專利名稱：圖案形成方法、濾色器及其制造方法、電光學(xué)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種圖案形成方法、濾色器的制造方法、濾色器、電光學(xué)裝置的制造方法以及電光學(xué)裝置。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，作為電光學(xué)裝置的液晶顯示裝置，為了對(duì)顯示圖像進(jìn)行彩色化，而采用具備各種顏色(紅色、綠色、藍(lán)色)的著色層的濾色器。在該濾色器的制造方法中，利用液相工序，即，將形成著色層的著色層形成材料的溶液(著色層溶液)涂布在由遮光層(黑矩陣)包圍的著色層形成區(qū)域，通過(guò)使該溶液干燥從而形成濾色器。
其中尤其是，液相工序中的噴墨法中，由于將溶液作為微小的液滴噴出，因此與其它液相工序(例如旋涂或者分配法等)相比，可形成更加細(xì)微的著色層(例如專利文獻(xiàn)1)。
然而，該噴墨法當(dāng)中，為了避免噴出的液滴向鄰接的著色層形成區(qū)域的泄漏，而由相對(duì)液滴具備疏液性的材料(疏液性材料)構(gòu)成上述遮光層。并且，將由疏液性材料組成的遮光膜在基板整個(gè)面進(jìn)行成膜，通過(guò)對(duì)該遮光膜進(jìn)行圖案化，從而形成將著色層形成區(qū)域包圍的形狀的遮光層。
然而，在上述遮光膜的圖案形成工序中，若在著色層形成區(qū)域存在該遮光膜的細(xì)微的殘?jiān)?，則上述噴墨法會(huì)產(chǎn)生以下問(wèn)題。
即，由于遮光膜由疏液性材料構(gòu)成，因此在該遮光膜的殘?jiān)浇?，噴出的液滴的?rùn)濕性降低。因此，噴出的液滴沒(méi)有在著色層形成區(qū)域全體潤(rùn)濕展開，著色層的形狀(圖案形狀)中產(chǎn)生不均，而給液晶顯示裝置的顯示圖像帶來(lái)顏色不均等問(wèn)題。
專利文獻(xiàn)1特開平8-146214號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是為解決上述問(wèn)題而提出，其目的在于，提供一種提高圖案形狀的均一性并提高生產(chǎn)性的圖案形成方法、濾色器的制造方法、濾色器、電光學(xué)裝置的制造方法以及電光學(xué)裝置。
本發(fā)明提供一種圖案形成方法，通過(guò)對(duì)形成于基底層上的隔壁層進(jìn)行圖案化而形成隔壁，通過(guò)向由所述基底層和所述隔壁包圍的圖案形成區(qū)域噴出含有圖案形成材料的液滴，從而在所述基底層上形成圖案，其特征在于，在對(duì)所述隔壁層進(jìn)行圖案化時(shí)，在所述圖案形成區(qū)域內(nèi)的所述基底層上形成所述隔壁層的殘?jiān)趪姵鏊鲆旱沃?，將所述殘?jiān)鳛檠谀?duì)所述基底層進(jìn)行圖案化，從而將所述基底層形成為凹凸形狀，以便將所述液滴引入至所述隔壁。
根據(jù)本發(fā)明的圖案形成方法，由于因在隔壁的圖案形成工序中形成的殘?jiān)纬砂纪剐螤?，因此能夠削減用于形成凹凸形狀的工序數(shù)，能夠抑制圖案形成的制造工序數(shù)的增加。并且，沿著形成凹凸形狀的基底層的凹部，能夠?qū)姵龅囊旱我胫粮舯跒橹梗趫D案形成區(qū)域中，能夠形成均一形狀的圖案。甚至，能夠提高圖案形狀的均一性且提高圖案的生產(chǎn)性。
該圖案形成方法為，在將上述殘?jiān)鳛檠谀?duì)上述基底層進(jìn)行圖案化時(shí)，形成凹凸形狀的上述基底層的同時(shí)將上述殘?jiān)コ?br> 根據(jù)該圖案形成方法，由于形成凹凸形狀的基底層的同時(shí)將殘?jiān)コ虼四軌虮苊庖蛟摎堅(jiān)瑢?dǎo)致的液滴的引入不良，能夠形成更加均一的形狀的圖案。
該圖案形成方法使上述基底層的凹凸差為0.1μm以上。
根據(jù)該圖案形成方法，僅上述基底層的凹凸差在0.1μm以上的部分，能夠引入更大容量的液滴，能夠形成更加均一形狀的圖案。
該圖案形成方法，在將上述殘?jiān)鳛檠谀?duì)上述基底層進(jìn)行圖案化時(shí)，將用于使上述基底層為凹凸形狀的蝕刻液，從液滴噴出裝置向上述圖案形成區(qū)域內(nèi)噴出。
根據(jù)該圖案形成方法，在僅向圖案形成區(qū)域噴出蝕刻液時(shí)，未形成用于對(duì)圖案形成區(qū)域以外的區(qū)域進(jìn)行保護(hù)的保護(hù)層等，便能夠?qū)λ幕讓舆M(jìn)行蝕刻后形成凹凸形狀。
本發(fā)明的濾色器的制造方法，是一種通過(guò)對(duì)在透明基板的一側(cè)面形成的遮光層進(jìn)行圖案化從而形成隔壁，向由上述一側(cè)面和上述隔壁包圍的著色層形成區(qū)域，噴出含著色層形成材料的液滴，在上述一側(cè)面上形成著色層的、濾色器的制造方法，根據(jù)上述圖案形成方法形成上述著色層。
根據(jù)本發(fā)明的濾色器的制造方法，能夠提高著色層形狀的均一性且提高濾色器的生產(chǎn)性。
本發(fā)明的濾色器的制造方法，是一種通過(guò)對(duì)在透明基板的一側(cè)面形成的遮光層進(jìn)行圖案化從而形成隔壁，向由上述一側(cè)面和上述隔壁包圍的反射層形成區(qū)域，噴出含反射層形成材料的液滴后在上述一側(cè)面上形成反射層的、濾色器的制造方法，根據(jù)上述圖案形成方法形成上述反射層。
根據(jù)本發(fā)明的濾色器的制造方法，能夠提高反射層形狀的均一性且提高濾色器的生產(chǎn)性。
本發(fā)明的濾色器，根據(jù)上述濾色器的制造方法制造。
根據(jù)本發(fā)明的濾色器，能夠提高著色層或者反射層的形狀的均一性且提高濾色器的生產(chǎn)性。
本發(fā)明的濾色器，具備向由透明基板的一側(cè)面、與在上述一側(cè)面形成的隔壁包圍的著色層形成區(qū)域，噴出含著色層形成材料的液滴后形成的著色層，上述著色層形成區(qū)域內(nèi)的上述一側(cè)面為凹凸形狀。
根據(jù)本發(fā)明的濾色器，由于因在隔壁的圖案形成工序所形成的殘?jiān)纬砂纪剐螤?，因此能夠削減用于形成凹凸形狀的工序數(shù)，能夠抑制濾色器的制造工序數(shù)的增加。并且，能夠沿著形成凹凸形狀的一側(cè)面的凹部，將噴出的液滴引入至隔壁為止，能夠在著色層形成區(qū)域，形成均一形狀的著色層。因此，能夠提高著色層的形狀的均一性并提高濾色器的生產(chǎn)性。
該濾色器中，使上述一側(cè)面的凹凸差為0.1μm以上。
根據(jù)該濾色器，僅一側(cè)面的凹凸差為0.1μm以上的部分，能夠引入更大容量的液滴，形成更加均一形狀的圖案。
該濾色器，具備向上述一側(cè)面與上述著色層之間噴出含反射層形成材料的液滴而形成的反射層。
根據(jù)該濾色器，能夠提高反射層形狀的均一性且提高濾色器的生產(chǎn)性。
本發(fā)明的電光學(xué)裝置的制造方法，是一種通過(guò)對(duì)在電極層上形成的隔壁層進(jìn)行圖案化從而形成隔壁，向由上述電極層與上述隔壁包圍的發(fā)光元件形成區(qū)域，噴出含發(fā)光元件形成材料的液滴后形成發(fā)光元件的、電光學(xué)裝置的制作方法，根據(jù)上述圖案形成方法形成上述發(fā)光元件。
根據(jù)本發(fā)明的電光學(xué)裝置的制造方法，能夠提高發(fā)光元件的形狀的均一性且提高電光學(xué)裝置的生產(chǎn)性。
本發(fā)明的電光學(xué)裝置，是一種在元件基板與對(duì)置基板之間具有電光學(xué)物質(zhì)層的電光學(xué)裝置，上述對(duì)置基板為上述濾色器。
根據(jù)本發(fā)明的電光學(xué)裝置，能夠提高濾色器形狀的均一性且提高電光學(xué)裝置的生產(chǎn)性。
本發(fā)明的電光學(xué)裝置，根據(jù)上述電光學(xué)裝置的制造方法制造。
根據(jù)本發(fā)明的電光學(xué)裝置，能夠提高發(fā)光層或者空穴輸送層的形狀的均一性且提高電光學(xué)裝置的生產(chǎn)性。
本發(fā)明的電光學(xué)裝置，是一種具備向由電極層、和在上述電極層上形成的隔壁包圍的發(fā)光元件形成區(qū)域，噴出含發(fā)光元件形成材料的液滴后形成的發(fā)光元件的、電光學(xué)裝置，上述發(fā)光元件形成區(qū)域的上述電極層為凹凸形狀。
根據(jù)本發(fā)明的電光學(xué)裝置，能夠沿著形成凹凸形狀的電極層的凹部，將噴出的液滴引入至隔壁為止，在發(fā)光元件形成區(qū)域，能夠形成均一形狀的發(fā)光元件。因此，能夠提高發(fā)光元件的形狀的均一性且提高電光學(xué)裝置的生產(chǎn)性。
該電光學(xué)裝置中，上述電極層的凹凸差為0.1μm以上。
根據(jù)該電光學(xué)裝置，僅凹凸差為0.1μm以上的部分，能夠?qū)⒏笕萘康囊旱我?，能夠形成更加均一形狀的發(fā)光層或者空穴輸送層。


圖1為表示將本發(fā)明具體化后的第1實(shí)施方式的液晶顯示裝置的概略俯視圖。
圖2為表示同樣實(shí)施方式下的液晶顯示裝置的側(cè)剖面圖。
圖3為表示同樣實(shí)施方式下的元件基板的主要部件立體圖。
圖4為表示同樣實(shí)施方式下的元件基板的俯視圖。
圖5為表示同樣實(shí)施方式下的濾色器的俯視圖。
圖6為表示同樣實(shí)施方式下的濾色器的側(cè)剖面圖。
圖7為表示同樣實(shí)施方式下的液晶顯示裝置的制造方法的流程圖。
圖8為表示同樣實(shí)施方式下的液晶顯示裝置的制造方法的側(cè)剖面圖。
圖9為表示同樣實(shí)施方式下的液晶顯示裝置的制造方法的側(cè)剖面圖。
圖10為表示同樣實(shí)施方式下的液晶顯示裝置的制造方法的側(cè)剖面圖。
圖11為表示同樣實(shí)施方式下的液晶顯示裝置的制造方法的側(cè)剖面圖。
圖12為表示同樣實(shí)施方式下的液晶顯示裝置的制造方法的側(cè)剖面圖。
圖13為表示同樣實(shí)施方式下的液晶顯示裝置的制造方法的側(cè)剖面圖。
圖14為表示同樣實(shí)施方式下的液晶顯示裝置的制造方法的側(cè)剖面圖。
圖15為表示同樣實(shí)施方式下的液晶顯示裝置的制造方法的側(cè)剖面圖。
圖16為表示同樣實(shí)施方式下的液晶顯示裝置的制造方法的側(cè)剖面圖。
圖17為表示將本發(fā)明具體化后的第2實(shí)施方式的有機(jī)EL顯示器的立體圖。
圖18為表示同樣實(shí)施方式下的像素的俯視圖。
圖19為表示同樣實(shí)施方式下的發(fā)光元件的側(cè)剖面圖。
其中10-作為電光學(xué)裝置的液晶顯示裝置，14-作為對(duì)置基板的濾色器，14a、51-透明基板，32、64b-作為基底層的凹凸面，33a-構(gòu)成隔壁層的遮光層，34a-構(gòu)成隔壁層的疏液層，35、68-隔壁，36-作為圖案形成區(qū)域的著色層形成區(qū)域，37-反射層，38R、38G、38B0-作為圖案的著色層，44-殘?jiān)?0-作為電光學(xué)裝置的有機(jī)EL顯示器，59-發(fā)光元件形成區(qū)域，64-作為電極層的陽(yáng)極，Ds2、Ds3-液滴，H-凹凸差，Le-蝕刻液，Rr-作為反射層形成區(qū)域的反射區(qū)域。
具體實(shí)施例方式
第1實(shí)施方式以下，根據(jù)圖1～圖16對(duì)將本發(fā)明具體化后的第1實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖1以及圖2，為表示作為電光學(xué)裝置的液晶顯示裝置10的概略立體圖以及概略剖面圖。
液晶顯示裝置10，是一種具備作為2端子型的開關(guān)元件的TFD(ThinFilm Diode，薄膜二極管)的有源矩陣方式的半透射型液晶顯示裝置。
如圖1所示，液晶顯示裝置10，具備液晶面板11，和照明裝置12，其對(duì)該液晶面板11進(jìn)行平面狀的光L1的照明。照明裝置12，具備LED等的光源12a，和導(dǎo)光體12b，其透射從該光源12a發(fā)射的光后作為平面狀的光照射至液晶面板11。另外，本實(shí)施方式中，對(duì)于液晶面板11，令照明裝置12一側(cè)作為照明側(cè)，將照明裝置12的相反側(cè)作為觀測(cè)側(cè)。
液晶面板11，在其觀測(cè)側(cè)和照明側(cè)，分別具有方形的元件基板13和作為對(duì)置基板的濾色器14。如圖2所示，通過(guò)四方框狀的密封材料15將元件基板13與濾色器14粘結(jié)，在這些元件基板13和濾色器14之間的間隙中封入作為電光學(xué)物質(zhì)層的液晶層16(參照?qǐng)D2)。另外，在密封材料15中，如圖2所示，分散球狀的導(dǎo)電材料15a，以使能夠?qū)笫龅臑V色器14的掃描線40與元件基板13的掃描線驅(qū)動(dòng)用IC41進(jìn)行電連接。
首先，關(guān)于上述液晶面板11的元件基板13進(jìn)行以下說(shuō)明。圖3以及圖4，為表示元件基板13的主要部件立體圖以及俯視圖。
元件基板13，為由無(wú)堿玻璃基板組成的透明基板，在其一側(cè)面(元件形成面13s)，如圖1所示，形成在一個(gè)方向延伸的多個(gè)信號(hào)線17。另外，本實(shí)施方式中，令該信號(hào)線17的形成方向?yàn)閄方向，令該信號(hào)線17的排列方向、即與上述X方向正交的方向?yàn)閅方向。
信號(hào)線17，如圖3所示，由在元件形成面13s上的由鎢化鉭(tungstentantal)等組成的的第1層17a、在該第1層17a的上層的由絕緣膜形成的第2層17b、在該第2層17b的上層的由鉻等組成的第3層17c的3層構(gòu)造形成。各信號(hào)線17，如圖2所示，分別與在元件基板13的一端側(cè)通過(guò)ACF18a安裝的信號(hào)線驅(qū)動(dòng)用IC18電連接。信號(hào)線驅(qū)動(dòng)用IC18，基于由未圖示的控制電路供給的顯示數(shù)據(jù)，生成與各信號(hào)線17對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)信號(hào)，將該數(shù)據(jù)信號(hào)，在給定的時(shí)刻一齊對(duì)于各信號(hào)線17輸出。
如圖4所示，在各信號(hào)線17上，形成與其電連接的多個(gè)開關(guān)元件19。開關(guān)元件19，如圖3所示，由1對(duì)TFD21、22構(gòu)成。TFD21、TFD22，具有由鎢化鉭等組成的共同的第1層23a、和在該第1層23a的上層的由絕緣膜形成的共同的第2層23b，在第2層23b的上層，分別具有由鉻等組成的第3層21c、21c。TFD21的第3層21c，與上述信號(hào)線17的第3層17c電連接。TFD22的第3層22a，與由ITO等的透明導(dǎo)電膜組成的像素電極24電連接。
并且，在信號(hào)線驅(qū)動(dòng)用IC18向信號(hào)線17輸出數(shù)據(jù)信號(hào)時(shí)，該數(shù)據(jù)信號(hào)，從TDT21的第3層21c，依次經(jīng)由第2層23b、第1層23a、第2層23b、TDT22的第3層22c，向像素電極24供給。即，開關(guān)元件19，為逆向的TFD21、22串聯(lián)電連接的、所謂背·對(duì)·背(BTB)構(gòu)成的元件。
如圖2所示，在像素電極24(各信號(hào)線17以及開關(guān)元件19)的上層，形成由聚酰亞胺等組成的取向膜25。取向膜25，通過(guò)摩擦處理等被施以定向處理，以對(duì)該取向膜25(元件基板13)附近的液晶分子的定向進(jìn)行設(shè)定。
如圖1所示，在作為元件基板13的觀測(cè)側(cè)一面的、形成像素電極24的區(qū)域，粘貼四方板狀的偏振板26。
接著，針對(duì)上述液晶面板11的濾色器14以下進(jìn)行說(shuō)明。圖5為表示濾色器14的俯視圖，圖6為沿著圖5的A-A線的剖面圖。
如圖2所示，濾色器14，具備由無(wú)堿玻璃基板組成的透明基板14a。在透明基板14a的觀測(cè)側(cè)一面(元件基板13一側(cè)的面)，形成作為基底層的濾波器形成面14s。
該濾波器形成面14s，如圖5以及圖6所示，具有許多島狀凸面31，通過(guò)該島狀凸面31，形成凹凸形狀的凹凸面32。該凹凸面32，如圖5所示，沿著上述信號(hào)線17的形成方向(Y方向)，按照較小尺寸的方形的區(qū)域(作為反射層形成區(qū)域的反射區(qū)域Rr)、和較大尺寸的方形的區(qū)域(透射區(qū)域Rt)交替重復(fù)的方式排列形成矩陣狀。另外，如圖6所示，該凹凸面32，通過(guò)后述的凹凸形成工序(圖7中的步驟S14)，按照其凹凸差H為0.1μm以上的方式形成。
在濾波器形成面14s上的除去上述凹凸面32的形成區(qū)域(反射區(qū)域Rr和透射區(qū)域Rt)以外的區(qū)域，如圖6所示，形成遮光部33。遮光部33，若對(duì)由給定波長(zhǎng)的曝光光Lpr(參照?qǐng)D8)進(jìn)行曝光，則僅被曝光的部分被堿性溶液等顯影液可溶，由所謂的正型感光性材料形成的、含有例如碳黑等遮光性材料的熱硬化性樹脂形成柵格狀。即，遮光部33，通過(guò)對(duì)從照明側(cè)以及觀測(cè)側(cè)入射的光進(jìn)行遮光，從而提高在觀測(cè)側(cè)顯示的圖像的對(duì)比度，即所謂的黑矩陣(black matrix)。
如圖6所示，在遮光部33的上側(cè)，形成疏液部34。疏液部34，與上述遮光部33相同，由正型感光性材料形成，為由氟系樹脂組成的樹脂層，該氟系樹脂具有對(duì)由后述的反射層溶液Lr(參照?qǐng)D12)組成的液滴Ds2以及由著色層溶液Lc(參照?qǐng)D14)組成的液滴Ds進(jìn)行疏液的疏液性。
而且，通過(guò)這些遮光部33以及疏液部34，形成將凹凸面32圍住的柵格狀的隔壁35，通過(guò)該隔壁35，形成著色層形成區(qū)域36作為圖案形成區(qū)域。即，著色層形成區(qū)域36，由將凹凸面32作為底面的尺寸較小的反射區(qū)域Rr和尺寸較大的透射區(qū)域Rt構(gòu)成。
在各反射區(qū)域Rr的凹凸面32上，形成反射層37。反射層37，為對(duì)光進(jìn)行反射的金屬膜，形成與凹凸面32對(duì)應(yīng)的凹凸形狀。并且，如圖2所示，由于該反射層37形成凹凸形狀，故使從觀測(cè)側(cè)入射的外光L2由反射層37反射后被擴(kuò)散。另一方面，在未形成該反射層37的透射區(qū)域Rt中，從照明側(cè)(照明裝置12)入射的光L1透射至觀測(cè)側(cè)。
如圖5所示，在各反射層37的上層，分別呈紅色(R)、綠色(G)以及藍(lán)色(B)的紅色著色層38R、綠色著色層38G以及藍(lán)色著色層38B，沿著與上述信號(hào)線17正交的方向(Y方向)被重復(fù)形成。
如圖6所示，在各著色層38R、38G、38B的上層，形成外涂層39。外涂層39，與隔壁35(遮光部33以及疏液部34)相同，由丙稀酸樹脂或聚酰亞胺樹脂等正型感光性材料形成。另外，如圖2所示，根據(jù)該外涂層39的厚度，調(diào)整反射區(qū)域Rr上的液晶層16的厚度和透射區(qū)域Rt上的液晶層16的厚度，以使從觀測(cè)側(cè)經(jīng)由反射區(qū)域Rr再次向觀測(cè)側(cè)發(fā)射的光的照度，與從照明側(cè)經(jīng)由透射區(qū)域Rt向觀測(cè)側(cè)發(fā)射的光的照度均一。
如圖5所示，在透射區(qū)域Rt的凹凸面32上，與反射區(qū)域Rr相同，紅色著色層38R、綠色著色層38G以及藍(lán)色著色層38B，沿著與上述信號(hào)線17正交的方向(Y方向)被重復(fù)形成。
如圖6所示，在上述反射區(qū)域Rr的外涂層39、與透射區(qū)域Rt的各著色層38R、38G、38B的上層，延伸在與上述信號(hào)線17正交的方向(Y方向圖6中與紙面垂直的方向)的掃描線40，排列在上述信號(hào)線17的形成方向(X方向)。掃描線40，與上述像素電極24相同，由ITO等透明導(dǎo)電膜形成，如圖5所示，其X方向的寬度，以與反射區(qū)域Rr(透射區(qū)域Rt)的形成間距的間距寬大約相同的寬度W形成。
并且，如圖5所示，該掃描線40與上述像素電極24，按照從觀測(cè)側(cè)看在平面重合的方式而配置，因該重疊的區(qū)域，形成作為顯示的最小單位的最小顯示區(qū)域Rp。即，最小顯示區(qū)域Rp，以與像素電極24大約相同的尺寸形成，其X方向的寬度，以與掃描線40在X方向的寬度(寬W)大約相同寬度形成。另外，最小顯示區(qū)域Rp，由1個(gè)透射區(qū)域Rt和與該透射區(qū)域Rt鄰接的2個(gè)反射區(qū)域Rr的大約一半的區(qū)域形成，能夠?qū)τ赏干涔夂头瓷涔怆p方組成的光進(jìn)行發(fā)射。
如圖2所示，各掃描線40，與信號(hào)線17相同，通過(guò)密封材料15內(nèi)的導(dǎo)電材料15a，與在元件基板13的一側(cè)端根據(jù)ACF安裝的掃描線驅(qū)動(dòng)用IC41(參照?qǐng)D1)電連接。掃描線驅(qū)動(dòng)用IC41，基于由未圖示的控制電路供給的掃描控制信號(hào)，在給定的時(shí)刻從多根掃描線40中選擇驅(qū)動(dòng)給定的掃描線40，并向所選擇的掃描線40輸出掃描信號(hào)。
如圖6所示，在該掃描線40的上層，形成由聚酰亞胺等組成的取向膜42。取向膜42，被通過(guò)摩擦處理等施以定向處理，以能夠?qū)υ撊∠蚰?2(濾色器14)附近的液晶分子的定向進(jìn)行設(shè)定。
如圖2所示，在與上述濾色器14的濾波器形成面14s相對(duì)置側(cè)的一面(著色側(cè)的一面)，膠粘偏振板43。
并且，若向?qū)?shù)據(jù)信號(hào)輸出的像素電極24上的掃描線40輸出掃描信號(hào)，則依據(jù)數(shù)據(jù)信號(hào)與掃描信號(hào)的電位差，與像素電極24連接的開關(guān)元件19變成導(dǎo)通狀態(tài)。若開關(guān)元件19成為導(dǎo)通狀態(tài)，則按照對(duì)透射該最小顯示區(qū)域Rp的光L1或者外光L2進(jìn)行調(diào)制的方式，維持與像素電極24對(duì)應(yīng)的最小顯示區(qū)域Rp上的液晶分子的定向狀態(tài)。并且，根據(jù)被調(diào)制后的光是否透射偏振板43，從而在液晶面板11的觀測(cè)側(cè)顯示所望的濾色器的圖像。
(液晶顯示裝置10的制造方法)接著，關(guān)于上述液晶顯示裝置10的制造方法采用圖7～圖16進(jìn)行說(shuō)明。圖7為表示液晶顯示裝置10的制造工序的流程圖，圖8～圖16，為說(shuō)明液晶顯示裝置10的制造工序的說(shuō)明圖。
首先，關(guān)于上述濾色器14的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。
如圖7所示，起初，在透明基板14a的濾波器形成面14s整個(gè)面，進(jìn)行涂布遮光層材料后形成遮光層33a的遮光層形成工序(步驟S11)。接著，進(jìn)行在遮光層33a的上層涂布疏液層材料后形成疏液層34a的疏液層形成工序(步驟S12)。并且，通過(guò)遮光層形成工序以及疏液層形成工序，形成由遮光層33a以及疏液層34a構(gòu)成的隔壁層。
如圖7所示，在形成遮光層33a和疏液層34a時(shí)，進(jìn)行在與濾波器形成面14s相對(duì)置的位置配置掩膜Mk后形成隔壁35的隔壁形成工序(步驟S13)。如圖8所示，在該掩膜Mk中，具備透射由給定波長(zhǎng)組成的曝光光Lpr的透射基板Mkb，在該透射基板Mkb的一側(cè)面(與濾波器形成面14s相對(duì)置的一側(cè)的面)，形成對(duì)曝光光Lpr進(jìn)行遮光的遮光圖案Mk1，和以給定比例透射曝光光Lpr的半透射圖案Mk2。另外，該遮光圖案Mk1為，在與濾波器形成面14s相對(duì)置的狀態(tài)下，與上述隔壁35(遮光部33以及疏液部34)相對(duì)的形狀的圖案，半透射圖案Mk2，為與上述島狀凸面31相對(duì)的圖案。
并且，如圖9所示，在經(jīng)由該掩膜Mk將曝光光Lpr曝光在隔壁層(遮光層33a以及疏液層34)后進(jìn)行顯影時(shí)，在濾波器形成面14s上，在與遮光圖案Mk1相對(duì)的位置，形成由遮光層33a以及疏液部34組成的隔壁35。即，區(qū)劃形成反射區(qū)域Rr以及透射區(qū)域Rt(著色層形成區(qū)域36)。進(jìn)而，在該著色層形成區(qū)域36內(nèi)的、與半透射圖案Mk2相對(duì)的位置，形成許多由比隔壁35還小的尺寸組成的遮光層33a的殘?jiān)?殘?jiān)?4)。
如圖7所示，在濾波器形成面14s上形成隔壁35以及殘?jiān)?4時(shí)，從液滴噴出裝置向著色層形成區(qū)域36內(nèi)噴出氟化銨等蝕刻液Le(參照?qǐng)D10)，進(jìn)行將隔壁35以及殘?jiān)?4作為掩膜形成凹凸面32的凹凸面形成工序(步驟S14)。如圖10所示，在該液滴噴出裝置中，具備液滴噴頭45，在該液滴噴頭45的下側(cè)，具備噴嘴板46。在該噴嘴板46的下面(噴嘴形成面46a)，向上方形成將蝕刻液Le噴出的許多噴嘴46n。在各噴嘴46n的上側(cè)，形成與未圖示的容納器皿連通后可向噴嘴46n內(nèi)供給蝕刻液Le的供給室47。在供給室47的上側(cè)，配置振動(dòng)板48，其在上下方向往返振動(dòng)后使供給室47內(nèi)的溶劑放大縮小；和壓電元件49，其在上下方向伸縮后使該振動(dòng)板振動(dòng)。并且，如圖10所示，向液滴噴出裝置搬送的透明基板14a，被定位為使濾波器形成面14s與噴嘴形成面46a平行。
在這里，向供給室47內(nèi)，供給蝕刻液Le后，若向液滴噴頭45輸入用于形成凹凸面32的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，則基于該驅(qū)動(dòng)信號(hào)，位于上述著色層形成區(qū)域36正上方的壓電元件49伸縮移動(dòng)后使供給室47的容積放大縮小。這時(shí)，當(dāng)供給室47的容積縮小時(shí)，則與縮小后的容積相對(duì)的量的蝕刻液Le，作為微小液滴Ds從各噴嘴46n噴出，被噴出的微小液滴Ds，分別擊中對(duì)應(yīng)的濾波器形成面24s。接著，若供給室47的容積放大，則被放大后的溶劑量的蝕刻液Le，從未圖示的容納器皿向供給室47內(nèi)供給。
即，液滴噴頭45，依靠這樣的供給室47的放大縮小，將給定容量的蝕刻液Le向各著色層形成區(qū)域36噴出，在該著色層形成區(qū)域35內(nèi)，形成由蝕刻液Le組成的液滴Ds1。并且，若在已形成液滴Ds1的狀態(tài)下防止僅給定時(shí)間，則著色層形成區(qū)域36內(nèi)的濾波器形成面14s被蝕刻，如圖11所示，在由殘?jiān)?4掩蔽的位置形成凸部(島狀凸面31)。然后，根據(jù)島狀凸面31與周邊的濾波器形成面14s的蝕刻量的差異形成凹凸面32。
這樣，便能夠僅向著色層形成區(qū)域36內(nèi)供給蝕刻液Le，能夠在著色層形成區(qū)域36以外的區(qū)域(例如，在與濾波器形成面14s相對(duì)置側(cè)的面等)不形成耐蝕刻性的保護(hù)膜等而形成凹凸面32。
另外，殘?jiān)?4，通過(guò)由蝕刻液Le對(duì)濾波器形成面14s的蝕刻，從而該濾波器形成面14s對(duì)應(yīng)的膠粘性降低，在從著色層形成區(qū)域36內(nèi)將蝕刻液Le去除后洗凈之際，該殘?jiān)?4同時(shí)被去除。
如圖7所示，在著色層形成區(qū)域36內(nèi)形成凹凸面32時(shí)，進(jìn)行在反射區(qū)域Rr的凹凸面32上形成反射層37的反射層形成工序(步驟S15)。即，如圖12所示，向上述液滴噴出裝置的供給室47供給作為由金屬粒子等組成的圖案形成材料的反射層形成材料的溶液(反射層溶液Lr)，與上述凹凸面形成工序相同，通過(guò)液滴噴頭45，向反射區(qū)域Rr的凹凸面32上，噴出由反射層溶液Lr組成的微小液滴Ds。所噴出的微小液滴Ds，擊中凹凸面32，由該凹凸面32的凹凸引導(dǎo)同時(shí)被引入至各反射區(qū)域Rr的內(nèi)部邊緣(各隔壁35)為止。這樣，便可形成在反射區(qū)域Rr全體潤(rùn)濕展開的反射層溶液Lr的液滴Ds2，通過(guò)使該液滴Ds2干燥后固化，如圖13所示，從而在反射區(qū)域Rr的凹凸面32上，可形成與該凹凸面32的凹凸形狀對(duì)應(yīng)的均一膜厚的反射層37。
如圖7所示，在反射區(qū)域Rr中形成反射層37時(shí)，進(jìn)行在反射區(qū)域Rr以及透射區(qū)域Rt(著色層形成區(qū)域36)形成各著色層38R、38G、38B的著色層形成工序(步驟S16)。即，如圖14所示，向上述液滴噴出裝置的供給室47供給分散液(著色層溶液Lc)，該分散液將作為用于形成紅色著色層38R(綠色著色層38G以及藍(lán)色著色層38B)的圖案形成材料的著色顏料分散。并且，與上述反射層形成工序相同，通過(guò)液滴噴頭45，向反射區(qū)域Rr的反射層37上以及凹凸面32上，噴出由著色層溶液Lc組成的微小液滴Ds。所噴出的微小液滴Ds，擊中凹凸面32，由該凹凸面32的凹凸引導(dǎo)同時(shí)被引入至各著色層區(qū)域36的內(nèi)部邊緣(各隔壁35)為止。這樣，便可形成在各著色層區(qū)域36全體潤(rùn)濕展開的著色層溶液Lc的液滴Ds3，通過(guò)使該液滴Ds3干燥后固化，如圖15所示，從而在反射層37以及凹凸面32上，可形成均一形狀的紅色著色層38R(綠色著色層38G以及藍(lán)色著色層38B)。
如圖7所示，在形成各色的著色層38R、38G、38B時(shí)，依次進(jìn)行形成外涂層39的外涂層形成工序、形成掃描線40的掃描線形成工序以及形成取向膜42的取向膜形成工序(步驟S17、S18、S19)。即，在各著色層38R、38G、38B上涂布丙稀酸樹脂或聚酰亞胺樹脂等正型感光性材料，通過(guò)對(duì)該感光性材料進(jìn)行圖案化，如圖16所示，從而在反射區(qū)域Rr的著色層38R、38G、38B上形成外涂層39。在形成外涂層39時(shí)，使ITO等透明導(dǎo)電膜堆積在濾波器形成面14s上，通過(guò)對(duì)該透明導(dǎo)電膜進(jìn)行圖案化，如圖16所示，從而形成掃描線40。在形成掃描線40時(shí)，在濾波器形成面14s的整個(gè)面，涂布聚酰亞胺等透明樹脂，對(duì)該透明樹脂施以摩擦處理等定向處理，形成取向膜42。
這樣，便可制造一種在反射區(qū)域Rr，具有均一形狀的反射層37；在著色層形成區(qū)域36，具有均一形狀的著色層38R、38G、38B的濾色器14。
在制造濾色器14時(shí)，通過(guò)密封材料15將該濾色器14與由公知的制造技術(shù)制造的元件基板13粘結(jié)，從該密封材料15的未圖示的注入口向?yàn)V色器14與元件基板13之間注入液晶后形成液晶層16。在形成液晶層16時(shí)，在濾色器14與元件基板13上粘貼偏振板26、43，在元件基板13上，安裝各種驅(qū)動(dòng)用IC18、41。這樣，便可形成液晶面板11，通過(guò)在該液晶面板11中安裝照明裝置12從而可制造液晶顯示裝置10。
接著，對(duì)如上述所構(gòu)成的第1實(shí)施方式的效果以下進(jìn)行記載。
(1)根據(jù)上述實(shí)施方式，在形成各著色層38R、38G、38B之前，在著色層形成區(qū)域36形成凹凸差為0.1μm以上的凹凸面32，在該凹凸面32上或者反射層37上，將著色層溶液Lc的微小液滴Ds噴出后形成液滴Ds3。
因此，可使微小液滴Ds由凹凸面32的凹凸形狀引導(dǎo)同時(shí)被引入至著色層形成區(qū)域36的內(nèi)部邊緣(各隔壁35)為止，可形成在著色層形成區(qū)域36全體潤(rùn)濕展開的著色層溶液Lc的液滴Ds3。其結(jié)果為，可形成均一形狀的各著色層38R、38G、38B，能夠提高濾色器14的生產(chǎn)性，甚至液晶顯示裝置10的生產(chǎn)性。
(2)根據(jù)上述實(shí)施方式，在形成反射區(qū)域Rr的各著色層38R、38G、38B之前，在著色層形成區(qū)域36形成凹凸面32，在該凹凸面32上，將反射層溶液Lr的微小液滴Ds噴出后形成液滴Ds2。
因此，能夠形成在反射區(qū)域Rr全體潤(rùn)濕展開的反射層溶液Lr的液滴Ds2，能夠形成與凹凸面32的凹凸形狀對(duì)應(yīng)的均一膜厚的反射層37。其結(jié)果為，能夠形成具有均一形狀的反射層37的反射型濾色器14。
(3)根據(jù)上述實(shí)施方式，在對(duì)隔壁層進(jìn)行圖案化時(shí)積極形成殘?jiān)?4，將該殘?jiān)鳛檠谀ば纬砂纪姑?2。因此，不用另外進(jìn)行用于形成凹凸面32的掩膜形成的工序便形成凹凸面32。其結(jié)果為，能夠提高濾色器14的生產(chǎn)性，甚至液晶顯示裝置10的生產(chǎn)性。
(4)根據(jù)上述實(shí)施方式，在將隔壁35以及殘?jiān)?4作為掩膜對(duì)濾波器形成面14s進(jìn)行蝕刻時(shí)，通過(guò)蝕刻液Le的洗凈將殘?jiān)?4去除。因此，能夠確切地僅將殘?jiān)?4或者殘?jiān)コ?，提高微小液滴Ds的潤(rùn)濕性。
(5)根據(jù)上述實(shí)施方式，通過(guò)液滴噴出裝置，僅向著色層形成區(qū)域36內(nèi)供給蝕刻液Le。因此，可在著色層形成區(qū)域36以外的區(qū)域(例如與濾波器形成面14s相對(duì)置側(cè)的面等)未形成耐蝕刻液的保護(hù)膜等而形成凹凸面32。其結(jié)果為，能夠提高濾色器14的生產(chǎn)性、甚至提高液晶顯示裝置10的生產(chǎn)性。
第2實(shí)施方式接著，對(duì)將本發(fā)明具體化后的第2實(shí)施方式，根據(jù)圖17～圖19進(jìn)行說(shuō)明。另外，第2實(shí)施方式中，對(duì)上述第1實(shí)施方式的基底層(濾波器形成面14s)進(jìn)行變更后具體化為作為電光學(xué)裝置的有機(jī)電致發(fā)光顯示器(有機(jī)EL顯示器)。因此以下，針對(duì)作為變更點(diǎn)的基底層詳細(xì)進(jìn)行說(shuō)明。
如圖17所示，有機(jī)EL顯示器50中具備透明基板51。透明基板51，為形成方形的無(wú)堿玻璃基板，在其一側(cè)面(元件形成面51s)，具有在一個(gè)方向(圖17中的X方向)延伸的多根掃描線52，在與該掃描線52正交的方向(圖17中的Y方向)延伸的多根信號(hào)線53，和與該信號(hào)線53并設(shè)的電源線54。
掃描線52以及信號(hào)線53，與分別對(duì)應(yīng)的掃描線驅(qū)動(dòng)電路55以及信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路56連接。掃描線驅(qū)動(dòng)電路55，基于由未圖示的控制電路供給的掃描控制信號(hào)，在給定的時(shí)刻從多根掃描線52中選擇驅(qū)動(dòng)給定的掃描線52，以向所選擇的掃描線52輸出掃描信號(hào)。信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路56，基于由未圖示的控制電路供給的顯示數(shù)據(jù)生成顯示數(shù)據(jù)信號(hào)，在給定的時(shí)刻將該顯示數(shù)據(jù)信號(hào)輸出給對(duì)應(yīng)的信號(hào)線53。電源線54，將分別與未圖示的公共電源線連接的驅(qū)動(dòng)電源供應(yīng)給各電源線54。
在這些信號(hào)線53與掃描線52的交差位置，通過(guò)與對(duì)應(yīng)的信號(hào)線53、電源線54以及掃描線52連接從而形成排列成矩陣的多個(gè)像素57。
圖18為表示像素57的布局的概略俯視圖，圖19為沿著圖18的封閉虛線A-A的概略剖面圖。
如圖18所示，在像素57內(nèi)，劃分形成控制元件形成區(qū)域58以及發(fā)光元件形成區(qū)域59。在控制元件形成區(qū)域58內(nèi)，具備開關(guān)用TFT61、驅(qū)動(dòng)用TFT62以及保持電容器63。
開關(guān)用TFT61的柵極G1、源極S1以及漏極D1，與分別對(duì)應(yīng)的掃描線52、信號(hào)線53以及保持電容器63的下部電極63b電連接。驅(qū)動(dòng)用TFT62的柵極G2、源極S2以及漏極D2，分別與保持電容器63的上述下部電極63b(開關(guān)用TFT61的漏極D1)、保持電容器63的上部電極63t以及后述的發(fā)光元件形成區(qū)域59的陽(yáng)極64連接。
保持電容器63，為在上述下部電極63b與上述上部電極63t之間具有作為電容膜的絕緣膜65(參照?qǐng)D19)的電容器，該上部電極63t，與對(duì)應(yīng)的電源線54電連接。并且，在這些各TFT61、62、保持電容器63、各種布線52、53、54的層間以及線間，形成由氧化硅膜等組成的絕緣膜65(參照?qǐng)D19)，通過(guò)該絕緣膜65各層間以及線間被電絕緣。
并且，在掃描線驅(qū)動(dòng)電路55，經(jīng)由掃描線52向?qū)?yīng)的開關(guān)用TFT61的柵極G1依次輸入(線性依次掃描)掃描信號(hào)時(shí)，所選擇的開關(guān)用TFT61僅在選擇期間內(nèi)處于導(dǎo)通狀態(tài)。在開關(guān)用TFT61處于截止?fàn)顟B(tài)時(shí)，從信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路56輸出的顯示數(shù)據(jù)信號(hào)，經(jīng)由對(duì)應(yīng)的信號(hào)線53以及開關(guān)用TFT61向保持電容器63的下部電極63b供給。在將顯示數(shù)據(jù)信號(hào)向下部電極63b供給時(shí)，保持電容器63，將與該顯示數(shù)據(jù)信號(hào)相對(duì)的電荷蓄積在上述電容膜上。并且，在開關(guān)用TFT61處于截止?fàn)顟B(tài)時(shí)，與蓄積在保持電容器63中的電荷相對(duì)的驅(qū)動(dòng)電流，經(jīng)由驅(qū)動(dòng)用TFT62向作為發(fā)光元件形成區(qū)域59的電極層的陽(yáng)極64供給。
接著，關(guān)于上述像素57的發(fā)光元件形成區(qū)域59的構(gòu)成以下進(jìn)行說(shuō)明。
如圖18所示，在各像素57的上側(cè)，形成發(fā)光元件形成區(qū)域59。如圖19所示，在作為發(fā)光元件形成區(qū)域59的上述絕緣膜65的上層，形成作為透明電極的陽(yáng)極64。陽(yáng)極64，為具有透光性的透明導(dǎo)電膜，如圖18所示，其一端與驅(qū)動(dòng)用TFT62的漏極D2電連接。
其陽(yáng)極64的上面，與第1實(shí)施方式相同，具有許多島狀凸面64a，通過(guò)該島狀凸面64，形成凹凸形狀的凹凸面64b。
在陽(yáng)極64的上層，形成與各陽(yáng)極64相互絕緣的隔壁部66。隔壁部66，由對(duì)后述液滴進(jìn)行疏液的氟系樹脂等有機(jī)材料形成，而如果用由給定波長(zhǎng)組成的曝光光進(jìn)行曝光，則僅被曝光后的部分被堿性溶液等顯影液可溶，即由所謂的正型感光性材料形成。
在作為該隔壁部66的陽(yáng)極64的大約中央位置，形成向上側(cè)開口呈錐狀的容納孔67。而且，因在隔壁部66形成容納孔67，從而形成將陽(yáng)極64上面(凹凸面64b)包圍的隔壁68，由該隔壁68和凹凸面64b形成作為圖案形成區(qū)域的有機(jī)EL層形成區(qū)域。
在該有機(jī)EL層形成區(qū)域(凹凸面64b的上層)，形成作為圖案的有機(jī)電致發(fā)光層(有機(jī)EL層69)。該有機(jī)EL層69，為由空穴輸送層和發(fā)光層這2層組成的有機(jī)化合物層。該有機(jī)EL層69，與第1實(shí)施方式相同，在容納孔67內(nèi)形成含有作為圖案形成材料的發(fā)光元件形成材料的液滴，通過(guò)對(duì)該液滴進(jìn)行干燥從而形成該有機(jī)EL層69，另外，本實(shí)施方式的各有機(jī)EL層69，由發(fā)出分別對(duì)應(yīng)顏色的光的發(fā)光元件形成材料形成，即由發(fā)出紅色光的紅色發(fā)光元件形成材料或發(fā)出綠色光的綠色發(fā)光元件形成材料或者發(fā)出藍(lán)色光的藍(lán)色發(fā)光元件形成材料形成。
在該有機(jī)EL層69的上側(cè)，形成由具有鋁等光反射性的金屬膜組成的陰極70。陰極70，按照將元件形成面51s大約整個(gè)面覆蓋的方式而形成，通過(guò)公用各像素57從而向各發(fā)光元件形成區(qū)域59供給公共的電位。并且，本實(shí)施方式中，由這些陽(yáng)極64、有機(jī)EL層69以及陰極70，構(gòu)成作為發(fā)光元件的有機(jī)電致發(fā)光元件(有機(jī)EL元件71)。
在陰極70(有機(jī)EL元件71)的上側(cè)，形成由環(huán)氧樹脂等組成的膠粘層72，經(jīng)由該膠粘層72將覆蓋元件形成面51s的密封基板73與透明基板51粘結(jié)。密封基板73，為無(wú)堿玻璃基板，以防止各有機(jī)EL元件71以及各種布線52、53、54等的氧化等。
并且，在將與數(shù)據(jù)信號(hào)相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電流向陽(yáng)極64供給時(shí)，有機(jī)EL層69，以與該驅(qū)動(dòng)電流相應(yīng)的亮度發(fā)光。此時(shí)，從有機(jī)EL層69向陰極70一側(cè)發(fā)出的光，被該陰極70反射。因此，從有機(jī)EL層69發(fā)出的光，幾乎全部透過(guò)陽(yáng)極64、絕緣膜65以及透明基板51，從透明基板51的背面(顯示面51t)一側(cè)向外方發(fā)射。即，基于數(shù)據(jù)信號(hào)全彩圖像顯示在有機(jī)EL顯示器50的顯示面51t上。
接著，關(guān)于有機(jī)EL顯示器50的制造方法以下進(jìn)行說(shuō)明。
首先，在透明基板51的元件形成面51s上基于眾所周知的有機(jī)EL顯示器制造技術(shù)形成各TFT61、62、各種布線52、53、54、絕緣膜65。接著，在元件形成面51s整個(gè)面(絕緣膜65上)堆積透明導(dǎo)電膜，通過(guò)對(duì)該透明導(dǎo)電膜進(jìn)行圖案化從而形成陽(yáng)極64。
在形成陽(yáng)極64時(shí)，在元件形成面51s整個(gè)面(陽(yáng)極64以及絕緣膜65上)涂布氟系樹脂等有機(jī)材料后形成隔壁層，用由給定波長(zhǎng)組成的曝光光對(duì)該隔壁層進(jìn)行曝光。此時(shí)，與第1實(shí)施方式的掩膜Mk相同，在透射由給定波長(zhǎng)組成的曝光光的透射基板上，通過(guò)配置具有對(duì)曝光光進(jìn)行遮光的遮光圖案、和以給定的比例透射曝光光的半透射圖案的掩膜，從而在陽(yáng)極64上面形成隔壁68(容納孔67)，與第1實(shí)施方式相同，形成許多殘?jiān)?br> 然后，與第1實(shí)施方式相同，從液滴噴頭45向容納孔67內(nèi)噴出用于對(duì)陽(yáng)極64進(jìn)行蝕刻的蝕刻液時(shí)，在陽(yáng)極64上面，形成與殘?jiān)鄬?duì)的凸面，在陽(yáng)極64上面形成凹凸面64b。
接著，在從液滴噴頭45向容納孔67內(nèi)噴出由發(fā)光元件形成材料的溶液組成的微小液滴時(shí)，噴出的微小液滴，擊中凹凸面64b，隨著該凹凸面64b的凹凸的引導(dǎo)同時(shí)被引入至各容納孔67的內(nèi)部邊緣(各隔壁68)為止。這樣，便能夠形成在容納孔67全體潤(rùn)濕展開的發(fā)光元件形成材料的液滴，通過(guò)對(duì)該液滴進(jìn)行干燥后固化，從而在凹凸面64b上，形成均一形狀的有機(jī)EL層69。
形成有機(jī)EL層69，則在元件形成面51d的整個(gè)面(有機(jī)EL層69以及隔壁層22上)堆積由鋁等金屬膜組成的陰極70，形成由陽(yáng)極64、有機(jī)EL層69以及陰極70組成的有機(jī)EL元件71。形成有機(jī)EL元件71，則在陰極70的上側(cè)整個(gè)面涂布環(huán)氧樹脂等后形成膠粘層72，經(jīng)由該膠粘層72將密封基板73與透明基板51粘結(jié)。
這樣，便能夠制造一種使有機(jī)EL層69的形狀均一的有機(jī)EL顯示器50。
根據(jù)如上述構(gòu)成的第2實(shí)施方式，在形成有機(jī)EL層69之前，在陽(yáng)極64上形成凹凸面64b，在該凹凸面64b上，形成發(fā)光元件形成材料的液滴。因此，便能夠形成潤(rùn)濕展開至有機(jī)EL層形成區(qū)域的內(nèi)部邊緣(隔壁68)為止的液滴。其結(jié)果為，能夠使有機(jī)EL層69形成均一的形狀，能夠提高有機(jī)EL顯示器50的生產(chǎn)性。
另外，上述實(shí)施方式還可按照以下進(jìn)行變更。
上述第1實(shí)施方式中，雖然各著色層38R、38G、38B形成條文狀，然而并非僅限于此，也可以形成鑲嵌形狀或者三角形狀。
上述第1實(shí)施方式中，雖然通過(guò)液滴噴出裝置將蝕刻液Le噴出，然而并非僅限于此，也可由蝕刻液Le對(duì)濾波器形成面14s進(jìn)行浸漬。
上述第1實(shí)施方式中，雖然具備2個(gè)TFD而構(gòu)成，然而并非限定于此，還可根據(jù)所望的元件設(shè)計(jì)，由例如1個(gè)TFD而構(gòu)成?；蛘撸€可具備1個(gè)以上的TFT而構(gòu)成。
上述第2實(shí)施方式中，雖然具備2個(gè)TFT而構(gòu)成，然而并非限定于此，還可根據(jù)所期望的元件設(shè)計(jì)，例如由1個(gè)TFT或多數(shù)的TFT而構(gòu)成。
上述實(shí)施方式中，在作為基底層的濾波器形成面14s以及陽(yáng)極64形成凹凸面32、64b而構(gòu)成，但并非限于此，例如在通過(guò)液滴形成各種布線17、40時(shí)，也可在該布線17、40的基底層形成凹凸面32。只要在通過(guò)對(duì)液滴進(jìn)行固化而形成的圖案的基底層形成凹凸面32即可。
上述實(shí)施方式中，雖然通過(guò)噴墨法形成液滴Ds2、Ds3，但并非限定于此，例如還可根據(jù)例如旋涂法或者分配法形成，上述實(shí)施方式中，雖然將電光學(xué)裝置具體化為液晶顯示裝置10和有機(jī)EL顯示器50，但并非限定于此，還可以是具備例如平面狀的電子放射元件，利用因從該元件放射的電子而產(chǎn)生的熒光物質(zhì)的發(fā)光的電場(chǎng)效應(yīng)型顯示器(FED或SED等)。
權(quán)利要求
1.一種圖案形成方法，通過(guò)對(duì)形成于基底層上的隔壁層進(jìn)行圖案化而形成隔壁，通過(guò)向由所述基底層和所述隔壁包圍的圖案形成區(qū)域噴出含有圖案形成材料的液滴，從而在所述基底層上形成圖案，其特征在于，在對(duì)所述隔壁層進(jìn)行圖案化時(shí)，在所述圖案形成區(qū)域內(nèi)的所述基底層上形成所述隔壁層的殘?jiān)?，在噴出所述液滴之前，將所述殘?jiān)鳛檠谀?duì)所述基底層進(jìn)行圖案化，從而將所述基底層形成為凹凸形狀，以便將所述液滴引入至所述隔壁。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖案形成方法，其特征在于，在將所述殘?jiān)鳛檠谀?duì)所述基底層進(jìn)行圖案化時(shí)，將所述基底層形成為凹凸形狀的同時(shí)去除所述殘?jiān)?br> 3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的圖案形成方法，其特征在于，將所述基底層的凹凸差形成為0.1μm以上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的圖案形成方法，其特征在于，在將所述殘?jiān)鳛檠谀?duì)所述基底層進(jìn)行圖案化時(shí)，從液滴噴出裝置向所述圖案形成區(qū)域內(nèi)噴出用于使所述基底層形成凹凸形狀的蝕刻液。
5.一種濾色器的制造方法，通過(guò)對(duì)形成于透明基板的一側(cè)面的遮光層進(jìn)行圖案化而形成隔壁，通過(guò)向由所述一側(cè)面和所述隔壁包圍的著色層形成區(qū)域噴出含有著色層形成材料的液滴，從而在所述一側(cè)面上形成著色層，其特征在于，根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的圖案形成方法形成所述著色層。
6.一種濾色器的制造方法，通過(guò)對(duì)形成于透明基板的一側(cè)面的遮光層進(jìn)行圖案化而形成隔壁，通過(guò)向由所述一側(cè)面和所述隔壁包圍的反射層形成區(qū)域噴出含有反射層形成材料的液滴，從而在所述一側(cè)面上形成反射層，其特征在于，根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的圖案形成方法形成所述反射層。
7.一種濾色器，其根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的濾色器的制造方法制造。
8.一種濾色器，其具備著色層，該著色層是通過(guò)向由透明基板的一側(cè)面、和在所述一側(cè)面形成的隔壁包圍的著色層形成區(qū)域中噴出含有著色層形成材料的液滴而形成，其特征在于，所述著色層形成區(qū)域內(nèi)的所述一側(cè)面為凹凸形狀。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的濾色器，其特征在于，所述一側(cè)面的凹凸差為0.1μm以上。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的濾色器，其特征在于，具備反射層，該反射層是通過(guò)向所述一側(cè)面和所述著色層之間噴出含反射層形成材料的液滴而形成。
11.一種電光學(xué)裝置的制造方法，通過(guò)對(duì)形成于電極層上的隔壁層進(jìn)行圖案化而形成隔壁，通過(guò)向由所述電極層和所述隔壁包圍的發(fā)光元件形成區(qū)域中噴出含有發(fā)光元件形成材料的液滴而形成發(fā)光元件，其特征在于，根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的圖案形成方法形成所述發(fā)光元件。
12.一種電光學(xué)裝置，其在元件基板和對(duì)置基板之間具有電光學(xué)物質(zhì)層，其特征在于，所述對(duì)置基板是如權(quán)利要求8～10中任一項(xiàng)所述的濾色器。
13.一種電光學(xué)裝置，其根據(jù)權(quán)利要求11所述的電光學(xué)裝置的制造方法制造。
14.一種電光學(xué)裝置，其具備發(fā)光元件，該發(fā)光元件是通過(guò)向由電極層和在所述電極層上形成的隔壁所包圍的發(fā)光元件形成區(qū)域中噴出含有發(fā)光元件形成材料的液滴而形成，其特征在于，所述發(fā)光元件形成區(qū)域的所述電極層為凹凸形狀。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的電光學(xué)裝置，其特征在于，所述電極層的凹凸差為0.1μm以上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種提高圖案形狀的均一性且提高生產(chǎn)性的圖案形成方法、濾色器的制造方法、濾色器、電光學(xué)裝置的制造方法以及電光學(xué)裝置。在形成著色層(38R)之前，在著色層形成區(qū)域(36)形成凹凸面(32)，在反射區(qū)域(Rr)的凹凸面(32)上，形成反射層溶液的液滴而形成具有與凹凸面(32)的凹凸形狀對(duì)應(yīng)的形狀的反射層(37)。并且，在反射層(37)以及透射區(qū)域(Rt)的凹凸面(32)上，噴出著色層溶液的微小液滴，形成在著色層形成區(qū)域(36)整體潤(rùn)濕展開的著色層溶液的液滴，形成均一形狀的著色層(38R)。
文檔編號(hào)G02F1/1335GK1808271SQ20061000501
公開日2006年7月26日 申請(qǐng)日期2006年1月18日 優(yōu)先權(quán)日2005年1月21日
發(fā)明者片上悟, 福田敦史 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社