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微機電激光掃描裝置的二片式fθ鏡片的制作方法

文檔序號:2811506閱讀:128來源:國知局

專利名稱::微機電激光掃描裝置的二片式fθ鏡片的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
:本發(fā)明涉及一種微機電激光掃描裝置的二片式fe鏡片,尤其涉及一種用以修正呈簡諧性運動的微機電反射鏡而產(chǎn)生隨時間成正弦關(guān)系的角度變化量,以實現(xiàn)激光掃瞄裝置所要求的線性掃描效果的二片式fe鏡片。
背景技術(shù)
:目前激光束打印機(LBP:LaserBeamPrint)所用的激光掃描裝置(LSU:LaserScanningUnit)利用高速S走專爭的多面4竟(polygonmirror),以用于才喿控激光束的掃描動作(laserbeamscanning),如美國專利US7079171、[JS6377293、US6295116,或如臺灣專利1198966所述。其原理如下利用半導(dǎo)體激光發(fā)出激光束(laserbeam),先經(jīng)由準直4竟(col1i歸tor),再經(jīng)由光圏(aperture)而形成平行光束,而平行光束再經(jīng)過柱面鏡(cylindrica1lens)后,能夠在副掃瞄方向(subscanningdirection)的Y軸上的寬度能沿著主掃描方向(mainscanningdirection)的X軸的平4亍方向平4亍^l焦而開j成線^犬成像(lineimage),再投射至高速旋轉(zhuǎn)的多面鏡上,而多面鏡上均勻連續(xù)設(shè)置有多面反射鏡,其正好位于或接近于上述線狀成像(lineimage)的焦點位置。通過多面鏡控制激光束的投射方向,當連續(xù)的多個反射鏡高速旋轉(zhuǎn)時,可將射至反射鏡上的激光束沿著主掃描方向(X軸)的平行方向以相同的轉(zhuǎn)角速度(angularvelocity)偏斜反射至f6線性掃描鏡片上,而f6線性掃描鏡片設(shè)置于多面鏡側(cè)面,可為單件式鏡片結(jié)構(gòu)(single-elementscanninglens)或為二件式鏡片結(jié)構(gòu)。該fe線性掃描鏡片的功能在于使經(jīng)由多面鏡上的反射鏡反射而射入fe鏡片的激光束能夠聚焦成橢圓型光點并投射在光接收面(photoreceptordrum,即成1"象面)上,并實3見纟戔寸生才3甘苗(scanninglinearity)的要求。然而,現(xiàn)有的激光掃瞄裝置(LSU)在使用上會有下列問題(1)旋轉(zhuǎn)式多面鏡的制作難度高且價格不低,相對增加LSU的制作成本。(2)多面鏡須具備高速旋轉(zhuǎn)(如40000轉(zhuǎn)/分)的功能,且精密度要求高,導(dǎo)致一般多面鏡上反射面的鏡面Y軸寬度極薄,因而現(xiàn)有技術(shù)的(LSU)中均需增設(shè)柱面鏡(cylindricallens),以使激光束經(jīng)過柱面#;能夠聚焦成線(Y軸上成一點)而再投射于多面鏡的反射鏡上,從而導(dǎo)致組件成本的增加及組裝作業(yè)的增力口。(3)由于現(xiàn)有的多面鏡須高速旋轉(zhuǎn)(如40000轉(zhuǎn)/分),導(dǎo)致旋轉(zhuǎn)噪音相對提高,且多面鏡從啟動至工作轉(zhuǎn)速須耗費較長時間,增加開機后的等待時間。(4)現(xiàn)有的LSU的組裝結(jié)構(gòu)中,投射至多面鏡反射鏡的激光束中心軸并沒有正對多面鏡的中心轉(zhuǎn)軸,以致在設(shè)計相配合的f6鏡片時,需同時考慮多面鏡的離軸偏差(offaxisdeviation)問題,相對增加f6鏡片的設(shè)計及制作上難度。近年以來,為了改善現(xiàn)有的LSU組裝結(jié)構(gòu)的問題,目前市面上開發(fā)出一種擺動式(oscillatory)的微機電反射鏡(MEMSmirror),用以取代現(xiàn)有的多面鏡來操控激光束掃描。微機電反射鏡為轉(zhuǎn)矩振蕩器(torsionoscillators),其表層上附有反光層,可通過振蕩擺動反光層,將光線反射而掃描,未來可應(yīng)用于成i象系統(tǒng)(imagingsystem)、掃描4義(scanner)或激光打印沖幾(laserprinter)的;敫光掃描裝置(LSU:laserscanningunit),其掃描效率(Scanningefficiency)將可高于傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)多面鏡。如美國專利〔)S6,844,951、US6,956,597,產(chǎn)生至少一個驅(qū)動信號,其驅(qū)動頻率4妻近多個微機電反射鏡的共振頻率,并以驅(qū)動信號驅(qū)動微機電反射鏡,以產(chǎn)生掃瞄路徑,類似的還有美國專利US7,064,876、US7,184,187、US7,190,499、US2006/0113393;或如臺灣專利TWM253133,其利用孩"幾電反射鏡取代現(xiàn)有的旋轉(zhuǎn)式多面鏡設(shè)置在LSU模塊結(jié)構(gòu)中的準直鏡及f6鏡片之間,由此控制激光束的投射方向;或如日本專利JP2006-201350等。所述微機電反射鏡具有組件小,轉(zhuǎn)動速度快,制造成本低的優(yōu)點。然而由于微機電反射鏡在接收電壓驅(qū)動后,將作簡諧運動,且該簡諧運動(harmonicmotion)的方式為時間與角速度呈正弦關(guān)系,因此投射于微機電反射鏡的光線經(jīng)微機電反射鏡反射后的反射角度e與時間t的關(guān)系為0(0=《.sin(2;r./.0(丄)其中f為微機電反射鏡的掃描頻率;《為激光束經(jīng)微機電反射鏡后,單邊最大的掃描角度。因此,在相同的時間間隔下A"所對應(yīng)的反射角度與時間成正弦函數(shù)(Simisoidai)變化,即在相同時間間隔反射角度變化為5A外)=《(sm(2;r/'"-sin(2"'/〃2)),因而與時間呈非線性關(guān)系,即當該反射的光線以不同角度投射在目標物時,在相同時間間隔內(nèi)所產(chǎn)生的光點距離間隔并不相同而可能隨時間遞增或遞減。例如,當微機電反射鏡的擺動角度位于正弦波的波峰及波谷時,角度變化量將隨時間遞增或遞減,與現(xiàn)有的多面鏡形成等角速度轉(zhuǎn)動的運動方式不同,若將現(xiàn)有的fe鏡片應(yīng)用于具有微機電反射鏡的激光掃瞄裝置(Lsu)上,將無法修正微機電反射鏡所產(chǎn)生的角度變化量,造成投射在成像面上的激光光速將產(chǎn)生非等速率掃描現(xiàn)象,導(dǎo)致產(chǎn)生位于成像面上的成像偏差。因此,對于由微機電反射鏡所構(gòu)成的激光掃描裝置,簡稱為微機電激光掃描裝置(MEMSLSU),其特性為激光光線經(jīng)由微機電反射鏡掃描后,形成等時間間隔不等角度的掃描光線,因此迫切需要發(fā)展可使用于微機電激光掃描裝置的f6鏡片,以修正掃描光線,從而能夠在目標物上正確成像。為了解決上述問題,本發(fā)明的目的在于提供一種微機電激光掃描裝置的二片式fe鏡片,該二片式fe鏡片包含從微機電反射鏡依次設(shè)置的正屈光度新月形且凸面在微機電反射鏡側(cè)的第一鏡片及正屈光度新月形且凸面在微機電反射鏡側(cè)的第二鏡片,可使微機電反射鏡所反射的掃描光線在目標物上正確成像,從而實現(xiàn)激光掃瞄裝置所要求的線性掃描效果。本發(fā)明的另一個目的在于提供一種微機電激光掃描裝置的二片式fe鏡片,用以縮小投射在目標物上光點(spot)的面積,從而實現(xiàn)^^高分辨率的效果。本發(fā)明的又一目的在于提供一種微機電激光掃描裝置的二片式fe鏡片,可畸變修正因掃描光線偏離光軸,而造成在主掃描方向及副掃描方向的偏移增加,使成像在感光鼓的光點變形呈橢圓形的問題,并使每一個成像光點大小得以均勻化,從而實現(xiàn)提升解像質(zhì)量(reso1utionqua1ity)的效果。因此,本發(fā)明提供的微機電激光掃描裝置的二片式f6鏡片,適用于至少包含將發(fā)射激光束的光源以共振左右擺動,由此使光源發(fā)射的激光束反射成為掃描光線的微機電反射鏡,以在目標物上成像;對于激光打印機來說,所述目標物通常是感光鼓(drum),即待成像的光點經(jīng)由光源發(fā)出激光束,經(jīng)由微機電反射鏡左右掃描,微機電反射鏡反射激光束形成掃描光線,掃描光
發(fā)明內(nèi)容線經(jīng)由本發(fā)明的二片式fe鏡片修正角度與位置后,在感光鼓上形成光點(spot),由于感光鼓涂有光敏劑,可感應(yīng)碳粉使其聚集于紙上,如此可打印出數(shù)據(jù)。本發(fā)明的二片式fe鏡片包含從微機電反射鏡依次設(shè)置的第一鏡片及第二鏡片,其中第一鏡片具有第一光學(xué)面及第二光學(xué)面,第一光學(xué)面與第二光學(xué)面,在主掃描方向至少有一個光學(xué)面由非球面所構(gòu)成,主要將呈簡諧運動的微機電反射鏡在成像面上的光點間距由原來隨時間增加而遞減或遞增的非等速率掃描現(xiàn)象,修正為等速率掃描,從而使激光束在成像面的投射作等速率掃描。第二鏡片具有第三光學(xué)面及第四光學(xué)面,第三光學(xué)面與第四光學(xué)面在主掃描方向至少有一個光學(xué)面由非球面所構(gòu)成,主要用以均勻化掃瞄光線在主掃描方向及副掃描方向因偏移光軸而造成在感光鼓上形成成像偏差,并將第一鏡片的掃描光線修正聚光于目標物上。圖i為本發(fā)明提供的二片式fe鏡片的光學(xué)路徑的示意圖2為微機電反射鏡掃描角度6與時間t的關(guān)系圖3為通過第一鏡片及第二鏡片的掃描光線的光學(xué)路徑圖及符號說明圖4為掃描光線投射在感光鼓上后,光點面積隨投射位置的不同而變化的示意圖5為光束的高斯分布與光強度的關(guān)系圖6為本發(fā)明的通過第一鏡片及第二鏡片的掃描光線的實施例的光學(xué)路徑圖7為第一實施例的光點示意圖8為第二實施例的光點示意圖9為第三實施例的光點示意圖10為第四實施例的光點示意圖;以及圖11為第五實施例的光點示意圖。主要符號說明IO為微機電反射鏡;ll為激光光源;111為光束;113a、113b、113c、114a、114b、115a、115b為掃瞄光線;131為第一鏡片;132為第二鏡片;14a、14b為光電傳感器;15為感光鼓;16為柱面鏡;2、2a、2b、2c為光點;以及3為有效掃描窗口。具體實;^方式參照圖1,其為本發(fā)明的微機電激光掃描裝置的二片式f6鏡片的光學(xué)路徑的示意圖。本發(fā)明提供的微機電激光掃描裝置的二片式f6鏡片包含具有第一光學(xué)面131a及第二光學(xué)面131b的第一鏡片131、具有第三光學(xué)面132a及第四光學(xué)面132b的第二鏡片132,適用于微機電激光掃瞄裝置。圖中,微機電激光掃描裝置主要包含激光光源11、微機電反射鏡10、柱面鏡16、二個光電傳感器14a、14b,及用以感光的目標物。在圖中,目標物為感光鼓(drum)15激光光源11所產(chǎn)生的光束111通過柱面鏡16后,投射到微機電反射鏡10上。而微機電反射鏡10以共振左右擺動的方式,將光束lll反射成掃瞄光線113a、113b、113c、114a、114b、115a、115b。其中掃瞄光線113a、113b、113c、114a、114b、115a、115b在X方向的投影稱為副掃描方向(subscanningdirection),在Y方向的投影稱為主掃描方向(mainscanningdirection),而微機電反射鏡io掃描角度為ec。參照圖1及圖2,其中圖2為微機電反射鏡掃描角度6與時間t的關(guān)系圖由于微機電反射鏡10呈簡諧運動,其運動角度隨時間呈正弦變化,因此掃瞄光線的射出角度與時間為非線性關(guān)系。如圖示中的波峰a-a,及波谷b-b,,其擺動角度明顯小于波段a-b及a'-b,,而這種角速度不均等的現(xiàn)象容易造成掃描光線在感光鼓15上產(chǎn)生成像偏差。因此,光電傳感器14a、14b設(shè)置于微機電反射鏡10最大掃描角度±(3c之內(nèi),其夾角為土6p,激光束由圖2的波峰處開始被微機電反射鏡10所反射,此時相當于圖1的掃描光線U5a;當光電傳感器14a檢測到掃描光束的時候,表示微機電反射鏡10擺動到+6p角度,此時相當于圖1的掃描光線114a;當微機電反射鏡10掃描角度變化如圖2的a點時,此時相當于掃描光線113b位置;此時激光光源11將被驅(qū)動而發(fā)出激光束111,而掃描至圖2的b點時,此時相當于掃描光線113c位置為止(相當±6n角度內(nèi)由激光光源ll發(fā)出激光束lll);當微機電反射鏡10產(chǎn)生反向振動時,如在波段a,-b'時,激光光源11被驅(qū)動而開始發(fā)出激光束lll;如此完成一個周期。參照圖1及圖3,其中圖3為通過第一鏡片及第二鏡片的掃描光線的光學(xué)路徑圖。其中,土6n為有效掃描角度,當微機電反射鏡10的轉(zhuǎn)動角度進8入±6n時,激光光源11開始發(fā)出激光束111,經(jīng)由微機電反射鏡IO反射為掃瞄光線,當掃瞄光線通過第一鏡片131時受第一鏡片131的第一光學(xué)面131a與第二光學(xué)面131b折射,將微機電反射鏡10所反射的距離與時間成非線性關(guān)系的掃描光線轉(zhuǎn)換成距離與時間為線性關(guān)系的掃描光線。當掃描光線通過第一鏡片131與第二鏡片132后,根據(jù)第一光學(xué)面131a、第二光學(xué)面131b、第三光學(xué)面132a、第四光學(xué)面132b的光學(xué)性質(zhì),將掃描光線聚焦于感光鼓15上,從而在感光鼓15上形成一列的光點(Spot)2。在感光鼓15上,兩個最遠光點2的間距稱為有效掃描窗口3。其中,山為微機電反射鏡10至第一光學(xué)面131a的間距、山為第一光學(xué)面131a至第二光學(xué)面131b的間距、d3為第二光學(xué)面131b至第三光學(xué)面132a的間距、山為第三光學(xué)面13h至第四光學(xué)面132b的間距、山為第四光學(xué)面132b至感光鼓15的間距、Rt為第一光學(xué)面131a的曲率半徑(Curvature)、1(2為第二光學(xué)面131b的曲率半徑、R3為第三光學(xué)面132a的曲率半徑及114為第四光學(xué)面132b的曲率半徑。參照圖4,其為掃描光線投射在感光鼓上后,光點面積(spotarea)隨投射位置的不同而變化的示意圖。當掃瞄光線113a沿光軸方向透過第一鏡片131及第二鏡片132后投射在感光鼓15時,因入射于第一鏡片131及第二鏡片132的角度為零,在主掃描方向所產(chǎn)生的偏移率是零,因此成像于感光鼓15上的光點2a為圓形。當掃描光線113b及113c透過第一鏡片131及第二鏡片132后而投射在感光鼓15時,因入射于第一鏡片131及第二鏡片132與光軸所形成的夾角不為零,在主掃描方向所產(chǎn)生的偏移率不為零,從而造成在主掃描方向的投影長度相對掃描光線113a所形成的光點更大;此情形在副掃描方向也相同,偏離掃描光線113a的掃描光線所形成的光點,也將較大;所以成像于感光鼓15上的光點2b、2c為橢圓形,且2b、2c的面積大于2a。其中,S』與Sb。為微機電反射鏡10反射面上掃瞄光線的光點在主掃描方向(Y方向)及副掃描方向(X方向)的長度。如圖5所示,Ga與Gb為掃瞄光線的高斯光束(GaussianBeams)在光強度為13.5%處的Y方向及X方向的光束半徑,圖5中僅顯示Y方向的光束半徑。綜上所述,本發(fā)明的二片式f6鏡片可將微機電反射鏡10反射的掃描光線和高斯光束的掃描光線進行畸變(distortion)修正,并將時間-角速度的關(guān)系轉(zhuǎn)成時間j巨離的關(guān)系。掃描光線在主掃描方向(Y方向)與副掃描方向(X方向)的光束經(jīng)過f6鏡片被放大,在成像面上產(chǎn)生光點,以提供符合需求的分辨率。為實現(xiàn)上述效果,本發(fā)明提供的二片式fe鏡片在第一鏡片i3i的第一光學(xué)面13la或第二光學(xué)面132a及第二鏡片132的第三光學(xué)面132a或第四光學(xué)面132b,在主掃描方向或副掃描方向,可^吏用J求面曲面或非^求面曲面"i殳計,若使用非球面曲面設(shè)計,其非球面曲面滿足以下曲面方程式1:橫像曲面方程式(Anamorphicequation)+vi-(i+a:"(o)2x2-(i+zo')(O;)2y2fi,'[(卜fi,')義2+(i+~)"]3十cj(卜cv)x2+(i+cP)r]4+/)[(-化')x2+(1+化,)叫5(2)其中,Z為鏡片上任一點以光軸方向至原點切平面的距離(SAG);C、與q,分別為X方向及Y方向的曲率(curvature);尺、.與、分別為X方向及Y方向的圓錐系數(shù)(Coniccoefficient);^、5/(、Q與A分別為旋轉(zhuǎn)對稱(rotationallysymmetricportion)的四次、六次、/\次與十次幕的圓4,變形系凄t(deformationfromtheconic);/lp、^、與分另'J非旋專爭對稱(non—roUtionailysymmetriccomponents)的分另寸為四次、六次、/v次、十次冪的圓4,變形系數(shù)(deformationfromtheconic);當Q=Cv,夂,;、且=~===0,則簡化為單一非球面。2:環(huán)像曲面方程式(Toricequation)Z=Zv+-Or(l/Oc)-Zv(1+a>)(CV)T(3)其中,Z為鏡片上任一點以光軸方向至原點切平面的距離(SAG);C,與C,分別Y方向與X方向的曲率(curvature);/^,為Y方向的圓錐系數(shù)(Coniccoefficient);fi4、&、58與5|0為四次、六;欠、乂\次、十;欠幕的系凄丈(4th—10thordercoefficientsdeformationfromtheconic);當Ct=且10=小==C=化,=0,則簡化為單一球面。為能使掃描光線在目標物上的成像面上維持均等掃描速度,例如,在兩個相同的時間間隔內(nèi),維持兩個光點的間距相等;本發(fā)明的二片式fe鏡片可將掃描光線113a至掃描光線113b之間的光線,通過第一鏡片131及第二鏡片132進行掃描光線出射角的修正,使時間間隔相同的兩個掃描光線,經(jīng)出射角度修正后,在感光鼓15上形成的兩個光點的距離相等。更進一步,當激光束111經(jīng)由微機電反射鏡10反射后,其高斯光束半徑Ga與Gb較大,如果該掃描光線經(jīng)過微機電反射鏡10與感光鼓15之間的距離,則高斯光束半徑G,'與Gh將變得更大,導(dǎo)致不符合實用分辨率要求;本發(fā)明的二片式f6鏡片進一步可將微機電反射鏡10反射的掃描光線113a至掃描光線113b之間的光線形成Ga與Gb較小的高斯光束,使聚焦后的光線成像的感光鼓15上產(chǎn)生較小的光點;尤其,本發(fā)明的二片式f6鏡片更可將成像在感光鼓15上的光點大小均勻化(限制于符合分辨率要求的范圍內(nèi)),以得到最佳的解析效果。本發(fā)明的二片式f6鏡片包含從微機電反射鏡10依次設(shè)置的第一鏡片131及第二鏡片132,所述第一鏡片131由正屈光度新月形且凸面在微機電反射鏡10側(cè)的鏡片所構(gòu)成,所述第二鏡片132由正屈光度新月形且凸面在微機電反射鏡側(cè)的鏡片所構(gòu)成,其中第一鏡片131具有第一光學(xué)面131a及第二光學(xué)面131b,以用于將微機電反射鏡10反射的角度與時間非線性關(guān)系的掃描光線光點轉(zhuǎn)換成距離與時間為線性關(guān)系的掃描光線光點;其中第二鏡片132具有第三光學(xué)面132a及第四光學(xué)面132b,以用于將第一鏡片131的掃描光線修正聚光于目標物上;根據(jù)該二片式f6鏡片將微機電反射鏡10反射的掃描光線在感光鼓15上成像;其中,第一光學(xué)面131a、第二光學(xué)面131b、第三光學(xué)面132a及第四光學(xué)面132b在主掃描方向至少有一個由非球面所構(gòu)成的光學(xué)面、第一光學(xué)面131a、第二光學(xué)面131b、第三光學(xué)面132a及第四光學(xué)面132b在副掃描方向可至少有一個由非i)l面所構(gòu)成的光學(xué)面或在副掃描方向均使用球面所構(gòu)成的光學(xué)面。更進一步,在第一鏡片131及第二鏡片132構(gòu)成和在光學(xué)效果上,本發(fā)明的二片式f6鏡片,在主掃描方向進一步滿足式(4)-式(5)條件./""'(4)ii<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>其中,f(m為第一鏡片131在主掃描方向的焦距、f(m為第二鏡片132在主掃描方向的焦距、山為6=0。第一鏡片131目標物側(cè)光學(xué)面至第二鏡片132微機電反射鏡1Q側(cè)光學(xué)面的距離、山為6=0°第二鏡片132厚度、ds為e=0。第二鏡片132目標物側(cè)光學(xué)面至目標物的距離,f"為二片式f6鏡片在副掃描方向的復(fù)合焦距(combinationfocallength)、G為二片式f6鏡片在主掃描方向的復(fù)合焦距、Rix為第i光學(xué)面在副掃描方向的曲率半徑;1為第i光學(xué)面在主掃描方向的曲率半徑;11(11與&2為第一鏡片131與第二鏡片132的4斤射率(refractionindex)。而且,本發(fā)明的二片式fe鏡片所形成的光點均一性,可以掃描光線在感光鼓15上的光束大小的最大值與最小值的比值5表示,即滿足式(8):niin(5",'.)max(&.&)(8)更進一步,本發(fā)明的二片式fe鏡片所形成的分辨率,可使用n,為微機電反射鏡1Q反射面上掃瞄光線的光點經(jīng)掃描在感光鼓15上光點最大值的比值與11,為微機電反射鏡10反射面上掃瞄光線的光點經(jīng)掃描在感光鼓15上光點最小值的比值為表示,即可滿足式(9)及(10),",max(iS1,,)<0,10(9)=mm(^A)<010畫H)(10)其中,S,.,與Sb為感光鼓15上掃瞄光線形成的任一個光點在Y方向及X12方向的長度、5為感光鼓15上最小光點與最大光點的比值、n為微機電反射鏡10反射面上掃瞄光線的光點與感光鼓15上光點的比值;S:,。與Sb。為微機電反射鏡l(J反射面上掃瞄光線的光點在主掃描方向及副掃描方向的長度。下面,結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實施例及附圖更加詳細說明本發(fā)明的結(jié)構(gòu)及技術(shù)特征。本發(fā)明實施例是針對本發(fā)明微機電激光掃描裝置的二片式f6鏡片的主要構(gòu)成組件而進行說明,因此本發(fā)明的實施例雖然應(yīng)用于微機電激光掃描裝置,但通常的微機電激光掃描裝置除了本發(fā)明提供的二片式fe鏡片之外,而且,本發(fā)明所提供的微機電激光掃描裝置的二片式f6鏡片的構(gòu)成組件并不限制于下面的實施例,其中,微機電激光掃描裝置的二片式fe鏡片的各構(gòu)成組件可以進行各種改變、修改、甚至等效變更,例如第一鏡片131及第二鏡片132的曲率半徑設(shè)計或面型設(shè)計、材質(zhì)選用、間距調(diào)整等并不限制于本發(fā)明的實施例。<第一實施例〉參考圖3及圖6,其中圖6為本發(fā)明的通過第一鏡片及第二鏡片的掃描光線的實施例的光學(xué)路徑圖。本實施例的二片式f6鏡片包含第一鏡片131及第二鏡片132,其中第一鏡片131為正屈光度新月形且凸面在微機電反射鏡10側(cè)的鏡片,第二鏡片132為正屈光度新月形且凸面在微機電反射鏡10側(cè)的鏡片,第一鏡片131的第一光學(xué)面131a為球面,第二光學(xué)面131b、第二鏡片]32的第三光學(xué)面132a與第四光學(xué)面132b均為非球面,利用式(2)進行非球面設(shè)計。其光學(xué)特性與非球面參數(shù)如表一及表二所示。表-一實施例的fe光學(xué)特性光學(xué)面曲率半徑(mm)(curvature)d厚度(mm)(thickness)nd折射率(refractionindex)MEMS反射面R0lens1R1(Anamorphic)Rlx:1:l〈ly*R2x'172.9498.92-14.8621.0710.0015.0011.527R2y*400.00lens2R3(Anamorphic)R3x*37.6012.00R3y*80.62R4(Anamoiphic)R4x*46.52105.91R4y*200.00感光鼓(drum)R5000.00*表示非球面第一實施例的光學(xué)面非球面參數(shù)沖黃《象曲面方牙呈式系凄t(Anamorphicequationcoefficent)先學(xué)面(叩Ucalsu「l'ace)Ky圓雄系l丈(ConicCoefficent)4th次冪系數(shù)OrderCoefficient(AR)6th次冪系數(shù)OrderCoefficient,8th次^系數(shù)OrderCoefficient(CR)10th次冪系數(shù)OrderCoefficient(DR)R1*2.6932E+00-3.3334E-074.6894E-100.0000E+000.0000E+00R2*-9.7558E+01-1.5496E-061.7196E-090.0000E+00O.OOOOE+00R3*-9.2519E+00-7.0393E-072.0284E-110.0000E+00O.OOOOE+00R4*-7.4199E-017.3237E-086.1226E-110.0000E+000.0000E+00Kx圓銀系數(shù)(ConicCoel節(jié)cent)4th次冪系數(shù)OrderCoefficient(AP)6th次冪系數(shù)OrderCosfficiCTit(BP)8th次冪系數(shù)OrderCoefficient(CP)10th次冪系數(shù)OrderCosfficicnt(DP)R1-1.4092E十003.0655E-010.0000E+000.0000E+000.0000E+00-1.4859E+004.3924E-010.0000E+000.0000E+00O.OOOOE+00R3*-1.0000E+01-1.2834E-010.0000E+000.0000E+000.0000E+00R4*2.6997E+011.9110E+000.0000E+000.0OOOE+0O0.0000E+00如上.所構(gòu)成的二片式f6《竟片,f""'=246.44、f(2"=247.59、fsX=21.73.L=128.30(mm)可將掃描光線轉(zhuǎn)換成距離與時間為線性關(guān)系的掃描光線光點,并將微機電反射鏡10上光點SaQ=12.90(nm)、Sh(1=4618.85(jam)掃描成為掃描光線,在感光鼓15上進行聚焦,形成較小的光點6,并滿足式(4)-式(IO)的條件,如表三所示;感光鼓15上以中心軸Z軸在Y方向距離中心軸Y距離(mm)的光點的高斯光束直徑(jjm)如表四所示;且本實施例的光點分布圖如圖7所示。圖中,單位圓直徑為0.Q5咖。表三、第一實施例滿足條件表14<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>表四、第一實施例的感光鼓上光點高斯光束直徑的最大值Y-108.540-95.803-83.471-95.803-59.572-47.757-35.911-23.9970.000Max(2Ga.2Gb)6.86E-038.I9E-037.15E-036.80E-035.20E-034.89E-036.I0E-036.85E-035.62E-03<第二實施例〉本實施例的二片式f6鏡片包含第一鏡片131及第二鏡片132,其中第一鏡片131為正屈光度新月形且凸面在微機電反射鏡10側(cè)的鏡片,第二鏡片132為正屈光度新月形且凸面在微機電反射鏡10側(cè)的鏡片,所述第一鏡片131的第一光學(xué)面131a及第二光學(xué)面131b、第二鏡片132的第三光學(xué)面132a及第四光學(xué)面132b均為非球面,利用式(2)進行非球面公式設(shè)計。其光學(xué)特性與非球面參數(shù)如表五及表六所示。表五、第二實施例的f6光學(xué)特性光學(xué)面(opticalsurface)(curvature)d厚度(mm)(thickness)nd折射率(refractionindex)MEMS反射面ROoolens1Rl(Anamorphic)Rlx*334.26Rly*98.03R2(Anamorphic)R2x*-20.3430.0010.0020.001511.6071R2y":150.00lens21.6071R3(Anamoiphic)R3x*38.2712.00R3y*62.21R4(Anam()rphic)R4x!i:46.80109.56R4y*144.48感光鼓(drum)R5oo0.00*表示非球面第二實施例的光學(xué)面非球面參數(shù)橫像曲面方程式系數(shù)(Anamorphicequationcoefficent)光學(xué)面(opticulKy圓雄系l史(ConicCoefficent)4th次冪系數(shù)Order6th次冪系數(shù)Order8th次冪系ltOrder10th次冪系數(shù)Ordersurface)Coefficient(AR)Coefficient(BR)Coefficient(CR)Coefficient(DR)Rl*9.5512E-01-5.0740E-075.8969E-100.0000E+000.0000E+0012E+00-1.4968E-061.0107E-09O.00O0E+OOO.0OO0E+O0R3*-3.4100E+007.8884E-07-5.3330E-U0.0000E+00O.OOOOE+003.4584E+009.6985E-08-1.4384E-100.0000E+000.0000E+00(ConicCoeffieent)4th次冪系數(shù)Order6th次冪系數(shù)Ordcr8th次冪系萄Order10th次冪系數(shù)OrderCoefficient(A))Coefficient(BP)Coefficient(CP)Coefficient(DP)R):':-2.6995E+024.9030E-010.0000E+000.0000E+000.00O0E+00-1.0237E+004.8240E-010.0000E+000.0000E+000.0000E+00-7.0333E+00-1.7722E-010.0000E+000.0000E+000.0000E+00R4*1.0000E+012.2029E+000.0000E+000.0000E+000.0000E+00如上構(gòu)成的二片式f6鏡片,f(Y=442.09、f(2)y=173.53、fsX=40.302、l'、Y=-481)(mm)可將掃描光線轉(zhuǎn)換成距離與時間為線性關(guān)系的掃描光線光點,并將微機電反射鏡10上光點S:lU=12.902Uim)、SbQ=4618.85Um)掃描成為掃描光線,在感光鼓15上進行聚焦,形成較小的光點8,并滿足(4)-式(IO)的條件,如表七所示;感光鼓15上以中心軸Z軸在Y方向距離中心軸Y距離(i腦)的光點的高斯光束直徑(pin),如表八所示;且本實施例的光點分布圖如圖8所示。圖中,單位圓直徑為0.05mm。表七、第二實施例滿足條件表<table>tableseeoriginaldocumentpage17</column></row><table>表八、第二實施例的感光鼓上光點高斯光束直徑的最大值Y-107.459-()4.257-82.422-()4.257-59.721-4S.240-36.499-24.4980.000Max(2Ga.2GI"8.95E-037.75E-039.11E-031.13E-027.74E-033.85E-036.00E-037.21E-031.06E-02<第三實施例〉本實施例的二片式f6鏡片包含第一鏡片131及第二鏡片132,其中第一鏡片131為正屈光度新月形且凸面在微機電反射鏡側(cè)的鏡片,第二鏡片132為正屈光度新月形且凸面在微機電反射鏡10側(cè)的鏡片,第一鏡片131的第一光學(xué)面131a與第二光學(xué)面131b、第二鏡片132的第三光學(xué)面132a與第四光學(xué)面132b均為非球面,利用式(2)進行非球面公式設(shè)計。其光學(xué)特性與非球面參lt如表九及表十所示。表九、第三實施例的fe光學(xué)特性_<table>tableseeoriginaldocumentpage17</column></row><table>R2X:':-14.6814.27R2y:':100.00lt'ns2R3(Anam()rphic)R3x*27.2510.00R3y*67.01R4(Anamorphic)R4x:l:27.77109.87R4y*180.68感光鼓(drum)R5GO0.00*表示非球面表十、第三實施例的光學(xué)面非球面參數(shù)才黃像曲面方牙呈式系lfc(Anamorphicequationcoefficent)光學(xué)面(opticalKy圓《偉系凄文(ConicCoefficent)4th次冪系數(shù)Order6th次幕系數(shù)Order8th次冪系萄Order10th次冪系數(shù)Ordersurface)(AR)Coefficient(BR)Cosfficirat(CR)Coefficient(DR)Rl*6.9114E+00-2.9590E-06-2.2680E-090.0000E+000.0000E+00R2:1:3.27(J2E+00-1.6096E-061.9163E-090.0000E+000.0000E+00R3*-4.9866E+001.3901E-053.5936E-110.0000E+000.0000E+00R4*1.1025E+019.0997E-08-7.0192E-110.0000E+000.0000E+00數(shù)(ConicCoefficent)4th次冪系數(shù)6th次冪系H8th次冪系數(shù)10th次冪系數(shù)OrderOrderOrderOrderCoefficient(AP)Coefficient(BP)Coefficient(CP)Coefficient(DP)R"=0扁0E+000.0000E+000.0000E+000.0000E+000.0000E+00R2*-1.0492E+005.3703E-010.0000E+000.0000E+000.0000E+00R3*-7.1015E+00-9.3537E-010.0000E+000.0000E+000.0000E+00R4:1:l細0E+012.0970E+000.0000E+000.0000E+000.0000E+00如上構(gòu)成的二片式fB鏡片,t)1)Y=420.884、f(2)Y=172.712、fsX=22.667、t;、二129.254(mm)可將掃描光線轉(zhuǎn)換成距離與時間為線性關(guān)系的掃描光線光點,并將微機電反射鏡10上光點Su(,=12.90(pm)、Sb,尸4618.85((im)掃描成為掃描光線,在感光鼓15上進行聚焦,形成較小的光點10,并滿足(4)式(10)的條件,如表十一所示;感光鼓15中心軸Z軸在Y方向距離中心軸Y距離(mm)的光點的高斯光束直徑(iim),如表十二所示;本實施例的光點分布圖如圖9所示。圖中,單位圓直徑為0.05mm。18<i3+<i4+d5主掃描方向副^M苗方向(1幾iil+K,廣i)、凡.—凡.)+(11凡..^7/max7111in(5、/'()Ao)miiW&,)0.31870.63610.63980.08600.81740.06700.0501表十二、第三實施例的感光鼓上光點高斯光束直徑的最大值Y-108.051-94.880-82.684-94.880-59.373-47.760-36.016-24.118O.()OOMax(2Ga.2Gb)9.41E-038.98E-039.21E-039.01E-036.77E-038.32E-039.21E-039.66E-038.04E-03<第四實施例〉本實施例的二片式f6鏡片包含第一鏡片131及第二鏡片13i其中第一鏡片131為正屈光度新月形且凸面在微機電反射鏡側(cè)的鏡片,第二鏡片132為正屈光度新月形且凸面在微機電反射鏡10側(cè)的鏡片,第一鏡片131的第一光學(xué)面131a與第二光學(xué)面131b、第二鏡片132的第三光學(xué)面132a與第四光學(xué)面132b為非球面,利用式(2)進行非球面公式設(shè)計。其光學(xué)特性與非球面參數(shù)如表十三及表十四所示。表十三、第四實施例的f6光學(xué)特性光學(xué)面曲率半徑(mm)d厚度(mm)nd折射率(opticalsurface)(curvature)(thickness)(refractionindex)MEMS反射面R0oo21.351lens11.527Rl(Anamorphic)Rlx*100.3710.00Rly*102.06R2(Anamorphic)19R2x*-16.6815.00R2y*494.58lens2R3(Anamorphic)R3x:"27.8110.00R3y*83.13R4(Aiiamorphic)R4x*48.11107.56R4y*213.63感光鼓(dmm)R5CO0.00*表示非球面隊十四、第四實施例的光學(xué)面非球面參數(shù)4黃《象曲面方考呈式系H(Anamorphicequationcoefficent)光學(xué)面(opticalsurface)Ky圓《,系蕃t(ConcCoefficent)4th次冪系數(shù)OrderCoefficient(AR)6th次冪系數(shù)OrderCoefficient_LBR^_8th次冪系數(shù)OrderCoefficient(CR)10th次冪系數(shù)OrdCTCoefficient(DR)R2*1.8244E+00-1.0000E+01-S.7057n+008.5239E-01-2.5640E-07-1.5806E-06-8.76)4E-079.6192E-085.7420E-101.9968E-097.7638E-H-8.5522E-120.0000E+000.0000E+000.0000E+000.0000E+000.0000E+000.0000E+00O.OOOOE十OO0.0000E+00Rr1R2:iR35'Kx圓銀系l丈(ConicCoefTicent)4th次冪系數(shù)()rderCoefficient(AP)6th次冪系數(shù)OrderCoefficient(BP)8th次冪系ltOrderCoefficient(CP)10th次冪系數(shù)OrderCoefficient(DP)-1.0821E+01-1.190犯+00-7.5687E+001.0000E+019.8456E-024.6430E-01-3.6162E-012.2819E+000.0000E+000.0000E+000.0000E+000細0E+000.0000E十00O.OOOOE+000.0000E+000.0000E+000.0000E+000.0000E+00O.OOOOE+000.0000E+00如上構(gòu)成的二片式仿鏡片,fWY=241.788、f(2)Y=251.443、fsX=23.607、t)Y=l28.23(mm)可將掃描光線轉(zhuǎn)換成距離與時間為線性關(guān)系的掃描光線光點,并將微機電反射鏡IO上光點Sa0=12.902(拜)、Sb(尸4618.85(^m)掃描成為掃描光線,在感光鼓15上進行聚焦,形成較小的光點12,并滿足(4)式(10)的條件,如表十五所示;感光鼓15中心軸Z軸在Y方向3巨離中心軸Y距離(mm)的光點的高斯光束直徑(iim),如表十六所示;且本實施例的光點分布圖如圖10所示。圖中,單位圓直徑為0.05mm。表十五、第四實施例滿足條件表20rf3+rf4+f/5Z(2))'主掃描方向副掃描方向,-丄)!<A,2-l)1)+(11-仏(),仏,—max".5、)0.54820.42770.54820.42820.83410.05180.0432表十六、第四實施例的感光鼓上光點高斯光束直徑的最大值Y-108.540-95.836-83.523-95.836-59.598-47.760-35.900-23.9830.000Mix(2(上i.2Gb)').35E-038.17E-034.93E-035.22E-038.17E-039.92E-031.07E-()21.06E-O27.39E-03<第五實施例〉本實施例的二片式f6鏡片包含第一鏡片131及第二鏡片132,其中第一鏡片131為正屈光度且凸面在微機電反射鏡10側(cè)的鏡片,第二鏡片132為正屈光度新月形且凸面在微機電反射鏡10側(cè)的鏡片,在第一鏡片131的第一光學(xué)面131a,利用式(3)進行非球面設(shè)計,在第一鏡片131的第二光學(xué)面131b、第二鏡片132的第三光學(xué)面132a與第四光學(xué)面132b為非^^面,利用式(2)進行非球面公式設(shè)計。其光學(xué)特性與非球面參數(shù)如表十七及表十八所示。表十七、第五實施例的f6光學(xué)特性_光學(xué)面曲率半徑(mm)d厚度(mm)nd折射率(opticalsurface)(curvature)(thickness)(refractionindex)MEMS反射面R0oo21.391lens11.527Rl(YTot-oid)Rlx109.7510.00Rly*99.68R2(Anamorphic)R2x*-16.7615.00R2y*400.00lens21.527R3(Anamorphic)R3x*27.4910.00R3y*79.67R4(Anamorphic)R4x*48.85107.64R4y*200.00感光鼓(drum)R5_^_^2_*表示非球面表十八、第五實施例的光學(xué)面非球面參數(shù)環(huán)像曲面方程式系數(shù)ToricequationCoefficient光學(xué)面(ConicCoefficent)4th次冪系數(shù)6th次冪系數(shù)8th次冪系l史10th次冪系數(shù)(opticalOrderOrderOrderOrdCTsurface)Coefficient(B4)Coefficient(B6)Coefficient(B8)Coefficient(B10)R1*6.9114E+00-2.95WE-06-2.2680E-090.0000E+000.0000E+00斗黃^象曲面方程式系數(shù)(Anamo卬hicequationcoefficent)光學(xué)面Ky圓4偉系lt(ConicCoefficent)4th次冪系數(shù)6th次冪系數(shù)8th次冪系智10th次冪系數(shù)(opticalOrderOrdsrOrderOrdersui.l'ace)Coefficient(AR)Coefficient(BR)Coefficient(CR)Coefficient(DR)-5.4061E+00-1.5754E-062.0020E-090.0000E+000.0000E+00R3*-8.1703E+00-7.770]E-076.8357E-110.0000E+000.0000E+00R4:1<-8.0871E-029.5004E-08-2.6909E-120.0000E+000.0000E+00光學(xué)面(■opticalsurface)Kx圓錐系數(shù)(Conic4th次冪系數(shù)Oder6th次冪系數(shù)Order8th次冪系凄丈Order10th次冪系數(shù)OrderCoefficientCoefficientCoefficientCoefficientLoelticent)(AP)(BP)(CP)(DP)R2*-L1601E十004.6121E-010.0000E+000.0000E+00O.OOOOE+00R3*-7.1828E+00-3.7458E-010.0000E+000.0000E+000.0000E+00R4*l扁0E+012.2675E+000.0000E+000.0000E+000.0000E+00如上構(gòu)成的二片式傷鏡片,f(1)Y=420.884、f(2)Y=172.712、fsX=22.667、fsY=129.254(mm)可將掃描光線轉(zhuǎn)換成距離與時間為線性關(guān)系的掃描光線光點,并將微機電反射鏡10上光點Sa。=12.902(|im)、Sb(^4618.848([im)掃描成為掃描光線,在感光鼓15上進行聚焦,形成較小的光點12,并滿足(4)式(10)的條件,如表十九所示;感光鼓15上以中心軸Z軸在Y方向距離中心軸Y距離(mm)的光點的高斯光束直徑(iim),如表二十所示;且本實施例的光點分22布圖如圖U所示。圖中,單位圓直徑為0.05mm。表十九、第五實施例滿足條件表《十rf4+rf5/(2)>'主掃描方向副掃描方向乂((/''"-U!("'"-1)尺,—)+(1凡7max(iS,)51。)0.53280.44080.54860.44690.83460.05100.0426表二十、第五實施例感光鼓上光點高斯光束直徑的最大值Y-108.528-95.772-83.458-95.772-59.579-47.760-35.910-23.9950.000Vhix(2Ga.2Gb)';.'WE-038.27E-035.03E-035.6()E皿038.S4E力31.06E-021.14E-021.12E-027.64E-03由上述實施例說明可知,本發(fā)明具有如下的效果根據(jù)本發(fā)明的二片式fe鏡片的設(shè)置,可將呈簡諧運動的微機電反射鏡在成像面上光點間距由原來隨時間增加而遞減或遞增的非等速率掃描現(xiàn)象,修正為等速率掃描,使激光束在成像面的投射作等速率掃描,使成像于目標物上形成的兩相鄰光點間距相等。(1)根據(jù)本發(fā)明的二片式f6鏡片的設(shè)置,可畸變修正主掃描方向及副掃描方向掃描光線,使聚焦于成像的目標物上的光點得以縮小。(2)根據(jù)本發(fā)明的二片式f6鏡片的設(shè)置,可畸變修正主掃描方向及副掃描方向掃描光線,使成像在目標物上的光點大小均勻化。(3)以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例,對本發(fā)明來說,僅是說明性的,而非限制性的;本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明權(quán)利要求所限定的精神和范圍內(nèi)可對其進行改變,修改,甚至等效變更,但都屬于本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。權(quán)利要求1、一種微機電激光掃描裝置的二片式fθ鏡片,其適用于微機電激光掃描裝置,所述微機電激光掃描裝置至少包含用以發(fā)射光束的光源、用以共振左右擺動將光源發(fā)射的光束反射成為掃描光線的微機電反射鏡、及用以感光的目標物;所述二片式fθ鏡片包含從所述微機電反射鏡依次設(shè)置的正屈光度新月形且凸面在所述微機電反射鏡側(cè)的第一鏡片及正屈光度新月形且凸面在所述微機電反射鏡側(cè)的第二鏡片,其中所述第一鏡片具有第一光學(xué)面及第二光學(xué)面,所述第一光學(xué)面與所述第二光學(xué)面在主掃描方向至少有一個光學(xué)面由非球面所構(gòu)成,以用于將所述微機電反射鏡反射的角度與時間非線性關(guān)系的掃描光線光點轉(zhuǎn)換成距離與時間為線性關(guān)系的掃描光線光點;所述第二鏡片具有第三光學(xué)面及第四光學(xué)面,所述第三光學(xué)面與所述第四光學(xué)面在主掃描方向至少有一個光學(xué)面由非球面所構(gòu)成,以用于將所述第一鏡片的掃描光線修正聚光于所述目標物上;根據(jù)所述二片式fθ鏡片將所述微機電反射鏡反射的掃描光線成像于所述目標物上。2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電激光掃描裝置的二片式f6鏡片,其特征在于在主掃描方向進一步滿足下列條件<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>其中,f(m為所述第一鏡片在主掃描方向的焦距、fm、為所述第二鏡片在主掃描方向的焦距、&為6=0°所述第一鏡片目標物側(cè)光學(xué)面至所述第二鏡片微機電反射鏡側(cè)光學(xué)面的距離、山為e-o。所述第二鏡片的厚度、ds為6=0。所述第二鏡片目標物側(cè)光學(xué)面至所述目標物的距離。3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電激光掃描裝置的二片式f6鏡片,其特征在于進一步滿足下列條件在主掃描方向滿足<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>在副掃描方向滿足<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>其中,fuH與f。n為所述第一鏡片及所述第二鏡片在主掃描方向的焦距、f、、為二片式fe鏡片在副掃描方向的復(fù)合焦距、G為二片式fe鏡片在主掃描方向的復(fù)合焦距、R"為第i光學(xué)面在副掃描方向的曲率半徑、nw與2分別為所述第一鏡片與所述第二鏡片的折射率。4、根據(jù)權(quán)利要求i所述的微機電激光掃描裝置的二片式fe鏡片,其特征在于最大光點與最小光點大小的比值滿足其中,S;,與Sb為目標物上掃瞄光線形成的任一個光點在主掃描方向及副掃描方向的長度、5為所述目標物上最小光點與最大光點的比值。5、根據(jù)權(quán)利要求i所述的微機電激光掃描裝置的二片式fe鏡片,其特征在于所述目標物上最大光點的比值與在所述目標物上最小光點的比值分別〉兩足=隱(",)<010;/n,mfC、,、其中,S,"與Sb。為所述微機電反射鏡反射面上掃瞄光線的光點在主掃描方向及副掃描方向的長度、S,'與Sb為目標物上掃瞄光線形成的任一個光點在主掃描方向及副掃描方向的長度、Tl,為所述微機電反射鏡反射面上掃瞄光線的光點經(jīng)掃描在所述目標物上最大光點的比值、Tlml為所述微機電反射鏡反射面上掃瞄光線的光點經(jīng)掃描在所述目標物上最小光點的比值。全文摘要本發(fā)明涉及一種微機電激光掃描裝置的二片式fθ鏡,第一鏡片為正屈光度新月形且凸面在微機電反射鏡側(cè)的鏡片,第二鏡片為正屈光度新月形且凸面在微機電發(fā)射鏡側(cè)的鏡片,其中第一鏡片具有二個光學(xué)面,在主掃描方向至少有一個光學(xué)面由非球面所構(gòu)成,第二鏡片具有二個光學(xué)面,在主掃描方向至少有一個光學(xué)面由非球面所構(gòu)成,主要將微機電反射鏡反射的角度與時間非線性關(guān)系的掃描光線光點轉(zhuǎn)換成距離與時間為線性的掃描光線光點,修正聚光于目標物上,且第一鏡片及第二鏡片均滿足特定的光學(xué)條件,通過第一鏡片及第二鏡片的設(shè)置,可實現(xiàn)線性掃描效果與高分辨率掃描的目的。文檔編號G02B26/10GK101650474SQ20081021046公開日2010年2月17日申請日期2008年8月15日優(yōu)先權(quán)日2008年8月15日發(fā)明者施柏源申請人:一品光學(xué)工業(yè)股份有限公司
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