專利名稱：頭單元、液滴噴射裝置、從基部制造面板的方法、圖像顯示裝置和電子裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于液滴噴射裝置中的頭單元、液滴噴射裝置、從基部制造面板的方法、圖像顯示裝置和電子裝置。
背景技術(shù)：
作為制造用于圖像顯示裝置用的面板的方法、諸如液晶顯示器的濾色鏡，使用液滴噴射裝置(噴墨圖畫裝置)的方法是公知的(諸如，參看JP-A-59-75205)。在此方法中，多個(gè)象素被形成在用于制造面板的襯底上，多個(gè)象素(噴射區(qū)域)通過將諸如墨的液體材料使用液滴噴射裝置以液滴的形式供給到多個(gè)象素上而被形成在所述面板上。這樣的用于制造面板的液滴噴射裝置通過將液體材料以液滴的形式供給到襯底上同時(shí)相對(duì)頭單元相互移動(dòng)用于支撐襯底的臺(tái)階而供給用于形成象素的液體材料到襯底上的多個(gè)象素上，多個(gè)液滴噴射頭被設(shè)置到所述頭單元上。
多個(gè)噴嘴(噴嘴開口)被形成為一個(gè)液滴噴射頭以被對(duì)齊，并且多個(gè)噴嘴構(gòu)成噴嘴陣列。由于噴嘴陣列的長(zhǎng)度比襯底的尺寸更短，多個(gè)液滴噴射頭被安置在頭單元上，這樣噴嘴陣列在從掃描方向上觀察時(shí)彼此連接，以讓液滴在頭單元的一次掃描操作上所噴射在其上的區(qū)域的寬度(將被劃出的寬度)更長(zhǎng)。
但是，由于不可避免地多個(gè)液滴噴射頭之中的噴射量發(fā)生一些變化，例如，一個(gè)液滴噴射頭噴射液體材料的液滴到其上的象素的顏色變深，另外的一個(gè)液滴噴射頭噴射液體材料的液滴到其上的象素的顏色變淺。在這樣的情況下，有個(gè)問題就是在面板上產(chǎn)生顏色不均勻性。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種用于液滴噴射裝置中的頭單元，液體噴射裝置，所述液滴噴射裝置可以制造沒有顏色不均勻的高質(zhì)量面板，從基部制造面板的方法，圖像顯示裝置和設(shè)有沒有顏色不均勻性的面板的電子裝置。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，在本發(fā)明的一方面中，本發(fā)明涉及一種用于使用在液滴噴射裝置中的頭單元。頭單元設(shè)有多個(gè)液滴噴射頭，用于將一種或者多種類型的預(yù)定顏色的液體材料以液滴的形式噴射到基部上。各液滴噴射頭包括至少一個(gè)噴嘴陣列，所述噴嘴陣列從多個(gè)線性對(duì)齊的噴嘴所形成。液體材料適于以液滴的方式通過多個(gè)液滴噴射頭的多個(gè)噴嘴被噴射。用于噴射相同顏色的液體材料的多個(gè)液滴噴射頭被安置，這樣多個(gè)液滴噴射頭的噴嘴陣列彼此在第一方向上平行，當(dāng)從垂直于第一方向的第二方向觀察時(shí)，多個(gè)液滴噴射頭的每個(gè)部分重疊至少其它液滴噴射頭之一。所有的多個(gè)用于噴射彼此部分重疊的相同顏色的液體材料的液滴噴射頭以液滴的形式將液體材料噴射到基部的預(yù)定區(qū)域上。
根據(jù)本發(fā)明的液滴噴射裝置中所使用的頭單元，就可以通過多個(gè)液滴噴射頭的噴嘴將液體材料的液滴使用噴嘴陣列的重疊(overlap)噴射到一個(gè)噴射區(qū)域(即，一個(gè)象素)上。因此，即使在多個(gè)液滴噴射頭的噴射量之中存在變化(誤差)的情況下，就可以防止有害的顏色不均勻性被產(chǎn)生在面板的表面中，所述面板使用本發(fā)明的頭單元從基部制造。換言之，與本發(fā)明相比，在液體材料通過僅僅一個(gè)液滴噴射頭的噴嘴而被供給到一個(gè)噴射區(qū)域上的情況下，液滴噴射頭的噴射量的變化直接導(dǎo)致將被供給到各噴射區(qū)域上的液體材料量的變化(誤差)，由此在將被制造的面板上顯著出現(xiàn)顏色不均勻性。換言之，在本發(fā)明中，由于將被供給到一個(gè)噴射區(qū)域上的液體材料量變成在掃描方向上重疊的多個(gè)液滴噴射頭的噴射量的平均，就可以使得將被供給到各噴射區(qū)域上的液體材料量變得均勻，由此就可以防止產(chǎn)生顏色不均勻性。
此外，通過安置多個(gè)液滴噴射頭這樣多個(gè)液滴噴射頭的噴嘴陣列在第一方向上彼此平行，并且從垂直于第一方向的第二方向觀察時(shí)多個(gè)液滴噴射頭的每個(gè)部分重疊至少其它的液滴噴射頭之一，本發(fā)明的頭單元具有下述優(yōu)點(diǎn)。
由于其結(jié)構(gòu)，液滴噴射頭通常趨于沿著噴嘴陣列相互地上下變化各噴嘴的噴射量。例如，在噴嘴陣列的中心的附近中的一個(gè)噴嘴中的噴射量相對(duì)更小的情況下，噴嘴陣列的兩端越近，一個(gè)噴嘴中的噴射量變得越多。在這樣的情況下，與本發(fā)明的頭單元相比，在用于以液滴的形式將液體材料噴射到一個(gè)噴射區(qū)域(即，一個(gè)象素)上的多個(gè)液滴噴射頭被對(duì)齊的情況下，多個(gè)液滴噴射頭中沿著噴嘴陣列的各噴嘴的噴射量的變化直接導(dǎo)致將被供給到各噴射區(qū)域上的液體材料量的變化(誤差)，由此在將被制造的面板上顯著出現(xiàn)顏色不均勻性。
另一方面，在本發(fā)明中，由于頭單元具有如上所述的結(jié)構(gòu)，一個(gè)液滴通過其噴射到一個(gè)液滴噴射頭的噴嘴陣列的多個(gè)噴嘴中的一個(gè)噴射區(qū)域上的一個(gè)噴嘴的位置與液滴被噴射到其它的液滴噴射頭的噴嘴陣列的多個(gè)噴嘴中的一個(gè)噴射區(qū)域上的一個(gè)噴嘴的位置不同。這樣，所述一個(gè)液滴噴射頭中的這樣的一個(gè)噴嘴的噴射量趨于與另外的液滴噴射頭中的這樣的一個(gè)噴嘴的噴射量不同。將被供給到一個(gè)噴射區(qū)域上的液體材料量變成多個(gè)液滴噴射頭中的對(duì)應(yīng)噴嘴的噴射量的平均值。因此，在本發(fā)明中，就可以通過平均噴射量來(lái)沿著噴嘴陣列補(bǔ)償各噴嘴的噴射量中的變化，并且這使得其可以使得供給到各噴射區(qū)域上的液體材料量均勻化，由此就可以更為可靠地防止有害的顏色不均勻性產(chǎn)生在將被制造的面板的表面中。
在本發(fā)明的頭單元中，優(yōu)選地，一種或者多種類型的液體材料包括三種類型的液體材料，分別具有紅、綠和藍(lán)色。
在本發(fā)明的另外一方面中，本發(fā)明涉及用于將一種或者多種類型的液體材料以液滴的方式供給到基部上的液滴噴射裝置。一種或者多種類型的液體材料具有預(yù)定的顏色。所述裝置包括如權(quán)利要求1所述的頭單元；具有兩個(gè)主表面的臺(tái)階，臺(tái)階的兩個(gè)主表面之一朝向頭單元的多個(gè)液滴噴射頭，基部被支撐在臺(tái)階的一個(gè)主表面上；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于相對(duì)頭單元相互移動(dòng)臺(tái)階；以及控制單元，所述控制單元用于控制頭單元以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)的操作，這樣頭單元的多個(gè)液滴噴射頭的每個(gè)將液體材料的液滴噴射到基部上，同時(shí)在垂直于第一方向的第二方向上相對(duì)頭單元相互移動(dòng)臺(tái)階。
根據(jù)本發(fā)明的液滴噴射裝置，就可以使用噴嘴陣列的重疊通過多個(gè)液滴噴射頭的噴嘴將液體材料的液滴噴射到一個(gè)噴射區(qū)域(即、一個(gè)象素)上。因此，即使在多個(gè)液滴噴射頭的噴射量之中存在變化(誤差)的情況下，就可以防止有害的顏色不均勻性被產(chǎn)生在面板的表面中，所述面板使用本發(fā)明的頭單元從基部制造。換言之，與本發(fā)明相比，在液體材料通過僅僅一個(gè)液滴噴射頭的噴嘴而被供給到一個(gè)噴射區(qū)域上的情況下，液滴噴射頭的噴射量的變化直接導(dǎo)致將被供給到各噴射區(qū)域上的液體材料量的變化(誤差)，由此在面板上顯著出現(xiàn)顏色不均勻性。另一方面，在本發(fā)明中，由于將被供給到一個(gè)噴射區(qū)域上的液體材料量變成在掃描方向上重疊的多個(gè)液滴噴射頭的噴射量的平均，就可以使得將被供給到各噴射區(qū)域上的液體材料量變得均勻，由此就可以防止產(chǎn)生顏色不均勻性。
在本發(fā)明的液滴噴射裝置中，優(yōu)選地基部是用于制造濾色鏡襯底的基部材料，所述濾色鏡襯底用于液晶顯示器，并且一種或者多種類型的液體材料是用于形成濾色鏡襯底的濾色鏡層的墨。
這使得可以用很高的生產(chǎn)率(制造效率)制造沒有顏色不均勻和條紋的液晶顯示器用的濾色鏡襯底。
在本發(fā)明的液滴噴射裝置中，優(yōu)選地，基部是用于制造電致發(fā)光顯示器的基部材料，以及一種或者多種類型的液體材料包括用于制造電致發(fā)光顯示器的發(fā)光材料。
這使得可以用很高的生產(chǎn)率(制造效率)制造沒有顏色不均勻和條紋的電致發(fā)光顯示器用的濾色鏡襯底。
在本發(fā)明的另外的實(shí)施例中，本發(fā)明涉及使用如上所述的液滴噴射裝置從基部制造面板的方法。所述方法包括步驟制備基部；以及將預(yù)定顏色的一種或者多種類型的液體材料以液滴的形式通過液滴噴射裝置噴射液滴而供給到基部上同時(shí)相對(duì)頭單元在垂直于第一方向的第二方向上相互移動(dòng)基部。
根據(jù)本發(fā)明的使用液滴噴射裝置從基部制造面板的方法，就可以使用噴嘴陣列的重疊通過多個(gè)液滴噴射頭的噴嘴將液體材料噴射到一個(gè)噴射區(qū)域(即、一個(gè)象素)上。因此，即使在多個(gè)液滴噴射頭的噴射量之中存在變化(誤差)的情況下，就可以防止有害的顏色不均勻性被產(chǎn)生在面板的表面中，所述面板使用本發(fā)明的頭單元從基部制造。換言之，與本發(fā)明相比，在液體材料通過僅僅一個(gè)液滴噴射頭的噴嘴而被供給到一個(gè)噴射區(qū)域上的情況下，液滴噴射頭的噴射量的變化直接導(dǎo)致將被供給到各噴射區(qū)域上的液體材料量的變化(誤差)，由此在面板上顯著出現(xiàn)顏色不均勻性。另一方面，在本發(fā)明中，由于將被供給到一個(gè)噴射區(qū)域上的液體材料量變成在掃描方向上重疊的多個(gè)液滴噴射頭的噴射量的平均，就可以使得將被供給到各噴射區(qū)域上的液體材料量變得均勻，由此就可以防止產(chǎn)生顏色不均勻性。
此外，通過安置多個(gè)液滴噴射頭這樣多個(gè)液滴噴射頭的噴嘴陣列在第一方向上彼此平行，并且從垂直于第一方向的第二方向觀察時(shí)多個(gè)液滴噴射頭的每個(gè)部分重疊至少其它的液滴噴射頭之一，本發(fā)明的頭單元具有下述優(yōu)點(diǎn)。
由于其結(jié)構(gòu)，液滴噴射頭通常趨于沿著噴嘴陣列相互地上下變化各噴嘴的噴射量。例如，在噴嘴陣列的中心的附近中的一個(gè)噴嘴中的噴射量相對(duì)較小的情況下，噴嘴陣列的兩端越近，一個(gè)噴嘴中的噴射量變得越多。在這樣的情況下，與本發(fā)明的頭單元相比，在用于以液滴的形式將液體材料噴射到一個(gè)噴射區(qū)域(即，一個(gè)象素)上的多個(gè)液滴噴射頭被對(duì)齊的情況下，多個(gè)液滴噴射頭中沿著噴嘴陣列的各噴嘴的噴射量的變化直接導(dǎo)致將被供給到各噴射區(qū)域上的液體材料量的變化(誤差)，由此在將被制造的面板上顯著出現(xiàn)顏色不均勻性。
另一方面，在本發(fā)明中，由于頭單元具有如上所述的結(jié)構(gòu)，一個(gè)液滴通過其噴射到一個(gè)液滴噴射頭的噴嘴陣列的多個(gè)噴嘴中的一個(gè)區(qū)域上的一個(gè)噴嘴的位置與液滴被噴射到另外的液滴噴射頭的噴嘴陣列的多個(gè)噴嘴中的一個(gè)噴射區(qū)域上的一個(gè)噴嘴的位置不同。這樣，所述一個(gè)液滴噴射頭中的這樣的一個(gè)噴嘴的噴射量趨于與其它的液滴噴射頭中的這樣的一個(gè)噴嘴的噴射量不同。將被供給到一個(gè)噴射區(qū)域上的液體材料量變成多個(gè)液滴噴射頭中的對(duì)應(yīng)噴嘴的噴射量的平均值。因此，在本發(fā)明中，就可以通過平均噴射量來(lái)沿著噴嘴陣列補(bǔ)償各噴嘴的噴射量中的變化，并且這使得其可以使得供給到各噴射區(qū)域上的液體材料量均勻化，由此就可以更為可靠地防止有害的顏色不均勻性產(chǎn)生在將被制造的面板的表面中。
在根據(jù)本發(fā)明從基部制造面板的方法中，優(yōu)選地，基部是用于制造濾色鏡襯底的基部材料，所述濾色鏡襯底用于液晶顯示器，并且一種或者多種類型的液體材料是用于形成濾色鏡襯底的濾色鏡層的墨。
這使得可以用很高的生產(chǎn)率(制造效率)制造沒有顏色不均勻的液晶顯示器用的濾色鏡襯底。
在根據(jù)本發(fā)明從基部制造面板的方法中，優(yōu)選地，基部是用于制造電致發(fā)光顯示器的基部材料，以及一種或者多種類型的液體材料包括用于制造電致發(fā)光顯示器的發(fā)光材料。
這使得可以用很高的生產(chǎn)率(制造效率)制造沒有顏色不均勻的電致發(fā)光顯示器用的濾色鏡襯底。
在本發(fā)明的另外一方面中，本發(fā)明涉及包括使用如上所述的方法制造的面板的圖像顯示裝置。
這使得可以用很高的生產(chǎn)率(制造效率)制造沒有顏色不均勻的圖像顯示裝置。
在本發(fā)明的另外一方面中，本發(fā)明涉及包括如上所述的圖像顯示裝置的電子裝置。
這使得可以用很高的生產(chǎn)率(制造效率)制造包括沒有顏色不均勻的圖像顯示裝置的電子裝置。


本發(fā)明的這些和/或者其它方面將從下述實(shí)施例并結(jié)合附圖的說(shuō)明變得顯而易見并更容易理解，其中圖1是本發(fā)明的實(shí)施例的液滴噴射裝置的透視圖；圖2是顯示如圖1中所示的液體噴射裝置的頭單元和基部的平面圖；圖3是顯示了液滴噴射頭的噴嘴表面(噴嘴板)的一部分以及基部的象素的放大平面圖；圖4(a)和4(b)分別是如圖1所示的液滴噴射裝置的液滴噴射頭的透視橫截面視圖以及橫截面視圖；圖5是圖1中所示的液滴噴射裝置的方框圖；圖6(a)是頭驅(qū)動(dòng)單元的示意圖；圖6(b)是顯示用于頭驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)信號(hào)、選擇信號(hào)和噴射信號(hào)的時(shí)序圖；圖7是顯示了制造濾色鏡襯底的方法的示意橫截面視圖；圖8是用于解釋根據(jù)本發(fā)明的液滴噴射裝置的頭單元中的液滴噴射頭的每個(gè)的位置關(guān)系的示意平面圖；圖9是示意顯示了本發(fā)明的液滴噴射裝置中的頭單元的結(jié)構(gòu)的另外的示例的平面圖；圖10是顯示制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法的示意橫截面視圖；圖11是顯示移動(dòng)(或者膝上型)個(gè)人計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)的透視圖，本發(fā)明的電子裝置施加到所述個(gè)人計(jì)算機(jī)上；圖12顯示了便攜電話(包括個(gè)人手持電話系統(tǒng))的結(jié)構(gòu)的透視圖，本發(fā)明的電子裝置應(yīng)用到所述便攜電話上；圖13是本發(fā)明的電子裝置所應(yīng)用的數(shù)碼相機(jī)的結(jié)構(gòu)的透視圖。
具體實(shí)施例方式
頭單元、液滴噴射裝置、從基部制造面板的方法、圖像顯示裝置和根據(jù)本發(fā)明的電子裝置的優(yōu)選實(shí)施例將參照附圖進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
在本實(shí)施例中，制造將變成作為面板的一個(gè)示例的液晶顯示器的部件的濾色鏡襯底10的情況將被典型地說(shuō)明。
(液滴噴射裝置的整個(gè)結(jié)構(gòu))圖1是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的液滴噴射裝置1的透視圖。如圖1所示，液滴噴射裝置1設(shè)有頭單元103，其中多個(gè)液滴噴射頭2被安裝在承載器105上；用于在一個(gè)水平方向上(此后稱為“X軸方向”)移動(dòng)頭單元103的承載器移動(dòng)機(jī)構(gòu)(移動(dòng)機(jī)構(gòu))104；臺(tái)階106，用于支撐此后將被說(shuō)明的基部10A；臺(tái)階移動(dòng)機(jī)構(gòu)(移動(dòng)機(jī)構(gòu))108，用于在垂直于X軸方向的水平方向(此后，稱為“Y軸方向”)上移動(dòng)臺(tái)階106；以及控制單元112，用于控制頭單元103，承載器移動(dòng)機(jī)構(gòu)104以及臺(tái)階移動(dòng)機(jī)構(gòu)108。
此外，三個(gè)箱101被設(shè)置用于存儲(chǔ)三種類型的液體材料111，包括液滴噴射裝置1的附近中的紅色(R)、綠色(G)和藍(lán)色(B)。各箱101通過用作發(fā)送液體材料111的流動(dòng)路徑的管110連接到頭單元103。存儲(chǔ)在各箱101中的液體材料111被發(fā)送(供給)到頭單元103中的各液滴噴射頭2。
對(duì)于此，本發(fā)明的“液體材料”包括用于形成面板的象素的材料，并意味著具有充分粘度的材料以通過液滴噴射頭2的噴嘴25所噴射。在這種情況下，所述材料可以是水基或者油基。此外，所述材料只需要通過液滴噴射頭2的噴嘴25具有可噴射流動(dòng)性(粘度)。即使固體材料可以彌散在所述材料中，所述材料整體可以是一種流體。本實(shí)施例中的液體材料111是其中用于形成濾色鏡襯底10的象素的濾色鏡層的色素被溶解或者彌散在有機(jī)溶劑中的有機(jī)溶劑墨。
對(duì)于此，在下述說(shuō)明中，在區(qū)別紅色、綠色和藍(lán)色的液體材料111的情況下，它們分別稱為“液體材料111R、111G和111B”。另一方面，在沒有區(qū)別顏色時(shí)通常命名它們的情況下，它們的每個(gè)被簡(jiǎn)單稱為“液體材料111”。
承載器移動(dòng)機(jī)構(gòu)104的操作通過控制單元112所控制。本實(shí)施例中的承載器移動(dòng)機(jī)構(gòu)104具有通過沿著垂直方向(此后稱為“Z軸方向”)移動(dòng)頭單元103而調(diào)整頭單元103的高度的功能。此外，承載器移動(dòng)機(jī)構(gòu)104也具有圍繞平行于Z軸方向的軸線旋轉(zhuǎn)頭單元103的功能，以及這使得其可以圍繞Z軸微調(diào)頭單元103的角度。
臺(tái)階106具有平行于X軸方向和Y軸方向的平面。此外，臺(tái)階106被構(gòu)造，這樣用于制造濾色鏡襯底10的基部10A可以被固定或者保持(或者支撐)在其上。臺(tái)階移動(dòng)機(jī)構(gòu)108沿著垂直于X軸方向和Z軸方向的Y軸方向移動(dòng)臺(tái)階106。臺(tái)階移動(dòng)機(jī)構(gòu)108的操作通過控制單元112所控制。此外，本實(shí)施例中的臺(tái)階移動(dòng)機(jī)構(gòu)108也具有圍繞平行于Z軸方向的軸線旋轉(zhuǎn)臺(tái)階106的功能，并且這使得其可以圍繞Z軸方向微調(diào)安裝到臺(tái)階106上的基部10A的斜度，這樣基部10A變得相對(duì)頭單元103筆直。
如上所述，頭單元103通過承載器移動(dòng)機(jī)構(gòu)104被移動(dòng)到X軸方向上。另一方面，臺(tái)階106通過臺(tái)階移動(dòng)機(jī)構(gòu)108被移動(dòng)到Y(jié)軸方向上。因此，頭單元103相對(duì)臺(tái)階106的相互位置可以通過承載器移動(dòng)機(jī)構(gòu)104和臺(tái)階移動(dòng)機(jī)構(gòu)108所改變。
對(duì)于此，將在后面詳細(xì)描述控制單元112的結(jié)構(gòu)和功能。
(頭單元)圖2是如圖1所示的液滴噴射裝置1的頭單元103和基部10A的平面圖。如圖2所示的頭單元103具有其中多個(gè)液滴噴射頭2被安裝到承載器105上的結(jié)構(gòu)。承載器105用鏈條雙劃線被顯示在圖2中。此外，分別顯示多個(gè)液滴噴射頭2的實(shí)線指示多個(gè)液滴噴射頭2的噴嘴表面的位置(即，此后所描述的噴嘴板128)。
用于噴射紅色的液體材料111R的四個(gè)液滴噴射頭2、用于噴射綠色的液體材料111G的四個(gè)液滴噴射頭2和用于噴射藍(lán)色的液體材料111B的四個(gè)液滴噴射頭2被設(shè)置在頭單元103上。用于噴射紅色的液體材料111R的四個(gè)液滴噴射頭2包括第一液滴噴射頭21R、第二液滴噴射頭22R、第三液滴噴射頭23R和液滴噴射頭24R。用于噴射綠色的液體材料111G的四個(gè)液滴噴射頭2包括第一液滴噴射頭21G、第二液滴噴射頭22G、第三液滴噴射頭23G和液滴噴射頭24G。用于噴射藍(lán)色的液體材料111B的四個(gè)液滴噴射頭2包括第一液滴噴射頭21B、第二液滴噴射頭22B、第三液滴噴射頭23B和液滴噴射頭24B。
在下述說(shuō)明中，在沒有用將被噴射的液體材料的顏色來(lái)區(qū)別時(shí)通常命名這些液滴噴射頭2的情況下，它們的每個(gè)被簡(jiǎn)單地稱為“液滴噴射頭2”。另一方面，在區(qū)別用于噴射紅色、綠色和藍(lán)色的液體材料的液滴噴射頭2的情況下，它們被稱為諸如“第一液滴噴射頭21R、第二液滴噴射頭22R、...”。
如圖2所示的基部10A是用于制造用于液晶顯示器的濾色鏡襯底10的基部材料，濾色鏡以條狀被安置在液晶顯示器上。多個(gè)紅色象素(噴射區(qū)域)18R、多個(gè)綠色象素(噴射區(qū)域)18G和多個(gè)藍(lán)色象素(噴射區(qū)域)18B被設(shè)置在基部10A上。液滴噴射裝置1操作，這樣紅色的液體材料111R被供給到各象素18R上，綠色的液體材料111G被供給到各象素18G上，藍(lán)色的液體材料111B被供給到各象素18B上。
各象素18R、18G和18B具有基本矩形形狀。基部10A用其中各象素18R、18G和18B的縱向軸方向平行于X軸方向以及各象素18R、18G和18B的短軸方向平行于Y軸方向的姿勢(shì)而被支撐在臺(tái)階106上。多個(gè)象素18R、18G、18B被安置在基部10A上以用此順序沿著Y軸的方向重復(fù)安置，這樣相同顏色的象素沿著X軸的方向被安置。安置在Y軸方向上的一組象素18R、18G和18B對(duì)應(yīng)將被制造的濾色鏡襯底10的一個(gè)圖像成分。
(液滴噴射頭)圖3是顯示了液滴噴射頭2的噴嘴表面(噴嘴板128)和基部10A的象素的放大平面圖。對(duì)于此，盡管各液滴噴射頭2的噴嘴表面被設(shè)置以朝向基部10A，即在垂直方向上，用于方便視覺，圖3用實(shí)線顯示了液滴噴射頭2的每個(gè)的噴嘴表面。多個(gè)噴嘴25(噴嘴孔)被形成在各液滴噴射頭2的噴嘴表面上以在均勻的間距上沿著X軸線性對(duì)齊。各液滴噴射頭2中的多個(gè)噴嘴25構(gòu)成至少一個(gè)噴嘴陣列。在本實(shí)施例中，兩個(gè)噴嘴陣列以平行的方式被形成在各液滴噴射頭2上以相對(duì)彼此以半個(gè)節(jié)距偏移。但是，本發(fā)明不限于此。一個(gè)液滴噴射頭2的噴嘴陣列的數(shù)目可以是1或者3或者更多。此外，被形成在一個(gè)液滴噴射頭2上的噴嘴25的數(shù)目不特別限制，并且其通?？梢栽诖蠹s幾十到幾百的范圍中。
圖4(a)和4(b)分別是如圖1所示的液滴噴射裝置1的液滴噴射頭2的透視橫截面視圖和橫截面視圖。如圖4(a)、4(b)中所示，各液滴噴射裝置2構(gòu)成噴墨頭。具體而言，液滴噴射頭2設(shè)有隔膜板126和噴嘴板128。貯液器(reservoir)129被安置在隔膜板126和噴嘴板128之間。貯液器129被安置在隔膜板126和噴嘴板128之間。貯液器129填充通過墨吸入端口131從箱101供給的液體材料111。
多個(gè)分開壁122被安置在隔膜板126和噴嘴板128之間。腔120通過隔膜板126、噴嘴板128和一對(duì)分開壁122所限定。由于腔120根據(jù)一個(gè)噴嘴25所設(shè)置，腔120的數(shù)目與噴嘴25的數(shù)目相同。液體材料111通過設(shè)置在一對(duì)分開壁122之間的墨供給端口130而被供給到腔120。
作為驅(qū)動(dòng)元件的振動(dòng)器124根據(jù)各腔120被安置在隔膜板126上。振動(dòng)器124改變填充在腔120之內(nèi)的液體材料111的液體壓力，并包括壓電元件124C以及一對(duì)電極124A和124B，壓電元件124C被夾持在所述一對(duì)電極124A和124B之間。通過在所述一對(duì)電極124A和124B之間施加驅(qū)動(dòng)電壓信號(hào)，壓電元件124C變形以改變填充在腔120之內(nèi)的液體材料的液體壓力，由此以液滴的形式通過對(duì)應(yīng)的噴嘴25噴射液體材料111。各噴嘴25的形狀被調(diào)整，這樣液體材料111通過各噴嘴25在Z軸方向上被噴射。
如圖1所示的控制單元112可以被構(gòu)造以將驅(qū)動(dòng)電壓信號(hào)施加到彼此獨(dú)立的多個(gè)振動(dòng)器124的每個(gè)上。換言之，將通過各噴嘴25噴射的液體材料111的體積可以參照各噴嘴25根據(jù)來(lái)自控制單元112的驅(qū)動(dòng)電壓信號(hào)來(lái)進(jìn)行控制。
對(duì)于此，液滴噴射頭2不限于使用如圖4所示的壓電執(zhí)行器作為驅(qū)動(dòng)元件。例如，液滴噴射頭2可以使用靜電執(zhí)行器，或者可以具有其中液體材料111使用通過電熱轉(zhuǎn)換元件而使用液體材料111的熱膨脹(薄膜煮沸)而被噴射的結(jié)構(gòu)。
(控制單元)接著，現(xiàn)在將說(shuō)明控制單元112的結(jié)構(gòu)。圖5是如圖1所示的液滴噴射裝置1的方框圖，其包括控制單元112。如圖5所示，控制單元112設(shè)有輸入緩沖存儲(chǔ)器200、存儲(chǔ)單元202、處理單元204、掃描驅(qū)動(dòng)單元206、頭驅(qū)動(dòng)單元208、承載器位置檢測(cè)裝置302、以及臺(tái)階位置檢測(cè)裝置303。
處理單元204被電學(xué)地連接到各輸入緩沖存儲(chǔ)器200、存儲(chǔ)單元202、掃描驅(qū)動(dòng)單元206、頭驅(qū)動(dòng)單元208、承載器位置檢測(cè)裝置302、以及臺(tái)階位置檢測(cè)裝置303。此外，掃描驅(qū)動(dòng)單元206被電學(xué)地連接到承載器移動(dòng)單元104和臺(tái)階移動(dòng)機(jī)構(gòu)108。相似地，頭驅(qū)動(dòng)單元208被電學(xué)地連接到頭單元103中的多個(gè)液滴噴射頭2的每個(gè)。
輸入緩沖存儲(chǔ)器200在將被噴射用于液體材料111的液滴的位置上接收數(shù)據(jù)，即，來(lái)自外部信息處理裝置的畫案數(shù)據(jù)。輸入緩沖存儲(chǔ)器200將畫案數(shù)據(jù)輸出到處理單元204，處理單元204然后將畫案數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)單元202中。對(duì)于此，如圖5所示的存儲(chǔ)單元202從RAM(隨機(jī)獲取存儲(chǔ)器)、磁性記錄介質(zhì)、磁光記錄介質(zhì)等所構(gòu)成。
承載器位置檢測(cè)裝置302檢測(cè)承載器105的位置，即，X軸方向中的頭單元103(在X軸方向上的承載器105的移動(dòng)距離)，并將所檢測(cè)的信號(hào)輸出到處理單元204。承載器位置檢測(cè)裝置302和臺(tái)階位置檢測(cè)裝置303從諸如線性編碼器、激光長(zhǎng)度測(cè)量裝置等所構(gòu)成。
處理單元204通過承載器位置檢測(cè)裝置302和臺(tái)階位置檢測(cè)裝置303所檢測(cè)的信號(hào)的基礎(chǔ)上控制承載器移動(dòng)機(jī)構(gòu)104和臺(tái)階移動(dòng)機(jī)構(gòu)108的操作，由此控制頭單元103的位置和基部10A的位置。此外，處理單元204通過控制臺(tái)階移動(dòng)機(jī)構(gòu)108的操作控制臺(tái)階106，即基部10A的速度。
此外，基于存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)單元202中的畫案數(shù)據(jù)，處理單元204輸出用于規(guī)定各噴嘴25在各噴射時(shí)序中的ON/OFF的選擇信號(hào)SC至頭驅(qū)動(dòng)單元208。然后基于選擇信號(hào)SC，頭驅(qū)動(dòng)單元208將需要將液體材料111噴射的噴射信號(hào)輸出到各液滴噴射頭2上。結(jié)果，液體材料111通過各液滴噴射頭2中的對(duì)應(yīng)的噴嘴25以液滴的形式噴射。
控制單元112可以是設(shè)有CPU(中央處理器)、ROM(只讀存儲(chǔ)器)、RAM等的計(jì)算機(jī)。在這種情況下，如上所述的控制單元112的操作可以使用計(jì)算機(jī)所執(zhí)行的軟件程序所實(shí)現(xiàn)?？蛇x地，控制單元112可以用專門的電路(即，使用硬件)來(lái)實(shí)現(xiàn)。
接著，控制單元112中的頭驅(qū)動(dòng)單元208的結(jié)構(gòu)和功能將被說(shuō)明。圖6(a)是頭驅(qū)動(dòng)單元208的示意圖。圖6(b)是顯示驅(qū)動(dòng)信號(hào)、選擇信號(hào)和用于頭驅(qū)動(dòng)單元208的噴射信號(hào)的時(shí)序圖。如圖6(a)中所示，頭驅(qū)動(dòng)單元208包括一個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)產(chǎn)生器203，多個(gè)模擬開關(guān)AS。如圖6(b)所示，驅(qū)動(dòng)信號(hào)產(chǎn)生器203產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS。驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS的電位相對(duì)參考電位臨時(shí)被改變。具體而言，驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS包括多個(gè)噴射波形P，所述噴射波形重復(fù)噴射循環(huán)EP。對(duì)于此，噴射波形P對(duì)應(yīng)將被在對(duì)應(yīng)的振動(dòng)器124中的一對(duì)電極124A、124B之間所施加的驅(qū)動(dòng)電壓波形以通過一個(gè)噴嘴25噴射一個(gè)液滴。
驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS被供給到各模擬開關(guān)AS的輸入端子。各模擬開關(guān)AS根據(jù)各噴嘴25被提供。即，模擬開關(guān)AS的數(shù)目與噴嘴25的數(shù)目相同。
處理單元204將用于指示各噴嘴25ON/OFF的選擇信號(hào)SC輸出到各模擬開關(guān)AS。對(duì)于此，選擇信號(hào)SC可以相對(duì)各模擬開關(guān)AS變成高電平狀態(tài)或者低電平狀態(tài)。響應(yīng)驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS和選擇信號(hào)SC，各模擬開關(guān)AS將噴射信號(hào)ES施加到對(duì)應(yīng)振動(dòng)器124的電機(jī)124A。具體而言，在選擇信號(hào)SC變成高電平狀態(tài)的情況下，對(duì)應(yīng)的模擬開關(guān)AS轉(zhuǎn)變?yōu)镺N，并將驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS作為噴射信號(hào)ES施加到對(duì)應(yīng)的電極124A。另一方面，在選擇信號(hào)SC變成低電平狀態(tài)的情況下，對(duì)應(yīng)的模擬開關(guān)AS被變?yōu)镺FF，對(duì)應(yīng)的模擬開關(guān)AS輸出到對(duì)應(yīng)的電極124A的噴射信號(hào)ES的電位變成參考電位L。當(dāng)驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS被施加到振動(dòng)器124的電機(jī)124A，液體材料111通過對(duì)應(yīng)振動(dòng)器124的噴嘴25所噴射。對(duì)于此，參考電位L被施加到各振動(dòng)器124的電極124B。
在如圖6(b)所示的示例中，兩個(gè)選擇信號(hào)SC的每個(gè)的高電平周期和低電平周期被設(shè)置，這樣噴射波形P以兩個(gè)噴射信號(hào)ES中的每個(gè)的噴射循環(huán)EP的兩倍的循環(huán)2EP出現(xiàn)。這樣，液體材料111以液滴的形式以循環(huán)2EP通過兩個(gè)對(duì)應(yīng)的噴嘴25的每個(gè)被噴射。相同的驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS被施加到各振動(dòng)器124，所述振動(dòng)器124從共享的驅(qū)動(dòng)信號(hào)產(chǎn)生器203對(duì)應(yīng)兩個(gè)噴嘴25。出于此原因，液體材料111通過兩個(gè)噴嘴25在基本相同的時(shí)序上被噴射。
這樣的液滴噴射裝置1操作，這樣液體材料111的液滴通過頭單元103中各液滴噴射頭2的每個(gè)的噴嘴25所噴射，并供給(著陸)到基部10A上的各象素18R、18G和18B，同時(shí)通過臺(tái)階移動(dòng)機(jī)構(gòu)108的操作移動(dòng)支撐在Y軸方向上的臺(tái)階106上的基部10A，并通過頭單元103之下的基部10A。此后，此液滴噴射裝置1的操作可以被稱為“頭單元103和基部10A之間的主掃描方向”。
在X軸方向上的基部10A的寬度小于液體材料111可以相對(duì)基部10A噴射的X軸方向上的整個(gè)頭單元103的長(zhǎng)度(即，此后所述的整個(gè)噴射寬度W)，就可以將液體材料111通過在頭單元103和基部104之間執(zhí)行主掃描運(yùn)動(dòng)一次而供給到整個(gè)基部10A上。另一方面，在X軸方向上的基部10A的寬度大于頭單元103的整個(gè)噴射寬度W的情況下，就可以將液體材料111重復(fù)交替改變?cè)陬^單元103和基部10A之間的主掃描運(yùn)動(dòng)和通過承載器移動(dòng)機(jī)構(gòu)104的操作X軸方向上頭單元103的運(yùn)動(dòng)(稱為“輔助掃描運(yùn)動(dòng)”)供給到整個(gè)基部10A上。
接著，使用如上所述的液滴噴射裝置1制造濾色鏡襯底10的方法將被詳細(xì)說(shuō)明。圖7是顯示了制造濾色鏡襯底10的方法的示意橫截面視圖。如圖7所示，基部10A包括具有較高透光性的支撐襯底12，以及多個(gè)象素18R、18G、18B，每個(gè)變成形成在支撐襯底12上的顏色元件(象素區(qū)域)以與黑矩陣14和岸16分離。黑矩陣14從具有光屏蔽效果的材料所形成。設(shè)置在黑矩陣14上的黑矩陣14和岸16被安置在支撐襯底12上，這樣多個(gè)透光部分，即多個(gè)象素18R、18G和18B通過它們以矩陣的方式來(lái)限定。即，多個(gè)象素18R、18G和1(B通過支撐襯底12，黑矩陣14和岸16被形成作為隔板。象素18R是其中只有具有在紅色波長(zhǎng)區(qū)域之內(nèi)的任何波長(zhǎng)的光透過的濾色鏡層111FR將被形成的區(qū)域。象素18G是其中只有具有在綠色波長(zhǎng)區(qū)域之內(nèi)的任何波長(zhǎng)的光透過的濾色鏡層111FG將被形成的區(qū)域。象素18B是其中只有具有在藍(lán)色波長(zhǎng)區(qū)域之內(nèi)的任何波長(zhǎng)的光透過的濾色鏡層111FB將被形成的區(qū)域。
基部10A在制造濾色鏡襯底10時(shí)根據(jù)下述步驟所制造。首先，金屬薄薄膜通過濺射方法或者蒸發(fā)方法被形成在支撐襯底12上。黑矩陣14然后從金屬薄薄膜通過照相平版印刷方法形成為網(wǎng)狀圖案。金屬鉻和鉻氧化物可以被提及作為用于黑矩陣14的材料。對(duì)于此，支撐襯底12是相對(duì)可見光(光波長(zhǎng))具有透光性的襯底，諸如玻璃襯底。接著，從負(fù)類型(negative type)光敏聚合物復(fù)合物所構(gòu)成的抗蝕層被施加以覆蓋支撐襯底12和黑矩陣14?？刮g層被曝光同時(shí)讓形成為矩陣圖案的掩模薄膜粘附到抗蝕層上。然后，岸16通過蝕刻工藝移除抗蝕層的非暴露部分而獲得。這樣，獲得基部10A。
對(duì)于此，從樹脂黑(resin black)所形成的岸可以被利用而替換岸16。在這種情況下，不需要金屬薄薄膜(即，黑矩陣14)，岸層從一個(gè)層所構(gòu)造。
接著，基部10A通過在空氣壓力之下的氧等離子處理而變成親液。支撐襯底12的表面、黑矩陣14的表面以及凹陷部分(一部分象素)中的岸16的表面通過此過程趨于親液，其每個(gè)通過支撐襯底12、黑矩陣14和岸16所限定。此外，然后對(duì)基部10A進(jìn)行使用CF4作為處理氣體的等離子過程。通過使用CF4的等離子過程，各凹陷部分中的岸16的表面是氟化的，并且岸16的表面趨于通過此過程非親液。對(duì)于此，通過使用CF4的等離子過程，支撐襯底12的表面和具有親液性的黑矩陣14的表面稍微喪失親液性。但是，即使如此，這些表面可以保持親液性。對(duì)于此，根據(jù)支撐襯底12的材料，黑矩陣14的材料，以及岸16的材料，各凹陷部分的表面可以具有所需的親液和非親液而沒有上述的表面處理。在這樣的情況下，不需要表面進(jìn)行如上所述的表面處理。
象素18R、18G和18B將被如上所述形成在其上的基部10A被傳輸?shù)揭旱螄娚溲b置1的臺(tái)階106上，并被支撐在臺(tái)階106上。液滴噴射裝置1在Y軸方向上通過操作臺(tái)階移動(dòng)機(jī)構(gòu)108而移動(dòng)基部10A，并以液滴的形式將液體材料從各液滴噴射頭2供給到各象素18R、18G、18B，同時(shí)通過頭單元103之下的基部10A。此時(shí)，如圖7(a)-7(c)所示，紅色液體材料111R(濾色鏡材料)被噴射到各象素18R上，綠色液體材料111G(濾色鏡材料)被噴射到各象素18G上，以及藍(lán)色液體材料111B(濾色鏡材料)被噴射到各象素18B上。
在分別供給液體材料111R、111G和111B到各象素18R、18G、18B上之后，基部10A被傳輸?shù)礁稍镅b置(附圖中未示出)中，以干燥分別供給到各象素18R、18G、18B中的液體材料111R、111G和111B。這樣濾色鏡層111FR、111FG和111FB被分別形成在各象素18R、18G、18B上。對(duì)于此，通過使用液滴噴射裝置1重復(fù)執(zhí)行液體材料111R、111G和111B的供給以及通過干燥裝置干燥所供給的液體材料111R、111G和111B以交替層壓液體材料111R、111G和111B以及濾色鏡層111FR、111FG和111FB，最終的濾色鏡層111FR、111FG和111FB可以被形成在各象素18R、18G、18B上。
基部10A然后傳輸?shù)娇鞠?圖中未示出)中，濾色鏡層111FR、111FG和111FB被在此烤箱中后烤焙(即再次加熱)。
接著，基部10A被傳輸?shù)奖Ｗo(hù)薄膜形成裝置(圖中未示出)，保護(hù)薄膜(涂布薄膜)20在此保護(hù)薄膜形成裝置中被形成在濾色鏡層111FR、111FG、111FB和岸16之上。在保護(hù)薄膜20被形成在濾色鏡層111FR、111FG、111FB和岸16之上之后，保護(hù)薄膜20在干燥裝置中被完全在干燥裝置中干燥。此外，保護(hù)薄膜20在硬化裝置(圖中未示出)中被加熱以完全硬化，通過其基部10A變成濾色鏡襯底10。
圖8是用于解釋根據(jù)本發(fā)明的液滴噴射裝置1的頭單元103中的各液滴噴射頭2的位置關(guān)系。如上所述，用于噴射紅色液體材料111R的四個(gè)液滴噴射頭2(包括第一-第四液滴噴射頭21R-24R)，用于噴射綠色液體材料111G的四個(gè)液滴噴射頭2(包括第一-第四液滴噴射頭21G-24G)以及用于噴射藍(lán)色液體材料111B的四個(gè)液滴噴射頭2(包括第一-第四液滴噴射頭21B-24B)被設(shè)置在頭單元103上。對(duì)于此，如圖18所示的各線指示各液滴噴射頭2中的噴嘴陣列的位置。
控制各液滴噴射頭2中的噴嘴陣列的兩端的附近中的各噴嘴25的噴射量通常比較困難，這樣的噴嘴的噴射量的誤差很容易被產(chǎn)生。由于這個(gè)原因，本實(shí)施例中的液滴噴射裝置1被構(gòu)造，這樣液滴噴射頭2的每個(gè)中的噴嘴陣列的兩端的附近中的預(yù)定數(shù)目(例如大約10)的噴嘴25(此后這樣的噴嘴25可以稱為“無(wú)效(disable)噴嘴25”)沒有被使用(即，液體材料111沒有通過各無(wú)效噴嘴25所噴射)。這樣，就可以在各噴嘴25中使得液體材料111的噴射量均勻化，并且這使得將被制造的濾色鏡襯底10中的各象素18R、18G和18B的顏色均勻化。因此，就可以更為可靠地防止顏色不均勻。對(duì)于此，設(shè)置在如圖8所示的液滴噴射頭2中的噴嘴陣列的兩端上的未使用的部分26指示其中無(wú)效的噴嘴25被安置的區(qū)域。
此后，將對(duì)包括用于噴射紅色液體材料111R的第一至第四液滴噴射頭21R-24R的四個(gè)液滴噴射頭2的位置關(guān)系的說(shuō)明。
第一液滴噴射頭21R、第二液滴噴射頭22R以連續(xù)的方式被安置在平行于各噴嘴陣列的第一方向(即，X軸方向)上，第一和第二液滴噴射頭21R、22R的兩個(gè)噴嘴陣列被安置，這樣其噴嘴25在從垂直于各噴嘴陣列(第一方向)的第二方向(即，Y軸方向)觀察時(shí)通過第一和第二液滴噴射頭21R、22R之間的接縫r1而連續(xù)。在這種情況下，第一第二液滴噴射頭21R、22R的兩個(gè)噴嘴陣列用作長(zhǎng)噴嘴陣列。換言之，當(dāng)從Y軸方向觀察時(shí)接縫r1上的噴嘴節(jié)距被設(shè)置以變成與噴嘴陣列中的噴嘴節(jié)距相似的規(guī)則長(zhǎng)度。從用這樣的位置關(guān)系安置的第一和第二液滴噴射頭21R、22R所構(gòu)成的頭陣列被稱為頭陣列31R。
對(duì)于此，考慮到第一和第二液滴噴射頭21R、22R的各一個(gè)端部的未使用的部分26，第一和第二液滴噴射頭21R、22R被安置，這樣第一液滴噴射頭21R中的噴嘴陣列的圖8中的右端部分和第二液滴噴射頭22R中的噴嘴陣列的圖8中的左端部分在從Y軸方向上觀察時(shí)在噴嘴陣列的接縫r1的附近中彼此重疊。
以相似的方式，第三液滴噴射頭23R和第四液滴噴射頭24R以連續(xù)的方式被安置在平行于各噴嘴陣列的第一方向(即X軸方向)，并且第三和第四液滴噴射頭23R、24R的兩個(gè)噴嘴陣列通過在從垂直于各噴嘴陣列(第一方向)的第二方向(即，Y軸方向)觀察時(shí)第三和第四液滴噴射頭23R、24R的兩個(gè)相鄰噴嘴陣列之間的接縫r2而連續(xù)。在這種情況下，第三和第四液滴噴射頭23R、24R的兩個(gè)噴嘴陣列用作較長(zhǎng)的噴嘴陣列。換言之，當(dāng)從Y軸方向觀察時(shí)接縫r2上的噴嘴節(jié)距被設(shè)置變成與噴嘴陣列中的噴嘴節(jié)距相似的規(guī)則長(zhǎng)度。從被安置如這樣的位置關(guān)系的第三和第四液滴噴射頭23R、24R所構(gòu)成的頭陣列被稱為頭陣列32R。
對(duì)于此，考慮到第三和第四液滴噴射頭23R、24R的每個(gè)一端的未使用部分26，第三和第四液滴噴射頭23R、24R被安置這樣第三液滴噴射頭23R中的噴嘴陣列的圖8中的右端部分和第四液滴噴射頭24R中的噴嘴陣列的圖8中的左端部分在從Y軸方向上觀察時(shí)在噴嘴陣列的接縫r2的附近中彼此重疊。
從如上所述的頭陣列31R所形成的較長(zhǎng)噴嘴陣列和從如上所述的頭陣列32R所形成的較長(zhǎng)噴嘴陣列通過重疊它們而被安置，這樣接縫r1和r2相對(duì)彼此從Y軸方向觀察時(shí)在X軸方向上偏移。液滴噴射裝置1可以以液滴的形式將液體材料使用這樣的重疊通過多個(gè)不同的液滴噴射頭2(在本實(shí)施例中，兩個(gè)液滴噴射頭)的噴嘴25噴射到一個(gè)象素18R上。
例如，在液體材料111R使用如圖8所指示為R1的區(qū)域以液滴的形式噴射到其上的象素18R的情況下，在所述區(qū)域上第一和第三液滴噴射頭21R、23R彼此重疊，如圖3所示，通過第一液滴噴射頭21R的噴嘴25所噴射的液滴91和通過第三液滴噴射頭23R的噴嘴25所噴射的液滴92被供給到其上。
對(duì)于此，在圖3中，盡管頭陣列31R中的噴嘴25的位置(此處，第一液滴噴射頭21R)和頭陣列32R(此處，第三液滴噴射頭23R)的噴嘴25的位置相對(duì)彼此在從Y軸方向觀察時(shí)在X軸方向上相對(duì)彼此偏移，頭陣列31R和32R可以被安置，這樣個(gè)頭陣列31R、32R的每個(gè)中的噴嘴的位置彼此對(duì)應(yīng)。
盡管在附圖中未示出(特別在圖3中)，在液體材料111R使用如圖8所指示為R2的區(qū)域以液滴的形式噴射到其上的象素18R的情況下，在所述區(qū)域上第一和第四液滴噴射頭21R、24R彼此重疊，通過第一液滴噴射頭21R的噴嘴25所噴射的液滴和通過第四液滴噴射頭24R的噴嘴25所噴射的液滴被供給到其上。此外，在液體材料111R使用如圖8所指示為R3的區(qū)域以液滴的形式噴射到其上的象素18R的情況下，在所述區(qū)域上第二和第四液滴噴射頭22R、24R彼此重疊，通過第二液滴噴射頭22R的噴嘴25所噴射的液滴和通過第四液滴噴射頭24R的噴嘴25所噴射的液滴被供給到其上。
這樣，液滴噴射裝置1操作，這樣液體材料111R以液滴的形式通過多個(gè)不同的液滴噴射頭2的噴嘴25噴射到一個(gè)象素18R上。因此，即使在多個(gè)液滴噴射頭2的噴射量之中具有變化(誤差)的情況下，可以防止有害的顏色不均勻性被產(chǎn)生在濾色鏡襯底10的表面上，所述濾色鏡襯底10使用液滴噴射裝置1的頭單元103從基部10A所產(chǎn)生。換言之，與本發(fā)明的液滴噴射裝置1相比，在液體材料111R只通過一個(gè)液滴噴射頭2的噴嘴25被供給到一個(gè)象素18R上的情況下，液滴噴射頭2的噴射量的變化直接導(dǎo)致將被供給到各象素18R上的液體材料111R量的變化(誤差)，由此顏色不均勻較強(qiáng)地出現(xiàn)在濾色鏡襯底10中。另一方面，在本發(fā)明的液滴噴射裝置1中，由于將被供給到一個(gè)象素18R上的液體材料111R量變成在掃描方向上重疊的多個(gè)液體噴射頭2(在本實(shí)施例中，兩個(gè)液滴噴射頭2)中的噴嘴25的噴射量的平均值，這就可以使得將被供給到每個(gè)象素18R上的液體材料111R的量均勻化，由此就可以防止產(chǎn)生顏色不均勻。
此外，在液滴噴射裝置1中，以液滴的方式將液體材料111R噴射到一個(gè)相同的象素18R上的多個(gè)液滴噴射頭2被安置，這樣多個(gè)液滴噴射頭2的噴嘴陣列在X軸的方向上彼此平行并且多個(gè)液滴噴射頭2的每個(gè)在從垂直于X軸方向的Y軸方向觀察時(shí)部分重疊至少其它液滴噴射頭2之一。換言之，在如圖8所示的區(qū)域R1中，第一液滴噴射頭21R和第三液滴噴射頭23R相對(duì)彼此在X軸的方向上偏移。在如圖8所示的區(qū)域R2中，第一液滴噴射頭21R和第四液滴噴射頭24R相對(duì)彼此在X軸的方向上偏移。在如圖8所示的區(qū)域R3中，第二液滴噴射頭22R和第四液滴噴射頭24R相對(duì)彼此在X軸的方向上偏移。這樣，本發(fā)明的頭單元103具有下述優(yōu)點(diǎn)。
由于其結(jié)構(gòu)，液滴噴射頭2通常趨于沿著噴嘴陣列相互地上下變化各噴嘴25的噴射量。例如，在噴嘴陣列的中心的附近中的一個(gè)噴嘴25中的噴射量相對(duì)較小的情況下，噴嘴陣列的兩端越近，一個(gè)噴嘴25中的噴射量變得越多。在這樣的情況下，與本發(fā)明的頭單元103相比，在用于以液滴的形式將液體材料111R噴射到一個(gè)相同象素18R(即，一個(gè)噴射區(qū)域)上的多個(gè)液滴噴射頭2在X軸的方向上被對(duì)齊的情況下，在多個(gè)液滴噴射頭2中沿著噴嘴陣列的各噴嘴25的噴射量的變化直接導(dǎo)致在X軸方向上對(duì)齊的將被供給到各象素18R上的液體材料量111R的變化(誤差)，由此在將被制造的濾色鏡襯底10上顯著出現(xiàn)顏色不均勻性。
另一方面，在本發(fā)明的液滴噴射裝置1中，由于用于以液滴的形式將液體材料111R噴射到一個(gè)相同象素18R上的兩個(gè)液滴噴射頭2相對(duì)彼此在X軸方向上偏移時(shí)，通過其液體材料111R的液滴被噴射到一個(gè)液滴噴射頭2的噴嘴陣列的多個(gè)噴嘴25中的一個(gè)象素18R上的一個(gè)噴嘴25的位置與通過其液體材料111R的液滴被噴射到其它液滴噴射頭2的噴嘴陣列的多個(gè)噴嘴25中的一個(gè)象素18R上的一個(gè)噴嘴25的位置不同。這樣在一個(gè)液滴噴射頭2中的這樣的一個(gè)噴嘴25的噴射量趨于與其它的液滴噴射頭2中的這樣的一個(gè)噴嘴25的噴射量不同。將被供給到一個(gè)象素18R上的液體材料111R的量變成兩個(gè)液滴噴射頭2中的對(duì)應(yīng)的噴嘴25的噴射量的平均。
出于此原因，在本發(fā)明的液滴噴射裝置1中，就可以通過平均噴射量來(lái)沿著噴嘴陣列補(bǔ)償各噴嘴的噴射量25中的變化，并且這使得其可以使得供給到各象素18R上的液體材料量111R均勻化，由此就可以更為可靠地防止有害的顏色不均勻性產(chǎn)生在將被制造的濾色鏡襯底10中。
此外，在液滴噴射裝置1中，通過從第一和第二液滴噴射頭21R、22R構(gòu)成頭陣列31R，第一和第二液滴噴射頭21R、22R的噴嘴陣列用作較長(zhǎng)的噴嘴陣列，而第三和第四液滴噴射頭23R、24R的噴嘴陣列通過從第三和第四液滴噴射頭23R、24R構(gòu)成頭陣列32R用作較長(zhǎng)噴嘴陣列。這樣，就可以放大其中液體材料111R可以通過整個(gè)頭單元103中的噴嘴25噴射到基部10A上的整個(gè)噴射寬度W(即，X軸方向中的頭單元103的長(zhǎng)度)。因此，就可以相對(duì)需要將液體材料111R噴射到整個(gè)基部10A上的基部10A減小頭單元103的主掃描運(yùn)動(dòng)的數(shù)目。特別地，在基部10A的寬度小于整個(gè)噴射寬度W的情況下，就可以將液體材料111R通過一次主掃描運(yùn)動(dòng)噴射到整個(gè)基部10A上。
此外，由于液滴噴射裝置1被構(gòu)造這樣頭陣列31R中的噴嘴陣列的接縫r1和頭陣列32R中的噴嘴陣列的接縫r2相對(duì)彼此在從Y軸方向觀察時(shí)偏移(shifted)，液滴噴射裝置1具有下述優(yōu)點(diǎn)。
顏色不均勻性比設(shè)置在其它位置上的象素18R更容易出現(xiàn)在液體材料111R通過兩個(gè)相鄰的噴嘴陣列的任何接縫的附近中的噴嘴25被供給到其上的象素18R上。由于這個(gè)原因，用很高的精度控制兩個(gè)相鄰的噴嘴陣列的接縫附近中的噴嘴25的噴射量較為困難，因?yàn)檫@樣的噴嘴25被安置靠近各噴嘴陣列的兩端，可以考慮在接縫上的噴嘴節(jié)距的誤差等。在由于這樣的噴嘴陣列的接縫，顏色不均勻被產(chǎn)生的情況下，所謂其中這樣顏色不均勻的、沿著液滴噴射頭2的掃描方向(即，沿著Y軸方向)如同一條線似的延伸的條紋可能會(huì)出現(xiàn)在將被制造的濾色鏡襯底10中。
當(dāng)頭陣列31R的噴嘴陣列的接縫r1的位置對(duì)應(yīng)頭陣列32R中的噴嘴陣列的接縫r2的位置時(shí)，在如上所述的條紋在濾色鏡襯底10中產(chǎn)生的情況下，這樣的兩個(gè)條紋在將被制造的濾色鏡襯底10中重疊，由此這樣的條紋變得顯眼。另一方面，當(dāng)從Y方向觀察時(shí)，由于液滴噴射裝置1被構(gòu)造這樣頭陣列31R中的接縫r1和頭陣列32R中的噴嘴陣列的接縫r2相對(duì)彼此偏移，兩個(gè)條紋被分散在將被制造的濾色鏡襯底10中的接縫r1、r2的位置上。因此，就可以使得這樣的條紋變得不顯眼。
接著，將對(duì)包括用于噴射綠色液體材料111G的第一-第四液滴噴射頭21G-24G的四個(gè)液體噴射頭2的位置關(guān)系給出說(shuō)明。包括用于噴射綠色液體材料111G的第一-第四液滴噴射頭21G-24G的四個(gè)液滴噴射頭2的位置關(guān)系與包括用于噴射紅色液體材料111R的第一至第四液滴噴射頭21R-24R的四個(gè)液滴噴射頭2的位置關(guān)系相似。出于此原因，此后將簡(jiǎn)化這樣的位置關(guān)系的說(shuō)明。
第一液滴噴射頭21G和第二液滴噴射頭22G以連續(xù)的方式被安置在平行于各噴嘴陣列的X軸方向上，以及第一和第二液滴噴射頭21G、22G的兩個(gè)噴嘴陣列被安置，這樣當(dāng)從垂直于各噴嘴陣列(即X軸方向)的Y軸方向觀察時(shí)，其噴嘴25通過第一和第二液滴噴射頭21G、22G的兩個(gè)相鄰噴嘴陣列之間的縫隙接縫g1而連續(xù)。在這種情況下，第一和第二液滴噴射頭21G、22G的兩個(gè)噴嘴陣列用作較長(zhǎng)的噴嘴陣列。從安置有這樣的位置關(guān)系的第一和第二液滴噴射頭21G、22G所構(gòu)成的頭陣列被稱為頭陣列31G。
以相似的方式，第三液滴噴射頭23G和第四液滴噴射頭24G在平行于各噴嘴陣列的X軸方向上以連續(xù)的方式被安置，第三和第四液滴噴射頭23G、24G的兩個(gè)噴嘴陣列被安置，這樣當(dāng)從垂直于各噴嘴陣列(即X軸方向)的Y軸方向觀察時(shí)，其噴嘴25通過第三和第四液滴噴射頭23G、24G的兩個(gè)相鄰噴嘴陣列之間的縫隙接縫g2而連續(xù)。在這種情況下，第三和第四液滴噴射頭23G、24G的兩個(gè)噴嘴陣列用作較長(zhǎng)噴嘴陣列。從用這樣的位置關(guān)系安置的第三和第四液滴噴射頭23G、24G所構(gòu)造的頭陣列被稱為頭陣列32G。
從如上所述的頭陣列31G所形成的較長(zhǎng)噴嘴陣列和從如上所述的頭陣列32G所形成的較長(zhǎng)噴嘴陣列相對(duì)彼此在從Y軸方向上觀察時(shí)接縫g1和g2在X軸方向上相對(duì)彼此偏移。液滴噴射裝置1可以以液滴的形式使用這樣的重疊通過多個(gè)不同的液滴噴射頭2(在本實(shí)施例中，兩個(gè)液滴噴射頭2)的噴嘴25而噴射液體材料111G到一個(gè)象素18G上。
換言之，在液體材料111G使用第一和第三液滴噴射頭21G、23G重疊的圖8中的G1所指示的區(qū)域以液滴的形式被噴射到其上的象素18G的情況下，通過第一液滴噴射頭21G的噴嘴25所噴射的液滴以及通過第三液滴噴射頭23G的噴嘴25所噴射液滴被供給到其上。
此外，在液體材料111G使用第一和第四液滴噴射頭21G、24G重疊的圖8中的G2所指示的區(qū)域以液滴的形式被噴射到其上的象素18G的情況下，通過第一液滴噴射頭21G的噴嘴25所噴射的液滴以及通過第四液滴噴射頭24G的噴嘴25所噴射液滴被供給到其上。此外，在液體材料111G使用第二和第四液滴噴射頭22G、24G重疊的圖8中的G3所指示的區(qū)域以液滴的形式被噴射到其上的象素18G的情況下，通過第二液滴噴射頭22G的噴嘴25所噴射的液滴以及通過第四液滴噴射頭24G的噴嘴25所噴射液滴被供給到其上。
這樣，液滴噴射裝置1操作，這樣以液滴的形式通過多個(gè)不同的液滴噴射頭2的噴嘴25噴射到一個(gè)象素18G上。因此，即使在多個(gè)液滴噴射頭2的噴射量中具有變化(誤差)的情況下，就可以防止有害的顏色不均勻性使用液滴噴射裝置1的頭單元103從基部10A將被制造的濾色鏡襯底10的表面中產(chǎn)生。換言之，與本發(fā)明的液滴噴射裝置1相比，在液體材料111G只通過一個(gè)液滴噴射頭2的噴嘴25被供給到一個(gè)象素18G上的情況下，液滴噴射頭2的噴射量的變化直接導(dǎo)致將被供給到各象素18G上的液體材料111G量的變化(誤差)，由此顏色不均勻較強(qiáng)地出現(xiàn)在濾色鏡襯底10中。另一方面，在本發(fā)明的液滴噴射裝置1中，由于將被供給到一個(gè)象素18G上的液體材料111G量變成在掃描方向上重疊的多個(gè)液滴噴射頭2(在本實(shí)施例中，兩個(gè)液滴噴射頭2)中的噴嘴25的噴射量的平均值，這就可以使得將被供給到每個(gè)象素18G上的液體材料111G的量均勻化，由此就可以防止產(chǎn)生顏色不均勻。
此外，在液滴噴射裝置1中，多個(gè)以液滴的方式將液體材料111G噴射到一個(gè)相同的象素18G上的多個(gè)液滴噴射頭2被安置，這樣多個(gè)液滴噴射頭2的噴嘴陣列在X軸的方向上彼此平行并且多個(gè)液滴噴射頭2的每個(gè)在從垂直于X軸方向的Y軸方向觀察時(shí)部分重疊至少其它液滴噴射頭2之一。換言之，在如圖8所示的區(qū)域G1中，第一液滴噴射頭21G和第三液滴噴射頭23G相對(duì)彼此在X軸的方向上偏移。在如圖8所示的區(qū)域G2中，第一液滴噴射頭21G和第四液滴噴射頭24G相對(duì)彼此在X軸的方向上偏移。在如圖8所示的區(qū)域G3中，第二液滴噴射頭22G和第四液滴噴射頭24G相對(duì)彼此在X軸的方向上偏移。這樣，本發(fā)明的頭單元103具有下述優(yōu)點(diǎn)。
由于其結(jié)構(gòu)，液滴噴射頭2通常趨于沿著噴嘴陣列相互地上下變化各噴嘴的噴射量。例如，在噴嘴陣列的中心的附近中的一個(gè)噴嘴25中的噴射量相對(duì)較小的情況下，噴嘴陣列的兩端越近，一個(gè)噴嘴25中的噴射量變得越多。在這樣的情況下，與本發(fā)明的頭單元103相比，在用于以液滴的形式將液體材料111G噴射到一個(gè)相同象素18G(即，一個(gè)噴射區(qū)域)上的多個(gè)液滴噴射頭2在X軸的方向上被對(duì)齊的情況下，在多個(gè)液滴噴射頭2中沿著噴嘴陣列的各噴嘴25的噴射量的變化直接導(dǎo)致在X軸方向上對(duì)齊的將被供給到各象素18G上的液體材料量111G的變化(誤差)，由此在將被制造的濾色鏡襯底10上顯著出現(xiàn)顏色不均勻性。
另一方面，在本發(fā)明的液滴噴射裝置1中，由于用于以液滴的形式將液體材料111G噴射到一個(gè)相同象素18G上的兩個(gè)液滴噴射頭2相對(duì)彼此在X軸方向上偏移時(shí)，通過其液體材料111G的液滴被噴射到一個(gè)液滴噴射頭2的噴嘴陣列的多個(gè)噴嘴25中的一個(gè)象素18G上的一個(gè)噴嘴25的位置與通過其液體材料111G的液滴被噴射到其它液滴噴射頭2的噴嘴陣列的多個(gè)噴嘴25中的一個(gè)象素18G上的一個(gè)噴嘴25的位置不同。這樣在一個(gè)液滴噴射頭2中的這樣的一個(gè)噴嘴25的噴射量趨于與其它的液滴噴射頭2中的這樣的一個(gè)噴嘴25的噴射量不同。將被供給到一個(gè)象素18G上的液體材料111G的量變成兩個(gè)液滴噴射頭2中的對(duì)應(yīng)的噴嘴25的噴射量的平均。
出于此原因，在本發(fā)明的液滴噴射裝置1中，就可以通過平均噴射量來(lái)沿著噴嘴陣列補(bǔ)償各噴嘴的噴射量25中的變化，并且這使得其可以使得供給到各象素18G上的液體材料量111G均勻化，由此就可以更為可靠地防止有害的顏色不均勻性產(chǎn)生在將被制造的濾色鏡襯底10中。
此外，在液滴噴射裝置1中，通過從第一和第二液滴噴射頭21G、22G構(gòu)成頭陣列31G，第一和第二液滴噴射頭21G、22G的噴嘴陣列用作較長(zhǎng)的噴嘴陣列，而第三和第四液滴噴射頭23G、24G的噴嘴陣列通過從第三和第四液滴噴射頭23G、24G構(gòu)成頭陣列32G用作較長(zhǎng)噴嘴陣列。這樣，就可以放大其中液體材料111G可以通過整個(gè)頭單元103中的噴嘴25噴射到基部10A上的整個(gè)噴射寬度W(即，X軸方向中的頭單元103的長(zhǎng)度)。因此，就可以相對(duì)需要將液體材料111G噴射到整個(gè)基部10A上的基部10A減小頭單元103的主掃描運(yùn)動(dòng)的數(shù)目。特別地，在基部10A的寬度小于整個(gè)噴射寬度W的情況下，就可以將液體材料111G通過一次主掃描運(yùn)動(dòng)噴射到整個(gè)基部10A上。
此外，由于液滴噴射裝置1被構(gòu)造這樣頭陣列31G中的噴嘴陣列的接縫g1和頭陣列32G中的噴嘴陣列的接縫g2相對(duì)彼此在從Y軸方向觀察時(shí)偏移，液滴噴射裝置1具有下述優(yōu)點(diǎn)。
顏色不均勻性比設(shè)置在其它位置上的象素18G更容易出現(xiàn)在液體材料111G通過兩個(gè)相鄰的噴嘴陣列的任何接縫的附近中的噴嘴25被供給到其上的象素18G上。由于這個(gè)原因，用很高的精度控制兩個(gè)相鄰的噴嘴陣列的接縫附近中的噴嘴25的噴射量較為困難，因?yàn)檫@樣的噴嘴25被安置靠近各噴嘴陣列的兩端，可以考慮在接縫上的噴嘴節(jié)距的誤差等。在由于這樣的噴嘴陣列的接縫，顏色不均勻被產(chǎn)生的情況下，所謂其中這樣顏色不均勻的、沿著液滴噴射頭2的掃描方向(即，沿著Y軸方向)如同一條線似的延伸的條紋可能會(huì)出現(xiàn)在將被制造的濾色鏡襯底10中。
當(dāng)頭陣列31G的噴嘴陣列的接縫g1的位置對(duì)應(yīng)頭陣列32G中的噴嘴陣列的接縫g2的位置時(shí)，在如上所述的條紋在濾色鏡襯底10中產(chǎn)生的情況下，這樣的兩個(gè)條紋在將被制造的濾色鏡襯底10中重疊，由此這樣的條紋變得顯眼。另一方面，當(dāng)從Y方向觀察時(shí)，由于液滴噴射裝置1被構(gòu)造這樣頭陣列31G中的接縫g1和頭陣列32G中的噴嘴陣列的接縫g2相對(duì)彼此被偏移，兩個(gè)條紋被分散在將被制造的濾色鏡襯底10中的接縫g1、g2的位置上。因此，就可以使得這樣的條紋變得不顯眼。
接著，將對(duì)包括用于噴射藍(lán)色液體材料111B的第一-第四液滴噴射頭21B-24B的四個(gè)液體噴射頭2的位置關(guān)系給出說(shuō)明。包括用于噴射藍(lán)色液體材料111B的第一-第四液滴噴射頭21B-24B的四個(gè)液滴噴射頭2的位置關(guān)系與包括用于噴射紅色液體材料111R的第一至第四液滴噴射頭21R-24R的四個(gè)液滴噴射頭2的位置關(guān)系相似。出于此原因，此后將簡(jiǎn)化這樣的位置關(guān)系的說(shuō)明。
第一液滴噴射頭21B和第二液滴噴射頭22B以連續(xù)的方式被安置在平行于各噴嘴陣列的X軸方向上，以及第一和第二液滴噴射頭21B、22B的兩個(gè)噴嘴陣列被安置，這樣當(dāng)從垂直于各噴嘴陣列(即X軸方向)的Y軸方向觀察時(shí)，其噴嘴25通過第一和第二液滴噴射頭21B、22B的兩個(gè)相鄰噴嘴陣列之間的縫隙接縫b1而連續(xù)。在這種情況下，第一和第二液滴噴射頭21B、22B的兩個(gè)噴嘴陣列用作較長(zhǎng)的噴嘴陣列。從安置有這樣的位置關(guān)系的第一和第二液滴噴射頭21B、22B所構(gòu)成的頭陣列被稱為頭陣列31B。
以相似的方式，第三液滴噴射頭23B和第四液滴噴射頭24B在平行于各噴嘴陣列的X軸方向上以連續(xù)的方式被安置，第三和第四液滴噴射頭23B、24B的兩個(gè)噴嘴陣列被安置，這樣當(dāng)從垂直于各噴嘴陣列(即X軸方向)的Y軸方向觀察時(shí)，其噴嘴25通過第三和第四液滴噴射頭23B、24B的兩個(gè)相鄰噴嘴陣列之間的接縫b2而連續(xù)。在這種情況下，第三和第四液滴噴射頭23B、24B的兩個(gè)噴嘴陣列用作較長(zhǎng)噴嘴陣列。從用這樣的位置關(guān)系安置的第三和第四液滴噴射頭23B、24B所構(gòu)造的頭陣列被稱為頭陣列32B。
從如上所述的頭陣列31B所形成的較長(zhǎng)噴嘴陣列和從如上所述的頭陣列32B所形成的較長(zhǎng)噴嘴陣列在從Y軸方向上觀察時(shí)在X軸方向上相對(duì)彼此偏移。液滴噴射裝置1可以以液滴的形式使用這樣的重疊通過多個(gè)不同的液滴噴射頭2(在本實(shí)施例中，兩個(gè)液滴噴射頭2)的噴嘴25而噴射液體材料111B到一個(gè)象素18B上。
換言之，在液體材料111B使用第一和第三液滴噴射頭21B、23B重疊的圖8中的B1所指示的區(qū)域以液滴的形式被噴射到其上的象素18B的情況下，通過第一液滴噴射頭21B的噴嘴25所噴射的液滴以及通過第三液滴噴射頭23B的噴嘴25所噴射液滴被供給到其上。
此外，在液體材料111B使用第一和第四液滴噴射頭21B、24B重疊的圖8中的B2所指示的區(qū)域以液滴的形式被噴射到其上的象素18B的情況下，通過第一液滴噴射頭21B的噴嘴25所噴射的液滴以及通過第四液滴噴射頭24B的噴嘴25所噴射液滴被供給到其上。此外，在液體材料111B使用第二和第四液滴噴射頭22B、24B重疊的圖8中的B3所指示的區(qū)域以液滴的形式被噴射到其上的象素18B的情況下，通過第二液滴噴射頭22B的噴嘴25所噴射的液滴以及通過第四液滴噴射頭24B的噴嘴25所噴射液滴被供給到其上。
這樣，液滴噴射裝置1操作，這樣液體材料111B以液滴的形式通過多個(gè)不同的液滴噴射頭2的噴嘴25噴射到一個(gè)象素18B上。因此，即使在多個(gè)液滴噴射頭2的噴射量中具有變化(誤差)的情況下，就可以防止有害的顏色不均勻性使用液滴噴射裝置1的頭單元103從基部10A將被制造的濾色鏡襯底10的表面中產(chǎn)生。換言之，與本發(fā)明的液滴噴射裝置1相比，在液體材料111B只通過一個(gè)液滴噴射頭2的噴嘴25被供給到一個(gè)象素18B上的情況下，液滴噴射頭2的噴射量的變化直接導(dǎo)致將被供給到各象素18B上的液體材料111B量的變化(誤差)，由此顏色不均勻較強(qiáng)地出現(xiàn)在濾色鏡襯底10中。另一方面，在本發(fā)明的液滴噴射裝置1中，由于將被供給到一個(gè)象素18B上的液體材料111B量變成在掃描方向上重疊的多個(gè)液體噴射頭2(在本實(shí)施例中，兩個(gè)液滴噴射頭2)中的噴嘴25的噴射量的平均值，這就可以使得將被供給到每個(gè)象素18B上的液體材料111B的量均勻化，由此就可以防止產(chǎn)生顏色不均勻。
此外，在液滴噴射裝置1中，多個(gè)以液滴的方式將液體材料111G噴射到一個(gè)相同的象素18G上的多個(gè)液滴噴射頭2被安置，這樣多個(gè)液滴噴射頭2的噴嘴陣列在X軸的方向上彼此平行并且多個(gè)液滴噴射頭2的每個(gè)在從垂直于X軸方向的Y軸方向觀察時(shí)部分重疊至少其它液滴噴射頭2之一。換言之，在如圖8所示的區(qū)域B1中，第一液滴噴射頭21B和第三液滴噴射頭23B相對(duì)彼此在X軸的方向上偏移。在如圖8所示的區(qū)域B2中，第一液滴噴射頭21B和第四液滴噴射頭24B相對(duì)彼此在X軸的方向上偏移。在如圖8所示的區(qū)域B3中，第二液滴噴射頭22B和第四液滴噴射頭24B相對(duì)彼此在X軸的方向上偏移。這樣，本發(fā)明的頭單元103具有下述優(yōu)點(diǎn)。
由于其結(jié)構(gòu)，液滴噴射頭2通常趨于沿著噴嘴陣列相互地上下變化各噴嘴25的噴射量。例如，在噴嘴陣列的中心的附近中的一個(gè)噴嘴25中的噴射量相對(duì)較小的情況下，噴嘴陣列的兩端越近，一個(gè)噴嘴25中的噴射量變得越多。在這樣的情況下，與本發(fā)明的頭單元103相比，在用于以液滴的形式將液體材料111B噴射到一個(gè)相同象素18B(即，一個(gè)噴射區(qū)域)上的多個(gè)液滴噴射頭2在X軸的方向上被對(duì)齊的情況下，在多個(gè)液滴噴射頭2中沿著噴嘴陣列的各噴嘴25的噴射量的變化直接導(dǎo)致在X軸方向上對(duì)齊的將被供給到各象素18B上的液體材料量111B的變化(誤差)，由此在將被制造的濾色鏡襯底10上顯著出現(xiàn)顏色不均勻性。
另一方面，在本發(fā)明的液滴噴射裝置1中，由于用于以液滴的形式將液體材料111B噴射到一個(gè)相同象素18B上的兩個(gè)液滴噴射頭2相對(duì)彼此在X軸方向上偏移時(shí)，通過其液體材料111B的液滴被噴射到一個(gè)液滴噴射頭2的噴嘴陣列的多個(gè)噴嘴25中的一個(gè)象素18B上的一個(gè)噴嘴25的位置與通過其液體材料111G的液滴被噴射到其它液滴噴射頭2的噴嘴陣列的多個(gè)噴嘴25中的一個(gè)象素18G上的一個(gè)噴嘴25的位置不同。這樣在一個(gè)液滴噴射頭2中的這樣的一個(gè)噴嘴25的噴射量趨于與其它的液滴噴射頭2中的這樣的一個(gè)噴嘴25的噴射量不同。將被供給到一個(gè)象素18B上的液體材料111B的量變成兩個(gè)液滴噴射頭2中的對(duì)應(yīng)的噴嘴25的噴射量的平均。
出于此原因，在本發(fā)明的液滴噴射裝置1中，就可以通過平均噴射量來(lái)沿著噴嘴陣列補(bǔ)償各噴嘴的噴射量25中的變化，并且這使得其可以使得供給到各象素18B上的液體材料量111B均勻化，由此就可以更為可靠地防止有害的顏色不均勻性產(chǎn)生在將被制造的濾色鏡襯底10中。
此外，在液滴噴射裝置1中，通過從第一和第二液滴噴射頭21B、22B構(gòu)成頭陣列31B，第一和第二液滴噴射頭21B、22B的噴嘴陣列用作較長(zhǎng)的噴嘴陣列，而第三和第四液滴噴射頭23B、24B的噴嘴陣列通過從第三和第四液滴噴射頭23B、24B構(gòu)成頭陣列32B用作較長(zhǎng)噴嘴陣列。這樣，就可以放大其中液體材料111B可以通過整個(gè)頭單元103中的噴嘴25噴射到基部10A上的整個(gè)噴射寬度W(即，X軸方向中的頭單元103的長(zhǎng)度)。因此，就可以相對(duì)需要將液體材料111B噴射到整個(gè)基部10A上的基部10A減小頭單元103的主掃描運(yùn)動(dòng)的數(shù)目。特別地，在基部10A的寬度小于整個(gè)噴射寬度W的情況下，就可以將液體材料111B通過一次主掃描運(yùn)動(dòng)噴射到整個(gè)基部10A上。
此外，由于液滴噴射裝置1被構(gòu)造這樣頭陣列31B中的噴嘴陣列的接縫b1和頭陣列32B中的噴嘴陣列的接縫b2相對(duì)彼此在從Y軸方向觀察時(shí)偏移，液滴噴射裝置1具有下述優(yōu)點(diǎn)。
顏色不均勻性比設(shè)置在其它位置上的象素18B更容易出現(xiàn)在液體材料111B通過兩個(gè)相鄰的噴嘴陣列的任何接縫的附近中的噴嘴25被供給到其上的象素18B上。由于這個(gè)原因，用很高的精度控制兩個(gè)相鄰的噴嘴陣列的接縫附近中的噴嘴25的噴射量較為困難，因?yàn)檫@樣的噴嘴25被安置靠近各噴嘴陣列的兩端，可以考慮在接縫上的噴嘴節(jié)距的誤差等。在由于這樣的噴嘴陣列的接縫，顏色不均勻被產(chǎn)生的情況下，所謂其中這樣顏色不均勻的、沿著液滴噴射頭2的掃描方向(即，沿著Y軸方向)如同一條線似的延伸的條紋可能會(huì)出現(xiàn)在將被制造的濾色鏡襯底10中。
當(dāng)頭陣列31B的噴嘴陣列的接縫b1的位置對(duì)應(yīng)頭陣列32B中的噴嘴陣列的接縫b2的位置時(shí)，在如上所述的條紋在濾色鏡襯底10中產(chǎn)生的情況下，這樣的兩個(gè)條紋在將被制造的濾色鏡襯底10中重疊，由此這樣的條紋變得顯眼。另一方面，當(dāng)從Y方向觀察時(shí)，由于液滴噴射裝置1被構(gòu)造這樣頭陣列31B中的接縫b1和頭陣列32B中的噴嘴陣列的接縫b2相對(duì)彼此被偏移，兩個(gè)條紋被分散在將被制造的濾色鏡襯底10中的接縫b1、b2的位置上。因此，就可以使得這樣的條紋變得不顯眼。
在這樣的頭單元103中，兩個(gè)分別從用于噴射紅色液體材料111R的頭陣列31R、32R所形成的兩個(gè)較長(zhǎng)噴嘴陣列、兩個(gè)分別從用于噴射綠色液體材料111G的頭陣列31G、32G所形成的兩個(gè)較長(zhǎng)噴嘴陣列、以及兩個(gè)分別從用于噴射藍(lán)色液體材料111B的頭陣列31B、32B所形成的兩個(gè)較長(zhǎng)噴嘴陣列被安置，以在從Y軸方向觀察時(shí)相對(duì)彼此重疊。這使得可以通過用基部10A一次執(zhí)行頭單元103的掃描運(yùn)動(dòng)而在整個(gè)噴射寬度W中將紅色、綠色和藍(lán)色液體材料供給到象素18R、18G、18B上。
此外，在液滴噴射裝置1中，用于噴射紅色液體材料111R的頭陣列31R、32R中的噴嘴陣列的接縫r1、r2、用于噴射綠色液體材料111G的頭陣列31G、32G中的噴嘴陣列的接縫g1、g2、用于噴射藍(lán)色液體材料111B的頭陣列31B、32B中的噴嘴陣列的接縫b1、b2被安置以在從Y軸方向觀察時(shí)偏移。
這樣，在將被制造的濾色鏡襯底10中，可能產(chǎn)生在任何紅色象素18R上的條紋、可能產(chǎn)生在任何綠色象素18G上的條紋和可能產(chǎn)生在任何藍(lán)色象素18B上的條紋可以相對(duì)彼此分散。因此，就可以更為可靠地防止這樣的條紋變得顯眼。特別地，在本實(shí)施例中，由于噴嘴陣列的接縫r2、g2、b2、r1、g1和b1的位置在從Y軸方向上觀察時(shí)被安置在均勻的間隔上，這就可以在條紋變得有些顯眼的情況下規(guī)則地分散條紋。因此，就可以讓條紋變得不顯眼。
圖9是示意顯示了本發(fā)明的液滴噴射裝置1中的頭單元103’的結(jié)構(gòu)的另外的示例的平面圖。四個(gè)液滴噴射頭51、52、53和54被設(shè)置在如圖9所示的頭單元103’中。各液滴噴射頭51、52、53和54包括在Y軸方向上側(cè)靠側(cè)的方式安置的多個(gè)噴嘴陣列(在本實(shí)施例中，12個(gè)噴嘴陣列)，這樣多個(gè)液滴噴射頭51、52、53和54的每個(gè)中的12個(gè)噴嘴陣列的兩端在從Y軸方向觀察時(shí)被對(duì)齊。這樣，四個(gè)液滴噴射頭51、52、53和54的48個(gè)噴嘴陣列被設(shè)置在頭單元103’中。各液滴噴射頭51、52、53和54與如上所述的頭單元103相似的方式安置(參看圖8)。對(duì)于此，為了簡(jiǎn)化，各液滴噴射頭51、52、53和54在圖9中被指示作為簡(jiǎn)單的矩形。
液滴噴射頭51和液滴噴射頭52在平行于各噴嘴陣列的X軸的方向上以連續(xù)的方式被安置，液滴噴射頭51、52的24個(gè)噴嘴陣列被安置，這樣其噴嘴25在從垂直于各噴嘴陣列的Y軸方向觀察時(shí)在兩個(gè)相鄰的液滴噴射頭51、52之間的縫隙j1而連續(xù)。在這種情況下，兩個(gè)液滴噴射頭51、52用作頭組陣列61。
以相似的方式，液滴噴射頭53和液滴噴射頭54在平行于各噴嘴陣列的X軸方向上以連續(xù)的方式被安置，液滴噴射頭53、54的24個(gè)噴嘴陣列被安置，這樣噴嘴25在從垂直于各噴嘴陣列的Y軸方向觀察時(shí)在兩個(gè)相鄰的液滴噴射頭51、52之間的接縫j2而連續(xù)。在這種情況下，兩個(gè)液滴噴射頭53、54用作頭組陣列62。如上所述的頭組陣列61和頭組陣列62通過重疊它們而被安置，這樣接縫j1和j2相對(duì)彼此在從Y軸方向上觀察彼此偏移。
在設(shè)有這樣的頭單元103’的液滴噴射裝置中，從兩個(gè)液滴噴射頭(即，兩個(gè)液滴噴射頭51和53、51和54、或者53和54)所噴射的液體材料111被供給到各象素18R、18G或者18B上。這使得可以在基部10A的任何位置上進(jìn)一步地均勻化將被供給到各象素18R、18G、18B上的液體材料111的量。因此，就可以更為可靠地防止顏色不均勻產(chǎn)生在將被制造的濾色鏡襯底10的表面中。
此外，由于液滴噴射頭51的噴射寬度W1和液滴噴射頭52的噴射寬度W2作用互連，液滴噴射頭53的噴射寬度W3和液滴噴射頭54的噴射寬度W4作用互連，就可以在X軸方向上擴(kuò)大頭單元103’的長(zhǎng)度(即，圖9中的整個(gè)噴射寬度W)，其中液體材料111可以通過整個(gè)頭單元103’中的噴嘴25被噴射到基部10A上。
此外，由于本實(shí)施例的液滴噴射裝置被構(gòu)造這樣頭組陣列61中的噴嘴陣列的接縫j1和頭組陣列62中的噴嘴陣列的接縫j2在從Y軸方向觀察時(shí)相對(duì)彼此偏移，由于接縫j1所可能產(chǎn)生的條紋以及由于接縫j2的緣故可能產(chǎn)生的條紋可以在將被制造的濾色鏡襯底10中的單獨(dú)的點(diǎn)上分散。因此，就可以更為可靠地防止條紋變得顯眼。
如上所述的本發(fā)明不僅可以應(yīng)用到制造濾色鏡襯底10的情況而且可以應(yīng)用到其它類型的圖像顯示裝置，諸如制電致發(fā)光顯示器的制造的情況下。
圖10顯示了制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器30的方法的示意橫截面視圖。此后，將對(duì)使用本發(fā)明制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器30的情況給予說(shuō)明；但是，主要說(shuō)明制造如上所述的濾色鏡襯底10的情況和制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器30的情況之間的差異，相似的說(shuō)明將被省略。
如圖10所示的基部30A是用于制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器30的襯底。基部30A具有以矩陣的方式安置在其上的多個(gè)象素(即多個(gè)噴射區(qū)域)38R、38G和38B。
具體而言，基部30A包括支撐襯底32、形成在支撐襯底32上的電路元件層34、多個(gè)形成在電路元件層34上的象素電極36，以及形成在多個(gè)象素電極36的相鄰兩個(gè)之間的多個(gè)岸(bank)40。支撐襯底32相對(duì)可見光(光學(xué)波長(zhǎng))具有透光性，諸如玻璃襯底。多個(gè)象素電極36的每個(gè)相對(duì)可見光(光學(xué)波長(zhǎng))也具有透光性，諸如ITO(銦一錫氧化物)電極。此外，多個(gè)象素電極36以矩陣的方式被安置在電路元件層34上，并且各象素電極36限定一個(gè)象素。各岸40具有網(wǎng)格狀結(jié)構(gòu)，并且多個(gè)象素電極36中的每個(gè)用預(yù)定的岸40所圍繞。此外，岸40從形成在電路元件層34上的無(wú)機(jī)岸40A、以及安置在無(wú)機(jī)岸40A上的有機(jī)岸40B所構(gòu)成。
電路元件層34是設(shè)有如下元件的層多個(gè)掃描電極，每個(gè)掃描電極朝向支撐襯底32上的預(yù)定方向延伸；絕緣薄膜42，所述絕緣薄膜42被形成以覆蓋多個(gè)掃描電極；多個(gè)設(shè)置在絕緣薄膜42上的信號(hào)電極并且每個(gè)朝向垂直于預(yù)定方向的方向延伸，多個(gè)掃描電極的每個(gè)朝向所述預(yù)定方向延伸；多個(gè)開關(guān)元件44，每個(gè)設(shè)置在掃描電極和信號(hào)電極之間的相交點(diǎn)的附近中；以及多個(gè)被形成以覆蓋多個(gè)開關(guān)元件44的多個(gè)間層絕緣薄膜45，諸如聚酰亞胺。各開關(guān)元件44的柵電極44G和源電極44S分別被電學(xué)地連接到對(duì)應(yīng)的掃描電極和對(duì)應(yīng)的信號(hào)電極。多個(gè)象素電極36被安置在間層絕緣薄膜45上。多個(gè)通孔44V被設(shè)置在對(duì)應(yīng)開關(guān)元件44的漏極電極44D的部分上，開關(guān)元件44分別通過通孔44V被電學(xué)地連接到對(duì)應(yīng)的象素電極36。此外，開關(guān)元件44被設(shè)置在分別對(duì)應(yīng)岸44的位置上。換言之，當(dāng)從圖10中的上側(cè)觀察時(shí)，多個(gè)開關(guān)元件44的每個(gè)被安置以被覆蓋對(duì)應(yīng)的岸40。
每個(gè)通過象素電極36所限定的凹陷部分和對(duì)應(yīng)的岸40分別對(duì)應(yīng)象素38R、38G、38B。象素38R是其中具有紅色波長(zhǎng)區(qū)域之內(nèi)的波長(zhǎng)被發(fā)射通過其的發(fā)光層211FR將被形成的區(qū)域。象素38G是其中具有綠色波長(zhǎng)區(qū)域之內(nèi)的波長(zhǎng)被發(fā)射通過其的發(fā)光層211FG將被形成的區(qū)域。象素38B是其中具有藍(lán)色波長(zhǎng)區(qū)域之內(nèi)的波長(zhǎng)被發(fā)射通過其的發(fā)光層211FB將被形成的區(qū)域。
使用公知的薄膜形成技術(shù)和圖案成形技術(shù)可以制造這樣的基部30A。
首先，基部30A通過常壓之下的氧等離子處理而變成親液。象素電極38R、38G、38B中每個(gè)通過象素電極36和岸40所限定的象素電極36的表面、無(wú)機(jī)岸40A的表面和有機(jī)岸40B的表面通過此過程趨于親液。此外，然后對(duì)基部30A進(jìn)行使用CF4作為處理氣體的等離子過程。通過使用CF4的等離子過程，各凹陷部分中的有機(jī)岸40B的表面被氟化，有機(jī)岸40B的表面通過此過程趨于非親液。對(duì)于此，通過使用CF4的等離子過程，原先具有親液性的象素電極36的表面和無(wú)機(jī)岸40A的表面稍微喪失一點(diǎn)親液性。但是，即使如此，這些表面可以保持親液性。
對(duì)于此，根據(jù)象素電極36的材料，無(wú)機(jī)岸40A的材料、有機(jī)岸40B的材料，每個(gè)凹陷部分的表面具有所需的親液和非親液而沒有上述的表面處理。在這樣的情況下，不需要表面進(jìn)行如上所述的表面處理。
此外，對(duì)應(yīng)的孔傳輸層37R、37G和37B可以形成在這樣進(jìn)行表面處理的多個(gè)象素電極的每個(gè)上。在孔傳輸層37R、37G和37B被分別安置在象素電極36和發(fā)光層211FR、211FG和211FB之間的情況下，就可以改良電致發(fā)光顯示器的發(fā)光效率。
如圖10(a)-10(c)所示，液體材料211R、211G和211B分別供給到象素38R、38G、38B被如上所述形成的基部30A上，其與使用本發(fā)明的液滴噴射裝置1的濾色鏡襯底10的情況相似。在這種情況下，液體材料211R包括紅色有機(jī)發(fā)光材料，液體材料211G包括綠色有機(jī)發(fā)光材料，以及液體材料211B包括藍(lán)色發(fā)光材料。
基部30A然后傳輸?shù)礁稍镅b置中。發(fā)光層211FR、211FG和211FB通過干燥供給到各象素電極38R、38G和38B上的液體材料211R、211G和211B而在各象素38R、38G和38B上獲得。
接著，對(duì)電極46被形成以覆蓋發(fā)光層211FR、211FG和211FB以及岸40。各對(duì)電極46用作負(fù)電極。
接著，通過將密封襯底48用它們的周邊部分結(jié)合到基部30A，獲得如圖10(d)所示的有機(jī)電致發(fā)光顯示器30。對(duì)于此，惰性氣體在密封襯底48和基部30A之間包圍。
在有機(jī)電致發(fā)光(organic electro-luminescence)顯示器30中，從發(fā)光層211FR、211FG和211FB所發(fā)射的光通過象素電極36、電路元件層34和支撐襯底32被發(fā)射到外部。其中光以這種方式通過電路元件層34發(fā)射的有機(jī)電致發(fā)光顯示器被稱為底部發(fā)射類型顯示器。
盡管本發(fā)明所應(yīng)用到制造液晶顯示器(濾色鏡襯底)和有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法的情況基于附圖中的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了說(shuō)明，必須注意本發(fā)明不限于上述的實(shí)施例的情況。例如，可以將本發(fā)明應(yīng)用到制造等離子顯示器的背部襯底的方法中，或者設(shè)有電子發(fā)射元件(也稱為SED(表面可導(dǎo)電子發(fā)生器顯示器)或者FED(場(chǎng)發(fā)射顯示器))的圖像顯示器上。
<電子裝置的實(shí)施例>
使用如上所述的方法制造設(shè)有濾色鏡襯底10的液晶顯示器的圖像顯示裝置1000，以及使用如上所述的方法制造的有機(jī)電致發(fā)光顯示器(即，本發(fā)明的電子裝置)可以被用作不同類型的各電子裝置的顯示器部分。
圖11顯示了本發(fā)明的電子裝置所應(yīng)用的移動(dòng)(或者膝上型)個(gè)人計(jì)算機(jī)1100的結(jié)構(gòu)。參照?qǐng)D11，個(gè)人計(jì)算機(jī)1100設(shè)有具有鍵盤1102的主體1104、顯示單元1106。顯示單元1106被可旋轉(zhuǎn)地通過鉸鏈部分支撐在主體1104上。在此個(gè)人計(jì)算機(jī)1100中，顯示單元1106設(shè)有如上所述的圖像顯示裝置1000。
圖12是顯示了本發(fā)明的電子裝置所應(yīng)用的便攜電話(包括個(gè)人手持電話系統(tǒng))的結(jié)構(gòu)的透視圖。參照?qǐng)D12，便攜電話1200設(shè)有多個(gè)按鈕1202、耳機(jī)1204、話筒1206和顯示部分。顯示部分從如上所述的圖像顯示裝置1000所構(gòu)造。
圖13是顯示了本發(fā)明的電子裝置所應(yīng)用的數(shù)碼相機(jī)1300的結(jié)構(gòu)的透視圖。在此附圖中，數(shù)碼相機(jī)連接到外部設(shè)備被示意地顯示。通常的相機(jī)基于物體的光學(xué)圖像曝光銀鹽照相膠卷，同時(shí)數(shù)碼相機(jī)1300通過將物體的光學(xué)圖像用諸如電荷耦合裝置(CCD)的成像裝置而光電轉(zhuǎn)換為圖像信號(hào)來(lái)產(chǎn)生成像信號(hào)(圖像信號(hào))。
如上所述的圖像顯示裝置1000作為顯示部分被設(shè)置在數(shù)碼相機(jī)1300中的殼體(主體)1302的后表面上。圖像顯示裝置1000響應(yīng)從CCD所輸出的成像信號(hào)而顯示圖像，并用作顯示物體作為電子圖像的探測(cè)器。電路板1308被放置在殼體1302內(nèi)。能夠存儲(chǔ)這樣的成像信號(hào)的存儲(chǔ)器被放置在電路板1308上。
此外，包括光學(xué)透鏡(成像光學(xué)系統(tǒng))、CCD等的光接收單元1304被設(shè)置在殼體1302的前表面?zhèn)戎?。?dāng)攝影師確定顯示在顯示部分(即圖像顯示裝置1000)上的物體的圖像時(shí)，并按下快門按鈕1306，此時(shí)的CCD的成像信號(hào)被傳輸?shù)诫娐钒?308的存儲(chǔ)器中并存儲(chǔ)在此存儲(chǔ)器中。
此外，視頻信號(hào)輸出端子1312和用于數(shù)據(jù)通信的輸入/輸出端子1314被設(shè)置在數(shù)碼相機(jī)1300中的殼體1302的側(cè)表面上。如圖13中所示，如果需要，電視監(jiān)視器1430和個(gè)人計(jì)算機(jī)1440被分別連接到視頻信號(hào)輸出端子1312和用于數(shù)據(jù)通信的輸入/輸出端子1314。此外，存儲(chǔ)在電路板1308的存儲(chǔ)器中的成像信號(hào)通過預(yù)定的操作被輸出到電視監(jiān)視器1430或者個(gè)人計(jì)算機(jī)1440。
對(duì)于此，本方面的電子裝置可以適當(dāng)?shù)厥褂迷?或者應(yīng)用到)諸如電視、攝像機(jī)、視場(chǎng)探測(cè)器類型或者監(jiān)測(cè)器直接視場(chǎng)類型磁帶錄像機(jī)、膝上型個(gè)人計(jì)算機(jī)、汽車導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子筆記本(包括這些具有通信功能的裝置)，電子辭典、袖珍計(jì)算器、電子游戲裝置、文檔處理器、工作站、電視電話、用于防止犯罪的電視監(jiān)測(cè)器、電子雙眼望遠(yuǎn)鏡、POS(point-of-sale)終端、具有觸板的裝置(諸如金融機(jī)構(gòu)中的現(xiàn)金分發(fā)器、自動(dòng)售票機(jī))、醫(yī)療裝置(例如電子體溫表、血壓測(cè)量?jī)x、血糖測(cè)量?jī)x、心電圖顯示裝置、超聲診斷裝置、內(nèi)診鏡顯示器)、魚探測(cè)器、不同的測(cè)量裝置、量具(諸如車輛、飛機(jī)、輪船等用的量規(guī))、飛行模擬器、任何其它類型的監(jiān)測(cè)器、投影式顯示器，諸如投影儀等，除了如圖19所示的個(gè)人計(jì)算機(jī)1100(移動(dòng)個(gè)人計(jì)算機(jī))、如圖20所示的變形電話1200以及如圖21所示的數(shù)碼相機(jī)1300。
根據(jù)本發(fā)明的用于使用在液滴噴射裝置中的頭單元、液滴噴射裝置、用于從基部制造面板的方法、圖像顯示裝置和電子裝置基于附圖中所示的實(shí)施例在如上進(jìn)行了說(shuō)明，但是必須注意本發(fā)明不限于此。根據(jù)本發(fā)明的頭單元的各部分、液滴噴射裝置和電子裝置可以用任何能夠用相同的方式工作的布置替換。此外，任何其它任意部件可以添加到根據(jù)本發(fā)明的頭單元、液滴噴射裝置和電子裝置。
權(quán)利要求
1.一種用于液滴噴射裝置中的頭單元，所述頭單元設(shè)有多個(gè)液滴噴射頭，用于將一種或者多種類型的預(yù)定顏色的液體材料以液滴的形式噴射到基部上，各液滴噴射頭包括至少一個(gè)噴嘴陣列，所述噴嘴陣列從多個(gè)線性對(duì)齊的噴嘴所構(gòu)成，液體材料適于以液滴的方式通過多個(gè)液滴噴射頭的多個(gè)噴嘴被噴射，其中，多個(gè)用于噴射相同顏色的液體材料的液滴噴射頭被安置，這樣多個(gè)液滴噴射頭的噴嘴陣列彼此在第一方向上平行，當(dāng)從垂直于第一方向的第二方向觀察時(shí)，多個(gè)液滴噴射頭的每個(gè)部分重疊至少其它液滴噴射頭之一，以及其中所有的多個(gè)彼此部分重疊的用于噴射相同顏色的液體材料的液滴噴射頭以液滴的形式將液體材料噴射到基部的預(yù)定區(qū)域上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的頭單元，其特征在于，一種或者多種類型的液體材料包括三種類型的液體材料，分別具有紅色、綠色和藍(lán)色。
3.一種用于將一種或者多種類型的液體材料以液滴的方式供給到基部上的液滴噴射裝置，所述一種或者多種類型的液體材料具有預(yù)定的顏色，所述裝置包括如權(quán)利要求1所限定的頭單元；具有兩個(gè)主表面的臺(tái)階，臺(tái)階的兩個(gè)主表面之一朝向頭單元的多個(gè)液滴噴射頭，基部被支撐在臺(tái)階的一個(gè)主表面上；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)用于相對(duì)頭單元相互移動(dòng)所述臺(tái)階；以及控制單元，所述控制單元用于控制頭單元以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)的操作，這樣頭單元的多個(gè)液滴噴射頭的每個(gè)將液體材料的液滴噴射到基部，同時(shí)在垂直于第一方向的第二方向上相對(duì)頭單元相互移動(dòng)所述臺(tái)階。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液滴噴射裝置，其特征在于，基部是用于制造用于液晶顯示器的濾色鏡襯底的基部材料，并且一種或者多種類型的液體材料是用于形成濾色鏡襯底的濾色鏡層的墨。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液滴噴射裝置，其特征在于，基部是用于制造電致發(fā)光顯示器的基部材料，以及所述一種或者多種類型的液體材料包括用于制造電致發(fā)光顯示器的發(fā)光材料。
6.一種使用如權(quán)利要求3所限定的液滴噴射裝置從基部制造面板的方法，所述方法包括步驟制備基部；以及將預(yù)定顏色的一種或者多種類型的液體材料以液滴的形式通過液滴噴射裝置噴射液滴而供給到基部上同時(shí)相對(duì)頭單元在垂直于第一方向的第二方向上相互移動(dòng)所述基部。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，基部是用于制造用于液晶顯示器的濾色鏡襯底的基部材料，并且所述一種或者多種類型的液體材料是用于形成濾色鏡襯底的濾色鏡層的墨。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，基部是用于制造電致發(fā)光顯示器的基部材料，以及所述一種或者多種類型的液體材料包括用于制造電致發(fā)光顯示器的發(fā)光材料。
9.一種圖像顯示裝置，包括使用如權(quán)利要求6所限定的方法制造的面板。
10.一種電子裝置，包括通過權(quán)利要求9所限定的圖像顯示裝置。
全文摘要
一種用于液滴噴射裝置中的頭單元，所述頭單元設(shè)有多個(gè)液滴噴射頭，用于將一種或者多種類型的預(yù)定顏色的液體材料以液滴的形式噴射到基部上。各液滴噴射頭包括從多個(gè)線性對(duì)齊的噴嘴所形成至少一個(gè)噴嘴陣列。液體材料適于以液滴的方式通過多個(gè)液滴噴射頭的多個(gè)噴嘴噴射。多個(gè)用于噴射相同顏色的液體材料的多個(gè)液滴噴射頭被安置，這樣多個(gè)液滴噴射頭的噴嘴陣列彼此在第一方向上平行，當(dāng)從垂直于第一方向的第二方向觀察時(shí)，多個(gè)液滴噴射頭的每個(gè)部分重疊至少其它液滴噴射頭之一。所有的多個(gè)用于噴射彼此部分重疊的相同顏色的液體材料的液滴噴射頭以液滴的形式將液體材料噴射到基部的預(yù)定區(qū)域上。
文檔編號(hào)G02F1/1335GK1755404SQ20051010699
公開日2006年4月5日 申請(qǐng)日期2005年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2004年10月1日
發(fā)明者川瀨智己 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社