專利名稱：光波導(dǎo)型調(diào)制器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光波導(dǎo)型調(diào)制器，尤其涉及在Z切(z-cut)型基板上形成有具有 馬赫_曾德爾型光波導(dǎo)部分的光波導(dǎo)、和用于調(diào)制在該光波導(dǎo)內(nèi)波導(dǎo)的光波的調(diào)制用電極 的光波導(dǎo)型調(diào)制器。
背景技術(shù)：
近年來，在光通信領(lǐng)域和光測試領(lǐng)域，采用在鈮酸鋰等具有電光效應(yīng)的基板上形 成有光波導(dǎo)的光波導(dǎo)型調(diào)制器。許多光波導(dǎo)型調(diào)制器采用馬赫_曾德爾型光波導(dǎo)，尤其在采用對于施加給基板的 電場最有效地產(chǎn)生電光效應(yīng)的方向為基板的厚度方向(與形成有光波導(dǎo)的基板面垂直的 方向)的、所謂Z切型基板的情況下，沿著馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)的分支波導(dǎo)(在波導(dǎo)上方 或者隔著緩沖層在波導(dǎo)上方)配置有信號電極和接地電極。另一方面，降低用于驅(qū)動光波導(dǎo)型調(diào)制器的驅(qū)動電壓，不僅對降低光調(diào)制器的功 耗重要，對提高驅(qū)動頻率也是非常重要的課題。專利文獻(xiàn)1公開的技術(shù)為了抑制頻率響應(yīng) 特性的傾斜(Dip)，在中央的接地電極103上形成有開口 104，但是在專利文獻(xiàn)1中，如圖5 或圖6所示，直到與分支波導(dǎo)7、8相連的Y分支部6、9的一部分，沿著光波導(dǎo)配置有信號電 極101、102。對于上述圖5、圖6的結(jié)構(gòu)，從降低驅(qū)動電壓的觀點來看，將信號電極一直配置 到Y(jié)分支部的一部分時，相對于光波導(dǎo)而言，施加驅(qū)動電壓的區(qū)域變長，結(jié)果，能夠降低驅(qū) 動電壓。另外，為了便于理解說明，省略了配置在信號電極和接地電極下側(cè)的緩沖層，并且 以透視的狀態(tài)描繪同樣配置于電極下側(cè)的光波導(dǎo)。在后面的圖1 圖4也相同。專利文獻(xiàn)1 國際公開專利W02004/086126號公報(參照圖5或圖6)但是，如圖5或圖6所示，即使沿著Y分支部的光波導(dǎo)來配置信號電極，在信號電 極從光波導(dǎo)分離時(信號電極的引出部分)，信號電極急劇彎曲，曲率半徑變小，所以在電 極的彎曲部產(chǎn)生驅(qū)動信號即微波的反射和向基板內(nèi)的不必要的泄漏，成為驅(qū)動信號的反射 衰減量惡化的原因。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的課題是解決上述問題，提供一種光波導(dǎo)型調(diào)制器，能夠降低驅(qū)動 電壓，并且改善驅(qū)動信號的反射衰減量。第一發(fā)明的光波導(dǎo)型調(diào)制器，包括具有電光效應(yīng)的Z切型基板；形成于該基板上 的具有馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)部分的光波導(dǎo)；和用于調(diào)制在該光波導(dǎo)內(nèi)波導(dǎo)的光波的調(diào)制 用電極，所述光波導(dǎo)型調(diào)制器的特征在于，所述馬赫_曾德爾型光波導(dǎo)部分具有兩個分支 波導(dǎo)和兩個Y分支部，所述調(diào)制用電極由信號電極和接地電極構(gòu)成，該信號電極沿著至少 一方分支波導(dǎo)配置，并且在該信號電極從所述一方分支波導(dǎo)分離并跨越馬赫-曾德爾型光 波導(dǎo)部分的對稱軸而引出該信號電極的區(qū)域，沿著與所述一方分支波導(dǎo)相連的Y分支部的 一部分配置該信號電極，并且，在該信號電極從所述一方分支波導(dǎo)分離但不跨越馬赫_曾德爾型光波導(dǎo)部分的對稱軸而引出該信號電極的區(qū)域，不沿著與所述一方分支波導(dǎo)相連的 Y分支部配置該信號電極。在本發(fā)明中，“分支波導(dǎo)”指由馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)的兩個Y分支部夾在中間的 兩根光波導(dǎo)部，一般指兩根光波導(dǎo)平行或者各光波導(dǎo)呈直線形狀的部分。并且，“Y分支部” 包括分支點，也包括從該分支點分支出來的兩個光波導(dǎo)逐漸擴(kuò)大兩者的間隔并與各分支波 導(dǎo)連接的連接部分。第二發(fā)明的特征在于，在第一發(fā)明所述的光波導(dǎo)型調(diào)制器中，在沿著Y分支部的 一部分配置所述信號電極的區(qū)域，該信號電極和該Y分支部分離的位置處的構(gòu)成Y分支部 的兩個波導(dǎo)的間隔為15i!m以上。第三發(fā)明的特征在于，在第一或第二發(fā)明所述的光波導(dǎo)型調(diào)制器中，具有沿著 所述兩個分支波導(dǎo)配置的兩個信號電極，在一方信號電極從一方分支波導(dǎo)分離并跨越馬 赫-曾德爾型光波導(dǎo)部分的對稱軸而引出所述一方信號電極的區(qū)域，另一方信號電極不沿 著與另一方分支波導(dǎo)相連的Y分支部配置。第四發(fā)明的特征在于，在第三發(fā)明所述的光波導(dǎo)型調(diào)制器中，在所述兩個信號電 極中的至少一方上形成有用于延遲調(diào)整調(diào)制信號的彎曲部。第五發(fā)明的特征在于，在第三或第四發(fā)明所述的光波導(dǎo)型調(diào)制器中，所述兩個信 號電極均具有相同的總長度。第六發(fā)明的特征在于，在第一或第二發(fā)明所述的光波導(dǎo)型調(diào)制器中，所述接地 電極沿著另一方分支波導(dǎo)配置，并且在所述信號電極從所述一方分支波導(dǎo)分離并跨越馬 赫-曾德爾型光波導(dǎo)部分的對稱軸而引出所述信號電極的區(qū)域，沿著與所述另一方分支波 導(dǎo)相連的Y分支部的一部分配置所述接地電極。根據(jù)第一發(fā)明，在信號電極從一方分支波導(dǎo)分離并跨越馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)部 分的對稱軸而引出該信號電極的區(qū)域，沿著與所述一方分支波導(dǎo)相連的Y分支部的一部分 配置該信號電極，因此，在Y分支部也能夠使信號電極向引出信號電極的方向彎曲，并調(diào)制 在光波導(dǎo)內(nèi)波導(dǎo)的光波，調(diào)制作用所波及到的光波導(dǎo)(稱為“作用部”)的長度進(jìn)一步延長， 能夠降低光波導(dǎo)型調(diào)制器的驅(qū)動電壓。而且，由于信號電極向引出方向彎曲，所以不需要使 曲率急劇變小，能夠抑制反射衰減量惡化。并且，在第一發(fā)明中，在信號電極從一方分支波導(dǎo)分離但不跨越馬赫-曾德爾型 光波導(dǎo)部分的對稱軸而引出該信號電極的區(qū)域，不沿著與所述一方分支波導(dǎo)相連的Y分支 部配置該信號電極，所以不需要進(jìn)一步減小引出信號電極時的曲率，能夠抑制反射衰減量 惡化。尤其像專利文獻(xiàn)1那樣，在沿著Y分支部的一部分配置信號電極后，為了不跨越馬 赫-曾德爾型光波導(dǎo)部分的對稱軸而引出該信號電極，需要非常小的曲率，但根據(jù)本發(fā)明， 不會產(chǎn)生這種不良。根據(jù)第二發(fā)明，在沿著Y分支部的一部分配置信號電極的區(qū)域，該信號電極和該Y 分支部分離的位置處的構(gòu)成Y分支部的兩個波導(dǎo)的間隔為15 ym以上，所以能夠抑制由信 號電極形成的電場對兩個波導(dǎo)產(chǎn)生影響而引起波導(dǎo)間的串?dāng)_。根據(jù)第三發(fā)明，具有沿著兩個分支波導(dǎo)配置的兩個信號電極，在一方信號電極從 一方分支波導(dǎo)分離并跨越馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)部分的對稱軸而引出所述一方信號電極 的區(qū)域，另一方信號電極不沿著與另一方分支波導(dǎo)相連的Y分支部配置，因此在采用兩個
4信號電極的光波導(dǎo)型調(diào)制器中，也能夠降低驅(qū)動電壓，并有效改善驅(qū)動信號的反射衰減量。根據(jù)第四發(fā)明，在兩個信號電極中的至少一方上形成有用于延遲調(diào)整調(diào)制信號的 彎曲部，因此，在兩個信號電極發(fā)揮作用的光波導(dǎo)的各作用部之間，能夠調(diào)整與調(diào)制相關(guān)的 相位和調(diào)制時序。根據(jù)第五發(fā)明，兩個信號電極均具有相同的總長度，所以在兩個信號電極之間能 夠使施加給信號電極的調(diào)制信號的衰減量相同，并且能夠?qū)⒂嘘P(guān)信號電極的阻抗調(diào)整為相 同。根據(jù)第六發(fā)明，接地電極沿著另一方分支波導(dǎo)配置，并且在所述信號電極從所述 一方分支波導(dǎo)分離并跨越馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)部分的對稱軸而引出所述信號電極的區(qū) 域，沿著與所述另一方分支波導(dǎo)相連的Y分支部的一部分配置所述接地電極，所以能夠使 調(diào)制作用在形成有接地電極的波導(dǎo)上的波及面比現(xiàn)有技術(shù)長，能夠進(jìn)一步降低驅(qū)動電壓。


圖1是本發(fā)明的光波導(dǎo)型調(diào)制器的第1實施例。圖2是以圖1所示的Y分支部6為中心的放大圖。圖3是本發(fā)明的光波導(dǎo)型調(diào)制器的第2實施例。圖4是以圖3所示的Y分支部6為中心的放大圖。圖5是表示專利文獻(xiàn)1公開的參考示例的圖。圖6是表示專利文獻(xiàn)1公開的另一參考示例的圖。標(biāo)號說明1 基板2、21、22 信號電極3、4、31 33接地電極5 10光波導(dǎo)
具體實施例方式以下，具體說明本發(fā)明的光波導(dǎo)型調(diào)制器。圖1和圖2表示本發(fā)明的光波導(dǎo)型調(diào)制器的第1實施例。圖2是以圖1中右側(cè)的 Y分支部為中心的放大圖，為了便于理解說明，省略了緩沖層和接地電極3。一種光波導(dǎo)型調(diào)制器，包括具有電光效應(yīng)的Z切型基板1 ；形成于該基板上的具 有馬赫_曾德爾型光波導(dǎo)部分的光波導(dǎo)(5 10)和用于調(diào)制在該光波導(dǎo)內(nèi)波導(dǎo)的光波的 調(diào)制用電極，所述光波導(dǎo)型調(diào)制器的特征在于，所述馬赫_曾德爾型光波導(dǎo)部分具有兩個 分支波導(dǎo)7、8和兩個Y分支部6、9，所述調(diào)制用電極由信號電極2和接地電極3、4構(gòu)成，該 信號電極2沿著至少一方分支波導(dǎo)7配置，并且在該信號電極從所述一方分支波導(dǎo)分離并 跨越馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)部分的對稱軸d而引出該信號電極的區(qū)域，沿著與所述一方分 支波導(dǎo)相連的Y分支部的一部分配置該信號電極，并且，在該信號電極從所述一方分支波 導(dǎo)分離但不跨越馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)部分的對稱軸而引出該信號電極的區(qū)域，不沿著與 所述一方分支波導(dǎo)相連的Y分支部配置該信號電極。在本發(fā)明中，“分支波導(dǎo)”指由馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)的兩個Y分支部夾在中間的
5兩根光波導(dǎo)部7、8，一般指兩根光波導(dǎo)平行或者各光波導(dǎo)呈直線形狀的部分(圖2中的包 括點a、c的單點劃線的左側(cè)部分)。并且，"Y分支部”包括分支點，也包括從該分支點分支 出來的兩個光波導(dǎo)逐漸擴(kuò)大兩者的間隔并與各分支波導(dǎo)連接的連接部分(圖2中的包括點 a、c的單點劃線的右側(cè)部分中到分支點為止的部分)?；?例如可使用鈮酸鋰、鉭酸鋰、PLZT (鋯鈦酸鉛鑭)、石英類的材料和它們的組 合。尤其優(yōu)選使用電光效應(yīng)強(qiáng)的鈮酸鋰(LN)、鉭酸鋰(LT)晶體。作為光波導(dǎo)的形成方法，可以將Ti等通過熱擴(kuò)散法、質(zhì)子交換法等擴(kuò)散到基板表 面而形成。信號電極和接地電極等調(diào)制用電極可通過Ti/Au的電極圖形的形成及鍍金方法 等形成。另外，雖然沒有圖示，但是優(yōu)選在基板1和調(diào)制用電極之間形成Si02等緩沖層。尤 其在采用像本發(fā)明這樣的Z切型基板時，需要在光波導(dǎo)的上側(cè)形成調(diào)制用電極，因此為了 防止在光波導(dǎo)中傳播的光波被調(diào)制用電極吸收或散射，形成緩沖層。 本發(fā)明的光波導(dǎo)型調(diào)制器的特征在于，如圖2所示，在信號電極2從一方分支波導(dǎo) 分離并跨越馬赫_曾德爾型光波導(dǎo)部分的對稱軸d而引出該信號電極2的區(qū)域(圖2中的 點a的右側(cè))，沿著與所述一方分支波導(dǎo)相連的Y分支部的一部分(從點a到點b，用箭頭L 表示的區(qū)域)配置該信號電極。因此，在Y分支部也能夠使信號電極向引出信號電極的方 向彎曲，并調(diào)制在光波導(dǎo)內(nèi)波導(dǎo)的光波，調(diào)制作用所波及到的光波導(dǎo)(作用部)的長度相應(yīng) 增加用標(biāo)號L表示的部分，能夠降低光波導(dǎo)型調(diào)制器的驅(qū)動電壓。而且，由于信號電極2向 引出方向(圖中的下方向)彎曲，所以不需要使曲率急劇變小，能夠抑制反射衰減量惡化。另外，如圖1所示，在Y分支部9的附近引出信號電極2時，與后面敘述的圖4所 示的信號電極22同樣地，在信號電極從一方分支波導(dǎo)分離但不跨越馬赫-曾德爾型光波導(dǎo) 部分的對稱軸而引出該信號電極的區(qū)域，不沿著與所述一方分支波導(dǎo)相連的Y分支部配置 該信號電極。因此，例如，不需要像圖5或圖6中的標(biāo)號A D所示那樣使引出信號電極時 的曲率小于通常情況，能夠抑制反射衰減量惡化。并且，在本發(fā)明的光波導(dǎo)型調(diào)制器中，如圖2所示，接地電極4沿著另一方分支波 導(dǎo)8配置，并且在該信號電極2從所述一方分支波導(dǎo)7分離并跨越馬赫_曾德爾型光波導(dǎo) 部分的對稱軸d而引出該信號電極的區(qū)域，沿著與所述另一方分支波導(dǎo)8相連的Y分支部 的一部分(圖2中的點c的右側(cè))配置該接地電極。由此，在超過分支波導(dǎo)的圖2中的點c 的右側(cè)，也在波導(dǎo)上形成有接地電極4，調(diào)制作用波及到接地電極下方的光波導(dǎo)，所以能夠 進(jìn)一步降低驅(qū)動電壓。另外，本發(fā)明的光波導(dǎo)型調(diào)制器的特征在于，在沿著Y分支部的一部分配置該信 號電極的區(qū)域，該信號電極和該Y分支部分離的位置(圖2中的點b)處的構(gòu)成Y分支部的 兩個波導(dǎo)的間隔W為15 y m以上。如果間隔W變小，則由信號電極2形成的電場不僅影響 到兩個波導(dǎo)、即Y分支部的上側(cè)的波導(dǎo)(從點a到分支點的光波導(dǎo))，也影響到Y(jié)分支部的 下側(cè)的波導(dǎo)(從點c到分支點的光波導(dǎo))，所以在兩個波導(dǎo)之間產(chǎn)生串?dāng)_。如圖2所示，通 過把間隔W設(shè)為15 y m以上，能夠有效抑制這種串?dāng)_。下面，圖3和圖4表示本發(fā)明的光波導(dǎo)型調(diào)制器的第2實施例。另外，圖4是以圖 3中右側(cè)的Y分支部為中心的放大圖，為了便于理解說明，省略了接地電極31 33。
在第2實施例中，表示與各分支波導(dǎo)7、8對應(yīng)地分別配置有獨立的信號電極21、22 的所謂雙重式光調(diào)制器的示例。與第1實施例同樣地，第2實施例的光波導(dǎo)型調(diào)制器，包括具有電光效應(yīng)的Z切 型基板1 ；形成于該基板上的具有馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)部分的光波導(dǎo)(5 10)；和用于調(diào) 制在該光波導(dǎo)內(nèi)波導(dǎo)的光波的調(diào)制用電極，所述光波導(dǎo)型調(diào)制器的特征在于，該馬赫-曾 德爾型光波導(dǎo)部分具有兩個分支波導(dǎo)7、8和兩個Y分支部6、9，所述調(diào)制用電極由信號電 極21、22和接地電極31 33構(gòu)成，該信號電極21、22沿著分支波導(dǎo)7、8配置，并且在該信 號電極21、22從所述分支波導(dǎo)7分離并跨越馬赫_曾德爾型光波導(dǎo)部分的對稱軸d而引出 該信號電極的區(qū)域(對于信號電極21是Y分支部6的附近，對于信號電極22是Y分支部 9的附近)，沿著與所述分支波導(dǎo)相連的Y分支部的一部分配置該信號電極(圖4中的點a 到點b的范圍)，并且，在該信號電極21、22從所述分支波導(dǎo)7、8分離但不跨越馬赫_曾德 爾型光波導(dǎo)部分的對稱軸d而引出該信號電極的區(qū)域(對于信號電極21是Y分支部9的 附近，對于信號電極22是Y分支部6的附近)，不沿著與所述分支波導(dǎo)相連的Y分支部配置 該信號電極(參照圖4中的信號電極22)。與第1實施例的圖2同樣，第1實施例的圖4所示的、沿著Y分支部配置有信號電 極21的區(qū)域(從點a到點b的范圍)的長度L越長，越能降低驅(qū)動電壓。并且，為了抑制 串?dāng)_，與第1實施例同樣，優(yōu)選信號電極21與Y分支部分離的點b處的波導(dǎo)間隔W為15 μ m 以上。在第2實施例中，具有沿著兩個分支波導(dǎo)7、8配置的兩個信號電極21、22，尤其在 一方信號電極21從一方分支波導(dǎo)分離并跨越馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)部分的對稱軸d而引 出所述一方信號電極的區(qū)域(圖4中的包括點a和點c的單點劃線的右側(cè))，另一方信號電 極22不沿著與另一方分支波導(dǎo)8相連的Y分支部配置。因此，在采用兩個信號電極的光波 導(dǎo)型調(diào)制器中，也能夠降低驅(qū)動電壓，并有效改善驅(qū)動信號的反射衰減量。并且，在第2實施例中，如圖3所示，在兩個信號電極中的至少一方信號電極(22) 上形成有用于延遲調(diào)整調(diào)制信號的彎曲部23。由此，在兩個信號電極21、22發(fā)揮作用的光 波導(dǎo)的各作用部之間，例如圖4中的點a和點c的各位置，能夠調(diào)整與調(diào)制相關(guān)的相位和調(diào) 制時序。另外，通過將兩個信號電極21、22設(shè)定為具有相同的總長度，在兩個信號電極之 間能夠使施加給信號電極的調(diào)制信號的衰減量相同，并且能夠?qū)⒂嘘P(guān)信號電極的阻抗調(diào)整 為相同。關(guān)于本發(fā)明的光波導(dǎo)型調(diào)制器中的信號電極的輸入位置和該信號電極的輸出位 置，不限于配置在圖1或圖3所示基板1的不同的側(cè)面?zhèn)?，也可以配置在基?的同一側(cè)面 側(cè)。另外，如圖3所示，在將信號電極的輸入側(cè)和輸出側(cè)配置在基板的不同的側(cè)面?zhèn)葧r，通 過在另一方Y(jié)分支部9進(jìn)行與圖4相同(但是將信號電極21和22置換)的配置，也能夠 使各信號電極對光波導(dǎo)產(chǎn)生電場作用的作用部的長度相同，并將分支波導(dǎo)間的調(diào)制狀況保 持為大致相同。并且，也能夠抑制由于對各分支波導(dǎo)的調(diào)制狀況不同而產(chǎn)生的啁啾(Chirp) 現(xiàn)象。另外，在上述的本發(fā)明的說明中，沒有特別說明光波相對于光波導(dǎo)型調(diào)制器的行 進(jìn)方向和調(diào)制信號的行進(jìn)方向，但是，例如無論光波和調(diào)制信號向圖1或圖3中的左右任何方向行進(jìn)，本發(fā)明均能夠充分發(fā)揮效果。產(chǎn)業(yè)上的可利用性根據(jù)以上所述的本發(fā)明，能夠提供一種降低驅(qū)動電壓、并且改善驅(qū)動信號的反射衰減量的光波導(dǎo)型調(diào)制器。
權(quán)利要求
一種光波導(dǎo)型調(diào)制器，包括具有電光效應(yīng)的Z切型基板；形成于該基板上的具有馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)部分的光波導(dǎo)；和用于調(diào)制在該光波導(dǎo)內(nèi)波導(dǎo)的光波的調(diào)制用電極，所述光波導(dǎo)型調(diào)制器的特征在于，所述馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)部分具有兩個分支波導(dǎo)和兩個Y分支部，所述調(diào)制用電極由信號電極和接地電極構(gòu)成，該信號電極沿著至少一方分支波導(dǎo)配置，并且在該信號電極從所述一方分支波導(dǎo)分離并跨越馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)部分的對稱軸而引出該信號電極的區(qū)域，沿著與所述一方分支波導(dǎo)相連的Y分支部的一部分配置該信號電極，并且，在該信號電極從所述一方分支波導(dǎo)分離但不跨越馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)部分的對稱軸而引出該信號電極的區(qū)域，不沿著與所述一方分支波導(dǎo)相連的Y分支部配置該信號電極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)型調(diào)制器，其特征在于，在沿著Y分支部的一部分配置所述信號電極的區(qū)域，該信號電極和該Y分支部分離的 位置處的構(gòu)成Y分支部的兩個波導(dǎo)的間隔為15 μ m以上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光波導(dǎo)型調(diào)制器，其特征在于，具有沿著所述兩個分支波導(dǎo)配置的兩個信號電極，在一方信號電極從一方分支波導(dǎo)分 離并跨越馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)部分的對稱軸而引出所述一方信號電極的區(qū)域，另一方信 號電極不沿著與另一方分支波導(dǎo)相連的Y分支部配置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光波導(dǎo)型調(diào)制器，其特征在于，在所述兩個信號電極中的至少一方上形成有用于延遲調(diào)整調(diào)制信號的彎曲部。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的光波導(dǎo)型調(diào)制器，其特征在于，所述兩個信號電極均具有相同的總長度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光波導(dǎo)型調(diào)制器，其特征在于，所述接地電極沿著另一方分支波導(dǎo)配置，并且在所述信號電極從所述一方分支波導(dǎo)分 離并跨越馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)部分的對稱軸而引出所述信號電極的區(qū)域，沿著與所述另 一方分支波導(dǎo)相連的Y分支部的一部分配置所述接地電極。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供一種光波導(dǎo)型調(diào)制器，包括具有馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)部分的光波導(dǎo)；和用于調(diào)制在所述光波導(dǎo)內(nèi)波導(dǎo)的光波的信號電極及接地電極，所述光波導(dǎo)型調(diào)制器能夠降低驅(qū)動電壓，并且改善驅(qū)動信號的反射衰減量。沿著所述馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)所具有的兩個分支波導(dǎo)和兩個Y分支部中的、至少一方分支波導(dǎo)和與所述一方分支波導(dǎo)相連的一方Y(jié)分支部的一部分，配置所述信號電極，在所述一方Y(jié)分支部的一部分以外，所述信號電極從所述一方Y(jié)分支部分離并跨越所述馬赫-曾德爾型光波導(dǎo)部分的對稱軸而引出，此外所述信號電極不沿著與所述一方分支波導(dǎo)相連的另一方Y(jié)分支部的一部分而從所述一方分支波導(dǎo)分離，并且不跨越所述對稱軸而引出。
文檔編號G02F1/035GK101809484SQ20088010872
公開日2010年8月18日 申請日期2008年9月25日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月28日
發(fā)明者石川泰弘, 菅又徹 申請人:住友大阪水泥股份有限公司