專(zhuān)利名稱(chēng)：一種可提高成品率的光罩的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光罩，尤其涉及一種可提高成品率的光罩。
背景技術(shù)：
光刻是制作半導(dǎo)體器件和集成電路的關(guān)鍵工藝，而使用質(zhì)量合格的光罩進(jìn) 行光刻是光刻工藝順利進(jìn)行的先決條件。隨著半導(dǎo)體器件特征尺寸的減小，在 進(jìn)行光刻時(shí)光罩上一些孤立器件圖形的工藝窗口就很小，如此將會(huì)影響該孤立 器件的光刻效果，為擴(kuò)大該些孤立器件圖形的工藝窗口，通常會(huì)在該孤立器件 圖形的周邊設(shè)置一些條狀的散射條紋。在制造光罩時(shí)，需先在光罩的基板上漆 覆光刻膠，然后再光刻出半導(dǎo)體器件圖形(包括孤立器件圖形和非孤立器件圖
形)和散射條紋，但由于該散射條紋的寬度只有光刻波長(zhǎng)(現(xiàn)在通常使用19.3— 納米)的1/5至1/4，故承載有該散射條紋圖形的光刻膠易發(fā)生剝離或倒塌，從 而影響該散射條紋的形狀，并大大影響光罩的成品率。
因此，如何提供一種可提高成品率的光罩以方便加工散射條紋且提高光罩 的成品率，已成為業(yè)界亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種可提高成品率的光罩，通過(guò)所述光罩可降低制 造工藝難度，并可大大提高光罩的成品率。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的 一種可提高成品率的光罩，其上具有至少一 孤立器件圖形和多個(gè)設(shè)置在該孤立器件圖形周?chē)矣糜谠龃笃涔に嚧翱诘纳⑸?條紋，該散射條紋具有一條狀本體，該條狀本體兩側(cè)邊上設(shè)置有多個(gè)支腳。
在上述的可提高成品率的光罩中，該支腳包括設(shè)置在條狀本體兩末端的兩 末端支腳對(duì)和多個(gè)設(shè)置在兩末端支腳對(duì)間及條狀本體上的內(nèi)部支腳對(duì)。
在上述的可提高成品率的光罩中，該末端支腳對(duì)由兩第一長(zhǎng)方塊組成，該兩第一長(zhǎng)方塊的長(zhǎng)邊對(duì)稱(chēng)設(shè)置在該條狀本體末端的兩側(cè)邊上。
在上述的可提高成品率的光罩中，該第一長(zhǎng)方塊的長(zhǎng)為20至40納米，寬 為4至5納米。
在上述的可提高成品率的光罩中，該內(nèi)部支腳對(duì)由兩第二長(zhǎng)方塊組成，該 兩第二長(zhǎng)方塊的寬邊對(duì)稱(chēng)設(shè)置在該條狀本體兩側(cè)邊上。
在上述的可提高成品率的光罩中，該第二長(zhǎng)方塊的長(zhǎng)為4至5納米，寬為2 至3納米。
在上述的可提高成品率的光罩中，該條狀本體的寬度為40至50納來(lái)。 在上述的可提高成品率的光罩中，該光罩上還具有非孤立器件圖形。. 與現(xiàn)有技術(shù)中光罩上的散射條紋僅具條狀本體而造成制造工藝?yán)щy且成品 率不高相比，本發(fā)明的可提高成品率的光罩在該散射條紋的條狀本體的兩側(cè)邊 上設(shè)置有多個(gè)支腳，如此在光刻該些散射條紋時(shí)，承栽該散射條紋圖形的光刻 膠就不易倒塌或脫落，從而降低了工藝難度，大大提高了光罩的成品率。


本發(fā)明的可提高成品率的光罩由以下的實(shí)施例及附圖給出。 圖1為本發(fā)明的可^_高成品率的光罩的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為圖1中的散射條紋的放大示意圖。
具體實(shí)施例方式
以下將對(duì)本發(fā)明的可提高成品率的光罩作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。 參見(jiàn)圖1，本發(fā)明的可提高成品率的光罩1上具有至少一孤立器件圖形10、 非孤立器件ll、 12和13，所述孤立器件圖形10周邊設(shè)置有多個(gè)用于增大其工 藝窗口的散射條紋14。在本實(shí)施例中，以所述光罩1上具有一孤立器件圖形10、 以所述孤立器件圖形10左右各設(shè)置有一散射條紋14為例進(jìn)行說(shuō)明。
參見(jiàn)圖2，結(jié)合參見(jiàn)圖1，圖2顯示了圖1中散射條紋14的放大圖，如圖 所示，所述散射條紋14具有一條狀本體140和多個(gè)設(shè)置在所述條狀本體140兩 側(cè)邊上的支腳，所述支腳包括設(shè)置在條狀本體兩末端的兩末端支腳對(duì)141和多 個(gè)設(shè)置在兩末端支腳對(duì)141間及條狀本體140上的內(nèi)部支腳對(duì)142。在本實(shí)施例中，所述條狀本體140的寬度為40至50納米；所述末端支腳 對(duì)141分別由兩第一長(zhǎng)方塊141a和141b組成，所述兩第一長(zhǎng)方塊141a和141b 的長(zhǎng)邊對(duì)稱(chēng)設(shè)置在所述條狀本體140末端的兩側(cè)邊上，所述第一長(zhǎng)方塊的長(zhǎng)為 20至40納米，寬為4至5納米；所述支腳包括四個(gè)設(shè)置在兩末端支腳對(duì)141間 及條狀本體140上的內(nèi)部支腳對(duì)142,所述內(nèi)部支腳對(duì)142由兩第二長(zhǎng)方塊142a 和142b組成，所述兩第二長(zhǎng)方塊142a和142b的寬邊對(duì)稱(chēng)設(shè)置在所述條狀本體 140兩側(cè)邊上，所述第二長(zhǎng)方塊的長(zhǎng)為4至5納米，寬為2至3納米。
在制作本發(fā)明的可提高成品率的光罩1時(shí)，由于在散射條紋14的條狀本體 140兩側(cè)添加了支腳，故光刻并顯影所述散射條紋14時(shí)，承載所述散射條紋14 的光刻膠會(huì)具有對(duì)應(yīng)的支腳，如此將會(huì)因散射條紋面積的增大而導(dǎo)致散射條紋 制作時(shí)更易制作，另外由于支腳的支撐，所述光刻膠倒塌或脫落的幾率大大減 小，如此所制成的散射條紋的圖形得到改善，光罩的成品率也相應(yīng)提高。
綜上所述，本發(fā)明的可提高成品率的光罩在所述條狀本體的兩側(cè)邊上設(shè)置 有多個(gè)支腳，如此在光刻所述些散射條紋時(shí)，承載所述散射條紋圖形的光刻膠 就不易倒塌或脫落，從而降低了工藝難度，大大提高了光罩的成品率。
權(quán)利要求
1、一種可提高成品率的光罩，其上具有至少一孤立器件圖形和多個(gè)設(shè)置在該孤立器件圖形周?chē)矣糜谠龃笃涔に嚧翱诘纳⑸錀l紋，該散射條紋具有一條狀本體，其特征在于，該條狀本體兩側(cè)邊上設(shè)置有多個(gè)支腳。
2、 如權(quán)利要求1所述的可提高成品率的光罩，其特征在于，該支腳包括設(shè) 置在條狀本體兩末端的兩末端支腳對(duì)和多個(gè)設(shè)置在兩末端支腳對(duì)間及條狀本體 上的內(nèi)部支腳對(duì)。
3、 如權(quán)利要求2所述的可提高成品率的光罩，其特征在于，該末端支腳對(duì) 由兩第一長(zhǎng)方塊組成，該兩第一長(zhǎng)方塊的長(zhǎng)邊對(duì)稱(chēng)設(shè)置在該條狀本體末端的兩 側(cè)邊上。
4、 如權(quán)利要求3所述的可提高成品率的光罩，其特征在于，該第一長(zhǎng)方塊 的長(zhǎng)為20至40納米，寬為4至5納米。
5、 如權(quán)利要求2所述的可提高成品率的光罩，其特征在于，該內(nèi)部支腳對(duì) 由兩第二長(zhǎng)方塊組成，該兩第二長(zhǎng)方塊的寬邊對(duì)稱(chēng)設(shè)置在該條狀本體兩側(cè)邊上，
6、 如權(quán)利要求5所述的可提高成品率的光罩，其特征在于，該第二長(zhǎng)方塊 的長(zhǎng)為4至5納米，寬為2至3納米。
7、 如權(quán)利要求l所述的可提高成品率的光罩，其特征在于，該條狀本體的 寬度為40至50納米。
8、 如權(quán)利要求1所述的可提高成品率的光罩，其特征在于，該光罩上還具 有非孤立器件圖形。 '
全文摘要
本發(fā)明提供了一種可提高成品率的光罩?，F(xiàn)有技術(shù)中光罩上的散射條紋僅具條狀本體，故在制造時(shí)非常困難且會(huì)影響光罩的成品率。本發(fā)明的可提高成品率的光罩具有至少一孤立器件圖形和多個(gè)設(shè)置在該孤立器件圖形周?chē)糜谠龃笃涔に嚧翱诘纳⑸錀l紋，該散射條紋具有一條狀本體，該條狀本體兩側(cè)邊上設(shè)置有多個(gè)支腳。采用本發(fā)明可提高成品率的光罩可降低光罩制造的工藝難度，并可大大提高其成品率。
文檔編號(hào)G03F1/38GK101408723SQ200710046838
公開(kāi)日2009年4月15日 申請(qǐng)日期2007年10月9日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月9日
發(fā)明者劉慶煒 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司