專利名稱：：體積測定方法及裝置、具有該裝置的液滴噴出裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及測定在水平面上滴下的液滴的體積的體積測定方法、體積測定裝置、具有體積測定裝置的液滴噴出裝置、以及電光裝置的制造方法、電光裝置和電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
：以前，已知有為了正確地獲知從液滴噴出頭噴出的液滴的體積，而從與液滴的飛行方向垂直的方向拍攝飛行的液滴，并從所得到的飛行圖像計算體積的方法。該體積計算方法，假設(shè)飛行中的液滴相對于飛行軸為旋轉(zhuǎn)對稱形，對飛行圖像進行相對于中心軸的積分，從而進行體積測定。專利文獻1特開平5-149769號公報但是，有如下的問題，即，從液滴噴出頭噴出的液滴的飛行方向取決于噴嘴開口的狀態(tài)(彎液面的狀態(tài)或疏水處理的狀態(tài))，飛行中的形狀不穩(wěn)定，從而體積的計算很復(fù)雜。而且，有如下的問題，即，由于拍攝飛行中的液滴，所以飛行圖像中的液滴的輪廓不清晰，液滴圖像的大小不正確，無法高精度地進行體積測定。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠簡單且高精度地測定微小液滴的體積的體積測定方法、體積測定裝置、具有體積測定裝置的液滴噴出裝置、以及電光裝置的制造方法、電光裝置和電子設(shè)備。本發(fā)明的體積測定方法，其特征在于，包括原點坐標獲取工序，利用圖像識別機構(gòu)，將在水平面上滴下的液滴的水平面視圖中心點作為原點坐標而獲??；坐標測量工序，利用電磁波測定機構(gòu)，一邊沿液滴的徑方向掃描連結(jié)獲取的水平面視圖中心點和液滴的外周的任意一點的線段，一邊在多個位置測量相對于原點坐標的液滴表面的輪廓坐標；體積計算工序，根據(jù)輪廓坐標的測量結(jié)果計算液滴的體積。在水平面上滴下的液滴可以看作大致相對于中心軸呈旋轉(zhuǎn)對稱的半球形狀。在具有這種形狀的液滴的體積測定中，可以將該液滴的形狀看作將中心軸相同的多個圓柱重疊的形狀。求出這些圓柱的體積的和，從而可以計算出液滴的體積。這樣，能夠通過將液滴的高度方向細分而高精度地計算液滴的體積。根據(jù)上述構(gòu)成，在原點坐標獲取工序中，圖像識別機構(gòu)將水平面視圖中心點作為原點坐標而獲取后，在坐標測量工序中，電磁波機構(gòu)在多個位置測量相對于作為基準的原點坐標(水平面視圖中心點)的液滴表面的輪廓坐標。由此，可以求出各圓柱的體積測定所需的半徑和高度，可以僅通過一邊對液滴的相當于水平面視圖半徑的部分進行掃描一邊獲取輪廓坐標，即可計算液滴的體積。所以能夠在短時間內(nèi)完成掃描，縮短體積的計算所花費的時間。在這種情況下，優(yōu)選在原點坐標獲取工序中，通過將圖像識別機構(gòu)所圖像識別的識別圖像2值化為液滴圖像和其外圍圖像，確定液滴的輪廓，將水平面視圖中心點作為原點坐標而獲取，并且，在輪廓為極端背離正圓形狀的形狀的情況下，作為錯誤而通知該情況。根據(jù)該構(gòu)成，能夠通過將識別圖像2值化處理而明確液滴的輪廓，因而在原點坐標獲取工序中，可以識別輪廓為極端偏離正圓的形狀的情況。所以，可以通過錯誤通知而將該具有偏離正圓的形狀的液滴從體積的計算對象中排除，能夠確保一定的體積計算精度。而且，如果從上述的正確的輪廓獲取水平面視圖中心點即原點坐標，則該水平面視圖中心點的獲取精度也很高，其結(jié)果可以高精度地計算體積。此外，優(yōu)選將判斷正圓的容許范圍限制在5％的變形量以內(nèi)。在這種情況下，優(yōu)選在坐標測量工序中，從水平面視圖中心點向外周進行掃描，電磁波測定機構(gòu)在輪廓坐標的高度值變?yōu)榱銜r，判斷為到達了上述外周的任意一點。根據(jù)該構(gòu)成，由于從在原點坐標獲取工序中獲取的原點坐標即水平面視圖中心點開始掃描，所以能夠省去無用的掃描，縮短體積計算時間。而且，由于從實際的測量值判斷到達了外周的情況，所以不需要預(yù)先特定外周的任意1點。在這種情況下，優(yōu)選在坐標測量工序中，電磁波測定機構(gòu)的掃描，通過與輪廓坐標的多個位置的測量相對應(yīng)而間歇移動來進行。根據(jù)該構(gòu)成，電磁機構(gòu)在各輪廓坐標的測定位置，一邊在靜止狀態(tài)下正確地定位一邊測量輪廓坐標，所以可以高精度地測量輪廓坐標。在這種情況下，優(yōu)選輪廓坐標的多個位置的測量的各位置的間距，隨著從水平面視圖中心點朝向外周而逐漸變小。根據(jù)該構(gòu)成，能夠精密地測量液滴的輪廓坐標的高度變化大的外周附近的坐標，提高體積計算精度。在這種情況下，優(yōu)選在坐標測量工序中，使掃描方向不同而多次重復(fù)利用電磁波測定機構(gòu)進行的測量；在體積計算工序中，根據(jù)重復(fù)得到的多個輪廓坐標的平均值計算體積。根據(jù)該構(gòu)成，通過對由多次測量所得到的液滴表面的多個輪廓坐標求其平均值，即使在水平面上稍有變形的情況下，也可以測量平均的輪廓坐標。其結(jié)果，可以提高體積計算精度。此外，也可以按照使掃描方向不同而得到的多個輪廓坐標的各坐標計算體積，并求其體積的平均值。在這種情況下，優(yōu)選電磁波測定機構(gòu)是將激光用作測量光的激光式距離測量儀。根據(jù)該構(gòu)成，能夠以簡單的裝置對液滴表面的微小區(qū)域進行坐標測量，并且能夠提高測量精度。本發(fā)明的體積測定裝置，其特征在于，包括圖像識別機構(gòu)，拍攝在水平面上滴下的液滴，并將該液滴的水平面視圖中心點作為原點坐標而獲??；坐標測量機構(gòu)，一邊沿液滴的徑方向掃描連結(jié)水平面視圖中心點和液滴的外周的任意一點的線段，一邊在多個位置測量相對于原點坐標的液滴表面的輪廓坐標；體積計算機構(gòu)，根據(jù)輪廓坐標的測量結(jié)果計算液滴的體積。根據(jù)該構(gòu)成，由于可以從液滴表面的輪廓坐標獲知各圓柱的體積測定所需的半徑和高度，所以能夠僅通過對液滴的相當于水平面視圖半徑的部分進行掃描即可計算液滴的體積。由此，能夠在短時間內(nèi)完成掃描，迅速地計算體積。在這種情況下，優(yōu)選坐標測量機構(gòu)對應(yīng)于輪廓坐標的多個位置的測量而間歇移動，其測量在停止移動時進行。根據(jù)該構(gòu)成，在各輪廓坐標的測定位置，一邊在靜止狀態(tài)下正確地定位一邊測量輪廓坐標，所以可以高精度地計算體積。在這種情況下，優(yōu)選坐標測量機構(gòu)使掃描方向不同而多次重復(fù)測量；體積計算機構(gòu)，根據(jù)重復(fù)得到的多個輪廓坐標的平均值計算體積。根據(jù)該構(gòu)成，能夠防止由液滴的各水平面半徑的輪廓坐標的偏差而引起的測量不準確，從而提高體積計算精度。此外，也可以按照使掃描方向不同而得到的多個輪廓坐標的各坐標計算體積，并求其體積的平均值。在這種情況下，優(yōu)選坐標測量機構(gòu)是將激光用作測量光的激光式距離測量儀。根據(jù)該構(gòu)成，能夠以簡單的裝置對液滴表面的微小區(qū)域進行坐標測量，并且能夠提高測量精度。本發(fā)明的液滴噴出裝置，其特征在于，包括液滴噴出頭，從多個噴嘴向工件噴出功能液滴并形成成膜部；XY移動機構(gòu)，使工件相對于液滴噴出頭向X軸方向和Y軸方向相對移動；上述的體積測定裝置，計算從各噴嘴噴出的液滴、即功能液滴的體積；噴頭控制機構(gòu)，從由體積測定裝置計算出的多個噴嘴的各噴嘴的功能液滴的體積，使各噴嘴均勻地修正驅(qū)動波形。根據(jù)該構(gòu)成，由于能夠利用體積測定裝置計算由液滴噴出頭噴出的功能液滴的體積，所以能夠迅速地計算易蒸發(fā)的微小量的功能液滴的體積。而且，通過根據(jù)計算結(jié)果進行修正，能夠?qū)母鲊娮靽姵龅墓δ芤旱蔚捏w積進行高精度的管理。此外，為了均勻地修正從所有噴嘴噴出的液量(體積)，可以按照將體積限制在預(yù)先指定的范圍內(nèi)的方式進行設(shè)定，也可以確定以所有噴嘴的平均值為基準的范圍。在這種情況下，優(yōu)選坐標測量機構(gòu)由對于該線段在多個位置測量相對于原點坐標的液滴表面的輪廓坐標的測量機構(gòu)，和在測量的同時使測量機構(gòu)沿著上述功能液滴的徑方向?qū)€段進行掃描的掃描機構(gòu)構(gòu)成；液滴噴出頭借助滑架搭載在XY移動機構(gòu)上，XY移動機構(gòu)兼作掃描機構(gòu)，并且測量機構(gòu)安裝在滑架上。根據(jù)該構(gòu)成，在液滴噴出頭向水平面上噴出功能液滴的同時，作為掃描機構(gòu)的XY移動機構(gòu)使滑架掃描，從而能夠利用搭載在滑架上的測量機構(gòu)測量液滴的輪廓坐標。由此，能夠作為掃描機構(gòu)而充分利用XY移動機構(gòu)，提高測量精度，并且能夠簡化構(gòu)造。在這種情況下，優(yōu)選圖像識別機構(gòu)安裝在滑架上。根據(jù)該構(gòu)成，由于能夠在移動到液滴的垂直上方后對液滴進行圖像識別，所以能夠確定準確的輪廓，從而高精度地獲取水平面視圖中心點。而且，能夠連續(xù)地進行液滴的噴出和其圖像識別。本發(fā)明的電光裝置的制造方法，其特征在于，使用上述液滴噴出裝置，在工件上形成由功能液滴形成的成膜部。本發(fā)明的電光裝置，其特征在于，使用上述液滴噴出裝置，在工件上形成由功能液滴形成的成膜部。根據(jù)上述構(gòu)成，由于利用能夠從噴嘴高精度地噴出正確的液量的功能液滴的液滴噴出裝置進行制造，所以可以制造可靠性高的電光裝置。此外，作為電光裝置(平板顯示器)，有濾色器、液晶顯示裝置、有機EL裝置、PDP裝置、電子發(fā)射裝置等。而且，電子發(fā)射裝置是包含所謂的FED(FieldEmissionDisplay)和SED(Surface-conductionElectron-EmissionDisplay)裝置的概念。并且，作為電光裝置還有包含金屬布線形成、透鏡形成、抗蝕膜形成以及光擴散體形成等的裝置。本發(fā)明的電子設(shè)備，其特征在于，搭載有利用上述的電光裝置的制造方法制造的電光裝置或者上述的電光裝置在這種情況下，作為電子設(shè)備，有搭載有所謂的平板顯示器的移動電話、個人計算機、以及其它各種電氣產(chǎn)品。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的體積測定方法和體積測定裝置，能夠在短時間內(nèi)準確地測定液滴的體積。而且，如果使用該體積測定裝置，計算出微小液滴、即從液滴噴出頭噴出的功能液滴的體積，并據(jù)此修正噴嘴的驅(qū)動波形，則能夠高精度地管理從各噴嘴噴出的功能液滴的體積。而且，本發(fā)明的電光裝置的制造方法、電光裝置以及電子設(shè)備，由于利用具有上述體積測定裝置的液滴噴出裝置制造，所以可以提高作業(yè)的可靠性，高效率地進行制造。圖1是裝有本實施方式的體積測定裝置的液滴噴出裝置的平面示意圖。圖2是表示作為液滴噴出裝置的主控制系統(tǒng)的控制裝置的框圖。圖3是表示本實施方式的液滴的體積測定方法的概念的側(cè)面示意圖。圖4是說明液滴的體積計算工序的流程圖。圖5是表示離開液滴的中心點的距離的及其高度的平均值的說明圖。圖6是說明濾色器制造工序的流程圖。圖7(a)～(e)是按照工序順序表示的濾色器的截面示意圖。圖8是表示使用應(yīng)用了本發(fā)明的濾色器的液晶裝置的概略構(gòu)成的主要部分截面圖。圖9是表示使用應(yīng)用了本發(fā)明的濾色器的第2例液晶裝置的概略構(gòu)成的主要部分截面圖。圖10是表示使用應(yīng)用了本發(fā)明的濾色器的第3例液晶裝置的概略構(gòu)成的主要部分截面圖。圖11是作為有機EL裝置的顯示裝置的主要部分截面圖。圖12是說明作為有機EL裝置的顯示裝置的制造工序的流程圖。圖13是說明無機物圍堰層的形成的工序圖。圖14是說明有機物圍堰層的形成的工序圖。圖15是說明形成空穴注入/傳輸層的過程的工序圖。圖16是說明形成了空穴注入/傳輸層后的狀態(tài)的工序圖。圖17是說明形成藍色發(fā)光層的過程的工序圖。圖18是說明形成了藍色發(fā)光層后的狀態(tài)的工序圖。圖19是說明形成了各種顏色的發(fā)光層后的狀態(tài)的工序圖。圖20是說明陰極的形成的工序圖。圖21是作為等離子體型顯示裝置(PDP裝置)的顯示裝置的主要部分分解透視圖。圖22是作為電子發(fā)射裝置(FED裝置)的顯示裝置的主要部分截面圖。圖23(a)是顯示裝置的電子發(fā)射部周圍的平面圖，(b)是表示其形成方法的平面圖。圖中4-體積測定裝置，11-液滴噴出頭，13-噴嘴，61-XY移動機構(gòu)，75-主滑架，81-圖像識別機構(gòu)，91-坐標測量機構(gòu)(電磁波機構(gòu))，92-測量機構(gòu)，93-掃描機構(gòu)，94-激光式距離測量儀，101-體積計算機構(gòu)，113-噴頭控制機構(gòu)，123-水平面視圖中心點，124-外周，126-輪廓坐標，131-原點坐標，W-工件，S-水平部(非描繪區(qū)域)，A-外周的任意一點。具體實施例方式以下，參照附圖對適用了本發(fā)明的體積測定方法和體積測定裝置的液滴噴出裝置進行說明。本實施方式的液滴噴出裝置，是所謂的平板顯示器中的一種、即有機EL裝置或液晶顯示裝置的制造生產(chǎn)線中的裝置。在本實施方式中，首先對有機EL裝置的制造生產(chǎn)線中的液滴噴出裝置進行說明。液滴噴出裝置通過其搭載的液滴噴出頭，向工件(基板)W上噴出功能液滴(發(fā)光材料)而形成有機EL裝置的EL發(fā)光層和空穴注入層。包含該液滴噴出頭的噴出動作的一系列的制造工序，為了排出外界氣體的影響，而在維持干空氣的氣氛的腔室裝置的內(nèi)部進行。如圖1所示，液滴噴出裝置1具有機臺6，以十字狀配置在機臺6的上側(cè)中央并具有3個液滴噴出頭11的描繪裝置2，在機臺6上與描繪裝置2并列設(shè)置、由用于液滴噴出頭11的保養(yǎng)等的各種裝置構(gòu)成的維護裝置3，將上述裝置維持為干空氣氣氛的上述的腔室裝置5。描繪裝置2是使用液滴噴出頭11、在工件W上利用功能液滴進行描繪的裝置，維護裝置3是進行液滴噴出頭11的保養(yǎng)，并且對是否從液滴噴出頭11適當?shù)貒姵隽斯δ芤旱芜M行檢查，使液滴噴出頭11穩(wěn)定地噴出功能液滴的裝置。而且，液滴噴出裝置1還具有向描繪裝置2供給功能液的功能液送液裝置(省略圖示)，以及與后述的吸附工作臺63相連的工件W吸附用的真空泵(省略圖示)等。功能液送液裝置具有向3個液滴噴出頭11分別供給R、G、B三種顏色的功能液的R、G、B三種顏色的功能液罐(省略圖示)。而且，液滴噴出裝置1具有總括控制上述各構(gòu)成裝置的控制裝置102。維護裝置3具有在液滴噴出裝置1不動作時與液滴噴出頭11緊密接觸而防止其干燥的保管單元21，承受用于除去增粘的功能液的吸引(清洗)和液滴噴出頭11的棄噴(沖洗)的吸引單元31，用于擦去附著在液滴噴出頭11的噴嘴面12上的污垢的擦拭單元41。上述各單元搭載在工作臺43上，并可通過該移動工作臺43沿X軸方向移動，其中上述移動工作臺43按照在X軸方向延伸的方式放置在機臺6上。另外，維護裝置3具有測定液滴噴出頭11噴出的功能液滴的體積的體積測定裝置4，體積測定裝置4不搭載在移動工作臺43上，而搭載在描繪裝置2上。關(guān)于體積測定裝置4，將在后面說明。保管單元21具有與液滴噴出頭11的噴嘴面12緊密接觸的密封蓋22，密封蓋22借助密封蓋升降機構(gòu)23安裝在移動工作臺43上。在液滴噴出裝置1不動作時，液滴噴出頭11移動到移動工作臺43上的維護位置，同時密封蓋22上升并與液滴噴出頭11的噴嘴面12緊密接觸。即，密封液滴噴出頭11的所有噴嘴11，防止各噴嘴11處的功能液滴的干燥。由此，抑制功能液的增粘，防止所謂的噴嘴堵塞。在吸引單元31中，具有與液滴噴出頭11的噴嘴面12緊密接觸的吸引蓋32，吸引蓋32借助吸引蓋升降機構(gòu)33安裝在移動工作臺43上。而且，雖然未圖示，但在吸引蓋32上連接著吸引泵。在向液滴噴出頭11充填功能液時或者吸引增粘的功能液時，使該吸引蓋32上升并與液滴噴出頭11緊密接觸，進行泵吸引。而且，在停止功能液滴的噴出(描繪)時，驅(qū)動液滴噴出頭11并進行沖洗(棄噴)。此時，使吸引蓋32稍從液滴噴出頭11離開而承受沖洗。由此，防止噴嘴堵塞，并且恢復(fù)產(chǎn)生了噴嘴堵塞的液滴噴出頭11的功能。在擦拭單元41中，抽出自如且卷繞自如地設(shè)置著擦拭片42，一邊輸送抽出的擦拭片42，同時利用移動工作臺43使擦拭單元41沿X軸方向移動，一邊擦拭液滴噴出頭11的噴嘴面12。由此，除去附著在液滴噴出頭11的噴嘴面12上的功能液，防止功能液滴噴出時的飛行彎曲等。此外，作為維護裝置4，最好在上述各單元之外，搭載檢查從液滴噴出頭11噴出的功能液滴的飛行狀態(tài)的噴出檢查單元等。如圖1所示，描繪裝置2具有以十字狀設(shè)置在機臺6上的XY移動機構(gòu)61。XY移動機構(gòu)61是使工件W相對于液滴噴出頭11向X軸方向和Y軸方向相對移動的機構(gòu)，具有搭載工件W的X軸工作臺62，和跨過X軸工作臺62并與之垂直地設(shè)置、搭載著液滴噴出頭11的Y軸工作臺71。而且，在描繪裝置2中，具有進行液滴噴出頭11的位置識別的噴頭識別照相機(省略圖示)，進行工件W的位置識別的工件識別照相機(省略圖示)，以及體積測定裝置4等各種裝置。工件W由形成有電極等的透光性(透明)的玻璃基板構(gòu)成，其表面劃分為用于形成像素的多個描繪區(qū)域D和非描繪區(qū)域S。在上述描繪區(qū)域D噴出功能液滴而進行描繪。而且，在本實施方式中，在上述非描繪區(qū)域S上，利用液滴噴出頭11噴出測定用的功能液滴，測定各噴嘴的噴出液量。即，非描繪區(qū)域S的表面相當于
發(fā)明內(nèi)容中所述水平面，利用體積測定裝置4測定在該部分著落的功能液滴的體積。此外，也可以將構(gòu)成了上述水平面的測定用基板與工件W分開而設(shè)置在描繪裝置2上。X軸工作臺62按照與沿X軸方向延伸的維護裝置3相互平行的方式，直接設(shè)置在機臺6上，并具有由吸附工件W的吸附工作臺63和繞Z軸旋轉(zhuǎn)自如地支撐吸附工作臺63的θ工作臺64構(gòu)成的一組工作臺(settable)66、沿X軸方向滑動自如地支撐一組工作臺66的X軸滑塊65、驅(qū)動X軸滑塊65的X軸馬達(省略圖示)。工件W吸附載置于吸附工作臺63上，可以借助X軸滑塊65沿主掃描方向、即X軸方向移動。Y軸工作臺71具有夾持X軸工作臺62而豎立設(shè)置在機臺6上的左右一對支柱72、架設(shè)在兩支柱72上的Y軸框架73、滑動自如地支撐在Y軸框架73上的Y軸滑塊74、驅(qū)動Y軸滑塊74的Y軸馬達(省略圖示)、支撐在Y軸滑塊74上并搭載液滴噴出頭11的主滑架75。在主滑架75上垂直設(shè)置著噴頭單元76，在噴頭單元76上借助副滑架(省略圖示)搭載著R色、G色和B色的3個液滴噴出頭11。液滴噴出頭11在其噴嘴面12上具有噴出功能液滴的多個(例如180個)噴嘴13，該多個噴嘴13形成噴嘴列14。R、G、B的3個液滴噴出頭11在噴頭單元76中沿X軸方向橫向排列設(shè)置，以使噴嘴列14與主掃描方向垂直。而且，在工件W上進行描繪時，使功能液滴噴出頭(噴頭單元76)11面對工件W，與利用X軸工作臺62進行的主掃描(工件W的往復(fù)運動)同步，驅(qū)動功能液滴噴出頭11進行噴出。而且，通過Y軸工作臺71適當?shù)剡M行副掃描(噴頭單元76的移動)。通過該一系列的動作，向工件W的描繪區(qū)域D選擇性地噴出所希望的功能液滴，即進行描繪。而且，在進行液滴噴出頭11的維護時，利用移動工作臺43將吸引單元31移動到規(guī)定的維護位置，并且利用Y軸工作臺71將噴頭單元76移動到上述的維護位置，進行液滴噴出頭11的沖洗或者泵吸引。而且，在進行泵吸引時，接著利用移動工作臺43將擦拭單元41移動到維護位置，進行液滴噴出頭11的擦拭。同樣地，在作業(yè)完了、停止裝置的動作時，利用保管單元21在液滴噴出頭11上加蓋。下面，參照圖3詳細說明體積測定裝置4。體積測定裝置4是測定在水平面上滴下的液滴(功能液滴)121的體積的裝置，具有獲取液滴121的水平面視圖中心點123而作為原點坐標131的圖像識別機構(gòu)81、在多個位置測量液滴121的表面坐標即輪廓坐標126的坐標測量機構(gòu)(電磁波機構(gòu))91、根據(jù)測量的輪廓坐標126計算液滴的體積的體積計算機構(gòu)101(由控制裝置102的一部分構(gòu)成)(參照圖2)。上述坐標測量機構(gòu)91由測量輪廓坐標的測量機構(gòu)92、使測量機構(gòu)92掃描的掃描機構(gòu)93構(gòu)成，在本實施方式中，掃描機構(gòu)93由XY移動機構(gòu)61構(gòu)成。如該圖所示，圖像識別機構(gòu)81具有拍攝在非描繪區(qū)域S滴下的液滴121的帶照明的CCD照相機82、對由CCD照相機82進行了圖像識別的識別圖像(省略圖示)進行圖像處理的圖像處理機構(gòu)83(由控制裝置102的一部分構(gòu)成)(參照圖2)。而且，測量機構(gòu)92由激光式距離測量儀94、坐標存儲器95(由控制裝置102的一部分構(gòu)成)構(gòu)成(參照圖2)。激光式距離測量儀94在內(nèi)部具有激光振蕩器(省略圖示)，將激光作為測量光，利用其反射光的相位測量輪廓坐標126的高度(Z坐標)。其中，CCD照相機82和激光式距離測量儀94作為整體的激光單元96而構(gòu)成，位于液滴噴出頭11的側(cè)方并搭載在噴頭單元76上(參照圖1)。而且，如圖2所示，圖像處理機構(gòu)83由控制裝置102中的所謂的圖像處理軟件構(gòu)成，對由CCD照相機82拍攝的識別圖像進行圖像處理。具體的圖像處理作用如后面所述。同樣地，坐標存儲器95為控制裝置102中的所謂的硬件，存儲在該坐標存儲器95中的輪廓坐標數(shù)據(jù)通過上述體積計算機構(gòu)101適當?shù)刈x取。下面，參照圖2對利用本實施方式的液滴噴出裝置1的控制裝置102進行的控制進行說明?？刂蒲b置102具有直接、或者借助各種驅(qū)動器間接地對液滴噴出裝置1的各構(gòu)成裝置進行總括控制的控制部103、直接進行對上述各構(gòu)成裝置的驅(qū)動的驅(qū)動器組111?？刂撇?03具有由微處理器構(gòu)成的CPU104、存儲有各種控制程序的ROM105、作為主存儲裝置的RAM106、計算功能液滴的體積的體積計算機構(gòu)101、對拍攝的識別圖像進行圖像處理的圖像處理機構(gòu)83、坐標存儲器95、將上述部分與驅(qū)動器組111連接的外圍控制電路107，上述各部分通過內(nèi)部總線108相互連接在一起。其中上述體積計算機構(gòu)101是安裝在硬盤上的軟件，圖像處理機構(gòu)83是圖像處理軟件。驅(qū)動器組111由用于使顯示裝置84進行顯示的顯示器驅(qū)動器112、控制液滴噴出頭11的噴出的噴頭控制機構(gòu)113、用于驅(qū)動XY移動機構(gòu)61的馬達驅(qū)動器114、驅(qū)動激光式距離測量儀94的激光驅(qū)動器115、以及驅(qū)動CCD照相機82的照相機驅(qū)動器116等各種驅(qū)動器構(gòu)成。在上述控制裝置102中，CPU104借助照相機驅(qū)動器116指示CCD照相機82對液滴121進行拍攝，并且借助圖像處理機構(gòu)83對該拍攝的識別圖像進行圖像處理。同樣地，CPU104借助激光驅(qū)動器115指示激光式距離測量儀94測量輪廓坐標126，并將該測量的坐標數(shù)據(jù)存儲在坐標存儲器95中。這時，CPU104借助馬達驅(qū)動器114指示驅(qū)動XY移動機構(gòu)61，以使上述激光式距離測量儀94相對于液滴121而進行相對移動。這樣，控制裝置102(CPU104)總括控制液滴噴出裝置1的各構(gòu)成裝置。下面，參照圖3對液滴的體積測定方法進行概略說明。從液滴噴出頭11噴出的液滴(功能液滴)121在上述的非描繪區(qū)域S著落，形成相對于中心軸旋轉(zhuǎn)對稱的半球形狀。液滴121的半球形狀可以看作將中心軸相同的很薄的圓柱122堆疊的形狀。在本實施方式中，采用通過計算該多個圓柱122的體積的和，從而計算液滴121的體積的方法。當然，將液滴121細分的方向不局限于上述的水平方向的分割方法。在本實施方式的體積計算方法中，首先利用圖像識別機構(gòu)81獲取處于液滴121的中心的水平面視圖中心點123，然后坐標測量機構(gòu)91將水平面視圖中心點123識別為原點坐標131，并以此為基準測量輪廓坐標126，從而測定液滴121的體積。該輪廓坐標126的測量，由于求得上述各圓柱122的半徑和高度即可，因而僅掃描(在本實施方式中沿X軸方向掃描)連結(jié)水平面視圖中心點123和液滴121的外周124的任意一點A的線段125(與水平面視圖半徑相當?shù)牟糠?(參照圖3)。此外，
發(fā)明內(nèi)容中所說的水平面視圖中心點是指處于非描繪區(qū)域S上(水平面上)的中心點，而不是指處于液滴121的表面上的中心點。下面，說明具體的體積測定作業(yè)的流程。體積測定作業(yè)由利用圖像識別機構(gòu)81獲取原點坐標131的原點坐標獲取工序、利用坐標測量機構(gòu)91測量液滴121的表面的坐標的坐標測量工序、利用體積計算機構(gòu)101計算液滴121的體積的體積計算工序構(gòu)成。如圖4所示，在非描繪區(qū)域S滴下的液滴121，在原點坐標獲取工序中，利用通過圖像識別機構(gòu)81拍攝的識別圖像(省略圖示)，對非描繪區(qū)域S上的位置和液滴121的輪廓進行圖像識別(S1)。這里，通過圖像處理機構(gòu)83將識別圖像用黑白色2值化為液滴圖像(省略圖示)和外圍圖像(省略圖示)，確定液滴121的輪廓。根據(jù)該識別的輪廓，獲取液滴121的水平面視圖中心點123(S2)。并且，根據(jù)該識別結(jié)果，在為具有從正圓變形5％以上的變形量的液滴121的情況下，發(fā)出警告聲音或在顯示裝置84的畫面上發(fā)出警告信息，進行錯誤通知。下面說明原點坐標131的識別作業(yè)。識別作業(yè)中，首先通過XY移動機構(gòu)61將激光式距離測量儀94的位置對準，使激光式距離測量儀94位于液滴121的水平面視圖中心點123的垂直上方。位置對準后，激光式距離測量儀94以水平面視圖中心點123為基準進行零點修正。由此，控制裝置102將水平面視圖中心點123識別為原點坐標131。該識別作業(yè)是所謂的零點修正，激光式距離測量儀94將測量了原點坐標131的高度(Z坐標)修正為零，同時，激光式距離測量儀94將由XY移動機構(gòu)61支撐的位置(X坐標和Y坐標)識別為零。在進行零點修正后，轉(zhuǎn)移到坐標測量工序，測量處于水平面視圖中心點123的垂直上方的液滴121的輪廓坐標126。然后在從上述水平面視圖中心點123向液滴121的徑方向移動了的、例如沿X軸方向?qū)軸工作臺62移動了1μm的測量位置，激光式距離測量儀94測量正下方的輪廓坐標。上述測量的坐標數(shù)據(jù)依次存儲在坐標存儲器95中(S3)。同樣地，在沿X軸方向等間距地每次移動1μm的各測量位置進行坐標測量，重復(fù)該測量作業(yè)，直至液滴121的外圍124，并在進行坐標測量的同時存儲其坐標數(shù)據(jù)。這時，在連續(xù)測量到輪廓坐標126的高度(Z坐標)為0.1μm以下(即為零)的情況下，作為到達了液滴121的外周124，結(jié)束坐標測量(S4)(參照圖5)。上述的X軸方向的坐標測量(掃描)結(jié)束后，用同樣的方法，僅改變掃描方向，例如在Y軸方向進行掃描，進行坐標測量，從液滴121的水平面視圖中心點123到外周124進行坐標測量，并存儲其坐標數(shù)據(jù)。通過多次進行這種改變掃描方向的坐標測量，并取液滴121的輪廓坐標126的平均值，可以保證體積計算的精度。然后，轉(zhuǎn)移到實際計算體積的體積計算工序。首先，進行計算平均值的作業(yè)，計算出各掃描方向之間的上述每個坐標數(shù)據(jù)的各測量位置(即從水平面視圖中心點123離開的距離相等的地點)的高度的平均值，作為如圖5所示的、以從水平面視圖中心點123離開的距離和高度的平均值表示液滴121的表面的位置的表輸出。并且，圖5的文字n在這種情況下相當于液滴121的半徑(μm)。從圖5所示的表中的值，如上所述將薄圓柱122的體積加在一起，從而計算出液滴121的體積(圖4、S5)。液滴121的體積(V)的計算公式表示如下V＝∑πRn^2Hn其中，Rn圓柱122的半徑Hn圓柱122的高度計算結(jié)果在顯示裝置84中顯示(圖4、S6)。此外，在上述的向液滴121的徑方向的掃描中，各測量位置為每隔1μm的等間距，但是也可以對外周124的附近進行更加細微的坐標測量。更具體地說，在高度變化小的液滴121的水平面視圖中心點123附近以1μm的等間距進行坐標測量，在高度變化大的外周124附近，以例如0.1μm左右的細小的間距進行測量。優(yōu)選隨著面向外周124逐漸使測量間距縮小而進行測量。由此，對于高度(Z坐標)的變化量大的液滴121的外周124附近的體積，也能夠更加正確地計算，從而提高測定精度。對從所有噴嘴13噴出的液滴121均進行以上的作業(yè)(動作)。這時，例如從液滴噴出頭11的所有噴嘴13噴出測定用的液滴121，一邊使其沿X軸方向和Y軸方向移動一邊進行坐標測量。而且，根據(jù)上述體積測定的結(jié)果，能夠使從液滴噴出頭11的各噴嘴13噴出的液滴(功能液滴)121的體積均勻化。在本實施方式中，計算出各噴嘴13的噴出液量(體積)，將偏離其平均值的噴嘴13作為均勻化的對象。均勻化作業(yè)，通過調(diào)整通過泵作用驅(qū)動噴嘴13的液滴121的噴出的壓電元件(省略圖示)上所施加的電壓來進行，但是在這種情況下，借助噴頭驅(qū)動機構(gòu)113來修正該作為對象的噴嘴13的驅(qū)動波形，調(diào)制噴出液量。如上所述，根據(jù)本實施方式，通過圖像識別機構(gòu)81獲取功能液滴的水平面視圖中心點123，從而測量機構(gòu)92能夠?qū)B結(jié)功能液滴的水平面視圖中心點123和外周124的任意一點A的線段125進行坐標測量，從而可以縮短體積計算時間。所以，能夠在短時間內(nèi)計算從液滴噴出頭11噴出的功能液滴的體積，由功能液滴的蒸發(fā)而產(chǎn)生的測定誤差不會對體積計算精度產(chǎn)生影響。而且，如果利用計算出的體積修正噴嘴13的驅(qū)動波形，則能夠調(diào)整液滴噴出頭11的噴出液量，使之均勻。下面，作為采用本實施方式的液滴噴出裝置1制造的電光裝置(平板顯示器)，以濾色器、液晶顯示裝置、有機EL裝置、等離子體顯示器(PDP裝置)、電子發(fā)射裝置(FED裝置、SED裝置)、以及在這些顯示裝置中形成的有源矩陣基板等為例，對其構(gòu)造和制造方法進行說明。此外，所謂有源矩陣基板是指形成有薄膜晶體管、以及與薄膜晶體管電連接的源線、數(shù)據(jù)線的基板。首先，對裝在液晶顯示裝置和有機EL裝置等中的濾色器的制造方法進行說明。圖6是表示濾色器的制造工序的流程圖，圖7是按照制造工序順序表示的本實施方式的濾色器500(濾色器基體500A)的截面示意圖。首先，在黑矩陣形成工序(S11)中，如圖7(a)所示，在基板(W)501上形成黑矩陣502。黑矩陣502由金屬鉻、金屬鉻與氧化鉻的疊層體、或者樹脂黑等形成。在形成由金屬薄膜構(gòu)成的黑矩陣502時，可以使用濺射法或蒸鍍法等。在形成由樹脂薄膜構(gòu)成的黑矩陣502時，可以使用照相凹版印刷法、光刻膠法、熱復(fù)制法等。接下來，在圍堰形成工序(S12)中，以在黑矩陣502上重疊的狀態(tài)形成圍堰503。即，首先如圖7(b)所示，以覆蓋基板501和黑矩陣502的方式形成由負型的透明的感光性樹脂構(gòu)成的抗蝕層504。然后，在用形成為矩陣圖案形狀的掩模薄膜505被覆其上面的狀態(tài)下，進行曝光處理。進而，如圖7(c)所示，通過對抗蝕層504的未曝光部分進行蝕刻處理，將抗蝕層504圖案化，形成圍堰503。另外，在用樹脂黑形成黑矩陣的情況下，可以兼作黑矩陣和圍堰。該圍堰503和其下面黑矩陣502，構(gòu)成區(qū)劃各像素區(qū)域507a的區(qū)劃壁部507b，在后面的著色層形成工序中利用液滴噴出頭11形成著色層(成膜部)508R、508G、508B時，規(guī)定功能液滴的著落區(qū)域。經(jīng)過以上的黑矩陣形成工序和圍堰形成工序，得到上述濾色器基體500A。此外，在本實施方式中，作為圍堰503的材料，采用使涂膜表面呈現(xiàn)疏液(疏水)性的樹脂材料。因而，由于基板(玻璃基板)501的表面為親液(親水)性，所以在后述的著色層形成工序中，可以提高液滴向由圍堰503(區(qū)劃壁部507b)包圍的各像素區(qū)域507a內(nèi)的著落位置精度。然后，在著色層形成工序(S13)中，如圖7(d)所示，利用液滴噴出頭11噴出功能液滴，使其在由區(qū)劃壁部507b包圍的各像素區(qū)域507a內(nèi)著落。這時，使用液滴噴出頭11，導(dǎo)入R、G、B的三種顏色的功能液(濾色器材料)，進行功能液滴的噴出。此外，作為R、G、B的三種顏色的排列圖案，有條紋排列、馬賽克排列和三角排列等。然后，經(jīng)過干燥處理(加熱等處理)，使功能液凝固，形成三種顏色的著色層508R、508G、508B。形成著色層508R、508G、508B后，則轉(zhuǎn)移到保護膜形成工序(S14)，如圖7(e)所示，按照覆蓋基板501、區(qū)劃壁部507b、以及著色層508R、508G、508B的上面的方式形成保護膜509。即，在基板501的形成有著色層508R、508G、508B的整個面上噴出保護膜用涂布液后，經(jīng)過干燥處理形成保護膜509。然后，在形成保護膜509后，濾色器500轉(zhuǎn)移到下一工序的形成透明電極的ITO(IndiumTinOxide)等薄膜形成工序。圖8是表示作為使用了上述的濾色器500的液晶顯示裝置的一例的無源矩陣型液晶裝置(液晶裝置)的概略構(gòu)成的主要部分截面圖。通過在該液晶裝置520中，安裝液晶驅(qū)動用IC、背光燈、支撐體等附屬元件，得到作為最終產(chǎn)品的透射型液晶顯示裝置。此外，濾色器500與圖7所示相同，所以在對應(yīng)的部位賦予相同的符號，省略其說明。該液晶顯示裝置520大致由以下部分構(gòu)成濾色器500、由玻璃基板等構(gòu)成的對向基板521、以及夾持在其間的STN(SuperTwistedNematic)液晶組合物構(gòu)成的液晶層522，并將濾色器500配置在圖中上側(cè)(觀測者側(cè))。此外，雖然未圖示，但是在對向基板521和玻璃基板500的外面(與液晶層522側(cè)相反一側(cè)的面)分別設(shè)置著偏光板，而且在位于對向基板521側(cè)的偏光板的外側(cè)，設(shè)置著背光燈。在濾色器500的保護膜509上(液晶層側(cè))，以規(guī)定間隔形成多個在圖8中的左右方向較長的長方形的第1電極523，并按照覆蓋該第1電極523的與濾色器500側(cè)相反一側(cè)的面的方式形成有第1取向膜524。另一方面，在對向基板521的與濾色器500對向的面上，以規(guī)定間隔形成多個在與濾色器500的第1電極523垂直的方向較長的長方形的第2電極526，并按照覆蓋該第2電極526的液晶層522側(cè)的面的方式形成有第2取向膜527。上述第1電極523和第2電極526由ITO等透明導(dǎo)電材料形成。在液晶層522內(nèi)設(shè)置的隔離體528是將液晶層522的厚度(單元間隙)保持一定的構(gòu)件。而且，密封材料529是防止液晶層522內(nèi)的液晶組合物向外部漏出的構(gòu)件。此外，第1電極523的一端部作為引出布線523a而延伸到密封材料529的外側(cè)。而且，第1電極523和第2電極526交叉的部分為像素，在該構(gòu)成像素的部分具有濾色器500的著色層508R、508G、508B。在一般的制造工序中，在濾色器500上進行第1電極523的圖案化和第1取向膜524的涂布，形成濾色器500側(cè)的部分，并且除此之外，在對向基板521上進行第2電極526的圖案化和第2取向膜527的涂布，形成對向基板521側(cè)的部分。然后，在對向基板521側(cè)的部分上加入隔離體528和密封材料529，并在該狀態(tài)下粘合濾色器500側(cè)的部分。然后，從密封材料529的注入口注入構(gòu)成液晶層522的液晶，之后封閉注入口。然后，疊層兩偏光板和背光燈。本實施方式的液滴噴出裝置1，例如，在涂布構(gòu)成上述單元間隙的隔離體材料(功能液)的同時，可以在對向基板521側(cè)的部分粘合濾色器500側(cè)的部分之前，在由密封材料529包圍的區(qū)域均勻地涂布液晶(功能液)。而且，上述密封材料529的印刷也可以利用液滴噴出頭11進行。并且，第1、第2取向膜524、527的涂布也可以利用液滴噴出頭11進行。圖9是表示使用了在本實施方式中制造的濾色器500的液晶裝置的第2例的概略構(gòu)成的主要部分截面圖。該液晶裝置530與上述液晶裝置520主要差別在于，將濾色器500配置在圖中下側(cè)(與觀測者側(cè)相反一側(cè))。該液晶裝置530的概略構(gòu)成為在濾色器500和由玻璃基板等構(gòu)成的對向基板531之間夾持由STN液晶構(gòu)成的液晶層532。此外，雖然未圖示，但是在對向基板521和濾色器500的外面分別設(shè)置著偏光板等。在濾色器500的保護膜509上(液晶層532側(cè))，以規(guī)定間隔形成多個在進深方向較長的長方形的第1電極533，并按照覆蓋該第1電極533的液晶層532側(cè)的面的方式形成有第1取向膜534。在對向基板531的與濾色器500對向的面上，以規(guī)定間隔形成多個在與濾色器500側(cè)的第1電極533垂直的方向延伸的長方形的第2電極536，并按照覆蓋該第2電極536的液晶層532側(cè)的面的方式形成有第2取向膜537。在液晶層532上設(shè)置著將該液晶層532的厚度保持一定的隔離體538、和防止液晶層532內(nèi)的液晶組合物向外部漏出的密封材料539。而且，與上述液晶裝置520同樣地，第1電極533和第2電極536交叉的部分為像素，在該構(gòu)成像素的部位具有濾色器500的著色層508R、508G、508B。圖10表示使用應(yīng)用了本發(fā)明的濾色器500構(gòu)成液晶裝置的第3例，為表示透射型的TFT(ThinFilmTransistor)型液晶裝置的概略構(gòu)成的分解透視圖。該液晶裝置550將濾色器500配置在圖中上側(cè)(觀測者側(cè))。該液晶裝置550大致由濾色器500、與之對向配置的對向基板551、夾持在其間的未圖示的液晶層、配置在濾色器500的上面?zhèn)?觀測者側(cè))的偏光板555、配置在對向基板551的下面?zhèn)鹊钠獍?未圖示)構(gòu)成。在濾色器500的保護膜509的表面(對向基板551側(cè)的面)形成有液晶驅(qū)動用的電極556。該電極556由ITO等透明導(dǎo)電材料構(gòu)成，為覆蓋形成后述的像素電極560的整個區(qū)域的全面電極。而且，以覆蓋該電極556的與像素電極560相反一側(cè)的面的狀態(tài)設(shè)置著取向膜557。對向基板551的與濾色器500對向的面上形成有絕緣層558，在該絕緣層558上，以相互垂直的狀態(tài)形成掃描線561和信號線562。而且，在由該掃描線561和信號線562包圍的區(qū)域內(nèi)形成有像素電極560。此外，在實際的液晶裝置中，在像素電極560上設(shè)置著取向膜，但是此處省略了圖示。而且，在由像素電極560的缺口部、掃描線561和信號線562包圍的部分，裝入有具備源極、漏極、半導(dǎo)體和柵極的薄膜晶體管563。而且，通過向掃描線561和信號線562施加信號，能夠?qū)⒈∧ぞw管563接通斷開，從而進行向像素電極560的通電控制。此外，雖然上述各例的液晶裝置520、530、550均為透射型的構(gòu)成，但是也可以設(shè)置反射層或者半透射反射層，形成反射型的液晶裝置或者半透射反射型的液晶裝置。圖11是有機EL裝置的顯示區(qū)域(以下僅稱為顯示裝置600)的主要部分截面圖。該顯示裝置600大致以在基板(W)601上，疊層有電路元件部602、發(fā)光元件部603和陰極604的狀態(tài)而構(gòu)成。在該顯示裝置600中，從發(fā)光元件部603向基板601側(cè)發(fā)出的光，透過電路元件部602和基板601而向觀測者側(cè)出射，并且，從發(fā)光元件部603向基板601的相反側(cè)發(fā)出的光由陰極604反射后，透過電路元件部602和基板601向觀察者側(cè)出射。在電路元件部602和基板601之間形成由氧化硅膜構(gòu)成的基底保護膜606，在該基底保護膜606上(發(fā)光元件部603側(cè))形成由多晶硅構(gòu)成的島狀的半導(dǎo)體膜607。在該半導(dǎo)體膜607的左右的區(qū)域，通過注入高濃度陽離子而分別形成源區(qū)域607a和漏區(qū)域607b。未注入陽離子的中央部形成為溝道區(qū)域607c。而且，在電路元件部602上，形成覆蓋基底保護膜606和半導(dǎo)體膜607的透明的柵極絕緣膜608，在該柵極絕緣膜608上的與半導(dǎo)體膜607的溝道區(qū)域607c對應(yīng)的位置，形成有由例如Al、Mo、Ta、Ti、W等構(gòu)成的柵極609。在該柵極609和柵極絕緣膜608上，形成有透明的第1層間絕緣膜611a和第2層間絕緣膜611b。而且，形成有貫通第1、第2層間絕緣膜611a、611b，并分別與半導(dǎo)體膜607的源區(qū)域607a、漏區(qū)域607b連通的接觸孔612a、612b。而且，在第2層間絕緣膜611b上，以規(guī)定的形狀圖案化形成由ITO等構(gòu)成的透明的像素電極613，該像素電極613通過接觸孔612a與源區(qū)域607a連接。另外，在第1層間絕緣膜611a上，設(shè)置著電源線614，該電源線614通過接觸孔612b與漏區(qū)域607b連接。這樣，在電路元件部602上，分別形成與各像素電極613連接的驅(qū)動用的薄膜晶體管615。上述發(fā)光元件部603大致由在多個像素電極613上分別疊層的功能層617、設(shè)置在各像素電極613和功能層617之間并區(qū)劃各功能層617的圍堰部618構(gòu)成。由上述像素電極613、功能層617以及設(shè)置在功能層617上的陰極604構(gòu)成發(fā)光元件。并且，各像素電極613以平面視圖略呈矩形形狀圖案化形成，并在各像素電極613之間形成圍堰部618。圍堰618由無機圍堰層618a(第1圍堰層)和在該無機圍堰層618a上疊層的有機圍堰層618b(第2圍堰層)構(gòu)成，其中無機圍堰層618a由例如SiO、SiO2、TiO2等無機材料形成，有機圍堰層618b由丙烯酸樹脂、聚酰亞胺樹脂等耐熱性、耐溶劑性好的抗蝕劑形成，且截面呈梯形形狀。該圍堰部618的一部分，以搭在像素電極613的周緣部之上的狀態(tài)形成。而且，在各圍堰部618之間，形成相對于像素電極613而朝向上方逐漸擴大的開口部619。上述功能層617由在開口部619內(nèi)以在像素電極613上疊層的狀態(tài)形成的空穴注入/傳輸層617a、在該空穴注入/傳輸層617a上形成的發(fā)光層617b構(gòu)成。此外，也可以進而與上述發(fā)光層617b鄰接而形成具有其它功能的其它功能層。例如，也可以形成電子傳輸層?？昭ㄗ⑷?傳輸層617a具有從像素電極613側(cè)傳輸空穴并注入發(fā)光層617b的功能。該空穴注入/傳輸層617a，通過噴出含有空穴注入/傳輸層形成材料的第1組合物(功能液)而形成。作為空穴注入/傳輸層形成材料，采用公知的材料。發(fā)光層617b發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、或者藍色(B)中的任意一種光，通過噴出含有發(fā)光層形成材料(發(fā)光材料)的第2組合物(功能液)而形成。作為第2組合物的溶劑(非極性溶劑)，最好采用相對于空穴注入/傳輸層617a不溶解的公知的材料，通過采用這種非極性溶劑作為發(fā)光層617b的第2組合物，能夠不使空穴注入/傳輸層617a再溶解地形成發(fā)光層617b。而且，在發(fā)光層617b中，從空穴注入/傳輸層617a注入的空穴、和從陰極604注入的電子在發(fā)光層再次結(jié)合而發(fā)光。陰極604以覆蓋發(fā)光元件部603的整個面的狀態(tài)形成，與像素電極613成對而起到在功能層617中流過電流的作用。并且，在該陰極604的上部配置著未圖示的密封構(gòu)件。下面，參照圖12～圖20，對上述顯示裝置600的制造工序進行說明。如圖12所示，該顯示裝置600經(jīng)由圍堰部形成工序(S21)、表面處理工序(S22)、空穴注入/傳輸層形成工序(S23)、發(fā)光層形成工序(S24)、以及對向電極形成工序(S25)而制造。此外，制造工序不局限于例示的工序，可以根據(jù)需要減少工序或者增加工序。首先，在圍堰部形成工序(S21)中，如圖13所示，在第2層間絕緣膜611b上形成無機物圍堰層618a。該無機物圍堰層618a通過在形成位置形成無機物膜之后，利用光刻技術(shù)等將該無機物膜圖案化而形成。這時，無機物圍堰層618a的一部分與像素電極613的周緣部重疊地形成。在形成無機物圍堰層618a后，如圖14所示，在無機物圍堰層618a上形成有機物圍堰層618b。該有機物圍堰層618b也和無機物圍堰層618a同樣地利用光刻技術(shù)等將該無機物膜圖案化而形成。這樣，形成圍堰部618。而且，與此同時，在各圍堰部618之間，形成相對于像素電極613向上方開口的開口部619。該開口部619規(guī)定像素區(qū)域。在表面處理工序(S22)中，進行親液化處理和疏液化處理。實施親液化處理的區(qū)域為無機物圍堰層618a的第1疊層部618aa和像素電極613的電極面613a，這些區(qū)域通過例如以氧氣為處理氣體的等離子體處理而對表面進行親液性處理。該等離子體處理兼有清洗作為像素電極613的ITO等作用。另外，疏液化處理在有機物圍堰層618b的壁面618s和有機物圍堰層618b的上面618t上實施，通過例如以四氟甲烷為處理氣體的等離子體處理而對表面進行氟化處理(處理成疏液性)。通過進行該表面處理工序，在使用液滴噴出頭11形成功能層617時，能夠使功能液滴更加可靠地著落于像素區(qū)域，而且可以防止著落于像素區(qū)域的功能液滴從開口部619溢出。這樣，通過上述工序，形成顯示裝置基體600A。該顯示裝置基體600A放置在圖1所示的液滴噴出裝置1的一組工作臺66上，進行以下的空穴注入/傳輸層形成工序(S23)和發(fā)光層形成工序(S24)。如圖15所示，在空穴注入/傳輸層形成工序(S23)中，從液滴噴出頭11向作為像素區(qū)域的各開口部619內(nèi)噴出含有空穴注入/傳輸層形成材料的第1組合物。然后，如圖16所示，進行干燥處理和熱處理，使第1組合物中所含的極性溶劑蒸發(fā)，在像素電極(電極面613a)613上形成空穴注入/傳輸層617a。下面對發(fā)光層形成工序(S24)進行說明。在該發(fā)光層形成工序中，如上所述，為了防止空穴注入/傳輸層617a的再溶解，使用相對于空穴注入/傳輸層617a不溶解的非極性溶劑作為形成發(fā)光層時使用的第2組合物的溶劑。但是，另一方面，空穴注入/傳輸層617a相對于非極性溶劑的親合性低，所以有可能即使在空穴注入/傳輸層617a上噴出含有非極性溶劑的第2組合物，空穴注入/傳輸層617a和發(fā)光層617b也無法緊密接觸，或者無法均勻地涂布發(fā)光層617b。因而，為了提高空穴注入/傳輸層617a的表面相對于非極性溶劑以及發(fā)光層形成材料的親合性，最好在形成發(fā)光層之前進行表面處理(表面改性處理)。通過將與形成發(fā)光層時使用的第2組合物的非極性溶劑相同的溶劑或者與之相類似的溶劑、即表面改性材料涂布在空穴注入/傳輸層617a上，并使之干燥而進行該表面處理。通過實施這種處理，空穴注入/傳輸層617a的表面變得容易和非極性溶劑融和，在后面的工序中，能夠?qū)⒑邪l(fā)光層形成材料的第2組合物均勻地涂布在空穴注入/傳輸層617a上。然后，如圖17所示，將含有與各種顏色中的任意一種(圖17的例中為藍色(B))相對應(yīng)的發(fā)光層形成材料的第2組合物以規(guī)定量注入到像素區(qū)域(開口部619)內(nèi)。注入到像素區(qū)域內(nèi)的第2組合物，在空穴注入/傳輸層617a上擴展并充滿開口部619內(nèi)。并且，即使在萬一第2組合物偏離像素區(qū)域而著落在外延部618的上面618t上時，由于該上面618t如上所述實施了疏液處理，所以第2組合物也任意滾入開口部619內(nèi)。然后，通過進行干燥工序等，對噴出后的第2組合物進行干燥處理，使第2組合物中所含的非極性溶劑蒸發(fā)，如圖18所示，在空穴注入/傳輸層617a上形成發(fā)光層617b。在該圖的情況下，形成與藍色(B)相對應(yīng)的發(fā)光層617b。同樣地，如圖19所示，使用液滴噴出頭11，依次進行與上述的藍色(B)相對應(yīng)的發(fā)光層617b的情況相同的工序，形成與其它顏色(紅色(R)和綠色(G))對應(yīng)發(fā)光層617b。此外，發(fā)光層617b的形成順序不局限于例示的順序，可以以任意的順序形成。例如，也可以根據(jù)發(fā)光層形成材料確定形成的順序。而且，作為R、G、B三種顏色的排列圖案，有條紋排列、馬賽克排列和三角排列等。如上所述，在像素電極613上形成功能層617，即空穴注入/傳輸層617a和發(fā)光層617b。然后，轉(zhuǎn)移到對向電極形成工序(S25)。在對向電極形成工序(S25)中，如圖20所示，利用例如蒸鍍法、濺射法、CVD法等，在發(fā)光層617b和有機物圍堰層618b的整個面上形成陰極604(對向電極)。在本實施方式中，該陰極604例如由鈣層和鋁層疊層構(gòu)成。在該陰極604的上部，適當設(shè)置作為電極的Al膜、Ag膜、防止其氧化的SiO2、SiN等保護層。這樣形成陰極604后，實施利用密封材料密封該陰極604的上部的密封處理和布線處理等其它處理，從而得到顯示裝置600。圖21是等離子體型顯示裝置(PDP裝置，以下僅稱為顯示裝置700)的主要部分分解透視圖。此外，在該圖中表示將顯示裝置700局部切除后的狀態(tài)。該顯示裝置700大致包括相互對向配置的第1基板701、第2基板702，以及在其間形成的放電顯示部703。放電顯示部703由多個放電室705構(gòu)成。上述多個放電室705中，三個放電室705紅色放電室705R、綠色放電室705G、藍色放電室705B構(gòu)成組，從而構(gòu)成一個像素。在第1基板701的上面按照規(guī)定的間隔以條紋狀形成地址電極706，并按照覆蓋該地址電極706和第1基板701的上面的方式形成電介質(zhì)層707。在電介質(zhì)層707上，按照位于各地址電極706之間、且沿著各地址電極706的方式豎立設(shè)置著隔壁708。該隔壁708包括如圖所示向地址電極706的寬度方向兩側(cè)延伸的部分、和向與地址電極706垂直的方向延伸的方向延伸的未圖示的部分。而且，利用該隔壁708分隔的區(qū)域構(gòu)成放電室705。在放電室705內(nèi)配置著熒光體709。熒光體709發(fā)出紅(R)、綠(G)、藍(B)中的任意一種顏色的光，在紅色放電室705R的底部配置著紅色熒光體709R，在綠色放電室705G的底部配置著綠色熒光體709G，在藍色放電室705B的底部配置著藍色熒光體709B。在第2基板702的圖中下側(cè)的面上，在與上述地址電極706垂直的方向上，按照規(guī)定的間隔以條紋狀形成多個顯示電極711。而且，以覆蓋上述顯示電極711的方式形成電介質(zhì)層712、以及由MgO等形成的保護膜713。第1基板701和第2基板702，以地址電極706和顯示電極711相互垂直的狀態(tài)對向粘合。此外，上述地址電極706和顯示電極711與未圖示的交流電源連接。這樣，通過向各電極706、711通電，熒光體709在放電顯示部703中激勵發(fā)光，從而可以進行彩色顯示。在本實施方式中，可以利用圖1所示的液滴噴出裝置1形成上述地址電極706、顯示電極711以及熒光體709。以下，舉例說明第1基板701的地址電極706的形成工序。在這種情況下，在將第1基板701放置在液滴噴出裝置1的一組工作臺66上的狀態(tài)下進行以下的工序。首先，利用液滴噴出頭11，使含有導(dǎo)電膜布線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴著落在地址電極形成區(qū)域。該液體材料是作為導(dǎo)電膜布線形成用材料而將金屬等導(dǎo)電性微粒分散在分散劑中的材料。作為該導(dǎo)電性微粒，使用含有金、銀、銅、鈀、或者鎳等的金屬微?；?qū)щ娦跃酆衔锏取Ｔ谧鳛檠a充對象的全部的地址電極形成區(qū)域完成液體材料的補充后，通過對噴出后的液體材料進行干燥處理，使液體材料中所含的分散劑蒸發(fā)，從而形成地址電極706。但是，雖然在上述說明中舉例說明了地址電極706的形成，但是上述顯示電極711和熒光體709也可以經(jīng)由上述各工序而形成。在形成顯示電極711時，與地址電極706的情況同樣地，使含有導(dǎo)電膜布線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴著落在顯示電極形成區(qū)域。而且，在形成熒光體709時，將包含與各種顏色(R、G、B)相對應(yīng)的熒光體材料的液體材料(功能液)作為液滴從液滴噴出頭11噴出，并使之著落在對應(yīng)的顏色的放電室705內(nèi)。圖22是電子發(fā)射裝置(也稱為FED裝置或者SED裝置，以下僅稱為顯示裝置800)的主要部分截面圖。此外，在該圖中，將顯示裝置800的局部以截面表示。該顯示裝置800大致包含相互對向配置的第1基板801、第2基板802，以及在其間形成的電場發(fā)射顯示部803。電場發(fā)射顯示部803由以矩陣狀配置的多個電子發(fā)射部805構(gòu)成。在第1基板801的上面，相互垂直地形成構(gòu)成陰極電極806的第1元件電極806a和第2元件電極806b。而且在由第1元件電極806a和第2元件電極806b分隔的部分，形成導(dǎo)電性膜807，其中導(dǎo)電性膜807形成有間隙808。即，由第1元件電極806a、第2元件電極806b和導(dǎo)電性膜807構(gòu)成多個電子發(fā)射部805。導(dǎo)電性膜807由例如氧化鈀(PdO)等構(gòu)成，間隙808在導(dǎo)電性膜807成膜之后，利用成型加工(forming)形成。在第2基板802的下面，形成有與陰極電極806對峙的陽極電極809。在陽極電極809的下面，形成格子狀的圍堰部811，在由該圍堰部811包圍的向下的各開口部812中，與電子發(fā)射部805對應(yīng)地配置著熒光體813。熒光體813發(fā)出紅(R)、綠(G)、藍(B)中的任意一種顏色的熒光，在各開口部812中，按照上述規(guī)定的圖案配置著紅色熒光體813R、綠色熒光體813G和藍色熒光體813B。而且，這樣構(gòu)成的第1基板801和第2基板802，以微小的間隙粘合在一起。在該顯示裝置800中，通過導(dǎo)電性膜(間隙808)807，從作為陰極的第1元件電極806a或者第2元件電極806b飛出的電子與在作為陽極的陽極電極809上形成的熒光體813相遇而激勵發(fā)光，從而可以進行彩色顯示。在這種情況下，也可以與其它實施方式同樣地，使用液滴噴出裝置1形成第1元件電極806a、第2元件電極806b、導(dǎo)電性膜807和陽極電極809，并且可以使用液滴噴出裝置1形成各種顏色的熒光體813R、813G、813B。第1元件電極806a、第2元件電極806b和導(dǎo)電性膜807具有圖23(a)所示的平面形狀，在將其成膜時，如圖23(b)所示，預(yù)先殘留要形成第1元件電極806a、第2元件電極806b和導(dǎo)電性膜807的部分，形成圍堰部BB(光刻法)。然后，在由圍堰部BB構(gòu)成的槽部分，形成第1元件電極806a和第2元件電極806b(基于液滴噴出裝置1的噴墨法)，在使其溶劑干燥而進行成膜后，形成導(dǎo)電性膜807(基于液滴噴出裝置1的噴墨法)。然后，在導(dǎo)電性膜807成膜后，去除圍堰部BB(灰化剝離處理)，并轉(zhuǎn)移到上述的成型加工處理。此外，與上述的有機EL裝置的情況同樣，最好進行對于第1基板801和第2基板802的親液化處理、對于圍堰部811、BB的疏液化處理。另外，作為其它的電光裝置，有金屬布線形成、透鏡形成、抗蝕膜形成以及光擴散體形成等的裝置。通過將上述的液滴噴出裝置1用于各種電光裝置(設(shè)備)的制造，可以高效率地制造各種電光裝置。權(quán)利要求1.一種體積測定方法，其特征在于，包括原點坐標獲取工序，利用圖像識別機構(gòu)，將在水平面上滴下的液滴的水平面視圖中心點作為原點坐標而獲??；坐標測量工序，利用電磁波測定機構(gòu)，一邊沿上述液滴的徑方向掃描連結(jié)上述獲取的水平面視圖中心點和上述液滴的外周的任意一點的線段，一邊在多個位置測量相對于上述原點坐標的液滴表面的輪廓坐標；體積計算工序，根據(jù)上述輪廓坐標的測量結(jié)果計算上述液滴的體積。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的體積測定方法，其特征在于，在上述原點坐標獲取工序中，通過將上述圖像識別機構(gòu)所圖像識別的識別圖像2值化為液滴圖像和其外圍圖像，確定上述液滴的輪廓，將上述水平面視圖中心點作為原點坐標而獲取，同時，在上述輪廓為極端背離正圓形狀的形狀時，作為錯誤而通知該情況。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的體積測定方法，其特征在于，在上述坐標測量工序中，從上述水平面視圖中心點向上述外周進行掃描，上述電磁波測定機構(gòu)在上述輪廓坐標的高度值變?yōu)榱銜r，判斷為到達了上述外周的任意一點。4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的體積測定方法，其特征在于，在上述坐標測量工序中，上述電磁波測定機構(gòu)的掃描，通過與上述輪廓坐標的多個位置的測量相對應(yīng)而間歇移動來進行。5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項所述的體積測定方法，其特征在于，上述輪廓坐標的多個位置的測量的上述間歇移動的間距，隨著從上述水平面視圖中心點朝向上述外周而逐漸變小。6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項所述的體積測定方法，其特征在于，在上述坐標測量工序中，使掃描方向不同而多次重復(fù)利用上述電磁波測定機構(gòu)進行的測量；在上述體積計算工序中，根據(jù)上述重復(fù)得到的多個輪廓坐標的平均值計算體積。7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任一項所述的體積測定方法，其特征在于，上述電磁波測定機構(gòu)是將激光用作測量光的激光式距離測量儀。8.一種體積測定裝置，其特征在于，包括圖像識別機構(gòu)，拍攝在水平面上滴下的液滴，并將該液滴的水平面視圖中心點作為原點坐標而獲?。蛔鴺藴y量機構(gòu)，一邊沿上述液滴的徑方向掃描連結(jié)上述水平面視圖中心點和上述液滴的外周的任意一點的線段，一邊在多個位置測量相對于上述原點坐標的液滴表面的輪廓坐標；體積計算機構(gòu)，根據(jù)上述輪廓坐標的測量結(jié)果計算上述液滴的體積。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的體積測定裝置，其特征在于，上述坐標測量機構(gòu)對應(yīng)于上述輪廓坐標的多個位置的測量而間歇移動，其測量在停止移動時進行。10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的體積測定裝置，其特征在于，上述坐標測量機構(gòu)，使掃描方向不同而多次重復(fù)測量；上述體積計算機構(gòu)，根據(jù)上述重復(fù)得到的多個輪廓坐標的平均值計算體積。11.根據(jù)權(quán)利要求8、9或10所述的體積測定裝置，其特征在于，上述坐標測量機構(gòu)是將激光用作測量光的激光式距離測量儀。12.一種液滴噴出裝置，其特征在于，包括液滴噴出頭，從多個噴嘴向工件噴出功能液滴并形成成膜部；XY移動機構(gòu)，使上述工件相對于上述液滴噴出頭向X軸方向和Y軸方向相對移動；權(quán)利要求8～11中任一項所述的體積測定裝置，計算從上述各噴嘴噴出的液滴、即上述功能液滴的體積；噴頭控制機構(gòu)，從由上述體積測定裝置計算出的上述多個噴嘴的各噴嘴的上述功能液滴的體積，修正驅(qū)動波形，使上述各噴嘴均勻。13.根據(jù)權(quán)利要求12所示的液滴噴出裝置，其特征在于，上述坐標測量機構(gòu)，由對于所述線段在多個位置測量相對于上述原點坐標的液滴表面的輪廓坐標的測量機構(gòu)，和在上述測量的同時使上述測量機構(gòu)沿著上述功能液滴的徑方向?qū)ι鲜鼍€段進行掃描的掃描機構(gòu)構(gòu)成；上述液滴噴出頭借助滑架搭載在上述XY移動機構(gòu)上，上述XY移動機構(gòu)兼作上述掃描機構(gòu)，并且上述測量機構(gòu)安裝在上述滑架上。14.根據(jù)權(quán)利要求13所示的液滴噴出裝置，其特征在于，上述圖像識別機構(gòu)安裝在上述滑架上。15.一種電光裝置的制造方法，其特征在于，使用權(quán)利要求12、13或14所述的液滴噴出裝置，在上述工件上形成由上述功能液滴形成的上述成膜部。16.一種電光裝置，其特征在于，使用權(quán)利要求12、13或14所述的液滴噴出裝置，在上述工件上形成由上述功能液滴形成的上述成膜部。17.一種電子設(shè)備，其特征在于，搭載有利用權(quán)利要求15所述的電光裝置的制造方法制造的電光裝置或者權(quán)利要求16所述的電光裝置。全文摘要本發(fā)明的體積測定方法，包括原點坐標獲取工序，利用圖像識別機構(gòu)(81)，將在水平面上滴下的液滴的水平面視圖中心點(123)作為原點坐標(131)而獲取；坐標測量工序，利用電磁波測定機構(gòu)(91)，一邊沿液滴的徑方向掃描連結(jié)獲取的水平面視圖中心點(123)和液滴的外周(124)的任意一點的線段(125)，一邊在多個位置測量相對于原點坐標(131)的液滴表面的輪廓坐標(126)；體積計算工序，根據(jù)輪廓坐標(126)的測量結(jié)果計算液滴的體積。由此，能夠簡單且高精度地測定微小液滴的體積。文檔編號G02F1/1335GK1607378SQ200410083548公開日2005年4月20日申請日期2004年10月9日優(yōu)先權(quán)日2003年10月15日發(fā)明者小山實申請人:精工愛普生株式會社