專利名稱：正型感光性樹脂組合物的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及正型感光性樹脂組合物。
背景技術：
一般認為正型感光性材料是正錐的，并且是高分辨率的。就這一觀點而言，由重氮萘醌和酚醛清漆樹酯得到的光致抗蝕劑或使用光酸發(fā)生劑的化學增幅型材料得到了推廣應用。但是當作為覆蓋絕緣材料或層間絕緣材料等結構材料，使用前者時，機械強度和電性能差。同時關于后者，由于使用光酸發(fā)生劑，所以很難用于要求電氣可靠性的用途當中。
為了解決這些問題，本發(fā)明者曾經提供過機械強度以及電氣可靠性優(yōu)異的1，4-二氫吡啶衍生物和聚酰亞胺前體樹脂組成的正型感光性材料及其制造方法(例如參照特開平05-005995號公報以及特開平05-281717號公報)。
但是前述正型感光性材料在膜厚為5μm或5μm以上形成圖象時的對比度低，同時很難提供低彈性的材料。
因此本發(fā)明以克服這些問題點，提供低彈性、高耐熱性并且高分辨率的正型感光性樹脂組合物為目的。
通過下述說明，本發(fā)明的這些目的和其它目的將更加明確。

發(fā)明內容
也就是，本發(fā)明涉及正型感光性樹脂組合物，它含有(A)聚酰胺酸、(B)通式(II)
(式中，R2為一價有機基團，R3、R4、R5和R6各自獨立地表示氫或一價有機基團，Ar-NO2表示在鄰位具有硝基的芳香族烴基)所示的1，4-二氫吡啶衍生物，以及(C)胺化合物。
如果按照本發(fā)明，可以提供低彈性、高耐熱并且高分辨率的正型感光性樹脂組合物(以下有時簡單稱為組合物)。
具體實施例方式
本發(fā)明的正型感光性樹脂組合物的特征是含有(A)聚酰胺酸，(B)通式(II) (式中，R2為一價有機基團，R3、R4、R5和R6各自獨立地表示氫或一價有機基團，Ar-NO2表示在鄰位具有硝基的芳香族烴基)所示的1，4-二氫吡啶衍生物以及(C)胺化合物。
由于具有這些特征，本發(fā)明的正型感光性樹脂組合物可以取得具有低彈性模量、高耐熱性和高分辨率的效果。更詳細的情況是本發(fā)明的正型感光性樹脂組合物的固化物具有在25℃時的儲能彈性模量為1GPa或1GPa以下，在250℃時的儲能彈性模量為1MPa或1MPa以上的特性。因此本發(fā)明的正型感光性樹脂組合物可以形成正型感光性圖形，并且可利用于制造要求高可靠性的高密度器件。
(A)成分的聚酰胺酸，例如可以通過把四羧酸二酐和二胺以實質上等摩爾比在有機溶劑中進行反應而獲得。
作為(A)成分的聚酰胺酸，優(yōu)選在其骨架中具有通式(I) 所示結構單元的聚酰胺酸。式中R1為甲基或其它有機基團。作為其它有機基團，可以列舉如甲基以外的烷基，苯甲基、苯基等芳香族基團，含氟烷基，鹵代烷基，聚烯化氧基等。作為R1，優(yōu)選甲基以及苯基，更優(yōu)選甲基。n表示平均聚合度，n為2或2以上至50或50以下，優(yōu)選2或2以上至25或25以下，更優(yōu)選2或2以上至12或12以下。該聚酰胺酸可以通過把四羧酸二酐和具有通式(I) (式中，R1為甲基或其它有機基團，n表示平均聚合度，為2或2以上至50或50以下，優(yōu)選2或2以上至12或12以下)所示結構單元的二胺以實質上等摩爾比在有機溶劑中進行反應而獲得。
作為四羧酸二酐，可以列舉如3，3’，4，4’-聯苯四羧酸二酐、2，2’，3，3’-聯苯四羧酸二酐、3，3’，4，4’-二苯甲酮四羧酸二酐、2，2’，3，3’-二苯甲酮四羧酸二酐、4，4’-羥基聯鄰苯二甲酸二酐、2，2-雙(2，3-二羧基苯基)六氟丙烷二酐、2，2-雙(3，4-二羧基苯基)六氟丙烷二酐(6FDA)、雙(2，3-二羧基苯基)甲烷二酐、雙(3，4-二羧基苯基)甲烷二酐、雙(2，3-二羧基苯基)砜二酐、雙(3，4-二羧基苯基)砜二酐、苯均四酸二酐、乙二醇雙偏苯三酸二酐等，這些四羧酸二酐，可以單獨使用，也可以配合2種或2種以上使用。
作為二胺，可以使用通式(III) (式中，R7是亞烷基，n表示平均聚合度，為2或2以上至50或50以下，優(yōu)選2或2以上至25或25以下，更優(yōu)選2或2以上至12或12以下)所示的端二氨基硅氧烷低聚物。當n低于2時，很難使本發(fā)明組合物的固化物實現低彈性；當n大于50時，形成由硅氧烷區(qū)域導致的海島結構，很難得到高分辨率。作為該端二氨基硅氧烷低聚物，例如可以使用市場上出售的硅氧烷二胺(例如東芝シリコ-ン公司制的TSL9346，東レダウコ-ニンゲシリコ-ン公司制的BY16-853C等)。
通過前述端二氨基硅氧烷低聚物向本發(fā)明組合物中導入的硅氧烷基的導入量，在組合物總體中，優(yōu)選為10～90重量％，更優(yōu)選為30～60重量％。如果導入量在10重量％或10重量％以上，則很容易實現低彈性，可以得到良好的正型圖像；如果在90重量％或90重量％以下，則可以得到良好的顯影性。
作為二胺，除前述端二氨基硅氧烷低聚物外，還可以使用4，4’-二氨基二苯基醚、3，4’-二氨基二苯基醚、3，3’-二氨基二苯基醚、間苯二胺、對苯二胺、4，4’-二氨基二苯基丙烷、3，3’-二氨基二苯基丙烷、4，4’-二氨基二苯基甲烷、3，3’-二氨基二苯基甲烷、4，4’-二氨基二苯硫、3，3’-二氨基二苯硫、4，4’-二氨基二苯基砜、3，3’-二氨基二苯基砜、1，4-雙(4-氨基苯氧基)苯、1，3-雙(4-氨基苯氧基)苯、1，3-雙(3-氨基苯氧基)苯、1，3-雙(4-氨基苯氧基)-2，2-二甲基丙烷、六亞甲基二胺、1，8-二氨基辛烷、1，12-二氨基十二烷、4，4’-二氨基二苯甲酮、α，ω-雙氨基丙基四甲基二硅氧烷等，這些二胺，可以單獨使用，也可以配合2種或2種以上使用。
作為溶劑，可以列舉如N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮、N，N-二甲基甲酰胺等。為了調節(jié)原材料的溶解性，除前述溶劑之外，還可以進一步使用甲苯、二甲苯等非極性溶劑。
前述聚酰胺酸，可以通過相對于前述溶劑100重量份，優(yōu)選添加四羧酸二酐5～100重量份以及二胺2～50重量份進行反應而獲得。更具體的是可以通過使二胺溶解于溶劑，接著添加四羧酸二酐進行反應來制備聚酰胺酸。
四羧酸二酐和二胺的摩爾比(四羧酸二酐/二胺)優(yōu)選為4/5～5/4，更優(yōu)選19/20～20/19。
只要是可以得到所需的聚酰胺酸，則對反應溫度和時間沒有限定，例如作為反應溫度，通常為0～120℃，優(yōu)選20～90℃；作為反應時間，通常為30分鐘～100小時，優(yōu)選3～72小時。
聚酰胺酸，反應結束后，通常是作為溶液得到的，把該溶液滴入到甲醇、水等不良溶劑中使其沉淀，然后進行過濾干燥，也可以分離出聚酰胺酸。
本發(fā)明組合物中聚酰胺酸的含量，也就是四羧酸二酐和二胺的總量，在組合物中優(yōu)選為30～90重量％，更優(yōu)選為60～85重量％。
(B)成分的1，4-二氫吡啶衍生物，在正型感光性樹脂組合物中起到作為感光劑的作用，用通式(II)表示。
(式中，R2為一價有機基團，R3、R4、R5和R6各自獨立地表示氫或一價有機基團，Ar-NO2表示在鄰位具有硝基的芳香族烴基)。作為一價的有機基團，可以列舉如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、叔丁基、異丁基、苯甲基、苯基以及它們的衍生物等。
作為其具體例子，可以列舉如1-乙基-3，5-二甲氧基羰基-4-(2-硝基苯基)-1，4-二氫吡啶、1-乙基-3，5-二甲氧基羰基-4-(2，4-二硝基苯基)-1，4-二氫吡啶、1，2，6-三甲基-3，5-二甲氧基羰基-4-(2-硝基苯基)-1，4-二氫吡啶、2，6-二甲基-3，5-二乙?；?4-(2-硝基苯基)-1，4-二氫吡啶、1-羧基乙基-3，5-二甲氧基羰基-4-(2-硝基苯基)-1，4-二氫吡啶、1-[2-(二甲基氨基)乙基]-3，5-二甲氧基羰基-4-(2-硝基苯基)-1，4-二氫吡啶等。其中，優(yōu)選1-乙基-3，5-二甲氧基羰基-4-(2-二硝基苯基)-1，4-二氫吡啶或1，2，6-三甲基-3，5-二甲氧基羰基-4-(2-硝基苯基)-1，4-二氫吡啶。這些物質可以單獨使用，也可以配合2種或2種以上使用。
本發(fā)明組合物中的1，4-二氫吡啶衍生物相對于四羧酸二酐和二胺總量100重量份的含量優(yōu)選為5～30重量份，更優(yōu)選10～20重量份。如果1，4-二氫吡啶衍生物的含量在5重量份或5重量份以上，則形成圖形時的對比度不容易降低；如果在30重量份或30重量份以下，可以制備物性良好的組合物。
(C)成分的胺化合物，可以是伯胺化合物、仲胺化合物或叔胺化合物的任意一種，這些胺化合物，可以單獨使用，也可以配合2種或2種以上使用。
作為伯胺化合物，可以列舉如作為前述聚酰胺酸原料所使用的胺，除此之外，還可以列舉乙醇胺、3-氨基安息香酸、4-氨基安息香酸、1-氨基蒽、1-氨基蒽醌等。
作為仲胺化合物，可以列舉二乙醇胺、N-甲基苯胺、二苯基胺、N，N-二甲基乙二胺、1-(甲基氨基)蒽醌、9-(甲基氨基乙基)蒽等。
作為叔胺化合物，可以列舉脂肪族叔胺化合物，含氮雜環(huán)化合物等。
作為脂肪族叔胺化合物，可以列舉如三芐基胺等高沸點叔胺等。
作為含氮雜環(huán)化合物，可以列舉咪唑類、苯并咪唑類、嘌呤類、吡啶類、噠嗪類、嘧啶類、吡嗪類、三嗪類、喹啉類、異喹啉類、吖啶類等具有基于氮的非共價電子對的化合物。作為具體例子可以列舉咪唑、N-甲基咪唑、2-甲基咪唑、2-乙基-4-甲基咪唑、2-苯基咪唑、1-苯甲基-2-甲基咪唑、2-苯基-4-甲基咪唑、1-氨基乙基-2-甲基咪唑、2-苯基-4-甲基-5-羥基甲基咪唑等咪唑類，吡啶、甲基吡啶、二甲基吡啶、丙基吡啶、4-二甲基氨基吡啶等吡啶類等。
本發(fā)明組合物中的胺化合物相對于四羧酸二酐和二胺的總量100重量份的含量優(yōu)選為0.5～30重量份，更優(yōu)選1～15重量份。如果胺化合物的含量在0.5重量份或0.5重量份以上，則形成圖形時的對比度不容易降低；如果在30重量份或30重量份以下，則可以制備物性良好的組合物。
本發(fā)明組合物可以把(A)成分、(B)成分和(C)成分混合進行制備。具體可以使四羧酸二酐和二胺在有機溶劑中進行反應，得到聚酰胺酸溶液，在該溶液中添加1，4-二氫吡啶衍生物和胺化合物，使其溶解進行制備。
通過以上操作得到的本發(fā)明的正型感光性樹脂組合物，具有其固化物的儲能彈性模量在25℃時為1GPa或1GPa以下；在250℃時為1MPa或1MPa以上的特性。同時本發(fā)明的正型感光性樹脂組合物還具有低彈性、高耐熱性和高分辨率優(yōu)異的特性。
另外，作為(A)成分，除端二氨基硅氧烷低聚物以外，還和亞烷基直接結合在芳香環(huán)上的通式(IV)H2N-R-Ar-R-NH2(IV)(式中，R表示碳原子數為1～3亞烷基、Ar為芳基)所示的二胺配合使用，與4，4’-羥基聯鄰苯二甲酸酐(ODPA)或3，3’，4，4’-聯苯四羧酸二酐(BPDA)反應，使用由此得到的聚酰胺酸時，除了低彈性、高耐熱性、高分辨率之外，還提高在i線(波長365nm)處的透過率，從而可以用i線曝光來形成圖形。本說明書中，所謂“固化物的儲能彈性模量”是指把本發(fā)明的組合物溶解在溶劑中后，通過旋轉涂布機將其涂布在100mm×100mm的25μm SUS304箔上，在100℃的烘箱內干燥10分鐘，然后在氮氣氣氛中于300℃下處理2小時得到的厚度為15μm的薄膜(固化物)的儲能彈性模量。
儲能彈性模量，可以通過后面實施例中敘述的方法進行測定。
本發(fā)明的組合物，例如，按如下所述形成圖形。也就是，把前述組合物溶解在有機溶劑中，得到樹脂溶液，把該樹脂溶液涂布到適當的被附著物上，使其干燥形成涂膜，利用光掩模進行曝光，接著進行熱處理，然后進行顯影處理。最后，在高溫下進行熱處理，由此可以得到具有正型圖形形狀的樹脂層。
作為上述有機溶劑，可以列舉如N-甲基-2-吡咯烷酮、N，N-二甲基乙酰胺、N，N-二甲基甲酰胺等。
作為被附著物，可以列舉如硅片等襯底等。
作為向被附著物上涂布的方法，可以列舉使用旋轉涂布法、噴涂法等直接涂布在被附著物上的方法，使用コンマ涂布法、浸漬(fountain)涂布法、凹版印刷法等在PET薄膜或聚酰亞胺薄膜上形成涂層，然后再將該涂層轉印或疊層到被附著物上的方法等。
曝光，可以采用紫外線、電子射線、微波等光化射線。并且，曝光后，在顯影前進行的熱處理的溫度通常為120～180℃，時間通常為30秒～30分鐘。
作為顯影液，優(yōu)選使用堿水溶液，為了調節(jié)顯影時間，在顯影液中可以添加醇或表面活性劑。
最后熱處理時的溫度通常為200℃～400℃，為了防止樹脂層氧化老化，優(yōu)選在氮氣氣氛或在真空等隋性氣氛中進行熱處理。
通過以上操作，就可以在被附著物上形成具有低彈性、高耐熱性，并且高分辨率的圖形化樹脂層。
實施例以下列舉實施例，進一步說明本發(fā)明的情況。但是本發(fā)明不受這些實施例的限定。
以下匯總示出實施例中的評價方法。
1.儲能彈性模量使用粘彈性測定裝置RSA-II(Rheometric Scientific公司制)，用拉伸模式，在頻率1Hz、應變0.3％的條件下進行測定。
2.分辨率使用分辨率測試標板進行曝光，以開孔而成的最小通路直徑作為分辨率。
3.殘膜率(1)顯影時的殘膜率測定顯影前和顯影后的膜厚度，使用下面的計算式計算出顯影時的殘膜率。
顯影時的殘膜率(％)＝(顯影后的膜厚度)/(顯影前的膜厚度)×100
(2)固化時的殘膜率測定固化后和顯影后的膜厚度，使用下面的計算式計算出固化時的殘膜率。
固化時的殘膜率(％)＝(固化后的膜厚度)/(顯影后的膜厚度)×100實施例1把化學式(V) (式中，n為5)所示的硅氧烷二胺(東芝シリコ-ン公司制，TSL9346)37.5g和4，4’-二氨基二苯基醚(以下簡稱為DDE)13.8g溶解于N，N-二甲基乙酰胺(以下簡稱為DMAc)240g中。接著再加入苯均四酸二酐(以下簡稱為PMDA)30.0g，使其在室溫下反應24小時。
接著再添加1-乙基-3，5-二甲氧基羰基-4-(2-硝基苯基)-1，4-二氫吡啶12.2g和咪唑1.6g，使其溶解，得到本發(fā)明的正型感光性樹脂組合物的樹脂溶液。
采用旋轉涂布機把該樹脂溶液涂布到硅片上，在100℃的熱板上干燥3分鐘，得到14μm厚的薄膜。通過具有分辨率測試標板的光掩模，用500W超高壓水銀燈對該薄膜進行3分鐘曝光，在150℃熱板上加熱5分鐘后，測定薄膜厚度(顯影前的膜厚)。然后使用10％氫氧化四甲基銨(以下簡稱為TMAH)水溶液/乙醇＝1/1的顯影液進行顯影直至溶解除去曝光部分(30秒～1分鐘左右)。水洗后測定薄膜厚度(顯影后的膜厚)和薄膜的分辨率，再于不銹鋼制的加熱爐中，在氮氣氣氛中，用300℃進行1小時加熱處理使薄膜固化，測定薄膜的厚度(固化后的膜厚)。通過這些測定結果，計算出顯影時的殘膜率和固化時的殘膜率，把結果出示在表1中。
接著，用旋轉涂布機把上述樹脂溶液涂在100mm×100mm的25μm SUS304箔上，在100℃的烘箱中干燥10分鐘。然后于不銹鋼制的加熱爐中，在氮氣氣氛中，用300℃進行2小時加熱處理，在SUS304箔上制備15μm厚的薄膜(固化物)。用氯化鐵溶液腐蝕除去SUS304箔后，按照前述方法，測定在25℃和250℃時固化物的儲能彈性模量。把結果出示在表1中。
實施例2把化學式(VI) (式中n＝8)所示的硅氧烷二胺(東レダウコ-ニング公司制的BY16-853C)52.0g和DDE17.7g添加到N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)195g中，攪拌至DDE溶解。接著加入PMDA 35.0g反應1小時。再把反應液加熱到70℃，攪拌5小時，得到透明溶液。冷卻后，添加1-乙基-3，5-二乙氧基羰基-4-(2-硝基苯基)-1，4-二氫吡啶15.7g和咪唑2.1g，使其溶解得到本發(fā)明的正型感光性樹脂組合物。
采用旋轉涂布機把該樹脂溶液涂布到硅片上，在100℃的熱板上干燥5分鐘，得到14μm的薄膜。通過具有分辨率測試標板的光掩模，用500W超高壓水銀燈對該薄膜進行3分鐘曝光，在150℃熱板上加熱5分鐘后，測定薄膜厚度(顯影前的膜厚)。然后使用10％TMAH水溶液/乙醇＝1/1的顯影液進行顯影直至溶解除去曝光部分。水洗后測定薄膜厚度(顯影前的膜厚)和薄膜的分辨率，再于不銹鋼制的加熱爐中，在氮氣氣氛中，用330℃進行1小時加熱處理使薄膜固化，測定薄膜的厚度(固化后的膜厚)。通過這些測定結果，計算出顯影時的殘膜率和固化時的殘膜率，把結果出示在表1中。
接著，用旋轉涂布機把上述樹脂溶液涂在100mm×100mm的25μm SUS箔上，在100℃的烘箱中干燥10分鐘。然后于不銹鋼制的加熱爐中，在氮氣氣氛中，用330℃進行1小時加熱處理，在SUS304箔上制備15μm厚的薄膜。用氯化鐵腐蝕除去SUS304箔后，按照前述方法，測定在25℃和250℃時固化物的儲能彈性模量。把結果出示在表1中。
實施例3使用4-二甲基氨基吡啶3.1g替代使用咪唑，除此之外進行與實施例2相同的操作，得到本發(fā)明的正型感光性樹脂組合物的樹脂溶液。對于所得到的樹脂溶液，進行與實施例1相同的操作，測定顯影時的殘膜率、固化時的殘膜率、分辨率和儲能彈性模量。
實施例4把化學式(V) (式中，n＝5)所示的硅氧烷二胺(東芝シリコ-ン公司制，TSL9346)26.4g和4P-苯二胺5.2g溶解到DMAc 250g中，接著再加入4，4’-羥基聯鄰苯二甲酸二酐30.0g，在室溫下反應24小時。
接著再添加1-乙基-3，5-二甲氧基羰基-4-(2-硝基苯基)-1，4-二氫吡啶9.2g和咪唑1.2g，使其溶解，得到本發(fā)明的正型感光性樹脂組合物的樹脂溶液。
對于所得的樹脂溶液，進行與實施例1相同的操作，測定顯影時的殘膜率、固化時的殘膜率、分辨率以及儲能彈性模量。把結果出示在表1中。
實施例5使用4-二氨基二苯基醚2.8g替代使用咪唑，除此之外進行與實施例1相同的操作，得到本發(fā)明的正型感光性樹脂組合物的樹脂溶液。對所得的樹脂溶液，進行與實施例1相同的操作，測定顯影時的殘膜率、固化時的殘膜率、分辨率和儲能彈性模量。把結果出示在表1中。
實施例6把化學式(VII)
(式中，n＝20)所示的硅氧烷二胺(信越シリコ-ン公司制，X-22-161A)53.9g和間二甲苯二胺13.4g添加到NMP 261g中，接著加入4，4’-羥基聯鄰苯二甲酸酐41.0g，在室溫下反應1小時，再將其加熱到70℃，攪拌5小時，得到透明溶液。冷卻后添加1-乙基-3，5-二乙氧基羰基-4-(2-硝基苯基)-1，4-二氫吡啶16.2g和二甲基氨基吡啶3.2g，使其溶解得到本發(fā)明的正型感光性樹脂組合物。
對于所得的樹脂溶液，進行與實施例2相同的操作，測定顯影時的殘膜率、固化時的殘膜率、分辨率以及儲能彈性模量。把結果出示在表1中。
實施例7把化學式(VIII) (式中，n＝10)所示的硅氧烷二胺(東レダウコ-ニング公司制的BY16-853U)53.6g和對二甲苯二胺10.9g添加到NMP 200g中攪拌，接著加入4，4’-羥基聯鄰苯二甲酸酐43g使其反應，得到白濁的溶液。接著將其加熱到70℃攪拌3小時或3小時以上，得到透明的聚酰胺酸溶液。接著添加1-乙基-3，5-二乙氧基羰基-4-(2-硝基苯基)-1，4-二氫吡啶16.1g以及二甲基氨基吡啶3.3g使其溶解，得到本發(fā)明的正型感光性樹脂組合物。
對于所得的樹脂溶液，進行與實施例2相同的操作，測定顯影時的殘膜率、固化時的殘膜率、分辨率以及儲能彈性模量。把結果出示在表1中。
表1

根據表1所示結果分析可知，用實施例得到的感光性樹脂組合物具有低彈性、高耐熱，并且高分辨率的特性。
本發(fā)明的正型感光性樹脂組合物，可用于制造高密度器件。
權利要求
1.正型感光性樹脂組合物，它合有(A)聚酰胺酸、(B)通式(II) 所示的1，4-二氫吡啶衍生物，式中，R2為一價有機基團，R3、R4、R5和R6各自獨立地表示氫或一價有機基團，Ar-NO2表示在鄰位具有硝基的芳香族烴基，以及(C)胺化合物。
2.根據權利要求1中所述的組合物，其中，(A)成分是其骨架中具有通式(I) 所示結構單元的聚酰胺酸，式中，R1為甲基或其它有機基團，n表示平均聚合度，為2-50。
3.根據權利要求2中所述的組合物，其中，(A)成分是使通式(III) 所示的端二氨基硅氧烷低聚物和四羧酸二酐反應得到的聚酰胺酸，式中，R7為亞烷基，n表示平均聚合度，為2-50。
4.根據權利要求1～3任意一項中所述的組合物，其中，(C)成分是叔胺化合物。
5.根據權利要求1～4任意一項中所述的組合物，其中，該正型感光性樹脂組合物固化物的儲能彈性模量在25℃時為1GPa或以下，在250℃時為1MPa或以上。
全文摘要
正型感光性樹脂組合物，它含有(A)聚酰胺酸、(B)通式(II) (式中，R
文檔編號G03F7/039GK1831648SQ200610051588
公開日2006年9月13日 申請日期2006年3月6日 優(yōu)先權日2005年3月7日
發(fā)明者藤井弘文, 齋藤誠, 大西謙司 申請人:日東電工株式會社