專利名稱：：感光性干膜抗蝕劑、使用了其的印刷配線板和印刷配線板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及感光性干膜抗蝕劑、使用了其的印刷配線板以及印刷配線板的制造方法，特別涉及可以水系顯影，析像清晰度、阻燃性、密合性、耐濕性和電可靠性優(yōu)異的感光性干膜抗蝕劑、使用了其的印刷配線板以及印刷配線板的制造方法。
背景技術(shù)：
：伴隨著近年來電子設(shè)備的高功能化、小型化、輕質(zhì)化，對于這些電子設(shè)備中使用的電子部件也要求進(jìn)一步小型化、輕薄化。因此，要求通過進(jìn)行印刷配線板上的半導(dǎo)體元件等的高密度安裝、配線的微細(xì)化、印刷配線板的多層化等，來實(shí)現(xiàn)電子部件的高功能化、高性能化。此外，為了適應(yīng)配線的微細(xì)化，為了保護(hù)配線需要具有更高電絕緣性的絕緣材料。在制造上述印刷配線板時，在各種用途中使用感光性材料。即，在印刷配線板的141上形成圖案化的電路(圖案電路)、形成用于保護(hù)印刷配線M面和圖案電路的保護(hù)層、多層印刷配線板的層間絕緣層的形成等中使用了感光性材料。例如以形成用于保護(hù)印刷配線板表面和圖案電路的保護(hù)層為例，使用感光性材料具有以下的優(yōu)點(diǎn)。在具有撓性的柔性印刷配線板(FlexiblePrintCircuitBoard,以下也稱為"FPC，，)中，為了保護(hù)導(dǎo)體面，在表面貼合稱為保護(hù)層(coverlay)膜的高分子膜。目前為止，在FPC和保護(hù)層膜的貼合中主^f吏用環(huán)氧系或丙烯酸類的粘合劑等。但是，在使用了這些粘合劑的方法中，存在(l)焊料耐熱性、高溫時的粘合強(qiáng)度等的耐熱性低，(2)缺乏撓性等的問題，不能充分利用作為保護(hù)層膜使用的高分子膜的性能。此夕卜，使用上述粘合劑將FPC和保護(hù)層膜貼合時，用于將保護(hù)層膜貼合到FPC上的正確位置上的位置配合幾乎接近于手工操作。因此，操作性和位置精度差，而且需要成本。為了改善這些的操作性和位置精度，開發(fā)了將感光性樹脂組合物的溶液在FPC的導(dǎo)體面上涂布并干M而形成保護(hù)層的方法、層合膜狀的感光性干膜抗蝕劑(也稱為感光性保護(hù)層膜)的方法等。在采用這些方法形成的感光性樹脂層上放置光掩膜，進(jìn)行曝光、顯影，因而操作性和位置精度提南。作為感光性材料，如上所述，有液狀感光性材料、膜狀的感光性材料。其中，膜狀的感光性材料與液狀感光性材料相比，具有膜厚的均勻性和操作性優(yōu)異的優(yōu)點(diǎn)。因此，圖案電路的形成中使用的圖案電路用抗蝕膜(圖案電路的形成中使用的感光性干膜抗蝕劑)、上述保護(hù)層的形成中使用的感光性保護(hù)層膜、上述層間絕緣層的形成中使用的感光性干膜抗蝕劑等，根據(jù)其用途，也已使用了各種膜狀感光性材料。作為上述感光性保護(hù)層膜和感光性干膜抗蝕劑(以下將兩者總稱為感光性干膜抗蝕劑)，現(xiàn)在丙烯酸類的膜已上市，但阻燃性差，因此用途受到限制。關(guān)于阻燃性的改良，存在^吏含有溴系阻燃劑的感光性樹脂組合物固化而制造的感光性干膜抗蝕劑(例如，參照專利文獻(xiàn)l等)。但是，含有卣素的阻燃劑有可能對環(huán)境產(chǎn)生不良影響，因此進(jìn)行了替代溴系阻燃劑而使用非卣素系阻燃劑的研究。作為非卣素系阻燃劑，可以列舉氮系、磷系等。但是，氮系化合物如果考慮對樹脂的固化性的影響，則實(shí)用困難，使用了磷系化合物時，樹脂組合物的吸濕性存在升高的傾向，存在耐濕性、電可靠性降低的問題(例如，參照專利文獻(xiàn)2等)。另一方面，提出了通過將具有耐濕性的樹脂層和具有阻燃性的樹脂層層合，從而同時具有耐濕性、阻燃性的方法。但是，其不是感光性，因此不適應(yīng)微細(xì)加工，使用的領(lǐng)域不同(例如，參照專利文獻(xiàn)3、4等)。此外，在感光性膜的領(lǐng)域中，也進(jìn)行了多層化，但它們的目的在于改善感光特性，并沒有使阻燃性、耐濕性、電可靠性改善(例如，參照專利文獻(xiàn)5等)。專利文獻(xiàn)5中記載了由感光度不同的2個感光層和阻隔層組成的感光性轉(zhuǎn)印片材，作為其效果，記載了能夠容易地在圖像內(nèi)形成厚度不同的所需圖案。作為上述感光性干膜抗蝕劑，目前為止使用了丙烯酸類的樹脂。但是,由丙烯酸類的樹脂形成的感光性干膜抗蝕劑等，耐熱性、膜的機(jī)喊強(qiáng)度不足。因此，為了提高耐熱性、膜的^強(qiáng)度，提出了將各種使用了有機(jī)聚合物中耐熱性優(yōu)異的聚酰亞胺的感光性聚酰亞胺用于感光性干膜抗蝕劑等。迄今，作為感光性聚酰亞胺，主要以用于半導(dǎo)體用途為目的，研究了各種組成的感光性聚酰亞胺，報(bào)道了在聚酰胺酸('聚酰亞胺前體)中混合具有叔胺和(甲基)丙烯耽基的化合物，制成感光性聚酰亞胺的離子鍵型感光性聚酰亞胺、介由酯鍵將甲基丙烯?；刖埘０匪岬聂然孽ユI型感光性聚酰亞胺、將具有甲基丙烯酖基的異氰酸酯化合物引入聚酰胺酸(聚酰亞胺前體)的羧基部位的感光性聚酰亞胺、將聚酰胺酸和(甲基)丙烯酸類化合物混合而成的感光性聚跣亞胺等。其中，將聚酰胺酸和(曱基)丙烯酸類化合物混合而成的感光性聚酰亞胺(參照專利文獻(xiàn)6~9等)，已才艮道用作制造FPC的保護(hù)層材料用的干膜的感光性樹脂組合物。在這些專利文獻(xiàn)6~9中，已報(bào)道通過使用將聚酰胺酸和(甲基)丙烯酸類化合物混合而成的感光性聚酰亞胺，能夠使用從操作安全性方面出發(fā)比有機(jī)溶劑更優(yōu)選的堿性水溶液進(jìn)行顯影，膝光后的被膜充分固化，顯現(xiàn)高a性等。此外，為了改善作為FPC的保護(hù)層材料使用的干膜的撓性、彎曲性，提出了使用了以聚硅氧烷二胺作為原料而得到的聚酰胺酸和(甲基)丙烯酸類化合物的感光性樹脂組合物(例如，參照專利文獻(xiàn)10等)。專利文獻(xiàn)1:特開2001-335619號公報(bào)(平成13(2001)年12月4日公開)專利文獻(xiàn)2:特開2000-241969號公報(bào)(平成12(2000)年9月8日公開)專利文獻(xiàn)3:特開2004-311573號7>才艮(平成16(2004)年11月4日公開)專利文獻(xiàn)4:特開2005-161778號乂>寺艮(平成17(2005)年6月23日公開)專利文獻(xiàn)5:特開2005-202066號么4艮(平成17(2005)年7月28日公開)專利文獻(xiàn)6:特開平11-52569號公報(bào)(平成11(1999)年2月26日公開)專利文獻(xiàn)7:特開2001-5180號>才艮(平成13(2001)年1月12日7>開)專利文獻(xiàn)8:特開2004-29702號公才艮(平成16(2004)年1月29日公開)專利文獻(xiàn)9:特開2000-98604號'>報(bào)(平成12(2000)年4月7日7>開)專利文獻(xiàn)10:特開2004-361883號公報(bào)(平成16(2004)年12月24日公開)
發(fā)明內(nèi)容但是，上述現(xiàn)有的感光性干膜抗蝕劑其性能均不能說充分滿足要求，尚不存在完全滿足采用水系顯影液的顯影性；優(yōu)異的析像清晰度、阻燃性、密合性、耐濕性、電可靠性的感光性干膜抗蝕劑。如上所述，報(bào)道了將磷系阻燃劑引入聚酰胺酸和(甲基)丙烯酸類化合物中而實(shí)現(xiàn)了阻燃化的感光性樹脂組合物。對于該感光性樹脂組合物，通過引入阻燃劑實(shí)現(xiàn)了阻燃化，但使用磷系化合物作為阻燃劑時，存在樹脂組合物的吸濕性提高的傾向，存在耐濕性降低，而且電可靠性降低的問題。此夕卜，上述專利文獻(xiàn)10中記栽的使用了以聚硅氧烷二胺為原料得到的聚酰胺酸和(甲基)丙烯酸類化合物的感光性樹脂組合物，撓性、彎曲性得到改善，但由于使用的由聚酖胺酸得到的聚酰亞胺自身缺乏阻燃性，因此需要大量的阻燃劑，因此存在電可靠性差的問題。對此，上述專利文獻(xiàn)3、4中提出了通過將具有耐濕性的樹脂層和具有阻燃性的樹脂層層合，從而同時具有耐濕性和阻燃性的方法，但其并不涉及感光性樹脂，不適合微細(xì)加工。此外，在感光性膜的領(lǐng)域中，對于以改善感光特性為目的進(jìn)行多層化而成的膜也進(jìn)行了報(bào)道，但它們的目的在于改善感光特性，并不改善阻燃性、耐濕性、電可靠性。本發(fā)明提供可以水系顯影，析像清晰度、阻燃性、密合性、耐濕性和電可靠性優(yōu)異的感光性干膜抗蝕劑及其利用方法。本發(fā)明涉及至少包含第一感光層和第二感光層的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，其特征在于，第一感光層含有(Al)粘合劑聚合物、(Bl)(曱基)丙烯酸類化合物、(Cl)光反應(yīng)引發(fā)劑和(Dl)阻燃劑作為必要成分，第二感光層含有(A2)粘合劑聚合物和(B2)(曱基)丙烯酸類化合物作為必要成分，基本上不含有(D2)阻燃劑，(D2)阻燃劑滿足以下條件將(Dl)阻燃劑的重量相對于第一感光層的總重量的比例記為第一感光層的阻燃劑含有率，并將(D2)阻燃劑的重量相對于第二感光層的總重量的比例記為第二感光層的阻燃劑含有率時，第二感光層的阻燃劑含有率為0~10重量％,并且，將第一感光層的阻燃劑含有率記為100時，第二感光層的阻燃劑含有率為0~50。此夕卜，上述第二感光層優(yōu)選還含有(C2)光反應(yīng)引發(fā)劑作為必要成分。在上述多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑中，上述第二感光層在多層結(jié)構(gòu)中優(yōu)選位于最外層，上述第一感光層也優(yōu)選位于另一最外層。此外，上述(Dl)阻燃劑和/或(D2)阻燃劑優(yōu)選是磷系化合物。在本發(fā)明的感光性干膜抗蝕劑中，上述(Dl)阻燃劑和/或(D2)阻燃劑優(yōu)選^1磷系化合物。此外，上述(Al)粘合劑聚合物和/或(A2)粘合劑聚合物優(yōu)選是含有氯基的乙烯基系聚合物。此外，上述(Al)粘合劑聚合物和/或(A2)粘合劑聚合物優(yōu)選是聚酰胺酸，更優(yōu)選是使用了通式(1)所示的聚硅氧烷二胺作為原料的一部分的聚酰胺酸。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>通式(i)(式中，Ri各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)l5的烴，R2各自獨(dú)立地表示選自碳原子數(shù)1~5的烷基或苯基的有機(jī)基團(tuán)，n表示1~20的整數(shù)。)。此外，上述(Al)粘合劑聚合物和/或(A2)粘合劑聚合物可以是包含以下的通式(2)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>(式中，Ri表示4價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，112各自獨(dú)立3^示>^^子數(shù)2~5的亞烷基，Rs各自獨(dú)立地表示甲基或苯基，R3中的苯基的含有率為15%~40%,并且m為420的整數(shù)。)所示的結(jié)構(gòu)單元和以下的通式(3)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>(3)(式中，W表示4價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，Rs表示從芳香族二胺中去除了2個氮基而成的2價(jià)的有機(jī)基團(tuán)。)所示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰胺酸。在本發(fā)明的感光性干膜抗蝕劑中，上述聚酰胺酸可以還具有以下的通式(4)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>(式中，W表示4價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，R〒具有以下的化學(xué)式a、b、c、d、e、f或g<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>所示的結(jié)構(gòu)，化學(xué)式a中，in表示l20中的任一整數(shù)，n表示010中的任一整數(shù)，化學(xué)式f中，Rs表示氫原子、甲基、乙基或丁基。)所示的結(jié)構(gòu)單元。此外，上述(Al)粘合劑聚合物和/或(A2)粘合劑聚合物可以包含以下的通式(4)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>(式中，R6表示4價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，R7具有以下的化學(xué)式a、b、c、d、e、f或g-(CH2〉mHO—(CH2〉Jn—0-(CH2>ra-所示的結(jié)構(gòu)，化學(xué)式a中，m表示1~20中的任一整數(shù)，n表示010中的任一整數(shù)，化學(xué)式f中，議8表示氫原子、甲基、乙基或丁基。)所示的結(jié)構(gòu)單元和以下的通式(3)(式中，W表示4價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，Rs表示從芳香族二胺中去除了2個氨基而成的2價(jià)的有機(jī)基團(tuán)。)所示的結(jié)構(gòu)單元。本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑中，上述通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元優(yōu)選包含如下的結(jié)構(gòu)單元上述通式(3)中，R5中的上述芳香族二胺的上述2個募基鍵接的芳香環(huán)的至少一者通過位于間位的2根結(jié)合鍵(結(jié)合手)與主^^^。上述芳香族二胺更優(yōu)選是間苯二胺、3，3，-二氨基二苯基甲烷、3，3，-二^J^二苯基醚、3，3，國二#^二苯^危醚、3，3，國二^^二苯基砜、3，3，-二氨基畫N-苯甲跣苯胺、2,2-雙(3-絲苯基)六氟丙烷、2,2-雙[4-(3-tJ^苯氧基)苯基丙烷、2,2-雙[4國(3曙猛苯ftJO苯基砜、2，2畫雙[4-(3-絲苯氡基)苯基l六氟丙烷、1,4-雙(3-氨基苯氡基)苯、4,4，-雙(3-M苯lL^)聯(lián)苯、1,3-雙(3-氨基苯氧基)苯、雙[4-(3-氨基苯氧基)苯基砜或2,2-雙(3-M苯基)丙烷。此外，上述(Al)粘合劑聚合物和/或(A2)粘合劑聚合物優(yōu)選是具有氛基和/或羥基的可溶性聚酰亞胺，更優(yōu)選是使用了通式(1)所示的聚硅氧烷二胺作為原料的一部分的具有g(shù)和/或羥基的可溶性聚酰亞胺。/2、2AA&通式(1)(式中，Ri各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)15的烴，R2各自獨(dú)立地表示選自碳原子數(shù)1~5的烷基或苯基的有機(jī)基團(tuán)，n表示1~20的整數(shù)。)。此外，將第一感光層的厚度記為100時，優(yōu)選第二感光層的厚度為500以下。本發(fā)明的另一發(fā)明涉及印刷配線板，其特征在于，使用上述多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑作為絕緣保護(hù)層。此外，在印刷配線板中，在作為印刷配線板構(gòu)成的一部分的感光性干膜抗蝕劑中的構(gòu)成中，優(yōu)選上述第二感光層位于與電路面接觸的最外層，上述第一感光層位于另一方的最外層。本發(fā)明的印刷配線板的制造方法，為了解決上述i果題，其特征在于，在180。C以下的溫度下使上述感光性干膜抗蝕劑固化而形成為絕緣保護(hù)層。本發(fā)明的感光性干膜抗蝕劑，如上所述，第一感光層含有(Al)粘合劑聚合物、(Bl)(曱基)丙烯酸類化合物、(Cl)光反應(yīng)引發(fā)劑和(Dl)阻燃劑作為必要成分，第二感光層含有(A2)粘合劑聚合物和(B2)(甲基)丙烯酸類化合物作為必要成分，基本上不含有(D2)阻燃劑，(D2)阻燃劑滿足以下條件將(D1)阻燃劑的重量相對于第一感光層的總重量的比例記為第一感光層的阻燃劑含有率，將(D2)阻燃劑的重量相對于第二感光層的總重量的比例記為第二感光層的阻燃劑^^有率時，第二感光層的阻燃劑^^有率為0~10重量％,并且，將第一感光層的阻燃劑^^有率記為100時，第二感光層的阻燃劑含有率為0~50，由于具備上述構(gòu)成，因此水系顯影性良好，并且阻燃性、密合性、耐濕性、電可靠性優(yōu)異。此夕卜，通過制成多層結(jié)構(gòu)，析像清晰度等感光性也優(yōu)異。因此，本發(fā)明產(chǎn)生了如下效果不僅能夠適合用于制造FPC等印刷配線板的產(chǎn)業(yè)，例如制造電子部件用的樹脂材料的樹脂產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，而且能夠適合用于使用這樣的印刷配線板的電子設(shè)備的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。圖1是表示在實(shí)施例的評價(jià)電可靠性的方法中在柔性覆銅層合板上形成的梳型圖案(線/間隙400nm/100nm)的示意圖。圖2是表示在實(shí)施例的評價(jià)電可靠性的方法中在柔性覆銅層合板上形成的梳型圖案(線/間隙-25jim/25nm)的示意圖。具體實(shí)施例方式本發(fā)明人對上述課題進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)將感光性干膜抗蝕劑制成包含含有阻燃劑的第一感光層和不含阻燃劑或即使含有阻燃劑也只是少量^^有的第二感光層的多層結(jié)構(gòu)，以4吏第二感光層與和形成了電路的層合板相接的一側(cè)相接的方式進(jìn)行層合，形成阻燃性和電可靠性均優(yōu)異的感光性干膜抗蝕劑。此外，令人驚奇地發(fā)現(xiàn)，得到的感光性干膜抗蝕劑不僅是阻燃性和電可靠性，與一層結(jié)構(gòu)的感光性千膜抗蝕劑相比，感光性也提兩。以下對于本發(fā)明的感光性干膜抗蝕劑和使用了該感光性干膜抗蝕劑的印刷配線板，按(I)感光性干膜抗蝕劑、(II)感光性干膜抗蝕劑的制造方法和(III)印刷配線板的順序i^行具體^兌明。(I)感光性干膜抗蝕劑(1-1)感光性干膜抗蝕劑本發(fā)明的感光性干膜抗蝕劑是至少包含第一感光層和第二感光層的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑。應(yīng)予i兌明，本i兌明書中，所謂多層結(jié)構(gòu)，是指由兩層以上的多個層形成的結(jié)構(gòu)。因此，本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑可以是由第一感光層和第二感光層形成的兩層結(jié)構(gòu)，也可以層合有其他層。本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)感光性干膜抗蝕劑，至少包含第一感光層和第二感光層，第一感光層含有(Al)粘合劑聚合物、(Bl)(甲基)丙烯酸類化合物、(Cl)光反應(yīng)引發(fā)劑和(Dl)阻燃劑作為必要成分，第二感光層含有(A2)粘合劑聚合物和(B2)(曱基)丙烯酸類化合物作為必要成分，基本上不含有(D2)阻燃劑，(D2)阻燃劑滿足以下務(wù)ff:將(Dl)阻燃劑的重量相對于第一感光層的總重量的比例記為第一感光層的阻燃劑含有率，將(D2)阻燃劑的重量相對于第二感光層的總重量的比例記為第二感光層的阻燃劑含有率時，第二感光層的阻燃劑^^有率為0~10重量％，并且將第一感光層的阻燃劑^^有率記為100時，第二感光層的阻燃劑^^有率為0~50再有，上述第二感光層優(yōu)選還含有(C2)光反應(yīng)引發(fā)劑作為必要成分。此外，該感光性干膜抗蝕劑進(jìn)行層合以使第二感光層與和形成了電路的覆銅層合板(也稱為帶電路的CCL)相接的側(cè)相接而使用。此外，從CCL側(cè)看，第一感光層優(yōu)選位于最外層。這里所謂基本上(實(shí)質(zhì)上)不含有(D2)阻燃劑，是指完全不含有(D2)阻燃劑，或者雖然含有但含有很少量，具體地說，是指滿足上述條件的量，即，第二感光層的阻燃劑^^有率為0~10重量％，并且將第一感光層的阻燃劑含有率記為100時，第二感光層的阻燃劑含有率為0~50。換言之，是指第二感光層的阻燃劑^^有率為0~10重量％,并且(第二感光層的阻燃劑含有率)/(第一感光層的阻燃劑含有率)￡0.5。本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑中，通過4吏第一感光層的阻燃劑含有率提高，能夠賦予阻燃性，通過使第二感光層的阻燃劑含有率降低或者完全不含阻燃劑，能夠進(jìn)一步提高耐濕性、電可靠性。此外，堿顯影時不易產(chǎn)生殘?jiān)?，能夠進(jìn)一步提高顯影性、析像清晰度。通過成為這樣的構(gòu)成，作為感光性干膜抗蝕劑整體，水系顯影性良好，并且阻燃性、密合性、耐濕性、電可靠性優(yōu)異。上述第二感光層的阻燃劑含有率可以是0~10重量％，但越少越優(yōu)選，更優(yōu)選為5重量％以下，進(jìn)一步優(yōu)選為1重量％以下。上述第二感光層的阻燃劑含有率如果為10重量％以下，能夠進(jìn)一步提高析像清晰度、耐濕性、電可靠性。此外，(第二感光層的阻燃劑^^有率)/(第一感光層的阻燃劑含有率)可以為0~0.5，更優(yōu)選為0.2以下，進(jìn)一步優(yōu)選為0.1以下，特別優(yōu)選為0.05以下。通過4吏(第二感光層的阻燃劑含有率)/(第一感光層的阻燃劑^^有率)為0.5以下，當(dāng)?shù)诙泄鈱拥淖枞紕^有率為上述范圍時，作為感光性千膜抗蝕劑整體，能夠賦予充分的阻燃性。再有，本發(fā)明中，所謂阻燃劑^^有率，是指構(gòu)成感光性干膜抗蝕劑的各層中全部成分的重量中，阻燃劑的重量所占的比例，通過下述計(jì)算式算出。再有，當(dāng)不存在D2、C2、E1和E2時，將重量計(jì)算為0。此外，El和E2表示A~D以外的全部成分。第一感光層的阻燃劑^^有率(重量％)=((Dl)阻燃劑的重量)+{((Al)粘合劑聚合物的重量)+((Bl)(曱基)丙烯酸類化合物的重量)+((Cl)光反應(yīng)引發(fā)劑的重量)+((D1)阻燃劑的重量)+((E1)其他成分)的重量)xl00第二感光層的阻燃劑^^有率(重量％)=((D2)阻燃劑的重量)+{((A2)粘合劑聚合物的重量)+((B2)(曱基)丙烯酸類化合物的重量)+((C2)光反應(yīng)引發(fā)劑的重量)+((D2)阻燃劑的重量)+((E2)其他成分)的重量)}xl00本發(fā)明的感光性干膜抗蝕劑，只要如上所述，是至少含有第一感光層和第二感光層的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，第一感光層和第二感光層含有上述的成分，各層中的阻燃劑含有率存在上述關(guān)系，則各層中的粘合劑聚合物、(甲基)丙烯酸類化合物、光反應(yīng)引發(fā)劑和阻燃劑的比例并無特別限定。上述第一感光層和第二感光層中(Al)粘合劑聚合物的重量相對于上述第一感光層的總重量的比例和上述(A2)粘合劑聚合物的重量相對于第二感光層的總重量的比例優(yōu)選分別為10重量％~卯重量％，更優(yōu)選為20重量％~85重量％，進(jìn)一步優(yōu)選為25重量°/。~80重量％。通過4吏上述比例為10%以上，第一感光層和第二感光層的耐熱性傾向于提高，因此優(yōu)選，通過使其為90%以下，可以在低溫下與基材壓接，因此優(yōu)選。此外，在上述第一感光層和第二感光層中，(Bl)(甲基)丙烯酸類化合物和(B2)(甲基)丙烯酸類化合物，分別相對于上述(Al)粘合劑聚合物100重量份和(A2)粘合劑聚合物100重量份，優(yōu)選含量為1重量份~400重量份的范圍，更優(yōu)選含量為3重量份~300重量份的范圍。通過在上述范圍內(nèi)含有(甲基)丙烯酸類化合物，特別是在效果上，與以往相比，能夠?qū)崿F(xiàn)在低溫下酰亞胺化的第一感光層和第二感光層。此夕卜，在上述第一感光層和第二感光層中，(Cl)光反應(yīng)引發(fā)劑和(C2)光反應(yīng)引發(fā)劑可以分別在獲得增感效果并且對顯影性不產(chǎn)生不良影響的范圍內(nèi)配合。具體地說，(Cl)光反應(yīng)引發(fā)劑和(C2)光^JI引發(fā)劑，分別相對于上述(Al)粘合劑聚合物100重量份和(A2)粘合劑聚合物100重量份，優(yōu)選配合0.01~50重量份。再有，如果以上述比例含有第一感光層的光反應(yīng)引發(fā)劑，即使第二感光層不含有(C2)光反應(yīng)引發(fā)劑，也能夠得到具有一定析l象清晰度和感光能力的感光性干膜抗蝕劑。因此，本發(fā)明中，還包括第二感光層基本上不含(C2)光反應(yīng)引發(fā)劑的構(gòu)成。因此，(C2)光反應(yīng)引發(fā)劑相對于上述(A2)粘合劑聚合物100重量份的配合比例，可以是0~0.01重量份。此外，在上述第一感光層中，(Dl)阻燃劑的含量，并無特別限定，可以根據(jù)使用的阻燃劑的種類適當(dāng)選擇。上述(D1)阻燃劑的含量，將上述(Al)粘合劑聚合物和(Bl)(甲基)丙烯酸類化合物的合計(jì)量記為100重量份時，優(yōu)選為550重量份的范圍，更優(yōu)選1040重量份的范圍。通過使(Dl)阻燃劑的含量為5重量份以上，能夠?qū)袒蟮母泄庑愿赡た刮g劑有效地賦予阻燃性。此外，通過使(Dl)阻燃劑的含量為50重量份以下，能夠使固化后的感光性干膜抗蝕劑的機(jī)械特性提高。再有，上述第二感光層中的(D2)阻燃劑的含量如上所述。本發(fā)明的感光性干膜抗蝕劑的厚度并無特別限定，例如，優(yōu)選為5nm~75jim,更優(yōu)選為10jim~60jim。感光性干膜抗蝕劑的厚度如果小于5jim，有時不能被;^銅等導(dǎo)體配線，因此不優(yōu)選。此外，感光性干膜抗蝕劑的厚度如果大于75fim，有時感光能力降低，因此不優(yōu)選。此外，上述第二感光層的厚度，將第一感光層的厚度記為100時，優(yōu)選為10~500，更優(yōu)選為20~400，進(jìn)一步優(yōu)選為50~300。將第一感光層的厚度記為100時，如果第二感光層的厚度大于500，則感光性干膜抗蝕劑的阻燃性降低，因此不優(yōu)選。此外，將第一感光層的厚度記為100時，如果第二感光層的厚度小于IO，則電可靠性存在降低的傾向。本發(fā)明的感光性干膜抗蝕劑，以使第二感光層與和形成了電路的覆銅層合板(也稱為帶電路的CCL)相接的一側(cè)相接的方式進(jìn)行層合。由此能夠使感光性干膜抗蝕劑的析像清晰度、阻燃性、耐濕性、電可靠性提高。可以認(rèn)為其原因在于，通過使與形成了電路的覆銅層合;M目接的部分的阻燃劑的濃度降低，能夠防止與該覆銅層合板相接的部分的耐濕性降低，因此能夠有效地使電可靠性提高。此外，通過以使第二感光層與和覆銅層合;M目接的一側(cè)相接的方式進(jìn)行層合，能夠使析像清晰度和感光能力提高，可以認(rèn)為其原因如下。即，感光性顯現(xiàn)的原因在于，通過光照射，光反應(yīng)引發(fā)劑產(chǎn)生自由基等，(曱基)丙烯酸類化合物交聯(lián)。在此，如果阻燃劑的濃度高，會使產(chǎn)生的自由基等的濃度降低，使(甲基)丙烯酸類化合物的交聯(lián)密度(濃度)下降，感光能力降低。特別在距離光照射的一側(cè)遠(yuǎn)的一側(cè)(深的部分)該傾向大。因此，通過^i巨離光照射的一側(cè)遠(yuǎn)的一側(cè)，即與^銅層合^目接的一側(cè)的阻燃劑濃度降低，能夠?qū)崿F(xiàn)析像清晰度和感光能力的提高。此外，通過使與基材相接的第二感光層的阻燃劑的濃度降低，第二感光層的堿溶解性提高，所以堿顯影時不易產(chǎn)生殘?jiān)?，能夠進(jìn)一步提高析像清晰度和感光能力。而且該效果是只要與基材相接的第二感光層的堿溶解性優(yōu)異，即4吏第一感光層的堿溶解性差也能獲得的效果。因此，通過以使第二感光層與和覆銅層合;M目接的一側(cè)相接的方式進(jìn)行層合，能夠在確保作為感光性干膜抗蝕劑務(wù)沐的阻燃性的同時，獲得優(yōu)異的堿溶解性產(chǎn)生的效果。此外，本發(fā)明的感光性干膜抗蝕劑可以進(jìn)一步層合后述的支持體膜和/或保護(hù)膜。應(yīng)予說明，支持體膜在第一感光層的外側(cè)形成，此外，保護(hù)膜在第二感光層的外側(cè)形成。以下對構(gòu)成本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑的第一感光層和第二感光層中所含的上述各成分進(jìn)行詳細(xì)說明。(1-2)粘合劑聚合物本發(fā)明中，所謂粘合劑聚合物，是指用于形成感光性干膜抗蝕劑的感光性樹脂組合物中，為了賦予膜形成能力而配合的聚合物成分。應(yīng)予說明，本發(fā)明中，所謂聚合物成分，是指重均分子量為5000以上的低聚物、聚合物成分。應(yīng)予說明，上述重均分子量可以采用尺寸排阻色鐠(SEC)，例如東曹公司制HLC8220GPC進(jìn)行測定。本發(fā)明中使用的粘合劑聚合物并無特別限定，為了可以水系顯影，希望在堿性水溶液中可溶或者可以溶脹，因此優(yōu)選在聚合物鏈中含有羧基、羥基、磺酸基、磷酸基等酸性官能團(tuán)。作為具有酸性官能團(tuán)的粘合劑聚合物，可以列舉含有羧基的乙烯基系聚合物、聚酰胺酸、具有^J^/或羥基的可溶性聚酰亞胺，可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上組合使用。再有，在本發(fā)明中，(Al)和(A2)可以是相同的粘合劑聚合物，也可以不同。此外，對于B、C、D、E的各成分也同樣，可以在第一感光層和第二感光層中使用相同的物質(zhì)，也可以使用不同的物質(zhì)。(1-2-1)含有氛基的乙烯基系聚合物作為粘合劑聚合物，通過使用含有氛基的乙烯基聚合物，能夠制造柔軟性、堿溶解性優(yōu)異的感光性干膜抗蝕劑。此外，制造也容易，生產(chǎn)方面、成本方面也優(yōu)異。含有氛基的乙烯基系聚合物，可以通過采用公知的方法使含有氣基的單體和可以與它們共聚的單體進(jìn)行共聚而得到。作為含有g(shù)的單體，可以列舉例如(甲基)丙烯酸、馬來酸、馬來酸單烷基酯、乙烯基苯曱酸、肉桂酸、丙炔酸、富馬酸、巴豆酸、馬來酸酐、鄰苯二曱酸酐等。其中，從成本、聚合性等的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選(甲基)丙烯酸。它們可以單獨(dú)使用或者將2種以上組^^吏用。作為可以與上述這些單體共聚的單體，可以列舉例如(甲基)丙烯酸酯類、馬來酸二酯類、富馬酸二酯類、巴豆酸酯類、乙烯基酯類、馬來酸二酯類、(甲基)丙烯酰胺類、乙烯基醚類、乙烯基醇類、苯乙烯、苯乙烯衍生物等。其中，從聚合性、撓性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使用(曱基)丙烯酸酯、苯乙烯、苯乙烯衍生物。它們可以單獨(dú)使用或者將2種以上組^^吏用。由這些單體得到的含有羧基的乙烯基系聚合物并無特別限定，優(yōu)選含有5~50摩爾％含有羧基的單體，更優(yōu)選含有15~40摩爾％。如果含有率小于5摩爾％，存在在堿性水溶液中的溶解性差的傾向，如果大于50摩爾%，有時耐堿性7JC溶液性差。再有，含有羧基的單體的含有率是指含有羧基的單體相對于所使用的全部單體的比例。上述含有羧基的乙烯基系聚合物的重均分子量并無特別限定，優(yōu)選為5000~300000，更優(yōu)選為10000~200000。如果重均分子量小于5000,在感光性干膜抗蝕劑中容易產(chǎn)生發(fā)粘，此外還存在固化后的膜的耐彎曲性差的傾向。另一方面，如果重均分子量大于300000,有時制造的感光性千膜抗蝕劑的顯影性降低。應(yīng)予i兌明，上述重均分子量可以采用尺寸排阻色鐠(SEC),例如東曹公司制HLC8220GPC進(jìn)行測定。(1-2-2)聚酰胺酸作為粘合劑聚合物，通過使用作為聚酰亞胺前體的聚酰胺酸，作為感光性干膜抗蝕劑整體，水系顯影性、阻燃性、密合性、耐濕性、電可靠性、焊料耐熱性等特性優(yōu)異。聚酰胺酸可以通過在有機(jī)溶劑中使二胺和酸二酐反應(yīng)而得到。例如，在氬、氮等惰性氣氛中，使二胺溶解于有機(jī)溶劑中、或者a為漿狀，制成二胺溶液。另一方面，酸二酐可以在成為溶解于有機(jī)溶劑或者擴(kuò)散^t成漿狀的狀態(tài)后，或者在固體狀態(tài)下，添加到上述二胺溶液中。作為用于合成聚酖胺酸的酸二酐和二胺，并無特別限定，*反應(yīng)性、阻燃性、在有機(jī)溶劑中的溶解性、耐熱性、彎曲性等的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使用芳香族酸酐、芳香族二胺。作為上述芳香族酸酐，可以列舉例如均苯四甲酸二酐、3,3，，4，4，-二苯甲酮四甲酸二酐、3，3，，4，4，-二輛四甲酸二酐、2,2-雙(羥基苯基)丙烷二苯甲酸酯-3，3，，4，4，-四甲酸二酐、2,3，，3，4，-二苯醚四甲酸二酐、3，4,3，，4，-二苯醚四甲酸二酐、聯(lián)^_3,4，3，，4，-四甲酸二酐、2，2，-六氟亞丙基二鄰&曱酸二酐等芳香族四羧酸二酐、1，3,3a,4，5,9b-六氫-2，5-二氧代-3-呋喃基-萘并[1，2-c]呋喃-l,3-二酮等具有芳香環(huán)的脂肪族四羧酸二酐等。上述酸二酐可以單獨(dú)使用或者將2種以上組合使用。上述芳香族酸二酐中，從合成的容易性、在堿性水溶液中的溶解性出發(fā)，優(yōu)選至少一部分使用均苯四甲酸二酐、3，3，,4,4，-二苯甲酮四曱酸二酐、3，3，，4，4，-二苯砜四甲酸二酐、3，4，3，，4，-二苯醚四甲酸二酐、聯(lián)苯-3,4,3，，4，畫四甲酸二酐、2，2，-六氟亞丙基二鄰^Jl甲酸二酐等芳香族四羧酸二酐。作為上述芳香族二胺，可以列舉例如對苯二胺、間苯二胺、4，4，-二氨基二苯基甲烷、4，4，-二絲苯基乙烷、4，4，-二絲苯基醚、3，4，-二絲苯基醚、3，3，-二絲苯基醚、4,4，-二二絲苯基硫醚、4，4，-二二絲苯基砜、1,5畫二^J^、3，3-二甲基-4，4，-二^J^苯、5-脈-l國(4，-絲苯基)畫l，3，3國三甲基茚滿、6-絲-1-U，-絲苯基)-1，3,3-三曱基茚滿、3，4，-二絲二苯基醚、2,7-二絲芴、2，2-雙(4-絲苯基)六氟丙烷、3，3，-二甲緣-4，4，-二絲聯(lián)苯、4，4，-二絲-2，2，-雙(三氟甲基)聯(lián)苯、2，2-雙[4-(4-絲苯氡基)苯基丙烷、2，2-雙[4-(4-氨基苯氡基)苯基六氟丙烷、1,4-雙(4-氨基苯氧基)苯、4,4，-雙(4-氨基苯氡基)聯(lián)苯、1,3-雙(4-氨基苯氡基)苯、1,3-雙(3-氨基苯氧基)苯、9，9-雙(4-M苯基)芴、4，4，-(對亞苯基異亞丙基)雙苯胺、4，4，-(間亞苯基異亞丙基)雙苯胺、2，2，-雙[4-(4-絲-2-三氟曱基苯緣)苯基六氟丙烷和4，4，-雙[4-(4-絲-2-三氟曱基)苯HJ+八氟聯(lián)苯、雙[4-(3-M苯氧基)苯基砜。上述二胺可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上組合使用。上述芳香族二胺中，從耐熱性、在堿性水溶液中的溶解性出發(fā)，優(yōu)選至少一部分使用1,3-雙(4-氨基苯氡基)苯、1,3-雙(3-氨基苯氧基)苯、雙4-(3-氨基苯氧基)苯基砜。不言而喻，除了上述芳香族二胺以外，可以同時使用公知的其他二胺作為原料的一部分。使用上述二胺和酸二酐合成聚跣胺酸時，可以分別至少使用一種上述二胺和酸二酐進(jìn)行>^應(yīng)。即，例如，通過使用二胺成分和上述酸二酐，如上所述在有機(jī)溶劑中進(jìn)行聚合反應(yīng)，從而能夠得到聚酰胺酸。此時，如果l種的二胺和l種的酸二酐基本上為等摩爾，成為酸二酐成分1種和二胺成分1種的聚酰胺酸。此外，使用2種以上的酸二酐成分和2種以上的二胺成分時，如果將多種二胺成分總量的摩爾比與多種酸二酐成分總量的摩爾比調(diào)節(jié)為基本上等摩爾，也能夠任意得到聚酰胺酸共聚物。上述二胺和酸二酐的反應(yīng)(聚酰胺酸的合成>^應(yīng))的溫度條件并無特別限制，優(yōu)選為-20。C80。C，更優(yōu)選為-15。C50。C。如果超過80'C，聚酰胺酸有可能分解，相反如果為-20'C以下，聚合反應(yīng)的進(jìn)行有時減緩。此外，反應(yīng)時間可以在10分鐘~30小時的范圍任意i更定。此外，作為上述聚酰胺酸的合成反應(yīng)中使用的有機(jī)溶劑，只要是有機(jī)極性溶劑，則并無特別限定，M擇能夠溶解聚酰胺酸并且沸點(diǎn)盡可能低的有^L性溶劑在工序上有利。具體地，作為聚酰胺酸的合成反應(yīng)中使用的有機(jī)溶劑，可以列舉N，N-二甲基甲酰胺等曱酰胺系溶劑，N，N-二甲基乙酰胺等乙酰胺系溶劑、N-曱基-2-吡咯烷酮、N-乙烯基-2-吡咯烷酮等吡咯烷酮系溶劑、四氫吹喃、二p悉烷、二氧雜環(huán)戊烷等酸系溶劑等。上述聚酖胺酸的重均分子量并無特別限制，優(yōu)選為5000~300000，更優(yōu)選為10000~200000。如果重均分子量小于5000，在感光性干膜抗蝕劑中容易產(chǎn)生發(fā)粘，此外還存在固化后的膜的耐彎曲性差的傾向。另一方面，如果重均分子量大于300000，則溶液粘度變得過高，所以存在^Mt變得困難的傾向，而且有時制造的感光性干膜抗蝕劑的顯影性降低。應(yīng)予說明，上述重均分子量可以采用尺寸排阻色鐠(SEC)，例如東曹公司制HLC8220GPC進(jìn)行測定。對于上述專利文獻(xiàn)6~9中記載的將聚酰胺酸和(甲基)丙烯酸類化合物混合而成的感光性樹脂組合物，難以抑制由該感光性樹脂組合物得到的保護(hù)層膜和基膜的熱膨脹系數(shù)而不匹配產(chǎn)生的翹曲。其中，F(xiàn)PC是在薄基膜(25nm左右)上直接或介由粘合劑繪出銅箔的圖案，為了保護(hù)導(dǎo)體面而在表面上形成保護(hù)層膜。因此，如果因基膜和保護(hù)膜的熱膨脹系數(shù)不匹配而產(chǎn)生翹曲，在安裝部件等時不方便。如上所述，現(xiàn)有的FPC的感光性干膜抗蝕劑其性能均不能說充分，不存在完全滿足利用水系顯影液的顯影性；優(yōu)異的析像清晰度、阻燃性、密合性、耐濕性、電可靠性和低翹曲性的感光性干膜抗蝕劑。作為上述二胺，使用以下通式(1)所示的聚硅氧烷二胺作為原料的至少一部分的聚酰胺酸，能夠提高柔軟性、密合性、撓性。此外，通過使用該聚酰胺酸，能夠制造具有顯影性；優(yōu)異的析像清晰度、阻燃性、密合性、耐濕性、電可靠性，而且具有低翹曲性的感光性干膜抗蝕劑。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula>通式(1)(式中，Ri各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)l-5的烴，R2各自獨(dú)立地表示選自顛子數(shù)1~5的烷基或苯基的有機(jī)基團(tuán)，n表示l-20的整數(shù)。)。此外，本發(fā)明人t現(xiàn)通過進(jìn)一步使用以具有一定結(jié)構(gòu)的聚硅氧烷二胺為原料的聚酖胺酸，能夠進(jìn)一步使聚酰亞胺自身的阻燃性提高，實(shí)現(xiàn)低酖亞胺化溫度，發(fā)現(xiàn)通過將該聚酖胺酸用于上述兩層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，能夠?qū)崿F(xiàn)完全滿足采用水系顯影液的顯影性；優(yōu)異的析像清晰度、阻燃性、密合性、耐濕性、電可靠性和低翹曲性；以及低酰亞胺化溫度的感光性干膜抗蝕劑。作為獲得了阻燃性和柔軟性的平衡的聚酰胺酸，非常優(yōu)選使用包含以下的通式(2)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula>(式中，W表示4價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，112各自獨(dú)立^示^^子數(shù)2~5的亞烷基，RS各自獨(dú)立i^示甲基或苯基，RS中的苯基的含有率為15%~40%，并且m為4~20的整數(shù)。)所示的結(jié)構(gòu)單元和以下的通式(3)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula>(式中，W表示4價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，Rs表示從芳香族二胺中去除了2個氨基而成的2價(jià)的有機(jī)基團(tuán)。)所示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰胺酸。由此能夠得到阻燃性、電可靠性和低翹曲性優(yōu)異的聚酰胺酸。此夕卜，通過使用上述聚酰胺酸，能夠得到可以水系顯影、析像清晰度、阻燃性、密合性、耐濕性、電可靠性和低翹曲性優(yōu)異的感光性干膜抗蝕劑。通式(2)中，只要Ri是4價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，就并無特別限定，但更優(yōu)選為選自單環(huán)式的芳香波基團(tuán)、稠合多環(huán)式的芳香波基團(tuán)、以及這些芳香涘基團(tuán)的2個以上直接或由連接基連接而成的基團(tuán)中的碳原子數(shù)6~50的4價(jià)的芳香旒基團(tuán)。作為R1，具體地可以列舉例如從后述的酸二酐中去除了兩個-CO-O-CO-而得到的殘基。再有，W在每個通式(2)所示的結(jié)構(gòu)單元中可以相同，也可以不同。通式(2)中，112可以各自獨(dú)立地是碳原子數(shù)2~5的亞坑基。具體地說，W是亞乙基、亞丙基、四亞甲基或五亞甲基。此外，通式(2)中，R3各自獨(dú)立地為甲基或苯基。再有，R3中的曱基，只要對得到的聚酰胺酸、包含其的感光性干膜抗蝕劑和其酰亞胺化物(以下，在本i兌明書中，有時簡寫為聚酰胺酸等)的性能不產(chǎn)生不利的影響，其一部分可以被乙基、丙基替代。其中，Rs中的苯基的含有率優(yōu)選為15%~40%。通過使113中的苯基的含有率為15%以上，能夠進(jìn)一步提高聚酰胺酸等的阻燃性。如上所述，從得到的聚酰胺酸等的阻燃性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選苯基的含有率為15%以上，如果苯基的含有率大于40%，得到的聚酰胺酸等的柔軟性、低翹曲性傾向于降低，因此不優(yōu)選。苯基的含有率更優(yōu)選為18%~38%,進(jìn)一步優(yōu)選為20%~35%。此外，如果上述苯基的含有率在上述范圍內(nèi)，得到的聚酰胺酸等的感光性、彎曲性、電可靠性傾向于提高。如上所述，通過使上述苯基的含有率在上述范圍內(nèi)，雖然理由不清楚，但能夠得到翹曲更小，撓性、彎曲性、電可靠性、感光性優(yōu)異，具有阻燃性的聚酰胺酸等。此外，由于阻燃性提高，與現(xiàn)有的4吏用聚硅氧烷二胺得到的聚酰胺酸等相比，能夠用更少的阻燃劑確保阻燃性。因此，在阻燃性、耐濕性、電可靠性方面能夠得到更優(yōu)異的聚酰胺酸等。在此，所謂苯基的含有率，是指RS中含有的苯基的摩爾分?jǐn)?shù)，用下述式表示。苯基的含有率(％)=(R3中苯基的摩爾數(shù))+(R3中苯基的摩爾數(shù)+113中甲基的摩爾數(shù))xioo此外，113中甲基的含有率優(yōu)選為60%~85%。通過使RS中曱基的含有率為60%以上，得到的聚酰胺酸的柔軟性、低翹曲性進(jìn)一步提高，因此優(yōu)選。此外，雖然甲基的含有率為60%以上，得到的聚酰胺酸等的柔軟性、^i^曲性優(yōu)異，但如果甲基的含有率比85%大，得到的聚酰胺酸等的阻燃性傾向于降低，因此不優(yōu)選。甲基的含有率更優(yōu)選為62%~82%，進(jìn)一步優(yōu)選為65%~80%。此外，通式(2)中，硅氧烷鍵的重復(fù)單元數(shù)m優(yōu)選為4~20的整數(shù)。通過使m為4以上，得到的聚酰胺酸等的柔軟性、低翹曲性進(jìn)一步提高，因此優(yōu)選。此外，如果m大于20，有時得到的聚酰胺酸等中聚珪氧烷部位凝聚，凝聚的區(qū)域達(dá)到可見光的波長以上，4吏光lt射而產(chǎn)生白化，感光能力降低。此外，如果m大于20，形成只有聚硅氧烷的大的區(qū)域，因此有時阻燃性降低。m更優(yōu)選為418，進(jìn)一步優(yōu)選為5~15。此外，如果上述m在上述范圍內(nèi)，得到的聚酰胺酸等存在彎曲性、電可靠性優(yōu)異的傾向。如上所述，通過使m為上述范圍，能夠得到翹曲小，撓性、彎曲性、電可靠性、感光性優(yōu)異，具有阻燃性的聚酰胺酸等。此外，通式(3)中，只要W是4價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，就并無特別限定，但更優(yōu)選為選自單環(huán)式的芳香族基團(tuán)、稠合多環(huán)式的芳香族基團(tuán)、以及這些芳香族基團(tuán)的2個以上直接或由連接基連接而成的基團(tuán)中的碳原子數(shù)6~50的4價(jià)的芳香波基團(tuán)。作為R4,具體地可以列舉例如從后述的酸二酐中去除了兩個-CO-O-CO-而得到的殘基。再有，R"在每個通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元中可以相同，也可以不同。此外，可以與通式(2)中的R1相同，也可以不同。此外，通式(3)中，Rs只要是從芳香族二胺中去除了2個氨基的2價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，就并無特別限定。其中，所謂芳香族二胺，是指具有2個與芳香環(huán)直接鍵合的氨基的化合物。其中，Rs更優(yōu)選為選自單環(huán)式的芳香族基團(tuán)、稠合多環(huán)式的芳香波基團(tuán)、以及這些芳香族基團(tuán)的2個以上直接或由連接基連接而成的基團(tuán)中的^f子數(shù)650的2價(jià)的芳香;^團(tuán)。再有，RS在每個通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元中可以相同，也可以不同。上述通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元，更優(yōu)選包含如下的結(jié)構(gòu)單元上述通式(3)中，Rs中的上述芳香族二胺的上述2個M酸鍵接的芳香環(huán)中的至少1個，通過位于間位的2根結(jié)合鍵與主鏈鍵接。例如，上述芳香族二胺為苯二胺時，該結(jié)構(gòu)單元是2個氨基鍵接的單一的苯環(huán)通過位于間位的2根結(jié)合鍵與主鏈鍵接的結(jié)構(gòu)單元。即，在該情況下，上述芳香族二胺為間^Ln胺，Rs為從間苯二胺中去除了2個氨基的2價(jià)的間亞苯基。此外，例如，上述芳香族二胺為二M二苯基甲烷時，是2個M分別鍵接的2個苯環(huán)中至少1個通過位于間位的2根結(jié)合鍵與主^^^的結(jié)構(gòu)單元。即，在該情況下，上述芳香族二胺為3，3，-或3，4，-二^J^苯基甲烷，W為從3，3，-或3，4，-二絲二苯基曱烷中去除了2個絲的2價(jià)基團(tuán)。由此可以使聚酖胺酸等的酰亞胺化溫度降低。具體地說，可以得到在180。C以下的加熱時達(dá)到95。/。以上的酰亞胺化率的聚S^酸。以往的感光性聚酰亞胺主要在半導(dǎo)體用途中進(jìn)行了研究，對于半導(dǎo)體，即使酰亞胺化的溫度為高溫也無問題，因此沒有進(jìn)行降低酰亞胺化溫度的研究。以往的感光性聚酰亞胺，在聚跣胺酸的狀態(tài)下曝光、顯影后，通常在300。C以上的溫度下進(jìn)行酰亞胺化而得到。作為FPC的感光性干膜抗蝕劑，如果使用該感光性聚酰亞胺，就要對FPC本身外加250。C以上的熱。但是，通常，作為剛性和柔性印刷基板的構(gòu)成材料，還使用環(huán)氧樹脂等比聚酰亞胺的耐熱性低的樹脂，只具有200。C以下的耐熱性。因此，如果將在300'C以上的高溫下固化的這些感光性聚酰亞胺用于FPC用途，會因高溫而產(chǎn)生銅箔的氧化、銅的結(jié)晶結(jié)構(gòu)變化，或者銅箔的強(qiáng)度降低這樣的問題。因此，該感光性聚酰亞胺不能作為剛性和柔性印刷基仗用途使用。通過使用上述聚酰胺酸，能夠得到可以水系顯影，且析像清晰度、阻燃性、密合性、耐濕性、電可靠性和低翹曲性優(yōu)異，并且還具有低酰亞胺化溫度的感光性干膜抗蝕劑。此外，可以在180。C以下的溫度下使該感光性干膜抗蝕劑固化，形成絕緣保護(hù)層，從而制造印刷配線板。由此，能夠消除高溫產(chǎn)生銅箔的氧化、銅的結(jié)晶結(jié)構(gòu)變化，或者銅箔的強(qiáng)度降低這樣的問題，制造性能好的印刷配線板。上述芳香環(huán)通過位于鄰位的2根結(jié)合鍵與主^lt接時，由酰亞胺化而生成的酰亞胺環(huán)和主鏈接近。其結(jié)果，產(chǎn)生立體位阻而阻礙酰亞胺化。因此i^為酰亞胺化溫度傾向于升高。與4^目反，上述芳香環(huán)通過位于對位的2根結(jié)^^鍵與主^^接時，認(rèn)為雖然不產(chǎn)生立體位阻，但主鏈整體為直鏈狀，不易受到熱振動，因此玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg)增高。此外，認(rèn)為由于主鏈整體成為直線狀，分子間的凝聚力增大，因此也使Tg增高。即，酰亞胺化時將水分子除去而閉環(huán)，因此體積減少。但是，如果分子整體不動，則不能酰亞胺化。此外，上述芳香環(huán)通過位于間位的2根緯合鍵與主鏈鍵接時，由于存在光的吸收小的傾向，因此制成感光性樹脂時，能夠成為高感度的感光性樹脂。因此，上述通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元，雖然可以在不對酰亞胺化溫度和Tg的上升產(chǎn)生影響的程度下，含有R5中上述芳香環(huán)通過位于鄰位、對位的2根結(jié)合鍵與主鏈鍵接的結(jié)構(gòu)單元，但優(yōu)選以更低的比例含有。換言之，更優(yōu)選上述通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元以更高的比例含有上述芳香環(huán)通過位于間位的2根結(jié)合鍵與主鏈鍵接的結(jié)構(gòu)單元。例如，設(shè){(芳香族二胺中的間位JtJ^的摩爾數(shù))/(聚酰胺酸前體的制造中使用的全部芳香族二胺的氨基的摩爾數(shù))^100=間位的含量(％),則間位的含量更優(yōu)選為60%以上，進(jìn)一步優(yōu)選為80%以上。再有，上述全部芳香族二胺的氨基的摩爾數(shù)是將聚酰胺酸的制造中使用的全部芳香族二胺的摩爾數(shù)乘以2而得到。例如，作為聚酰胺酸前體的制造中使用的芳香族二胺，只使用3，3，-二苯醚時，間位的含量為100%，只使用3，4，-二苯醚時，間位的含量為50%，只使用4,4，-二苯醚時，間位的含量為0%。此外，作為聚酰胺酸的制造中使用的芳香族二胺，只使用間苯二胺時，間位的含量為100%，只使用對^n胺或鄰^^胺時，間位的含量為0%。此外，設(shè){(芳香族二胺中的對位氨基的摩爾數(shù))/(聚酰胺酸前體的制造中使用的全部芳香族二胺的氨基的摩爾數(shù))〉xlO(N對位的含量(％)，則對位的含量更優(yōu)選為20%以下。作為上述具有間位氨基的芳香族二胺，只要是氨基直M接于芳香族環(huán)、且該氨基的位置為3-或間位的二^化合物，就并無特別限定，具體地列舉一例，則可以列舉例如間苯二胺、3，3，-二M二苯基甲烷、3,3，-二^tj^二苯醚、3，3，-二^i^二^lt醚、3，3，誦二^^二^M^、3，3，-二#^國1\-苯甲酰苯胺、2,2-雙(3-M苯基)六氟丙烷、3，3，-二氨基-2，2，-雙(三氟甲基)聯(lián)苯、2，2-雙[4-(3-氨基苯氧基)苯基丙烷、2,2-雙[4-(3-絲苯氧基)苯基砜、2,2-雙[4-(3-氨基苯氧基)苯基六氟丙烷、1,4-雙(3-絲苯氧基)苯、4，4，-雙(3-氨基苯氧基)聯(lián)苯、1，3-雙(3-氨基苯氧基)苯、雙[4-(3-氨基苯氧基)苯基砜、2，2-雙(3-狄苯基)丙烷、9,9-雙(3-氨基苯基)芴、4，4，國(間誦亞苯基異亞丙基)雙苯胺、4，6國二^JJ'司^r:酚、3，3，-二狄-4，4，-二羥絲苯、3，3，-二絲-4，4，-二羥基二苯基甲烷、2，2國雙[3-Jl^-4-羥基苯基丙烷、2，2-雙[3-#^-4-羥基苯基六氟丙烷、3，3，-二氨基_4，4，-二羥基二苯醚、3,3，-二絲-4，4，-二羥基二輛、雙[4-(3-絲-4-羥基苯氧基)苯基砜等雙[(羥基苯氧基)苯基1砜、3，3，-二M-4，4，-二羥基聯(lián)苯、2，2，-雙[3-絲-4-羥基苯基丙烷、3，3，-二絲-4，4，-二絲聯(lián)苯、3，3，-二絲-4，4，國二絲二苯基甲烷、2，2國雙[3國絲-4-絲苯基丙烷、2,2-雙[3-絲-4-絲苯基]六氟丙烷、3，3，-二絲-4，4，-二絲二苯醚、3，3，-二M-4，4，-二^^笨諷、3,5-二氨基苯甲酸等二胺化合物。在這種情況下，上述通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元是上述通式(3)中R5去除了上述芳香族二胺的2個氛基的結(jié)構(gòu)。特別是為了得到電可靠性高的聚酰胺酸等，在上述例示的具有間位氨基的芳香族二胺中，更優(yōu)選選擇不具有羥基或羧基的化合物。作為上述具有間位氨基的芳香族二胺，更優(yōu)選間苯二胺、3,3，-二氨基二苯基甲烷、3，3，-二絲二苯醚、3,3，-二絲二^M克醚、3，3，-二絲二苯砜、3，3，-二氨基-N-苯甲酰苯胺、2,2-雙(3-氨基苯基)六氟丙烷、2,2-雙[4-()苯基丙烷、2,2-雙[4-(3-氨基苯氧基)苯基砜、2,2國雙[4-(3-氨基苯氧基)苯基六氟丙烷、1，4-雙(3-氨基苯氧基)苯、4，4，-雙(3-氨基苯氧基)聯(lián)苯、1，3-雙(3-氨基苯氧基)苯、雙[4-(3-Jl^苯氧基)苯基砜或2，2-雙(3-M苯基)丙烷。此外，作為粘合劑聚合物使用的聚酰胺酸，除了具有上述通式(2)所示的結(jié)構(gòu)單元、上述通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元以外，還可以具有以下的通式(4)(式中，W表示4價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，R具有以下的化學(xué)式a、b、c、d、e、f或g<formula>formulaseeoriginaldocumentpage31</formula>所示的結(jié)構(gòu)，化學(xué)式a中，m表示l20中的任一整數(shù)，n表示010中的任一整數(shù)，化學(xué)式f中，RS表示氫原子、曱基、乙基或丁基。)所示的結(jié)構(gòu)單元。通式(4)中，W只要為4價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，就并無特別限定，更優(yōu)選為選自單環(huán)式的芳香旋基團(tuán)、稠合多環(huán)式的芳香波基團(tuán)、以及這些芳香族基團(tuán)的2個以上直接或由連接基連接而成的基團(tuán)中的碳原子數(shù)6~50的4價(jià)的芳香波基團(tuán)。作為R6，具體地可以列舉例如從后述的酸二酐中去除了兩個-CO-O-CO-而得到的殘基。再有，W在每個通式(4)所示的結(jié)構(gòu)單元中可以相同，也可以不同。通過進(jìn)一步具有通式(4)所示的結(jié)構(gòu)單元，能夠期待與(曱基)丙烯酸類化合物的相溶性提高。在包含上述通式(2)所示的結(jié)構(gòu)單元、上述通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元和根據(jù)情況選擇的上述通式(4)所示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰胺酸中，相對于(A)粘合劑聚合物中或作為(A)粘合劑聚合物的聚酰胺酸中的全部上述結(jié)構(gòu)單元，通式(2)所示的結(jié)構(gòu)單元的摩爾分?jǐn)?shù)和通式(4)所示的結(jié)構(gòu)單元的摩爾分?jǐn)?shù)的合計(jì)((通式(2)所示的結(jié)構(gòu)單元的摩爾數(shù))+(通式(4)所示的結(jié)構(gòu)單元的摩爾數(shù)))+(通式(2)所示的結(jié)構(gòu)單元的摩爾數(shù)+通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元的摩爾數(shù)+通式(4)所示的結(jié)構(gòu)單元的摩爾數(shù))xlOO優(yōu)選為10%以上且小于卯％，更優(yōu)選為20%以上且小于80%，進(jìn)一步優(yōu)選為30%以上且小于70%，特別優(yōu)選為40%以上且小于60%.通過使通式(2)所示的結(jié)構(gòu)單元和通式(4)所示的結(jié)構(gòu)單元的摩爾分?jǐn)?shù)的合計(jì)為10%以上，可以在比現(xiàn)有的聚酖胺酸等低的溫度下進(jìn)行酰亞胺化，并且能夠得到翹曲小、撓性和彎曲性優(yōu)異的聚酖胺酸等。此外，此時，相對于通式(2)所示的結(jié)構(gòu)單元的摩爾分?jǐn)?shù)和通式(4)所示的結(jié)構(gòu)單元的摩爾分?jǐn)?shù)的合計(jì)，通式(2)所示的結(jié)構(gòu)單元的摩爾分?jǐn)?shù)(通式(2)所示的結(jié)構(gòu)單元的摩爾數(shù))+(通式(2)所示的結(jié)構(gòu)單元的摩爾數(shù)+通式(4)所示的結(jié)構(gòu)單元的摩爾數(shù))xi00可以大于0且小于等于100%,更優(yōu)選為10%~100%,進(jìn)一步優(yōu)選為30%~100%。由此，能夠顯現(xiàn)高阻燃性和撓性和彎曲性，因此優(yōu)選。此外，至少含有上述結(jié)構(gòu)單元(2)和(3)、并根據(jù)情況選擇含有(4)的聚酰胺酸的重均分子量優(yōu)選為2000~1000000，更優(yōu)選為5000~300000。上述聚酰胺酸的重均分子量如果小于2000，有時存在得到的聚酰亞胺的分子量降低，強(qiáng)度降低的傾向，因此不優(yōu)選，如果大于1000000，有時存在感光性樹脂的顯影時間延長的傾向，因此不優(yōu)選。此外，至少含有上述結(jié)構(gòu)單元(2)和(3)、并根據(jù)情況選擇含有(4)的聚酰胺酸的重均分子量/數(shù)均分子量優(yōu)選為2~10,更優(yōu)選為2~5。第一感光層和第二感光層中的至少任一者、更優(yōu)選第一感光層含有上述聚酰胺酸時，能夠獲得如下效果，即能夠提供阻燃性、耐濕性、電可靠性和低翹曲性優(yōu)異、并且具有低酰亞胺化溫度的感光性干膜抗蝕劑。當(dāng)然，除了至少含有上述結(jié)構(gòu)單元(2)和(3)、并根據(jù)情況選擇含有(4)的聚酰胺酸以外，只要對得到的感光性干膜抗蝕劑的性能不產(chǎn)生不利的影響，粘合劑聚合物也可以含有其他的聚酰胺酸。此外，聚酰胺酸可以是包含上述通式(2)所示的結(jié)構(gòu)單元和上述通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰胺酸、及包含上述通式(4)所示的結(jié)構(gòu)單元和上述通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰胺酸的混合物。在這種情況下，也能夠獲得與包含上述(2)所示的結(jié)構(gòu)單元和上iiit式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元和上述通式(4)所示的結(jié)構(gòu)單元的共聚物同樣的效果。本發(fā)明的感光性干膜抗蝕劑中，(A)粘合劑聚合物優(yōu)選是包含上述通式(2)所示的結(jié)構(gòu)單元、上述通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元和祁^據(jù)情況任選的上述通式(4)所示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰胺酸，但(A)粘合劑聚合物可以是包含以下通式(4)(式中，W表示4價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，R"具有以下的化學(xué)式a、b、c、d、e、f或g—(CH2)m—{0—(CH2Un—0—(CH2)m—所示的結(jié)構(gòu)，化學(xué)式a中，m表示l20中的任一整數(shù)，n表示010中的任一整數(shù)，化學(xué)式f中，Rs表示氫原子、甲基、乙基或丁基。)所示的結(jié)構(gòu)單元和以下的通式(3)(式中，R"表示4價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，R5表示從芳香族二胺中去除了2個氨基而成的2價(jià)的有機(jī)基團(tuán)。)所示結(jié)構(gòu)單元的粘合劑聚合物。其中，對于上述通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元和上述通式(4)所示的結(jié)構(gòu)單元，如在包含上述通式(2)所示的結(jié)構(gòu)單元、上述通式(3)所示說明那樣，在此省略說明。在包含上述通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元和上述通式(4)所示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰胺酸中，通式(4)所示的結(jié)構(gòu)單元相對于聚酰胺酸中的全部上述結(jié)構(gòu)單元的摩爾分?jǐn)?shù)(通式(4)所示的結(jié)構(gòu)單元的摩爾數(shù))+(通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元的摩爾數(shù)+通式(4)所示的結(jié)構(gòu)單元的摩爾數(shù))xi00優(yōu)選為10%以下且小于卯％，更優(yōu)選為20%以上且小于80%，進(jìn)一步優(yōu)選為30%以上且小于70%,特別優(yōu)選為40%以上且小于60%。通過使通式(4)所示的結(jié)構(gòu)單元的摩爾分?jǐn)?shù)為10%以上，能夠得到可以在比現(xiàn)有的聚酰胺酸等低的溫度下進(jìn)行酰亞胺化、iUm曲小、撓性和彎曲性優(yōu)異的聚酰胺酸等。此外，包含上述通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元和上述通式(4)所示結(jié)構(gòu)單元的聚酰胺酸的重均分子量優(yōu)選為2000~1000000,更優(yōu)選為5000~300000。上述聚酰胺酸的重均分子量如果小于2000，存在得到的聚酰亞胺的分子量降低，強(qiáng)度降低的傾向，因此不優(yōu)選，如果大于1000000，感光性樹脂的顯影時間傾向于延長，因此不優(yōu)選。此外，包含上述通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元和上述通式(4)所示結(jié)構(gòu)單元的聚酰胺酸的重均分子量/數(shù)均分子量，優(yōu)選為2~10,更優(yōu)選為2~5。第一感光層和第二感光層的至少任一者，更優(yōu)選兩者含有包含上述通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元和上述通式(4)所示結(jié)構(gòu)單元的上述聚酖胺酸時，能夠獲得如下效果，即能夠提供阻燃性、耐濕性、電可靠性和低忽曲性優(yōu)異，并且具有低酰亞胺化溫度的感光性干膜抗蝕劑。再有，第一感光層和第二感光層中的至少任一者，只要不對得到的感光性干膜抗蝕劑的性能產(chǎn)生不利的影響，也可以^^有其他聚酰胺酸。作為第二感光層的粘合劑聚合物使用的聚酰胺酸，優(yōu)選使用第一感光層中使用的聚酖胺酸，但也能夠使用這以外的聚酰胺酸。作為第二感光層的粘合劑聚合物使用的聚酰胺酸，除了可以使用上述的包含上述通式(2)所示結(jié)構(gòu)單元和上述通式(3)所示結(jié)構(gòu)單元和才艮據(jù)情況選擇的上述通式(4)所示結(jié)構(gòu)單元的聚酖胺酸、包含上述通式(3)所示結(jié)構(gòu)單元和上述通式(4)所示結(jié)構(gòu)單元的聚酰胺酸以外，還適合使用例如包含上述通式(3)所示結(jié)構(gòu)單元的聚Sfe^酸。本發(fā)明中使用的上述聚酰胺酸，只要具有上述構(gòu)成，其制造方法并無特別限定，例如，包含上述通式(2)所示結(jié)構(gòu)單元和上述通式(3)所示結(jié)構(gòu)單元的聚酰胺酸，可以通過在有機(jī)統(tǒng)性溶劑中使酸二酐和芳香族二胺和以下的通式(5)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage35</formula>(5)(式中，議2各自獨(dú)立地表示碳數(shù)2~5的亞烷基，113各自獨(dú)立地表示甲基或苯基，RS中的苯基的含有率為15%~40%，并且m為420的整數(shù)。)所示的聚硅氧烷二胺反應(yīng)而制造。此外，例如，包含上述通式(2)所示結(jié)構(gòu)單元和上述通式(3)所示結(jié)構(gòu)單元和上述通式(4)所示結(jié)構(gòu)單元的聚酰胺酸，可以通過在有性溶劑中使酸二酐和芳香族二胺和上述通式(5)所示的聚硅氧烷二胺和以下的化學(xué)式組(6)中所示的a，、b，、c，、d，、e，、f，或g，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage36</formula>(6)(化學(xué)式a，中，m表示1~20中的任一整數(shù)，n表示010中的任一整數(shù)，化學(xué)式f，中，RS表示氫原子、甲基、乙基或丁基。)反應(yīng)而制造。此外，例如，包含上述通式(3)所示結(jié)構(gòu)單元和上述通式(4)所示結(jié)構(gòu)單元的聚酰胺酸，可以通過在有機(jī)統(tǒng)性溶劑中使酸二酐和芳香族二胺和上述化學(xué)式組(6)中所示的a，、b，、c，、d，、e，、f，或g，反應(yīng)而制造。再有，使用上述化學(xué)式組(6)中所示的a，、b，、c，、d，、e，、f，或g，時，可以單獨(dú)使用它們，也可以將2種以上組合使用。此外，例如，包含上述通式(4)所示結(jié)構(gòu)單元的聚酰胺酸可以通過在有機(jī)極性溶劑中使酸二酐和芳香族二胺反應(yīng)而制造。上述通式(5)中，112各自獨(dú)立地為碳原子數(shù)2~5的亞烷基，具體地說，為亞乙基、亞丙基、1,4-亞丁基、或l，5-亞戊基。此外，通式(5)中，R3各自獨(dú)立地為甲基或苯基。其中，對于R3中的苯基的^^有率、甲基的含有率，與上述說明的通式(2)中的W時相同，因此在此省略i兌明。再有，只要不對得到的感光性樹脂組合物的性能產(chǎn)生不利的影響，通式(5)中，Rs中的曱基，其一部分可以被乙基、丙基替代。此外，通式(5)中的硅氧烷鍵的重復(fù)單元數(shù)m也與上述說明的通式(2)中的m同樣，因此在此省略說明。作為上述酸二酐，并無特別限定，可以^^吏用所有的酸二酐。再有，從該酸二酐中去除了2個-CO-0-CO-的殘基為通式(2)中的R1、上述R4和R6的優(yōu)選的例子。作為該酸二酐，具體地i兌，可以列舉例如3，3，，4,4，誦二苯甲酮四曱酸二酐、3，3，，4，4，-二笨諷四甲酸二酐、3,3，，4，4，-二苯醚四曱酸二酐、2,2，-六氟亞丙基二鄰苯二甲酸二酐、2，2-雙(4-羥基苯基)丙烷二苯甲酸酯-3，3，，4,4，-四曱酸二酐、均苯四甲酸二酐、1，4，5，8-萘四曱酸二酐、2,3,6,7-萘四甲酸二酐、3，3，，4，4，-二曱基二苯基硅烷四甲酸二酐、3，3，，4,4，國四苯基眭烷四甲酸二酐、1，2,3，4-呋喃四甲酸二酐、4，4，-雙(3，4-二氣基苯SJO二^Lf克醚二酐、4，4，誦雙(3,4誦二g苯H^)二^5Rl二酐、4，4，國雙(3,4-二絲苯緣)二苯基丙烷二酐、3，3，,4,4，-全氟異亞丙基二鄰^^甲酸二酐、3，3，，4,4，-聯(lián)苯四甲酸二酐、雙(鄰苯二曱酸)苯基氧化膦二酐、對亞苯基-雙(三苯基鄰苯二曱酸)二酐、間亞苯基-雙(三苯基鄰苯二甲酸)二酐、雙(三苯基鄰^i曱酸)-4，4，-二苯醚二酐、雙(三苯基鄰仁甲酸)一4，4，-二苯基甲烷二酐等芳香族四羧酸二酐；1,2，3,4-環(huán)丁烷四甲酸二酐、1，3-二曱基-l，2，3，4-環(huán)丁烷四曱酸、丁烷四甲酸二酐、1，2，3,4-環(huán)戊烷四甲酸二酐、2，3，5-三絲環(huán)戊基乙酸二酐、3,5，6-三絲降水片烷-2-乙酸二酐、2,3,4,5-四氫呋喃四甲酸二酐、5-(2，5-二氧代四氫呋喃基)-3-曱基-3-環(huán)己烯-1，2-二甲酸二酐、雙環(huán)[2，2，2-辛-7-烯-2,3,5，6-四甲酸二酐等脂肪族或脂環(huán)式四羧酸二酐等。這些四羧酸二酐可以單獨(dú)使用，或者將2種以上組合使用。其中，作為上述酸二酐，從得到的聚酰亞胺的阻燃性優(yōu)異方面出發(fā)，更優(yōu)選使用芳香族四羧酸二酑'此外，為了得到在有機(jī)溶劑中溶解性高的聚酰亞胺，更優(yōu)選含有3,3，，4,4，-二笨颯四甲酸二酐、2，2，-六氟亞丙基二鄰^1曱酸二酐、2,3，3，，4，-聯(lián)苯四曱酸二酐、4,4-(4，4，-異亞丙基二苯氣基)雙鄰苯二甲酸酐、2，2-雙(4-羥基苯基)丙烷二苯甲酸酯-3，3，，4，4，-四曱酸二酐、3，3，，4，4，-二苯醚四甲酸二酐、3，3，,4，4，-四苯基硅烷四甲酸二酐或1,2-乙烷二苯甲酸酯-3，3，，4，4，-四曱酸二酐中的至少1種作為上述酸二酐。此外，從工業(yè)上價(jià)格低方面出發(fā)，優(yōu)選使用3，3，，4，4，-二苯甲酮四甲酸二酐、3，3，，4,4，-二苯砜四甲酸二酐、3,3，,4,4，-二苯醚四甲酸二酐、2，2，-六氟亞丙基二鄰苯二曱酸二酐、2,2-雙(4-羥基苯基)丙烷二苯甲酸酯-3，3，，4，4，-四甲酸二酐、均苯四甲酸二酐。此外，作為上述芳香族二胺，并無特別限定，可以使用任何芳香族二胺。作為該芳香族二胺，也無特別限定，可以列舉例如對苯二胺、間苯二胺、4，4，-二猛二苯基曱烷、4，4，-二絲二苯基乙烷、4，4，-二絲二苯醚、3，4，-二^J^二苯醚、3，3，-二氨基二苯醚、4，4，-二氨基二苯硫醚、4，4，-二絲二輛、1，5-二#^、3,3-二甲基-4，4，-二JlSJ^苯、5-絲-1-(4，-絲苯基)-1，3，3-三甲基茚滿、6-絲-1-(4，-絲苯基)-1,3,3-三甲基茚滿、4，4，-二氨基-N-苯甲酰苯胺、3,5-二絲-3，-三氟甲基-N-苯甲酰苯胺、3,5-二絲-4，-三氟甲基-N-苯甲酰苯胺、3，4，-二絲二苯瞇、2，7-二絲芴、2，2誦雙U-狄苯基)六氟丙烷、3，3，-二甲猛-4，4，-二絲聯(lián)苯、4，4，-二絲國2，2，-雙(三氟曱基)聯(lián)苯、2,2-雙[4-(4-氨基苯氧基)苯基丙烷、2,2國雙[4-(4-氨基苯氡基)苯基]六氟丙烷、1，4-雙(4-氨基苯氡基)苯、4，4，-雙(4-氨基苯氧基)聯(lián)苯、4，4，-雙(3-氨基苯氧基)聯(lián)苯、1，3，-雙(4-M苯緣)苯、1，3-雙(3-氨基苯氡基)苯、9，9-雙(4-#^苯基)芴、4，4，-(對亞苯基異亞丙基)雙苯胺、4，4，-(間亞苯基異亞丙基)雙苯胺、2，2，-雙[4誦U-M-2-三氟甲基苯氡基)苯基]六氟丙烷、4，4，-雙[4-(4-M-2-三氟甲基)苯氧基-八氟聯(lián)苯等芳香族二胺；二氨基四苯基瘞吩等具有結(jié)合于芳香環(huán)上的2個氨基和該氨基的氮原子以外的雜原子的芳香族二胺；4,6-二絲間^1酚等二猛間仁酚類；3，3，-二絲-4，4，-二羥絲苯、4，4，-二狄-3，3，-二羥絲苯、4，4，-二絲-2,2，-二羥基聯(lián)苯、4，4，-二絲-2，2，，5，5，-四羥基聯(lián)苯等羥絲苯化合物類；3，3，-二脈-4，4，-二羥基二苯基甲烷、2，2-雙[3-氨基-4-羥基苯基]丙烷、2,2-雙[4-#^-3-羥基苯基1丙烷、2,2-雙[3-氨基-4-羥基苯基l六氟丙烷、4，4，-二絲-2，2，，5，5，-四羥基二苯基甲烷等羥基二苯基曱烷類或羥基二苯基烷烴類；3，3，-二絲-4，4，-二羥基二苯醚、4,4，-二氨基-3，3，-二羥基二苯醚、4，4，-二氨基-2，2，-二羥基二苯醚、4,4，-二氨基-2，2，，5，5，-四羥基二苯醚等羥基二苯醚化合物；3,3，-二絲-4,4，-二羥基二苯砜、4，4，國二^^國3，3，國二羥基二^m、4,4，國二^i^陽2，2，-二羥基二:^、4，4，-二^^-2，2，，5,5，-四羥基二笨諷等二^l化合物；2，2-雙[4-(4-M-3-羥基苯氧基)苯基丙烷等雙[(羥基苯HiO苯基烷烴化合物類；雙[4-(4-氨基-3-羥基苯氧基)苯基砜、雙[4-(3-^J^-4-羥基苯氧基)苯基砜等雙[(羥基苯氧基)苯基砜化合物；2，4-二氨基苯酚等二氨基苯酚類；3，3，-二絲-4,4，-二羥基聯(lián)苯、4，4，-二絲-3，3，-二羥基二苯基甲烷、4，4，-二絲-2，2，-二羥基二苯基曱烷、2，2，-雙[3-絲-4-羥基苯基丙烷、4，4，-雙(4-絲-3-羥基苯猛聯(lián)苯等雙(羥基苯緣)聯(lián)苯化合物類；2，5-二^Jj^仁甲酸等二氨基苯二曱酸類；3，3，-二氨基-4，4，-二狄聯(lián)苯、4，4，-二氨基-3，3，-二^i^苯、4，4，-二絲國2，2，-二:^^苯、4，4，國二絲-2，2，，5，5，畫四H^苯等絲聯(lián)苯化合物類；3，3，-二絲-4，4，-二絲二苯基甲烷、2，2-雙[3-氨基-4-絲苯基丙烷、2，2-雙[4-猛-3-g苯基丙烷、2,2-雙[3-狄-4-羧基苯基六氟丙烷和4，4，-二狄-2，2，，5，5，-四絲二苯基甲烷等絲二苯基烷烴類；3，3，-二絲-4，4，-二絲二苯醚、4，4，-二狄-3，3，-二絲二苯瞇、4，4，-二絲-2，2，-二絲二苯醚、4，4，-二樣-2,2，，5，5，-四g二苯醚等絲二苯醚化合物；3，3，-二絲國4，4，-二絲二輛、4，4，國二絲-3，3，畫二^i^輛、4，4，畫二絲國2，2，-二絲二輛、4，4，-二猛-2，2，，5，5，-四絲二輛等二^化合物；2，2-雙[4-(4-Jl^-3-羧基苯氧基)苯基I丙烷等雙[(M苯氧基)苯基烷烴化合物類；2，2-雙[4-(4-M-3-羧基苯氧基)苯基砜等雙[(g苯氧基)苯基砜化合物；3，5-二氨基苯曱酸等二氨基苯甲酸類。這些芳香族二胺可以單獨(dú)使用，或者將2種以上組合使用。其中，上述芳香族二胺，如上所述，更優(yōu)選是芳香族二胺的上述2個奠J^^接的芳香環(huán)中的至少1個通過位于間位的2根結(jié)合睫與主^^t接的芳香族二胺，更優(yōu)選如上所述的具有間位氨基的芳香族二胺。由此可以使聚酰胺酸前體等的酰亞胺化溫度降低。此外，具有間位氨基的芳香族二胺也可以單獨(dú)使用或者將2種以上組^H^吏用。在有機(jī)極性溶劑中使上述酸二酐、芳香族二胺和聚硅氧烷二胺或化學(xué)式組(6)的二胺反應(yīng)的順序并無特別限定，可以同時使上述酸二酐、芳香族二胺和聚硅氧烷二胺或化學(xué)式組(6)的二胺反應(yīng)，也可以首先開始酸二酐和聚硅氧烷二胺或化學(xué)式組(6)的二胺的反應(yīng)，然后加入芳香族二胺使之反應(yīng)，也可以首先開始酸二酐和芳香族二胺的反應(yīng)，然后加入聚珪氧烷二胺或化學(xué)式組(6)的二胺使之反應(yīng)。其中更優(yōu)選首先開始酸二酐和聚硅氧烷二胺或化學(xué)式組(6)的二胺的反應(yīng)，然后加入芳香族二胺4吏之Jl應(yīng)。在這種情況下，首先，可以在有機(jī)極性溶劑中使酸二酐和聚硅氧垸二胺或化學(xué)式組(6)的二胺反應(yīng)，例如，可以在由酸二酐和有;^性溶劑組成的溶液或懸濁溶液中添加聚硅氧烷二胺或化學(xué)式組(6)的二胺或其溶液。接著，加入芳香族二胺，從而可以合成本發(fā)明中使用的聚酰亞胺前體(聚酰胺酸)。此外，在有機(jī)極性溶劑中使上述酸二酐、芳香族二胺、聚硅氧烷二胺和化學(xué)式組(6)的二胺反應(yīng)的順序并無特別限定，可以同時使上述酸二酐、芳香族二胺、聚硅氧烷二胺和化學(xué)式組(6)的二胺>^應(yīng)，此外，也可以首先開始酸二酐和聚硅氧烷二胺的反應(yīng)，然后使化學(xué)式組(6)的二胺反應(yīng)，然后加入芳香族二胺使之反應(yīng)。此外，也可以首先開始酸二酐和芳香族二胺的反應(yīng)，然后使聚珪氧烷二胺反應(yīng)，接著加入化學(xué)式組(6)的二胺使之反應(yīng)。作為上述有機(jī)極性溶劑，并無特別限定，可以列舉例如二甲基亞砜、N，N，-二曱基曱酰胺、N，N，-二乙基甲酰胺、N，N，-二甲基乙酖胺、N，N，-二乙基乙酰胺、N-曱基吡咯烷酮、六甲基磷酸三酰胺、二氧雜環(huán)戊烷、四氫呋喃、1,4-二p惡烷、乙腈等，它們可以單獨(dú)使用，或者將2種以上混合使用。此時，酸二酐與聚硅氧烷二胺和/或化學(xué)式組(6)的二胺的反應(yīng)，優(yōu)選在上述有;^性溶劑中、在-20'C80'C的溫度條件下反應(yīng)，更優(yōu)選在-15*€~50。。的溫度條件下反應(yīng)。通過^^應(yīng)溫度達(dá)到-20。C以上，能夠使酸二酐與聚硅氧烷二胺和/或化學(xué)式組(6)的二胺反應(yīng)。此外，使酸二酐與聚珪氧烷二胺和/或化學(xué)式組(6)的二胺^^應(yīng)時的反應(yīng)時間并無特別限定，例如，優(yōu)選為112小時。此外，此時，反應(yīng)的酸二酐的摩爾數(shù)，優(yōu)選比聚硅氧烷二胺和/或化學(xué)式組(6)的二胺的摩爾數(shù)多。由此，能夠得到酸二酐末端的聚酰亞胺前體(聚酰胺酸)低聚物。接著，向其加入芳香族二胺進(jìn)行反應(yīng)時的反應(yīng)溫度優(yōu)選為-20。C~80°C,更優(yōu)選為-15'C50'C。通過達(dá)到該溫度范圍，能夠適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行與芳香族二胺的共聚。此外，加入芳香族二胺進(jìn)行反應(yīng)時的反應(yīng)時間也無特別限定，例如，優(yōu)選為0.5~24小時。上述芳香族二胺如果超過全部二胺的90摩爾％，存在使酰亞胺化溫度提高的傾向，因此優(yōu)選卯摩爾％以下，更優(yōu)選80摩爾。/。以下。本發(fā)明的聚酰胺酸，在5g/l的N-甲基吡咯烷酮的溶液中、在30'C下的對數(shù)粘度優(yōu)選為0.2~4.0的范圍，更優(yōu)選為0.3~2.0的范圍。(1-2-3)具有絲和/或羥基的可溶性聚酰亞胺從阻燃性、耐熱性的觀點(diǎn)出發(fā)，也優(yōu)選使用具有羧基和/或羥基的可溶性聚酰亞胺作為粘合劑聚合物。由于已酰亞胺化，因此可以將加熱固化的溫度設(shè)定在低水平上，或者將時間設(shè)定為短時間，因此生產(chǎn)率也優(yōu)異。所謂可溶性，只要是溶解于有機(jī)溶劑的聚酰亞胺，并無特別限定，本發(fā)明中，在有機(jī)溶劑100g中，優(yōu)選在20'C下顯示出l.Og以上的溶解性。更優(yōu)選可以在20。C下顯示出5.0g以上的溶解性，進(jìn)一步優(yōu)選在20。C下可以顯示出10g以上的溶解性。如果在有機(jī)溶劑100g中，在20。C下的溶解性小于1.0g，存在難以用所需的厚度形成感光性干膜抗蝕劑的傾向。作為上述有機(jī)溶劑，并無特別限定，可以列舉N,N-二甲基曱酰胺、N，N-二乙基甲酰胺等甲酰胺系溶劑，1,4-二p惡烷、1,3-二氧雜環(huán)戊烷、四氫呋喃等醚系溶劑等。上述具有羧基和/或羥基的可溶性聚酰亞胺的重均分子量并無特別限定，優(yōu)選為5000~300000,更優(yōu)選為10000~200000。如果重均分子量小于5000，使用本發(fā)明的感光性樹脂組合物制作的感光性干膜抗蝕劑容易產(chǎn)生發(fā)粘，此外，存在固化后的膜的耐彎曲性差的傾向。另一方面，如果重均分子量比200000大，具有g(shù)和/或羥基的可溶性聚酰亞胺的溶液粘度過度增高，因此存在難以操作的傾向，此外，有時制造的感光性干膜抗蝕劑的顯影性降低。應(yīng)予說明，上述重均分子量可以采用尺寸排阻色鐠(SEC),例如東曹公司制HLC8220GPC進(jìn)行測定。此外，具有羧基和/或羥基的可溶性聚酰亞胺中每一個羧基和/或羥基的重均分子量(以下稱為酸當(dāng)量)優(yōu)選為7000以下，更優(yōu)選為5000以下，最優(yōu)選為3000以下。如果上述酸當(dāng)量超過7000，使用本發(fā)明的感光性樹脂組合物制作的感光性干膜抗蝕劑的水系顯影性傾向于變得困難。再有，上述可溶性聚酰亞胺的酸當(dāng)量可以由具有羧基和/或羥基的可溶性聚酰亞胺的組成計(jì)算而求得。<聚酰亞胺的制造方法>以下，為了說明上述具有氣基和/或羥基的可溶性聚酰亞胺的制造方法，對聚酰胺酸的合成方法和使聚酰胺酸脫水閉環(huán)來進(jìn)行酰亞胺化的方法進(jìn)行詳細(xì)說明。<聚酰胺酸的合成>上述具有羧基和/或羥基的可溶性聚酰亞胺可以由作為其前體的聚酰胺酸得到。該聚酰胺酸可以通過在有機(jī)溶劑中使二胺和酸二酐反應(yīng)而得到。具體地說，在氬、氮等惰性氣氛中，使二胺溶解于有機(jī)溶劑中或者分散為漿狀，制成二胺溶液。另一方面，可以使酸二酐成為溶解于有機(jī)溶劑或者分散為漿狀的狀態(tài)后、或者在固體的狀態(tài)下添加到上述二胺溶液中。作為用于合成作為本發(fā)明的具有羧基和/或羥基的可溶性聚酰亞胺的前體的聚酰胺酸的二胺，并無特別限定，但從水系顯影性方面出發(fā)，優(yōu)選使用在1分子中具有1個以上氛基和/或羥基的二胺作為原料的至少一部分。此外，從耐熱性和耐化學(xué)品性方面出發(fā)，優(yōu)選使用l分子中具有l(wèi)個以上芳香環(huán)的芳香族系二胺作為原料的至少一部分。特別是使用l分子中具有1個以上羧基和/或羥基的芳香族系二胺作為原料的一部分，能夠?qū)λ玫降母泄庑愿赡た刮g劑賦予耐熱性和水系顯影性，因此特別優(yōu)選。作為具有g(shù)和/或羥基的芳香族系二胺，并無特別限定，優(yōu)選使用以下的通式(7)所示的芳香族系二胺作為可溶性聚酰亞胺的原料的一部分。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage42</formula>(式中，R"可以相同，也可以不同，為氣基或羥基中的任一方，R"和R"可以分別相同，也可以不同，為氫原子、碳原子數(shù)19的)^、(碳原子數(shù)2~10的烷氧基、或-COOR18(R"表示碳原子數(shù)1~9的烷基)，X可以相同，也可以不同，為畫O-、-S國、-S02-、-C(CH3)2畫、-CH2-、-C(CH3)(C2H5)-或-C(CF3)2。m為1以上、n為0以上的整數(shù)，m和n為滿足m+『4的條件的整數(shù)。此外，p為l以上，q為0以上的整數(shù)，p和q為滿足p+q-4的務(wù)ff的整數(shù)。r為010的整數(shù))。作為具有氣基的芳香族系二胺，并無特別限定，可以列舉例如3,5-二絲苯甲酸等二絲苯曱酸；3，3，-二絲-4，4，-二^J^苯、4,4，-二絲畫2，2，，5，5，-四^i^苯等^i^苯化合物類；4，4，-二絲-3，3，-二絲二苯基甲烷、3，3，-二絲-4，4，-二絲二苯基甲烷等絲二苯基烷烴類；4，4，-二氨基-2，2，,5，5，-四絲二苯醚等絲二苯醚化合物；3，3，-二絲-4，4，-二^^笨諷等二笨砜化合物；2，2-雙4-(4-#^-3-氛基苯氧基)苯基丙烷等雙(羧基苯氧基)聯(lián)苯化合物；2，2-雙[4-(4-M-3-羧基苯氧基)苯基砜等雙[(羧基苯iuo苯基〗砜化合物等。以下示出其中特別優(yōu)選的含有氛基的芳香族系二胺的結(jié)構(gòu)式的一部分。其次，作為具有羥基的芳香族系二胺，并無特別限定，可以列舉例如2，2，-二氨基雙酚A、2,2，-雙(3-絲-4-羥基苯基)六氟丙烷、雙(2-羥基-3-絲-5-甲基苯基)甲烷、2，6-二[(2-羥基-3-狄-5-曱基苯基)甲基-4-甲基苯酚、2,6-二[(2-羥基-3-氨基-5-曱基苯基)曱基-4-羥基苯甲酸丙酯等化合物。以下示出其中特別優(yōu)選的含有羥基的芳香族系二胺的結(jié)構(gòu)式的一部分。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage44</formula>通過使用這些二胺作為原料的一部分，得到的具有氛基和/或羥基的可溶性聚酰亞胺的酸當(dāng)量降低，能夠提高水系顯影性。不言而喻，除了上述具有象基和/或羥基的二胺以外，可以同時使用公知的其他二胺作為可溶性聚酰亞胺的原料的一部分。例如，可以列舉雙-2-嗎啉代丙烷-l-酮、2，4-二甲基蓬噸酮、2，4-二乙基漆噸酮、2,4-二異丙基蓉噸酮、3，5-二甲基噻噸酮、3，5-二異丙基噻噸酮、1-苯基-2-(乙IL^羰基)氧亞氨基丙烷-l-酮、苯偶姻醚、苯偶姻異丙醚、苯并蒽酮、5-硝基苊、2-硝基藥、蒽酮、1，2-苯并蒽醌、l-苯基-5-巰基-lH-四唑、瘞叱-9-酮、10-瘞喊酮、3-乙醃基丐l咮、2,6-二(對-二甲基氨基亞節(jié)基)-4-羧基環(huán)己酮、2，6-二(對-二甲基氨基亞節(jié)基)-4-羥基環(huán)己酮、2,6-二(對-二乙基絲亞芐基)-4-羧基環(huán)己酮、2,6-二(對-二乙基氨基亞芐基)-4-羥基環(huán)己酮、4，6-二甲基-7-乙基M香豆素、7-二乙基M-4-甲基香豆素、7-二乙基^&-3-(l-甲基苯并咪喳基)香豆素、3-(2-苯并咪哇基)-7-二乙基M香豆素、3-(2-苯并噻唑基)-7-二乙基#^香豆素、2-(對二甲基氨基苯乙烯基)苯并噁唑、2-(對-二甲基M苯乙烯基)會啉、4-(對-二甲基氨基苯乙烯基)會啉、2-(對-二甲基氨基苯乙烯基)苯并瘞唑、2國(對-二曱基氨基苯乙烯基)-3,3-二甲基-311-吲哚等。上述增感劑可以在獲得增感效果并且不對顯影性產(chǎn)生不良影響的范圍內(nèi)配合。具體地說，相對于上述(Al)粘合劑聚合物和上述(A2)粘合劑聚合物100重量份，優(yōu)選分別配合0.01~50重量份，更優(yōu)選配合O.l-20重量份。再者，作為增感劑，可以使用l種化合物，也可以將2種以上的化合物混^<吏用。此外，相對于增感劑100重量份，上述過氧化物優(yōu)選配合1~200重量份，更優(yōu)選配合1~150重量份。此外，作為光反應(yīng)引發(fā)劑和增感劑的組合，特別優(yōu)選雙(2，4，6-三甲基苯甲?；?苯基氧化膦等過氧化物和3，3，，4，4，-四(叔丁基過氧化羰基)二苯甲酮的組合。上述光反應(yīng)引發(fā)劑，可以使用1種或?qū)?種以上組^^吏用。本發(fā)明的感光性干膜抗蝕劑中，相對于上述(Al)粘合劑聚合物和上述(A2)粘合劑聚合物100重量份，上述光反應(yīng)引發(fā)劑優(yōu)選分別含有0.01~50重量份。上述光反應(yīng)引發(fā)劑的使用量，相對于上述作為(A)成分的粘合劑聚合物和作為(B)成分的(甲基)丙烯酸類化合物的總重量100重量份，優(yōu)選為0.001~10重量份的范圍內(nèi)，更優(yōu)選為0.01~10重量份的范圍內(nèi)。上述光反應(yīng)引發(fā)劑和/或增感劑的使用量如果小于0.001重量份，不能獲得足夠的靈敏度，如果超過IO重量份，有時在感光性千膜抗蝕劑表面的吸收增大，內(nèi)部的光固化變得不充分。再有，如上所述，第二感光層可以是基本上不含有(C2)光反應(yīng)引發(fā)劑的構(gòu)成，(C2)光反應(yīng)引發(fā)劑的配合比例，相對于上述(A2)粘合劑聚合物100重量份，可以是00.01重量份。此外，相對于上述作為(A)成分的粘合劑聚合物和作為(B)成分的(曱基)丙烯酸類化合物的總重量100重量份，優(yōu)選為0~0.001重量份。此外，第一感光層的(Cl)光反應(yīng)引發(fā)劑和第二感光層的(C2)光反應(yīng)引發(fā)劑可以相同，也可以不同。此外，為了實(shí)現(xiàn)能夠供實(shí)用的感光靈敏度，上述光>^應(yīng)引發(fā)劑可以進(jìn)一步含有光聚合助劑。作為光聚合助劑，并無特別限定，可以使用例如4-二乙基氨基乙基苯甲酸酯、4-二甲基氨基乙基苯曱酸酯、4-二乙基氨基丙基苯甲酸酯、4-二曱基氨基丙基苯曱酸酯、4-二甲基^J^異戊基苯曱酸酯、N-苯基甘氨酸、N-甲基-N-苯基甘氨酸、N-(4-絲苯基)甘氨酸、4-二甲基氨基苯甲腈、乙二醇二(巰基乙酸酯)、乙二醇二(3-巰基丙酸酯)、三羥甲基丙烷巰基乙酸酯、三羥甲基丙烷三(3-巰基丙酸酯)、季戊四醇四(巰基乙酸酯)、季戊四醇四(3-巰基丙酸酯)、三羥甲基乙烷三(巰基乙酸酯)、三羥曱基丙烷三(巰基乙酸酯)、三羥甲基乙烷三(3-巰基丙酸酯)、二季戊四醇六(3-巰基丙酸酯)、巰基乙酸、a-巰基丙酸、過苯甲酸叔丁酯、叔丁基過氧化甲氧基苯曱酸酯、叔丁基過氧化硝基苯甲酸酯、叔丁基過氧化乙基苯甲酸酯、苯基異丙基過氧化苯甲酸酯、二過氧化間苯二曱酸二叔丁酯、三過氧化偏苯三酸三叔丁酯、四過氧化均苯四甲酸四叔丁酯、2，5-二曱基-2,5-二(苯甲g過氧化)己烷、3，3，，4，4，-四(叔丁基過氧化g)二苯甲酮、3,3，,4，4，-四(叔戊基過氧化絲)二苯曱酮、3，3，，4,4，-四(叔己基過氧化^JO二苯曱酮、2,6-二(對-疊氮基亞芐基)-4-羥基環(huán)己酮、2，6-二(對-疊氮亞芐基)-4-羧基環(huán)己酮、2，6-二(對-疊氮基亞節(jié)基)-4-甲氧基環(huán)己酮、2，6-二(對-疊氮基亞爺基)-4-羥基甲基環(huán)己酮、3，5-二(對-疊氮基亞千基)-1-甲基-4-哌啶酮、3，5-二(對-疊氮亞千基)-4-哌啶酮、3,5-二(對-疊氮基亞芐基)-]\-乙?；?4-哌啶酮、3，5-二(對-疊氮基亞芐基)-N畫甲氧基羰基-4誦哌啶酮、2,6畫二(對-疊氮亞節(jié)基)-4國羥基環(huán)己酮、2,6-二(間-疊氮基亞芐基)-4-狄環(huán)己酮、2，6國二(間醒疊氮基亞芐基)國4-甲氧基環(huán)己酮、2,6-二(間-疊氮基亞節(jié)基)-4-羥基甲基環(huán)己酮、3，5-二(間國疊氮基亞節(jié)基)-]\-曱基-4-哌啶酮、3,5-二(間-疊氮基亞千基)-4-哌咬酮、3，5-二(間-疊氮基亞節(jié)基)-N-乙g-4-哌咬酮、3，5-二(間-疊氮基亞節(jié)基)-]\-甲猛^^-4-哌啶酮、2，6-二(對-疊氮基亞肉桂基)-4-羥基環(huán)己酮、2，6-二(對-疊氮基亞肉桂基)-4-^環(huán)己酮、2,6-二(對-疊氮基亞肉桂基)-4-環(huán)己酮、3，5-二(對-疊氮基亞肉桂基)-N-甲基斗哌啶酮、4，4，-二疊氮基查耳酮、3,3，-二疊氮基查耳酮、3，4，-二疊氮基查耳酮、4，3，-二疊氮基查耳酮、1,3-二苯基-1，2，3-丙三酮-2-(鄰-乙醃基)肟、1，3-二苯基-1，2，3-丙三酮-2-(鄰-正丙基n)肟、1,3-二苯基-1,2，3-丙三酮-2-(鄰-甲絲絲)將、1，3-二苯基畫l,2,3國丙三酮畫2-(鄰國乙猛絲)將、1，3國二苯基畫1，2，3畫丙三酮-2-(鄰-苯曱亂基)肟、1,3-二苯基-1,2，3-丙三酮-2-(鄰-苯imi基)肟、1，3-雙(對-甲基苯基)-1，2，3-丙三酮-2-(鄰-苯甲絲)肟、1,3-雙(對畫甲猛苯基)-1,2，3-丙三酮-2-(鄰-乙緣絲)肟、1-(對-甲緣苯基)-3-(對-硝基苯基)-1，2,3-丙三酮-2-(鄰-苯H&羰基)肟等。此外，作為其他的光聚合助劑，也可以混合三乙胺、三丁胺、三乙醇胺等三烷基胺類。再有，作為光聚合助劑，可以使用l種化合物，也可以將2種以上的化合物組^H^吏用。上述光聚合助劑，可以在獲得增感效果并且對顯影性不產(chǎn)生不良影響的范圍內(nèi)配合。具體地說，相對于上述(Al)粘合劑聚合物和上述(A2)粘合劑聚合物100重量份，優(yōu)選分別配合0.01~50重量份，更優(yōu)選0.1~20重量份的范圍。(1-5)阻燃劑本說明書中，所謂"阻燃劑"，是指具有通過在塑料、木材或纖維等可燃性物質(zhì)中添加或反應(yīng)，從而使可燃性物質(zhì)難以燃燒的作用的物質(zhì)。作為上述阻燃劑，并無特別限定，可以列M酸酯、縮合磷酸酯、氧化膦、膦、具有磷-氮雙鍵的磷腈化合物這樣的磷系阻燃劑、芳香族環(huán)的含有率高的硅酮化合物等。這些阻燃劑中，可以使用l種或?qū)?種以上組合使用。再有，在本發(fā)明中所謂磷系阻燃劑，是指磷酸酯、縮合磷酸酯、氧化膦、膦、磷腈化合物這樣的含磷的化合物。本發(fā)明中使用的阻燃劑并無特別限定，從與感光性樹脂組合物的相溶性、阻燃性的觀點(diǎn)出發(fā)，更優(yōu)選為含磷的阻燃劑(以下稱為"磷系阻燃劑")，優(yōu)選使用縮合磷酸酯、磷腈化合物磷系阻燃劑。使用磷系阻燃劑作為阻燃劑時，磷系阻燃劑的磷含量，將磷系阻燃劑記為100時，優(yōu)選為5.0重量％以上，更優(yōu)選為7.0重量％以上。通過4吏用這樣的磷系阻燃劑，能夠有效地賦予阻燃性。作為上述磷系阻燃劑，可以列舉例如磷腈、膦、氧化膦、磷酸酯(也包括縮合磷酸酯)、亞磷酸酯等磷化合物。特別地，從與上述粘合劑聚合物、(甲基)丙烯酸類化合物和光反應(yīng)引發(fā)劑的相溶性的方面出發(fā)，適宜使用磷腈、縮合磷酸酯等。作為該磷系阻燃劑的具體的一例，例如，從能夠賦予阻燃性并且具有耐水解性方面出發(fā)，可以列舉SPE-100(大?；瘜W(xué)制)、SPH-100(大冢化學(xué)制)、TPP(磷酸三苯酯)(大八化學(xué)制)、TCP(磷酸三(甲苯)酯)(大八化學(xué)制)、TXP(磷酸三(二甲苯)酯)(大八化學(xué)制)、CDP(磷酸曱苯基二苯酯)(大八化學(xué)制)、PX-110(磷酸甲苯基2,6-二甲苯基酯)(大八化學(xué)制)等磷酸酯；CR-733S(間&酚二磷酸S旨)(大八化學(xué)制)、CR-741(大八化學(xué)制)、CR-747(大八化學(xué)制)、PX-200(大八化學(xué)制)等非鹵素系縮合磷酸酯等。但是，如果大量添加阻燃劑，不僅電可靠性降低，而且有時使堿溶解性降低，容易產(chǎn)生殘?jiān)?。再有，殘?jiān)３Ｔ谂c相互作用強(qiáng)的基材的表面產(chǎn)生。因此，在本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑中，滿足以下4H^:第二感光層的阻燃劑^^有率為0~10重量％，并且將第一感光層的阻燃劑^^有率記為100時，第二感光層的阻燃劑^^有率為0~50。通過4吏第一感光層的阻燃劑^^有率提高，賦予阻燃性，通過降低第二感光層的阻燃劑的含有率，或者使之完全不含阻燃劑，能夠進(jìn)一步提高耐濕性、電可靠性。此外，由于與基材相接的第二感光層的堿溶解性優(yōu)異，因此堿顯影時不易產(chǎn)生殘?jiān)?，能夠進(jìn)一步提高顯影性、析像清晰度。再有，如果與基材相接的第二感光層的堿溶解性優(yōu)異，即使第一感光層的堿溶解性差，殘?jiān)膊灰桩a(chǎn)生。第二感光層的阻燃劑^^有率可以為0~10重量％，優(yōu)選越少越好，優(yōu)選為0~5重量％，更優(yōu)選為0~1重量％。如果第二感光層的阻燃劑含有率超過10重量％，有時電可靠性、堿顯影性降低。此外，本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，將第一感光層的阻燃劑含有率記為100時，第二感光層的阻燃劑含有率優(yōu)選為0~50，更優(yōu)選為0~20，進(jìn)一步優(yōu)選為0~10。將第一感光層的阻燃劑^^有率記為100時，如果第二感光層的阻燃劑^^有率超過50,當(dāng)?shù)诙泄鈱拥淖枞紕┖新蕿樯鲜龇秶鷷r，感光性干膜抗蝕劑整體所含的阻燃劑的量少，有時不能賦予足夠的阻燃性，因此不優(yōu)選。此外，笫一感光層的阻燃劑^^有率優(yōu)選1~50重量％，更優(yōu)選5~40重量％，進(jìn)一步優(yōu)選10~40重量％，最優(yōu)選10~30重量％。如果第一感光層的阻燃劑含有率小于1重量％，有時無法得到足夠的阻燃效果。另一方面，如果超過50重量％，有時對固化物的物性產(chǎn)生不良影響，因此不優(yōu)選。此外，本發(fā)明中，當(dāng)?shù)诙泄鈱觀^有(D2)阻燃劑時，第一感光層的(Dl)阻燃劑和第二感光層的(D2)阻燃劑可以相同，也可以不同。(1-6)其他成分在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，除了上述(A)粘合劑聚合物、(B)(甲基)丙烯酸類化合物、(C)光反應(yīng)引發(fā)劑和(D)阻燃劑以外，根據(jù)需要可以含有(E)其他成分。作為其他成分，可以列舉例如環(huán)氧樹脂、固化促進(jìn)劑和/或固化劑、阻聚劑、密合賦予劑、填料、M穩(wěn)定劑、多價(jià)螯合劑等。即，本發(fā)明的感光性干膜抗蝕劑的第一感光層，可以^^有(Al)粘合劑聚合物、(m)(甲基)丙烯酸類化合物、(C1)光反應(yīng)引發(fā)劑和(D1)阻燃劑，還可以含有(El)其他成分。此外，本發(fā)明的感光性干膜抗蝕劑的第二感光層，可以^^有(A2)粘合劑聚合物、(B2)(甲基)丙烯酸類化合物和優(yōu)選含有的(C2)光>^應(yīng)引發(fā)劑，還可以含有(E2)其他成分。<環(huán)氧樹脂>通過使用環(huán)氧樹脂，能夠使制造的感光性干膜抗蝕劑對于銅箔、聚酰亞胺膜等的粘合性提高。作為上述環(huán)氧樹脂，并無特別限定，可以列舉例如商品名EPIKOTO828、834、1001、1002、1003、1004、1005、1007、1010、1100L(JAPANEPOXYRESINS公司制)等的雙酚A型環(huán)氧樹脂；商品名ESCN-220L、220F、220H、220HH、180H65(JAPANEPOXYRESINS公司制)等鄰甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂；商品名EPPN-502H(日本化藥公司制)等三羥基苯基甲烷型環(huán)氧樹脂；商品名ESN-375等萘芳烷基酚醛清漆型環(huán)氧樹脂；商品名ESN-185(新日鐵化學(xué)公司)等盼醛清漆型環(huán)氧樹脂；商品名YX4000H等雙酚型環(huán)氧樹脂。此外，除了上述以外，可以是雙酚A縮水甘油瞇型環(huán)氧樹脂、雙酴F縮水甘油醚型環(huán)氧樹脂、酚醛清漆縮水甘油醚型環(huán)氧樹脂、縮水甘油酯型環(huán)氧樹脂、縮水甘油胺型環(huán)氧樹脂、環(huán)狀脂肪族環(huán)氧樹脂、芳香族型環(huán)氧樹脂、鹵代環(huán)氧樹脂等。上述環(huán)氧樹脂可以使用l種或?qū)?種以上組^^吏用。再有，相對于作為(A)成分的粘合劑聚合物100重量份，上述環(huán)氧樹脂優(yōu)選根據(jù)需要在1~100重量份的范圍內(nèi)使用，更優(yōu)選在0~50重量份的范圍內(nèi)使用，特別優(yōu)選在1~30重量份的范圍內(nèi)使用。上述環(huán)氧樹脂相對于(A)粘合劑聚合物100重量份如果超過30重量份，有可能引起耐彎曲性的降低。<固化促進(jìn)劑和/或固化劑>使用環(huán)氧樹脂作為固化性樹脂組合物的材料時，為了高效地進(jìn)行所制造的感光性干膜抗蝕劑的固化，可以向感光性樹脂組合物中添加固化促進(jìn)劑和/或固化劑。作為該固化促進(jìn)劑和/或固化劑，并無特別限定，例如，為了高效地進(jìn)行環(huán)氧樹脂的固化，可以列舉咪唑系化合物、酸酐、M類、肼類、芳香族胺類、酚類、三苯膦類、有機(jī)過氧化物等。這些固化促進(jìn)劑和/或固化劑中，可以使用1種或?qū)?種以上組合使用。上述固化促進(jìn)劑和/或固化劑的使用量，相對于作為(A)成分的粘合劑聚合物100重量份，優(yōu)選為0.1~20重量份的范圍內(nèi)，更優(yōu)選為0.5~20重量份的范圍內(nèi)，特別優(yōu)選0.5~15重量份的范圍內(nèi)。上述固化促進(jìn)劑和/或固化劑，相對于(A)粘合劑聚合物100重量份，如果小于0.1重量份，無法充分進(jìn)行環(huán)氧樹脂的固化，相反，如果超過20重量份，有可能引起耐熱性的降低。<阻聚劑、穩(wěn)定劑、抗氧化劑>本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，為了防止(A)粘合劑聚合物和/或(B)(曱基)丙烯酸類化合物中含有的乙烯基、丙烯?；?、甲基丙烯酰基等光聚合性-熱聚合性官能團(tuán)在感光性樹脂組合物和感光性干膜抗蝕劑的貯存中發(fā)生交^i^應(yīng)，優(yōu)選添加選自阻聚劑、穩(wěn)定劑、抗氧化劑中的至少1種的聚合物添加劑。作為阻聚劑，只要是作為阻聚劑、聚合抑制劑而通常使用的物質(zhì)，并無特別限定。作為穩(wěn)定劑，只要^1作為熱穩(wěn)定劑、光穩(wěn)定劑通常已知的物質(zhì)，并無特別限定。作為抗氧化劑，只要是作為抗氧化劑、自由基捕捉劑而通常使用的物質(zhì)，并無特別限定。上述阻聚劑、穩(wěn)定劑、抗氧化劑，并不限于分別為各自的化合物，有時1種化合物即可作為阻聚劑又可作為抗氧化劑使用。作為本發(fā)明中選自阻聚劑、穩(wěn)定劑和抗氧化劑中的聚合物添加劑，只要是通常作為阻聚劑、聚合抑制劑、熱穩(wěn)定劑、光穩(wěn)定劑、抗氧化劑、自由基捕捉劑使用的，并無特別限定。可以列舉例如氫醌、甲基氫醌、2,5-二叔丁基氫醌、叔丁基氫醌、2,5-雙(1,1，3，3-四甲基丁基)氫醌(和光純藥公司制、商品名DOHQ)、2,5-雙(l,l-二曱基丁基)氫醌(和光純藥公司制、商品名DHHQ)等氫醌類化合物；對苯醌、甲基對苯醌、叔丁基苯醌、2，5-二苯基-對-苯醌等苯醌化合物；季戊四醇四[3-(3，5-二叔丁基-4-羥基苯基)丙酸酯](汽巴精化公司制，商品名IRGANOX1010)、N，N，-己烷-1,6-二基雙[3-(3，5-二叔丁基-4-羥基苯基)丙酰胺(汽巴精化公司制，商品名IRGANOX1098)、1,3,5-三(3,5-二叔丁基-4-羥基爺基)-1,3,5-三嚷-2,4,6(1H，3H,5H)-三酮(汽巴精化公司制，商品名IRGANOX3114)、羥基苯酚苯并三唑(旭電化工業(yè)公司制、商品名ADEKAAO-20)等受阻酚類化合物；2-(2H-苯并三唑-2-基)-對-甲酚(汽巴精化公司制，商品名TINUVINP)等苯并三唑類化合物；N-亞硝基苯基羥基胺(和光純藥公司制，商品名Q-1300)、N-亞硝基苯基羥基胺鋁鹽(和光純藥公司制，商品名Q-1301)等亞硝基胺類化合物；吩蓉溱、二硫代苯甲酰硫化物、二千基四硫化物等有;^化合物；雙(1，2,2,6,6-五甲基-4-哌咬基)[{3,5-雙(l，l-二甲基乙基)-4-羥基苯基}曱基丁基丙二酸酯(汽巴精化公司制，商品名IRGANOX144)等受阻胺類化合物；對^^胺(通稱^，S^paramine)、N,N-二苯基-對-苯二胺等芳香族胺；三(2,4-二叔丁基苯基)磷酸酯(汽巴精化公司制，商品名IRGANOX168)、四(2,4-二叔丁基苯基)[l,l-聯(lián)笨]-4，4，-二基雙膦酸酯(汽巴精化公司制，商品名IRGANOXP-EPQ)等磷系化合物等。特別優(yōu)選為氬醒類化合物、受阻酚類化合物、亞硝基胺類化合物、芳香族胺。通過使用這些化合物，能夠防止光聚合性-熱聚合性官能團(tuán)的交^t^應(yīng)，因此在感光性樹脂組合物的貯存中能夠抑制該感光性樹脂組合物的有機(jī)溶劑溶液的粘度上升，不僅能夠使感光性干膜抗蝕劑的保存穩(wěn)定性提高，而且由于還具有抗氧化效果，因此能夠防止樹脂的劣化，能夠使由感光性樹脂組合物制造的固化后的感光性干膜抗蝕劑的長期耐熱性、耐水解性提高。上述阻聚劑的使用量，相對于作為(A)成分的粘合劑聚合物和作為(B)成分的(曱基)丙烯酸類化合物的總重量100重量份，優(yōu)選為0.00001~5重量份的范圍內(nèi)，更優(yōu)選為0.0001~1重量份的范圍內(nèi)。上述光反應(yīng)引發(fā)劑和/或增感劑的使用量如果小于0.00001重量份，有時M時的穩(wěn)定性下降，如果超過5重量份，存在對活性能量線的靈敏度降低的傾向。<密合賦予劑>為了使與聚酰亞胺膜、金屬等基材的密合性提高，可以添加公知的所有密合賦予劑。在本發(fā)明中，優(yōu)選將其添加在成為與基材的密合面的第二感光層中。這樣的密合賦予劑并無特別限定，可以列舉例如苯并咪唑、苯并噁唑、苯并蓉唑、三唑、硅烷偶聯(lián)劑等。(II)感光性干膜抗蝕劑的制造方法接著，對于感光性干膜抗蝕劑的制造方法，以二層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑為例進(jìn)行說明，不言而喻，本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑并不限于通過以下說明的制造方法得到的感光性干膜抗蝕劑。本發(fā)明的二層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，通it^支持體膜上形成第一感光層后，在第一感光層表面形成第二感光層而得到。再有，制造二層以上的感光性干膜抗蝕劑時，例如，可以在支持體膜上形成了第一感光層后，在第一感光層表面形成一層以上的層，在最后形成的層的表面形成第二感光層。以下按(II-l)感光性樹脂組合物的制備、(II-2)感光性干膜抗蝕劑的制造的順序i^ffi兌明。(II-l)感光性樹脂組合物的制備首先制備第一感光層形成用的第一感光層樹脂組合物和第二感光層形成用的第二感光層樹脂組合物。第一感光層樹脂組合物是通過將(Al)粘合劑聚合物、(Bl)(甲基)丙烯酸類化合物、(Cl)光反應(yīng)引發(fā)劑、(Dl)阻燃劑和才艮據(jù)需要的(El)其他成分以一定比例混合而成的，將使該第一感光層樹脂組合物均勻溶解在有機(jī)溶劑中所得的溶液稱為第一感光層樹脂組合物的有機(jī)溶劑溶液(以下，在本^兌明書中，有時也稱為第一感光層的有機(jī)溶劑溶液)。第二感光層樹脂組合物是通過將(A2)粘合劑聚合物、(B2)(曱基)丙烯酸類化合物和優(yōu)選含有的(C2)光^^應(yīng)引發(fā)劑、(E2)其他成分以一定比例混合而成的，將使該第二感光層樹脂組合物均勻溶解在有機(jī)溶劑中所得的溶液稱為第二感光層樹脂組合物的有機(jī)溶劑溶液(以下，在本說明書中，有時也稱為第二感光層的有機(jī)溶劑溶液)。作為上述有機(jī)溶劑，只要是能夠?qū)⒌谝桓泄鈱訕渲M合物和第二感光層樹脂組合物中含有的成分溶解的有機(jī)溶劑，并無特別限定。作為上述有機(jī)溶劑，可以列舉例如二氧雜環(huán)戊烷、二p惡烷、四氫呋喃等醚類溶劑；丙酮、曱乙酮等酮類溶劑；甲醇、乙醇等醇類溶劑等。這些有機(jī)溶劑可以只使用l種，也可以將2種以上組^^吏用。再有，在后面的工序中，由于進(jìn)行上述有機(jī)溶劑的除去，因此選擇溶解上述笫一感光層樹脂組合物和第二感光層樹脂組合物中含有的成分、且沸點(diǎn)盡可能低的有機(jī)溶劑，在制造工序上有利。(II-2)感光性干膜抗蝕劑的制造接著，在支持體膜上均勻涂布上述的第一感光層樹脂組合物的有機(jī)溶劑溶液后，進(jìn)行加熱和/或熱風(fēng)噴吹。由此將上述有機(jī)溶劑除去，能夠得到第一感光層樹脂組合物成為了膜狀的第一感光層。這樣形成的第一感光層以半固化狀態(tài)(B階)保持感光性樹脂組合物。此外，進(jìn)行熱層壓處理等熱壓接處理時，能夠保持適度的流動性，適合進(jìn)行印刷配線板的圖案電路的埋入。此外，將圖案電路iJ^后，通過進(jìn)行膝光處理、熱壓接處理、加熱固化，能夠使之完全固化。通過進(jìn)行上述加熱和/或熱風(fēng)噴吹來干燥第一感光層樹脂組合物的有機(jī)溶劑溶液時的溫度，可以是第一感光層樹脂組合物中含有的(曱基)丙烯?；?、環(huán)氧基等固化性基團(tuán)不反應(yīng)程度的溫度。具體地說，優(yōu)選為150。C以下，特別優(yōu)選為12or:以下。此外，干燥時間優(yōu)選在可以將有機(jī)溶劑除去的范圍內(nèi)為更短的時間。作為上述支持體膜的材料，并無特別限定，可以使用IMt苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜、聚^醚膜、聚酰亞胺膜等通常市售的各種膜。在上述支持體膜中，從具有一定程度的耐熱性，比較低價(jià)得到方面出發(fā)，多使用PET膜。再有，對于支持體膜與感光性干膜抗蝕劑的^面，為了提高密合性和剝離性，可以使用進(jìn)行了表面處理的掩^面。本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，例如為二層結(jié)構(gòu)時，通過在第一感光層表面形成第二感光層而得到。此時，將第一感光層的厚度記為100時，第二感光層的厚度優(yōu)選為10~500，更優(yōu)選為20~400，進(jìn)一步優(yōu)選為50~300。將第一感光層的厚度記為100時，如果第二感光層的厚度大于500，感光性干膜抗蝕劑的阻燃性降低，因此不優(yōu)選。此外，將第一感光層的厚度記為100時，如果第二感光層的厚度小于IO,電可靠性傾向于降4氐。對于在第一感光層表面形成第二感光層的方法，有1)直接涂布法和2)轉(zhuǎn)印法兩種。1)直接涂布法是在第一感光層表面上涂布第二感光層樹脂組合物的有機(jī)溶劑溶液并進(jìn)行干燥，形成第二感光層的方法，2)轉(zhuǎn)印法是將第二感光層樹脂組合物的有機(jī)溶劑溶液涂布在表面并干燥而得到的保護(hù)膜的溶液涂布面貼合到第一感光層后，剝離保護(hù)膜，從而而將第二感光層轉(zhuǎn)印到第一感光層表面的方法。在上述1)的方法的情況下，在支持體膜上形成了第一感光層后，使用凹版印刷網(wǎng)等涂布器具將第二感光層樹脂組合物的有機(jī)溶劑溶液均勻涂布到第一感光層表面后，通過加熱和/或熱風(fēng)噴吹，將溶劑除去并干燥。這樣，得到在第一感光層上形成了第二感光層的"支持體膜/第一感光層/第二感光層，，這樣結(jié)構(gòu)的干膜抗蝕劑。然后，可以在第二感光層上進(jìn)一步層合保護(hù)膜。對于保護(hù)膜將在后面進(jìn)行說明。其次，在上述2)的方法的情況下，使用凹版印刷網(wǎng)等涂布器具將第二感光層樹脂組合物的有機(jī)溶劑溶液均勻涂布在PE膜等保護(hù)膜上后，通過加熱和/或熱風(fēng)噴吹，將溶劑除去并干燥。將這樣得到的帶第二感光層的保護(hù)膜("保護(hù)膜/第二感光層")以使第二感光層面成為與第一感光層的掩^面的方式，與帶支持體膜的第一感光層("第一感光層/支持體膜")貼合。再有，該貼合可以在2or:7or:的溫度下通過進(jìn)行輥式層壓而進(jìn)行。然后，將上述保護(hù)膜剝離，可以作為"支持體膜/第一感光層/第二感光層"這樣的構(gòu)成的感光性干膜抗蝕劑來使用。優(yōu)選在制造的感光性干膜抗蝕劑上進(jìn)一步層合保護(hù)膜。由此，能夠防止空氣中的垃圾和灰塵附著，能夠防止感光性干膜抗蝕劑因干燥而產(chǎn)品質(zhì)的劣化。上述保護(hù)膜，優(yōu)選通過在IO'C50r的溫度下層壓到感光性干膜抗蝕劑的第二感光層表面上而層合。再有，層壓處理時的溫度如果高于50°C，會導(dǎo)致保護(hù)膜的熱膨脹，層壓處理后的保護(hù)膜有時產(chǎn)生褶皺、巻曲。再有，上述保護(hù)膜在使用時剝離，因此保護(hù)膜和感光性干膜抗蝕劑的接合面優(yōu)選保存時具有適度的密合性，并且剝離性優(yōu)異。作為上述保護(hù)膜的材料，并無特別限定，可以列舉例如聚乙烯膜(PE膜)、聚乙烯-乙烯基醇膜(EVA膜)、"聚乙烯和乙烯-乙烯基醇的共聚物膜，，(以下簡稱為(PE+EVA)共聚物膜)、"PE膜和(PE+EVA)共聚物膜的貼合體"、或"(PE+EVA)共聚物和聚乙烯采用同時擠出制法得到的膜"(一面為PE膜面、另一面為(PE+EVA)共聚物膜面的膜)等。上述PE膜具有價(jià)格低、表面光滑性優(yōu)異的優(yōu)點(diǎn)。此外，(PE+EVA)共聚物膜具有與感光性干膜抗蝕劑適度的密合性和剝離性。通過使用這樣的保護(hù)膜，將具有保護(hù)膜、感光性干膜抗蝕劑、支持體膜這三層的片材巻繞為巻狀時，能夠提高其表面的光滑性。(III)印刷配線板本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑可以在印刷配線板上作為絕緣保護(hù)層而形成。因此，本發(fā)明也包含形成本發(fā)明的感光性干膜抗蝕劑作為絕緣保護(hù)層而成的印刷配線板。在該印刷配線板中，上述感光性干膜抗蝕劑可以以使上述第二感光層與形成了電路的覆銅層合^目接的方式層合。因此，上述感光性干膜抗蝕劑具有由第一感光層和第二感光層組成的二層結(jié)構(gòu)時，該印刷配線板中，上述第二感光層與形成了電路的覆銅層合板相接，外側(cè)為第一感光層。根據(jù)上述構(gòu)成，能夠提供阻燃性、耐濕性、電可靠性優(yōu)異的印刷配線板。對于制造通過形成本發(fā)明的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑作為絕緣保護(hù)層而成的印刷配線板的方法，以制造形成二層結(jié)構(gòu)的感光性千膜抗蝕劑作為絕^^護(hù)層而成的印刷配線板的情況為例ii行i兌明。作為印刷配線板，以使用形成了圖案電路而成的CCL(以下也稱為帶電路的CCL)的情況為例進(jìn)行說明，形成多層的印刷配線板時，也可以采用同樣的方法形成層間絕緣層。首先，從上述說明的具有保護(hù)膜、感光性干膜抗蝕劑、支持體膜而形成的片材剝離保護(hù)膜。以下將剝離了保護(hù)膜的稱為帶支持體膜的感光性干膜抗蝕劑。然后，4吏感光性干膜抗蝕劑的第二感光層側(cè)與帶電路的CCL的電路部分相對，用帶支持體膜的感光性干膜抗蝕劑覆蓋該帶電路的CCL,采用熱壓接進(jìn)行貼合。該采用熱壓接的貼合可以采用熱壓處理、層壓處理(熱層壓處理)、熱輥層壓處理等進(jìn)行，并無特別限定。通過熱層壓處理、熱輥層壓處理(以下記載為層壓處理)進(jìn)行上述貼合時，處理溫度可以是可以進(jìn)行層壓處理的下P艮溫度(以下、可壓接的溫度)以上。具體地說，上述可壓接的溫度優(yōu)選為50150'C的范圍內(nèi)，更優(yōu)選60~120'C的范圍內(nèi)，特別優(yōu)選80~120°〇的范圍內(nèi)。如果上述處理溫度超過150。C,層壓處理時，有時感光性干膜抗蝕中含有的感光性反應(yīng)基團(tuán)發(fā)生交M應(yīng)，感光性干膜抗蝕劑發(fā)生固化。另一方面，如果上述處理溫度小于50。C，感光性干膜抗蝕劑的流動性低，難以將圖案電路埋入。此外，有時與帶銅電路的CCL的銅電路、該帶銅電路的CCL的基膜的粘合性降低。通過上述熱壓接處理，將感光性干膜抗蝕劑層合在帶電路的CCL上，進(jìn)一步層合支持體膜而得到樣品。然后，對于該貼合樣品進(jìn)行圖案曝光和顯影。圖案膝光和顯影時，在上述貼合樣品的支持體膜上配置光^^膜圖案，介由該光^^膜ii行膝光處理。然后，將支持體膜剝離，進(jìn)行顯影處理，從而形成與光^^膜圖案對應(yīng)的孔(通孔)。再有，上述支持體膜在啄光處理后剝離，但也可以在將帶支持體膜的感光性干膜抗蝕劑貼合到帶電路的CCL上后，即進(jìn)行曝光處理前進(jìn)行剝離。從保護(hù)感光性干膜抗蝕方面出發(fā)，優(yōu)選在曝光處理結(jié)束后進(jìn)行剝離.作為在此用于膝光的光源，優(yōu)選有效地放射250~450nm的光的光源。其原因在于，感光性千膜抗蝕劑中含有的光反應(yīng)引發(fā)劑通常吸收450nm以下的光而發(fā)揮作用。此外，作為上述顯影處理中使用的顯影液，可以使用溶解有堿性化合物的堿性溶液。作為使堿性化合物溶解的溶劑，只要是能夠?qū)⑸弦莺靶曰衔锶芙獾娜軇?，則并無特別限定，從環(huán)境問題等觀點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選使用水。作為上述堿性化合物，可以列舉例如氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、碳酸氫鈉等堿金屬或堿土類金屬的氫氧化物或碳酸鹽，四甲基氫氧化銨等有機(jī)胺化合物等。上述堿性化合物可以使用l種，也可以使用2種以上的化合物。上述堿性溶液中含有的堿性化合物的濃度優(yōu)選為0.1~10重量％的范圍內(nèi)，從感光性干膜抗蝕劑的耐堿性方面出發(fā)，更優(yōu)選為0.1~5重量％的范圍內(nèi)。再有，作為顯影處理的方法，并無特別限定，可以列舉在堿性溶液中加入顯影樣品進(jìn)行攪拌的方法、以噴霧狀將顯影液噴射到顯影樣品的方法等。本發(fā)明中，特別可以例示將液溫調(diào)整為40。C的1重量％濃度的碳酸鈉水溶液或者1重量％濃度的氫氧化鈉水溶液用于顯影液，^"吏用噴射顯影機(jī)進(jìn)行的顯影處理。在此，所謂噴射顯影機(jī)，只要是將顯影液以噴霧狀噴射到樣品的裝置，則并無特別限定。在此，直至描繪出感光性干膜抗蝕劑的圖案的顯影時間，只要是能夠描繪出圖案的時間即可，優(yōu)選能夠用180秒以下的時間進(jìn)行顯影，更優(yōu)選能夠用卯秒以下的時間進(jìn)行顯影，最優(yōu)選能夠用60秒以下的時間進(jìn)行顯影。顯影時間如果超過180秒，存在生產(chǎn)率差的傾向。在此，作為顯影時間的指標(biāo)，有測定B階(半固化)狀態(tài)的感光性干膜抗蝕劑的溶解時間的方法。具體地說，為如下的方法對于將感光性千膜抗蝕劑貼合在銅箔光澤面而成的樣品，在未膝光的狀態(tài)下，使用l重量％濃度的碳酸鈉水溶液(液溫40。C)或者1重量％濃度的氫氧化鈉水溶液(液溫40。C)作為顯影液，用噴射壓0.85MPa進(jìn)行噴射顯影處理。優(yōu)選通過該噴射顯影處理，感光性干膜抗蝕劑用180秒以下的時間溶解而被除去。如果直至感光性干膜抗蝕劑被溶解除去的時間超過180秒，則存在操作性降低的傾向。如上所述實(shí)施了曝光、顯影處理后，對于感光性干膜抗蝕劑進(jìn)行加熱固化，從而使感光性干膜抗蝕劑完全固化。由此，固化的感光性干膜抗蝕劑成為印刷配線板的絕緣保護(hù)膜。此外，形成多層的印刷配線板時，可以以印刷配線板的保護(hù)層為層間絕緣層，在該層間絕緣層上進(jìn)一步進(jìn)行濺射、鍍覆或與銅箔的貼合等后，形成圖案電路，如上所述層合感光性干膜抗蝕劑。由此能夠制造多層的印刷配線板。再有，在本實(shí)施方案中，對于將感光性干膜抗蝕劑用作印刷配線板的絕緣保護(hù)材料或?qū)娱g絕緣材料的情況進(jìn)行了說明，但也可以用于上述用途之外。再有，顯而易見本發(fā)明中也包含下述發(fā)明。二層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，其中第一感光層含有(A)粘合劑聚合物、(B)(甲基)丙烯酸類化合物、(C)光反應(yīng)引發(fā)劑和(D)阻燃劑；第二感光層含有(A)粘合劑聚合物、(B)(甲基)丙烯酸類化合物和優(yōu)選含有的(C)光反應(yīng)引發(fā)劑，不含有(D)阻燃劑。在上述二層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑中，第一感光層中含有的阻燃劑優(yōu)選為磷系化合物。此外，作為上述(A)成分的粘合劑聚合物優(yōu)選為含有羧基的乙烯基系聚合物。此外，作為上述(A)成分的粘合劑聚合物優(yōu)選為聚酰胺酸，更優(yōu)選是4吏用通式(1)所示的聚硅氧烷二胺作為原料的一部分的聚酰胺酸.H2N-R，"["，i-oj""廣NH2W/nR2通式(1)(式中，Ri各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)15的烴，R2各自獨(dú)立地表示選自顛子數(shù)1~5的烷基或苯基的有機(jī)基團(tuán)，n表示1~20的整數(shù)。)。此外，作為上述(A)成分的粘合劑聚合物優(yōu)選是使用了通式(1)所示的聚硅氧烷二胺作為原料的一部分的具有氣基和/或羥基的可溶性聚酰亞胺。H2N-R，+i-oj"甲-R廣NH2AR2通式(1)(式中，Ri各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)15的烴，R2各自獨(dú)立地表示選自碳原子數(shù)1~5的烷基或苯基的有機(jī)基團(tuán)，n表示1~20的整數(shù)。)。此外，將第一感光層的厚度記為100時，第二感光層的厚度優(yōu)選為500以下。此外，優(yōu)選在第一感光層表面涂布第二感光層的有機(jī)溶劑溶液并進(jìn)行干燥，形成第二感光層。此外，優(yōu)選將第二感光層的有機(jī)溶劑溶液涂布在表面并干燥而得到的保護(hù)膜的溶液涂布面貼合到第一感光層后，剝離保護(hù)膜，從而將第二感光層轉(zhuǎn)印到第一感光層表面。本發(fā)明的另一發(fā)明涉及印刷配線板，其特征在于，使用上述二層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑作為絕緣保護(hù)層。此外，本發(fā)明的另一發(fā)明涉及二層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑的制造方法，其中，在第一感光層表面涂布第二感光層的有機(jī)溶劑溶液并進(jìn)行干燥，形成第二感光層，所述第一感光層含有(A)粘合劑聚合物、(B)(曱基)丙烯酸類化合物、(C)光反應(yīng)引發(fā)劑和(D)阻燃劑，所述第二感光層含有(A)粘合劑聚合物、(B)(甲基)丙烯酸類化合物和優(yōu)選含有的(C)光反應(yīng)引發(fā)劑，且不含有(D)阻燃劑。此外，本發(fā)明的另一發(fā)明涉及二層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑的制造方法，其中，將第二感光層的有機(jī)溶劑溶液涂布在表面并干燥而得到的保護(hù)膜的溶液涂布面貼合到第一感光層后，剝離保護(hù)膜，從而將第二感光層轉(zhuǎn)印到第一感光層表面，所述第二感光層含有(A)粘合劑聚合物、(B)(甲基)丙烯酸類化合物和優(yōu)選含有的(C)光反應(yīng)引發(fā)劑，且不含有(D)阻燃劑，所述第一感光層含有(A)粘合劑聚合物、(B)(甲基)丙烯酸類化合物、(C)光反應(yīng)引發(fā)劑和(D)阻燃劑。實(shí)施例以下基于實(shí)施例和比較例對本發(fā)明更具體地進(jìn)行說明，但本發(fā)明并不限于這些實(shí)施例。如下所述進(jìn)行感光性樹脂組合物的制備、感光性干膜抗蝕劑的具體的制造及其物性的評價(jià)。此外，以下的實(shí)施例和比較例中使用的粘合劑聚合物由以下的合成例1~10所示的方法制造。<感光性樹脂組合物的制備>第一感光層樹脂組合物通過以規(guī)定的比例將(Al)粘合劑聚合物、(Bl)(曱基)丙烯酸類化合物、(Cl)光反應(yīng)引發(fā)劑和(Dl)阻燃劑以及才艮據(jù)需M有的(El)其他成分混合而制造，加入二氧雜環(huán)戊烷以使其固體成分重量％(Sc)=40%,制造使其均勻溶解而得到的溶液作為第一感光層樹脂組合物的有機(jī)溶劑溶液。同樣地，第二感光層樹脂組合物通過以規(guī)定的比例將(A2)粘合劑聚合物、(B2)(曱基)丙烯酸類化合物、和優(yōu)選含加入二氧雜環(huán)戊烷以使其固體成分重量。/。(Sc)=30%,制造使其均勻溶解而得到的溶液作為第二感光層樹脂組合物的有機(jī)溶劑溶液。其中，所謂固體成分重量，是指有機(jī)溶劑以外的材料，表示(A)、(B)、(C)、(D)和(E)成分的總重量。例如，在第一感光層樹脂組合物的情況下，表示(Al)、(Bl)、(Cl)、(Dl)和(El)成分的總重量，有機(jī)溶劑以外的液體材料的重量，即使是液體，也作為固體成分包含在重量中。<感光性干膜抗蝕劑的制造>將上述第一感光層樹脂組合物的有機(jī)溶劑溶液涂布到支持體膜上，使干燥后的厚度(感光性干膜抗蝕劑的厚度)為20jim。作為支持體膜，使用PET膜(東麗公司制Lumirror、厚度25nm)。然后，在100。C、10分鐘的條件下對支持體膜上的涂布層進(jìn)行干燥，將有機(jī)溶劑除去。由此得到由第一感光層/PET膜構(gòu)成的片材。再有，第一感光層處于B階狀態(tài)。其次，在第一感光層表面上形成第二感光層，第二感光層的形成釆用以下的直接涂布法、轉(zhuǎn)印法這兩種方法進(jìn)行。1)直接涂布法在直接涂布法的情況下，在上述制造的第一感光層表面上涂布第二感光層樹脂組合物的有機(jī)溶劑溶液，使干燥后的厚度為5nm，在IO(TC下干燥5分鐘，將有機(jī)溶劑除去.在這樣制造的支持體脆感光性干膜抗蝕劑上，在輥溫度40"、輥間壓為50000Pa.m的條件下層壓作為保護(hù)膜的"(EVA+PE)共聚物和聚乙烯采用同時擠出制法得到的膜，，(積水化學(xué)公司制Protect(#6221F)膜(厚50nm))，使該(EVA+PE)共聚物膜面與感光性干膜抗蝕劑面相接。2)轉(zhuǎn)印法在PPS膜(東麗公司制Torelina#3000、厚25[im)上涂布第二感光層樹脂組合物的有機(jī)溶劑溶液，使干燥后的厚度為5nm，在100。C下干燥5分鐘，將有機(jī)溶劑除去。在輥溫度45。C、輥間壓為50000Pa.m的條件下層壓這樣制造的帶第二感光層的保護(hù)膜，使第二感光層側(cè)與上述制造的第一感光層表面相接。該P(yáng)PS膜在感光性干膜抗蝕劑^使用時首先被剝離。再有，通過上述直接涂布法或轉(zhuǎn)印法制造的二層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑處于B階狀態(tài)。<感光性干膜抗蝕劑的物性的評價(jià)>對于上述制造的感光性干膜抗蝕劑，對以下所示的各項(xiàng)目的物性進(jìn)行評價(jià)。具體地說，對(i)堿溶解性、(ii)顯影性、(iii)析像清晰度、(iv)密合性、(v)阻燃性、(vi)電可靠性、(vii)焊料耐熱性、(viii)B階狀態(tài)的粘性和(iv)翹曲進(jìn)行評價(jià)。(i)堿溶解性首先，用10重量％硫酸水溶液將電解銅箔(三井金屬公司制、厚度38jim)軟蝕刻1分鐘(是將銅箔表面的防銹劑除去的工序)，水洗后，用乙醇、丙酮洗滌表面并進(jìn)行干燥。將感光性干膜抗蝕劑的保護(hù)膜剝離后，在上述電解銅箔(軟蝕刻后)的光澤面上，在100°C、75000Pa'm的*下進(jìn)行層壓。然后，將PET膜剝離后，4吏用噴射顯影機(jī)(SUNHAYATO公司制蝕刻機(jī)ES-655D)，用1重量％的碳酸鈉水溶液(液溫40'C)在顯影時間30~180秒的條件下進(jìn)行顯影處理。顯影后的樣品用蒸餾水進(jìn)行洗滌，將顯影液除去，使其干燥。從貼合有感光性干膜抗蝕劑的銅箔光澤面將感光性干膜抗蝕劑完全除去所需的最短的顯影時間記為B階狀態(tài)的堿溶解時間。1重量％的碳酸鈉水溶液(液溫40'C)下的堿溶解時間超過180秒時，將顯影液變?yōu)?重量％的氫氧化鈉水溶液(液溫40°C)實(shí)施相同的試驗(yàn)，測定堿溶解時間。該感光性干膜抗蝕劑的B階狀態(tài)下的堿溶解時間，在1重量％的碳酸鈉水溶液(液溫40'C)或1重量％的碳酸鈉水溶液(液溫40r)的任一顯影液中為60秒以下記為合格，將超過180秒記為不合格。(ii)顯影性首先，用10重量％硫酸水溶液將電解銅箔(三井金屬公司制、厚度38jim)軟蝕刻1分鐘(是將銅箔表面的防銹劑除去的工序)，水洗后，用乙醇、丙酮洗滌表面并進(jìn)行干燥。將感光性干膜抗蝕劑的保護(hù)膜剝離后，在上述電解銅箔(軟蝕刻后)的光澤面上，在IOO'C、75000Pa.m的M下進(jìn)行層壓。在該層合體的PET膜上放置描繪出100xl00fim方塊和200x200nm方塊的微細(xì)四方形的掩膜圖案，只以300mJ/cii^用波長405nm的光進(jìn)行曝光。將該樣品的PET膜剝離后，使用噴射顯影機(jī)(SUNHAYATO^>司制蝕刻機(jī)ES-655D)，用1重量。/。的氫氧化鈉7jC溶液(液溫40。C)或1重量％的碳酸鈉水溶液(液溫40'C)進(jìn)行噴射顯影。再有，關(guān)于顯影液，對于在上ii^溶解性試驗(yàn)中溶解于碳酸鈉水溶液的水平，顯影液使用碳酸鈉水溶液，對于只溶解于氫氧化鈉的水平，顯影液使用氫氧化鈉水溶液。然后用蒸餾水對通過顯影形成的圖案進(jìn)行洗滌，將顯影液除去，使其干燥。用光學(xué)顯微鏡進(jìn)行觀察，如果能夠至少4吏200nmx200nm方塊的四方形無殘?jiān)仫@影，則記為合格。(iii)析像清晰度采用與上述顯影性相同的條件，在電解銅箔的光澤面上層壓感光性干膜抗蝕劑。在該層合體的PET膜上放置線/間隔從40/40jim到200/200jim的、10jim刻紋的掩J度圖案，只以300mJ/cm2用波長405nm的光進(jìn)行膝光。將該樣品的PET膜剝離后，4吏用噴射顯影機(jī)(SUNHAYATO>^司制蝕刻機(jī)ES-655D)，用1重量％的氫氧化鈉水溶液(液溫40。C)或1重量％的碳酸鈉水溶液(液溫40'C)進(jìn)行噴射顯影處理，測定能夠干凈地將未膝光部分除去的最小的線寬，將其作為析像清晰度。析像清晰度的數(shù)值越小則越良好。再有，關(guān)于顯影液，對于在上i^溶解性試驗(yàn)中溶解于碳酸鈉水溶液的水平，顯影液使用碳酸鈉水溶液，對于只溶解于氬氧化鈉的水平，顯影液使用氫氧化鈉水溶液。(iv)密合性將感光性干膜抗蝕劑的保護(hù)膜剝離后，在100°C、75000Pa*m下，在25nm厚的聚酰亞胺膜(鐘化^>司制NPI)上進(jìn)行層壓加工。然后，只以600mJ/cn^用波長405nm的光進(jìn)行啄光，然后剝離支持體膜，用180'C的烘箱進(jìn)行2小時加熱固化。按照IPCTM6502.4.28.1，對這樣制造的"聚酰亞胺^/感光性干膜抗蝕劑"層合體樣品進(jìn)行交叉切割剝離試驗(yàn)，如果無剝離則為合格。(v)阻燃性將感光性干膜抗蝕劑的保護(hù)膜剝離后，在IOO'C、75000Pa'm下，在50nm厚的聚酰亞胺膜(鐘化公司制NPI)的兩面上進(jìn)行層壓加工。然后，只以600mJ/cm2用波長405nm的光對兩面進(jìn)行曝光，然后剝離兩面的支持體膜，用180'C的烘箱進(jìn)行2小時加熱固化。按照UL94薄材料垂直燃燒試驗(yàn)(VTM-0)對這樣制造的"感光性干膜抗蝕劑/聚酰亞胺J^/感光性干膜抗蝕劑，，層合體樣品進(jìn)行試驗(yàn)。(Vi)電可靠性使用帶銅箔的聚酰亞胺膜(新日鐵化學(xué)公司制，商品名ESPANEX，聚酰亞胺膜的厚度25nm，銅箔的厚度為18jim)的銅箔面、抗蝕劑膜(旭化成公司制、Sunfort)，形成如圖l和圖2中分別所示的線/間隔-100/100jim和25/25nm的梳形圖案，得到帶電路的CCL。將剝離掉保護(hù)膜的感光性干膜抗蝕劑以被覆到該帶電路的CCL的梳形圖案部分之上的方式重疊，在100。C、75000Pa'm的務(wù)泮下進(jìn)行層壓。以300mJ/cm2用波長405nm的光對該貼合樣品的感光性千膜抗蝕劑面進(jìn)行膝光后，剝離PET膜，在180'C下固化2小時而使其固化。將該樣品裝入溫度85'C/相對濕度85%的條件的恒溫恒濕器(ESPEC制，商品名PlatinousPR-2K)中，在梳形圖案的端子間持續(xù)外加60V的電壓，每隔30分鐘測定線間絕緣電阻。至少在線/間隔-100/100jim的梳形圖案中，如果外加時間為500小時的時刻的電阻值為1.0xl0Sll以上，則記為合格，如果小于500小時而電路短路，則記為不合格。如果在線/間隔-25/25nm的梳形圖案中也保持1.0xl()Sll以上的電阻值，電可靠性可以說更良好。(vii)焊料耐熱性將銅箔(三井金屬公司制的電解銅箔，厚度38fim)切割為5cm方塊，用10重量％硫酸水溶液進(jìn)行軟蝕刻1分鐘，進(jìn)行水洗后，用乙醇、丙酮對表面進(jìn)行洗滌后，進(jìn)行干燥。然后，將切割為4cm方塊的感光性干膜抗蝕劑的保護(hù)膜剝離，重疊到上述電解銅箔(軟蝕刻后)的光澤面上，在IOO'C、75000Pa.m的條件下進(jìn)行層壓。以300mJ/cm2用波長405nm的光對該貼合樣品的感光性干膜抗蝕劑面進(jìn)行曝光后，在180"C下固化2小時而使其固化。將該樣品進(jìn)行<1>常態(tài)(20'C/相對濕度40。/。的環(huán)境下24小時)、<2>吸濕(40'C/相對濕度85%的環(huán)境下48小時)調(diào)濕后，在260。C以上的熔融焊料中漂浮30秒鐘，測定銅箔和感光性干膜抗蝕劑的界面產(chǎn)生膨脹或沒有產(chǎn)生剝離的最高溫度。如果有至少260。C以上的焊料耐熱性，則記為合格。(vm)B階狀態(tài)的粘性將感光性干膜抗蝕劑的保護(hù)膜剝離后，用指觸考察有無發(fā)粘，如果為不發(fā)粘、9MU1粘則記為合格，如果粘性強(qiáng)則記為不合格。(iv)翹曲在聚酰亞胺膜APICAL25NPI(鐘化制)上重疊與密合性的測定項(xiàng)同樣地制作的感光性干膜抗蝕劑，在110。C、20000Pa.m的條件下進(jìn)行層壓。接著，只以300mJ/cm2用波長400nm的光進(jìn)行膝光，然后將PET膜剝離，在180。C下加熱2小時而得到層合體。將該層合體切割為5cm方塊，制成5cmx5cm的試驗(yàn)樣品。將試驗(yàn)樣品在23"C、65%RH的環(huán)境下放置24小時后，使感光性干膜抗蝕劑面朝上放置在平臺上，用尺測定從臺上M部分的最大高度，記為翹曲(mm)。將翹曲為5mm以下定為合格線。<粘合劑聚合物的合成>作為原料，使用3，3，，4，4，-二苯曱酮四曱酸二酐(以下也稱為"BTDA，，)、3，3，，4，4，-二苯醚四甲酸二酐(以下也稱為"ODPA")、均苯四甲酸二酐、3，3，3，，4，-聯(lián)苯四曱酸二酐(以下也稱為"s-BPDA，，)、3，3，，4,4，-二笨砜四甲酸二酐、3,3，，4，4，-二苯醚四甲酸二肝作為酸二酐，使用1,3-雙(3-氨基苯氧基)苯、2,2-雙(3-M苯基)丙烷、3，3，-二氨基二苯醚、2,2-雙[4-(4-^J^苯氧基)苯基丙烷作為芳香族二胺。使用N-甲基吡咯烷酮(以下也稱為"NMP，，)、N，N，-二甲基甲酰胺(以下也稱為"DMF")和二氧雜環(huán)戊烷作為溶劑。得到的粘合劑聚合物的重均分子量，使用東曹公司制HLC8220GPC,采用尺寸排阻色鐠以聚環(huán)氧乙烷換算而算出。<合成例1:聚酰胺酸>在設(shè)置有攪拌器的2000ml可分離式燒瓶中，取1,3-雙(3-氨基苯氧基)苯29.23g(lOOmmol)，溶解于二甲基甲酰胺58.46g中并加入，在室溫下攪拌1小時。接著，加入3，3，，4,4，-二苯醚四甲酸二酐31.02g(lOOmmol)，繼續(xù)攪拌3小時，得到聚酰胺酸。該聚酖胺酸的重均分子量為100000。<合成例2:聚酰胺酸>在設(shè)置有攪拌器的2000ml可分離式燒瓶中，取3，3，,4，4，-二苯醚四曱酸二酐31.02g(lOOmmol)、二曱基甲酰胺102.7g，將信越化學(xué)制聚珪氧烷二胺X-22-9409S59.68g(40mmol:分子量1492)溶解于二曱基甲酰胺59.68g中并加入，在室溫下攪拌1小時。接著，加入1,3-雙(3-氨基苯氧基)苯17.54g(60mmo1)，繼續(xù)攪拌3小時，得到聚酖胺酸。該聚酰胺酸的重均分子量為80000。<合成例3:聚酰胺酸>在3L分離式燒瓶中設(shè)置攪拌器、回流冷卻器、滴液漏斗和氮導(dǎo)入管，在氮?dú)夥障聦⒕剿募姿岫?7.3gUOOmmol)、N-甲基吡咯烷酮496g^v燒瓶內(nèi)，邊對其進(jìn)行攪拌邊使內(nèi)部溫度升高到50'C。在該溫度下，用2小時每次少量M滴液漏斗滴加?xùn)|麗if^泉寧有;^公司制的聚珪氧烷二胺BY16-853U(通式(5)中112=亞丙基，m約為10，苯基的含量為0%)92.6g(100mmol:分子量926)。滴加結(jié)束后，在該溫度下繼續(xù)攪拌1小時。然后，將反應(yīng)溫度冷卻到30。C以下，添加1，3-雙(3-氨基苯氡基)苯87.7g(300mmol)后，在氮?dú)夥障吕^續(xù)攪拌20小時，得到聚酰胺酸。該聚酖胺酸的重均分子量為120000。<合成例4:具有氛基和/或羥基的可溶性聚酰亞胺>在設(shè)置有攪拌器的500ml可分離式燒瓶中裝入(2,2-雙(羥基苯基)丙烷二苯甲酸酯)-3，3，,4，4，-四甲酸二酐17.3g(30mmo1)、二曱基曱酖胺30g，用攪拌器進(jìn)行攪拌而使之溶解。然后，使[雙(4-IL^-3-氛基)苯基甲烷5.15g(18mmo1)溶解于二甲基甲酰胺9g中，加入到上述(2,2-雙(羥基苯基)丙烷二苯曱酸酯)-3,3，，4，4，-四曱酸二酐的溶液中，進(jìn)行劇烈攪拌。溶液變得均勻后，進(jìn)一步在上述溶液中加入信越化學(xué)制聚硅氧烷二胺KF-80107.47g(9mmo1)，劇烈攪拌。溶液變得均勻后，加入雙[4-(3-氨基苯氧基)苯基砜L29g(3mmo1)，劇烈攪拌l小時。將這樣得到的聚酰胺酸溶液"用氟系樹脂涂布的桶(vat)中，在真空烘箱中在200'C、660Pa的壓力下減壓干燥2小時，得到26.40g的具有氛基的聚酰亞胺。該聚酰亞胺的重均分子量為37000。<合成例5:聚酖胺酸>在設(shè)置有攪拌器的2000ml可分離式燒瓶中，取ODPA31.02g(lOOmmol)、二氧雜環(huán)戊烷102.7g，將信越化學(xué)制聚珪氧烷二胺X-22-9409S59.68g(40mmol:通式(5)中R^亞丙基，m約為12,苯基的含量為25%,分子量1492)溶解于二氧雜環(huán)戊烷59.68g中并加入，在室溫下攪拌1小時。接著，加入1，3-雙(3-M苯氧基)苯17.54g(60mmo1),繼續(xù)攪拌3小時，得到聚酖胺酸。測定得到的聚酰胺酸的分子量，結(jié)果重均分子量為80000,數(shù)均分子量為32000，重均分子量/數(shù)均分子量為2.5。將聚酰胺酸聚跣亞胺化所得產(chǎn)物的Tg為90。C。<合成例6:聚酰胺酸>在設(shè)置有攪拌器的2000ml可分離式燒瓶中，取BTDA32.22g(lOOmmol)、DMF112,5g，將聚珪氧烷二胺80.88g(30mmol:通式(5)中112=亞丙基，m約為20，苯基的含量為40%,分子量2696)溶解于DMF80.88g中，在室溫下繼續(xù)攪拌2小時，接著，加入2，2-雙(3-M苯基)丙烷15.83g(70mmo1)，繼續(xù)攪拌3小時，得到聚醜胺酸。測定得到的聚酰胺酸的分子量，結(jié)果重均分子量為60000,數(shù)均分子量為25000，重均分子量/數(shù)均分子量為2.4。將聚酰胺酸聚酰亞胺化所得產(chǎn)物的Tg為100'C。<合成例7:聚酰胺酸>在設(shè)置有攪拌器的500ml可分離式燒瓶中，取3，3，，4，4，-二^四甲酸二酐35.82g(lOOmmol)、DMF83.0g，將1，2畫雙(2國^J^乙IL^)乙烷5.93g(40mmo1)溶解于DMF5.93g中并加入，在室溫下繼續(xù)攪拌2小時，接著，加入1，3-雙(3-氨基苯氡基)苯17.54g(60mmo1)，繼續(xù)攪拌3小時，得到聚跣胺酸。測定得到的聚酰胺酸的分子量，結(jié)果重均分子量為85000，數(shù)均分子量為30000，重均分子量/數(shù)均分子量為2.8。將聚酰胺酸聚酰亞胺化所得產(chǎn)物的Tg為13(TC。<合成例8:聚酰胺酸>在設(shè)置有攪拌器的500ml可分離式燒瓶中，取s-BPDA29.42g(lOOmmol)、DMF73,2g,將聚珪氧烷二胺28.15g(50mmol:通式(5)中112=亞丙基，m約為4,苯基的含量為15%，分子量563)溶解于DMF28.15g中并加入，在室溫下繼續(xù)攪拌2小時，接著，加入3，3，-二M二苯醚10.01g(50mmo1),繼續(xù)攪拌3小時，得到聚酰胺酸。測定得到的聚酖胺酸的分子量，結(jié)果重均分子量為85000，數(shù)均分子量為30000，重均分子量/數(shù)均分子量為2.8。將聚酰胺酸聚酰亞胺化所得產(chǎn)物的Tg為85"C。<合成例9:聚酰胺酸>在設(shè)置有攪拌器的2000ml可分離式燒瓶中，取ODPA31.02g(lOOmmol)、二氧雜環(huán)戊烷94.3g，將聚珪氧烷二胺42.92g(40mmol:通式(5)中R、亞丙基，m約為20，苯基的含量為15%，分子量1073)溶解于二氧雜環(huán)戊烷42.92g中并加入，在室溫下攪拌l小時。接著，加入1,3-雙(3-氨基苯氡基)苯17,54g(60mmo1)，繼續(xù)攪拌3小時，得到聚酰胺酸。測定得到的聚酰胺酸的分子量，結(jié)果重均分子量為85000，數(shù)均分子量為30000，重均分子量/數(shù)均分子量為2.8。將聚酰胺酸聚酰亞胺化所得產(chǎn)物的Tg為80。C。<合成例10:聚跣胺酸>在設(shè)置有攪拌器的2000ml可分離式燒瓶中，取ODPA31.02g(lOOmmol)、二氧雜環(huán)戊烷106.2g，將信越化學(xué)制聚硅氧烷二胺X國22-9409S59.68g(40mmol:通式(5)中112=亞丙基，m約為12，苯基的含量為25%,分子量1492)溶解于二氧雜環(huán)戊烷59.68g中并加入，在室溫下攪拌1小時，接著，加入1,3-雙(3-iJ^苯氡基)苯U.69g(40mmo1)，繼續(xù)攪拌1小時，加入2，2-雙[4-(4-氨基苯H^)苯基]丙烷8.21g(20mmo1)，繼續(xù)攪拌3小時，得到聚酰胺酸。測定得到的聚酰胺酸的分子量，結(jié)果重均分子量為卯OOO，數(shù)均分子量為33000，重均分子量/數(shù)均分子量為2.7。將聚酰胺酸聚酰亞胺化所得產(chǎn)物的Tg為120。C。除了將實(shí)施例5的聚酰胺酸變?yōu)楹铣衫?中合成的聚酰胺酸以外，同樣地進(jìn)行感光性干膜抗蝕劑的制造。<物性的評價(jià)結(jié)果>得到的感光性干膜抗蝕劑的物性評價(jià)結(jié)果如下所述。顯影性100nmxl00nm方塊的孔、200nmx200nm方塊的孔均能無殘?jiān)仫@影，^^格。堿溶解性在1重量％的碳酸鈉水溶液中用30秒溶解。析像清晰度70nm密合性合格。阻燃'lt:合格。電可靠性合格。(線/間隔-100/100nm:6.4xlOuQ,線/間隔=25/25^111:5.2xl08Q)焊料耐熱性焊料耐熱性為280'C，合格。B階狀態(tài)的粘性無粘性，合格。翹曲lmm以下，合格。[實(shí)施例11除了將實(shí)施例5的聚酰胺酸變?yōu)楹铣衫?0中合成的聚酰胺酸以夕卜，同樣地進(jìn)行感光性干膜抗蝕劑的制造。<物性的評價(jià)結(jié)果>得到的感光性干膜抗蝕劑的物性評價(jià)結(jié)果如下所述。顯影性200nmx200fim方塊的孔能無殘?jiān)仫@影，>^格。堿溶解性在1重量％的碳酸鈉水溶液中用30秒溶解。析像清晰度130jim密合性合格。阻燃性合格。電可靠性合格。(線/間隔=100/10011:4.4xlO"Q，線/間隔-25/25nm:4.7xl08Q)焊料耐熱性焊料耐熱性為2卯'C，合格。B階狀態(tài)的粘性無粘性，合格。翹曲4mm，合格。[實(shí)施例12除了使用實(shí)施例3的第一感光層的有機(jī)溶劑溶液和第二感光層的有機(jī)溶劑溶液，使第一感光層的厚度為10nm，第二感光層的厚度為15fim以外，與實(shí)施例3同樣地制造B階狀態(tài)的感光性干膜抗蝕劑。<物性的評價(jià)結(jié)果>得到的感光性干膜抗蝕劑的物性評價(jià)結(jié)果如下所述。堿溶解性在1重量％的碳酸鈉水溶液中用30秒溶解。顯影性100nmxl00jim方塊的孔、200nmx200nm方塊的孔能無殘?jiān)仫@影，合格。析像清晰度50,密合性合格。阻燃性合格。電可靠性合格。(線/間隔=100/100^1111:9.0xl0"il，線/間隔-25/25nm:1.5xl09ft)焊料耐熱性焊料耐熱性為2卯"，合格。B階狀態(tài)的粘性無粘性，合格。勉曲lmm以下，合格。將實(shí)施例5中的第一感光層樹脂組合物的有機(jī)溶劑溶液的(Al)成分變?yōu)楹铣衫?中合成的聚酰胺酸，制造第一感光層的厚度為25jim、第二感光層的厚度為Onm(無第二感光層)的B階狀態(tài)的感光性干膜抗蝕劑。<物性的評價(jià)結(jié)果>得到的感光性干膜抗蝕劑的物性評價(jià)結(jié)果如下所述。堿溶解性在1重量％的碳酸鈉水溶液中用30秒溶解。顯影性100nmxl00nm方塊的孔、200nmx200nm方塊的孔均能無殘?jiān)仫@影，合格。析像清晰度180jim密合性合格。阻燃性合格。電可靠性不合格。(線/間隔=100/100^1111:在350小時短路，線/間隔=25/25nm:在150小時短路)焊料耐熱性焊料耐熱性為280'C，合格。B階狀態(tài)的粘性無粘性，合格翹曲筒狀，不合格。將實(shí)施例的配合條件、厚度構(gòu)成示于表l-3，將比較例的配合務(wù)降、厚度構(gòu)成示于表4，將物性評價(jià)結(jié)果示于表5-7。[表l<table>tableseeoriginaldocumentpage99</column></row><table><table>complextableseeoriginaldocumentpage100</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage101</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage102</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage103</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage104</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage105</column></row><table>本發(fā)明并不受以上各實(shí)施方案的限制，在權(quán)利要求所示的范圍內(nèi)可以進(jìn)行各種改變，對于將不同實(shí)施方案中分別公開的技術(shù)手段進(jìn)行適當(dāng)組合而得到的實(shí)施方案，也包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)。如上所述，本發(fā)明的感光性干膜抗蝕劑，具有至少包含含阻燃劑的第一感光層和不含或即使含有也僅少量含有阻燃劑的第二感光層的多層結(jié)構(gòu)。因此，與以往一層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑相比，可以實(shí)現(xiàn)如下的感光性干膜抗蝕劑即，不僅滿足阻燃性、電可靠性，而且感光性也提高，并且滿足采用水系顯影液的顯影性；優(yōu)異的析像清晰度、阻燃性、密合性、耐濕性、電可靠性。因此，本發(fā)明的感光性干膜抗蝕劑能夠在制造以含感光性聚酰亞胺的膜、層合體為代表的各種樹脂成型品的領(lǐng)域中利用。此夕卜也可以廣泛應(yīng)用于使用這樣的膜、層合體的電子部件的制造領(lǐng)域。權(quán)利要求1.一種至少包含第一感光層和第二感光層的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，其特征在于，第一感光層含有(A1)粘合劑聚合物、(B1)(甲基)丙烯酸類化合物、(C1)光反應(yīng)引發(fā)劑和(D1)阻燃劑作為必要成分，第二感光層含有(A2)粘合劑聚合物和(B2)(甲基)丙烯酸類化合物作為必要成分，基本上不含有(D2)阻燃劑，(D2)阻燃劑滿足以下條件將(D1)阻燃劑的重量相對于第一感光層的總重量的比例記為第一感光層的阻燃劑含有率，并將(D2)阻燃劑的重量相對于第二感光層的總重量的比例記為第二感光層的阻燃劑含有率時，第二感光層的阻燃劑含有率為0～10重量％，并且，將第一感光層的阻燃劑含有率記為100時，第二感光層的阻燃劑含有率為0～50。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，其特征在于，第二感光層還含有(C2)光反應(yīng)引發(fā)劑作為必要成分。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，其特征在于，所述第二感光層在多層結(jié)構(gòu)中位于最外層。4.根據(jù)權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，其特征在于，所述(Dl)阻燃劑和/或(D2)阻燃劑是磷系化合物。5.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，其特征在于，所述(Al)粘合劑聚合物和/或(A2)粘合劑聚合物是含有g(shù)的乙烯基系聚合物。6.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，其特征在于，所述(Al)粘合劑聚合物和/或(A2)粘合劑聚合物是聚酰胺酸。7.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，其特征在于，所述(Al)粘合劑聚合物和/或(A2)粘合劑聚合物是使用了通式(1)所示的聚硅氧烷二胺作為原料的一部分的聚酰胺酸，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>通式(i)式中，&各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)1~5的烴，R2各自獨(dú)立地表示選自^^子數(shù)1~5的絲或苯基的有機(jī)基團(tuán)，n表示l20的整數(shù)。8.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，其特征在于，所述(Al)粘合劑聚合物和/或(A2)粘合劑聚合物是包含以下通式(2)所示的結(jié)構(gòu)單元和以下通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰胺酸，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>(2)通式(2)中，W表示4價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，Rz各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)2~5的亞烷基，le各自獨(dú)立地表示甲基或苯基，RS中的苯基的含有率為15%~40%，并且m為420的整數(shù)，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>通式(3)中，R"表示4價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，Rs表示從芳香族二胺中去除個氨基而成的2價(jià)的有機(jī)基團(tuán)。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，其特征在于,所述聚酰胺酸還具有以下通式(4)所示的結(jié)構(gòu)單元，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>通式(4)中，W表示4價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，W具有以下的化學(xué)式a、b，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>c、d、e、f或g所示的結(jié)構(gòu)，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>化學(xué)式a中，m表示l20中的任一整數(shù)，n表示010中的任一整數(shù)，化學(xué)式f中，Rs表示氬原子、甲基、乙基或丁基。10.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，其特征在于，所述(Al)粘合劑聚合物和/或(A2)粘合劑聚合物是包含以下通式(4)所示的結(jié)構(gòu)單元和以下通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元的聚跣胺酸，通式(4)中，W表示4價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，R具有以下的化學(xué)式a、b、c、d、e、f或g所示的結(jié)構(gòu)，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>化學(xué)式a中，m表示1~20中的任一整數(shù)，n表示010中的任一整數(shù)，化學(xué)式f中，RS表示氫原子、曱基、乙基或丁基，通式(3)中，W表示4價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，Rs表示從芳香族二胺中去除了2個氨基而成的2價(jià)的有機(jī)基團(tuán)。11.根據(jù)權(quán)利要求8~10中任一項(xiàng)所述的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，其特征在于，所述通式(3)所示的結(jié)構(gòu)單元包含如下的結(jié)構(gòu)單元所述通式(3)中，Rs中的所述芳香族二胺的所述2個^所鍵接的芳香環(huán)中的至少一者通過位于間位的2根結(jié)合鍵與主鏈鍵接。12.根據(jù)權(quán)利要求811中任一項(xiàng)所述的感光性干膜抗蝕劑，其特征在于，所述芳香族二胺是間苯二胺、3，3，-二JL^二苯基曱烷、3，3，-二M二苯基醚、3,3，-二M二苯M醚、3，3，-二^J^二苯^U3,3，畫二^J^-N國苯曱酰苯胺、2,2-雙(3-絲苯基)六氟丙烷、2，2-雙[4-(3-氨基苯氡基)苯基丙烷、2，2國雙[4誦(3畫絲苯ILS0苯基]砜、2,2畫雙[4國(3畫樣苯IU0苯基六氟丙烷、1，4-雙(3-氨基苯氧基)苯、4，4，-雙(3-氨基苯氧基)聯(lián)苯、1,3-雙(3-絲苯氧基)苯、雙[4-(3-氨基苯氧基)苯基砜或2，2-雙(3-絲苯基)丙烷。13.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，其特征在于，所述(Al)粘合劑聚合物和/或(A2)粘合劑聚合物是具有氣基和/或羥基的可溶性聚酰亞胺。14.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，其特征在于，所述(Al)粘合劑聚合物和/或(A2)粘合劑聚合物是使用了通式(1)所示的聚硅氧烷二胺作為原料的一部分的具有氣基和/或羥基的可溶性聚酰亞胺，W'通式(1)式中，Ri各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)15的烴，R2各自獨(dú)立i^示選自^f子數(shù)l5的烷基或苯基的有機(jī)基團(tuán)，n表示l20的整數(shù)。15.根據(jù)權(quán)利要求1~14中任一項(xiàng)所述的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，其特征在于，將第一感光層的厚度記為100時，第二感光層的厚度為500以下。16.—種印刷配線板，其特征在于，使用權(quán)利要求1~15中任一項(xiàng)所述的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑作為絕緣保護(hù)層。17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的印刷配線板，其特征在于，在感光性干膜抗蝕劑中的構(gòu)成中，所述第二感光層位于與電路面接觸的最外層，所述第一感光層位于另一方的最外層。18.—種印刷配線板的制造方法，其特征在于，在180。C以下的溫度下，使權(quán)利要求1~15中任一項(xiàng)所述的感光性干膜抗蝕劑固化而形成為絕緣保護(hù)層。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage6</formula>全文摘要本發(fā)明提供可以水系顯影，析像清晰度、阻燃性、密合性、耐濕性、電可靠性、保存穩(wěn)定性優(yōu)異的感光性干膜抗蝕劑及其制造方法、以及它們的利用方法。通過使用至少包含第一感光層和第二感光層的多層結(jié)構(gòu)的感光性干膜抗蝕劑，能夠解決上述課題，其中，第一感光層含有(A1)粘合劑聚合物、(B1)(甲基)丙烯酸類化合物、(C1)光反應(yīng)引發(fā)劑和(D1)阻燃劑作為必要成分，第二感光層含有(A2)粘合劑聚合物和(B2)(甲基)丙烯酸類化合物作為必要成分，基本上不含有(D2)阻燃劑，(D2)阻燃劑滿足以下條件將(D1)阻燃劑的重量相對于第一感光層的總重量的比例記為第一感光層的阻燃劑含有率，并將(D2)阻燃劑的重量相對于第二感光層的總重量的比例記為第二感光層的阻燃劑含有率時，第二感光層的阻燃劑含有率為0～10重量％，并且，將第一感光層的阻燃劑含有率記為100時，第二感光層的阻燃劑含有率為0～50。文檔編號G03F7/075GK101371197SQ20078000289公開日2009年2月18日申請日期2007年1月23日優(yōu)先權(quán)日2006年1月25日發(fā)明者岡田好史,小島廣平,山中俊夫,野尻仁志申請人:株式會社鐘化