專利名稱：點膠裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及點膠技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種點膠裝置。
背景技術(shù)：
在大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路的前端制造設(shè)備中，光刻機(jī)是最復(fù)雜、要求最高的設(shè)備，
集光機(jī)電技術(shù)于一身，尤其是對機(jī)械系統(tǒng)的精密性與穩(wěn)定性的要求幾乎達(dá)到了極限。為了
達(dá)到這樣的要求，在光刻機(jī)的設(shè)計和生產(chǎn)過程中，需要重視很多方面的問題，尤其是透鏡的
無應(yīng)力固定，膠結(jié)技術(shù)是透鏡無應(yīng)力固定設(shè)計的一個很重要的方法，但同時，膠結(jié)方法和點
膠均勻性的控制也是實現(xiàn)透鏡無應(yīng)力的固定的一個重要環(huán)節(jié)。 物鏡膠結(jié)固定方式，一般分為環(huán)形膠結(jié)固定和間歇單點固定。 如公開號為CN101165522A
公開日為2008年4月23日、申請?zhí)枮?br> 200610063217. 2、實用新型名稱為"輔助點膠裝置"的中國專利，該技術(shù)方案針對于環(huán)形點
膠固定方式。在此專利中，需要調(diào)整鏡筒與旋轉(zhuǎn)載臺的位置，才能實現(xiàn)均勻點膠。這個專利
的缺點在于如果要達(dá)到點膠厚度均勻，操作不方便，而且結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜。 另一種點膠方式是采用間歇單點固定。鏡片周圍三點或六點固定，點膠機(jī)的出膠
量是一定的。如果在三點位置，針頭到鏡片側(cè)壁的距離不一樣，那它形成的膠層也會不一
樣。如此會造成各個點膠點膠層厚度不均勻，影響產(chǎn)品性能。 綜上所述，如何提高一種可保證針頭到被點膠元件的各個點膠部位的距離相同，而且操作方便的點膠裝置，是本領(lǐng)域技術(shù)人員需要解決的一個技術(shù)問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種點膠裝置，不但操作更加簡便，而且可以保證膠層厚度的均勻性。 為了達(dá)到上述的目的，本實用新型提供一種點膠裝置，包括用于固定被點膠元件的第一固持裝置、一端固定有針頭的針筒及用于夾持針筒的第二固持裝置，還包括一定位件，所述定位件的頂端頂在第一固持裝置的外側(cè)面，并且所述定位件與針筒固定連接，所述針頭頂端到定位件頂端的橫向距離與所述被點膠元件上的各點膠部位到第一固持裝置的外側(cè)面的距離相等，或者，所述針頭頂端到定位件頂端的橫向距離小于所述被點膠元件上的各點膠部位到第一固持裝置的外側(cè)面的距離一相同距離。 所述定位件包括一定位針和一針筒固定夾圈，所述針筒固定夾圈和所述定位針垂直固定連接，所述針筒固定夾圈固定夾持于 述針筒的外表面，所述定位針的頂端頂在第一固持裝置的外側(cè)面。 所述定位針的頂端與所述第一固持裝置的外側(cè)面相切。 所述定位針的頂端設(shè)置有滾珠、滾輪、滾軸、光滑弧面或光滑斜面。 所述第二固持裝置包括一固定架和一活動針筒夾，所述固定架包括一豎直支撐架
和一水平支撐架，所述活動針筒夾包括一與水平支撐架垂直固定連接的連接端和一夾持所述針筒外表面的夾持端，所述針筒相對活動針筒夾水平滑動。 所述活動針筒夾的夾持端上設(shè)有滾珠、滾輪、滾軸、光滑弧面或光滑斜面。 所述針筒的尾部經(jīng)一彈性連接元件與所述固定架的豎直支撐架連接。 所述第一固持裝置包括一旋轉(zhuǎn)載臺和一鏡筒固定機(jī)構(gòu)，所述鏡筒固定機(jī)構(gòu)固定于
旋轉(zhuǎn)載臺上。 所述旋轉(zhuǎn)載臺包括一轉(zhuǎn)軸及一支撐部，所述轉(zhuǎn)軸垂直于支撐部且位于支撐部的軸 線上，所述鏡筒固定機(jī)構(gòu)與所述支撐部同軸設(shè)置。 所述支撐部包括一支撐基底及一筒形側(cè)壁，所述筒形側(cè)壁垂直連接于所述支撐基 底。 所述第二固持裝置包括一固定基底，所述定位件包括兩定位針，所述定位針和所 述固定基底垂直固定連接，所述固定基底上開有供所述針筒穿過的孔。 所述第二固持裝置上設(shè)有用于鎖定針筒的鎖定機(jī)構(gòu)。 所述第一固持裝置為圓環(huán)形鏡框，所述鏡框上開有若干供所述針頭伸入的通孔。 本實用新型的有益效果是 本實用新型由于所述針頭頂端到定位件頂端的橫向距離與所述被點膠元件上的 各點膠部位到第一固持裝置的外側(cè)面的距離相等，或者，所述針頭頂端到定位件頂端的橫 向距離小于所述被點膠元件上的各點膠部位到第一固持裝置的外側(cè)面的距離一相同距離。 因此，當(dāng)定位件頂端頂在第一固持裝置的外側(cè)面時，所述針頭頂端相對各點膠部位的距離 相同，從而可以保證各點膠部位的膠層厚度均勻。另外，由于可確保針頭頂端到被點膠元件 的各點膠部位有相同的安全距離，所以可以保護(hù)針頭不受損傷，不發(fā)生撞針現(xiàn)象。另外，在 針筒的尾部設(shè)置一彈性連接元件。所述彈性連接元件具有一定預(yù)緊力。 一方面可以確保定 位件的頂端頂在第一固持裝置的外表面。另一方面，即使第一固持裝置由于偏離其轉(zhuǎn)軸產(chǎn) 生的偏移，也能夠通過針筒尾部的彈性連接元件的伸縮來得到相應(yīng)的補償，從而進(jìn)一步保 證定位針與被點膠元件相對位置不變及保護(hù)針頭。

本實用新型的點膠裝置由以下的實施例及附圖給出。
圖1是本實用新型點膠裝置實例1結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是實施例1中旋轉(zhuǎn)載臺的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3是實例1中活動針筒夾的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖4是本實用新型點膠裝置實例2的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖中，l-第一固持裝置，ll-旋轉(zhuǎn)載臺，lll-支撐部，112-轉(zhuǎn)軸，12-鏡筒固定機(jī) 構(gòu)，2-第二固持裝置，21-固定架，22-活動針筒夾，221-滾珠，3-針筒，4-針頭，5-定位件， 51-定位針，52-針筒固定夾圈，6-鏡筒(被點膠元件中的一種)，7-彈性連接元件，8-點膠 機(jī)，9-氣管，10-滾軸，l'-鏡框，13-通 L6'-鏡片(被點膠元件的一種)。
具體實施方式以下將對本實用新型的點膠裝置作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。 實施例1[0031] 請參閱圖1和圖2，這種點膠裝置，包括用于固定被點膠元件的第一固持裝置1、 用于夾持針筒3的第二固持裝置2、針筒3、固定于針筒3 —端的針頭4和定位件5。所述定 位件5的頂端頂在第一固持裝置1的外側(cè)面，并且所述定位件5與針筒3固定連接。所述 針頭4的頂端與定位件5的頂端的橫向距離與被點膠元件的各點膠部位(即需要點膠的地 方)到第一固持裝置1的外側(cè)面之間的距離均相對應(yīng)。相對應(yīng)是指所述針頭4頂端到定位 件5頂端的橫向距離與所述被點膠元件上的各點膠部位到第一固持裝置1的外側(cè)面的距離 相等，或者，所述針頭4頂端到定位件5頂端的橫向距離小于所述被點膠元件上的各點膠部 位到第一固持裝置l的外側(cè)面的距離一相同距離。本實施例中，所述針頭4頂端到定位件 5頂端的橫向距離(即所述針頭4的頂端伸出定位件5的頂端的距離)小于被點膠元件的 各點膠部位到第一固持裝置1的外側(cè)面的距離一相同長度。 所述第一固持裝置l包括一旋轉(zhuǎn)載臺11和一鏡筒固定機(jī)構(gòu)12。本實施例中，所述 被點膠元件是鏡筒6。所述鏡筒固定機(jī)構(gòu)12固定于旋轉(zhuǎn)載臺11上。所述旋轉(zhuǎn)載臺ll包 括一轉(zhuǎn)軸112及一支撐部111。所述轉(zhuǎn)軸112垂直于支撐部111且位于支撐部111的軸線 上，所述鏡筒固定機(jī)構(gòu)12與所述支撐部111同軸設(shè)置。所述支撐部111為一杯體結(jié)構(gòu)，其 包括一支撐基底及一筒形側(cè)壁，所述筒形側(cè)壁垂直連接于所述支撐基底。 所述第二固持裝置2包括一固定架21和一活動針筒夾22。所述固定架21包括 一豎直支撐架和一水平支撐架。請參閱圖3，并結(jié)合參閱圖l和圖2，所述活動針筒夾22包 括一與水平支撐架垂直固定連接的連接端和一夾持所述針筒3外表面的夾持端。所述針 筒3可相對活動針筒夾22水平滑動。所述活動針筒夾22類似一個日常生活中夾持端呈圓 弧形的被子晾曬夾，其可以由板狀材料或管狀材料制成。本實施例中采用管狀材料?？梢?在所述活動針筒夾22的夾持端上設(shè)有滾珠、滾輪、滾軸、光滑弧面或光滑斜面，以減少活動 針筒夾22對針筒3的摩擦力。本實施例中采用滾珠221。所述針筒3由耐磨性較高的材料 制成，如硬塑或鋼鐵等材料，使得針筒3在活動針筒夾22內(nèi)長期靈活滑動而兩者皆不變形。 所述定位件5包括一定位針51和一針筒固定夾圈52，所述針筒固定夾圈52和所 述定位針51垂直固定連接，所述定位針51的頂端頂在第一固持裝置1的外側(cè)面。所述定 位針51的頂端相當(dāng)于上述定位件5的頂端。所述針筒固定夾圈52固定夾持于所述針筒3 的外表面，且所述定位針51的頂端與所述第一固持裝置1的外側(cè)面相切。優(yōu)選地，所述定 位針51與所述筒形側(cè)壁相切的一端為具有光滑表面的結(jié)構(gòu)。例如，所述定位針51與所述 筒形側(cè)壁相切的一端可以設(shè)置有滾珠、滾輪、滾軸、光滑弧面或光滑斜面。如此，可以減少所 述筒形側(cè)壁相對定位針51的摩擦力。本實施例中，采用滾軸10。 所述針筒3的尾部經(jīng)一彈性連接元件7與所述固定架21的豎直支撐架連接。本 實施例中，所述彈性連接元件7為彈簧，當(dāng)然也可以采用彈性塑膠等其他彈性元件。所述彈 性連接元件7具有一預(yù)緊力。 一方面可以確保定位件5的頂端頂在第一固持裝置1的外表 面。另一方面，即使第一固持裝置l由于偏離其轉(zhuǎn)軸產(chǎn)生的偏移，也能夠通過針筒3尾部的 彈性連接元件7的伸縮來得到相應(yīng)的補償，從而進(jìn)一步保證定位針與被點膠元件相對位置 不變及保護(hù)針頭。另外，點膠機(jī)8通過氣管9與針筒3的內(nèi)腔相通，用于向針筒3供應(yīng)膠水。 氣管9可以穿過彈簧與針筒3內(nèi)腔相通。 使用的時候，首先，將被點膠元件(即本實施例中的鏡筒6)安裝到第一固持裝置l 上，被點膠元件和第一固持裝置l同軸安裝，即將鏡筒6放置在旋轉(zhuǎn)載臺ll的中心位置，使得鏡筒6上的各點膠部位距離第一固持裝置1的外側(cè)面距離相同。同時，預(yù)先給彈性連接 元件7 (本實施例中為彈簧) 一個預(yù)緊力，使得定位件5的頂端(即定位針51的頂端)始 終頂著鏡筒6的外側(cè)面。當(dāng)旋轉(zhuǎn)載臺11旋轉(zhuǎn)的時候，鏡筒6跟著旋轉(zhuǎn)，由于彈簧有一定的 預(yù)緊力，定位件5的頂端始終緊貼著鏡筒6外側(cè)面。由于針頭4的頂端和定位件5的頂端 的橫向距離因為兩者固定連接而相對固定，并且鏡筒6上的各點膠部位到第一固持裝置1 的外側(cè)面距離相同。并且使得所述針頭4頂端到定位件5頂端的橫向距離小于所述被點膠 元件上的各點膠部位到第一固持裝置1的外側(cè)面的距離一相同距離。所以，當(dāng)定位件5的 頂端頂在第一固持裝置1的外側(cè)面時，所述針頭4的頂端到鏡筒6外側(cè)面(點膠部位)的 距離也是固定不變的。從而，可以保證被點膠元件上的各個點膠部位上的膠層厚度一致，進(jìn) 而保證各個點膠部位的膠層厚度的均勻性，可以有效提高產(chǎn)品質(zhì)量。另外，由于針筒3和第 二固持裝置2通過彈性連接元件7連接，所以即使旋轉(zhuǎn)載臺11由于其轉(zhuǎn)軸的偏心轉(zhuǎn)動發(fā)生 偏移，定位件5在該彈性連接元件7的作用下始終頂在鏡筒6外側(cè)面，即鏡筒6外側(cè)面壓迫 定位件5，針筒3可以在活動針筒夾22里前后水平運動，這種作用力最終傳導(dǎo)到彈性連接元 件7被其吸收，從而保證針頭4與鏡筒6的距離始終不變。進(jìn)而，保證各個點膠部位的膠層 厚度均勻的同時，也有效保護(hù)了針頭4，避免了撞針現(xiàn)象的產(chǎn)生。 實施例2 本實施例適用于間歇單點固定方式。以鏡片6'作為被點膠元件作為示例。請參閱 圖4，這種點膠裝置與實施例1的區(qū)別在于所述第一固持裝置1為圓環(huán)形鏡框l'，用于容 置所述鏡片6'。所述鏡片6'與圓環(huán)形鏡框1'同軸設(shè)置。所述鏡框1'上開有若干供針頭 4伸入的通孔13。所述第二固持裝置2包括一固定基底，所述定位件5包括兩定位針51，所 述定位針51和所述固定基底垂直固定連接，所述固定基底上開有供所述針筒3穿過的孔。 針筒3可以相對固定基底移動。所述第二固持裝置2上設(shè)有用于鎖定針筒3的鎖定機(jī)構(gòu)， 鎖定機(jī)構(gòu)現(xiàn)有很多，在此不在贅述。當(dāng)調(diào)節(jié)好針筒3的位置后，可以通過所述鎖定機(jī)構(gòu)將針 筒3鎖定，使之不能相對固定基底移動。 使用時，首先，將被點膠元件(即本實施例中的鏡片6')安裝到第一固持裝置上 (即本實施例中的鏡框1')，使得鏡片6'與鏡框1'同軸安裝，從而保證鏡片6'上的各點膠
部位(需要點膠的地方)到鏡框r的外側(cè)面的距離相等。接著，操作人員通過調(diào)節(jié)針筒3
相對第二固持裝置2的位置，使得針頭4的頂端伸出定位針51的頂端一定距離(即針頭4 的頂端到定位針51的頂端的橫向距離一定)，這個距離根據(jù)所需要的膠層厚度而定。然后， 通過鎖定機(jī)構(gòu)鎖住針筒3與第二夾持裝置相對位置。接著，操作人員就可以手握鏡框1'，將
圓環(huán)形鏡框r同時抵在所述第二夾持裝置的兩個定位針5i上后，如此，便可以進(jìn)行點膠工 作。接著開始對第二點膠部位進(jìn)行點膠。操作人員手動旋轉(zhuǎn)鏡框r，將針頭4伸入另一鏡 框r上的通孔13。由于鏡框r和鏡片e'同軸設(shè)置，所以鏡片e'上的被點膠部位相對鏡 框r外側(cè)面的距離是一致的。所述針頭4頂端到定位件頂端的橫向距離與所述被點膠元 件上的各點膠部位到第一固持裝置的外側(cè)面的距離相等，或者，所述針頭頂端到定位件頂 端的橫向距離小于所述被點膠元件上的各點膠部位到第一固持裝置的外側(cè)面的距離一相
同距離。由于針頭4的頂端與定位針51的頂端的距離固定，因此，使得鏡片6'上各點膠部
位到鏡框r外側(cè)面的距離始終相同，即通過定位針5i可以確保針頭4的頂端到各點膠部
位的距離一致，從而保證各點膠部位上的膠層厚度一致。由于針頭4相對各點膠部位的距離相同，所以也可以保護(hù)針頭4不受損傷。 雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本實用新型。本實 用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者，在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各 種的更動與潤飾。因此本實用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種點膠裝置，包括用于固定被點膠元件的第一固持裝置、一端固定有針頭的針筒及用于夾持針筒的第二固持裝置，其特征在于還包括一定位件，所述定位件的頂端頂在第一固持裝置的外側(cè)面，并且所述定位件與針筒固定連接，所述針頭頂端到定位件頂端的橫向距離與所述被點膠元件上的各點膠部位到第一固持裝置的外側(cè)面的距離相等，或者，所述針頭頂端到定位件頂端的橫向距離小于所述被點膠元件上的各點膠部位到第一固持裝置的外側(cè)面的距離一相同距離。
2. 如權(quán)利要求1所述的點膠裝置，其特征在于所述定位件包括一定位針和一針筒固定夾圈，所述針筒固定夾圈和所述定位針垂直固定連接，所述針筒固定夾圈固定夾持于所述針筒的外表面，所述定位針的頂端頂在第一固持裝置的外側(cè)面。
3. 如權(quán)利要求2所述的點膠裝置，其特征在于所述定位針的頂端與所述第一固持裝置的外側(cè)面相切。
4. 如權(quán)利要求3所述的點膠裝置，其特征在于所述定位針的頂端設(shè)置有滾珠、滾輪、滾軸、光滑弧面或光滑斜面。
5. 如權(quán)利要求1所述的點膠裝置，其特征在于所述第二固持裝置包括一固定架和一活動針筒夾，所述固定架包括一豎直支撐架和一水平支撐架，所述活動針筒夾包括一與水平支撐架垂直固定連接的連接端和一夾持所述針筒外表面的夾持端，所述針筒相對活動針筒夾水平滑動。
6. 如權(quán)利要求5所述的點膠裝置，其特征在于所述活動針筒夾的夾持端上設(shè)有滾珠、滾輪、滾軸、光滑弧面或光滑斜面。
7. 如權(quán)利要求5所述的點膠裝置，其特征在于所述針筒的尾部經(jīng)一彈性連接元件與所述固定架的豎直支撐架連接。
8. 如權(quán)利要求1所述的點膠裝置，其特征在于所述第一固持裝置包括一旋轉(zhuǎn)載臺和一鏡筒固定機(jī)構(gòu)，所述鏡筒固定機(jī)構(gòu)固定于旋轉(zhuǎn)載臺上。
9. 如權(quán)利要求8所述的點膠裝置，其特征在于所述旋轉(zhuǎn)載臺包括一轉(zhuǎn)軸及一支撐部，所述轉(zhuǎn)軸垂直于支撐部且位于支撐部的軸線上，所述鏡筒固定機(jī)構(gòu)與所述支撐部同軸設(shè)置。
10. 如權(quán)利要求9所述的點膠裝置，其特征在于所述支撐部包括一支撐基底及一筒形側(cè)壁，所述筒形側(cè)壁垂直連接于所述支撐基底。
11. 如權(quán)利要求1所述的點膠裝置，其特征在于所述第二固持裝置包括一固定基底，所述定位件包括兩定位針，所述定位針和所述固定基底垂直固定連接，所述固定基底上開有供所述針筒穿過的孔。
12. 如權(quán)利要求11所述的點膠裝置，其特征在于第二固持裝置上設(shè)有用于鎖定針筒的鎖定機(jī)構(gòu)。
13. 如權(quán)利要求1或11或12所述的點膠裝置，其特征在于所述第一固持裝置為圓環(huán)形鏡框，所述鏡框上開有若干供所述針頭伸入的通孔。
專利摘要本實用新型涉及點膠技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種點膠裝置。這種點膠裝置，包括用于固定被點膠元件的第一固持裝置、一端固定有針頭的針筒及用于夾持針筒的第二固持裝置，還包括一定位件，所述定位件的頂端頂在第一固持裝置的外側(cè)面，并且所述定位件與針筒固定連接，所述針頭頂端到定位件頂端的橫向距離與所述被點膠元件上的各點膠部位到第一固持裝置的外側(cè)面的距離相等，或者，所述針頭頂端到定位件頂端的橫向距離小于所述被點膠元件上的各點膠部位到第一固持裝置的外側(cè)面的距離一相同距離。這種結(jié)構(gòu)可以保證針頭頂端到被點膠元件的各點膠部位的距離相同，從而保證各點膠部位的膠層厚度均勻。同時，也可保護(hù)針頭不受損傷。
文檔編號G03F7/20GK201464690SQ20092007583
公開日2010年5月12日 申請日期2009年8月4日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月4日
發(fā)明者王健 申請人:上海微電子裝備有限公司