專利名稱：：光掩模充氣柜結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本實(shí)用新型涉及一種用于保持光掩模儲(chǔ)存潔凈度的
技術(shù)領(lǐng)域：
，特別是涉及一種可長時(shí)間維持與光掩模相鄰空間環(huán)境的光掩模充氣拒結(jié)構(gòu)，借以進(jìn)一步增進(jìn)晶圓制造良率。
背景技術(shù)：
：受到電子產(chǎn)品不斷朝向輕薄短小、高頻、高效能等特性發(fā)展的影響，用于電子產(chǎn)品中的核心晶片就必需更進(jìn)一步的微小化與高效能化，而欲使晶片微小化與具高效能則需使晶片上的集成電路線徑微細(xì)化，以容入更多的集成電路及元件，因此現(xiàn)有的集成電路線徑已由早期的0.25微米往90~45納米等工藝發(fā)展，而晶片上集成電路線徑微細(xì)化的成敗關(guān)鍵，主要是在于半導(dǎo)體工藝中的黃光微影工藝技術(shù)，而其關(guān)鍵設(shè)備是在掃描步進(jìn)機(jī)(Scanner)與光掩模(Reticle)的使用；但目前光掩模于制作、清洗、操作與儲(chǔ)存、運(yùn)輸?shù)倪^程中，不論是置于容置光掩沖莫的移轉(zhuǎn)容器或無塵室的環(huán)境中，均存在有不少的孩史粒、水氣、氣體、化學(xué)溶劑分子等有害物質(zhì)，這些有害物質(zhì)會(huì)附著于光掩模表面，且在經(jīng)長時(shí)間儲(chǔ)存或晶圓曝光工藝的加熱后，會(huì)于光掩才莫表面產(chǎn)生微粒附著、結(jié)晶、又或霧化等現(xiàn)象，而直接影響到光掩模于黃光微影工藝中的透光率，進(jìn)而使光掩模上的圖形失真，其會(huì)造成晶圓良率降低，且增加清理與改善的時(shí)間，造成生產(chǎn)量降低，相對上也會(huì)提高營運(yùn)的成本；因此，為了解決這個(gè)問題，業(yè)界開發(fā)有如美國專利第US4，532，970號(hào)與美國專利第US4，534，389號(hào)的晶圓、光置密閉移轉(zhuǎn)系統(tǒng)，以確保周圓環(huán)境的微粒不致進(jìn)入緊鄰光掩模與晶圓的環(huán)境中。但以其中光掩模為例，造成光掩模污損的原因除了微粒外，更進(jìn)一步包含環(huán)境中的水氣、有毒氣體、塑膠制移載容器所釋出的硫化物和制作光掩模工藝中殘留或是光掩模上圖形材質(zhì)本身釋出的氨(NH4)、以及光掩模清洗過程中殘留的化學(xué)分子等有害物質(zhì)，以結(jié)晶為例，其化學(xué)式為(NH4)2S04，此一結(jié)晶物由前述不同原因釋出的氨(冊4)及硫酸根離子(S04)經(jīng)高能量光源與環(huán)境水氣等化合而成，因此經(jīng)常發(fā)生光掩模于清洗后，再經(jīng)一段時(shí)間的儲(chǔ)存后，只要一經(jīng)黃光微影工藝中的紫外線照射曝光就會(huì)產(chǎn)生結(jié)晶的現(xiàn)象；而造成此一問題的主要原因來自于儲(chǔ)存容器的氣密性不足，使移載容器外的環(huán)境空氣中的微粒、水分子不斷的滲入，進(jìn)而提供其化學(xué)反應(yīng)所需的元素。再者該移載容器主要以塑膠制成，塑膠材料會(huì)不斷的釋出硫化物等有害物質(zhì)，且外部氣體會(huì)滲透進(jìn)入光掩模，和光掩模圖形材質(zhì)本身或是移載容器內(nèi)氨氣產(chǎn)生反應(yīng)，造成有害物質(zhì)附著于光掩模正反兩面與光掩模護(hù)膜表面。又光掩模護(hù)膜主要以鋁框?yàn)橹鳎湫柽M(jìn)行鋁合金的疏酸陽極處理，使鋁框表面產(chǎn)生硫酸根離子殘留的問題。故為了解決這些問題，業(yè)界開發(fā)有于光掩模的移栽容器內(nèi)加設(shè)不銹鋼內(nèi)罩，以吸收>5克化物，并于移栽容器上加裝充、填氣結(jié)構(gòu)，用以將干凈的惰性氣體注入該移栽容器內(nèi)，以擠出移栽容器內(nèi)的有害氣體，同時(shí)進(jìn)一步提升該移載容器的氣密性，以防止外部微粒進(jìn)入、且防止干凈的惰性氣體流失，如中國臺(tái)灣專利公告第223680號(hào)及第1262164號(hào)等，其均在通過該移載容器結(jié)構(gòu)的改變，來提高移栽容器的氣密性；但于結(jié)構(gòu)上進(jìn)行氣密性的改良是一項(xiàng)重大的工程，不僅需要增加開發(fā)、制模與組裝的成本，且受到材質(zhì)、蓋合力量與蓋合接觸面積等因素的影響，移載容器并無法達(dá)到完全氣密的效果，因此移載容器內(nèi)的氣體仍然會(huì)漸漸向外流失，由于微粒與水分子極小，因此移載容器在經(jīng)長時(shí)間儲(chǔ)存后，外部環(huán)境中如微粒與水分子等有害物質(zhì)仍會(huì)漸漸滲入該移載容器內(nèi)部，而失去維持光掩模潔凈度的作用。再者移載容器因其材質(zhì)中存在有部份的有害物質(zhì)，其會(huì)不斷的釋出，一但時(shí)間較久之后，這些有害物質(zhì)會(huì)影響到移栽容器內(nèi)部的光掩模，其一樣會(huì)造成光掩模與光掩模護(hù)膜的污損、霧化與結(jié)晶等，進(jìn)一步影響到后續(xù)晶圓加工的良率、產(chǎn)量與成本。為了進(jìn)一步提高光掩模儲(chǔ)存的潔凈度與延長儲(chǔ)存時(shí)間，業(yè)界開發(fā)有如中國臺(tái)灣專利公告第M304619號(hào)與公告第M309206號(hào)等專利前案的不同充氣拒，以其中第M309206號(hào)案為例，其包含有一氣體拒本體，其內(nèi)部供有一惰性氣體；一控制單元，其配置于該氣體拒本體之上，用于控制該氣體拒本體內(nèi)惰性氣體的流量及惰性氣體的進(jìn)出；及多個(gè)沖孔層板，置于該氣體拒本體內(nèi)，用以放置光掩模盒，各沖孔層板上形成有沖孔。這些充氣拒的設(shè)計(jì)，主要是將容置光掩模的移轉(zhuǎn)容器置于氣體拒本體內(nèi)部，再將惰性氣體充注于本體內(nèi)部，使微?；蛴泻ξ镔|(zhì)不致進(jìn)入該氣體拒本體內(nèi)部，使光掩模獲得間接的保護(hù)。但其實(shí)際使用時(shí)，在啟閉該氣體柜本體時(shí)，仍然會(huì)將部份^t?；蛴泻ξ镔|(zhì)帶入本體內(nèi)，此時(shí)因本體內(nèi)的氣體壓力大于移載容器，反而有將微?；蛴泻ξ镔|(zhì)擠入移載容器的問題。再者當(dāng)移載容器因材質(zhì)問題釋出有害物質(zhì)時(shí)，其更因前述氣壓問題而^^限于移載容器內(nèi)，進(jìn)而使移載容器內(nèi)的光掩模與光掩模護(hù)膜產(chǎn)生污損、結(jié)晶與霧化的現(xiàn)象，影響到后續(xù)主藝的良率。于是,本發(fā)明人針對上述光掩模充氣拒無法長時(shí)間保持光掩模移載容器內(nèi)部潔凈度的問題深入探討，且利用本發(fā)明人長期從事相關(guān)產(chǎn)業(yè)的研發(fā)與制作的經(jīng)驗(yàn)，積極尋求解決之道，在經(jīng)不斷努力研究與試作，終于成功的開發(fā)出一種光掩模充氣拒結(jié)構(gòu)，使得光掩模充氣拒可有效防止有害物質(zhì)進(jìn)入光掩模移載容器，且將釋出的有害物質(zhì)導(dǎo)出移載容器，而能長時(shí)間維持光掩模移栽容器內(nèi)部的潔凈度。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的在于，克服現(xiàn)有的光掩模充氣拒存在的缺陷，而提供一種新型結(jié)構(gòu)的光掩模充氣拒結(jié)構(gòu)，所要解決的技術(shù)問題是使其可將有害物質(zhì)隔離于外、且將釋出的有害物質(zhì)導(dǎo)出，以長時(shí)間維持光掩才莫移栽容器內(nèi)的的潔凈度，避免微?；蛴泻ξ镔|(zhì)接觸或附著于光掩模與光掩模護(hù)膜表面，進(jìn)一進(jìn)提升后續(xù)晶圓制作的良率，從而更加適于實(shí)用。、本實(shí)用新型的另一目的在于，提供一種新型結(jié)構(gòu)的光掩模充氣拒結(jié)構(gòu)，所要解決的技術(shù)問題是使其可控制光掩模移載容器內(nèi)環(huán)境，借以加速光掩模移載容器內(nèi)有害物質(zhì)的釋出，且有效控制或改變移栽容器內(nèi)部的環(huán)境條件，從而更加適于實(shí)用。本實(shí)用新型的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。依據(jù)本實(shí)用新型提出的一種光掩模充氣拒結(jié)構(gòu)，其用于容置光掩模的移載容器，該充氣拒包含有一拒體，其具有一供擺置移載容器的容置空間，該拒體的容置空間可選擇性啟閉；至少一循環(huán)單元，其設(shè)于前述拒體的容置空間內(nèi)，各循環(huán)單元供對應(yīng)一移載容器，循環(huán)單元具有至少一對應(yīng)連通移栽容器內(nèi)部與光掩模相鄰環(huán)境的充氣元件，且循環(huán)單元具有至少一對應(yīng)連通移載容器內(nèi)部與光掩模相鄰環(huán)境的排氣元件，使得移載容器內(nèi)部氣體通過循環(huán)單元產(chǎn)生循環(huán)流動(dòng)。本實(shí)用新型的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。前述的光掩模充氣柜結(jié)構(gòu)，其中所述的拒體由一利用多個(gè)縱、橫桿組成的框架所構(gòu)成，框架外圍周面設(shè)有封閉形成蓉置空間的側(cè)板，再者拒體于框架異于側(cè)板開口設(shè)有至少一可選擇性啟閉的門板，供移載容器進(jìn)、出《沖巨，。前述的光掩模充氣拒結(jié)構(gòu)，其中所述的拒體于底部設(shè)有多個(gè)移動(dòng)滾輪，便于移動(dòng)該光掩模充氣拒的拒體，且拒體底部并具有多個(gè)可調(diào)式的定位元件，讓拒體穩(wěn)固的定位于固定位置。前述的光掩模充氣拒結(jié)構(gòu)，其中所迷的拒體內(nèi)設(shè)有多層供擺置移栽容器的承栽隔板，各層承載隔板上具有網(wǎng)孔，以防止微粒沉積于承載隔板表面。前述的光掩模充氣拒結(jié)構(gòu)，其中所述的循環(huán)單元上設(shè)有至少一檢知元件，供感應(yīng)移栽容器是否定位置設(shè)于拒體內(nèi)。前述的光掩模充氣拒結(jié)構(gòu)，其中所述的循環(huán)單元具有一無線射頻識(shí)別系統(tǒng)的讀取元件，而移栽容器內(nèi)設(shè)有對應(yīng)的儲(chǔ)存元件，使得該讀取元件供傳輸與讀取移載容器內(nèi)光掩模的相關(guān)資訊。前述的光掩模充氣拒結(jié)構(gòu)，其中所述的循環(huán)單元的充、排氣元件可選擇性啟閉的功能。前述的光掩模充氣拒結(jié)構(gòu)，其中所述的移轉(zhuǎn)容器具有一容置光掩模、且可選擇性啟閉的容置空間，該移轉(zhuǎn)容器上設(shè)有至少一連通容置空間與充氣元件的進(jìn)氣元件，移轉(zhuǎn)容器上另設(shè)有至少一連通容置空間與排氣元件的出氣元件，其中進(jìn)、出氣元件具有防止移轉(zhuǎn)容器閉合時(shí)氣體溢出的選擇性氣密功能。前述的光掩模充氣拒結(jié)構(gòu)，其中所述的循環(huán)單元的充、排氣元件分別具有一管體、一活動(dòng)件、一復(fù)位彈簧及一活塞墊圏，管體內(nèi)部中段形成有一供氣體流經(jīng)的中空隔片，又活動(dòng)件兩端分別形成有一較大徑的抵頂端與一較小徑的閉合端，使活動(dòng)件可以閉合端穿套前述復(fù)位彈簧后、穿經(jīng)隔片，并利用前述的活塞墊圏嵌套于該閉合端上，使活動(dòng)件可于管體內(nèi)受復(fù)位彈簧提供的彈性偏壓力產(chǎn)生浮動(dòng)，供利用活動(dòng)件的活塞墊圏相對遠(yuǎn)離或靠近管體隔片，供阻隔氣體或使氣體連通，再者充、排氣元件的活動(dòng)件具有一對應(yīng)作動(dòng)移載容器進(jìn)、出氣元件的抵頂凸柱。前述的光掩模充氣拒結(jié)構(gòu)，其中所述的移轉(zhuǎn)容器的進(jìn)、出氣元件分別具有一管體、一活動(dòng)件、一復(fù)位彈簧及一活塞墊圏，管體內(nèi)部中段形成有一供氣體流經(jīng)的中空隔片，又活動(dòng)件兩端分別形成有一較大徑的抵頂端與一較小徑的閉合端，使活動(dòng)件可以閉合端穿套前述復(fù)位彈簧后、穿經(jīng)隔片，并利用前述的活塞墊圈嵌套于該閉合端上，使活動(dòng)件可于管體內(nèi)受復(fù)位彈簧提供的彈性偏壓力產(chǎn)生浮動(dòng)，供利用活動(dòng)件的活塞墊圈相對遠(yuǎn)離或靠近管體隔片，供阻隔氣體或使氣體連通。經(jīng)由上述可知，本實(shí)用新型涉及一種光掩才莫充氣拒結(jié)構(gòu)，尤指一種使得光掩模移轉(zhuǎn)容器內(nèi)部保持較佳潔凈度的充氣拒結(jié)構(gòu)，其包含有一中空的拒體，且拒體內(nèi)設(shè)有至少一供光掩模的移轉(zhuǎn)容器定位放置的循環(huán)單元，該循環(huán)單元具有至少一充氣元件與至少一排氣元件，其中充氣元件可選擇性對密合的移轉(zhuǎn)容器內(nèi)部注入干凈氣體，而排氣元件可將密合的移轉(zhuǎn)容器內(nèi)部的氣體排出，使得該移轉(zhuǎn)容器內(nèi)部的氣體形成進(jìn)、出的流動(dòng)狀態(tài)，而能長時(shí)間維持移轉(zhuǎn)容器內(nèi)相鄰光掩模環(huán)境的潔凈度，以減少光掩模與光掩模護(hù)膜表面產(chǎn)生微粒附著與霧化等現(xiàn)象，進(jìn)而提升儲(chǔ)存光掩模的潔凈度。借由上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型光掩模充氣拒結(jié)構(gòu)至少具有下列優(yōu)點(diǎn)1、本實(shí)用新型充氣拒利用各循環(huán)單元的充、排氣元件與光掩模移載容器的進(jìn)、出氣元件，使移栽容器內(nèi)部可保持正壓狀態(tài)，使得外部的微粒、水分子等無法進(jìn)入，因此可解決現(xiàn)有技術(shù)的不斷提升移轉(zhuǎn)容器氣密度的困擾與不便，并可長時(shí)間維持移轉(zhuǎn)容器內(nèi)部環(huán)境的潔凈度。2、本實(shí)用新型光掩模充氣拒可對移栽容器提供循環(huán)流動(dòng)的千凈氣體，而能加速移轉(zhuǎn)容器材質(zhì)中硫化物與光掩模圖形中氨等有害物質(zhì)的釋出，進(jìn)一步可因應(yīng)不同工藝的需要，預(yù)先通過循環(huán)單元控制其內(nèi)部環(huán)境，如濕度、溫度、乃至特殊工藝氣體或物質(zhì)等，以減少后續(xù)工藝處理的時(shí)間與成本。3、本實(shí)用新型充氣拒可將移載容器內(nèi)水分子、微粒與有害物質(zhì)迅速帶出，并不斷注入干凈的氣體，使該光掩模移栽容器的內(nèi)部環(huán)境能長時(shí)間維持潔凈度，減少光掩模表面的微粒附著與霧化、結(jié)晶等現(xiàn)象，而能提升晶圓制作的良率。4、本實(shí)用新型充氣拒可長時(shí)間維持與控制該移栽容器內(nèi)部的潔凈度與環(huán)境條件，故在儲(chǔ)存光掩模時(shí)不需受限于早進(jìn)早出的原則，能增進(jìn)光掩模管理的便利性，進(jìn)一步并可降低光掩模清洗與重新制作的成本。本實(shí)用新型具有上述諸多優(yōu)點(diǎn)及實(shí)用價(jià)值，其不論在結(jié)構(gòu)或功能上皆有較大的改進(jìn)，在技術(shù)上有顯著的進(jìn)步，并產(chǎn)生了好用及實(shí)用的效果，且較現(xiàn)有的光掩模充氣拒具有增進(jìn)的多項(xiàng)功效，從而更加適于實(shí)用，并具有產(chǎn)業(yè)的廣泛利用價(jià)值，誠為一新穎、進(jìn)步、實(shí)用的新設(shè)計(jì)。上述說明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實(shí)用新型的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本實(shí)用新型的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。附困說明圖l是本實(shí)用新型光掩模充氣拒的外觀立體圖。圖2是本實(shí)用新型光掩模充氣拒的內(nèi)部局部單元示意圖，用以說明充氣拒內(nèi)循環(huán)單元的態(tài)樣及其相對關(guān)系。圖3是本實(shí)用新型光掩模充氣拒的循環(huán)單元分解圖。圖4是本實(shí)用新型光掩模充氣拒的應(yīng)用移載容器的分解圖。圖4A是本實(shí)用新型光掩模充氣拒的應(yīng)用移栽容器另一視角的分解圖。圖5是本實(shí)用新型光掩模充氣拒循環(huán)單元于實(shí)際使用的外觀示意圖。圖6是本實(shí)用新型光掩模充氣拒于實(shí)際使用時(shí)，移栽容器置于循環(huán)單元前的剖面示意圖。圖7是本實(shí)用新型光掩模充氣拒于實(shí)際使用時(shí)，循環(huán)單元對應(yīng)移栽容器形成循環(huán)的動(dòng)作示意圖。10:拒體11:框架12:側(cè)板13:門板14:移動(dòng)滾輪15:定位元件16:承載隔板20:循環(huán)單元21:定位塊22:檢知元件23:讀取元件30:充氣元件31:管體310:隔片311:第一槽孔312:第二槽孔33:活動(dòng)件34:抵頂端35:閉合端36:復(fù)位彈簧37:活塞墊圏38:抵頂凸柱40:排氣元件41:管體410:隔片411:第一槽孔412:第二槽孔43:活動(dòng)件44:抵頂端45:閉合端46:復(fù)位彈簧47:活塞墊圈48:抵頂凸柱49:固定板490:升降件50:移載容器51:底座52:承托件520:通氣孔53:抵持件54:螺孔柱55:殼罩56:內(nèi)村560:通孔57:螺孔柱58:儲(chǔ)存元件6:進(jìn)氣元件60:管體600:隔片601:第一槽孔602:第二槽孔62:活動(dòng)件63:抵頂端964:閉合端<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>具體實(shí)施方式為更進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型為達(dá)成預(yù)定實(shí)用新型目的所采取的技術(shù)手段及功效,以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對依據(jù)本實(shí)用新型提出的光掩模充氣拒結(jié)構(gòu)其具體實(shí)施方式、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。本實(shí)用新型是一種用于容置光掩模移載容器的光掩^^莫充氣拒，請參照圖l、圖2所示，其包含有一中空的拒體IO、至少一設(shè)于拒體10內(nèi)的循環(huán)單元20，而各循環(huán)單元20供對應(yīng)一設(shè)于拒體10內(nèi)的光掩模移栽容器50，使得移載容器50內(nèi)部氣體可利用循環(huán)單元20產(chǎn)生循環(huán)流動(dòng)；至于本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的詳細(xì)構(gòu)成，則仍請參閱圖1、2、3及4所示，其中拒體10由一利用多個(gè)縱、才黃桿組成的框架11所構(gòu)成，且于框架11外圍周面設(shè)有封閉形成容置空間的側(cè)板12,再者拒體10于框架11異于側(cè)板12開口設(shè)有至少一門板13，門板13可選擇性啟閉拒體10內(nèi)部容置空間，以供移載容器50進(jìn)、出該拒體IO，又拒體10于底部設(shè)有多個(gè)移動(dòng)滾輪14,便于移動(dòng)該光掩模充氣拒的拒體10，且拒體10底部并具有多個(gè)可調(diào)式的定位元件15，讓柜體10可穩(wěn)固的定位于固定位置，再者拒體IO內(nèi)利用框架11設(shè)有多層的承載隔板16,以供擺置前述的移載容器50，各層承載隔板16上具有網(wǎng)孔，以防止微粒沉積于承載隔板16表面，進(jìn)一步保持充氣拒拒體10內(nèi)部的潔凈度；而循環(huán)單元20設(shè)于拒體10各層承載隔板16上，各循環(huán)單元20具有至少一充氣元件30與至少一排氣元件40，循環(huán)單元20于承載隔板16上設(shè)有至少一定位塊21，使得對應(yīng)的移栽容器50可穩(wěn)固定位于該循環(huán)單元20，又各循環(huán)單元20于承栽隔板16上設(shè)有至少一檢知元件22，供感應(yīng)移載容器50是否定位置設(shè)于拒體10承載隔板16上，再者各循環(huán)單元20并具有一典型無線射頻識(shí)別系統(tǒng)(RFID)的讀取元件23,該讀取元件23可供傳輸與讀取移載容器50內(nèi)光掩模80相關(guān)資訊(如第五、六圖所示)；前述循環(huán)單元20的充、排氣元件30、40具選擇性啟閉的功能，充、排氣元件30、40分別具有一管體31、41、一活動(dòng)件33、43、一復(fù)位彈簧36、46及一活塞墊圈37、47。其中管體31、41內(nèi)部中段形成有一供氣體流經(jīng)的中空隔片310、410，4吏管體31、41內(nèi)部于隔片310、410兩側(cè)分別形成一第一槽孔311、411與一第二槽孔312、412，且充、排氣元件30、40的管體31、41第一槽孔311、411對應(yīng)前述的移載容器50，又活動(dòng)件33、43兩端分別形成有一較大徑的抵頂端34、44與一較小徑的閉合端35、45，使活動(dòng)件33、43可以閉合端35、45穿套前述復(fù)位彈簧36、46后，由管體31、41第一槽孔311、411穿經(jīng)隔片310、410進(jìn)入第二槽孔312、412，并利用前述的活塞墊圈37、47嵌套于該閉合端35、45上，使活動(dòng)件33、43可于管體31、41內(nèi)浮動(dòng)。該復(fù)位彈簧36、46將提供一彈性偏壓力，以推抵活動(dòng)件33、43上的活塞墊圏37、47密閉該管體31、41隔片310、410，供阻隔氣體于第一槽孔311、411與第二槽孔312、412間流動(dòng)，且當(dāng)活動(dòng)件33、43受外力推抵時(shí)，可讓活動(dòng)件33、43活塞墊圈37、47遠(yuǎn)離隔片310、410，使得管體31、41的第一槽孔311、411與第二槽孔312、412相互連通，再者充、排氣元件30、40活動(dòng)件33、43的4氐頂端34、44對應(yīng)移載容器50的表面分別凸伸有一抵頂凸柱38、48;又進(jìn)一步配合圖4及圖4A所示，前述移栽容器50具有至少一進(jìn)氣元件6與至少一出氣元件7，移載容器50由可相對選擇性蓋合與開啟的一底座51與一殼罩55所組成，其中底座51表面設(shè)有由兩承托件52與一抵持件53所組成的"n"支撐體，供支撐置設(shè)光掩模80，其中中空的承托件52上形成有多個(gè)導(dǎo)氣用的通氣孔520,而底座51底面形成有至少一對應(yīng)承托件52內(nèi)部的螺孔柱54，螺孔柱54可供鎖設(shè)前述的進(jìn)氣元件6，而殼罩55內(nèi)面鎖設(shè)有一金屬制的內(nèi)襯56，內(nèi)襯56適當(dāng)位置形成有排氣用的通孔56,再者殼罩55頂面形成有至少一連通內(nèi)部的螺孔柱57，螺孔柱57供鎖，設(shè)前述的出氣元件7，再者移載容器50于殼罩55上設(shè)有一無線射頻識(shí)別系統(tǒng)的儲(chǔ)存元件58，該儲(chǔ)存元件58供記錄移載容器2內(nèi)光掩模30的相關(guān)資訊，且儲(chǔ)存元件58對應(yīng)拒體10循環(huán)單元20的讀取元件23，以便于移載時(shí)讀取之用；至于前述設(shè)于移載容器50的進(jìn)、出氣元件6、7具選擇性啟閉的功能，該進(jìn)、出氣元件6、7分別具有一管體60、70、一活動(dòng)件62、72、一復(fù)位彈簧65、75及一活塞墊圏66、76。其中管體31、41外徑適可嵌插于循環(huán)單元20充、排氣元件30、40的管體31、41內(nèi)，且可推;^氐充、排氣元件30、40的活動(dòng)件33、43(如圖7所示)，又管體60、70內(nèi)部中段分別形成有一供氣體流經(jīng)的中空隔片600、700,使管體60、70內(nèi)部于隔片600、700兩側(cè)分別形成一第一槽孔601、701與一第二槽孔602、702，且進(jìn)、出氣元件6、7的管體60、70第一槽孔601、701對應(yīng)前述的循環(huán)單元20的充、排氣元件30、40。又活動(dòng)件62、72兩端分別形成有一4交大徑的4氐頂端63、73與一較小徑的閉合端64、74,使活動(dòng)件62、72可以閉合端64、74穿套前迷復(fù)位彈簧65、75后，由管體60、70第一槽孔601、701穿經(jīng)隔片600、700進(jìn)入第二槽孔602、702，并利用前述的活塞墊圈66、76嵌套于該閉合端64、74上，使活動(dòng)件62、72可于管體60、70內(nèi)浮動(dòng)。該復(fù)位彈簧65、75將提供一彈性偏壓力，以推抵活動(dòng)件62、72,使其上的活塞墊圈66、76相對開啟或密閉該管體60、70的隔片600、700，供阻隔氣體于第一槽孔601、701與第二槽孔602、702間流動(dòng)，且當(dāng)活動(dòng)件62、72受外力推抵時(shí)，可讓活動(dòng)件62、72的活塞墊圏66、76遠(yuǎn)離隔片600、700,使得管體60、70的第一槽孔601、701與第二槽孔602、702相互連通，讓氣體可順利流動(dòng)。再者進(jìn)氣元件6由移載容器50外部鎖設(shè)于底座51螺孔柱54時(shí)，可依序壓掣一壓抵墊圈68與一濾片67，以進(jìn)一步過濾進(jìn)入移載容器50內(nèi)的干凈氣體，防止微:?；蛴泻ξ镔|(zhì)進(jìn)入移載容器50內(nèi)；經(jīng)由上述的說明，光掩才莫充氣拒的拒體10可利用各循環(huán)單元20的充、排氣元件30、40相對接合移載容器50的進(jìn)、出氣元件6、7,使移載容器50內(nèi)部的氣體可產(chǎn)生循環(huán)流動(dòng)，讓千凈氣體可不斷的注入移栽容器50內(nèi)形成正壓，以避免外部微粒與有害物質(zhì)進(jìn)入，同時(shí)可將釋出的有害物質(zhì)利用流動(dòng)氣體不斷的帶出，可而組構(gòu)成一可控制移栽容器50內(nèi)部環(huán)境的光掩;f莫充氣拒結(jié)構(gòu)。通過上述的設(shè)計(jì)，本實(shí)用新型于實(shí)際運(yùn)用時(shí)，則如圖2及圖5~圖7所顯示，將容置有光掩才莫80的移栽容器20置入拒體10對應(yīng)的循環(huán)單元20上，當(dāng)循環(huán)單元20的檢知元件22感應(yīng)移栽容器50定位后，可啟動(dòng)讀取元件23對應(yīng)存取該移載容器250的儲(chǔ)存元件58內(nèi)的光掩才莫80相關(guān)資訊，當(dāng)移栽容器50置于柜體10承栽隔板16上時(shí)，移載容器50的進(jìn)氣元件6可與循環(huán)單元20的充氣元件30同時(shí)相對插接，4吏得進(jìn)氣元件6的管體60可推抵充氣元件30的活動(dòng)件34,而充氣元件30活動(dòng)件34的抵頂凸柱38可同步推抵進(jìn)氣元件6的活動(dòng)件62，使充氣元件30與進(jìn)氣元件6可同步開啟，讓干凈氣體可充注進(jìn)入承栽容器50內(nèi)部。同時(shí)循環(huán)單元20的排氣元件40與移載容器50的出氣元件7可相對插接，令出氣元件7的管體70可推抵排氣元件40的活動(dòng)件44,而排氣元件40活動(dòng)件44的抵頂凸柱48可同步推抵出氣元件7的活動(dòng)件72，讓排氣元件40與出氣元件7可同步開啟，讓承載容器50內(nèi)部氣體可不斷排出。讓移栽容器50與光掩模80相鄰的內(nèi)部環(huán)境具有一循環(huán)流動(dòng)的氣體，如此可使移載容器50內(nèi)部環(huán)境形成正壓，有效防止外部微粒與有害物質(zhì)進(jìn)入，同時(shí)可帶走環(huán)境中的有害物質(zhì)，而能加速有害物質(zhì)的釋出，進(jìn)一步可控制移載容器50內(nèi)部的環(huán)境條件，如濕度、溫度等。綜上，本實(shí)用新型光掩;f莫充氣拒可利用循環(huán)單元20的注氣與排氣作用，使得移栽容器50內(nèi)部環(huán)境可通過流動(dòng)的氣體形成正壓，以防止樹:粒、水分子等外部有害物質(zhì)進(jìn)入該移載容器50內(nèi)，因此可效地確保移轉(zhuǎn)容器內(nèi)環(huán)境的潔凈度。又由于本實(shí)用新型充氣柜的循環(huán)單元20可將移載容器50內(nèi)原有或釋出的有害物質(zhì)迅速帶出，故該移栽容器50內(nèi)部可長時(shí)間維持潔凈，并能依不同工藝的需要，預(yù)先控制移載容器50的內(nèi)部環(huán)境，進(jìn)一步降低管理與營運(yùn)的成本，有進(jìn)達(dá)到提升晶圓良率與增加產(chǎn)量的目的。以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對本實(shí)用新型作任何形式上的限制，雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本實(shí)用新型，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。權(quán)利要求1、一種光掩模充氣柜結(jié)構(gòu)，其用于容置光掩模的移載容器，其特征在于該充氣柜包含有一柜體，其具有一供擺置移載容器的容置空間，該柜體的容置空間可選擇性啟閉；至少一循環(huán)單元，其設(shè)于前述柜體的容置空間內(nèi)，各循環(huán)單元供對應(yīng)一移載容器，循環(huán)單元具有至少一對應(yīng)連通移載容器內(nèi)部與光掩模相鄰環(huán)境的充氣元件，且循環(huán)單元具有至少一對應(yīng)連通移載容器內(nèi)部與光掩模相鄰環(huán)境的排氣元件，使得移載容器內(nèi)部氣體通過循環(huán)單元產(chǎn)生循環(huán)流動(dòng)。2、根據(jù)權(quán)利要求l所述的光掩模充氣拒結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所述的柜體由一利用多個(gè)縱、橫桿組成的框架所構(gòu)成，框架外圍周面設(shè)有封閉形成容置空間的側(cè)板，再者拒體于框架異于側(cè)板開口設(shè)有至少一可選擇性啟閉的門板，供移載容器進(jìn)、出該拒體。3、根據(jù)權(quán)利要求l所述的光掩模充氣柜結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所述的拒體于底部設(shè)有多個(gè)移動(dòng)滾輪，便于移動(dòng)該光掩模充氣拒的拒體，且拒體底部并具有多個(gè)可調(diào)式的定位元件，讓拒體穩(wěn)固的定位于固定位置。4、根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的光掩模充氣拒結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所述的柜體內(nèi)設(shè)有多層供擺置移載容器的承載隔板，各層承載隔板上具有網(wǎng)孔，以防止微粒沉積于承載隔板表面。5、根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩模充氣拒結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所述的循環(huán)單元上設(shè)有至少一檢知元件，供感應(yīng)移栽容器是否定位置設(shè)于拒體內(nèi)。6、根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩模充氣拒結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所述的循環(huán)單元具有一無線射頻識(shí)別系統(tǒng)的讀取元件，而移載容器內(nèi)設(shè)有對應(yīng)的儲(chǔ)存元件，使得該讀取元件供傳輸與讀取移載容器內(nèi)光掩模的相關(guān)資訊。7、根據(jù)權(quán)利要求l所述的光掩模充氣柜結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所述的移轉(zhuǎn)容器具有一容置光掩模、且可選擇性啟閉的容置空間，該移轉(zhuǎn)容器上設(shè)有至少一連通容置空間與充氣元件的進(jìn)氣元件，移轉(zhuǎn)容器上另設(shè)有至少一連通容置空間與排氣元件的出氣元件，其中進(jìn)、出氣元件具有防止移轉(zhuǎn)容器閉合時(shí)氣體溢出的選擇性氣密功能。8、根據(jù)權(quán)利要求1或7所述的光掩模充氣柜結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所述的循環(huán)單元的充、排氣元件分別具有一管體、一活動(dòng)件、一復(fù)位彈簧及一活塞墊圏，管體內(nèi)部中段形成有一供氣體流經(jīng)的中空隔片，又活動(dòng)件兩端分別形成有一較大徑的抵頂端與一較小徑的閉合端，使活動(dòng)件可以閉合端穿套前述復(fù)位彈簧后、穿經(jīng)隔片，并利用前述的活塞墊圈嵌套于該閉合端上，使活動(dòng)件可于管體內(nèi)受復(fù)位彈簧提供的彈性偏壓力產(chǎn)生浮動(dòng)，供利用活動(dòng)件的活塞墊圈相對遠(yuǎn)離或靠近管體隔片，供阻隔氣體或使氣體連通，再者充、排氣元件的活動(dòng)件具有一對應(yīng)作動(dòng)移載容器進(jìn)、出氣元件的抵頂凸柱。9、根據(jù)權(quán)利要求8所述的光掩模充氣拒結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所述的移轉(zhuǎn)容器的進(jìn)、出氣元件分別具有一管體、一活動(dòng)件、一復(fù)位彈簧及一活塞墊圈，管體內(nèi)部中段形成有一供氣體流經(jīng)的中空隔片，又活動(dòng)件兩端分別形成有一較大徑的抵頂端與一較小徑的閉合端，使活動(dòng)件可以閉合端穿套前述復(fù)位彈簧后、穿經(jīng)隔片，并利用前述的活塞墊圈嵌套于該閉合端上，使活動(dòng)件可于管體內(nèi)受復(fù)位彈簧提供的彈性偏壓力產(chǎn)生浮動(dòng)，供利用活動(dòng)件的活塞墊圏相對遠(yuǎn)離或靠近管體隔片，供阻隔氣體或使氣體連通。專利摘要本實(shí)用新型涉及一種光掩模充氣柜結(jié)構(gòu)，尤指一種使得光掩模移轉(zhuǎn)容器內(nèi)部保持較佳潔凈度的充氣柜結(jié)構(gòu)，其包含有一中空的柜體，且柜體內(nèi)設(shè)有至少一供光掩模的移轉(zhuǎn)容器定位放置的循環(huán)單元，該循環(huán)單元具有至少一充氣元件與至少一排氣元件，其中充氣元件可選擇性對密合的移轉(zhuǎn)容器內(nèi)部注入干凈氣體，而排氣元件可將密合的移轉(zhuǎn)容器內(nèi)部的氣體排出，使得該移轉(zhuǎn)容器內(nèi)部的氣體形成進(jìn)、出的流動(dòng)狀態(tài)，而能長時(shí)間維持移轉(zhuǎn)容器內(nèi)相鄰光掩模環(huán)境的潔凈度，以減少光掩模與光掩模護(hù)膜表面產(chǎn)生微粒附著與霧化等現(xiàn)象，進(jìn)而提升儲(chǔ)存光掩模的潔凈度。文檔編號(hào)G03F1/66GK201134421SQ20072012731公開日2008年10月15日申請日期2007年8月10日優(yōu)先權(quán)日2007年8月10日發(fā)明者廖莉雯申請人:廖莉雯