專利名稱：一種激光標(biāo)記裝置及激光光闌變換裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種激光標(biāo)記技術(shù)，更具體地，涉及一種可調(diào)整線寬的筆型激光 標(biāo)記裝置及其中的激光光闌變換裝置。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中，半導(dǎo)體集成電路應(yīng)形成必要的激光標(biāo)記(Laser Mark)，如各式文 字、LOGO圖形、符號標(biāo)志等等，以便識別半導(dǎo)體集成電路的種類、型號、產(chǎn)地、出產(chǎn)商等必要 信息。為了進(jìn)行激光標(biāo)記，需采用筆型激光標(biāo)記裝置。以筆型激光標(biāo)記裝置發(fā)射出的一道 細(xì)激光束在半導(dǎo)體集成電路的表面進(jìn)行刻畫，來形成必要的文字或LOGO圖形。


圖1是現(xiàn)有技術(shù)中常用的筆型激光標(biāo)記裝置的示意圖。如
圖1所示，在一固定臂 101上固定有單獨(dú)的光闌102。光闌102位于反射鏡103和激光諧振器104之間，從反射鏡 103射出的激光先從光闌102通過，然后經(jīng)過激光諧振器104后對半導(dǎo)體集成電路的表面進(jìn) 行標(biāo)記。光闌102作為激光束通過的路徑，能夠決定該激光束的粗細(xì)，即該激光束照射于集 成電路表面所形成的激光光點(diǎn)大小。顯然，在進(jìn)行標(biāo)記過程中，激光光點(diǎn)大小會影響所刻畫 出的線寬。在筆型激光標(biāo)記裝置中，一般預(yù)設(shè)支持各種字體(FONT)的CAD模板或程序，以文 件的形式存儲于標(biāo)記裝置的數(shù)據(jù)庫中。可以按照預(yù)設(shè)的字體，將文字或LOGO刻畫在半導(dǎo)體 集成電路上，以進(jìn)行激光標(biāo)記。通常，一道激光束刻畫所形成的線寬無法達(dá)到可辨識的要 求，因此需要以激光束等距且平行地反復(fù)刻畫，形成多個(gè)平行的重復(fù)線條，才能形成達(dá)到字 體要求的筆畫寬度。由于集成電路產(chǎn)品大小不同等原因，需要刻畫不同大小的LOGO。往往 產(chǎn)品的尺寸越大，就需要越多的重復(fù)線條，才能符合激光標(biāo)記的要求。如圖2中示出了以不 同數(shù)量的重復(fù)線條所形成的集成電路的LOGO圖形?，F(xiàn)有的筆型激光標(biāo)記裝置已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了通用化設(shè)計(jì)，可以應(yīng)用于對S0P，DIP, QFP, TSOP等各種類型的半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)品進(jìn)行標(biāo)記。但是，由于各種半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)品的 尺寸不同，所標(biāo)記的字體或LOGO的大小也有所不同，使得標(biāo)記當(dāng)中重復(fù)線條的間距也會發(fā) 生變化。這時(shí)候就需要將激光標(biāo)記裝置發(fā)出的激光束的粗細(xì)進(jìn)行調(diào)整以改變所刻畫的線 寬。對于單線，雙線，三線，四線等復(fù)雜的字體及L0G0，還有必要按照線寬的粗細(xì)差異，對字 體和LOGO進(jìn)行重畫，即由于線寬的改變而重新生成CAD模板。盡管如此，現(xiàn)有的筆型激光標(biāo)記裝置因?yàn)槠浼す馐拇旨?xì)不易調(diào)整，仍然容易由 于線寬的偏差而產(chǎn)生品質(zhì)問題。例如，在對由復(fù)數(shù)個(gè)線條組成的字體進(jìn)行縮小時(shí)，容易由于 線寬過寬的原因，導(dǎo)致線條重疊，而且重復(fù)的激光標(biāo)記會易于燒毀集成電路表面。另外，對 于相同大小的LOGO或字體，以過細(xì)的線寬標(biāo)記導(dǎo)致需要更多的線條，因而增加了標(biāo)記過程 消耗的時(shí)間。由于線寬偏差影響標(biāo)記的品質(zhì)和效率，迫切需要改進(jìn)現(xiàn)有的筆型激光標(biāo)記裝置， 使其能夠容易和準(zhǔn)確地調(diào)整激光束的粗細(xì)來改變所刻畫的線寬，從而消除上述缺陷。
實(shí)用新型內(nèi)容針對上述需求，本實(shí)用新型提供了一種可調(diào)整線寬的筆型激光標(biāo)記裝置及其中的 激光光闌變換裝置，能夠方便并準(zhǔn)確的切換激光標(biāo)記裝置發(fā)射的激光束的粗細(xì)以改變線寬。本實(shí)用新型的激光光闌變換裝置應(yīng)用于激光標(biāo)記裝置，其包括光闌支撐部件，為圓盤型，可繞圓盤中心轉(zhuǎn)動；多個(gè)光闌，沿圓周設(shè)置于所述光闌支撐部件上，每個(gè)光闌具有不同的預(yù)定孔徑，把 從其中穿過的激光束控制為預(yù)定的不同粗細(xì)。驅(qū)動部件，驅(qū)動所述光闌支撐部件轉(zhuǎn)動一定角度，使所述多個(gè)光闌其中之一轉(zhuǎn)至 激光標(biāo)記裝置的激光路徑上。優(yōu)選地，所述驅(qū)動部件包括精確直流馬達(dá)和傳動機(jī)構(gòu)。所述精確直流馬達(dá)固定于 一固定臂上，根據(jù)一控制信號而轉(zhuǎn)動一定角度。所述傳動機(jī)構(gòu)可以是連接精確直流馬達(dá)和 光闌支撐部件的傳動皮帶。為了實(shí)現(xiàn)對光闌工作位置的準(zhǔn)確定位，光闌支撐部件上設(shè)置初始位置傳感器，用 于感應(yīng)光闌支撐部件所處的初始位置，并根據(jù)初始位置向精確直流馬達(dá)輸出所述控制信號。對應(yīng)于所述多個(gè)光闌中的每一個(gè)光闌，在光闌支撐部件上設(shè)置三個(gè)光束傳感器， 用于對各個(gè)光闌進(jìn)行激光束粗細(xì)的識別。通過應(yīng)用以上介紹的激光光闌變換裝置，本實(shí)用新型還提供了一種可調(diào)整線寬的 筆型激光標(biāo)記裝置，包括激光發(fā)生器，反射鏡組，激光諧振器，以及上述激光光闌變換裝置。通過本實(shí)用新型的激光標(biāo)記裝置，可以簡單地通過切換光闌而改變激光束的粗 細(xì)，從而可以方便地選擇適當(dāng)?shù)木€寬對不同尺寸的集成電路器件進(jìn)行刻畫，而無需現(xiàn)有技 術(shù)中調(diào)整字體或LOGO的相應(yīng)CAD模板的復(fù)雜操作，并且避免了由于線寬不當(dāng)而造成的表面 燒毀等問題，提高了激光標(biāo)記的效率。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明
圖1是現(xiàn)有技術(shù)中常用的筆型激光標(biāo)記裝置的示意圖；圖2是激光標(biāo)記形成的集成電路LOGO圖形的示意圖；圖3是本實(shí)用新型的激光光闌變換裝置實(shí)施例的總體結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施方式
為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，并使本實(shí)用新型的 上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合實(shí)施例及實(shí)施例附圖對本實(shí)用新型作 進(jìn)一步詳細(xì)的說明。圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例的激光光闌變換裝置的總體結(jié)構(gòu)圖。如圖3所示，光闌 支撐部件301為圓盤型，并且可繞圓盤中心轉(zhuǎn)動。若干個(gè)光闌3021-302N沿圓周設(shè)置于光 闌支撐部件301上。如前所述，當(dāng)激光束穿過光闌時(shí)，激光束的粗細(xì)可以由光闌決定。光闌3021-302N中的每個(gè)光闌均具有不同的預(yù)定孔徑，可以將從中穿過的激光束控制為預(yù)定的 不同粗細(xì)，進(jìn)而使用該激光束進(jìn)行標(biāo)記時(shí)能夠刻畫出預(yù)定的不同線寬。精確直流馬達(dá)303 固定于固定臂305上，并通過傳動機(jī)構(gòu)304驅(qū)動光闌支撐部件301繞圓盤中心旋轉(zhuǎn)。精確 直流馬達(dá)303根據(jù)控制信號旋轉(zhuǎn)一定的角度，可以使光闌3021-302N其中的任意一個(gè)光闌， 轉(zhuǎn)至激光標(biāo)記裝置的反射鏡至激光諧振器的激光路徑上，使激光束穿過該光闌，將激光束 控制為與該光闌相應(yīng)的粗細(xì)程度，達(dá)到預(yù)定的線寬。初始位置傳感器306設(shè)置于光闌支撐部件301，用于感應(yīng)光闌支撐部件301所處的 初始位置，并根據(jù)初始位置向精密直流馬達(dá)303輸出所述控制信號，控制光闌支撐部件301 的旋轉(zhuǎn)量，從而使光闌支撐部件301的定位準(zhǔn)確，能夠保證工作位置的精確性。光闌3021-302N中的每一個(gè)均相對應(yīng)地設(shè)置三個(gè)光束傳感器3071-3073，用于對 各個(gè)光闌進(jìn)行激光束粗細(xì)的識別。如下表所示，在標(biāo)記要求線寬N大小為1時(shí)，第一光束傳 感器3071的傳感器信號為0η，第二光束傳感器信號為Off，第三光束傳感器的信號為Off。 與上述原理相同，激光束線寬N大小的不同可以由光束傳感器3071-3073傳感器信號On或 Off的不同來判別，具體如下表所示，此處不再一一詳細(xì)贅述。 綜上所述，無論進(jìn)行激光標(biāo)記的對象是大尺寸的集成電路器件還是小尺寸的集成 電路器件，在進(jìn)行單線或復(fù)線刻畫時(shí)，也無需調(diào)整字體或LOGO的相應(yīng)CAD模板，只需要根據(jù) 字體或LOGO的大小，切換光闌3021-302N，就能夠生成適當(dāng)?shù)募す馐?，以合適的線寬來進(jìn)行 刻畫。特別是對于大尺寸的集成電路元件，在激光標(biāo)記過程中通過選擇較寬的線寬，可以以 較少的重復(fù)線條實(shí)現(xiàn)大小合適的字體或LOGO刻畫，這樣不但避免了反復(fù)以激光束刻畫集 成電路元件容易造成的表面燒毀的問題，而且減少了標(biāo)記所需時(shí)間。以上所述，僅為實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
。本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此， 任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求 所界定的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種用于激光標(biāo)記裝置的激光光闌變換裝置，其特征在于，包括光闌支撐部件，為圓盤型，可繞圓盤中心轉(zhuǎn)動；多個(gè)光闌，沿圓周設(shè)置于所述光闌支撐部件上，每個(gè)光闌具有不同的預(yù)定孔徑，把從其中穿過的激光束控制為預(yù)定的不同粗細(xì)。驅(qū)動部件，驅(qū)動所述光闌支撐部件轉(zhuǎn)動一定角度，使所述多個(gè)光闌其中之一轉(zhuǎn)至激光標(biāo)記裝置的激光路徑上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光光闌變換裝置，其特征在于所述驅(qū)動部件包括精確直 流馬達(dá)和傳動機(jī)構(gòu)；所述精確直流馬達(dá)固定于一固定臂上，根據(jù)一控制信號而轉(zhuǎn)動一定角 度；所述傳動機(jī)構(gòu)是連接精確直流馬達(dá)和光闌支撐部件的傳動皮帶。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光光闌變換裝置，其特征在于所述光闌支撐部件上設(shè)置 初始位置傳感器，感應(yīng)光闌支撐部件的初始位置并根據(jù)初始位置向精確直流馬達(dá)輸出所述 控制信號。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的激光光闌變換裝置，其特征在于光闌支撐部件 上對應(yīng)所述多個(gè)光闌中的每個(gè)光闌設(shè)置三個(gè)光束傳感器。
5.一種可調(diào)整線寬的筆型激光標(biāo)記裝置，包括激光發(fā)生器，反射鏡組，激光諧振器，其 特征在于還包括以上任一項(xiàng)權(quán)利要求中的激光光闌變換裝置。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種激光光闌變換裝置，包括圓盤型光闌支撐部件，可繞圓盤中心轉(zhuǎn)動；多個(gè)光闌，沿圓周設(shè)置于所述光闌支撐部件上，每個(gè)光闌具有不同的預(yù)定孔徑；以及驅(qū)動部件，驅(qū)動所述光闌支撐部件使所述多個(gè)光闌其中之一轉(zhuǎn)至激光標(biāo)記裝置的激光路徑上。本實(shí)用新型還提供了應(yīng)用上述激光光闌變換裝置的激光標(biāo)記裝置。通過本實(shí)用新型，可以簡單地通過切換光闌而改變激光束的粗細(xì)，方便以不同的線寬進(jìn)行激光標(biāo)記。
文檔編號G02B7/00GK201628799SQ200920256608
公開日2010年11月10日 申請日期2009年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月16日
發(fā)明者金度亨 申請人:正文電子(蘇州)有限公司