專利名稱：反射率測定裝置、反射率測定方法及顯示面板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及反射率測定裝置、反射率測定方法以及顯示面板的制造方法，特別涉及可以對基板的反射特性和散射特性進(jìn)行測定的反射率測定裝置、反射率測定方法以及顯示面板的制造方法。
背景技術(shù)：
目前，顯示裝置作為維系人與設(shè)備的接口(interface)而被廣泛使用，并取得了異常顯著的進(jìn)展。由于液晶顯示裝置具有輕量·薄型·消耗功率低等優(yōu)點，所以，被應(yīng)用于便攜信息終端和筆記本(note)PC等各種用途。
近年來，利用從外部入射的光進(jìn)行顯示的反射型液晶顯示面板和半透過型液晶顯示面板正在廣泛普及。在這樣的液晶顯示面板中，為了得到明亮易見的顯示特性，要求使外光反射的反射膜的反射率高、且使入射的外光集中反射于某一任意角度那樣的散射特性。
因此，如專利文獻(xiàn)1所述，在以往的反射性和半透過型的液晶顯示面板中，采用反射率高的鋁(aluminum)(Al)系或銀(Ag)系的金屬(metal)膜作為反射膜。而且，在反射膜的下層設(shè)置有凹凸形狀，來得到上述所希望的散射特性。
可是，這樣的液晶顯示面板，是利用光刻工藝(photo lithographyprocess)將布線與電極圖案形成(patterning)在玻璃(glass)等絕緣性基板上而制造的。例如，在使用了400mm×500mm大小的基板時，如果是熒光屏尺寸(size)為2英寸(inch)的液晶顯示面板，則一張基板可以配置形成大約100個液晶顯示面板用的圖案來進(jìn)行制造。
在如此制造的液晶顯示面板用的圖案中，工藝(process)上存在著不可避免的反射用金屬膜的反射率在基板面內(nèi)分布和反射膜下層凹凸形狀在基板面內(nèi)分布。因此，需要對在基板上配置形成的多個液晶顯示面板用圖案的每一個，測定反射特性、散射特性等，來進(jìn)行合格與否的判斷。因而，檢查所需要的時間增長，成為使生產(chǎn)能力降低的主要原因。
以往，關(guān)于這樣對在基板整體配置形成的多個液晶顯示面板用的圖案的反射特性高效地進(jìn)行測定·檢查的方法，沒有明確地進(jìn)行公開。但是，例如在專利文獻(xiàn)2中，雖然測定的目的與本發(fā)明不同，可是公開了一種高速且高精度地對二維配置有多個分光反射率測定區(qū)域的測定對象薄板(sheet)進(jìn)行測定的方法。
專利文獻(xiàn)2所記載的測定方法，是一種通過采用分光照明光源和CCD(電荷耦合器件)(Charge Coupled Device)相機(camera)按每個測定對象薄板的坐標(biāo)對反射率進(jìn)行測定，來取得反射率的二維分布數(shù)據(jù)的方法。但是，如果從測定次數(shù)的觀點考慮，則結(jié)果將需要按照配置形成在基板上的液晶顯示面板的圖案個數(shù)來反復(fù)進(jìn)行反射特性的測定。因此，不適用于本發(fā)明這樣的技術(shù)領(lǐng)域中的高效測定方法。
專利文獻(xiàn)1特開平6-175126號公報專利文獻(xiàn)2特開平10-122967號公報以往的反射率測定裝置，利用CCD相機那樣的一個受光元件按照點(point)對一個照明光源進(jìn)行單獨測定，通過按各個坐標(biāo)反復(fù)進(jìn)行上述單獨測定來進(jìn)行測定，由此，取得基板表面反射率的二維分布數(shù)據(jù)。因此，存在著測定次數(shù)增多、因測定需要長時間而導(dǎo)致測定效率低的問題點。另外，為了得到散射特性，而需要通過其他途徑進(jìn)行測定，由此使得測定變得繁雜。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了解決上述的問題點而提出，其目的在于，得到能夠高效地對基板面內(nèi)的反射特性和散射特性進(jìn)行測定的反射率測定裝置以及測定方法。
本發(fā)明的第一方式所涉及的反射率測定裝置，包括對作為被測定物的基板進(jìn)行載置的載物臺；對載置于前述載物臺的前述基板照射照明光的照明機構(gòu)；和具備受光元件的檢測器，所述受光元件接收從前述照明機構(gòu)照射的照明光中被前述基板反射的反射光；其中，前述照明機構(gòu)具備以任意的角度對前述基板照射光的第一照明光源、和以環(huán)狀對前述基板照射光的第二照明光源。通過這樣的構(gòu)成，可高效地測定基板面內(nèi)的反射特性和散射特性。
本發(fā)明的第二方式所涉及的反射率測定裝置，在上述的反射率測定裝置中，前述檢測器具備多個第一受光元件，該第一受光元件接收從前述第一照明光源照射的照明光中被前述基板反射的反射光，并以平行于前述基板的一條邊的方式近似帶狀地排列，通過前述多個第一受光元件一次測定沿著前述基板一條邊的區(qū)域的反射光強度，一邊順次平行地使前述基板沿著與前述基板的一條邊垂直的方向移動，一邊反復(fù)進(jìn)行反射光強度的測定，來測定前述基板的反射光強度的二維分布。通過這樣的構(gòu)成，能夠容易地在短時間內(nèi)測定出基板面內(nèi)的反射光強度的二維分布數(shù)據(jù)，從而可簡便地得到反射特性。
本發(fā)明的第三方式所涉及的反射率測定裝置，在上述的反射率測定裝置中，前述第二照明光源按照其環(huán)狀面與前述基板的表面大致平行的方式被配置在前述基板的正上方，前述檢測器具備第二受光元件，該第二受光元件被配置在前述第二照明光源的正上方，并且被配置在垂直連接環(huán)狀面的中心和基板表面的線上。通過這樣的構(gòu)成，能夠測定從被測定物垂直反射的反射光強度，從而可高精度測定出散射特性。
本發(fā)明的第四方式所涉及的反射率測定裝置，在上述的反射率測定裝置中，從前述第一照明機構(gòu)到前述第一受光元件之間，具備將照明光或者反射光切換為任意波長的波長切換機構(gòu)。通過這樣的構(gòu)成，可以測定出被測定物的基板的分光反射率。
本發(fā)明的第五方式所涉及的反射率測定裝置，在上述的反射率測定裝置中，在前述載物臺上設(shè)置有反射率已知的標(biāo)準(zhǔn)的參照反射板。通過這樣的構(gòu)成，可根據(jù)參照反射板與被測定物的反射光強度的差異，求出被測定物的相對反射率。
本發(fā)明的第六方式涉及一種反射率測定方法，在上述的反射率測定方法中，通過具有照明機構(gòu)的反射率測定裝置對反射率進(jìn)行測定，所述照明機構(gòu)設(shè)置有第一照明光源和環(huán)狀的第二照明光源，所述反射率測定方法，將作為被測定物的基板載置于載物臺，以任意的入射角從前述第一照明光源對前述基板照射照明光，通過第一受光元件測定來自前述基板的反射光的強度，并使載物臺從來自前述第一照明光源的照明光入射到前述基板的位置，向來自前述第二照明光源的照明光入射到前述基板的位置移動，來從前述第二照明光源對前述基板照射照明光，并通過第二受光元件測定來自前述基板的反射光的強度。由此，可高效地測定出基板面內(nèi)的反射特性和散射特性。
本發(fā)明的第七方式所涉及的反射率測定方法，在上述的反射率測定方法中，通過以平行于前述基板的一條邊的方式近似帶狀地排列的多個第一受光元件，一次進(jìn)行沿著前述基板一條邊的區(qū)域的反射光強度測定，并沿著與前述基板的一條邊垂直的方向，使前述基板從前述一條邊順次水平移動至對置的另一條邊，反復(fù)進(jìn)行反射光強度的測定，來測定前述基板的反射率的二維分布數(shù)據(jù)。由此，能夠容易地在短時間內(nèi)測定出基板面內(nèi)的反射光強度的二維分布數(shù)據(jù)，簡便地得到反射特性。
本發(fā)明的第八方式所涉及的反射率測定方法，在上述的反射率測定方法中，從前述第二照明光源對前述基板照射照明光，在對來自前述基板的反射光進(jìn)行測定之后，使前述基板與前述第二照明光源的距離改變，來使從前述第二照明光源照射到前述基板的照明光的有效入射角度發(fā)生變化，對來自前述基板的反射光強度進(jìn)行測定。由此，可簡便地測定被測定物的散射特性。
本發(fā)明的第九方式所涉及的反射率測定方法，在上述的反射率測定方法中，省略利用前述第二受光元件的測定。這樣，在不進(jìn)行散射特性測定的情況下，也可采用本發(fā)明。
本發(fā)明的第十方式所涉及的反射率測定方法，在上述的反射率測定方法中，省略利用前述第一受光元件的測定。這樣，在不進(jìn)行反射特性測定的情況下也可采用本發(fā)明。
本發(fā)明的第十一方式涉及一種顯示面板的制造方法，在基板上形成顯示面板用的圖案，通過上述任意一種反射率測定方法進(jìn)行前述圖案的檢查。由此，能夠?qū)υ诨迳闲纬傻膱D案的反射特性進(jìn)行測定，在短時間內(nèi)檢查出優(yōu)良品、不良品，從而可使生產(chǎn)率提高。
本發(fā)明的第十二方式所涉及的顯示面板的制造方法，是通過上述任意一種反射率測定方法對顯示面板用的圖案進(jìn)行檢查的顯示面板的制造方法，在前述基板上形成多個顯示面板用的圖案，從前述第一照明光源照射光，進(jìn)行前述圖案的優(yōu)良與否判斷，基于前述判斷結(jié)果，從前述第二照明光源對判斷為優(yōu)良品的圖案照射光，進(jìn)行圖案的檢查。由此，能夠高效判斷液晶顯示面板用的圖案合格與否，可以使生產(chǎn)率提高。
可以得到能夠高效測定基板面內(nèi)的反射特性和散射特性的反射率測定裝置以及測定方法。


圖1是表示本發(fā)明所涉及的反射率測定裝置的構(gòu)成的一個例子的圖。
圖2是表示本發(fā)明所涉及的反射測定部的構(gòu)成的一個例子的圖。
圖3是表示本發(fā)明所涉及的第一檢測器與基板的配置關(guān)系的圖。
圖4是表示本發(fā)明所涉及的散射測定部的構(gòu)成的一個例子的圖。
圖5是表示本發(fā)明所涉及的基板的構(gòu)成的一個例子的圖。
圖6是表示本發(fā)明所涉及的反射率測定方法的流程圖。
具體實施例方式
下面，使用附圖對能夠應(yīng)用本發(fā)明的實施方式進(jìn)行說明。以下的說明是對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行說明，本發(fā)明并不限定于以下的實施方式。為了實現(xiàn)說明的明確化，下面的記載被適當(dāng)?shù)厥÷?、簡略化?br> 實施方式1參照圖1，對本發(fā)明的實施方式1所涉及的反射率測定裝置進(jìn)行說明。圖1是表示實施方式1所涉及的反射率測定裝置100的構(gòu)成的一個例子的圖。這里，對測定矩形狀的基板101的情況進(jìn)行說明。如圖1所示，本實施方式所涉及的反射率測定裝置100包括載物臺102、第一照明光源103、第一檢測器104、第二照明光源105以及第二檢測器106等。
在本實施方式中，第一照明光源103和第一檢測器104是對基板101的反射特性進(jìn)行測定的反射測定部107。另外，第二照明光源105和第二檢測器106是對基板101的散射特性進(jìn)行測定的散射測定部108。即，本實施方式所涉及的反射率測定裝置100在同一裝置(單元(unit))中兼具反射測定部107和散射測定部108雙方，是能夠進(jìn)行反射特性的測定和散射特性的測定的裝置。
載物臺102上載置有作為被測定物的基板101。載物臺102被設(shè)置成通過操縱器(manipulator)等移動機構(gòu)，能夠沿X-Y方向(水平方向)以任意設(shè)定的步進(jìn)(stepping)寬度進(jìn)行移動。而且，載物臺102被設(shè)置成也能夠沿Z方向(垂直方向)移動。并且，載物臺102上設(shè)置有未圖示且反射率已知的標(biāo)準(zhǔn)反射板(下面設(shè)為標(biāo)準(zhǔn)白色板)。由此，根據(jù)參照反射板與基板101的反射光強度的差異，可以求出被測定物的相對反射率。
這里，參照圖2，對反射測定部107的構(gòu)成進(jìn)行說明。圖2是表示反射測定部107的構(gòu)成的一個例子的圖。如圖2所示，反射測定部107包括第一照明光源103和第一檢測器104。第一照明光源103和第一檢測器104被配置在載物臺102的上部。第一照明光源103以任意的入射角度θ按直線狀對沿著基板101的一條邊的區(qū)域照射照明光。作為第一照明光源103，例如可以采用氙氣燈(xenon lamp)等。
從第一照明光源103對基板101入射的光的入射角度θ如圖2的虛線所示，可以通過使第一照明光源103的角度發(fā)生變化而進(jìn)行改變?；蛘?，通過使載物臺1沿Z方向(垂直方向)移動，也能夠改變從第一照明光源103對基板101入射的光的入射角度θ。
第一檢測器104接收從第一照明光源103對基板101照射光后來自基板101的反射光，對反射光強度進(jìn)行測定。在第一檢測器104上，設(shè)置有沿著基板101的一條邊被配置成近似帶狀的多個受光元件(未圖示)。即，在第一檢測器104上配置有多個受光元件，來接收沿著基板101一條邊的區(qū)域的反射光。而且，第一檢測部104上設(shè)置有測定部，用于對通過多個受光元件接收的反射光的強度進(jìn)行測定。
圖3表示這樣的檢測器104與基板101、載物臺102、第一照明光源103的配置關(guān)系。如圖3所示，按照與基板101的一條邊平行地配置多個受光元件的方式配置檢測器104。通過載物臺102沿著圖3中白色箭頭所示的方向移動，被載置于載物臺102上的基板101也沿著圖3中白色箭頭所示的方向移動。由此，基板101沿著與直線排列的第一檢測器104的受光元件的排列方向成直角的方向水平移動。即，以檢測器104與基板101的表面保持一定距離的狀態(tài)，載置有基板101的載物臺102相對基板101的一條邊沿著垂直方向移動。而且，通過相對基板101的表面使載物臺102順次平行移動，來反復(fù)進(jìn)行反射光強度的測定，可以測定基板101的反射光強度的二維分布數(shù)據(jù)。在該第一檢測器104中，基于測定后的反射光強度的二維分布數(shù)據(jù)，可以在短時間內(nèi)容易地得到基板101的反射率的二維分布數(shù)據(jù)。
接著，參照圖4對散射測定部108的構(gòu)成進(jìn)行說明。圖4是表示散射測定部108的構(gòu)成的一個例子的圖。散射測定部108對向基板101照射的來自第二照明光源105的環(huán)狀照明光從基板101被垂直反射的反射光強度進(jìn)行測定，由此來測定散射特性。
散射測定部108包括第二照明光源105和第二檢測器106。第二照明光源105對基板101照射環(huán)狀的光。作為第二照明光源105，例如可以使用氙氣燈以及光纖(fiber)。使來自氙氣燈的光入射到多根光纖中。而且，將多個光纖的光射出面配置成環(huán)狀。由此，能夠得到將光照射成環(huán)狀的照明光源。
如圖4所示，第二照明光源105按照其環(huán)狀面與基板101的表面近似平行的方式，被配置在基板101的正上方。而且，從第二照明光源105照射的光，照射在將環(huán)狀面的中心與基板101表面垂直連接的線和基板101的表面相交的位置處。通過該第二照明光源105而被照射光的基板101的區(qū)域，成為被測定區(qū)域P。即，通過環(huán)狀面的中心與基板101的表面垂直的直線和基板101的交點成為照射區(qū)域P。另外，第二檢測器106配置在與第二照明光源105的中心對應(yīng)的位置處。
而且，將連接第二照明光源105和被測定區(qū)域P的線，與連接環(huán)狀面的中心和被測定區(qū)域P的線所成的角度，設(shè)定為從第二照明光源105照射的照明光相對基板101的入射角度Φ。該第二照明光源105的入射角度Φ可以通過使第二照明光源105沿Z方向(垂直方向)移動而改變。即，通過改變第二照明光源105與基板101的距離，使從第二照明光源105照射的照明光相對基板101的入射角Φ變化。例如如圖4所示，通過使第二照明光源105從圖4中虛線所示的位置向?qū)嵕€所示的位置移動，可以縮短第二照明光源105與基板101的距離，使得第二照明光源105的入射角度Φ變化為入射角度Φ′?；蛘撸ㄟ^使載物臺102沿Z方向(垂直方向)移動，縮短第二照明光源105與基板101的距離，也能夠使來自第二照明光源105的光向基板101的入射角度Φ改變?yōu)槿肷浣嵌圈怠洹?br> 如圖4所示，第二檢測器106被配置在第二照明光源105的正上方。即，按照從下到上的順序配置有基板101、第二照明光源105、第二檢測器106。而且，第二照明光源106被配置在將第二照明光源105的環(huán)狀面的中心和基板101的表面垂直連接的線上。即，第二檢測器106被配置在通過環(huán)狀面的中心、與基板101的表面垂直的直線上。
第二檢測器106接收來自第二照明光源105的環(huán)狀照明光被基板101反射后的散射光，來測定散射特性。作為第二檢測器106可采用CCD相機等。CCD相機具有固有的視野角，如果決定了安裝高度，則由此將確定基板101上的測定部分。因此，在想要擴(kuò)大·縮小視野角的時候，也可以將透鏡(lens)等光學(xué)系統(tǒng)放置在CCD相機前，來得到需要的視野角。
這里，對使用上述的反射率測定裝置100來進(jìn)行基板101的反射特性以及散射特性的測定時的測定方法進(jìn)行說明。首先，進(jìn)行基板101的反射特性測定。具體而言，最初將該基板101載置到載物臺102上。
然后，使載物臺102移動到反射測定部107的初始位置。之后，從第一照明光源103向基板101照射照明光，并利用第一檢測器104接收來自基板101的反射光。從基板101的一條邊到與該一條邊對置的邊為止，同樣地從第一照明光源103向基板101照射照明光，并通過第一檢測器104接收來自基板101的反射光。由此，可容易地在短時間內(nèi)測定出基板面內(nèi)的反射光強度的二維分布數(shù)據(jù)?？梢愿鶕?jù)該反射光強度分布和預(yù)先測定的標(biāo)準(zhǔn)白色板的反射光強度分布得到基板101的反射率的二維分布，由此，能夠簡便地測定反射特性。
此時，使從第一照明光源103照射的照明光切換為某一既定的波長而分光。例如，可以通過在照明光源103與檢測器104之間配置帶通濾波器(band-pass-filter)等波長切換機構(gòu)等來實現(xiàn)。測定可以通過一種波長來實施，也可以更加詳細(xì)地采用多種波長來實施。由此，可以更高精度地進(jìn)行反射光強度的測定。
接著，進(jìn)行散射特性測定。移動載物臺102，以使第二照明光源105被配置于基板101上的被測定區(qū)域P。即，被測定區(qū)域P被配置在成為環(huán)形狀的第二照明光源105的正下方的位置。然后，從第二照明光源105照射照明光，利用第二檢測器106接收來自被測定區(qū)域P的反射光，來測定散射特性。由此，不需要通過其他途徑進(jìn)行散射特性的測定，可以通過同一裝置進(jìn)行基板101的反射特性和散射特性測定。
并且，為了詳細(xì)地研究散射特性，也可以傾斜載物臺102進(jìn)行測定。由此，可進(jìn)一步研究細(xì)致的散射特性。
實施方式2在實施方式2中，說明作為被測定物，對以矩陣(matrix)狀形成有液晶顯示面板用的多個圖案的基板101進(jìn)行測定的情況。反射率測定裝置100采用上述圖1所示的設(shè)備。因此，反射率測定裝置100的結(jié)構(gòu)與圖1相同，故省略重復(fù)的說明。
圖5表示基板101的構(gòu)成。如圖5所示，液晶顯示面板用的圖案109以二維矩陣方式被配置于基板101上。如圖5所示，將某一基板101的角作為基準(zhǔn)點110，例如將橫方向按字母表(alphabet)順序標(biāo)注為A、B、C、D、......，將縱方向標(biāo)注為1、2、3、4、......的號碼，通過將這二者組合，設(shè)定圖案109的地址(address)。
設(shè)置于反射率測定裝置100中的載物臺102，能夠以任意設(shè)定的步進(jìn)寬度沿X-Y方向(水平方向)移動。步進(jìn)寬度根據(jù)形成于基板101的液晶顯示面板用的圖案位置而設(shè)定。
這里，參照圖6，對采用上述的反射率測定裝置100來測定這種基板101的反射特性以及散射特性的測定方法進(jìn)行說明。在此所說明的測定方法，是反射型或半透過型液晶顯示面板制造工序的一部分。即，該測定方法用于下述工序中，即，不是在最終從基板切出而完成了的液晶顯示面板的狀態(tài)下，而是在多個液晶顯示面板的圖案被配置形成在基板上的基板101的狀態(tài)下，測定形成在基板上的反射膜的反射特性以及散射特性，來對優(yōu)良品、不良品進(jìn)行檢查。
圖6是對采用上述的反射率測定裝置100、測定反射特性以及散射特性的測定方法進(jìn)行說明的流程圖(flow chart)。首先，進(jìn)行基板101的反射特性測定(步驟(step)S101)。具體而言，首先將該基板101載置到載物臺102上。此時，基板101的基準(zhǔn)點110成為載物臺102的原點。
然后，使載物臺102移動至反射測定部107的初始位置。此時，第一檢測器104的各受光元件沿著在基板101上形成的A列圖案109而配置。之后，從第一照明光源103以線(line)狀對基板101照射照明光，并通過第一檢測器104接收來自基板101的反射光。即，統(tǒng)一進(jìn)行屬于A列的1～9的圖案109的反射光強度測定。
接著，移動載物臺102，以使基板101上的B列的圖案109成為與第一檢測器104對應(yīng)的位置。然后，同樣從第一照明光源103向基板101照射照明光，并通過第一檢測器104接收來自基板101的反射光。即，統(tǒng)一進(jìn)行屬于B列的1～9的圖案109的反射特性測定。通過從A至I列反復(fù)進(jìn)行這些動作，對基板101整體的反射特性進(jìn)行測定。由此，能夠容易地在短時間內(nèi)測定出基板面內(nèi)的反射光強度的二維分布數(shù)據(jù)。
此時，使從第一照明光源103照射的照明光分光為某一既定的波長。測定可以通過一種波長實施，也可以更詳細(xì)地采用多種波長來實施。由此，可進(jìn)一步高精度地進(jìn)行反射特性的測定。
然后，通過測定后的反射光強度進(jìn)行各圖案109的合格與否判斷(步驟S102)。具體而言，比較步驟S101的測定結(jié)果和預(yù)先測定的標(biāo)準(zhǔn)采樣的反射光強度，進(jìn)行合格與否判斷。例如，在本實施方式中，相對標(biāo)準(zhǔn)采樣的反射強度1，將測定結(jié)果小于0.8的圖案109設(shè)為NG(步驟S103)。另外，將測定結(jié)果為0.8以上的圖案109判斷為OK。由此，在基板101上，混雜著被判斷為NG的圖案109和被判斷為OK的圖案109。
接著，以反射特性測定中被判斷為OK的圖案109為對象，進(jìn)行散射特性測定(步驟S104)。移動載物臺102，以使第二照明光源105被配置在基板101上的圖案109中被判斷為OK的圖案109上。即，判斷為OK的圖案109被配置在成為環(huán)形狀的第二照明光源105的正下方的位置。然后，從第二照明光源105照射照明光，通過第二檢測器106接收來自被判斷為OK的圖案的反射光。對被判斷為OK的所有對象圖案109實施該測定。
然后，利用該散射特性的測定結(jié)果，對產(chǎn)品規(guī)格進(jìn)行合格與否的判斷(步驟S105)。由此，不滿足既定的合格與否判斷基準(zhǔn)的圖案109被判斷為NG(步驟S106)，而僅有符合(clear)合格與否判斷基準(zhǔn)的圖案109被判斷為OK(步驟S107)。
并且，為了詳細(xì)研究散射特性，也可以使載物臺102傾斜來進(jìn)行測定。由此，能夠進(jìn)一步細(xì)致地研究散射特性。
這樣，由于在謀求高的反射率和良好的散射特性的反射型或者半透過型液晶顯示面板的制造工序中，能夠高效地在短時間內(nèi)測定、檢查像素顯示部的反射特性以及散射特性，所以，可高效地制造明亮、顯示質(zhì)量高的反射型或半透過型液晶顯示面板。
而且，不是在最終從基板切出而完成了的液晶顯示面板的狀態(tài)下，而是在多個液晶顯示面板的圖案配置形成在基板上的狀態(tài)下，對反射膜的反射特性以及散射特性進(jìn)行測定，所以，能夠在短時間內(nèi)檢查出優(yōu)良品、不良品。因此，能夠?qū)l(fā)生了反射顯示不良品的情況下的制造成本(cost)抑制為最小限度。
并且，利用反射光強度的測定結(jié)果中的合格與否判斷首先進(jìn)行第一篩選，從而可以僅將符合該第一篩選的OK產(chǎn)品作為最終散射特性的測定對象。由此，能夠高效地進(jìn)行液晶顯示面板用的圖案109的合格與否判斷。因此，通過可縮短圖案109的檢查時間，能夠使生產(chǎn)率提高。
另外，在本實施方式中，將來自第二照明光源105的入射角作為一個條件，但也可以作為兩個條件以上。即，在對判斷為OK的圖案109的散射特性進(jìn)行測定之后，使載物臺102沿Z方向移動。也就是說，使第二照明光源105與基板101之間的距離改變，能夠再次同樣地進(jìn)行散射特性測定。由此，可得到更加詳細(xì)的測定結(jié)果，從而能夠進(jìn)行更加細(xì)致的合格與否判斷。
而且，產(chǎn)品規(guī)格的重點不在于散射特性，在僅設(shè)定了任意角度θ下的反射光強度時，也可以省略散射特性測定。即，也可以僅通過反射特性測定的結(jié)果進(jìn)行圖案109的合格與否判斷。
并且，也可以省略反射特性測定，而僅測定散射特性?？梢酝ㄟ^現(xiàn)在得到的結(jié)果的任意角度Φ的反射光強度，進(jìn)行反射光強度的合格與否判斷。另外，也可以通過測定反射特性測定中成為NG的圖案的散射特性，進(jìn)行NG圖案的散射特性的分析。
這樣，本實施方式所涉及的反射率測定裝置100，在同一裝置(單元)中兼具反射測定部107和散射測定部108。因此，可得到能夠容易地在短時間內(nèi)測定出基板面內(nèi)的反射光強度的二維分布數(shù)據(jù)、來測定反射特性、并且能夠高效測定散射特性的反射率測定裝置、反射率測定方法以及顯示面板的制造方法。
權(quán)利要求
1.一種反射率測定裝置，包括對作為被測定物的基板進(jìn)行載置的載物臺；對載置于前述載物臺的前述基板照射照明光的照明機構(gòu)；和具備受光元件的檢測器，所述受光元件接收從前述照明機構(gòu)照射的照明光中被前述基板反射的反射光；其特征在于，前述照明機構(gòu)具備以任意的角度對前述基板照射照明光的第一照明光源、和以環(huán)狀對前述基板照射照明光的第二照明光源。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射率測定裝置，其特征在于，前述檢測器具備多個第一受光元件，該第一受光元件接收從前述第一照明光源照射的照明光中被前述基板反射的反射光，并以平行于前述基板的一條邊的方式近似帶狀地排列，通過前述多個第一受光元件一次測定沿著前述基板一條邊的區(qū)域的反射光強度，一邊順次使前述基板沿著與前述基板的一條邊垂直的方向移動，一邊反復(fù)進(jìn)行反射光強度的測定，來測定前述基板的反射光強度的二維分布。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的反射率測定裝置，其特征在于，前述第二照明光源按照其環(huán)狀面與前述基板的表面大致平行的方式被配置在前述基板的正上方，前述檢測器具備第二受光元件，該第二受光元件被配置在前述第二照明光源的上方，并且被配置在垂直連接環(huán)狀面的中心和基板表面的線上。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的反射率測定裝置，其特征在于，從前述第一照明機構(gòu)到前述第一受光元件之間，具備將照明光或者反射光切換為任意波長的波長切換機構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的反射率測定裝置，其特征在于，在前述載物臺上設(shè)置有反射率已知的標(biāo)準(zhǔn)的參照反射板。
6.一種反射率測定方法，通過具有照明機構(gòu)的反射率測定裝置對反射率進(jìn)行測定，所述照明機構(gòu)設(shè)置有第一照明光源和環(huán)狀的第二照明光源，所述反射率測定方法的特征在于，將作為被測定物的基板載置于載物臺，以任意的入射角從前述第一照明光源對前述基板照射照明光，通過第一受光元件測定來自前述基板的反射光的強度，并使載物臺從來自前述第一照明光源的照明光入射到前述基板的位置，向來自前述第二照明光源的照明光入射到前述基板的位置移動，從前述第二照明光源對前述基板照射照明光，并通過第二受光元件測定來自前述基板的反射光的強度。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的反射率測定方法，其特征在于，通過以平行于前述基板的一條邊的方式近似帶狀地排列的多個第一受光元件，一次進(jìn)行沿著前述基板一條邊的區(qū)域的反射光強度測定，并沿著與前述基板的一條邊垂直的方向，使前述基板從前述一條邊順次水平移動至對置的另一條邊，反復(fù)進(jìn)行反射光強度的測定，來測定前述基板的反射率的二維分布數(shù)據(jù)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的反射率測定方法，其特征在于，從前述第二照明光源對前述基板照射照明光，在對來自前述基板的反射光進(jìn)行測定之后，使前述基板與前述第二照明光源的距離改變，來使從前述第二照明光源照射到前述基板的照明光的有效入射角度發(fā)生變化，對來自前述基板的反射光強度進(jìn)行測定。
9.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的反射率測定方法，其特征在于，省略利用前述第二受光元件的測定。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的反射率測定方法，其特征在于，省略利用前述第一受光元件的測定。
11.一種顯示面板的制造方法，其特征在于，在基板上形成顯示面板用的圖案，通過權(quán)利要求6或7的反射率測定方法進(jìn)行前述圖案的檢查。
12.一種顯示面板的制造方法，通過權(quán)利要求6或7所述的反射率測定方法對圖案進(jìn)行檢查，其特征在于，在前述基板上形成多個顯示面板用的圖案，從前述第一照明光源照射光，進(jìn)行前述圖案的優(yōu)良與否判斷，基于前述判斷結(jié)果，從前述第二照明光源對判斷為優(yōu)良品的圖案照射光，進(jìn)行圖案的檢查。
全文摘要
得到能夠高效測定基板面內(nèi)的反射特性和散射特性的反射率測定裝置。本發(fā)明的一個方式所涉及的反射率測定裝置(100)，包括對作為被測定物的基板(101)進(jìn)行載置的載物臺(102)；對載置于載物臺(102)的基板(101)照射照明光的第一照明光源(103)和第二照明光源(105)；和具備受光元件的第一檢測器(104)和第二檢測器(106)，所述受光元件接收從該第一照明光源(103)和第二照明光源(105)照射的照明光中被基板(101)反射的反射光；第一照明光源(103)以任意的角度對基板(101)照射光，第二照明光源(105)以環(huán)狀對基板(101)照射光。
文檔編號G02F1/1333GK101017254SQ200610153180
公開日2007年8月15日 申請日期2006年12月11日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月9日
發(fā)明者古藤直樹, 井上和式 申請人:三菱電機株式會社