專利名稱：一種橢圓反射收集鏡的五維調整機構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種收集光鏡的調整機構，尤其涉及一種適用于拉曼光譜儀的橢
圓反射收集鏡的五維調整機構。
背景技術：
拉曼光譜是一項重要的現代光譜技術，它廣泛應用于化學、物理、生物和材料科學 等領域，是鑒定物質分子結構的有力工具。拉曼光譜儀一般由激光器發(fā)光源、光路系統、分 光系統、信號采集系統和數據處理系統四大部分組成。其中，光路系統包括激發(fā)光光路和拉 曼光收集光路，拉曼光收集光路對于拉曼光的收集效率，對拉曼光譜儀的性能至關重要。傳 統的收集光鏡多采用透射鏡，有時也采用圓球面鏡，如在傳統的拉曼光譜儀上，多采用透射 鏡收集散射光，收集光效率最大不超過10%，而采用橢圓反射收集光鏡與相同Fft數的透射 收集光鏡相比，收集光效率可提高3-5倍，例如發(fā)明專利申請98113709. 1所公開的橢圓反 射收集光鏡。 橢圓反射收集光鏡，其是在橢圓球軸上截取球面的一部分做成反射面鏡，將橢圓 長軸上的兩個焦點Fl和F2分別做為樣品激發(fā)光源Pl和收集光聚焦點P2 ;以靠近橢圓球 面鏡小中徑截面外的焦點為激發(fā)光源，以遠離橢圓球面鏡截面的焦點F2為收集光聚焦點。 圖1所示分別為水平與垂直兩種光路結構水平方式時，橢圓鏡水平放置與激發(fā)光源P1與 收集光聚焦點P2在同一水平面，而激發(fā)光由一直角三棱鏡，通過全反射照射至Pl以激發(fā)樣 品；垂直放置時橢圓鏡垂直放置，而通過一平面反射鏡將光路進行轉折，使收集光點P2在 水平位置。 橢圓鏡的參數確定后，Pl、 P2處于橢圓鏡的軸線上，且其空間相對位置固定，所以 在實際應用中對于光路調節(jié)必須滿足確定的位置關系，才能得到最佳的光收集效率。對于 拉曼光譜儀通常P2處為光譜儀的入口狹縫，其位置相對固定無法調節(jié)。為了使P2與光譜 儀的入射狹縫重合，就必須使橢圓鏡的位置能夠進行調節(jié)。由于橢圓鏡具有軸對稱結構所 以不需要軸向的旋轉，這樣為能滿足橢圓鏡的位置調節(jié)功能就需要五維調整上下、左右、 前后、俯仰和偏擺。 現有的橢圓反射收集鏡的五維調整機構分別由二維平移臺、俯仰偏擺臺和升降臺 組合以實現五維調節(jié)。但是，該組合系統體積龐大。并且，目前常用的橢圓反射鏡尺寸較大 且多是由金屬加工成形的，重量較大，組合的調整機構穩(wěn)定性不好。

實用新型內容為解決上述技術問題，本實用新型的目的在于提供一種用于拉曼光譜儀的五維調 整機構，能夠實現對橢圓反射收集鏡的五維調整，并且體積小、重量輕、穩(wěn)定性好。 為達到上述目的，本實用新型提供了一種橢圓反射收集鏡的五維調整機構。該五 維調整機構包括X軸傳動裝置、Y軸傳動裝置、升降傳動裝置、X軸方向擺動調整螺桿(或 稱X軸方向擺動調整裝置)、Y軸方向擺動調整螺桿(或稱Y軸方向擺動調整裝置)、擺動板和固定裝置；其中 所述固定裝置能夠將該五維調整機構固定到拉曼光譜儀上； 所述X軸傳動裝置包括X軸方向平移板和X軸方向傳動螺桿；所述X軸方向平移 板的中心設有第一通孔，具有橢圓反射收集鏡的橢球鏡結構能設于所述第一通孔內；所述 X軸方向平移板設有位于對角位置的至少兩個第一螺紋孔；所述X軸方向平移板與所述Y 軸方向平移板通過第一直線導軌連接；所述X軸方向傳動螺桿分別與所述X軸方向平移板、 所述Y軸方向平移板連接，并能夠帶動所述X軸方向平移板沿所述第一直線導軌相對所述 Y軸方向平移板水平運動； 所述Y軸傳動裝置包括Y軸方向平移板和Y軸方向傳動螺桿；所述Y軸方向平移 板的中心設有第二通孔，所述擺動板位于所述第二通孔內，所述Y軸方向平移板與所述固 定裝置通過第二直線導軌連接；所述Y軸方向傳動螺桿分別與所述Y軸方向平移板、所述固 定裝置連接，并能夠帶動所述Y軸方向平移板沿所述第二直線導軌相對所述固定裝置水平 運動；所述X軸方向傳動螺桿與所述Y軸方向傳動螺桿成90。角，即二者相互垂直； 所述擺動板與所述X軸方向平移板連接；所述擺動板與所述X軸方向平移板之間 設有作為所述擺動板的擺動支點的鋼珠，并且所述擺動板與所述X軸方向平移板通過4個 拉簧連接；所述X軸方向擺動調整螺桿和所述Y軸方向擺動調整螺桿呈對角分布(即二者 的位置分別位于X軸方向平移板的一對對角位置，相互成180° )，分別垂直穿過所述X軸 方向平移板中的所述第一螺紋孔，并與所述擺動板接觸； 所述升降傳動裝置包括至少兩個升降傳動螺桿和四個導向柱，所述升降傳動螺桿
兩端設有旋向相反的細牙螺紋，其中一端與所述擺動板連接，另一端與所述橢球鏡結構連
接；通過旋轉所述升降傳動螺桿能帶動橢球鏡結構相對所述擺動板上下運動。 在本實用新型提供的橢圓反射收集鏡的五維調整機構中，優(yōu)選地，所述X軸方向
傳動螺桿上旋配有螺紋方向相反的X軸第一螺母和X軸第二螺母，所述X軸第一螺母通過X
軸第一螺母固定座與所述X軸方向平移板連接，所述X軸第二螺母通過X軸第二螺母連接
座與所述Y軸方向平移板連接。 在本實用新型提供的橢圓反射收集鏡的五維調整機構中，優(yōu)選地，所述X軸方向 傳動螺桿設有能鎖住所述X軸第二螺母的鎖緊螺母；在旋緊時，該鎖緊螺母能夠將X軸第二 螺母鎖緊，確保X軸方向傳動螺桿、X軸第一螺母和X軸第二螺母之間無相對移動，能夠提 高光路的穩(wěn)定性。 在本實用新型提供的橢圓反射收集鏡的五維調整機構中，優(yōu)選地，所述Y軸方向 傳動螺桿上旋配有螺紋方向相反的Y軸第一螺母和Y軸第二螺母，所述Y軸第一螺母通過Y 軸第一螺母固定座與所述Y軸方向平移板連接，所述Y軸第二螺母通過Y軸第二螺母連接 座與所述固定裝置連接。 在本實用新型提供的橢圓反射收集鏡的五維調整機構中，優(yōu)選地，所述Y軸方向 傳動螺桿設有能鎖住所述Y軸第二螺母的鎖緊螺母；在旋緊時，該鎖緊螺母能夠將Y軸第二 螺母鎖緊，確保Y軸方向傳動螺桿、Y軸第一螺母和Y軸第二螺母之間無相對移動，能夠提 高光路的穩(wěn)定性。 在本實用新型提供的橢圓反射收集鏡的五維調整機構中，優(yōu)選地，所述升降傳動 螺桿能同時與所述橢球鏡結構的伸出臂的第二螺紋孔和所述擺動板上第三螺紋孔嚙合。[0018] 在本實用新型提供的橢圓反射收集鏡的五維調整機構中，優(yōu)選地，所述X軸方向 擺動調整螺桿和Y軸方向擺動調整螺桿分別與所述第一螺紋孔嚙合。 在本實用新型提供的橢圓反射收集鏡的五維調整機構中，優(yōu)選地，所述X軸方向 擺動調整螺桿和Y軸方向擺動調整螺桿的傳動螺紋為精研細牙螺紋。 在本實用新型提供的橢圓反射收集鏡的五維調整機構中，優(yōu)選地，所述X軸方向 傳動螺桿、Y軸方向傳動螺桿和升降傳動螺桿的傳動螺紋為細牙螺紋。 在本實用新型提供的橢圓反射收集鏡的五維調整機構中，優(yōu)選地，連接所述X軸 方向平移板與所述擺動板的拉簧為高強度拉簧。 根據本實用新型的具體技術方案，優(yōu)選地，上述X軸方向傳動螺桿、Y軸方向傳動 螺桿、X軸方向擺動調整螺桿、Y軸方向擺動調整螺桿和升降傳動螺桿的傳動螺紋均可以為 細牙螺紋，這樣能夠提高五維調整機構的穩(wěn)定性和傳動精度，進而能夠保證整個光路系統 的穩(wěn)定性，并且，上述X軸方向傳動螺桿和Y軸方向傳動螺桿能夠與旋配在其上的螺母精 研；更優(yōu)選地，上述細牙螺紋的螺距為0. 25。 根據本實用新型的具體技術方案，優(yōu)選地，上述第一直線導軌和第二直線導軌均 可以采用高精度微型直線導軌。 以下結合具體結構對本實用新型提供的橢圓反射收集鏡的五維調整機構的使用 狀態(tài)以及使用方式進行說明 整個五維調整機構由固定裝置固定到拉曼光譜儀上； 橢球鏡結構設于X軸方向平移板中心的第一通孔內，通過伸出臂和升降傳動螺桿 與擺動板連接，并且，橢球鏡結構的四個導向柱分別設置在擺動板上的連接座內，連接座內 設有相應的導軌；當旋轉升降傳動螺桿時，就可以帶動橢球鏡結構相對于擺動板做上下運 動，實現對橢球鏡結構的升降調節(jié)； X軸方向平移板與擺動板通過四個拉簧連接在一起，并且二者之間設有一鋼珠；X 軸方向擺動調整螺桿和Y軸方向擺動調整螺桿分別與X軸方向平移板連接，并且兩個調整 螺桿的下端與擺動板連接；旋轉X軸方向擺動調整螺桿和Y軸方向擺動調整螺桿，擺動板帶
動橢球鏡結構以鋼珠為支點擺動，實現對橢球鏡結構的俯仰和偏擺調節(jié)； X軸方向平移板與X軸方向傳動螺桿連接，并通過直線導軌與Y軸方向平移板連 接；旋轉X軸方向傳動螺桿，X軸方向平移板帶動擺動板和橢球鏡結構沿著直線導軌相對Y 軸方向平移板做水平運動，實現對橢球鏡結構的X軸方向水平調節(jié)； Y軸方向平移板與Y軸方向傳動螺桿連接，并通過直線導軌與固定裝置連接；旋轉
Y軸方向傳動螺桿，Y軸方向盤平移板帶動X軸方向平移板、擺動板和橢球鏡結構沿著直線
導軌相對固定裝置做水平運動，實現對橢球鏡結構的Y軸方向水平調節(jié)。 本實用新型提供的橢圓反射收集鏡的五維調整機構能夠實現對橢圓鏡的位置進
行上下、左右、前后、俯仰和偏擺的五維調整，具有以下優(yōu)點 1、結構緊湊、體積小、質量輕、傳動精度高、功能完善、穩(wěn)定性好； 2、調節(jié)方便，應用范圍廣，能夠適用于大尺寸的橢圓反射收集鏡。

以下附圖僅旨在于對本實用新型做示意性說明和解釋，并不限定本實用新型的范圍。其中 圖1為拉曼光譜儀的水平光路結構與垂直光路結構； 圖2是實施例提供的五維調整機構的整體結構示意圖； 圖3是X軸傳動裝置的示意圖； 圖4是實施例提供的五維調整機構的整體結構的俯視圖； 圖5是圖4中的A-A向視圖； 圖6是五維調整機構的局部示意圖。
附圖標號說明 X軸方向傳動螺桿101 X軸方向平移板102 X軸第一螺母103X軸第一螺母固 定座104 X軸第二螺母105 X軸第二螺母連接座106鎖緊螺母107 第一直線導軌108 第一螺紋孔109 第一通孔110Y軸方向傳動螺桿201 Y軸方向平移板202 Y軸第一螺 母203Y軸第一螺母固定座204 Y軸第二螺母205 Y軸第二螺母連接座206鎖緊螺母207 第二通孔208升降傳動螺桿301 X軸方向擺動調整螺桿401 Y軸方向擺動調整螺桿501 擺動板6鋼珠601高強度拉簧602第三螺紋孔603圓柱形導軌604固定裝置7橢球 鏡結構8伸出臂801第二螺紋孔802導向柱80具體實施方式為了對本實用新型的技術特征、目的和有益效果有更加清楚的理解，現參照說明 書附圖對本實用新型的技術方案進行以下詳細說明，但不能理解為對本實用新型的可實施 范圍的限定。 實施例 圖2是本實施例提供的五維調整機構的整體結構示意圖。如圖2所示，設置有橢
圓反射收集鏡的橢球鏡結構位于五維調整結構中心的通孔內，本實施例提供的五維調整機
構包括X軸傳動裝置、Y軸傳動裝置、升降傳動裝置、X軸方向擺動調整螺桿、Y軸方向擺動
調整螺桿、擺動板6和固定裝置7 ;其中 固定裝置7設置在該五維調整機構的兩側； X軸傳動裝置包括X軸方向傳動螺桿101和X軸方向平移板102 ;X軸傳動裝置設 置在五維調整機構未設置固定裝置7的一側；X軸方向傳動螺桿101分別與X軸方向平移 板102、Y軸方向平移板202連接，并且X軸方向傳動螺桿101能夠帶動X軸方向平移板102 相對Y軸方向平移板202水平運動；X軸方向平移板102的中心具有第一通孔110 ; Y軸傳動裝置包括Y軸方向傳動螺桿201和Y軸方向平移板202， Y軸方向傳動螺 桿201和X軸方向傳動螺桿101具有90°的夾角；Y軸傳動裝置設置在一個固定裝置7的 側面；Y軸方向傳動螺桿201分別與Y軸方向平移板202、固定裝置7連接，并且Y軸方向傳 動螺桿201能夠帶動Y軸方向平移板202相對固定裝置7水平運動；Y軸方向平移板202的 中心具有第二通孔208 ; 升降傳動裝置包括兩個升降傳動螺桿301 ;兩個升降傳動螺桿301分別穿過橢球 鏡結構8的伸出臂801的第二螺紋孔802以及X軸方向平移板102的第一通孔110，連接到 擺動板6的第三螺紋孔601上，并且升降傳動螺桿301能夠同時與上述伸出臂801的第二 螺紋孔802和擺動板6上的第三螺紋孔603嚙合；[0049] X軸方向擺動螺桿401和Y軸方向擺動螺桿501分別垂直穿過X軸方向平移板102 中的第一螺紋孔110與擺動板6接觸。 圖3是X軸傳動裝置的示意圖。如圖3所示，X軸第一螺母103旋配在X軸方向傳 動螺桿101的前端，并通過螺母固定座104與X軸方向平移板102連接；X軸第二螺母105 旋配在X軸方向傳動螺桿101的后端，并通過螺母連接座106與Y軸方向平移板202連接； X軸第一螺母103的螺紋為左旋螺紋，X軸第二螺母105的螺紋為右旋螺紋；X軸方向傳動 螺桿101上還旋配有鎖緊螺母107，能夠在旋緊時鎖住X軸第二螺母105，這樣做可以確保 X軸方向傳動螺桿101與X軸第一螺母103、 X軸第二螺母105之間不產生相對移動，提高 光路穩(wěn)定性。 圖4是本實施例提供的五維調整機構的整體結構的俯視圖。如圖4所示，橢球鏡 結構8位于X軸方向平移板102中心的第一通孔110內，并通過四個導向柱803連接到擺 動板6的孔壁上的四個相互之間呈90。夾角的連接座中，實現橢球鏡結構升降調節(jié)過程中 的導向作用，連接座內設有相應的圓柱形導軌604 ;在調節(jié)X軸方向擺動調整螺桿401和Y 軸方向擺動調整螺桿501時，擺動板6帶動橢球鏡結構8沿X軸方向和Y軸方向擺動； X軸方向平移板102與Y軸方向平移板202之間設有第一直線導軌108，當調節(jié)X 軸方向傳動螺桿101時，Y軸方向平移板202固定不動，X軸方向平移板102帶動橢球鏡結 構8沿著第一直線導軌108按照X軸方向水平移動，實現對橢球鏡結構8的X軸方向調節(jié)； Y軸方向平移板202與固定裝置7之間設有第二直線導軌，當調節(jié)Y軸方向傳動螺 桿201時，由于固定裝置7是固定不動的，Y軸方向平移板202帶動橢球鏡結構8沿著第二 直線導軌按照Y軸方向水平移動，實現對橢球鏡結構8的Y軸方向調節(jié)； X軸方向擺動調整螺桿401和Y軸方向擺動調整螺桿501分別位于X軸方向平移 板102的一對對角的位置，靠近X軸方向傳動螺桿101和Y軸方向傳動螺桿201的是Y軸 方向擺動調整螺桿501 ;兩個升降傳動螺桿301分別位于X軸方向平移板102的另一對對 角的位置，并且兩個升降傳動螺桿102分別位于第一通孔110內； X軸方向平移板102上設有四個高強度拉簧602，將X軸方向平移板102與擺動板 6連接在一起，采用高強度拉簧602可以確保此五維調整機構適用于不同材料密度的橢球 鏡，同時也可以提高光路的穩(wěn)定性。 圖5是圖4的A-A向剖視圖。如圖5所示，擺動板6位于Y軸方向平移板202中 心的第二通孔208內，橢球鏡結構8的上部位于X軸方向平移板102中心的第一通孔110 內； 橢球鏡結構8的上部具有一伸出臂801，該伸出臂801上設有第二螺紋孔802，升 降傳動螺桿301與該第二螺紋孔802嚙合，并穿過第二螺紋孔802以及X軸方向平移板102 的第一通孔110與擺動板6第三螺紋孔603連接，升降傳動螺桿301垂直于X軸方向平移 板102和擺動板6 ;旋轉升降傳動螺桿301能夠帶動橢球鏡結構8相對于擺動板6作升降 運動，實現對橢球鏡結構8的升降調節(jié)； 擺動板6與X軸方向平移板102之間設有一鋼珠601，其位于靠近升降傳動螺桿 301的一側，并且擺動板6與X軸方向平移板102在鋼珠601位置處均具有相應的凹槽；X 軸方向平移板102設有第一螺紋孔109， Y軸方向擺動調整螺桿501與該第一螺紋孔109 嚙合，并穿過第一螺紋孔109與擺動板6接觸；Y軸方向擺動調整螺桿501的下端為半球形(球形結構與調整螺桿粘結在一起與擺動板6接觸)并位于擺動板中相應的凹槽內；X軸方 向擺動調整螺桿401的結構以及工作原理與Y軸方向擺動調整螺桿501 —致；旋轉X軸方 向擺動調整螺桿401或Y軸方向擺動調整螺桿501，能夠使擺動板6以鋼珠601為支點擺 動，同時帶動橢球鏡結構8進行擺動，實現對橢球鏡結構8的俯仰和偏擺調節(jié)。 圖6是五維調整機構的局部示意圖。如圖6所示，橢球鏡結構8與四個導向柱803 連接，導向柱803分別連接到擺動板6的連接座中，連接座內設有相應的圓柱形導軌604 ; 當調整升降傳動螺桿301時，導向柱803能夠起到導向作用，橢球鏡結構8沿導向柱803進 行升降運動。
權利要求一種橢圓反射收集鏡的五維調整機構，其特征在于，該五維調整機構包括X軸傳動裝置、Y軸傳動裝置、升降傳動裝置、X軸方向擺動調整螺桿、Y軸方向擺動調整螺桿、擺動板和固定裝置；其中所述固定裝置能夠將該五維調整機構固定到拉曼光譜儀上；所述X軸傳動裝置包括X軸方向平移板和X軸方向傳動螺桿；所述X軸方向平移板的中心設有第一通孔，具有橢圓反射收集鏡的橢球鏡結構能設于所述第一通孔內；所述X軸方向平移板設有位于對角位置的至少兩個第一螺紋孔；所述X軸方向平移板與所述Y軸方向平移板通過第一直線導軌連接；所述X軸方向傳動螺桿分別與所述X軸方向平移板、所述Y軸方向平移板連接，并能夠帶動所述X軸方向平移板沿所述第一直線導軌相對所述Y軸方向平移板水平運動；所述Y軸傳動裝置包括Y軸方向平移板和Y軸方向傳動螺桿；所述Y軸方向平移板的中心設有第二通孔，所述擺動板位于所述第二通孔內，所述Y軸方向平移板與所述固定裝置通過第二直線導軌連接；所述Y軸方向傳動螺桿分別與所述Y軸方向平移板、所述固定裝置連接，并能夠帶動所述Y軸方向平移板沿所述第二直線導軌相對所述固定裝置水平運動；所述X軸方向傳動螺桿與所述Y軸方向傳動螺桿成90°角；所述擺動板與所述X軸方向平移板連接；所述擺動板與所述X軸方向平移板之間設有作為所述擺動板的擺動支點的鋼珠，并且所述擺動板與所述X軸方向平移板通過4個拉簧連接；所述X軸方向擺動調整螺桿和所述Y軸方向擺動調整螺桿呈對角分布，分別垂直穿過所述X軸方向平移板中的所述第一螺紋孔，并與所述擺動板接觸；所述升降傳動裝置包括至少兩個升降傳動螺桿和四個導向柱，所述升降傳動螺桿兩端設有旋向相反的細牙螺紋，其中一端與所述擺動板連接，另一端與所述橢球鏡結構連接；通過旋轉所述升降傳動螺桿能帶動橢球鏡結構相對所述擺動板上下運動。
2. 如權利要求1所述的橢圓反射收集鏡的五維調整機構，其特征在于，所述X軸方向傳動螺桿上旋配有螺紋方向相反的X軸第一螺母和X軸第二螺母，所述X軸第一螺母通過X軸第一螺母固定座與所述X軸方向平移板連接，所述X軸第二螺母通過X軸第二螺母連接座與所述Y軸方向平移板連接。
3. 如權利要求2所述的橢圓反射收集鏡的五維調整機構，其特征在于，所述X軸方向傳動螺桿設有能鎖住所述X軸第二螺母的鎖緊螺母。
4. 如權利要求1所述的橢圓反射收集鏡的五維調整機構，其特征在于，所述Y軸方向傳動螺桿上旋配有螺紋方向相反的Y軸第一螺母和Y軸第二螺母，所述Y軸第一螺母通過Y軸第一螺母固定座與所述Y軸方向平移板連接，所述Y軸第二螺母通過Y軸第二螺母連接座與所述固定裝置連接。
5. 如權利要求4所述的橢圓反射收集鏡的五維調整機構，其特征在于，所述Y軸方向傳動螺桿設有能鎖住所述Y軸第二螺母的鎖緊螺母。
6. 如權利要求1所述的橢圓反射收集鏡的五維調整機構，其特征在于，所述升降傳動螺桿能同時與所述橢球鏡結構的伸出臂的第二螺紋孔和所述擺動板上第三螺紋孔嚙合。
7. 如權利要求1所述的橢圓反射收集鏡的五維調整機構，其特征在于，所述X軸方向擺動調整螺桿和Y軸方向擺動調整螺桿分別與所述第一螺紋孔嚙合。
8. 如權利要求7所述的橢圓反射收集鏡的五維調整機構，其特征在于，所述X軸方向擺動調整螺桿和Y軸方向擺動調整螺桿的傳動螺紋為精研細牙螺紋。
9. 如權利要求1所述的橢圓反射收集鏡的五維調整機構，其特征在于，所述X軸方向傳動螺桿、Y軸方向傳動螺桿和升降傳動螺桿的傳動螺紋為細牙螺紋。
10. 如權利要求1所述的橢圓反射收集鏡的五維調整機構，其特征在于，所述拉簧為高強度拉簧。
專利摘要本實用新型涉及一種橢圓反射收集鏡的五維調整機構，其包括X軸傳動裝置、Y軸傳動裝置、升降傳動裝置、X軸方向擺動調整螺桿、Y軸方向擺動調整螺桿、擺動板和固定裝置。該五維調整機構能夠實現對橢圓鏡的位置進行上下、左右、前后、俯仰和偏擺的五維調整，具有以下優(yōu)點結構緊湊、體積小、質量輕、傳動精度高、功能完善、穩(wěn)定性好；調節(jié)方便，應用范圍廣，能夠適用于大尺寸的橢圓反射收集鏡。
文檔編號G02B7/182GK201489178SQ20092017312
公開日2010年5月26日 申請日期2009年8月20日 優(yōu)先權日2009年8月20日
發(fā)明者張義偉, 陳興海 申請人:北京卓立漢光儀器有限公司