110摩爾)和N-甲基_2_吡咯烷酮50g—起滴加后，于室溫反應(yīng)1夜。然后，往該反應(yīng)溶液中，把二苯基醚_4，4’-二羧酸1摩爾和1-羥基-1，2，3-苯并三唑2摩爾反應(yīng)得到的二羧酸衍生物(活性酯)27.Ig(0.055摩爾)和六氟-2，2-雙(3-氨基-4-羥基苯基)丙烷44.7g(0.122摩爾)，與N-甲基-2-吡咯烷酮70g—起添加，于室溫?cái)嚢?小時(shí)。然后，采用油浴，于75°C使之反應(yīng)12小時(shí)，此外，與實(shí)施例I-I同樣反應(yīng)，合成以通式⑴表示的X為下式X-I、Y為下式Y(jié)-3及Y-4的混合物、a=100、b=0的聚酰胺樹脂(PA-3)。其他與實(shí)施例I-I同樣操作，得到正型感光性樹脂組合物，與實(shí)施例I-I同樣進(jìn)行評價(jià)?！秾?shí)施例1-6》把六氟-2，2-雙(3-氨基-4-羥基苯基)丙烷22.Og(0.06摩爾)溶解在N-甲基-2-吡咯烷酮IOOg中后，把溶解在N-甲基-2-吡咯烷酮80g中的苯偏三酸氯化物25.3g(0.12摩爾)，一邊冷卻至5°C或5°C以下一邊加入。再添加吡啶11.4g(0.144摩爾)，于20°C或20°C以下攪拌3小時(shí)。其次，添加4，4’-二氨基二苯醚12.Og(0.06摩爾)后，于室溫使之反應(yīng)5小時(shí)。然后，把內(nèi)溫升溫至85°C，攪拌3小時(shí)。反應(yīng)終止后過濾，把過濾的濾液投入水/甲醇=5/1(體積比)中，得到沉淀物。過濾，用水充分洗滌后真空下進(jìn)行干燥，得到以通式(1)表示的X為下式X-I及Χ_2、Υ為下式Y(jié)_5、a=100、b=0的目的聚酰胺樹脂(PA-4)。其他與實(shí)施例I-I同樣操作，得到正型感光性樹脂組合物，與實(shí)施例I-I同樣進(jìn)行評價(jià)?！侗容^例1-1》在實(shí)施例I-I中制備正型感光性樹脂組合物時(shí)不添加未含酚性羥基含-CH2OH基的化合物(M-I)10g，制成感光性樹脂組合物，與實(shí)施例I-I同樣進(jìn)行評價(jià)?！侗容^例1-2》采用下列結(jié)構(gòu)的化合物(M-3)IOg代替實(shí)施例I-I中制備正型感光性樹脂組合物時(shí)添加的不含酚性羥基含-CH2OH基的化合物(M-I)，制成感光性樹脂組合物，與實(shí)施例I-I同樣進(jìn)行評價(jià)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage35</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage36</formula>(式中Q表示氫或者<formula>formulaseeoriginaldocumentpage36</formula>Q整體內(nèi)的85%為<formula>formulaseeoriginaldocumentpage36</formula>)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage36</formula>(式中Q表示氫或者<formula>formulaseeoriginaldocumentpage36</formula>Q整體內(nèi)的90%為<formula>formulaseeoriginaldocumentpage36</formula>)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage37</formula>實(shí)施例I-I1-6、比較例I-I1-2的配合量示于表1_1，以及評價(jià)結(jié)果示于表1-2。表I-I<table>tableseeoriginaldocumentpage37</column></row><table>表1-2<table>tableseeoriginaldocumentpage38</column></row><table>未含有不含酚性羥基含-CH2OH基的化合物(C)的比較例1，感光度低，產(chǎn)生浮色，而相對于此，本發(fā)明涉及的實(shí)施例，可以高感光度、無浮色地形成圖案。另外，還表明本發(fā)明的透過率高、著色低、解析度也高。堿性可溶性樹脂(A)和重氮醌化合物(B)相同的實(shí)施例I-I及1-2和比較例1_1及1-2相比，采用含酚性羥基化合物的比較例1-2與比較例I-I相比，感光度有若干上升，產(chǎn)生浮色，但與采用不含酚性羥基含-CH2OH基化合物(C)的實(shí)施例1及2相比，吸水性及透過率均差?！秾?shí)施例1-7》[顯示元件的制作及特性評價(jià)]在玻璃基板上蒸鍍形成ITO膜后，采用光致抗蝕劑的通常的平版印刷法，把該ITO膜分割為條紋狀。在其上涂布實(shí)施例I-I中得到的正型感光性樹脂組合物，形成厚度約2μm的樹脂層。然后，使用平行曝光機(jī)(光源高壓水銀燈)，于曝光強(qiáng)度25mW/cm2、通過玻璃掩膜進(jìn)行10秒曝光。然后，把樹脂層于2.38%四甲基氫氧化銨水溶液中浸漬顯影20秒，由此各條紋上的ITO邊緣以外的部分露出，然后進(jìn)行加工使僅在ITO邊緣部和去除ITO的部分上形成樹脂層。然后，在整個(gè)樹脂層采用曝光時(shí)使用的平行曝光機(jī)，于曝光強(qiáng)度25mW/cm2進(jìn)行40秒的后曝光。用熱風(fēng)循環(huán)式干燥機(jī)于250°C空氣中加熱固化1小時(shí)。在該基板上，于lX10_4Pa或lX10_4Pa以下的減壓下，蒸鍍作為正孔注入層的銅酞菁、作為正孔輸送層的雙-N-乙基咔唑后，依次蒸鍍作為發(fā)光層的N，N’-二苯基-N，N’-m-甲苯甲酰-4，4’_二氨基-1，Γ-聯(lián)苯、作為電子注入層的三(8-羥基喹啉)鋁。再在其上蒸鍍形成作為第2電極的鋁層后，通過采用光致抗蝕劑的通常的平版印刷法，分割該鋁層成與上述ITO膜的條紋垂直方向的條紋狀。把得到的基板減壓干燥后，用環(huán)氧類粘合劑粘接密封用玻璃板，制成顯示元件。把該顯示元件于80°C處理250小時(shí)后，對兩電極施加電壓依次進(jìn)行驅(qū)幼，元件沒有任何問題地進(jìn)行發(fā)光。實(shí)施例系列II本發(fā)明第2方面實(shí)施例《實(shí)施例11-1》[聚酰胺樹脂的合成]使二苯基醚-4，4，-二羧酸4.138(0.016摩爾)、1-羥基_1，2，3-苯并三唑4.32g(0.032摩爾)反應(yīng)，把反應(yīng)得到的二羧酸衍生物的混合物(0.016摩爾)和六氟-2，2_雙(3-氨基-4-羥基苯基)丙烷7.33g(0.020摩爾)放入帶溫度計(jì)、攪拌機(jī)、原料添加口、干燥氮?dú)鈱?dǎo)入管的4口分離式燒瓶中，添加N-甲基-2-吡咯烷酮57.Og使其溶解。然后，用油浴于75V反應(yīng)12小時(shí)。其次，添加溶解在N-甲基-2-吡咯烷酮7g中的5-降冰片烯-2，3-二羧酸酐1.31g(0.008摩爾)，再攪拌12小時(shí)，使反應(yīng)終止。過濾反應(yīng)混合物后，把反應(yīng)混合物投入水/甲醇=3/1(體積比)的溶液，過濾得到的沉淀物，用水充分洗滌后，真空下進(jìn)行干燥，得到目的聚酰胺樹脂(A-I)。[樹脂組合物的制備]把合成的聚酰胺樹脂(A-I)10g、具有下列結(jié)構(gòu)的感光性重氮醌(B-I)2g，溶解在Y-丁內(nèi)酯/丙二醇甲醚/N-甲基-2-吡咯烷酮=50/20/30(重量比)的混合溶液20g中后，用0.2μm氟樹脂制過濾器過濾，得到正型感光性樹脂組合物。[顯影性評價(jià)]把該正型感光性樹脂組合物用噴霧涂布器在8英寸硅晶片上涂布后，用熱板于120°C干燥4分鐘，得到膜厚約ΙΟμπι的涂膜。所得到的涂膜的膜厚，測定8英寸晶片面內(nèi)9點(diǎn)的(參照圖2)膜厚的結(jié)果，膜厚變化范圍(最大值-最小值)為0.06μm，是良好的。在該涂膜上，通過凸版印刷(株)制造的掩膜(測試圖No.1:描繪寬0.8850μm的殘留的圖案及去掉的圖案)，采用(株)NICON制i線St印perNSR4425i，曝光量從lOOmJ/cm2以lOmJ/cm2增加來進(jìn)行曝光。然后，在2.38%的四甲基羥銨水溶液中，調(diào)整顯影時(shí)間，使顯影時(shí)的膜邊緣達(dá)到1.5μm，溶解去除露光部后，用純水洗滌30秒。觀察圖案的結(jié)果，在露光量260mJ/cm2，可得到無浮色、開口良好的圖案。另外，未曝光部分的膜厚測定處的膜厚范圍為0.11μm，是良好的。《實(shí)施例II-211-10》采用實(shí)施例II-I合成的聚酰胺樹脂(A-I)，使用表II-I中記載的溶劑代替實(shí)施例II-I的“樹脂組合物的制備”中使用的Y-丁內(nèi)酯/丙二醇甲醚/N-甲基-2-吡咯烷酮=5/2/3，得到與實(shí)施例與實(shí)施例II-I同樣的正型感光性樹脂組合物，與實(shí)施例II-I同樣進(jìn)行評價(jià)?！秾?shí)施例11-11》[聚酰胺樹脂的合成]把4，4，-氧化二酞酸酐17.06g(0.055摩爾)、2_甲基_2_丙醇8.15g(0.110摩爾)和吡啶10.9g(0.138摩爾)放入帶溫度計(jì)、攪拌機(jī)、原料添加口、干燥氮?dú)鈱?dǎo)入管的4口分離式燒瓶中，添加N-甲基-2-吡咯烷酮150g使其溶解。然后，往該反應(yīng)液中把1-羥基-1，2，3-苯并三唑14.9g(0.110摩爾)與N-甲基_2_吡咯烷酮30g—起滴加后，把二環(huán)己基碳化二酰亞胺22.7g(0.110摩爾)和N-甲基-2-吡咯烷酮50g—起滴加后，于室溫反應(yīng)1夜。然后，往該反應(yīng)溶液中，把二苯基醚_4，4’-二羧酸1摩爾和1-羥基-1，2，3-苯并三唑2摩爾反應(yīng)得到的二羧酸衍生物(活性酯)27.Ig(0.055摩爾)和六氟-2，2-雙(3-氨基-4-羥基苯基)丙烷44.7g(0.122摩爾)，與N-甲基-2-吡咯烷酮70g—起添加，于室溫?cái)嚢?小時(shí)。然后，采用油浴，于75°C使之反應(yīng)12小時(shí)，此外，添加溶解在N-甲基-2-吡咯烷酮20g中的5-降冰片烯_2，3_二羧酸酐3.94g(0.024摩爾)，再攪拌12小時(shí)使反應(yīng)終止。另外，與實(shí)施例11_1同樣操作，再次進(jìn)行沉淀、精制，得到聚酰胺樹脂(A-2)。[樹脂組合物的制備、顯影性評價(jià)]把合成的聚酰胺樹脂(A_2)10g、具有下列結(jié)構(gòu)的感光性重氮醌(B_2)2g溶解在CN丁內(nèi)酯/丙二醇甲醚/N-甲基-2-吡咯烷酮=50/20/30(重量比)的混合溶液20g中后，用0.2ym氟樹脂制過濾器過濾，得到正型感光性樹脂組合物。把該正型感光性樹脂組合物與實(shí)施例II-1同樣進(jìn)行評價(jià)。涂布后的膜厚變化范圍為0.08ym。進(jìn)行曝光、顯影的結(jié)果可以確認(rèn)，在曝光量300mJ/cm2時(shí)可得到無浮色、開口良好的圖案。另外，測定未曝光部分膜厚的變化范圍為0.12i!m，是良好的。《比較例II-111-4》使用表II-1中記載的溶劑，來代替實(shí)施例II-1的“樹脂組合物的制備”中使用的Y-丁內(nèi)酯/丙二醇甲醚/N-甲基-2-吡咯烷酮=5/2/3，與實(shí)施例II-1同樣進(jìn)行評價(jià)。評價(jià)結(jié)果示于11-2。B-1:(式中Qi、Q2、Q3的75%是25%是氫原子。)40(式中Q”Q2、Q3、Q4的87.5%是<formula>formulaseeoriginaldocumentpage41</formula>表II-1<table>tableseeoriginaldocumentpage41</column></row><table>GBL丁內(nèi)酯(4.1D)PGME丙二醇單甲醚(2.3D)PGEE丙二醇單乙醚(2.1D)NMP:N-甲基-2-吡咯烷酮(4.1D)DMS0二甲基甲酰胺(4.3D)2-庚酮(2.6D)環(huán)丁砜(4.8D)這里的括號內(nèi)表示偶極矩值。偶極矩值，可以參考溶劑手冊(講談社)、LANGE、HANDBOOKOFCHEMISTRY(McGRff-HILLB00KC0MPANY)。另外，上述文獻(xiàn)未記載的，可采用WinMOPAC3.0(富士通(株))計(jì)算最佳結(jié)構(gòu)，采用此時(shí)的偶極矩值。表II-2<table>tableseeoriginaldocumentpage42</column></row><table>本發(fā)明第2方面涉及的實(shí)施例，其感光度高、無浮色地形成圖案，并且涂布后及顯影后的膜厚均勻性優(yōu)良?；旌先軇?D)的丁內(nèi)酯、丙二醇單烷基醚的合計(jì)量相對溶劑總量達(dá)到70重量％或70重量％以上，另外，除Y_丁內(nèi)酯、丙二醇單烷基醚以外含有偶極矩在3.5德拜或3.5德拜以上的溶劑時(shí)，已經(jīng)表明感光度更高、膜厚均勻好更加優(yōu)良?！秾?shí)施例11-12》[顯示元件的制作和特性評價(jià)]在玻璃基板上蒸鍍形成IT0膜后，通過采用光致抗蝕劑的通常平版印刷法，把該IT0膜分割為條紋狀。在其上涂布實(shí)施例II-1中得到的正型感光性樹脂組合物，形成厚度約2ym的樹脂層。然后，使用平行曝光機(jī)(光源高壓水銀燈)，于曝光強(qiáng)度25mW/cm2、通過玻璃掩膜進(jìn)行曝光。然后，把樹脂層于2.38%四甲基氫氧化銨水溶液中浸漬顯影20秒，由此各條紋上的IT0邊緣以外的部分露出，并進(jìn)行加工使僅在IT0邊緣部和去除IT0的部分上形成樹脂層。然后，在整個(gè)樹脂層使用曝光時(shí)使用的平行曝光機(jī)，于曝光強(qiáng)度25mW/cm2進(jìn)行40秒的后曝光。用熱風(fēng)循環(huán)式干燥機(jī)于250°C空氣中加熱固化1小時(shí)。在該基板上，于lX10_4Pa或lX10_4Pa以下的減壓下蒸鍍作為正孔注入層的銅酞菁、作為正孔輸送層的雙-N-乙基咔唑后，依次蒸鍍作為發(fā)光層的N，N’-二苯基-N，N，-m-甲苯甲酰_4，4，_二氨基-1，1，_聯(lián)苯、作為電子注入層的三(8-羥基喹啉)鋁。再在其上蒸鍍形成作為第2電極的鋁層后，采用光致抗蝕劑的通常的平版印刷法，把該鋁層分割成與上述IT0膜的條紋垂直的方向的條紋狀。把得到的基板減壓干燥后，用環(huán)氧類粘合劑粘接密封用玻璃板，制成顯示元件。把該顯示元件于80°C處理250小時(shí)后，對兩電極施加電壓依次進(jìn)行驅(qū)幼，元件無任何問題地進(jìn)行發(fā)光。盡管本發(fā)明的一些具體實(shí)施方案已在上面詳細(xì)地進(jìn)行了說明，只要在不偏離本發(fā)明的新技術(shù)和優(yōu)點(diǎn)的范圍內(nèi)，可用現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行改良。因此，本發(fā)明的范圍內(nèi)包括所有這些改良。權(quán)利要求一種正型感光性樹脂組合物，該組合物包含堿性可溶性樹脂(A)、重氮醌化合物(B)、2種或2種以上的混合溶劑(D)，其特征在于，混合溶劑(D)含有γ-丁內(nèi)酯及丙二醇單烷基醚，γ-丁內(nèi)酯及丙二醇單烷基醚的合計(jì)量相對溶劑總量為70重量％或70重量％以上。2.按照權(quán)利要求1所述的正型感光性樹脂組合物，其特征在于，混合溶劑(D)進(jìn)一步包含有除Y-丁內(nèi)酯及丙二醇單烷基醚以外的、偶極矩在3.5德拜或3.5德拜以上的溶劑。3.按照權(quán)利要求1或2所述的正型感光性樹脂組合物，其特征在于，丙二醇單烷基醚選自丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丙醚及丙二醇單丁醚的群組。4.按照權(quán)利要求2或3所述的正型感光性樹脂組合物，其特征在于，所述偶極矩為3.5德拜或3.5德拜以上的溶劑選自N-甲基吡咯烷酮、二甲基亞砜及環(huán)丁砜的群組。5.按照權(quán)利要求1所述的正型感光性樹脂組合物，其特征在于，堿性可溶性樹脂(A)是含有選自聚苯并噁唑結(jié)構(gòu)、聚苯并噁唑前體結(jié)構(gòu)、聚酰亞胺結(jié)構(gòu)、聚酰亞胺前體結(jié)構(gòu)及聚酰胺酸酯結(jié)構(gòu)的1種或1種以上結(jié)構(gòu)的樹脂。6.按照權(quán)利要求1所述的正型感光性樹脂組合物，其特征在于，堿性可溶性樹脂(A)是用下列通式(1)表示的結(jié)構(gòu)(<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>(1)X:24價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，Y:26價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，隊(duì)羥基、-0-R3、m為02的整數(shù)，既可以相異也可以相同，R2羥基、羧基、-0-R3、-C00-R3、n為04的整數(shù)，既可以相異也可以相同，R3碳原子數(shù)115的有機(jī)基團(tuán)但是，當(dāng)禮不是羥基時(shí)，R2至少1個(gè)必須是羧基，或，當(dāng)R2不是羧基時(shí)，禮至少1個(gè)必須是羥基，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>其中R4、R5*2價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，R6、R7為1價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，且它們既可以相異也可以相同，a、b表示摩爾分?jǐn)?shù)，a+b=100摩爾％，a=60100摩爾％，b=040摩爾％。7.一種圖案狀樹脂膜的制造方法，其特征在于，該方法具有把上述權(quán)利要求1所述的正型感光性樹脂組合物涂布在基板上來形成組合物層的工序；對該組合物層照射活性能量線，使其與顯影液接觸，來形成圖案的工序；加熱該組合物的工序。8.一種半導(dǎo)體裝置，其特征在于，采用權(quán)利要求1所述的正型感光性樹脂組合物來制成。9.一種顯示元件，其特征在于，采用權(quán)利要求1所述的正型感光性樹脂組合物來制成。10.一種半導(dǎo)體裝置的制造方法，其特征在于，把權(quán)利要求1所述的正型感光性樹脂組合物涂布在半導(dǎo)體元件上，使加熱后的膜厚為0.150i!m，然后，進(jìn)行預(yù)烘烤、曝光、顯影、加熱來得到。11.一種顯示元件的制造方法，其特征在于，把權(quán)利要求1所述的正型感光性樹脂組合物涂布在顯示元件用構(gòu)件上，使加熱后的膜厚為0.150i!m，然后，進(jìn)行預(yù)烘烤、曝光、顯影、加熱來得到。全文摘要本發(fā)明提供一種包含堿性可溶性樹脂(A)、重氮醌化合物(B)、不含酚性羥基含-CH2OH基的化合物(C)所構(gòu)成的正型感光性樹脂組合物；采用該組合物的圖案狀樹脂膜的制造方法；采用該組合物的半導(dǎo)體裝置；及該半導(dǎo)體裝置的制造方法。本發(fā)明還提供一種正型感光性樹脂組合物；采用該組合物的圖案狀樹脂膜的制造方法；采用該組合物的半導(dǎo)體裝置及半導(dǎo)體元件；及該半導(dǎo)體裝置及顯示元件的制造方法，其中，正型感光性樹脂組合物含有堿性可溶性樹脂(A)、重氮醌化合物(B)、2種或2種以上的混合溶劑(D)，而混合溶劑(D)含有γ-丁內(nèi)酯及丙二醇單烷基醚，γ-丁內(nèi)酯及丙二醇單烷基醚的合計(jì)量相對溶劑總量為70重量％或70重量％以上。文檔編號G03F7/022GK101833244SQ20101016144公開日2010年9月15日申請日期2004年6月21日優(yōu)先權(quán)日2003年10月28日發(fā)明者平野孝,池田拓司,番場敏夫,矢野達(dá)也申請人:住友電木株式會社