專利名稱：感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止裝置及方法，尤其涉及防止在待機(jī)狀態(tài)下因無(wú)旋轉(zhuǎn)涂布(spinless coating)噴嘴干燥而導(dǎo)致噴口堵塞現(xiàn)象的感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止裝置及方法。
背景技術(shù)：
通常，半導(dǎo)體裝置或顯示裝置的制造過(guò)程包含反復(fù)地形成薄膜并在薄膜上形成圖案(pattern)的過(guò)程。
在去除一部分薄膜而形成圖案時(shí)主要使用利用感光膜的方法。為了在薄膜上均勻涂敷所述感光膜，以往采用旋轉(zhuǎn)基板并在該旋轉(zhuǎn)基板的中央部放置定量感光液而根據(jù)離心力涂布均勻厚度感光膜的方法。
但是，由于用于制造顯示裝置的基板面積越來(lái)越大，無(wú)法再使用如上所述的旋轉(zhuǎn)涂布(spin coating)方法，因此目前使用無(wú)旋轉(zhuǎn)涂布(spinless coating)方式，即在將大面積基板固定的狀態(tài)下，利用噴嘴在該大面積基板上部均勻涂布感光膜。
這種無(wú)旋轉(zhuǎn)涂布是在將大面積基板裝載到平臺(tái)(surface plate)的狀態(tài)下，由與該大面積基板上部保持預(yù)定距離并勻速移動(dòng)的噴嘴噴出定量感光液而進(jìn)行的。
如此，現(xiàn)有的無(wú)旋轉(zhuǎn)涂布裝置包含平臺(tái)和噴出定量感光液的噴嘴及定速移動(dòng)該噴嘴的移動(dòng)裝置。
從平臺(tái)卸載完成所述感光膜涂布工序的基板，然后將新的大面積基板裝載到平臺(tái)上。
在完成大面積基板的裝載之前所述噴嘴處于待機(jī)狀態(tài)，其待機(jī)時(shí)間越長(zhǎng)所述噴嘴中殘留的感光液越有可能硬化，當(dāng)感光液硬化時(shí)會(huì)發(fā)生因噴嘴被堵塞而無(wú)法進(jìn)行涂布工藝或者因硬化的感光液被噴出而無(wú)法涂布均勻的感光膜等問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決如上所述的問(wèn)題而提出的，其目的在于提供一種可以在待機(jī)狀態(tài)下防止噴嘴內(nèi)感光液硬化的感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止裝置及方法。
并且，本發(fā)明的目的還在于提供一種在待機(jī)狀態(tài)下防止噴嘴內(nèi)感光液硬化，同時(shí)可以顯著減少用于防止硬化的溶劑等使用量的感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止裝置及方法。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明所提供的感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止裝置，包含收容部，用于收容硬化防止液和感光膜涂布噴嘴的狹縫，并使感光膜涂布噴嘴的狹縫不與所述硬化防止液接觸；狹縫接觸部件，用于使部分所述硬化防止液與所述感光膜涂布噴嘴的末端接觸。
并且，本發(fā)明所提供的感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止方法包含利用狹縫接觸部件使部分硬化防止液產(chǎn)生表面張力的表面張力誘導(dǎo)步驟；使處于待機(jī)狀態(tài)的感光膜涂布噴嘴的狹縫末端與依靠所述表面張力突出的部分硬化防止液接觸的狹縫接觸步驟。


圖1為應(yīng)用本發(fā)明所提供的感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止裝置的感光膜涂布裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明所提供的感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止裝置的剖面圖。
主要符號(hào)說(shuō)明10為平臺(tái)，11為大面積基板，20為移送部，30為噴嘴，31為狹縫，40為待機(jī)部，41為收容部，42為硬化防止液，43為狹縫接觸部件。
具體實(shí)施例方式
下面參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明所提供的感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止裝置及方法的實(shí)施例。
圖1為應(yīng)用本發(fā)明所提供的感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止裝置的感光膜涂布裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
如圖1所示，感光膜涂布裝置包含裝載大面積基板11的平臺(tái)10；設(shè)在所述平臺(tái)10兩側(cè)的移送部20；依靠所述移送部20在所述大面積基板11上部均勻地噴出感光液的噴嘴30；待機(jī)部40，所述噴嘴30在將感光液涂敷于所述大面積基板11上之后在待機(jī)部40停留。
圖2為所述待機(jī)部40的剖面圖。
如圖2所示，所述待機(jī)部40包含收容噴嘴30的狹縫31的收容部41；被收容在所述收容部41部分空間中的硬化防止液42，該硬化防止液42不與所述狹縫31接觸；結(jié)合在所述收容部41底面并與所述狹縫31接觸的狹縫接觸部件43。
以下，進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明所提供的感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止裝置實(shí)施例的結(jié)構(gòu)與作用。
首先，在將大面積基板11裝載到平臺(tái)10的狀態(tài)下，由移送部20移動(dòng)噴嘴30。
此時(shí)移動(dòng)速度保持均勻，移動(dòng)中的噴嘴30通過(guò)其狹縫31將定量感光液噴到所述大面積基板11上部。
如此，通過(guò)在定速移動(dòng)的同時(shí)噴出定量感光液，從而可以在大面積基板11上部涂敷均勻厚度的感光膜。
完成如上所述的涂敷工序之后，噴嘴30依靠移送部重新回到原來(lái)的位置，并且直到進(jìn)行下一次感光液涂敷動(dòng)作之前都將停留在所述待機(jī)部40。
所述待機(jī)部40上表面具有用于收容噴嘴30下部的傾斜面，在其傾斜面內(nèi)側(cè)具有裝著硬化防止液42的收容部41。
所述硬化防止液42可以防止所述噴嘴30中的感光液發(fā)生硬化，可以使用感光液的溶劑或感光液。
所述噴嘴30中的感光液可能與空氣接觸而變硬，并由此發(fā)生硬化。尤其，當(dāng)狹縫31寬度小于噴嘴30內(nèi)部寬度且狹縫31直接暴露在外時(shí)，狹縫31內(nèi)的感光液更容易硬化。
當(dāng)感光液在所述狹縫31中發(fā)生硬化時(shí)，狹縫31被堵塞而無(wú)法涂敷感光液，如果只有狹縫31的一部分被堵塞，則涂布的感光膜會(huì)變得不均勻。
為了防止狹縫31內(nèi)的感光液發(fā)生硬化，所述狹縫接觸部件43與狹縫31末端的側(cè)面部分相接觸。
所述狹縫接觸部件43具有與狹縫31末端的側(cè)面部分進(jìn)行線接觸的傾斜面。
雖然所述狹縫接觸部件43的傾斜面突出到所述硬化防止液42上側(cè)，但是由于硬化防止液42的表面張力，該傾斜面上也會(huì)有硬化防止液42。
如果所述狹縫接觸部件43末端直接接觸狹縫31末端，則有可能改變狹縫31間距或者使狹縫31末端磨損而降低工藝可靠性。為了避免發(fā)生這種問(wèn)題，所述狹縫接觸部件43不直接接觸狹縫31，而是與狹縫31的側(cè)面部分相接觸。
并且，如果將狹縫31直接沒(méi)入到硬化防止液42中，則所述硬化防止液42易被污染導(dǎo)致更換周期縮短，而本發(fā)明通過(guò)使用狹縫接觸部件43使狹縫31末端接觸硬化防止液42，因此在防止狹縫31內(nèi)的感光液42硬化的同時(shí)減少硬化防止液42的污染而延長(zhǎng)使用壽命。
并且，由于使用少量的因表面張力而位于狹縫接觸部件43上部的硬化防止液42來(lái)防止狹縫31堵塞，因此可以減少硬化防止液42使用量。
上述內(nèi)容是結(jié)合附圖根據(jù)特定的優(yōu)選實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行的說(shuō)明。本發(fā)明不限于上述實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明范圍的情況下，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的具有通常知識(shí)的人員可以進(jìn)行各種變形和修改。
綜上所述，本發(fā)明所提供的感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止裝置及方法，由于可以防止處于待機(jī)狀態(tài)的感光膜涂布噴嘴內(nèi)的感光液發(fā)生硬化，因此可以在以后的感光膜涂布過(guò)程中涂布均勻的感光膜。
并且，本發(fā)明所提供的感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止裝置及方法，通過(guò)設(shè)置狹縫接觸部件使得少量硬化防止液與狹縫末端相接觸，從而可以使硬化防止液使用量最小，并延長(zhǎng)更換周期。
權(quán)利要求
1.一種感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止裝置，包含收容部，用于收容硬化防止液和感光膜涂布噴嘴的狹縫，并使感光膜涂布噴嘴的狹縫不與所述硬化防止液接觸；狹縫接觸部件，用于使部分所述硬化防止液與所述感光膜涂布噴嘴的末端接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止裝置，其特征在于所述狹縫接觸部件的一端固定在所述收容部底面，另一端具有傾斜面，該傾斜面與所述感光膜涂布噴嘴狹縫的側(cè)面進(jìn)行線接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止裝置，其特征在于所述狹縫接觸部件的傾斜面不與所述狹縫末端接觸。
4.一種感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止方法，當(dāng)噴嘴處于待機(jī)狀態(tài)時(shí)，利用表面張力使硬化防止液的部分液面突出，并使噴嘴的狹縫末端接觸該突出的部分硬化防止液，從而防止狹縫內(nèi)的感光液硬化。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止方法，其特征在于因所述表面張力而突出的硬化防止液，利用具有傾斜面的狹縫接觸部件使所述硬化防止液依靠表面張力位于該傾斜面上，并使狹縫與位于該傾斜面上的硬化防止液接觸。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止方法，其特征在于所述狹縫末端不與所述狹縫接觸部件接觸，而只與因表面張力而突出的硬化防止液接觸。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止裝置及方法，本發(fā)明所提供的感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止裝置，包含收容部，用于收容硬化防止液和感光膜涂布噴嘴的狹縫，并使感光膜涂布噴嘴的狹縫不與硬化防止液接觸；狹縫接觸部件，用于使部分硬化防止液與感光膜涂布噴嘴的末端接觸。并且，本發(fā)明所提供的感光液狹縫噴嘴的感光液硬化防止方法包含利用狹縫接觸部件使部分硬化防止液產(chǎn)生表面張力的表面張力誘導(dǎo)步驟；使處于待機(jī)狀態(tài)的感光膜涂布噴嘴的狹縫末端與依靠表面張力突出的部分硬化防止液接觸的狹縫接觸步驟。本發(fā)明通過(guò)設(shè)置狹縫接觸部件使得少量硬化防止液與狹縫末端相接觸，從而使硬化防止液使用量最小，并延長(zhǎng)更換周期。
文檔編號(hào)G03F7/16GK101067725SQ20071010220
公開(kāi)日2007年11月7日 申請(qǐng)日期2007年4月27日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月2日
發(fā)明者權(quán)晟, 金株香, 樸云用 申請(qǐng)人:K.C.科技股份有限公司