專利名稱：：振動(dòng)執(zhí)行元件、透鏡鏡筒、相機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及振動(dòng)執(zhí)行元件、具備該振動(dòng)執(zhí)行元件的透鏡鏡筒以及相機(jī)。
背景技術(shù)：
：以往，公知有一種通過(guò)電氣機(jī)械變換元件的伸縮以使彈性體的驅(qū)動(dòng)面產(chǎn)生行進(jìn)性振動(dòng)波(以下稱作行波)，通過(guò)該行波以使驅(qū)動(dòng)面產(chǎn)生橢圓運(yùn)動(dòng)，對(duì)與橢圓運(yùn)動(dòng)的波頭加壓接觸的相對(duì)移動(dòng)部件進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的振動(dòng)執(zhí)行元件(例如，參照專利文獻(xiàn)l)。專利文獻(xiàn)l:日本特公平1-17354號(hào)公報(bào)近年來(lái)，人們不斷要求這種振動(dòng)執(zhí)行元件的小型化。但是，隨著振動(dòng)執(zhí)行元件的小型化，如果電氣機(jī)械變換元件與彈性體的接合面的面積減小，則在將電氣機(jī)械變換元件的厚度或介電常數(shù)等其他條件設(shè)定為一定的情況下，電氣機(jī)械變換元件的靜電電容將減少。如果電氣機(jī)械變換元件的靜電電容降低，則與之相伴振動(dòng)執(zhí)行元件的啟動(dòng)扭矩等驅(qū)動(dòng)性能也會(huì)降低。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的課題在于提供即使在小型化的情況下驅(qū)動(dòng)性能也良好的振動(dòng)執(zhí)行元件、具備該驅(qū)動(dòng)執(zhí)行元件的透鏡鏡筒及相機(jī)。本發(fā)明的第一方案提供一種振動(dòng)執(zhí)行元件，其具備具有第一接合面，被激勵(lì)的電氣機(jī)械變換元件；彈性體，其具有與所述第一接合面接合的第二接合面及基于所述激勵(lì)而產(chǎn)生振動(dòng)波的驅(qū)動(dòng)面；相對(duì)移動(dòng)部件，其具有與所述驅(qū)動(dòng)面加壓接觸的接觸面，被所述振動(dòng)波驅(qū)動(dòng)而相對(duì)所述彈性體進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，上述第一接合面的外形是與上述接觸面的外形不同的形狀。上述接觸面為圓形，上述第一接合面的在與上述相對(duì)移動(dòng)部件的行進(jìn)方向正交的方向的寬度，因上述相對(duì)移動(dòng)部件的行進(jìn)方向的位置而不同。上述接觸面為圓形，上述第一接合面的上述接觸面的徑向的寬度不均一。上述接觸面的外形比上述第二接合面的外形小。上述驅(qū)動(dòng)面的外形比上述第二接合面的外形小。上述第一接合面的外形及上述第二接合面的外形為橢圓形狀。上述第二接合面的短徑近似等于上述驅(qū)動(dòng)面的在與上述短徑平行的方向的尺寸。上述第二接合面是與上述第一接合面近似一致的形狀。上述驅(qū)動(dòng)面與上述接觸面是相似形狀。上述接觸面的外形為正圓形狀。本發(fā)明的第二方案提供一種電氣機(jī)械變換元件，具備外形為正圃以外的形狀并與彈性體接合的接合面；在上述接合面的中心部分形成的圓形形狀的貫通孔。本發(fā)明的第三方案提供一種彈性體，具備外形為正圓以外的形狀并與電氣機(jī)械變換元件接合的接合面；基于上述電氣機(jī)械變換元件的激勵(lì)而產(chǎn)生振動(dòng)波的驅(qū)動(dòng)面。上述驅(qū)動(dòng)面的外形可為正圓形狀。上述接合面的外形可為橢圓形狀。上述驅(qū)動(dòng)面的外形小于上述接合面的外形。本發(fā)明的第四方案提供一種具備第一方案的振動(dòng)執(zhí)行元件的透鏡鏡筒。上述透鏡鏡筒具備被上述振動(dòng)執(zhí)行元件驅(qū)動(dòng)的透鏡組、保持該透鏡組的透鏡保持框、包圍該透鏡保持框的框體，上述振動(dòng)執(zhí)行元件被配置在上述透鏡保持框與上述框體之間。本發(fā)明的第五方案提供一種具備上述振動(dòng)執(zhí)行元件的相機(jī)。根據(jù)本發(fā)明，可提供即使在小型化的情況下驅(qū)動(dòng)性能也良好的振動(dòng)執(zhí)行元件、具備該振動(dòng)執(zhí)行元件的透鏡鏡筒及相機(jī)。圖l是說(shuō)明第一實(shí)施方式的相機(jī)的圖。圖2是從被攝體側(cè)觀察圖1的相機(jī)的透鏡鏡筒內(nèi)部的圖。圖3是第一實(shí)施方式的超聲波馬達(dá)的剖面圖。圖4是表示第一實(shí)施方式的振動(dòng)件的圖。圖5是表示第二實(shí)施方式的振動(dòng)件的圖。具體實(shí)施例方式下面，將參照附圖等對(duì)本實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。其中，以下的實(shí)施方式將超聲波馬達(dá)作為振動(dòng)執(zhí)行元件進(jìn)行舉例說(shuō)明。第一實(shí)施方式圖l是說(shuō)明第一實(shí)施方式的相機(jī)l的圖。圖2是從被攝體側(cè)觀察相機(jī)l的透鏡鏡筒3內(nèi)部的圖。第一實(shí)施方式的相機(jī)l具備具有攝像元件的相機(jī)主體2、具有透鏡7的透鏡鏡筒3。透鏡鏡筒3是能夠拆裝到相機(jī)主體2的更換鏡頭。另外，雖然本實(shí)施方式中例示了透鏡鏡筒3為更換鏡頭的例子，但不限定于此，例如也可采用與相機(jī)主體一體型的透鏡鏡筒。透鏡鏡筒3具備透鏡7、凸輪筒6、齒輪4、5、超聲波馬達(dá)10及包圍這些部件的框體9等。在本實(shí)施方式中，如圖2所示，超聲波馬達(dá)IO被配置在凸輪筒6與框體9之間的間隙中。超聲波馬達(dá)10在相機(jī)1的聚焦動(dòng)作時(shí)作為驅(qū)動(dòng)透鏡7的驅(qū)動(dòng)源而使用，從超聲波馬達(dá)10得到的驅(qū)動(dòng)力經(jīng)由齒輪4、5被傳遞給凸輪筒6。透鏡7被凸輪筒6保持，是基于超聲波馬達(dá)10的驅(qū)動(dòng)力近似平行地沿光軸方向(圖1中所示的箭頭L方向)移動(dòng)，進(jìn)行焦點(diǎn)調(diào)節(jié)的聚焦透鏡。在圖1中，通過(guò)設(shè)置在透鏡鏡筒3內(nèi)的未圖示的透鏡組(包含透鏡7)使被攝體像形成在攝像元件8的被攝面。利用攝像元件8將成像后的被攝體像變換為電信號(hào)，并通過(guò)對(duì)該信號(hào)進(jìn)行A/D變換，得到了圖像數(shù)據(jù)。圖3是第一實(shí)施方式的超聲波馬達(dá)10的剖面圖。第一實(shí)施方式的超聲波馬達(dá)10具備振動(dòng)件ll、移動(dòng)件15、輸出軸18、加壓部件19等，形成將振動(dòng)件ll側(cè)固定，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)移動(dòng)件15的形態(tài)。振動(dòng)件11是具有彈性體12和與彈性體12接合的壓電體13的中空形狀的部件。如后述的圖4(a)所示，本實(shí)施方式的振動(dòng)件11從移動(dòng)件15側(cè)觀察的外形近似為橢圓形狀，在其中央部形成有近似圓形形狀的貫通孔llc。彈性體12是由共振尖銳度大的金屬材料形成的部件。對(duì)于彈性體12而言，從移動(dòng)件15側(cè)觀察的外形為近似橢圓形狀的中空形狀(參照?qǐng)D4(a))，該彈性體12具有梳齒部12a、基底部12b、凸緣部12c等。梳齒部12a通過(guò)在與接合壓電體13的面(彈性體側(cè)接合面12e)相反側(cè)的面切割多個(gè)槽而形成，該梳齒部12a的前端面與移動(dòng)件15加壓接觸，成為驅(qū)動(dòng)移動(dòng)件15的驅(qū)動(dòng)面12d。對(duì)該驅(qū)動(dòng)面實(shí)施了Ni-P(鎳-磷)鍍覆等潤(rùn)滑性的表面處理。設(shè)置梳齒部12a的原因在于，使基于壓電體13的伸縮而在驅(qū)動(dòng)面12d中產(chǎn)生的行波的中立面盡可能接近壓電體13側(cè)，由此來(lái)放大驅(qū)動(dòng)面12d的行波的振幅?；撞?2b是與彈性體12的周方向連續(xù)的部分，壓電體13接合在基底部12b與梳齒部12a相反側(cè)的彈性體側(cè)接合面12e。凸緣部12c是向彈性體12的內(nèi)徑方向突出的锝狀部分，并且被配置在基底部12b的厚度方向的中央。通過(guò)該凸緣部12c將振動(dòng)件11固定于固定部件16。這里，與彈性體側(cè)接合面12e及驅(qū)動(dòng)面12d、后述的壓電體側(cè)接合面13a的形狀等相關(guān)的詳細(xì)內(nèi)容，將在后面敘述。壓電體13是將電能變換為機(jī)械能的電氣機(jī)械變換元件。在本實(shí)施方式中使用了壓電元件作為壓電體13，但也可以使用電致伸縮元件等。壓電體13為近似平板形狀，具有與彈性體12接合的壓電體側(cè)接合面13a，是在壓電體側(cè)接合面13a的中心部分形成有圓形形狀的貫通孔13c的中空形狀部件(參照?qǐng)D4)。對(duì)于壓電體13而言，壓電體側(cè)接合面13a被利用粘接劑粘接到彈性體側(cè)接合面12e。該壓電體13上形成有用于輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)的未圖示的電極部。撓性印刷基板14的布線與壓電體13的電極部連接。撓性印刷基板14具有向壓電體13供給驅(qū)動(dòng)信號(hào)的功能。壓電體13基于從該撓性印刷基板14供給的驅(qū)動(dòng)信號(hào)伸縮，由此激勵(lì)彈性體12，在彈性體12的驅(qū)動(dòng)面產(chǎn)生行波。在本實(shí)施方式中產(chǎn)生了4波行波。移動(dòng)件15是基于在彈性體12的驅(qū)動(dòng)面產(chǎn)生的行波而被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的部件。移動(dòng)件15是由鋁等輕金屬形成的近似圓盤形狀的部件，具有與振動(dòng)件11(彈性體12的驅(qū)動(dòng)面12d)接觸的接觸面15a。接觸面15a近似為圓環(huán)形狀，在接觸面15a的表面實(shí)施了用于提高耐磨耗性的耐酸鋁等表面處理。輸出軸18近似為圓柱形狀的部件。輸出軸18被"^殳置成一端部經(jīng)由橡膠部件23與移動(dòng)件15相接，和移動(dòng)件15—體旋轉(zhuǎn)。橡膠部件23是由橡膠形成的近似圓環(huán)形狀的部件。該橡膠部件23具有利用橡膠的粘彈性能夠使移動(dòng)件15與輸出軸18—體旋轉(zhuǎn)的功能、和吸收振動(dòng)不使來(lái)自振動(dòng)件15的振動(dòng)傳遞給輸出軸18的功能，可采用丁基合成橡膠、硅酮橡膠、丙烯橡膠等。加壓部件19是產(chǎn)生使振動(dòng)件11與移動(dòng)件15加壓接觸的加壓力的部件。該加壓部件19被設(shè)置在齒輪4與軸承支承部件21之間。在本實(shí)施方式中，加壓部件19采用了壓縮螺旋彈簧，但不限定于此。齒輪4按照嵌入到輸出軸18的D形截面部的方式被插入，由擋環(huán)等限位件22固定，被設(shè)置成在旋轉(zhuǎn)方向及軸向與輸出軸成為一體。齒輪4通過(guò)與輸出軸18的旋轉(zhuǎn)一同旋轉(zhuǎn)而將驅(qū)動(dòng)力傳遞給齒輪5(參照?qǐng)D1)。另外，軸承支承部件21被配置在軸承17的內(nèi)徑側(cè)，軸承17成為被配置在固定部件16的內(nèi)徑側(cè)的構(gòu)造。加壓部件19將移動(dòng)件11向移動(dòng)件15側(cè)沿輸出軸18的軸向加壓，通過(guò)該加壓力使得移動(dòng)件15與振動(dòng)件11的驅(qū)動(dòng)面加壓接觸，并被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。另外，也可以在加壓部件19與軸承支承部件21之間i更置加壓力調(diào)整墊片，以便得到適合于超聲波馬達(dá)IO的驅(qū)動(dòng)的加壓力。接著，對(duì)本實(shí)施方式的驅(qū)動(dòng)面12d及彈性體側(cè)接合面12e與壓電體側(cè)接合面13a的形狀進(jìn)行說(shuō)明。圖4是表示第一實(shí)施方式的振動(dòng)件11的圖。其中，為了便于理解在圖4及以下所示的圖5中設(shè)置了XYZ直角坐標(biāo)系。設(shè)與輸出軸18的軸向平行的方向?yàn)閆軸方向，將Z軸方向中朝向移動(dòng)件15側(cè)的方向該:為Z軸的正方向。而且，將從Z軸正方向(移動(dòng)件15側(cè))觀察的與振動(dòng)件11的外形的橢圓形狀的長(zhǎng)徑(長(zhǎng)軸)平行的方向設(shè)為X軸方向，將與短徑(短軸)平行的方向設(shè)為Y軸方向。圖4(a)是從移動(dòng)件15側(cè)觀察振動(dòng)件11的圖，圖4(b)是與XZ平面平行的箭頭Sl-S2剖面下的振動(dòng)件11的剖面圖，圖4(c)是與YZ平面平行的箭頭S3-S4剖面下的振動(dòng)件11的剖面圖。其中，圖4(a)中用虛線表示的形狀，是與驅(qū)動(dòng)面12d相接的移動(dòng)件15的接觸面15a的形狀，接觸面15a在由該虛線表示的區(qū)域中與驅(qū)動(dòng)面12d相接。壓電體13近似為平板形狀的部件，具有接合彈性體12的壓電體側(cè)接合面13a，在壓電體側(cè)接合面13a的中心部分形成有圓形形狀的貫通孔13c。該壓電體側(cè)接合面13a從彈性體12側(cè)(Z軸正側(cè))觀察的外形為橢圓形狀。如圖4所示，彈性體12在Z軸方向正側(cè)的端面為驅(qū)動(dòng)面12d，在Z軸方向負(fù)側(cè)的端面為彈性體側(cè)接合面12e。彈性體側(cè)接合面12e的外形為橢圓形狀。該彈性體側(cè)接合面12e的形狀與壓電體側(cè)接合面13a的形狀近似一致。而且，在本實(shí)施方式中，驅(qū)動(dòng)面12d的外形與彈性體側(cè)接合面12e的外形近似一致，當(dāng)沿著Z軸方向從移動(dòng)件15進(jìn)行觀察時(shí)，如圖4(a)所示，壓電體側(cè)接合面13a、彈性體側(cè)接合面12e、驅(qū)動(dòng)面12d的外形近似一致。在本實(shí)施方式中，如果將成為壓電體側(cè)接合面13a、彈性體側(cè)接合面12e、驅(qū)動(dòng)面12d的外形的橢圃形狀的長(zhǎng)半徑i殳為a、短半徑i殳為b，則長(zhǎng)半徑與短半徑的尺寸比為a:b-1.5:1。表1是與壓電體的靜電電容等相關(guān)聯(lián)地對(duì)本實(shí)施方式的超聲波馬達(dá)和比較例的超聲波馬達(dá)進(jìn)行比較的圖。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table>o=好；厶=可4吏用；x=不可4吏用未圖示的比較例l及比較例2的超聲波馬達(dá)，除了壓電體側(cè)接合面13a等的外形不同之外，是與本實(shí)施方式的超聲波馬達(dá)10近似相同的形態(tài)。對(duì)于比較例1的超聲波馬達(dá)而言，振動(dòng)件呈近似圓環(huán)形狀。因此，狀，、a:1b=/:1。該比較例1的壓電體側(cè)接合面和彈性體側(cè)^合面及驅(qū)動(dòng)面的外徑，與本實(shí)施方式的壓電體側(cè)接合面13a的外形的短半徑b為相同的尺寸。對(duì)于比較例2的超聲波馬達(dá)而言，壓電體側(cè)接合面和彈性體側(cè)接合面及驅(qū)動(dòng)面的外形為橢圓形狀，該橢圓形狀的長(zhǎng)半徑與短半徑之比a:b=3:1。對(duì)于該比較例2的壓電體側(cè)接合面而言，短半徑是與本實(shí)施方式的壓電體側(cè)接合面13a的短半徑相同的尺寸，長(zhǎng)半徑是本實(shí)施方式的壓電體側(cè)接合面13a的長(zhǎng)半徑的兩倍的尺寸。表l中表示的壓電體的靜電電容之比是在將比較例1的壓電體的靜電電容設(shè)為l時(shí)，本實(shí)施方式及各比較例的壓電體的靜電電容之比。這里，該靜電電容是在各壓電體的中央形成的貫通孔的內(nèi)徑c=0的情況下、即沒(méi)有形成貫通孔的狀態(tài)下進(jìn)行比較的。驅(qū)動(dòng)面的徑向的振動(dòng)振幅之差是指，針對(duì)驅(qū)動(dòng)面中產(chǎn)生的行波的振動(dòng)振幅的大小，對(duì)驅(qū)動(dòng)面的內(nèi)周側(cè)和外周側(cè)進(jìn)行比較的結(jié)果。對(duì)于驅(qū)動(dòng)面的徑向的振動(dòng)振幅的大小之差小，在表l中用O表示為好，對(duì)于多少存在徑向的差但能夠使用，在表l中用A表示為可使用，對(duì)于徑向的差大得不適合使用，在表l中用x表示為不可使用。另外，移動(dòng)件的軸方向的轉(zhuǎn)速不均是指，移動(dòng)件15基于驅(qū)動(dòng)面的行波被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)時(shí)，接觸面15a的軸方向的轉(zhuǎn)速不均。在接觸面15a的軸方向，轉(zhuǎn)速不均小的情況在表l中用O表示為好，存在轉(zhuǎn)速不均但能夠使用的情況在表l中用A表示為可使用，轉(zhuǎn)速不均大得不適合使用的情況在表l中用x表示為不可使用。如表l所示，靜電電容隨著長(zhǎng)半徑a增大而增大。其原因在于，在將厚度、介電常數(shù)等條件設(shè)為一定的情況下，由于壓電體的靜電電容與壓電體被極化的區(qū)域的面積成比例，所以通過(guò)擴(kuò)展壓電體的面積，可以擴(kuò)展被極化的區(qū)域。即，如果壓電體與彈性體的接合面的面積擴(kuò)展，則可以擴(kuò)展壓電體被極化的區(qū)域，從而能夠增大壓電體的靜電電容。由此可得到更大的驅(qū)動(dòng)力。但是，如表1所示，隨著長(zhǎng)半徑a與短半徑b之比增大，驅(qū)動(dòng)面的徑向的振動(dòng)振幅之差增大，行波的振動(dòng)振幅在驅(qū)動(dòng)面的徑向具有越靠向外周側(cè)越增大的傾向。因此，通常與驅(qū)動(dòng)面的內(nèi)周側(cè)相比，外周側(cè)的行波的振動(dòng)振幅大。當(dāng)驅(qū)動(dòng)面的外形為橢圃形狀時(shí)，例如本實(shí)施方式中在驅(qū)動(dòng)面12d的短徑方向的外周端附近的點(diǎn)tl和長(zhǎng)徑方向的外周端附近的點(diǎn)t2處，振動(dòng)振幅的大小不同，點(diǎn)t2處的振動(dòng)振幅大于點(diǎn)tl處的振動(dòng)振幅。由于該振動(dòng)振幅的大小的變化，不單純與徑向的位置成比例，所以在移動(dòng)件15的接觸面15a所接觸的區(qū)域(圖4(a)的由虛線包圍的區(qū)域)中，例如在本實(shí)施方式的位于驅(qū)動(dòng)面12d的短徑方向的點(diǎn)t3、和位于長(zhǎng)徑方向的外周端附近的點(diǎn)t4處，點(diǎn)t3處的振動(dòng)振幅大于點(diǎn)t4處的振動(dòng)振幅。如該點(diǎn)t3和點(diǎn)t4處的行波的振動(dòng)振幅之差那樣，接觸面15a所接觸的區(qū)域中的振動(dòng)振幅之差，隨著驅(qū)動(dòng)面的橢圓形狀的長(zhǎng)半徑a與短半徑b之比增大而增大(參照表1)。如上所述，由于在接觸面15a與驅(qū)動(dòng)面接觸的區(qū)域中，振動(dòng)振幅產(chǎn)生差異，所以移動(dòng)件15在其軸方向轉(zhuǎn)速產(chǎn)生不均。如果該轉(zhuǎn)速不均增大，則無(wú)法進(jìn)行移動(dòng)件15的穩(wěn)定的驅(qū)動(dòng)，將引起超聲波馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)性能與驅(qū)動(dòng)效率的降低等。但是，在本實(shí)施方式中，由于將成為驅(qū)動(dòng)面12d等的外徑的橢圓形狀的長(zhǎng)半徑a與短半徑b之比設(shè)為a:b=1.5:1，所以能夠兼顧所希望的驅(qū)動(dòng)力和穩(wěn)定的驅(qū)動(dòng)。因此，根據(jù)本實(shí)施方式，即使在小型化的情況下，也能實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)性能良好的超聲波馬達(dá)。例如，相比于使振動(dòng)件為圓環(huán)形狀的以往超聲波馬達(dá)小徑化，并將振動(dòng)件的外徑設(shè)成與本實(shí)施方式的短半徑b相同的尺13寸的情況，在本實(shí)施方式的超聲波馬達(dá)IO中能夠得到大的扭矩。而且，根據(jù)本實(shí)施方式，從z軸方向觀察的外形為橢圓形狀。因此當(dāng)從Z軸方向觀察時(shí)，在X軸及Y軸方向上，可以配置到一方的尺寸大、另一方的尺寸小的空間，例如圖3所示，配置在透鏡鏡筒3內(nèi)部的凸輪筒6與透鏡鏡筒3的外筒之間的間隙中，來(lái)提高空間效率。第二實(shí)施方式第二實(shí)施方式的超聲波馬達(dá)，除了振動(dòng)件31的驅(qū)動(dòng)面32d的外形不同之外，與第一實(shí)施方式近似相同的方式。因此，對(duì)與上述第一實(shí)施方式起同樣功能的部分賦予同一符號(hào)，適當(dāng)省略重復(fù)的說(shuō)明。圖5是表示第二實(shí)施方式的超聲波馬達(dá)的振動(dòng)件31的圖。圖5(a)是從移動(dòng)件15側(cè)觀察振動(dòng)件31的圖，圖5(b)是與XZ平面平行的箭頭S5-S6剖面下的振動(dòng)件31的剖面圖，圖5(c)是與YZ平面平行的箭頭S7-S8剖面下的振動(dòng)件31的剖面圖。其中，圖5(a)中用虛線表示的區(qū)域，是與驅(qū)動(dòng)面32d接觸的移動(dòng)件15的接觸面15a的形狀，與接觸面15a和驅(qū)動(dòng)面32d接觸的區(qū)域大致相等。第二實(shí)施方式的振動(dòng)件31具有彈性體32、壓電體13以及貫通孔31c。貫通孔31c是與第一實(shí)施方式的貫通孔llc近似同樣的形狀。第二實(shí)施方式的彈性體32具有梳齒部32a、基底部32b,凸緣部32c、驅(qū)動(dòng)面32d和彈性體側(cè)接合面32e。梳齒部32a、基底部32b，凸緣部32c、彈性體側(cè)接合面32e是起到與第一實(shí)施方式所示的功能近似相同的功能的部分，但驅(qū)動(dòng)面32d的外形與第一實(shí)施方式不同，因此，梳齒部32a、基底部32b的外周側(cè)的形狀與第一實(shí)施方式不同(參照?qǐng)D5(b))。對(duì)于該形狀的差異將在后面敘述。如圖5(a)等所示，驅(qū)動(dòng)面32d從移動(dòng)件15側(cè)(Z軸正側(cè))觀察的形狀是外徑為r的圓環(huán)形狀，與移動(dòng)件15的接觸面15a是相似形。驅(qū)動(dòng)面32d的中心和彈性體側(cè)接合面32e的橢圓形狀的中心，位于與Z軸方向平行的同一直線上，驅(qū)動(dòng)面32d的外徑r的尺寸與彈性體側(cè)接合面32e的短半徑b的尺寸相等，為r-b-(2/3)xa。如圖5(b)及(c)所示，在彈性體側(cè)接合面32e的短徑方向(Y軸方向)，彈性體側(cè)接合面32e的尺寸(2xb)與驅(qū)動(dòng)面32d的尺寸(2xr)相等，但在彈性體側(cè)接合面32e的長(zhǎng)徑方向(X軸方向)，驅(qū)動(dòng)面32d的尺寸(2xr)小于彈性體側(cè)接合面32e的尺寸(2xa)。因此，驅(qū)動(dòng)面32d的外形比彈性體側(cè)接合面32e的外形小，如圖5(b)所示，梳齒部32a及基底部32b的一部分的外周側(cè)，成為朝向內(nèi)周側(cè)傾斜的形狀。本實(shí)施方式的驅(qū)動(dòng)面32d由于外形為圓形形狀，所以對(duì)于驅(qū)動(dòng)面32d中產(chǎn)生的行波而言，周方向的振動(dòng)振幅的大小之差小。例如驅(qū)動(dòng)面32d中的位于Y軸方向的外周端附近的點(diǎn)t5與位于X軸方向的外周端附近的點(diǎn)t6的行波的振動(dòng)振幅的大小之差，比上述第一實(shí)施方式所示的點(diǎn)tl與點(diǎn)t2(參照?qǐng)D4(a))處的行波的振動(dòng)振幅之差小。另外，通過(guò)驅(qū)動(dòng)面32d的外形形成為圓形形狀，接觸面15a與驅(qū)動(dòng)面32d接觸的區(qū)域按照相對(duì)驅(qū)動(dòng)面32d的外徑的徑向的位置與周方向的位置無(wú)關(guān)地近似一定。因此，在接觸面15a所接觸的驅(qū)動(dòng)面32d的區(qū)域(圖5(a)中所示的虛線區(qū)域)中，位于Y軸方向的點(diǎn)t7與位于X軸方向的點(diǎn)t8的振動(dòng)振幅的大小之差減小。綜上所述，4艮據(jù)本實(shí)施方式，可以減小接觸面15a所接觸的驅(qū)動(dòng)面32d的區(qū)域中的周方向的振動(dòng)振幅的大小之差，使移動(dòng)件15周方向的轉(zhuǎn)速不均減小。因此，能夠穩(wěn)定驅(qū)動(dòng)移動(dòng)件15，從而提高超聲波馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)性能。另外，根據(jù)本實(shí)施方式，與第一實(shí)施方式同樣，能夠不降低超聲波馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)力地實(shí)現(xiàn)小型化。并且，由于驅(qū)動(dòng)面32d的半徑r與彈性體側(cè)接合面32e的短半徑b尺寸相等，所以，可以與周方向的位置無(wú)關(guān)，將與接觸面15a接觸的區(qū)域設(shè)定為驅(qū)動(dòng)面32d的徑向的外周側(cè)。因此，能夠以更大的振動(dòng)振幅驅(qū)動(dòng)移動(dòng)件15，從而可提高超聲波馬達(dá)的扭矩。15變形方式本發(fā)明不限定于以上說(shuō)明的實(shí)施方式，還能夠進(jìn)行各種變形和變更。(1)在各實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了壓電體側(cè)接合面13a及彈性體側(cè)接合面12e、32e的外形為橢圓形狀的情況，但不限定于此，例如也可以形成為多邊形形狀，來(lái)進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)空間效率的提高等。(2)在各實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了移動(dòng)件15被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的超聲波馬達(dá)，但不限定于此，也可以在移動(dòng)件沿著直線方向被驅(qū)動(dòng)的線形振動(dòng)執(zhí)行元件中應(yīng)用。(3)在各實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了使用超聲波區(qū)域的振動(dòng)的超聲波馬達(dá)，但不限定于此，例如也可以在使用超聲波區(qū)域以外的振動(dòng)的振動(dòng)執(zhí)行元件中應(yīng)用。(4)在各實(shí)施方式中，例示了超聲波馬達(dá)在聚焦動(dòng)作時(shí)被用于透鏡的驅(qū)動(dòng)的情況，但不限定于此，例如也可以作為在透鏡的變焦動(dòng)作時(shí)用于進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的超聲波馬達(dá)。在各實(shí)施方式中，表示了超聲波馬達(dá)被應(yīng)用到相機(jī)的例子，但不限定于此，例如還可以在復(fù)印機(jī)的驅(qū)動(dòng)部、汽車的方向盤傾斜裝置或頭枕的驅(qū)動(dòng)部中使用。另外，上述實(shí)施方式及變形方式還能夠適當(dāng)組合使用，但省略詳細(xì)的說(shuō)明。而且，本發(fā)明不由以上說(shuō)明的各實(shí)施方式限定。權(quán)利要求1、一種振動(dòng)執(zhí)行元件，其特征在于，具備具有第一接合面，被激勵(lì)的電氣機(jī)械變換元件；彈性體，其具有與所述第一接合面接合的第二接合面及基于所述激勵(lì)而產(chǎn)生振動(dòng)波的驅(qū)動(dòng)面；相對(duì)移動(dòng)部件，其具有與所述驅(qū)動(dòng)面加壓接觸的接觸面，被所述振動(dòng)波驅(qū)動(dòng)而相對(duì)所述彈性體相對(duì)移動(dòng)，其中，所述第一接合面的外形是與所述接觸面的外形不同的形狀。2、根據(jù)權(quán)利要求l所述的振動(dòng)執(zhí)行元件，其特征在于，所述接觸面為圓形，所述第一接合面的與所述相對(duì)移動(dòng)部件的行進(jìn)方向正交的方向的寬度，因所述相對(duì)移動(dòng)部件的行進(jìn)方向的位置而不同。3、根據(jù)權(quán)利要求l所述的振動(dòng)執(zhí)行元件，其特征在于，所述接觸面為圓形，所述第一接合面的在所述接觸面的徑向的寬度不均一。4、根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)執(zhí)行元件，其特征在于，所述接觸面的外形比所述第二接合面的外形小。5、根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)執(zhí)行元件，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)面的外形比所述第二接合面的外形小。6、根據(jù)權(quán)利要求5所述的振動(dòng)執(zhí)行元件，其特征在于，所述第一接合面的外形及所述第二接合面的外形為橢圓形狀。7、根據(jù)權(quán)利要求6所述的振動(dòng)執(zhí)行元件，其特征在于，所述第二接合面的短徑近似等于所述驅(qū)動(dòng)面的與所述短徑平行的方向的尺寸。8、根據(jù)權(quán)利要求1至7中任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)執(zhí)行元件，其特征在于，所述笫二接合面與所述第一接合面是近似一致的形狀。9、根據(jù)權(quán)利要求1至8中任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)執(zhí)行元件，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)面與所述接觸面是相似形狀。10、根據(jù)權(quán)利要求1至9中任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)執(zhí)行元件，其特征在于，所述接觸面的外形為正圓形狀。11、一種電氣機(jī)械變換元件，具備外形為正圓以外的形狀并與彈性體接合的接合面；形成在所述接合面的中心部分的圓形形狀的貫通孔。12、一種彈性體，具備外形為正圓以外的形狀并與電氣機(jī)械變換元件接合的接合面；基于所述電氣機(jī)械變換元件的激勵(lì)而產(chǎn)生振動(dòng)波的驅(qū)動(dòng)面。13、根據(jù)權(quán)利要求12所述的彈性體，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)面的外形為正圓形狀。14、根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的彈性體，其特征在于，所述接合面的外形為橢圓形狀。15、根據(jù)權(quán)利要求12至14中任意一項(xiàng)所述的彈性體，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)面的外形小于所述接合面的外形。16、一種透鏡鏡筒，其特征在于，具備權(quán)利要求1至10中任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)執(zhí)行元件。17、根據(jù)權(quán)利要求16所述的透鏡鏡筒，其特征在于，具備被所述振動(dòng)執(zhí)行元件驅(qū)動(dòng)的透鏡組、保持該透鏡組的透鏡保持框、包圍該透鏡保持框的框體，所述振動(dòng)執(zhí)行元件被配置在所述透鏡保持框與所述框體之間。18、一種相機(jī)，其特征在于，具備權(quán)利要求1至10中任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)執(zhí)行元件。全文摘要本發(fā)明涉及振動(dòng)執(zhí)行元件、透鏡鏡筒、相機(jī)。所述振動(dòng)執(zhí)行元件的特征在于，具備具有第一接合面，被激勵(lì)的電氣機(jī)械變換元件；具有與所述第一接合面接合的第二接合面及基于所述激勵(lì)而產(chǎn)生振動(dòng)波的驅(qū)動(dòng)面的彈性體；和具有與所述驅(qū)動(dòng)面加壓接觸的接觸面，被所述振動(dòng)波驅(qū)動(dòng)而相對(duì)所述彈性體進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的相對(duì)移動(dòng)部件；所述第一接合面的外形是與所述接觸面的外形不同的形狀。文檔編號(hào)G02B7/04GK101567642SQ20091000654公開(kāi)日2009年10月28日申請(qǐng)日期2009年2月17日優(yōu)先權(quán)日2008年2月19日發(fā)明者森桶利和申請(qǐng)人:株式會(huì)社尼康