專利名稱：彩色濾光片制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種彩色濾光片制造方法。
背景技術(shù)：
被動(dòng)式顯示裝置，如液晶顯示器，需利用彩色濾光片將通過的白光轉(zhuǎn)化為紅、綠、藍(lán)三原色光束達(dá)成顯示不同色彩影像的效果。彩色濾光片主要包括黑矩陣和著色層，該著色層是由交替排列的紅、綠、藍(lán)三色顏色層(ColorArea)組成。
一種現(xiàn)有技術(shù)的彩色濾光片制造方法如圖1所示，其是以噴墨技術(shù)制造彩色濾光片的方法，主要包括下列步驟在透明基板上依次形成黑矩陣層和第一光阻層；通過光罩對(duì)該第一光阻層曝光和顯影；對(duì)該黑矩陣層進(jìn)行蝕刻并在之后完全去除該第一光阻層；在該黑矩陣層上形成第二光阻層并由背面進(jìn)行曝光；顯影該第二光阻層制得多個(gè)擋墻；通過噴墨法將墨水注入該擋墻之間；固化該墨水。
以下結(jié)合圖2至圖9對(duì)該彩色濾光片制造方法進(jìn)行概要說明。
如圖2所示，提供透明基板100，在透明基板100的上表面上依次形成黑矩陣層102和第一光阻層104。該黑矩陣層102一般是以蒸鍍或者濺鍍的方式形成的鉻或者鉻合金的薄膜。
如圖3所示，通過光罩對(duì)該第一光阻層104曝光和顯影，形成多個(gè)圖案化的光阻矩陣1041。通過此步驟，將光罩上所具有的圖案轉(zhuǎn)移到該光阻矩陣1041上。
如圖4所示，對(duì)該黑矩陣層102進(jìn)行蝕刻，得到圖案化的黑矩陣1021，并在之后完全去除剩余的光阻矩陣1041。
如圖5所示，在由該黑矩陣層制得的黑矩陣1021上形成第二光阻層106，并利用紫外光曝光源112由該透明基板100的與其上表面相對(duì)的背面進(jìn)行曝光。
如圖6所示，顯影該曝光后的第二光阻層106，制得多個(gè)擋墻1061，每相鄰的兩擋墻1061之間形成空間。
如圖7所示，利用噴墨裝置，例如熱泡式噴墨裝置(ThermalBubble Ink Jet Printing Apparatus)或者壓電式噴墨裝置(Piezoelectric Ink Jet Printing Apparatus)，將需要的顏色的墨水以微液體108注入擋墻1061之間的空間內(nèi)。如圖8所示，該多個(gè)微液體108在該空間內(nèi)融合成墨水110。
如圖9所示，利用固化裝置，例如加熱裝置或者發(fā)光裝置，將該墨水110烘干或交連或二者兼有的，以形成平坦的顏色層114，該顏色層114可以為紅色，相應(yīng)地，其它的藍(lán)顏色層和綠顏色層依次形成在該紅顏色層114的一側(cè)。
在該彩色濾光片制造方法中，為將光罩的圖案轉(zhuǎn)移到該黑矩陣1021上，須經(jīng)過兩道制程，即首先利用光罩曝光第一光阻層104，將該光罩的圖案轉(zhuǎn)移到該光阻矩陣1041上，然后再以該圖案化的光阻矩陣1041做保護(hù)，對(duì)不需要的黑矩陣層102進(jìn)行蝕刻去除，得到圖案化的黑矩陣1021。該種制程由于涉及的制程過多，光罩的圖案最終轉(zhuǎn)移到該黑矩陣1041后，難免影響所需黑矩陣1021的圖案的精確度，這進(jìn)一步會(huì)影響到后續(xù)的擋墻1061和顏色層114等的精確度。

發(fā)明內(nèi)容以下，將以實(shí)施例說明一種可提高黑矩陣的圖案的精確度的彩色濾光片制造方法。
為實(shí)現(xiàn)上述實(shí)施例內(nèi)容提供一種彩色濾光片制造方法，該彩色濾光片制造方法包括下列步驟在透明基板上形成有機(jī)黑矩陣光阻層；通過光罩對(duì)該有機(jī)黑矩陣光阻層曝光顯影去除不必要的有機(jī)黑矩陣光阻層；在該有機(jī)黑矩陣光阻層上形成正型光阻層并由背面進(jìn)行曝光；顯影該正型光阻層制得多個(gè)擋墻；通過噴墨法將墨水注入該擋墻之間；固化該墨水。
以及，提供又一種彩色濾光片制造方法，該彩色濾光片制造方法包括下列步驟通過光罩或精密對(duì)位裝置在透明基板的表面上形成自該透明基板表面凹入的多個(gè)溝槽；在該溝槽內(nèi)形成有機(jī)黑矩陣；在該有機(jī)黑矩陣上形成正型光阻層并由背面進(jìn)行曝光；顯影該正型光阻層制得多個(gè)擋墻；通過噴墨法將墨水注入該擋墻之間；固化該墨水。
上述實(shí)施例所提供彩色濾光片制造方法均因是將黑矩陣直接與光罩對(duì)應(yīng)制得，可提高黑矩陣的圖案的精確度。而且，由于制得黑矩陣的材料為有機(jī)材料，避免使用現(xiàn)有技術(shù)的有害金屬鉻，使得上述實(shí)施例制得的彩色濾光片具環(huán)保性能。
另外，當(dāng)將黑矩陣設(shè)置在自透明基板表面凹入的溝槽內(nèi)時(shí)，因注入擋墻之間的墨水不會(huì)接觸到該黑矩陣，當(dāng)該黑矩陣的材料存有孔洞時(shí)，還可避免不同顏色的顏色層的混色。

圖1是一種現(xiàn)有技術(shù)彩色濾光片制造方法的流程圖。
圖2至圖9是該現(xiàn)有技術(shù)彩色濾光片制造方法的示意圖。
圖10是本發(fā)明第一實(shí)施例的彩色濾光片制造方法的流程圖。
圖11至圖15是該第一實(shí)施例的彩色濾光片制造方法的示意圖。
圖16是本發(fā)明第二實(shí)施例的彩色濾光片制造方法的流程圖。
圖17至圖21是該第二實(shí)施例的彩色濾光片制造方法的示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖10所示，是本發(fā)明第一實(shí)施例彩色濾光片制造方法的流程圖，其主要包括下列步驟在透明基板上形成有機(jī)黑矩陣光阻層；通過光罩對(duì)該有機(jī)黑矩陣光阻層曝光顯影去除不必要的有機(jī)黑矩陣光阻層；在該有機(jī)黑矩陣光阻層上形成正型光阻層并由背面進(jìn)行曝光；顯影該正型光阻層制得多個(gè)擋墻；通過噴墨法將墨水注入該擋墻之間；固化該墨水。
以下結(jié)合圖11至圖15對(duì)該彩色濾光片制造方法進(jìn)行說明。
如圖11所示，提供透明基板300，例如玻璃基板，在透明基板300的上表面上形成有機(jī)黑矩陣光阻層304。該有機(jī)黑矩陣光阻層304的材料一般是碳黑樹脂。
如圖12所示，通過光罩對(duì)該有機(jī)黑矩陣光阻層304曝光，并經(jīng)過顯影去除不必要的有機(jī)黑矩陣光阻層，形成多個(gè)圖案化的黑矩陣3041。通過此步驟，將光罩上所具有的圖案轉(zhuǎn)移到該黑矩陣3041上。
如圖13所示，在該黑矩陣3041上形成正型光阻層306，并利用紫外光曝光源312由該透明基板300的與其上表面相對(duì)的背面進(jìn)行曝光。此時(shí)，由于該黑矩陣3041的存在，該黑矩陣3041以光罩的作用使未被其遮擋的正型光阻層306曝光，而被其遮擋的正型光阻層306免于紫外光的照射。
如圖14所示，顯影該曝光后的正型光阻層306，顯影后制得多個(gè)位于黑矩陣3041上的擋墻3061，每相鄰的兩擋墻3061之間形成空間。
如圖15所示，利用噴墨裝置，例如熱泡式噴墨裝置或者壓電式噴墨裝置，將需要的顏色的墨水注入擋墻3061之間的空間內(nèi)，并利用固化裝置，例如加熱裝置或者發(fā)光裝置，將該墨水烘干或交連或二者兼有的，以形成平坦的顏色層310，該顏色層310可以為紅色，相應(yīng)地，其它的藍(lán)顏色層和綠顏色層依次形成在該紅顏色層310的一側(cè)。
該彩色濾光片制造方法因是將黑矩陣3041直接與光罩對(duì)應(yīng)制得，可提高黑矩陣3041的圖案的精確度。而且，由于制得黑矩陣3041的材料為有機(jī)材料，避免使用現(xiàn)有技術(shù)的有害金屬鉻，使得本方法制得的彩色濾光片具環(huán)保性能。
再如圖16所示，是本發(fā)明第二實(shí)施例彩色濾光片制造方法的流程圖，其主要包括下列步驟在透明基板的表面上形成自該透明基板表面凹入的多個(gè)溝槽；在該溝槽內(nèi)形成有機(jī)黑矩陣；在該有機(jī)黑矩陣上形成正型光阻層并由背面進(jìn)行曝光；顯影該正型光阻層制得多個(gè)擋墻；通過噴墨法將墨水注入該擋墻之間；固化該墨水。
以下結(jié)合圖17至圖21對(duì)該彩色濾光片制造方法進(jìn)行說明。
如圖17所示，提供透明基板500，例如玻璃基板，通過光罩進(jìn)行激光、噴砂或者蝕刻的方式，或者通過其它精密對(duì)位裝置進(jìn)行激光或者噴砂的方式在該透明基板500的上表面上形成自該透明基板500上表面凹入的多個(gè)圖案化的溝槽504。通過此步驟，將所需的圖案轉(zhuǎn)移到該溝槽504上。
如圖18所示，利用噴墨裝置，例如熱泡式噴墨裝置或者壓電式噴墨裝置，將有機(jī)黑矩陣光阻材料，例如碳黑樹脂，注入該多個(gè)溝槽504內(nèi)，該有機(jī)黑矩陣光阻材料在該溝槽504形成有機(jī)黑矩陣5041。
如圖19所示，將正型光阻材料涂覆在該透明基板500的形成有黑矩陣5041的表面上，形成正型光阻層506，并利用紫外光曝光源512由該透明基板500的與其上表面相對(duì)的背面進(jìn)行曝光。此時(shí)，由于該黑矩陣5041的存在，該黑矩陣5041以光罩的作用使未被其遮擋的正型光阻層506曝光，而被其遮擋的正型光阻層506免于紫外光的照射。
如圖20所示，顯影該曝光后的正型光阻層506，制得多個(gè)位于黑矩陣5041上的擋墻5061，每相鄰的兩擋墻5061之間形成空間。
如圖21所示，利用噴墨裝置，例如熱泡式噴墨裝置或者壓電式噴墨裝置，將需要的顏色的墨水注入擋墻5061之間的空間內(nèi)，并利用固化裝置，例如加熱裝置或者發(fā)光裝置，將該墨水烘干或交連或二者兼有的，以形成平坦的顏色層510，該顏色層510可以為紅色，相應(yīng)地，其它的藍(lán)顏色層和綠顏色層依次形成在該紅顏色層510的一側(cè)。
該第二實(shí)施例的彩色濾光片制造方法具有與第一實(shí)施例的彩色濾光片制造方法相同的效果，并且，由于是將黑矩陣5041設(shè)置在自透明基板500表面凹入的溝槽504內(nèi)，當(dāng)該黑矩陣5041的材料存有孔洞時(shí)，注入擋墻5061之間的墨水不會(huì)接觸到該黑矩陣5041，從而避免不同顏色的顏色層的混色。
權(quán)利要求
1.一種彩色濾光片制造方法，包括下列步驟在透明基板上形成有機(jī)黑矩陣光阻層；通過光罩對(duì)該有機(jī)黑矩陣光阻層曝光顯影去除不必要的有機(jī)黑矩陣光阻層；在該有機(jī)黑矩陣光阻層上形成正型光阻層并由背面進(jìn)行曝光；顯影該正型光阻層制得多個(gè)擋墻；通過噴墨法將墨水注入該擋墻之間；固化該墨水。
2.如權(quán)利要求1所述的彩色濾光片制造方法，其特征在于該透明基板為玻璃基板。
3.如權(quán)利要求1所述的彩色濾光片制造方法，其特征在于該有機(jī)黑矩陣光阻層的材料為有機(jī)樹脂。
4.如權(quán)利要求3所述的彩色濾光片制造方法，其特征在于該有機(jī)樹脂為碳黑樹脂。
5.如權(quán)利要求1所述的彩色濾光片制造方法，其特征在于該由背面進(jìn)行的曝光是以紫外光作為光源。
6.如權(quán)利要求1所述的彩色濾光片制造方法，其特征在于該噴墨法是通過噴墨裝置將墨水注入該擋墻之間。
7.如權(quán)利要求6所述的彩色濾光片制造方法，其特征在于該噴墨裝置是選擇自熱泡式噴墨裝置或者壓電式噴墨裝置。
8.如權(quán)利要求1所述的彩色濾光片制造方法，其特征在于其是通過加熱裝置固化各個(gè)擋墻之間的墨水。
9.如權(quán)利要求1所述的彩色濾光片制造方法，其特征在于其是通過加熱裝置和抽真空裝置固化各個(gè)擋墻之間的墨水。
10.如權(quán)利要求1所述的彩色濾光片制造方法，其特征在于其是通過發(fā)光裝置固化各個(gè)擋墻之間的墨水。
11.一種彩色濾光片制造方法，包括下列步驟通過光罩或精密對(duì)位裝置在透明基板的表面上形成自該透明基板表面凹入的多個(gè)溝槽；在該溝槽內(nèi)形成有機(jī)黑矩陣；在該有機(jī)黑矩陣上形成正型光阻層并由背面進(jìn)行曝光；顯影該正型光阻層制得多個(gè)擋墻；通過噴墨法將墨水注入該擋墻之間；固化該墨水。
12.如權(quán)利要求11所述的彩色濾光片制造方法，其特征在于該透明基板的表面上的溝槽是通過光罩進(jìn)行激光、噴砂或者蝕刻的方式形成，或者通過精密對(duì)位裝置進(jìn)行激光或者噴砂的方式形成。
13.如權(quán)利要求11所述的彩色濾光片制造方法，其特征在于該溝槽內(nèi)的有機(jī)黑矩陣是以噴墨裝置噴入。
14.如權(quán)利要求13所述的彩色濾光片制造方法，其特征在于該噴墨裝置是選擇自熱泡式噴墨裝置或者壓電式噴墨裝置。
15.如權(quán)利要求11所述的彩色濾光片制造方法，其特征在于其是通過噴墨裝置將墨水注入該擋墻之間。
16.如權(quán)利要求15所述的彩色濾光片制造方法，其特征在于該噴墨裝置是選擇自熱泡式噴墨裝置或者壓電式噴墨裝置。
17.如權(quán)利要求11所述的彩色濾光片制造方法，其特征在于其是通過加熱裝置固化各個(gè)擋墻之間的墨水。
18.如權(quán)利要求11所述的彩色濾光片制造方法，其特征在于其是通過加熱裝置和抽真空裝置固化各個(gè)擋墻之間的墨水。
19.如權(quán)利要求11所述的彩色濾光片制造方法，其特征在于其是通過發(fā)光裝置固化各個(gè)擋墻之間的墨水。
20.如權(quán)利要求11所述的彩色濾光片制造方法，其特征在于該透明基板為玻璃基板。
21.如權(quán)利要求11所述的彩色濾光片制造方法，其特征在于該有機(jī)黑矩陣的材料為有機(jī)樹脂。
22.如權(quán)利要求21所述的彩色濾光片制造方法，其特征在于該有機(jī)樹脂為碳黑樹脂。
23.如權(quán)利要求11所述的彩色濾光片制造方法，其特征在于該由背面進(jìn)行的曝光是以紫外光作為光源。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種彩色濾光片制造方法，其包括下列步驟在透明基板上形成有機(jī)黑矩陣光阻層；通過光罩對(duì)該有機(jī)黑矩陣光阻層曝光顯影去除不必要的有機(jī)黑矩陣光阻層；在該有機(jī)黑矩陣光阻層上形成正型光阻層并由背面進(jìn)行曝光；顯影該正型光阻層制得多個(gè)擋墻；通過噴墨法將墨水注入該擋墻之間；固化該墨水。
文檔編號(hào)G02F1/1335GK1892265SQ20051003591
公開日2007年1月10日 申請(qǐng)日期2005年7月8日 優(yōu)先權(quán)日2005年7月8日
發(fā)明者周景瑜 申請(qǐng)人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 虹創(chuàng)科技股份有限公司