專利名稱：光纖束及光源裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及到一種使光集聚并出射的光纖束及具有該光纖束的光 源裝置。
背景技術(shù)：
光纖束是使多個(gè)光纖成束并加工了末端部而成，使用光纖束的光 源裝置應(yīng)用于光譜分析、液晶顯示器、曝光設(shè)備等。要求光纖束具有 高密度地集聚、出射均勻的光的功能。
作為高密度地集聚的技術(shù)，研究了盡量使細(xì)徑光纖成束的方法。 專利文獻(xiàn)1公開了如下光纖束在光纖束的激光出射端一側(cè)，以在多 個(gè)芯上傳送的激光的橫向方式彼此不影響的最低限度的間隔來配置多 個(gè)光纖，用比多個(gè)芯低折射率的包層覆蓋其周圍。并且，專利文獻(xiàn)2 公開了使用如下光纖束的光源裝置將由包層直徑不同的大徑部和小 徑部構(gòu)成的多個(gè)光纖在小徑部一側(cè)成束。專利文獻(xiàn)2中記載有通過 使小徑部的包層直徑d2為大徑部的包層直徑山的l/2fl'5以下，提高多 個(gè)光纖的排列密度，和均勻的包層直徑相比，實(shí)現(xiàn)2倍以上的光功率 密度(參照第0025段)。
并且，作為出射均勻的光的技術(shù)，包括在光纖束的出射端一側(cè)配 置玻璃棒、復(fù)眼透鏡等光學(xué)系統(tǒng)并使之均化的方法，但由于需要光學(xué) 系統(tǒng)，其構(gòu)成復(fù)雜，長(zhǎng)期穩(wěn)定性不充分。與之相對(duì)，不通過光學(xué)系統(tǒng) 實(shí)現(xiàn)均化，而研究了通過在光源一側(cè)控制入射光功率而使出射光平均
化的方法。專利文獻(xiàn)3公開了如下光纖束成束的多個(gè)光纖中入射的 光源的入射光功率可按照各光纖、或各個(gè)和出射端位置對(duì)應(yīng)的組來調(diào) 整。并且，專利文獻(xiàn)4公開了如下光纖束使入射光統(tǒng)一輸入到多個(gè)光纖，以使成束的多個(gè)光纖的光功率在各光纖中不同。
專利文獻(xiàn)l:日本專利特開平11-23867號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)2:日本專利特開2006-301121號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)3:日本專利特開2003-322730號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)4:日本專利特開2004-37720號(hào)公報(bào)
根據(jù)專利文獻(xiàn)1及專利文獻(xiàn)2的方法，可使細(xì)徑的光纖成束，但 不僅需要難于加工的光纖的細(xì)微加工，而且隨著細(xì)徑化的推進(jìn)，處理 也變得困難，并且光纖自身的強(qiáng)度也會(huì)下降，從而會(huì)使電纜化處理等 變得困難。尤其是，光纖越長(zhǎng)其難度越大，而光纖束長(zhǎng)度，其設(shè)計(jì)自 由度會(huì)下降。
并且，專利文獻(xiàn)3的光纖束可按照各光纖、或和出射端的位置對(duì) 應(yīng)的各個(gè)組任意調(diào)整出射圖案，因此可出射具有所需光量分布的光， 但需要對(duì)和多個(gè)光纖對(duì)應(yīng)的所有光源配置光量控制裝置，或者當(dāng)不使 用光量控制裝置時(shí)，為了使多個(gè)光源的規(guī)格為所需的光量分布，需要 使之不同，裝置構(gòu)造復(fù)雜。并且，專利文獻(xiàn)4的光纖束為了統(tǒng)一輸入 入射光，高功率的光聚光到入射端面，因此入射端面高溫化，光纖材 料衰退會(huì)造成性能下降。針對(duì)這一現(xiàn)象，專利文獻(xiàn)4中在入射部配置 金屬棒等進(jìn)行散熱，但不僅裝置構(gòu)造變得復(fù)雜，而且未記載散熱效果 相關(guān)的任何具體數(shù)值，不知具有怎樣程度的散熱效果。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于以上事實(shí)而產(chǎn)生，其目的在于提供一種光纖高密度地 集聚且可均勻照射的、裝置構(gòu)造簡(jiǎn)單、處理容易的光纖束。
本發(fā)明的光纖束具有第1光纖束部和第2光纖束部，所述第1光 纖束部具有集聚功能光纖束部，將多個(gè)光纖在該光纖的光出射端一 側(cè)排列并成束，以使分別入射到多個(gè)光纖的多個(gè)入射光集聚出射；和平均功能光纖部，使來自該集聚功能光纖束部的出射光平均化地出射， 所述第2光纖束部，將多個(gè)第1光纖束部的平均功能光纖部在該平均 功能光纖部的光出射端一側(cè)排列并成束，以使來自多個(gè)第1光纖束部 的出射光集聚出射，其中，平均功能光纖部由如下光纖構(gòu)成該光纖 至少在平均功能光纖部的光入射端面中，具有和集聚功能光纖束部的 光出射端面中的光出射區(qū)域同等以上的大小的芯部，集聚功能光纖束 部的光出射端和平均功能光纖部的光入射端抵接，集聚功能光纖束部 和平均功能光纖部能夠裝卸。
優(yōu)選的是，上述第2光纖束部，在該第2光纖束部的光出射端面 中，將上述平均功能光纖部以一維地緊密結(jié)合的方式排列并成束。
優(yōu)選的是，上述集聚功能光纖束部的多個(gè)光纖，在上述集聚功能 光纖束部的光出射端面中，以使截面二維狀地緊密結(jié)合的方式排列并 成束。
優(yōu)選的是，上述集聚功能光纖束部的光出射端和上述平均功能光 纖部的光入射端，經(jīng)由用于抑制該光出射端和該光入射端粘合的保護(hù) 介質(zhì)而抵接，上述集聚功能光纖束部和上述平均功能光纖部能夠經(jīng)由 上述保護(hù)介質(zhì)裝卸。所述構(gòu)造的光纖束優(yōu)選應(yīng)用于上述入射光是波長(zhǎng)
190nm 530nm的光的情況。
其中，"用于抑制光出射端和光入射端粘合的保護(hù)介質(zhì)"是指， 兩個(gè)端面在常溫下處于物理抵接狀態(tài)時(shí)、防止在抵接部中兩個(gè)端面的 材料之間產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)并因熔融等而粘合的保護(hù)介質(zhì)，當(dāng)以500g重的 負(fù)荷使光出射端和光入射端抵接后離開時(shí)、或從抵接部開始相對(duì)移動(dòng) 時(shí)，抑制粘合，使得在抵接部中，在兩個(gè)端面產(chǎn)生的附著物或附著物 的表面凹凸為X/2以下(入是入射的光的起振波長(zhǎng))。
上述保護(hù)介質(zhì)優(yōu)選含有氟化物，進(jìn)一步優(yōu)選上述保護(hù)介質(zhì)含有從
8由YF3、 LiF、 MgF2、 NaF、 LaF3、 BaF2、 CaF2、及A1F3構(gòu)成的群中選 擇的至少一種氟化物。
本發(fā)明的光纖束，優(yōu)選的是，第2集聚功能光纖束部的光出射端 與構(gòu)成上述集聚功能光纖束部的多個(gè)光纖中的至少一個(gè)光纖的光入射 端抵接，上述第2集聚功能光纖束部是將多個(gè)光纖在該光纖的出射端 一側(cè)排列并成束，以使分別入射到該多個(gè)光纖的多個(gè)入射光集聚出射， 上述至少一個(gè)光纖在該光纖的光入射端面中具有比上述第2集聚功能 光纖束部的光出射端面中的光出射區(qū)域大的芯部，上述至少一個(gè)光纖 和上述第2集聚功能光纖束部能夠裝卸。
本發(fā)明的光源裝置的特征在于，具有上述本發(fā)明的光纖束；多 個(gè)光源；和光入射單元，將來自該多個(gè)光源的光入射到上述光纖束的 上述集聚功能光纖束部的多個(gè)光纖的各光入射端。
本發(fā)明的光纖束具有第1光纖束部和第2光纖束部，該第1光纖 束部具有集聚功能光纖束部，將多個(gè)光纖在光出射端一側(cè)排列并成 束；和平均功能光纖部，使來自集聚功能光纖束部的出射光平均化地 出射，該第2光纖束部，將多個(gè)第1光纖束部的平均功能光纖部在光 出射端一側(cè)排列成束，其中，平均功能光纖部由如下光纖構(gòu)成該光
纖至少在光入射端面中，具有和集聚功能光纖束部的光出射端面中的 光出射區(qū)域同等以上的大小的芯部。
根據(jù)上述構(gòu)造，在具有和集聚功能光纖束部的光出射區(qū)域同等以 上的大小的芯部的光纖內(nèi)，在集聚功能光纖束部集中的各個(gè)光平均化， 因此可從平均功能光纖部的光出射端出射平均的光，并且通過平均功 能光纖部的光纖長(zhǎng)度的調(diào)整，可確保出射平均的光。進(jìn)一步，可將通 過平均功能光纖部平均化的光集聚多個(gè)并以所需的圖案排列出射，因 此可以所需的圖案出射高密度、.高平均性的光。并且，集聚功能光纖束部的光出射端和平均功能光纖部的光入射 端抵接。即，無需復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)、控制單元等，而可使集聚的光平 均化，裝置構(gòu)造簡(jiǎn)易。進(jìn)一步，可裝卸集聚功能光纖束部和平均功能 光纖部，因此規(guī)格變更伴隨的光纖的集聚度等變更時(shí)、或故障時(shí)，可 對(duì)應(yīng)于變更處、故障處，更換集聚功能光纖束部和平均功能光纖部的 任意一個(gè)。因此，設(shè)計(jì)自由度增大，易于處理。


圖1是表示本發(fā)明涉及的實(shí)施方式的光纖束及具有該光纖束的光 源裝置的構(gòu)造的截面圖。
圖2是圖1的光纖束的集聚功能光纖束部的光出射端和平均功能 光纖部的光入射端的抵接部的放大截面圖。
圖3是圖1的光纖束的集聚功能光纖束部的光出射端面和平均功
能光纖部的光入射端面的概要圖。
圖4 (a)及(b)是表示集聚功能光纖束部的光出射端面中的排列 的圖。
圖5 (a) ~ (d)是表示第2光纖束部的光出射端面中的平均功能 光纖部的排列的圖。
圖6是抵接部結(jié)合的光纖的抵接部的截面圖。
圖7是抵接部破損的光纖的抵接部的截面圖。
圖8是表示氧化物膜及氟化物膜的波長(zhǎng)248nm的脈沖激光的吸收 系數(shù)和損傷閾值的關(guān)系的圖。
圖9是用于保護(hù)膜不同時(shí)的出射光的光輸出特性的評(píng)價(jià)的光設(shè)備 的主要部分的概要截面圖。
圖IO是表示保護(hù)膜的膜厚為A/2、入/6時(shí)的出射光的光輸 出的經(jīng)時(shí)變化的圖。
圖11是表示保護(hù)膜的膜厚為A/6及A/12時(shí)的出射光的光輸出的 經(jīng)時(shí)變化的圖。
圖12是表示保護(hù)膜的成膜方法為蒸鍍法及離子輔助法時(shí)的出射 光的光輸出的經(jīng)時(shí)變化的圖。圖13是表示使圖l所示的光纖束的集聚功能光纖束部為多級(jí)構(gòu)造 時(shí)的構(gòu)成的截面圖。
圖14是圖13的光纖束的第2集聚功能光纖束部的光出射端和集
聚功能光纖束部的光入射端的抵接部的放大截面圖。
圖15是來自實(shí)施例1的光纖束的出射光的近視野圖案。(a)是4 通道點(diǎn)亮?xí)r，(b)是1通道點(diǎn)亮?xí)r的情況。
具體實(shí)施例方式
(光纖束、光源裝置) 參照附圖，說明本發(fā)明涉及的一個(gè)實(shí)施方式的光源裝置。圖1是 表示本實(shí)施方式的光源裝置及光纖束的構(gòu)造的概要截面圖。圖1示例 了使12根光纖集聚的光纖束，在圖1中，各部分的比例為了易于識(shí)別 而進(jìn)行了適當(dāng)?shù)淖兏?br> 如圖1所示，本實(shí)施方式的光源裝置2具有光纖束1;多個(gè)光
源20;和光入射單元21，使從多個(gè)光源20出射的入射光L1入射到光 纖束1的集聚功能光纖束部3的多個(gè)光纖30的各光入射端31。光源裝 置2使來自多個(gè)光源20的入射光Ll通過光纖束1集聚并出射。
在本實(shí)施方式中，光入射單元21是單芯SC連接器，以和光源20 個(gè)數(shù)相同的個(gè)數(shù)設(shè)置在連接器盒22上。在連接器盒22內(nèi)收容光纖束1 的除了光出射端62側(cè)的一部分以外的其他部分，構(gòu)成光纖束1的集聚 功能光纖束部3的多個(gè)光纖30的光入射端31連接到各SC連接器。
由保護(hù)管60覆蓋的光纖束1的第2光纖束部6的光出射端62側(cè) 的一部分從連接器盒22的光出射口 23伸出，在光出射端62上安裝有 FC套管63。
光纖束1具有第1光纖束部5和第2光纖束部6。所述第1光纖 束部5具有集聚功能光纖束部3，將多個(gè)光纖30在光出射端32 —側(cè)排列成束，以使分別入射到多個(gè)光纖30的多個(gè)入射光Ll集聚出射；
和平均功能光纖部4，具備使來自集聚功能光纖束部3的出射光平均化 地出射的光纖40。所述第2光纖束部6，將多個(gè)第1光纖束部5的平 均功能光纖部4在光出射端42—側(cè)排列成束，以使來自多個(gè)第1光纖 束部5的出射光集聚出射。
集聚功能光纖束部3及第2光纖束部6中的多個(gè)光纖30及平均功 能光纖部4的束，通過將光纖以所需圖案排列后、用粘合劑固定而制 造。作為粘合劑優(yōu)選具有和使用的光源對(duì)應(yīng)的耐熱溫度。要求的耐熱 溫度超過30(TC時(shí)，使用無機(jī)類的耐熱粘合劑。
集聚功能光纖束部3的光出射端32和平均功能光纖部4的光入射 端41分別插入到套管(ferrule) 30a、 40a (圖1中省略圖示)中，在 套筒50 (保持部件)內(nèi)經(jīng)由保護(hù)介質(zhì)51利用光學(xué)連接器抵接。因此， 集聚功能光纖束部3和平均功能光纖部4可裝卸。抵接部的抵接壓力 優(yōu)選為4.9N 11.8N。
插入到套管30a及40a的兩個(gè)端面被研磨加工，其端面形狀只要 是連接損失少的形狀即可，無特別限制，包括半球面狀、平面狀等。 作為套管30a及40a使用SC套管時(shí)，作為套筒50可使用SC連接器。
圖2是圖1的集聚功能光纖束部3的光出射端32和平均功能光纖 部4的光入射端41的抵接部的放大截面圖，圖3是圖1的集聚功能光 纖束部3的光出射端面32a和平均功能光纖部4的光入射端面41a的概 要圖。如圖3所示，平均功能光纖部4的光纖40至少在光入射端面41a， 具有和集聚功能光纖束部3的光出射端面32a中的光出射區(qū)域32r同等 以上的大小的芯部41r。通過所述構(gòu)造，平均功能光纖部4接收來自集 聚功能光纖束部3的所有出射光，并可平均地出射。
多個(gè)光纖30的材料沒有特別限定，包括以Si02、石英為主成分的玻璃類光纖等，可根據(jù)入射光L1的波長(zhǎng)選擇適當(dāng)?shù)牟牧?。光纖的種類 沒有特別限定，考慮到對(duì)光源等的應(yīng)用，優(yōu)選多模光纖。
多個(gè)光纖30構(gòu)成集聚功能光纖束部3，因此為了更高密度地集聚，
優(yōu)選其光纖直徑為更細(xì)徑。但是，光纖越細(xì)徑化，處理越難，光纖長(zhǎng) 度從處理困難性、生產(chǎn)成品率的角度出發(fā)，也不得不短些，存在這些 設(shè)計(jì)自由度上的限制。并且，如在背景技術(shù)中所述，將非常細(xì)的光纖 高密度集聚后的光纖束的電纜化處理非常困難。因此，優(yōu)選盡量通過 直徑粗的光纖形成集聚構(gòu)造。本實(shí)施方式的光纖束1是將平均功能光
纖部4進(jìn)一步成束集聚的二級(jí)集聚構(gòu)造，該平均功能光纖部4使來自 集聚功能光纖束部3的出射光平均出射。因此，當(dāng)要求的光量確定時(shí)， 這種二級(jí)集聚構(gòu)造和通常的單一集聚構(gòu)造相比， 一次集聚的光纖的個(gè) 數(shù)可較少。即，和單一集聚構(gòu)造相比，可由大口徑的光纖形成集聚光 纖束部3。例如，在單一集聚構(gòu)造下，集聚外徑50um左右的光纖時(shí)， 在圖l所示的構(gòu)造中，可以使外徑為80"m左右。如果具有這種程度 的光纖直徑，則光纖長(zhǎng)度可以是易處理的50cm lm左右。
并且，當(dāng)集聚的光纖個(gè)數(shù)多時(shí)，例如超過20根時(shí)，不易處理，因 此使光纖成束時(shí)所使用的粘合劑的量容易產(chǎn)生不均，因該粘合不均， 研磨光纖束的光出射端面時(shí)產(chǎn)生影響，可能會(huì)使研磨狀態(tài)不穩(wěn)定。如 上所述，光纖束1可減少在集聚功能光纖束部3集聚的光纖的個(gè)數(shù)， 因此可難以產(chǎn)生粘合不均。進(jìn)一步，針對(duì)集聚度的高密度化的要求， 通過使下述集聚功能光纖束部為多級(jí)構(gòu)造，可使一個(gè)集聚根數(shù)在保持 易處理性的根數(shù)的同時(shí)，提高集聚度。
在集聚功能光纖束部3中，多個(gè)光纖30的排列圖案沒有特別限定， 但如果是圖4 (a)及(b)所示的同心圓狀(二維狀)地緊密結(jié)合而成 束的排列時(shí)，易于使細(xì)徑的光纖成束，從而優(yōu)選。最終的出射圖案由 第2光纖束部6的光出射端62中的平均功能光纖部4的排列圖案決定， 因此在光纖束1中，可通過易集聚的同心圓狀的排列而成束。平均功能光纖部4由一根多模光纖40構(gòu)成，其材料沒有特別限定， 由于是使來自將多個(gè)光纖30成束而構(gòu)成的集聚功能光纖束部3的出射 光平均出射，因此優(yōu)選是與多個(gè)光纖30相同材料的光纖。
如上所述，集聚功能光纖束部3集聚了細(xì)徑光纖，因此高密度集 聚時(shí)，因處理困難，無法使光纖長(zhǎng)度太長(zhǎng)。平均功能光纖部4使來自 由多個(gè)光纖構(gòu)成的集聚功能光纖束部3的出射光，通過使由多模光纖 構(gòu)成的光纖40在導(dǎo)光過程中產(chǎn)生的光的干擾、模式之間的相互作用等， 而平均地出射，因此光纖40的長(zhǎng)度優(yōu)選較長(zhǎng)。因此，可通過平均功能 光纖部調(diào)整光纖束整體長(zhǎng)度?？紤]到導(dǎo)光中的光損失，光纖束40的長(zhǎng) 度優(yōu)選為10cm以上5m以下，進(jìn)一步優(yōu)選lm以上5m以下。
來自平均功能光纖部4的出射光通過近視野圖案測(cè)定其強(qiáng)度分 布，平均性較髙(參照實(shí)施例1的圖15 (a))。因此，即使是僅有第 l光纖束部5的構(gòu)造，也可提供出射光的平均性高的光纖束。
光纖束1的光出射端是第2光纖束部6的光出射端62。因此，來 自光纖束1的出射光L2的出射圖案可根據(jù)光出射端62中的平均功能 光纖部4的光纖40的排列而變化。圖5 (a) ~ (d)表示光纖40的排 列圖案的例子。
例如，將長(zhǎng)四角的反射鏡全體作為照射光源使用時(shí)，如圖5 (a) 或(b)所示，以一維狀緊密結(jié)合的排列圖案排列光纖40即可。僅以 細(xì)徑光纖集聚圖5 (a)或(b)所示的圖案時(shí)，因處理較難，易于變?yōu)?無效區(qū)域多的出射圖案，其結(jié)果是，易于變?yōu)槠骄圆畹墓庠?。如?所述，本實(shí)施方式的光纖束l，在集聚功能光纖束部3中是易集聚的同 心圓狀的排列，通過使易處理的口徑大的平均功能光纖部4的光纖40 為所需排列并成束，可形成出射圖案，因此制造簡(jiǎn)單，且可出射平均 性良好的光。并且，如圖5 (d)所示，從離開的出射位置出射多個(gè)光線等情況 下，在各出射點(diǎn)中，可出射平均性高的光。
光纖束1是集聚功能光纖束部3和平均功能光纖部4通過光學(xué)連 接器抵接的構(gòu)造。因此，易于裝卸集聚功能光纖束部3和平均功能光 纖部4?，F(xiàn)有的單一集聚構(gòu)造等情況下，構(gòu)成光纖束的多個(gè)光纖中，當(dāng) 一根產(chǎn)生故障或功能下降時(shí)、或作為光源的規(guī)格變更時(shí)，必須按照每 個(gè)光纖束進(jìn)行更換，與使來自光纖束的出射光入射的光學(xué)元件等的位 置匹配等也需要屆時(shí)進(jìn)行校正。本實(shí)施方式的光纖束1可僅裝卸集聚 功能光纖束部3來進(jìn)行替換，因此可不使與光學(xué)元件等位置匹配的平 均功能光纖部4移動(dòng)地進(jìn)行維護(hù)。例如，如圖5 (d)所示，使2點(diǎn)同 時(shí)發(fā)光并分別入射到其他光學(xué)系統(tǒng)的情況下，希望按照各點(diǎn)設(shè)定出射 光強(qiáng)度、波長(zhǎng)等時(shí)，僅使在各點(diǎn)連接的第1光纖束部4的集聚功能光 纖束部3變更為與規(guī)格匹配即可，因此無需屆時(shí)進(jìn)行各點(diǎn)到光學(xué)系統(tǒng) 的位置調(diào)整等，可自由變更從各點(diǎn)出射的光的特性。
但是，本申請(qǐng)人確認(rèn)出在光纖束1中，對(duì)能量密度大的光、特 別是450rnn以下的短波長(zhǎng)光進(jìn)行導(dǎo)光時(shí)、或進(jìn)行用于去除光纖的出射 端的污染物質(zhì)的UV清潔處理時(shí)，在抵接部中，集聚功能光纖束部3 的光出射端面32a和平均功能光纖部4的光入射端面41a的構(gòu)成材料 (石英、Si02等)產(chǎn)生某些反應(yīng)而粘貼，之后分離時(shí)，粘貼的部分破 損，光損失增加，進(jìn)一步成為不可再使用的狀態(tài)。這樣因裝卸而產(chǎn)生 端面破損時(shí)，無法裝卸。
圖6表示對(duì)光纖和玻璃進(jìn)行UV清潔后，以約500g的負(fù)荷使該光 纖的截面和玻璃抵接，放置了約100小時(shí)后的光纖80的抵接面。81是 包層，82是芯。89是清洗后通過抵接、擠壓光纖80和玻璃(省略圖 示)而使光纖80和玻璃中含有的石英、氧化物發(fā)生反應(yīng)的地點(diǎn)，是光 纖80和玻璃一體化的部分。當(dāng)反應(yīng)地點(diǎn)一體化時(shí)，在使光纖80和玻璃離開時(shí)，反應(yīng)地點(diǎn)受到很大損傷，或者反應(yīng)地點(diǎn)附著到光纖80的截
面或玻璃上。此外，抵接前的光纖的表面粗糙度Ra二2[nm]。這種現(xiàn)象 在通過光學(xué)連接器使光纖抵接時(shí)也發(fā)生。并且上述現(xiàn)象在表面粗糙度 Ra〈5[nm]時(shí)易于發(fā)生，進(jìn)一步在對(duì)能量密度大的短波長(zhǎng)的光進(jìn)行導(dǎo)光 時(shí)易于發(fā)生。
圖7表示使玻璃抵接外徑80um、芯徑60nm的玻璃光纖80的 光出射端面、照射500小時(shí)波長(zhǎng)405nm、輸出150mW的激光后離開時(shí) 的玻璃光纖80的出射端面的損傷。在圖7中，白點(diǎn)部分是受到損傷后 破損的地點(diǎn)。
從圖6、圖7可知，將能量密度高的光作為光源使用的情況下， 例如入射光Ll是波長(zhǎng)190nm 530nm的光時(shí)，優(yōu)選使保護(hù)介質(zhì)51位于 光出射端32和光入射端41之間，該保護(hù)介質(zhì)51用于抑制集聚功能光 纖束3的光出射端32和平均功能光纖部4的光入射端41的粘合。以 下說明保護(hù)介質(zhì)51是膜體時(shí)的情況。
保護(hù)膜(保護(hù)介質(zhì))51是在平均功能光纖部4的光入射端面41a 上成膜的膜體，用于抑制集聚功能光纖束部3的光出射端32和平均功 能光纖部4的光入射端41的粘合。保護(hù)膜51可直接成膜在光入射端 面41a上，也可通過輔助膜成膜。
保護(hù)膜51用于防止上述現(xiàn)象，因此優(yōu)選在集聚功能光纖束部3及 平均功能光纖部4由以石英、Si02等為主成分的玻璃材料構(gòu)成時(shí)，在 常溫下使它們物理抵接時(shí)，可抑制光出射端32和光入射端41的粘合。 因此，作為保護(hù)膜51，優(yōu)選使集聚功能光纖束部3及平均功能光纖部 4中含有的Si02、石英不易于反應(yīng)的、對(duì)波長(zhǎng)190nm 530nm的光呈現(xiàn) 惰性的膜，例如含有氟化物的膜。作為氟化物，優(yōu)選不含氧(0)的， 進(jìn)一步優(yōu)選從由YF3、 LiF、 MgF2、 NaF、 LaF3、 BaF2、 CaF2、及A1F3 構(gòu)成的群中選擇的至少一種氟化物。這些氟化物相對(duì)于波長(zhǎng)190nm 410nm的光呈惰性，相對(duì)于410nm 530nm的波長(zhǎng)其活性度較差。并且， 隨著波長(zhǎng)變長(zhǎng)，其能量密度變小，因此也可對(duì)410rnn以上的波長(zhǎng)的光 形成良好的保護(hù)膜51。
保護(hù)膜51可是單層膜，也可是多層膜。是多層膜時(shí)，優(yōu)選保護(hù)膜 51的最上層含有上述材料，最上層膜以外的下層膜優(yōu)選含有不含Si的 氧化物。
進(jìn)一步，優(yōu)選保護(hù)膜51的存在引起的光損失越小越好，因此優(yōu)選 對(duì)導(dǎo)光的光的波長(zhǎng)光吸收較少的材料。圖8表示使用波長(zhǎng)248nm的脈 沖激光時(shí)的各種氟化物膜及氧化物膜的吸收系數(shù)和其損傷閾值的關(guān)系 (弓I用"High damage threshold fluoride UV mirrors made by Ion Beam Sputtering" ， J.Dijion, et.， al., SPIE vol.3244， pp406-418, 1998)。從該圖 表可知，相對(duì)于紫外光，氟化物膜的損傷閾值較大，因此從光吸收的 角度而言，作為保護(hù)膜51優(yōu)選氟化物。進(jìn)一步，導(dǎo)波的光為紫外光時(shí)， 如圖表所示，在氟化物膜中，YF3、 LiF等的損傷閾值較大，優(yōu)選使用。
通過上述構(gòu)造的保護(hù)膜51，對(duì)能量密度大的光、例如波長(zhǎng)l卯rnn 530nm的光進(jìn)行導(dǎo)光時(shí)、或?yàn)榱朔乐沟纸硬康膬蓚€(gè)端面產(chǎn)生有機(jī)物引 起的污染而進(jìn)行UV清潔時(shí)，可防止集聚功能光纖束部3和平均功能光 纖部4的抵接部中的化學(xué)反應(yīng)，抑制抵接部的損傷。例如，對(duì)抵接部 以50g以上lkg以下(更優(yōu)選500g以下)的負(fù)荷壓接后離開時(shí)，可將 抵接部的損傷限制到最低限度，集聚功能光纖束部3和平均功能光纖 部4可再使用，也就是可裝卸。
在本實(shí)施方式中，保護(hù)膜51成膜在平均功能光纖部4的光入射端 面41a上，但也可成膜在集聚功能光纖束部3的光出射端面32a上，或 成膜在光入射端面41a及光出射端面32a兩者上。
保護(hù)膜51優(yōu)選在裝卸平均功能光纖部4和集聚功能光纖束部3時(shí)不會(huì)從成膜的端面剝離。因此，保護(hù)膜51在光出射端面32a或光入射 端面41a的任意一個(gè)上成膜時(shí)，成膜有保護(hù)膜51的端面和保護(hù)膜51 的密接性優(yōu)選大于未成膜有保護(hù)膜51的端面和保護(hù)膜51的密接性。 并且，在兩個(gè)端面成膜時(shí)，成膜有保護(hù)膜51的端面和保護(hù)膜51的密 接性優(yōu)選大于在兩個(gè)端面成膜的膜之間的密接性。進(jìn)一步，保護(hù)膜51 為多層膜時(shí)，構(gòu)成多層膜的膜之間同樣優(yōu)選密接性高的。
保護(hù)膜51的存在引起的光損失除了受到上述保護(hù)膜51的材料的 影響外，還受到膜厚影響。因此，保護(hù)膜51的膜厚優(yōu)選是不對(duì)光損失 產(chǎn)生影響的膜厚。作為保護(hù)膜51中的光損失的主要原因，包括反射產(chǎn) 生的損失、及吸收產(chǎn)生的損失。因此，保護(hù)膜51的膜厚優(yōu)選考慮反射 及吸收對(duì)光損失的影響而決定。
為了使反射產(chǎn)生的損失最小化，在平均功能光纖部4的光入射端 面41a或集聚功能光纖束部3的光出身端面32a的任意一個(gè)上成膜有保 護(hù)膜51時(shí)，保護(hù)膜51的光導(dǎo)波方向的光路長(zhǎng)度(dXN，其中d是光 導(dǎo)波方向的膜厚，N是保護(hù)膜51的折射率)和被導(dǎo)光的光的波長(zhǎng)入優(yōu) 選滿足下述公式(1)。
dXN=(入/ 2) Xn …(1) (其中n是l以上的整數(shù))
在光入射端面41a及光出射端面32a兩者上成膜有保護(hù)膜51時(shí)， 在兩者上成膜的保護(hù)膜51具有同一折射率時(shí)，在公式(1)中，d為保 護(hù)膜51的總膜厚即可。但是，在兩者上成膜時(shí)，為了使在兩個(gè)端面上 成膜的保護(hù)膜之間不因抵接而反應(yīng)、或一體化等，各端面上成膜的保 護(hù)膜51優(yōu)選至少位于最表面的最上層由不同材料構(gòu)成。這種情況下， 光出射端32a上成膜的保護(hù)膜51的膜厚為df、同一折射率為Nf、在光 入射端41a上成膜的保護(hù)膜51的膜厚為dg、同一折射率為Ng時(shí)，優(yōu) 選滿足下述公式(2)。(dfXNf) + (dgXNg) = ( W2) Xn ... (2) (其中n為1以上的整數(shù))
為了減少吸收產(chǎn)生的損失，保護(hù)膜51優(yōu)選膜厚較薄。膜厚越大膜 的光能量吸收越大，因此保護(hù)膜51因吸收的能量而熱退化，易于產(chǎn)生 與之相伴的變色、裂紋等。因此，在上述公式(1)及(2)中優(yōu)選n 為l。但是，根據(jù)吸收對(duì)損失的影響程度，和反射的影響相比，吸收的 影響較大。此時(shí)，在上述公式(1)及(2)中，在比11=1時(shí)的膜厚薄 的膜厚下，可減少光損失。
為了研究保護(hù)膜51的優(yōu)選膜厚，制造出圖9所示的光設(shè)備90， 測(cè)定使用不同膜厚的保護(hù)膜51時(shí)的出射光的光輸出的經(jīng)時(shí)變化。如圖 所示，光設(shè)備90由光纖91a、 911b、套管92a、 92b、套筒93等構(gòu)成， 在套筒93內(nèi)使插入到各套管中的光纖91a、 91b經(jīng)由膜厚d的保護(hù)膜 51抵接。在抵接面中，套管的端部研磨為半球面狀，保護(hù)膜51成膜在 光纖91a—側(cè)的端面上。
使用保護(hù)膜51的膜厚d為入/2、 A/4、入/6的光設(shè)備90，測(cè)定將 波長(zhǎng)405nm、輸出160mW的激光入射到光纖91a時(shí)的、來自光纖91b 的出射光的光輸出的經(jīng)時(shí)變化。保護(hù)膜51的成膜方法使用蒸鍍法。圖 10是表示該測(cè)定結(jié)果的圖，縱軸表示出射光的輸出值相對(duì)于入射光的 輸出值的比例。此時(shí)，激光通過各膜中的直徑約60um的區(qū)域。
如圖IO所示，膜厚d越小，出射光的光輸出下降越少(即光損失 越少)。并且，用顯微鏡觀察實(shí)驗(yàn)后的各保護(hù)膜51時(shí)，基本未發(fā)現(xiàn)d =入/6的膜的外觀變化，但d=入/4及X /2的膜確認(rèn)了激光通過部分的 區(qū)域的變色。進(jìn)一步，d= A /2的膜在變色部分的周邊確認(rèn)了膜的裂紋。 d=入/2及d=入/4的膜中看到的變色被認(rèn)為是由于激光的熱引起的膜 的烙解(熱退化)造成的。根據(jù)該結(jié)果，膜厚d越大，膜對(duì)激光的能量吸收越大，膜質(zhì)因該吸收而變化，光損失變大。
并且，圖11表示使保護(hù)膜51的膜厚為d二入/6及入/12的MgF2 膜、和上述測(cè)定一樣測(cè)定光損失值的經(jīng)時(shí)變化的結(jié)果。保護(hù)膜51的成 膜通過離子輔助法進(jìn)行。如圖11所示，在d=入/6和d=入/12的膜中， 光輸出的變化方式基本相同，在1000小時(shí)后的出射光的光輸出的下降 率均小于10%。
根據(jù)該結(jié)果，在保護(hù)膜51為MgF2膜、入射的光為波長(zhǎng)405nm、 輸出160mW的激光的情況下，對(duì)光損失的影響中，和反射的影響相比， 吸收的影響較大，如果保護(hù)膜51的膜厚d為A/6以下，1000小時(shí)后的 出射光的光輸出的下降率控制得小于10%，較為優(yōu)選。
反射對(duì)光損失的影響及吸收對(duì)光損失的影響的比率因激光的輸 出、波長(zhǎng)、及保護(hù)膜51的材質(zhì)而不同，存在優(yōu)選為滿足公式(1)或 公式(2)時(shí)的膜厚的情況，也存在優(yōu)選膜厚d為X/6以下的情況。但 是，波長(zhǎng)l卯nm 530nm的光的能量密度較大，因此雖然也取決于輸 出，但保護(hù)膜51的膜厚d優(yōu)選為入/6以下。此外，在抵接部中，在光 入射端面及光輸出面兩者上成膜有保護(hù)膜51時(shí)，膜厚是在兩者上成膜 的保護(hù)膜51的膜厚的合計(jì)(d = df+dg)。
保護(hù)膜51的成膜方法沒有限制，但為了減少保護(hù)膜51和成膜的 端面之間的界面的光損失，優(yōu)選成膜前可進(jìn)行被成膜面的清潔的成膜 方法。并且，膜的致密性越高，使光能量密度大的光導(dǎo)波時(shí)保護(hù)膜51 本身的光的能量吸收引起的膜質(zhì)變化越少，因此優(yōu)選可成膜為更致密 的膜的成膜方法。作為成膜前可清潔被成膜面、且可成膜為致密性高 的成膜方法，包括離子輔助法、離子涂覆法、濺射法等。
圖12表示使用蒸鍍法和離子輔助法各方法成膜的膜厚入/6的保護(hù) 膜51 (MgF2膜)，和上述測(cè)定一樣測(cè)定光損失值的經(jīng)時(shí)變化的結(jié)果。如圖12所示，和蒸鍍法相比，使用由離子輔助法成膜的保護(hù)膜51時(shí)， 光輸出的下降較少，因此優(yōu)選使用。
光纖束1如圖13所示，第2集聚功能光纖束部7的光出射端72 與構(gòu)成光纖束1的集聚功能光纖束部3的多個(gè)光纖30中的至少一個(gè)光 纖30的光入射端31抵接，上述第2集聚功能光纖束部7是多個(gè)光纖 70在該光纖70的光出射端72 —側(cè)排列成束而形成，以使分別入射到 多個(gè)光纖70的多個(gè)入射光L1集聚出射(圖14)，可使集聚功能光纖 束部為多級(jí)構(gòu)造。圖13表示集聚功能光纖束部為二級(jí)構(gòu)造的示例。此 時(shí)，至少一個(gè)光纖30在光纖30的光入射端面31a中具有比第2集聚功 能光纖束部7的光出射端面72a中的光出射區(qū)域72r大的芯部31r (參 照?qǐng)D3)。
第2集聚光纖束部7具有和光纖束1的集聚功能光纖束部3同樣 的構(gòu)造，并且，多級(jí)化時(shí)的抵接部的構(gòu)造也和光纖束1 一樣。因此， 與光纖束1 一樣可裝卸，并且由于將集聚功能光纖束部多級(jí)化，所以 可高密度地集聚光。在圖13中，表示集聚功能光纖束部為二級(jí)構(gòu)造的 情況，通過同樣的構(gòu)造可增加集聚功能光纖束部，以進(jìn)一步多級(jí)化。
并且，與集聚功能光纖束部3和平均功能光纖部4的抵接部一樣， 對(duì)能量密度高的光、尤其是450nm以下的短波長(zhǎng)光進(jìn)行導(dǎo)光時(shí)，優(yōu)選 使保護(hù)介質(zhì)51介于第2集聚功能光纖束部7的光出射端72、和構(gòu)成集 聚功能光纖束部3的多個(gè)光纖30中的至少一個(gè)光纖30的光入射端31 之間。
如上構(gòu)成光纖束1。
光纖束1具有第1光纖束部5和第2光纖束部6，所述第1光纖 束部5具有集聚功能光纖束部3，將多個(gè)光纖30在光出射端32 —側(cè) 排列并成束；和平均功能光纖部4，使來自集聚功能光纖束部3的出射光平均化地出射，所述第2光纖束部6,將多個(gè)第1光纖束部5的平均 功能光纖部4在光出射端42—側(cè)排列并成束，其中，平均功能光纖部 4由光纖40構(gòu)成，該光纖40至少在光入射端41a中具有與集聚功能光 纖束部3的光出射端面32a中的光出射區(qū)域32r同等以上的大小的芯部 41r。
根據(jù)所述構(gòu)造，在具有和集聚功能光纖束部3的光出射區(qū)域32r 同等以上大小的芯部41r的光纖40內(nèi)，由集聚功能光纖束部3中集聚 的各個(gè)光平均化，因此可從平均功能光纖部4的光出射端42出射平均 的光，并且通過平均功能光纖部4的光纖長(zhǎng)度調(diào)整，可確保光纖束的 長(zhǎng)度。進(jìn)一步，可集聚多個(gè)由平均功能光纖部4平均化的光，以所需 圖案排列并出射，因此可使高密度、且高平均性的光以所需圖案出射。
并且，集聚功能光纖束部3的光出射端32和平均功能光纖部4的 光入射端41抵接。即，無需復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)、控制單元等，而可使集 聚的光平均化，進(jìn)一步，可裝卸集聚功能光纖束部3和平均功能光纖 部4，因此裝置構(gòu)造簡(jiǎn)單。并且，由于可裝卸集聚功能光纖束部3和平 均功能光纖部4，規(guī)格變更伴隨的光纖的集聚度等變更時(shí)、或故障時(shí)， 可對(duì)應(yīng)于變更處、故障處，更換集聚功能光纖束部3和平均功能光纖4 部的任意一個(gè)。因此，設(shè)計(jì)自由度增大，易于處理。
(設(shè)計(jì)變更)
在本實(shí)施方式中，光源裝置2以在連接了和光源20相同個(gè)數(shù)的 SC連接器的連接器盒22內(nèi)收容了光纖束1的一部分的情況為例進(jìn)行 了說明，但不限定為具有連接器盒22的構(gòu)造。并且，光入射單元21 也沒有限制，不限定為SC連接器。
并且，在本實(shí)施方式中，說明了保護(hù)介質(zhì)51為膜體時(shí)的情況，但 不限為膜體。(實(shí)施例) 說明本發(fā)明涉及的實(shí)施例。
(實(shí)施例1) 如下制造圖l所示的光纖束。
首先，作為集聚功能光纖束部的光纖，準(zhǔn)備光纖長(zhǎng)lm、芯徑60 um、外徑80um的石英類多模玻璃光纖12根，將每四根光纖在一個(gè) 端部成束，制造出三個(gè)集聚功能光纖束部。成束如圖4 (a)所示，4 根光纖二維狀緊密結(jié)合排列地成束后，通過粘合劑固定。
接著，作為平均功能光纖部的光纖，準(zhǔn)備3根芯徑205um、外徑 250lim的石英類多模光纖，同樣使3根光纖的一端成束。成束的排列 與集聚功能光纖束部不同，是圖5 (a)所示的線狀(一維狀)地緊密 結(jié)合的排列，在出射端上安裝了 FC套管。各平均功能光纖部的光入射 端面中成膜了由MgF2構(gòu)成的保護(hù)膜。
將集聚功能光纖束部的光入射端及光出射端、平均功能光纖部的 光入射端插入到SC套管中后，通過SC連接器使集聚功能光纖束部的 光出射端和平均功能光纖部的光入射端抵接，獲得總通道數(shù)為12的光 纖束。
首先，對(duì)該光纖束的平均功能光纖部的平均性能進(jìn)行評(píng)價(jià)。制造 的12通道的光纖束中，對(duì)于一個(gè)第1光纖束部(4通道)，在1通道 (1根集聚功能光纖束部光纖)點(diǎn)亮?xí)r和4通道(4根集聚功能光纖束 部光纖)點(diǎn)亮?xí)r，進(jìn)行出射光的近視野圖像(近視野圖案)的評(píng)價(jià)。 入射光使用波長(zhǎng)405nm、輸出150mW的激光。結(jié)果如圖15所示。圖 15 (a)是全部通道(4通道)點(diǎn)亮?xí)r的近視野圖像，(b)是1通道點(diǎn) 亮?xí)r的近視野圖像，縱軸表示將出射光的最大值設(shè)為1.0、各位置下的 輸出光相對(duì)于最大值的強(qiáng)度比。如圖15所示，在4通道點(diǎn)亮?xí)r及1通道點(diǎn)亮?xí)r，在平均功能光纖
部的芯內(nèi)均可獲得基本平均的出射圖形。因此，可確認(rèn)由平均功能光 纖集聚的光平均地出射。
制造的12通道的光纖束是將具有平均性高的出射光的第1光纖束 3根線狀排列的光纖束。并且，第l光纖束的出射端是大口徑多模光纖 的出射端，因此易于處理。因此，和將難處理的12根細(xì)徑光纖一次成 束的現(xiàn)有的光纖束相比，可獲得無效區(qū)域少的高平均性的出射光。
進(jìn)一步，對(duì)使平均功能光纖部的光纖長(zhǎng)度在l~6m的范圍內(nèi)變化 時(shí)的近視野圖像同樣進(jìn)行比較時(shí)，無論光纖長(zhǎng)度，可獲得基本同等的 特性。
(實(shí)施例2)
作為平均功能光纖部的光纖，使用比實(shí)施例1芯徑小的光纖(芯 徑205 um、外徑250 um)，用同樣的方法制造光纖束。平均功能光 纖部的光纖和實(shí)施例1相比，口徑尺寸變小，但進(jìn)行和實(shí)施例1 一樣 的出射光的特性評(píng)價(jià)時(shí)，可獲得和實(shí)施例1基本一樣的特性的出射光。
(實(shí)施例3)
使集聚功能光纖束部的光纖為21根，總通道數(shù)為21，除此以外 和實(shí)施例2 —樣制造出光纖束。
進(jìn)行和實(shí)施例1 一樣的出射光的特性評(píng)價(jià)時(shí)，可獲得和實(shí)施例1 基本相同特性的出射光，即使增加通道個(gè)數(shù)，全部通道點(diǎn)亮?xí)r和單通 道點(diǎn)亮?xí)r的特性基本相似。
本發(fā)明的光纖束優(yōu)選作為印刷布線基板搭載用的光引導(dǎo)器、曝光 機(jī)用、液晶顯示器用的光源等使用。
權(quán)利要求
1.一種光纖束，具有第1光纖束部和第2光纖束部，所述第1光纖束部具有集聚功能光纖束部，將多個(gè)光纖在該光纖的光出射端一側(cè)排列并成束，以使分別入射到上述多個(gè)光纖的多個(gè)入射光集聚出射；和平均功能光纖部，使來自該集聚功能光纖束部的出射光平均化地出射，所述第2光纖束部，將上述多個(gè)第1光纖束部的上述平均功能光纖部在該平均功能光纖部的光出射端一側(cè)排列并成束，以使來自多個(gè)上述第1光纖束部的出射光集聚出射，所述光纖束的特征在于，上述平均功能光纖部由如下光纖構(gòu)成該光纖至少在上述平均功能光纖部的光入射端面中，具有和上述集聚功能光纖束部的光出射端面中的光出射區(qū)域同等以上的大小的芯部，上述集聚功能光纖束部的光出射端和上述平均功能光纖部的光入射端抵接，上述集聚功能光纖束部和上述平均功能光纖部能夠裝卸。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的光纖束，其特征在于，上述第2光纖束 部，在該第2光纖束部的光出射端面中將上述平均功能光纖部以一維 地緊密結(jié)合的方式排列并成束。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l或2所述的光纖束，其特征在于，上述集聚功 能光纖束部的多個(gè)光纖，在上述集聚功能光纖束部的光出射端面中， 以使截面二維狀地緊密結(jié)合的方式排列并成束。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的光纖束，其特征在于，上述平均功能光 纖部的長(zhǎng)度是10cm以上。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的光纖束，其特征在于，上述集聚功能光纖束部的光出射端和上述平均功能光纖部的光入 射端，經(jīng)由用于抑制該光出射端和該光入射端粘合的保護(hù)介質(zhì)而抵接，上述集聚功能光纖束部和上述平均功能光纖部能夠經(jīng)由上述保護(hù) 介質(zhì)裝卸。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的光纖束，其特征在于，上述入射光是波 長(zhǎng)190nm 530nm的光。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的光纖束，其特征在于，上述保護(hù)介質(zhì)含 有氟化物。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的光纖束，其特征在于，上述保護(hù)介質(zhì)含 有從由YF" LiF、 MgF2、 NaF、 LaF3、 BaF2、 CaF2、及A1F3構(gòu)成的群 中選擇的至少一種氟化物。
9. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的光纖束，其特征在于，第2集聚功能光纖束部的光出射端與構(gòu)成上述集聚功能光纖束部 的多個(gè)光纖中的至少一個(gè)光纖的光入射端抵接，上述第2集聚功能光 纖束部是將多個(gè)光纖在該光纖的出射端一側(cè)排列并成束，以使分別入 射到該多個(gè)光纖的多個(gè)入射光集聚出射，上述至少一個(gè)光纖在該光纖的光入射端面中具有比上述第2集聚 功能光纖束部的光出射端面中的光出射區(qū)域大的芯部，上述至少一個(gè)光纖和上述第2集聚功能光纖束部能夠裝卸。
10. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的光纖束，其特征在于，第2集聚功能光纖束部的光出射端與構(gòu)成上述集聚功能光纖束部 的多個(gè)光纖中的至少一個(gè)光纖的光入射端抵接，上述第2集聚功能光 纖束部是將多個(gè)光纖在該光纖的出射端一側(cè)排列并成束，以使分別入 射到該多個(gè)光纖的多個(gè)入射光集聚出射，上述至少一個(gè)光纖在該光纖的光入射端面中具有比上述第2集聚功能光纖束部的光出射端面中的光出射區(qū)域大的芯部，上述至少一個(gè)光纖和上述第2集聚功能光纖束部能夠裝卸。
11. 根據(jù)權(quán)利要9所述的光纖束，其特征在于，上述第2集聚功能光纖束部的光出射端和構(gòu)成上述集聚功能光纖束部的多個(gè)光纖中的至少一個(gè)光纖的光入射端，經(jīng)由用于抑制該光出 射端和該光入射端粘合的保護(hù)介質(zhì)而抵接，上述第2集聚功能光纖束部和上述至少一個(gè)光纖能夠經(jīng)由上述保 護(hù)介質(zhì)裝卸。
12. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的光纖束，其特征在于，上述第2集聚功能光纖束部的光出射端和構(gòu)成上述集聚功能光纖 束部的多個(gè)光纖中的至少一個(gè)光纖的光入射端，經(jīng)由用于抑制該光出 射端和該光入射端粘合的保護(hù)介質(zhì)而抵接，上述第2集聚功能光纖束部和上述至少一個(gè)光纖能夠經(jīng)由上述保 護(hù)介質(zhì)裝卸。
13. —種光源裝置，其特征在于，具有 權(quán)利要求l所述的光纖束； 多個(gè)光源；和光入射單元，將來自上述多個(gè)光源的光入射到上述光纖束的上述 集聚功能光纖束部的多個(gè)光纖的各光入射端。
14. 一種光源裝置，其特征在于，具有 權(quán)利要求5所述的光纖束； 多個(gè)光源；和光入射單元，將來自上述多個(gè)光源的光入射到上述光纖束的上述 集聚功能光纖束部的多個(gè)光纖的各光入射端。
15. —種光源裝置，其特征在于，具有權(quán)利要求9所述的光纖束； 多個(gè)光源；和光入射單元，將來自上述多個(gè)光源的光入射到上述光纖束的上述 集聚功能光纖束部的多個(gè)光纖的各光入射端。
16. —種光源裝置，其特征在于，具有 權(quán)利要求IO所述的光纖束； 多個(gè)光源；和光入射單元，將來自上述多個(gè)光源的光入射到上述光纖束的上述 集聚功能光纖束部的多個(gè)光纖的各光入射端。
全文摘要
光纖束具有第1光纖束部和第2光纖束部，該第1光纖束部具有集聚功能光纖束部，將多個(gè)光纖在光出射端一側(cè)排列成束，以使分別入射到多個(gè)光纖的多個(gè)入射光(L1)集聚出射；和平均功能光纖部，具備使來自該集聚功能光纖束部的出射光平均化地出射的光纖，上述第2光纖束部，將多個(gè)第1光纖束部的平均功能光纖部在光出射端一側(cè)排列成束，以使來自多個(gè)第1光纖束部的出射光集聚出射。其中，集聚功能光纖束部的光出射端和平均功能光纖部的光入射端抵接。
文檔編號(hào)G02B6/04GK101299076SQ20081009007
公開日2008年11月5日 申請(qǐng)日期2008年4月2日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月2日
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