專利名稱：顯微鏡載物臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及顯微鏡，尤其涉及一種顯微鏡載物臺(tái)。
背景技術(shù)：
當(dāng)對(duì)芯片完成電性測試并確定芯片性能良好后，需要將芯片封裝到一個(gè)單獨(dú)的保 護(hù)性封裝體中。封裝體除了能保護(hù)芯片外，其主要功能是通過引腳將芯片連接至電路板或 基板，通常，芯片與引腳的連接是通過從芯片焊墊引線焊接至引腳而實(shí)現(xiàn)的。 當(dāng)完成芯片與引腳的引線焊接后或者對(duì)失效產(chǎn)品進(jìn)行檢測分析時(shí)，需要將芯片放 置在顯微鏡的載物臺(tái)上，并通過顯微鏡檢查各個(gè)引線和對(duì)應(yīng)的焊墊接觸是否良好，以及各 個(gè)引線是否分開?，F(xiàn)有的顯微鏡的載物臺(tái)只能承載著芯片作水平移動(dòng)或上下移動(dòng)，即觀察 者只能看到芯片的上表面。因此，當(dāng)遇到下述情況時(shí)容易引起誤判從芯片的上方來看，引 線和對(duì)應(yīng)的芯片焊墊是相交的，但從側(cè)面來看引線和焊墊是分離的，并不接觸(屬于不合 格情形)，然而采用現(xiàn)有的顯微鏡容易將這種引線和焊墊相交但不相接的情況誤判為合格。 同樣，當(dāng)檢查各個(gè)引線是否錯(cuò)誤相接的時(shí)候，由于現(xiàn)有的顯微鏡只能從芯片上方觀察，因 此，常常把引線之間相交但不相接的情況視為相接而判斷其不合格，也導(dǎo)致誤判的產(chǎn)生。由 此可見，采用現(xiàn)有的顯微鏡進(jìn)行引線觀察，其檢查效率比較低，錯(cuò)誤率比較高。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種顯微鏡載物臺(tái)，可以使被檢產(chǎn)品做360度周轉(zhuǎn)， 提高產(chǎn)品檢測的準(zhǔn)確性。 為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型提供一種顯微鏡載物臺(tái)，包括一基座，所述基座 的一側(cè)設(shè)有相對(duì)基座轉(zhuǎn)動(dòng)的第一轉(zhuǎn)體，所述第一轉(zhuǎn)體的上方設(shè)有相對(duì)第一轉(zhuǎn)體轉(zhuǎn)動(dòng)的用于 載物的第二轉(zhuǎn)體。 在上述顯微鏡載物臺(tái)中，所述基座的一側(cè)設(shè)有螺孔，所述第一轉(zhuǎn)體上固設(shè)一螺桿， 所述螺桿旋入所述螺孔內(nèi)。 在上述顯微鏡載物臺(tái)中，所述第一轉(zhuǎn)體的上方設(shè)有螺孔，所述第二轉(zhuǎn)體上固設(shè)一 螺桿，所述螺桿旋入所述螺孔內(nèi)。 在上述顯微鏡載物臺(tái)中，所述第一轉(zhuǎn)體與第二轉(zhuǎn)體相接觸的表面是平面。 在上述顯微鏡載物臺(tái)中，所述第一轉(zhuǎn)體相對(duì)基座做360度旋轉(zhuǎn)。 在上述顯微鏡載物臺(tái)中，所述第二轉(zhuǎn)體相對(duì)第一轉(zhuǎn)體做360度旋轉(zhuǎn)。 在上述顯微鏡載物臺(tái)中，所述第一轉(zhuǎn)體和第二轉(zhuǎn)體的軸心線相互垂直 本實(shí)用新型的有益效果是由于第一轉(zhuǎn)體和第二轉(zhuǎn)體可以分別帶動(dòng)被檢產(chǎn)品做
360度旋轉(zhuǎn)，且兩轉(zhuǎn)軸(兩轉(zhuǎn)體的軸心線)的方向相互垂直，因此，可以實(shí)現(xiàn)從任意角度觀測
產(chǎn)品，避免背景技術(shù)中所提到的誤判情況的發(fā)生。因而，可以提高產(chǎn)品檢測的便利性和準(zhǔn)確
性，提高了檢測效率。
本實(shí)用新型的顯微鏡載物臺(tái)由以下的實(shí)施例及附圖給出。
圖1是本實(shí)用新型顯微載物臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖中，1-基座，2-第一轉(zhuǎn)體，3-第二轉(zhuǎn)體，4-產(chǎn)品。
具體實(shí)施方式以下將對(duì)本實(shí)用新型的顯微鏡載物臺(tái)作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。 請(qǐng)參閱圖l，圖l是本實(shí)用新型顯微載物臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。 這種顯微鏡載物臺(tái)應(yīng)用于景深比較大的顯微鏡。這種顯微鏡載物臺(tái)包括一基座 l，所述基座1的一側(cè)設(shè)有能相對(duì)基座1轉(zhuǎn)動(dòng)的第一轉(zhuǎn)體2，所述第一轉(zhuǎn)體2的上方設(shè)有能相 對(duì)第一轉(zhuǎn)體2轉(zhuǎn)動(dòng)的用于載物的第二轉(zhuǎn)體3。 上述載物臺(tái)的具體結(jié)構(gòu)如下，但不局限于此所述第一轉(zhuǎn)體2與第二轉(zhuǎn)體3相接觸 的表面是平面。所述第一轉(zhuǎn)體2是一部分圓柱面切成平面的圓柱體。所述第一轉(zhuǎn)體的軸心 線與顯微鏡的觀測方向相互垂直。所述第二轉(zhuǎn)體3是一下底面置于所述第一轉(zhuǎn)體2的平面 上的圓柱體。所述基座1的一側(cè)設(shè)有螺孔，所述第一轉(zhuǎn)體2上固設(shè)一螺桿，所述螺桿與第一 轉(zhuǎn)體的一底面固定連接。所述螺桿旋入所述螺孔內(nèi)。所述第一轉(zhuǎn)體2的上方設(shè)有螺孔，所 述第二轉(zhuǎn)體3上固設(shè)一螺桿，該螺桿與第二轉(zhuǎn)體3的下底面固定連接。所述螺桿旋入所述 螺孔內(nèi)。如圖1所示，所述第一轉(zhuǎn)體2的軸心線沿X軸方向，所述第二轉(zhuǎn)體3的軸心線沿Z 軸方向。且兩軸心線相互垂直。放置于第二轉(zhuǎn)體3上的產(chǎn)品4，可以隨著第二轉(zhuǎn)體3繞著第 二轉(zhuǎn)體3的軸心線做360度旋轉(zhuǎn)。第二轉(zhuǎn)體3及其上的產(chǎn)品4可以隨著第一轉(zhuǎn)體2繞著第 一轉(zhuǎn)體2的軸心線做360度旋轉(zhuǎn)。通過轉(zhuǎn)動(dòng)該兩個(gè)轉(zhuǎn)體可以從不同的角度觀察產(chǎn)品4。 本實(shí)用新型是這樣工作的 當(dāng)產(chǎn)品4完成芯片與引腳的引線焊接后，可以采用具有本實(shí)用新型所述的載物臺(tái) 的顯微鏡進(jìn)行檢查是否合格。當(dāng)然，也可以用于對(duì)失效的產(chǎn)品進(jìn)行檢測以以分析失效原因。 采用顯微鏡，而不需要使用電子掃描顯微鏡SEM(ScanningElectron Microscope)，可以節(jié) 省很多檢測時(shí)間，從而提高檢測效率。在檢測的時(shí)候，先將產(chǎn)品4放置在載物臺(tái)的第二轉(zhuǎn)體 3的上表面(載物面)，可以通過夾片夾將產(chǎn)品4固定在第二轉(zhuǎn)體3上。此時(shí)，可以從芯片的 上方來觀察引線和對(duì)應(yīng)的芯片焊墊是否相交。然后，可以通過轉(zhuǎn)動(dòng)第一轉(zhuǎn)體2，使得第二轉(zhuǎn) 體3及其上的產(chǎn)品4繞X軸旋轉(zhuǎn)，使產(chǎn)品4的一個(gè)側(cè)面朝上。然后，操作人員可以通過轉(zhuǎn)動(dòng) 第二轉(zhuǎn)體3，使產(chǎn)品的各個(gè)側(cè)面呈現(xiàn)在顯微鏡下方，從側(cè)面觀察引線和焊墊是否相互接觸， 如果發(fā)現(xiàn)引線和焊墊相互分離(不接觸)即判為不合格產(chǎn)品。因而，可以避免過去由于只 能從芯片上方觀測造成的誤判現(xiàn)象。同樣，當(dāng)檢查各個(gè)引線是否錯(cuò)誤相接的時(shí)候，也可以通 過轉(zhuǎn)動(dòng)第一轉(zhuǎn)體2和第二轉(zhuǎn)體3實(shí)現(xiàn)從芯片的不同側(cè)面來觀察各個(gè)引線是否相互接觸。如 果發(fā)現(xiàn)各個(gè)引線之間相互接觸即判為不合格產(chǎn)品。因而，同樣避免了誤判現(xiàn)象的發(fā)生。由 于第一轉(zhuǎn)體2和第二轉(zhuǎn)體3的軸心線是相互垂直的，所以，可以實(shí)現(xiàn)從不同的角度觀測產(chǎn)品 4，從而及時(shí)發(fā)現(xiàn)芯片的不合格情況。從而，提高了產(chǎn)品檢查的準(zhǔn)確性和便利性，有效提高了 檢測效率。 雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型。本實(shí) 用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動(dòng)與潤飾。因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn):
權(quán)利要求一種顯微鏡載物臺(tái)，包括一基座，其特征在于所述基座的一側(cè)設(shè)有相對(duì)基座轉(zhuǎn)動(dòng)的第一轉(zhuǎn)體，所述第一轉(zhuǎn)體的上方設(shè)有相對(duì)第一轉(zhuǎn)體轉(zhuǎn)動(dòng)的用于載物的第二轉(zhuǎn)體。
2. 如權(quán)利要求l所述的顯微鏡載物臺(tái)，其特征在于所述基座的一側(cè)設(shè)有螺孔，所述第 一轉(zhuǎn)體上固設(shè)一螺桿，所述螺桿旋入所述螺孔內(nèi)。
3. 如權(quán)利要求l所述的顯微鏡載物臺(tái)，其特征在于所述第一轉(zhuǎn)體的上方設(shè)有螺孔，所 述第二轉(zhuǎn)體上固設(shè)一螺桿，所述螺桿旋入所述螺孔內(nèi)。
4. 如權(quán)利要求1所述的顯微鏡載物臺(tái)，其特征在于所述第一轉(zhuǎn)體與第二轉(zhuǎn)體相接觸 的表面是平面。
5. 如權(quán)利要求1所述的顯微鏡載物臺(tái)，其特征在于所述第一轉(zhuǎn)體相對(duì)基座做360度 旋轉(zhuǎn)。
6. 如權(quán)利要求l所述的顯微鏡載物臺(tái)，其特征在于所述第二轉(zhuǎn)體相對(duì)第一轉(zhuǎn)體做360度旋轉(zhuǎn)。
7. 如權(quán)利要求1所述的顯微鏡載物臺(tái)，其特征在于所述第一轉(zhuǎn)體和第二轉(zhuǎn)體的軸心 線相互垂直。
專利摘要本實(shí)用新型屬于各類顯微鏡，尤其涉及顯微鏡載物臺(tái)。這種顯微鏡載物臺(tái)，包括一基座，所述基座的一側(cè)設(shè)有相對(duì)基座轉(zhuǎn)動(dòng)的第一轉(zhuǎn)體，所述第一轉(zhuǎn)體的上方設(shè)有相對(duì)第一轉(zhuǎn)體轉(zhuǎn)動(dòng)的用于載物的第二轉(zhuǎn)體。所述基座的一側(cè)設(shè)有螺孔，所述第一轉(zhuǎn)體上固設(shè)一螺桿，所述螺桿旋入所述螺孔內(nèi)。所述第一轉(zhuǎn)體的上側(cè)設(shè)有螺孔，所述第二轉(zhuǎn)體上固設(shè)一螺桿，所述螺桿旋入所述螺孔內(nèi)。由于第一轉(zhuǎn)體和第二轉(zhuǎn)體可以分別帶動(dòng)產(chǎn)品做360度旋轉(zhuǎn)，且兩轉(zhuǎn)體的軸心線方向相互垂直，因此，可以實(shí)現(xiàn)從任意角度觀測產(chǎn)品。因而，可以提高產(chǎn)品檢測的便利性和準(zhǔn)確性，從而，提高檢測效率。
文檔編號(hào)G02B21/26GK201464705SQ20092007796
公開日2010年5月12日 申請(qǐng)日期2009年7月7日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月7日
發(fā)明者季春葵, 宋哲, 王君麗, 龔偉平 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司