專利名稱：執(zhí)行機(jī)構(gòu)、光學(xué)掃描器及圖像形成裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種執(zhí)行才幾構(gòu)、光學(xué)掃描器及圖〗象形成裝置。
技術(shù)背景例如，在激光打印才幾等中，作為用于通過光學(xué)掃描進(jìn)行成l象的 光學(xué)掃描器，公知有一種使用包括扭振子構(gòu)成的執(zhí)行機(jī)構(gòu)(例如， 參照日本專利文獻(xiàn)1 )。在日本專利文獻(xiàn)l中，公開了一種執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其包括反射鏡； 固定框部，用于支持反射鏡；以及一對彈簧部，在其兩側(cè)將反射鏡 連接于固定框部。而且，上述各彈簧部包括連接體，與反射鏡隔 著間隔地設(shè)置；第一彈簧部，連接反射鏡和連接體；以及第二彈簧 部，在與第 一彈簧部相反的一側(cè)上連4妻連4妻體和固定才匡部。上述執(zhí)行機(jī)構(gòu)例如，由于環(huán)境溫度、和向反射鏡射出的光等而 升溫，A人而導(dǎo)致第一彈簧部熱膨^長。即，一3于第一彈簧部由于熱膨脹而向其長度方向(與轉(zhuǎn)動中心軸相平行且與反射鏡分離的方向) 伸張。但是，在日本專利文獻(xiàn)l的執(zhí)行機(jī)構(gòu)中，各連接體向與轉(zhuǎn)動中 心軸相平行且與反射鏡分離的方向的位移是受到第二彈簧部的阻 礙。因此，各第一彈簧部向希望的位置進(jìn)行位移(例如彎曲、壓曲)， 以便緩和由熱膨脹引起的變形，從而導(dǎo)致反射鏡向其厚度方向位移。其結(jié)果是，導(dǎo)致反射鏡的轉(zhuǎn)動中心軸偏移，從而無法發(fā)揮希望 的轉(zhuǎn)動特性。而且，當(dāng)將日本專利文獻(xiàn)l的執(zhí)行機(jī)構(gòu)用作光學(xué)掃描器等時， 由于反射4免的轉(zhuǎn)動中心軸偏移，所以導(dǎo)致乂人光源至反射鏡的光i 各長 度變化，從而無法在對象物的希望的位置上掃描通過反射鏡反射的 反射光。即，難以發(fā)揮希望的掃描特性。專利文獻(xiàn)1:日本特開2004-191953號/>才艮 發(fā)明內(nèi)容鑒于上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種可以實現(xiàn)小型化、 緩和或防止對環(huán)境溫度的影響、并可發(fā)揮希望的振動特性的執(zhí)行機(jī) 構(gòu)、光學(xué)掃描器及圖像形成裝置。通過下面的發(fā)明可以實現(xiàn)上述目的。本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括可動板；支持部，用于支持上述可動 *反；一^i"連4妄部，連4妻上述可動寺反和上述支持部，以^吏上述可動^反 相對于上述支持部可轉(zhuǎn)動；以及壓電元件，轉(zhuǎn)動驅(qū)動上述可動4反， 上述4丸^f于才幾構(gòu)構(gòu)成為通過通電4吏上述壓電元件伸縮，從而^f吏上述 一對連接部扭曲變形，并轉(zhuǎn)動上述可動板，在上述執(zhí)行機(jī)構(gòu)中，上 述各連接部包括軸部件，從上述可動板延伸；以及折回部，用于 連接上述軸部件和上述支持部，且形成為向上述可動板側(cè)折回。由此，可以4是供一種可緩和或防止對環(huán)境溫度的影響、并可發(fā) 揮希望的振動特性的執(zhí)行機(jī)構(gòu)。在本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)中，優(yōu)選上述各折回部包括可彈性變形的 一對彈性部件，上述一對彈性部件形成被設(shè)置成隔著上述可動板的 轉(zhuǎn)動中心軸而相互面對的矩形形狀。由此，即使在發(fā)生熱膨脹的情況下，也易于穩(wěn)定地保持可動板 的轉(zhuǎn)動中心軸。在本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)中，優(yōu)選上述各折回部包括用于連接上述 軸部件和上述各彈性部件的驅(qū)動部件，上述各彈性部件被設(shè)置在與 所述驅(qū)動部件相比靠近所述可動一反側(cè)。由it匕，可以更為大幅度i也專爭動可動一反。在本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)中，優(yōu)選上述各彈性部件的長度方向與上 述可動才反的壽爭動中心軸相平4亍。由此，當(dāng)熱膨脹發(fā)生的情況下，可以順利地使驅(qū)動部件位移。在本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)中，優(yōu)選上述各連接部中上述一對彈性部 件間的間隔距離/人上述可動才反側(cè)向著上述驅(qū)動部件側(cè)遞減。由此，可以實JE見小型^f匕，并可大幅度;也專爭動可動才反。在本發(fā)明的扭J亍一幾構(gòu)中，優(yōu)選上述各連4妄部中上述一對彈性部 件間的間隔3巨離乂人上述可動^反側(cè)向著上述驅(qū)動部^f牛側(cè)遞增。由此，可以實現(xiàn)小型化，并可大幅度地轉(zhuǎn)動可動板。而且，可 以3是高4丸4亍才幾構(gòu)的響應(yīng)性。在本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)中，優(yōu)選上述壓電元件沿其長度方向接合 于上述各連接部的上述各彈性部件，上述各壓電元件向?qū)?yīng)的上述彈性部件的長度方向伸縮，并通過該伸縮，^使上述彈性部件彎曲變 形。由此，可以使各彈性部件^爭越其長度方向整個區(qū)域上均勻地彎 曲變形。其結(jié)果是，可以減輕向各彈性部件的應(yīng)力，并可更有效地 使各彈性部件彎曲變形。在本發(fā)明的4丸行才幾構(gòu)中，優(yōu)選上述各壓電元件具有比接合該上 述壓電元件的上述彈性部件的寬度寬的寬度，且上述各壓電元件被 接合成覆蓋上述彈性部件的寬度方向的整個區(qū)域。由此，可以4吏彈性部件大幅度地彎曲變形。而且，可以實現(xiàn)簡 化寺丸4亍4幾構(gòu)的工藝。在本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)中，優(yōu)選上述壓電元件被設(shè)置成與上述各 彈性部件相只于應(yīng)，上述各壓電元件的伸縮方向的一端部與7十應(yīng)的上 述彈性部件接觸，且向上述可動^1的厚度方向伸縮， -使上述彈性部 4牛彎曲變形。由此，通過壓電元件的伸縮，可以爿年大的驅(qū)動力傳遞》合各彈性 部件。在本發(fā)明的4丸行才幾構(gòu)中，優(yōu)選上述各壓電元件與對應(yīng)于該上述的端部接合，且兼作上述支持部。由j):匕，可以實現(xiàn)^M亍才幾構(gòu)的小型^f匕。在本發(fā)明的4丸行才幾構(gòu)中，優(yōu)選方式是，在上述各連接部中，上述一對彈性部件上述壓電元件接合于上述各連接部的上述第 一 彈性部件，上述各壓 電元件在對應(yīng)的上述彈性部件的長度方向上伸縮，利用該伸縮，使 上述第 一彈性部件彎曲變形，從而上述第二彈性部件扭曲變形的同 時，4吏上述驅(qū)動部件位移。由此，壓電元件的H量減少，并可實現(xiàn)降<氐才丸4亍才幾構(gòu)的成本。在本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)中，優(yōu)選上述第二彈性部件被設(shè)置在上述 轉(zhuǎn)動中心軸附近。由此，可以將一對軸部件的形狀變得簡單，并可抑制可動板的 專爭動中心軸的偏移。在本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)中，優(yōu)選在上述可動板的板面上設(shè)置有具 有光反射性的光反射部。由此，可以將執(zhí)行機(jī)構(gòu)用于光學(xué)設(shè)備。本發(fā)明可以提供了一種光學(xué)掃描器，包括可動板，包括具有 光反射性的光反射部；支持部，用于支持上述可動板； 一對連接部， 連接上述可動板和上述支持部，以使上述可動板相對于上述支持部 可轉(zhuǎn)動；以及壓電元件，轉(zhuǎn)動驅(qū)動上述可動板，上述光學(xué)掃描器構(gòu) 成為通過通電〗吏上述壓電元件伸縮，乂人而4吏上述一對連4妄部4丑曲 變形，^f吏上述可動4反轉(zhuǎn)動，掃描通過上述光反射部反射的光，在上 述光學(xué)掃描器中，上述各連接部包括軸部件，乂人上述可動板延伸； 折回部，連接上述軸部件和上述支持部，且形成為向上述可動板側(cè) 折回。由此，可以才是供一種可以緩和或防止對于環(huán)境溫度的影響、發(fā) 揮所希望的振動特性的光學(xué)掃描器。本發(fā)明的圖像形成裝置包括光學(xué)掃描器，上述光學(xué)掃描器包括可動板，包括具有光反射性的光反射部；支持部，用于支持上 述可動^反； 一對連4妾部，連4妄上述可動板和上述支持部，以使上述 可動纟反相對于上述支持部可轉(zhuǎn)動；以及壓電元件，4爭動驅(qū)動上述可 動板，上述光學(xué)掃描器構(gòu)成為通過通電使上述壓電元件伸縮，使 上述一對連接部扭曲變形，從而使上述可動板轉(zhuǎn)動，掃描通過上述 光反射部反射的光，在上述圖像形成裝置中，上述各連接部包括 軸部件，,人上述可動板延伸；以及折回部，連4妄上述軸部件和上述 支持部，且形成為向上述可動板側(cè)折回。由此，可以^是供一種可緩和或防止對環(huán)境溫度影響、并可發(fā)揮 希望的振動特性的圖像形成裝置。


圖1是表示本發(fā)明的執(zhí)行才幾構(gòu)的第一實施例的立體圖； 圖2是圖1中的A-A線的剖面圖；圖3是施力。到包括如圖1所示的執(zhí)行機(jī)構(gòu)的壓電元件的電壓的 波形的一例的示意圖；圖4是表示本發(fā)明的寺丸行才幾構(gòu)的第二實施例的俯-見圖；圖5是圖4中的B-B線的剖面圖；圖6是表示本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)的第三實施例的俯視圖； 圖7是圖6中的C-C線的剖面圖；圖8是包括如圖6所示的執(zhí)行機(jī)構(gòu)的壓電元件的放大圖；圖9是施加到包括如圖6所示的執(zhí)行機(jī)構(gòu)的壓電元件的電壓的 波形的一例的示意圖；圖10是表示本發(fā)明的才丸4亍才幾構(gòu)的第四實施例的俯一見圖； 圖11是圖10中的D-D線的剖面圖； 圖12是表示本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)的第五實施例的俯視圖； 圖13是表示本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)的第六實施例的俯視圖； 圖14是表示本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)的第七實施例的俯視圖； 圖15是圖14中的E-E線的剖面圖；以及 圖16是使用本發(fā)明的光學(xué)掃描器的圖像形成裝置的概略圖。
具體實施方式
下面，參照附圖，對本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)、光學(xué)掃描器以及圖像 形成裝置的優(yōu)選實施例進(jìn)行說明。第一實施例首先，對本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)的第一實施例進(jìn)行說明。圖1是表示本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)的第一實施例的立體圖，圖2是 圖1中的A-A線的剖面圖，圖3是施加到如圖1所示的執(zhí)行機(jī)構(gòu)包 」括的壓電元〗牛的電壓的波形的一例的示意圖。j]:匕外，下面，為了使_ 于i兌明，將圖1中的紙面的外側(cè)稱為"上"，將紙面的里側(cè)稱為"下"， 將右側(cè)稱為"右"，將左側(cè)稱為"左"，并且，將圖2中的上側(cè)稱為 "上"，將下側(cè)稱為"下"，將右側(cè)稱為"右"，將左側(cè)稱為"左"。執(zhí)行機(jī)構(gòu)1包括基體2，具有如圖1所示的兩個自由度振動 系統(tǒng)；以及支持基板3，隔著接合層4支持底部2。如圖l所示，基體2具有可動^反21、用于支持可動外反21的支 持部22、連4妄可動玲反21和支持部22的一對連4妾部23、 24。連4妄部23包4舌軸部件231， 乂人可動氺反21延伸出來；折回部 232,連4妄軸部4牛231和支持部22，且形成為向可動^反21側(cè)折回。 而且，上述折回部232包括驅(qū)動部件233,連4妻于軸部件231的 長度方向上的一端(與可動板21相反一側(cè)的端部)；以及一對彈性 部件234、 235,用于連4妻驅(qū)動部件233和支持部22。同才羊，連4妻部24包4舌4由部Y牛241， 乂人可動斗反21延伸出來； 4斤回告卩242,連才妻砵由部4牛241和支持丟卩22,且以向可S力4反21 #^斤 回的方式形成。而且，上述折回部242包括馬區(qū)動部件243,連4妄 于軸部件241的長度方向上的一端(與可動板21相反一側(cè)的端部)； 以及一對彈性部件244、 245,用于連接驅(qū)動部件243和支持部22。即，基體2包4舌可動4反21、支持部22、軸部件231、 241、馬區(qū) 動部<牛233、 243、以及彈性部4牛234、 235、 244、 245。下面，依次對上述部件進(jìn)行i兌明?？蓜渔?1形成^反狀。然后，在可動4反21的上面i殳置有具有光 反射性的光反射部211。在可動板21的非驅(qū)動時的俯一見(下面簡稱 為"俯牙見可動板21")時， 一對驅(qū)動部件233、 243設(shè)置成隔著上述 可動板21相互面對。一對驅(qū)動部件233、 243分別形成板狀。而且，在圖1中，一 對驅(qū)動部件233、 243被設(shè)置成以可動板21為中心、左右對稱。上 述驅(qū)動部件233、 243相互成相同的形狀、相同的尺寸。但是，一只t馬區(qū)動部寸牛233、 243的形4犬并不4又限于jt匕。it匕夕卜，也可以不形成 相互相同的形狀、相同的尺寸。上述驅(qū)動部件233通過軸部件231連4妄于可動板21，驅(qū)動部件 243通過軸部件241連"l妄于可動4反21。一對軸部件231、 241分別形成長條形狀，且可彈性變形。軸 部件231連接可動板21和驅(qū)動部件233,以使相對于驅(qū)動部件233 可轉(zhuǎn)動可動才反21。同樣，軸部件241連4妾可動一反21和驅(qū)動部件243， 以^使相對于驅(qū)動部件243可轉(zhuǎn)動可動才反21。上述一對軸部件231、 241被設(shè)置成相互同軸(同一直線狀) 上。然后，可動一反21圍繞在該軸的周圍(轉(zhuǎn)動中心軸X)轉(zhuǎn)動。當(dāng)俯一見可動^反21時，以包圍可動外反21和一對驅(qū)動部件233、 243外周的方式形成有支持部22。上述支持部22包括框狀的框部 221、 乂人框部221向框部221的內(nèi)側(cè)(以才匡部221畫成的空間內(nèi)) 突出的突出部222-225。在與轉(zhuǎn)動中心軸X相平行的方向上，在框部221的圖1中的左 側(cè)部^立和馬區(qū)動部^f牛233之間形成有空隙，在才匡部221的圖1中的右 側(cè)部^立和馬區(qū)動部^f牛243之間形成有空隙。形成上述空隙是為了可以 容許后述的、由熱膨脹引起的驅(qū)動部件233、 243的位移。突出部222、 223 4皮設(shè)置在可動板21和驅(qū)動部件233之間。而 且，當(dāng)俯視可動板21時，相對于轉(zhuǎn)動中心軸X對稱設(shè)置突出部222、 223，以使突出部222、 223隔著轉(zhuǎn)動中心軸X相互面對。上述突出 部222通過彈性部件234連4妻于驅(qū)動部件233,突出部223通過彈 性部件235連4妄于驅(qū)動部件233。突出部224、 225 4皮設(shè)置在可動板21和驅(qū)動部件243之間。而 且，當(dāng)俯-見可動々反21時，相對于轉(zhuǎn)動中心軸X對稱i殳置突出部224、 225，以4吏突出部224、 225隔著轉(zhuǎn)動中心軸X相互面對。上述突出 部224通過彈性部件244連4妄于驅(qū)動部件243，突出部225通過彈 斗生吾卩^f牛245連4妄于馬區(qū)5力部ff 243。但是，對于支持部22的形狀，只要能通過連接部23、 24可轉(zhuǎn) 動;也支持可動澤反21即可，并沒有特別的限定，例如，也可以為 框部221不形成框狀，而是在圖1中的左右分開的形狀，也可以省 略框部221。而且，才艮據(jù)框部221的形狀等，也可以省略突出部222 ~ 225。彈性部件234、 235、 244、 245分別成長條形形狀，且可彈性 變形。而且，彈'I"生部^f牛234、 235、 244、 245分別沿與專爭動中心軸X 沖目平4亍的方向延4申。彈性部件234連接驅(qū)動部件233和突出部222，同樣，彈性部 件235連接驅(qū)動部件233和突出部223，彈性部件244連接驅(qū)動部 件243和突出部224，彈性部件245連4妻驅(qū)動部件243和突出部225。其中， 一對彈性部件234、 235分別^皮-沒置在驅(qū)動部件233的 可動才反21相'J。 it匕夕卜，當(dāng)Y府牙見可動一反21日寸， 一只于《單斗生吾lM牛234、 235 4皮i殳置成隔著轉(zhuǎn)動中心軸X相互面對、且相對于轉(zhuǎn)動中心軸X對稱。同樣， 一對彈性部件244、 245分別祐 沒置在驅(qū)動部件243的 可動才反2K則。；t匕夕卜，當(dāng)4府一見可動才反21時，——^j^單'I"生部4牛244、 245 尋皮-沒置成隔著轉(zhuǎn)動中心軸X相互面對、且相對于轉(zhuǎn)動中心軸X對稱。這樣，通過將彈性部件234、 235設(shè)置在比驅(qū)動部件233更靠 近可動板21側(cè)，并將彈性部件244、 245 i殳置在比驅(qū)動部件243更 靠近可動板21側(cè)，從而可以實現(xiàn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)1的小型化。并且，如 后所述，可以緩和或防止對環(huán)境溫度的影響，并可發(fā)揮、維持所需 要的振動特性。在這樣彈性部件234的上表面4妄合有后述的壓電元件51。同 樣，分別在彈性部件235的上表面接合有壓電元件52，在彈性部件 244的上表面接合有壓電元件53,在彈性部件245的上表面接合有 壓電元件54。上述壓電元件51 ~54是用于使可動板21圍繞轉(zhuǎn)動中 心軸X轉(zhuǎn)動的驅(qū)動源。包括如上所述結(jié)構(gòu)的基體2的執(zhí)行機(jī)構(gòu)1構(gòu)成為由于通電使 壓電元件51 54伸縮，從而寸吏一對彈性部件234、 235向可動板21 的厚度方向彎曲變形，并使驅(qū)動部件233圍繞轉(zhuǎn)動中心軸X轉(zhuǎn)動， 同時，4吏一》于彈性部4牛244、 245向可動^反21的厚度方向彎曲變形， 并4吏驅(qū)動部^f牛243圍繞專爭動中心軸X 4爭動。然后，通過上述一乂十驅(qū) 動部件233、 243的轉(zhuǎn)動，分別^f吏一對軸部件231、 241 4丑曲(twist) 變形，并^f吏可動^反21圍繞轉(zhuǎn)動中心軸X轉(zhuǎn)動。由此，可以說基體2包括第一振動系統(tǒng)，包括彈性部件234、 235、 244、 245和一只于馬區(qū)動吾I^牛233、 243; k乂及第二4展動系纟充，包 4舌一乂于4由吾l^牛231 、 241和可動才反21 。艮卩，4丸4亍才幾才勾1具有由第—— 振動系統(tǒng)和第二振動系統(tǒng)構(gòu)成的兩個自由度振動系統(tǒng)。例如以石圭為主材料構(gòu)成上述基體2,且將可動板21、軸部件 231、 241、 一弓區(qū)動部4牛233、 243、 ？單寸生部4牛234、 235、 244、 245、支持部22 (框部221及突出部222 -225)形成為一體。這樣，由 于以硅為主材料，所以，可以實現(xiàn)卓越的轉(zhuǎn)動特性，同時，可以發(fā)揮卓越的可靠性。而且，可進(jìn)4于細(xì)孩i處理(加工)，乂人而可實現(xiàn)導(dǎo)丸 行機(jī)構(gòu)1的小型化。此外，基體2也可以由具有SOI基板等的層壓結(jié)構(gòu)的基^反來形 成可動才反21、 4由吾[M牛231、 241、馬區(qū)動部4牛233、 243、《單寸生部4牛234、 235、 244、 245、支持吾卩22。 it匕日寸，為了1吏可動4反21、 4由部4牛231、 241、馬區(qū)動吾[W牛233、 243、 ？單寸生4f^牛234、 235、 244、 245、支持部22成為一體，優(yōu)選在層壓結(jié)構(gòu)基板的一個層上形成這些元件。上面上述基體2通過接合層4與支持基板3連接。支持基板3例如以玻璃、娃或者Si02為主材料而構(gòu)成。而且， 支持基板3形成框狀，該框狀形成為與俯浮見可動板21時的支持部 22的形狀相一致。但是，作為支持基板3的形狀，只要可以支持基體2而不妨礙 上述振動系統(tǒng)的驅(qū)動，并沒有特別的限定。例如支持基板3在其下 面(與基體2相反側(cè)的面)也可以不開放。即，也可以是在支持基 板3的上面形成凹部的結(jié)構(gòu)。而且，根據(jù)支持部22的形狀等，也 可以省略支持基才反3。例如以玻璃、硅或者Si02為主材料構(gòu)成形成于支持基板3和基 體2之間的4妄合層4。 ^f旦是，也可以省略上述4妻合層4。即、也可 以是直接結(jié)合基體2和支持基板3。下面，對作為用于使可動板21轉(zhuǎn)動的驅(qū)動源即、壓電元件51 ~ 54進(jìn)4亍i兌明。^f旦是，對于壓電元件51 ~54而言，由于相互具有相 同的結(jié)構(gòu)，所以僅以壓電元件52為代表進(jìn)行說明，并省略對壓電 元件51、 53、 54的i兌明。為了覆蓋彈性部件235的上表面的全范圍、且片黃5爭彈性部件 235和支持部22 (突出部223 )的邊界部，將壓電元件52接合于彈 性部件235。而且，壓電元件52連接于未圖示的電源電路，根據(jù)由 該電源電^各通電，向彈性部件235的長度方向伸縮。如圖2所示，上述壓電元件52包括壓電體層521,以壓電材 泮+為主材津牛而構(gòu)成；以及一對電才及522、 523,夾持該壓電體層521。作為用于構(gòu)成壓電體層521的壓電材料，列舉有氧化鋅、氮化 鋁、鉭酸鋰、鈮酸鋰、鈮酸鉀、鈦酸鉛鋯(PZT)、鈦酸鋇、其他各 種材料，可以將其中的一種或二種進(jìn)行組合使用，尤其優(yōu)選，以氧 化鋅、氮化鋁、鉭酸鋰、鈮酸鋰、鈮酸鐘、鈥酸鉛鋯中的至少一種 為主。由于由上述才才^"構(gòu)成壓電體層521， 乂人而可以以更高的頻率 來馬區(qū)動才丸4亍才幾構(gòu)1。電極522形成為覆蓋壓電體層521的下表面的全部范圍、且在 突出部223上露出其一部分。而且，該電極522分別與彈性部件235 及突出部223連4妄。另一方面，電極523形成為覆蓋壓電體層521的上表面的全部 范圍。而且，電極523通過利用例如引線接合法形成的配線連接于 i殳置在突出部223的端子524。作為用于構(gòu)成上述電極522、 523 (端子524)的材料，只要是 具有導(dǎo)電性的材料，并沒有特別的限定。如上所述的壓電元件52可以利用例如CVD 、陰才及賊鍍、水熱 合成法、溶膠-凝膠法、微粒噴霧法(fine-particle spraying method ) 等的薄膜形成法在彈性部件235上直接形成，而且，也可以是，將 與彈性部件235分開制造的壓電元件(例如，散裝元件(bulkelement))通過樹脂材料(粘合劑)等連接于彈性部件235 (基體2 ) 上。但是，作為壓電元件52的結(jié)構(gòu)，只要可沿彈性部件235的長 度方向伸縮即可，并沒有特別的限定。例如，端子524也可以不形 成在突出部223上，也可以^皮省略。如上所述的才丸4于才幾構(gòu)1以下面的方式驅(qū)動。例^口，向壓電it/f牛51、 53施力口^口圖3 (a)戶斤示的電壓的同時， 向壓電元寸牛52、 54施力口:^圖3 (b)所示的電壓。即，交*#重復(fù)向 壓電元件51、 53施加電壓的狀態(tài)(將該狀態(tài)稱為"第一狀態(tài)")、 和向壓電元件52、 54施加電壓的狀態(tài)(將該狀態(tài)稱為"第二狀態(tài)")。;t匕外，由于連4妻部23的4丑曲變形和連4妄部24的4丑曲變形相互 相同，所以^叉以連4妻部23的扭曲變形為代表進(jìn)刊-i兌明，并省略對 連才妄吾卩24的4丑曲變形的i兌明。首先，對第一狀態(tài)進(jìn)行說明。通過通電，使壓電元件51變?yōu)?伸張4犬態(tài)，乂人而彈性部4牛234的在長度方向上的驅(qū)動部4牛233側(cè)的 端部向下側(cè)(支持基板3側(cè))位移。另一方面，彈性部件235由于 彈性部件234的上述彎曲變形的反作用，彈性部件235的在長度方 向上的驅(qū)動部件233側(cè)的端部向上側(cè)(支持基一反3側(cè)的相反側(cè))位 移。由此，驅(qū)動部件233中，相對于轉(zhuǎn)動中心軸X,彈性部件234 側(cè)的部分向下側(cè)位移，相對于轉(zhuǎn)動中心軸X,彈性部件235側(cè)的部 分向上側(cè)位移。即，驅(qū)動部件233在轉(zhuǎn)動中心軸X周圍傾斜。下面，對第二狀態(tài)進(jìn)行說明。通過通電，使壓電元件52變?yōu)?伸張狀態(tài)，乂人而彈性部件235的長度方向上的驅(qū)動部件233側(cè)的端部向下側(cè)位移。另 一方面，彈性部件234由于彈性部件235的上述 彎曲變形的反作用，彈性部件234的長度方向上的驅(qū)動部件233側(cè) 的端部向上側(cè)4立移。由此，驅(qū)動部件233中，相對于轉(zhuǎn)動中心軸X，彈性部件235 側(cè)的部分向下側(cè)位移，相對于轉(zhuǎn)動中心軸X，彈性部件234側(cè)的部 分向上側(cè)位移。即，驅(qū)動部件233在轉(zhuǎn)動中心軸X周圍傾斜。通過交替重復(fù)如上所述的第 一狀態(tài)和第二狀態(tài)，從而可使一對 彈性部4牛234、 235相互向相反的方向彎曲變形，并可l吏馬區(qū)動部件 233繞轉(zhuǎn)動中心軸X軸轉(zhuǎn)動。然后，由于上述驅(qū)動部件233的轉(zhuǎn)動， 使軸部件231扭曲變形，并可使可動板21繞轉(zhuǎn)動中心軸X轉(zhuǎn)動。此外，雖然在本實施例中，僅對以下情況進(jìn)行了說明通過交 替重復(fù)向壓電元件51、 53施力。電壓的狀態(tài)、和向壓電元件52、 54 施力。電壓的狀態(tài)，從而使可動板21轉(zhuǎn)動。但是只要可使可動板21 轉(zhuǎn)動即可，并沒有特別的限定。也可以是，例如向壓電元4牛51、 53、 和壓電元件52、 54間歇地施加相位偏移180度的(即，相反相位 的)交;克電壓。上面，對執(zhí)行機(jī)構(gòu)1的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了詳細(xì)說明。上述寺丸4亍才幾構(gòu)1由于受熱而升溫，乂人而導(dǎo)致軸部4牛231、 241 熱膨脹。作為引起上述熱膨脹的原因，列舉有例如環(huán)境溫度變化、 和才丸行機(jī)構(gòu)1本身的散熱等。尤其是，在本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)中，將具有由于通電而發(fā)熱的性 質(zhì)的壓電元件用作驅(qū)動源。因此，由于上述壓電元件的發(fā)熱，而導(dǎo) 致拭Z于一幾構(gòu)1熱膨月長。而且，例如將執(zhí)行機(jī)構(gòu)1用作光學(xué)掃描器時，由于照射到光反射部211的光的一部分不^皮反射而轉(zhuǎn)換為熱，因而導(dǎo)致4丸4亍才幾構(gòu)1熱膨脹。當(dāng)發(fā)生上述熱膨脹時，尤其是，形成長條形形狀的軸部件231、 241、以及形成長方開j開^^犬的《單'〖生告M牛234、 235、 244、 245分另'J向其長度方向伸張。所以，如上所述，在執(zhí)行機(jī)構(gòu)l中，由于一對彈性部件234、 235被設(shè)置在與驅(qū)動部件233相比靠近可動板21側(cè)(連接部24也 同樣)，所以，即使在軸部件231、 241等熱膨脹的情況下，仍可容許由該熱膨脹引起的變形，并可以將轉(zhuǎn)動中心軸X穩(wěn)定地保持在所 希望的^f立置上(即，可以防止可動纟反21的向厚度方向的4立移)。具體而言，當(dāng)軸部件231熱膨月長時，軸部件231的在長度方向 上的長度變長。換言之，軸部件231的溫度上升的同時，軸部件231 向長度方向伸張。另 一方面，由于彈性部件234及彈性部件235的各自的熱膨脹， 驅(qū)動部件233向離開可動板21的方向位移。這樣，由于驅(qū)動部件 233向離開可動板21的方向位移，所以，可以容許由熱膨脹引起的 軸部件231的變形(即向長度方向的伸張)。因此，當(dāng)軸部件231熱膨脹時，利用執(zhí)行機(jī)構(gòu)1可以緩和可動 板21的在厚度方向上的位移。其結(jié)果是，執(zhí)行機(jī)構(gòu)1即使在熱膨 月長發(fā)生的情況下，也可以穩(wěn)定地保持轉(zhuǎn)動中心軸X，并可使可動板 21轉(zhuǎn)動，從而可發(fā)揮所希望的振動特性。而且，當(dāng)上述扭j亍4幾構(gòu)1用作光學(xué)掃描器時，通過防止可動板 21的位移，從而可以將從光源至光反射部211的光路長度(離開的 距離)及從光反射部211至掃描對象物的光路長度(離開的距離)保持為希望的距離。其結(jié)果是，即使在熱膨脹發(fā)生的情況下，執(zhí)行 機(jī)構(gòu)1仍可以維持希望的掃描特性。而且，在執(zhí)行機(jī)構(gòu)1中， 一對彈性部件234、 235被設(shè)置成隔 著轉(zhuǎn)動中心軸X相互面對、且相對于轉(zhuǎn)動中心軸X對稱。因此， 即使在各個軸部件231及彈性部件234、 235熱膨脹的情況下，仍易于將轉(zhuǎn)動中心軸X穩(wěn)定保持在希望的位置上。而且，在才丸行才幾構(gòu)1中， 一對彈性部件234、 235被設(shè)置成其 長度方向與軸部件231的長度方向平行。因此，在各個軸部件231 及彈性部件234、 235熱膨月長的情況下，可以4吏驅(qū)動部4牛233向離 開可動纟反21的方向順利〗立移。而且，在本實施例中，^f吏用壓電元件51 ~ 54作為轉(zhuǎn)動驅(qū)動可 動板21的驅(qū)動源。由于壓電元件是由于通電而發(fā)熱的元件，所以 通過將壓電元件51 54和基體2組合，上述效果更為顯著。第二實施例下面，對本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)的第二實施例進(jìn)行說明。圖4是表示本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)的第二實施例的俯視圖，圖5是 圖4中的B-B線的剖面圖。此外，為了l更于i兌明，將圖5中的上側(cè) 稱為"上"，將下側(cè)稱為"下"。下面，將以第二實施例的執(zhí)行機(jī)構(gòu)1A與上述第一實施例的執(zhí) 行機(jī)構(gòu)1之間的不同點為中心進(jìn)行說明，并省略重復(fù)部分的說明。本發(fā)明的第二實施例涉及的才丸4亍才幾構(gòu)1A除壓電元^牛51A ~ 54A的形狀不同以夕卜，其他均與第一實施例的執(zhí)行機(jī)構(gòu)1大致相同。 而且，對與上述第一實施例相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注了相同的符號。此夕卜，由于壓電元件51A 54A相互形成相同的形狀，所以^f又 以壓電元件51A為代表進(jìn)行說明，并省略對壓電元件52A ~ 54A的說明。如圖4及圖5所示，壓電元件51A具有比彈性部件234的寬度 H府一見可動才反21時，相^j"于專爭動中心軸X直4亍的方向上的長度) 寬的寬度，且壓電元件51A接合于彈性部件234,以〗更覆蓋彈性部 件234的寬度方向上的整個區(qū)域。這樣，由于使用具有比彈性部件234的寬度寬的寬度的壓電元 件51A, 乂人而當(dāng)制造^M亍才幾構(gòu)1A時，即l吏在壓電元件51A相對于 彈性部件234的4妄合位置相對于i殳定位置向彈性部件234的寬度方 向偏移的情況下，只要將壓電元件51A接合成包含彈性部件234的 寬度方向上的整個區(qū)域，就可以根據(jù)壓電元件51A的伸縮，將希望 的驅(qū)動力傳達(dá)給彈性部件234 (即可以將彈性部件234的彎曲變形 量設(shè)為希望的量)。即，當(dāng)將壓電元件51A接合于彈性部件234時，即使不進(jìn)行接 合位置的微調(diào)整，也可以發(fā)揮希望的振動特性，所以，可以簡化執(zhí) 行機(jī)構(gòu)1A的結(jié)構(gòu)，并可實現(xiàn)減少安裝時間(制造時間)。這樣的效 果在包括以下工藝的情況下尤為顯著與基體2分開制造壓電元件 51A,然后，通過樹脂材料(粘合劑)等將壓電元件51A接合于彈 性部件234。而且，關(guān)于壓電元件52A 54A也是同樣的，所以，通過使用 這樣壓電元件51A 54A，可以4及為容易地^使彈性部件234、 235、 244、 245的彎曲變形量大f丈相等。根據(jù)上述第二實施例，也可以發(fā)揮與第 一 實施例同樣的效果。第三實施例下面，對本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)的第三實施例進(jìn)行-說明。圖6是表示本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)的第三實施例的俯視圖，圖7是 圖6中的C-C線的剖面圖，圖8是用于說明壓電元件的圖，圖9是 施加到壓電元件的電壓的一例示意圖。此外，為了^f更于i兌明，將圖 7中的上側(cè)稱為"上"，將下側(cè)稱為"下"。下面，將以第三實施例的執(zhí)行機(jī)構(gòu)1B與上述第一實施例的執(zhí) 行機(jī)構(gòu)1之間的不同點為中心進(jìn)行說明，并省略對重復(fù)部分的說明。本發(fā)明第三實施例涉及的執(zhí)行機(jī)構(gòu)1B除壓電元件55 - 58的結(jié) 構(gòu)及配置、支持基板3的結(jié)構(gòu)不同以外，其他均與第一實施例的執(zhí) ^亍才/L構(gòu)l大致相同。而且，對與第一實施例相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注了相同 的符號。支持基板3B包括板狀的基臺31;以及壁部32,接合于基臺 31的上表面，并形成為與俯視可動板21時的、支持部22的形狀一致。而且，在上述基臺31的上表面，在面對彈性部件234的部位 上4妄合壓電元件55，在面對彈性部件235的部位上4妻合壓電元件 56,在面對彈性部件244的部位上4妄合壓電元件57，在面對彈性部 件245的部位上4妾合壓電元件58。下面將對壓電元件55 ~ 58進(jìn)行說明，但是，由于壓電元件55 ~ 58相互為相同的結(jié)構(gòu)及配置，所以，僅以壓電元件55為代表進(jìn)行 i兌明，并省略對壓電元件56 ~ 58的i兌明。壓電元件55的在可動々反21的厚度方向(即，圖7中的上下方 向)上的下端面與支持基板3的基臺31接合，上端面與彈性部件234的下表面接合。而且，壓電元件55向可動板21的厚度方向(即， 圖7中箭頭方向)伸縮。如圖8所示，上述壓電元件55在可動外反21的厚度方向交替層 壓有具有壓電性的多個壓電體層551、以及用于向各壓電體層551 施加電壓的多個電極層552。即，壓電元件55是在可動板21的厚 度方向伸縮的層壓型的壓電元件。上述壓電元件55可以降^f氐驅(qū)動 電壓，并可增大位移量。多個壓電體層551形成為鄰4妾的壓電體層551的才及化方向為相 互相反的方向。即，乂人多個壓電體層551中的基臺31側(cè)開始，第 奇凄丈個壓電體層551的4及化方向與第偶lt個壓電體層551的才及化方 向相反。由此，可以更可靠i也降4氐驅(qū)動電壓，增大壓電元件55的 位移量。此外，在本說明書中，所謂"極化方向"是指在不向壓 電體層施力n電場和應(yīng)力的狀態(tài)下，在壓電體層的 一個面的附近過剩 存在正電荷，且在壓電體層的另一個面的附近過剩存在負(fù)電4肓?xí)r (自然極化或剩余才及化時)，/人壓電體層的負(fù)電荷過剩存在的面朝 向正電荷過剩存在的面的方向。而且，各電極層552隔著鄰接的壓電體層551并插入其間。而 且，多個電4及層552形成為鄰4妻的兩個電才及層552具有重疊區(qū)i或(活 性區(qū)域)。在多個電極層552中，從基臺31側(cè)開始，第奇數(shù)個電極 層552與設(shè)置在壓電元件55的側(cè)面上的共用電極553連接，從基 臺31側(cè)開始，第偶凄t個電才及層552與i殳置在與壓電元件55的共用 電才及553的面相只于的面上的共用電才及554連接。而且，通過在共用電才及553和共用電才及554之間施加電壓，可 以通過上述重疊區(qū)域?qū)Ω鲏弘婓w層551施加電壓。其結(jié)果是，各壓 電體層551向可動4反21的厚度方向伸縮。4旦是，只要壓電元件55的結(jié)構(gòu)可向可動板21的厚度方向伸縮 即可，并沒有特別的限定。而且，也可以不將共用電才及553、 554 i殳置在壓電元^f牛55的側(cè)面，例如也可以形成在基臺31上。例如如下所述，具有上述壓電元件55 ~ 58的執(zhí)行機(jī)構(gòu)1B使可 動氺反21在轉(zhuǎn)動中心軸X周圍轉(zhuǎn)動。例如，將如圖9 (a)所示的電壓施加到壓電元件55、 57,同 時，將如圖9 (b)所示的電壓施加到壓電元件56、 58。即，將相 互相位相差180度的電壓施加到壓電元件55、 57、和壓電元件56、 58。于是，交替重復(fù)以下兩種狀態(tài)使壓電元件55、 57為伸張狀 態(tài)的同時，4吏壓電元件56、 58為收縮狀態(tài)的狀態(tài)(將該狀態(tài)定為 "第一狀態(tài)")；以及使壓電元件55、 57為收縮狀態(tài)的同時，使壓 電元件56、 58為伸張狀態(tài)的狀態(tài)(將該狀態(tài)定為"第二狀態(tài)")。接下來，將根據(jù)圖7對第一狀態(tài)及第二狀態(tài)的各個狀態(tài)下的連 4妾部23、 24的變形進(jìn)4亍具體i兌明?！兜┦怯捎谶B接部23和連4妄部24 的變形相同，所以僅以連接部23為代表進(jìn)行說明，并省略對連接 部24的i兌明。在第一狀態(tài)下，由于將壓電元件55設(shè)定為伸張狀態(tài)，將壓電 元件56設(shè)定為收縮狀態(tài)，所以，彈性部件234的在長度方向上的 馬區(qū)動吾M牛233側(cè)的端部向上側(cè)4立移，彈性部4牛235的在長度方向上 的馬區(qū)動部〗牛233側(cè)的端部向下側(cè)^立移。由此，相對于驅(qū)動部件233的轉(zhuǎn)動中心軸X，彈性部件234側(cè) 的部分向上側(cè)位移，驅(qū)相對于動部件233的轉(zhuǎn)動中心軸X，彈性部 件235側(cè)的部分向下側(cè)位移。即，驅(qū)動部件233以轉(zhuǎn)動中心軸X為中心傾斜。另一方面，在第二狀態(tài)下，由于將壓電元件55 i殳定為收縮狀 態(tài)，將壓電元件56 i殳定為伸張狀態(tài)，所以彈性部件234的在長度 方向上的驅(qū)動部件233側(cè)的端部向下側(cè)位移，彈性部件235的在長 度方向上的驅(qū)動部件233側(cè)的端部向上側(cè)位移。由此，相對于驅(qū)動部件233的轉(zhuǎn)動中心軸X，彈性部件234側(cè) 的部分向下側(cè)4立移，相對于驅(qū)動部件233的轉(zhuǎn)動中心軸X,彈性部 件235側(cè)的部分向上側(cè)位移。即，驅(qū)動部件233以轉(zhuǎn)動中心軸X為中心傾斜。通過重復(fù)如上所述的第一狀態(tài)及第二狀態(tài)，,人而使驅(qū)動部件 233轉(zhuǎn)動，因此，可以4吏軸部件231 :扭曲變形，并可以^f吏可動才反21轉(zhuǎn)動。即J吏在上述第三實施例中，也可以發(fā)揮與第 一 實施例同樣的效果。第四實施例下面，對本發(fā)明^丸^亍片幾構(gòu)的第四實施例進(jìn)行說明。圖IO是表示本發(fā)明執(zhí)行機(jī)構(gòu)的第四實施例的俯視圖，圖ll是 圖10中的D-D線的剖面圖。下面，將以第四實施例的執(zhí)行機(jī)構(gòu)1C與上述第三實施例的執(zhí) 行機(jī)構(gòu)1B之間的不同點為中心進(jìn)行說明，并省略對其重復(fù)部分的 說明。本發(fā)明第四實施例涉及的4丸行才幾構(gòu)1C除基體2C的結(jié)構(gòu)、支 持基板3的形狀、以及壓電元件55C 58C的配置不同以外，其他均與第三實施例的執(zhí)行機(jī)構(gòu)IB大致相同。而且，對與上述第三實 施例相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注了相同的符號?；w2C包括可動板21C;連接部23C，連接各個壓電元件 55C、 56C和可動4反21C;以及連接部24C，連4姿各個壓電元件57C、 58C和可動^反21C。連接部23C包括驅(qū)動部件233C，與可動板21C隔著間隔設(shè) 置；軸部件231C，連接驅(qū)動部件233C和可動板21C;彈性部件 234C，連4妄驅(qū)動部件233C和壓電元件55C;以及彈性部件235C, 連4妻驅(qū)動部件233C和壓電元件56C。同樣，連接部24C包括驅(qū)動部件243C，與可動板21C隔著 間隔i殳置；軸部件241C，連4妄驅(qū)動部件243C和可動4反21C;彈性 部件244C,連4妄驅(qū)動部件243C和壓電元件57C;以及彈性部件 245C，連接驅(qū)動部件243C和壓電元件58C。支持基板3C形成板狀，且在其上表面分別連接有壓電元件 55C 58C。如圖11所示，壓電元件55C在支持基板3C的上表面，被設(shè) 置在與彈性部件234C的長度方向上的驅(qū)動部件233C的相反側(cè)的 端部相對的位置上。而且，上述壓電元件55C向可動板21C的厚 度方向伸縮。壓電it/f牛55C在該伸縮方向上的一端面(下端面)上 與支持基板3C接合，在另一端面(上端面)上與彈性部件234C 的長度方向上的驅(qū)動部件233C的相反側(cè)的端部接合。即，壓電元 件55C纟皮設(shè)置成在其伸縮方向上，連4妻彈性部件234C和支持基4反 3C。與壓電元件55C同樣，壓電元件56C ~ 58C也^皮"i殳置在支持基 板3C的上表面。即，壓電元件56C被設(shè)置為在其伸縮方向上連接彈性部件235C和支持基才反3C,壓電元件57C祐:i殳置為在其伸縮 方向上連接彈性部件244C和支持基板3C,壓電元件58C被設(shè)置 為在其伸縮方向上連4妻彈性部件245C和支持基纟反3C。而且，通過通電，使上述各個壓電元件55C 58C伸縮，從而 4吏可動板21C轉(zhuǎn)動。此夕卜，由于向壓電元件55C ~ 58C施加電壓、 以及隨其的可動板21C的轉(zhuǎn)動與上述第三實施例相同，所以省略對 其的i兌明。如上所述，可以說作為驅(qū)動源的壓電元件55C ~ 58C還兼作支 持基體2C的支持部。這樣，由于壓電元件55C-58C還兼作支持 基體2C的支持部，所以可以實現(xiàn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)1C的小型化。以上，雖然對第四實施例的執(zhí)行機(jī)構(gòu)1C進(jìn)行了說明。但是， 例如，當(dāng)俯視可動板21C時，也可以包括為包圍基體2C外周而形 成的才匡部。根據(jù)上述第四實施例，也可以發(fā)揮與第一實施例同樣的效果。 第五實施例下面，對本發(fā)明凈丸4于才幾構(gòu)的第五實施例進(jìn)4于i兌明。圖12是表示本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)的第五實施例的俯視圖。下面，將以第五實施例的執(zhí)行機(jī)構(gòu)1D與上述第一實施例的執(zhí) 行機(jī)構(gòu)1之間的不同點為中心進(jìn)行說明，并省略對重復(fù)部分的說明。本發(fā)明第五實施例涉及的執(zhí)行機(jī)構(gòu)1D除彈性部件234D、 235D 、 244D 、 245D的配置不同以外，其4也均與第 一 實施例的扭J亍才幾構(gòu)l大致相同。而且，對與上述第一實施例相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注了相 同的符號。此外，當(dāng)俯一見可動^反21時，以可動板21為中心左右對稱地i殳 置一對彈性部件234D、 235D、和一對彈性部件244D、 245D,所以 僅以一對彈性部件234D、 235D為代表進(jìn)行說明，并省略對一對彈 性部件244D、 245D的說明。一對彈性部件234D、 235D凈皮設(shè)置為相互的分離距離L！從可 動才反21側(cè)開始向著驅(qū)動部件233側(cè)漸增。由此，例如一對彈性部 件234D、 235D向與轉(zhuǎn)動中心軸X相平行的方向延伸的情況(即， 第一實施例)相比，可以加長各個彈性部件234D、 235D的在長度 方向上的長度。即，可以實現(xiàn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)1的小型化，并可增大驅(qū)動 部<牛233的4展角(swing angle ) ( 4爭動角)。而且，當(dāng)俯一見可動4反21時，可以將一對彈性部件234D 、 235D 連接于驅(qū)動部件233的距離轉(zhuǎn)動中心軸X較遠(yuǎn)的端部，并可^是高驅(qū) 動部件233的應(yīng)答性。才艮據(jù)上述第五實施例，也可以發(fā)揮與第 一 實施例同樣的效果。第六實施例下面，對本發(fā)明批^亍才幾構(gòu)的第六實施例進(jìn)4亍i兌明。圖13是表示本發(fā)明執(zhí)行機(jī)構(gòu)的第六實施例的俯視圖。下面，將以第六實施例的執(zhí)行機(jī)構(gòu)1E與上述第一實施例的執(zhí) 4亍才幾構(gòu)1之間的不同點為中心進(jìn)行i兌明，并省略對重復(fù)部分的i兌明。本發(fā)明第六實施例涉及的扭J亍才幾構(gòu)IE除連4妾部23E、 24E的 結(jié)構(gòu)不同以外，其他均與第一實施例的執(zhí)行機(jī)構(gòu)1大致相同。而且， 對與上述第一實施例相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注了相同的符號。此夕卜，由于連4妄部23E 、 24E為相同的結(jié)構(gòu)，所以 <又以連"l妄部 23E為代表進(jìn)行說明，并省略對連接部24E的說明。連4妄部23E包括驅(qū)動部件233E，與可動4反21隔著間隔而i殳 置；軸部^f牛231,連"l妾馬區(qū)動部件233E和可動4反21;以及一乂于彈性 部件234E、 235E,連4妄驅(qū)動部件233E和支持部22。一對彈性部件234E、 235E ^皮i殳置為相互的分離3巨離L一人可動 4反21側(cè)開始向著驅(qū)動部件233側(cè)遞減。由此，例如， 一對彈性部 件234E、 235E的各個與向著與轉(zhuǎn)動中心軸X相平行的方向延伸的 情況(即第一實施例)相比，可以增加各個彈性部件234E、 235E 的在長度方向上的長度。即，可以增大彈性部件234E、 235E的彎 曲變形量。因此，可以實現(xiàn)扭J1^幾構(gòu)1的小型化，并可增大驅(qū)動部 件233的振角(轉(zhuǎn)動角)。而且，與第 一 實施例的寺丸4亍才幾構(gòu)1相比，可以更加減d、驅(qū)動部 件233E和彈性部件234E的邊界部、和驅(qū)動部件233E和彈性部件 235E的邊界部之間的分離3巨離。因此，可以增大驅(qū)動部4牛233E的 轉(zhuǎn)動角，并可增大可動板21的轉(zhuǎn)動角。才艮據(jù)上述第六實施例，也可以發(fā)揮與第 一實施例同樣的效果。第七實施例下面，對本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)的第七實施例進(jìn)行說明。圖14是表示本發(fā)明執(zhí)行機(jī)構(gòu)的第七實施例的俯視圖，圖15是 圖14中的E-E線的剖面圖。此外，為了1"更于i兌明，將圖14、圖15 中的上側(cè)稱為"上"，將下側(cè)稱為"下"，將右側(cè)稱為"右"，將左 側(cè)稱為"左"。下面，將以第七實施例扭j亍才幾構(gòu)1F與上述第 一 實施例的扭J亍 機(jī)構(gòu)1之間的不同點為中心進(jìn)行說明，并省略對重復(fù)部分的說明。本發(fā)明第七實施例涉及的^丸^f亍才幾構(gòu)1F除折回部232F、 242F 的結(jié)構(gòu)不同以外，其4也均與第一實施例的4丸4亍才幾構(gòu)1大致相同。而 且，對與上述第 一實施例相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注了相同的符號。如圖14所示，以可動板21為中心左右對稱地設(shè)置折回部232F、 242F。折回部232F包括驅(qū)動部件233F,與軸部件231的左側(cè)的端 部連4妄；第 一 彈性部件235F,連4妄驅(qū)動部件233F和突出部223; 以及第二彈性部件234F，連4妄驅(qū)動部件233F和突出部222。同樣，折回部242F包括馬區(qū)動部4牛243F，與軸部^牛231的右 側(cè)的端部連4妄；第一彈性部件245F,連4妄驅(qū)動部件243F和突出部 225;以及第二彈性部件244F，連4妾驅(qū)動部件243F和突出部224。而且，執(zhí)行機(jī)構(gòu)1F具有分別接合于第一彈性部件235F、 245F 的一對壓電元件51F、 52F。對于上述才丸4亍部件1F而言，通過壓電元件51F、 52F的驅(qū)動， 使各第一彈性部件235F、 245F彎曲變形，并隨此，各第二彈性部 件234F、 244F4丑曲變形的同時，4吏各驅(qū)動部件233F、 243F轉(zhuǎn)動。 通過上述驅(qū)動部件233F、 243F的轉(zhuǎn)動，各軸部件231、 241 ^是供4丑 力矩。各馬區(qū)動部4牛233F、 243F形成沿與可動^反21的々反面相平行且與 轉(zhuǎn)動中心軸X相垂直的方向延伸的長方形形狀，且在比該長度方向 的中央的上側(cè)，各驅(qū)動部件233F、 243F與軸部件231、 241連4妄。各第一彈性部件235F、 245F主要為彎曲變形而構(gòu)成，且形成 沿與轉(zhuǎn)動中心軸X大致平4于的方向延伸的長方形形狀。而且，上述 第一彈性部件235F、 245F相互相對于轉(zhuǎn)動中心軸X，位于圖14中的下側(cè)。而且，第一彈性部件235F的右側(cè)端被固定于突出部223，左側(cè) 端連4妻于驅(qū)動部件233F的下端部，且可彈性變形。與此相同，第 一彈性部件245F的左側(cè)端#:固定于突出部225，右側(cè)端連4妻于驅(qū)動 部件243F的下端部，且可彈性變形。另一方面，各第二彈性部件234F、 244F主要為4a曲變形而構(gòu) 成，且形成沿與轉(zhuǎn)動中心軸X大致平行的方向延伸的長條形形狀。 而且，為了使各第二彈性部件234F、 244F易于扭曲變形，各第二 彈性部^牛234F、 244F的寬度小于第 一彈'I"生部^f牛235F、 245F的寬度。而且，上述第二彈性部件234F、 244F相互相對于轉(zhuǎn)動中心軸 X位于圖14中的上側(cè)。并且，各第二彈性部件234F、 244F^皮配置 在專爭動中心軸X附近。而且，上述第二彈性部件234F的右側(cè)端^皮固定于突出部222， 左側(cè)端連接于驅(qū)動部件233F的上端部，且可彈性變形。與此相同， 第二彈性部件244F的左側(cè)端被固定于突出部224，右側(cè)端連接于驅(qū) 動部件243F的上端部，且可彈性變形。上述各第 一彈性部件235F、 245F及各第二彈性部件234F、 244F 相^j"于各個^j"應(yīng)的馬區(qū)動部4牛233F、 243F, 4立于可動4反21側(cè)(即內(nèi) 側(cè))。而且，在4斤回部232F中，第一彈性部件235F和軸部件231之 間的分離-巨離(圖14中的L3 )大于第二彈性部4牛234F和軸部<牛 231之間的分離3巨離(圖14中的L4)。同樣，在折回部242F中，第一彈性部件245F和軸部件241之 間的分離距離大于第二彈性部件244F和軸部件241之間的分離距 離。壓電元件51F 4妄合于第一彈性部件235F上，并一皮配置為沿其 長度方向伸縮。另一方面，壓電元件52F接合于第一彈性部件245F 上，并^皮配置為沿其長度方向伸縮。由此，相對于轉(zhuǎn)動中心軸X, 可以i兌壓電元件51F、 52F^l配置為偏在其一側(cè)(圖14中的下側(cè))。對于上述壓電元4牛51F、 52F,由于與在第一實施例中所i兌明 的壓電元件52相同，所以省略對其的"i兌明。上面這樣結(jié)構(gòu)的才丸行才幾構(gòu)1F例如以以下的方式驅(qū)動。此外， 執(zhí)行機(jī)構(gòu)1F構(gòu)成為相對于可動板21左右對稱，所以，在下面的說 明中，以才丸4亍才幾構(gòu)1F的左側(cè)部分(即，4斤回部232F )為代表進(jìn)行 說明。對于纟丸行機(jī)構(gòu)1F的動作而言，向壓電元件51F施加周期變化 的電壓。上述電壓可以例:^是交流電壓，也可以為間l欠的直;充電壓。如上所述，由于壓電元件51F、 52F—起相對于轉(zhuǎn)動中心軸X -波配置為偏在其單側(cè)，所以，為了使一對壓電元件51F、 52F的伸 張/收縮的時刻相互相同，向各壓電元4牛51F、 52F施力。電壓。由此，可以〗吏驅(qū)動壓電元件51F、 52F的驅(qū)動電^各和電源電^各(未圖示) 的結(jié)構(gòu)為簡單的結(jié)構(gòu)。而且，施加到各壓電元件51F、 52F的電壓優(yōu)選為以與包括-可動板21及一對軸部件231、 241的扭振子的扭曲共振頻率相等的 頻率進(jìn)行周期變化的電壓。由此，可以抑制第 一 彈性部件235F 、 245F 及第二彈性部件234F、 244F的變形量、和驅(qū)動部件233F、 243F 及壓電元件51F、 52F的位移量，同時，可以增大可動板21的轉(zhuǎn)動 角。即，可以進(jìn)行低電壓驅(qū)動，并可增大可動板21的轉(zhuǎn)動角。施加了上述電壓的壓電元件51F沿其長度方向(第一彈性部件 235F的長度方向)伸縮。即，壓電元件51F以上述電壓的周期交 替重復(fù)伸張狀態(tài)和收縮狀態(tài)。更為具體地/說，當(dāng)壓電元件51F未^皮施加電壓時，如圖15(a) 所示，壓電元件51F為收縮狀態(tài)，第一彈性部件235F未彎曲變形 (向下方彎曲)，且第二彈性部ff234F也未4丑曲變形。另一方面， 當(dāng)壓電元件51F被施加電壓時，如圖15 (b)所示，壓電元件51F 為伸張狀態(tài)，第一彈性部件235F向下面彎曲并彎曲變形。根據(jù)上 述第一彈性部件235F的變形，驅(qū)動部件233F的圖15中的左側(cè)的 端部向下方^立移。此時，由于通過第二彈性部件234F來支持驅(qū)動 部件233F的右側(cè)端部，所以如圖15 ( b )所示，驅(qū)動部件233F的 右側(cè)端部的位置大致未變化，且驅(qū)動部件233F的姿勢以傾斜的方 式變化(位移)。此外，若以規(guī)定周期交替重復(fù)壓電元件51F的伸 張狀態(tài)和收縮狀態(tài)，則當(dāng)不向壓電元件51F施加電壓時，由于扭曲 變形的第二彈性部件234F、和彎曲變形的第一彈性部件235F的反 作用力，第二彈性部件234F沿與圖示狀態(tài)相反的方向扭曲，同時， 第 一彈性部4牛235F彎曲變形成向上方彎曲。這樣，當(dāng)驅(qū)動部件233F的姿勢變化時，則隨著該變化，軸部 件231的在一黃向剖面上的姿勢變化為傾斜，并向軸部件231 4是供轉(zhuǎn) 矩。由于上述扭轉(zhuǎn)力矩，軸部件231扭曲變形的同時，可動板21 在轉(zhuǎn)動中心軸X周圍轉(zhuǎn)動。根據(jù)上述執(zhí)行機(jī)構(gòu)1F，在具有與上述第一實施例的執(zhí)行機(jī)構(gòu)1 相同的效果的基礎(chǔ)上，還可以抑制可動板21的轉(zhuǎn)動中心軸X的偏 移，并可以通過一個壓電元件向各軸部件231、 241才是供4丑轉(zhuǎn)力矩， 可4吏可動4反21轉(zhuǎn)動，可減少部件件凄t。尤其是，由于轉(zhuǎn)動中心軸X位于^^丑曲變形的各第二彈性部件 234F、 244F的附近，所以，相乂寸于可動壽反21的壽爭動中心軸X,即 使僅使驅(qū)動部件233F、 243F的單側(cè)(圖14中的下側(cè)部分)作用驅(qū) 動力，也可防止可動才反21的4爭動中心軸X的<扁移。因此，由于壓 電元件51F、 52F的可動一反21的轉(zhuǎn)動所需要的壓電元件的lt量減少 (在本實施例中為2個)，所以，可以實現(xiàn)降低執(zhí)行機(jī)構(gòu)1F的成本。 并且，如上所述，若壓電元件的凄t量減少，則不易受到由于各壓電 元件的安裝位置的偏移和尺寸誤差等引起的影響，從而簡單地使可 動4反21順利地轉(zhuǎn)動。而且，當(dāng)各驅(qū)動部件233F、 243F轉(zhuǎn)動時，各第二彈性部件234F、 244F扭曲變形(以扭曲變形為主)，各第一彈性部件235F、 245F 彎曲變形(以彎曲變形為主)，所以，這點也可以防止可動一反21的 專爭動中心軸X的偏移。此夕卜，由于各第二彈性部件234F、 244F 3皮i殳置在轉(zhuǎn)動中心軸 X的附近，所以可以4吏一對軸部件231、 241的形狀為簡單的形狀， 并可4空制可動+反21的轉(zhuǎn)動中心軸X的偏移。以上，對本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)的優(yōu)選實施例進(jìn)行了說明。但是， 上述的執(zhí)行機(jī)構(gòu)還可以用于例如加速度傳感器、角速度傳感器等MEMS應(yīng)用傳感器、光學(xué)掃描器、光控開關(guān)、光學(xué)衰減器等的光學(xué) 設(shè)備。本發(fā)明的光學(xué)掃描器是與本發(fā)明的4丸行機(jī)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)。此 外，作為本發(fā)明的光學(xué)掃描器的實施例，由于與上述實施例相同， 所以省略只于其詳細(xì)i兌明。上述光學(xué)掃描器可以^尤選適用于例如才殳影 器、激光打印機(jī)、成像用顯示器、條形碼閱讀器、掃描共焦顯微鏡 等圖像形成裝置。其結(jié)果是，可以提供具有卓越成像特性的圖像形 成裝置。具體而言，對如圖16所示的投影器9進(jìn)行說明。此外，為了 便于說明，將屏幕S的長度方向稱為"橫向"，將與長度方向垂直 的方向稱為"縱向"。投影器9包括射出激光等的光源裝置91、正交二向棱鏡(cross dichroic prism) 92、 一對本發(fā)明的光學(xué)掃描器93、 94(例如與才丸 行機(jī)構(gòu)1相同結(jié)構(gòu)的光學(xué)掃描器)、以及固定反射鏡95。光源裝置91包括射出紅光的紅色光源裝置911、射出藍(lán)光的藍(lán) 色光源裝置912、射出綠光的綠色光源裝置913。正交二向棱4竟92通過結(jié)合四個直角棱4竟而構(gòu)成，是用于合成 從紅色光源裝置911、藍(lán)色光源裝置912、綠色光源裝置913的各 個光源射出的光的光學(xué)元件。上述沖殳影器9利用正交二向棱鏡92將從紅色光源裝置911、藍(lán) 色光源裝置912、綠色光源裝置913的各個光源根據(jù)來自未圖示的 主計算機(jī)的圖像信息而射出的光進(jìn)行合成，并通過光學(xué)掃描器93、94掃描該合成的光，而且通過固定反射鏡95進(jìn)行反射，在屏幕S 上形成彩色圖像。在此，對光學(xué)掃描器93、 94的光學(xué)掃描進(jìn)4于具體"i兌明。首先，由光學(xué)掃描器93對通過正交二向棱4竟92合成的光沿才黃 向進(jìn)行掃描(主掃描)。而且，由光學(xué)掃描器94對沿該纟黃向被掃描 的光沿^v向進(jìn)^f亍掃描(副掃描)。由此，可以將二維彩色圖^f象形成 在屏幕S上。使用本發(fā)明的光學(xué)掃描器作為上述光學(xué)掃描器93、 94， 從而可以發(fā)揮極為卓越的成<象特性。但是，作為投影器9,只要構(gòu)成為通過光學(xué)掃描器對光進(jìn)行掃 描，并對對象物形成圖像即可，并不l又限于此，也可以例如省略固 定反射鏡95。以上，根據(jù)圖示的實施例，對本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)、光學(xué)掃描器 及圖像形成裝置進(jìn)行了說明，但是本發(fā)明并不僅限于此。例如，在 本發(fā)明的執(zhí)行機(jī)構(gòu)、光學(xué)掃描器及圖像形成裝置中，可以各部的結(jié) 構(gòu)置換為發(fā)揮相同功能的任意結(jié)構(gòu)，而且，還可以附加任意的結(jié)構(gòu)。而且，在上述的實施例中，對扭^亍4幾構(gòu)構(gòu)成為以可動^反21為 中心大f丈左右對稱的結(jié)構(gòu)，^f旦是也可以不對稱。而且，雖然在上述的實施例中，對折回部包括驅(qū)動部件和一對 彈性部件的情況進(jìn)行了說明，但是只要可以容許由熱膨脹引起的軸 部件的伸張，并緩和向可動板的厚度方向的位移即可，并不僅限于 此。例如，也可以省略驅(qū)動部件，通過一對彈性部件來構(gòu)成4斤回部。 》匕時，構(gòu)成為各彈性部4牛連4妻軸部<牛的前端部和支持部，而且，彈 性部^f牛并不必須為一乂于，也可以包4舌一個彈性部4牛，還可以包4舌三 個以上的彈'l"生部^牛。IF 執(zhí)行機(jī)構(gòu)21、 21C 可動板22 支持部 222 ~ 225突出部 24E 連接部 軸部件 4斤回部243、 243C、 243F 馬區(qū)動部4牛 234F、 235、 244C、 244D、 245F 彈性部件附圖才示i己1、 1A、 1B、 1C、 1D、 1E、2 、 2C 基體 211 光反射部 221 沖匡部 23、 23C、 23E、 24、 24C、231、 231C、 241、 241C232、 232F、 242、 242F233、 233C、 233E、 233F、234、 234C、 234D、 234E、 235C、 235D、 235E、 244、 244F、 245、 245C、 245D、 234F、 244F 第二彈性部4牛 235F、 245F 第一彈性部件 3、 3B、 3C 支持基板32 壁部51 ~ 54、 51A~ 54A、 51F、52F、 55~58、 55C ~ 58C521 壓電體層524 端子552 電極層9 投影器911 紅色光源裝置913 綠色光源裝置93、 94 光學(xué)掃描器S 屏幕31 基臺 4 接合層壓電元件 522、 523 電極 551 壓電體層 553、 554 共用電才及91 光源裝置912 藍(lán)色光源裝置92 正交二向棱鏡(X棱鏡) 95 固定鏡X 轉(zhuǎn)動中心軸
權(quán)利要求
1.一種執(zhí)行機(jī)構(gòu)，包括可動板；支持部，用于支持所述可動板；一對連接部，用于連接所述可動板和所述支持部，以使所述可動板相對于所述支持部可轉(zhuǎn)動；以及壓電元件，轉(zhuǎn)動驅(qū)動所述可動板，所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)構(gòu)成為通過通電使所述壓電元件伸縮，從而使所述一對連接部扭曲變形，并使所述可動板轉(zhuǎn)動，所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)的特征在于，所述各連接部包括軸部件，從所述可動板延伸出來；以及折回部，用于連接所述軸部件和所述支持部，且形成為向所述可動板側(cè)折回。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述各折回部包括可彈性變形的一對彈性部件，所述一 對彈性部件形成被設(shè)置成隔著所述可動板的轉(zhuǎn)動中心軸而相 互面對的長條形形狀。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其特征在于，件的驅(qū)動部件，所述各彈性部件被設(shè)置在與所述驅(qū)動部件相比 靠近所述可動^1側(cè)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其特征在于， 心^由平4亍。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述各連接部中所述一對彈性部件間的間隔距離乂人所述 可動^反側(cè)向著所述驅(qū)動部件側(cè)遞減。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其特4正在于，所述各連4妄部中所述一對彈性部件間的間隔距離/人所述 可動纟反側(cè)向著所述驅(qū)動部件側(cè)遞增。
7. 根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項所述的執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其特征在于所述壓電元件沿其長度方向接合于所述各連接部的所述向伸縮，并通過該伸縮，j吏所述彈性部件彎曲變形。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其特征在于，部件的寬度寬的寬度，且所述各壓電元件被接合成覆蓋所述彈 性部件的寬度方向的整個區(qū)域。
9. 根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項所述的執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述壓電元件被設(shè)置成與所述各彈性部件相對應(yīng)，所述各壓電元件的伸縮方向的 一 端部與對應(yīng)的所述彈性 部件4妄觸，且向所述可動一反的厚度方向伸縮，/人而〗吏所述彈性 部4牛彎曲變形。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的執(zhí)行才幾構(gòu)，其特征在于，長度方向上的與所述驅(qū)動部件相反側(cè)的端部4妾合，且兼作所述 支持部。
11. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其特征在于，在所述各連接部中，所述一對彈性部件包括第一彈性 部件；以及第二彈性部件，與所述軸部件之間的間隔距離小于 與所述第 一彈性部件之間的間隔距離，所述壓電元件接合于所述各連接部的所述第 一 彈性部縮，利用該伸縮，Y吏所述第一彈性部^f牛彎曲變形，乂人而在所述 第二彈性部件:扭曲變形的同時，使所述驅(qū)動部件位移。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第二彈性部件纟皮i殳置在所述轉(zhuǎn)動中心軸附近。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1至12中任一項所述的執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其特征在于，在所述可動板的板面上設(shè)置有具有光反射性的光反射部。
14. 一種光學(xué)掃描器，包^":可動板，包括具有光反射性的光反射部； 支持部，用于支持所述可動板；一對連接部，用于連接所述可動板和所述支持部，以使 所述可動一反相，于于所述支持部可轉(zhuǎn)動；以及壓電元〗牛，4爭動驅(qū)動所述可動才反，所述光學(xué)掃描器構(gòu)成為通過通電使所述壓電元件伸縮， 從而使所述一對連接部扭曲變形，使所述可動板轉(zhuǎn)動，掃描通 過所述光反射部反射的光，所述光學(xué)掃描器的特征在于，所述各連4妻部包4舌軸部件，,人所述可動一反延伸出來； 以及4斤回部，用于連4妾所述軸部件和所述支持部，且形成為向 所述可動纟反側(cè)4斤回。
15.—種圖像形成裝置，所述圖像形成裝置包括光學(xué)掃描器，所述 光學(xué)掃描器包括可動板，包括具有光反射性的光反射部； 支持部，用于支持所述可動才反；一對連4妄部，用于連4姿所述可動4反和所述支持部，以<吏 所述可動一反相^j"于所述支持部可專t動；以及壓電元件，用于轉(zhuǎn)動驅(qū)動所述可動4反，所述光學(xué)掃描器構(gòu)成為通過通電4吏所述壓電元件伸縮， 使所述一對連接部扭曲變形，從而使所述可動板轉(zhuǎn)動，掃描通 過所述光反射部反射的光，所述圖像形成裝置的特征在于，所述各連4妻部包4舌軸部4牛，乂人所述可動々反延伸出來； 以及4斤回部，用于連4矣所述軸部4牛和所述支持部，且形成為向 所述可動纟反側(cè)4斤回。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種執(zhí)行機(jī)構(gòu)、光學(xué)掃描器及圖像形成裝置，其可以實現(xiàn)小型化、緩和或防止對環(huán)境溫度的影響，并可發(fā)揮希望的振動特性。執(zhí)行機(jī)構(gòu)(1)包括可動板(21)、支持部(22)、連接可動板(21)和支持部(22)的一對連接部(23、24)、用于使驅(qū)動可動板(21)轉(zhuǎn)動的壓電元件(51～54)，連接部(23)包括軸部件(231)，從可動板(21)延伸出來；以及折回部(232)，連接軸部件(231)和支持部(22)，且形成向可動板(21)側(cè)折回。
文檔編號G02B26/10GK101221283SQ20081000232
公開日2008年7月16日 申請日期2008年1月8日 優(yōu)先權(quán)日2007年1月10日
發(fā)明者中村友亮, 溝口安志 申請人:精工愛普生株式會社