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光學(xué)材料用樹脂組合物、光學(xué)材料用樹脂薄膜及光波導(dǎo)的制作方法

文檔序號:2736523閱讀:125來源:國知局

專利名稱::光學(xué)材料用樹脂組合物、光學(xué)材料用樹脂薄膜及光波導(dǎo)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
:本發(fā)明涉及光學(xué)材料用樹脂組合物、光學(xué)材料用樹脂薄膜及使用其的光波導(dǎo),特別涉及耐熱性和透明性優(yōu)異、且可溶于堿性水溶液的光學(xué)樹脂組合物、由該樹脂組合物構(gòu)成的光學(xué)材料用樹脂薄膜及使用它們的光波導(dǎo)。
背景技術(shù)
:近年來,對于電子元件間或配線基板間的高速.高密度信號傳送,在以往通過電配線的傳送中,信號的相互干擾或衰減成為障礙,已開始看到高速-高技術(shù)、所謂光互連。作為光的傳送通路,從加工的容易性、低成本、配線的自由度高、且可高密度化的方面出發(fā),光波導(dǎo)正受到關(guān)注。作為聚合物光波導(dǎo)的形態(tài),認(rèn)為在假設(shè)適用于光電混載基板的玻璃環(huán)氧樹脂基板上制造的類型、或不具有假設(shè)板相互連接的硬支持基板的撓性類型是適合。對于聚合物光波導(dǎo),從所適用儀器的使用環(huán)境或部件安裝等觀點(diǎn)出發(fā),要求高透明性(低的光傳輸損失)的同時也要求高耐熱性,作為這樣的光波導(dǎo)材料,已知(曱基)丙烯酸類聚合物(例如,參照專利文獻(xiàn)1及2)。但是,這些專利文獻(xiàn)中記載的(曱基)丙烯酸類聚合物雖然在波長850nm具有0.3dB/cm的高透明性,但沒有涉及耐熱性的評價,例如沒有焊料回流試驗(yàn)后的光傳輸損失等具體試驗(yàn)結(jié)果的具體記述,不明確。專利文獻(xiàn)1:日本特開平06-258537號公報專利文獻(xiàn)2:日本特開2003-195079號公報
發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的課題本發(fā)明是為了解決上述的課題完成的,目的在于提供耐熱性和透明性優(yōu)異、且可溶于堿性水溶液的光學(xué)樹脂組合物、由其構(gòu)成的光學(xué)材料用樹脂薄膜及使用它們的光波導(dǎo)。解決課題的手段本發(fā)明人等反復(fù)深入研究的結(jié)果,發(fā)現(xiàn)通過使用下述光學(xué)材料用樹脂組合物、由其構(gòu)成的光學(xué)材料用樹脂薄膜來制造光波導(dǎo)可解決上述問題,所述光學(xué)材料用樹脂組合物組合包含作為(A)成分的主鏈中含有馬來酰亞胺骨架的堿可溶性(甲基)丙烯酸類聚合物、(B)聚合性化合物和(C)聚合引發(fā)劑。即,本發(fā)明提供包含(A)主鏈中含有馬來酰亞胺骨架的堿可溶性曱基丙烯酸類聚合物、(B)聚合性化合物和(C)聚合引發(fā)劑的光學(xué)材料用樹脂組合物、由該光學(xué)材料用樹脂組合物構(gòu)成的光學(xué)材料用樹脂薄膜,并提供使用該光學(xué)材料用樹脂組合物或該光學(xué)材料用樹脂薄膜形成下部包層、芯部、上部包層的至少一個的光波導(dǎo)。另外,(曱基)丙烯酸類聚合物是表示丙烯酸類聚合物和/或曱基丙烯酸類聚合物。發(fā)明效果本發(fā)明的光學(xué)材料用樹脂組合物及由其構(gòu)成的光學(xué)材料用樹脂薄膜,可溶于堿性水溶液,使用它們制造的光波導(dǎo)在耐熱性和透明性方面優(yōu)異。說明本發(fā)明的光波導(dǎo)形態(tài)的剖面圖。表示本發(fā)明進(jìn)行的回流試驗(yàn)中的回流爐內(nèi)的溫度曲線的圖。符號說明1光波導(dǎo)2芯部3上部包層4下部包層5基板具體實(shí)施例方式本發(fā)明的光學(xué)材料用樹脂組合物,優(yōu)選為包含(A)主鏈中含有馬來酰亞胺骨架的堿可溶性(曱基)丙烯酸類聚合物、(B)聚合性化合物和(C)聚合引發(fā)劑,且通過加熱或活性光線的照射進(jìn)行固化的樹脂組合物。以下,對于本發(fā)明所使用的(A)成分進(jìn)行說明。作為(A)成分的主鏈中含有馬來酰亞胺骨架的堿可溶性(甲基)丙烯酸類聚合物,只要溶解于由堿性水溶液構(gòu)成的顯影液、并具有可遂行作為目標(biāo)的顯影處理程度的溶解性,就沒有特別限制,從透明性、耐熱性、對于堿性水溶液的溶解性的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選主鏈中包含下述通式(1)、(2)表示的重復(fù)單元(A-l)及(A-2),進(jìn)而包含下述通式(3)、(4)表示的重復(fù)單元(A-3)及(A-4)中的至少一種的堿可溶性(曱基)丙烯酸類聚合物。A-1式中,R'RS分別獨(dú)立地表示氫原子、碳原子數(shù)1~20的有機(jī)基團(tuán)的任一個;式中,114~116分別獨(dú)立地表示氫原子、碳原子數(shù)1~20的有機(jī)基團(tuán)的任一個;R"表示碳原子數(shù)1~20的有機(jī)基團(tuán);[化3]A-3式中,117~119分別獨(dú)立地表示氫原子、碳原子數(shù)1~20有機(jī)基團(tuán)的任一厶.<formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula>[化4〗<formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula>式中,R'GR"及X'分別獨(dú)立地表示氫原子、碳原子數(shù)120有機(jī)基團(tuán)的任一個。作為通式(1)~(4)中的有機(jī)基團(tuán),可列舉例如烷基、環(huán)烷基、芳基、芳烷基、羰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、氨基曱?;萳價或2價的基團(tuán),這些基團(tuán)進(jìn)而可用羥基、鹵原子、烷基、環(huán)烷基、芳基、芳烷基、羰基、烷氧基叛基、芳氧基羰基、氨基曱?;?、烷氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基、氨基、曱硅烷基等來取代。(A)成分的主鏈中含有馬來酰亞胺骨架的^5威可溶性(曱基)丙烯酸類聚合物中,來源于馬來酰亞胺的重復(fù)單元(A-l)的含有率,優(yōu)選為350質(zhì)量%。3質(zhì)量。/。以上時可獲^f尋源自馬來酰亞胺的耐熱性,50質(zhì)量%以下時透明性充分,得到的樹脂圖案沒有變壞的情況。從以上的觀點(diǎn)出發(fā),進(jìn)一步優(yōu)選為5~40質(zhì)量%,特別優(yōu)選為10~30質(zhì)量%。來源于馬來酰亞胺的重復(fù)單元(A-l)的結(jié)構(gòu),只要是通式(1)表示的結(jié)構(gòu)就沒有特別限制。作為構(gòu)成重復(fù)單元(A-l)原料的馬來酰亞胺,可列舉例如N-曱基馬來酰亞胺、N-乙基馬來酰亞胺、N-丙基馬來酰亞胺、N-異丙基馬來酰亞胺、N-丁基馬來酰亞胺、N-異丁基馬來酰亞胺、N-2-曱基-2-丙基馬來酰亞胺、N-戊基馬來酰亞胺、N-2-戊基馬來酰亞胺、N-3-戊基馬來酰亞胺、N-2-曱基-1-丁基馬來酰亞胺、N-2-曱基-2-丁基馬來酰亞胺、N-3-甲基-1-丁基馬來酰亞胺、N-3-曱基-2-丁基馬來酰亞胺、N-己基馬來酰亞胺、N-2-己基馬來酰亞胺、N-3-己基馬來酰亞胺、N-2-曱基-1-戊基馬來酰亞胺、N-2-曱基-2-戊基馬來酰亞胺、N-2-曱基-3-戊基馬來酰亞胺、N-3-曱基-1-戊基馬來酰亞胺、N-3-曱基-2-戊基馬來酰亞胺、N-3-曱基-3-戊基馬來酰亞胺、N-4-曱基-l-戊基馬來酰亞胺、N-4-曱基-2-戊基馬來酰亞胺、N-2,2-二曱基-1-丁基馬來酰亞胺、N-3,3-二甲基-1-丁基馬來酰亞胺、N-3,3-二甲基-2-丁基馬來酰亞胺、N-2,3-二曱基-1-丁基馬來酰亞胺、N-2,3-二甲基-2-丁基馬來酰亞胺、N-羥基曱基馬來酰亞胺、N-1-羥基乙基馬來酰亞胺、N-2-羥基乙基馬來酰亞胺、N-1-羥基-1-丙基馬來酰亞胺、N-2-羥基-1-丙基馬來酰亞胺、N-3-羥基-1-丙基馬來酰亞胺、N-1-羥基-2-丙基馬來酰亞胺、N-2-羥基-2-丙基馬來酰亞胺、N-l-羥基-1-丁基馬來酰亞胺、N-2-羥基-1-丁基馬來酰亞胺、N-3-羥基-1-丁基馬來酰亞胺、N-4-羥基-1-丁基馬來酰亞胺、N-1-羥基-2-丁基馬來酰亞胺、N-2-羥基-2-丁基馬來酰亞胺、N-3-羥基-2-丁基馬來酰亞胺、N-4-羥基-2-丁基馬來酰亞胺、N—2—曱基-3-羥基一1—丙基馬來酰亞胺、N-2-曱基-3-羥基-2-丙基馬來酰亞胺、N-2-曱基-2-羥基-1-丙基馬來酰亞胺、N-1-羥基-l-戊基馬來酰亞胺、N-2-羥基-1-戊基馬來酰亞胺、N-3-羥基-1-戊基馬來酰亞胺、N-4-羥基-1-戊基馬來酰亞胺、N-5-羥基-1-戊基馬來酰亞胺、N-1-羥基-2-戊基馬來酰亞胺、N-2-羥基-2-戊基馬來酰亞胺、N-3-羥基-2-戊基馬來酰亞胺、N-4-羥基-2-戊基馬來酰亞胺、N-5-羥基-2-戊基馬來酰亞胺、N-1-羥基-3-戊基馬來酰亞胺、N-2-羥基-3-戊基馬來酰亞胺、N-3-羥基-3-戊基馬來酰亞胺、N-1-羥基-2-曱基-1-丁基馬來酰亞胺、N-1-羥基-2-曱基-2-丁基馬來酰亞胺、N-1-羥基-2-曱基-3-丁基馬來酰亞胺、N-1-羥基-2-曱基-4-丁基馬來酰亞胺、N-2-羥基-2-曱基_1-丁基馬來酰亞胺、N-2-羥基-2-曱基-3_丁基馬來酰亞胺、N-2—羥基—2—曱基—4—丁基馬來酰亞胺、N-2—羥基—3_曱基一1-丁基馬來酰亞胺、N-2-羥基-3_曱基-2-丁基馬來酰亞胺、N-2-羥基—3—曱基_3-丁基馬來酰亞胺、N_2-羥基一3—曱基-4—丁基馬來酰亞胺、N_4—羥基-2_曱基—1—丁基馬來酰亞胺、N-4—羥基—2—曱基—2-丁基馬來酰亞胺、N-1-羥基-3-曱基-2-丁基馬來酰亞胺、N-1-羥基-3-甲基—1—丁基馬來酰亞胺、N-1-羥基—2,2—二曱基-1-丙基馬來酰亞胺、N-3-羥基-2,2-二曱基-1-丙基馬來酰亞胺、N-1-羥基-1-己基馬來酰亞胺、N-1-羥基-2-己基馬來酰亞胺、N-1-羥基-3-己基馬來酰亞胺、N-1-輕基-4-己基馬來酰亞胺、N-1-羥基-5-己基馬來酰亞胺、N-1-羥基-6-己基馬來酰亞胺、N-2-羥基-1-己基馬來酰亞胺、N-2-羥基-2-己基馬來酰亞胺、N-2-羥基-3-己基馬來酰亞胺、N-2-羥基-4-己基馬來酰亞胺、N-2-羥基-5-己基馬來酰亞胺、N-2-羥基-6-己基馬來酰亞胺、N-3-羥基-1-己基馬來酰亞胺、N-3-羥基-2-己基馬來酰亞胺、N-3-羥基-3-己基馬來酰亞胺、N-3-羥基-4-己基馬來酰亞胺、N-3-羥基-5-己基馬來酰亞胺、N-3-羥基-6-己基馬來酰亞胺、N-1-羥基-2-曱基-1-戊基馬來酰亞胺、N-1-羥基-2-曱基-2-戊基馬來酰亞胺、N-1-羥基-2-曱基-3-戊基馬來酰亞胺、N-1一羥基—2-曱基一4—戊基馬來酰亞胺、N—1-羥基一2-甲基—5_戊基馬來酰亞胺、N-2-羥基-2-曱基-1-戊基馬來酰亞胺、N-2-羥基-2—曱基—2-戊基馬來酰亞胺、N-2-羥基一2—曱基—3-戊基馬來酰亞胺、N-2-羥基—2—甲基-4—戊基馬來酰亞胺、N—2—羥基—2—曱基—5-戊基馬來酰亞胺、N-2-羥基-3曱基-l-戊基馬來酰亞胺、N-2-羥基_3-曱基—2—戊基馬來酰亞胺、N—2-羥基—3—曱基一3-戊基馬來酰亞胺、N-2—羥基-3-曱基—4-戊基馬來酰亞胺、N—2-羥基-3-甲基—5-戊基馬來酰亞胺、N-2-羥基-4-曱基-1-戊基馬來酰亞胺、N-2-羥基-4-曱基-2-戊基馬來酰亞胺、N—2-羥基—4—曱基-3-戊基馬來酰亞胺、N—2-羥基—4—曱基-4-戊基馬來酰亞胺、N-2-羥基—4—甲基—5-戊基馬來酰亞胺、N-3-羥基-2-曱基-1-戊基馬來酰亞胺、N-3-羥基-2—曱基-2-戊基馬來酰亞胺、N-3—羥基_2-曱基一3—戊基馬來酰亞胺、N—3—羥基—2—甲基—4-戊基馬來酰亞胺、N-3—羥基一2—甲基一5-戊基馬來酰亞胺、N-1-羥基-4-曱基-1-戊基馬來酰亞胺、N-1-羥基-4-甲基-2-戊基馬來酰亞胺、N-1-羥基-4-曱基-3-戊基馬來酰亞胺、N-1-羥基-4-曱基、N-1-羥基-3-曱基—1-戊基馬來酰亞胺、N-1-羥基-3-曱基-2-戊基馬來酰亞胺、N-1-羥基-3-曱基-3-戊基馬來酰亞胺、N-1-羥基-3-曱基-4-戊基馬來酰亞胺、N-1-羥基-3_曱基-5-戊基馬來酰亞胺、N-3-羥基-3-曱基-1-戊基馬來酰亞胺、N-3-羥基—3—曱基-2-戊基馬來酰亞胺、N-1—羥基-3—乙基—4-丁基馬來酰亞胺、N—2-#至基-3-乙基—4—丁基馬來酰亞胺、N-2-羥基一2-乙基-1-丁基馬來酰亞胺、N-4-羥基-3-乙基-1-丁基馬來酰亞胺、N-4一羥基_3-乙基—2—丁基馬來酰亞胺、N—4-羥基-3—乙基-3—丁基馬來酰亞胺、N-4-羥基-3-乙基-4-丁基馬來酰亞胺、N-1-羥基-2,3-二曱基-1-丁基馬來酰亞胺、N-1-羥基-2,3-二曱基-2-丁基馬來酰亞胺、N-1-羥基-2,3-二曱基-3-丁基馬來酰亞胺、N-1-羥基-2,3-二曱基-4—丁基馬來酰亞胺、N-2-羥基-2,3-二曱基-l-丁基馬來酰亞胺、N-2-羥基-2,3-二曱基-3-丁基馬來醜亞胺、N-2-羥基-2,3—二曱基—4-丁基馬來酰亞胺、N—1-羥基—2,2-二曱基—1-丁基馬來酰亞胺、N-l-羥基-2,2-二曱基-3-丁基馬來酰亞胺、N-1-鞋基-2,2-二曱基一4一丁基馬來酰亞胺、N—2—羥基-3,3-二曱基一1—丁基馬來酰亞胺、N-2-羥基-3,3-二曱基-2-丁基馬來酰亞胺、N-2-羥基-3,3-二曱基-4-丁基馬來酰亞胺、N-1-羥基-3,3-二曱基-1-丁基馬來酰亞胺、N-1-羥基-3,3-二曱基-2-丁基馬來酰亞胺、N-1-羥基-3,3-二曱基-4-丁基馬來酰亞胺等烷基馬來酰亞胺;N-環(huán)丙基馬來酰亞胺、N-環(huán)丁基馬來酰亞胺、N-環(huán)戊基馬來酰亞胺、N-環(huán)己基馬來酰亞胺、N-環(huán)庚基馬來酰亞胺、N-環(huán)辛基馬來酰亞胺、N-2-甲基環(huán)己基馬來酰亞胺、N-2-乙基環(huán)己基馬來酰亞胺、N-2-氯代環(huán)己基馬來酰亞胺等環(huán)烷基馬來酰亞胺;N-苯基馬來酰亞胺、N-2-曱基苯基馬來酰亞胺、N-2-乙基苯基馬來酰亞胺、N-2-氯代苯基馬來酰亞胺等芳基馬來酰亞胺等。這些物質(zhì)中,從透明性及溶解性的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選使用環(huán)烷基馬來酰亞胺進(jìn)一步優(yōu)選使用N-環(huán)己基馬來酰亞胺、N-2-曱基環(huán)己基馬來酰亞胺。這些化合物可單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。(A)成分的主鏈中含有馬來酰亞胺骨架的堿可溶性(曱基)丙烯酸類聚合物中,來源于(曱基)丙烯酸酯的重復(fù)單元(A-2)的含有率,優(yōu)選為20~90質(zhì)量%。20質(zhì)量%以上時可獲得源自(曱基)丙烯酸酯的透明性,90質(zhì)量°/0以下時耐熱性充分。從以上的觀點(diǎn)出發(fā),進(jìn)一步優(yōu)選25~85質(zhì)量%,特別優(yōu)選30~80質(zhì)量%。來源于(曱基)丙烯酸酯的重復(fù)單元(A-2)的結(jié)構(gòu),只要是通式(2)表示的物質(zhì)就沒有特別限制。作為構(gòu)成重復(fù)單元(A-2)原料的(曱基)丙烯酸酯,可列舉例如(曱基)丙烯酸曱酯、(曱基)丙烯酸乙酯、(曱基)丙烯酸丁酯、(曱基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(曱基)丙烯酸丁氧基乙酯、(曱基)丙烯酸異戊酯、(曱基)丙烯酸己酯、(曱基)丙烯酸-2-乙基己酯、(曱基)丙烯酸庚酯、(曱基)丙烯酸辛酯、(曱基)丙烯酸壬酯、(曱基)丙烯酸癸酯、(曱基)丙烯酸十一烷基酯、(曱基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十三烷基酯、(曱基)丙烯酸十四烷基酯、(曱基)丙烯酸十五烷基酯、(曱基)丙烯酸十六烷基酯、(曱基)丙烯酸十八烷基酯、(曱基)丙烯酸二十二烷基酯、(曱基)丙烯酸-2—羥基乙酉旨、(曱基)丙烯酸—2-羥基丙酉旨、(曱基)丙烯酸-3—氯—2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯、曱氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、乙氧基聚乙二醇(曱基)丙烯酸酯、曱氧基聚丙二醇(曱基)丙烯酸酯、乙氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸酯、單(2-(曱基)丙烯酰氧基乙基)琥珀酸酯等脂肪族(甲基)丙烯酸酯;(曱基)丙烯酸環(huán)戊酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(曱基)丙烯酸二環(huán)戊基酯、(曱基)丙烯酸雙環(huán)戊烯基酯、(曱基)丙烯酸異冰片酯、單(2-(曱基)丙烯酰氧基乙基)四氫鄰苯二曱酸酯、單(2-(甲基)丙烯酰氧基乙基)六氬鄰苯二曱酸酯等脂環(huán)式(曱基)丙烯酸酯;(曱基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸笨酯、對聯(lián)苯(曱基)丙烯酸酯、(曱基)丙烯酸-1-萘酯、(曱基)丙烯酸-2-萘酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(曱基)丙烯酸對枯基苯氧基乙酯、(曱基)丙烯酸鄰苯基苯氧基乙酯、(曱基)丙烯酸-l-萘氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-萘氧基乙酯、苯氧基聚乙二醇(曱基)丙烯酸酯、壬基苯氧基聚乙二醇(曱基)丙烯酸酯、苯氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸酯、(曱基)丙烯酸-2-羥基-3-苯氧基丙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基-3-(鄰苯基苯氧基)丙酯、(曱基)丙烯酸-2-羥基一3—(1—萘氧基)丙國旨、(曱基)丙烯酸-2—羥基-3-(2-萘氧基)丙酯等芳香族(曱基)丙烯酸酯;(曱基)丙烯酸2-四氫糠酯、N-甲基丙烯酰氧基乙基六氫鄰苯二曱酰亞胺、2-甲基丙烯酰氧基乙基-N-呼唑等雜環(huán)式(曱基)丙烯酸酯、這些物質(zhì)的己內(nèi)酯改性體等。這些物質(zhì)中從透明性及耐熱性的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選(曱基)丙烯酸曱酯、(曱基)丙烯酸乙酯、(曱基)丙烯酸丁酯、(曱基)丙烯酸-2-乙基己酯等脂肪族(曱基)丙烯酸酯;上述脂環(huán)式(曱基)丙烯酸酯;上述芳香族(曱基)丙烯酸酯;上述雜環(huán)式(曱基)丙烯酸酯。這些化合物可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。(A)成分的主鏈中含有馬來酰亞胺骨架的堿可溶性(曱基)丙烯酸類聚合物中,來源于含有羧基和不飽和乙烯性雙鍵的化合物的重復(fù)單元(A-3)及(A-4)的含有率優(yōu)選為3~60質(zhì)量%。3質(zhì)'量%以上時容易溶解于由堿性水溶液等構(gòu)成的顯影液,60質(zhì)量%以下時,在后述通過顯影選擇性除去感光性樹脂組合物的層來形成圖案的顯影工序中,耐顯影液性(不通過顯影除去而形成圖案的部分,不被顯影液侵損)良好。從以上的觀點(diǎn)出發(fā),進(jìn)一步優(yōu)選5-50質(zhì)量%,特別優(yōu)選10-40質(zhì)量%。來源于含有羧基和乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物的重復(fù)單元(A-3)及(A-4)的結(jié)構(gòu),只要是通式(3)、(4)表示的物質(zhì)就沒有特別限制。作為構(gòu)成重復(fù)單元(A-3)的原料的具有羧基和乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物,可列舉例如(曱基)丙烯酸、馬來酸、富馬酸、巴豆酸、衣康酸、檸康酸、中康酸、肉桂酸等,這些物質(zhì)中,從透明性、堿可溶性的觀點(diǎn)出發(fā)優(yōu)選(曱基)丙烯酸、馬來酸、富馬酸、巴豆酸。另外,也可用馬來酸酐作為原料,聚合后通過曱醇、乙醇、丙醇等適當(dāng)?shù)拇紒黹_環(huán),變成重復(fù)單元(A-3)的結(jié)構(gòu)。這些化合物可單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。作為構(gòu)成重復(fù)單元(A-4)原料的含有羧基和乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物,可列舉例如單(2-(甲基)丙烯酰氧基乙基)琥珀酸酯、單(2-(曱基)丙烯酰氧基乙基)鄰苯二曱酸酯、單(2-(曱基)丙烯酰氧基乙基)間苯二曱酸酯、單(2-(甲基)丙烯酰氧基乙基)對苯二曱酸酯、單(2-(曱基)丙烯酰氧基乙基)四氫鄰苯二曱酸酯、單(2-(曱基)丙烯酰氧基乙基)六氫鄰苯二曱酸酯、單(2-(曱基)丙烯酰氧基乙基)六氫間苯二曱酸酯、單(2-(曱基)丙烯酰氧基乙基)六氫對苯二曱酸酯、co-羧基-聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯、3-乙烯基苯曱酸、4-乙烯基苯曱酸等。這些物質(zhì)中,從透明性、堿可溶性的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選單(2-(曱基)丙烯酰氧基乙基)琥珀酸酯、單(2-(甲基)丙烯酰氧基乙基)四氫鄰苯二甲酸酯、單(2-(曱基)丙烯酰氧基乙基)六氫鄰苯二曱酸酯、單(2-(曱基)丙烯酰氧基乙基)六氫間苯二甲酸酯、單(2-(曱基)丙烯酰氧基乙基)六氬對苯二曱酸酯。這些化合物,可單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。另外,(A)成分的主鏈中含有馬來酰亞胺骨架的堿可溶性(曱基)丙烯酸類聚合物,根據(jù)需要可含有重復(fù)結(jié)構(gòu)(A-l)~(A-4)以外的重復(fù)結(jié)構(gòu)。作為構(gòu)成這些重復(fù)結(jié)構(gòu)原料的含有乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物,沒有特別限制,可列舉例如苯乙烯、a-曱基苯乙烯、乙烯基曱苯、氯乙烯、乙酸乙烯酯、乙烯基吡咬、N-乙烯基吡咯烷酮、N-乙烯基吵唑、丁二烯、異戊二烯、氯丁二烯等。這些物質(zhì)中,從耐熱性、透明性的觀點(diǎn)出發(fā)優(yōu)選使用苯乙烯、cx-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、N-乙烯基啼唑。這些化合物,可單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。(A)成分的主鏈中含有馬來酰亞胺骨架的堿可溶性(曱基)丙烯酸類聚合物,其合成方法沒有特別限制,例如,可通過使用作為重復(fù)單元(A-1)原料的馬來酰亞胺、作為重復(fù)單元(A-2)原料的(曱基)丙烯酸酯以及作為重復(fù)單元(A-3)和/或(A-4)原料的含有羧基和乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物、進(jìn)而根據(jù)需要使用其他含有乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物和適當(dāng)?shù)臒嶙杂苫酆弦l(fā)劑,加熱的同時進(jìn)行共聚來獲得。此時,根據(jù)需要可用有機(jī)溶劑作為反應(yīng)溶劑。作為熱自由基聚合引發(fā)劑,沒有特別限制,可列舉例如曱基乙基酮過氧化物、環(huán)己酮過氧化物、曱基環(huán)己酮過氧化物等酮過氧化物;1,1-雙(叔丁基過氧)環(huán)己烷、1,1-雙(叔丁基過氧)-2-曱基環(huán)己烷、1,1-雙(叔丁基過氧)-3,3,5-三曱基環(huán)己烷、1,1-雙(叔己基過氧)環(huán)己烷、1,1-雙(叔己基過氧)-3,3,5-三甲基環(huán)己烷等過氧化縮酮;對萜烷過氧化氬等過氧化氫;a,a'-雙(叔丁基過氧)二異丙基苯、過氧化二異丙苯、過氧化叔丁基異丙苯、二叔丁基過氧化物等二烷基過氧化物;過氧化辛酰、過氧化月桂酰、過氧化硬脂酰、過氧化苯曱酰等過氧化二酰基;過氧化二碳酸雙(4-叔丁基環(huán)己基)酯、過氧化二碳酸二-2-乙氧基乙酯、過氧化二碳酸二-2-乙基己酯、過氧化碳酸二-3-曱氧基丁酯等過氧化碳酸酯;過氧化新戊酸叔丁基酯、過氧化新戊酸叔己基酯、過氧化-2-乙基己酸l,1,3,3-四曱基丁酯、2,5-二曱基-2,5-雙(2-乙基己?;^氧)己烷、過氧化-2-乙基己S吏叔己酯、過氧化-2-乙基己酸叔丁酯、過氧化異丁酸叔丁酯、叔己基過氧化異丙基單碳酸酯、過氧化-3,3,5,5-三曱基己酸叔丁酯、過氧化月桂酸叔丁酯、叔丁基過氧化異丙基單碳酸酯、叔丁基過氧化-2-乙基己基單碳酸酯、叔己基過氧化苯曱酸酯、2,5-二甲基-2,5-雙(苯甲酰基過氧)己烷、過氧化乙酸A又丁酯等過氧化酯;2,2'-偶氮二異丁腈、2,2'-偶氮雙(2,4-二曱基戊腈)、2,2'-偶氮雙(4-曱氧基-2'-二曱基戊腈)等偶氮化合物。作為用作反應(yīng)溶劑的有機(jī)溶劑,只要是可溶解(A)成分的主鏈中含有馬來酰亞胺骨架的堿可溶性(曱基)丙烯酸類聚合物的有機(jī)溶劑,就沒有特別限制,可列舉例如曱苯、二曱苯、1,3,5-三曱苯、枯烯、對甲基異丙基苯等芳香族烴;四氫呋喃、1,4-二5惡唑等環(huán)狀醚;甲醇、乙醇、異丙醇、丁醇、乙二醇、丙二醇等醇;丙酮、曱基乙基酮、曱基異丁基酮、環(huán)己酮、4-羥基-4-甲基-2-戊酮等酮;乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乳酸曱酯、乳酸乙酯、Y-丁內(nèi)酯等酯;碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯等碳酸酯;乙二醇一曱醚、乙二醇一乙醚、乙二醇一丁醚、乙二醇二曱醚、乙二醇二乙醚、丙二醇一曱醚、丙二醇一乙醚、丙二醇二曱醚、丙二醇二乙醚、二甘醇一曱醚、二甘醇一乙醚、二甘醇一丁醚、二甘醇二曱醚、二甘醇二乙醚等多元醇烷基醚;乙二醇單曱醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、乙二醇單丁醚乙酸酯、丙二醇單曱醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、二甘醇單曱醚乙酸酯、二甘醇單乙醚乙酸酯等多元醇烷基醚乙酸酯;N,N-二曱基曱酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮等酰胺等。這些有機(jī)溶劑,可單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。進(jìn)而,(A)成分的主鏈中含有馬來酰亞胺骨架的堿可溶性(曱基)丙烯酸類聚合物,根據(jù)需要在側(cè)鏈中可含有乙烯性不飽和基團(tuán)。其組成或合成方法沒有特別限制,例如可將含有至少1個乙烯性不飽和基團(tuán)和環(huán)氧基、氧雜環(huán)丁基(oxetanyl)、異氰酸酯基、羥基、羧基等的1個官能團(tuán)的化合物,與上述的(A)(曱基)丙烯酸類聚合物進(jìn)行加成反應(yīng),從而在側(cè)鏈導(dǎo)入乙烯性不飽和基團(tuán)。作為這樣的化合物沒有特別限制,可列舉(曱基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸a-乙基縮水甘油酯、(曱基)丙烯酸a-丙基縮水甘油酯、(曱基)丙烯酸a-丁基縮水甘油酯、(曱基)丙烯酸2-甲基縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸2-乙基縮水甘油酯、(曱基)丙烯酸2-丙基縮水甘油酯、(曱基)丙烯酸3,4-環(huán)氧丁酯、(曱基)丙烯酸3,4-環(huán)氧庚酯、(曱基)丙烯酸a-乙基-6,7-環(huán)氧庚酯、(甲基)丙烯酸3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲酯、鄰乙烯基芐基縮水甘油醚、間乙烯基千基縮水甘油醚、對乙烯基千基縮水甘油醚等含有乙歸性不飽和基團(tuán)和環(huán)氧基的化合物;(曱基)丙烯酸(2-乙基-2-氧雜環(huán)丁基)甲酯、(甲基)丙烯酸(2-曱基-2-氧雜環(huán)丁基)曱酯、(曱基)丙烯酸2-(2-乙基-2-氧雜環(huán)丁基)乙酯、(曱基)丙烯酸2-(2-曱基-2-氧雜環(huán)丁基)乙酯、(曱基)丙烯酸3-(2-乙基-2-氧雜環(huán)丁基)丙酯、(曱基)丙烯酸3-(2-甲基-2-氧雜環(huán)丁基)丙酯等含有乙烯性不飽和基團(tuán)和氧雜環(huán)丁基的化合物;2-甲基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯等含有乙烯性不飽和基團(tuán)和異氰酸酯基的化合物;(曱基)丙烯酸2-羥乙酯、(曱基)丙烯酸2-羥丙酯、(曱基)丙烯酸3-氯-2-羥丙酯、(曱基)丙烯酸2-羥丁酯等含有乙烯性不飽和基團(tuán)和羥基的化合物;(曱基)丙烯酸、巴豆酸、肉桂酸、琥珀酸(2-(曱基)丙烯酰氧基乙基)S旨、(曱基)丙烯酸2-鄰苯二甲酰乙酯、(甲基)丙烯酸2-四氫鄰苯二曱酰乙酯、(曱基)丙烯酸2-六氫鄰苯二曱酰乙酯、w-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯、3-乙烯基苯甲酸、4-乙烯基苯曱酸等含有乙烯性不飽和基團(tuán)和羧基的化合物等。這些物質(zhì)中,從透明性及反應(yīng)性的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選(曱基)丙烯酸縮水甘油酯、(曱基)丙烯酸3,4-環(huán)氧環(huán)己基曱酯、(曱基)丙烯酰氧基乙基異氰酸酯、(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯、(曱基)丙烯酸2-羥基丙酯、(曱基)丙烯酸2-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸、巴豆酸、(曱基)丙烯酸2-六氫鄰苯二曱酰乙酯。這些化合物,可單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。(A)成分的主鏈中含有馬來酰亞胺骨架的堿可溶性(曱基)丙烯酸類聚合物的重均分子量優(yōu)選為1,000~3,000,000。1,000以上時,由于分子量大而作為樹脂組合物時的固化物的強(qiáng)度充分,3,000,000以下時,對于由堿性水溶液構(gòu)成的顯影液的溶解性或與(B)聚合性化合物的相溶性良好。從以上的觀點(diǎn)出發(fā)進(jìn)一步優(yōu)選為3,000~2,000,000,特別優(yōu)選為5,000~1,000,000。另外,本發(fā)明的重均分子量是通過凝膠滲透色普法(GPC)測定、進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯換算的值。(A)成分的主鏈中含有馬來酰亞胺骨架的堿可溶性(曱基)丙烯酸類聚合物,可規(guī)定酸值使得在后述通過顯影來選擇性除去感光性樹脂組合物的層而形成圖案的工序中,可通過公知的各種顯影液進(jìn)行顯影。例如,在使用碳酸鈉、碳酸鉀、氫氧化四甲基銨、三乙醇胺等堿性水溶液進(jìn)行顯影時,優(yōu)選酸值為20~300mgKOH/g。20mgKOH/g以上時顯影容易,300mgKOH/g以下時沒有耐顯影液性降低的情況。從以上的觀點(diǎn)出發(fā),進(jìn)一步優(yōu)選30-250mgKOH/g,特別優(yōu)選40~200mgKOH/g。使用包含水或堿性水溶液和1種以上的表面活性劑的堿性水溶液進(jìn)行顯影時,優(yōu)選酸值為10~260mgKOH/g。酸值為10mgKOH/g以上時容易顯影,260mgKOH/g以下時沒有耐顯影液性降低的情況。從以上的觀點(diǎn)出發(fā),進(jìn)一步優(yōu)選20~250mgKOH/g,特別優(yōu)選30~200mgKOH/g。(A)成分的配合量,相對于(A)成分及(B)成分的總量,優(yōu)選為10~85質(zhì)量%。10質(zhì)量%以上時,光學(xué)材料用樹脂組合物的固化物的強(qiáng)度或可撓性充分,85質(zhì)量%以下時,曝光時通過(B)成分聚合進(jìn)入而容易固化,沒有耐顯影液性不足的情況。從以上的觀點(diǎn)出發(fā),進(jìn)一步優(yōu)選20~80質(zhì)量%,特別優(yōu)選25~75質(zhì)量%。以下,對本發(fā)明所使用的(B)成分進(jìn)行說明。作為(B)成分的聚合性化合物,只要是通過加熱或紫外線等照射進(jìn)行聚合的化合物,就沒有特別限制,可適合列舉例如含有乙烯性不飽和基團(tuán)等聚合性取代基的化合物。具體地說,可列舉(曱基)丙烯酸酯、偏卣代乙烯、乙烯醚、乙烯酯、乙烯基吡啶、乙烯酰胺、芳基化乙烯等,這些物質(zhì)從透明性的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選(曱基)丙烯酸酯或芳基化乙烯。作為(曱基)丙烯酸酯,可使用1官能(曱基)丙烯酸酯、2官能(甲基)丙烯酸酯或多官能(甲基)丙烯酸酯的任一種。作為1官能(曱基)丙烯酸酯,可列舉例如(曱基)丙烯酸曱酯、(曱基)丙烯酸乙酯、(曱基)丙烯酸丁酯、(曱基)丙烯酸異丁酯、(曱基)丙烯酸叔丁酯、(曱基)丙烯酸丁氧基乙酯、(曱基)丙烯酸異戊酯、(曱基)丙烯酸己酯、(曱基)丙烯酸2-乙基己酯、(曱基)丙烯酸庚酯、(曱基)丙烯酸辛基庚酯、(曱基)丙烯酸壬酯、(曱基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸十一烷基酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(曱基)丙烯酸十三烷基酯、(曱基)丙烯酸十四烷基酯、(甲基)丙烯酸十五烷醇酯、(甲基)丙烯酸十六烷基酯、(曱基)丙烯酸十八烷基酯、(甲基)丙烯酸二十二烷基酯、(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯、(曱基)丙烯酸2-羥基丙酯、(曱基)丙烯酸-3-氯-2-羥基丙酯、(曱基)丙烯酸-2-羥基丁酯、曱氧基聚乙二醇(曱基)丙烯酸酯、乙氧基聚乙二醇(曱基)丙烯酸酯、曱氧基聚丙二醇(曱基)丙烯酸酯、乙氧基聚丙二醇(曱基)丙烯酸酯、單(2-(曱基)丙烯酰氧基乙基)琥珀酸酯等脂肪族(曱基)丙烯酸酯;(曱基)丙烯酸環(huán)戊酯、(曱基)丙烯酸環(huán)己酯、(曱基)丙烯酸環(huán)戊酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊基酯、(曱基)丙烯酸雙環(huán)戊烯酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、單(2-(曱基)丙烯酰氧基乙基)四氫鄰苯二曱酸酯、單(2-(曱基)丙烯酰氧基乙基)六氬鄰苯二曱酸酯等脂環(huán)式(曱基)丙烯酸酯;(曱基)丙烯酸千酯、(曱基)丙烯酸苯酯、對聯(lián)苯(曱基)丙烯酸酯、(曱基)丙烯酸-1-萘酯、(曱基)丙烯酸-2-萘酯、(曱基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸對枯基苯氧基乙酯、(曱基)丙烯酸鄰苯基苯氧基乙酯、(曱基)丙烯酸-1-萘氧基乙酯、(曱基)丙烯酸-2-萘氧基乙酯、苯氧基聚乙二醇(曱基)丙烯酸酯、壬基苯氧基聚乙二醇(曱基)丙烯酸酯、苯氧基聚丙二醇(曱基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基-3-苯氧基丙酯、(曱基)丙烯酸-2-羥基-3-(鄰苯基苯氧基)丙酯、(曱基)丙烯酸-2-羥基-3-(l-萘氧基)丙酯、(曱基)丙烯酸-2-羥基-3-(2-萘氧基)丙酯等芳香族(甲基)丙烯酸酯;(曱基)丙烯酸四氫糠酯、N-曱基丙烯酰氧基乙基六氫鄰苯二曱酰亞胺、2-甲基丙烯酰氧基乙基-N-咔唑等雜環(huán)式(甲基)丙烯酸酯、這些物質(zhì)的己內(nèi)酯改性體等。這些物質(zhì)中,從透明性及耐熱性的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選上述脂環(huán)式(曱基)丙烯酸酯;上述芳香族(曱基)丙烯酸酯;上述雜環(huán)式(曱基)丙烯酸酯。作為2官能(曱基)丙烯酸酯,可列舉例如乙二醇二(曱基)丙烯酸酯、二甘醇二(曱基)丙烯酸酯、三甘醇二(曱基)丙烯酸酯、四甘醇二(曱基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(曱基)丙烯酸酯、丙二醇二(曱基)丙烯酸酯、二丙二醇二(曱基)丙烯酸酯、三丙二醇二(曱基)丙烯酸酯、四丙二醇二(曱基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化聚丙二醇二(曱基)丙烯酸酯、二(曱基)丙烯酸-1,3-丁二醇酯、二(曱基)丙晞酸-1,4-丁二醇酯、二(曱基)丙烯酸新戊二醇酯、二(曱基)丙烯酸-3-曱基-1,5-戊二醇酯、二(曱基)丙烯酸-1,6-己二醇酯、二(曱基)丙烯酸-2-丁基-2-乙基-1,3-丙二醇酯、二(曱基)丙烯酸-1,9-壬二醇酯、二(曱基)丙烯酸-1,10-癸二醇酯、二(曱基)丙烯酸甘油酯、(曱基)丙烯酸三環(huán)癸烷二曱醇酯、二(曱基)丙烯酸酯乙氧基化2-曱基-1,3-丙二醇酯等脂肪族(曱基)丙烯酸酯;(曱基)丙烯酸環(huán)己烷二曱醇酯、(曱基)丙烯酸乙氧基化環(huán)己烷二曱醇酯、(甲基)丙烯酸丙氧基化環(huán)己烷二曱醇酯、(甲基)丙烯酸乙氧基化丙氧基化環(huán)己烷二曱醇酯、(曱基)丙烯酸三環(huán)癸烷二曱醇酯、(曱基)丙烯酸乙氧基化三環(huán)癸烷二甲醇酯、(甲基)丙烯酸丙氧基化三環(huán)癸烷二曱醇酯、(曱基)丙烯酸乙氧基化丙氧基化三環(huán)癸烷二曱醇酯、乙氧基化加氬雙酚A二(曱基)丙烯酸酯、丙氧基化加氫雙酚A二(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化丙氧基化加氫雙酚A二(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化加氫雙酚F二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化加氫雙酚F二(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化丙氧基化加氬雙酚F二(曱基)丙烯酸酯等脂環(huán)式(曱基)丙烯酸酯;乙氧基化雙酚A二(曱基)丙烯酸酯、丙氧基化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化丙氧基化雙酚A二(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化雙酚F二(曱基)丙烯酸酯、丙氧基化雙酚F二(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化丙氧基化雙酚F二(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化雙酚AF二(曱基)丙烯酸酯、丙氧基化雙酚AF二(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化丙氧基化雙酚AF二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化芴型二(曱基)丙烯酸酯、丙氧基化芴型二(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化丙氧基化藥型二(曱基)丙烯酸酯等芳香族(曱基)丙烯酸酯;乙氧基化異氰尿酸二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化異氰尿酸二(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化丙氧基化異氰尿酸二(曱基)丙烯酸酯等雜環(huán)式(曱基)丙烯酸酯;這些物質(zhì)的己內(nèi)酯改性體;新漢二醇型環(huán)氧(曱基)丙烯酸酯等脂肪族環(huán)氧(曱基)丙烯酸酯;環(huán)己烷二曱醇型環(huán)氧(曱基)丙烯酸酯、加氫雙酚A型環(huán)氧(曱基)丙烯酸酯、加氫雙酚F型環(huán)氧(曱基)丙烯酸酯等脂環(huán)式環(huán)氧(甲基)丙烯酸酯;間苯二酚型環(huán)氧(曱基)丙烯酸酯、雙酚A型環(huán)氧(曱基)丙烯酸酯、雙酚F型環(huán)氧(甲基)丙烯酸酯、雙酚AF型環(huán)氧(甲基)丙烯酸酯、芴型環(huán)氧(曱基)丙烯酸酯等芳香族環(huán)氧(曱基)丙烯酸酯等。這些物質(zhì)中,從透明性及耐熱性的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選上述脂環(huán)式(甲基)丙烯酸酯;上述芳香族(甲基)丙烯酸酯;上述雜環(huán)式(曱基)丙烯酸酯;上述脂環(huán)式環(huán)氧(曱基)丙烯酸酯;上述芳香族環(huán)氧(曱基)丙烯酸酯。作為3官能團(tuán)以上的多官能(曱基)丙烯酸酯,可列舉例如三羥曱基丙烷三(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化三羥曱基丙烷三(曱基)丙烯酸酯、丙氧基化三羥曱基丙烷三(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化丙氧基化三羥曱基丙烷三(曱基)丙烯酸酯、季戊四醇三(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化季戊四醇三(曱基)丙烯酸酯、丙氧基化季戊四醇三(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化丙氧基化季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化季戊四醇四(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化丙氧基化季戊四醇四(曱基)丙烯酸酯、雙三羥曱基丙烷四(曱基)丙烯酸酯、.六(曱基)丙烯酸二季戊四醇酯等脂肪族(曱基)丙烯酸酯;乙氧基化異氰尿酸三(曱基)丙烯酸酯、丙氧基化異氰尿酸三(曱基)丙烯酸酯、乙氧基化丙氧基化異氰尿酸三(甲基)丙烯酸酯等雜環(huán)式(曱基)丙烯酸酯;這些物質(zhì)的己內(nèi)酯改性體;苯酚線型酚醛清漆型乙氧(曱基)丙烯酸酯;曱酚線型酚醛清漆型乙氧(曱基)丙烯酸酯等芳香族乙氧(甲基)丙烯酸酯。這些物質(zhì)中從透明性及耐熱性的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選雜環(huán)式(曱基)丙烯酸面旨;芳香族乙氧(曱基)丙烯酸酯。這些化合物,可單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用,進(jìn)而可與其他的聚合性化合物組合使用。另外,作為(B)成分的聚合性化合物,從耐熱性的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選使用l種以上的分子中包含選自脂環(huán)結(jié)構(gòu)、芳基、芳氧基及芳烷基組成的組中的至少1種基團(tuán)和乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物。具體地說,可列舉包含選自脂環(huán)結(jié)構(gòu)、芳基、芳氧基及芳烷基組成的組中的至少l種基團(tuán)的(曱基)丙烯酸或N-乙烯基。卡唑等。另外,所謂芳基是表示例如苯基、萘基等芳香族烴基、??ㄟ蚧确枷阕咫s環(huán)式基團(tuán)。更具體地說,作為(B)成分的聚合性化合物,優(yōu)選使用下述通式(5)~(8)表示的化合物中的至少1種?;蛘?,作為(B)成分的聚合性化合物,更優(yōu)選使用下述通式(5)~(8)表示的含有芳基和乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物中的至少1種。O(式中,Ar表示r"廣r幼^JMf^加,,<0^^^.O^Y^Or"中的任一個基團(tuán)。乂2表示O(氧原子)、S(硫原子)、OCH2、SCH2、O(CH2CH20)a、0[CH2CH(CH3)0]b、OCH2CH(OH)CH20中的任一個2價基團(tuán)。Y1表示[化7]CH2,C(CH3)a..^^J^^,CF2.C(CF3)2.0,S,S02中的任一個2價基團(tuán)。1113表示氫原子、甲基的任一個。R"R^分別獨(dú)立地表示氫原子、氟原子、碳原子數(shù)1~20有機(jī)基團(tuán)、碳原子數(shù)1~20的含氟有機(jī)基團(tuán)的任一個。a和b分別獨(dú)立地表示1~20的整數(shù),c表示210的整數(shù)。)中的任一個基團(tuán);1132~1134分別獨(dú)立地表示氫原子、曱基的任一個。d表示1~IO的整數(shù)。)[化10](7)(式中,X3及X4分別獨(dú)立地表示0、S、0(CH2CH20)e、0[CH2CH(CH3)0]f的任一個2價基團(tuán),f表示[化ii]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage24</formula>中的任一個2價基團(tuán)。R"及R恥分別獨(dú)立地表示氫原子、曱基的任一個。R"R"分別獨(dú)立地表示氫原子、氟原子、碳原子數(shù)1~20有機(jī)基團(tuán)、碳原子數(shù)1~20的含氟有機(jī)基團(tuán)的任一個。e和f分別獨(dú)立地表示l20的整數(shù),g表示210的整數(shù)。)[化12](式中,R"表示化9]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage24</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula>(8)(式中,ys表示-2_羥基—2—曱基一l-丙烷-1-酮等a-羥基酮;2-,基-2-二曱基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁烷-1-酮、1,2-曱基-1-[4-(曱硫基)苯基]-2-嗎啉代丙烷—1—酉同等oc-氛基酉同;l一[(4一笨石克基)笨基]—1,2—辛二酉同一2—(苯^f禺酰)肟等肟酯;雙(2,4,6-三曱氧基苯曱?;?苯基膦氧化物、雙(2,6-二曱氧基苯曱?;?-2,4,4-三曱基戊基膦氧化物、2,4,6-三曱基苯曱?;交⒀趸锏褥⒀趸铮?-(鄰氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰氯苯基)-4,5-(二曱氧基苯基)咪唑二聚物、2-(鄰氟苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰曱氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(對曱氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物等2,4,5-三芳基咪唑二聚物;二苯曱酮、N,N'-四甲基-4,4'-二氨基二苯甲酮、N,N'-四乙基-4,4'-二氨基二苯曱酮、4-曱氧基-4'-二曱基氨基二苯曱酮等二苯曱酮化合物;2-乙基蒽酮、菲醌、2-叔丁基蒽酮、八曱基蒽酮、1,2-苯并蒽酮、2,3-苯并蒽酮、2-苯基蒽酮、2,3-二苯基蒽酮、1-氯蒽酮、2-曱基蒽酮、1,4-萘醌、9,10-菲醌、2-曱基-1,4-萘醌、2,3-二曱基蒽酮等醌化合物;苯偶姻曱醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻苯基醚等苯偶姻醚;苯偶姻、曱基苯偶姻、乙基苯偶姻等苯偶姻化合物;苯偶酰二曱基縮酮等苯偶酰化合物;9-苯基吖"定、1,7-雙(9,9'-吖啶基庚烷)等吖啶化合物;N-苯基甘氨酸、香豆素等。另外,在上述2,4,5-三芳基咪唑二聚物中,2個三芳基咪唑部位的芳基的取代基,可給予相同而對稱的化合物,也可給予不同而不對稱的化合物。另外,也可組合p塞噸酮化合物和叔胺,如二乙基噻噸酮和二曱氨基苯曱酸的組合。這些物質(zhì)中,從固化性、透明性及耐熱性的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選上述ot-羥基酮;上述膦氧化物。這些熱及光自由基聚合引發(fā)劑,可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。進(jìn)而,可與適當(dāng)?shù)脑龈袆┙M合使用。另外,使用環(huán)氧樹脂作為(B)成分的聚合性化合物時,作為(C)成分的聚合引發(fā)劑,可列舉熱陽離子聚合引發(fā)劑或光陽離子聚合引發(fā)劑等,從固化速度快、可常溫固化出發(fā),優(yōu)選光陽離子聚合引發(fā)劑。作為熱陽離子聚合引發(fā)劑,可列舉例如對烷氧基苯基芐基曱基锍六氟銻酸鹽等千基锍鹽;芐基-對氰基吡啶六氟銻酸鹽、1-萘?xí)趸?鄰氰基吡啶六氟銻酸鹽、肉桂基-鄰氰基吡啶六氟銻酸鹽等吡啶鹽;芐基二甲基苯基銨六氟銻酸鹽等千基銨鹽等。這些物質(zhì)中,從固化性、透明性及耐熱性的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選上述卡基锍鹽。作為光陽離子聚合引發(fā)劑,可列舉例如對曱氧基苯二氮名肯六氟磷酸鹽等芳基二氮臂l鹽,二苯基碘4翁六氟磷酸鹽、二苯基碘萄t六氟銻酸鹽等二芳基碘4翁鹽;三苯基锍六氟磷酸鹽、三苯基锍六氟銻酸鹽、二苯基-4-硫代苯氧基苯基锍六氟磷酸鹽、二苯基-4-硫代苯氧基苯基锍六氟銻酸鹽、二苯基-4-硫代苯氧基苯基锍五氟羥基銻酸鹽等三芳基锍鹽;三苯基偭六氟磷酸鹽、三苯基棲四氟硼酸鹽、三苯基銦六氟銻酸鹽等三芳基棲鹽;二甲基苯曱酰甲基锍六氟銻酸鹽、二乙基苯曱酰曱基锍六氟銻酸鹽等二烷基苯曱酰曱基锍鹽;4-羥基苯基二曱基锍六氟銻酸鹽、4-羥基苯基千基曱基锍六氟銻酸鹽等二烷基-4-羥基鹽;a-羥曱基苯偶因磺酸酯、N-羥基酰亞胺磺酸鹽、a-磺酰氧基酮、卩-磺酰氧基酮等磺酸酯等。這些物質(zhì)中,從固化性、透明性及耐熱性的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選上述三芳基锍鹽;這些熱及光自由基聚合引發(fā)劑,可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。進(jìn)而,可與適當(dāng)?shù)脑龈袆┙M合使用。(C)成分的聚合引發(fā)劑的配合量,相對于(A)成分和(B)成分的總量100質(zhì)量份,優(yōu)選為0.1~10質(zhì)量份。O.l質(zhì)量份以上時,固化充分,10質(zhì)量份以下時,可得到充分的光透過性。從以上的觀點(diǎn)出發(fā),進(jìn)一步優(yōu)選0.3-7質(zhì)量份,特別優(yōu)選0.55質(zhì)量份。并且,另外根據(jù)需要,在本發(fā)明的光學(xué)材料用樹脂組合物中,可以不給予本發(fā)明效果不良影響的比例來添加抗氧化劑、變黃防止劑、紫外線吸收劑、可見光吸收劑、著色劑、增塑劑、穩(wěn)定劑、填充劑等所謂添加劑。以下,對本發(fā)明的光學(xué)材料用樹脂組合物進(jìn)行說明。本發(fā)明的光學(xué)材料用樹脂組合物,可使用適當(dāng)?shù)挠袡C(jī)溶劑進(jìn)行稀釋,作為光學(xué)材料用樹脂清漆使用。作為這里使用的有機(jī)溶劑,只要是能溶解該樹脂組合物的溶劑就沒有特別限制,可列舉例如曱苯、二曱苯、1,3,5-三曱苯、枯烯、對甲基異丙基苯等芳香族烴;四氫呋喃、1,4-二惡唑等環(huán)狀醚;甲醇、乙醇、異丙醇、丁醇、乙二醇、丙二醇等醇;丙酮、曱基乙基酮、曱基異丁基酮、環(huán)己酮、4-羥基-4-曱基-2-戊西同等酮;乙酸曱酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乳酸曱酯、乳酸乙酯、Y-丁內(nèi)酯等酯;碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯等碳酸酯;乙二醇一曱醚、乙二醇一乙醚、乙二醇一丁醚、乙二醇二曱醚、乙二醇二乙醚、丙二醇一曱醚、丙二醇一乙醚、丙二醇二曱醚、丙二醇二乙醚、二甘醇一曱醚、二甘醇一乙醚、二甘醇一丁醚、二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚等多元醇烷基醚;乙二醇單曱醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、乙二醇單丁醚乙酸酯、丙二醇單曱醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、二甘醇單曱醚乙酸酯、二甘醇單乙醚乙酸酯等多元醇烷基醚乙酸酯;N,N'-二曱基甲酰胺、N,N'-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮等酰胺等。這些溶劑中,從溶解性及沸點(diǎn)的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選曱苯、曱醇、乙醇、異丙醇、丙酮、曱基乙基酮、曱基異丁基酮、環(huán)己酮、乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乳酸曱酯、乳酸乙酯、乙二醇一曱醚、乙二醇一乙醚、丙二醇一曱醚、丙二醇一乙醚、二甘醇二曱醚、乙二醇單曱醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、N,N'-二曱基乙酰胺。這些有機(jī)溶劑,可單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。另外,樹脂清漆中的固體成分濃度通常優(yōu)選為20~80質(zhì)量%。調(diào)和光學(xué)材料用樹脂清漆時,優(yōu)選通過攪拌進(jìn)行混合。對于攪拌方法沒有特別限制,從攪拌效率的觀點(diǎn)出發(fā)優(yōu)選使用螺旋槳進(jìn)行攪拌。進(jìn)行攪拌時的螺旋槳的旋轉(zhuǎn)速度沒有特別限制,優(yōu)選101000轉(zhuǎn)。IO轉(zhuǎn)以上時,可使(A)~(C)成分以及有機(jī)溶劑的各成分充分混合,1000轉(zhuǎn)以下時,由于螺旋槳的旋轉(zhuǎn)引起的氣泡的巻入變少。從以上的觀點(diǎn)出發(fā),更優(yōu)選50800轉(zhuǎn),特別優(yōu)選100~500轉(zhuǎn)。對于攪拌時間沒有特別限制,優(yōu)選1~24小時。l小時以上時,可使(A)~(C)成分以及有機(jī)溶劑的各成分充分混合,24小時以下時,可縮短清漆調(diào)合時間。調(diào)合的光學(xué)材料用樹脂清漆,優(yōu)選使用孔徑50pm以下的過濾器進(jìn)行過濾??讖?0^im以下時,可除去大的異物等,清漆涂布時不發(fā)生排斥等,另外可抑制傳送芯部的光的散射。從以上的觀點(diǎn)出發(fā),更優(yōu)選使用孔徑30iam以下的過濾器進(jìn)行過濾,特別優(yōu)選使用孔徑lOiim以下的過濾器進(jìn)行過濾。調(diào)合的光學(xué)材料用樹脂清漆,優(yōu)選在減壓下進(jìn)行脫氣泡。脫氣泡方法沒有特別限制,作為具體例可使用真空泵和鐘形罩、帶有真空裝置的脫氣泡裝置。減壓時的壓力沒有特別限制,優(yōu)選不使樹脂清漆中含有的有機(jī)溶劑沸騰的壓力。減壓脫泡時間沒有特別限制,優(yōu)選360分鐘。3分鐘以上時,可除去樹脂清漆內(nèi)溶解的氣泡。60分鐘以下時,樹脂清漆中含有的有機(jī)溶劑不揮發(fā)。將本發(fā)明的包含(A)主鏈中含有馬來酰亞胺骨架的堿可溶性(曱基)丙烯酸類聚合物、(B)聚合性化合物和(C)聚合引發(fā)劑的光學(xué)材料用樹脂組合物進(jìn)行聚合、固化形成的固化薄膜,其在溫度25"C波長830nm的折射率優(yōu)選為1.400-1.700。為1.400-1.700時,與通常的光學(xué)樹脂的折射率差別不大,因此不損害作為光學(xué)材料的通用性。從以上的觀點(diǎn)出發(fā),進(jìn)一步優(yōu)選為1.425~1.675,特別優(yōu)選為1.450~1.650。將本發(fā)明的包含(A)主鏈中含有馬來酰亞胺骨架的堿可溶性(曱基)丙烯酸類聚合物、(B)聚合性化合物和(C)聚合引發(fā)劑的光學(xué)材料用樹脂組合物進(jìn)行聚合、固化形成的厚度50|im的固化薄膜,其在波長400nm的透過率為80%以上。80%以上時,光的透過量充分。從以上的觀點(diǎn)出發(fā)進(jìn)一步優(yōu)選85%以上。另外,關(guān)于透過率的上限沒有特別限制。以下,對本發(fā)明的光學(xué)材料用樹脂薄膜進(jìn)行說明。本發(fā)明的光學(xué)材料用樹脂薄膜,由上述光學(xué)材料用樹脂組合物構(gòu)成,通過將含有上述(A)~(C)成分的光學(xué)材料用樹脂清漆涂布于合適的基材薄膜,除去溶劑可容易地進(jìn)行制造。另外,也可將光學(xué)材料用樹脂組合物直接涂布于基材薄膜上來制造。作為基材薄膜,沒有特別限制,可列舉例如聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯;聚乙烯、聚丙烯等聚烯烴;聚碳酸酯、聚酰胺、聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺、聚醚酰亞胺、聚醚硫化物、聚醚砜、聚醚酮、聚苯醚、聚苯醚硫化物、聚芳酯、聚砜、液晶聚合物等。這些物質(zhì)中,從柔軟性及韌性的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選聚對苯二曱酸乙二醇酯、聚對苯二曱酸丁二醇酯、聚萘二曱酸乙二醇酯、聚丙烯、聚碳酸酯、聚酰胺、聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺、聚苯醚、聚苯醚硫化物、聚芳酯、聚砜?;谋∧さ暮穸?,可根據(jù)作為目標(biāo)的柔軟性進(jìn)行適當(dāng)改變,優(yōu)選3~250pm。31im以上時薄膜強(qiáng)度充分,250pm以下時可獲得充分的柔軟性。從以上的觀點(diǎn)出發(fā),進(jìn)一步優(yōu)選5~200|im,特別優(yōu)選7~150|im。另外,從提高與樹脂層的剝離性的觀點(diǎn)出發(fā),可根據(jù)需要使用通過聚硅氧烷類化合物、含氟化合物等進(jìn)行脫模處理的薄膜。在基材薄膜上涂布光學(xué)材料用樹脂清漆或光學(xué)材料用樹脂組合物制造的光學(xué)材料用樹脂薄膜,根據(jù)需要可將保護(hù)薄膜貼在樹脂層上,制成由基材薄膜、樹脂層及保護(hù)薄膜構(gòu)成的3層結(jié)構(gòu)。作為保護(hù)薄膜,沒有特別限制,可列舉例如聚對苯二曱酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯;聚乙烯、聚丙烯等聚烯烴等。這些物質(zhì)中,從柔軟性及韌性的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選聚對苯二曱酸乙二醇酯等聚酯;聚乙烯、聚丙烯等聚烯烴。另外,從提高與樹脂層的剝離性的觀點(diǎn)出發(fā),可根據(jù)需要使用通過聚硅氧烷類化合物、含氟化合物等進(jìn)行脫模處理的薄膜。保護(hù)薄膜的厚度,可根據(jù)作為目標(biāo)的柔軟性進(jìn)行適當(dāng)改變,優(yōu)選10250(im。lO(am以上時薄膜強(qiáng)度充分,250(im以下時可獲得充分的柔軟性。從以上的觀點(diǎn)出發(fā),進(jìn)一步優(yōu)選15~200pin,特別優(yōu)選20~150pm。對于本發(fā)明的光學(xué)材料用樹脂薄膜的樹脂層的厚度沒有特別限定,干燥后的厚度通常優(yōu)選為5~500|nm。5inm以上時,由于厚度充分因而樹脂薄膜或該薄膜的固化物的強(qiáng)度充分,500pm以下時,由于可充分進(jìn)行干燥,樹脂薄膜中的殘留溶劑量不增加,加熱該薄膜的固化物時不發(fā)泡。這樣得到的光學(xué)材料用樹脂薄膜,例如通過巻曲成巻狀可容易地保存。另外,可將巻狀的薄膜切出合適的尺寸,制成片狀來保存。本發(fā)明的光學(xué)材料用樹脂組合物,作為光波導(dǎo)形成用樹脂組合物是適合的,同樣本發(fā)明的光學(xué)材料用樹脂薄膜,作為光波導(dǎo)形成用樹脂薄膜是適合的。以下,對本發(fā)明的光波導(dǎo)進(jìn)行說明。圖1的(a)表示光波導(dǎo)的截面圖。光波導(dǎo)1形成于基板5上,由高折射率的芯部形成用樹脂組合物構(gòu)成的芯部2、以及由低折射率的包層形成用樹脂組合物構(gòu)成的下部包層4和上部包層3構(gòu)成。本發(fā)明的光學(xué)材料用樹脂組合物及光學(xué)材料用樹脂薄膜,優(yōu)選用于光波導(dǎo)l的下部包層4、芯部2及上部包層3中的至少一個。其中,從可通過包含石咸性水溶性的顯影液形成圖案的觀點(diǎn)出發(fā),進(jìn)一步優(yōu)選至少用于這些部分中的芯部2。通過使用光學(xué)材料用樹脂薄膜,可進(jìn)一步提高包層和芯層的層間密合性或光波導(dǎo)芯圖案形成時的圖案形成性(細(xì)線或狹窄線間對應(yīng)性),并可形成線寬或線間小的微細(xì)圖案。另外,可提供能一次制造大面積的光波導(dǎo)的生產(chǎn)率優(yōu)異的工藝。在光波導(dǎo)1中,作為基板5可使用硅基板、玻璃基板或FR-4等玻璃環(huán)氧樹脂基板這樣的硬基板。光波導(dǎo)l,也可使用具有柔軟性和韌性的上述基材薄膜代替上述基板,制成撓性光波導(dǎo)。另外,作為基板5使用具有柔軟性和韌性的上述基材薄膜時,使基板5具有作為光波導(dǎo)1的保護(hù)薄膜的功能。通過配制保護(hù)薄膜5,可賦予光波導(dǎo)1保護(hù)薄膜5的柔軟性和韌性。另外,光波導(dǎo)1不會被弄臟或受損,因此操作容易度提高。從以上的觀點(diǎn)出發(fā),可以如圖1(b)那樣將保護(hù)薄膜5配制于上部包層3的外側(cè),也可以如圖(c)那樣將保護(hù)薄膜5配制于下部包層4和上部包層3這兩者的外側(cè)。如果光波導(dǎo)1具有充分的柔軟性或韌性,也可以如圖(d)那樣,不配制保護(hù)薄膜5。下部包層4的厚度沒有特別限制,優(yōu)選為2~200pm。2pm以上時容易將傳送光封閉于芯內(nèi)部,2001im以下時,光波導(dǎo)1整體的厚度不會過大。這里,所謂下部包層4的厚度,是從芯部2與下部包層4界面開始到下部包層4的下面為止的值。下部包層形成用樹脂薄膜的厚度沒有特別限制,可按照使固化后的下部包層4的厚度在上述范圍內(nèi)來調(diào)整厚度。芯部2的高度沒有特別限制,優(yōu)選10100pm。芯部的高度為10pm以上時,與光波導(dǎo)形成后的發(fā)光元件或光纖的結(jié)合中的位置重合公差(tolerance)變小,100pm以下時,在與光波導(dǎo)形成后的發(fā)光元件或光纖的結(jié)合中,結(jié)合效率不會變小。從以上的觀點(diǎn)出發(fā),芯部的高度進(jìn)一步優(yōu)選為1580(im,特別優(yōu)選為20-70^im。另外,芯部形成用樹脂薄膜的厚度沒有特別限制,可按照使固化后的芯部高度在上述范圍內(nèi)來調(diào)整厚度。上部包層3的厚度,只要是可埋入芯部2的范圍就沒有特別限制,干燥后的厚度優(yōu)選為12~500pm。作為上部包層3的厚度,可以與最初所形成的下部包層4的厚度相同或不同,從埋入芯部2的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選比下部包層4的厚度厚。這里,所謂上部包層3的厚度,是從芯部2與下部包層4的界面開始到上部包層3的上面為止的值。在本發(fā)明的光波導(dǎo)中,光傳輸損失優(yōu)選為0.3dB/cm以下。0.3dB/cm以下時,光的損失變小,傳送信號的強(qiáng)度充分。從以上的觀點(diǎn)出發(fā)進(jìn)一步優(yōu)選為0.2dB/cm以下。另外,在本發(fā)明的光波導(dǎo)中,實(shí)施3次最高溫度265。C的回流試驗(yàn)后的光傳輸損失優(yōu)選為0.3dB/cm以下。0.3dB/cm以下時,光的損失變小,傳送信號的強(qiáng)度充分的同時,可通過回流工藝進(jìn)行部件安裝,因此適用范圍變廣。這里,所謂最高溫度265。C的回流試驗(yàn)是按照J(rèn)EDEC規(guī)格(JEDECJESD22A113E)的條件進(jìn)行的無鉛焊料回流試驗(yàn)。以下,對于使用本發(fā)明的光學(xué)材料用樹脂薄膜作為最適合用途的光波導(dǎo)形成用樹脂薄膜時的應(yīng)用例進(jìn)行說明。光波導(dǎo)形成用樹脂薄膜,也可通過與上述光學(xué)材料用樹脂薄膜同樣的方法制造。另外,作為在芯部形成用樹脂薄膜的制造過程中所使用的基材,只要是后述的芯圖案形成中使用的透過曝光用活性光線的物質(zhì)就沒有限制,可列舉例如聚對苯二曱酸乙二醇酯、聚對苯二曱酸丁二醇酯、聚萘二曱酸乙二醇酯等聚酯;聚乙烯、聚丙烯等聚烯烴;聚碳酸酯、聚苯醚、聚芳酯等。其中,從曝光用活性光線的透過率、柔軟性及韌性的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選聚對苯二曱酸乙二醇酯、聚對苯二曱酸丁二醇酯等聚酯;聚丙烯等聚烯烴。進(jìn)而,從提高曝光用活性光線的透過率和降低芯圖案的側(cè)壁粗糙的觀點(diǎn)出發(fā),進(jìn)一步優(yōu)選使用高透明型基材薄膜。作為這樣的高透明型基材薄膜,可列舉東洋紡織抹式會社制造的CosmoShineA1517、CosmoShineA4100。另外,從提高與樹脂層的剝離性的觀點(diǎn)出發(fā),可根據(jù)需要使用通過聚硅氧烷系化合物、含氟化合物等進(jìn)行脫模處理的薄膜。芯部形成用樹脂薄膜的基材薄膜的厚度優(yōu)選為5~50|im。5jim以上時,作為支持體的強(qiáng)度充分,501im以下時,芯圖案形成時光掩模與芯部形成用樹脂組合物層的空隙不變大,圖案形成性良好。從以上的觀點(diǎn)出發(fā),進(jìn)一步優(yōu)選基材薄膜的厚度為1040jim,特別優(yōu)選1530(xm。在上述基材薄膜上涂布光波導(dǎo)形成用樹脂清漆或光波導(dǎo)形成用樹脂組合物制造的光波導(dǎo)形成用樹脂薄膜,可根據(jù)需要將上述保護(hù)薄膜粘貼在樹脂層上,制成由基材薄膜、樹脂層及保護(hù)薄膜構(gòu)成的3層結(jié)構(gòu)。這樣得到的光波導(dǎo)形成用樹脂薄膜,例如通過巻繞成巻狀可容易地保存。另外,也可將巻狀的薄膜剪切為適當(dāng)?shù)某叽纾瞥善瑺畋4?。以下,對用于使用光波?dǎo)形成用樹脂清漆和/或光波導(dǎo)形成用樹脂薄膜形成光波導(dǎo)1的制造方法進(jìn)行說明。作為制造本發(fā)明的光波導(dǎo)1的方法沒有特別限制,可列舉使用芯部形成用樹脂清漆和包層形成用樹脂清漆通過旋涂法等進(jìn)行制造的方法,或使用芯部形成用樹脂薄膜和包層形成用樹脂薄膜通過層疊法進(jìn)行制造的方法等。另外,也可將這些方法組合來進(jìn)行制造。這些方法中,從可提供生產(chǎn)率優(yōu)異的光波導(dǎo)制造工藝的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選使用光波導(dǎo)形成用樹脂薄膜通過層疊法進(jìn)行制造的方法。以下,對于將光波導(dǎo)形成用樹脂薄膜用于下部包層、芯部及上部包層來形成光波導(dǎo)1的制造方法進(jìn)行說明。首先,作為第1工序?qū)⑾虏堪鼘有纬捎脴渲∧盈B于基板5上形成下部包層4。作為第l工序的層疊方式,可列舉使用滾筒層壓機(jī)、或平板式層壓機(jī)通過一邊加熱一邊壓接來進(jìn)行層疊的方法,從密合性及追蹤性的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選使用平板式層壓機(jī)在減壓下層疊下部包層形成用樹脂薄膜。這里,本發(fā)明的所謂平板式層壓機(jī),是指將層疊材料夾持于一對平板之間,通過加壓平板進(jìn)行壓接的層壓機(jī),例如可適當(dāng)使用真空加壓式層壓機(jī)。這里的加熱溫度優(yōu)選為40~130°C,壓接壓力優(yōu)選為0.11.0Mpa,但對于這些條件沒有特別限制。在下部包層形成用樹脂薄膜上存在保護(hù)薄膜時,除去保護(hù)薄膜后進(jìn)行層疊。另外,利用真空加壓式層壓機(jī)進(jìn)行層疊前,使用滾筒層壓機(jī),預(yù)先將下部包層形成用樹脂薄膜暫時粘貼于基板5上。在這里,從提高密合性和追蹤性的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選進(jìn)行壓接的同時進(jìn)行暫時粘貼,進(jìn)行壓接時,可在使用具有加熱輥的層壓機(jī)加熱的同時來進(jìn)行。層壓溫度優(yōu)選為20~no。c。2crc以上時下部包層形成用樹脂薄膜與基板5的密合性提高,130。C以下時樹脂層在滾筒層壓時不會過度流動,可得到必要的薄膜厚。從以上的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選為40-IO(TC。壓力優(yōu)選為0.20.9Mpa,層壓速度優(yōu)選為0.1~3米/分鐘,但對于這些條件沒有特別限制。接著,通過光和/或加熱使層疊于基材5上的下部包層形成用樹脂薄膜進(jìn)行固化,除去下部包層形成用樹脂薄膜的基材薄膜,形成下部包層4。形成下部包層4時的活性光線的照射量優(yōu)選為0.1~5J/cm2,加熱溫度優(yōu)選為50~200°C,但對于這些條件沒有特別限制。接著,作為第2工序,用與第1工序同樣的方法層疊芯部形成用樹脂薄膜。在這里,優(yōu)選將芯部形成用樹脂薄膜設(shè)計(jì)為比下部包層形成用樹脂薄膜的折射率高,由可通過活性光線形成芯圖案的感光性樹脂組合物構(gòu)成。接著,作為第3工序,曝光芯部,形成光波導(dǎo)的芯圖案(芯部2)。具體地說,通過被稱為底圖(artwork)的負(fù)掩模圖案或正掩模圖案,活性光線照射在圖像上。另外,可使用激光直接描繪而不通過光掩模使直接活性光線照射于圖像上。作為活性光線的光源,可列舉例如碳弧燈、汞蒸汽弧光燈、超高壓汞燈、高壓汞燈、氛燈等可有效放射紫外線的公知光源。另外,可列舉其他照相用泛光燈、太陽燈等可有效放射可見光的光源。這里的活性光線的照射量優(yōu)選為0.1~10J/cm2。0.1J/cm2以上時,固化反應(yīng)充分進(jìn)行,沒有因后述的顯影工序而使芯部2流失的情況,10J/cn^以下時,沒有因曝光量過多而使芯部2變粗的情況,可適宜地形成微細(xì)的圖案。從以上的觀點(diǎn)出發(fā),更優(yōu)選為0.05~5J/cm2,特別優(yōu)選為0.1~3J/cm2。另外,曝光后,從提高芯部2的分辨率和密合性的觀點(diǎn)出發(fā),可進(jìn)行曝光后加熱。從紫外線照射到曝光后加熱的時間,優(yōu)選為IO分鐘以內(nèi)。IO分鐘以內(nèi)時,通過紫外線照射產(chǎn)生的活性種不會失活。曝光后加熱的溫度優(yōu)選為40~160°C,時間優(yōu)選為30秒鐘~10分鐘。曝光后,除去芯部形成用樹脂薄膜的基材薄膜,使用堿性水溶液、水系顯影液等對應(yīng)于上述芯部形成用樹脂薄膜的組成的顯影液,通過例如噴霧、振動浸漬、刷涂、刮涂、浸漬以及攪拌等公知方法進(jìn)行顯影。另外,根據(jù)需要可并用兩種以上的顯影方法。作為上述堿性水溶液的堿,沒有特別限制,可列舉例如鋰、鈉或鉀的氳氧化物等堿金屬氫氧化物;鋰、鈉、鉀或銨的碳酸鹽或碳酸氫鹽等碳酸堿;磷酸鉀、磷酸鈉等堿金屬磷酸鹽;焦磷酸鈉、焦磷酸鉀等堿金屬焦磷酸鹽;硼砂、硅酸鈉等鈉鹽;氫氧化四曱基銨、三乙醇胺、乙二胺、二乙三胺、2-氨基-2-羥曱基-1,3-丙二醇、1,3-二氨基丙醇-2-嗎啉等有機(jī)堿等。用于顯影的堿性水溶液的pH優(yōu)選為9~11,調(diào)節(jié)其溫度使得適合芯部形成用樹脂組合物的顯影性。另外,在i威性水溶液中,可混入表面活性劑、消泡劑、用于促進(jìn)顯影的少量有機(jī)溶劑等。作為上述水系顯影液,只要是由水或^5威性水溶液與一種以上的有機(jī)溶劑構(gòu)成就沒有特別限制。水系顯影液的pH,在可充分進(jìn)行上述芯部形成用樹脂薄膜的顯影的范圍內(nèi)優(yōu)選盡可能小,優(yōu)選pH812,特別優(yōu)選pH910。作為上述有機(jī)溶劑,可列舉例如曱醇、乙醇、異丙醇、丁醇、乙二醇、丙二醇等醇;丙酮、4-羥基-4-曱基-2-戊酉同等S同;乙二醇單曱醚、乙二醇單乙醚、丙二醇單曱醚、丙二醇單乙醚、二甘醇單曱醚、二甘醇單乙醚、二甘醇單丁醚等多元醇烷基醚等。這些物質(zhì)可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。有機(jī)溶劑的濃度通常優(yōu)選為2~90質(zhì)量%,可調(diào)節(jié)其溫度使得適合芯部形成用樹脂組合物的顯影性。另外,水系顯影液中可少量混入表面活性劑、消泡劑等。作為顯影后的處理,可根據(jù)需要使用包含水和上述有機(jī)溶劑的洗滌液來洗滌光波導(dǎo)的芯部2。有機(jī)溶劑可單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。有機(jī)溶劑的濃度通常優(yōu)選為2~90質(zhì)量%,可調(diào)節(jié)其溫度使得適合芯部形成用樹脂組合物的顯影性。作為顯影或洗滌后的處理,根據(jù)需要可通過進(jìn)行60~250。C程度的加熱或0.1~1000J/cm"程度的曝光使芯部2進(jìn)一步固化。接著,作為第4工序,通過與第l及第2工序同樣的方法層疊上部包層形成用樹脂薄膜來形成上部包層3。在此,設(shè)計(jì)上部包層形成用樹脂薄膜使其成為比芯部形成用樹脂薄膜更低的折射率。另外,上部包層3的厚度,優(yōu)選比芯部2的高度大。接著,用與第1工序同樣的方法通過光和/或熱來固化上部包層形成用樹脂薄膜,形成上部包層3。上述包層形成用樹脂薄膜的基材薄膜為PET時,活性光線的照射量優(yōu)選為0.1~5J/cm2。另一方面,基材薄膜為聚萘二曱酸乙二醇酯、聚酰胺、聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺、聚醚酰亞胺、聚苯醚、聚醚^5克化物、聚醚砜、聚砜等時,與PRT相比難以通過紫外線等短波長的活性光線,因此活性光線的照射量優(yōu)選為0.5~30J/cm2。0.5J/cn^以上時固化反應(yīng)充分進(jìn)行,30J/cm2以下時不需要過長的光照射時間。從以上的觀點(diǎn)出發(fā),更優(yōu)選為3~27J/cm2,特別優(yōu)選為5~25J/cm\另夕卜,為了進(jìn)一步固化,可使用能從兩面同時照射活性光線的兩面曝光機(jī)。另外,可以一邊加熱一邊照射活性光線?;钚怨饩€照射中和/或照射后的加熱溫度優(yōu)選為50~200°C,但不限于這些條件。形成上部包層3后,如果有必要可除去基材薄膜,制造光波導(dǎo)l。本發(fā)明的光波導(dǎo),由于耐熱性及透明性優(yōu)異可用作光學(xué)組件的光傳送通路。作為光學(xué)組件的形態(tài),可列舉將光纖連接于光波導(dǎo)的兩端的帶光纖光波導(dǎo)、將連接器連接于光波導(dǎo)的兩端的帶連接器光波導(dǎo)、將光波導(dǎo)和印刷布線板復(fù)合化的光電復(fù)合基板、將光波導(dǎo)和光信號和電信號相互轉(zhuǎn)換的光/電轉(zhuǎn)換元件組合的光電轉(zhuǎn)換組件、將光波導(dǎo)和分波濾光器組合的波分復(fù)用器等。這里,在光電復(fù)合基板中,作為復(fù)合化的印刷布線板沒有特別限制,可使用玻璃環(huán)氧基板等硬質(zhì)基板、聚酰亞胺基板等撓性基板的任一種。實(shí)施例以下,進(jìn)一步具體說明本發(fā)明的實(shí)施例,但本發(fā)明并不限定于這些實(shí)施例。制造例1在具有攪拌機(jī)、冷卻管、氣體導(dǎo)入管、滴液漏斗及溫度計(jì)的燒瓶中,稱量丙二醇單曱醚乙酸酯150質(zhì)量份及乳酸甲酯30質(zhì)量份,導(dǎo)入氮?dú)獾耐瑫r開始攪拌。使液溫上升至80。C,將N-環(huán)己基馬來酰亞胺20質(zhì)量份、甲基丙烯酸雙環(huán)戊烯酯40質(zhì)量份、曱基丙烯酸-2-乙基己酯25質(zhì)量份、甲基丙烯酸15質(zhì)量份及2,2'-偶?xì)涠?異丁腈)3質(zhì)量份滴下后,在8(TC持續(xù)攪拌6小時,得到(曱基)丙烯酸類聚合物P-1溶液(固體成分36質(zhì)量%)。[酸值的測定]測定P-1的酸值的結(jié)果為98mgKOH/g。另外,酸值是由中和P-1溶液需要的0.1摩爾/升氫氧化鈉水溶液量計(jì)算的。此時,作為指示劑添加的酚酞從無色變色為粉色的點(diǎn)為中和點(diǎn)。在具有攪拌機(jī)、冷卻管、氣體導(dǎo)入管、滴液漏斗及溫度計(jì)的燒瓶中,稱量上述P-1溶液(固體成分36質(zhì)量%)168質(zhì)量Y分(固體成分60質(zhì)量份)、二月桂酸二丁基錫0.03質(zhì)量份及對曱氧基苯酚0.1質(zhì)量份,導(dǎo)入空氣的同時開始攪拌。使液溫上升至60。C后,將2-曱基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯7質(zhì)量份用30分鐘滴下后,在6(TC持續(xù)攪拌4小時,得到(曱基)丙烯酸類聚合物P-2溶液(固體成分38質(zhì)量%)。用與制造例1同樣的方法測定P-2的酸值及重均分子量的結(jié)果,分別為53mgKOH/g、27000。制造例3在具有攪拌機(jī)、冷卻管、氣體導(dǎo)入管、滴液漏斗及溫度計(jì)的燒瓶中,稱量丙二醇單甲醚乙酸酯97質(zhì)量份及乳酸乙酯24質(zhì)量份,導(dǎo)入氮?dú)獾耐瑫r開始攪拌。使液溫上升至9(TC,將N-環(huán)己基馬來酰亞胺18質(zhì)量份、曱基丙烯酸雙環(huán)戊烯酯43質(zhì)量份、曱基丙烯酸-2-羥乙酯53質(zhì)量份、曱基丙烯酸20質(zhì)量份、2,2'-偶氮二(異丁腈)2質(zhì)量份、丙二醇單曱醚乙酸酯65質(zhì)量份及乳酸乙酯16質(zhì)量份的混合物用3小時滴下后,在90。C攪拌3小時,進(jìn)而在120。C持續(xù)攪拌1小時,得到(曱基)丙烯酸類聚合物P-3溶液(固體成分40質(zhì)量%)。用與制造例1同樣的方法測定P-3的酸值及重均分子量的結(jié)果,分別為96mgKOH/g、25000。制造例4在具有攪拌機(jī)、冷卻管、氣體導(dǎo)入管、滴液漏斗及溫度計(jì)的燒瓶中,稱量上述P-3溶液(固體成分40質(zhì)量%)150質(zhì)量份(固體成分60質(zhì)量份)、二月桂酸二丁基錫0.04質(zhì)量份、對甲氧基苯酚0.1質(zhì)量份及丙二醇單曱醚乙酸酯21質(zhì)量份,導(dǎo)入空氣的同時開始攪拌。使液溫上升至60。C后,將2-曱基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯14質(zhì)量份用30分鐘滴下后,在60。C持續(xù)攪拌4小時,得到(曱基)丙烯酸類聚合物P-4溶液(固體成分40質(zhì)量%)。用與制造例1同樣的方法測定P-4的酸值及重均分子量的結(jié)果,分別為57mgKOH/g、25000。制造例5在具有攪拌機(jī)、冷卻管、氣體導(dǎo)入管、滴液漏斗及溫度計(jì)的燒瓶中,稱量丙二醇單曱醚乙酸酯94質(zhì)量份及乳酸乙酯24質(zhì)量份,導(dǎo)入氮?dú)獾耐瑫r開始攪拌。使液溫上升至90。C,將N-環(huán)己基馬來酰亞胺33質(zhì)量份、曱基丙烯酸雙環(huán)戊烯酯26質(zhì)量份、曱基丙烯酸-2-羥乙酯51質(zhì)量份、曱基丙烯酸19質(zhì)量份、2,2'-偶氮二(異丁腈)2質(zhì)量份、丙二醇單曱醚乙酸酯63質(zhì)量份及乳酸乙酯16質(zhì)量份的混合物用三小時滴下后,在90。C攪拌3小時,進(jìn)而在120。C持續(xù)攪拌l小時,冷卻至室溫。接著,添加二月桂酸二丁基錫0.08質(zhì)量份、對曱氧基苯酚0.2質(zhì)量份及丙二醇單曱醚乙酸酯45質(zhì)量份,導(dǎo)入空氣的同時開始攪拌。使液溫上升至60。C后,將2-甲基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯30質(zhì)量份用30分鐘滴下后,在60。C持續(xù)攪拌4小時,得到(甲基)丙烯酸類聚合物P-5溶液(固體成分40質(zhì)量%)。用與制造例1同樣的方法測定P-5的酸值及重均分子量的結(jié)果,分別為54mgKOH/g、23000。制造例6在具有攪拌機(jī)、冷卻管、氣體導(dǎo)入管、滴液漏斗及溫度計(jì)的燒瓶中,稱量丙二醇單曱醚乙酸酯97質(zhì)量份及乳酸乙酯24質(zhì)量份,導(dǎo)入氮?dú)獾耐瑫r開始攪拌。使液溫上升至卯。C,將N-環(huán)己基馬來酰亞胺18質(zhì)量份、曱基丙烯酸芐酯43質(zhì)量份、甲基丙烯酸-2-羥乙酯53質(zhì)量份、曱基丙烯酸20質(zhì)量份、2,2'-偶氮二(異丁腈)2質(zhì)量份、丙二醇單甲醚乙酸酯65質(zhì)量份及乳酸乙酯16質(zhì)量份的混合物用3小時滴下后,在90。C攪拌3小時,進(jìn)而在120。C持續(xù)攪拌1小時,得到(曱基)丙烯酸類聚合物P-6溶液(固體成分40質(zhì)量%)。用與制造例1同樣的方法測定P-6的酸值及重均分子量的結(jié)果,分別為96mgKOH/g、24000。制造例7在具有攪拌機(jī)、冷卻管、氣體導(dǎo)入管、滴液漏斗及溫度計(jì)的燒瓶中,稱量上述P-6溶液(固體成分40質(zhì)量%)150質(zhì)量份(固體成分60質(zhì)量份)、二月桂酸二丁基錫0.04質(zhì)量份、對曱氧基苯酚0.1質(zhì)量份及丙二醇單甲醚乙酸酯21質(zhì)量份,導(dǎo)入空氣的同時開始攪拌。使液溫上升至60。C后,將2-甲基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯14質(zhì)量份用30分鐘滴下后,在60。C持續(xù)攪拌4小時,得到(甲基)丙烯酸類聚合物P-7溶液(固體成分40質(zhì)量%)。用與制造例1同樣的方法測定P-7的酸值及重均分子量的結(jié)果,分別為58mgKOH/g、24000。制造例8在具有攪拌機(jī)、冷卻管、氣體導(dǎo)入管、滴液漏斗及溫度計(jì)的燒瓶中,稱量丙二醇單曱醚乙酸酯60質(zhì)量份及乳酸曱酯60質(zhì)量份,導(dǎo)入氮?dú)獾耐瑫r開始攪拌。使液溫上升至卯。C,將N-環(huán)己基馬來酰亞胺18質(zhì)量份、曱基丙烯酸芐酯61質(zhì)量份、曱基丙烯酸-2-羥乙酯18質(zhì)量份、曱基丙烯酸37質(zhì)量份、2,2'-偶氮二(異丁腈)2質(zhì)量份、丙二醇單曱醚乙酸酯40質(zhì)量份及乳酸曱酯40質(zhì)量份的混合物用三小時滴下后,在9(TC攪拌3小時,進(jìn)而在U(TC持續(xù)攪拌1小時,冷卻至室溫。接著,添加甲基丙歸酸縮水甘油酯28質(zhì)量份、對甲氧基苯酚0.2質(zhì)量份及丙二醇單曱醚乙酸酯43質(zhì)量份,導(dǎo)入空氣的同時開始攪拌。使液溫上升至8(TC,添加三苯基膦0.7質(zhì)量份后,在80。C持續(xù)攪拌1小時,進(jìn)而在11(TC持續(xù)攪拌8小時,得到(甲基)丙烯酸類聚合物P-8溶液(固體成分40質(zhì)量%)。用與制造例1同樣的方法測定P-8的酸值及重均分子量的結(jié)果,分別為78mgKOH/g、25000。制造例9在具有攪拌機(jī)、冷卻管、氣體導(dǎo)入管、滴液漏斗及溫度計(jì)的燒瓶中,稱量丙二醇單曱醚乙酸酯60質(zhì)量份及乳酸曱酯60質(zhì)量份,導(dǎo)入氮?dú)獾耐瑫r開始攪拌。使液溫上升至90。C,將N-環(huán)己基馬來酰亞胺18質(zhì)量份、甲基丙烯酸芐酯79質(zhì)量份、曱基丙烯酸37質(zhì)量份、2,2'-偶氮二(異丁腈)2質(zhì)量份、丙二醇單曱醚乙酸酯40質(zhì)量份及乳酸曱酯40質(zhì)量份的混合物用3小時滴下后,在90。C攪拌3小時,進(jìn)而在120。C持續(xù)攪拌1小時,冷卻至室溫。接著,添加曱基丙烯酸縮水甘油酯28質(zhì)量份、對曱氧基苯酚0.2質(zhì)量份及丙二醇單曱醚乙酸酯43質(zhì)量份,導(dǎo)入空氣的同時開始攪拌。使液溫上升至80°C,添加三苯基膦0.6質(zhì)量份后,在80。C持續(xù)攪拌1小時,進(jìn)而在11(TC持續(xù)攪拌8小時,得到(曱基)丙烯酸類聚合物P-9溶液(固體成分40質(zhì)量%)。用與制造例1同樣的方法測定P-9的酸值及重均分子量的結(jié)果,分別為78mgKOH/g、25000。制造例10在具有攪拌機(jī)、冷卻管、氣體導(dǎo)入管、滴液漏斗及溫度計(jì)的燒瓶中,稱量丙二醇單甲醚乙酸酯60質(zhì)量份及乳酸甲酯60質(zhì)量份,導(dǎo)入氮?dú)獾耐瑫r開始攪拌。使液溫上升至90。C,將N-環(huán)己基馬來酰亞胺18質(zhì)量份、曱基丙烯酸芐酯53質(zhì)量份、曱基丙烯酸37質(zhì)量份、苯乙烯25質(zhì)量份、2,2'-偶氮二(異丁腈)2質(zhì)量份、丙二醇單曱醚乙酸酯40質(zhì)量份及乳酸甲酯40質(zhì)量份的混合物用3小時滴下后,在90。C攪拌3小時,進(jìn)而在12(TC持續(xù)攪拌1小時,冷卻至室溫。接著,添加甲基丙烯酸縮水甘油酯19質(zhì)量份、對曱氧基苯酚0.2質(zhì)量份及丙二醇單曱醚乙酸酯28質(zhì)量份,導(dǎo)入空氣的同時開始攪拌。使液溫上升至80°C,添加三苯基膦0.6質(zhì)量份后,在80。C攪拌1小時,進(jìn)而在110。C持續(xù)攪拌8小時,得到(曱基)丙烯酸類聚合物P-IO溶液(固體成分40質(zhì)量%)。用與制造例1同樣的方法測定P-IO的酸值及重均分子量的結(jié)果,分別為108mgKOH/g、22000。制造例11在具有攪拌機(jī)、冷卻管、氣體導(dǎo)入管、滴液漏斗及溫度計(jì)的燒瓶中,稱量丙二醇單曱醚乙酸酯96質(zhì)量份及乳酸曱酯24質(zhì)量份,導(dǎo)入氮?dú)獾耐瑫r開始攪拌。使液溫上升至90。C,將曱基丙烯酸環(huán)己酯18質(zhì)量份、曱基丙烯酸-2-乙基己酯69質(zhì)量份、甲基丙烯酸-2-羥乙酯23質(zhì)量份、曱基丙烯酸24質(zhì)量份、2,2'-偶氮二(異丁腈)2質(zhì)量份、丙二醇單甲醚乙酸酯64質(zhì)量份及乳酸甲酯16質(zhì)量份的混合物用3小時滴下后,在90。C攪拌3小時,進(jìn)而在120。C持續(xù)攪拌1小時,冷卻至室溫。接著,添加曱基丙烯酸縮水甘油酯19質(zhì)量份、對曱氧基苯酚0.2質(zhì)量份及丙二醇單曱醚乙酸酯28質(zhì)量份,導(dǎo)入空氣的同時開始攪拌。使液溫上升至80°C,添加三苯基膦0.6質(zhì)量份后,在80。C持續(xù)攪拌1小時,進(jìn)而在110。C持續(xù)攪拌8小時,得到(甲基)丙烯酸類聚合物P-13溶液(固體成分40質(zhì)量%)。用與制造例1同樣的方法測定P-13的酸值及重均分子量的結(jié)果,分別為54mgKOH/g、25000。實(shí)施例1將作為(A)主鏈含有馬來酰亞胺骨架的堿可溶性(曱基)丙烯酸類聚合物的上述P-1溶液(固體成分36質(zhì)量%)168質(zhì)量份(固體成分60質(zhì)量份)、作為(B)聚合性化合物的乙氧基化雙盼A二丙烯酸酯(新中村化學(xué)工業(yè)公司制造A-BPE-6)20質(zhì)量份、丙烯酸對枯基苯氧基乙酯(新中村化學(xué)工業(yè)公司制造A-CMP-1E)20質(zhì)量份以及作為(C)聚合引發(fā)劑的1-[4-(2-羥基乙氧基)苯基]-2-羥基-2-曱基-1-丙烷-1-酮(汽巴精化公司制造Irgacure2959)1質(zhì)量份、雙(2,4,6-三甲基苯曱?;?苯基膦氧化物(汽巴精化公司制造Irgacure819)1質(zhì)量份稱量于廣口聚乙烯瓶中,使用攪拌機(jī),在溫度25。C、轉(zhuǎn)數(shù)400轉(zhuǎn)的條件下攪拌6小時,配制芯部形成用樹脂清漆。其后,使用孔徑2jxm的聚四氟乙烯樹脂過濾器(Advantec東洋公司制PF020)和孔徑0.5!im的膜濾器(Advantec東洋公司制J050A),在溫度25°C、壓力0.4MPa的條件下加壓過濾。接著,使用真空泵和鐘形罩在減壓度50mmHg的條件下進(jìn)行15分鐘減壓脫氣泡,得到芯部形成用樹脂清漆COV-1。[芯部形成用樹脂薄膜COF-1的制造]使用涂布機(jī)(平野金屬公司制造多層涂布機(jī)TM-CM)將上述芯部形成用樹脂清漆COV-1涂布于PET薄膜(東洋紡織公司制造A1517、厚度16pm)的未處理面上,在100。C干燥20分鐘,接著粘貼作為保護(hù)薄膜的脫模型PET薄膜(帝人杜邦薄膜公司制造A31、厚度25|im),得到芯部形成用樹脂薄膜COF-l。此時樹脂層的厚度通過調(diào)節(jié)涂布機(jī)的空隙可任意地調(diào)整,在本實(shí)施例中進(jìn)行調(diào)節(jié)使得固化后的薄膜厚為50pm。將作為粘合劑聚合物的分子量約85萬的丙烯酸橡膠(長瀨化學(xué)工業(yè)公司制造HTR-860P-3)的曱基乙基酮溶液(固體成分17質(zhì)量%)303質(zhì)量份(固體成分50質(zhì)量份)、作為(B)聚合性化合物的脂環(huán)族二環(huán)氧化羧酸酯(元旭電化工業(yè)公司制造KRM-2110)50質(zhì)量份以及作為(C)聚合引發(fā)劑的三芳基锍六氟銻酸鹽(元旭電化工業(yè)公司制造SP-170)溶液(固體成分50質(zhì)量%)4質(zhì)量份(固體成分2質(zhì)量份)稱量于廣口聚乙烯瓶中,使用攪拌機(jī),在溫度25。C、轉(zhuǎn)數(shù)400轉(zhuǎn)的條件下攪拌6小時,配制包層形成用樹脂清漆。其后,使用孔徑6jim的聚四氟乙烯樹脂過濾器(Advantec東洋公司制PF060),在溫度25。C、壓力0.4MPa的條件下加壓過濾。接著,使用真空泵和鐘形罩在減壓度50mmHg的條件下進(jìn)行15分鐘減壓脫氣泡,得到包層形成用樹脂清漆CLV-1。用與芯部形成用樹脂薄膜同樣的方法將上述包層形成用樹脂清漆CLV_1涂布于PET薄膜(東洋紡織公司制造A1517、厚度16(im)的未處理面上進(jìn)行干燥,得到包層形成用樹脂薄膜CLF-1。此時樹脂層的厚度通過調(diào)節(jié)涂布機(jī)的空隙可任意地調(diào)整,在本實(shí)施例中進(jìn)行調(diào)節(jié)使得固化后的薄膜厚為,下部包層形成用樹脂薄膜為30|im,上部包層形成用樹脂薄膜為80prn,以及折射率和透過率測定用固化薄膜為50fxm。使用紫外線曝光機(jī)(大日本網(wǎng)屏公司制造MAP-1200-L),照射紫外線(波長365nm)1000mJ/cm2于上述芯部形成用樹脂薄膜及包層形成用樹脂薄膜上。接著,除去保護(hù)薄膜(A31),在130。C進(jìn)行1小時干燥后,除去基材薄膜(A1517),得到50(im的固化薄膜。[折射率的測定]使用棱鏡耦合測試儀(新柯隆公司制造、SPA-4000)測定得到的固化薄膜在25。C波長830nm的折射率的結(jié)果為1.524。[透過率的測定]使用分光光度計(jì)(日立制作所公司制造、U-3410,spectrophotometer)測定得到的固化薄膜在25。C波長400nm的透過率的結(jié)果為87%。[光波導(dǎo)的制造]使用滾筒層壓4幾(日立化成設(shè)備公司制造HLM-1500),在壓力0.4MPa、溫度8(TC、速度0.4米/分鐘的條件下將除去保護(hù)薄膜(A31)的下部包層形成用樹脂薄膜CLF-1層疊于FR-4基板(日立化成工業(yè)公司制造E-679FB)上。進(jìn)而,使用真空加壓式層壓機(jī)(名機(jī)制作所制造MVLP-500/600),在壓力0.5MPa、溫度50。C及加壓時間30秒鐘的條件下進(jìn)行壓接。接著,使用紫外線曝光機(jī)(大日本網(wǎng)屏公司制造MAP-1200-L),照射紫外線(365nm)1000mJ/cn^后,除去基材薄膜(A1517),通過在UO。C進(jìn)行l(wèi)小時加熱處理,形成下部包層4。接著,使用上述滾筒層壓機(jī)在壓力0.4MPa、溫度80。C、速度0.4米/分鐘的條件下將除去保護(hù)薄膜(A31)的芯部形成用樹脂薄膜COF-1層疊于下部包層4上。進(jìn)而,使用上述真空加壓式層壓機(jī),在壓力0.5MPa、溫度50。C及加壓時間30秒4中的條件下進(jìn)4亍壓4妄。接著,通過寬度50,的負(fù)型光掩模,用上述紫外線曝光機(jī)照射紫外線(波長365nm)500mJ/cm2,接著在80。C進(jìn)行5分鐘曝光后加熱。除去基材薄膜(A1517),使用顯影液(2.38質(zhì)量%氫氧化四曱基銨水溶液)將芯部2顯影后,用純水洗滌,在IO(TC加熱干燥1小時。接著,使用上述真空加壓式層壓機(jī),在壓力0.5MPa、溫度50。C及加壓時間30秒鐘的條件下將除去保護(hù)薄膜(A31)的上部包層形成用樹脂薄膜CLF-l層疊于芯部2及下部包層4上。照射紫外線(365nm)2000mJ/cm2,除去基材薄膜(A1517)后,通過在120。C加熱處理1小時,形成上部包層3,得到圖1(a)表示的附帶基板5的光波導(dǎo)1。其后,使用切割鋸(DISCO公司制造DAD-341)切出波導(dǎo)長度5cm的光波導(dǎo)。[光傳輸損失的測定]使用將波長850nm的光為中心波長的VCSEL(EXFO公司制造FLS-300-01-VCL)作為光源、光接收元件(愛德萬公司Q82214)、入射光纖(GI-50/125多模光纖、NA=0,20)和出射光纖(SI-114/125、NA-0.22),通過背向切割法(測定波導(dǎo)長5、3、2cm)測定切出的光波導(dǎo)的光傳4t損失的結(jié)果為0.18dB/cm。[回流試-驗(yàn)]切出的光波導(dǎo)(波導(dǎo)長5cm)使用回流試驗(yàn)機(jī)(古河電氣工業(yè)公司烤爐XNA-645PC)按照IPC/JEDECJ-STD-020B的條件進(jìn)行3次最高溫度265。C的回流試驗(yàn)。詳細(xì)的回流條件示于表l,回流爐內(nèi)的溫度曲線示于圖2。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage47</column></row><table>使用與上述同樣的光源、光接收元件入射光纖及出射光纖,測定回流試驗(yàn)后的撓性光波導(dǎo)的插入損失值的結(jié)果為0.28dB/cm。實(shí)施例2~10及比4交例1按照表2表示的配合比來配制芯部形成用樹脂清漆COV-2~9。同樣,按照表3表示的配合比來配制包層形成用樹脂清漆CLV-2~8。用與實(shí)施例1同樣的方法,制造芯部形成用樹脂薄膜COF-2~9和包層形成用樹脂薄膜CLF-2~8,制造光波導(dǎo)l。在光波導(dǎo)1的制造中使用的芯部形成用樹脂薄膜和包層形成用樹脂薄膜的組合示于表4。另外,將測定得到的固化薄膜的折射率和透過率以及光波導(dǎo)1的回流試驗(yàn)前后的傳輸損失的結(jié)果示于表5。<table>tableseeoriginaldocumentpage48</column></row><table>*1制造例1制造的(曱基)丙烯酸類聚合物溶液*2制造例3制造的(甲基)丙歸酸類聚合物溶液*3制造例4制造的(甲基)丙烯酸類聚合物溶液*4制造例6制造的(曱基)丙烯酸類聚合物溶液*5制造例7制造的(曱基)丙烯酸類聚合物溶液*6制造例8制造的(甲基)丙烯酸類聚合物溶液*7制造例9制造的(曱基)丙烯酸類聚合物溶液*8制造例IO制造的(曱基)丙烯酸類聚合物溶液*9制造例12制造的(曱基)丙烯酸類聚合物溶液*10乙氧基化雙酚A二丙烯酸酯(新中村化學(xué)工業(yè)公司制造)*11乙氧基化藥型二丙烯酸酯(大阪氣化學(xué)公司制造)*12丙烯酸對枯基苯氧基乙酯(新中村化學(xué)工業(yè)公司制造)*132-羥基-3(鄰苯基苯氧基)丙基丙烯酸酯(新中村化學(xué)工業(yè)公司制造)*141—[4—(2—羥基乙氧基)苯基]-2-羥基—2—曱基_1_丙烷一1-酮(汽巴精化公司制造)*15雙(2,4,6-三曱基苯曱酰基)苯基膦氧化物(汽巴精化公司制造)表3<table>tableseeoriginaldocumentpage50</column></row><table>*1制造例2制造的(曱基)丙烯酸類聚合物溶液*2制造例4制造的(曱基)丙烯酸類聚合物溶液*3制造例5制造的(甲基)丙烯酸類聚合物溶液*4制造例11制造的(曱基)丙烯酸類聚合物溶液*5制造例13制造的(曱基)丙烯酸類聚合物溶液*6乙氧基化異氰尿酸三丙烯酸酯(新中村化學(xué)工業(yè)公司制造)*7加氫雙酚A型環(huán)氧化丙烯酸酯(新中村化學(xué)工業(yè)公司制造)*8乙氧基化環(huán)己烷二曱醇二丙烯酸酯(新中村化學(xué)工業(yè)公司制造)*9乙氧基化異氰尿酸二丙烯酸酯(東亞合成公司制造)*IO脂環(huán)族二環(huán)氧化羧酸酯(元旭電化工業(yè)公司制造)*111—[4—(2-羥基乙氧基)苯基]—2—羥基一2-甲基-1—丙烷一1-酮(汽巴精化公司制造)*12雙(2,4,6-三曱基苯曱?;?苯基膦氧化物(汽巴精化^司制造)*13三芳基锍六氟銻酸鹽(元旭電化工業(yè)公司制造)*14丙烯酸橡膠(長瀨化學(xué)工業(yè)公司制造)<table>tableseeoriginaldocumentpage52</column></row><table>表5<table>tableseeoriginaldocumentpage53</column></row><table>*1波長830nm、25°C、薄膜厚度50岬*2波長400nm、25°C、薄膜厚度50pm權(quán)利要求1.一種光學(xué)材料用樹脂組合物,其包含(A)主鏈中含有馬來酰亞胺骨架的堿可溶性丙烯酸類聚合物和/或甲基丙烯酸類聚合物、(B)聚合性化合物和(C)聚合引發(fā)劑。1.一種光學(xué)材料用樹脂組合物,其包含(A)主鏈中含有馬來酰亞胺骨架的堿可溶性丙烯酸類聚合物和/或曱基丙烯酸類聚合物、(B)聚合性化合物和(C)聚合引發(fā)劑。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)材料用樹脂組合物,其中,(A)成分的配合量相對于(A)成分和(B)成分的總量為10~85質(zhì)量%,(B)成分的配合量相對于(A)成分和(B)成分的總量為15~90質(zhì)量%,(C)成分的配合量相對于(A)成分和(B)成分的總量100質(zhì)量份為0.1~10質(zhì)量份。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)材料用樹脂組合物,其中,(A)堿可溶性丙烯酸類聚合物和曱基丙烯酸類聚合物的主鏈包含下述通式(1)、(2)表示的重復(fù)單元(A-1)和(A-2),進(jìn)而包含下述通式(3)、(4)表示的重復(fù)單元(A-3)和(A-4)中的至少一種;[化l]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>式中,117~119分別獨(dú)立地表示氫原子、碳原子數(shù)1~20有機(jī)基團(tuán)的任一式中,R^R's和X分別獨(dú)立地表示氫原子、碳原子數(shù)120有機(jī)基團(tuán)的任一個。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)材料用樹脂組合物,其中,(B)聚合性化合物是其分子中包含乙烯性不飽和基團(tuán)、以及2個以上環(huán)氧基中的至少1種的化合物。5.根據(jù)權(quán)利要求l所述的光學(xué)材料用樹脂組合物,其中,(B)聚合性化合物是其分子中包含選自脂環(huán)結(jié)構(gòu)、芳基、芳氧基及芳烷基組成的組中的至少1種基團(tuán)和乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)材料用樹脂組合物,其中,(B)聚合性化合物是下述通式(5)~(8)表示的化合物中的至少1種;<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>式中,Ar表示<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>中的任一個基團(tuán),1132~1134分別獨(dú)立地表示氫原子、曱基的任一個,d表示1~10的整數(shù);[化10]中的任一個基團(tuán),乂2表示O(氧原子)、S(硫原子)、OCH2、SCH2、O(CH2CH20)a、0[CH2CH(CH3)0]b、OCH2CH(OH)CH20中的任一個2價基團(tuán),y表示[化7]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>中的任一個2價基團(tuán),R"表示氫原子、曱基的任一個,R"-R^分別獨(dú)立地表示氫原子、氟原子、碳原子數(shù)1~20的有機(jī)基團(tuán)、碳原子數(shù)1~20的含氟有機(jī)基團(tuán)的任一個,a和b分別獨(dú)立地表示1~20的整數(shù),c表示210的整數(shù);式中,R"表示[化9]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>(7)式中,乂3及X4分別獨(dú)立地表示O、S、O(CH2CH20)e、0[CH2CH(CH3)0]f的任一個2價基團(tuán),[化11]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>中的任一個2價基團(tuán),R"及R"Q分別獨(dú)立地表示氫原子、曱基的任一個,R"R"分別獨(dú)立地表示氬原子、氟原子、碳原子數(shù)120的有機(jī)基團(tuán)、碳原子數(shù)120的含氟有機(jī)基團(tuán)的任一個,e和f分別獨(dú)立地表示1~20的整數(shù),g表示210的整數(shù);[化12]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>(8)式中,f表示[化13]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>中的任一個2價基團(tuán),R"及R"分別獨(dú)立地表示氫原子、曱基的任一個,R42~R"分別獨(dú)立地表示氫原子、氟原子、碳原子數(shù)1~20的有機(jī)基團(tuán)、碳原子數(shù)1-20的含氟有機(jī)基團(tuán)中的任一個,h表示1~5的整數(shù),i表示2-10的整數(shù)。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)材料用樹脂組合物,其中,(C)聚合引發(fā)劑是光自由基聚合引發(fā)劑。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)材料用樹脂組合物,其中,將所述光學(xué)材料用樹脂組合物進(jìn)行聚合、固化所成的固化薄膜在溫度25。C波長830nm的折射率為1.400~1.700。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)材料用樹脂組合物,其中將所述光學(xué)材料用樹脂組合物進(jìn)行聚合、固化所成的厚度50|nm的固化薄膜在溫度25。C波長400nm的透過率為80%以上。10.—種光學(xué)材料用樹脂薄膜,其包含權(quán)利要求1所述的光學(xué)材料用樹脂組合物。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光學(xué)材料用樹脂薄膜,其具有由基材薄膜、樹脂層及保護(hù)薄膜構(gòu)成的3層結(jié)構(gòu)。12.—種光波導(dǎo),其是使用權(quán)利要求1所述的光學(xué)材料用樹脂組合物形成下部包層、芯部、上部包層的至少一個的光波導(dǎo)。13.—種光波導(dǎo),其是使用權(quán)利要求1所述的光學(xué)材料用樹脂組合物形成芯部的光波導(dǎo)。14.一種光波導(dǎo),其是使用權(quán)利要求IO所述的光學(xué)材料用樹脂薄膜形成下部包層、芯部、上部包層的至少一個的光波導(dǎo)。15.—種光波導(dǎo),其是使用權(quán)利要求10所述的光學(xué)材料用樹脂薄膜形成芯部的光波導(dǎo)。16.根據(jù)權(quán)利要求12所述的光波導(dǎo),光傳輸損耗為0.3dB/cm以下。17.根據(jù)權(quán)利要求12所述的光波導(dǎo),實(shí)施3次最高溫度265。C的回流試驗(yàn)后的光傳輸損耗為0.3dB/cm以下。全文摘要本發(fā)明提供包含(A)主鏈中含有馬來酰亞胺骨架的堿可溶性(甲基)丙烯酸類聚合物、(B)聚合性化合物和(C)聚合引發(fā)劑的光學(xué)材料用樹脂組合物、由該光學(xué)材料用樹脂組合物構(gòu)成的光學(xué)材料用樹脂薄膜、以及具有用上述光學(xué)材料用樹脂組合物或上述光學(xué)材料用樹脂薄膜形成的芯部和/或包層的光波導(dǎo);其為耐熱性和透明性優(yōu)異、且可溶于堿性水溶液的光學(xué)材料用樹脂組合物、由其構(gòu)成的光學(xué)材料用樹脂薄膜及使用它們的光波導(dǎo)。文檔編號G02B1/04GK101356452SQ20078000112公開日2009年1月28日申請日期2007年7月23日優(yōu)先權(quán)日2006年7月25日發(fā)明者牧野龍也,高崎俊彥,高橋敦之申請人:日立化成工業(yè)株式會社
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