專利名稱：掩膜版移載機的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種半導體集成電路制造中的自動化控制設備，特別 是涉及一種掩膜版移載裝置。
背景技術：
掩模版在從掩膜版制造間(mask shop)運輸?shù)骄A加工間(FAB)的 過程中，是放置在運輸盒(mask case)中。運輸盒是一種特殊的密封盒子， 具有防塵防靜電功能，能夠很好的保護掩模版在運輸?shù)倪^程中不受損傷。 在掩模版到達晶圓加工間后，需要將其移載到作業(yè)盒(nikon case)中。 作業(yè)盒是另一種特殊的盒子，用來使掩模版能夠裝載在光刻機上進行作業(yè)。 這里就需要一種能夠使掩模版在運輸盒和作業(yè)盒之間移載的裝置，即掩模 版移載機。
通常一臺掩膜版移載機包括運輸盒支架、外觀檢査支架、作業(yè)盒支架、 兩個機械手臂、氮氣槍、氮氣發(fā)生器、強光燈等。掩膜版移載機將掩膜版 從運輸盒移載到作業(yè)盒包括如下步驟-
第1步，將裝有掩模版的運輸盒放置在運輸盒支架上，將空的作業(yè)盒 放置在作業(yè)盒支架上；
第2步，機械手臂A將掩模版從運輸盒中轉移到外觀檢查支架上，使 用強光燈照射外觀檢査支架上的掩膜版，如果掩膜版上有顆粒沾污，用氮 氣槍進行吹除；第3步，機械手臂B將掩模版從外觀檢査支架移至作業(yè)盒中；
第4步，將裝有掩模版的作業(yè)盒和空的運輸盒取下，移載結束。
上述方法同樣適用于將掩膜版從作業(yè)盒中移載至運輸盒中。 目前，運輸盒的大小規(guī)格在不同的廠家會有所不同，但是掩模版移載 機中的運輸盒支架只能對應一種規(guī)格的運輸盒。通常，運輸盒支架的大小 是根據(jù)運輸盒的大小事先調整好的，并且不能改變。請參閱圖1，運輸盒支
架11包括四個雙圓柱型夾持結構，分別用來夾持長方體運輸盒10的一個 角。如果遇到尺寸不匹配的運輸盒，就要手動進行移載，即完全人工地將 掩模版從運輸盒中移動到作業(yè)盒中。這樣做首先會有可能在掩模版表面留 下沾污，或導致掩模版圖形靜電擊穿(ESD);其次是不安全，有可能使掩
模版在手動移載的過程中滑落而造成物理損壞。
目前，掩模版移載機附帶的氮氣槍只連接氮氣發(fā)生器，即只能吹出純 氮氣。掩模版在使用過程中或多或少會在其表面積聚一定的靜電，當有顆 粒落在掩模版表面時，會由于靜電而牢牢吸附在上面。而純氮氣對于因靜 電而吸附在掩模版表面的顆粒去除效果不佳，尤其是當顆粒較小、受力面 積較小的時候，這種現(xiàn)象更為突出，這導致了掩模版返修率較高。

實用新型內容
本實用新型所要解決的技術問題是提供一種掩膜版移載機， 一方面可 以支持各種規(guī)格的運輸盒，另一方面可以有效去除掩膜版表面的各種顆粒。 為解決上述技術問題，本實用新型掩膜版移載機包括包括運輸盒支架
和氮氣槍，還包括運輸盒支架底座、導軌和離子發(fā)生 ；所述運輸盒支架底座為長方體結構，其上表面具有四條導軌，每條導 軌從上表面正中心延伸至上表面的一個頂角；所述運輸盒支架包括四個夾持結構，每個夾持結構可移動地固定于一 條導軌上；所述氮氣槍同時連接氮氣發(fā)生器和離子發(fā)生器。本實用新型掩膜版移載機可以實現(xiàn)掩膜版在任意大小的運輸盒和作業(yè) 盒之間移載，使掩膜版的移載完全自動化，避免了人工移載過程中可能出 現(xiàn)的各種不利因素。本實用新型掩膜版移載機還可以大大提高掩膜版表面 因靜電而吸附的顆粒的去除效率，減少掩膜版的送修率，降低運營成本。


圖1是現(xiàn)有的掩膜版移載機中，運輸盒支架夾持運輸盒的示意圖；圖2是本發(fā)明掩膜版移載機中，運輸盒支架配合運輸盒支架底座和導 軌夾持運輸盒的示意圖；圖3是本發(fā)明掩膜版移載機中，氮氣槍配合氮氣發(fā)生器和離子發(fā)生器 吹除掩膜版表面顆粒的示意圖。圖中附圖標記說明10為運輸盒；11為運輸盒支架；20為運輸盒；21為運輸盒支架；22 為導軌；23為運輸盒支架底座；30為掩膜版；31為氮氣槍；32為氮氣發(fā) 生器；33為離子發(fā)生器。
具體實施方式
本發(fā)明掩膜版移載機也包括運輸盒支架、外觀檢査支架、作業(yè)盒支架、兩個機械手臂、氮氣槍、氮氣發(fā)生器、強光燈等。與現(xiàn)有掩膜版移載機不 同的是，本發(fā)明增加了運輸盒支架底座、導軌和離子發(fā)生器。請參閱圖2，新增的運輸盒支架底座23為長方體結構，更典型的情況 是上、下表面均為正方形的長方體結構。運輸盒支架底座23的上表面具有 四條導軌22，每條導軌22從上表面正中心延伸至上表面的一個頂角，這四 條導軌22恰好完整組成了運輸盒支架底座23的上表面的兩條對角線。運 輸盒支架21包括四個雙圓柱型夾持結構，每個夾持結構可移動地固定于一 條導軌22上，用于夾持運輸盒20的一個頂角。對于不同大小規(guī)格的運輸 盒20，通過調整運輸盒支架21的每個夾持結構在導軌22上的位置，即可 方便地予以匹配夾持。運輸盒支架21的每個夾持結構在導軌22上的位置， 最好采用計算機軟件進行調整，也可采用機械或人工方式進行調整。請參閱圖3,氮氣槍31同時連接氮氣發(fā)生器32和離子發(fā)生器33。離 子發(fā)生器33為正、負離子發(fā)生器，既可以產生正離子，也可以產生負離子， 最典型的情況是產生氮離子(正離子)和氧離子(負離子)。這樣氮氣槍31 吹出的氮氣中既有純氮氣，也有正、負離子，從而可以對掩膜版30表面的 靜電電荷(顆粒)進行中和，提高對這些顆粒的吹除效率。
權利要求1.一種掩膜版移載機，包括運輸盒支架和氮氣槍，其特征是，還包括運輸盒支架底座、導軌和離子發(fā)生器；所述運輸盒支架底座為長方體結構，其上表面具有四條導軌，每條導軌從上表面正中心延伸至上表面的一個頂角；所述運輸盒支架包括四個夾持結構，每個夾持結構可移動地固定于一條導軌上；所述氮氣槍同時連接氮氣發(fā)生器和離子發(fā)生器。
2. 根據(jù)權利要求1所述的掩膜版移載機，其特征是，所述運輸盒支架 底座的上表面為正方形。
3. 根據(jù)權利要求1所述的掩膜版移載機，其特征是，所述離子發(fā)生器 為正、負離子發(fā)生器。
專利摘要本實用新型公開了一種掩膜版移載機，包括運輸盒支架和氮氣槍，還包括運輸盒支架底座、導軌和離子發(fā)生器；所述運輸盒支架底座為長方體結構，其上表面具有四條導軌，每條導軌從上表面正中心延伸至上表面的一個頂角；所述運輸盒支架包括四個夾持結構，每個夾持結構可移動地固定于一條導軌上；所述氮氣槍同時連接氮氣發(fā)生器和離子發(fā)生器。本實用新型可以支持各種規(guī)格的運輸盒，還可以有效去除掩膜版表面的各種顆粒。
文檔編號G03F1/00GK201413817SQ200920073980
公開日2010年2月24日 申請日期2009年6月1日 優(yōu)先權日2009年6月1日
發(fā)明者趙晨暉 申請人:上海華虹Nec電子有限公司