專利名稱：：分色鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種分色鏡。
背景技術(shù)：
：分色鏡的使用目的，是用以在光通信等領(lǐng)域中使第1波長(zhǎng)光透射、并使第2波長(zhǎng)光無(wú)法透射而加以反射。例如，設(shè)計(jì)成使1560nm的波長(zhǎng)光透射、并使1310nm波長(zhǎng)的光無(wú)法透射而加以反射的分色鏡，是使自光纖出射的1560nm波長(zhǎng)的光垂直入射分色鏡并透射，且使自另一光源出射的1310nm的光以相同分色鏡加以反射而入射上述光纖中。上述光學(xué)系統(tǒng)中，由于1560nm的光是垂直入射分色鏡，以高透射率透射，因此成為雜散光的量較少，實(shí)質(zhì)上并無(wú)考慮的必要。然而，由于1310nm的光是以規(guī)定角度入射分色鏡并反射，因此會(huì)有反射后在光學(xué)系統(tǒng)中成為雜散光，而以較大入射角再次入射分色鏡的情形。一般而言，已知以多層膜(本說(shuō)明書(shū)及權(quán)利要求范圍中，是指將高折射物質(zhì)與低折射物質(zhì)交互重疊而使其具有規(guī)定光學(xué)特性的膜)形成的濾波器中，分光透射特性是隨著入射角的增大而偏移至短波長(zhǎng)側(cè)(高頻側(cè))。例如，圖8是表示形成于玻璃上的具有表1所示膜構(gòu)成的由多層膜所構(gòu)成的高通濾波器的分光透射特性?？梢缘弥瑢?duì)于1310nm的光的透射率，至入射角40。為止能大致保持于0，但入射角在60。以上則接近于40%。另外，表1中，n表示折射率、nm表示膜厚、nd表示光學(xué)膜厚(nm)，關(guān)于上述表示，在以下的表中亦相同。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage6</column></row><table>一般而言，此種濾波器是設(shè)計(jì)成高折射物質(zhì)與低折射物質(zhì)的光學(xué)膜厚之比大致為1。相對(duì)于此，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，若高折射物質(zhì)與低折射物質(zhì)的光學(xué)膜厚之比為2以上，則上述波長(zhǎng)偏移可被抑制到某程度，其結(jié)果，即使當(dāng)傾斜入射時(shí)，特性的變化亦不大，并依據(jù)此發(fā)現(xiàn)進(jìn)行發(fā)明。本發(fā)明已公開(kāi)于日本特開(kāi)平11-101913號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)1)。專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)平11_101913號(hào)7>才艮然而，即使應(yīng)用專利文獻(xiàn)l所揭示的技術(shù)，亦不易避免以較大入射角入射的雜散光透射。例如，圖9是表示形成于玻璃上的具有表2所示膜構(gòu)成的由多層膜所構(gòu)成的高通濾波器的分光透射特性。與圖8相較，雖然特性已有改善，但對(duì)于1310nm的光的透射率，在入射角60度時(shí)有2%左右，但在入射角80。時(shí)則達(dá)到30%左右。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage7</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage8</column></row><table>
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題而構(gòu)成，其目的在于提供一種即使雜散光的入射角變大，亦能使雜散光難以透射的分色鏡。為達(dá)成上述目的，第l方案的分色鏡，具有形成于基板單側(cè)、或分別形成于基板兩側(cè)的由2種多層膜所構(gòu)成的濾波器，是使以設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的第1波長(zhǎng)光無(wú)法透射而加以反射，并使以該設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的波長(zhǎng)大于該第1波長(zhǎng)的第2波長(zhǎng)光透射，其特征在于由該多層膜所構(gòu)成的濾波器包含低通濾波器部與高通濾波器部，該低通濾波器部對(duì)于以該設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的入射光的截止頻率處于在該第1波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率與該第2波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率之間，該高通濾波器部對(duì)于以設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的入射光的截止頻率是低于該第2波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率的頻率；因光束以大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射角入射該濾波器所引起的該濾波器的分光透射特性的偏移，而使得在該第l波長(zhǎng)下，該低通濾波器部的透射率對(duì)于入射角大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射光超過(guò)設(shè)計(jì)值時(shí)，該高通濾波器部對(duì)于大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射光的截止頻率，成為該第1波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率以上，其結(jié)果，對(duì)于超過(guò)該設(shè)計(jì)值的入射光，該第1波長(zhǎng)光的透射率在該設(shè)計(jì)值以下。為達(dá)成上述目的，第2方案的分色鏡，具有形成于基板單側(cè)、或分別形成于基板兩側(cè)的由2種多層膜所構(gòu)成的濾波器，是使以設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的第1波長(zhǎng)光無(wú)法透射而加以反射，并使以該設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的波長(zhǎng)大于該第1波長(zhǎng)的第2波長(zhǎng)光透射，其特征在于由該多層膜所構(gòu)成的濾波器包含低通濾波器部與帶通濾波器部，該低通濾波器部對(duì)于以該設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的入射光的截止頻率處于在該第1波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率與該第2波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率之間，該帶通濾波器部對(duì)于以設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的入射光使該第2波長(zhǎng)光透射的低頻側(cè)的截止頻率是低于該第2波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率的頻率；因光束以大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射角入射該濾波器所引起的該濾波器的分光透射特性的偏移，而使得在該第l波長(zhǎng)下，該低通濾波器部的透射率對(duì)于入射角大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射光超過(guò)設(shè)計(jì)值時(shí)，該帶通濾波器部對(duì)于大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射光的低頻側(cè)截止頻率，成為該第1波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率以上，其結(jié)果，對(duì)于超過(guò)該設(shè)計(jì)值的入射光，該第1波長(zhǎng)光的透射率在該設(shè)計(jì)值以下。為達(dá)成上述目的，第3方案的分色鏡，具有形成于基板單側(cè)、或分別形成于基板兩側(cè)的由2種多層膜所構(gòu)成的濾波器，是使以設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的第1波長(zhǎng)光無(wú)法透射而加以反射，并使以該設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的波長(zhǎng)大于該第1波長(zhǎng)的第2波長(zhǎng)光透射，其特征在于由該多層膜所構(gòu)成的濾波器包含帶通濾波器部與高通濾波器部，該帶通濾波器部對(duì)于以該設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的入射光使該第2波長(zhǎng)光透射的高頻側(cè)的截止頻率處于在該第1波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率與該第2波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率之間，該高通濾波器部對(duì)于以設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的入射光的截止頻率是低于該第2波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率的頻率；因光束以大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射角入射該濾波器所引起的該濾波器的分光透射特性的偏移，而使得在該第l波長(zhǎng)下，該帶通濾波器部的透射率對(duì)于入射角大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射光超過(guò)設(shè)計(jì)值時(shí)，該高通濾波器部對(duì)于大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射光的截止頻率，成為該第1波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率以上，其結(jié)果，對(duì)于大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射光，該第1波長(zhǎng)光的透射率在該設(shè)計(jì)值以下。為達(dá)成上述目的，第4方法的分色鏡，具有形成于基板單側(cè)、或分別形成于基板兩側(cè)的由2種多層膜所構(gòu)成的濾波器，是使以設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的第1波長(zhǎng)光無(wú)法透射而加以反射，并使以該設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的波長(zhǎng)大于該第1波長(zhǎng)的第2波長(zhǎng)光透射，其特征在于由該多層膜所構(gòu)成的濾波器，是由對(duì)于入射角度的分光透射率特性變化相異的帶通濾波器構(gòu)成，一側(cè)的濾波器是第l帶通濾波器，其對(duì)于以設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的入射光使該第2波長(zhǎng)光透射的高頻側(cè)的截止頻率處于在該第1波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率與該第2波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率之間，另一側(cè)的濾波器是第2帶通濾波器，其對(duì)于以設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的入射光使該第2波長(zhǎng)光透射的低頻側(cè)的截止頻率，是低于該第2波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率的頻率；因光束以大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射角入射該濾波器所引起的該濾波器的分光透射特性的偏移，而使得在該第1波長(zhǎng)下，該第1帶通濾波器的透射率對(duì)于入射角大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射光超過(guò)設(shè)計(jì)值時(shí)，該第2帶通濾波器對(duì)于該傾斜入射光的低頻側(cè)截止頻率，成為該第1波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率以上，其結(jié)果，對(duì)于大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射光，該第l波長(zhǎng)光的透射率在該設(shè)計(jì)值以下。依據(jù)本發(fā)明，提供一種即使雜散光的入射角變大，亦能使雜散光難以透射的分色鏡。圖l是說(shuō)明本發(fā)明的原理的圖。圖2是表示本發(fā)明實(shí)施方式的分色鏡的構(gòu)成的概略圖。圖3是表示本發(fā)明第1實(shí)施方式的第1多層膜濾波器2與第2多層膜濾波器3的分光透射特性的示意圖。圖4是表示本發(fā)明第2實(shí)施方式的第1多層膜濾波器2與第2多層膜濾波器3的分光透射特性的示意圖。圖5是表示本發(fā)明第3實(shí)施方式的第1多層膜濾波器2與第2多層膜濾波器3的分光透射特性的示意圖。圖6是表示本發(fā)明第4實(shí)施方式的第l多層膜濾波器2與第2多層膜濾波器3的分光透射特性的示意圖。圖7是表示本發(fā)明實(shí)施例的分色鏡的分光透射特性的圖。圖8是表示公知的高通濾波器的分光透射特性的圖。圖9是表示改善后的公知高通濾波器的分光透射特性的圖。符號(hào)說(shuō)明1透明基板2笫l多層膜濾波器3第2多層膜濾波器具體實(shí)施例方式以下，說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施方式的例，但在此之前，以圖l來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的原理。圖1是以示意方式表示交互層疊高折射物質(zhì)與低折射物質(zhì)而形成的多層膜濾波器的分光透射特性的圖。此多層膜濾波器使用時(shí)的中心入射角設(shè)為0°。實(shí)線是表示當(dāng)入射角為0。時(shí)的分光透射特性，虛線是表示對(duì)于傾斜入射光的分光透射特性。如圖所示，當(dāng)入射角不是o。時(shí)，表示分光透射特性的曲線朝低波長(zhǎng)側(cè)偏移。該偏移量隨著入射角變大而增加。另外，如專利文獻(xiàn)l所揭示，高折射物質(zhì)的光學(xué)膜厚(實(shí)際膜厚與折射率之積)與低折射物質(zhì)的光學(xué)膜厚之比愈大則偏移量愈小；相反，它們之比愈小則偏移量愈大。本發(fā)明是利用此性質(zhì)。圖2是表示本發(fā)明實(shí)施方式的分色鏡的構(gòu)成的概略圖。第1例(a)中，在玻璃等透明基板l的一面形成有第1多層膜濾波器2，在另一面形成有第2多層膜濾波器3。第2例(b)中，在玻璃等透明基板上形成有第1多層膜濾波器2，在其上方還形成有第2多層膜濾波器3。兩者具有相同的作用效果。另外，除了第1多層膜濾波器2、第2多層膜濾波器3之外，亦可具有其它多層膜。圖3是表示本發(fā)明第l實(shí)施方式的第l多層膜濾波器2與第2多層膜濾波器3的分光透射特性的示意圖。此例中，第l多層膜濾波器2是低通濾波器，笫2多層膜濾波器3是高通濾波器。A是第l多層膜濾波器2在入射角為0。時(shí)的分光透射特性，B是第2多層膜3在入射角為0。時(shí)的分光透射特性，C是第1多層膜濾波器2在入射角大于設(shè)計(jì)使用入射角時(shí)的分光透射特性，D是第2多層膜3在入射角大于設(shè)計(jì)使用入射角時(shí)的分光透射特性。以下的例(包含此例)中，對(duì)于第1多層膜濾波器2，是將其高折射物質(zhì)的光學(xué)膜厚與低折射物質(zhì)的光學(xué)膜厚之比取較大的值(優(yōu)選為2以上)，對(duì)于第2多層膜濾波器3，則將其高折射物質(zhì)的光學(xué)膜厚與低折射物質(zhì)的光學(xué)膜厚之比取較小的值(優(yōu)選為1以下)。因此，第2多層膜濾波器3的分光透射率曲線的偏移量，遠(yuǎn)大于第1多層膜濾波器2的分光透射率曲線的偏移量。另外，第1多層膜濾波器2的截止頻率處于在應(yīng)反射波長(zhǎng)X1的對(duì)應(yīng)頻率與應(yīng)透射波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率之間，第2多層膜濾波器3的截止頻率，是在低于X2的對(duì)應(yīng)頻率的低頻側(cè)。由于設(shè)計(jì)入射角并非0。，故會(huì)如上述般引起分光透射率曲線的偏移，在第1多層膜濾波器2中，當(dāng)入射角為0。時(shí)的特性A，在其入射角大于設(shè)計(jì)使用入射角時(shí)成為C的情形。其結(jié)果，波長(zhǎng)為XI時(shí)的透射率變大，這超過(guò)了設(shè)計(jì)的容許值。然而，在第2多層膜濾波器3中，亦引起分光透射率曲線的偏移，當(dāng)入射角為0。時(shí)的特性B，在其入射角大于設(shè)計(jì)使用入射角時(shí)成為D的情形。如上所述，對(duì)于第l多層膜濾波器2，將其高折射物質(zhì)的光學(xué)膜厚與低折射物質(zhì)的光學(xué)膜厚之比取較大的值，對(duì)于第2多層膜濾波器3,則將其高折射物質(zhì)的光學(xué)膜厚與低折射物質(zhì)的光學(xué)膜厚之比取較小的值，其結(jié)果，第2多層膜濾波器3的分光透射率曲線的偏移量，遠(yuǎn)大于第1多層膜濾波器2的分光透射率曲線的偏移量，其結(jié)果，第2多層膜濾波器3的截止頻率成為高于XI的對(duì)應(yīng)頻率的高頻。分色鏡整體的分光透射特性，是在各頻率下的曲線C與曲線D所示數(shù)值的乘積，因此，波長(zhǎng)kl的透射率極低，在設(shè)計(jì)所容許的范圍內(nèi)。另外，由圖3可得知，當(dāng)入射角大于設(shè)計(jì)使用入射角時(shí)，分色鏡整體的透射率在波長(zhǎng)為時(shí)亦是接近O的值，但由于波長(zhǎng)人2的光是垂直入射，故無(wú)須考慮雜散光，即使當(dāng)入射角大于設(shè)計(jì)使用入射角時(shí)的透射率為0亦無(wú)妨。相同作用效果可通過(guò)下述方式得到，第2多層膜濾波器3并非使用高通濾波器而是使用帶通濾波器，該帶通濾波器在高頻側(cè)的截止頻率，是在高于X2的對(duì)應(yīng)頻率的高頻側(cè)；低頻側(cè)的截止頻率，是在低于12的對(duì)應(yīng)頻率的低頻側(cè)，使帶通濾波器與第1實(shí)施方式相同。將此作為第2實(shí)施方式。此時(shí)的分光透射特性如圖4所示，各符號(hào)表示與圖3所示相同的部件。此時(shí)，由于當(dāng)入射角大于設(shè)計(jì)使用入射角時(shí)的波長(zhǎng)偏移，帶通濾波器的低頻側(cè)的截止頻率，成為在高于kl的對(duì)應(yīng)頻率的高頻側(cè)，其結(jié)果，當(dāng)入射角大于設(shè)計(jì)使用入射角時(shí)的波長(zhǎng)U的光，亦被帶通濾波器即第2多層膜濾波器3所遮斷，其結(jié)果，可將分色鏡中的波長(zhǎng)X1的光的對(duì)應(yīng)透射率抑制在設(shè)計(jì)值以下。另外，第1多層膜濾波器2并非使用低通濾波器而是使用帶通濾波器時(shí)，亦可得到相同效果。此時(shí)，該帶通濾波器的高頻側(cè)的截止頻率，是處在U的對(duì)應(yīng)頻率與U的對(duì)應(yīng)頻率之間，低頻側(cè)的截止頻率，是在低于X2的對(duì)應(yīng)頻率的低頻側(cè)。其它則與第1實(shí)施方式相同。將此作為第3實(shí)施方式。此時(shí)的分光透射特性如圖5所示，各符號(hào)表示與圖3所示相同的部件。此時(shí)，由于當(dāng)入射角大于設(shè)計(jì)使用入射角時(shí)的波長(zhǎng)偏移，帶通濾波器的低頻側(cè)的截止頻率，成為在高于X1的對(duì)應(yīng)頻率的高頻側(cè)，其結(jié)果，當(dāng)入射角大于設(shè)計(jì)使用入射角時(shí)的波長(zhǎng)X1的光，亦被低通濾波器即第1多層膜濾波器3所遮斷，其結(jié)果，可將分色鏡中的波長(zhǎng)Jd的光的對(duì)應(yīng)透射率抑制在設(shè)計(jì)值以下。另外，第1多層膜濾波器2及第2多層膜濾波器3是使用帶通濾波器時(shí)，亦能得到相同的效果。此時(shí)，與第1多層膜濾波器2對(duì)應(yīng)的帶通濾波器在高頻側(cè)的截止頻率，是處在XI的對(duì)應(yīng)頻率與的對(duì)應(yīng)頻率之間，低頻側(cè)的截止頻率，是在低于的對(duì)應(yīng)頻率的低頻側(cè)。另外，與第2多層膜濾波器3對(duì)應(yīng)的帶通濾波器在高頻側(cè)的截止頻率，是在高于X2的對(duì)應(yīng)頻率的高頻側(cè)，低頻側(cè)的截止頻率，是在低于的對(duì)應(yīng)頻率的低頻側(cè)。其它則與第1實(shí)施方式相同。將此作為第4實(shí)施方式。此時(shí)的分光透射特性如圖6所示，各符號(hào)表示與圖3所示相同的部件。此時(shí)，由于當(dāng)入射角大于設(shè)計(jì)使用入射角時(shí)的波長(zhǎng)偏移，與第2多層膜濾波器3對(duì)應(yīng)的帶通濾波器在低頻側(cè)的截止頻率，成為在高于X1的對(duì)應(yīng)頻率的高頻側(cè)，其結(jié)果，當(dāng)入射角大于設(shè)計(jì)使用入射角時(shí)的波長(zhǎng)U的光，亦被帶通濾波器即第2多層膜濾波器3所遮斷，其結(jié)果，可將分色鏡中的波長(zhǎng)人l的光的對(duì)應(yīng)透射率抑制在設(shè)計(jì)值以下。另外，設(shè)計(jì)使用入射角的設(shè)定，是根據(jù)多層膜濾波器3的用途而定，但優(yōu)選是設(shè)定在0至15°附近。(實(shí)施例)在玻璃基板上依序?qū)盈B有交互層疊SiO;j(低折射物質(zhì))與Nb20s(高折射物質(zhì))所形成的低通濾波器、調(diào)整層、及交互層疊Si02(低折射物質(zhì))與Nb20s(高折射物質(zhì))所形成的高通濾波器，以作成分色鏡。低通濾波器，是先在玻璃基板面形成有Si02膜239.1nm(光學(xué)膜厚346.7nm)，在其上方，將Nb2Os與Si02的對(duì)(1\1)205的膜厚為62.5nm、光學(xué)膜厚為138.8nm、Si02的膜厚為478.1nm、光學(xué)膜厚為693.3nm)層疊29層，又在其上方，層疊1層厚度為62，5nm、光學(xué)膜厚為138.8nm的Nb2Os。調(diào)整層是依序?qū)盈B厚度為239.1nm、光學(xué)膜厚為346.7nm的Si()2層、與厚度為126.5nm、光學(xué)膜厚為280.8nm的]\1)205層而形成的。高通濾波器，是將SiCh與Nb20s的對(duì)(Si02的膜厚為95.2nm、光學(xué)膜厚為138.0nm、Nb2Os的膜厚為253.0nm、光學(xué)膜厚561.5nm)層疊24層而形成的。高通濾波器層疊于上述調(diào)整層上。該分色鏡的分光透射特性如圖7所示。當(dāng)入射角為0°時(shí)，波長(zhǎng)1310nm的光的透射率幾乎是0，波長(zhǎng)1560的光的透射率則接近100%。另外，波長(zhǎng)1310nm的光的透射率，即使當(dāng)入射角為80。時(shí)亦大致保持為0。權(quán)利要求1.一種分色鏡，具有形成于基板單側(cè)、或分別形成于基板兩側(cè)的由2種多層膜所構(gòu)成的濾波器，對(duì)以設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的第1波長(zhǎng)光具有設(shè)計(jì)值以下的透射率，對(duì)以該設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的波長(zhǎng)大于該第1波長(zhǎng)的第2波長(zhǎng)光具有大于對(duì)該第1波長(zhǎng)光的透射率，其特征在于由該多層膜所構(gòu)成的濾波器包含低通濾波器部與高通濾波器部，該低通濾波器部對(duì)于以該設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的入射光的截止頻率處于在該第1波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率與該第2波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率之間，該高通濾波器部對(duì)于以設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的入射光的截止頻率是低于該第2波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率的頻率；因光束以大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射角入射該濾波器所引起的該濾波器的分光透射特性的偏移，而使得在該第1波長(zhǎng)下，該低通濾波器部的透射率對(duì)于入射角大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射光超過(guò)該設(shè)計(jì)值時(shí)，該高通濾波器部對(duì)于大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射光的截止頻率，成為該第1波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率以上，其結(jié)果，對(duì)于超過(guò)該設(shè)計(jì)值的入射光，該第1波長(zhǎng)光的透射率在該設(shè)計(jì)值以下。2.—種分色鏡，具有形成于基板單側(cè)、或分別形成于基板兩側(cè)的由2種多層膜所構(gòu)成的濾波器，對(duì)以設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的第1波長(zhǎng)光具有設(shè)計(jì)值以下的透射率，對(duì)以該設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的波長(zhǎng)大于該第1波長(zhǎng)的第2波長(zhǎng)光具有大于對(duì)該第1波長(zhǎng)光的透射率，其特征在于由該多層膜所構(gòu)成的濾波器包含低通濾波器部與帶通濾波器部，該低通濾波器部對(duì)于以該設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的入射光的截止頻率處于在該第1波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率與該第2波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率之間，該帶通濾波器部對(duì)于以設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的入射光使該第2波長(zhǎng)光透射的低頻側(cè)的截止頻率是低于該第2波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率的頻率；因光束以大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射角入射該濾波器所引起的該濾波器的分光透射特性的偏移，而使得在該第l波長(zhǎng)下，該低通濾波器部的透射率對(duì)于入射角大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射光超過(guò)該設(shè)計(jì)值時(shí)，該帶通濾波器部對(duì)于大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射光的低頻側(cè)截止頻率，成為該第1波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率以上，其結(jié)果，對(duì)于超過(guò)該設(shè)計(jì)值的入射光，該第1波長(zhǎng)光的透射率在該設(shè)計(jì)值以下。3.—種分色鏡，具有形成于基板單側(cè)、或分別形成于基板兩側(cè)的由2種多層膜所構(gòu)成的濾波器，對(duì)以設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的第1波長(zhǎng)光具有設(shè)計(jì)值以下的透射率，對(duì)以該設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的波長(zhǎng)大于該第1波長(zhǎng)的第2波長(zhǎng)光具有大于對(duì)該第1波長(zhǎng)光的透射率，其特征在于由該多層膜所構(gòu)成的濾波器包含帶通濾波器部與高通濾波器部，該帶通濾波器部對(duì)于以該設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的入射光使該第2波長(zhǎng)光透射的高頻側(cè)的截止頻率處于是在該第1波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率與該笫2波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率之間，該高通濾波器部對(duì)于以設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的入射光的截止頻率是低于該第2波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率的頻率；因光束以大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射角入射該濾波器所引起的該濾波器的分光透射特性的偏移，而使得在該第l波長(zhǎng)下，該帶通濾波器部的透射率對(duì)于入射角大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射光超過(guò)該設(shè)計(jì)值時(shí)，該高通濾波器部對(duì)于大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射光的截止頻率，成為該第1波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率以上，其結(jié)果，對(duì)于大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射光，該笫1波長(zhǎng)光的透射率在該設(shè)計(jì)值以下。4.一種分色鏡，具有形成于基板單側(cè)、或分別形成于基板兩側(cè)的由2種多層膜所構(gòu)成的濾波器，對(duì)以設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的第1波長(zhǎng)光具有設(shè)計(jì)值以下的透射率，對(duì)以該設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的波長(zhǎng)大于該第1波長(zhǎng)的第2波長(zhǎng)光具有大于對(duì)該第1波長(zhǎng)光的透射率，其特征在于由該多層膜所構(gòu)成的濾波器，是由對(duì)于入射角度的分光透射率特性變化相異的帶通濾波器構(gòu)成，一側(cè)的濾波器是第1帶通濾波器，其對(duì)于以設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的入射光使該第2波長(zhǎng)光透射的高頻側(cè)的截止頻率處于在該第1波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率與該第2波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率之間，另一側(cè)的濾波器是第2帶通濾波器，其對(duì)于以設(shè)計(jì)使用角度入射該濾波器的入射光使該第2波長(zhǎng)光透射的低頻側(cè)的截止頻率是低于該第2波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率的頻率；因光束以大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射角入射該濾波器所引起的該濾波器的分光透射特性的偏移，而使得在該第1波長(zhǎng)下，該第1帶通濾波器的透射率對(duì)于入射角大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射光超過(guò)該設(shè)計(jì)值時(shí)，該第2帶通濾波器對(duì)于該傾斜入射光的低頻側(cè)截止頻率，成為該第1波長(zhǎng)的對(duì)應(yīng)頻率以上，其結(jié)果，對(duì)于大于該設(shè)計(jì)使用角度的入射光，該第1波長(zhǎng)光的透射率在該設(shè)計(jì)值以下。全文摘要本發(fā)明提供一種即使雜散光的入射角變大，亦能使雜散光難以透射的分色鏡。玻璃等透明基板(1)的一面形成有第1多層膜濾波器(2)，在另一面形成有第2多層膜濾波器(3)。將多層膜濾波器(2)作為低通濾波器，將多層膜濾波器(3)作為高通濾波器。并將多層膜設(shè)計(jì)成因入射角的變化導(dǎo)致的分光透射特性的偏移，在多層膜濾波器(3)大于在多層膜濾波器(2)。從而，即使在多層膜濾波器(2)產(chǎn)生因分光透射特性的偏移而應(yīng)被遮光的波長(zhǎng)透射的情形，亦能借助多層膜濾波器(3)的分光透射特性的偏移來(lái)遮斷該波長(zhǎng)的透射。因此，可大幅降低以較大入射角入射的雜散光透射過(guò)分色鏡的比率。文檔編號(hào)G02B5/28GK101389982SQ20078000683公開(kāi)日2009年3月18日申請(qǐng)日期2007年2月7日優(yōu)先權(quán)日2006年2月27日發(fā)明者崗本干夫申請(qǐng)人:株式會(huì)社尼康