專利名稱：：著色感光性組合物用堿顯影液、圖像形成方法、濾色器及液晶顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及在使用了著色感光性組合物的圖案圖像的形成工序中使用的堿顯影液、使用了該堿顯影液的圖像形成方法、用該方法制造的濾色器、以及液晶顯示裝置。
背景技術(shù)：
：關(guān)于彩色液晶顯示器(LCD)的制造方法，已有多種提案。最近，一般采用如下方法在玻璃等的透明基板上，設(shè)置形成了黑色矩陣和RGB像素的濾色器，在其上濺射形成銦錫氧化物(ITO)之類的透明導(dǎo)電膜，形成透明電極，然后在其上形成取向膜，配置液晶。作為這里使用的濾色器的制造方法，主要有顏料分散法。顏料分散法是指下述方法在基板上利用狹縫涂布器等涂布使有機顏料和/或無機顏料分散而得到的負型著色感光性組合物，形成規(guī)定的著色圖案，從而制造濾色器。在上述負型著色感光性組合物中，含有作為著色劑的有機顏料和/或無機顏料，還含有利用紫外線等的曝光而固化的光聚合類材料和堿溶性樹脂成分。在透明基板上利用狹縫涂布器等涂布該著色感光性組合物，在通過減壓或加熱來干燥后，形成著色感光性組合物層，用405nm或365nm波長的放射線將其進行圖案曝光，在顯影工序中除去未曝光部分，從而形成圖案狀的著色像素，制造濾色器。作為本發(fā)明的課題的著色感光性組合物用堿顯影液，在上述顯影工序中使用。在該顯影工序中要求上述著色感光性組合物層迅速在堿顯影液中溶解或分散并被除去，同時即使顯影時間略有延長，曝光了的部分的著色圖案也不會剝離。迄今為止的堿顯影液為了解決上述問題，一直以來在堿成分以及表面活性劑上下功夫。例如使用KOH作為堿成分，含有聚氧乙烯二苯乙烯化苯基醚作為表面活性劑。已公開了下述內(nèi)容若在浸漬顯影時使用該液體，4則像素不會缺欠，形成具有清晰的圖案邊緣的像素，在非像素基板上沒有浮渣(scmn"膜殘留(參照日本特幵平7-120935號公報)。但是，在要求高生產(chǎn)率的制造中的基板顯影工序中，必須使用噴淋顯影裝置迅速進行顯影處理。在制造的噴淋顯影工序中，采用下述循環(huán)顯影方式用泵將顯影液從顯影液箱提供給到顯影槽的噴淋部，向基板噴霧顯影液后，再用盤等接收，將顯影液返回到顯影液箱中。因此，存在如下問題在大氣中的二氧化碳等的影響下，顯影液中含有的堿性成分在使用過程中減少，顯影處理的能力下降等。為了解決該問題，公開了如下技術(shù)作為堿性成分，使用碳酸鈉和碳酸氫鈉來代替KOH，利用緩沖作用將堿性成分的堿濃度保持一定(參照日本特開2003-21918號公報)。另外，伴隨著基板的大型化，認為是由基板上滯留的顯影液量相對增加而引起的各種問題不斷顯現(xiàn)。其一為著色感光性組合物因顯影處理而從基板剝離的剝離片在顯影液槽內(nèi)浮游，在基板上或著色感光性組合物層上再粘附而造成污染。認為其原因之一在于在循環(huán)顯影方式中，通過安裝于顯影箱與配管之間的過濾器向噴淋部輸送顯影液，但該過濾器無法完全除去循環(huán)顯影液中浮游的微小剝離片。另外，未使用的新鮮顯影液與顯影中使用過的顯影液在顯影能力上有差異，由此引起的基板面內(nèi)的顯影不均等也成為問題。另外，為了提高液晶顯示裝置的對比度、提高顏色再現(xiàn)性，要求使作為著色感光性組合物的著色劑而使用的顏料的粒子尺寸微細化并提高顏料濃度。若將著色感光性組合物中含有的顏料微細化并提高顏料濃度，則在顯影工序中，容易在著色像素的圖案周邊產(chǎn)生基板上的殘渣，要求改良顯影液。為了解決這些問題，還提出了被稱為階式(cascade)方式的顯影液的使用方法(參照日本特開2007-102243號公報)。但是，其不僅需要工序改造，而且并不能充分解決問題。解決上述問題的顯影液的開發(fā)成為市場需求。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供在涂設(shè)于基板上的著色感光性組合物層的顯影工序中在基板上、黑色矩陣上的著色感光性組合物的殘渣少且即使在大型基板上也無面內(nèi)顯影不均的顯影液，本發(fā)明的目的還在于提供生產(chǎn)率良好的圖像形成方法。另外，本發(fā)明的目的還在于提供即使著色感光性組合物中含有的顏料被微細化且顏料濃度增加也很少產(chǎn)生殘渣的濾色器，并且本發(fā)明以提供對比度高且顏色再現(xiàn)性良好的液晶顯示裝置為課題。本發(fā)明者進行了潛心開發(fā)，其結(jié)果發(fā)現(xiàn)利用含有多種特定結(jié)構(gòu)的非離子表面活性劑和含氫氧化鉀的堿性組合物的堿顯影液，能解決上述技術(shù)問題。以下，對該手段進行具體說明。<1>一種著色感光性組合物用堿顯影液，其含有(A)非離子性表面活性劑和(B)堿性組合物，所述(A)非離子性表面活性劑按質(zhì)量比[(A-1)/[(A-l)+(A-2)〗〗為0.20.9的范圍含有(A-l)聚氧化烯單苯乙烯基苯基醚和(A-2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚，所述(B)堿性組合物含有(B-l)氫氧化鉀。<2>根據(jù)<1>所述的著色感光性組合物用堿顯影液，其中，上述(A)非離子性表面活性劑還含有(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚，其質(zhì)量比[(A-3)/[(A-l)+(A-2)+(A-3)〗]為0.050.35的范圍。<3>根據(jù)<1>或<2>所述的著色感光性組合物用堿顯影液，其中，上述(A-l)聚氧化烯單苯乙烯基苯基醚中的聚氧化烯基是氧化乙烯的重復(fù)數(shù)為915的范圍的基團。<4>根據(jù)<1><3>中任一項所述的著色感光性組合物用堿顯影液，其中，上述(A-2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚中的聚氧化烯基是氧化乙烯的重復(fù)數(shù)為915的范圍的基團。<5>根據(jù)<2><4>中任一項所述的著色感光性組合物用堿顯影液，其中，上述(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚中的聚氧化烯基是氧化乙烯的重復(fù)數(shù)為915的范圍的基團。<6>根據(jù)<1><5>中任一項所述的著色感光性組合物用堿顯影液，其中，(B)含有氫氧化鉀的堿性組合物與(A)非離子性表面活性劑的總和的質(zhì)量比[(B)/(A)]為0.151.6的范圍。<7>—種圖像形成方法，其用放射線使形成于基板上的著色感光性組合物層曝光成圖案狀而固化后，用<1><6>中任一項所述的著色感光性組合<8>根據(jù)<7>所述的圖像形成方法，其中，所述著色感光性組合物用堿顯影液含有相對于堿顯影液整體為0.030.08質(zhì)量％的含(B-l)氫氧化鉀的(B)堿性組合物。<9>一種濾色器，其在基板上具備由<7>或<8>所述的圖像形成方法形成的著色圖案。<10>—種液晶顯示裝置，其采用<9>所述的濾色器。關(guān)于本發(fā)明的作用，推測是由于在著色感光性組合物中含有各種材料，各材料具有各自的分子量分布等，因此通過使用多種堿顯影液的表面活性劑，能有效地除去殘渣等。根據(jù)本發(fā)明，能提供在涂設(shè)于基板上的著色感光性組合物層的顯影工序中在基板上以及黑色矩陣上的著色感光性組合物的殘渣少且即使在大型基板上也能抑制面內(nèi)顯影不均的顯影液，還能提供生產(chǎn)率良好的圖像形成方法。此外，還能提供即使著色感光性組合物中含有的顏料被微細化且顏料濃度增加也很少產(chǎn)生殘渣的濾色器、以及對比度高且顏色再現(xiàn)性良好的液晶M^裝置。具體實施例方式以下，對用于實施發(fā)明的最佳方式進行詳細說明。本發(fā)明由下述著色感光性組合物用堿顯影液構(gòu)成，該著色感光性組合物用堿顯影液含有(A)非離子性表面活性劑和(B)堿性組合物，在將(A-l)聚氧化烯單苯乙烯基苯基醚的含量設(shè)為[(A-l)]、(A-2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚的含量設(shè)為[(A-2)]時，所述(A)非離子性表面活性劑按[(A-l)]與兩者的總量[(A-l)+(A-2)]的質(zhì)量比[(A-l)/[(A-l)+(A-2)]]為0.20.9的范圍含有(A-l)聚氧化烯單苯乙烯基苯基醚和(A-2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚，所述(B)堿性組合物含有(B-l)氫氧化鉀，所述(B)堿性組合物的含量相對于堿顯影液整體為0.030.08質(zhì)量％。以下對各構(gòu)成材料、最合適的構(gòu)成要素進行說明。<(A-l)聚氧化烯單苯乙烯基苯基醚>(A-l)聚氧化烯單苯乙烯基苯基醚中的優(yōu)選的氧化烯基為氧化乙烯基、氧化丙烯基，優(yōu)選在同一分子內(nèi)存在氧化乙烯基和氧化丙烯基兩者。特別是當(dāng)末端為氧化丙烯基時，在顯影液的制造工序以及顯影工序中發(fā)泡得到抑制，從而優(yōu)選。優(yōu)選為氧化乙烯基。氧化烯基的優(yōu)選重復(fù)數(shù)按平均值計為915，更優(yōu)選為1013。若在該范圍內(nèi)，則在顯影時能抑制圖案缺陷的產(chǎn)生，且顯影液的粘度不會增高，生產(chǎn)率良好。另外，在該范圍內(nèi)時，顯影所需的時間不會延長，且顯影的寬容度(latitude)不會變窄，因而優(yōu)選0作為苯基的取代基的苯乙烯基的位置，可以是苯基的對位、鄰位、間位中的任一種。<(A-2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚>(A-2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚中的優(yōu)選的氧化烯基為氧化乙烯基、氧化丙烯基，優(yōu)選在同一分子內(nèi)存在氧化乙烯基和氧化丙烯基兩者。特別是當(dāng)末端為氧化丙烯基時，在顯影液的制造工序以及顯影工序中發(fā)泡得到抑制，從而優(yōu)選。優(yōu)選為氧化乙烯基。氧化烯基的優(yōu)選重復(fù)數(shù)按平均值計為915，更優(yōu)選為1013。若在該范圍內(nèi)，則在顯影時能抑制圖案缺陷的產(chǎn)生，且顯影液的粘度不會增加，生產(chǎn)率良好。另外，在該范圍內(nèi)時，顯影所需的時間不會延長，且顯影的寬容度不會變窄，因而優(yōu)選。作為苯基的取代基的苯乙烯基的位置，只要是苯基的對位、鄰位、間位中的任意2個位置即可，可以是對位和鄰位，也可以是間位和間位，還可以是取代位置不同的化合物的混合物。優(yōu)選苯乙烯基的位置為苯基的間位和間位。在(A)非離子性表面活性劑中，在將(A-l)聚氧化烯單苯乙烯基苯基醚的含量設(shè)為[(A-l)]、(A-2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚的含量設(shè)為[(A-2)]吋，[(A-1)〗與兩者的總量[(A-1)+(A-2)]的組成比[(A-1)/[(A-1)十(A-2)]]按質(zhì)量換算為0.20.9的范圍，優(yōu)選為0.30.7的范圍，更優(yōu)選為0.40.6的范圍。若在該范圍內(nèi)，則黑色矩陣上的殘渣除去性良好，從而優(yōu)選。另外，本發(fā)明中表面活性劑的質(zhì)量比用色譜法來求算，[(A-l)/[(A-l)+(八-2)]]和后述的[仏-3)/[(A-l)+(A-2)+(A-3)]]均表示用下述測定方法得到的比值。儀器HPLCTosoh株式會社制型號LC-8020色譜柱DevelosilODSHG-515cm洗脫液乙腈/離子交換水=65/35(體積比)流速0.5ml/分檢測器UV(波長254nm)<(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚>在本發(fā)明的堿顯影液中還優(yōu)選含有(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚作為(A)非離子性表面活性劑。通過含有(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚，更不易發(fā)生圖案的下凹(undercut),圖案形狀良好。(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚中的優(yōu)選的氧化烯基為氧化乙烯基、氧化丙烯基，優(yōu)選在同一分子內(nèi)存在氧化乙烯基和氧化丙烯基兩者。特別是當(dāng)末端為氧化丙烯基時，在顯影液的制造工序以及顯影工序中發(fā)泡得到抑制，從而優(yōu)選。優(yōu)選為氧化乙烯基。氧化烯基的優(yōu)選重復(fù)數(shù)按平均值計為915，更優(yōu)選為1013。若在該范圍內(nèi)，則在顯影時能抑制圖案缺陷的產(chǎn)生，且顯影液的粘度不會則增加，生產(chǎn)率良好。另外，在該范圍內(nèi)時，顯影所需的時間不會延長，且顯影的寬容度不會變窄，因而優(yōu)選。作為苯基的取代基的苯乙烯基的位置，只要是苯基的對位、鄰位、間位中的任意3個位置即可，優(yōu)選在鄰位、鄰位、對位取代。在將(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚的含量設(shè)為[(A-3)]時，(A-l)聚氧化烯單苯乙烯基苯基醚與(A-2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚與(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚的組成比[(A-3)/[(A-l)+(A-2)+(A-3)]]按質(zhì)量換算計，為0.00.35的范圍，優(yōu)選為0.050.35的范圍，更優(yōu)選為0.050.2的范圍。若在該范圍內(nèi)，則無殘渣，且圖案的缺陷消失，因而優(yōu)選。<含有(B-l)氫氧化鉀的(B)堿性組合物>作為含有(B-l)氫氧化鉀的(B)堿性組合物，只要按質(zhì)量計含有80%以上(B-l〉氫氧化鉀即可，優(yōu)選在卯％以上至100%的范圍內(nèi)。若(B-l)氫氧化鉀的含量不足該范圍，則殘渣的除去性不充分，因而不優(yōu)選。作為可在本發(fā)明的含有(B-l)氫氧化鉀的(B)堿性組合物中含有的氫氧化鉀以外的堿性化合物，有氫氧化鈉、碳酸鉀、碳酸氫鉀等。本發(fā)明的堿顯影液優(yōu)選在顯影工序中作為顯影液使用前用水稀釋后使9用。通常，制備作為顯影液使用的濃度的80質(zhì)量倍120質(zhì)量倍的濃度的堿顯影液原液，在顯影工序中在使用前用水稀釋，然后使用。作為稀釋中使用的水，優(yōu)選離子交換水等。顯影中使用的堿顯影液所含有的堿性組合物的含量優(yōu)選相對于稀釋后的液體總量為0.030.08質(zhì)量％的范圍，更優(yōu)選為0.040.07質(zhì)量％的范圍，最優(yōu)選含有0.040.06質(zhì)量％。若在該范圍內(nèi)，則殘渣除去性良好，能得到優(yōu)選的結(jié)果。在制造堿顯影液的原液時，含有(B-l)氫氧化鉀的(B)堿性組合物優(yōu)選事先制成水溶液。這是因為若將含有氫氧化鉀的堿性組合物以固體形態(tài)保管，則在空氣中的二氧化碳等的作用下會變質(zhì)，或因吸收空氣中的水分而潮解，難以進行含量管理。在堿性組合物的水溶液的制造以及顯影液的原液的制造中使用的水優(yōu)選為離子交換水等。在本發(fā)明中，含有(B-l)氫氧化鉀的(B)堿性組合物與(A)非離子性表面活性劑的總和的組成比[(B)/(A)]按質(zhì)量換算計，優(yōu)選為0.151.6的范圍，更優(yōu)選為1/57/8的范圍，最優(yōu)選為1/35.5/9的范圍。在該范圍內(nèi)時，顯影的殘渣減少，還能確保顯影中不產(chǎn)生缺陷的良好的顯影寬容度。<其他成分>本發(fā)明中，為了確保堿顯影液的保存穩(wěn)定性、防止處理時的變質(zhì)、防止殘渣的再附著，還可以添加以下物質(zhì)。可以添加相對于堿顯影液整體為0.10.5質(zhì)量％的范圍的螯合劑(EDTA二鈉鹽、EDTA四鈉鹽、EGTA等)。可以添加相對于堿顯影液整體為0.10.5質(zhì)量％的范圍的聚合物(聚乙烯吡咯烷酮、甲基纖維素、羥丙基甲基纖維素、明膠、瓊脂糖等)?？梢蕴砑酉鄬τ趬A顯影液整體為0.010.1質(zhì)量％的范圍的消泡劑(信越化學(xué)工業(yè)制硅油KS-502、楠本化成制OX-66、OX-715、OX-1930N、1934、丸善藥品化學(xué)制7>于、;/夕7#100等)。作為其他消泡劑，還可以使用市售的非離子類消泡劑、硅類消泡劑。接著，對本發(fā)明的優(yōu)選顯影方法進行說明。關(guān)于著色感光性組合物、涂布、預(yù)烘烤處理、曝光處理的詳細內(nèi)容，見后述。在基板上涂設(shè)著色感光性組合物，將該基板進行預(yù)烘烤處理后，對設(shè)置了著色感光性組合物層的基板，通過照射紫外線等放射線進行圖案狀曝光。在曝光工序后，進行顯影處理并淋洗，由此使著色感光性組合物層形成圖案狀。著色感光性組合物如后所述，被曝光的部分固化，因此曝光部分在顯影工序中不溶于堿顯影液，而未曝光部分溶于堿顯影液或從基板剝離，從而形成圖案。作為曝光后的顯影工序，一般采用用噴淋噴嘴將堿顯影液噴霧在著色感光性組合物層上的方法，此外還可以采用搖動顯影液的供給噴嘴的方法、使用超聲波的方法、浸置(Puddle)型(最初通過噴嘴等用堿顯影液潤濕后，使著色感光性組合物層溶脹一定時間，然后用噴淋噴嘴對堿顯影液進行噴霧，除去溶脹的非像素部分)等方法?；蛘撸梢詫?種以上的方法并用來進行。作為通過噴淋器進行噴霧時的噴淋器的壓力，優(yōu)選為0.05MPa0.5MPa的范圍，更優(yōu)選為0.1MPa0.15MPa的范圍。該壓力通過如下方法來求算在配管與噴嘴的接觸部，用壓力計對供給到噴嘴的堿顯影液進行測定，由此來求算噴淋器的壓力。作為顯影裝置，已提出沿基板的運送方向的相反方向提供顯影液或使基板傾斜來提供堿顯影液等節(jié)省顯影液的方法，在本發(fā)明中可以使用這些方法。逆流提供顯影液的方式被稱為階式方式。在該方式中，先向顯影工序的最靠近出口側(cè)(顯影工序的終端部)的噴淋器提供顯影液，在基板上噴霧，用于顯影處理。在顯影工序的終端部使用過的顯影液被回收后提供到終端部之前的一個噴淋器，用于顯影處理。將其回收得到的顯影液又被提供到一個之前的噴淋器。提供給最靠近入口側(cè)(顯影工序的開始部)的噴淋器的顯影液被排出。在該方式中，一直提供未使用的新鮮的顯影液，一直得到相同的處理性。在實際的制造線中，為了簡化結(jié)構(gòu)，也可以采用變形的階式方式，即向顯影工序的出口側(cè)提供新鮮的顯影液，向入口側(cè)提供使用過的顯影液。采用被稱為階式方式的顯影液使用方法的顯影裝置，與采用循環(huán)顯影方式的顯影裝置相比，顯影液采用稀薄的顯影液。其原因在于，在階式方式中，從新鮮的顯影液箱不斷提供顯影液，使用后的顯影液經(jīng)由顯影液箱被排出，因此排出量顯著變多。如上所述，排出量很多，但一直提供新鮮的顯影液，因此認為即使顯影液自身沒有pH緩沖能力等，也能得到穩(wěn)定的pH。此外，為了得到顯影均一性，通過在顯影工序的入口部事先向著色感光性組合物層賦予水使表面處于易被顯影液潤濕的狀態(tài)(濕水的功能)、或在顯影工序的出口部(即淋洗的入口部)與壓力高的水接觸，想辦法使進行中的顯影瞬時停止。這些工序上的改進具有進一步提高本發(fā)明效果的作用，因而優(yōu)選。<著色感光性組合物>本發(fā)明的顯影液適用于著色感光性組合物的圖案形成中的顯影工序。著色感光性組合物主要由顏料、堿溶性樹脂、光聚合性化合物、光聚合引發(fā)劑以及溶劑構(gòu)成。濾色器通常由黑色的黑色矩陣、紅色像素、綠色像素、藍色像素等著色像素來構(gòu)成。在基板上反復(fù)進行依次涂設(shè)各種顏色、曝光、顯影、水洗、干燥、加熱處理，用光刻法來形成像素，制造濾色器。本發(fā)明的堿顯影液不僅用于紅色像素、綠色像素、藍色像素的形成，還能用于黑色的黑色矩陣的形成。此外，本發(fā)明的堿顯影液還可以用于用以確保陣列基板與濾色器基板之間的間隙為一定的光間隔物的形成、層間絕緣膜的形成、取向性控制用的突起物形成等用光刻法形成的其他結(jié)構(gòu)物的形成。如上所述，本發(fā)明在使用著色感光性組合物的圖案形狀的成形中有用，特別是在著色像素的形成中發(fā)揮效果。其中，特別是即使為了形成在電視機、監(jiān)控器等中使用的顏色再現(xiàn)性必須高的濾色器，而使用固體成分中的顏料成分(以下稱為顏料濃度)高的著色感光性組合物，也能制造在基板上以及著色像素上無殘渣、污垢、雜質(zhì)等的濾色器。若顏料濃度提高，則涂設(shè)的著色感光性組合物的非曝光部不易溶解于堿顯影液，但通過使用本發(fā)明的堿顯影液，能制造在基板上以及著色像素上無殘渣、污垢、雜質(zhì)等的濾色器。以下，對本發(fā)明優(yōu)選的著色感光性組合物的各構(gòu)成材料以及最佳構(gòu)成要素進行說明。(顏料)作為能在本發(fā)明的著色感光性組合物中使用的顏料，可以使用現(xiàn)有公知的各種無機顏料或有機顏料。另外，根據(jù)需要，還可以將染料和顏料并用。關(guān)于顏料，不論是無機顏料還是有機顏料，均優(yōu)選具有高透射率的顏料，考慮到這點，盡可能優(yōu)選使用粒徑小的粒子尺寸微小的顏料，也考慮到操作性時，優(yōu)選平均一次粒徑為0.010.3nm、更優(yōu)選為0.010.15^im的顏料。該粒徑在上述范圍內(nèi)時，不僅顏料的透射率高，顏色特性良好，還能有效地形成對比度高的濾色器。作為上述無機顏料，可以舉出金屬氧化物、金屬絡(luò)鹽等金屬化合物，具體可以舉出鐵、鈷、鋁、鎘、鉛、銅、鈦、鎂、鉻、鋅、銻等的金屬氧化物及上述金屬的復(fù)合氧化物。作為上述有機顏料，例如可以舉出-C丄顏料紅l、2、3、4、5、6、7、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48:1、48:2、48:3、48:4、49、49:1、49:2、52:1、52:2、53:1、57:1、60:1、63:1、66、67、81:1、81:2、81:3、83、88、卯、105、112、119、122、123、144、146、149、150、155、166、168、169、170、171、172、175、176、177、178、179、184、185、187、188、l卯、200、202、206、207、208、209、210、216、220、224、226、242、246、254、255、264、270、272、279，C.I.顏料黃l、2、3、4、5、6、10、11、12、13、14、15、16、17、18、20、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、199、213、214，C丄顏料橙2、5、13、16、17:1、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、71、73，13C丄顏料綠7、10、36、37，C丄顏料藍l、2、15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、66、79、將C丄顏料藍79的C1取代基變?yōu)?H的顏料、C丄顏料藍80，C丄顏料紫l、19、23、27、32、37、42,C丄顏料棕25、28等。上述顏料中，作為能優(yōu)選使用的顏料，可以舉出以下顏料。但本發(fā)明中并不限定于這些顏料。C.I.顏料黃ll、24、108、109、110、138、139、150、151、154、167、180、185,C丄顏料橙36、71，C丄顏料紅122、150、171、175、177、209、224、242、254、255、264，C丄顏料紫19、23、32，C丄顏料藍15:1、15:3、15:6、16、22、60、66，C丄顏料綠7、36、37。在本發(fā)明中，根據(jù)需要，可以使用微細的經(jīng)整?；挠袡C顏料。顏料的微細化是將顏料與水溶性有機溶劑和水溶性無機鹽類一起制成高粘度的液狀組合物，利用磨碎的工序來進行。作為水溶性有機溶劑，可以舉出甲醇、乙醇、異丙醇、正丙醇、異丁醇、正丁醇、乙二醇、二甘醇、二甘醇單甲醚、二甘醇單乙醚、二甘醇單丁醚、丙二醇、丙二醇單甲醚乙酸酯等。但是，只要使用少量使其吸附在顏料上而不流失到廢水中，就可以使用苯、甲苯、二甲苯、乙苯、氯苯、硝基苯、苯胺、吡啶、喹啉、四氫呋喃、二噁烷、乙酸乙酯、乙酸異丙酯、乙酸丁酯、己垸、庚垸、辛烷、壬垸、癸垸、十一垸、十二垸、環(huán)己烷、甲基環(huán)己烷、鹵代烴、丙酮、甲乙酮、甲基異丁基酮、環(huán)己酮、二甲基甲酰胺、二甲基亞砜、N-甲基吡咯烷酮等，還可以根據(jù)需要混合2種以上溶劑進行使用。在本發(fā)明中，作為水溶性無機鹽，可以舉出氯化鈉、氯化鉀、氯化鈣、氯化鋇、硫酸鈉等。水溶性無機鹽的用量為顏料的150倍質(zhì)量，雖然使用量越多越具有磨碎效果，但從生產(chǎn)率的觀點考慮，更優(yōu)選的量為110倍質(zhì)量，而且優(yōu)選水分為1%以下。水溶性有機溶劑的用量相對于顏料為50質(zhì)量％300質(zhì)量％的范圍，優(yōu)選為IOO質(zhì)量％200質(zhì)量％的范圍。對濕式粉碎裝置的運轉(zhuǎn)條件沒有特殊限制，為了有效地利用粉碎介質(zhì)進行磨碎，作為裝置為捏合機(kneader)時的運轉(zhuǎn)條件，裝置內(nèi)的葉片轉(zhuǎn)速優(yōu)選為10200rpm，另外，由于雙軸的旋轉(zhuǎn)比相對較大者磨碎效果好，從而優(yōu)選。運轉(zhuǎn)時間與干式粉碎時間合計優(yōu)選為1小時8小時，裝置的內(nèi)溫優(yōu)選為50150'C。此外，作為粉碎介質(zhì)的水溶性無機鹽，優(yōu)選粉碎粒度為550^m，粒徑分布范圍狹窄，并且為球形。這些有機顏料可以單獨使用，或為了提高色純度而組合多種有機顏料進行使用。上述組合的具體例子如以下所示，但不限于此。例如，作為紅色顏料，可以將蒽醌系顏料、茈系顏料、二酮基吡咯并吡咯系顏料單獨使用或使用它們中的至少l種與雙偶氮系黃色顏料、異吲哚啉系黃色顏料、喹酞酮系黃色顏料或芘系紅色顏料、蒽醌系紅色顏料、二酮基吡咯并吡咯系紅色顏料的混合等。例如，作為蒽醌系顏料，可以舉出C丄顏料紅177,作為茈系顏料，可以舉出C丄顏料紅155、C丄顏料紅224，作為二酮基吡咯并吡咯系顏料，可以舉出C丄顏料紅254,從顏色再現(xiàn)性的觀點考慮，優(yōu)選C丄顏料紅254與選自C丄顏料黃139、C丄顏料黃150以及C丄顏料紅177中的1種或2種的混合。此外，關(guān)于紅色顏料與其他顏料的質(zhì)量比(其他顏料/紅色顏料)優(yōu)選為5/10080/100。若為4/100以下時，有時難以抑制400nm500nm的透光率，從而無法提高色純度。此外，若為81/100以上時，有時顯色力會降低。特別是作為上述質(zhì)量比，最佳范圍為10/10065/100。另外，將紅色顏料之間彼此組合時，可以對照色度調(diào)節(jié)質(zhì)量比。此外，作為綠色顏料，可以單獨使用l種鹵代酞菁系顏料或?qū)⒃擕u代酞菁系顏料與雙偶氮系黃色顏料、喹酞酮系黃色顏料、偶氮甲堿系黃色顏料或異吲哚啉系黃色顏料混合使用。例如，作為上述例子，優(yōu)選C丄顏料綠7、C丄顏料綠36、與C丄顏料黃138、C丄顏料黃139、C丄顏料黃150、C丄顏料黃180或C丄顏料黃185的混合。關(guān)于綠色顏料與黃色顏料的質(zhì)量比(黃色顏料/綠色顏料)優(yōu)選為5/100200/100。若上述質(zhì)量比不足5/100，則有時難以抑制400nm450nm的透光率，從而無法提高色純度。此外，若超過200/100，則有時主波長偏向長波長，從NTSC目標色相偏離增大。上述質(zhì)量比特別優(yōu)選為20/100150/100的范圍。作為藍色顏料，可以單獨使用l種酞菁系顏料，或者也可以將酞菁系顏料與二噁嗪系紫色顏料混合使用。作為特別優(yōu)選的例子，可以舉出C.I.顏料藍15:6與C丄顏料紫23的混合。藍色顏料與紫色顏料的質(zhì)量比(紫色顏料/藍色顏料)優(yōu)選為0/100100/100，更優(yōu)選為70/100以下。另外，作為適合黑色矩陣用途的顏料，可以單獨使用炭黑、石墨、鈦黑、氧化鐵、氧化鈦，或?qū)⑺鼈兓旌鲜褂谩Ｆ渲?，?yōu)選炭黑與鈦黑的組合。另外，炭黑與鈦黑的質(zhì)量比(鈦黑/炭黑)優(yōu)選為0/10060/100的范圍。若為61/100以上，則有時分散穩(wěn)定性會降低。在本發(fā)明中，關(guān)于能作為著色劑與顏料并用的染料，沒有特殊限制，可以使用目前作為濾色器用途使用的公知的染料。例如，可以舉出日本特開昭64-卯403號公報、特開昭64-91102號公報、日本特開平1-94301號公報、特開平6-11614號公報、日本特登2592207號、美國專利第4，808，501號說明書、美國專利第5,667，920號說明書、美國專利第5，059,500號說明書、特開平5-333207號公報、特開平6-35183號公報、特開平6-51115號公報、特開平6-194828號公報、特開平8-211599號公報、特開平4-249549號公報、特開平10-123316號公報、特開平ll-302283號公報、特開平7-286107號公報、日本特開2001-4823號公報、特開平8-15522號公報、特開平8-29771號公報、特開平8-146215號公報、特開平ll-343437號公報、特開平8-62416號公報、特開2002-14220號公報、特開2002-14221號公報、特開2002-14222號公報、特開2002-14223號公報、特開平8-302224號公報、特開平8-73758號公報、特開平8-179120號公報、特開平8-151531號公報等中記載的色素等。作為化學(xué)結(jié)構(gòu)，可以使用吡唑偶氮系、苯胺偶氮系、三苯基甲烷系、蒽醌系、蒽吡啶酮系、亞芐基系、氧雜菁系、吡唑并三唑偶氮系、吡啶酮偶氮系、花青系、吩噻嗪系、吡咯并吡唑偶氮甲堿系、咕噸系、酞菁系、苯并吡喃系、靛藍系等染料。作為著色感光性組合物中的顏料的含量，優(yōu)選相對于該組合物的總固體成分(質(zhì)量)為2060質(zhì)量％，更優(yōu)選為3050質(zhì)量％。若顏料的含量在上述范圍內(nèi)，則能得到色濃度充分且具有優(yōu)異的顏色特性的著色感光性組合物。特別是作為顏料，使用有機顏料，且在顏料的微細化工序或分散工序中，將顏料用高分子化合物包覆后也可以使用。通過用高分子化合物將顏料包覆，即使是微細化的顏料，也能抑制2次凝聚體的形成，在1次粒子的狀態(tài)下分散。關(guān)于顏料的微細化，具體而言，經(jīng)過如下工序來實施添加i)顏料和ii)水溶性無機鹽、iii)實質(zhì)上不溶解ii)水溶性無機鹽的少量水溶性有機溶劑以及根據(jù)需要使用的iv)分散劑，用捏合機等進行機械混煉(稱為鹽研磨(saltmilling)工序)的工序；將該混合物投入水中，用高速混料機等攪拌，制成漿狀的工序；以及將該漿料過濾，水洗，根據(jù)需要進行干燥的工序。對上述鹽研磨迸行更具體的說明。首先，在i)有機顏料與ii)水溶性無機鹽的混合物中加入少量iii)水溶性有機溶劑作為潤濕劑，用捏合機等劇烈混合后，將該混合物投入水中，用高速混料機等攪拌，制成漿狀。然后，將該漿料過濾，水洗，根據(jù)需要干燥，得到微細化的顏料。另外，當(dāng)分散在油性清漆中使用時，可以用一般稱為沖洗(flushing)的方法將干燥前的處理顏料(稱為濾餅)一邊除去水分一邊分散于油性的清漆中。此外，當(dāng)分散于水系的清漆中時，處理顏料無需干燥，可以將濾餅直接分散到清漆中。另外，iv)分散劑可以在鹽研磨工序的初期全部添加，也可以分批添加。另外，還可以在分散工序中添加。上述iv)分散劑只要具有對顏料的吸附性基團即可。通過含有該分散劑，能提高顏料的分散性。作為分散劑，例如可以適當(dāng)選擇使用公知的顏料分散劑或表面活性劑。具體而言，例如可以舉出有機硅氧烷聚合物KP341(信越化學(xué)工業(yè)株式會社制)、(甲基)丙烯酸系(共)聚合物POLYFLOWNo.75、No.90、No.95(共榮社化學(xué)工業(yè)株式會社制)、W001(裕商株式會社制)等陽離子系表面活性劑；聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯、山梨糖醇酐脂肪酸酯等非離子系表面活性劑;W004、W005、W017(裕商株式會社制)等陰離子系表面活性劑；EFKA-46、EFKA-47、EFKA-47EA、EFKAPOLYMER100、EFKAPOLYMER400、EFKAPOLYMER401、EFKAPOLYMER450(均為CibaSpecialtyChemicals公司制)等高分子分散齊0;SOLSPERSE3000、5000、9000、12000、13240、13940、17000、24000、26000、28000等各種SOLSPERSE分散劑(日本Lubrizol株式會社制)；AdekaPluronicL31、F38、L42、L44、L61、L64、F68、L72、P95、F77、P84、F87、P94、L101、P103、F108、L121、P-123(旭電化株式會社制)及IONETS-20(三洋化成株式會社制)、Disperbyk101、103、106、108、109、111、112、116、130、140、142、162、163、164、166、167、170、171、174、176、180、182、2000、2001、2050、2150(BYK-Chemie株式會社制)。此外，可以舉出丙烯酸系共聚物等在分子末端或側(cè)鏈上具有極性基團的低聚物或聚合物。添加上述顏料、分散劑、溶劑、根據(jù)需要使用的顏料衍生物、以及堿溶性樹脂，制備顏料分散組合物。作為分散劑在顏料分散組合物中的含量，相對于上述顏料的質(zhì)量優(yōu)選為1100質(zhì)量％，更優(yōu)選為370質(zhì)量％。上述顏料分散組合物中，根據(jù)需要而添加顏料衍生物。使導(dǎo)入了與分散劑具有親和性的部分或?qū)肓藰O性基團的顏料衍生物吸附在顏料表面，將其用作分散劑的吸附點，從而使顏料作為微細的粒子分散在感光性組合物中，可以防止其再凝聚，有效地形成對比度高、透明性優(yōu)異的濾色器。具體而言，顏料衍生物是以有機顏料為母體骨架、在側(cè)鏈上導(dǎo)入了酸性基或堿性基、芳香族基作為取代基的化合物。有機顏料具體可以舉出喹吖啶酮系顏料、酞菁系顏料、偶氮系顏料、喹酞酮系顏料、異吲哚啉系顏料、異吲哚啉酮系顏料、喹啉顏料、二酮基吡咯并吡咯顏料、苯并咪唑酮顏料等。通常，還包括不被稱為色素的萘系、蒽醌系、三嗪系、喹啉系等淡黃色的芳香族多環(huán)化合物。作為色素衍生物，可以使用日本特開平11-49974號公報、特幵平11-189732號公報、特開平10-245501號公報、日本特開2006-265528號公報、特開平8-295810號公報、特開平11-199796號公報、特開2005-234478號公報、特開2003-240938號公報、特開2001-356210號公報等中記載的物質(zhì)。18作為本發(fā)明使用的顏料衍生物在顏料分散組合物中的含量，相對于顏料的質(zhì)量優(yōu)選為130質(zhì)量％，更優(yōu)選為320質(zhì)量％。若該含量在上述范圍內(nèi)，則能將顏料分散組合物的粘度抑制地較低的同時，良好地進行顏料的分散，并能提高分散后的顏料的分散穩(wěn)定性，從而能得到透射率高、具有優(yōu)異的顏色特性的著色膜。將含有上述范圍的顏料衍生物的顏料分散液用于濾色器制作時，可以得到具有良好的顏色特性的高對比度的濾色器。分散時例如采用下述方法將顏料和分散劑事先混合，用均質(zhì)機等事先將其分散，然后采用使用了氧化鋯珠子等的珠粒分散機等進行微分散。(堿溶性樹脂)作為堿溶性樹脂，為線狀有機高分子聚合物，可以從在分子(優(yōu)選以丙烯酸系共聚物、苯乙烯系共聚物為主鏈的分子)中具有至少l個促進堿溶性的基團(例如羧基、磷酸基、磺酸基等)的堿溶性樹脂中適當(dāng)選擇。其中，更優(yōu)選為對有機溶劑為可溶、能通過弱堿水溶液顯影的堿溶性樹脂。關(guān)于堿溶性樹脂的制造，例如可以使用利用例如公知的自由基聚合法的方法。用自由基聚合法制造堿溶性樹脂時的溫度、壓力、自由基引發(fā)劑的種類及其量、溶劑的種類等聚合條件能由本領(lǐng)域技術(shù)人員容易地設(shè)定，也可以實驗性地設(shè)定條件。作為上述線狀有機高分子聚合物，優(yōu)選在側(cè)鏈上具有羧酸的聚合物。例如，可以舉出日本特開昭59-44615號、日本特公昭54-34327號、特公昭58-12577號、特公昭54-25957號、特開昭59-53836號、特開昭59-71048號的各公報中記載的甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸共聚物、衣康酸共聚物、巴豆酸共聚物、馬來酸共聚物、部分酯化馬來酸共聚物等、以及在側(cè)鏈上具有羧酸的酸性纖維素衍生物、在具有羥基的聚合物中加成酸酐而得到的聚合物等。此外，還可以優(yōu)選地舉出在側(cè)鏈上具有(甲基)丙烯?；母叻肿泳酆衔?。上述聚合物中，特別優(yōu)選由(甲基)丙烯酸芐酯/(甲基)丙烯酸共聚物或(甲基)丙烯酸芐酯/(甲基)丙烯酸/其他單體構(gòu)成的多元共聚物。此夕卜，作為有用的聚合物，還可以舉出將甲基丙烯酸2-羥基乙酯共聚而得到的聚合物等。該聚合物可以按任意量混合進行使用。除上述聚合物以外，還可以舉出日本特開平7-140654號公報中記載的-羥基丙酯/聚苯乙烯大分子單體/甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯/聚甲基丙烯酸甲酯大分子單體/甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸2-羥基乙酯凍苯乙烯大分子單體/甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸2-羥基乙酯/聚苯乙烯大分子單體/甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸共聚物等。關(guān)于堿溶性樹脂的具體構(gòu)成單元，特別優(yōu)選(甲基)丙烯酸和能與其共聚的其他單體的共聚物。這里，(甲基)丙烯酸是丙烯酸和甲基丙烯酸的總稱，以下同樣地(甲基)丙烯酸酯是丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的總稱。作為能與上述(甲基)丙烯酸共聚的其他單體，可以舉出(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸芳酯、乙烯基化合物等。這里，垸基及芳基的氫原子可以被取代基取代。作為上述(甲基)丙烯酸烷基酯及(甲基)丙烯酸芳酯的具體例子，可以舉出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸甲苯酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯等。此外，作為上述乙烯基化合物，例如可以舉出苯乙烯、a-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯腈、乙酸乙烯基酯、N-乙烯基吡咯烷酮、甲基丙烯酸四氫糠基酯、聚苯乙烯大分子單體、聚甲基丙烯酸甲酯大分子單體、CH2-CR"R12、CH2=C(R")(COOR13)(這里，R"表示氫原子或碳原子數(shù)為15的烷基，R^表示碳原子數(shù)為610的芳香族烴環(huán)，R"表示碳原子數(shù)為l8的烷基或碳原子數(shù)為612的芳烷基〕等。上述能共聚的其他單體可以單獨使用1種或組合2種以上進行使用。優(yōu)選的能共聚的其他單體為選自CH2-CR"R12、CH2=C(R")(COOR13)、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸芐酯及苯乙烯中的至少l種，特別優(yōu)選為CH2二CR"R12、CH2=C(R11)(COOR13)。作為堿溶性樹脂在著色感光性組合物中的含量，相對于該組合物的總固體成分，優(yōu)選為120質(zhì)量％，更優(yōu)選為218質(zhì)量％，特別優(yōu)選為315質(zhì)量％。(光聚合性化合物)作為光聚合性化合物，優(yōu)選具有至少l個能加聚的烯鍵式不飽和基、沸點在常壓下為10(TC以上的化合物，其中，更優(yōu)選4官能以上的丙烯酸酯化合物。作為上述具有至少l個能加聚的烯鍵式不飽和基、沸點在常壓下為IO(TC以上的化合物，例如可以舉出聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯等單官能的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯；聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基乙烷三(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙垸三(丙烯酰氧基丙基)醚、三(丙烯酰氧基乙基)異氰脲酸酯、在丙三醇或三羥甲基乙垸等多官能醇中加成環(huán)氧乙烷或環(huán)氧丙烷后進行(甲基)丙烯酸酯化而得到的化合物、季戊四醇或二季戊四醇的聚(甲基)丙烯酸酯化而得到的化合物、日本特公昭48-41708號、特公昭50-6034號、日本特開昭51-37193號公報中記載的尿烷丙烯酸酯類、特開昭48-64183號、特公昭49-43191號、特公昭52-30490號公報中記載的聚酯丙烯酸酯類、環(huán)氧樹脂與(甲基)丙烯酸的反應(yīng)產(chǎn)物即環(huán)氧基丙烯酸酯類等多官能的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。此外，還可以使用日本接著協(xié)會志Vo1.20、No.7、300308頁中作為光固化性單體和低聚物介紹的化合物。另夕卜，也可以使用日本特開平10-62986號公報中與作為通式(1)及(2)的該具體例一起記載的在上述多官能醇中加成環(huán)氧乙垸或環(huán)氧丙烷后進行(甲基)丙烯酸酯化而得到的化合物。其中，優(yōu)選二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯及它們的丙烯?；槿肓艘叶?、丙二醇殘基的結(jié)構(gòu)(二季戊四醇與丙烯?；g用乙二醇、丙二醇殘基連結(jié)的結(jié)構(gòu))。還可以使用它們的低聚物型。另夕卜，也優(yōu)選日本特公昭48-41708號、特開昭51-37193號、日本特公平2-32293號、特公平2-16765號中記載的尿烷丙烯酸酯類、或特公昭58-49860號、特公昭56-17654號、特公昭62-39417號、特公昭62-39418號記載的具有環(huán)氧乙垸系骨架的尿垸化合物類。此外，通過使用特開昭63-277653號、特開昭63-260909號、日本特開平1-105238號記載的分子內(nèi)具有氨基結(jié)構(gòu)或硫化物結(jié)構(gòu)的加聚性化合物類，能得到感光速度非常好的光聚合性組合物。作為市售品，可以舉出尿烷低聚物UAS-IO、UAB-140(山陽國策PULP公司制)、UA-7200(新中村化學(xué)公司制)、KAYARADDPHA-40H(日本化藥公司制)、UA-306H、UA-306T、UA-306I、AH-600、T-600、AI-600(共榮社制)等。另外，也優(yōu)選具有酸基的烯鍵式不飽和化合物類，作為市售品，例如可以舉出東亞合成株式會社制造的作為含有羧基的3官能丙烯酸酯的TO-756及作為含有羧基的5官能丙烯酸酯的TO-1382等。光聚合性化合物除可以l種單獨使用以外，還可以組合2種以上進行使用。作為光聚合性化合物在著色感光性組合物中的含量，優(yōu)選相對于該組合物的總固體成分100質(zhì)量份為355質(zhì)量％，更優(yōu)選為1050質(zhì)量％。當(dāng)光聚合性化合物的含量在上述范圍內(nèi)時，能充分進行固化反應(yīng)。(光聚合引發(fā)劑)作為光聚合引發(fā)劑，例如可以舉出日本特開昭60-3626號公報中記載的鹵代甲基噁二唑、日本特公昭59-1281號公報、日本特開昭53-133428號公報等中記載的鹵代甲基-均三嗪等活性鹵化物、美國專利第4318791號、歐州專利申請公開第88050號說明書等各說明書中記載的縮酮、縮醛或苯偶姻烷基醚類等芳香族羰基化合物、美國專利第4199420號說明書中記載的二苯甲酮類等芳香族酮化合物、法國專利發(fā)明第2456741號說明書中記載的(硫)咕噸酮類或吖啶類化合物、日本特開平10-62986號公報中記載的香豆素類或聯(lián)咪唑類化合物、日本特開平8-015521號公報等的锍有機硼絡(luò)合物等等。作為上述光聚合引發(fā)劑，優(yōu)選苯乙酮系、縮酮系、二苯甲酮系、苯偶姻系、苯甲酰系、站噸酮系、活性鹵化物(三嗪系、鹵代甲基噁二唑系、香豆素系)、吖啶類系、聯(lián)咪唑系、肟酯系等。作為上述苯乙酮系光聚合引發(fā)劑，例如可以優(yōu)選舉出2，2-二乙氧基苯乙酮、對二甲基氨基苯乙酮、2-羥基-2-甲基-l-苯基-丙烷-l-酮、對二甲基氨基苯乙酮、4，-異丙基-2-羥基-2-甲基-苯丙酮、1-羥基-環(huán)己基-苯基-酮、2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉基苯基)-丁垸-l-酮、2-甲苯基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉基苯基)-丁烷-l-酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉基丙垸-1-酮等。作為上述縮酮系光聚合引發(fā)劑，例如可以優(yōu)選舉出芐基二甲基縮酮、芐基-P-甲氧基乙基縮醛等。作為上述二苯甲酮系光聚合引發(fā)劑，例如可以優(yōu)選舉出二苯甲酮、4,4'-(雙二甲基氨基)二苯甲酮、4，4，-(雙二乙基氨基)二苯甲酮、4，4，-二氯二苯甲酮等。作為上述苯偶姻系或苯甲酰系光聚合引發(fā)劑，例如可以優(yōu)選舉出苯偶姻異丙基醚、苯偶姻異丁基醚、苯偶姻甲基醚、甲基鄰苯甲酰基苯甲酸酯等。作為上述卩占噸酮系光聚合引發(fā)劑，例如可以優(yōu)選舉出二乙基噻噸酮、二異丙基噻噸酮、單異丙基噻噸酮、氯噻噸酮等。作為上述活性鹵素光聚合引發(fā)劑(三嗪系、噁二唑系、香豆素系)，例如可以優(yōu)選舉出2，4-雙(三氯甲基)-6-對甲氧基苯基-均三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-對甲氧基苯乙烯基-均三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-(l-對二甲基氨基苯基)-1，3-丁二烯基-均三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-聯(lián)苯基-均三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-(對甲基聯(lián)苯基)-均三嗪、對羥基乙氧基苯乙烯基-2,6-二(三氯甲基)-均三嗪、甲氧基苯乙烯基-2，6-二(三氯甲基)-均三嗪、3，4-二甲氧基苯乙烯基-2，6-二(三氯甲基)-均三嗪、4-苯并四氫呋喃-2，6-二(三氯甲基)-均三嗪、4-(鄰溴-對-N，N-(二乙氧基羰基氨基)-苯基)-2,6-二(氯甲基)-均三嗪、4-(對-N，N-(二乙氧基羰基氨基)-苯基)-2,6-二(氯甲基)-均三嗪、2-三氯甲基-5-苯乙烯基-l，3,4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(氰基苯乙烯基)-1,3,4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(萘-l-基)-l，3,4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(4-苯乙烯基)苯乙烯基-l，3,4-噁二唑、3-甲基-5-氨基-((均三嗪-2-基)氨基)-3-苯基香豆素、3-氯-5-二乙基氨基-((均三嗪-2-基)氨基)-3-苯基香豆素、3-丁基-5-二甲基氨基-((均三嗪-2-基)氨基)-3-苯基香豆素等。作為上述吖啶類系光聚合引發(fā)劑，例如可以優(yōu)選舉出9-苯基吖啶、1,7-雙(9-吖啶基)庚烷等。作為上述聯(lián)咪唑系光聚合引發(fā)劑，例如可以優(yōu)選舉出2-(鄰氯苯基)-4，5-二苯基咪唑基二聚體、2-(鄰甲氧基苯基)-4，5-二苯基咪唑基二聚體、2_(2，4-二甲氧基苯基)-4，5-二苯基咪唑基二聚體等。除上述光聚合引發(fā)劑以外，還可以舉出l-苯基-l，2-丙垸二酮-2-(鄰乙氧基羰基)肟、0-苯甲?；?4，-(苯并巰基)苯甲?；?己基-酮肟、2，4，6-三甲基苯基羰基-二苯基膦?；趸?、六氟磷酸-三烷基苯基鱗鹽(hexafluorophosphoro-trialkylphenylphosphoniumsalt)等。本發(fā)明不限于以上的光聚合引發(fā)劑，也可以使用其他公知的光聚合引發(fā)劑。例如，可以舉出美國專利第2,367，660號說明書中記載的連位聚乙酮醇醛糖(vicinalpolyketoaldonyl)化合物、美國專利第2,367，661號及第2，367,670號說明書中記載的a-羰基化合物、美國專利第2,448,828號說明書中記載的偶姻醚、美國專利第2,722，512號說明書中記載的被a-烴取代的芳香族偶姻化合物、美國專利第3,046，127號及第2，951,758號說明書中記載的多核苯醌化合物、美國專利第3，549,367號說明書中記載的三烯丙基咪唑二聚物/對氨基苯基酮的組合、日本特公昭51-48516號公報中記載的苯并噻唑系化合物/三卣代甲基-均三嗪系化合物、J.C.S.PerkinII(1979)1653-1660、J.C.S.PerkinII(1979)156-162、JournalofPhotopolymerScienceandTechnology(1995)202-232、日本特開2000-66385號公報中記載的躬酯化合物等。另外，上述光聚合引發(fā)劑可以并用。關(guān)于光聚合引發(fā)劑在著色感光性組合物中的含量，相對于該組合物的總固體成分優(yōu)選為0.110.0質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.55.0質(zhì)量Q/^。光聚合引發(fā)劑的含量在上述范圍內(nèi)時，能良好地進行聚合反應(yīng)，形成強度良好的膜。-增感色素-本發(fā)明優(yōu)選根據(jù)需要添加增感色素。通過在該增感色素能吸收的波長下的曝光，促進上述聚合引發(fā)劑成分的自由基生成反應(yīng)以及由此引發(fā)的聚合性化合物的聚合反應(yīng)。作為這樣的增感色素，可以舉出公知的分光增感色素或染料、或吸收光并與光聚合引發(fā)劑相互作用的染料或顏料。(分光增感色素或染料)作為本發(fā)明使用的增感色素優(yōu)選的分光增感色素或染料，可以舉出多核芳香族類(例如芘、芘、苯并菲)、咕噸類(例如熒光素、曙紅、赤蘚紅、若丹明B、虎紅)、花青類(例如硫代羰花青(thiacarbocyanine)、氧代羰花青(oxacarbocyanine))、部花青類(例如部花青、羰部花青(carbomerocyanine))、噻嗪類(例如硫堇、亞甲基藍、甲苯胺藍)、吖啶類(例如吖啶橙、氯黃素、吖啶黃素)、酞菁類(例如酞菁、金屬酞菁)、口卜啉類(例如四苯基H卜啉、中心金屬取代卟啉)、葉綠素類(例如葉綠素、葉綠酸、中心金屬取代葉綠素)、金屬絡(luò)合物、蒽醌類(例如蒽醌)、方形酸內(nèi)鑰鹽(squarylimns)類(例如，方形酸內(nèi)鑰鹽)等。更優(yōu)選的分光增感色素或染料的例子如下所示。日本特開昭62-143044號公報中記載的陽離子染料；日本特公昭59-24147號公報中記載的喹喔啉鎗鹽；特開昭64-33104號公報中記載的新亞甲基藍化合物；特開昭64-56767號公報中記載的蒽醌類；日本特開平2-1714號公報中記載的苯并咕噸染料；特開平2-226148號公報和特開平2-226149號公報中記載的吖啶類；特公昭40-28499號公報中記載的吡啶鑰鹽類；特公昭46-42363號公報中記載的花青類；特開平2-63053號中記載的苯并呋喃色素;特開平2-85858號公報、特開平2-216154號公報的共軛酮色素;特開昭57-10605號公報中記載的色素；特公平2-30321號公報記載的偶氮亞肉桂衍生物；特開平1-287105號公報中記載的花青系色素；特開昭62-31844號公報、特開昭62-31848號公報、特開昭62-143043號公報中記載的咕噸系色素；特公昭59-28325號公報中記載的氨基苯乙烯基酮；特開平2-179643號公報中記載的色素；特開平2-244050號公報中記載的部花青色素；特公昭59-28326號公報中記載的部花青色素；特開昭59-89303號公報中記載的部花青色素;特開平8-129257號公報中記載的部花青色素;特開平8-334897號公報中記載的苯并吡喃系色素。(在350450nm具有最大吸收波長的色素)作為增感色素的其他優(yōu)選形態(tài),可以舉出屬于以下化合物組且在350450nm具有最大吸收波長的色素。例如，多核芳香族類(例如芘、茈、苯并菲)、咕噸類(例如熒光素、曙紅、赤蘚紅、若丹明B、虎紅)、花青類(例如硫代羰花青、氧代羰花青)、部花青類(例如部花青、羰部花青)、噻嗪類(例如硫堇、亞甲基藍、甲苯胺藍)、吖啶類(例如吖啶橙、氯黃素、吖啶黃素)、蒽醌類(例如蒽醌)、方形酸內(nèi)錄鹽類(例如方形酸內(nèi)鑰鹽)。25(其他)在本發(fā)明的著色感光性組合物中可以添加多官能環(huán)氧化合物。籍此，多官能環(huán)氧化合物發(fā)生熱交聯(lián)，使交聯(lián)密度提高，耐化學(xué)試劑性提高。作為本發(fā)明中能使用的多官能環(huán)氧化合物，有雙酚A型、甲酚線性酚醛型、聯(lián)苯型、脂環(huán)式環(huán)氧化合物等。例如，作為雙酚A型，餘可以舉出EPOTOHTOYD-115、YD-118T、YD-127、YD-128、YD國134、YD國8125、YD-7011R、ZX-1059、YDF-8170、YDF-170等(以上為東都化成制)、DENACOLEX-llOl、EX-1102、EX-1103等(以上為Nagase化成制)、PLACCELGL-61、GL-62、GlOl、G102(以上為Daicd化學(xué)制)之外，還能舉出與上述雙酚A型類似的雙酚F型、雙酚S型。另外，也可以使用Ebecryl3700、3701、600(以上為DaicelUCB制)等環(huán)氧丙烯酸酯。作為甲酚線性酚醛型，可以舉出EPOTOHTOYDPN-638、YDPN-701、YDPN-702、YDPN-703、YDPN-704等(以上為東都化成制)、DENACOLEM-125等(以上為Nagase化成制)，作為聯(lián)苯型，可以舉出3，5，3，，5，-四甲基-4，4'二縮水甘油基聯(lián)苯等。作為脂環(huán)式環(huán)氧化合物，可以舉出CELOXIDE2021、2081、2083、2085、EPOLEADGT-301、GT國302、GT-401、GT-403、EHPE-3150(以上為Daicel化學(xué)制)、SUNTOHTOST-3000、ST-4000、ST-5080、ST-5100等(以上為東都化成制)等。此夕卜，還可以使用作為胺型環(huán)氧樹脂的EPOTOHTOYH-434、YH-434L、通過在雙酚A型環(huán)氧樹脂的骨架中導(dǎo)入二聚酸而改性而得到的縮水甘油酯等。關(guān)于多官能環(huán)氧化合物在著色感光性組合物中的含量，相對于除去顏料后的總固體成分，優(yōu)選為220質(zhì)量％，更優(yōu)選為310質(zhì)量％。若該含量在上述范圍內(nèi)，則由該著色感光性組合物形成的著色膜(固化膜)的耐溶劑性優(yōu)異。另外，當(dāng)該含量在上述范圍內(nèi)時，能抑制烘烤后的黃色著色對濾色器品質(zhì)的損害，耐NMP(N-甲基吡咯烷酮)性優(yōu)異，因而優(yōu)選。本發(fā)明的顏料分散組合物以及著色感光性組合物一般與上述成分一起，用溶劑來適當(dāng)制備。作為溶劑，可以舉出酯類、例如甲酸戊酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、乙酸異戊酯、乙酸異丁酯等乙酸烷基酯類；丙酸丁酯、丁酸異丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、羥基乙酸甲酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、3-羥基丙酸甲酯、3-羥基丙酸乙酯等3-羥基丙酸垸基酯類；3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-羥基丙酸甲酯、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸甲酯、2-氧代丁酸乙酯等；醚類、例如二甘醇二甲基醚、四氫呋喃、乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、二甘醇單甲基醚、二甘醇單乙基醚、二甘醇單丁基醚、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯等；酮類、例如甲乙酮、環(huán)己酮、2-庚酮、3-庚酮等；芳香族烴類、例如甲苯、二甲苯等。其中，優(yōu)選3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基溶纖劑乙酸酯、乳酸乙酯、二甘醇二甲基醚、乙酸正丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、2-庚酮、環(huán)己酮、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇甲基醚乙酸酯等。溶劑可以單獨使用，還可以2種以上組合使用。在著色感光性組合物中，可以根據(jù)需要含有鏈轉(zhuǎn)移劑、氟系有機化合物、熱聚合引發(fā)劑、熱聚合成分、熱聚合防止劑、著色劑、光聚合引發(fā)劑、其他填充劑、上述堿溶性樹脂以外的高分子化合物、表面活性劑、密合促進劑、抗氧化劑、紫^^線吸收劑、防凝聚劑等各種添加物。作為能在著色感光性組合物中添加的鏈轉(zhuǎn)移劑，例如可以列舉N，N-二甲基氨基苯甲酸乙酯等N，N-二垸基氨基苯甲酸烷基酯、2-巰基苯并噻唑、2-巰基苯并噁唑、2-巰基苯并咪唑等具有雜環(huán)的巰基化合物、以及脂肪族多官能巰基化合物等。鏈轉(zhuǎn)移劑可以單獨使用l種，也可以2種以上并用。通過含有氟系有機化合物，能提高作為涂布液時的液體特性(特別是流動性)，能改善涂布厚度的均一性以及節(jié)液性。即，基板與涂布液之間的表面張力下降，使基板上的潤濕性(wettability)得以改善，基板上的涂布性提高，因此即使用少量的液量形成數(shù)pm左右的厚度的薄膜，也能有效地形成厚度不均小的厚度均一的膜。氟系有機化合物中的含氟率優(yōu)選為340質(zhì)量％，更優(yōu)選為530質(zhì)量％，特別優(yōu)選為725質(zhì)量％。若含氟率在上述范圍內(nèi)，則在涂布厚度均一性以及節(jié)液性方面有效，在組合物中的溶解性也很好。作為氟系表面活性劑，可以優(yōu)選使用在末端、主鏈以及側(cè)鏈的至少任一部位具有氟垸基或氟亞烷基的化合物。作為具體的市售品，例如可以舉出MEGAFACEF142D、MEGAFACEF172、MEGAFACEF173、MEGAFACEF176、MEGAFACEF177、MEGAFACEF183、MEGAFACE780、MEGAFACE781、MEGAFACER30、MEGAFACER08、MEGAFACEF-472SF、MEGAFACEF-780曙F、MEGAFACEBL20、MEGAFACER-61、MEGAFACER誦卯(DIC公司制)、FLUORADFC-135、FLUORADFC-170C、FLUORADFC國430、FLUORADFC-431、NovecFC-4430(住友7U—工厶株式會社制)、rift:力、一KAG7105、7000、950、7600、SURFLONS畫112、SURFL0NS-113、SURFLONS隱131、SURFLONS-141、SURFLONS國145、SURFLONS-382、SURFLONSC-101、SURFLONSC-102、SURFLONSC腸103、SURFLONSC-104、SURFLONSC-105、SURFLONSC-106(旭硝子株式會社制)、EFTOPEF351、EFTOP352、EFTOP801、EFTOP802(JEMCO株式會社制)等。氟系有機化合物特別是在形成薄涂膜時可有效防止涂布不均及厚度不均。此外，在易引起液體斷流的狹縫涂布中也有效。氟系有機化合物的添加量，相對于著色感光性組合物的總質(zhì)量，優(yōu)選為0.0012.0質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.0051.0質(zhì)量％。使著色感光性組合物中含有熱聚合引發(fā)劑也是有效的。作為熱聚合引發(fā)劑，例如可以舉出各種偶氮系化合物、過氧化物系化合物，作為上述偶氮系化合物，能舉出偶氮二基(azobis)系化合物，作為上述過氧化物系化合物，能舉出過氧化酮、過氧化縮酮、氫過氧化物、二垸基過氧化物、二?；^氧化物、過氧化酯、過氧化二碳酸酯等。從改善涂布性的觀點出發(fā)，優(yōu)選在本發(fā)明的著色感光性組合物中添加各種表面活性劑，除上述氟系表面活性劑外，還能使用非離子系、陽離子系、陰離子系的各種表面活性劑。其中，優(yōu)選上述氟系表面活性劑以及非離子系表面活性劑。作為非離子系表面活性劑的例子，例如特別優(yōu)選聚氧乙烯烷基醚類、聚氧乙烯烷基芳基醚類、聚氧乙烯烷基酯類、山梨糖醇酐烷基酯類、單甘油垸基酯類等非離子系表面活性劑。具體而言，可以舉出聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚等聚氧乙烯烷基醚類；聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯聚苯乙烯化醚、聚氧乙烯三芐基苯基醚、聚氧乙烯-丙烯聚苯乙烯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚等聚氧乙烯芳基醚類；聚氧乙烯二月桂酸酯、聚氧乙烯二硬脂酸酯等聚氧乙烯二垸基酯、山梨糖醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇酐脂肪酸酯類、乙二胺聚氧乙烯-聚氧丙烯縮合物等非離子系表面活性劑，能適當(dāng)使用由花王株式會社、日本油脂株式會社、竹本油脂株式會社、株式會社ADEKA、三洋化成株式會社等出售的上述非離子性表面活性劑。除此以外，還可以使用上述分散劑。除上述以外，在著色感光性組合物中還可以添加各種添加物。作為添加物的具體例子，可以舉出2-(3-叔丁基-5-甲基-2-羥基苯基)-5-氯苯并三唑、垸氧基二苯甲酮等紫外線吸收劑、聚丙烯酸鈉等防凝聚劑、玻璃、氧化鋁等填充劑；衣康酸共聚物、巴豆酸共聚物、馬來酸共聚物、部分酯化馬來酸共聚物、酸性纖維素衍生物、具有羥基的聚合物與酸酐加成而得到的產(chǎn)物、醇溶性尼龍、由雙酚A與環(huán)氧氯丙烷形成的苯氧基樹脂等堿溶性樹脂等。另外，為了促進未固化部的堿溶解性、進一步提高感光性組合物的顯影性，可以在感光性組合物中添加有機羧酸、優(yōu)選添加分子量為1000以下的低分子量有機羧酸。具體而言，例如可以舉出甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、戊酸、新戊酸、己酸、二乙基乙酸、庚酸、辛酸等脂肪族單羧酸；草酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、庚二酸、辛二酸、壬二酸、癸二酸、十三烷二酸、甲基丙二酸、乙基丙二酸、二甲基丙二酸、甲基琥珀酸、四甲基琥珀酸、檸康酸等脂肪族二羧酸；丙三羧酸、烏頭酸、樟腦三酸等脂肪族三羧酸；苯甲酸、甲苯甲酸、異丙基苯甲酸、2，3-二甲基苯甲酸、3，5-二甲基苯甲酸等芳香族單羧酸；鄰苯二甲酸、間苯二甲酸、對苯二甲酸、偏苯三酸、均苯三酸、苯偏四甲酸、均苯四甲酸等芳香族多元羧酸；苯基乙酸、氫化阿托酸、氫化肉桂酸、扁桃酸、苯基琥珀酸、阿托酸、肉桂酸、肉桂酸甲酯、肉桂酸芐酯、肉桂叉乙酸、香豆酸、傘形酸等羧酸。此外，在著色感光性組合物中還可以添加熱聚合防止劑，例如可以使用氫醌、對甲氧基苯酚、二叔丁基對甲酚、連苯三酚、叔丁基兒茶酚、苯醌、4,4'-硫代雙(3-甲基-6-叔丁基苯酚)、2，2，-亞甲基雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2-巰基苯并咪唑等。著色感光性組合物的制造方法的一個例子如下所示。將顏料、水溶性有機溶劑和水溶性無機鹽類的混合物用二輥、三輥、珠磨機、滾筒磨機、分散機、捏合機、共捏合機、均質(zhì)機、混合機、單螺桿或雙螺桿擠出機等混煉機一邊施加強剪切力一邊將顏料磨碎，然后將該混合物投入水中，用攪拌機等制成漿狀。接著，將該漿料過濾，水洗，除去水溶性有機溶劑和水溶性無機鹽后，干燥，得到微細化的顏料。在微細化處理前，優(yōu)選添加分散劑、顏料衍生物等表面處理劑。將顏料和分散劑、根據(jù)需要使用的顏料衍生物、溶劑進行珠粒分散。主要是使用立式或臥式的砂磨機(sandgrinder)、銷棒粉碎機(pinmill)、狹縫粉碎機(slitmill)、超聲波分散機等，用0.01lmm的粒徑的玻璃、氧化鋯等制成的珠子進行微分散處理，得到顏料分散組合物。另外，也可以省略將顏料微細化的處理。另外，關(guān)于混煉、分散的詳細內(nèi)容，在T.C.Pattern著"PaintFlowandPigmentDispersion"(1964年JohnWileyandSons公司出版)等中有記載。然后，在如此得到的顏料分散組合物中，添加光聚合性化合物、光聚合引發(fā)劑、以及堿溶性樹脂等，得到本發(fā)明中能使用的著色感光性組合物。將著色感光性組合物直接或間隔其他層在基板上通過旋轉(zhuǎn)涂布、狹縫涂布、流延涂布、輥涂布、棒涂布等涂布方法進行涂布，形成著色感光性組合物的涂布膜，借助規(guī)定的光掩模進行曝光，在曝光后，用上述方法顯影、水洗，從而形成由各色(3色或4色以上)的像素形成的圖案狀被膜，即可作為濾色器。由此，能夠以工序上的困難性少、高品質(zhì)且低成本的方式來制造液晶200910140247.2顯示裝置中使用的濾色器。作為所述基板，例如可以舉出液晶顯示裝置等中使用的無堿玻璃、鈉玻璃、Pyrex(注冊商標)玻璃、石英玻璃及在上述基板上附著有透明導(dǎo)電膜的基板、或固體攝像元件等中使用的光電轉(zhuǎn)化元件基板、例如硅基板等、以及塑料基板。在上述基板上，通常形成隔離各像素的黑色矩陣，或為了促進密合等而設(shè)置透明樹脂層。在塑料基板上，優(yōu)選在其表面具有氣體阻隔層和/或耐溶劑性層。除此之外，在薄膜晶體管(TFT)方式彩色液晶顯示裝置的配置有薄膜晶體管(TFT)的驅(qū)動用基板(以下稱為"TFT方式液晶驅(qū)動用基板")上形成由本發(fā)明的著色感光性組合物構(gòu)成的圖案狀被膜，即可制造濾色器。作為TFT方式液晶驅(qū)動用基板中的基板，例如可以舉出玻璃、硅、聚碳酸酯、聚酯、芳香族聚酰胺、聚酰胺酰亞胺、聚酰亞胺等。對這些基板，可以根據(jù)需要而實施利用硅垸偶聯(lián)劑等進行的化學(xué)試劑處理、等離子體處理、離子鍍、濺射、氣相反應(yīng)法、真空蒸鍍等適當(dāng)?shù)那疤幚怼＠?，可以列舉通過在TFT方式液晶驅(qū)動用基板的表面上或該驅(qū)動基板的表面上形成有氮化硅膜等的鈍化(passivation)膜而得到的基板等。在本發(fā)明中，作為在基板上涂布著色感光性組合物的方法，沒有特殊限制，優(yōu)選狹縫-旋轉(zhuǎn)法、狹縫涂布法等使用狹縫噴嘴的方法(以下稱為狹縫噴嘴涂布法)。在狹縫噴嘴涂布法中，其條件根據(jù)涂布基板的大小而不同，例如當(dāng)利用狹縫涂布法在第五世代玻璃基板(1lOOmmx1250mm)上涂布時，來自狹縫噴嘴的著色感光性組合物的噴出量通常為5002000微升/秒，優(yōu)選為8001500微升/秒，另外，涂布速度通常為50300mm/秒，優(yōu)選為100200mm/秒。作為著色感光性組合物的固體成分，通常為1020%，優(yōu)選為1318%。在基板上形成由著色感光性組合物得到的涂膜時，作為該涂膜的厚度(預(yù)烘烤處理后)，通常為0.35.0拜，優(yōu)選為0.54.0nm，最優(yōu)選為0.83.0,通常，在涂布后實施預(yù)烘烤處理。根據(jù)需要，可以在預(yù)烘烤前實施真空處理。真空干燥的條件為真空度通常為0.11.0torr、優(yōu)選為0.20.510訂左右o預(yù)烘烤處理可以使用加熱板、烘箱等在5014(TC的溫度范圍、優(yōu)選在70110'C左右進行10300秒。還可以并用高頻處理等。高頻處理也可以單獨使用。接著，通過掩模實施曝光處理。此時，作為使用的放射線，特別優(yōu)選g線、h線、i線、j線等紫外線。液晶顯示裝置用的濾色器優(yōu)選通過接近式曝光機、鏡像投影曝光機進行主要使用了h線、i線的曝光，作為曝光量，優(yōu)選5300mJ/cm2，進一步優(yōu)選10150mJ/cm2，更優(yōu)選10100mJ/cm2。當(dāng)曝光量在該范圍內(nèi)時，得到足夠的聚合強度，處理節(jié)拍也很好，因而優(yōu)選。對于實施了曝光的涂布基板，用上述本發(fā)明的堿顯影液進行顯影處理，經(jīng)水洗處理而形成圖案。形成了圖案的著色感光性組合物的圖案是經(jīng)后烘烤處理而完全固化的圖案。關(guān)于后烘烤處理，可以使用加熱板、烘箱等，在20(TC25(TC的溫度范圍內(nèi)、優(yōu)選在21(TC240'C的溫度范圍內(nèi)，進行10分鐘60分鐘。也可以并用高頻處理等。使用經(jīng)后烘烤處理的帶圖案基板，用與第l種顏色的形成方法相同的方法形成第2種顏色的著色感光性組合物的圖案，且第3種顏色也采用同樣的方法，從而得到形成了3種顏色的圖案的基板。如此制造濾色器。以下舉出實施例來更具體地說明本發(fā)明。只要不脫離本發(fā)明的范圍，可以適當(dāng)變更以下實施例所示的材料、試劑、比例、儀器、操作等。因此，本發(fā)明的范圍并不限于以下的具體例子。另外，在以下的實施例中，只要沒有特別說明，"％"和"份"表示"質(zhì)量％"和"質(zhì)量份"，分子量表示重均分子量。"wt%"表示"質(zhì)量％"(實施例l)<1.黑色矩陣用感光性深色組合物的制備>-炭黑分散液(K-l)的制備-按下述處方來制備炭黑分散液(K-l)。*炭黑(德固賽公司制力，一:/，y夕FW2)26.7份*分散劑(楠本化成制f7八n口XDA7500酸值26胺值40)3.3份甲基丙烯酸節(jié)酯/甲基丙烯酸(=72/28[摩爾比])共聚物(分子量30000,丙二醇單甲醚乙酸酯的50質(zhì)量％溶液)IO份丙二醇單甲醚乙酸酯60份將上述各成分在3000rpm的條件下用均質(zhì)機攪拌l小時。將得到的混合溶液在采用0.3mm氧化鋯珠的珠粒分散機(商品名DISPERMAT，GETZMANN公司制)中實施8小時微分散處理，得到炭黑分散液(K-l)。使用得到的炭黑分散液(K-l)，按下述表l的處方來制備感光性深色組合物(CK-1)涂布液。表l中的數(shù)值表示質(zhì)量比。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage33</column></row><table>表l中的各成分的詳細情況如下所述。"樹脂溶液C-2:甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸(=85/15摩爾比)共聚物(MwlOOOO、丙二醇單甲醚乙酸酯中的50wtQ/o溶液).UV固化性樹脂C-3:商品名廿一夕口7—PACA-250、大賽璐化學(xué)工業(yè)株式會社制[側(cè)鏈具有脂環(huán)、COOH基以及丙烯酰基的丙烯酸系共聚物、丙二醇單甲醚乙酸酯中溶液(固體成分50質(zhì)量％)].聚合性化合物C-5:商品名TO-1382、東亞合成株式會社制(以二季戊四醇五丙烯酸酯的末端的OH基的一部分被COOH基取代的具有5官能丙烯酰基的單體為主要成分)'引發(fā)劑C-7:商品名OXE-02、CibaSpecialtyChemicals公司制'表面活性劑C-8:商品名MegafaceR30、DIC公司制'溶劑PGMEA:丙二醇單甲醚乙酸酯'溶劑EEP:丙酸3-乙氧基乙酯<2.黑色矩陣的形成>-感光性深色組合物層的形成工序-使用狹縫涂布機(型號HC6000、平田機工株式會社制)，以120mm/秒的涂布速度將得到的感光性深色組合物CK-1涂布到玻璃基板(康寧公司制S^二7厶0.7mm厚)上。調(diào)節(jié)噴出量使后烘烤后的膜厚為1.2lim，將狹縫與玻璃基板間的距離設(shè)定在150um。-預(yù)烘烤工序、曝光工序-接著，使用加熱板，在12(TC下加熱120秒(預(yù)烘烤處理)。該預(yù)烘烤處理的溫度通常為90'C，但在本實施例中設(shè)定為120'C，是容易產(chǎn)生紅色的著色感光性組合物的殘渣的條件。使用鏡像投影方式曝光機(型號MPA-8000、佳能株式會社制)，在60mJ/cn^下曝光。該曝光量通常為100mJ/cm2，但在本實施例中設(shè)定為60mJ/cm2，是容易產(chǎn)生紅色的著色感光性組合物的殘渣的條件。-顯影工序-然后，使用顯影裝置(日立HighTechnologies公司制)，用本發(fā)明的顯影液(后述的實施例l)的1.0%顯影液(將顯影液原液1質(zhì)量份用純水99質(zhì)量份稀釋得到的液體，24'C)，將噴淋壓設(shè)定在0.20MPa，顯影50秒，用純水洗滌，得到顯影后的黑色矩陣。-烘烤(后烘烤)工序-接著，在240'C的潔凈烘箱中后烘烤處理40分鐘，形成著色像素形成區(qū)域的開口為卯umX200um、黑色矩陣的厚度為1.2um、黑色矩陣的線寬為約22um的格子狀黑色矩陣基板。使用X-Rite361T(V)(SAKATAINXENG株式會社)，測定得到的黑色矩陣的光學(xué)濃度(OD)，結(jié)果為4.2。<紅色像素的制作>-著色感光性組合物層的形成工序-(顏料分散液l的制備)如下所述來制備顏料分散液l。即，按下述表2中記載的組成，使用均質(zhì)機，以轉(zhuǎn)速3000r.p.m.攪拌混合3小時，制備混合液，然后在使用了O.lmm0的氧化鋯珠的珠粒分散機ULTRAAPEXMILL(壽工業(yè)公司制)中進行8小時分散處理。表2顏料分散液l的組成成分種類含量著色劑C丄顏料紅25435份(超過0.08ii111的顏料的比例=0.5質(zhì)量％)分散劑Dispe勿k1617.0份溶劑PGMEA200.0份上述表2中的成分的詳細內(nèi)容如下所述。'C丄顏料紅254:CibaSpecialtyChemicals制CROMOPHTALREDBPDisperbykl61:Bykchemie公司帝!][使用30質(zhì)量。/。溶液。因此固體成分為2.1份]PGMEA:丙二醇甲醚乙酸酯(著色感光性組合物CR-1的制備)在得到的顏料分散液1中進一步添加下述表3所述的成分，攪拌混合，制備作為紅色(R)用著色感光性組合物的涂布液CR-1。表3著色感光性組合物CR-1的組成成分含量顏料分散液l上述上述堿溶性樹脂甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸共聚物摩爾比7/3、重均分子量3000025光聚合性化合物DPHA20光聚合引發(fā)劑LD53三嗪系引發(fā)劑l3助劑二乙基氨基二苯甲酮0.5N-Ph-巰基苯并咪唑0.5多官能環(huán)氧化合物EpiclonN畫695溶劑PGMEA/EPA(8/2)400表面活性劑表面活性劑l1上述表3中的成分的詳細情況如下所述。DPHA:二季戊四醇六丙烯酸酯/乙酸l-甲氧基-2-丙酯(76/24[質(zhì)量比])(日本化藥株式會社制、KAYARADDPHA)LD5:2，2，-雙(2-氯苯基)-4，4，，5，5，-四苯基聯(lián)咪唑(保土谷科學(xué)公司制、B-CIM)*三嗪系引發(fā)劑1:4-[鄰-溴-對-N，N-二(乙氧基羰基)氨基苯基]-2，6-二(三氯甲基)-均三嗪EpiclonN695:DIC公司制、Epiclon695PGMEA/EPA:丙二醇甲醚乙酸酯和丙酸3-乙氧基乙酯(=8/2[質(zhì)量比])的混合溶液"表面活性劑1:DIC公司制、氟系表面活性劑MegafaceF-780-F(著色感光'性組合物層的形成)在上述黑色矩陣基板的黑色矩陣形成面?zhèn)龋坎嫉玫降淖鳛榧t色(R)用著色感光性組合物的涂布液CR-1。具體而言，與感光性深色組合物層的形成情況同樣，調(diào)節(jié)涂布機的狹縫部與黑色矩陣基板間的間距、噴出量使后烘烤后的著色感光性組合物層的層厚為約2.0lim，以120mm/秒的涂布速度涂布。-著色層預(yù)烘烤工序、著色層曝光工序-接著，使用加熱板，在100'C下加熱120秒(預(yù)烘烤處理)，使用接近式曝光機(日立hitec公司制、LE5565A)，以90mJ/cn^進行曝光。此外，設(shè)定掩模圖案和曝光機，使曝光圖案與黑色矩陣的重疊(曝光重疊量)為8.0um。-著色層顯影工序、著色層烘烤(后烘烤)工序-然后，使用顯影裝置(日立HighTechnologies公司制)，用本發(fā)明的顯影液(后述的實施例l)的1.0°/。顯影液(將顯影液原液1質(zhì)量份用純水99質(zhì)量份稀釋得到的液體，24'C)，將噴淋壓設(shè)定在0.2MPa，顯影45秒，用純水洗滌o接著，在22(TC的潔凈烘箱中后烘烤處理30分鐘，形成經(jīng)熱處理的紅色像素。<顯影液的制備>按表4的組成稱取各成分，攪拌混合，得到各顯影液的原液。在顯影實驗中，采用由各顯影液的原液1質(zhì)量份與純水99質(zhì)量份混合得到的稀釋顯影液。表4<table>tableseeoriginaldocumentpage37</column></row><table>表4中使用的化合物如下所示。KOH:Ekay公司(臺灣)制、45廣量c/q的KOH水溶液*表面活性劑八-1-1:聚氧化乙烯單苯乙烯基苯基醚(氧化乙烯重復(fù)數(shù):12).表面活性劑A-l-2:聚氧化乙烯單苯乙烯基苯基醚(氧化乙烯重復(fù)數(shù):9)，表面活性劑A-l-3:聚氧化乙烯單苯乙烯基苯基醚(氧化乙烯重復(fù)數(shù):15).表面活性劑A-2-l:聚氧化乙烯二苯乙烯基苯基醚(氧化乙烯重復(fù)數(shù):12).表面活性劑A-3-l:聚氧化乙烯三苯乙烯基苯基醚(氧化乙烯重復(fù)數(shù):12)37<殘渣的評價>對用著色感光性組合物設(shè)置了圖案的基板整體，選取io個測定點，用光學(xué)顯微鏡觀察黑色矩陣上的殘渣。光學(xué)顯微鏡反射模式設(shè)定在400倍。按以下的評價基準進行評價，結(jié)果如表5所示。評價基準0:未見殘渣。1:視野內(nèi)可見l個殘渣。2:視野內(nèi)可見25個殘渣。3:視野內(nèi)可見610個殘渣。4:視野內(nèi)可見1120個殘渣。5:視野整體內(nèi)可見很多殘渣。作為判定，O為良好。l和2為可允許范圍內(nèi)，35均在允許范圍外，是不被允許的水平。表5<table>tableseeoriginaldocumentpage39</column></row><table>本發(fā)明的顯影液組成的實施例116在黑色矩陣上均沒有殘渣或只有少量殘渣，判定結(jié)果為良好，可知特定表面活性劑的質(zhì)量比[(A-1)/[(A-1)+(八-2)]]為0.20.9的范圍時很有效。相對于此，本發(fā)明的范圍外的比較例15殘渣多，基板整體的殘渣也很多，無法使用。此外，與不含特定表面活性劑(A-3)的實施例13相比，含有特定表面活性劑(A-3)、且KOH量、表面活性劑的整體量以及質(zhì)量比[(A-1)/[(A-1)十(A-2)]]相同的實施例13、9、IO的殘渣很少。(實施例17)按下述組成來制備作為著色感光性組合物的綠色(G)涂布液的CG-1以及藍色(B)涂布液的CB-1。-綠色(G)的著色感光性組合物CG-l的制備-(綠色顏料分散液G1的制備)將顏料分散液l的制備中的顏料(C丄顏料紅254;CibaSpecialtyChemicals制CROMOPHTALREDBP)改為C丄顏料綠36，并將分散處理時間從8小時改為4小時，除此以外均與顏料分散液l的制備相同，得到綠色顏料分散液G1。將著色感光性組合物的涂布液CR-1的制備中的顏料分散液1改為綠色顏料分散液G1，除此以外均與著色感光性組合物的涂布液CR-1的制備相同，得到綠色著色感光性組合物的涂布液CG-1。-藍色(B)的著色感光性組合物CB-l的制備-(藍色顏料分散液B1的制備)將顏料分散液l的制備中的顏料(C丄顏料紅254;CibaSpecialtyChemicals制CROMOPHTALREDBP)改為C丄顏料藍15:6，將分散處理時間從8小時改為3小時，除此以外均與顏料分散液l的制備相同，得到藍色顏料分散液B1。將著色感光性組合物的涂布液CR-1的制備中的顏料分散液1改為藍色顏料分散液B1，除此以外均與著色感光性組合物的涂布液CR-1的制備相同，得到藍色著色感光性組合物的涂布液CB-1。在實施例l中得到的具有黑色矩陣和紅色像素的基板上，用與得到紅色像素的方法相同的方法，使用綠色著色感光性組合物的涂布液CG-1，使綠色像素成形。然后，使用同一基板，使用藍色著色感光性組合物CB-1，用與得到紅色像素的方法相同的方法，使藍色像素成形，在220'C下實施60分鐘后烘烤。在該具有黑色矩陣、紅色像素、綠色像素以及藍色像素的基板的像素形成面上，濺射形成ITO(透明電極層)，得到濾色器。權(quán)利要求1、一種著色感光性組合物用堿顯影液，其含有(A)非離子性表面活性劑和(B)堿性組合物，所述(A)非離子性表面活性劑按質(zhì)量比[(A-1)/[(A-1)+(A-2)]]為0.2～0.9的范圍含有(A-1)聚氧化烯單苯乙烯基苯基醚和(A-2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚，所述(B)堿性組合物含有(B-1)氫氧化鉀。2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的著色感光性組合物用堿顯影液，其中，所述(A)非離子性表面活性劑還含有(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚，該(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚的質(zhì)量比[(A-3)/[(A-l)+(A-2)+(A-3)]]為0.05~0.35的范圍。3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的著色感光性組合物用堿顯影液，其中，所述(A-l)聚氧化烯單苯乙烯基苯基醚中的聚氧化烯基是氧化乙烯的重復(fù)數(shù)為915的范圍的基團。4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的著色感光性組合物用堿顯影液，其中，所述(A-2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚中的聚氧化烯基是氧化乙烯的重復(fù)數(shù)為915的范圍的基團。5、根據(jù)權(quán)利要求2所述的著色感光性組合物用堿顯影液，其中，所述(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚中的聚氧化烯基是氧化乙烯的重復(fù)數(shù)為915的范圍的基團。6、根據(jù)權(quán)利要求1所述的著色感光性組合物用堿顯影液，其中，含有(B-l)氫氧化鉀的(B)堿性組合物與(A)非離子性表面活性劑的總和的質(zhì)量比[(B)/(A)]為0.151.6的范圍。7、一種圖像形成方法，其用放射線使形成于基板上的著色感光性組合物層曝光成圖案狀而固化后，用權(quán)利要求中任意一項所述的著色感光性組合物用堿顯影液進行顯影。8、根據(jù)權(quán)利要求7所述的圖像形成方法，其中，所述著色感光性組合物用堿顯影液含有相對于堿顯影液整體為0.030.08質(zhì)量％的含(B-O氫氧化鉀的(B)堿性組合物。9、一種濾色器，其在基板上具備由權(quán)利要求7所述的圖像形成方法形成的著色圖案。10、一種液晶顯示裝置，其采用了權(quán)利要求9所述的濾色器。全文摘要本發(fā)明涉及著色感光性組合物用堿顯影液、使用了該堿顯影液的圖像形成方法、用該方法制造的濾色器、以及液晶顯示裝置。該著色感光性組合物用堿顯影液含有(A)非離子性表面活性劑和(B)堿性組合物，所述(A)非離子性表面活性劑按質(zhì)量比[(A-1)/[(A-1)+(A-2)]]為0.2～0.9的范圍含有(A-1)聚氧化烯單苯乙烯基苯基醚和(A-2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚，所述(B)堿性組合物含有(B-1)氫氧化鉀。文檔編號G03F7/32GK101639634SQ20091014024公開日2010年2月3日申請日期2009年7月9日優(yōu)先權(quán)日2008年7月30日發(fā)明者田中光利,長田崇一郎申請人:富士膠片株式會社