專利名稱：轉(zhuǎn)接器及裝設(shè)掩模的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種轉(zhuǎn)接器，特別是涉及一種用于對準光刻系統(tǒng)的轉(zhuǎn)接器。本發(fā)明還
涉及一種裝設(shè)掩模的方法。
背景技術(shù)：
微光刻技術(shù)(Microlithogr即hy)通常是指將較小的特征圖案轉(zhuǎn)移至例如硅晶片 的標的物的技術(shù)。微光刻技術(shù)包括一種微影技術(shù)(lithography)，其使用于半導(dǎo)體制造技 術(shù)，用以定義集成電路的結(jié)構(gòu)層。在微影制造工藝中，玻璃掩模的影像投影至涂布有光致抗 蝕劑的感光的光致抗蝕劑層上。 應(yīng)用于較大尺寸的晶片(例如12英寸晶片)的光刻機(aligner)有時需要對較 小的晶片(例如8英寸晶片)進行光刻，而光刻機對應(yīng)于較大尺寸的晶片而使用較大尺寸 的掩模。較大尺寸的掩模成本較高，因此需要使用轉(zhuǎn)接器(adaptor)，使應(yīng)用較大尺寸的晶 片和掩模的光刻機可使用對應(yīng)于較小尺寸的晶片的較小尺寸的掩模。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)上述問題，本發(fā)明提供一種轉(zhuǎn)接器，該轉(zhuǎn)接器包括以下單元一框架，其包括 一具有第一側(cè)、第二側(cè)、第三側(cè)和第四側(cè)的內(nèi)部邊緣，其中第一側(cè)和第四側(cè)相對，第二側(cè)和 第三側(cè)相對；至少兩個固定支撐單元，連接至框架的內(nèi)部邊緣的第一側(cè)；多個第一彈性夾 鉗單元，連接至框架的內(nèi)部邊緣的第二側(cè)和第三側(cè)；至少兩個第二彈性夾鉗單元，連接至框 架的內(nèi)部邊緣的第四側(cè)。
本發(fā)明還提供一種裝設(shè)掩模的方法，該方法包括以下步驟提供一微影裝置；提
供一轉(zhuǎn)接器，該轉(zhuǎn)接器包括一框架、至少兩個固定支撐單元、多個第一彈性夾鉗單元以及至
少兩個第二彈性夾鉗單元，其中該框架包括具有第一側(cè)、第二側(cè)、第三側(cè)和第四側(cè)的內(nèi)部邊
緣，該內(nèi)部邊緣的第一側(cè)和第四側(cè)相對，而該內(nèi)部邊緣的第二側(cè)和第三側(cè)相對，所述至少兩
個固定支撐單元連接至框架的內(nèi)部邊緣的第一側(cè)，所述多個第一彈性夾鉗單元連接至框架
的內(nèi)部邊緣的第二側(cè)和第三側(cè)，所述至少兩個第二彈性夾鉗單元連接至框架的內(nèi)部邊緣的
第四側(cè)；接著，將一掩模裝設(shè)入轉(zhuǎn)接器的一中空區(qū)域，并且使該掩模被固定支撐單元、第一
彈性夾鉗單元和第二彈性夾鉗單元固定；將與該掩模結(jié)合的轉(zhuǎn)接器置入該微影裝置。 為了讓本發(fā)明的上述目的、特征及優(yōu)點能更為明顯易懂，以下配合附圖，作詳細說
明如下。


圖1顯示一轉(zhuǎn)接器的平面圖。 圖2顯示掩模置入(loading)后轉(zhuǎn)接器的平面圖。
圖3顯示本發(fā)明一實施例轉(zhuǎn)接器的平面圖。
其中，附圖標記說明如下
3
102 -轉(zhuǎn)接器；104 106 -第一彈性夾鉗單元；108 -第二彈性夾鉗單元;110 -固定的支撐單元；112 -第一側(cè)；114 -第二側(cè)；115 116 -第三側(cè)；118 -第四側(cè)；122 -對準記號；302 -轉(zhuǎn)接器；304 -框架；306 -固定的支撐單元；308a 第一彈性夾鉗單元；308b 第一彈性夾鉗單元310 -第二彈性夾鉗單元；312 -第一側(cè)；314 -第二側(cè)；315 316 -第三側(cè)；318 -第四側(cè)；320 -中空區(qū)域。
具體實施例方式
以下描述本發(fā)明的實施范例，其揭示本發(fā)明的主要技術(shù)特征，但并非用以限定本 發(fā)明。 圖1顯示一轉(zhuǎn)接器102的平面圖，請參照圖l，一框架104的內(nèi)部邊緣包括一第一 側(cè)112、一第二側(cè)114、一第三側(cè)116和一第四側(cè)118。 一固定的支撐單元110連接至框架 104的內(nèi)部邊緣的第一側(cè)112，一第一彈性夾鉗單元106連接至框架104的內(nèi)部邊緣的第二 側(cè)114和第三側(cè)116，一第二彈性夾鉗單元108連接至框架104的內(nèi)部邊緣的第四側(cè)118。 圖2顯示掩模115置入轉(zhuǎn)接器102后的平面圖。請參照圖2，當掩模115置入后，其被固定 的支撐單元IIO支撐，且第一彈性夾鉗單元106和第二彈性夾鉗單元108對其施加壓力，從 而固定住掩模115。然而，如圖所示，此轉(zhuǎn)接器102無法將掩模115固定的很好，理由是此轉(zhuǎn) 接器102的設(shè)計很難使所有的第一彈性夾鉗單元106和第二彈性夾鉗單元108以相同的力 量夾住掩模115。因此，掩模115會產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)，當此問題發(fā)生時，對準光刻系統(tǒng)的電荷耦合元 件120(chargecouple device, CCD)無法搜尋到掩模115上的對準記號122，因此，掩模的 位置設(shè)定不夠精準，在進行晶片的制造時常發(fā)生對準錯誤。 圖3顯示本發(fā)明一實施例轉(zhuǎn)接器的平面圖。請注意，此轉(zhuǎn)接器并不是微影裝置的 一個單元，而是與對應(yīng)于較小尺寸的晶片的較小尺寸的掩模結(jié)合，如此，應(yīng)用較大尺寸的晶 片和掩模的光刻機可使用對應(yīng)于較小尺寸的晶片的較小尺寸的掩模。換言之，在掩模置入 工藝過程之前，轉(zhuǎn)接器和光刻機是分離的。 請參照圖3，轉(zhuǎn)接器302包括一框架304，框架優(yōu)選為以金屬(例如鋁)制成，且框 架304的內(nèi)部邊緣包括一第一側(cè)312、一第二側(cè)314、一第三側(cè)316和一第四側(cè)318。兩個固 定的支撐單元306連接至框架304的內(nèi)部邊緣的第一側(cè)312，兩個第一彈性夾鉗單元308a 連接至框架304的內(nèi)部邊緣的第二側(cè)314，兩個第一彈性夾鉗單元308b連接至框架304的 內(nèi)部邊緣的第三側(cè)316，兩個第二彈性夾鉗單元310連接至框架304的內(nèi)部邊緣的第四側(cè) 318。 根據(jù)上述轉(zhuǎn)接器，使得一適合使用較大尺寸的掩模和晶片的微影裝置能夠進行一 掩模置入工藝過程。由于微影裝置設(shè)計為應(yīng)用于較大尺寸的掩模和晶片，機器手臂(robotarm)無法抓取較小尺寸的掩模，因此較小尺寸的掩模無法被置入微影裝置而進行光刻工藝 過程。在本實施例中，較小尺寸的掩模315置入轉(zhuǎn)接器302的框架304的中空區(qū)域320，且 被固定支撐單元306、第一彈性夾鉗單元308a、308b和第二彈性夾鉗單元310固定住。以下 更詳細地說明此部分的細節(jié)。兩個固定支撐單元306僅支撐掩模315的側(cè)壁。第一彈性夾 鉗單元308a、308b和第二彈性夾鉗單元310的中每個單元均具有彈性，且包括例如彈簧的 彈性單元。當掩模315置入轉(zhuǎn)接器302中，第二彈性夾鉗單元310推壓掩模315，第一彈性 夾鉗單元308a、308b則夾住掩模315的部分底部表面和側(cè)壁，且掩模315被固定支撐單元 306支撐。相對于圖1所示的轉(zhuǎn)接器102，由于本實施例的轉(zhuǎn)接器在框架304的內(nèi)部邊緣的 第一側(cè)312和第四側(cè)318分別具有兩個支撐點，在進行掩模315置入工藝過程和轉(zhuǎn)接器傳 送工藝過程中，不容易產(chǎn)生掩模315旋轉(zhuǎn)的問題。因此，可減少因為掩模旋轉(zhuǎn)而致使電荷耦 合元件(CCD)無法搜尋到掩模上的對準記號所產(chǎn)生對準錯誤的問題，并因此可增加微影裝 置的產(chǎn)出量。 雖然本發(fā)明已通過優(yōu)選實施例披露如上，然而其并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉 此項技術(shù)的人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍之內(nèi)應(yīng)能夠做出某些更改與修飾，因此本發(fā) 明的保護范圍應(yīng)以如附的權(quán)利要求書所界定的范圍為準。
權(quán)利要求
一種轉(zhuǎn)接器，包括一框架，其包括一具有第一側(cè)、第二側(cè)、第三側(cè)和第四側(cè)的內(nèi)部邊緣，其中該第一側(cè)和該第四側(cè)相對，該第二側(cè)和該第三側(cè)相對；至少兩個固定支撐單元，連接至該框架的內(nèi)部邊緣的第一側(cè)；多個第一彈性夾鉗單元，連接至該框架的內(nèi)部邊緣的第二側(cè)和第三側(cè)；及至少兩個第二彈性夾鉗單元，連接至該框架的內(nèi)部邊緣的第四側(cè)。
2. 如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)接器，其中該轉(zhuǎn)接器用以使一適合使用較大尺寸的掩模的微 影裝置能夠使用較小尺寸的掩模。
3. 如權(quán)利要求2所述的轉(zhuǎn)接器，其中該較小尺寸的掩模被置入該轉(zhuǎn)接器的一中空區(qū)域 中，且被所述固定支撐單元、所述第一彈性夾鉗單元和所述第二彈性夾鉗單元固定。
4. 如權(quán)利要求3所述的轉(zhuǎn)接器，其中所述固定支撐單元支撐該掩模的側(cè)壁，所述第二 彈性夾鉗單元支撐該掩模的側(cè)壁，且所述第二彈性夾鉗單元夾住該掩模的部分底部表面和 側(cè)壁。
5. 如權(quán)利要求2所述的轉(zhuǎn)接器，其中該微影裝置是一光刻機。
6. —種裝設(shè)掩模的方法，該方法包括以下步驟 提供一微影裝置； 提供一轉(zhuǎn)接器，包括一框架，包括一具有第一側(cè)、第二側(cè)、第三側(cè)和第四側(cè)的內(nèi)部邊緣，其中該第一側(cè)和該第四側(cè)相對，該第二側(cè)和該第三側(cè)相對；至少兩個固定支撐單元，連接至該框架的內(nèi)部邊緣的第一側(cè)； 多個第一彈性夾鉗單元，連接至該框架的內(nèi)部邊緣的第二側(cè)和第三側(cè)；及 至少兩個第二彈性夾鉗單元，連接至該框架的內(nèi)部邊緣的第四側(cè)； 將一掩模裝設(shè)入該轉(zhuǎn)接器的一中空區(qū)域，并且使該掩模被所述固定支撐單元、第一彈性夾鉗單元和第二彈性夾鉗單元固定；及將與該掩模結(jié)合的轉(zhuǎn)接器置入該微影裝置。
7. 如權(quán)利要求6述的裝設(shè)掩模的方法，其中在將該掩模裝設(shè)入該轉(zhuǎn)接器的中空區(qū)域 時，所述固定支撐單元和所述第二彈性夾鉗單元支撐該框架的內(nèi)部側(cè)壁，所述第一彈性夾 鉗單元則夾住該掩模的部分底部表面和側(cè)壁，以使該掩模不會旋轉(zhuǎn)。
8. 如權(quán)利要求6所述的裝設(shè)掩模的方法，其中該微影裝置適合使用較大尺寸的掩模， 借助該轉(zhuǎn)接器而能夠使用較小尺寸的掩模。
9. 如權(quán)利要求6所述的裝設(shè)掩模的方法，其中該微影裝置是一光刻機。
10. 如權(quán)利要求8所述的裝設(shè)掩模的方法，其中該微影裝置的一機器手臂無法抓起該 較小尺寸的掩模，但能夠抓取與該掩模結(jié)合的轉(zhuǎn)接器。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種轉(zhuǎn)接器和一種裝設(shè)掩模的方法，該轉(zhuǎn)接器包括以下單元一框架，其包括一具有第一側(cè)、第二側(cè)、第三側(cè)和第四側(cè)的內(nèi)部邊緣，其中第一側(cè)和第四側(cè)相對，第二側(cè)和第三側(cè)相對；至少兩個固定支撐單元，連接至框架的內(nèi)部邊緣的第一側(cè)；多個第一彈性夾鉗單元，連接至框架的內(nèi)部邊緣的第二側(cè)和第三側(cè)；至少兩個第二彈性夾鉗單元，連接至框架的內(nèi)部邊緣的第四側(cè)。
文檔編號G03F7/20GK101713927SQ20091012967
公開日2010年5月26日 申請日期2009年3月26日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月2日
發(fā)明者宋易瑾, 范直琛, 陳立偉 申請人:采鈺科技股份有限公司