專利名稱：模版處理系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種模版處理系統(tǒng)，其中利用輸送機(jī)構(gòu)將收納有模版的模版輸送容器從模版儲(chǔ)存器輸送到曝光設(shè)備，并通過曝光設(shè)備借助上述模版在基板上燒制電路圖案。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體元件或液晶顯示元件等的制造在光刻工序中進(jìn)行。在該工序中，形成于模版(包括光掩模)的圖案的像由曝光設(shè)備投影轉(zhuǎn)印到半導(dǎo)體晶片或玻璃板等基板上。
此時(shí)，在基板上涂敷有感光劑，投影后的圖案與感光劑反應(yīng)，經(jīng)過其后的處理而形成電路。
在該工序中，為了防止由灰塵等所引起的污染或由接觸等所引起的損傷等，將模版收納于專用的模版輸送容器中進(jìn)行處理。
此時(shí)，當(dāng)形成的電路復(fù)雜時(shí)，由于必須在基板上作出很多的電路圖案，從而必須與之相應(yīng)地準(zhǔn)備很多模版，在基板上重合很多圖案而進(jìn)行曝光。
圖2表示在該光刻工序中使用的模版處理系統(tǒng)的一個(gè)例子。圖中的附圖標(biāo)記1表示將電路圖案投影·轉(zhuǎn)印到基板上的曝光設(shè)備。附圖標(biāo)記2表示收納并保管有很多模版的模版儲(chǔ)存器。附圖標(biāo)記3是收納有模版的模版輸送容器。附圖標(biāo)記4是輸送導(dǎo)軌，其設(shè)置于曝光設(shè)備1和模版儲(chǔ)存器2之間，并對(duì)模版在收納于模版輸送容器3中的狀態(tài)下于曝光設(shè)備1和模版儲(chǔ)存器2之間進(jìn)行輸送。附圖標(biāo)記5是設(shè)置于輸送導(dǎo)軌4上、直接把持并搬運(yùn)模版輸送容器3的輸送機(jī)構(gòu)部。
這些部件由控制裝置(未圖示)進(jìn)行控制。由此，電路圖案所必需的模版，在收納于模版輸送容器3的狀態(tài)下，由輸送導(dǎo)軌4的輸送機(jī)構(gòu)部5從模版儲(chǔ)存器2輸送到曝光設(shè)備1。曝光設(shè)備1中不再需要的模版借助輸送導(dǎo)軌4的輸送機(jī)構(gòu)部5返回到模版儲(chǔ)存器2中。
在上述工序中使用的模版，由于塵埃等引起的污染或接觸等造成的損傷而無法形成準(zhǔn)確的電路圖案，所以為了安全且可靠地支承模版，將其收納于模版輸送容器3中。該模版輸送容器3，根據(jù)其與曝光在基板上的電路圖案之間的關(guān)系而以限定為準(zhǔn)確的朝向的狀態(tài)加以輸送。該模版輸送容器3的輸送、模版的曝光等處理，由模版處理系統(tǒng)來進(jìn)行。
日本特開平10-163094號(hào)公報(bào)公開了該模版處理系統(tǒng)的一個(gè)例子。在日本特開平10-163094號(hào)公報(bào)中，設(shè)有模版箱對(duì)位裝置，進(jìn)行模版艙的對(duì)位，進(jìn)而進(jìn)行曝光處理。
但是，在上述的現(xiàn)有模版處理系統(tǒng)中，當(dāng)操作人員從外部將模版輸送容器3裝入系統(tǒng)內(nèi)時(shí)，在模版輸送容器3的朝向錯(cuò)誤的情況下，或是無法將模版輸送容器3安裝于系統(tǒng)內(nèi)，或是停止對(duì)位裝置而加以應(yīng)對(duì)。也就是說，通常，利用設(shè)置于模版輸送容器3上的運(yùn)動(dòng)銷槽和設(shè)置于系統(tǒng)側(cè)的裝置上的運(yùn)動(dòng)銷，僅能夠在以正確的朝向安裝了模版輸送容器3的情況下將其安裝于系統(tǒng)內(nèi)。另外，假設(shè)模版輸送容器3的朝向錯(cuò)誤地安裝于系統(tǒng)內(nèi)時(shí)，在上述對(duì)位裝置處位置不對(duì)合從而使該裝置停止，進(jìn)而在裝置停止后進(jìn)行改變模版輸送容器3的朝向等的處理。
但是，在這些情況下會(huì)產(chǎn)生作業(yè)效率低下的問題。即，若在模版輸送容器3的朝向錯(cuò)誤的情況下模版輸送容器3無法安裝于系統(tǒng)內(nèi)，則操作人員在將模版輸送容器3安裝于系統(tǒng)內(nèi)時(shí)必須加倍注意，從而導(dǎo)致作業(yè)效率的低下。另外，當(dāng)模版輸送容器的朝向錯(cuò)誤時(shí)，若停止裝置而進(jìn)行改變模版輸送容器3的朝向的作業(yè)，則由于在此期間停止了系統(tǒng)，會(huì)導(dǎo)致曝光處理的作業(yè)效率降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了解決上述課題，提供一種模版處理系統(tǒng)，其容許模版輸送容器的朝向錯(cuò)誤并能自動(dòng)修正該朝向錯(cuò)誤。也就是說，本發(fā)明的特征在于，至少具有收納模版的模版輸送容器、輸送該模版輸送容器的輸送機(jī)構(gòu)、利用上述模版在半導(dǎo)體晶片上的抗蝕劑上燒制電路圖案的曝光設(shè)備、以及保管多個(gè)上述模版的模版儲(chǔ)存器，在從上述模版儲(chǔ)存器至上述曝光設(shè)備的燒制位置之間的路徑的至少一個(gè)部位上，備有檢測(cè)上述模版輸送容器的朝向并將該模版輸送容器變換為適當(dāng)朝向的機(jī)構(gòu)。
由此，在上述模版輸送容器從上述模版儲(chǔ)存器移動(dòng)到上述曝光設(shè)備的燒制位置期間，由將上述模版輸送容器變換為適當(dāng)朝向的機(jī)構(gòu)來檢測(cè)模版輸送容器的朝向并將其修正為適當(dāng)?shù)某颉?br> 希望上述將模版輸送容器變換為適當(dāng)朝向的機(jī)構(gòu)備有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部，使上述模版輸送容器旋轉(zhuǎn)；方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)，設(shè)置于從上述模版儲(chǔ)存器到上述曝光設(shè)備的燒制位置之間的路徑的任意處，檢測(cè)上述模版輸送容器的方向；控制部，判斷由該方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)檢測(cè)出的方向是否為標(biāo)準(zhǔn)的方向，當(dāng)方向偏離180°時(shí)，控制上述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部而旋轉(zhuǎn)到標(biāo)準(zhǔn)方向。
由此，上述控制部，在判斷由上述方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)檢測(cè)的方向偏離180°的情況下，控制上述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部而旋轉(zhuǎn)到標(biāo)準(zhǔn)方向。
希望上述方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)備有以非接觸方式檢測(cè)上述模版輸送容器的方向的無線標(biāo)簽。
由此，在模版輸送容器的輸送途中，可不停止輸送地以非接觸的方式檢測(cè)模版輸送容器的方向。當(dāng)判斷由上述方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)檢測(cè)出的方向偏離180°時(shí)，上述控制部控制上述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部而旋轉(zhuǎn)到標(biāo)準(zhǔn)的方向。
上述方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)也可以備有以非接觸方式檢測(cè)上述模版輸送容器的方向的光學(xué)傳感器。
由此，與無線標(biāo)簽的情況同樣地，在模版輸送容器的輸送途中，可不停止輸送地以非接觸的方式檢測(cè)模版輸送容器的方向。當(dāng)判斷由上述方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)檢測(cè)出的方向偏離180°時(shí)，上述控制部控制上述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部而旋轉(zhuǎn)到標(biāo)準(zhǔn)的方向。
希望上述將模版輸送容器變換為適當(dāng)朝向的機(jī)構(gòu)配備在上述輸送機(jī)構(gòu)內(nèi)或者上述曝光設(shè)備內(nèi)。
由此，在上述模版輸送容器被取入到上述輸送機(jī)構(gòu)內(nèi)期間或被取入到上述曝光設(shè)備內(nèi)期間，判斷模版輸送容器的方向是否正確，當(dāng)錯(cuò)誤時(shí)進(jìn)行修正。
希望以方向相差180°的方式設(shè)置兩組運(yùn)動(dòng)銷槽，所述運(yùn)動(dòng)銷槽形成于上述模版輸送容器的門的外側(cè)表面上，用于定位并安裝于上述曝光設(shè)備。
由此，在將上述模版輸送容器安裝于模版儲(chǔ)存器時(shí)，即使模版輸送容器的方向錯(cuò)誤，也能夠以該狀態(tài)進(jìn)行安裝，不必加倍注意模版輸送容器的方向。
希望在上述模版輸送容器的艙的外側(cè)表面中與上述運(yùn)動(dòng)銷槽相對(duì)應(yīng)的位置上，配置用于承接并保持上述運(yùn)動(dòng)銷槽的承接部，所述承接部配置成從任意方向均可嵌合上述兩組運(yùn)動(dòng)銷槽。
由此，不必加倍注意多個(gè)模版輸送容器的方向便可對(duì)其進(jìn)行層疊。


圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式的模版輸送容器的朝向變換機(jī)構(gòu)的功能框圖。
圖2是表示在光刻工序中所采用的裝置的一個(gè)例子的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖3是對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式的門從其底面?zhèn)冗M(jìn)行觀察時(shí)的立體圖。
圖4是表示在艙和門相互分離的狀態(tài)下的本發(fā)明實(shí)施方式的模版輸送容器的立體圖。
圖5是表示本發(fā)明實(shí)施方式的模版輸送容器的側(cè)剖視圖。
圖6是表示本發(fā)明實(shí)施方式的模版輸送容器的要部的剖視圖。
圖7是表示本發(fā)明實(shí)施方式的膜式過濾器的要部剖視圖。
圖8是表示本發(fā)明實(shí)施方式的無線標(biāo)簽的要部剖視圖。
具體實(shí)施例方式
下面參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1是表示朝向變換機(jī)構(gòu)的功能框圖。圖3是對(duì)門從其底面?zhèn)冗M(jìn)行觀察時(shí)的立體圖。圖4是表示本實(shí)施方式的艙和門相互分離的狀態(tài)下的模版輸送容器的立體圖。圖5是表示本實(shí)施方式的模版輸送容器的側(cè)剖視圖。圖6是表示本實(shí)施方式的模版輸送容器的要部的剖視圖。圖7是表示膜式過濾器的要部剖視圖。圖8是表示無線標(biāo)簽的要部剖視圖。
象圖4和圖5所示的那樣，模版輸送容器11主要包括收納模版12的艙13、封閉該艙13的門14、和密封件15，該密封件15設(shè)置于該艙13和門14之間，將內(nèi)部氣密地密封。
艙13包括主體部17和周緣嵌合部18，在該主體部17的內(nèi)部收納模版12，該周緣嵌合部18與該主體部17的外周一體形成并與門14嵌合。
主體部17呈盤狀形成，設(shè)定成可將模版12完全收納在內(nèi)部的深度。在主體部17的中央部，設(shè)置有輸送用的中心操作凸緣20。在該主體部17的周緣部，設(shè)置有水平延伸的板狀的側(cè)面操作凸緣21。該中心操作凸緣20與輸送裝置的臂部(圖中未示出)結(jié)合，將模版輸送容器11或艙13上抬。另外，側(cè)面操作凸緣21在曝光設(shè)備內(nèi)將門14與艙13以機(jī)械方式分離時(shí)用作輔助支承機(jī)構(gòu)。此外，在主體部17的外側(cè)表面的周緣部上，后述的運(yùn)動(dòng)銷槽(キネマテイツクピングル一ブ)61的承接部22以每條邊3個(gè)部位的方式，在對(duì)置的2條邊上設(shè)置于共計(jì)6個(gè)部位上。這6個(gè)部位的承接部22配置在與運(yùn)動(dòng)銷槽61對(duì)應(yīng)的位置上，從任意方向均能嵌合兩組運(yùn)動(dòng)銷槽61。各承接部22由俯視形狀呈半圓形的板材形成。該俯視形狀呈半圓形的各承接部22按照向外側(cè)開口的方式設(shè)置。俯視形狀呈半圓形的各承接部22按照其前端側(cè)比基端側(cè)更相互靠近而稍稍向內(nèi)側(cè)傾斜的方式形成。由此，上側(cè)的模版輸送容器11的運(yùn)動(dòng)銷槽61容易嵌合并準(zhǔn)確定位在下側(cè)的模版輸送容器11的承接部22上，這樣，能簡單并且穩(wěn)定地將多個(gè)模版輸送容器11疊置。
在主體部17的內(nèi)側(cè)的4個(gè)角部附近，設(shè)置有模版保持器25。該模版保持器25為與后述門14側(cè)的模版保持器45成對(duì)而用于支承模版12的部件。該模版保持器25象圖5和圖6所示的那樣，包括保持器承接部26和保持器板部27。該保持器承接部26為用于支承保持器板部27的部件。該保持器承接部26在主體部17的內(nèi)側(cè)的四個(gè)角部附近，與主體部17一起一體地形成。具體來說，該保持器承接部26由形成于主體部17的角部的五邊形的板材形成，其1條邊為形成接觸并彈性地支承模版12的上側(cè)角部12A的傾斜面部28的邊。在該保持器承接部26的、形成傾斜面部28的邊的一端，設(shè)置有保持器板部27的一端部嵌合的一端側(cè)嵌合用缺口29。在該保持器承接部26的、形成傾斜面部28的邊的另一端，設(shè)置有保持器板部27的另一端部嵌合的另一端側(cè)嵌合用缺口30。此外，在形成傾斜面部28的邊上，設(shè)置有凹部31。該凹部31設(shè)置于傾斜面部28的內(nèi)側(cè)，為用于在模版12的上側(cè)角部12A接觸時(shí)允許傾斜面部28的撓曲的部位。通過該凹部31，使保持器板部27具有緩沖功能。即，具有下述的緩沖功能由于保持器板部27本身具有的彈性，以及凹部31的作用，保持器板部27彈性地?fù)锨纱?，吸收從外部傳遞的振動(dòng)等，彈性地支承模版12。凹部31的間隙可為1mm左右以上。
保持器板部27為形成接觸并彈性地支承模版12的上側(cè)角部12A的傾斜面部28的部件。保持器板部27由彈性高分子材料成形。具體來說，采用PEE(聚酯彈性體)、PBT(聚對(duì)苯二甲酸丁二醇酯)、PP(聚丙烯)等不發(fā)塵的彈性材料。保持器板部27包括接觸面板33、一端嵌合部34與另一端嵌合部35，其側(cè)面形狀呈非規(guī)則的コ字狀。該接觸面板33為用于在保持器板部27與保持器承接部26嵌合的狀態(tài)下構(gòu)成傾斜面部28的部件。由于該接觸面板33由具有彈性的合成樹脂成形，故其本身彈性地變形，并且由于上述凹部31的作用，而彈性地?fù)锨?，傾斜地接觸并彈性地支承模版12的上側(cè)角部12A。
一端嵌合部34為用于與保持器承接部26的一端側(cè)嵌合用缺口29嵌合、從而將保持器板部27安裝于保持器承接部26上的部分。另一端嵌合部35為用于與保持器承接部26的另一端側(cè)嵌合用缺口30嵌合、從而將保持器板部27安裝于保持器承接部26上的部分。由此，一端嵌合部34和另一端嵌合部35與一端側(cè)嵌合用缺口29和另一端側(cè)嵌合用缺口30嵌合，這樣，將該保持器板部27固定于保持器承接部26上。
在主體部17的內(nèi)側(cè)的四個(gè)角部附近，除上述模版保持器25外還設(shè)置有膜片保持器37。有在模版12上不設(shè)置膜片的情況、在下側(cè)面上設(shè)置膜片46的情況、在上下兩側(cè)面上設(shè)置膜片46的情況。膜片保持器37為在模版12的上側(cè)面上設(shè)置膜片時(shí)起作用的部件。該膜片保持器37具有與模版保持器25相同的結(jié)構(gòu)。即，該膜片保持器37包括結(jié)構(gòu)與模版保持器25的保持器承接部26相同的保持器承接部38、和結(jié)構(gòu)與模版保持器25的保持器板部27相同的保持器板部39。在保持器板部39的內(nèi)側(cè)，設(shè)置有結(jié)構(gòu)與模版保持器25的凹部31相同的凹部(圖中未示出)。
艙13的周緣嵌合部18象圖4和圖5所示的那樣，按照從主體部17的周緣向周圍伸出的方式形成為盤狀。該盤狀的周緣嵌合部18設(shè)定為可將門14的周圍完全收納的深度。在該周緣嵌合部18的對(duì)置的邊上，設(shè)置有用于固定門14的門扣41。
門14為用于通過與艙13的周緣嵌合部18嵌合而將艙13封閉、并通過密封件15將內(nèi)部氣密地密封的部件。該門14象圖4～圖6所示的那樣，形成為基本平坦?fàn)?，在其周緣上開設(shè)有密封槽43。密封件15安裝于該密封槽43中，將艙13和門14之間氣密地密封。在門14的上側(cè)面上，在其4個(gè)角部的位置上設(shè)置有門側(cè)支承部件44。該門側(cè)支承部件44包括模版保持器45、膜片保持器47和底座板部48，該模版保持器45與上述艙13側(cè)的模版保持器25相配合，從上下兩側(cè)支承模版，該膜片保持器47支承安裝于模版12的下側(cè)面上的膜片46，該底座板部48一體地支承模版保持器45和膜片保持器47。該模版保持器45為下述結(jié)構(gòu)，即、保持器承接部50與上述的艙13側(cè)的模版保持器25的保持器承接部27在與圖6的紙面相垂直的方向上錯(cuò)開的狀態(tài)下鏡面對(duì)稱。即，模版保持器45包括保持器承接部50和保持器板部51，它們與上述的模版保持器25的保持器承接部26和保持器板部27，如映在鏡中時(shí)那樣成對(duì)稱的結(jié)構(gòu)。保持器板部51的內(nèi)側(cè)的凹部52也具有與模版保持器25的凹部31相同的功能。即，保持器板部51能通過凹部52而彈性地?fù)锨?，傾斜接觸并彈性地支承模版12的下側(cè)角部12B。
上述結(jié)構(gòu)的模版保持器45和模版保持器25設(shè)置于相互錯(cuò)開的位置，能相互不妨礙地支承模版12。通過該模版保持器25、45夾持模版12，于規(guī)定位置對(duì)其進(jìn)行支承。即使在取下艙13后，該模版12仍能由門14的模版保持器45支承在與門14隔開規(guī)定距離的狀態(tài)下。膜片保持器47的膜片承接部56，與艙13側(cè)的膜片保持器37的保持器承接部39為在圖6的紙面內(nèi)橫向上錯(cuò)開的鏡面對(duì)稱的結(jié)構(gòu)。即，膜片保持器47包括與艙13側(cè)的膜片保持器37的保持器承接部38鏡面對(duì)稱的保持器承接部55、與保持器板部39鏡面對(duì)稱的保持器板部56。在保持器板部56的內(nèi)側(cè)，設(shè)置有結(jié)構(gòu)與膜片保持器37的凹部相同的凹部(圖中未示出)。
在門14的背面上，象圖3所示的那樣，設(shè)置有2組運(yùn)動(dòng)銷槽61。該運(yùn)動(dòng)銷槽61為用于定位并安裝于曝光設(shè)備上的部件。該運(yùn)動(dòng)銷槽61以設(shè)置于大致等腰三角形的頂點(diǎn)的位置的3個(gè)為一組，在朝向相差180°的狀態(tài)下，設(shè)置有2組(61A，61B)，共計(jì)6個(gè)。這樣做的目的在于，在將模版輸送容器11安裝于裝置內(nèi)部時(shí)，即使在作業(yè)者誤將模版輸送容器11的朝向改變了180°而安裝的情況下，仍可直接安裝。
在上述艙13中，象圖7所示的那樣，形成有膜式過濾器安裝部62。該膜式過濾器安裝部62是用于使得能可靠安裝并且容易裝卸膜式過濾器63的部分。該膜式過濾器安裝部62包括管導(dǎo)向件65、過濾器嵌合筒部66和止動(dòng)器67。
該管導(dǎo)向件65為用于在內(nèi)部收納并固定膜式過濾器63的筒部。該管導(dǎo)向件65一體地設(shè)置于艙13的主體部17上。管導(dǎo)向件65的外側(cè)開口，從而可裝卸膜式過濾器63。另外，該管導(dǎo)向件65還構(gòu)成用于與置換模版輸送容器11內(nèi)的氣體用的氣體供給管(圖中未示出)連接的管。該管導(dǎo)向件65的內(nèi)側(cè)封閉，設(shè)置有過濾器嵌合筒部66。該過濾器嵌合筒部66為膜式過濾器63的嵌合筒部71嵌合用的筒部。該過濾器嵌合筒部66構(gòu)成為在管導(dǎo)向件65的內(nèi)部從其內(nèi)側(cè)底部向外側(cè)延伸的小直徑的筒部。在管導(dǎo)向件65的內(nèi)側(cè)面的中間位置上，設(shè)置有止動(dòng)器67。該止動(dòng)器67為用于固定安裝于管導(dǎo)向件65內(nèi)的膜式過濾器63而使其不會(huì)脫落的部件。
膜式過濾器63為用于允許氣體進(jìn)出模版輸送容器11的內(nèi)外的過濾器。該膜式過濾器63防止灰塵等的通過，僅僅允許氣體在模版輸送容器11的內(nèi)外側(cè)之間進(jìn)出。該膜式過濾器63包括過濾器主體部70、嵌合筒部71、開口筒部72。
過濾器主體部70呈厚壁圓盤狀形成，在其內(nèi)部收納過濾器。該過濾器主體部70的直徑設(shè)定為與上述止動(dòng)器67卡止的尺寸。嵌合筒部71為用于將過濾器主體部70的內(nèi)部和模版輸送容器11的內(nèi)部連通的部件。嵌合筒部71在膜式過濾器63安裝于管導(dǎo)向件65的內(nèi)部的狀態(tài)下，與過濾器嵌合筒部66嵌合，將過濾器主體部70的內(nèi)部和模版輸送容器11的內(nèi)部連通。開口筒部72為用于通過過濾器將模版輸送容器11的內(nèi)部和外部連通的筒部。另外，作為過濾器，填充0.1～0.5μm的篩網(wǎng)，其將非活性氣體或干燥空氣中的灰塵成分去除。
在門14的外側(cè)表面上，象圖8所示的那樣，設(shè)置有無線標(biāo)簽(タグ)74。該無線標(biāo)簽74在由覆蓋板75覆蓋的狀態(tài)下安裝于門14的外側(cè)表面上。在覆蓋板75完全覆蓋無線標(biāo)簽74的狀態(tài)下熔接其全周，從而將其內(nèi)部密封。在覆蓋板75上，形成有收納無線標(biāo)簽74的凹部75A。在無線標(biāo)簽74收納于該覆蓋板75的凹部75A中的狀態(tài)下，將覆蓋板75的全周熔接于門14的外側(cè)表面上。由此，將無線標(biāo)簽74密封收納于覆蓋板75的內(nèi)部。這樣做的目的在于，在模版輸送容器11的輸送過程中等時(shí)，防止無線標(biāo)簽74的脫落或機(jī)械性損傷。另外，這樣做的目的還在于防止無線標(biāo)簽本身造成的對(duì)裝置的污染。該無線標(biāo)簽74是下述元件，其備有線圈狀的天線(未圖示)和IC芯片(未圖示)，通過來自外部的電磁波的變化而在天線中產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)，利用該電動(dòng)勢(shì)的變化而在非接觸狀態(tài)下向IC芯片寫入信息或從其中讀出記錄的信息。在該無線標(biāo)簽74中，存儲(chǔ)有處理、保管等時(shí)所需的各種管理信息。進(jìn)而，無線標(biāo)簽74還具有后述的方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)的作用。另外，無線標(biāo)簽74也可以設(shè)置在艙13側(cè)。
采用上述模版輸送容器11而將電路圖案燒制于半導(dǎo)體晶片等基板上的模版處理系統(tǒng)具有下述的結(jié)構(gòu)。該模版處理系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)與圖2所示的現(xiàn)有的模版處理系統(tǒng)具有通用的部分，從而對(duì)于相同的結(jié)構(gòu)部分采用相同的附圖標(biāo)記并省略其說明。模版處理系統(tǒng)主要包括收納模版12的上述模版輸送容器11，輸送模版輸送容器11的輸送機(jī)構(gòu)(4、5)，采用上述模版12而在半導(dǎo)體晶片(未圖示)上的抗蝕劑上燒制電路圖案的曝光設(shè)備1，保管多個(gè)上述模版12的模版儲(chǔ)存器2，將模版輸送容器變換為適當(dāng)朝向的朝向變換機(jī)構(gòu)81(參照?qǐng)D1)。
輸送機(jī)構(gòu)(4、5)為用于進(jìn)行下述作業(yè)的機(jī)構(gòu)，即、與模版輸送容器11的中心操作凸緣20相結(jié)合，為了電路圖案的燒制而將模版輸送容器11從模版儲(chǔ)存器2輸送到曝光設(shè)備1，并且，將完成了電路圖案燒制的模版輸送容器11輸送到模版儲(chǔ)存器2的原來的位置。輸送機(jī)構(gòu)(4、5)可以為各種結(jié)構(gòu)，在此，是由輸送導(dǎo)軌4和輸送機(jī)構(gòu)部5構(gòu)成的。作為輸送機(jī)構(gòu)，除了采用導(dǎo)軌以外，還可以采用帶式輸送機(jī)或自行式的裝置等。
在輸送機(jī)構(gòu)部5上，設(shè)有與模版輸送容器11的中心操作凸緣20相結(jié)合的臂部(未圖示)。由此，輸送機(jī)構(gòu)部5的臂部與中心操作凸緣20相結(jié)合并提起模版輸送容器11。在臂部上設(shè)有后述的朝向變換機(jī)構(gòu)81的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部82。
朝向變換機(jī)構(gòu)81是用于將模版輸送容器11修正為適當(dāng)?shù)某虻臋C(jī)構(gòu)。即，檢測(cè)模版輸送容器11的朝向是否正確，在正確的情況下保持該朝向，而在錯(cuò)誤的情況下變換為適當(dāng)?shù)某?。該朝向變換機(jī)構(gòu)81設(shè)置在從模版儲(chǔ)存器2至曝光設(shè)備1的燒制位置之間的路徑上的至少一個(gè)部位上。這是為了在將從模版儲(chǔ)存器2輸送至曝光設(shè)備1的燒制位置的模版12安裝于燒制位置之前，修正到正確的朝向。只要能在從模版儲(chǔ)存器2至曝光設(shè)備1的燒制位置之間將模版12修正到正確的朝向就不會(huì)產(chǎn)生什么問題，所以，只要在從模版儲(chǔ)存器2至曝光設(shè)備1的燒制位置之間的路徑的至少一個(gè)部位上設(shè)置即可。也可以在多個(gè)部位設(shè)置朝向變換機(jī)構(gòu)81，從而在多個(gè)部位上檢查模版輸送容器11的朝向。例如，可以設(shè)置在輸送機(jī)構(gòu)(4、5)上、或從曝光設(shè)備1內(nèi)的輸入口至燒制位置之間的路徑上。在曝光設(shè)備1內(nèi)也設(shè)有輸送機(jī)構(gòu)，該輸送機(jī)構(gòu)從輸入口取入模版輸送容器11，并在途中從模版輸送容器11卸下模版12的艙13和門14，將模版12輸送至燒制位置。因此，也可以在曝光設(shè)備1內(nèi)的輸送機(jī)構(gòu)部分上設(shè)置朝向變換機(jī)構(gòu)81，然而在本實(shí)施方式中，是以設(shè)置于輸送機(jī)構(gòu)(4、5)為例進(jìn)行說明的。
如圖1所示，朝向變換機(jī)構(gòu)81主要包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部82、方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)83和控制部84。
旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部82是用于使模版輸送容器11旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)。該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部82與輸送機(jī)構(gòu)部5的臂部設(shè)置成一體并旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)該臂部。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部82由安裝于被可旋轉(zhuǎn)地支承的臂部上的齒輪(未圖示)、和與該齒輪相嚙合并使臂部旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)(未圖示)等構(gòu)成。由此，在臂部與模版輸送容器11的中心操作凸緣20相結(jié)合的狀態(tài)下，由旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部82旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)臂部來修正模版輸送容器11的朝向。
方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)83是用于檢測(cè)模版輸送容器11的方向的機(jī)構(gòu)。該方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)83只要能夠在模版輸送容器11從模版儲(chǔ)存器2輸送至曝光設(shè)備1的燒制位置期間檢測(cè)模版輸送容器11的方向即可，所以，設(shè)置于從模版儲(chǔ)存器2至曝光設(shè)備1的燒制位置之間的路徑上的、不妨礙其它裝置的任意位置上。
作為方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)83，包括能夠檢測(cè)模版輸送容器11的方向的各種機(jī)構(gòu)。包括電氣機(jī)構(gòu)、光學(xué)機(jī)構(gòu)、機(jī)械機(jī)構(gòu)等。作為電氣機(jī)構(gòu)采用上述的無線標(biāo)簽74。該無線標(biāo)簽74的讀取設(shè)備(未圖示)，與輸送的模版輸送容器11的無線標(biāo)簽74對(duì)置地設(shè)置在沿輸送導(dǎo)軌4的位置上。也就是說，將其設(shè)置于當(dāng)將模版輸送容器11設(shè)置于正確方向而加以輸送時(shí)、能夠與無線標(biāo)簽74相互反應(yīng)并進(jìn)行信息交換的位置上。讀取設(shè)備具有電波到達(dá)距離為數(shù)十厘米左右的微弱電波發(fā)射機(jī)86和反射波的微弱電波接收機(jī)87，這兩個(gè)設(shè)備均設(shè)置于與無線標(biāo)簽74的天線對(duì)置的位置上。該微弱電波發(fā)射機(jī)86以及微弱電波接收機(jī)87和天線之間的間隔與電波到達(dá)距離相應(yīng)地設(shè)定為數(shù)十厘米左右。而且，在微弱電波發(fā)射機(jī)86以及微弱電波接收機(jī)87和天線之間，具有若模版輸送容器11的朝向改變則反射波的強(qiáng)度改變的特性。也就是說，設(shè)定為，當(dāng)模版輸送容器11為正確朝向和相差180°的朝向時(shí)，來自天線的反射波的強(qiáng)度改變。在此情況下，可以通過微弱電波發(fā)射機(jī)86以及微弱電波接收機(jī)87和天線之間的位置關(guān)系來實(shí)現(xiàn)上述特性。也可以安裝朝向旋轉(zhuǎn)180°則電磁波的吸收率變化的吸收部件來實(shí)現(xiàn)上述特性。也可以使天線具有定向性，僅在模版輸送容器11為正確朝向時(shí)，反射波才朝向微弱電波接收機(jī)87反射。另外，微弱電波接收機(jī)87不僅具有檢測(cè)模版輸送容器11的朝向的功能，還具有讀取記錄在無線標(biāo)簽74內(nèi)的管理信息等的讀取裝置的功能。
也可以使得無線標(biāo)簽74僅用于信息管理，而與無線標(biāo)簽74分開地僅將反射電磁波的天線設(shè)置于模版輸送容器11的艙13或門14。可以使該天線如上述那樣具有定向性，或者調(diào)整天線的位置，或者設(shè)置吸收部件，以使得來自天線的反射波的不同與模版輸送容器11的朝向相對(duì)應(yīng)。
也可以設(shè)置多個(gè)無線標(biāo)簽74或天線，從多個(gè)反射波的接收位置檢測(cè)模版輸送容器11的朝向。可以將天線的安裝位置設(shè)置為非對(duì)稱的，從而當(dāng)模版輸送容器11的朝向改變時(shí)，多個(gè)反射波接收位置偏離，據(jù)此檢測(cè)出模版輸送容器11的朝向。
另外，也可以采用磁鐵或磁帶等。可以在模版輸送容器11的特定位置上埋入磁鐵或磁帶等，由與磁鐵或磁帶等的位置相對(duì)應(yīng)地設(shè)置的霍爾元件等來檢測(cè)該磁鐵的靜磁場強(qiáng)度，并從其檢測(cè)位置的不同檢測(cè)出模版輸送容器11的朝向。也可以設(shè)置多個(gè)磁鐵或磁帶等。在此情況下，通過錯(cuò)開該位置地埋入多個(gè)磁鐵，若模版輸送容器11的朝向改變則檢測(cè)位置改變，可以根據(jù)檢測(cè)位置的不同來檢測(cè)出模版輸送容器11的朝向。
另外，也存在用光學(xué)機(jī)構(gòu)檢測(cè)方向的方式。在此情況下，用光學(xué)傳感器來檢測(cè)模版輸送容器11的有無。此時(shí)，在艙13或門14中、模版輸送容器11的朝向相反時(shí)檢查光的照射位置上設(shè)置凹部或孔。由此，當(dāng)模版輸送容器11通過時(shí)，若光學(xué)傳感器檢測(cè)出模版輸送容器11的存在，則判斷模版輸送容器11的朝向?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)。當(dāng)模版輸送容器11的朝向相反時(shí)，光學(xué)傳感器和凹部等相匹配，檢查光進(jìn)入凹部等中而導(dǎo)致光學(xué)傳感器無反應(yīng)，從而不能檢測(cè)出模版輸送容器11的存在。由此，當(dāng)模版輸送容器11通過時(shí)，若檢測(cè)出模版輸送容器11的存在，則可以判斷其朝向標(biāo)準(zhǔn)，若無法檢測(cè)出模版輸送容器11的存在，則可以判斷其朝向相反。也可以設(shè)置凸部等來代替上述凹部等。此時(shí)，在存在上述凸部等的情況下有反應(yīng)從而檢測(cè)出設(shè)定的狀態(tài)(模版輸送容器11的朝向?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)的狀態(tài))。作為該凹部也可以采用形成于信息面板(インフオパツド)上的凹部。
此外，也可以機(jī)械方式檢測(cè)模版輸送容器11的方向。例如，在艙13或門14中、不會(huì)妨礙周圍的地方設(shè)置突起，可以根據(jù)在模版輸送容器11通過時(shí)，設(shè)置于輸送裝置側(cè)的承接部是否與上述突起相接觸來檢測(cè)模版輸送容器11的方向。
控制部84，判斷由方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)83檢測(cè)到的方向是否為標(biāo)準(zhǔn)朝向，在發(fā)現(xiàn)朝向偏離180°的情況下，控制旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部82而旋轉(zhuǎn)到標(biāo)準(zhǔn)朝向。作為控制部84，可以作為控制模版處理系統(tǒng)整體的控制裝置的一部分而裝入，也可以將其作為獨(dú)立的裝置而加以設(shè)置。
上述結(jié)構(gòu)的模版處理系統(tǒng)如下使用。在此，以在半導(dǎo)體晶片上燒制電路圖案時(shí)的處理為例進(jìn)行說明。
首先，模版12收納于模版輸送容器11內(nèi)。此時(shí)，模版12載置于門14的模版保持器45上，安裝艙13并利用門扣41進(jìn)行固定。由此，由門14側(cè)的模版保持器45和艙13側(cè)的模版保持器25夾持并支承模版12。具體地說，模版12的下側(cè)角部12B傾斜地接觸并支承于模版保持器45的保持器板部51上，而模版12的上側(cè)角部12A則傾斜地接觸并支承于模版保持器25的保持器板部27上。此時(shí)，在保持器板部51、27的內(nèi)側(cè)具有凹部52、31而容許保持器板部51、27的撓曲，從而彈性地支承模版12。由此，在不損傷模版12的表面的情況下，抑制全部自由度地將該模版12固定于模版輸送容器11內(nèi)。
在模版12上設(shè)有膜片46的情況下，通過與上述模版12相同的作用由膜片保持器47固定該膜片46。
這樣，在每個(gè)模版輸送容器11內(nèi)各收納一個(gè)模版12，由操作人員將該模版輸送容器11以必要的數(shù)量碼放并安裝于模版儲(chǔ)存器2內(nèi)。此時(shí)，希望模版輸送容器11能夠全部按照設(shè)定的方向進(jìn)行收納，但即使在方向不同的情況下，也能夠利用兩組運(yùn)動(dòng)銷槽61而不產(chǎn)生任何問題地進(jìn)行安裝。
此后的模版輸送容器11的輸送等全部以機(jī)械方式來進(jìn)行。也就是說，以機(jī)械方式來進(jìn)行從模版儲(chǔ)存器2取出并收納模版輸送容器11、然后采用輸送升降設(shè)備使其在輸送導(dǎo)軌上移動(dòng)、再將模版輸送容器11內(nèi)的模版12設(shè)定在曝光設(shè)備1中這所有的操作(SMIF標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面)。
輸送導(dǎo)軌4的輸送機(jī)構(gòu)部5的臂部與模版儲(chǔ)存器2內(nèi)的模版輸送容器11的中心操作凸緣20相結(jié)合，然后提升模版輸送容器11。之后利用輸送導(dǎo)軌4將其移動(dòng)至曝光設(shè)備1。
在該輸送工序中，修正模版輸送容器11的方向。即，將微弱的電磁波從方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)83的微弱電波發(fā)射機(jī)86發(fā)射到無線標(biāo)簽74。由此，無線標(biāo)簽74發(fā)射反射波，并由微弱電波接收機(jī)87來檢測(cè)該反射波，進(jìn)而根據(jù)其信號(hào)功率由控制部84判斷模版輸送容器11的方向是否是標(biāo)準(zhǔn)的方向。當(dāng)方向偏離180°時(shí)，控制旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部82使得輸送機(jī)構(gòu)部5的臂部旋轉(zhuǎn)，從而將模版輸送容器11修正為標(biāo)準(zhǔn)的方向。
將模版輸送容器11輸送到曝光設(shè)備1后，將模版輸送容器11定位于曝光設(shè)備1內(nèi)的規(guī)定位置上，之后，將曝光設(shè)備1的運(yùn)動(dòng)銷(未圖示)與運(yùn)動(dòng)銷槽61連結(jié)。接下來，以機(jī)械方式卸下模版輸送容器11的門扣41，并由開閉裝置的臂部(未圖示)抓住側(cè)面操作凸緣21而將艙13從門14分離。然后，使門14下降而將模版12導(dǎo)入曝光設(shè)備1的內(nèi)部。此后，將模版12移送到曝光設(shè)備1的自動(dòng)曝光臺(tái)(未圖示)上，設(shè)置為準(zhǔn)確地定位到已經(jīng)安裝的半導(dǎo)體晶片上的狀態(tài)，自動(dòng)進(jìn)行曝光作業(yè)。
曝光完成后，再次使模版12返回到模版輸送容器11的門14中，使該門14上升并與艙13相配合，進(jìn)而由門扣41加以固定。此時(shí)，模版12的上側(cè)角部12A和下側(cè)角部12B由模版保持器25、45夾持，如上所述，在不損傷其表面的情況下抑制所有自由度地固定于模版輸送容器11內(nèi)。然后，使運(yùn)動(dòng)銷和運(yùn)動(dòng)銷槽61分離，并再次利用輸送機(jī)構(gòu)部5而在輸送導(dǎo)軌4上移動(dòng)，進(jìn)而返回模版儲(chǔ)存器2中。
在以上的處理工序中，根據(jù)記錄在無線標(biāo)簽74中的信息進(jìn)行工序控制。在模版輸送容器11的門14的無線標(biāo)簽74中記錄有模版12的種類和作業(yè)過程等各種信息，讀取裝置以非接觸方式讀取無線標(biāo)簽74的信息，并基于該信息來進(jìn)行曝光設(shè)備1內(nèi)的各種控制。在曝光作業(yè)完成后，根據(jù)需要采用寫入裝置(未圖示)將模版12和模版輸送容器11的過程、作業(yè)過程等寫入無線標(biāo)簽74。由此，順利地進(jìn)行曝光作業(yè)或管理等。
此時(shí)，由于無線標(biāo)簽74由覆蓋板75密閉收納，所以，能夠防止無線標(biāo)簽74的脫落和機(jī)械損傷，此外，還可以防止無線標(biāo)簽74自身造成的對(duì)裝置的污染。
另外，在將模版輸送容器11放置于壓力變化的環(huán)境中的情況下，比如，象飛機(jī)進(jìn)行的輸送等那樣，放置在高空的氣壓較低的環(huán)境、與地上的氣壓較高的環(huán)境的情況下，有時(shí)模版輸送容器11的內(nèi)壓低于外壓。在此情況下，難以將艙13和門14分離，但是，由于膜式過濾器63允許氣體進(jìn)出模版輸送容器11的內(nèi)外，故防止了模版輸送容器11的內(nèi)壓低于外壓的情況。由此，容易分離艙13和門14。
另外，在置換模版輸送容器11內(nèi)部的氣體的情況下，將氣體供給管插入而連接到膜式過濾器安裝部62的管導(dǎo)向件65上，將非活性氣體或干燥空氣等供給管導(dǎo)向件65。
如上所述，在模版輸送容器11從模版儲(chǔ)存器2移動(dòng)到曝光設(shè)備1的燒制位置期間，朝向變換機(jī)構(gòu)81檢測(cè)模版輸送容器11的朝向并將其修正為適當(dāng)?shù)某?。也就是說，根據(jù)方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)83的檢測(cè)結(jié)果，在其方向偏離180°的情況下，由控制部84控制的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部82使該模版輸送容器11旋轉(zhuǎn)到標(biāo)準(zhǔn)的方向。
其結(jié)果，即使在模版輸送容器11的朝向偏離180°的情況下也不必停止模版處理系統(tǒng)即可自動(dòng)地將模版輸送容器11的朝向修正為標(biāo)準(zhǔn)的方向，所以，能夠提高處理工序中的作業(yè)效率。
由于將運(yùn)動(dòng)銷槽61錯(cuò)開180°地設(shè)置有兩組，所以，在搞錯(cuò)模版輸送容器11的方向而加以安裝的情況下，也能夠始終以正確的方向?qū)⒛０姘惭b于曝光設(shè)備中，從而能夠毫無問題地進(jìn)行安裝。
另外，在艙13的主體部17上，與運(yùn)動(dòng)銷槽61相配合地在六個(gè)部位設(shè)置有承接部22，所以，可以不注意模版輸送容器11的方向地疊置多個(gè)模版輸送容器11。對(duì)于該承接部，只要有至少四個(gè)承接部對(duì)稱地與運(yùn)動(dòng)銷槽相嵌合即可，不一定要設(shè)置為六個(gè)。
另外，利用模版保持器25等，可以無損傷地、安全且可靠地支承模版12等，可以更加慎重地處理模版12等。
此外，由于將各種信息記錄于無線標(biāo)簽74中而進(jìn)行管理，故可根據(jù)該信息，提高作業(yè)效率。此時(shí)，由于無線標(biāo)簽74由覆蓋板75密閉收納，故可不使無線標(biāo)簽74脫落，不對(duì)其造成機(jī)械性損傷，還可防止無線標(biāo)簽74本身造成的對(duì)裝置的污染。
還有，通過膜式過濾器63，允許氣體進(jìn)出模版輸送容器11的內(nèi)外，故可防止模版輸送容器11的內(nèi)壓低于外壓的情況，容易將艙13和門14分離。另外，可容易置換模版輸送容器11內(nèi)部的氣體。
另外，當(dāng)將上述模版輸送容器11變換成適當(dāng)朝向的機(jī)構(gòu)即上述控制部84判斷由上述方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)83檢測(cè)的方向偏離了180°時(shí)，控制上述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部82而旋轉(zhuǎn)到標(biāo)準(zhǔn)的方向，從而可以不停止系統(tǒng)地自動(dòng)將上述模版輸送容器11的朝向修正為標(biāo)準(zhǔn)的方向，可以提高處理工序中的作業(yè)效率。
上述方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)83具有以非接觸方式檢測(cè)上述模版輸送容器11的方向的無線標(biāo)簽74或光學(xué)傳感器，可以不停止模版輸送容器11的輸送地以非接觸的方式檢測(cè)其方向并使其旋轉(zhuǎn)到標(biāo)準(zhǔn)方向，所以，能提高處理工序中的作業(yè)效率。
在上述輸送機(jī)構(gòu)(4、5)內(nèi)或上述曝光設(shè)備1內(nèi)備有將上述模版輸送容器11變換為適當(dāng)朝向的機(jī)構(gòu)，判斷模版輸送容器11的方向是否正確，當(dāng)錯(cuò)誤時(shí)加以修正，所以可以提高處理工序中的作業(yè)效率。
在上述模版輸送容器11的門的外側(cè)表面上方向相差180°地設(shè)有兩組運(yùn)動(dòng)銷槽61，即使模版輸送容器11的方向錯(cuò)誤也能夠以該狀態(tài)進(jìn)行安裝，所以不必加倍注意模版輸送容器11的方向，可以實(shí)現(xiàn)作業(yè)的高效化。
將上述承接部22設(shè)置成，從任意方向都能嵌合上述兩組運(yùn)動(dòng)銷槽61，從而不必加倍注意多個(gè)模版輸送容器11的方向便可進(jìn)行疊置，所以，可以實(shí)現(xiàn)模版輸送容器11的層疊作業(yè)時(shí)的高效化。
再有，在上述實(shí)施方式中，1個(gè)膜式過濾器63設(shè)置于艙13側(cè)，但是其也可設(shè)置于門14側(cè)。該膜式過濾器63的設(shè)置個(gè)數(shù)不限于1個(gè)，也可為2個(gè)以上?？稍谂?3、門14中的某一者或兩者上，設(shè)置1個(gè)或多個(gè)膜式過濾器63。在此情況下，其設(shè)置于不會(huì)造成其它妨礙的位置上。
另外，在上述實(shí)施方式中，將無線標(biāo)簽74設(shè)置于門14的外側(cè)表面的1個(gè)部位上，但是也可根據(jù)需要而設(shè)置于2個(gè)以上的部位上。所設(shè)置的部位不限于門14側(cè)，也可設(shè)置于艙13上。還可設(shè)置于這兩者上。還有根據(jù)所要求的功能、讀取裝置和寫入裝置的關(guān)系，設(shè)置于艙13側(cè)的情況。此外，記錄于無線標(biāo)簽74中的信息不限于作業(yè)過程等，可記錄各種信息。
權(quán)利要求
1.一種模版處理系統(tǒng)，其特征在于，至少具有收納模版的模版輸送容器、輸送該模版輸送容器的輸送機(jī)構(gòu)、利用上述模版在半導(dǎo)體晶片上的抗蝕劑上燒制電路圖案的曝光設(shè)備、以及保管多個(gè)上述模版的模版儲(chǔ)存器，在從上述模版儲(chǔ)存器至上述曝光設(shè)備的燒制位置之間的路徑的至少一個(gè)部位上，備有檢測(cè)上述模版輸送容器的朝向并將該模版輸送容器變換為適當(dāng)朝向的機(jī)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的模版處理系統(tǒng)，其特征在于，上述將模版輸送容器變換為適當(dāng)朝向的機(jī)構(gòu)備有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部，使上述模版輸送容器旋轉(zhuǎn)；方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)，設(shè)置于從上述模版儲(chǔ)存器到上述曝光設(shè)備的燒制位置之間的路徑的任意處，檢測(cè)上述模版輸送容器的方向；控制部，判斷由該方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)檢測(cè)出的方向是否為標(biāo)準(zhǔn)的方向，當(dāng)方向偏離180°時(shí)，控制上述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部而旋轉(zhuǎn)到標(biāo)準(zhǔn)方向。
3.如權(quán)利要求2所述的模版處理系統(tǒng)，其特征在于，上述方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)備有以非接觸方式檢測(cè)上述模版輸送容器的方向的無線標(biāo)簽。
4.如權(quán)利要求2所述的模版處理系統(tǒng)，其特征在于，上述方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)備有以非接觸方式檢測(cè)上述模版輸送容器的方向的光學(xué)傳感器。
5.如權(quán)利要求1所述的模版處理系統(tǒng)，其特征在于，上述將模版輸送容器變換為適當(dāng)朝向的機(jī)構(gòu)配備在上述輸送機(jī)構(gòu)內(nèi)。
6.如權(quán)利要求1所述的模版處理系統(tǒng)，其特征在于，上述將模版輸送容器變換為適當(dāng)朝向的機(jī)構(gòu)配備在上述曝光設(shè)備內(nèi)。
7.如權(quán)利要求1所述的模版處理系統(tǒng)，其特征在于，以方向相差180°的方式設(shè)置有兩組運(yùn)動(dòng)銷槽，所述運(yùn)動(dòng)銷槽形成于上述模版輸送容器的門的外側(cè)表面上，用于定位并安裝于上述曝光設(shè)備。
8.如權(quán)利要求7所述的模版處理系統(tǒng)，其特征在于，在上述模版輸送容器的艙的外側(cè)表面中與上述運(yùn)動(dòng)銷槽相對(duì)應(yīng)的位置上，配置有用于承接并保持上述運(yùn)動(dòng)銷槽的承接部，所述承接部配置成從任意方向均可嵌合上述兩組運(yùn)動(dòng)銷槽。
全文摘要
對(duì)方向錯(cuò)誤地安裝的模版輸送容器(11)進(jìn)行自動(dòng)修正。該模版處理系統(tǒng)具有模版輸送容器、輸送模版輸送容器的輸送機(jī)構(gòu)(4、5)、燒制電路圖案的曝光設(shè)備、保管多個(gè)模版(12)的模版儲(chǔ)存器(2)。在從模版儲(chǔ)存器至曝光設(shè)備(1)的燒制位置之間的路徑上，備有檢測(cè)模版輸送容器的朝向并將模版輸送容器變換為適當(dāng)朝向的朝向變換機(jī)構(gòu)(81)。朝向變換機(jī)構(gòu)(81)備有使模版輸送容器旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部(82)、設(shè)置于從模版儲(chǔ)存器到曝光設(shè)備(1)的燒制位置之間的路徑的任意處并檢測(cè)模版輸送容器的方向的方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)(83)、當(dāng)由方向檢測(cè)機(jī)構(gòu)(83)檢測(cè)出的方向偏離180°時(shí)控制旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部(82)修正成標(biāo)準(zhǔn)方向的控制部(84)。
文檔編號(hào)G03F1/66GK1790168SQ200510131478
公開日2006年6月21日 申請(qǐng)日期2005年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月14日
發(fā)明者松鳥千明, 柳原公一 申請(qǐng)人:未來兒株式會(huì)社