專利名稱：：液晶顯示元件用感光性樹脂組合物、使用其的濾色片及其制造方法以及液晶顯示元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種液晶顯示元件用感光性樹脂組合物、使用該樹脂組合物的濾色片的制造方法以及濾色片、進(jìn)而具備該濾色片而成的液晶顯示元件。具體而言，本發(fā)明涉及在液晶單元的隔壁、間隙材、像素、黑矩陣等的形成中有用的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物、使用該樹脂組合物制作的濾色片、使用該樹脂組合物的濾色片的制造方法以及具備利用該制造方法制作的濾色片的液晶顯示元件。
背景技術(shù)：
：近年來，在各種顯示裝置中使用的液晶顯示器(以下適當(dāng)時(shí)稱為LCD)非常緊湊，性能方面的提高顯著，正在替代以往的CRT顯示器。液晶顯示器中的彩色圖像是通過將已通過濾色片的光著色成濾色片的各像素的色相，復(fù)合這些顏色的光來形成的。近年來，液晶顯示器(LCD)的大畫面化及高精細(xì)化的技術(shù)開發(fā)正在發(fā)展，其用途不僅為個(gè)人電腦用顯示器，還被用于電視監(jiān)視器等中，隨之需要顯示特性的進(jìn)一步提高。作為顯示特性提高，研究了像素的高精細(xì)化、通過校正掩模誤差而在畫面內(nèi)的顯示均一性的改善、能夠更明確地顯示明像與暗像的差的高對比度化、高速應(yīng)答化等，尤其研究了ITO電阻值的減低。另外，液晶顯示裝置通常在一對基板間配置可以利用規(guī)定的取向進(jìn)行圖像顯示的液晶層，將該基板間隔即液晶層的厚度維持為均一是決定圖像質(zhì)量的要素之一。為了將液晶層的厚度保持在一定，配設(shè)間隙材，為了提高位置精密度，使用感光性樹脂組合物，利用光刻法形成位置精密度高的間隙材。使用這樣的感光性樹脂組合物形成的間隙材被稱為光感應(yīng)間隙材。在此使用的感光性樹脂組合物，不僅間隙材，還可以用于分隔液晶單元的像素的隔壁、黑矩陣、進(jìn)而像素自身的形成等。這樣的感光性樹脂組合物也被用于濾色片的制造，但作為其制造方法，通常已知有曝光感光性樹脂組合物，使曝光區(qū)域固化，通過顯影除去未曝光部，從而形成微細(xì)圖案的光刻法。以往，通常使用借助掩模圖案進(jìn)行曝光的方法，但近年來，隨著激光照射裝置的發(fā)展，不使用光掩模而在感光性樹脂組合物層的表面掃描曝光半導(dǎo)體激光、氣體激光等激光，基于像素圖案、間隙材圖案等的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)進(jìn)行圖案形成的所謂的激光直接成像系統(tǒng)(laserdirectimagesystem)(以下有時(shí)稱為"LDI")備受矚目，正在被應(yīng)用于印刷線路板作成等。作為利用所述LDI的曝光裝置，已知具備如下所述的系統(tǒng)的曝光裝置，即利用具有n個(gè)接受并射出來自以激光為光源的光照射機(jī)構(gòu)的光的描繪部的光調(diào)制機(jī)構(gòu)，分別對應(yīng)控制信號調(diào)制來自所述光照射機(jī)構(gòu)的光的空間光調(diào)制元件；用于利用通過該空間光調(diào)制元件調(diào)制的光來放大像的放大成像光學(xué)系；配置于該放大成像光學(xué)系的成像面，分別對應(yīng)空間光調(diào)制元件的各像素部，具有陣列狀微透鏡的微透鏡陣列；使通過該微透鏡陣列的光在圖案形成材料或屏幕上成像的成像光學(xué)系(例如參照非專利文獻(xiàn)1及專利文獻(xiàn)l)。LDI具有不需要高價(jià)的光掩模的優(yōu)點(diǎn)。但是，如上所述，LCD需要在性能方面顯著地提高，同時(shí)還嚴(yán)格要求生產(chǎn)率(生產(chǎn)節(jié)拍等)。用LDI滿足這些要求的情況下，必需進(jìn)行(1)為了使曝光引起的不均消失而進(jìn)行多重曝光、(2)為了提高生產(chǎn)率而提高激光掃描速度等應(yīng)對。對以往己知的感光性樹脂組合物實(shí)施這些應(yīng)對的情況下，由于靈敏度不足，會(huì)產(chǎn)生像素表面的粗糙、像素缺損、色不均的發(fā)生之類的各種問題。另外，在為經(jīng)過利用LDI對以往公知的感光性樹脂組合物進(jìn)行圖案形成、堿顯影以及烘焙制作的光感應(yīng)間隙材的情況下，該光感應(yīng)間隙材存在該絕緣點(diǎn)(spacerdot)的壓縮強(qiáng)度弱、在形成面板時(shí)具有塑性變形變大的趨勢。所以，液晶層的厚度變得小于設(shè)計(jì)值等不能保持液晶層的厚度均一性或發(fā)生圖像不均的問題。因而，高圖像質(zhì)量的圖像顯示必需沒有所述問題。另外，從液晶顯示裝置的高精密度化的點(diǎn)出發(fā)，不產(chǎn)生感光性樹脂組合物的堿顯影殘?jiān)埠苤匾?。作為液晶顯示裝置的顯示模式，近年來提出了寬視野角的VA模式(例如參照非專利文獻(xiàn)2)。VA模式是通過在上下一對透明電極的一方或雙方形成被稱為凸緣的低介電常數(shù)的突起或者將上下一對透明電極的雙方形成圖案進(jìn)而使用(例如參照非專利文獻(xiàn)3)等，向電極間產(chǎn)生的電場付與部分傾斜，由此多區(qū)域(muWdomain)化液晶的取向的顯示方式。利用該VA模式，實(shí)現(xiàn)了可以以從任意角度均相同的明亮度觀察的顯示裝置。作為液晶顯示方式，使用凸緣的被稱為MVA、ASV、CPA等，將上下一對透明電極的雙方形成圖案進(jìn)而使用的被稱為PVA。該VA模式是因液晶單元的單元厚度的變動(dòng)而容易成為色不均的顯示模式之一，有時(shí)IPS模式或OCB模式等其他顯示模式也出現(xiàn)了相同的趨勢。與所述相關(guān)，必需將液晶層的厚度(單元厚度)保持在一定，作為以此為目的的間隙材的形成技術(shù)，公開了在間隙材的形成中使用具有烯丙基的樹脂(例如參照專利文獻(xiàn)1)。但是，該技術(shù)目前在均一性、成形精密度等制造的容易性方面還存在改良的余地。專利文獻(xiàn)1:特開2004—1244號公報(bào)非專利文獻(xiàn)h石川明人"無掩模曝光的開發(fā)縮短和批量生產(chǎn)適用化"，"電子學(xué)(electronics)實(shí)裝技術(shù)"，株式會(huì)社技術(shù)調(diào)查會(huì)，Vol.18,No.6，2002年，p.74—79非專利文獻(xiàn)2:"日經(jīng)微器件(microdevice)增刊平板(platpannel)*顯示器2003"實(shí)務(wù)編，S285頁，日經(jīng)BP公司非專利文獻(xiàn)3:"日經(jīng)微器件增刊平板*顯示器2003"實(shí)務(wù)編，103頁，日經(jīng)BP公司
發(fā)明內(nèi)容從以上可知，本發(fā)明是為了解決所述以往的問題而提出的，本發(fā)明提供一種在即使利用掃描速度快的LDI曝光、進(jìn)而作為多重曝光的LDI曝光也可以以高靈敏度固化從而形成高精細(xì)的圖像的液晶顯示元件的形成中有用的感光性樹脂組合物。另外，本發(fā)明還提供抑制曝光引起的圖像的變形或液晶的單元厚度的變動(dòng)、顯示不均少、可以進(jìn)行顯示的高速應(yīng)答且可以形成高圖像質(zhì)量的圖像的濾色片及其制造方法。進(jìn)而，本發(fā)明通過釆用所述本發(fā)明的濾色片，提供應(yīng)答性出色且可以形成高圖像質(zhì)量的圖像的液晶顯示元件。用于實(shí)現(xiàn)所述課題的具體手段如下所述。<1〉一種液晶顯示元件用感光性樹脂組合物，其特征在于，含有(A)粘合劑、(B)乙烯性不飽和化合物、(C)含有六芳基二咪唑系化合物的光聚合引發(fā)劑、(D)分光敏化劑、以及(E)供氫體，在光源波長為350nm420nm以及掃描速度為5mm/sec3000m/sec的范圍內(nèi)，通過邊進(jìn)行光調(diào)制邊進(jìn)行相對掃描的曝光方式被固化。<2>根據(jù)<1>所述的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物，其特征在于，所述曝光方式為多重曝光。<3〉根據(jù)<1>或<2>所述的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物，其特征在于，所述六芳基二咪唑系化合物為由下述式(I)表示的化合物。[化1](通式(I)中，WR"分別獨(dú)立地表示氫原子或一價(jià)取代基)<4>根據(jù)<1〉或<2>所述的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物，其特征在于，所述分光敏化劑(D)為從由下述通式(II)表示的化合物中選擇的1種以上。[化2](通式(II)中，A表示氧原子、硫原子或NR1R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、RS及R^分別獨(dú)立地表示氫原子或一價(jià)取代基，W表示一價(jià)取代基。)<5>根據(jù)<4>所述的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物，其特征在于，所述分光敏化劑(D)為由下述式(III)表示的化合物。[化3]76(通式(III)中，R!、R2、R3、R4、R5、R6、117及118分別獨(dú)立地表示氫原子或一價(jià)取代基，R"表示一價(jià)取代基。)<6〉根據(jù)<1><5>中任意一項(xiàng)所述的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物，其特征在于，所述供氫體(E)為具有酸性質(zhì)子的化合物。<7>根據(jù)<1〉<5>中任意一項(xiàng)所述的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物，其特征在于，所述供氫體(E)為具有巰基的化合物。<8>—種濾色片的制造方法，其特征在于，包括在基材表面上涂敷<1><7>中任意一項(xiàng)所述的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物并干燥，形成感光性樹脂組合物層的感光層形成工序；利用5mm/sec3000m/sec的掃描速度，將該感光性樹脂組合物層曝光成圖案狀的曝光工序；除去曝光后的感光層的未固化區(qū)域的顯影工序。<9>一種液晶顯示元件用感光性材料，其是在臨時(shí)支撐體上依次層疊1)熱塑性樹脂層和2)由<1><7>中任意一項(xiàng)所述的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光層而成的液晶顯示元件用感光性材料。<10>—種濾色片的制造方法，其特征在于，將<9>所述的液晶顯示元件用感光性材料以感光層與基材對接的方式層疊于基材上，剝離臨時(shí)支撐體，在基材表面轉(zhuǎn)印感光層，然后將該感光層曝光成圖案狀，除去曝光后的感光層的未固化區(qū)域。<11>一種濾色片，其特征在于，禾擁<8>或<10>所述的濾色片的制造方法制造而成。<12>—種液晶顯示元件，其特征在于，將<11>所述的濾色片作為構(gòu)件的至少一種使用。利用本發(fā)明，可以提供一種可以以高靈敏度固化從而形成高精細(xì)的圖像的液晶顯示元件的形成中有用的感光性樹脂組合物。制造方法。進(jìn)而，本發(fā)明的液晶顯示裝置具備所述本發(fā)明的濾色片而成，起到可以高速應(yīng)答且抑制顯示不均的發(fā)生的效果。圖1是表示本發(fā)明中的曝光單元的外觀的立體圖。圖2是表示本發(fā)明中的曝光單元的掃描器(scanner)結(jié)構(gòu)的立體圖。圖3A是表示在感光材料上形成的已曝光區(qū)域的平面圖。圖3B是表示各曝光頭所曝光范圍的排列的圖。圖4是表示本發(fā)明中的曝光頭的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。圖5A是沿著圖4所示的曝光頭的結(jié)構(gòu)中的光軸的副掃描方向的截面圖。圖5B是沿著圖4所示的曝光頭的結(jié)構(gòu)中的光軸的副掃描方向的側(cè)面圖。圖6是表示數(shù)字微鏡設(shè)備(DMD)的結(jié)構(gòu)的局部放大圖。圖7A是用于說明DMD的動(dòng)作的說明圖。圖7B是用于說明DMD的動(dòng)作的說明圖。圖8A是在不傾斜配置DMD的情況下，比較表示曝光光束的配置及掃描線的平面圖。圖8B是在傾斜配置DMD的情況下，比較表示曝光光束的配置及掃描線的平面圖。圖9A是表示光纖陣列(fiberarray)光源的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖9B是圖9A的部分放大圖。圖9C是表示激光射出部處的發(fā)光點(diǎn)的排列的平面圖。圖9D是表示激光射出部處的發(fā)光點(diǎn)的排列的平面圖。圖10是表示多模光纖的結(jié)構(gòu)的圖。圖11是表示合波激光光源的結(jié)構(gòu)的平面圖。圖12是表示激光器模塊的結(jié)構(gòu)的平面圖。圖13是表示圖12所示的激光器模塊的結(jié)構(gòu)的側(cè)面圖。圖14是表示圖12所示的激光器模塊的結(jié)構(gòu)的部分側(cè)面圖。圖15A是在深度小的情況下，表示曝光裝置中的焦點(diǎn)深度的截面圖。圖15B是在深度大的情況下，表示曝光裝置中的焦點(diǎn)深度的截面圖。圖16A是表示DMD的使用區(qū)域的例子的圖。圖16B是表示DMD的使用區(qū)域的例子的圖。圖17A是表示DMD的適宜使用區(qū)域的側(cè)面圖。圖17B是沿著圖17A的光軸的副掃描方向的截面圖。圖18A是表示本發(fā)明中的濾色片的一例的平面圖。圖18B是表示本發(fā)明中的濾色片的另一例的平面圖。圖19是表示具備本發(fā)明的濾色片的液晶顯示裝置的一個(gè)實(shí)施方式的概略結(jié)構(gòu)圖。圖中，14一像素(R、G、B)、濾色片'(colorfilter),50—數(shù)字微鏡器件(DMD)，54—透鏡系，66—光纖陣列光源，166—曝光頭(本發(fā)明中的曝光單元)，910—濾色片基板，912—著色像素，916—黑矩陣，914一光感應(yīng)間隙材，921—TFT基板(對置基板)。具體實(shí)施方式以下對本發(fā)明的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物進(jìn)行詳細(xì)說明。另外，還依次對使用該感光性樹脂組合物的濾色片、其制造方法進(jìn)行詳細(xì)說明，通過該說明對本發(fā)明的液晶顯示元件進(jìn)行詳細(xì)說明。<感光性樹脂組合物>本發(fā)明的感光性樹脂組合物的特征在于，含有(A)粘合劑、(B)乙烯性不飽和化合物、(C)含有六芳基二咪唑系化合物的光聚合引發(fā)劑、(D)分光敏化劑、以及(E)供氫體，可以優(yōu)選用于使用二維上排列光源波長處于350nm420nm的范圍內(nèi)的光的空間光調(diào)制器件，通過基于圖像數(shù)據(jù)邊調(diào)制光邊相對掃描來形成二維圖像的曝光方式。該感光性樹脂組合物是負(fù)型感光性樹脂組合物，在曝光下光聚合引發(fā)劑(C)分解，產(chǎn)生引發(fā)種，進(jìn)行共存的乙烯性不飽和化合物(B)的聚合，在曝光區(qū)域發(fā)生固化反應(yīng)。因而，通過利用該感光性樹脂組合物的特性，可以形成對應(yīng)曝光條件的高精細(xì)的圖案。本發(fā)明的LCD用感光性樹脂組合物由于含有含有六芳基二咪唑系化合物的光聚合引發(fā)劑(C)，所以特征在于在350nm420nm、優(yōu)選390nm420nm的波長的曝光下固化。另外，通過在該光聚合引發(fā)劑中共存分光敏化劑(D)，可以有效地進(jìn)行光聚合引發(fā)劑的分解以及自由基等活性種的發(fā)生，進(jìn)而在供氫體(E)的功能下有效地使產(chǎn)生的自由基向固化反應(yīng)轉(zhuǎn)換，從而實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步的高靈敏度化。[(C)含有六芳基二咪唑系化合物的光聚合引發(fā)劑]需要在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中含有六芳基二咪唑系化合物作為光聚合引發(fā)劑，作為這樣的化合物，可以舉出由下述式(I)表示的化合物。[化4]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>(通式(I)中，WR"分別獨(dú)立地表示氫原子或一價(jià)取代基。)作為所述通式(I)中的WR15，更具體而言，可以舉出氫原子、鹵原子、烷基、垸氧基、苯基、苯氧基、芐基、羥基、氨基、羧基等，其中，優(yōu)選羥基、卣原子、烷基、烷氧基。作為由通式(I)表示化合物的具體例，例如可以舉出在美國專利第3549367號說明書中記載的三芳基聯(lián)二咪唑二聚體或2，2，一雙(鄰氯苯基)一4，4，，5，5'—四苯基聯(lián)二咪唑、2，2'—雙(鄰氯苯基)一4，4，，5，5，一四(對乙氧羰基苯基)聯(lián)二咪唑、2，2'—雙(鄰氯苯基)一4，4，，5，5'—四(對溴苯基)聯(lián)二咪唑、2，2'—雙(鄰氯苯基)一4，4，，5，5，一四(鄰、對二氯苯基)聯(lián)二咪唑等，其中，可以優(yōu)選使用2，2'—雙(鄰氯苯基)一4，4，，5，5'—四苯基聯(lián)二咪唑。在不破壞效果的范圍內(nèi)，可以在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中并用六芳基二咪唑系化合物以外的對所述波長的曝光具有靈敏度的光聚合引發(fā)劑。作為可以并用的光聚合引發(fā)劑，可以舉出美國專利第2367660號說明書中記載的連位聚縮酮多尼爾(K二》)化合物、美國專利第2448828號說明書中記載的偶因醚化合物、美國專利第2722512號說明書中記載的用a—烴取代的芳香族偶因化合物、美國專利第3046127號說明書及美國專利第2951758號說明書中記載的多環(huán)醌化合物、日本特公昭51—48516號公報(bào)中記載的苯并噻唑化合物和三鹵甲基一s—三嗪化合物、美國專利第4239850號說明書中進(jìn)行的三鹵甲基一s—三嗪化合物、美國專利第4212976號說明書中進(jìn)行的三鹵甲基噁二唑化合物等。作為所述芳香族酮的優(yōu)選例，可以舉出苯甲酮、2—甲基苯甲酮、3一甲基苯甲酮、4一甲基苯甲酮、4一甲氧基苯甲酮、2—氯苯甲酮、4—氯苯甲酮、4一溴苯甲酮、2—羧基苯甲酮、2—乙氧基羰基苯甲酮、苯甲酮四羧酸或其四甲基酯、4一甲氧基一4'一二甲胺基苯甲酮、4，4'一二甲氧基苯甲酮、4一二甲胺基苯甲酮、4一二甲胺基乙酰苯、蒽醌、2—叔丁基蒽醌、2—甲基蒽醌、菲醌、氧雜蒽酮、噻噸酮、2—氯噻噸酮、2，4一二甲基噻噸酮、2，4一二乙基噻噸酮、芴酮、吖啶酮以及苯偶姻、苯偶姻醚類(例如苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻丙醚、苯偶姻異丙醚、苯偶姻苯基醚、芐基二甲基縮酮等)、4，4'—雙(二垸基氨基)苯甲酮類(例如4，4'一雙(二甲胺基)苯甲酮、4，4'一雙(二環(huán)己基氨基)苯甲酮、4，4'一雙(二乙基氨基)苯甲酮、4，4'一雙(二羥基乙基氨基)苯甲酮等)等。作為特別優(yōu)選的例子，可以舉出苯甲酮。感光性樹脂組合物中的光聚合引發(fā)劑的含量(含有多種的情況下，其總量)，以固體成分換算，通常為0.110質(zhì)量％，優(yōu)選為0.55質(zhì)量％。其中，對于六芳基二咪唑系化合物與其他光聚合引發(fā)劑的含量的比率，相對全部光聚合引發(fā)劑的含量，六芳基二咪唑系化合物優(yōu)選占2080質(zhì)量％，特別優(yōu)選為3070質(zhì)量％。[(D)分光敏化劑]為了提高所述光聚合引發(fā)劑(C)的靈敏度，在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中含有適合光源波長處于350nm420nm的范圍內(nèi)的光的分光敏化劑(D)。作為分光敏化劑(D)，只要在所述波長的范圍內(nèi)具有應(yīng)激性即可，沒有特別限制，優(yōu)選從由下述通式(II)表示的化合物中選擇的一種以上。[化5](通式(II)中，A表示氧原子、硫原子或NR1R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、RS及R^分別獨(dú)立地表示氫原子或一價(jià)取代基，W表示一價(jià)取代基。)另外，在由所述通式(II)表示的化合物中，優(yōu)選由下述式(III)表示的化合物。[化6](通式(III)中，R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7及R8分別獨(dú)立地表示氫原子或一價(jià)取代基，W表示一價(jià)取代基。)在通式(II)及(III)中，作為由R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8表示的一價(jià)取代基，可以舉出垸基(例如甲基、乙基、丙基、丁基、羥乙基、三氟甲基、芐基、磺基丙基、二乙胺基乙基、氰基丙基、金剛垸基、對氯苯乙基、乙氧基乙基、乙基硫代乙基、苯氧基乙基、氨基甲酰基乙基、羧基乙基、乙氧羰基甲基、乙?；被一?、鏈烯基(例如烯丙基、苯乙烯基等)、芳基(例如苯基、萘基、對羧基苯基、3，5—二羧基苯基、間磺基苯基、對乙酰胺苯基、3—辛酰胺苯基、對氨磺酰苯基、間羥基苯基、對硝基苯基、3，5—二氯苯基、對茴香基、鄰茴香基、對氰基丙基、對一N—甲基酰脲苯基、間氟苯基、對甲苯基、間甲苯基等)、雜環(huán)基(例如吡啶基、5—甲基一2—吡啶基、噻吩基等)、鹵原子(例如氯原子、溴原子、氟原子等)、巰基、氰基、羧基、磺基、羥基、氨基甲?；被酋；?、硝基、烷氧基(例如甲氧基、乙氧基、2—甲氧基乙氧基、2—苯基乙氧基等)、芳氧基(例如苯氧基、對甲基苯氧基、對氯苯氧基、a—萘氧基等)、酰基(例如乙?；?、苯甲?；?、酰胺基(例如乙酰胺基、己酰胺基等)、磺?；?例如甲垸磺?；?、苯磺?；?、磺酰胺基(例如甲烷磺酰胺基、苯磺酰胺基等)、氨基(例如二甲胺基、羥基氨基等)、垸基硫基或芳基硫基(例如甲基硫基、羧基乙基硫基、磺基丁硫基、苯硫基等)、烷氧羰基(例如甲氧羰基)、芳氧羰基(例如苯氧羰基等)等。這些由R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8表示的一價(jià)取代基也可以進(jìn)而具有取代基。作為取代基，可以舉出垸基(例如甲基、乙基、丙基、丁基、羥乙基、三氟甲基、芐基、磺基丙基、二乙胺基乙基、氰基丙基、金剛烷基、對氯苯乙基、乙氧基乙基、乙基硫代乙基、苯氧基乙基、氨基甲?；一?、羧基乙基、乙氧羰基甲基、乙?；被一?、鏈烯基(例如烯丙基、苯乙烯基等)、芳基(例如苯基、萘基、對羧基苯基、3，5—二羧基苯基、間磺基苯基、對乙酰胺苯基、3—辛酰胺苯基、對氨磺酰苯基、間羥基苯基、對硝基苯基、3，5—二氯苯基、對茴香基、鄰茴香基、對氰基丙基、對一N—甲基酰脲苯基、間氟苯基、對甲苯基、間甲苯基等)、雜環(huán)基(例如吡啶基、5—甲基一2—妣啶基、噻吩基等)、卣原子(例如氯原子、溴原子、氟原子等)、巰基、氰基、羧基、磺基、羥基、氨基甲酰基、氨磺?；?、硝基、垸氧基(例如甲氧基、乙氧基、2—甲氧基乙氧基、2—苯基乙氧基等)、芳氧基(例如苯氧基、對甲基苯氧基、對氯苯氧基、a—萘氧基等)、?；?例如乙酰基、苯甲?；?、酰胺基(例如乙酰胺基、己酰胺基等)、磺?；?例如甲烷磺?；?、苯磺?；?、磺酰胺基(例如甲烷磺酰胺基、苯磺酰胺基等)、氨基(例如二甲胺基、羥基氨基等)、垸基硫基或芳基硫基(例如甲基硫基、羧基乙基硫基、磺基丁硫基、苯硫基等)、烷氧羰基(例如甲氧羰基)、芳氧羰基(例如苯氧羰基等)等。另外，在所述通式(II)及(III)中，R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7及RS之間可以利用飽和直鏈、飽和分支鏈、不飽和直鏈、不飽和分支鏈等連結(jié)形成環(huán)結(jié)構(gòu)，它們也可以進(jìn)而具有所述取代基。在通式(II)及(III)中，作為由W表示的一價(jià)取代基，特別優(yōu)選垸基、芳基、鏈烯基、垸氧基、芳氧基、?；?、垸基硫基、芳基硫基、烷氧羰基、芳氧羰基，特別優(yōu)選垸基、芳基、鏈烯基、?；Ｆ渲?，優(yōu)選烷基，烷基的碳原子數(shù)優(yōu)選為112，更優(yōu)選為16。這些由W表示的一價(jià)取代基也可以進(jìn)而具有取代基。作為其取代基，可以舉出烷基(例如甲基、乙基、丙基、丁基、羥乙基、三氟甲基、芐基、磺基丙基、二乙胺基乙基、氰基丙基、金剛烷基、對氯苯乙基、乙氧基乙基、乙基硫代乙基、苯氧基乙基、氨基甲?；一?、羧基乙基、乙氧羰基甲基、乙?；被一?、鏈烯基(例如烯丙基、苯乙烯基等)、芳基(例如苯基、萘基、對羧基苯基、3，5—二羧基苯基、間磺基苯基、對乙酰胺苯基、3—辛酰胺苯基、對氨磺酰苯基、間羥基苯基、對硝基苯基、3，5一二氯苯基、對茴香基、鄰茴香基、對氰基丙基、對一N—甲基酰脲苯基、間氟苯基、對甲苯基、間甲苯基等)、雜環(huán)基(例如吡啶基、5—甲基一2一吡啶基、噻吩基等)、鹵原子(例如氯原子、溴原子、氟原子等)、巰基、氰基、羧基、磺基、羥基、氨基甲?；被酋；⑾趸?、烷氧基(例如甲氧基、乙氧基、2—甲氧基乙氧基、2—苯基乙氧基等)、芳氧基(例如苯氧基、對甲基苯氧基、對氯苯氧基、(x—萘氧基等)、?；?例如乙?；?、苯甲酰基等)、酰胺基(例如乙酰胺基、己酰胺基等)、磺?；?例如甲烷磺?；⒈交酋；?、磺酰胺基(例如甲烷磺酰胺基、苯磺酰胺基等)、氨基(例如二甲胺基、羥基氨基等)、垸基硫基或芳基硫基(例如甲基硫基、羧基乙基硫基、磺基丁硫基、苯硫基等)、烷氧羰基(例如甲氧羰基)、芳氧羰基(例如苯氧羰基等)等。另外，^也可以利用飽和直鏈、飽和分支鏈、不飽和直鏈、不飽和分支鏈等與R1、R2、R3、R4、R5、R6、R"及Rs連結(jié)，它們也可以進(jìn)而具有所述取代基。在所述通式(II)中，在A的定義中，作為由R^表示的一價(jià)取代基，優(yōu)選烷基、芳基、鏈烯基、烷氧基、芳氧基、?；⑼榛蚧?、芳基硫基、烷氧羰基、芳氧羰基，特別優(yōu)選烷基、垸氧基、芳氧基、?；⑼榛蚧?、烷氧羰基。這些由R"表示的一價(jià)取代基也可以進(jìn)而具有取代基，作為其取代基，可以舉出烷基(例如甲基、乙基、丙基、丁基、羥乙基、三氟甲基、芐基、磺基丙基、二乙胺基乙基、氰基丙基、金剛垸基、對氯苯乙基、乙氧基乙基、乙基硫代乙基、苯氧基乙基、氨基甲酰基乙基、羧基乙基、乙氧羰基甲基、乙?；被一?、鏈烯基(例如烯丙基、苯乙烯基等)、芳基(例如苯基、萘基、對羧基苯基、3，5—二羧基苯基、間磺基苯基、對乙酰胺苯基、3—辛酰胺苯基、對氨磺酰苯基、間羥基苯基、對硝基苯基、3，5一二氯苯基、對茴香基、鄰茴香基、對氰基丙基、對一N—甲基酰脲苯基、間氟苯基、對甲苯基、間甲苯基等)、雜環(huán)基(例如吡啶基、5—甲基一2一吡啶基、噻吩基等)、鹵原子(例如氯原子、溴原子、氟原子等)、巰基、氰基、羧基、磺基、羥基、氨基甲?；被酋；?、硝基、垸氧基(例如甲氧基、乙氧基、2—甲氧基乙氧基、2—苯基乙氧基等)、芳氧基(例如苯氧基、對甲基苯氧基、對氯苯氧基、a—萘氧基等)、?；?例如乙酰基、苯甲?；?、酰胺基(例如乙酰胺基、己酰胺基等)、磺?；?例如甲烷磺?；?、苯磺?；?、磺酰胺基(例如甲烷磺酰胺基、苯磺酰胺基等)、氨基(例如二甲胺基、羥基氨基等)、烷基硫基或芳基硫基(例如甲基硫基、羧基乙基硫基、磺基丁硫基、苯硫基等)、烷氧羰基(例如甲氧羰基)、芳氧羰基(例如苯氧羰基等)等。另外，R1Q也可以利用飽和直鏈、飽和分支鏈、不飽和直鏈、不飽和分支鏈等與R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、RS及W連結(jié)，它們也可以進(jìn)而具有所述取代基。以下顯示在本發(fā)明中優(yōu)選使用的由通式(II)及(III)表示的分光敏化劑(D)的具體例，但本發(fā)明不被這些所限定。[化7]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula>[化9]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage21</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage22</formula>[化12]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage23</formula>另外，作為由通式(II)及(III)表示的化合物以外的優(yōu)選分光敏化劑的具體例，可以舉出以下化合物。[化13]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula>以固體成分換算，感光性樹脂組合物中的分光敏化劑(D)的含量優(yōu)選為0.53.0質(zhì)量％，更優(yōu)選為1.02.0質(zhì)量％。[(E)供氫體]作為在本發(fā)明中使用的供氫體(E)，只要是能夠向在所述聚合引發(fā)劑(C)的分解下產(chǎn)生的自由基供與氫原子的化合物即可，沒有特別限制，通?？梢允褂镁哂兴嵝再|(zhì)子的化合物。已知這樣的化合物具有作為鏈轉(zhuǎn)移劑的功能，可以用于促進(jìn)自由基聚合?？梢詫⒕哂性摴δ艿墓幕衔镉米鞅景l(fā)明中的供氫體(E)，例如可以舉出胺系化合物、巰基系化合物等，其中，優(yōu)選使用具有巰基的化合物。作為具有羥基的化合物，除了在分子內(nèi)具有1個(gè)巰基的官能團(tuán)數(shù)1的化合物以外，還可以使用在分子內(nèi)具有24個(gè)巰基的化合物。(官能團(tuán)數(shù)l的巰基系化合物)作為官能團(tuán)數(shù)1的巰基系化合物，可以舉出由下述通式(IV—1)表示的化合物。[化15](通式IV—1)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage27</formula>或在所述通式(IV—1)中，R"表示烷基或芳基，R"表示氫原子或烷基。在通式(IV—1)中，在R25、R"表示垸基的情況下，作為該烷基，優(yōu)選碳原子數(shù)為14的烷基。另外，在R"表示芳基的情況下，作為該芳基，優(yōu)選碳原子數(shù)為610的芳基，例如可以舉出苯基、萘基等。另外，該芳基也可以被取代，作為這樣的取代芳基，包括用氯原子之類的鹵原子、甲基之類的烷基、甲氧基、乙氧基之類的垸氧基取代如上所述的芳基的產(chǎn)物。另外，R"與R^也可以彼此結(jié)合，與碳原子及氮原子一起形成雜環(huán)，該雜環(huán)也可以具有縮合環(huán)。作為這種情況下的縮合環(huán)，可以舉出苯環(huán)等。作為由通式(IV—1)表示的巰基系化合物的具體例，可以優(yōu)選舉出以下例子[(e—l)(e—73)]。e—l.硫代甲酰胺、e—2.硫代乙酰胺、e—3.N—甲基硫代甲酰胺、e—4.N—甲基硫代乙酰胺、e—5.N—苯基硫代丙酰胺、e—6.N—苯基硫代己酰胺、e—7.N—鄰氯苯基硫代乙酰胺、e—8.N—鄰氯苯基硫代己酰胺、e—9.N—對甲苯基硫代己酰胺、e—IO.N—間甲氧基苯基硫代乙酰胺、e—11.N—間甲氧基苯基硫代丙酰胺、e—12.N—對乙氧基苯基硫代乙酰胺、e—13.N—對乙氧基苯基硫代丙酰胺、e—14.N—鄰甲氧基苯基硫代己酰胺、R26—0~SHe—15.2—巰基一4，5—二氫一2—噻唑、e—16.2—巰基一4一甲基一4，5—二氫一2—噻唑、甲基一4，5—二氫一2—噻唑、4一二甲基一4，5—二氫一2—噻唑、5—二甲基一4，5—二氫一2—噻唑、5—二氫一2—噁唑、甲基一4，5—二氫一2—噁唑、4一二甲基一4，5—二氫一2—噁唑、巰基一l，3—咪唑、5—二氫一1，3—噻嗪、甲基一4，5—二氫一1，3—噻嗪、e—26.2—巰基一4，5—二氫一1,3—噁嗪、e—27.2—巰基一4，5，6，7—四氫一l一吡啶、e—28.1—[對一(正己基氨基羰基)苯基]一2—巰基咪唑、e—29.1—(對甲苯基)一2—巰基一4，5，6，7—四氫一1，3—苯并咪唑、e—30.2—巰基一5—甲基硫代一1，3，4—噁二唑、e—31.2—巰基一3，4，5，6—四氫一1一氮雜卓(azepine)、e—32.2—巰基一1，3—苯并噁唑、e—33.3—巰基一5—氯一l，2—苯并異噁唑、e—34.2—巰基一l，3—苯并咪唑、e—35.2—巰基一6—甲氧基一l，3—苯并咪唑、e—36.1—甲基一2—巰基一l，3—苯并咪唑、e—37.2—巰基一6—甲基一1，3—苯并咪唑、e—38.2—巰基一5，6—二甲基一1，3—苯并咪唑、e—39.2—巰基一6—甲氧基一l，3—苯并咪唑、e—40.2—巰基一5—己酰胺基一1，3—苯并咪唑、e—41.1一(正丙基)一2—巰基一1，3—苯并咪唑、e—42.1—異丙基一2—巰基一1，3—苯并咪唑、e—43.2—巰基一6—氯一l，3—苯并咪唑、6'—17,2—巰基--5—6.—18.2—巰基--4，6.—19.2—巰基-■5，6.—20,2—巰基--4，6.—21.2—巰基-.4一s-—22.2—巰基-4，—23.1—甲基一.2—6-—24.2—巰基一4，6-—25.2—巰基一6一e—44.1一(正庚基)一2—巰基一1，3—苯并咪唑、e—45.1—(正己基)一2—巰基一5—氯一1，3—苯并咪唑、e—46.2—巰基一6—氯一l，3—苯并咪唑、e—47.1—(正辛基)一2—巰基一5—甲氧基—1，3—苯并咪唑、e—48.1—(正己基)一2—巰基一5—乙氧羰基一1，3—苯并咪唑、e—49.1—(2—甲氧基乙基)一2—巰基一1，3—苯并咪唑、e—50.3—巰基一6—甲基一l，2—苯并噻唑、e—51.1—苯基一2—巰基一1，3—苯并咪唑、e—52.1—苯基一2—巰基一5—甲基磺?；籰，3—苯并咪唑、e—53.1—(對一磺酰基(sulphonato)甲基苯基)一2—巰基一1，3一苯并咪唑鈉鹽、e—54.3—巰基一l，2—苯并噻唑、e—55.3—巰基一6—己酰胺基一l，2—苯并噻唑、e—56.3—巰基一6—氯一l，2—苯并噻唑、e—57.3—巰基一6—甲基一l，2—苯并噻唑、e—58.2—巰基一萘并[2，l]一l，3—咪唑、e—59.1—(正丁基)一2—巰基—萘并[2，l]一l，3—咪唑、e—60.1—(正辛基)一2—巰基一咪唑并[4，5—b]吡啶、e—61.1—(正辛基)一2—巰基一咪唑并[4，5—b]哌嗪、e—62.1—(正辛基)一2—巰基一1，3—咪唑并[4，5—b]喹喔啉、e—63.1—(正己基)一2—巰基一6—氯一1，3—咪唑并[4，5—b]喹喔啉、e—64.1，5—二乙基一3—巰基一1，2，4一三唑、e—65.4—(正己基)一3—巰基一1，2，4一三唑、e—66.4—苯基一3—巰基一l，2，4一三唑、e—67.4—苯基一3—巰基一5—甲基硫代一l，2，4一三唑、e—68.1—(正己基)_5—巰基四唑、e—69.1—(正辛基)一5—巰基四唑、e—70.1—苯基一5—巰基四唑、e—71.2—(正己基)—3—巰基一1，2，4一噁二嗪、e—72.2—苯基一3—巰基一5—甲基一l，2，4一噻二嗪、以及e—73.3—苯基一4一巰基一6—苯基一l，2，3，6—四氫一l，3，5—噻二嗪。其中，可以優(yōu)選使用e—51.1—苯基一2—巰基一l，3—苯并咪唑。(官能團(tuán)數(shù)2的巰基系化合物)作為在1分子中具有2個(gè)巰基的供氫體，例如可以舉出1，2—乙二硫醇、1，3—丙二硫醇、1，4一丁二硫醇、2，3—丁二硫醇、1，5—戊二硫醇、1，6—己二硫醇、1，8—辛二硫醇、1，9一壬二硫醇、2，3—二巰基一1一丙醇、二硫赤蘚塘醇、2，3—二巰基琥珀酸、1，2—苯二硫醇、1，2—苯二甲烷硫醇、1，4一苯二甲烷硫醇、3，4一二巰基甲苯、4一氯一1，3—苯二硫醇、2，4，6—三甲基一1，3—苯二甲垸硫醇、4，4，一硫代二苯酚、2—己胺基一4，6—二巰基一1，3，5—三嗪、2—二乙胺基一4，6一二巰基一l,3，5—三嗪、2—環(huán)己胺基一4，6—二巰基—1，3，5—三嗪、2—二正丁胺基一4，6—二巰基一1，3，5—三嗪、乙二醇雙(3—巰基丙酸酯)、丁二醇雙巰基乙酸酯、乙二醇雙巰基乙酸酯、2，5—二巰基—1，3，4一噻二唑、2，2，一(亞乙基二硫代)二乙烷硫醇、2，2—雙(2一羥基一3—巰基丙氧基苯基丙烷)、1，4一丁二醇雙(3—巰基丁酸酯)、進(jìn)而由下述結(jié)構(gòu)式(a)(d)表示的化合物等。[化16]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage30</formula>結(jié)構(gòu)式(a)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage30</formula>結(jié)構(gòu)式(b)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage30</formula>結(jié)構(gòu)式(c)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage30</formula>結(jié)構(gòu)式(d)(官能團(tuán)數(shù)3的巰基系化合物)作為在1分子中具有3個(gè)巰基的供氫體，例如可以舉出l，2，6—己三醇三硫代乙醇酸酯、1，3，5—三硫代三聚氰酸、2，4，6—三巰基一1，3，5—三嗪、三羥甲基丙烷三(3—巰基丙酸酯)、三羥甲基丙烷三巰基乙酸酯等。(官能團(tuán)數(shù)4的巰基系化合物)作為所述在1分子中具有4個(gè)以上巰基的化合物，例如可以舉出季戊四醇四(3—巰基丙酸酯)、季戊四醇四巰基乙酸酯、二季戊四醇四(3—巰基丙酸酯)、二季戊四醇六巰基乙酸酯等。這些供氫體(E)可以只使用一種，也可以并用兩種以上。以固體成分換算，感光性書桌組合物中的供氫體(E)的含量優(yōu)選為0.055.0質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.12.0質(zhì)量％。[(A)粘合劑]感光性樹脂組合物中含有的粘合劑(A)在基材表面形成由感光性樹脂組合物構(gòu)成的層的情況下具有作為被膜形成物質(zhì)的功能，可以使用能夠進(jìn)行堿顯影的樹脂。從固化靈敏度的觀點(diǎn)出發(fā)，粘合劑(A)優(yōu)選用作粘合劑(A)的高分子化合物具有交聯(lián)性基或聚合性基，優(yōu)選在滿足后述的乙烯性不飽和化合物(B)中的不飽和鍵以及該感光性樹脂組合物中的交聯(lián)密度為0.0073摩爾/g以上的條件下選擇。如上所述，構(gòu)成粘合劑的高分子化合物優(yōu)選其自身具有交聯(lián)基。根據(jù)目的適當(dāng)選擇使用高分子化合物，但也可以為單體的自聚體以及由多種單體構(gòu)成的共聚物的任意一種。作為這樣的高分子化合物，優(yōu)選至少具有含有羧基的結(jié)構(gòu)單元、由下述通式(1)表示的結(jié)構(gòu)單元、由具有1個(gè)以上芳香族環(huán)及/或脂肪族環(huán)的(甲基)丙烯酸酯構(gòu)成的結(jié)構(gòu)單元的共聚物。[化17]通式(1)該共聚物可以利用公知的共聚合方法，例如使含有羧基的聚合性單體、由下述式(2)表示的單體、具有1個(gè)以上芳香族環(huán)及/或脂肪族環(huán)的(甲基)丙烯酸酯以及根據(jù)需要可以與它們共聚合的其他單體共聚合得到。[化18]在所述通式(O及式(2)中，W表示氫原子或甲基，WRS分別獨(dú)立地表示氫原子或可具有取代基的烷基、芳基、鹵原子或氰基。作為所述具有羧基的聚合性單體，例如可以舉出(甲基)丙烯酸、乙烯基苯甲酸、馬來酸、衣康酸、巴豆酸、桂皮酸、丙烯酸二聚物等。另外，也可以使用(甲基)丙烯酸2—羥乙酯等具有羥基的單體與馬來酐或鄰苯二甲酸酐之類的環(huán)狀無水物的加成反應(yīng)物。另外，也可以將馬來酐、衣康酸酐之類的無水物單體用作羧酸的前體。其中，從聚合性或原料價(jià)格的點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選(甲基)丙烯酸。作為由所述式(2)表示的單體，例如可以舉出(甲基)丙烯酸烯丙基酯、(甲基)丙烯酸一3—氯一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(羥苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(2—羥苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(3，4一二羥苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(2，4一二羥苯基)R4式(2)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage32</formula>烯酸一3—(3，4，5—三羥苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(3—甲氧基一4一羥苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(3，4一二羥基一5—甲氧基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(3，5—二甲氧基一4一羥苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(2—羥基一4一甲基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(4一甲氧基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(4一乙氧基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(2—甲氧基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(3，4一二甲氧基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(3—甲氧基一4一丙氧基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(2，4，6—三甲氧基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(3—甲氧基一4一芐氧基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(3—(3'—甲氧基苯基)一4一芐氧基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(3，4，5—三甲氧基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(4一甲基苯基)一2—丙烯基酯；(甲基)丙烯酸一3—苯基一3—(2，4，6—三甲基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3，3一[二一(2，4，6—三甲基苯基)]一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—苯基一(4一甲基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3，3—二苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸—3—(2—氯苯基)一2—(4一甲基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(3—氯苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸—3—(4—氯苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸—3—(2，4一二氯苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(2—溴苯基)一2一丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—溴一3—苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—氯一3—苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(4—硝基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(2—硝基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(3—硝基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸—2—甲基一3—苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2—甲基一3一(4一氯苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2—甲基一3—(4一硝基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2—甲基一3—(4一氨基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2—甲基一3，3—二苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2—乙基一1，3—二苯基一2—丙烯基酯、(甲基)33酸一2—乙氧基亞甲基一3—苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2—甲基一3—(4一甲氧基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2，3—二苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一l，2，3—三苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2，3，3—三苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一l，3—二苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一l一(4一甲基苯基)一3—苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一1一苯基一3—(4—甲氧基苯基)一2一丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一l一(4一甲氧基苯基)一3—苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一1，3—二(4一氯苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一1一(4一溴苯基)一3—苯基一丙烯基酯；(甲基)丙烯酸一l一苯基一3—(4一硝基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一l，3—二(2一硝基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一l一(4一二甲基氨基苯基)一3—苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一l一苯基一3—(4一二甲基氨基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一l，l一二(4—二甲基氨基苯基)一3—苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一l，1，3—三苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一l，1，3，3—四苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一1—(4一甲基苯基)—3—苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸—l一苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一1，2—二苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一l一苯基一2—甲基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一l一環(huán)己基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2—芐基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸_1，l一二(4—氯苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一l一氰基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—苯胺基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(2—甲基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—(2，4一二甲基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一l一(2—乙氧甲酰基異丙基)一3—甲基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一l一(l一乙氧甲?；惐?一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一l一(l一乙氧甲?；一?一3—甲基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一1—乙氧甲酰基一3—氯—3—甲基_2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一l—乙氧甲?；鶃喖谆?—甲基—2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸—1—氰基—3—甲基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一1一環(huán)己基一3—(2—羥基環(huán)己基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸—3—環(huán)戊基一2—丙烯基酯；(甲基)丙烯酸一1—呋喃基一2一丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3—氯一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一3一溴一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2—甲基一3—氯一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2—甲基一3—溴一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2—氯一3—苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2—溴一3—苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2—溴一3—(4一硝基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2—氟一3—苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2—氟一3(4一甲氧基苯基)一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2—氰基一3—苯基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2—氯一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸—2—溴一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2—氯一3，3—二氟一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2—氟一3—氯一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2，3—二溴一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2—氯一3—甲基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一l，l一二甲基一2—丙烯基酯、(甲基)丙烯酸一2一戊烯基酯、(甲基)丙烯酸一2—己烯基酯、(甲基)丙烯酸一2—庚烯基酯等。其中，從固化性或原料價(jià)格的點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選(甲基)丙烯酸烯丙基酯。作為所述"具有1個(gè)以上芳香環(huán)及/或脂肪族環(huán)的(甲基)丙烯酸酯"，例如可以舉出(甲基)丙烯酸環(huán)垸基酯[例如(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸降冰片基酯、(甲基)丙烯酸金剛烷基酯等]、(甲基)丙烯酸芳基酯[例如(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸氯苯基酯、(甲基)丙烯酸甲氧基苯基酯、(甲基)丙烯酸萘酯等]、芳烷基酯[例如(甲基)丙烯酸芐基酯、(甲基)丙烯酸苯乙基酯等]等。其中，從原料價(jià)格、溶解性、顏料分散性等點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選(甲基)丙烯酸芐基酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯。另外，作為可以與這些結(jié)構(gòu)單元共聚合的"其他單體"，例如可以舉出(甲基)丙烯酸垸基酯[例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸2—乙基己基酯、(甲基)丙烯酸月桂基酯、(甲基)丙烯酸硬脂酸酯等(甲基)丙烯酸(C'C18)烷基酯等];(甲基)丙烯酸芳烷基酯[例如(甲基)丙烯酸芐基酯等]、取代(甲基)丙烯酸烷基酯[例如(甲基)丙烯酸二甲胺基乙基酯、(甲基)丙烯酸二乙胺基乙基酯、(甲基)丙烯酸二甲胺基丙基酯、(甲基)丙烯酸二乙胺基丙基酯等]、(甲基)丙烯酰胺類[例如(甲基)丙烯酰胺、二甲基(甲基)丙烯酰胺、異丙基(甲基)丙烯酰胺、叔丁基(甲基)丙烯酰胺等]、取代(甲基)丙烯酰胺類[例如(甲基)丙烯酰嗎啉、二甲胺基丙基(甲基)丙烯酰胺等]、芳香族乙烯基類[例如苯乙烯、乙烯基甲苯、(X—甲基苯乙烯等]、雜環(huán)乙烯基類[例如乙烯基咪唑、乙烯基吡啶等]、乙烯基酯類[例如醋酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、叔碳酸乙烯酯等]、N—乙烯基酰胺類[例如N—乙烯基吡咯烷酮、N—乙烯基甲酰胺、N—乙烯基乙酰胺等]、烯丙基酯類[例如乙酸烯丙酯等]、含鹵素單體[例如偏二氯乙烯、氯乙烯等]、氰化乙烯基[例如(甲基)丙烯腈等]、烯烴類[例如乙烯、丙烯等]等。其中，從其共聚合性或生成的聚合物的溶劑溶解性、得到的膜的制膜性等觀點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選(甲基)丙烯酸烷基酯[例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸2—乙基己基酯等]等。這些可以共聚合的其他成分可以為單獨(dú)1種，也可以為2種以上的組合。對于所述各成分的共聚合組成比，"具有羧基的結(jié)構(gòu)單元"優(yōu)選為1040摩爾％，更優(yōu)選為1535摩爾％，特別優(yōu)選為2035摩爾％。如果具有羧基的結(jié)構(gòu)單元在所述范圍內(nèi)，則可以得到良好的顯影性，同時(shí)圖像部的顯影液耐性也良好。另外，"由通式(1)表示的結(jié)構(gòu)單元"優(yōu)選為2080摩爾％，更優(yōu)選為2075摩爾％，特別優(yōu)選為2575摩爾％。如果由通式(1)表示的結(jié)構(gòu)單元在所述范圍內(nèi)，則可以得到良好的固化性、顯影性。"由具有l(wèi)個(gè)以上芳香族環(huán)及/或脂肪族環(huán)的(甲基)丙烯酸酯構(gòu)成的結(jié)構(gòu)單元"優(yōu)選為1070摩爾％，更優(yōu)選為1060摩爾％，特別優(yōu)選為1050摩爾％。如果由具有1個(gè)以上芳香族環(huán)及/或脂肪族環(huán)的(甲基)丙烯酸酯構(gòu)成的結(jié)構(gòu)單元在所述范圍內(nèi)，則顏料分散性出色，同時(shí)顯影性及固化性也良好。作為粘合劑優(yōu)選的所述共聚物的重均分子量優(yōu)選為5,00020萬，更優(yōu)選為1萬10萬，特別優(yōu)選為1.2萬8萬。從共聚物的制造適合性、顯影性的點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選重均分子量在所述范圍內(nèi)。以下，作為粘合劑優(yōu)選的所述共聚物的具體例，可以參照日本特開2003—131379號公報(bào)、日本特開2003—207787號公報(bào)。作為粘合劑(A)優(yōu)選的所述共聚物可以通過按照常規(guī)方法，用公知的方法，分別使相當(dāng)?shù)膯误w共聚合得到。例如，可以通過將這些單體溶解于適當(dāng)?shù)娜軇┲?，向該溶液中添加自由基聚合引發(fā)劑，在溶液中使其聚合得到。使其共聚合時(shí)的適當(dāng)?shù)娜軇┛梢詫?yīng)單體及生成的共聚物的溶解性任意選擇。作為這樣的溶劑的例子，例如可以舉出甲醇、乙醇、丙醇、異丙醇、l一甲氧基一2—丙醇、丙酮、甲基乙基甲酮、甲基異丁基甲酮、甲氧基丙基乙酸酯、乳酸乙酯、醋酸乙酯、乙腈、四氫呋喃、二甲替甲酰胺、氯仿、甲苯以及它們的混合物等。另外，可以使用聚合引發(fā)劑，作為該聚合引發(fā)劑，例如可以利用2，2'—偶氮二(異丁腈)(AIBN)、2，2'—偶氮二(2，4'一二甲基戊腈)等偶氮系、過氧化苯甲酰等過氧化物系、過硫酸鹽等。另外，為了調(diào)整分子量，還可以適當(dāng)使用公知的鏈轉(zhuǎn)移劑。進(jìn)而，根據(jù)需要，適當(dāng)?shù)卣{(diào)整聚合濃度、引發(fā)劑量、鏈轉(zhuǎn)移劑、聚合溫度等。例如，作為聚合濃度，優(yōu)選為550質(zhì)量％，更優(yōu)選為1040質(zhì)量％。作為感光性樹脂組合物中的粘合劑(A)的含量，以固體成分換算，優(yōu)選為3070質(zhì)量。％，更優(yōu)選為4050質(zhì)量％。[(B)乙烯性不飽和化合物]作為乙烯性不飽和化合物(B)，優(yōu)選具有交聯(lián)劑的化合物，特別是只要是具有至少1個(gè)可以加聚的乙烯性不飽和基的化合物即可，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇。作為乙烯性不飽和化合物(B)，例如可以舉出酯化合物、酰胺化合物以及其他化合物。在乙烯性不飽和化合物(B)中，作為所述酯化合物，例如可以舉出單官能(甲基)丙烯酸酯、多官能(甲基)丙烯酸酯、衣康酸酯、巴豆酸酯、異巴豆酸酯、馬來酸酯、其他酯化合物等。這些酯化合物可以單獨(dú)使用l種，也可以并用兩種以上。其中，優(yōu)選單官能(甲基)丙烯酸酯、多官能(甲基)丙烯酸酯。作為所述單官能(甲基)丙烯酸酯，例如可以舉出聚乙二醇一(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇一(甲基)丙烯酸酯、苯氧基乙基一(甲基)丙烯酸酯等。作為所述多官能(甲基)丙烯酸酯，例如可以舉出聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、1，3—丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、四亞甲基二醇二(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇多(甲基)丙烯酸酯、山梨糖醇三(甲基)丙烯酸酯、山梨糖醇四(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基乙垸三(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯等。其中，特別優(yōu)選二季戊四醇多(甲基)丙烯酸酯。作為所述多官能(甲基)丙烯酸酯的其他例，可以舉出向甘油或三羥甲基乙烷等多官能醇上加成環(huán)氧乙烷或環(huán)氧丙烷后再進(jìn)行(甲基)丙烯酸酯化的物質(zhì)；日本特公昭48—41708號公報(bào)、日本特公昭50—6034號公報(bào)、日本特開昭51—37193號公報(bào)中記載的氨基甲酸酯丙烯酸酯類；日本特開昭48—64183號公報(bào)、日本特公昭49—43191號公報(bào)及日本特公昭52—30490號公報(bào)中記載的聚酯丙烯酸酯類；作為環(huán)氧樹脂與(甲基)丙烯酸的反應(yīng)生成物的環(huán)氧丙烯酸酯類；特開昭60—258539號公報(bào)中記載的甲基丙烯酸酯或氨基甲酸酯丙烯酸酯或乙烯基酯等。在作為所述乙烯性不飽和化合物(B)的例子舉出的酯化合物中，作為"其他酯化合物"，例如可以舉出三羥甲基丙垸三(丙烯酰氧基丙基)醚、三(丙烯酰氧基乙基)異氰酸酯、日本粘接協(xié)會(huì)誌Vol.20，No.7，第300308頁中記載的光固化性單體及寡聚物等。另外，在乙烯性不飽和化合物(B)中，作為所述酰胺化合物，例如可以舉出不飽和羧酸與脂肪族多元胺化合物的酰胺(單體)等。作為酰胺化合物的具體例，可以舉出亞甲基雙一(甲基)丙烯酰胺、1，6—六亞甲基雙一(甲基)丙烯酰胺、二亞乙基三胺三(甲基)丙烯酰胺、亞二甲苯基雙(甲基)丙烯酰胺等。另外，還可以舉出日本特開昭60—258539號公報(bào)中記載的(甲基)丙烯酰胺等。另外，在乙烯性不飽和化合物(B)中，作為所述"其他化合物"，例如可以舉出特開昭60—258539號公報(bào)中記載的烯丙基化合物等。所述乙烯性不飽和化合物(B)可以單獨(dú)使用l種，也可以并用兩種以上。作為乙烯性不飽和化合物(B)在感光性樹脂組合物中的含有量，相對感光性樹脂組合物或感光性樹脂組合物層的全部固體成分，優(yōu)選為1060質(zhì)量％，更優(yōu)選為2050質(zhì)量％。在本發(fā)明中，感光性樹脂組合物中的所述粘合劑(A)的含量(質(zhì)量%)與所述乙烯性不飽和化合物(B)的含量(質(zhì)量％)的比優(yōu)選為0.61.5，更優(yōu)選為0.71.0。[(F)其他成分]除了所述(A)(E)的必須成分以外，還可以根據(jù)需要進(jìn)而在本發(fā)明中的感光性樹脂組合物中使用著色劑、表面活性劑、溶劑、熱聚合抑制劑、紫外線吸收劑等公知的添加劑。一著色劑一作為著色劑，可以舉出染料、顏料等。該著色劑，可以根據(jù)感光性樹脂組合物形成的濾色片的構(gòu)件的需要使用。在以間隙材的形成為目的的情況下，對應(yīng)優(yōu)選的顏料的種類、尺寸等，例如可以從日本特開平11—149008號公報(bào)中的記載適當(dāng)選擇。另外，在使其含有顏料等著色劑的情況下，可以形成著色像素。可以使用的顏料可以舉出填充顏料或著色顏料。作為填充顏料，可以沒有特別限制地根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以優(yōu)選舉出日本特開2003—302639號公報(bào)的段落編號中記載的填充顏料。作為著色顏料，可以優(yōu)選使用日本特開2003—302639號公報(bào)的段落編號中記載的顏料。一表面活性劑一作為表面活性劑，只要是能夠與感光性樹脂組合物(或感光層)的構(gòu)成成分互混的表面活性劑即可使用。作為優(yōu)選的表面活性劑，可以優(yōu)選舉出日本特開2003—337424號公報(bào)的段落編號、日本特開2003—177522號公報(bào)的段落編號、日本特開2003—177523號公報(bào)的段落編號、日本特開2003—177521號公報(bào)的段落編號、日本特開2003—177519號公報(bào)的段落編號、日本特開2003—177520號公報(bào)的段落編號、日本特開平11—133600號公報(bào)的段落編號)為20/8060/40的共聚物(以下也稱為"本發(fā)明中優(yōu)選的表面活性劑"。)。[化19]H2C-p—COO(CH2)nCmF2m+1H2C-C-COO(CH2CHO)p(CH2CH20)「R4R2R3通式(b)在所述通式(a)及(b)中，R1、112及尺3分別獨(dú)立地表示氫原子或甲基，優(yōu)選R1、W為氫原子，W為甲基。另外，W表示氫原子或碳原子數(shù)為15的烷基。作為由W表示的垸基，例如可以舉出甲基、乙基、丙基、丁基等，其中，優(yōu)選甲基或乙基。Rl寺別優(yōu)選為氫原子。在所述通式(a)中，n表示l18的整數(shù)，優(yōu)選為210的整數(shù)。m表示214的整數(shù)，優(yōu)選為412的整數(shù)。通式(a)中的0^2111+1可以為直鏈也可以為分支鏈，QnF2mw相對由通式(a)表示的單體A的比率，優(yōu)選為2070質(zhì)量％，特別優(yōu)選為4060質(zhì)量％。所述通式(b)中，p及q分別獨(dú)立地表示018的整數(shù)，優(yōu)選為28的整數(shù)。其中，沒有p及q同時(shí)表示O的情況。在本發(fā)明中優(yōu)選的表面活性劑中，在1分子中含有的多種單體A可以為彼此相同的結(jié)構(gòu)，也可以為不同的結(jié)構(gòu)，另外，對應(yīng)單體B而言也同樣。相對該共聚物的全部質(zhì)量，本發(fā)明中優(yōu)選的表面活性劑(共聚物)優(yōu)選的共聚合比為所述單體A2060質(zhì)量X、所述單體8040質(zhì)量％，以及所述單體A及B以外的其他任意單體為其余的質(zhì)量％，更優(yōu)選為所述單體A2560質(zhì)量％、所述單體6040質(zhì)量％，以及所述單體A及B以外的其他任意單體為其余的質(zhì)量％，進(jìn)而更優(yōu)選為所述單體A2560質(zhì)量％、所述單體7540質(zhì)量％，以及所述單體A及B以外的其他任意單體為其余的質(zhì)量％。'在本發(fā)明中優(yōu)選的表面活性劑(至少由單體A及單體B共聚合而成的共聚物)中，所述通式(a)中的W為氫原子、n=2、m=6的單體A與所述通式(b)中的W為氫原子、W為甲基、W為氫原子、p二7、q=O的單體B或者所述通式(b)中的R2、113及114為氫原子、p=0、q=7的單體B之間的共聚合比優(yōu)選為20/8060/40，更優(yōu)選為25/6060/40的情況為優(yōu)選方式。含有由所述通式(a)表示的單體A與由所述通式(b)表示的單體B作為共聚合成分的共聚物的具體例記載于日本特開2003—337424號公報(bào)的段落編號的表1。一溶劑一在本發(fā)明的感光性樹脂組合物的配制中還可以使用有機(jī)溶劑。作為有機(jī)溶劑的例子，可以舉出甲基乙基甲酮、丙二醇一甲醚、丙二醇一甲醚乙酸酯、環(huán)己酮、環(huán)己醇、甲基異丁基甲酮、乳酸乙酯、乳酸甲酯。己內(nèi)酰胺等。一熱聚合抑制劑一本發(fā)明的感光性樹脂組合物進(jìn)而可以含有熱聚合抑制劑。作為熱聚合抑制劑的例子，可以舉出氫醌、氫醌一甲醚、對甲氧基苯酚、二一叔丁基一對鄰苯三酚、鄰苯三酚、叔丁基兒茶酚、苯醌、4，4'一硫代雙(3—甲基一6—叔丁基苯酚)、2，2'—亞甲基雙(4一甲基一6—叔丁基苯酚)、2—巰基苯并咪唑、吩噻嗪等。一紫外線吸收劑一在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中也可以根據(jù)需要含有紫外線吸收劑。作為紫外線吸收劑，可以舉出特開平5—72724號公報(bào)中記載的化合物以及水楊酸酯系、苯甲酮系、苯并三唑系、氰基丙烯酸酯系、鎳螯合物系、位阻胺系等。作為所述紫外線吸收劑的具體例，可以舉出苯基水楊酸酯、水楊酸4一叔丁基苯基酯、2，4一二叔丁基苯基一3'，5'—二一叔—4'一羥基安息香酸酯、水楊酸4一叔丁基苯基酯、2，4一二羥基二苯甲酮、2—羥基一4一甲氧基苯甲酮、2—羥基一4一正辛氧基苯甲酮、2—(2'—羥基一5'—甲基苯基)苯并三唑、2—(2，一羥基一3—叔丁基一5，一甲基苯基)一5一氯苯并三唑、乙基一2—氰基一3，3—二苯基丙烯酸酯、2，2'—羥基一4一甲氧基苯甲酮、鎳二丁基二硫代氨基甲酸鹽、雙(2，2，6，6—四甲基一4一吡啶)一癸二酸酯、4一叔丁基苯基水楊酸酯、水楊酸苯基酯、4一羥基一2，2，6，6—四甲基哌嗪縮合物、琥珀酸一雙(2,2，6，6—四甲基一4一哌啶烯基)一酯、2—[2—羥基一3，5—雙(a，a—二甲基芐基)苯基]一2H—苯并三唑、7—{[4一氯一6—(二乙基氨基)一5—三嗪一2—?；鵠氨基}一3_苯基香豆素等。另外，在本發(fā)明中的感光性樹脂組合物中，除了所述添加劑以外，還可以含有特開平11一133600號公報(bào)中記載的"粘接助劑"或其他添加劑等。<濾色片的制造方法〉以下與本發(fā)明中特有的曝光方式一起對使用本發(fā)明的感光性樹脂組合物的濾色片的制造方法進(jìn)行詳細(xì)說明。濾色片的制造方法中的第1方式的特征在于具有在基材表面涂敷、干燥所述本發(fā)明的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物，形成感光性樹脂組合物層(以下稱為感光層)的工序；和將該感光層曝光成圖案狀的工序；和除去、顯影曝光后的感光層的未固化區(qū)域的工序。以下適當(dāng)時(shí)將該制造方法的第1方式稱為涂敷法(液體抗蝕劑法)。另外，濾色片的制造方法中的第2方式是使用用該液晶顯示元件用感光性樹脂組合物的轉(zhuǎn)印材料的方法。即，第2方式的特征在于，使用在臨時(shí)支撐體上依次層疊l)熱塑性樹脂層和2)由所述本發(fā)明的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光層而成的液晶顯示元件用感光性材料，對接與臨時(shí)支撐體相反側(cè)的面與基材，在基材上層疊該加工性材料，剝離臨時(shí)支撐體，在基材表面轉(zhuǎn)印感光層，然后將該感光層曝光成圖案狀，除去曝光后的感光層的未固化區(qū)域(顯影工序)。以下適當(dāng)時(shí)將該制造方法的第2方式稱為轉(zhuǎn)印法。在該第2方式中，在形成感光層之后實(shí)施的曝光工序與顯影工序?yàn)榕c第1方式中的相同的工序。首先，對第1方式的使用涂敷法的感光層的形成工序進(jìn)行說明。在該工序中，通過將所述本發(fā)明的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物溶解或者分散于適當(dāng)?shù)囊后w中，配制涂敷液，將其涂敷在基材表面、干燥，由此形成感光層。溶劑或分散劑可以對應(yīng)感光性樹脂組合物的組成，從公知的液體例如水或者有機(jī)溶劑等中適當(dāng)選擇使用。對在基材表面涂敷涂敷液的方法也沒有特別限制，可以從公知的涂敷法例如旋涂法、簾涂法、縫隙涂敷法、浸涂法、氣動(dòng)刮涂法、輥涂法、拉絲錠涂敷法、凹板涂敷法或者美國專利第2681294號說明書中記載的使用漏斗的擠壓涂敷法等中根據(jù)目的選擇、適用。其中，優(yōu)選利用在涂敷液的噴出部具備具有縫隙狀的孔的縫隙狀噴嘴的縫隙涂敷機(jī)的方法。作為所述具備縫隙狀噴嘴的縫隙涂敷機(jī)，可以優(yōu)選使用在日本特開2004—89851號公報(bào)、日本特開2004—17043號公報(bào)、日本特開2003—170098號公報(bào)、日本特開2003—164787號公報(bào)、日本特開2003—10767號公報(bào)、日本特開2002—79163號公報(bào)、日本特開2001—310147號公報(bào)等中記載的縫隙狀噴嘴以及縫隙涂敷機(jī)。作為干燥在基材上涂敷的含有感光性樹脂組合物的涂膜的方法，可以適當(dāng)使用公知的方法。作為干燥的條件，根據(jù)使用的感光性樹脂組合物的處方、溶劑的種類等而不同，通常優(yōu)選705(TC的溫度范圍。在利用涂敷法形成感光層的情況下，其層厚優(yōu)選為0.510.0pm的范圍，更優(yōu)選為16pm的范圍，如果層厚在所述范圍內(nèi)，則可以防止涂敷時(shí)的氣孔的發(fā)生，不會(huì)給已曝光或固化的區(qū)域帶來影響地在適當(dāng)?shù)臅r(shí)間內(nèi)進(jìn)行未曝光部的顯影除去。所述涂敷法中，在基材表面涂敷所述感光性樹脂組合物形成感光層，但也可以根據(jù)需要設(shè)置其他層。作為任意設(shè)置的其他層，在感光層的固化反應(yīng)時(shí)，可以舉出用于抑制氧妨礙聚合的具有阻氧性的保護(hù)層、用于提高層間粘接的粘接層、抑制相對所需領(lǐng)域的光透過性的光阻擋層等。這些任意層也可以與感光層同樣地利用涂敷法設(shè)置，另外，也可以利用層疊法層疊設(shè)置預(yù)先成形為片材狀的層。接著，對使用作為第2方式的轉(zhuǎn)印法的感光層的形成工序進(jìn)行說明。在該工序中，使用用所述本發(fā)明的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物制作的液晶顯示元件用感光性材料。該液晶顯示元件用感光性材料起到作為感光性轉(zhuǎn)印材料的功能。其結(jié)構(gòu)可以使用在日本特幵平5—72724號公報(bào)中中記載的樹脂轉(zhuǎn)印材料等構(gòu)成為一體型的轉(zhuǎn)印用薄膜適當(dāng)?shù)匦纬?。作為所述一體型的轉(zhuǎn)印用感光性材料的構(gòu)成例，優(yōu)選在臨時(shí)支撐體上首先設(shè)置1)熱塑性樹脂層及根據(jù)需要的中間層、進(jìn)而2)由本發(fā)明的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光層及根據(jù)需要的保護(hù)層而成的層疊結(jié)構(gòu)。<液晶顯示元件用感光性材料>接著，對用于制造濾色片的本發(fā)明的液晶顯示元件用感光性材料的層結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。一感光層一感光性材料中的感光層為由所述本發(fā)明的感光性樹脂組合物構(gòu)成的層，可以通過利用公知的涂敷方法涂敷并干燥將本發(fā)明的感光性樹脂組合物溶解或分散于適當(dāng)?shù)娜軇┲卸傻母泄庑酝糠笠憾m當(dāng)?shù)匦纬?。如在所述涂敷法中所述，感光性樹脂組合物的涂敷可以適當(dāng)使用公知的涂敷法。在本方式中，也優(yōu)選利用在涂敷液的噴出部具有縫隙狀的孔的縫隙狀噴嘴的涂敷法。對于縫隙狀噴嘴及縫隙涂敷法的具體情況如已述內(nèi)容。由于與在涂敷法中所述的原因相同的原因，感光性材料中的感光層的層厚優(yōu)選為0.51(Him，更優(yōu)選為16pm。一熱塑性樹脂層一本發(fā)明的感光性材料在所述感光層與臨時(shí)支撐體之間至少具有一層熱塑性樹脂層。在向被轉(zhuǎn)印材料轉(zhuǎn)印所述感光層時(shí)，該熱塑性樹脂層具有作為有效地防止包裝用材料上的凹凸引起發(fā)生的轉(zhuǎn)印不良的緩沖材料的功能。因而，所述熱塑性樹脂層可以對應(yīng)將感光性轉(zhuǎn)印材料向被轉(zhuǎn)印材料加熱壓粘時(shí)的被轉(zhuǎn)印材料上的凹凸而發(fā)生變形，能夠提高感光層與被轉(zhuǎn)印材料的粘附性。另外，所述熱塑性樹脂層在轉(zhuǎn)印后，利用顯影與不需要的(未固化的)感光層一起被除去，所以優(yōu)選使用可以堿顯影的熱塑性樹脂。另外，從抑制轉(zhuǎn)印時(shí)擠出的熱塑性樹脂層自身污染被轉(zhuǎn)印體的防止的觀點(diǎn)出發(fā)，必需使用堿溶性樹脂。本發(fā)明的感光材料中的熱塑性樹脂層的層厚優(yōu)選為0.12(Vm。如果層厚在所述范圍內(nèi)，則從轉(zhuǎn)印時(shí)的臨時(shí)支撐體的剝離性出色，同時(shí)可以有效地吸收被轉(zhuǎn)印體上的凹凸，也不會(huì)在感光層上發(fā)生網(wǎng)狀物從而引起轉(zhuǎn)印不良。另外，層厚更優(yōu)選為1.516pm，最優(yōu)選在515.0pm的范圍。此外，所述網(wǎng)狀物是指由于吸濕等原因，在中間層延伸等時(shí)，柔軟的緩沖層發(fā)生撓曲而在感光層的表面發(fā)生細(xì)"皺紋"，成為轉(zhuǎn)印不良的原因。所述熱塑性樹脂層可以至少使用熱塑性樹脂構(gòu)成，根據(jù)需要也可以適當(dāng)使用其他成分。作為該熱塑性樹脂，只要是具有堿溶性的熱塑性樹脂即可，可以沒有特別限制地適當(dāng)選擇。實(shí)際上的軟化點(diǎn)優(yōu)選為8(TC以下。作為實(shí)際上的軟化點(diǎn)為80。C以下的熱塑性樹脂，例如可以優(yōu)選舉出乙烯與丙烯酸酯共聚物的皂化物、苯乙烯與(甲基)丙烯酸酯共聚物的皂化物、乙烯基甲苯與(甲基)丙烯酸酯共聚物的皂化物、聚(甲基)丙烯酸酯或(甲基)丙烯酸丁酯與醋酸乙烯酯等的(甲基)丙烯酸酯共聚物等皂化物等。另外，還可以舉出在"塑料性能便覽"(日本塑料工業(yè)連盟，全日本塑料成形工業(yè)連合會(huì)編著，工業(yè)調(diào)查會(huì)發(fā)行，1968年10月25日發(fā)行)中記載的軟化點(diǎn)約為8(TC以下的有機(jī)高分子中為堿溶性的熱塑性樹脂。它們可以單獨(dú)使用一種，也可以并用兩種以上。另外，作為實(shí)際上的軟化點(diǎn)為8(TC以下的熱塑性樹脂，可以舉出其自身為軟化點(diǎn)在8(TC以上的有機(jī)高分子物質(zhì)，也可以向該有機(jī)高分子物質(zhì)中添加與該有機(jī)高分子物質(zhì)具有互溶性的各種增塑劑，將實(shí)際上的軟化點(diǎn)降到8(TC以下的熱塑性樹脂。作為所述增塑劑，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇。作為該增塑劑，例如可以舉出聚丙二醇、聚乙二醇、鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二庚酯、鄰苯二甲酸二丁酯、磷酸三甲苯酚酯、磷酸甲苯二苯基酯、磷酸聯(lián)苯基二苯基酯等。除了所述熱塑性樹脂以外，作為其他成分，為了調(diào)解與臨時(shí)支撐體的粘接力，在實(shí)際上的軟化點(diǎn)不超過8(TC的范圍內(nèi)，也可以在堿可溶的熱塑性樹脂層中添加各種聚合物、過冷卻物質(zhì)、粘附改良劑、表面活性劑、脫模劑等。一中間層一在涂敷多層時(shí)及涂敷后的保存時(shí)，為了防止各成分之間的混合，優(yōu)選在所述感光性轉(zhuǎn)印材料上設(shè)置中間層。特別優(yōu)選設(shè)置于在臨時(shí)支撐體上設(shè)置的所述熱塑性樹脂層與所述感光層之間。熱塑性樹脂層與感光層的形成可以使用有機(jī)溶劑，在設(shè)置中間層時(shí)、感光層的涂敷時(shí)，可以防止相鄰的兩層的互溶引起的混合。作為在中間層中使用的成分，優(yōu)選分散或溶解于水或堿水溶液的成分。中間層的構(gòu)成材料可以使用公知的材料，例如可以舉出日本特開昭46—2121號公報(bào)及日本特公昭56—40824號公報(bào)中記載的聚乙烯醚/馬來酐聚合物、羧基烷基纖維素的水溶性鹽、水溶性纖維素酯類、羧基垸基淀粉的水溶性鹽、聚乙烯醇、聚乙烯基吡咯垸酮、聚丙烯酰胺類、水溶性聚酰胺、聚丙烯酸的水溶性鹽、明膠、苯乙烯/馬來酸的共聚物、由各種淀粉及其類似物構(gòu)成的組的水溶性鹽、苯乙烯/馬來酸的共聚物、馬來酸酯樹脂等。這些成分可以單獨(dú)使用一種，也可以并用兩種以上。在所述成分中，優(yōu)選使用水溶性樹脂即水溶性的高分子材料，其中，更優(yōu)選至少使用聚乙烯醇，特別優(yōu)選聚乙烯醇與聚乙烯基吡咯烷酮之間的并用。作為所述聚乙烯醇，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，其皂化度優(yōu)選為80mol^以上。使用聚乙烯基吡咯烷酮的情況下，其含量相對中間層的固體成分，優(yōu)選為175體積％，更優(yōu)選為160體積％，特別優(yōu)選1050體積％。如果聚乙烯基吡咯烷酮的含量在所述范圍內(nèi)，則可以得到與熱塑性樹脂層之間的充分的粘附性，阻氧能也良好。中間層優(yōu)選氧透過率小。即，優(yōu)選由具有阻氧功能的阻氧膜構(gòu)成。這樣，曝光時(shí)的靈敏度提高，可以減低曝光機(jī)的時(shí)間負(fù)荷，提高生產(chǎn)率，同時(shí)還可以提高析像度。中間層的層厚優(yōu)選為0.15pm左右，更優(yōu)選為0.52pm。如果中間層的厚度在所述范圍內(nèi)，則阻氧性不會(huì)降低，另外，還可以防止顯影時(shí)的中間層除去時(shí)間增大?！R時(shí)支撐體一作為臨時(shí)支撐體，優(yōu)選在不妨礙轉(zhuǎn)印的程度下相對所述熱塑性樹脂層具有剝離性，優(yōu)選對化學(xué)熱穩(wěn)定且具有撓性。作為臨時(shí)支撐體的材料，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇。作為該臨時(shí)支撐體，例如可以舉出聚四氟乙烯、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚乙烯、聚丙烯等。對臨時(shí)支撐體的結(jié)構(gòu)沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以為單層結(jié)構(gòu)、層疊結(jié)構(gòu)的任意一種。另外，從標(biāo)準(zhǔn)與所述熱塑性樹脂層之間具有良好的剝離性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選在臨時(shí)支撐體上進(jìn)行電暈放電等表面處理，優(yōu)選也不設(shè)置明膠等底涂層。臨時(shí)支撐體的厚度優(yōu)選為530(Htm左右，更優(yōu)選為20150nm。另外，臨時(shí)支撐體優(yōu)選在其至少一方的表面具有導(dǎo)電性層或者臨時(shí)支撐體自身具有電導(dǎo)性。如果臨時(shí)支撐體為具有這樣的電導(dǎo)性的結(jié)構(gòu)，則在被轉(zhuǎn)印體上粘附具備臨時(shí)支撐體的感光性轉(zhuǎn)印材料之后剝離臨時(shí)支撐體的情況下，該臨時(shí)支撐體或該被轉(zhuǎn)印體等不會(huì)帶電進(jìn)而吸引周圍的灰塵等。結(jié)果，即使在剝離該臨時(shí)支撐體后，也不會(huì)在熱塑性樹脂層上附著灰塵等，可以有效地防止在之后的曝光過程中隨著產(chǎn)生多余的未曝光部而形成氣孔。在臨時(shí)支撐體上的導(dǎo)電性層或具有電導(dǎo)性的臨時(shí)支撐體的表面的表面電阻優(yōu)選為10130以下。具有電導(dǎo)性的臨時(shí)支撐體可以通過在該臨時(shí)支撐體中含有導(dǎo)電性物質(zhì)得到。作為導(dǎo)電性物質(zhì)，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出金屬氧化物、防靜電劑等。作為所述金屬氧化物，例如可以舉出氧化鋅、氧化鈦、氧化錫、氧化鋁、氧化銦、氧化硅、氧化鎂、氧化鋇、氧化鉬等。它們可以單獨(dú)使用1種，也可以并用兩種以上。另外，作為金屬氧化物的形態(tài)，可以舉出結(jié)晶微粒、復(fù)合微粒等。作為所述防靜電劑，例如可以舉出工W夕卜口7卜y:y八。一A(花王(株)制)、工^/yNo.19(第一工業(yè)制藥(株)制)等烷基磷酸鹽系陰離子表面活性劑、T千一^yK(第一工業(yè)制藥(株)制)等甜菜苷系兩性表面活性劑、二:y廿乂乂二才:/L(日本油脂(株)制)等聚環(huán)氧乙烷脂肪酸酯系非離子表面活性劑、工7*歹:/106、同120、同147、同420、同220、同905、同910(花王(株)制)或二、;/廿y/二才:/E(日本油脂(株)制)等聚氧化乙烯垸基醚系非離子表面活性劑、聚氧乙烯垸基酚醚系、多元醇脂肪酸酯系、聚氧乙烯山梨糖醇酐脂肪酸酯系、聚氧乙烯垸基胺系等其他非離子系表面活性劑。它們可以單獨(dú)使用l種，也可以并用兩種以上。所述導(dǎo)電性層，可以從使用公知的導(dǎo)電性物質(zhì)的構(gòu)成中適當(dāng)選擇形成。作為該導(dǎo)電性物質(zhì)，從不被溫度環(huán)境影響而可以得到穩(wěn)定的導(dǎo)電效果的點(diǎn)出發(fā)，例如優(yōu)選ZnO、Ti02、Sn02、A1203、ln203、Si02、MgO、BaO、Mo03等。它們可以單獨(dú)使用l種，也可以并用兩種以上。所述金屬氧化物或所述導(dǎo)電性物質(zhì)的體積電阻系數(shù)值優(yōu)選為107Qcm以下，更優(yōu)選為105Qcm以下。另外，所述金屬氧化物或所述導(dǎo)電性物質(zhì)的粒徑優(yōu)選為0.010.7itm更優(yōu)選為0.020.5pm。所述導(dǎo)電性層中，作為粘合劑，例如可以使用含有明膠、硝酸纖維素、二乙酸纖維素、二醋酸纖維素、乙酸丁酸纖維素、乙酸丙酸纖維素等纖維素酯、偏二氯乙烯、氯乙烯、苯乙烯、丙烯腈、醋酸乙烯酯、碳原子數(shù)為14的丙烯酸烷基酯、乙烯基吡咯烷酮等的均聚物或寡聚物、可溶性聚酯、聚碳酸酯、可溶性聚酰胺等。除所述以外，作為其他層，可以在感光性轉(zhuǎn)印材料進(jìn)一步設(shè)置保護(hù)薄膜等。保護(hù)薄膜具有在保管時(shí)保護(hù)感光層不受污染或損傷等功能，可以用與臨時(shí)支撐體相同或類似的材料構(gòu)成。作為保護(hù)薄膜，只要是可以容易地從感光層剝離的保護(hù)薄膜即可，例如可以優(yōu)選舉出硅紙、聚烯烴片材、聚四氟乙烯片材等。其中，優(yōu)選聚乙烯片材或薄膜、聚丙烯片材或薄膜。保護(hù)薄膜的膜厚優(yōu)選為5100nm左右，更優(yōu)選為1030nm。本發(fā)明中的感光性轉(zhuǎn)印材料可以優(yōu)選通過以下操作制作，即在臨時(shí)支撐體上，涂敷與熱塑性的有機(jī)高分子(熱塑性樹脂)一起溶解添加劑而成的溶解液(熱塑性樹脂層用涂敷液)，使其干燥，設(shè)置熱塑性樹脂層，然后，根據(jù)需要，在該熱塑性樹脂層上涂敷在不溶解熱塑性樹脂層的溶劑中加入樹脂或添加劑配制而成的配制液(中間層用涂敷液)，使其干燥，層疊中間層，在該中間層上，進(jìn)一步涂敷使用不溶解中間層的溶劑而如上所述配制而成的感光性樹脂組合物，使其干燥，層疊感光層。另外，本發(fā)明中的感光性轉(zhuǎn)印材料也可以通過如下所述的操作制作，即準(zhǔn)備在臨時(shí)支撐體上從該臨時(shí)支撐體側(cè)依次設(shè)置熱塑性樹脂層及中間層而成的第l片材，和在保護(hù)薄膜上設(shè)置感光層而成第2片材，貼合第l片材的中間層表面與感光層的表面，從而使其接觸。另外，進(jìn)而，本發(fā)明中的感光性轉(zhuǎn)印材料也可以通過如下所述的操作制作，即準(zhǔn)備在臨時(shí)支撐體上設(shè)置熱塑性樹脂層而成的第1片材，和在保護(hù)薄膜上從該保護(hù)薄膜側(cè)依次設(shè)置感光層及中間層而成的第2片材，貼合第2片材的中間層表面與第1片材的熱塑性樹脂層的表面，從而使其接觸。接著，對使用這樣的液晶顯示元件用感光性材料，在基材表面形成感光層的方法進(jìn)行說明。利用轉(zhuǎn)印法的感光層的形成工序是在基材上層疊液晶顯示元件用感光性材料，對接與臨時(shí)支撐體相反側(cè)的面和基材，剝離臨時(shí)支撐體，在基材表面轉(zhuǎn)印感光層的工序。在臨時(shí)支撐體上形成膜狀的感光層在表面具有保護(hù)薄膜的情況下，剝離其保護(hù)薄膜，使露出的感光層的表面與作為被轉(zhuǎn)印材料的基板面對接，然后，用加熱及/或加壓的輥或平板壓粘或加熱壓粘，由此使其貼合，然后通過剝離臨時(shí)支撐體，在基板上轉(zhuǎn)印感光層。貼合可以優(yōu)選使用公知的拉伸機(jī)(真空拉伸機(jī)等)進(jìn)行，從進(jìn)一步提高生產(chǎn)率的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選自動(dòng)切害!l層壓機(jī)(autocutlaminater)。貼合的情況下，具體而言，可以適用在日本特開平7—110575號公報(bào)、日本特開平11—77942號公報(bào)、日本特開2000—334836號公報(bào)、日本特開2002—148794號公報(bào)中記載的層壓機(jī)及層疊方法等。從防止異物混入的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使用在日本特開平7—110575號公報(bào)中記載的方法。利用轉(zhuǎn)印法形成感光層的情況下的層厚也與利用涂敷法的情況相同。該膜厚由于在配制轉(zhuǎn)印用的感光性材料時(shí)被決定，所以在形成由感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光層時(shí)只要以需要的膜厚形成即可。作為在感光層的形成中使用的基板，例如可以舉出透明基板(例如玻璃基板或塑料基板)、帶透明導(dǎo)電膜(例如ITO膜)基板、帶濾色片的基板(也稱為濾色片基板。)、驅(qū)動(dòng)元件(例如帶薄膜晶體管[TFT])驅(qū)動(dòng)基板等。基板的厚度可以對應(yīng)濾色片的使用目的適當(dāng)選擇，但通常優(yōu)選處于700120(Him的范圍。另外，基板可以通過預(yù)先實(shí)施偶聯(lián)處理而使其與感光性樹脂組合物或感光性材料的感光層之間的粘附良好。作為偶聯(lián)處理，可以優(yōu)選使用在日本特開2000—39033號公報(bào)中記載的方法。在形成感光層之后，為了通過曝光的固化靈敏度，可以在感光層上進(jìn)而設(shè)置阻氧膜性的保護(hù)層。該阻氧膜可以與關(guān)于所述轉(zhuǎn)印用感光性材料的中間層所述的構(gòu)成相同。阻氧膜的膜厚優(yōu)選為0.53.0pm。[曝光工序]以下對本發(fā)明中的曝光工序進(jìn)行詳細(xì)說明。在利用所述感光層形成工序形成曝光層之后，對該感光層進(jìn)行圖案曝光，進(jìn)行曝光工序。利用該曝光，使感光層的曝光區(qū)域固化。接著，利用繼續(xù)進(jìn)行的顯影工序，在感光層上形成圖案，可以根據(jù)需要形成濾色片的像素或者間隙材等構(gòu)件。本發(fā)明中的曝光工序利用通過使用二維排列光源波長在350nm420nm的范圍內(nèi)的光而成的空間光調(diào)制器件，通過邊基于圖像數(shù)據(jù)調(diào)制光邊進(jìn)行相對掃描來形成二維圖像的曝光方式實(shí)施。以下對可以在本發(fā)明中的曝光工序中優(yōu)選使用的曝光方式以及其中使用的曝光裝置進(jìn)行說明。本發(fā)明中的曝光由于不使用掩模圖案，進(jìn)行以激光直接成像系統(tǒng)(LDS)為代表的之類的掃描曝光，所以也被稱為無掩模曝光。更具體而言，在本發(fā)明中適用的無掩模曝光可以進(jìn)行通過邊基于圖像數(shù)據(jù)調(diào)制光邊進(jìn)行相對掃描來形成二維圖像的曝光。(光源的說明)本發(fā)明中的曝光方式使用超高壓汞燈或激光作為光源。超高壓汞燈是指向石英玻璃管等中封入汞的放電燈，是將汞的蒸氣壓設(shè)定為高值，提高發(fā)光效率的燈(照明時(shí)的汞的蒸氣壓有時(shí)會(huì)成為大約5MPa。W.Elenbaas:LightSources,PhilipsTechnicalLibrary(光源，飛禾lj浦技術(shù)實(shí)驗(yàn)室)148—150)。亮線光譜中，超高壓汞燈通常使用i射線(365nm)、h射線(405nm)、g射線(436nm)，其中，主要使用365nm的i射線。Laser是英語的LightAmplificationbyStimulatedEmissionofRadiation(利用誘導(dǎo)射出的光的放大)的首字母。激光利用在具有旋轉(zhuǎn)分布的物質(zhì)中發(fā)生的誘導(dǎo)射出的現(xiàn)象，利用光波的放大、振蕩，創(chuàng)造相干性、方向性更強(qiáng)的單色光的振蕩器及放大器。作為其激發(fā)介質(zhì)，有結(jié)晶、玻璃、液體、色素、氣體等，可以從這些介質(zhì)將激光的種類分成固體激光(YAG激光)、液體激光、氣體激光(氬激光、He—Ne激光、二氧化碳激光、激元激光)、半導(dǎo)體激光等。本發(fā)明中的曝光可以使用這樣的公知的激光。半導(dǎo)體激光是在利用載波子的注入，通過電子束的激發(fā)、碰撞的離子化、光激發(fā)等，電子和空穴流出到接合部時(shí)，使用在pn接合誘導(dǎo)射出相干光之類的發(fā)光二極管的激光。由此射出的相干光的波長由半導(dǎo)體化合物確定。對激光的波長沒有特別限定，其中，從析像度和激光裝置的成本、得到容易度的觀點(diǎn)出發(fā)，半導(dǎo)體激光優(yōu)選從300500nm的波長域選擇，更優(yōu)選340450nm，進(jìn)而優(yōu)選360420nm。另外，固體激光可以舉出YAG—SHG固體激光的532nm。進(jìn)而半導(dǎo)體激發(fā)固體激光可以舉出532355，266nm，從以往的抗蝕劑用光聚合引發(fā)劑具有靈敏度的點(diǎn)來看，優(yōu)選355nm。氣體激光可以使用KrF激光的249nm、ArF激光的193nm。在這些光源中，如果考慮在顯示裝置的制造工序中對感光性材料進(jìn)行曝光的情況，則從提高顯示區(qū)域的透過率的觀點(diǎn)來看，優(yōu)選選擇曝光波長成為410nm的光源。對本發(fā)明中的邊調(diào)制光邊相對掃描的方法進(jìn)行說明。該邊調(diào)制光邊相對掃描的方法的具有代表性的方法之一為，使用數(shù)字*微鏡*器件(DMD,例如，1987年，美國德克薩斯州(Texas)*儀器(instruments乂7、7少少乂、乂)的拉里紅別克(，U—沐一yX、乂夕)博士等開發(fā)的光半導(dǎo)體)之類的微小鏡二維排列的場調(diào)制元件的方法。這種情況下，來自光源的光被適當(dāng)?shù)墓鈱W(xué)系照射在DMD上，來自在DMD上二維排列的各鏡的反射光，經(jīng)過其他光學(xué)系等，在感光層上形成排列成二維的光點(diǎn)的像?？梢砸匀缦滤龅男问?，對感光性樹脂層的全面進(jìn)行曝光，即如果不直接在光點(diǎn)與光點(diǎn)之間曝光，而使上述二維排列的光點(diǎn)的像，相對二維的排列方向略微傾斜的方向移動(dòng)，后方列的光點(diǎn)在最初列的光點(diǎn)與光點(diǎn)之間進(jìn)行曝光。通過控制DMD的各鏡角度，ON—OFF(接通一關(guān)斷)上述光點(diǎn)，可以形成圖像圖案。通過排列使用具有這樣的DMD的曝光頭，可以對應(yīng)各種寬度的基板。在上述DMD中，上述光點(diǎn)的亮度只有接通或關(guān)斷2個(gè)等級，但如果使用鏡等級型場調(diào)制元件，則可以進(jìn)行256個(gè)等級的曝光。另一方面，本發(fā)明中的邊調(diào)制光邊相對掃描的方法的其他代表性方法，為使用多角棱鏡的方法。多角棱鏡(polygonmirror)是指在周圍具有一列的平面鏡反射面的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件。使用該多角棱鏡的方法在感光層上反射照射來自光源的光，而反射光的光點(diǎn)被該平面鏡的旋轉(zhuǎn)掃描。通過使基板相對該掃描方向成直角地移動(dòng)，可以對基板上的感光層的全面進(jìn)行曝光。可以通過利用適當(dāng)?shù)姆椒?，接通關(guān)斷來自光源的強(qiáng)度或?qū)⑵淇刂茷橹虚g色調(diào)，形成圖像圖案?？梢酝ㄟ^使來自光源的光成為多束，縮短掃描時(shí)間。作為本發(fā)明中采用的邊調(diào)制光邊相對掃描的方法，例如也可以適用以下方法。在日本特開平5—150H5號公報(bào)中記載的使用多角棱鏡描繪的例子；日本特表2004—523101(WO2002/039793)中記載的視覺地獲取下部層的圖像的一部分，利用使用多角棱鏡的裝置，使上部層的位置與下部層的位置一致、曝光的例子；在日本特開2004_56080號公報(bào)中記載的具有DMD的曝光裝置、在日本特表2002—523905號公報(bào)中記載的具備多角棱鏡的曝光裝置、在日本特開2001—255661號公報(bào)中記載的具備多角棱鏡的曝光裝置、在日本特開2003—50469號公報(bào)中記載的組合DMD、LD、多重曝光的例子；在日本特開2003—156853號公報(bào)中記載的利用基板的部位改變曝光量的曝光方法的例子；在日本特開2005—43576號公報(bào)中記載的錯(cuò)位調(diào)整的曝光方法的例子等。以下對相對掃描曝光進(jìn)行詳細(xì)說明。(相對掃描曝光)作為本發(fā)明中的曝光方法，包括使用超高壓汞燈的方法和使用激光的方法，但優(yōu)選后者。作為本發(fā)明中使用的激光，可以使用氬激光、He—Ne激光、半導(dǎo)體激光、二氧化碳激光、YAG激光等公知的激光。對激光的波長沒有特別限定，其中，從深色隔離壁的析像度和激光裝置的成本、取得的容易度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選從300500nm的波長域選擇，更優(yōu)選340450nm，進(jìn)而優(yōu)選360420nm。對激光的光束直徑?jīng)]有特別限定，其中，從深色隔離壁的析像度的觀點(diǎn)出發(fā)，高斯(力'々、乂7y)光束的1/e^直優(yōu)選為530pm，更優(yōu)選為720拜。作為激光束的能量，沒有特別限定，其中，從曝光時(shí)間和析像度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為1100mJ/cm2，更優(yōu)選為520mJ/cm2。激光的掃描速度只要滿足可以使濾色片的顯示特性成為高質(zhì)量而且生產(chǎn)率也高的條件即可，沒有特別限定，優(yōu)選為5mm/秒3000m/秒，更優(yōu)選為10mm/秒2000m/秒，最優(yōu)選為15mm/秒1000m/秒。在本發(fā)明想要實(shí)現(xiàn)的生產(chǎn)率高的曝光系統(tǒng)中，為5mm/秒以下時(shí)，必需顯著地增加曝光頭數(shù)，所以不優(yōu)選。另外，為3000m/秒以上時(shí)，不得不顯著地提高照度，所以不實(shí)用。本發(fā)明必須對應(yīng)圖像數(shù)據(jù)對激光進(jìn)行空間光調(diào)制。為此，優(yōu)選使用作為空間光調(diào)制元件的數(shù)字微鏡器件。在所述曝光工序中，使用具備光照射機(jī)構(gòu)光調(diào)制機(jī)構(gòu)的曝光頭，所述曝光頭配置成所述描繪部的列方向相對該曝光頭的掃描方向呈規(guī)定的設(shè)定傾斜角度e。該曝光工序是使所述曝光頭向掃描方向相對地移動(dòng)、曝光的工序。S卩，利用使用描繪部指定機(jī)構(gòu)，對于所述曝光頭，指定可以使用的所述描繪部中的用于N重曝光(其中，N為2以上的自然數(shù))的所述描繪部，利用描繪部控制機(jī)構(gòu)，對于所述曝光頭，進(jìn)行所述描繪部的控制，使得只有由所述使用描繪部指定機(jī)構(gòu)指定的所述描繪部參與曝光，相對于所述感光層，使所述曝光頭在掃描方向上相對地移動(dòng)。在本發(fā)明中，"N重曝光"是指被設(shè)定成在所述感光層的被曝光面上的曝光區(qū)域的大致全部區(qū)域，與所述曝光頭的掃描方向平行的直線與照射到所述被曝光面上的N根光點(diǎn)列(像素列)交叉的曝光。在此，"光點(diǎn)列(像素列)"是指利用所述描繪部產(chǎn)生的作為描繪單元的光點(diǎn)(像素)的排列中比與所述曝光頭的掃描方向所成的角度更小的方向的排列。其中，所述描繪部的配置不一定為矩形格子狀，也可以為例如平行四邊形狀的配置等。在此，稱為曝光區(qū)域的"大致全部區(qū)域"是因?yàn)?，在各描繪部的兩側(cè)緣部，通過使描繪部列傾斜，與平行于所述曝光頭的掃描方向的直線交叉的使用描繪部的描繪部列的數(shù)目會(huì)減少，所以這種情況下，即使將多個(gè)曝光頭合起來使用，由于該曝光頭的安裝角度或配置等誤差，而與掃描方向平行的直線交叉的使用描繪部的描繪部列的數(shù)目可能會(huì)略微增減，另外，在各使用描繪部的描繪部列間的連接部分的析像度程度以下的極少的部分，沿著與掃描方向正交的方向的描繪部的間距(pitch)不會(huì)與其他部分的描繪部的間距嚴(yán)格地一致，與掃描方向平行的直線交叉的使用描繪部的描繪部列的數(shù)目在士l的范圍增減。此外，在以下的說明中，將N為2以上的自然數(shù)的N重曝光總稱為"多重曝光"。進(jìn)而，在以下的說明中，對于將本發(fā)明的曝光裝置或曝光方法作為描繪裝置或描繪方法實(shí)施的方式，將"N重描繪"及"多重描繪"的用語用作對應(yīng)"N重曝光"及"多重曝光"的用語。作為所述N重曝光的N，只要是2以上的自然數(shù)，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，優(yōu)選3以上的自然數(shù)，更優(yōu)選3以上7以下的自然數(shù)。作為所述曝光裝置，例如可以使用下述裝置進(jìn)行曝光。以下顯示使用激光的3重曝光裝置的一例，而本發(fā)明中的曝光裝置不限定于此。圖1表示本發(fā)明中的曝光單元的外觀。如圖1所示，曝光單元具備將感光材料150吸附并保持在玻璃基板的表面的平板狀的移動(dòng)載物臺(stage)152。在由4根腳部154支撐的厚板狀設(shè)置臺156的上面，設(shè)置沿著載物臺移動(dòng)方向延伸的2根導(dǎo)桿158。載物臺152被配置成其長徑方向朝向載物臺移動(dòng)方向，同時(shí)被支撐為可以利用導(dǎo)桿158來回移動(dòng)。此外，在該曝光裝置中，設(shè)有用于沿著導(dǎo)桿158驅(qū)動(dòng)載物臺152的驅(qū)動(dòng)裝置(未圖示)。在設(shè)置臺156的中央部，設(shè)有"〕"字狀的門(gate)160，橫跨載物臺152的移動(dòng)路徑。"〕"字狀的門160的端部分別被固定于設(shè)置臺156的兩側(cè)面。在該門160的一側(cè)夾持設(shè)置掃描器162，在另一側(cè)設(shè)置探測感光材料150的頂端及后端的多個(gè)(例如2個(gè))檢測傳感器164。掃描器162及傳感器164分別被安裝于門160上，被固定配置于載物臺152的移動(dòng)路徑的上方。此外，掃描器162及檢測傳感器164與控制它們的控制器(未圖示)連接。另外，圖2表示本發(fā)明中的曝光單元的掃描器的構(gòu)成。圖3A是表示在感光材料中形成的己曝光區(qū)域的平面圖，圖3B是表示各曝光頭的曝光范圍的排列的圖。如圖2及圖3B所示，掃描器162具備被排列成m行n列(例如3行5列)的近似矩陣狀的多個(gè)(例如14個(gè))曝光頭166。在該例中，根據(jù)與感光材料150的寬度的關(guān)系，在第3行配置4個(gè)曝光頭166。此外，表示排列在第m行的第n列的各曝光頭時(shí)，標(biāo)記為曝光頭166mn。曝光頭166的曝光范圍168為以副掃描方向?yàn)槎踢叺木匦螤?。因而，伴隨著載物臺152的移動(dòng)，在感光材料150上形成每個(gè)曝光頭166的帶狀的已曝光區(qū)域170。此外，表示利用排列在第m行第n列的各曝光頭的曝光范圍時(shí)，標(biāo)記為曝光范圍168mn。另外，如圖3A及3B所示，為了使帶狀的已曝光區(qū)域170在與副掃描方向正交的方向無間隙地排列，已排列成線狀的各行曝光頭分別向排列方向錯(cuò)開規(guī)定間隔(曝光范圍的長邊的自然數(shù)倍，在本例中為2倍)配置。所以，在第1行的曝光范圍168與曝光范圍16812之間不能曝光的部分，可以利用第2行的曝光范圍16821與第3行的曝光范圍16831曝光。圖4是表示本發(fā)明中的曝光頭的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。圖5A是沿著圖4所示的曝光頭的構(gòu)成中的光軸的副掃描方向的截面圖，圖5B是沿著圖4所示的曝光頭的構(gòu)成中的光軸的副掃描方向的側(cè)面圖。如圖4、5A及圖5B所示，曝光頭166u166mn分別具備數(shù)字微鏡器件(DMD)50，作為對應(yīng)圖像數(shù)據(jù)對每個(gè)像素進(jìn)行調(diào)制入射的光束的空間光調(diào)制元件。該DMD50與具備數(shù)據(jù)處理部和鏡驅(qū)動(dòng)控制部的控制器(未圖示)連接。該控制器的數(shù)據(jù)處理部基于輸入的圖像數(shù)據(jù)，產(chǎn)生對各曝光頭166進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制DMD50的應(yīng)控制區(qū)域內(nèi)的各微鏡的控制信號。此外，對于應(yīng)控制的區(qū)域，后述。另外，鏡驅(qū)動(dòng)控制部基于在圖像數(shù)據(jù)部產(chǎn)生的控制信號，對各曝光頭166進(jìn)行控制DMD50的各微鏡的反射面的角度。此外，對反射面的角度的控制，后述。在DMD50的光入射側(cè)，依次配置:具備光纖的射出端部(發(fā)光點(diǎn))沿著與曝光范圍168的長邊方向?qū)?yīng)的方向排列成一列的激光射出部的光纖陣列光源66，修正從光纖陣列光源66射出的激光、聚光于DMD上的透鏡系67，向DMD50反射透過了該透鏡系67的激光的鏡69。透鏡系67由如下所述結(jié)構(gòu)構(gòu)成，S卩使從光纖陣列光源66射出的激光平行光化的組合透鏡71，校正成已平行光化的激光的光量分布成為均一的1對組合透鏡73以及將光量分布被校正的激光會(huì)聚于DMD上的聚光透鏡75。組合透鏡73具備相對激光射出端的排列方向，距離透鏡的光軸近的部分展開光束且從光軸離開的部分收縮光束，而且相對與該排列方向正交的方向使光直接通過的功能，校正激光，使光量分布成為均一。另外，在DMD50的光反射側(cè)，配置使在DMD50反射的激光在感光材料150掃描面(被曝光面)56上成像的透鏡系54、58。透鏡系54及58被配置成DMD50與被曝光面56成共軛關(guān)系。圖6是表示DMD的構(gòu)成的部分放大圖。如圖6所示，DMD50是在SRAM單元(存儲單元(memorycell))60上，微小鏡(微鏡)62被配置成由支柱支撐。DMD50是像素(像點(diǎn)(pixel))的多個(gè)(例如1024個(gè)X768個(gè))微小鏡被排列成柵格狀而構(gòu)成的鏡器件。在各像點(diǎn)中，在最上部設(shè)置由支柱支撐的微鏡62。在微鏡62的表面蒸鍍鋁等反射率高的材料。此外，微鏡62的反射率在90%以上。另外，在微鏡62的正下方，借助包括鉸鏈(hinge)及軛(yoke)的支柱，配置在通常的半導(dǎo)體存儲器的制造線上制造的硅柵(silicongate)的CMOS的SRAM單元60，整體由單片(monolithic)構(gòu)成。如果向DMD50的SRAM單元60輸入數(shù)字信號，則被支柱支撐的微鏡62，在以對角線為中心相對配置DMD50的基板側(cè)，以土a度(例如士10)的范圍傾斜。圖7A表示微鏡62處于作為接通狀態(tài)的向+a度傾斜的狀態(tài)，圖7B表示微鏡62處于作為關(guān)斷狀態(tài)的向一a度傾斜的狀態(tài)。因而，如圖6所示，通過對應(yīng)圖像信號控制DMD50的各像點(diǎn)中的微鏡62的傾斜，向DMD50入射的激光B被向各自的微鏡62的傾斜方向反射。此外，圖6是表示放大DMD50的一部分，微鏡62被控制為+a度或一a度的狀態(tài)的一例。利用與DMD50連接的控制器(未圖示)，進(jìn)行各微鏡62的接通關(guān)斷控制。另外，在關(guān)斷狀態(tài)的微鏡62反射的光束62的方向上，配置光吸收體(未圖示)。另外，DMD50優(yōu)選略微傾斜配置成其短邊與副掃描方向成規(guī)定角度(例如1°5。)。圖8A表示利用使DMD50不傾斜時(shí)的各微鏡的反射光像(曝光光束)53的掃描軌跡，圖8B表示利用使DMD50傾斜時(shí)的曝光光束53的掃描軌跡。DMD50中，長徑方向排列多個(gè)(例如1024個(gè))微鏡的微鏡列，在短徑方向排列多組(例如756組)。如圖8B所示，通過使DMD50傾斜，利用各微鏡的曝光光束53的掃描軌跡(掃描線)的間距P2變得比不使DMD50傾斜時(shí)的掃描線的間距P,窄，可以大幅度地提高析像度。另一方面，DMD50的傾斜角微小，所以使DMD50傾斜時(shí)的掃描線W2，與不使DMD50傾斜時(shí)的掃描線W,大致相同。另外，還成為了利用不同的微鏡列重疊、曝光(多重曝光)相同的掃描線上。這樣，通過使其多重曝光，可以微少控制曝光位置，可以實(shí)現(xiàn)高精細(xì)的曝光。另外，通過微少量的曝光位置控制，可以沒有段差地連接排列在主掃描方向的多個(gè)曝光頭之間的連接眼。此外，即使代替使DMD50傾斜，而錯(cuò)開規(guī)定間隔向與副掃描方向正交的方向，將各微鏡列配置成交錯(cuò)狀，也可以得到同樣的效果。圖9A是表示光纖陣列光源的構(gòu)成的立體圖，圖9B是表示圖9A的部分放大圖，圖9C及圖9D是表示激光射出部的發(fā)光點(diǎn)的排列的立體圖。如圖9A所示，光纖陣列光源66具備多個(gè)(例如6個(gè))激光模塊64。多模光纖30的一端與各激光模塊64結(jié)合。在多模光纖30的另一端，與芯徑與多模光纖30相同而且金屬包層(dad)直徑小于多模光纖30的光纖31結(jié)合。如圖9C所示，多模光纖31的射出端部(發(fā)光點(diǎn))沿著與副掃描方向正交的主掃描方向，排列1個(gè)，構(gòu)成激光射出部68。此外，如圖9D所示，還可以沿著主掃描方向?qū)l(fā)光點(diǎn)排列成2列。如圖9B所示，由光纖31的射出端部被表面平坦的2張支撐板65夾入、固定。另外，為了保護(hù)光纖31的端面，最好在該光纖31的端面配置玻璃等透明的保護(hù)板63。保護(hù)板63可以與光纖31的端面粘附、配置，也可以配置成密封光纖31的端面。光纖31的射出端面由于光密度高，所以容易收集灰塵，容易劣化，但通過配置保護(hù)板63，可以防止塵埃向端面附著，另外還可以減緩劣化。在該例中，為了使金屬包層直徑小的光纖31的射出端無間隙地排列成1歹ij，在金屬包層大的部分相鄰的兩根多模光纖30之間堆積多模光纖30，與被堆積的多模光纖30結(jié)合的光纖31的射出端，被排列在與金屬包層大的部分相鄰的兩根多模光纖30結(jié)合的光纖31的兩個(gè)射出端之間。圖IO表示多模光纖的構(gòu)成。如圖IO所示，這樣的光纖可以通過在金屬包層直徑大的多模光纖30的激光射出側(cè)的頂端部分，同軸地結(jié)合長l30cm的金屬包層直徑小的光纖31而得到。兩根光纖可以通過在多模光纖30的射出端面，兩光纖的中心軸一致的狀態(tài)下，使光纖31的入射端面與多模光纖30的射出端面粘接結(jié)合。如上所述，光纖31的芯31a的直徑與多模光纖30的芯30a的直徑為相同大小。另外，也可以借助套圈(ferulle)或光連接器(connector)等，將在長度短而金屬包層直徑大的光纖上粘接金屬包層直徑小的光纖而成的短尺光纖，結(jié)合于多模光纖30的射出端。通過使用連接器等使其可以自由裝卸地結(jié)合，在金屬包層直徑小的光纖破損的情況下等，頂端部分的交換變得容易，可以減低曝光頭的維護(hù)(maintenance)所需要的成本。此外，在以下，有時(shí)將光纖31稱為多模光纖30的射出端部。作為多模光纖30及光纖31，也可以適用步長指數(shù)(stepindex)型光纖、漸變折射率(gradedindex)型光纖及復(fù)合型光纖的任意一種。例如，可以使用三菱電線工業(yè)(株)制的步長指數(shù)型光纖。在本例中，多模光纖30及光纖31為步長指數(shù)型光纖，多模光纖30為金屬包層直徑二125pm，芯徑二25pm,NA=0.2，入射端面涂層的透過率=99.5%以上，光纖31為金屬包層直徑-60(im，芯徑二25nm，NA=0.2。通常如果減小光纖的金屬包層直徑，則紅外區(qū)域的激光傳播損失會(huì)增加。所以，可以對應(yīng)激光的波長帶域確定優(yōu)選的金屬包層直徑。但是，波長越短則傳播損失變得越少，從GaN系半導(dǎo)體激光器射出的波長405nm的激光，即使使金屬包層的厚度{(金屬包層直徑一芯徑)/2}成為傳播800nm的波長帶域的紅外光時(shí)的1/2左右、傳播通信用的1.5pm的波長帶域的紅外光時(shí)的1/4左右，傳播損失也幾乎不增加。因而，可以將金屬包層直徑減少至60pm。不過，光纖31的金屬包層直徑不限定于60pm。以往的光纖陣列光源中使用的光纖的金屬包層直徑為125,，但由于金屬包層直徑越小則焦點(diǎn)深度變得越深，所以多模光纖的金屬包層直徑優(yōu)選為8(Him以下，更優(yōu)選為60|tim以下，進(jìn)而優(yōu)選為40pm以下。另一方面，芯徑至少需要為34pm，所以光纖31的金屬包層直徑優(yōu)選為10pm以上。激光器模塊64由圖11所示的合波激光光源(光纖光源)構(gòu)成。該合波激光光源由如下所述的結(jié)構(gòu)構(gòu)成，S卩排列固定在加熱方塊IO上的多個(gè)(例如7個(gè))片(chip)狀橫多模或單模的GaN系半導(dǎo)體激光器LDl、LD2、LD3、LD4、LD5、LD6、及LD7，分別對應(yīng)GaN系半導(dǎo)體激光器LD1LD7而設(shè)置的準(zhǔn)直(collimetor)透鏡11、12、13、14、15、16及17，l個(gè)聚光透鏡20，l根多模光纖30。此外，半導(dǎo)體激光器的個(gè)數(shù)不被限定。例如，可以向金屬包層直徑二60iam、芯徑-50pm、NA=0.2的多模光纖入射20個(gè)半導(dǎo)體激光，能夠?qū)崿F(xiàn)曝光頭的必要光量而且進(jìn)一步減少光纖根數(shù)。GaN系半導(dǎo)體激光器LDlLD7的振蕩波長全部相同(例如405nm)，最大輸出也全部相同(例如多模激光器為100mW，單模激光器為30mW左右)。此外，作為GaN系半導(dǎo)體激光器LDlLD7，在350nm450nm的波長范圍內(nèi)，也可以使用具備上述405nm以外的振蕩波長的激光器。圖12(正面圖)及圖13(側(cè)面圖)表示激光模塊的構(gòu)成。如圖12及圖13所示，上述合波激光光源與其他光學(xué)部件一起，被收納于上方開口的箱狀的封裝件(package)40內(nèi)。封裝件40具備作成為關(guān)閉其開口的封裝件蓋41，通過在脫氣處理后，導(dǎo)入密封氣體，用封裝件蓋41關(guān)閉封裝件40的開口，在由封裝件40和封裝件蓋41形成的閉空間(密封空間)內(nèi)氣密地密封上述合波激光光源。在封裝件40的底面固定基(base)板42，在該基板42的上面安裝所述加熱方塊10、保持聚光透鏡20的聚光透鏡支持物(holder)45和保持多模光纖30的入射端部的光纖支持物46。多模光纖30的射出端部，從在封裝件40的壁面上形成的開口，向封裝件外引出。另外，在加熱方塊10的側(cè)面安裝準(zhǔn)直透鏡支持物44，保持準(zhǔn)直透鏡1117。在封裝件40的橫壁面上形成開口，通過該開口向GaN系半導(dǎo)體激光器LD1LD7供給驅(qū)動(dòng)電流的布線47被引出封裝件外。此外，在圖31中，為了避免圖的繁雜化，在多個(gè)GaN系半導(dǎo)體激光器中只給GaN系半導(dǎo)體激光器LD7上加編號，在多個(gè)準(zhǔn)直透鏡中只給準(zhǔn)直透鏡17上加編號。圖14是表示上述準(zhǔn)直透鏡1117的安裝部分的正面形狀的圖。準(zhǔn)直透鏡1117分別形成為用平行的平面將含有具備非球面的圓形透鏡的光軸的區(qū)域細(xì)長地切開的形狀。該細(xì)長形狀的準(zhǔn)直透鏡例如可以通過鑄型成形樹脂或光學(xué)玻璃而形成。準(zhǔn)直透鏡U17在上述發(fā)光點(diǎn)的排列方向密排，并且長徑方向與GaN系半導(dǎo)體激光器LDlLD7的發(fā)光點(diǎn)的排列方向(圖14的左右方向)正交。另一方面，作為GaN系半導(dǎo)體激光器LDlLD7，可以使用具備發(fā)光寬度為2pm的活性層，以與活性層平行的方向、直角的方向的擴(kuò)展角例如為10°、30°的狀態(tài)分別發(fā)激光光束B1B7的激光器。這些GaN系半導(dǎo)體激光器LD1LD7配設(shè)成發(fā)光點(diǎn)在與活性層平行的方向并列1列。因而，如上所述，從各發(fā)光點(diǎn)發(fā)出的激光光束B1B7，在相對細(xì)長形狀的各準(zhǔn)直透鏡1117，擴(kuò)展角度大的方向與長度方向一致，擴(kuò)展角度小的方向與寬方向(與長方向正交的方向)一致的狀態(tài)下，入射。就是說，各準(zhǔn)直透鏡1117的寬度為l.lmm，長度為4.6mm，入射到它們的激光B1B7的水平方向、垂直方向的光束直徑分別為0.9mm、2.6mm。另夕卜，準(zhǔn)直透鏡1117分別為焦點(diǎn)距離f,二3mm，NA=0.6，透鏡配置間距二1.25mm。聚光透鏡20用平行的平面將含有具備非球面的圓形透鏡的光軸的區(qū)域細(xì)長地切開，形成為在準(zhǔn)直透鏡1117的排列方向、即水平方向長，在與其成直角的方向短的形狀。該聚光透鏡20為，焦點(diǎn)距離f2二23mm、NA=0.2。該聚光透鏡20也可以通過例如鑄型成形樹脂或光學(xué)玻璃而形成。接著，對所述曝光裝置的動(dòng)作進(jìn)行說明。在掃描器162的各曝光頭166中，以發(fā)散光狀態(tài)從構(gòu)成光纖陣列光源66的合波激光光源的GaN系半導(dǎo)體激光器LD1LD7分別射出的激光光束B1、B2、B3、B4、B5、B6及B7，分別被對應(yīng)的準(zhǔn)直透鏡1117平行光化。己被平行光化的激光光束B1B7被聚光透鏡20聚光，會(huì)聚于多模光纖30的芯30a的入射端面。在本例中，由準(zhǔn)直透鏡1117及聚光透鏡20構(gòu)成聚光光學(xué)系，該聚光光學(xué)系和多模光纖30構(gòu)成合波光學(xué)系。即，如上所述由聚光透鏡20聚光的激光光束B1B7入射到該多模光纖30的芯30a并在光纖內(nèi)傳播，合波成一根激光光束B，從結(jié)合于多模光纖30的射出端部的光纖31射出。在各激光器模件中，激光光束B1B7向多模光纖30的結(jié)合效率為0.85、GaN系半導(dǎo)體激光器LDlLD7的各輸出為30mW的情況下，在被排列成陣列狀的光纖31可以分別得到輸出180mW(二30mWX0.85X7)的合波激光光束B。因而，在6根光纖31被排列成陣列狀的激光射出部68的輸出約為1W(二180mWX6)。在光纖陣列光源66的激光射出部68上，高亮度的發(fā)光點(diǎn)這樣沿著主掃描方向被排列成一列。使來自單一的半導(dǎo)體激光器的激光結(jié)合于一根光纖的以往的光纖光源為低輸出，所以只有排列多數(shù)列才能得到需要的輸出。但由于合波激光光源為高輸出，所以即使為少數(shù)列、例如一列，也可以得到需要的輸出。例如，在使半導(dǎo)體激光器與光纖以一對一結(jié)合的以往的光纖光源中，通常作為半導(dǎo)體激光使用輸出30mW(毫瓦(milliwatt))左右的激光。該光纖光源作為光纖使用芯徑50jim、金屬包層直徑125pm、NA(開口數(shù))0.2的多模光纖，所以如果想要得到約1W(瓦特)的輸出，不得不捆48根(8X6)多模光纖，發(fā)光區(qū)域?yàn)?.62mm2(0.675mmX0.925mm)，所以在激光射出部的亮度為1.6X106(W/m2)、每一根光纖的亮度為3.2X106(W/m2)。與此相對，如上所述，本發(fā)明中的光纖陣列光源可以以6根多模光纖得到1W的輸出，在激光射出部68的發(fā)光區(qū)域的面積為0.0081mm2(0.325mmX0.025mm)，所以在激光射出部68的亮度成為123X106(W/m2)，與以往相比，能夠?qū)崿F(xiàn)約80倍的高亮度化。另外，每一根光纖的亮度為90X10"W/m2)，與以往相比，能夠?qū)崿F(xiàn)約28倍的高亮度化。在此，參照圖15A及圖15B，對曝光頭的焦點(diǎn)深度的不同進(jìn)行說明。在圖15A中，曝光頭的束狀光纖光源的發(fā)光區(qū)域的副掃描方向的直徑為0.675mm，在圖15B中，曝光頭的光纖陣列光源在發(fā)光區(qū)域的副掃描方向的直徑為0.025mm。如圖15A所示，在該曝光頭中，光源(束狀光纖光源)1的發(fā)光區(qū)域較大，所以向DMD3入射的光束的角度變得較大。結(jié)果，向掃描面5入射的光束的角度變大。所以相對聚光方向(焦點(diǎn)方向的偏離)，光束直徑容易變大。另一方面，如圖15B所示，在該曝光頭中，光纖陣列光源66在發(fā)光區(qū)域的副掃描方向的直徑較小，所以通過透鏡系67從而向DMD50入射的光束的角度變小。結(jié)果，向掃描面56入射的光束的角度變小。即，焦點(diǎn)深度變深。在該實(shí)施方式中，發(fā)光區(qū)域在副掃描方向的直徑成為以往的約30倍，可以得到相當(dāng)于近似衍射極限的焦點(diǎn)深度。因而，適用于微小點(diǎn)的曝光。曝光頭的必要光量越大，則對該焦點(diǎn)深度的效果越顯著、有效。在該實(shí)施方式中，投影于曝光面的一個(gè)描繪尺寸為10nmX10pm。此外，DMD為反射型的空間光調(diào)制元件，圖15A及圖15B為用于說明光學(xué)上的關(guān)系的展開圖。對應(yīng)曝光圖案的圖案數(shù)據(jù)，被輸入到與DMD50相連的控制器(未圖示)中，被臨時(shí)記憶于控制器內(nèi)的幀存儲器。該圖案數(shù)據(jù)是用2進(jìn)制(點(diǎn)(dot)的記錄的有無)表示的構(gòu)成圖像的各描繪的濃度的數(shù)據(jù)。在表面吸附圖案形成材料150的載物臺152，在驅(qū)動(dòng)裝置(未圖示)的作用下，沿著導(dǎo)軌158，以一定速度從門160的上游側(cè)向下游側(cè)移動(dòng)。載物臺152經(jīng)過門160之下時(shí)，在安裝于門160的檢測傳感器164的作用下，如果檢測出感光材料150的前端，則記憶于幀存儲器的圖案數(shù)據(jù)被依次以多線的量讀取，基于在數(shù)據(jù)處理部讀取的圖案數(shù)據(jù)，在各曝光頭166分別產(chǎn)生控制信號。接著，在鏡驅(qū)動(dòng)控制部的作用下，基于產(chǎn)生的控制信號，在每個(gè)曝光頭166，分別接通關(guān)斷控制DMD50的微鏡。如果向DMD50照射來自光纖陣列光源66的激光，則DMD50的微鏡處于接通狀態(tài)時(shí)激光被反射。該被反射的激光在透鏡系54、58的作用下，在感光材料150的被曝光面56上成像。這樣，從光纖陣列光源66射出的激光在每個(gè)描繪被接通關(guān)斷，在與DMD50的使用描繪數(shù)大致相同數(shù)目的描繪單元(曝光范圍168)，使感光材料150曝光。另外，通過使感光材料150與載物臺152—起以固定速度移動(dòng)，感光材料150在載物臺162的作用下，在與載物臺移動(dòng)方向相反的方向被副掃描，在每個(gè)曝光頭166形成帶狀的已曝光區(qū)域170。圖16A及圖16B表示DMD50的使用區(qū)域的例子。如圖16A及圖16B所示，DMD50向主掃描方向排列了1024個(gè)微鏡的微鏡列，向副掃描方向排列768組，但在本例中，由控制器控制成只有一部分的微鏡列(例如1024個(gè)X128列)驅(qū)動(dòng)。如圖16A所示，使用配置于DMD50的中央部的微鏡列，也可以如圖16B所示，使用配置于DMD50的端部的微鏡列。另外，在一部分微鏡中產(chǎn)生缺陷的情況下，也可以適當(dāng)?shù)刈兏鼮槭褂脹]有產(chǎn)生缺陷的微鏡列等根據(jù)狀況使用的微鏡列。由于DMD50的數(shù)據(jù)處理速度存在極限，與使用的描繪數(shù)成正比，確定每1線的調(diào)制速度，所以通過只使用一部分的微鏡列，會(huì)使每1線的調(diào)制速度變快。另一方面，在連續(xù)地相對曝光面移動(dòng)曝光頭的曝光方式的情況下，不需要全部使用副掃描方向的描繪。例如，768組的微鏡列內(nèi)，只使用384組的情況下，與使用全部768組的情況相比，每1線可以調(diào)制成2倍快。另外，768組的微鏡列內(nèi)，只使用256組的情況下，與使用全部768組的情況相比，每1線可以調(diào)制成3倍快。g口，可以在副掃描方向以17秒曝光500mm的區(qū)域。進(jìn)而，在只使用128組微鏡列的情況下，每1線可以調(diào)制成6倍快。g卩，可以在副掃描方向以9秒曝光500mm的區(qū)域。使用的微鏡列的數(shù)目即在副掃描方向排列的微鏡的個(gè)數(shù)優(yōu)選為10200，更優(yōu)選為10100。相當(dāng)于1個(gè)像素的每1個(gè)微鏡的面積為15pmX15nm，所以如果換算成DMD50的使用區(qū)域，優(yōu)選為12mmX150pm12mmX3mm的區(qū)域，更優(yōu)選為12mmX150pm12mmX1.5mm的區(qū)域。使用的微鏡列的數(shù)目如果在所述范圍內(nèi)，則可以用透鏡系67使從光纖陣列光源66射出的激光近似平行光化，向DMD50照射。圖17A表示DMD的適當(dāng)使用區(qū)域。如圖17A所示，DMD50的激光的照射區(qū)域優(yōu)選與DMD50的使用區(qū)域一致。如果照射區(qū)域?qū)捰谑褂脜^(qū)域，則激光的利用效率降低。另一方面，必需利用透鏡系67對應(yīng)排列于副掃描方向的微鏡的個(gè)數(shù)，減小聚光于DMD50上的光束的副掃描方向的直徑。但是，如果使用的微鏡列的數(shù)目不到IO，則向DMD50入射的光束的角度變大，掃描面56中的光束的焦點(diǎn)深度變淺，故不優(yōu)選。另外，使用的微鏡列的數(shù)目在200以下的情況下，從調(diào)制速度的角度出發(fā)，不優(yōu)選。其中，DMD為反射型的場調(diào)制元件，但在圖17A及圖17B中，為了說明光學(xué)上的關(guān)系，成為展開圖。如果利用掃描器162的感光材料150的副掃描結(jié)束，以檢測傳感器164檢測感光材料150的后端，那么載物臺152利用未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置，沿著導(dǎo)軌158，回歸到位于門160的最上游側(cè)的原點(diǎn)，重新沿著導(dǎo)軌158，從門160的上游側(cè)向下游側(cè)以恒定速度移動(dòng)。如以上所述，曝光單元(曝光裝置)具備在主掃描方向排列1024個(gè)微鏡的微鏡列在副掃描方向排列768組的DMD?？刂破鲗⑽㈢R列控制成只有一部分微鏡列被驅(qū)動(dòng)。與驅(qū)動(dòng)全部微鏡列的情況相比，每1線的調(diào)制速度會(huì)變快，所以可以以高速進(jìn)行曝光。如上所述，在感光材料上使用所述曝光裝置曝光成圖案狀之后，進(jìn)行顯影處理，通過顯影除去未曝光部即未固化的感光層來形成圖案。利用所述轉(zhuǎn)印法形成感光層的情況下，與感光層中的可溶性的區(qū)域(未曝光部區(qū)域)一起除去存在于感光層表面的熱塑性樹脂層或者，進(jìn)而在具有中間層的情況下，除去熱塑性樹脂層和中間層。這樣，在基材表面利用固化樹脂形成圖案狀的結(jié)構(gòu)體。在本發(fā)明中的使用所述曝光裝置的曝光方式中，曝光能量由感光性樹脂組合物的組成適當(dāng)選擇。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，也可以使固化后的感光層中的交聯(lián)密度成為0.0073摩爾/g以上，同時(shí)使其交聯(lián)反應(yīng)率成為86100%，在交聯(lián)成分密度高的樹脂部分得到高交聯(lián)率，優(yōu)選在這樣的能量條件下進(jìn)行曝光。通過這樣的高交聯(lián)密度的實(shí)現(xiàn)，得到的圖案變得難以受到外壓引起的變形，另外，在受到外壓發(fā)生塑性變形時(shí)，也可以保證良好的變形恢復(fù)性。所以，在利用本發(fā)明形成間隙材或像素時(shí)，即使在單元厚度為24pm的薄厚度構(gòu)成的情況下，也可以保證單元厚度的均一性，可以有效地防止液晶顯示元件顯示的圖像中的顯示不均。另外，形成的圖案的均一性、表面平滑性出色，所以還具有ITO電阻值變低、可以實(shí)現(xiàn)動(dòng)作性的高速化的優(yōu)點(diǎn)。利用下述式求得本發(fā)明中的所述交聯(lián)密度[mol/g]及交聯(lián)反應(yīng)率[X]。交聯(lián)密度=交聯(lián)基的摩爾數(shù)/樹脂成分的質(zhì)量交聯(lián)反應(yīng)率=[(初始反應(yīng)基量一反應(yīng)后交聯(lián)基量)/初始交聯(lián)基量]X濯其中，交聯(lián)反應(yīng)率利用IR法(用已知樣品求得"交聯(lián)基量一IR吸收量檢量線"，從IR吸收量求交聯(lián)基量。)求交聯(lián)反應(yīng)前的初始交聯(lián)基量與交聯(lián)反應(yīng)結(jié)束后的反應(yīng)后交聯(lián)基量，從所述式算出。交聯(lián)反應(yīng)的結(jié)束可以以在本發(fā)明中的熱處理工序中交聯(lián)反應(yīng)的終結(jié)來結(jié)束。另外，所述"樹脂部分"是在含有顏料或二氧化硅等固體微粒的情況下除去固體微粒的部分。交聯(lián)密度的調(diào)整可以通過在構(gòu)成感光性樹脂組合物的樹脂成分中，使存在于感光性樹脂組合物中的樹脂部分的交聯(lián)性基的總量(摩爾)即粘合劑(A)中的交聯(lián)性基或者聚合性基與乙烯性不飽和化合物(B)中的交聯(lián)性基或聚合性基的總量成為該組合物的全量(g)的0.0073摩爾/g以上來進(jìn)行。(顯影工序)顯影可以利用公知的堿顯影方法進(jìn)行。顯影可以使用例如溶劑或水性的顯影液特別是堿水溶液(堿顯影液)等，將曝光后的感光性轉(zhuǎn)印材料浸漬于收容顯影液的顯影浴中或者用噴淋等對感光性轉(zhuǎn)印材料上的層進(jìn)行噴霧等并同時(shí)進(jìn)而利用旋轉(zhuǎn)刷、濕潤海綿等擦拭或者邊照射超聲波邊處理等來進(jìn)行。顯影液的液體溫度優(yōu)選為2(TC4(rC，另外，顯影液的pH萬813。另外，優(yōu)選在顯影后，進(jìn)行水洗處理。作為顯影的方式，可以使用攪拌(八。K》)顯影、噴淋顯影、噴淋&旋轉(zhuǎn)顯影、浸滲顯影等公知的方法。利用噴淋顯影的情況下，可以通過利用噴淋向曝光后的感光層吹顯影液，除去未固化部分。另外，優(yōu)選在顯影前預(yù)先利用噴淋等吹感光層的溶解性低的堿水溶液，除去熱塑性樹脂層、中間層等。此外，在曝光后的顯影或不需要部分的除去過程中，作為感光層及熱塑性樹脂層或中間層的溶解中使用的堿性水溶液，例如優(yōu)選堿性物質(zhì)的稀薄水溶液，進(jìn)而優(yōu)選進(jìn)而少量添加水混合性有機(jī)溶劑。對堿性物質(zhì)沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇。作為堿性物質(zhì)的例子，例如可以舉出氫氧化鈉、氫氧化鉀等堿金屬氫氧化物類，碳酸鈉、碳酸鉀等堿金屬碳酸鹽類，碳酸氫鈉、碳酸氫鉀等堿金屬碳酸氫鹽類，硅酸鈉、硅酸鉀等堿金屬正硅酸鹽類，正硅酸鈉、正硅酸鉀等堿金屬正硅酸鹽類，三乙醇胺、二乙醇胺、一乙醇胺、嗎啉、四甲基氫氧化銨等四烷基氫氧化物類或磷酸三鈉等。它們可以單獨(dú)使用1種，也可以并用2種以上。作為堿性水溶液，堿性物質(zhì)的濃度優(yōu)選為0.0130質(zhì)量％，pH優(yōu)選為814。在顯影槽中設(shè)置輥式輸送機(jī)等，并使基板水平移動(dòng)。為了防止受到上述輥式輸送機(jī)的損傷，優(yōu)選在基板的上面形成感光性樹脂?；宄叽绯^l米的情況下，如果水平輸送基板，基板中央附近會(huì)滯留顯影液，基板中央與周邊部分存在顯影的差別。為了避免這種差別，優(yōu)選使基板斜向傾斜。傾斜角度優(yōu)選為5。30°。另外，為了得到均一的顯影結(jié)果，優(yōu)選在顯影前噴霧純水，潤濕感光性樹脂層。為了得到更均一的顯影結(jié)果，在顯影后，向基板輕吹空氣，大致除去多余的液體，再實(shí)施噴淋水洗。進(jìn)而，為了得到?jīng)]有殘?jiān)母哔|(zhì)量的像，在水洗前，從超高壓清洗噴嘴，以310MPa左右的壓力，噴射超純水，除去殘余物。如果在基板上附著水滴的狀態(tài)下，直接輸送到后工序，那么會(huì)污染工序，或者在基板上殘留污染痕跡，故不優(yōu)選，所以，優(yōu)選利用吹拂器等甩去水，除去多余的水或水滴。(后曝光)從圖像的截面形狀的控制、圖像的硬度的控制、圖像的表面凹凸的控制、圖像的膜減少的控制等觀點(diǎn)來看，優(yōu)選在顯影與熱處理之間實(shí)施后曝光。作為后曝光使用的光源，可以舉出特開2005—3861號公報(bào)的段落編號0074中記載的超高壓汞燈、高壓汞燈、金屬鹵化物燈等。從設(shè)備的簡易化和省電力的觀點(diǎn)來看，后曝光優(yōu)選來自超高壓汞燈或金屬鹵化物燈等的光源的光不借助曝光掩模等而直接照射到基板上。可以只在單面實(shí)施這樣的曝光，根據(jù)需要，也可以從兩面實(shí)施。曝光量可以在上面1002000mJ/平方厘米、下面1002000mJ/平方厘米的范圍內(nèi)，根據(jù)上述控制目的適當(dāng)調(diào)節(jié)。(熱處理)通過在顯影后進(jìn)行熱處理，可以使本發(fā)明的感光性樹脂層中含有的單體或交聯(lián)劑發(fā)生反應(yīng)，從而確保圖案的硬度。熱處理的溫度優(yōu)選15(TC25(TC的范圍。熱處理的時(shí)間優(yōu)選10分鐘150分鐘。在該溫度范圍及熱處理時(shí)間下，可以保證圖像的硬度充分，同時(shí)，還可以抑制樹脂的加熱著色引起的色純度的變差。另外，熱處理中的加熱條件也可以根據(jù)顏色改變。另外，在形成全色之后，也可以進(jìn)而進(jìn)行最終的熱處理，使硬度穩(wěn)定化。這種情況下，從硬度的點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選以提高的溫度(例如240。C左右)實(shí)施。作為水混合性有機(jī)溶劑，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇。作為水混合性有機(jī)溶劑，例如可以舉出甲醇、乙醇、異丙醇、正丙醇、丁醇、雙丙酮醇、乙二醇一甲醚、乙二醇一乙醚、乙二醇一正丁醚、芐醇、丙酮、甲基乙基甲酮、環(huán)己酮、s—己內(nèi)酯、Y—丁內(nèi)酯、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、六甲基磷酰胺、乳酸乙酯、乳酸甲酯、s—己內(nèi)酰胺、N—甲基吡咯烷酮等。具有水混合性的有機(jī)溶劑的添加量優(yōu)選在0.130質(zhì)量％。此外，堿性水溶液中也可以添加公知的各種表面活性劑。這種情況下，該表面活性劑的添加量優(yōu)選為0.0110質(zhì)量％。[熱處理工序]為了促迸固化區(qū)域的聚合或者交聯(lián)反應(yīng)，從而提高圖案的強(qiáng)度，可以對利用所述工序形成圖案的感光層進(jìn)行加熱處理，從而使交聯(lián)反應(yīng)率成為86100%。利用本工序，可以促進(jìn)層中的樹脂部分(高分子物質(zhì)或單體、寡聚物等聚合性單體等)的交聯(lián)性基的交聯(lián)，得到感光層硬的膜。此時(shí)，通過調(diào)整加熱溫度、加熱時(shí)間，可以調(diào)整成交聯(lián)反應(yīng)率在86100%的范圍。作為所述交聯(lián)反應(yīng)率，優(yōu)選為90100%，最優(yōu)選為95100%。為了使熱處理引起產(chǎn)生的帶黃色減少，而且生產(chǎn)節(jié)拍不降低，可以將加熱溫度、加熱時(shí)間設(shè)定成高溫、短時(shí)間。通過所述，可以形成高強(qiáng)度且在塑性變形時(shí)的變形恢復(fù)性出色的圖案。這樣的圖案可以用于濾色片的像素或光感應(yīng)間隙材的形成。另外，在制作透明的光感應(yīng)間隙材的情況下，例如準(zhǔn)備具有交聯(lián)密度為0.0073摩爾/g以上的感光性樹脂組合物的感光層的感光性材料，除去其保護(hù)薄膜，使露出的感光層的表面與基板面重合，層疊、貼合，在與熱塑性樹脂層的界面剝離除去臨時(shí)支撐體，由此在基板上轉(zhuǎn)印感光層(層形成工序)。然后，相對感光層，借助熱塑性樹脂層及中間層，通過規(guī)定的掩模，進(jìn)行曝光，用堿性水溶液顯影除去感光層的未曝光部，形成間隙材圖案(圖案形成工序)。向形成的間隙材圖案實(shí)施加熱處理，使固化部固化成交聯(lián)反應(yīng)率成為86100%(熱處理工序)，可以由此得到光感應(yīng)間隙材。利用本發(fā)明的光感應(yīng)間隙材的制造方法制作的光感應(yīng)間隙材使用交聯(lián)密度在0.0073摩爾/g以上的感光性樹脂組合物或由該感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光層，被固化成交聯(lián)反應(yīng)率為86100%。所以，所述光感應(yīng)間隙材在使其塑性變形時(shí)顯示出高(優(yōu)選為70%以上的)變形恢復(fù)率，具備充分的力學(xué)特性，所以可以有效地保證液晶單元的單元厚度均一。另外，該光感應(yīng)間隙材可以優(yōu)選用于由于液晶單元的單元厚度的變動(dòng)而容易發(fā)生顯示不均的顯示裝置。在本發(fā)明的濾色片的制造方法中，不僅間隙材，而且還可以利用本發(fā)明的圖案形成方法制作像素自身?！熠啵诓ＡЩ宓韧该骰迳?，利用本發(fā)明中的圖案形成方法，將RGB的3原色像素配置成嵌鑲狀或條紋狀。作為各像素的尺寸，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇。各像素的尺寸例如可以容易地形成通常一邊為4020(^m的格子狀或者寬度為4020(Him的條紋狀的圖案。另外，也可以對應(yīng)曝光精密度，形成更高精細(xì)的圖案。此外，在本發(fā)明的濾色片的制造方法中，例如也可以使用在透明基板上著色成黑色的感光層，利用曝光及顯影形成黑矩陣。接著，使用著色成RGB的3原色的任意一種的感光層，相對所述黑矩陣，以規(guī)定的配置，對每種顏色，依次反復(fù)進(jìn)行曝光及顯影，在所述透明基板上形成RGB的3原色被配置成嵌鑲狀或條紋狀的濾色片。<液晶顯示元件>本發(fā)明的液晶顯示元件具備利用本發(fā)明的濾色片的制造方法得到的濾色片。作為一種方式，液晶顯示元件在至少一方為光透過性的一對基板(包括本發(fā)明的液晶顯示裝置用基板。)之間至少具備液晶層和液晶驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(包括單純矩陣驅(qū)動(dòng)方式及有源矩陣驅(qū)動(dòng)方式。)。在該方式中，液晶顯示元件用基板具有多個(gè)RGB像素組，構(gòu)成該像素組的各像素彼此被黑矩陣隔離的濾色片基板。由于在該濾色片基板上設(shè)置高度為均一且變形恢復(fù)性出色的光感應(yīng)間隙材，所以具備該濾色片基板的液晶顯示元件可以抑制在濾色片基板與對置基板之間發(fā)生單元間距不均(單元厚度變動(dòng))，可以有效地防止色不均等顯示不均的發(fā)生。這樣，制作的液晶顯示元件可以顯示鮮明的圖像。本發(fā)明的液晶顯示裝置用基板優(yōu)選在基板上形成的黑矩陣等顯示用遮光部的上面或TFT等驅(qū)動(dòng)元件上形成光感應(yīng)間隙材。根據(jù)需要，也可以在黑矩陣等顯示用遮光部或TFT等驅(qū)動(dòng)元件與光感應(yīng)間隙材之間設(shè)置ITO等透明導(dǎo)電層(透明電極)或聚酰亞胺等液晶取向膜。本發(fā)明的液晶顯示裝置用基板例如在光感應(yīng)間隙材被設(shè)置于顯示用遮光部或驅(qū)動(dòng)元件的上面的情況下，可以制作成光感應(yīng)間隙材覆蓋預(yù)先在該基板上配設(shè)的顯示用遮光部(黑矩陣等)或驅(qū)動(dòng)元件。例如，在基板面層疊感光性轉(zhuǎn)印材料的感光層，剝離轉(zhuǎn)印，形成感光層，然后向其實(shí)施曝光、顯影、加熱處理等，形成光感應(yīng)間隙材，由此可以制作本發(fā)明的液晶顯示裝置用基板。另外，也可以利用本發(fā)明的制造方法設(shè)置紅色(R)、藍(lán)色(B)、綠色(G)3色等著色像素或者黑矩陣等。另外，作為本發(fā)明的另一個(gè)方式，是液晶顯示元件在至少一方為光透過性的一對基板(包括本發(fā)明的液晶顯示裝置用基板。)之間至少具備液晶層和液晶驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述液晶驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有有源元件(例如TFT)，而且利用一對基板間的高度均一且變形恢復(fù)性出色的光感應(yīng)間隙材控制成規(guī)定寬度從而構(gòu)成的方式。在該方式下，本發(fā)明的液晶顯示裝置用基板構(gòu)成為具有多個(gè)RGB像素組，構(gòu)成該像素組的各像素彼此被黑矩陣隔離的濾色片基板。作為可以在本發(fā)明中使用的液晶，可以舉出向列液晶、膽甾醇液晶、碟狀液晶、鐵電液晶。另外，所述濾色片基板的所述像素組可以為由呈彼此不同顏色的2色像素構(gòu)成的像素組，也可以為3色像素、4色以上的像素構(gòu)成的像素組。例如，為3色的情況下，由紅(R)、綠(G)及藍(lán)(B)3種色相構(gòu)成。在配置RGB3色像素組的情況下，優(yōu)選嵌鑲型、三角型等配置，配置4種以上的像素組的情況下，可以為任意配置。濾色片的制作例如可以在形成2色以上的像素組之后形成黑矩陣，也可以相反在形成黑矩陣之后形成像素組。對于RGB像素的形成，可以參考特開2004—347831號公報(bào)等。本發(fā)明的液晶顯示元件優(yōu)選用于LED顯示裝置。作為液晶顯示裝置中的液晶顯示模式，可以優(yōu)選舉出STN型、TN型、GH型、ECB型、鐵電液晶、反鐵電液晶、VA型、IPS型、OCB型、ASM型、其他各種模式。其中，在本發(fā)明的液晶顯示裝置中，從有效地抑制顯示不均的發(fā)生的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選容易由于液晶單元的單元厚度的變動(dòng)而發(fā)生顯示不均的顯示模式，優(yōu)選構(gòu)成為單元厚度為24pm的VA型顯示模式、IPS型顯示模式、OCB型顯示模式的顯示模式。作為液晶顯示裝置的基本構(gòu)成方式，可以舉出(a)經(jīng)由光感應(yīng)間隙材對置配置排列形成薄膜晶體管(TFT)等驅(qū)動(dòng)元件與像素電極(導(dǎo)電層)的驅(qū)動(dòng)側(cè)基板和具備對置電極(導(dǎo)電層)的對置基板，向其間隙部封入液晶材料從而構(gòu)成的方式；(b)經(jīng)由光感應(yīng)間隙材對置配置驅(qū)動(dòng)基板和具備對置電極(導(dǎo)電層)的對置基板，向其間隙部封入液晶材料從而構(gòu)成的方式等，本發(fā)明的液晶顯示裝置可以優(yōu)選適用于各種液晶顯示儀器。對于液晶顯示裝置，例如被記載于"下一代液晶顯示器技術(shù)(內(nèi)田龍男編集，側(cè)工業(yè)調(diào)査會(huì)1994年發(fā)行)"。對本發(fā)明的液晶顯示裝置，除了具備本發(fā)明的液晶顯示元件以外，沒有特別限制，例如可以適用于所述"下一代液晶顯示器技術(shù)"中記載的各種方式的液晶顯示裝置。在這些中特別對于構(gòu)成彩色TFT方式的液晶顯示裝置是有效的。對于彩色TFT方式的液晶顯示裝置，例如被記載于"彩色TFT液晶顯示器(共立出版(株)1996年發(fā)行)"。液晶顯示裝置除了具備已述的本發(fā)明的液晶顯示元件以外，通?？梢允褂秒姌O基板、偏振光薄膜、相位差薄膜、背光燈、間隙材、視角補(bǔ)償薄膜、防反射薄膜、光擴(kuò)散薄膜、防眩薄膜等各種構(gòu)件構(gòu)成。對于這些構(gòu)件，例如記載于"'94液晶顯示器外圍材料*化學(xué)藥品(chemicals)的市場(島健太郎(株)、>一工厶、>一(CMC)1994年發(fā)行)"、"2003液晶相關(guān)市場的現(xiàn)狀與將來展望(下巻)(表良吉(株)富士季美樂(年乂，))總研2003年發(fā)行)"。日本申請2005—222261號以及2005—368716號的公開的全部通過參照被加入本說明書中。實(shí)施例以下用實(shí)施例更詳細(xì)地說明本發(fā)明，但本發(fā)明不被以下實(shí)施例所限定。另外，只要沒有另外提起，"份"為質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。另外，只要沒有另外提起，本文中的"重均分子量"利用SEC法測定。在本實(shí)施例中，以轉(zhuǎn)印法及LED背光燈的組合為中心進(jìn)行詳細(xì)說明。在本發(fā)明中，也可以利用使用縫隙涂敷機(jī)等的涂敷法來實(shí)施，另外，背光燈也可以使用冷陰極管構(gòu)成。(實(shí)施例l):轉(zhuǎn)印法在本實(shí)施例中，制作如圖19所構(gòu)成的MVA模式的液晶顯示裝置。(感光性樹脂轉(zhuǎn)印材料的制作)在厚75pm的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜臨時(shí)支撐體(PET臨時(shí)支撐體)上，使用縫隙狀噴嘴，涂敷、干燥下述處方H1構(gòu)成的熱塑性樹脂層用涂敷液，形成熱塑性樹脂層。接著，在該熱塑性樹脂層上涂敷、干燥下述處方P1構(gòu)成的中間層用涂敷液，層疊中間層(阻氧膜)。進(jìn)而，在該中間層上涂敷、干燥下述表1(轉(zhuǎn)印法)記載的組成構(gòu)成的感光性樹脂組合物K1，層疊感光層。這樣，在PET臨時(shí)支撐體上設(shè)置干燥膜厚15pm的熱塑性樹脂層、干燥膜厚1.6,的中間層和干燥膜厚2.4,的感光層，在感光層上壓粘保護(hù)薄膜(厚12pm聚丙烯薄膜)。<table>tableseeoriginaldocumentpage72</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage73</column></row><table>注l).B—CIM(2，2，一雙(2—氯苯基)一4，5，4，，5，一四苯基一l，2'—聯(lián)二咪唑，保土谷化學(xué)工業(yè)公司制)注2)*NBCA(10—正丁基一2—氯吖啶酮，黑金化成公司制)如上所述地進(jìn)行，制作層疊臨時(shí)支撐體與熱塑性樹脂層與中間層(阻氧層)與黑(K)的感光層而形成的層疊體結(jié)構(gòu)的感光性樹脂轉(zhuǎn)印材料(以下稱為感光性樹脂轉(zhuǎn)印材料Kl)。甲醇…11.1傷、丙二醇一甲醚乙酸酯…6.4份甲基乙基甲酮…52.4份甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸2—乙基己基酯/甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸共聚物…5.83份2，2—雙[4—(甲基丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基]丙烷(新中村化學(xué)工業(yè)(株)制)……9.1份表面活性劑1…0.54份*表面活性劑h米克法科(y力、77、乂夕)F—780—F(大日本油墨化學(xué)工業(yè)(株)制)C6F13CH2CH2OCOCH=CH2(40份)和H(OCH(CH3)CH2)7OCOCH=CH2(55份)和H(OCH2CH2)7OCOCH=CH2(5份)化合物的具體例，可以舉出亞甲基雙一(甲基)丙烯酰胺、1，6—六亞甲基雙一(甲基)丙烯酰胺、二亞乙基三胺三(甲基)丙烯酰胺、亞二甲苯基雙(甲基)丙烯酰胺等。另外，還可以舉出日本特開昭60—258539號公報(bào)中記載的(甲基)丙烯酰胺等。另外，在乙烯性不飽和化合物(B)中，作為所述"其他化合物"，例如可以舉出特開昭60—258539號公報(bào)中記載的烯丙基化合物等。所述乙烯性不飽和化合物(B)可以單獨(dú)使用l種，也可以并用兩種以上。作為乙烯性不飽和化合物(B)在感光性樹脂組合物中的含有量，相對感光性樹脂組合物或感光性樹脂組合物層的全部固體成分，優(yōu)選為1060質(zhì)量％，更優(yōu)選為2050質(zhì)量％。在本發(fā)明中，感光性樹脂組合物中的所述粘合劑(A)的含量(質(zhì)量%)與所述乙烯性不飽和化合物(B)的含量(質(zhì)量％)的比優(yōu)選為0.61.5，更優(yōu)選為0.71.0。[(F)其他成分]除了所述(A)(E)的必須成分以外，還可以根據(jù)需要進(jìn)而在本發(fā)明中的感光性樹脂組合物中使用著色劑、表面活性劑、溶劑、熱聚合抑制劑、紫外線吸收劑等公知的添加劑。一著色劑一作為著色劑，可以舉出染料、顏料等。該著色劑，可以根據(jù)感光性樹脂組合物形成的濾色片的構(gòu)件的需要使用。在以間隙材的形成為目的的情況下，對應(yīng)優(yōu)選的顏料的種類、尺寸等，例如可以從日本特開平11—149008號公報(bào)中的記載適當(dāng)選擇。另外，在使其含有顏料等著色劑的情況下，可以形成著色像素?？梢允褂玫念伭峡梢耘e出填充顏料或著色顏料。作為填充顏料，可以沒有特別限制地根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以優(yōu)選舉出日本特開2003—302639號公報(bào)的段落編號中記載的填充顏料。作為著色顏料，可以優(yōu)選使用日本特開2003—302639號公報(bào)的段落編號中記載的顏料。一表面活性劑一作為表面活性劑，只要是能夠與感光性樹脂組合物(或感光層)的構(gòu)405nm的激光，可以得到形成有15級步進(jìn)式光楔(stepwedge)圖案(△logE=0.15)以及直徑不同的多個(gè)孔部的圖案，使所述感光層的一部分區(qū)域固化。一圖案形成裝置一作為上述光照射機(jī)構(gòu)使用具有如下所述結(jié)構(gòu)的圖案形成裝置，即圖914所示的合波激光光源；作為上述光調(diào)制機(jī)構(gòu)，在圖16所示的主掃描方向排列1024個(gè)微鏡的微鏡列在副掃描方向排列768組的上述光調(diào)制機(jī)構(gòu)內(nèi)，被控制成只驅(qū)動(dòng)1024個(gè)X使用區(qū)域的列數(shù)的DMD50;將一面為復(fù)曲面的微透鏡66排列成陣列狀的微透鏡陣列69及使通過該微透鏡陣列69的光成像于上述感光層的光學(xué)系67。作為所述微透鏡66可以使用復(fù)曲面透鏡，光學(xué)上對應(yīng)x方向的方向的曲率半徑Rx=—0.125mm，對應(yīng)y方向的方向的曲率半徑Ry=—O.lmm。另外，配置于微透鏡陣列55的聚光位置附近的孔徑陣列59被配置成只向各孔徑入射經(jīng)過了與其對應(yīng)的微透鏡的光。接著，以3(TC50秒、扁平噴嘴壓力0.04MPa，使用三乙醇胺系顯影液[以三乙醇胺30質(zhì)量％，聚丙二醇、丙三醇單硬脂酸酯、聚氧乙烯脫水山梨糖醇單硬脂酸酯、硬脂?；芽傆?jì)0.1%、殘余部分為純水的組成，配制并保管原液。用純水將該保管的原液稀釋12倍(以該原液1質(zhì)量份和純水ll質(zhì)量份的比例混合)而成的液體]，進(jìn)行噴淋顯影，除去熱塑性樹脂層和中間層。接著，向該基板上面吹氣，甩去液體之后，利用噴淋吹純水10秒，進(jìn)行純水噴淋清洗，吹氣，減少基板上的液體積存。接著，使用碳酸Na系顯影液(用純水將含有0.38摩爾/升的碳酸氫鈉、0.47摩爾/升的碳酸鈉、5%的二丁基萘磺酸鈉、陰離子表面活性劑、消泡劑及穩(wěn)定劑；商品名T一CD1(富士膠片(株)制)稀釋至5倍的液體)，以29X:、圓錐型噴嘴壓力0.15MPa，進(jìn)行噴淋顯影30秒，得到圖案像素。接著，用洗滌劑(含有磷酸鹽、硅酸鹽、非離子表面活性劑、消泡劑及穩(wěn)定劑；商品名T一SD1，富士膠片(株)制)，在33。C下，以圓錐型噴嘴壓力為0.02MPa，用噴淋噴出20秒，進(jìn)而利用具有尼龍毛的旋轉(zhuǎn)刷，除去殘?jiān)?。這樣，如圖19所示，在玻璃基板911上形成黒(K)的圖像916。然后，進(jìn)而對該基板，從形成有K圖像的一側(cè)，用超高壓汞燈，以500mJ/cr^的光，進(jìn)行后曝光，然后以22(TC熱處理15分鐘。然后，再次，如上所述地刷洗形成有K圖像916的玻璃基板911,進(jìn)行純水噴淋清洗之后，不使用硅垸偶聯(lián)劑液，利用基板預(yù)備加熱裝置，在IO(TC下，加熱2分鐘。一紅(R)像素的形成一在形成有K圖像916的玻璃基板911上，使用由所述得到的感光性樹脂轉(zhuǎn)印材料R1，進(jìn)行與所述K圖像916的形成相同的工序，在玻璃基板911的形成有K圖像916的一側(cè)形成紅像素(R像素)。其中，在曝光工序中的曝光量為30mJ/cm2,利用碳酸Na系顯影液的噴淋顯影為35°C下35秒。此外，R像素的厚度為2.0拜，C.I.顏料紅(C丄P.R.)254、C.I.P.R.177的涂敷量分別為0.88g/m2、0.22g/m2。然后，再次如上所述地使用洗滌劑刷洗形成有R像素的玻璃基板911，用純水進(jìn)行噴淋清洗之后，不使用硅垸偶聯(lián)劑液，利用基板預(yù)備加熱裝置，在IOO'C下，加熱2分鐘。一綠(G)像素的形成一接著，使用由所述得到的感光性樹脂轉(zhuǎn)印材料G1，進(jìn)行與所述K圖像916的形成相同的工序，在玻璃基板911的形成有K圖像916及R像素等的一側(cè)形成綠像素(G像素)。其中，在曝光工序中的曝光量為30mJ/cm2，利用碳酸Na系顯影液的噴淋顯影為34"下45秒。此外，G像素的厚度為2.0pm，C.I.顏料綠(C丄P.G.)36、C.I.顏料黃(C丄P.Y.)150的涂敷量分別為1.12g/m2、0.48g/m2。然后，再次如上所述地使用洗滌劑刷洗形成有R像素及G像素的玻璃基板911，用純水進(jìn)行噴淋清洗之后，不使用硅垸偶聯(lián)劑液，利用基板預(yù)備加熱裝置，在10(TC下，加熱2分鐘。一藍(lán)(B)像素的形成一接著，使用由所述得到的感光性樹脂轉(zhuǎn)印材料B1，進(jìn)行與所述K圖，在玻璃基板911的形成有K圖像916及R像素以及G像素的一側(cè)形成藍(lán)像素(B像素)。其中，在曝光工序中的曝光量為30mJ/cm2，利用碳酸Na系顯影液的噴淋顯影為36"C下40秒。此外，B像素的厚度為2.0,，C.I.顏料藍(lán)(C丄P.B.)15:6、C.I.顏料紫(C丄RV.)23的涂敷量分別為0.63g/m2、0.07g/m2。然后，在24(TC下烘焙形成有R、G、B的各像素的玻璃基板91150分鐘，得到濾色片912。進(jìn)而，在其上，作為透明電極，利用濺射形成ITO(銦錫氧化物(IndiumTinOxide))膜913，得到濾色片基板910。在本例中，對所述表1中記載的著色感光性樹脂組合物KKRl、Gl、Bl的配制進(jìn)行說明。(著色感光性樹脂組合物K1的配制)著色感光性樹脂組合物K1可以通過如下所述得到，即首先通過量取表1中記載的量的K顏料分散物1、丙二醇一甲醚乙酸酯，在溫度24°C(±2°C)下混合，以150屮111.攪拌IO分鐘。接著，量取表1中記載的量的甲基乙基甲酮、粘合劑l、氫醌一甲醚、DPHA液、2—(鄰氯苯基)一4，5—二苯基咪唑二聚體、敏化染料(A—2)(NBCA)、N—苯基一2—巰基苯并咪唑、表面活性劑l，在溫度25匸(±2°C)下依次添加，在溫度40。C(±2°C)下150r.p.m.下攪拌30分鐘。其中，表l記載的組合物中的各組成的具體情況如下所述。其中，表面活性劑1如已述。4K顏料分散物1的組成'炭黑…13.1份(SpecialBlack250，迪克森公司制)5—[3—氧一2—[4—[3，5—雙(3—二乙胺基丙基氨基羰基)苯基]氨基羰基]苯基偶氮]一丁酰氨基苯并咪唑…0.65份聚合物[甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸(=72/28[摩爾比]的無規(guī)共聚物(重均分子量37,000)]…6.72份丙二醇一甲醚乙酸酯…79.53份聚合物[甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸(=78/22[摩爾比]的無規(guī)共聚物(重均分子量40，000)]丙二醇一甲醚乙酸酯^DPHA液的組成二季戊四醇六丙烯酸(含有抗聚合劑MEHQ本化藥(株)審U)丙二醇一甲醚乙酸酯'.27份'753份p々KAYARADDPHA，日500ppm，..76份…24份(著色感光性樹脂組合物Rl的配制)著色感光性樹脂組合物R1可以通過如下所述得到，即通過量取所述表l(轉(zhuǎn)印法)中記載的量的R顏料分散物1、R顏料分散物2以及丙二醇一甲醚乙酸酯，在溫度24°C(±2°C)下混合，以150r.p.m.攪拌10分鐘。接著，量取所述表1中記載的量的甲基乙基甲酮、粘合劑2、DPHA液、2—(鄰氯苯基)一4，5—二苯基咪唑二聚體、敏化染料(A—2)(NBCA)、N—苯基一2—巰基苯并咪唑以及吩噻嗪，在溫度24。C(±2°C)下依次添加，在150rpm下攪拌10分鐘。接著，量取所述表1中記載的量的添加劑1，在溫度24。C(±2°C)下混合，以150r.p,m.攪拌20分鐘。進(jìn)而，量取所述表1中記載的量的表面活性劑1，在溫度24'C(±2°C)下添加，在30r.p.m.下攪拌30分鐘，用尼龍篩#200過濾。其中，所述表1記載的組合物Rl中的各組成的具體情況如下所述。另外，DPHA液及表面活性劑1的組成分別與所述著色感光性樹脂組合物Kl的情況相同。*尺顏料分散物1的組成'C.I.顏料紅254(商品名Irgaphor紅B—CF，千葉特殊化學(xué)藥品7八、乂亇^亍/.亇^力/k乂)(株)制)...8.0份'5—[3—氧一2—[4一[3，5—雙(3—二乙胺基丙基氨基羰基)苯基]氨基羰基]苯基偶氮]一丁酰氨基苯并咪唑…0.8份聚合物[甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸(=72/28[摩爾比]的無規(guī)共聚物(重均分子量37,000)]…8,0份丙二醇一甲醚乙酸酯…83.2份*尺顏料分散物2的組成'C丄顏料紅177(商品名Cromophtal紅A2B，千葉特殊化學(xué)藥品(株)制)…18份聚合物[甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸(=72/28[摩爾比]的無規(guī)共聚物(重均分子量37,000)]…U份丙二醇一甲醚乙酸酯…70份*粘合劑2的組成甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯(=38/25/37[摩爾比]的無規(guī)共聚物(重均分子量30,000)…27份丙二醇一甲醚乙酸酯…73份*添加劑1.*磷酸酯系特殊活化劑(商品名HIPLAADED152，楠本化成(株)制)。(著色感光性樹脂組合物G1的配制)著色感光性樹脂組合物G1可以通過如下所述得到，即通過量取所述表l(轉(zhuǎn)印法)中記載的量的G顏料分散物1、Y顏料分散物l以及丙二醇一甲醚乙酸酯，在溫度24°C(±2°C)下混合，以150屮111.攪拌10分鐘。接著，量取所述表l中記載的量的甲基乙基甲酮、環(huán)己酮、粘合劑1、DPHA液、2—(鄰氯苯基)一4，5—二苯基咪唑二聚體、敏化染料(A一2)(NBCA)、N—苯基一2—巰基苯并咪唑以及吩噻嗪，在溫度24。C(±2°C)下依次添加，在150r.p.m.下攪拌30分鐘。進(jìn)而，量取所述表1中記載的量的表面活性劑1，在溫度24°C(±2°C)下添加，在30r.p.m.下攪拌5分鐘，用尼龍篩#200過濾。其中，所述表1記載的組合物Gl中的各組成的具體情況如下所述。另外，粘合劑1、DPHA液及表面活性劑1的組成分別與所述著色感光性樹脂組合物K1的情況相同。*G顏料分散物1使用富士膠片電子綜合材料C7^f》厶工l/夕卜口二夕77亍!J7小X')(株)制)的"商品名GT—2"。*Y顏料分散物1Y顏料分散物1是，使用商品名CF黃EX3393(御國色素公司制)。(著色感光性樹脂組合物B1的配制)著色感光性樹脂組合物B1可以通過如下所述得到，g口通過量取所述表l(轉(zhuǎn)印法)中記載的量的B顏料分散物1、B顏料分散物l以及丙二醇一甲醚乙酸酯，在溫度24°C(±2°C)下混合，以lSOr.p.m.攪拌10分鐘。接著，量取所述表1中記載的量的甲基乙基甲酮、粘合劑3、DPHA液、2—(鄰氯苯基)一4，5—二苯基咪唑二聚體、敏化染料(A—2)(NBCA)、N—苯基一2—巰基苯并咪唑以及吩噻嗪，在溫度25'C(±2°C)下依次添加，在溫度4(TC(±2°C)、150r.p.m,下攪拌30分鐘。進(jìn)而，量取所述表1中記載的量的表面活性劑1，在溫度24'C(±2°C)下添加，在30np,m.下攪拌5分鐘，用尼龍篩#200過濾。其中，所述表1記載的組合物B1中的各組成的具體情況如下所述。另外，DPHA液及表面活性劑1的組成分別與所述著色感光性樹脂組合物K1的情況相同。*B顏料分散物1使用商品名CF藍(lán)EX3357(御國色素公司制)*B顏料分散物2使用商品名CF藍(lán)EX3383(御國色素公司制)*粘合劑3的組成甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯(=36/22/42[摩爾比]的無規(guī)共聚物(重均分子量30,000)…27份丙二醇一甲醚乙酸酯…73份一間隙材用感光性轉(zhuǎn)印片材的制作一在厚75nm的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜臨時(shí)支撐體(PET臨時(shí)支撐體)上，涂敷燥所述配方A構(gòu)成的熱塑性樹脂層用涂敷液并干燥，形成干燥層厚為6.0pm的熱塑性樹脂層。接著，在形成的熱塑性樹脂層上涂敷、干燥所述配方P1構(gòu)成的中間層用涂敷液，層疊干燥層厚為1.5pm的中間層。接著，在形成的中間層上迸一步涂敷、干燥間隙材形成用的下述感光層用涂敷液(1)，層疊干燥層厚為4.1pm的感光層。[感光層用涂敷液(1)]顏料93.3份乙酸1一甲氧基一2—丙基酯485.2份甲基乙基甲酮278.2份甲醇4.5份粘合劑456.5份DPHA液55.8份2—(鄰氯苯基)一4，5—二苯基咪唑二聚體(引發(fā)劑氧化苦杏:聚體)9.8份敏化染料(A—2)(NBCA)1.51份供氫體NphMBI0.84份氫醌一甲醚0.02份所述表面活性劑10.67份消色染料13.6份如上所述地進(jìn)行，構(gòu)成為PET臨時(shí)支撐體/熱塑性樹脂層/中間層/感光層的層疊結(jié)構(gòu)(3層總層厚為11.6pm)，然后在感光層的表面進(jìn)一步加熱*加壓、貼付厚度為12pm的聚丙烯制薄膜作為覆蓋薄膜，得到間隙材用感光性轉(zhuǎn)印片材(1)。一光感應(yīng)間隙材的制作一剝離得到的間隙材用感光性轉(zhuǎn)印片材(1)的覆蓋薄膜，在濺射形成在所述制作的ITO膜的濾色片基板10的ITO膜13上重疊露出的感光層的表面，使用層合機(jī)LamicII型[(株)日立工業(yè)(<y夕V卜U<X)制]，以線壓100N/cm、13(TC的加壓加熱條件下、輸送速度2m/分貼合。然后，在與緩沖層的界面剝離除去PET臨時(shí)支撐體，與熱塑性樹脂層及中間層一起轉(zhuǎn)印感光層(感光層形成工序)。(曝光工序)相對基材上的所述感光層，進(jìn)行相當(dāng)于10mJ/cn^的間隙材圖案的曝光。此時(shí)，使用以下所述的圖案形成裝置，以405nm進(jìn)行。此時(shí)的掃描速度為50mm/sec。另外，為了測試，使用以下所述的圖案形成裝置，照射、曝光波長為405nm的激光，可以得到形成有15級步進(jìn)式光楔圖案(AlogE=0.15)以及直徑不同的多個(gè)孔部的圖案，使所述感光層的一部分區(qū)域固化。一圖案形成裝置一作為上述光照射機(jī)構(gòu)使用具有如下所述結(jié)構(gòu)的圖案形成裝置，§卩圖914所示的合波激光光源；作為上述光調(diào)制機(jī)構(gòu)，在圖16所示的主掃描方向排列1024個(gè)微鏡的微鏡列在副掃描方向排列768組的上述光調(diào)制機(jī)構(gòu)內(nèi)，被控制成只驅(qū)動(dòng)1024個(gè)X使用區(qū)域的列數(shù)的DMD50;將一面為復(fù)曲面的微透鏡66排列成陣列狀的微透鏡陣列69及使通過該微透鏡陣列69的光成像于上述感光層的光學(xué)系67。(顯影工序)在室溫下靜置曝光結(jié)束后的所述感光層IO分鐘，然后在感光層的全面，使用富士膠片電子綜合材料(7一少厶工l^夕卜口二夕只7x!i7少X)(株)制的KOH顯影液(含有KOH、非離子表面活性劑，商品名CDK—1)，在25'C下進(jìn)行噴淋顯影60秒，溶解除去未固化的區(qū)域。然后，接著，利用超高壓清洗噴嘴，以9.8MPa的壓力噴射超純水，除去殘?jiān)M(jìn)而，利用噴淋噴嘴從兩面噴超純水，除去附著的顯影液或所述感光性樹脂層溶解物，利用吹拂器甩去液體，得到間隙材圖案。得到的間隙材圖案為直徑16pm、平均高度3.7pm的透明柱狀。接著，在230。C下對設(shè)置有間隙材圖案的濾色片基板910進(jìn)行30分鐘加熱處理(熱處理工序)，制作光感應(yīng)間隙材914。一突起用感光性轉(zhuǎn)印材料的制作一在厚75pm的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜臨時(shí)支撐體(PET臨時(shí)支撐體)上，涂敷、干燥與所述配方A相同的配方構(gòu)成的熱塑性樹脂層用涂敷液，設(shè)置干燥層厚為15lim的熱塑性樹脂層。接著，在形成的熱塑性樹脂層上涂敷、干燥與所述配方B相同的配方構(gòu)成的中間層用涂敷液，設(shè)置干燥層厚為1.6pm的中間層。接著，配制由下述配方C構(gòu)成的突起形成用涂敷液，在中間層上進(jìn)一步涂敷、干燥該突起形成用涂敷液，涂設(shè)干燥層厚為2.0pm的液晶取向控制用的突起用感光層。在該感光層的表面上進(jìn)一步貼付厚12pm的聚丙烯制的薄膜作為保護(hù)薄膜。這樣地進(jìn)行，在PET臨時(shí)支撐體上，制作從該P(yáng)ET臨時(shí)支撐體側(cè)依次層疊熱塑性樹脂層、中間層、突起用感光層以及保護(hù)薄膜而成的突起用感光性轉(zhuǎn)印材料。[突起形成用涂敷液的配方C]正型抗蝕劑液體FH—2413F…53.3份(富士膠片電子綜合材料(7一少厶工l/夕卜口二夕77亍]J7WX、)(株)審lj)甲基乙基甲酮…46.7傷、所述表面活性劑1…0.04份一突起的形成一從由所述得到的突起用感光性轉(zhuǎn)印材料剝下保護(hù)薄膜，使露出的突起用感光層的露出面與濾色片基板910的設(shè)置有ITO膜的一側(cè)(濾色片上)的表面重合，利用層壓機(jī)LamicII型[(株)日立工業(yè)(^y夕'7卜U一乂)制]，以線壓100N/cm、溫度13(TC、輸送速度2.2m/分鐘的條件，使其貼合(層疊體)。然后，在與熱塑性樹脂層的界面只剝離除去突起用感光性轉(zhuǎn)印材料的PET臨時(shí)支撐體。此時(shí)，成為在濾色片基板上，從該基板側(cè)依次層疊感光層、中間層、熱塑性樹脂層的狀態(tài)。接著，從作為最表層的熱塑性樹脂層的上方，與所述間隙材形成工序同樣地進(jìn)行，進(jìn)行圖案曝光。然后，與所述同樣地進(jìn)行，顯影，溶解除去熱塑性樹脂層及中間層。在此階段，突起用感光層實(shí)際上沒有被顯影。接著，利用噴淋式顯影裝置，在33'C下，進(jìn)一步噴霧30秒含有0.085mol/L的碳酸鈉和0.085mol/L的碳酸氫鈉和1。％的二丁基萘磺酸鈉的水溶液，同時(shí)顯影，顯影除去突起用感光層的不需要部分(未固化部)。這樣，在濾色片(RGB像素)上形成由已形成需要形狀的圖案的突起用感光層構(gòu)成的突起915。接著，通過在24(TC下烘焙處理50分鐘已形成突起915的濾色片基板910，在濾色片(RGB像素)上，以高1.5pm，形成縱截面形狀為半圓柱體樣的液晶取向控制用突起。另外在準(zhǔn)備TFT基板921作為對置基板。該TFT基板的一個(gè)表面利用濺射形成ITO(銦錫氧化物)膜922。接著，在TFT基板的ITO膜922上及濾色片基板910的設(shè)置有光感應(yīng)間隙材914的一側(cè)的ITO膜913上，設(shè)置由聚酰亞胺構(gòu)成的取向膜924。然后，在相當(dāng)于周圍被設(shè)置成包圍濾色片的像素組的黑矩陣916的外框的位置，印刷環(huán)氧樹脂的密封劑，同時(shí)與TFT基板921貼合濾色片基板910。接著，熱處理己貼合的2張基板，使密封劑固化，得到2張基板的層疊體。在真空下脫氣該層疊體，然后恢復(fù)到大氣壓，向2張玻璃基板的間隙中注入液晶。注入結(jié)束后，向注入口部分付與粘接劑，照射紫外線，密封注入口部分，得到液晶單元。在這樣得到的液晶單元的兩面上，貼付偏振片(HLC2—2518，(株)三立磁(廿yy:y、乂)制)925、923。接著，以下未圖示使用FR1112H作為紅色(R)LED、使用DG1112H作為綠色(G)LED、使用DB1112H作為藍(lán)色(B)LED(均為斯坦利(7夕:/P—)(株)制的片(chip)型LED),構(gòu)成側(cè)燈方式的背光燈，在設(shè)置有所述偏振片的液晶單元的背面一側(cè)配置，制作本發(fā)明的MVA模式液晶顯示裝置。(比較例1)在實(shí)施例1中，如下所述地改變RGBK及間隙材形成用感光層用涂敷液的配方，除此以外，與實(shí)施例l相同地進(jìn)行，制作間隙材用感光性轉(zhuǎn)印片材(2)，同時(shí)制作比較的MVA模式液晶顯示裝置K及間隙材形成用感光層涂敷液的情況下，將光聚合引發(fā)劑及分光敏化劑變成2，4一雙(三氯甲基)一6—[4一(N，N—雙乙氧羰基甲基)一3—溴苯基]一s—三嗪，R及G感光層涂敷液的情況下，將光聚合引發(fā)劑及分光敏化劑變成2一三氯甲基一5—(對苯乙烯基苯乙烯基)一l，3，4一噁二唑、2，4一雙(三氯甲基)一6—[4一(N，N—雙乙氧羰基甲基)一3—溴苯基]一s—三嗪，另外，B感光層涂敷液的情況下，將光聚合引發(fā)劑及分光敏化劑變成2—三氯甲基一5—(對苯乙烯基苯乙烯基)一1，3，4一噁二唑。其中，所述配方中的各組成的具體情況如下所述。*顏料硅溶膠的30%甲基異丁基甲酮分散物(商品名MIBK—ST，日產(chǎn)化學(xué)工業(yè)(株)制)*粘合劑4甲基丙烯酸/甲基丙烯酸烯丙基酯共聚物(=20/80[摩爾比]，重均分子量36000;高分子物質(zhì))*消色染料維多利亞純藍(lán)(tf夕卜y7匕°工77、'/10—BOH—M(保土々谷化學(xué)(株)制)(評價(jià))使用在各實(shí)施例及比較例中制作的液晶顯示裝置，進(jìn)行下述評價(jià)。結(jié)果如下述表2所示?！猯.曝光靈敏度一在得到的所述間隙材圖案中，測定殘留的所述感光層的固化區(qū)域的厚度。接著，將激光的照射量與固化層的厚度之間的關(guān)系繪制成圖，得到靈敏度曲線。從這樣得到的靈敏度曲線，將使基板上的固化區(qū)域的厚度成為1.5pm、固化區(qū)域的表面為光滑面時(shí)的光能量設(shè)為使感光層固化所必需的光能量?！?.顯示不均一對液晶顯示裝置，分別利用目視及放大鏡觀察輸入灰的測試信號時(shí)的灰顯示，按照下述評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)評價(jià)顯示不均的發(fā)生的有無。(評價(jià)標(biāo)準(zhǔn))A:完全未見顯示不均。B:略微可見顯示不均。C:顯著可見顯示不均。—3.ITO電阻值一使用三菱油化公司制"口^7夕"，對如上所述制作而成的實(shí)施例、比較例的濾色片，利用四探針法測定片材電阻，將其值作為ITO電阻值。數(shù)值越低，則評價(jià)為越出色。—4.曝光工序所需的時(shí)間一層疊一張濾色片的曝光過程結(jié)束為止的時(shí)間，在下述表中記載為"曝光工序所需的時(shí)間"?？芍?，該時(shí)間越短，則生產(chǎn)率越高。[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage86</column></row><table>如所述表2所示，在實(shí)施例1中，使用的感光性樹脂組合物以高靈敏度固化，即使高速掃描的LDI曝光，也可以以低能量完成高精細(xì)的黑矩陣、RGB各像素以及光感應(yīng)間隙材。另外，還可知，如果利用完成后的濾色片，則可以進(jìn)行沒有像素缺損、顯示不均的高圖像質(zhì)量的顯示。另外，從ITO值低確認(rèn)了高速應(yīng)答性的可能性。進(jìn)而，一張濾色片的曝光過程結(jié)束為止的時(shí)間約為3分鐘?？芍?，為對應(yīng)生產(chǎn)率高的系統(tǒng)的感光性樹脂組合物。另一方面，使用以往技術(shù)中記載的感光性樹脂組合物的利用高速掃描進(jìn)行LDI曝光黑矩陣、RGB各像素以及光感應(yīng)間隙材用感光層的比較例l的濾色片，其固化靈敏度低，固化需要大的能量，得到的濾色片也為存在像素缺損、顯示不均的ITO電阻值高的濾色片。(實(shí)施例2):涂敷(液體抗蝕劑)法一濾色片的制作(利用縫隙噴嘴的涂敷)一一黑(K)像素的形成一用UV清洗裝置清洗680X880mm尺寸的無堿玻璃基板(以下簡稱為玻璃基板)之后，使用洗滌劑進(jìn)行刷洗，進(jìn)而用超純水進(jìn)行超聲波清洗。在12(TC下熱處理3分鐘該玻璃基板，穩(wěn)定化表面狀態(tài)。然后，冷卻玻璃基板，溫調(diào)至23°C，然后利用具有縫隙狀噴嘴的玻璃基板用涂敷機(jī)MH—1600(FIS日本(工7工一工7、^亇/《:/)公司制)，涂敷由所述組成構(gòu)成的著色感光性樹脂組合物Kl。接著，使用真空干燥機(jī)VCD(東京應(yīng)化工業(yè)(株)制)，使溶劑的一部分干燥30秒，使涂敷膜的流動(dòng)性消失之后，在120。C下預(yù)烘焙3分鐘，形成膜厚2.4pm的感光層Kl。接著，對基材上的所述感光層，進(jìn)行相當(dāng)于100mJ/cr^的曝光。此時(shí)，使用以下所述的圖案形成裝置，在405nm的波長下進(jìn)行。此時(shí)的掃描速度為50mm/sec。另外，為了測試，使用以下所述的圖案形成裝置，照射、曝光波長為405nm的激光，可以得到形成有15級步進(jìn)式光楔圖案(AlogE二0.15)以及直徑不同的多個(gè)孔部的圖案，使所述感光層的一部分區(qū)域固化?！獔D案形成裝置一作為上述光照射機(jī)構(gòu)使用具有如下所述結(jié)構(gòu)的圖案形成裝置，S卩圖914所示的合波激光光源；作為上述光調(diào)制機(jī)構(gòu)，在圖16所示的主掃描方向排列1024個(gè)微鏡的微鏡列在副掃描方向排列768組的上述光調(diào)制機(jī)構(gòu)內(nèi)，被控制成只驅(qū)動(dòng)1024個(gè)X使用區(qū)域的列數(shù)的DMD50;將一面為復(fù)曲面的微透鏡66排列成陣列狀的微透鏡陣列69及使通過該微透鏡陣列69的光成像于上述感光層的光學(xué)系67。接著，從噴淋噴嘴噴霧純水，使感光層K1的表面均一地濕潤之后，從扁平噴嘴，以23°C、噴嘴壓力0.04MPa，噴射KOH系顯影液(含有KOH、非離子表面活性劑，商品名CDK—1，富士膠片電子綜合材料(株)制)80秒，進(jìn)行噴淋顯影，得到黑色圖案(顯影工序)。接著，利用超高壓清洗噴嘴，以9.8MPa的壓力，在玻璃基板的形成有黑色圖案的一側(cè)噴射超純水，促去殘?jiān)?，在無堿玻璃基板上形成黑(K)圖像。然后，在220。C下熱處理(烘焙)30分鐘。一紅(R)像素的形成一在形成有所述K圖像的玻璃基板上，使用所述(液體抗蝕劑法)所示的組成構(gòu)成的著色感光性樹脂組合物R2，與所述K圖像的形成同樣地進(jìn)行，進(jìn)行涂敷、曝光、顯影及烘焙，在玻璃基板的形成有K圖像的一側(cè)形成紅像素(R像素)。其中，在曝光工序中的曝光量為90mJ/cm2，在顯影工序中的噴淋顯影為23"C下60秒。此外，R像素的厚度為1.6pm，C.I.顏料紅(C.I.P.R.)254、C丄P.R.177的涂敷量分別為0.88g/m2、0.22g/m2。一綠(G)像素的形成一接著，在形成有K圖像及R像素的玻璃基板上，使用由所述表l(液體抗蝕劑法)中所示的組成構(gòu)成的著色感光性樹脂組合物G2，與所述K圖像的形成相同地進(jìn)行，進(jìn)行涂敷、曝光、顯影及烘焙，在玻璃基板的形成有K圖像及R圖像等的一側(cè)形成綠像素(G像素)。其中，在曝光工序中的曝光量為90mJ/cm2，在顯影工序中的噴淋顯影為23匸下60秒。此外，G像素的厚度為1.6,，C.I.顏料綠(C丄P.G.)36、C.I.顏料黃(C丄P.Y.)150的涂敷量分別為U2g/m2、0.48g/m2。一藍(lán)(B)像素的形成一接著，在形成有K圖像及R像素等及G像素等的玻璃基板上，使用由所述表1(液體抗蝕劑法)中所示的組成構(gòu)成的著色感光性樹脂組合物B2，與所述K圖像的形成相同地進(jìn)行，進(jìn)行涂敷、曝光、顯影及烘焙，在玻璃基板的形成有K圖像及R圖像等以及G像素等的一側(cè)形成綠像素(G像素)。其中，在曝光工序中的曝光量為90mJ/cm2，在顯影工序中的噴淋顯影為23'C下60秒。此外，B像素的厚度為1.6,，C.I.顏料藍(lán)(C.I.P.B.)15:6、C.I.顏料紫(C.I.P.V.)23的涂敷量分別為0.63g/m2、0.07g/m2。其中，著色感光性樹脂組合物G2、B2的配制按照所述著色感光性樹脂組合物G1、Bl的配制進(jìn)行，以下對著色感光性樹脂組合物R2的配制進(jìn)行說明。著色感光性樹脂組合物R2如下所述地配制。量取表l(液體抗蝕劑法)中記載的量的R顏料分散物1、R顏料分散物2以及丙二醇一甲醚乙酸酯，在溫度24。C(±2°C)下混合，以150r.p.nL攪拌10分鐘。接著，量取所述(液體抗蝕劑法)中記載的量的甲基乙基甲酮、粘合劑2、DPHA液、2—(鄰氯苯基)一4，5—二苯基咪唑二聚體、敏化染料(A—2)(NBCA)、N—苯基一2—巰基苯并咪唑以及吩噻嗪，在溫度24。C(±2°C)下依次添加，在150rpm下攪拌30分鐘。進(jìn)而，量取所述量的表面活性劑l，在溫度24。C(±2°C)下添加，在30r.p.m.下攪拌30分鐘，用尼龍篩#200過濾，得到著色感光性樹脂組合物R2。其中，著色感光性樹脂組合物R2中的R顏料分散物1、R顏料分散物2、粘合劑2、DPHA液及表面活性劑1的組成如上所述。在如上所述地制作的濾色片上，作為透明電極，利用濺射形成ITO膜，得到濾色片基板。一光感應(yīng)間隙材的制作(液體抗蝕劑法)一在所述制作的濺射形成有ITO膜的濾色片基板的ITO膜上，利用具有縫隙狀噴嘴的玻璃基板用涂敷機(jī)MH—1600(FIS日本(工7工一工7^卞^y)公司制)，涂敷由所述配方1構(gòu)成的感光層用涂敷液。接著，使用真空干燥機(jī)VCD(東京應(yīng)化工業(yè)(株)制)，使溶劑的一部分干燥30秒，使涂敷膜的流動(dòng)性消失之后，在12(TC下預(yù)烘焙3分鐘，形成膜厚2.4pm的感光層(層形成工序)。接著，利用與實(shí)施例1相同的圖案形成工序及熱處理工序，在濾色片基板上形成光感應(yīng)間隙材。其中，曝光量為70mJ/cn^的曝光，利用顯影液的顯影為23i:、60秒。在制作光感應(yīng)間隙材之后，使用該濾色片基板，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，制作本發(fā)明的MVA模式液晶顯示裝置(參照圖19)。對在實(shí)施例2中得到的MVA模式液晶顯示裝置，與實(shí)施例l同樣地進(jìn)行，評價(jià)固化靈敏度、顯示不均、ITO電阻值。結(jié)果一起記于所述表2。從表2可知，即使在實(shí)施例2中，與實(shí)施例1同樣地以高靈敏度形成光感應(yīng)間隙材，得到的液晶顯示裝置完全未見顯示不均，可以得到高圖像質(zhì)量的圖像，而且ITO大致也低。(實(shí)施例3)使用利用與實(shí)施例1相同的配方及順序制作的RGBK及間隙材形成用感光性轉(zhuǎn)印材料，如下所述地變更曝光方式，除此以外，利用與實(shí)施例l相同的順序，作成濾色片。使用已變更的曝光方式；利用6角柱的多角鏡的旋轉(zhuǎn)將從405nm的LD發(fā)出的光變換成掃描光的多角鏡型曝光裝置。在基板上的多角鏡的掃描速度為300m/秒。以0.2mJ/cm2，曝光基板的20cmX30cm的區(qū)域20秒。為了增加曝光量，調(diào)整成多角鏡的旋轉(zhuǎn)速度固定不變，減緩相對多角鏡的掃描方向直角移動(dòng)基板的移動(dòng)速度。從表2可知，即使在本實(shí)施例3中，與實(shí)施例1或2同樣地以光靈敏度形成光感應(yīng)間隙材，得到的液晶顯示裝置完全未見顯示不均，可以得到化合物的具體例，可以舉出亞甲基雙一(甲基)丙烯酰胺、1，6—六亞甲基雙一(甲基)丙烯酰胺、二亞乙基三胺三(甲基)丙烯酰胺、亞二甲苯基雙(甲基)丙烯酰胺等。另外，還可以舉出日本特開昭60—258539號公報(bào)中記載的(甲基)丙烯酰胺等。另外，在乙烯性不飽和化合物(B)中，作為所述"其他化合物"，例如可以舉出特開昭60—258539號公報(bào)中記載的烯丙基化合物等。所述乙烯性不飽和化合物(B)可以單獨(dú)使用l種，也可以并用兩種以上。作為乙烯性不飽和化合物(B)在感光性樹脂組合物中的含有量，相對感光性樹脂組合物或感光性樹脂組合物層的全部固體成分，優(yōu)選為1060質(zhì)量％，更優(yōu)選為2050質(zhì)量％。在本發(fā)明中，感光性樹脂組合物中的所述粘合劑(A)的含量(質(zhì)量%)與所述乙烯性不飽和化合物(B)的含量(質(zhì)量％)的比優(yōu)選為0.61.5，更優(yōu)選為0.71.0。[(F)其他成分]除了所述(A)(E)的必須成分以外，還可以根據(jù)需要進(jìn)而在本發(fā)明中的感光性樹脂組合物中使用著色劑、表面活性劑、溶劑、熱聚合抑制劑、紫外線吸收劑等公知的添加劑。一著色劑一作為著色劑，可以舉出染料、顏料等。該著色劑，可以根據(jù)感光性樹脂組合物形成的濾色片的構(gòu)件的需要使用。在以間隙材的形成為目的的情況下，對應(yīng)優(yōu)選的顏料的種類、尺寸等，例如可以從日本特開平11—149008號公報(bào)中的記載適當(dāng)選擇。另外，在使其含有顏料等著色劑的情況下，可以形成著色像素。可以使用的顏料可以舉出填充顏料或著色顏料。作為填充顏料，可以沒有特別限制地根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以優(yōu)選舉出日本特開2003—302639號公報(bào)的段落編號中記載的填充顏料。作為著色顏料，可以優(yōu)選使用日本特開2003—302639號公報(bào)的段落編號中記載的顏料。一表面活性劑一作為表面活性劑，只要是能夠與感光性樹脂組合物(或感光層)的構(gòu)ITO電阻值也低，而制作一張濾色片需要60分鐘，生產(chǎn)率不高。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明的感光性樹脂組合物可以用于形成液晶單元的隔壁、間隙材、像素、黑矩陣等。使用該感光性樹脂組合物，可以制作像素單元厚度的均一性出色、具有高精細(xì)的圖案、顯示不均少的濾色片。進(jìn)而，所述本發(fā)明的濾色片可以高速應(yīng)答，可以用于制作高圖像質(zhì)量的LCD顯示元件等。權(quán)利要求1.一種液晶顯示元件用感光性樹脂組合物，其特征在于，含有(A)粘合劑、(B)乙烯性不飽和化合物、(C)含有六芳基二咪唑系化合物的光聚合引發(fā)劑、(D)分光敏化劑、以及(E)供氫體，在光源波長為350nm～420nm以及掃描速度為5mm/sec～3000m/sec的范圍內(nèi)，通過邊進(jìn)行光調(diào)制邊進(jìn)行相對掃描的曝光方式被固化。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物，其特征在于，所述曝光方式為多重曝光。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物，其特征在于，所述六芳基二咪唑系化合物為由下述式(I)表示的化合物。[化l](通式(I)中，WR"分別獨(dú)立地表示氫原子或一價(jià)取代基)4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物，其特征在于，所述分光敏化劑(D)為從由下述通式(II)表示的化合物中選擇的1種以上。[化2](通式(ii)中，a表示氧原子、硫原子或nr'0，r1、R2、R3、r4、r5、r6、r7、R8及r"分別獨(dú)立地表示氫原子或一價(jià)取代基，W表示一價(jià)取代基。)5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物，其特征在于，所述分光敏化劑(d)為由下述式(iii)表示的化合物。[化3](通式(iii)中，r1、r2、r3、r4、r5、r6、117及118分別獨(dú)立地表示氫原子或一價(jià)取代基，W表示一價(jià)取代基。)6.根據(jù)權(quán)利要求15中任意一項(xiàng)所述的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物，其特征在于，所述供氫體(E)為具有酸性質(zhì)子的化合物。7.根據(jù)權(quán)利要求15中任意一項(xiàng)所述的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物，其特征在于，所述供氫體(E)為具有巰基的化合物。8.—種濾色片的制造方法，其特征在于，包括在基材表面上涂敷權(quán)利要求17中任意一項(xiàng)所述的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物并干燥，形成感光性樹脂組合物層的感光層形成工序；利用5mm/sec3000m/sec的掃描速度，將該感光層曝光成圖案狀的曝光工序；除去曝光后的感光層的未固化區(qū)域的顯影工序。9.一種液晶顯示元件用感光性材料，是在臨時(shí)支撐體上依次層疊l)熱塑性樹脂層和2)由權(quán)利要求17中任意一項(xiàng)所述的液晶顯示元件用感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光層而成。10.—種濾色片的制造方法，其特征在于，將權(quán)利要求9所述的液晶顯示元件用感光性材料以感光層與基材對接的方式層疊于基材上，剝離臨時(shí)支撐體，在基材表面轉(zhuǎn)印感光層，然后將該感光層曝光成圖案狀，除去曝光后的感光層的未固化區(qū)域。11.一種濾色片，其特征在于，利用權(quán)利要求8或權(quán)利要求10所述的濾色片的制造方法制造而成。12.—種液晶顯示元件，其特征在于，將權(quán)利要求11所述的濾色片作為構(gòu)件的至少一種使用。全文摘要本發(fā)明提供一種液晶顯示元件用感光性樹脂組合物，其特征在于，含有(A)粘合劑、(B)乙烯性不飽和化合物、(C)含有六芳基二咪唑系化合物的光聚合引發(fā)劑、(D)分光敏化劑、以及(E)供氫體，在光源波長為350nm～420nm以及掃描速度為5mm/sec～3000m/sec的范圍內(nèi)，通過邊進(jìn)行光調(diào)制邊進(jìn)行相對掃描的曝光方式被固化。另外，還提供使用本發(fā)明的感光性樹脂組合物制作的濾色片及其制造方法以及具備該濾色片的液晶顯示元件。文檔編號G03F7/004GK101233435SQ20068002781公開日2008年7月30日申請日期2006年6月16日優(yōu)先權(quán)日2005年7月29日發(fā)明者松本浩隆,柏木大助,田中光利申請人:富士膠片株式會(huì)社