專利名稱：共振掃描反射鏡的偏轉(zhuǎn)控制的制作方法
共振掃描反射鏡的偏轉(zhuǎn)控制技術(shù)領(lǐng)域大體而言，本發(fā)明涉及扭轉(zhuǎn)鉸鏈MEMS (微機(jī)電系統(tǒng))裝置，例如，掃描反射鏡; 且更具體而言，涉及用于在啟動(dòng)時(shí)將掃描裝置迅速帶到所選偏轉(zhuǎn)振幅及諧振頻率的方 法及設(shè)備。
背景技術(shù)：
眾所周知，在激光打印機(jī)中使用旋轉(zhuǎn)式多邊形掃描反射鏡在光敏媒介(例如，旋 轉(zhuǎn)鼓膜)提供對(duì)調(diào)制光源的圖像的光束掃射或掃描。遺憾地，旋轉(zhuǎn)式多邊形反射鏡必 須制造到非常高的公差并以精確的速度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，以使所述多邊形反射鏡的每一個(gè)小 面均以一致的方式來反射掃描激光光束。這些嚴(yán)格的要求會(huì)導(dǎo)致反射鏡系統(tǒng)笨重、昂 貴且在操作期間使用大量的電力。最近，人們已熟知，使用在已知共振頻率下振蕩的扭轉(zhuǎn)鉸接平坦反射鏡來替代昂 貴的旋轉(zhuǎn)式多邊形反射鏡驅(qū)動(dòng)引擎。目前，Texas儀器公司制造MEMS反射鏡裝置， 例如，所述MEMS反射鏡裝置是通過單件式材料(例如，硅)使用半導(dǎo)體制造工藝來 制作。所述反射鏡具有約為數(shù)微米的尺寸且由兩個(gè)硅扭轉(zhuǎn)鉸鏈來支撐。此種裝置或反 射鏡的鉸鏈充當(dāng)扭轉(zhuǎn)彈簧，其可工作以便在所述裝置繞鉸鏈偏轉(zhuǎn)或旋轉(zhuǎn)的情況下使其 返回到中心位置。然而，當(dāng)所述裝置或反射鏡返回到其中心位置時(shí)，其會(huì)超過該中心 位置并沿相反方向繼續(xù)運(yùn)動(dòng)。所述扭轉(zhuǎn)鉸鏈會(huì)起到使所述裝置返回到中心位置的作用。 該序列會(huì)在稱為共振頻率的特定頻率下重復(fù)多次。如果以其共振頻率或在其共振頻率附近連續(xù)地驅(qū)動(dòng)所述裝置，則偏轉(zhuǎn)振幅可增加 到非常寬的角度。在某種程度上，此是有益的，因?yàn)榇耸沟靡坏凸β黍?qū)動(dòng)信號(hào)能夠使 所述裝置在大的角度范圍內(nèi)振蕩。遺憾地，如果偏轉(zhuǎn)振幅太大，則可使鉸鏈?zhǔn)艿竭^大 的應(yīng)力以致其會(huì)粉碎及摧毀振蕩裝置或反射鏡。于2004年2月12日出版的美國(guó)專利公開申請(qǐng)案第2004-0027449A1號(hào)闡述數(shù)種 用于產(chǎn)生反射鏡裝置繞扭轉(zhuǎn)鉸鏈的樞轉(zhuǎn)式共振的技術(shù)。因此，通過將反射鏡鉸鏈設(shè)計(jì) 成在選定頻率下共振，就可制作出能提供掃描光束的掃射的掃描引擎，其中維持共振 振動(dòng)僅需要非常少的能量。正如所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員所了解的，樞轉(zhuǎn)式振蕩裝置或反射鏡繞扭轉(zhuǎn)鉸鏈的 共振頻率會(huì)根據(jù)沿鉸鏈軸線所負(fù)載的應(yīng)力而改變。這些應(yīng)力是由于組裝過程以及環(huán)境 條件變化(諸如(例如，所包裝裝置的溫度變化))所引起的鉸鏈殘余應(yīng)力而形成。例
如，硅的楊氏模量會(huì)隨溫度改變，因此對(duì)于由硅制成的MEMS類樞轉(zhuǎn)式振蕩裝置(該 裝置夾持在包裝中以使其限制在鉸鏈方向上)，隨著溫度變化，將會(huì)導(dǎo)致鉸鏈內(nèi)的應(yīng)力。 此本身也將會(huì)導(dǎo)致樞轉(zhuǎn)式振蕩的共振頻率的漂移。由于使用光束掃描圖案的應(yīng)用(例如，激光印刷及投影成像)需要穩(wěn)定及精確的 驅(qū)動(dòng)來提供信號(hào)頻率及掃描速度，故由溫度改變所致的樞轉(zhuǎn)式共振反射鏡的共振頻率 及掃描速度的變化可限制或甚至無(wú)法在激光打印機(jī)及掃描顯示器中使用所述裝置。此 外，如上所提及，如果對(duì)于指定旋轉(zhuǎn)角度，應(yīng)力負(fù)載增加高出最大的可接收水平，則 所述裝置的可靠性和操作壽命會(huì)降低到無(wú)法接收的地步或因鉸鏈破碎而突然性地終 結(jié)。發(fā)明內(nèi)容通過提供一種樞轉(zhuǎn)式振蕩反射鏡或其他振蕩共振結(jié)構(gòu)或裝置，本發(fā)明解決了上文 討論的難題及問題，其包括用于將所述裝置迅速帶到其操作偏轉(zhuǎn)振幅及共振頻率的電 路系統(tǒng)。所述振蕩裝置是包含由一對(duì)扭轉(zhuǎn)鉸鏈所支撐的功能性表面(例如，反射表面 或反射鏡)的MEMS。該對(duì)扭轉(zhuǎn)鉸鏈可使所述功能性表面或反射鏡作樞轉(zhuǎn)式振蕩，且 每一鉸鏈均從所述功能性表面延伸到一支座。所述支座可包括單個(gè)支撐框架或一對(duì)支 撐墊，且被安裝到一支撐結(jié)構(gòu)。所述振蕩裝置或反射鏡及所述方法還包括用于產(chǎn)生及施加能量驅(qū)動(dòng)脈沖到所述 振蕩結(jié)構(gòu)或反射鏡以起始并維持所述裝置或反射鏡的振蕩的電路系統(tǒng)。通常，所述能 量驅(qū)動(dòng)脈沖是驅(qū)動(dòng)穿過驅(qū)動(dòng)線圈以產(chǎn)生磁場(chǎng)的電脈沖。所述線圈的磁場(chǎng)與安裝到所述 扭轉(zhuǎn)鉸接結(jié)構(gòu)的永久磁鐵相互作用以致使所述結(jié)構(gòu)振蕩。此外，還包括用于確定偏轉(zhuǎn) 振幅的傳感器，且當(dāng)所述振蕩裝置為扭轉(zhuǎn)鉸接反射鏡時(shí)，可使用光傳感器來確定偏轉(zhuǎn) 振幅或光束掃射。根據(jù)本發(fā)明，在啟動(dòng)時(shí)，產(chǎn)生第一能量驅(qū)動(dòng)脈沖并將其施加到扭轉(zhuǎn)鉸接振蕩裝置 以致使所述結(jié)構(gòu)開始振蕩。作為本發(fā)明其他特征的結(jié)果，這些起始驅(qū)動(dòng)脈沖可具有比 現(xiàn)有技術(shù)系統(tǒng)中在啟動(dòng)時(shí)所通常使用的操作循環(huán)更大的操作循環(huán)。然后，貫穿包含所 述裝置共振頻率在內(nèi)的頻率范圍連續(xù)增加及/或降低所述第一驅(qū)動(dòng)脈沖的頻率。隨著所 述振蕩裝置的頻率接近共振，所述偏轉(zhuǎn)振幅會(huì)顯著地增大，直至傳感器指示已到達(dá)第 一所選偏轉(zhuǎn)振幅為止。通常，為避免扭轉(zhuǎn)鉸鏈被損壞，第一所選偏轉(zhuǎn)振幅小于所期望 的操作偏轉(zhuǎn)振幅。當(dāng)所述偏轉(zhuǎn)振幅到達(dá)第一所選值時(shí)，能量驅(qū)動(dòng)脈沖的施加會(huì)中斷數(shù) 個(gè)循環(huán)以讓振蕩穩(wěn)定在所述裝置的共振頻率。然后，通過任何適合的方式來確定該共 振頻率，并產(chǎn)生第二能量驅(qū)動(dòng)脈沖并將其施加至所述振蕩結(jié)構(gòu)。所述第二能量驅(qū)動(dòng)脈 沖大體處在所述裝置的共振頻率，且具有小于第一能量驅(qū)動(dòng)脈沖的操作循環(huán)。然后， 調(diào)節(jié)所述第二能量驅(qū)動(dòng)脈沖的操作循環(huán)，直至所述偏轉(zhuǎn)振幅到達(dá)操作偏轉(zhuǎn)振幅值。如果出現(xiàn)可能損壞扭轉(zhuǎn)鉸鏈或控制電路系統(tǒng)故障的瞬態(tài)事件、控制器故障等，則 可關(guān)斷第二能量驅(qū)動(dòng)脈沖直至偏轉(zhuǎn)振幅降到安全水平。


參照附圖闡述本發(fā)明實(shí)例性實(shí)施例，其中圖1圖解說明單軸線共振功能表面(例如，反射鏡表面)的實(shí)例，其具有用于產(chǎn) 生光束掃射的支撐框架；圖1A是沿圖1中線1A-1A截取的剖視圖；圖2A是單軸線細(xì)長(zhǎng)、橢圓形扭轉(zhuǎn)鉸接功能性表面(例如，適于與本發(fā)明一同使 用的反射鏡)的另一實(shí)施例的圖解；圖2B是單軸線扭轉(zhuǎn)鉸接功能性表面或反射鏡的替代實(shí)施例的俯視圖，其是由一 對(duì)鉸鏈支座而并非支撐框架來支撐；圖3是根據(jù)本發(fā)明教示的將扭轉(zhuǎn)鉸接反射鏡裝置用作激光打印機(jī)掃描引擎的簡(jiǎn)化圖表；圖4A及4B圖解說明使用傳感器脈沖來確定本發(fā)明振蕩裝置的偏轉(zhuǎn)振幅； 圖5是根據(jù)本發(fā)明的共振掃描反射鏡控制器的邏輯方塊圖； 圖6是"狀態(tài)機(jī)"圖，其顯示根據(jù)本發(fā)明的振蕩反射鏡的啟動(dòng)序列；且 圖7是適于與本發(fā)明一同使用的H-橋驅(qū)動(dòng)器的電路圖。
具體實(shí)施方式
下文將關(guān)于扭轉(zhuǎn)鉸接結(jié)構(gòu)或設(shè)備闡述本發(fā)明的實(shí)施方案，所述扭轉(zhuǎn)鉸接結(jié)構(gòu)或設(shè) 備具有可移動(dòng)功能性表面(例如，反射鏡或反射表面)，所述可移動(dòng)功能性表面尤其適合用于提供激光打印機(jī)的重復(fù)調(diào)制掃描。圖1是設(shè)備的俯視圖，其具有一對(duì)繞第一軸線IO樞轉(zhuǎn)的扭轉(zhuǎn)鉸鏈。如所示，圖1 的設(shè)備包括適合于安裝到圖1A中所示的支撐結(jié)構(gòu)14的支撐部件12。圖1A是沿圖1 的線1A-1A截取的簡(jiǎn)化剖視圖。盡管本發(fā)明的設(shè)備及方法適合于控制任何扭轉(zhuǎn)鉸接功 能性表面16的共振樞轉(zhuǎn)頻率及偏轉(zhuǎn)振幅，但本發(fā)明尤其適用于如下的裝置其中功能 性表面16為通過一對(duì)扭轉(zhuǎn)鉸鏈18a及18b附裝至支撐部件12的反射性表面或反射鏡 部分。具有共振頻率的扭轉(zhuǎn)鉸接反射鏡適合用作激光打印機(jī)或圖像顯示器的掃描引擎。因此，以下的討論將關(guān)于樞轉(zhuǎn)式振蕩反射鏡，但并不打算限定于此種用途，除非權(quán)利 要求書中如此地限定。盡管圖1的設(shè)備包括支撐部件或框架12，但可通過如下的方式來制造功能性表面 或反射鏡16:去除支撐部件12并使扭轉(zhuǎn)鉸鏈18a及18b從功能性表面或反射鏡16延 伸到圖2B中所示的一對(duì)鉸鏈支座20a及20b。然后，將鉸鏈支座20a及20b附裝或接 合到圖1A中所示的支撐結(jié)構(gòu)14。圖2B還圖解說明，反射鏡或功能性表面16可具有 任何適合的形狀或周長(zhǎng)，例如，虛線22所指示的六邊形形狀。其他適合的形狀可包括
卵形、正方形或八邊形。例如，圖2A尤其適于與提供共振光束掃射的反射鏡一同使用。如圖中可看出，圖2A的反射鏡部分16為長(zhǎng)尺寸約為5.5微米且短尺寸約為1.2 微米的非常細(xì)長(zhǎng)的橢圓形形狀。現(xiàn)在參照?qǐng)D3，圖中將單軸線模擬扭轉(zhuǎn)鉸接反射鏡圖解說明為共振掃描反射鏡型 激光打印機(jī)的掃描引擎。如圖所示，其中有一反射鏡設(shè)備24 (例如，上文關(guān)于圖l至 圖2B所論述)，其包括支撐部件(圖3中未顯示)，所述支撐部件通過一對(duì)沿樞轉(zhuǎn)軸 線26定位的扭轉(zhuǎn)鉸鏈(未顯示)來支撐反射鏡或反射表面16。因此，應(yīng)了解，如果 可通過驅(qū)動(dòng)源將所述振蕩反射鏡維持在共振狀態(tài)，則可使用該反射鏡來產(chǎn)生穿過光敏 媒介目標(biāo)32的共振振蕩光束。所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)了解，所述振蕩光束可為一 序列用于在光敏媒介上形成圖像的調(diào)制掃描光束。因此，圖3實(shí)施例的系統(tǒng)使用單軸線反射鏡設(shè)備24來提供對(duì)扭轉(zhuǎn)鉸接結(jié)構(gòu)的由 右至左、由左至右的共振掃射，以便反射鏡16a的反射表面攔截自光源30 (顯示為激 光光源)發(fā)出的光束28a并在通過透鏡34后提供穿過接收媒介32的共振掃射運(yùn)動(dòng)。 當(dāng)然，當(dāng)用作激光打印機(jī)的掃描引擎時(shí)，目標(biāo)或媒介32通常將以光束掃射同步的速度 來移動(dòng)。根據(jù)以上的討論，應(yīng)了解，對(duì)光束掃射或偏轉(zhuǎn)振幅進(jìn)行小心的調(diào)控是至關(guān)重要的。 遺憾地，環(huán)境也可能為維持穩(wěn)定的掃描引擎帶來各種困難。更具體而言，溫度的變化 也可導(dǎo)致問題。例如，如討論，所述扭轉(zhuǎn)鉸接反射鏡組合件通常由硅制成，且在包裝過程期間安裝或夾持在固定的位置內(nèi)。然而，如所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)了解，Si (硅)的楊氏模量會(huì)隨溫度變化而改變。因此，約束硅裝置沿鉸鏈軸線的運(yùn)動(dòng)可導(dǎo)致 所述裝置的共振頻率隨溫度的變化而漂移。此外，沿所述鉸鏈軸線存在此種環(huán)境應(yīng)力 會(huì)改變將該反射鏡復(fù)位到相對(duì)于該反射鏡樞轉(zhuǎn)角的松弛或中間位置所需的力量；此本 身也會(huì)改變所述引擎的"掃描速度"。另外，所述硅質(zhì)反射鏡裝置與用作支撐結(jié)構(gòu)的 材料及包裝的其他元件的CTE (熱膨脹系數(shù))可存在差別。硅質(zhì)反射鏡裝置與用于包 裝掃描引擎的其他材料的CTE差別可產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)鉸鏈的額外應(yīng)力。由溫度變化所引起的 應(yīng)力以及由其他原因所引起的應(yīng)力的影響會(huì)導(dǎo)致共振頻率及掃描速度如此之大的變 化，以致可能無(wú)法或顯著地限制將共振反射鏡用作掃描引擎。于所示實(shí)施例中，所述 反射鏡振蕩是由一系列能量脈沖(例如，由驅(qū)動(dòng)電路所提供的正電脈沖36a及負(fù)電脈 沖36b)來驅(qū)動(dòng)。H-橋驅(qū)動(dòng)電路(例如，圖7中所示的H-橋驅(qū)動(dòng)電路)為脈沖36a及 36b的適合來源的一個(gè)實(shí)例。在啟動(dòng)時(shí)，所述能量驅(qū)動(dòng)脈沖大體具有恒定的操作循環(huán)及振幅。然而，貫穿包含 所述扭轉(zhuǎn)鉸接結(jié)構(gòu)或反射鏡16a的共振頻率在內(nèi)的頻率范圍改變所述脈沖的頻率。隨 著驅(qū)動(dòng)脈沖的變化頻率接近所述結(jié)構(gòu)的共振頻率，偏轉(zhuǎn)振幅或光束掃射范圍大大地增 加。因此，如圖3所示，其中包含用于確定所述掃描結(jié)構(gòu)何時(shí)到達(dá)預(yù)選目標(biāo)偏轉(zhuǎn)振幅 的傳感器38a或其他構(gòu)件。除非以所述裝置共振頻率兩側(cè)上的并包含所述裝置共振頻率的小頻率范圍，以啟動(dòng)恒定振幅能量驅(qū)動(dòng)脈沖通常無(wú)法實(shí)現(xiàn)所述目標(biāo)偏轉(zhuǎn)振幅。當(dāng)感測(cè)到所選偏轉(zhuǎn)振幅時(shí)，中斷能量驅(qū)動(dòng)脈沖的施加，以便所述振蕩結(jié)構(gòu)或反射鏡16a 穩(wěn)定到所述結(jié)構(gòu)或反射鏡的共振頻率下的振蕩。作為一實(shí)例，如果所述扭轉(zhuǎn)鉸接裝置是反射掃射激光光束的共振反射鏡，則使傳 感器38a靠近所述光束掃射的一端定位，且在對(duì)扭轉(zhuǎn)鉸接裝置的光束掃描(其與角偏 轉(zhuǎn)成比例)通過傳感器38a時(shí)提供電脈沖40a。在通過傳感器38a之后，光束的掃射 幾乎處在掃射或偏轉(zhuǎn)的末端，且因此，所述光束掃射停止并反轉(zhuǎn)其方向，以便在返回 的掃射通過傳感器時(shí)產(chǎn)生第二脈沖40b。圖中將這些第一 40a及第二 40b脈沖圖解為 檢測(cè)器脈沖流42。此外，由于所述激光光束以恒定的頻率(共振頻率)掃射或振蕩， 故兩個(gè)脈沖間的間隔44與偏轉(zhuǎn)振幅成比例。然后，控制器48確定實(shí)際的共振頻率，且再次將具有共振頻率或具有距該共振 頻率稍微偏離的頻率的另一系列能量驅(qū)動(dòng)脈沖施加到掃描反射鏡或結(jié)構(gòu)16a以維持所述實(shí)際的共振頻率。然后，調(diào)節(jié)所述能量驅(qū)動(dòng)脈沖的操作循環(huán)，直至所述共振振蕩結(jié) 構(gòu)的偏轉(zhuǎn)振幅到達(dá)由線46a及46b (其代表操作偏轉(zhuǎn)振幅的范圍)所指示的操作(或 第二)偏轉(zhuǎn)振幅值。將具有如所調(diào)節(jié)的操作循環(huán)及所述共振或所選頻率的連續(xù)能量脈 沖串提供至扭轉(zhuǎn)鉸接結(jié)構(gòu)16a，以使所述振蕩反射鏡或結(jié)構(gòu)繼續(xù)以所述共振頻率及所 述操作偏轉(zhuǎn)振幅振蕩。應(yīng)了解，所述能量驅(qū)動(dòng)脈沖的所選頻率可與所述扭轉(zhuǎn)鉸接裝置的共振頻率相同。 然而，某些實(shí)施例可使用距所述共振頻率稍微偏離的頻率來補(bǔ)償所述系統(tǒng)中所發(fā)生的 任何相移。于另一實(shí)施例中，本發(fā)明的方法及設(shè)備還可用來保護(hù)所述裝置鉸鏈由于控制器48 (其控制能量驅(qū)動(dòng)脈沖的產(chǎn)生)的故障而受到過大的應(yīng)力或防止受到嚴(yán)重的瞬態(tài)事件。 為提供此種保護(hù)，也可對(duì)偏轉(zhuǎn)振幅進(jìn)行監(jiān)控以確定所述振幅是否超過大于當(dāng)前操作振 幅的第三所選值。若如此，則立即中斷驅(qū)動(dòng)脈沖的施加，直至所述偏轉(zhuǎn)振幅降到安全 值。在所述偏轉(zhuǎn)振幅降到安全值后，再次施加驅(qū)動(dòng)脈沖，但使用較低的操作循環(huán)。本發(fā)明通過維持樞轉(zhuǎn)振動(dòng)反射鏡的共振頻率及/或掃描速度的方法及設(shè)備來解決 這些困難及問題。再次參照?qǐng)D3中的簡(jiǎn)化圖，其中顯示包含本發(fā)明教示的激光打印機(jī)。應(yīng)理解，圖 3并非按比例，且將偏轉(zhuǎn)角度故意顯示成比實(shí)際所使用的大，以簡(jiǎn)化解釋。本發(fā)明的 優(yōu)點(diǎn)可用來在啟動(dòng)時(shí)將任何扭轉(zhuǎn)鉸接裝置迅速地帶到共振速度及操作偏轉(zhuǎn)振幅。然而， 本發(fā)明尤其可用于控制共振掃描反射鏡，且因此以下的討論和說明將再次關(guān)于此種共振掃描反射鏡16a來進(jìn)行。然而，所述限定性討論并不打算將本發(fā)明范圍或權(quán)利要求 書的申請(qǐng)限定于共振掃描反射鏡。如上所討論，共振掃描反射鏡16a經(jīng)對(duì)準(zhǔn)以接收來自光源(例如，激光光源30) 的光束28a。共振反射鏡16a繞一對(duì)沿樞轉(zhuǎn)軸線26定位的扭轉(zhuǎn)鉸鏈(未顯示)共振地 樞轉(zhuǎn)。當(dāng)反射鏡16a繞樞轉(zhuǎn)軸線26振蕩時(shí)，光束28a被反射成在兩個(gè)最大偏轉(zhuǎn)振幅極
限46a與46b之間來回移動(dòng)的光束28b。所述最大偏轉(zhuǎn)振幅由能量驅(qū)動(dòng)信號(hào)提供至振 蕩反射鏡16a的偏轉(zhuǎn)能量來確定。根據(jù)本發(fā)明，將具有預(yù)定或所選振幅的電脈沖36a 及36b提供至至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)線圈(未顯示)，所述至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)線圈形成磁場(chǎng)，所述磁 場(chǎng)與該反射鏡上的永久磁鐵(未顯示)相互作用以導(dǎo)致繞樞轉(zhuǎn)軸線26的振蕩。同樣如 圖3圖表所示，從驅(qū)動(dòng)電路(例如，H-橋驅(qū)動(dòng)電路50)以反射鏡的共振頻率或近似反 射鏡的共振頻率來提供正電脈沖36a及負(fù)電脈沖36b二者。應(yīng)了解，盡管正電脈沖及 負(fù)電脈沖二者可為優(yōu)選且可提供更為穩(wěn)定的系統(tǒng)，但也可單獨(dú)使用正脈沖或單獨(dú)使用 負(fù)脈沖，且打算涵蓋于本發(fā)明范圍內(nèi)。另外，盡管圖中顯示每一反射鏡振蕩循環(huán)均產(chǎn) 生負(fù)脈沖及正脈沖，但也可所述脈沖限制成(例如)每隔一個(gè)循環(huán)、每隔兩個(gè)循環(huán)等。 再次參照?qǐng)D3，且假定兩條線46a與46b間的角52代表反射鏡共振頻率下所希望 的操作偏轉(zhuǎn)振幅，且線56a與56b間的角54代表所述光束掃射中經(jīng)過擬打印信息調(diào)制 的部分。本文將角54稱為有效打印掃描角。如所示，線56a與56b之間的調(diào)制光束由 透鏡34聚集，并然后聚焦在擬用于打印的光敏媒介32(諸如(只限于舉例)，旋轉(zhuǎn)鼓) 上。此外，還包括光傳感器38a，其在振蕩光束在傳感器38a上方通過時(shí)提供電脈沖 40a。如所示，光傳感器所處的光束角58或位置遠(yuǎn)超過線56a與56b間的有效打印掃 描角54，但仍未超過當(dāng)光束處在所希望操作角52或偏轉(zhuǎn)位置(如線46a與46b所指 示)時(shí)的光束位置。還應(yīng)了解，由于線46b代表激光打印機(jī)的實(shí)際操作期間光束掃射 在右側(cè)處的最大偏轉(zhuǎn)，因此光束的行進(jìn)速度己減慢到完全停止，且然后必須反轉(zhuǎn)其行 進(jìn)方向并朝線46a處的最大偏轉(zhuǎn)位置移動(dòng)。因此，隨著光束移動(dòng)到線46b所代表的位 置(在此處光束停止并然后反轉(zhuǎn)方向)，光束通過傳感器38a，且隨著光束經(jīng)過完全掃 射而移動(dòng)到線46a，光束會(huì)再次通過傳感器38a。傳感器38a產(chǎn)生兩個(gè)脈沖40a及40b， 每次光束通過光傳感器38時(shí)均產(chǎn)生一個(gè)脈沖。還應(yīng)了解，由于該反射鏡的共振頻率保 持大體恒定，所以所述光束掃射的偏轉(zhuǎn)振幅與所述兩個(gè)脈沖之間的時(shí)間(由間隔44 代表)成比例。還應(yīng)了解，盡管圖3實(shí)施例中顯示單個(gè)的光傳感器38a，但可在光束掃射或偏轉(zhuǎn) 振幅的對(duì)置端處使用第二光傳感器38b (圖中以虛線顯示)。如上所論述，如果能量脈沖波形以其共振頻率來驅(qū)動(dòng)振蕩裝置或反射鏡，則所述 掃射或偏轉(zhuǎn)的幅度可增加到如圖3中線46a及46b所指示的寬角度。對(duì)于大多數(shù)情況， 此之所以有利是因?yàn)楣β史浅５偷男盘?hào)便可使所述反射鏡或裝置在所需的操作范圍內(nèi) 移動(dòng)。遺憾地，如果偏轉(zhuǎn)振幅增加到太大的值，則鉸鏈會(huì)受到過大的應(yīng)力并出現(xiàn)故障。因此，光傳感器38a位于有效打印區(qū)域或角54的外部以檢測(cè)所反射的激光光束， 且會(huì)在每次反射激光光束交叉或在傳感器38a上方通過時(shí)產(chǎn)生輸出脈沖。如所提及， 可使用兩個(gè)相鄰脈沖之間的定時(shí)(其由雙頭箭頭44代表)來計(jì)算偏轉(zhuǎn)振幅。遺憾地，在所述偏轉(zhuǎn)振幅由傳感器38a讀出的情況下，所述偏轉(zhuǎn)振幅通常必須在 操作偏轉(zhuǎn)值的約20%以內(nèi)。此是因?yàn)?，?dāng)通過與共振值顯著不同的能量信號(hào)來驅(qū)動(dòng)該 反射鏡時(shí)，總體的振蕩運(yùn)動(dòng)可小于操作值的1%。然而，當(dāng)以共振來驅(qū)動(dòng)時(shí)，可將該 反射鏡驅(qū)動(dòng)到大于操作值500%的值。當(dāng)然，如此大的值遠(yuǎn)超過將損壞或毀壞鉸鏈的 運(yùn)動(dòng)。因此，必需使用數(shù)值足以使振動(dòng)裝置到達(dá)并在傳感器38a上方通過，而同時(shí)足夠 小以免對(duì)鉸鏈造成任何損壞的共振信號(hào)來驅(qū)動(dòng)振動(dòng)裝置。如所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員還應(yīng)了解且如以上簡(jiǎn)短地討論，鉸鏈上的機(jī)械應(yīng)力將 會(huì)導(dǎo)致扭轉(zhuǎn)鉸接裝置的基礎(chǔ)共振頻率的變化。因此，應(yīng)了解，溫度變化可導(dǎo)致鉸鏈?zhǔn)?到應(yīng)力從而導(dǎo)致共振頻率變化。如根據(jù)以上討論應(yīng)理解，如果驅(qū)動(dòng)脈沖以原來的共振 頻率來繼續(xù)進(jìn)行，則振蕩反射鏡或其他裝置的共振頻率的變化將改變偏轉(zhuǎn)振幅。因此， 如下文將討論，本發(fā)明方法還可用來調(diào)節(jié)能量驅(qū)動(dòng)脈沖或信號(hào)的頻率或操作循環(huán)，以 控制所述反射鏡或裝置的運(yùn)動(dòng)及以使偏轉(zhuǎn)振幅保持在操作值。于圖3的實(shí)例中，所希望的反射鏡偏轉(zhuǎn)振幅為距中心位置約23度，檢測(cè)器38a 位于約18度處，且驅(qū)動(dòng)頻率約為3200Hz。對(duì)默認(rèn)驅(qū)動(dòng)電流(或電壓)進(jìn)行選擇以保 證所述反射鏡使光束每循環(huán)跨過檢測(cè)器兩次。如果已知驅(qū)動(dòng)頻率(即，共振頻率)及在18度處的檢測(cè)器脈沖間的時(shí)間測(cè)量值，便可直接計(jì)算出所述反射鏡的角度以便用于控制目的。更具體而言，在共振附近操作時(shí)的反射鏡偏轉(zhuǎn)由如下方程得出-0 = A sin ((j))，其中e-偏轉(zhuǎn)角 ，A-'偏轉(zhuǎn)振幅.9 =加=:周期自變量 (co-頻率，且t-時(shí)間)因此，當(dāng)e&D (檢測(cè)器位置)時(shí)，每循環(huán)可求解兩次。第一檢測(cè)交叉發(fā)生在-(pl ^arcsin (D/A).第二檢測(cè)器交叉發(fā)生在-(j>2 = l幼o(hù)-arcsin(D/A).兩個(gè)脈沖之間的間隔寬度W由如下得出w = (f>2 - <pl - 180。 - arcsin (D / A) =180o-2arcsin(D/A).表達(dá)成半周期的函數(shù)，該寬度為 w / H = (180。 - 2 arcsin (D / A》/180o.于所述實(shí)例中，所希望的偏轉(zhuǎn)振幅為23度且傳感器安裝在18度處，則所述脈沖間隔寬度為w/H =(g0°-2arcsin(18/23》/180° =0.427777.圖4A是一圖表，其顯示反射鏡角度僅為20度而并非23度的情況下的反射鏡角 60及兩個(gè)檢測(cè)器脈沖40a及40b。因此，系統(tǒng)控制器48中的邏輯(稍后討論)量測(cè)所 述兩個(gè)檢測(cè)器脈沖之間的時(shí)間44。于所述實(shí)例中，當(dāng)偏轉(zhuǎn)角僅為20度時(shí)，所述兩個(gè) 脈沖間的時(shí)間44小于當(dāng)脈沖以操作值操作時(shí)的脈沖間的時(shí)間。另一方面，圖4B顯示在控制器48對(duì)能量驅(qū)動(dòng)脈沖進(jìn)行調(diào)節(jié)以將偏轉(zhuǎn)振幅增加到 23度的操作水平之后的類似圖表。如所示，相比于圖4A，兩個(gè)檢測(cè)器脈沖40a及40b 進(jìn)一步分開。如上文所提及，可通過量測(cè)毗鄰的傳感器脈沖對(duì)之間的間隔來確定偏轉(zhuǎn)振幅。脈沖對(duì)間隔的寬度由如下方程得出WM = H * [(80。 - 2 arcsin (D / A)) /180。]其中WM-所量測(cè)的脈沖對(duì)間隔寬度H-驅(qū)動(dòng)波形的半周期D-光束檢測(cè)器的角位置。A-偏轉(zhuǎn)振幅類似地，通過將所希望的目標(biāo)偏轉(zhuǎn)角AT插入以上方程可計(jì)算出目標(biāo)寬度WT，結(jié) 果為WT = H * f(180。 - arcsin (D / At)) / 1幼。].方括號(hào)內(nèi)的項(xiàng)包括反正弦函數(shù)、乘法及除法運(yùn)算，且在執(zhí)行時(shí)進(jìn)行計(jì)算會(huì)很困難。 然而，可在產(chǎn)品設(shè)計(jì)期間計(jì)算出所述方括號(hào)內(nèi)的項(xiàng)并將其插入為一常數(shù)。因此，應(yīng)了解，所述控制器的一個(gè)用途是使偏轉(zhuǎn)振幅匹配目標(biāo)偏轉(zhuǎn)振幅。當(dāng)所述 振幅匹配目標(biāo)振幅時(shí)，傳感器所測(cè)量的脈沖對(duì)寬度將匹配目標(biāo)寬度。那時(shí)，比率WW WM將為1.00。應(yīng)了解，驅(qū)動(dòng)時(shí)間是每一半周期的持續(xù)時(shí)間，在此期間驅(qū)動(dòng)器50為有效并向反 射鏡驅(qū)動(dòng)線圈施加電壓。出于解釋目的，簡(jiǎn)化的方程為驅(qū)動(dòng)時(shí)間=標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)時(shí)間*目標(biāo)寬度/感測(cè)寬度 [方程1]及標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)時(shí)間(t + T)=(標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)時(shí)間(t)*(l-G)) + (驅(qū)動(dòng)時(shí)間(t)*G)[方程2]如上所述，先前的方程是簡(jiǎn)單的基礎(chǔ)方程。所使用的實(shí)際方程稍微不同，且包括 用于使計(jì)算中的量化及飽和誤差最小化的附加項(xiàng)。無(wú)論如何，所述可變標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)時(shí)間是所述驅(qū)動(dòng)波形的標(biāo)稱導(dǎo)通時(shí)間，其可緩慢地 變化以應(yīng)對(duì)所述反射鏡或驅(qū)動(dòng)器機(jī)電性質(zhì)的任何漂移。實(shí)際的驅(qū)動(dòng)時(shí)間是會(huì)變化的，且其是被發(fā)送到驅(qū)動(dòng)波形產(chǎn)生器并對(duì)擾動(dòng)作出快速 響應(yīng)的值。當(dāng)偏轉(zhuǎn)振幅降到目標(biāo)值以下時(shí)，傳感器脈沖對(duì)的寬度44變小，而由以上方 程l所計(jì)算出的驅(qū)動(dòng)時(shí)間將變大。當(dāng)所感測(cè)的寬度匹配目標(biāo)寬度時(shí)，驅(qū)動(dòng)時(shí)間將匹配 標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)時(shí)間。
方程2對(duì)標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)時(shí)間進(jìn)行慢調(diào)節(jié)以使其與保持希望目標(biāo)水平的偏轉(zhuǎn)振幅所需的 實(shí)際驅(qū)動(dòng)時(shí)間相匹配。方程2中的增益項(xiàng)控制所述兩個(gè)值收斂的速率，且將介于O至 l的范圍內(nèi)。當(dāng)G為小值(小于1/32)時(shí)，所述兩個(gè)驅(qū)動(dòng)時(shí)間值將緩慢地收斂，從而 導(dǎo)致啟動(dòng)遲緩。當(dāng)G為大值(>1/4)時(shí)，所述響應(yīng)將過度改正，從而導(dǎo)致偏轉(zhuǎn)振幅的 緩慢阻尼振蕩?，F(xiàn)在參照?qǐng)D5,圖中顯示控制電路系統(tǒng)的簡(jiǎn)化方塊圖，下文中將所述控制電路系 統(tǒng)稱為共振掃描反射鏡控制器或RSMC 48。如顯示，RSMC 48包括用于實(shí)施必要計(jì)算、 資料存儲(chǔ)等的處理器或主控制器62。所述處理器或主控制器可從各種市面有售的處理 器或邏輯裝置中選擇。如下文中將更加詳細(xì)地討論，主控制器或處理器62還提供實(shí)現(xiàn) 本發(fā)明優(yōu)點(diǎn)的控制及啟動(dòng)命令信號(hào)。此外，還包括本發(fā)明所特有的RSMC48的核心部 分64。例如，核心部分64包括激光功率控制66，其控制激光雷射28a的功率；及 光束定時(shí)電路68，其自光束檢測(cè)器38a接收兩個(gè)脈沖40a及40b并確定脈沖間的間隔 或定時(shí)44。另外，還有驅(qū)動(dòng)波形產(chǎn)生器70，其接收來自主控制器或處理器62的命令 并提供具有適當(dāng)頻率、定相、操作循環(huán)及振幅的驅(qū)動(dòng)脈沖以對(duì)驅(qū)動(dòng)器進(jìn)行控制。根據(jù) 一實(shí)施例，驅(qū)動(dòng)波形產(chǎn)生器的輸出端將信號(hào)提供至H-橋驅(qū)動(dòng)器50，此也將在下文中加 以討論。此外，還包括過驅(qū)動(dòng)保護(hù)電路72，其在啟動(dòng)期間或在發(fā)生可能損壞所述裝置的瞬 態(tài)狀況的情況下保護(hù)所述振蕩反射鏡或裝置。例如，在啟動(dòng)或其他瞬態(tài)事件期間，RSMC控制器48可對(duì)驅(qū)動(dòng)時(shí)間的值進(jìn)行控 制以防其長(zhǎng)期地持續(xù)而損壞所述反射鏡。因此，RSMC核心中的反射鏡過驅(qū)動(dòng)保護(hù)器 72的功能是在大反射鏡偏轉(zhuǎn)的情況下對(duì)傳感器脈沖對(duì)的寬度或定時(shí)44進(jìn)行監(jiān)控。當(dāng) 所述偏轉(zhuǎn)振幅超過預(yù)定的安全限制時(shí)，所述保護(hù)器便中止(例如)來自H-橋驅(qū)動(dòng)器50 的輸出一個(gè)周期并通知RSMC主控制器61。當(dāng)偏轉(zhuǎn)振幅下落到所述限制以下時(shí)，H-橋驅(qū)動(dòng)器50會(huì)自動(dòng)地重新啟用。此外，還包括驅(qū)動(dòng)電路74，其將在主控制器62出現(xiàn)故障或失效的情況下對(duì)所述 裝置進(jìn)行保護(hù)。驅(qū)動(dòng)監(jiān)視電路74在反射鏡控制器62出現(xiàn)故障或失效的情況下幫助保 護(hù)所述反射鏡。在正常的操作下，RSMC控制器使RSMC核心中的驅(qū)動(dòng)時(shí)間寄存器每 周期更新一次。如果三個(gè)周期過去了而所述驅(qū)動(dòng)時(shí)間寄存器沒有任何更新，則驅(qū)動(dòng)監(jiān) 視電路74將中止通向H-橋驅(qū)動(dòng)裝置50的信號(hào)以保護(hù)所述反射鏡。驅(qū)動(dòng)時(shí)間寄存器的 寫入可重新啟用H-橋驅(qū)動(dòng)裝置50?，F(xiàn)在參照?qǐng)D6，其中顯示"狀態(tài)機(jī)"，其圖解說明根據(jù)本發(fā)明的啟動(dòng)模式中所需要 的事件序列。如所示，狀態(tài)機(jī)的狀況76所指示的第一動(dòng)作是起始RSMC48中的電 路系統(tǒng)，其中包括將驅(qū)動(dòng)脈沖設(shè)為開始頻率、振幅及工作循環(huán)。如上所提及，起初， 可有意地將工作循環(huán)設(shè)為大于最終或操作值的值以幫助減少總體的啟動(dòng)時(shí)間。另外， 也可連同標(biāo)稱脈沖、振幅或電壓來設(shè)定該系統(tǒng)所容許操作的頻率上及下限。然后，提 供第一驅(qū)動(dòng)脈沖以使所述裝置或反射鏡開始振蕩。然后，如狀態(tài)機(jī)的向下掃射狀況78 所指示的那樣，降低所述脈沖的頻率，直至到達(dá)下限為止，或直至光束通過光檢測(cè)器 并產(chǎn)生具有如上所述的第一預(yù)定定時(shí)或間隔44的檢測(cè)器脈沖為止。如果先到達(dá)頻率的下限，則所述脈沖的頻率停止降低并如狀態(tài)機(jī)的向上掃射狀況80所指示的那樣開始增大。如果在向下掃描的階段中，所述光束振幅沒有使光束偏轉(zhuǎn)增大到足以移動(dòng)所述光 束越過光檢測(cè)器兩次，則其在向上掃射的階段中可或可不采用同樣的做法。如果其不采用同樣的做法，則可以較慢的掃射速率來重復(fù)向上掃射80及向下掃射78的狀況， 直至光檢測(cè)器38a產(chǎn)生一對(duì)脈沖。這可能會(huì)需要數(shù)個(gè)循環(huán)，但所述偏轉(zhuǎn)振幅會(huì)繼續(xù)增 大，且由于偏轉(zhuǎn)在所述裝置共振頻率處或附近顯著地較大，故足以使光束通過檢測(cè)器 兩次的偏轉(zhuǎn)振幅所處的脈沖頻率可能非常靠近所述裝置的共振頻率。無(wú)論如何， 一旦偏轉(zhuǎn)振幅足以形成一對(duì)具有預(yù)定定時(shí)或間隔44的脈沖，則通過 中止H-橋驅(qū)動(dòng)器50來中斷所述驅(qū)動(dòng)脈沖。然后，如狀態(tài)機(jī)的狀態(tài)82所指示，允許振 蕩裝置16a盤旋向下或穩(wěn)定到其共振頻率。所述穩(wěn)定延時(shí)時(shí)間必需足夠長(zhǎng)以允許反射 鏡振蕩到達(dá)其自然共振頻率，但不能太長(zhǎng)以致振幅衰減太低而無(wú)法被傳感器38a檢測(cè) 到。于所述優(yōu)選實(shí)施例中，穩(wěn)定延時(shí)時(shí)間為3個(gè)循環(huán)。一旦實(shí)際共振頻率得到確定，在預(yù)選工作循環(huán)處，將具有大體等于所確定共振頻 率的頻率的驅(qū)動(dòng)脈沖再次施加到振蕩裝置。還應(yīng)注意，所述驅(qū)動(dòng)脈沖的實(shí)際頻率可稍 微偏離所選的頻率以補(bǔ)償系統(tǒng)的相移。然后，逐漸調(diào)節(jié)能量驅(qū)動(dòng)脈沖的工作循環(huán)，直 至偏轉(zhuǎn)振幅到達(dá)狀態(tài)機(jī)的狀態(tài)84所指示的操作值。然后，連續(xù)地提供具有共振頻率(或 稍微偏離的選定頻率)及所調(diào)節(jié)工作循環(huán)的驅(qū)動(dòng)脈沖以實(shí)現(xiàn)打印機(jī)的適當(dāng)操作。然后， 連續(xù)地調(diào)節(jié)所述工作循環(huán)以維持希望的偏轉(zhuǎn)角振幅。圖6圖解說明H-橋驅(qū)動(dòng)器50。根據(jù)一實(shí)施例，H-橋驅(qū)動(dòng)裝置50位于RSMC 48 的外部。如顯示，H-橋50接收來自相位l線路86及相位2線路88的輸入。接收相位 1線路86上的信號(hào)使左下角的晶體管90及右上角的晶體管92導(dǎo)通，以將使電流由右 至左通過反射鏡線圈94。類似地，接收相位2線路88上的信號(hào)使左下角的晶體管96 及右上角的晶體管98導(dǎo)通，以將使電流由右至左通過線圈94。相位1及相位2不能 同時(shí)導(dǎo)通是重要的，因?yàn)檫@樣會(huì)提供從電源線100直接到大地102的低阻抗路徑，這 當(dāng)然會(huì)損壞電源。因此，RSMC48中的邏輯通過確保一個(gè)相位關(guān)閉直到另一相位導(dǎo)通 的時(shí)間中始終存在延時(shí)來防止以上現(xiàn)象的發(fā)生。本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)了解，可對(duì)所述實(shí)例性實(shí)施例作出各種附加、 刪除、替代及其他修改。
權(quán)利要求
1、一種用于控制共振掃描結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)的方法，其包括如下步驟產(chǎn)生第一能量驅(qū)動(dòng)脈沖并將其施加到所述掃描結(jié)構(gòu)以致使所述掃描結(jié)構(gòu)圍繞扭轉(zhuǎn)鉸鏈振蕩；貫穿包含所述掃描結(jié)構(gòu)共振頻率在內(nèi)的頻率范圍改變所述第一能量驅(qū)動(dòng)脈沖的頻率；確定所述掃描結(jié)構(gòu)何時(shí)達(dá)到所選偏轉(zhuǎn)角或振幅值；中斷對(duì)所述掃描結(jié)構(gòu)施加所述第一能量驅(qū)動(dòng)脈沖；確定所述掃描結(jié)構(gòu)的共振頻率；產(chǎn)生處于所述共振頻率或處于將所述掃描結(jié)構(gòu)的振蕩維持在其共振頻率的所選頻率的第二能量驅(qū)動(dòng)脈沖并將其施加到所述掃描結(jié)構(gòu)；且調(diào)節(jié)所述第二能量驅(qū)動(dòng)脈沖的工作循環(huán)，直到所述掃描裝置到達(dá)第二偏轉(zhuǎn)角或振幅值。
2、 如權(quán)利要求l所述的方法，其中所述掃描結(jié)構(gòu)為掃描反射鏡。
3、 如權(quán)利要求1所述的方法，其進(jìn)一步包括連續(xù)產(chǎn)生并施加具有所述所選頻率及所述所調(diào)節(jié)工作循環(huán)的所述第二能量驅(qū)動(dòng)脈沖；及連續(xù)調(diào)節(jié)所述第二能量驅(qū)動(dòng)脈 沖的工作循環(huán)以維持所述第二偏轉(zhuǎn)角或振幅值。
4、 如權(quán)利要求1或3所述的方法，其中所述所選頻率偏離所述振蕩結(jié)構(gòu)的共振 頻率以補(bǔ)償所述結(jié)構(gòu)的相移。
5、 如權(quán)利要求1或3所述的方法，其進(jìn)一步包括-確定所述偏轉(zhuǎn)振幅是否超過第三所選值；如果所述偏轉(zhuǎn)振幅超過所述第三所選值，則中斷對(duì)所述掃描結(jié)構(gòu)施加能量驅(qū)動(dòng)脈 沖并允許所述偏轉(zhuǎn)振幅衰減到較低的偏轉(zhuǎn)振幅；且然后產(chǎn)生并施加具有所述所選頻率及小于所述所調(diào)節(jié)工作循環(huán)的工作循環(huán)的新的第 二能量驅(qū)動(dòng)脈沖。
6、 如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第一偏轉(zhuǎn)振幅值小于所述第二偏轉(zhuǎn)振幅值。
7、 如權(quán)利要求1或3所述的方法，其進(jìn)一步包括在臨近所述振蕩結(jié)構(gòu)偏轉(zhuǎn)的末 端處提供傳感器以便所述傳感器提供一對(duì)電脈沖，所述對(duì)脈沖的第一脈沖代表所述振 蕩結(jié)構(gòu)在其沿第一方向行進(jìn)時(shí)的位置，且所述對(duì)脈沖的第二脈沖代表所述結(jié)構(gòu)在其停 止并反轉(zhuǎn)其行進(jìn)方向后的相同位置。
8、如權(quán)利要求7所述的方法，其中通過監(jiān)控所述對(duì)脈沖之間的間隔來確定所述 掃描結(jié)構(gòu)的所述偏轉(zhuǎn)振幅。
全文摘要
本發(fā)明提供用于迅速啟動(dòng)或?qū)⒄袷幯b置帶到其共振頻率及操作偏轉(zhuǎn)振幅的方法及設(shè)備。本發(fā)明尤其適于與用作激光打印機(jī)的掃描引擎的振蕩反射鏡一同使用。所述振蕩裝置(16A)的控制電路系統(tǒng)首先確定所述裝置的共振頻率，且然后調(diào)節(jié)或增大連續(xù)能量驅(qū)動(dòng)脈沖的工作循環(huán)直至到達(dá)所選的偏轉(zhuǎn)振幅。然后，提供處于所述裝置的共振頻率及所調(diào)節(jié)工作循環(huán)的能量驅(qū)動(dòng)脈沖以維持所述裝置的振蕩。在激光打印機(jī)中，使用單個(gè)傳感器以通過確定一對(duì)傳感器脈沖(40A-44)之間的間隔或定時(shí)來確定共振光束掃射的偏轉(zhuǎn)振幅。
文檔編號(hào)G02B26/08GK101156102SQ200680011550
公開日2008年4月2日 申請(qǐng)日期2006年2月13日 優(yōu)先權(quán)日2005年2月14日
發(fā)明者詹姆斯·尤金·諾克森, 馬克·戴維·海明格 申請(qǐng)人:德州儀器公司